JP2007161278A - Pallet, optical component manufacturing method using the same, and optical component package and housing body - Google Patents

Pallet, optical component manufacturing method using the same, and optical component package and housing body Download PDF

Info

Publication number
JP2007161278A
JP2007161278A JP2005357412A JP2005357412A JP2007161278A JP 2007161278 A JP2007161278 A JP 2007161278A JP 2005357412 A JP2005357412 A JP 2005357412A JP 2005357412 A JP2005357412 A JP 2005357412A JP 2007161278 A JP2007161278 A JP 2007161278A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
optical component
pallet
optical
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005357412A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4811008B2 (en
Inventor
Masami Kita
雅己 北
Hiroyuki Nakano
博之 中野
Katsuhisa Nakamura
勝久 中村
Seiichi Hatanaka
誠一 畠中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2005357412A priority Critical patent/JP4811008B2/en
Publication of JP2007161278A publication Critical patent/JP2007161278A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4811008B2 publication Critical patent/JP4811008B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Stackable Containers (AREA)
  • Pallets (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pallet on which a positional shift of an optical component hardly occurs, an optical component manufacturing method using the pallet, and an optical component package and housing body. <P>SOLUTION: According to the pallet, a tabular first plate 11 and a tabular second plate 12 are superposed one another to hold the optical component 14 between the first and second plates 11 and 12. The first plate 11 has a first through-hole 15 from which a part of the surface of the optical component 14 is exposed when the optical component 14 is held, and a first support which is composed of a plurality of projections encircling the first through-hole 15. The second plate 12 has a second through-hole 16 from which a part of the surface of the optical component 14 is exposed when the optical component 14 is held, and a second support 18 which is composed of a plurality of projections encircling the second through-hole 16. When the first and second plates 11 and 12 are superposed, the first and second plates 11 and 12 are so aligned that the front ends of the first support and of the second support do not butt against each other, and then the outer periphery of the optical component 14 is supported from the side. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、各種光学機器に用いられるレンズ等の光学部品の製造または包装に用いるパレットとこのパレットを用いた光学部品の製造方法および光学部品の包装体と収容体に関するものである。   The present invention relates to a pallet used for manufacturing or packaging optical components such as lenses used in various optical devices, a method for manufacturing an optical component using the pallet, and a packaging body and a container for optical components.

従来においては、多数個の光学部品の表面に一括して光学薄膜を形成する場合、図7に示すようなパレット1を用いていた。   Conventionally, when an optical thin film is formed collectively on the surface of a large number of optical components, a pallet 1 as shown in FIG. 7 has been used.

すなわち、このパレット1は、それぞれ透孔2と収容孔3を有する一対のプレート4を備え、そしてレンズや位相板などの光学部品5を前記収容孔3に収容した状態で一対のプレート4を重ね合わせるようにしていた。   That is, the pallet 1 includes a pair of plates 4 each having a through hole 2 and a receiving hole 3, and the pair of plates 4 are stacked in a state where an optical component 5 such as a lens or a phase plate is received in the receiving hole 3. I was trying to match.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2001−221902号公報
As prior art document information related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP 2001-221902 A

しかしながら、このような従来のパレット1を用いて薄型の光学部品5を収容しようとした場合、取扱い時に加わる外力や光学薄膜形成時に加わる熱によりパレット1が変形して一対のプレート4間に隙間が発生し、そしてこの隙間に光学部品5が収容孔3から逸脱して入り込むといった不具合が生じていた。このような状態で、光学部品5の露出した面に光学薄膜を形成した場合、光学薄膜の形成できる領域がずれてしまい、必要な箇所に光学薄膜が形成できないという課題を有していた。   However, when an attempt is made to accommodate a thin optical component 5 using such a conventional pallet 1, the pallet 1 is deformed by external force applied during handling or heat applied during optical thin film formation, and a gap is formed between the pair of plates 4. There is a problem that the optical component 5 is deviated from the receiving hole 3 and enters the gap. When an optical thin film is formed on the exposed surface of the optical component 5 in such a state, a region where the optical thin film can be formed is shifted, and the optical thin film cannot be formed at a necessary position.

本発明は上記従来の課題を解決するもので、光学部品の位置ずれが起こりにくいパレットとこれを用いた光学部品の製造方法および光学部品の包装体と収容体を提供することを目的とするものである。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described conventional problems, and an object thereof is to provide a pallet in which the optical component is less likely to be displaced, a method for manufacturing an optical component using the pallet, and an optical component packaging body and container. It is.

