JP2007162787A - Washing method of vessel valve, filling method of halogen based liquefied gas, returning method of high pressure gas vessel, washing tool, and washing agent - Google Patents
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- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 43
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 title claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000005406 washing Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 36
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 claims description 17
- 239000003380 propellant Substances 0.000 claims description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 160
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 55
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 44
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 44
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N Dimethyl ether Chemical compound COC LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 14
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CHDVXKLFZBWKEN-UHFFFAOYSA-N C=C.F.F.F.Cl Chemical compound C=C.F.F.F.Cl CHDVXKLFZBWKEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003818 SiH2Cl2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910000042 hydrogen bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C11/00—Use of gas-solvents or gas-sorbents in vessels
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- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0323—Valves
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
- F17C2221/03—Mixtures
- F17C2221/037—Containing pollutant, e.g. H2S, Cl
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/01—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the phase
- F17C2223/0146—Two-phase
- F17C2223/0153—Liquefied gas, e.g. LPG, GPL
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/03—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the pressure level
- F17C2223/033—Small pressure, e.g. for liquefied gas
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2265/00—Effects achieved by gas storage or gas handling
- F17C2265/01—Purifying the fluid
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Abstract
Description
本発明は、高圧ガス容器に装着された容器弁の洗浄方法、ハロゲン系液化ガスの充填方法、高圧ガス容器の返却方法、洗浄具、洗浄剤に関する。 The present invention relates to a method for cleaning a container valve attached to a high-pressure gas container, a method for filling a halogen-based liquefied gas, a method for returning a high-pressure gas container, a cleaning tool, and a cleaning agent.
半導体製造プロセス等において、無水塩化水素(HCl)が使用されており、この無水塩化水素は通常鉄製の高圧ガス容器に充填されている。従来高圧ガス容器の開口部には、図4に示すように、例えばステンレス製の容器弁10が装着されている。前記容器弁10は、容器弁本体11と前記容器弁本体11の上部側に形成されたシリンダ部12内に螺合して設けられたプラグ13と前記プラグ13の上端部にスピンドル19を介して取り付けられたハンドル14とを備えている。図5にも示すように前記プラグ13の下端部には三フッ化塩化エチレン樹脂よりなるシートディスク18が設けられている。前記容器弁本体11の側面側には、高圧ガス容器G内のガスを取出すためのガス取出し口15が形成されており、このガス取出し口15にはアウトレットキャップ16が配設されている。
In a semiconductor manufacturing process or the like, anhydrous hydrogen chloride (HCl) is used, and this anhydrous hydrogen chloride is usually filled in a high-pressure gas container made of iron. As shown in FIG. 4, for example, a stainless steel container valve 10 is attached to the opening of a conventional high-pressure gas container. The container valve 10 has a container valve main body 11 and a
また容器弁本体11の下部側には、その一端側が高圧ガス容器G内に開口するガス流路17が形成されており、前記ハンドル14を介してプラグ13を上下動させることで前記ガス流路17の他端側の開口部の開閉を行うようになっている。即ち、高圧ガス容器G内のガスを使用する際には、前記プラグ13を上昇させてガス流路17の他端側の開口部を開けることで、前記ガスはガス流路17を通ってガス取出し口15から取出されることになる。また高圧ガス容器G内のガスの使用を停止する際には、前記プラグ13を下降させてガス流路17の他端側の開口部を閉じることになる。このとき前記プラグ13の下端部に形成されたシートディスク18によって前記ガス流路17の開口部が密閉されることになる。
Further, a
このような高圧ガス容器Gに液化塩化水素を充填した後には、ガス取出し口15をホットガンで十分温め、ガス抜けをよくした後、ガス取出し口15から乾燥エアーを吹き込んでエアーパージを数分間例えば10〜15分間行って容器弁10内を洗浄している。このエアーパージを行った後、再びホットガンでガス取出し口15を温め、ガス取出し口15内の湿気を除去し、アウトレットキャップ16でガス取出し口15を塞ぐ。また液化塩化水素の充填量が多い高圧ガス容器の場合には、エアーパージを数時間例えば6時間以上行う。また容器弁10内の真空引きと容器弁10内の加圧とを組み合わせたサイクルパージも行われる。このようなエアーパージや真空引き、加圧のシーケンスを行う理由については、従来は液化塩化水素の充填時に、液化塩化水素がシリンダ部12の内壁に沿って侵入し、プラグ13の上部側(シート面とは反対側)に存在する空間に入り込み、容器弁10を閉じた後、その液化塩化水素が徐々に気化して、アウトレットキャップ16の内側空間に充満し、アウトレットキャップ16をガス取出し口15から外した時に、塩化水素ガスがガス取出し口15から放出されると考えられていたからである。こうして液化塩化水素が充填された高圧ガス容器Gはユーザに出荷されることになる。
After filling such high-pressure gas container G with liquefied hydrogen chloride, the
しかし、出荷後の高圧ガス容器Gの使用時にアウトレットキャップ16をガス取出し口15から外すと、ガス取出し口15から塩化水素ガスが僅かに検出され、ユーザでは高圧ガス容器Gから塩化水素ガスが漏洩しているのか否か判断できず、高圧ガス容器Gを再度点検するといったことが行われていた。
However, if the
このことから本発明者は、エアーパージ処理やサイクルパージ処理を行った容器弁10のガス取出し口15からアンモニアガスを供給して、前記容器弁10内の汚染部分を調査したところ、次のようなことが分かった。即ち、液化塩化水素Fの付着部位は、プラグ13の上部やその側周面ではなく、図6に示すように容器弁10を開いたときにシリンダ部12の螺合部分から突出しているプラグ13のネジ山1周部分を含む下部側周面及び底面(シートディスク18の周囲部分)であった。この液化塩化水素Fは外気の温度変化によって気化し、ユーザ側でアウトレットキャップ16をガス取出し口15から外した時に、塩化水素ガスがガス取出し口15から放出されると考えられる。このような要因と上述の対策とを考え合わせると、プラグ13の上部側には液化塩化水素が侵入してはいないが、プラグ13の既述の部位に付着している液化塩化水素をエアパージや真空引き、加圧のサイクルパージをもってしても完全に除去できないという知見が得られた。
From this, the present inventor supplied ammonia gas from the
また塩化水素ガスは吸湿性が強く水分が存在するとこの水分を吸収し塩酸となるが、この塩酸はステンレスを腐食させる原因となることが知られている。そのため高圧ガス容器G内の塩化水素ガスを消費した後、ガス取出し口15にアウトレットキャップ16を取り付ける際、容器弁10内が大気に晒されることから、容器弁10内に付着している塩化水素が大気中の水分を吸収して塩酸となる。このため、その後アウトレットキャップ16が閉じられてメーカ側に回収されるまで長時間経過すると、この塩酸により容器弁10内のプラグ13等の部品が腐食してしまい、部品あるいは容器弁10の使用寿命が短くなるという問題がある。
Hydrogen chloride gas is highly hygroscopic and absorbs moisture to form hydrochloric acid, which is known to cause corrosion of stainless steel. For this reason, after the hydrogen chloride gas in the high pressure gas container G is consumed, when the
更にまた高圧ガス容器G内に充填するハロゲン系液化ガスとして塩化水素ガスの他に、例えば塩素(Cl2)ガス、三塩化ホウ素(BCl3)、臭化水素(HBr)、臭素(Br2)、ジクロロシラン(SiH2Cl2)、三塩化シラン(SiHCl3)、四塩化ケイ素(SiCl4)、フッ素(F2)ガス、フッ化水素(HF)ガス、といったハロゲン系液化ガスを充填した場合についても、上述のようにアウトレットキャップ16を取出し口15から外したときにガスが外部に漏れ、ユーザが漏洩か否か判断できないという問題がある。またこれらのガスが微量であっても大気に放出されるのは人体への安全性等も考慮すると好ましくない。
In addition to hydrogen chloride gas as a halogen-based liquefied gas filled in the high-pressure gas container G, for example, chlorine (Cl2) gas, boron trichloride (BCl3), hydrogen bromide (HBr), bromine (Br2), dichlorosilane. As described above, the outlet cap is also filled with a halogen-based liquefied gas such as (SiH2Cl2), trichlorosilane (SiHCl3), silicon tetrachloride (SiCl4), fluorine (F2) gas, hydrogen fluoride (HF) gas. There is a problem that when the 16 is removed from the
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、高圧ガス容器に装着された容器弁において、この容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガスを容易に且つ確実に洗浄することができる容器弁の洗浄方法、ハロゲン系液化ガスの充填方法、高圧ガス容器の返却方法、洗浄具、洗浄剤を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to easily and reliably remove halogen-based liquefied gas adhering to the container valve in a container valve attached to a high-pressure gas container. The object is to provide a container valve cleaning method, a halogen-based liquefied gas filling method, a high-pressure gas container returning method, a cleaning tool, and a cleaning agent that can be cleaned.