上記目的を達成するために本発明は、以下の構成を有するものである。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明の請求項1に記載の発明は、板状の第1のプレートと板状の第2のプレートを重ね合わせることにより、それらの間に光学部品を保持するパレットであって、前記第1のプレートは、光学部品を保持する際にその表面の一部を露出させる第1の透孔と、この第1の透孔を取り囲む複数の突起からなる第1の支持部とを有し、かつ前記第2のプレートは、光学部品を保持する際にその表面の一部を露出させる第2の透孔と、この第2の透孔を取り囲む複数の突起からなる第2の支持部とを有し、前記第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせた時、前記第1の支持部と第2の支持部の先端部同士が突き当たらないような位置合わせをして、光学部品の外周を側面から支持するようにしたもので、この構成によれば、第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせた時、第1の支持部と第2の支持部の先端同士が突き当たらないような位置合わせをして光学部品の外周を側面から支持するようにしているため、外力や光学薄膜形成時に加わる熱によりパレットが変形して第1のプレートと第2のプレート間に隙間が発生したとしても、光学部品がプレートの透孔から逸脱してその隙間に入るということはなくなり、これにより、光学部品を常に所定の収容位置に保持することができるという作用効果を有するものである。   The invention according to claim 1 of the present invention is a pallet for holding an optical component between a plate-like first plate and a plate-like second plate by superimposing the plate-like first plate and the plate-like second plate. The plate has a first through hole that exposes a part of the surface of the plate when holding the optical component, and a first support portion that includes a plurality of protrusions that surround the first through hole, and The second plate has a second through hole that exposes a part of the surface of the second plate when holding the optical component, and a second support portion that includes a plurality of protrusions surrounding the second through hole. Then, when the first plate and the second plate are overlapped, the outer periphery of the optical component is aligned so that the front ends of the first support portion and the second support portion do not collide with each other. Is supported from the side, and according to this configuration, the first plate and When the two plates are overlapped, the outer periphery of the optical component is supported from the side by positioning so that the tips of the first support portion and the second support portion do not collide with each other. Even if the pallet is deformed by heat applied during the formation of the optical thin film and a gap is generated between the first plate and the second plate, the optical component does not deviate from the through hole of the plate and enter the gap. As a result, the optical component can be always held at a predetermined accommodation position.

本発明の請求項2に記載の発明は、特に、第1のプレートと第2のプレートのうち、一方のプレートに、第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせた時、他方のプレートに設けられた支持部を構成する突起が入り込む凹部を設けたもので、この構成によれば、支持部を構成する突起の高さを光学部品の外周部の高さよりも十分に高くすることができるため、光学部品は収容位置からさらに逸脱しにくくなり、これにより、光学部品を常に所定の収容位置に安定した状態で保持することができるという作用効果を有するものである。   The invention according to claim 2 of the present invention, in particular, when the first plate and the second plate are superimposed on one of the first plate and the second plate, The concave portion into which the protrusion constituting the provided support portion enters is provided. According to this configuration, the height of the protrusion constituting the support portion can be made sufficiently higher than the height of the outer peripheral portion of the optical component. Therefore, the optical component is less likely to deviate from the storage position, and thus, the optical component can be always held in a stable state at the predetermined storage position.

本発明の請求項3に記載の発明は、特に、第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせることによりそれらの間に光学部品を保持した時、前記第1のプレートと第2のプレートの表面から光学部品が透孔を通して突出しない厚みに第1のプレートと第2のプレートを構成したもので、この構成によれば、取扱いの際または包装した状態で光学部品の表面が外部と接触するのを防止できるため、光学部品の表面に傷が付きにくいという作用効果を有するものである。   The invention according to claim 3 of the present invention is particularly advantageous when the optical component is held between the first plate and the second plate by overlapping the first plate and the second plate. The first plate and the second plate are configured so that the optical component does not protrude from the surface through the through-hole. According to this configuration, the surface of the optical component is in contact with the outside during handling or packaging. Therefore, the surface of the optical component is hardly damaged.

本発明の請求項4に記載の発明は、特に、第1のプレートおよび第2のプレートにおける複数の突起からなる第1の支持部および第2の支持部において、前記第1の支持部および第2の支持部を構成する複数の突起の間に、光学部品をプレートに載置する際に光学部品を掴むための治具逃げ部を設けたもので、この構成によれば、プレートに光学部品を載置する際に、その載置位置において光学部品をピンセット等の治具により掴むことができるため、所定の載置位置に対して正確に光学部品を載置することができるという作用効果を有するものである。   According to a fourth aspect of the present invention, in particular, in the first support portion and the second support portion formed of a plurality of protrusions on the first plate and the second plate, the first support portion and the second support portion are provided. 2 is provided with a jig escape portion for gripping the optical component when the optical component is placed on the plate between the plurality of protrusions constituting the support portion. When mounting the optical component, the optical component can be gripped by a jig such as tweezers at the mounting position, so that the optical component can be accurately mounted at a predetermined mounting position. It is what you have.