本発明は、有機溶剤に対して溶解性のあるハロゲン系液化ガスを充填する高圧ガス容器に装着された容器弁を洗浄する方法において、
高圧ガス容器内にハロゲン系液化ガスを充填若しくは高圧ガス容器内のハロゲン系液化ガスを消費した後、前記容器弁を閉じたまま、そのガス取出し口から当該容器弁内に有機溶剤を供給して前記容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガスを洗浄することを特徴とする。前記有機溶剤は、例えば噴射剤により噴射されることにより前記容器弁内に供給される。
The present invention provides a method for cleaning a container valve mounted on a high-pressure gas container filled with a halogen-based liquefied gas that is soluble in an organic solvent.
After filling the high-pressure gas container with a halogen-based liquefied gas or consuming the halogen-based liquefied gas in the high-pressure gas container, supply the organic solvent from the gas outlet to the container valve with the container valve closed. The halogen-based liquefied gas adhering to the inside of the container valve is washed. The organic solvent is supplied into the container valve, for example, by being injected with a propellant.
また本発明のハロゲン系液化ガスの充填方法は、有機溶剤に対して溶解性のあるハロゲン系液化ガスを充填用の配管から容器弁のガス取出し口を介して高圧ガス容器に充填する工程と、次いで前記容器弁を閉じ、前記充填用の配管をガス取出し口から取り外す工程と、その後、前記ガス取出し口から容器弁内に有機溶剤を供給して前記容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガスを洗浄する工程と、しかる後、前記ガス取出し口をキャップにより閉じる工程と、を含むことを特徴とする。 The method of filling the halogen-based liquefied gas according to the present invention includes a step of filling a high-pressure gas container with a halogen-based liquefied gas that is soluble in an organic solvent from a filling pipe through a gas outlet port of the container valve, Next, the step of closing the container valve and removing the filling pipe from the gas outlet, and then supplying an organic solvent from the gas outlet into the container valve to adhere to the halogenated liquefaction. A step of cleaning the gas, and a step of closing the gas outlet with a cap.
さらに上記ハロゲン系液化ガスの充填方法において、ハロゲン系液化ガスを洗浄する工程を行う前に、容器弁内におけるガス流路を加熱する工程を行うようにしてもよい。 Further, in the above-described method of filling the halogen-based liquefied gas, a step of heating the gas flow path in the container valve may be performed before the step of cleaning the halogen-based liquefied gas.
また本発明の高圧ガス容器の返却方法は、高圧ガス容器内に充填されている、有機溶剤に対して溶解性のあるハロゲン系液化ガスを消費した後、容器弁を閉じて当該容器弁のガス取出し口から配管を取り外す工程と、その後、前記ガス取出し口から容器弁内に有機溶剤を供給して前記容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガスを洗浄する工程と、しかる後、前記ガス取出し口をキャップにより閉じる工程と、次いで前記高圧ガス容器をメーカに返却する工程と、を含むことを特徴とする。 The method for returning the high-pressure gas container of the present invention is that after consuming a halogen-based liquefied gas which is filled in the high-pressure gas container and is soluble in an organic solvent, the container valve is closed and the gas in the container valve is closed. A step of removing the piping from the outlet, a step of supplying an organic solvent from the gas outlet into the container valve and washing the halogen-based liquefied gas adhering in the container valve, and then the gas A step of closing the take-out port with a cap, and a step of returning the high-pressure gas container to the manufacturer.
また本発明の洗浄具は、噴射剤と有機溶剤とからなり、ハロゲン系液化ガス用の高圧ガス容器に装着された容器弁を洗浄するための洗浄剤を充填する密閉容器と、前記密閉容器内の洗浄剤を噴射するための噴射口と、前記噴射口を開閉する開閉部と、を備えたことを特徴とする。 The cleaning tool of the present invention is composed of a propellant and an organic solvent, and includes a sealed container filled with a cleaning agent for cleaning a container valve mounted on a high-pressure gas container for halogen-based liquefied gas, And an opening / closing part that opens and closes the injection port.
また本発明は、ハロゲン系液化ガスを充填する高圧ガス容器に装着された容器弁を洗浄する洗浄剤であって、前記洗浄剤はハロゲン系液化ガスを溶解する有機溶剤であることを特徴とする。この有機溶剤としては、アルコール類、ケトン類、エステル類、有機酸類で、例えばエタノール、アセトン、イソプロピルアルコール(IPA)、酢酸エチルエステル、リンゴ酸又はこれらの混合物である。 The present invention is also a cleaning agent for cleaning a container valve attached to a high-pressure gas container filled with a halogen-based liquefied gas, wherein the cleaning agent is an organic solvent that dissolves the halogen-based liquefied gas. . Examples of the organic solvent include alcohols, ketones, esters, and organic acids such as ethanol, acetone, isopropyl alcohol (IPA), acetic acid ethyl ester, malic acid, or a mixture thereof.
本発明によれば、高圧ガス容器内にハロゲン系液化ガスを充填若しくは高圧ガス容器内のハロゲン系液化ガスを消費した後、容器弁を閉じたまま、当該容器弁内に噴射剤例えばジメチルエーテル(DME)と有機溶剤例えばエタノールとを混合した洗浄剤を供給しているので、容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガス例えば液化塩化水素を容易に且つ確実に洗い落とすことができる。 According to the present invention, after filling the high-pressure gas container with the halogen-based liquefied gas or consuming the halogen-based liquefied gas in the high-pressure gas container, the propellant such as dimethyl ether (DME) is placed in the container valve while the container valve is closed. ) And an organic solvent such as ethanol are supplied, so that halogen-based liquefied gas such as liquefied hydrogen chloride adhering to the container valve can be easily and reliably washed off.
また本発明の洗浄具によれば、霧化した(微細な粒子にした)洗浄剤を容器弁内に供給するようにしているので、上述の洗浄方法を簡便に実施することができる。 Moreover, according to the cleaning tool of the present invention, since the atomized (fine particles) cleaning agent is supplied into the container valve, the above-described cleaning method can be easily performed.
本発明の実施の形態について説明する。この実施の形態に係る高圧ガス容器Gに装着された容器弁の構造に関しては、従来技術の項のところで図4を用いて説明した容器弁と全く同一であるため、説明を省略すると共に以下の容器弁の説明については図4に示す容器弁10を用いて説明するものとする。 Embodiments of the present invention will be described. The structure of the container valve attached to the high-pressure gas container G according to this embodiment is exactly the same as the container valve described with reference to FIG. The description of the container valve will be made using the container valve 10 shown in FIG.