本発明の請求項5に記載の発明は、特に、第1のプレートおよび第2のプレートを樹脂で構成したもので、この構成によれば、パレットを包装した際にその重量が軽くなるとともに、光学部品の表面にも傷をつけにくいという作用効果を有するものである。   The invention according to claim 5 of the present invention is, in particular, the first plate and the second plate made of resin. According to this configuration, when the pallet is packaged, its weight becomes lighter, It has the effect of hardly scratching the surface of the optical component.

本発明の請求項6に記載の発明は、特に、パレットに、複数個のパレットを積み重ねた時の位置ずれ防止手段を備えたもので、この構成によれば、光学部品を保持したパレットを複数個まとめて包装する場合、位置ずれを確実に防止することができるという作用効果を有するものである。   According to the sixth aspect of the present invention, in particular, the pallet is provided with a means for preventing misalignment when a plurality of pallets are stacked. According to this configuration, a plurality of pallets holding optical components are provided. When packaging individually, it has the effect that position shift can be prevented reliably.

本発明の請求項7に記載の発明は、特に、請求項1に記載のパレットに光学部品を収容した状態で前記光学部品の露出した面に光学薄膜を形成し、その後、前記光学部品の露出した面を検査するようにしたもので、この光学部品の製造方法によれば、光学薄膜の形成から検査までの間、光学部品の収容治具への移し替え作業が無いため、作業の軽減化が図れるとともに、光学部品の移し替え時に生じる光学面の傷の発生も未然に防止できるという作用効果を有するものである。   According to the seventh aspect of the present invention, in particular, an optical thin film is formed on the exposed surface of the optical component in a state where the optical component is accommodated in the pallet according to the first aspect, and then the exposure of the optical component is performed. According to this optical component manufacturing method, since there is no transfer work to the optical component storage jig from the formation of the optical thin film to the inspection, the work can be reduced. In addition, it is possible to prevent the occurrence of scratches on the optical surface that occur when the optical component is transferred.

本発明の請求項8に記載の発明は、特に、請求項1に記載のパレットに光学部品を収容したもので、この光学部品の包装体によれば、光学部品を専用の包装トレイに移し替える作用を省略できるため、光学部品の移し替え時に生じる光学面の傷の発生も未然に防止できるとともに、専用の包装トレイ等の作製も省略することができるという作用効果を有するものである。   The invention according to claim 8 of the present invention is particularly the one in which the optical component is accommodated in the pallet according to claim 1, and according to the package of this optical component, the optical component is transferred to a dedicated packaging tray. Since the operation can be omitted, it is possible to prevent the occurrence of scratches on the optical surface when the optical component is transferred, and it is possible to omit the production of a dedicated packaging tray or the like.

本発明の請求項9に記載の発明は、特に、請求項1に記載のパレットに光学部品を収容したもので、この光学部品の収容体によれば、光学部品をパレットの所定の収容位置に確実に保持することができるという作用効果を有するものである。   According to the ninth aspect of the present invention, in particular, the optical component is accommodated in the pallet according to the first aspect. According to the optical component housing, the optical component is placed at a predetermined accommodating position of the pallet. It has the effect that it can hold | maintain reliably.

以上のように本発明のパレットは、第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせた時、第1の支持部と第2の支持部の先端同士が突き当たらないような位置合わせをして光学部品の外周を側面から支持するようにしているため、外力や光学薄膜形成時に加わる熱によりパレットが変形して一対のプレート間に隙間が発生したとしても、光学部品がプレートの透孔から逸脱してその隙間に入るということはなくなり、これにより、光学部品を常に所定の収容位置に保持することができるという優れた効果を奏するものである。   As described above, the pallet of the present invention is aligned so that the tips of the first support part and the second support part do not collide when the first plate and the second plate are overlapped. Since the outer periphery of the optical component is supported from the side, even if the pallet is deformed by an external force or heat applied during the formation of the optical thin film and a gap is generated between the pair of plates, the optical component deviates from the through hole of the plate. As a result, the optical component is not entered into the gap, thereby providing an excellent effect that the optical component can always be held at a predetermined accommodation position.

(実施の形態1)
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1と3〜9に記載の発明について説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, the inventions described in claims 1 and 3 to 9 of the present invention will be described using the first embodiment.

図1は本発明の実施の形態1におけるパレットに光学部品を収容した状態の部分拡大断面図、図2は同パレットを構成する第1のプレートの光学部品に接する面を上面とした斜視図、図3は同パレットを構成する第1のプレートの光学部品に接する面を下面とした斜視図、図4は同パレットを構成する第2のプレートの光学部品に接する面を上面とした斜視図、図5は同パレットを構成する第2のプレートの光学部品に接する面を下面とした斜視図である。   FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional view of a state in which an optical component is accommodated in a pallet according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view with a surface in contact with the optical component of a first plate constituting the pallet as an upper surface. FIG. 3 is a perspective view in which the surface of the first plate constituting the pallet is in contact with the optical component on the bottom surface, and FIG. 4 is a perspective view in which the surface of the second plate in the pallet is in contact with the optical component is on the top surface. FIG. 5 is a perspective view of the second plate constituting the pallet with the lower surface being the surface in contact with the optical component.

図1〜図5において、11,12はそれぞれ射出成形により成形されたABS樹脂からなる平板状の第1のプレートおよび第2のプレートで、この第1のプレート11と第2のプレート12を向かい合わせて1組のパレット13を構成し、そしてこの第1のプレート11と第2のプレート12との間に光学部品14を挟み込んで保持するものである。   1 to 5, reference numerals 11 and 12 denote flat plate-like first and second plates made of ABS resin molded by injection molding, respectively, facing the first plate 11 and the second plate 12. Together, one set of pallets 13 is formed, and the optical component 14 is sandwiched and held between the first plate 11 and the second plate 12.

前記第1のプレート11と第2のプレート12には、光学部品14を保持する位置に、光学部品14の表面を露出させる第1の透孔15と第2の透孔16を設けている。そしてこの第1の透孔15と第2の透孔16には、パレットの外側に向かって広がるテーパーを設けている。   The first plate 11 and the second plate 12 are provided with a first through hole 15 and a second through hole 16 that expose the surface of the optical component 14 at a position where the optical component 14 is held. The first through hole 15 and the second through hole 16 are provided with a taper that widens toward the outside of the pallet.

また、前記第1の透孔15の周囲には、図2に示すように、第1の透孔15を取り囲むように複数の突起からなる第1の支持部17を第1のプレート11における光学部品14が接する側の面に設けている。そしてまた、これと同じように、第2の透孔16の周囲にも、図4に示すように、第2の透孔16を取り囲むように複数の突起からなる第2の支持部18を第2のプレート12における光学部品14が接する側の面に設けている。そして、これらの第1の支持部17を構成する突起と第2の支持部18を構成する突起は、図1に示すように、第1のプレート11と第2のプレート12を重ね合わせて光学部品14を収容した時に、光学部品14の周囲において互いに重ならないように交互に配置され、すなわち、第1の支持部17と第2の支持部18の先端部同士が突き当たらないような位置合わせがなされて、光学部品14の外周を側面から支持するようにしている。   Further, as shown in FIG. 2, a first support portion 17 composed of a plurality of protrusions is formed around the first through hole 15 so as to surround the first through hole 15. It is provided on the surface where the component 14 comes into contact. Similarly, as shown in FIG. 4, the second support portion 18 including a plurality of protrusions is also provided around the second through hole 16 so as to surround the second through hole 16. The second plate 12 is provided on the surface on the side where the optical component 14 contacts. Then, the protrusions constituting the first support part 17 and the protrusions constituting the second support part 18 are formed by superposing the first plate 11 and the second plate 12 as shown in FIG. When the components 14 are accommodated, they are alternately arranged so as not to overlap each other around the optical components 14, that is, such that the tip portions of the first support portion 17 and the second support portion 18 do not collide with each other. The outer periphery of the optical component 14 is supported from the side.

そしてまた、前記第1の支持部17と第2の支持部18は、図2、図4に示すように、それぞれ4個の突起により構成されているもので、これらの個々の突起の平面形状は、円形の光学部品14の周囲を8分割した円弧形状としている。そして、これらのそれぞれの突起の高さは光学部品14の外周部14aの厚みよりも僅かに高くして、光学部品14の外周部14aに第1のプレート11と第2のプレート12の圧力が加わらないようにしている。また、これらの突起の先端は、光学部品14の載置や対面する第1のプレート11と第2のプレート12の重ね合わせをスムーズに行うために面取りを施している。   The first support portion 17 and the second support portion 18 are each composed of four protrusions as shown in FIGS. 2 and 4, and the planar shape of these individual protrusions. Is a circular arc shape in which the circumference of the circular optical component 14 is divided into eight. The height of each of these protrusions is slightly higher than the thickness of the outer peripheral portion 14a of the optical component 14, and the pressure of the first plate 11 and the second plate 12 is applied to the outer peripheral portion 14a of the optical component 14. I try not to join. The tips of these protrusions are chamfered so that the optical component 14 is placed and the first plate 11 and the second plate 12 facing each other are smoothly stacked.

前記第1のプレート11と第2のプレート12の厚みは、第1のプレート11と第2のプレート12を重ね合わせることによりそれらの間に光学部品14を収容した時、第1の透孔15と第2の透孔16から露出した光学部品14の表面がパレット13の表面から突出して外部の物体と接触しないように、余裕を持たせた厚みとしている。   The thickness of the first plate 11 and the second plate 12 is such that when the optical component 14 is accommodated between the first plate 11 and the second plate 12 by superimposing the first plate 11 and the second plate 12, the first through hole 15. The surface of the optical component 14 exposed from the second through hole 16 has a sufficient thickness so as not to protrude from the surface of the pallet 13 and come into contact with an external object.