次に図1を用いて高圧ガス容器Gに装着された容器弁10内を洗浄する洗浄具について説明する。図1中5は洗浄具であり、この洗浄具5は、密閉容器である缶体部50とこの缶体部50の上部に設けられた開閉部51とで構成されている。前記缶体部50内には噴射剤6例えば加圧ガスを発生する液化ガスであるジメチルエーテル(DME)と有機溶剤61例えばエタノールとが収納されている。なお、噴射剤6としてはジメチルエーテルの他に液化プロパン又はこれらの混合物であってもよく、また非酸化性圧縮ガス例えば圧縮窒素であってもよい。有機溶剤61としてはエタノールの他に、アセトン、イソプロピルアルコール(IPA)又はこれらの混合物であってもよい。また前記開閉部51にはノズル53が取り付けられている。図2に示すように前記ノズル53の先端側には噴射口54が形成されており、この噴射口54は容器弁10のガス取出し口15に挿入されるようになっている。この例では、前記開閉部51のボタン52を押圧することによって、噴射口54から噴射剤6と有機溶剤61とからなる洗浄剤が噴出される。
Next, a cleaning tool for cleaning the inside of the container valve 10 attached to the high-pressure gas container G will be described with reference to FIG. In FIG. 1,
続いて、容器弁10内を洗浄する方法について説明する。先ず空の高圧ガス容器Gに装着された容器弁10のガス取出し口15に充填クランプを介して液化塩化水素供給用(充填用)の配管を接続し、プラグ13を上昇させてガス流路17の開口部を開き、液化塩化水素供給源より配管を介して高圧ガス容器G内に液化塩化水素を供給して充填する。次いでプラグ13を下降させてシートディスク18によりガス流路17の開口部を密閉した後、配管を外す。しかる後、容器弁10のガス取出し口15をホットガンで例えば1分間温め、充填クランプ及びガス取出し口15に付着している水分を乾燥させる。そしてガス取出し口15から充填クランプを取り外し、洗浄具5のノズル53を、ガス取出し口15に差し込む。
Next, a method for cleaning the inside of the container valve 10 will be described. First, a pipe for supplying liquefied hydrogen chloride (for filling) is connected to a
そして前記開閉部51のボタン52を例えば指で押圧することで、噴射剤(加圧ガス)6と有機溶剤61とからなる洗浄剤がノズル53の噴射口54から噴出され、容器弁10内が洗浄される。
Then, by pressing the
この洗浄の様子を詳述すると、ノズル先端の噴射口54から噴出された洗浄剤は霧化しており、この霧化した(微細な粒子にした)洗浄剤はプラグ13に衝突し、プラグ13の側周面及び底面におけるガス取出し口15に臨む部位に衝突し、プラグ13の表面に沿ってガス取出し口15の背面側まで回り込み、これによりプラグ13において、ガス取出し口15及びこれに連通する空間に露出する部位に洗浄剤が触れることになる。このため、容器弁10を開いたときにシリンダ部12の螺合部分から突出しているプラグ13のネジ山1周部分を含む下部側周面及び底面(シートディスク18の周囲部分)に付着していた液化塩化水素が有機溶剤により溶解し、洗い流されて有機溶剤と共にガス取出し口15から排出される。
The state of this cleaning will be described in detail. The cleaning agent sprayed from the nozzle 54 at the tip of the nozzle is atomized, and the atomized cleaning agent (which is made into fine particles) collides with the
そして容器弁10内の洗浄が終わった後、pH試験紙をガス取出し口15から差込み、pH試験紙の色が変化しないことを確認して、ガス取出し口15をウェスで汚れや水分を除去し、ホットガンで乾燥させる。そしてアウトレットキャップ16を取出し口15に取り付ける前に、アウトレットキャップ16を洗浄して、ホットガンで乾燥させた後、ガス取出し口15にアウトレットキャップ16を取り付ける。このようにしてメーカ側で高圧ガス容器G内に液化塩化水素が充填された後、当該高圧ガス容器Gはユーザの下へ搬送されることになる。
After cleaning the inside of the container valve 10, the pH test paper is inserted from the
上述の実施の形態によれば、洗浄具6のノズル53から容器弁10内のガス取出し口15内に有機溶剤を噴出しているため、容器弁10の開閉手段であるプラグ13等に付着している液化塩化水素を容易に且つ確実に除去することができる。そして従来行われていた長時間のエアーパージが不要になるので作業効率がよいし、エアーパージでも除去されなかった液化塩化水素を除去できることから、ユーザがアウトレットキャップ16を取り外したときに塩化水素ガスが漏洩しないので、高圧ガス容器Gをメーカ側に戻して再点検を依頼するといったトラブルも解消される。
According to the above-described embodiment, since the organic solvent is ejected from the
また本発明の洗浄方法は、例えばユーザが高圧ガス容器G内の塩化水素ガスを使った後、上述と同様にしてユーザ側で高圧ガス容器Gに装着された容器弁10内の洗浄が行われる。この場合、容器弁10のプラグ13によりガス流路17を閉じ、次いでガス消費用の配管を容器弁10から取り外したときに、ガス取出し口15から大気が容器弁10内に侵入し、これにより大気中の水分と塩化水素とが反応して塩酸となるが、既述のように有機溶剤により洗浄することで容器弁10内に付着している液化塩化水素又は塩酸が溶解して洗い流される。このため、その後アウトレットキャップ16が閉じられてメーカ側に回収されるまで、長時間経過してもプラグ13等の部品の腐食が抑えられるので、部品あるいは容器弁10の使用寿命が長くなる効果がある。
In the cleaning method of the present invention, for example, after the user uses hydrogen chloride gas in the high pressure gas container G, the user cleans the container valve 10 attached to the high pressure gas container G on the user side in the same manner as described above. . In this case, when the
また上述の例では高圧ガス容器G内には液化塩化水素を充填するようにしているが、本発明は既述のように有機溶剤に溶解する(溶解性の高い)ハロゲン系液化ガスであれば、有効に適用できる。このハロゲン系液化ガスとしては、例えばHBr等が挙げられる。 In the above example, the high-pressure gas container G is filled with liquefied hydrogen chloride. However, as described above, the present invention is a halogen-based liquefied gas that dissolves in an organic solvent (highly soluble). Can be applied effectively. Examples of the halogen-based liquefied gas include HBr.