また、前記第1のプレート11と第2のプレート12における光学部品14が接する側の面には、図2、図4に示すように、光学部品14を収容した後、第1のプレート11と第2のプレート12を重ね合わせる位置を位置決めする位置決め手段19,20を設けている。なお、この位置決め手段19,20はお互いに嵌合する突起と凹部により構成されている。そしてまた、前記第1のプレート11と第2のプレート12における光学部品14が接する面と反対側の面には、図2、図3、図4、図5に示すように、複数のパレット13を積み重ねた時に、個々のパレット13がずれたり崩れたりしないように、位置ずれ防止手段21,22を設けている。   Further, as shown in FIGS. 2 and 4, after the optical component 14 is accommodated on the surface of the first plate 11 and the second plate 12 on the side where the optical component 14 contacts, Positioning means 19 and 20 are provided for positioning the position where the second plate 12 is overlapped. The positioning means 19 and 20 are constituted by protrusions and recesses that fit together. Further, a plurality of pallets 13 are provided on the surface of the first plate 11 and the second plate 12 opposite to the surface where the optical component 14 contacts, as shown in FIGS. Position misalignment prevention means 21 and 22 are provided so that the individual pallets 13 are not displaced or collapsed when stacked.

上記した第1のプレート11と第2のプレート12に光学部品14を収容する場合は、第1のプレート11と第2のプレート12の一方、例えば第1のプレート11を図1に示すように光学部品14が接する面が上面となるようにして置き、そして複数個の第1の支持部17で囲まれた所定の収容位置に光学部品14を載置し、その後、第1のプレート11における第1の支持部17と第2のプレート12における第2の支持部18の先端部同士が突き当たらないように位置合わせをして第2のプレート12を第1のプレート11に向かい合わせることにより、光学部品14を挟み込んで収容するようにしている。   When the optical component 14 is accommodated in the first plate 11 and the second plate 12 described above, one of the first plate 11 and the second plate 12, for example, the first plate 11 is shown in FIG. The optical component 14 is placed so that the surface on which the optical component 14 contacts is the upper surface, and the optical component 14 is placed at a predetermined accommodation position surrounded by the plurality of first support portions 17. By aligning the front end portions of the second support portions 18 of the first support portion 17 and the second plate 12 so that they do not collide with each other, the second plate 12 faces the first plate 11. The optical component 14 is sandwiched and accommodated.

次に、上記したパレット13に光学部品14を収容して光学部品14を製造する方法および包装する方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the optical component 14 by accommodating the optical component 14 in the pallet 13 and a method for packaging the optical component 14 will be described.

上記したパレット13に収容される光学部品14が例えばプラスチックレンズの場合は、射出成形およびゲートカットされた後にこのパレット13に多数個収容し、そしてこのままの状態で、多数個の光学部品14に一括して反射防止膜を形成する工程を行う。一方、ガラスレンズの場合は、プレス成形された後に本発明のパレット13に多数個収容し、そしてこのままの状態で、多数個の光学部品14に一括して反射防止膜を形成する工程を行う。   In the case where the optical component 14 accommodated in the pallet 13 is, for example, a plastic lens, a plurality of optical components 14 are accommodated in the pallet 13 after being injection-molded and gate-cut. Then, a step of forming an antireflection film is performed. On the other hand, in the case of a glass lens, a process of forming a plurality of antireflection films on a large number of optical components 14 in a state of being put in the pallet 13 of the present invention after being press-molded is performed.

なお、この反射防止膜は光学部品14の光透過効率を上げる目的の光学薄膜であって、パレット13から露出した光学部品14の表面に所望の被膜材料を真空蒸着、CVD、スパッタリング、イオンプレーティングなどの方法により形成する。   This antireflection film is an optical thin film for the purpose of increasing the light transmission efficiency of the optical component 14, and a desired coating material is vacuum-deposited, CVD, sputtering, ion plating on the surface of the optical component 14 exposed from the pallet 13. It is formed by the method.

上記反射防止膜の形成装置は、光学部品14に一様に被膜を形成するために、被膜材料の照射源に対してパレット13の角度を変化させつつパレット13を回転させながら被膜を形成する。   The antireflection film forming apparatus forms a film while rotating the pallet 13 while changing the angle of the pallet 13 with respect to the irradiation source of the film material in order to form a film uniformly on the optical component 14.

そして上記パレット13における片面側の光学部品14が露出した面に被膜を形成した後は、パレット13を反転させて反対側の面にも同様に被膜を形成する。   Then, after the coating is formed on the surface of the pallet 13 where the optical component 14 on one side is exposed, the pallet 13 is inverted and the coating is formed on the opposite surface in the same manner.

この反射防止膜を形成した後の光学部品14は、パレット13に収容した状態で仕掛かり品としてストックする。   The optical component 14 after the formation of the antireflection film is stocked as a work-in-process while being accommodated in the pallet 13.

次に、光学部品14の光学特性や外観を光学検査機や拡大鏡を用いて検査する検査工程を行う。この検査工程では、光学薄膜形成のときに使用したパレット13に光学部品14を収容したままの状態で、一括して検査機にかけて順次検査していく。また、外観検査においても、光学部品14をパレット13に収容した状態で拡大鏡を用いて順次光学部品14を検査する。   Next, an inspection process is performed for inspecting the optical characteristics and appearance of the optical component 14 using an optical inspection machine or a magnifier. In this inspection process, the optical components 14 are still accommodated in the pallet 13 used for forming the optical thin film, and the inspection is sequentially performed on an inspection machine. Also in the appearance inspection, the optical components 14 are sequentially inspected using a magnifying glass in a state where the optical components 14 are accommodated in the pallet 13.

次に、光学部品14を需要家に届けるために、光学部品14を包装する工程を行う。この包装工程では、前記光学薄膜形成および検査の工程で使用したパレット13に光学部品14を収容したままで包装を行うもので、光学部品14を収容した複数のパレット13を、その外表面に設けた位置ずれ防止手段21,22を互いに係合させて、相互の位置ずれを防止しつつ上下に積み重ね、ゴムバンド等で固定する。そしてこれをビニール袋に入れて封止し、緩衝材と共にダンボール箱に梱包し、出荷する。   Next, in order to deliver the optical component 14 to a consumer, a process of packaging the optical component 14 is performed. In this packaging process, packaging is performed while the optical component 14 is accommodated in the pallet 13 used in the optical thin film formation and inspection process, and a plurality of pallets 13 accommodating the optical component 14 are provided on the outer surface thereof. The misalignment prevention means 21 and 22 are engaged with each other, stacked vertically while being prevented from mutual misalignment, and fixed with a rubber band or the like. And this is put in a plastic bag, sealed, packed in a cardboard box together with a cushioning material, and shipped.

以上のようにして構成された本発明のパレット13を使用して光学部品14を製造、検査および包装したときの作用効果について、以下に説明する。   The effects of manufacturing, inspecting, and packaging the optical component 14 using the pallet 13 of the present invention configured as described above will be described below.

上記工程において、光学薄膜である反射防止膜を形成する際には、パレット13は熱にさらされるため、変形して第1のプレート11と第2のプレート12との間の隙間が拡大することがある。また、パレット13の取扱いの際においても、外力が加わって変形する場合や、取扱いの際に誤って第1のプレート11と第2のプレート12との間の隙間が開いてしまうことがある。   In the above process, when the antireflection film, which is an optical thin film, is formed, the pallet 13 is exposed to heat, so that it deforms and the gap between the first plate 11 and the second plate 12 is enlarged. There is. Further, when the pallet 13 is handled, the gap between the first plate 11 and the second plate 12 may be opened when an external force is applied and the pallet 13 is deformed or when the pallet 13 is handled.

このとき、図7に示した従来のパレット1を使用した場合は、光学部品5の外周部5aの厚み以上の隙間が開いてしまうと、光学部品5が所定の収容位置から逸脱し、その隙間に嵌まり込んでしまう。この場合、特に厚みの薄い光学部品5に対して位置ずれが起こり易い。このような状態で光学薄膜である反射防止膜を形成すると、反射防止膜形成領域がずれてしまい必要な箇所に形成できないものである。   At this time, when the conventional pallet 1 shown in FIG. 7 is used, if a gap larger than the thickness of the outer peripheral portion 5a of the optical component 5 is opened, the optical component 5 deviates from a predetermined accommodation position, and the gap Will fit in. In this case, the positional deviation is likely to occur particularly with respect to the optical component 5 having a small thickness. If an antireflection film, which is an optical thin film, is formed in such a state, the antireflection film formation region shifts and cannot be formed at a necessary location.

しかるに、本発明の実施の形態1におけるパレット13を使用した場合には、当初から第1、第2の支持部17,18の高さだけ第1のプレート11と第2のプレート12との間に隙間があるが、第1の支持部17の突起と第2の支持部18の突起が互い違いに光学部品14の周囲を支持しているために、第1、第2の支持部17,18の高さと光学部品14の外周部14aの厚みの合計以上に第1のプレート11と第2のプレート12との間の隙間が開いてしまわないと、光学部品14は逸脱することはできないものである。   However, when the pallet 13 according to the first embodiment of the present invention is used, the height between the first plate 11 and the second plate 12 is the same as that of the first and second support portions 17 and 18 from the beginning. However, since the projections of the first support portion 17 and the projections of the second support portion 18 support the periphery of the optical component 14 alternately, the first and second support portions 17 and 18 are provided. If the gap between the first plate 11 and the second plate 12 is not larger than the sum of the height of the optical component 14 and the thickness of the outer peripheral portion 14a of the optical component 14, the optical component 14 cannot deviate. is there.