さらに上述の実施の形態では、パックタイプの容器弁10について説明を行ったが、ダイヤフラムタイプの容器弁においても上述と同様に容器弁内を洗浄することで、同様の効果を得ることができる。 Furthermore, although the pack type container valve 10 has been described in the above-described embodiment, the same effect can be obtained by washing the inside of the container valve in the same manner as described above in the case of the diaphragm type container valve.
次に本発明の効果を確認するために行った実験について述べる。
(実験例)
A.実施例1
図1に示す洗浄具5において、噴射剤6としてはジメチルエーテル(DME)を用い、有機溶剤61としてはエタノールを用い、それらの重量比をDME:エタノール=4:1の混合液を洗浄剤として、既述のように高圧ガス容器G内に液化塩化水素を充填した後の容器弁10内の洗浄を行った。そして容器弁10内の洗浄が終わった後、ガス取出し口15をホットガンで乾燥させた。これを実施例1とする。
Next, experiments conducted to confirm the effects of the present invention will be described.
(Experimental example)
A. Example 1
In the
B.実施例2
有機溶剤をアセトンとした他は、実施例1と同様にして容器弁10内の洗浄及びガス取出し口15の乾燥を行った。これを実施例2とする。
B. Example 2
The inside of the container valve 10 was washed and the
C.実施例3
有機溶剤をイソプロピルアルコール(IPA)とした他は、実施例1と同様にして容器弁10内の洗浄及びガス取出し口15の乾燥を行った。これを実施例3とする。
C. Example 3
The inside of the container valve 10 was washed and the
D.実施例4
図1に示す洗浄具5ではなく、有機溶剤が貯留された洗器瓶を用いて、容器弁10のガス取出し口15から例えばエタノールを供給して、ガス取出し口15及びこれに連通する空間をエタノールで濯いだ。そして容器弁10内の洗浄が終わった後、ガス取出し口15をウェスで汚れや水分を除去し、ホットガンで乾燥させた。これを実施例4とする。
D. Example 4
For example, ethanol is supplied from the
E.比較例1
有機溶剤を使用しない他は、実施例1と同様にして容器弁10内の洗浄及びガス取出し口15の乾燥を行った。これを比較例1とする。
E. Comparative Example 1
The inside of the container valve 10 was washed and the
F.比較例2
高圧ガス容器G内に液化塩化水素を充填した後、容器弁10内の洗浄を行わず、ガス取出し口15をホットガンで乾燥させ、ガス取出し口15から乾燥エアーを吹き込むエアーパージを15分行った。これを比較例2とする。
(試験方法)
容器弁10内の洗浄及びガス取出し口15の乾燥を行った後、あるいはエアーパージ及びガス取出し口15の乾燥を行った後、ガス取出し口15にアウトレットキャップ16を取り付け、一昼夜高圧ガス容器Gを放置した。そして翌日アウトレットキャップ16を外し、ガス取出し口15に塩化水素ガス検知用の検知器を取り付け、ガス取出し口15から放出される塩化水素濃度を測定した。
(結果及び考察)
図3に、実施例1〜4及び比較例1〜2の塩化水素濃度の結果を示す。図3に示すように実施例1〜3では塩化水素ガスが全く検出されなかったが、比較例1では30ppm程度の塩化水素ガスが検出され、比較例2では500ppmを超える大量の塩化水素ガスが検出された。このことから噴射剤(DME)6と有機溶剤(エタノール、アセトン、イソプロピルアルコール)61とを混合した洗浄剤を用いることで、既述のようにプラグ13に付着した液化塩化水素を確実に洗い落とすことができることが分かる。また実施例4においても塩化水素ガスが全く検出されなかった。このことから噴射剤を使用せずに有機溶剤をそのまま供給することによっても容器弁10内に付着した液化塩化水素を取り除くことができることが分かる。また今回は実験していないが、本発明の背景において、ホットガンで容器弁10内を乾燥した後、6時間のエアーパージを行った場合でもアウトレットキャップ16を外したときに塩化水素ガスの検出濃度が30ppmを越えることが度々発生していた事情に照らし合わせると、本発明の方法が簡便で有効な方法であることが理解される。
F. Comparative Example 2
After filling the high-pressure gas container G with liquefied hydrogen chloride, the inside of the container valve 10 was not cleaned, the
(Test method)
After cleaning the inside of the container valve 10 and drying the
(Results and discussion)