上記のように、本発明の実施の形態1においては、光学部品14がパレット13内で所定の収容位置から逸脱するのを効果的に防止しているもので、光学薄膜である反射防止膜の形成時、検査時、包装時に光学部品14の位置ずれによる不具合は生じにくいものである。   As described above, in the first embodiment of the present invention, the optical component 14 is effectively prevented from deviating from a predetermined accommodation position in the pallet 13, and the antireflection film that is an optical thin film is used. Inconvenience due to misalignment of the optical component 14 is less likely to occur during formation, inspection, and packaging.

また、パレット13から光学部品14を取り出す場合、どちらの面を上にして第1のプレート11と第2のプレート12を開いても、光学部品14が下側のプレートの支持部によりその位置が保持されているため、光学部品14の整列状態が崩れることはなく、そのため、再び第1のプレート11と第2のプレート12を重ね合わせて収容する場合も容易に行えるものである。   Further, when the optical component 14 is taken out from the pallet 13, the position of the optical component 14 is lowered by the support portion of the lower plate, regardless of which surface is opened, and the first plate 11 and the second plate 12 are opened. Since the optical component 14 is held, the alignment state of the optical component 14 is not lost, and therefore, the first plate 11 and the second plate 12 can be easily accommodated by overlapping them.

そしてまた、パレット13を開いた状態で、光学部品14をその収容位置に載置する場合も、第1、第2の支持部17,18を形成する複数個の突起の間の空間が光学部品14を掴むための治具逃げ部の空間を形成しているため、ピンセットなどの治具を用いて光学部品14をその載置位置で掴んだり離したりでき、これにより、光学部品14を正確な位置に載置することができるものである。さらに、第1のプレート11と第2のプレート12を重ね合わせた時、前述した治具逃げ部の空間はそれぞれに設けた第1の支持部17と第2の支持部18により塞がれる配置となっている。   In addition, even when the optical component 14 is placed in the accommodation position with the pallet 13 opened, the space between the plurality of protrusions forming the first and second support portions 17 and 18 is the optical component. Since the space of the jig escape portion for gripping 14 is formed, the optical component 14 can be gripped or separated at the mounting position by using a jig such as tweezers. It can be placed at a position. Furthermore, when the 1st plate 11 and the 2nd plate 12 are piled up, the space of the jig | tool escape part mentioned above is block | closed by the 1st support part 17 and the 2nd support part 18 which were provided, respectively. It has become.

また、本発明の実施の形態1におけるパレット13は、光学薄膜である反射防止膜の形成から包装および出荷まで、一貫して同一のパレット13に収容して行うことができるため、光学部品14を移し替える作業を無くすることができるとともに、移し替え時の傷の発生も防止することができ、さらには別途包装用のパレットを準備する必要もなくなるものである。   Moreover, since the pallet 13 in Embodiment 1 of this invention can be accommodated in the same pallet 13 consistently from formation of an antireflection film which is an optical thin film to packaging and shipment, the optical component 14 is provided. The work of transferring can be eliminated, the occurrence of scratches at the time of transferring can be prevented, and further, there is no need to prepare a separate pallet for packaging.

以上のように本発明の実施の形態1におけるパレット13は、光学薄膜である反射防止膜の形成工程から包装工程において、光学部品14が所定の位置から逸脱するのを効果的に防止することができるものである。   As described above, the pallet 13 according to Embodiment 1 of the present invention can effectively prevent the optical component 14 from deviating from a predetermined position in the packaging process from the formation process of the antireflection film that is an optical thin film. It can be done.

なお、上記本発明の実施の形態1においては、第1のプレート11と第2のプレート12の材料としてABS樹脂を用いているが、ポリカーボネートやPPEなどの他の樹脂材料または金属材料でも同じ結果が得られるものである。この場合、樹脂材料を使用した場合には、光学部品14を傷つけにくいという利点と、包装して輸送する際に軽いという利点がある。また、樹脂材料の耐熱温度を超える温度で光学薄膜である反射防止膜を形成する必要がある場合には金属材料などを使う必要がある。そしてまた、光学部品14と熱膨張率が近い材質を使用した場合には、光学部品14の光学薄膜である反射防止膜の形成領域の熱膨張による寸法変化に、第1の透孔15と第2の透孔16の寸法変化を追随させることができるため、光学薄膜である反射防止膜を形成する位置精度が向上するものである。   In the first embodiment of the present invention, the ABS resin is used as the material of the first plate 11 and the second plate 12, but the same result is obtained with other resin materials or metal materials such as polycarbonate and PPE. Is obtained. In this case, when a resin material is used, there are an advantage that the optical component 14 is hardly damaged and an advantage that it is light when packaged and transported. Further, when it is necessary to form an antireflection film that is an optical thin film at a temperature exceeding the heat resistance temperature of the resin material, it is necessary to use a metal material or the like. In addition, when a material having a thermal expansion coefficient close to that of the optical component 14 is used, the first through hole 15 and the first aperture 15 are affected by a dimensional change due to thermal expansion in the formation region of the antireflection film that is an optical thin film of the optical component 14. Since the dimensional change of the two through-holes 16 can be followed, the positional accuracy for forming the antireflection film, which is an optical thin film, is improved.