In FIG. 3, the result of the hydrogen chloride density | concentration of Examples 1-4 and Comparative Examples 1-2 is shown. As shown in FIG. 3, no hydrogen chloride gas was detected in Examples 1 to 3, but about 30 ppm of hydrogen chloride gas was detected in Comparative Example 1, and a large amount of hydrogen chloride gas exceeding 500 ppm was detected in Comparative Example 2. was detected. Therefore, by using a cleaning agent in which a propellant (DME) 6 and an organic solvent (ethanol, acetone, isopropyl alcohol) 61 are mixed, the liquefied hydrogen chloride adhering to the
G 高圧ガス容器
10 容器弁
11 容器弁本体
12 シリンダ部
13 プラグ
15 ガス取出し口
16 アウトレットキャップ
17 ガス流路
18 シートディスク
5 洗浄具
50 缶体部
51 開閉部
52 ボタン
53 ノズル
G High-pressure gas container 10 Container valve 11
53 nozzles
Claims (7)
高圧ガス容器内にハロゲン系液化ガスを充填若しくは高圧ガス容器内のハロゲン系液化ガスを消費した後、前記容器弁を閉じたまま、そのガス取出し口から当該容器弁内に有機溶剤を供給して前記容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガスを洗浄することを特徴とする容器弁の洗浄方法。 In a method of cleaning a container valve attached to a high-pressure gas container filled with a halogen-based liquefied gas that is soluble in an organic solvent,
After filling the high-pressure gas container with a halogen-based liquefied gas or consuming the halogen-based liquefied gas in the high-pressure gas container, supply the organic solvent from the gas outlet to the container valve with the container valve closed. A cleaning method for a container valve, wherein the halogen-based liquefied gas adhering to the container valve is cleaned.
次いで前記容器弁を閉じ、前記充填用の配管をガス取出し口から取り外す工程と、
その後、前記ガス取出し口から容器弁内に有機溶剤を供給して前記容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガスを洗浄する工程と、
しかる後、前記ガス取出し口をキャップにより閉じる工程と、を含むことを特徴とするハロゲン系液化ガスの充填方法。 Filling a high-pressure gas container with a halogen-based liquefied gas that is soluble in an organic solvent from a filling pipe through a gas outlet of the container valve;
Next, the step of closing the container valve and removing the filling pipe from the gas outlet,
Thereafter, supplying an organic solvent into the container valve from the gas outlet and washing the halogen-based liquefied gas adhering to the container valve;
And a step of closing the gas outlet with a cap.
その後、前記ガス取出し口から容器弁内に有機溶剤を供給して前記容器弁内に付着しているハロゲン系液化ガスを洗浄する工程と、
しかる後、前記ガス取出し口をキャップにより閉じる工程と、
次いで前記高圧ガス容器をメーカに返却する工程と、を含むことを特徴とする高圧ガス容器の返却方法。 After consuming the halogen-based liquefied gas that is soluble in the organic solvent and filled in the high-pressure gas container, the container valve is closed and the pipe is removed from the gas outlet of the container valve;
Thereafter, supplying an organic solvent into the container valve from the gas outlet and washing the halogen-based liquefied gas adhering to the container valve;
Thereafter, the step of closing the gas outlet with a cap;
And then returning the high-pressure gas container to a manufacturer.
前記密閉容器内の洗浄剤を噴射するための噴射口と、
前記噴射口を開閉する開閉部と、を備えたことを特徴とする洗浄具。 A sealed container that is made of a propellant and an organic solvent and is filled with a cleaning agent for cleaning a container valve mounted on a high-pressure gas container of a halogen-based liquefied gas;
An injection port for injecting the cleaning agent in the sealed container;
A cleaning tool, comprising: an opening / closing part that opens and closes the injection port.
A cleaning agent for cleaning a container valve mounted on a high-pressure gas container filled with a halogen-based liquefied gas, wherein the cleaning agent is an organic solvent for dissolving a halogen-based liquefied gas.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005358149A JP4113546B2 (en) | 2005-12-12 | 2005-12-12 | How to clean container valves |
KR1020087014001A KR100984598B1 (en) | 2005-12-12 | 2006-07-05 | Method of cleaning container vavle |
CN2006800465093A CN101346578B (en) | 2005-12-12 | 2006-07-05 | Method of cleaning container valve, method of charging halogenated liquefied gas, method of returning high-pressure gas container |
PCT/JP2006/313817 WO2007069357A1 (en) | 2005-12-12 | 2006-07-05 | Method of cleaning container valve, method of charging halogenated liquefied gas, method of returning high-pressure gas container, cleaning tool and cleaning agent |
TW095127745A TW200722192A (en) | 2005-12-12 | 2006-07-28 | Method of cleaning container valve, method of charging halogenated liquefied gas, method of returning high-pressure gas container, cleaning tool and cleaning agent |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005358149A JP4113546B2 (en) | 2005-12-12 | 2005-12-12 | How to clean container valves |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007162787A true JP2007162787A (en) | 2007-06-28 |
JP4113546B2 JP4113546B2 (en) | 2008-07-09 |
Family
ID=38162675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005358149A Active JP4113546B2 (en) | 2005-12-12 | 2005-12-12 | How to clean container valves |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4113546B2 (en) |
KR (1) | KR100984598B1 (en) |
CN (1) | CN101346578B (en) |
TW (1) | TW200722192A (en) |
WO (1) | WO2007069357A1 (en) |
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JP2010242884A (en) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Tsurumi Soda Co Ltd | Method of washing vessel valve and washing agent |
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---|---|---|---|---|
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KR102158043B1 (en) | 2019-08-07 | 2020-09-21 | 국방과학연구소 | Cooling system and its controlling method that can restrain the formation of condensed water in active phased array radar antenna |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH07256097A (en) * | 1994-03-25 | 1995-10-09 | Tsurumi Soda Co Ltd | Corrosive gas absorbent and container valve of gas sealing container |
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JP2001296099A (en) * | 2000-04-12 | 2001-10-26 | Toyo Aerosol Ind Co Ltd | Aerosol composition for cleaning air conditioning heat exchanger fins |
JP4138440B2 (en) | 2002-10-16 | 2008-08-27 | 富士通株式会社 | Chemical supply device |
-
2005
- 2005-12-12 JP JP2005358149A patent/JP4113546B2/en active Active
-
2006
- 2006-07-05 KR KR1020087014001A patent/KR100984598B1/en active IP Right Grant
- 2006-07-05 CN CN2006800465093A patent/CN101346578B/en active Active
- 2006-07-05 WO PCT/JP2006/313817 patent/WO2007069357A1/en active Application Filing
- 2006-07-28 TW TW095127745A patent/TW200722192A/en unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4113546B2 (en) | 2008-07-09 |
KR100984598B1 (en) | 2010-09-30 |
KR20080079647A (en) | 2008-09-01 |
WO2007069357A1 (en) | 2007-06-21 |
TW200722192A (en) | 2007-06-16 |
CN101346578A (en) | 2009-01-14 |
CN101346578B (en) | 2011-11-30 |
TWI300726B (en) | 2008-09-11 |
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Legal Events
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20070723 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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