また、上記本発明の実施の形態1においては、第1の支持部17を構成する突起と第2の支持部18を構成する突起の形状を、光学部品14の外周を8分割する円弧形状としているが、その分割数は8分割に限定されるものではない。   In the first embodiment of the present invention, the shape of the protrusions constituting the first support portion 17 and the protrusions constituting the second support portion 18 is an arc shape that divides the outer periphery of the optical component 14 into eight. However, the number of divisions is not limited to eight divisions.

例えば、光学部品14の外周を4分割する突起とした場合には、第1の支持部17と第2の支持部18は、それぞれ向かい合う一対の突起から構成される。この場合は、パレット13を開いたときに、それぞれの治具逃げ部の幅が8分割の場合に比べて大きく取れるため、光学部品14の寸法が微細な場合に有効であるが、この場合は、この治具逃げ部を通って光学部品14が水平方向に逸脱しないような寸法設計にする必要がある。   For example, when the outer periphery of the optical component 14 is divided into four projections, the first support portion 17 and the second support portion 18 are each composed of a pair of projections facing each other. In this case, when the pallet 13 is opened, the width of each jig escape portion can be made larger than in the case of dividing into 8 parts, so that it is effective when the dimension of the optical component 14 is fine. It is necessary to design the dimensions so that the optical component 14 does not deviate in the horizontal direction through the jig escape portion.

また、光学部品14の外周を6分割する突起とした場合には、第1の支持部17と第2の支持部18は、それぞれ、光学部品14の外周を3方向から支持する3つの突起から構成される。この場合は、光学部品14が水平方向に逸脱するおそれがないため、光学部品14の位置固定のためには、光学部品14の外周を6分割以上にする突起とすれば良い。   Further, in the case where the outer periphery of the optical component 14 is divided into six projections, the first support portion 17 and the second support portion 18 are respectively formed from three protrusions that support the outer periphery of the optical component 14 from three directions. Composed. In this case, since there is no possibility that the optical component 14 deviates in the horizontal direction, in order to fix the position of the optical component 14, the outer periphery of the optical component 14 may be a projection that is divided into six or more parts.

(実施の形態2)
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項2に記載の発明について説明する。
(Embodiment 2)
The second aspect of the present invention will be described below with reference to the second embodiment.

図6は本発明の実施の形態2におけるパレットに光学部品を収容した状態の部分拡大断面図である。   FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which the optical component is accommodated in the pallet according to Embodiment 2 of the present invention.

本発明の実施の形態2においては、上記した本発明の実施の形態1と同一部品については同一番号を付してその説明は省略し、上記本発明の実施の形態1と異なる点のみを説明する。   In the second embodiment of the present invention, the same parts as those in the first embodiment of the present invention described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Only the differences from the first embodiment of the present invention will be described. To do.

すなわち、本発明の実施の形態2におけるパレットは、図6に示すように、第2のプレート12に設けられた第2の支持部18を構成する突起と対向するように、第1のプレート11に凹部23を設け、そして第2のプレート12における第2の支持部18を構成する突起の先端部を第1のプレート11における凹部23の内部まで延伸させて入り込ませているものである。   That is, as shown in FIG. 6, the pallet according to the second embodiment of the present invention has the first plate 11 so as to face the protrusions constituting the second support portion 18 provided on the second plate 12. The concave portion 23 is provided in the second plate 12, and the tip end portion of the protrusion constituting the second support portion 18 in the second plate 12 extends into the concave portion 23 in the first plate 11 and is inserted.

また、図示はしていないが、上記とは逆に、第1のプレート11に設けられた第1の支持部17を構成する突起と対向するように、第2のプレート12に凹部を設け、そして第1のプレート11における第1の支持部17を構成する突起の先端部を第2のプレート12における凹部の内部まで延伸させて入り込ませても良いものである。   Although not shown, conversely to the above, the second plate 12 is provided with a recess so as to face the protrusions constituting the first support portion 17 provided on the first plate 11. And the front-end | tip part of the processus | protrusion which comprises the 1st support part 17 in the 1st plate 11 may be extended and inserted into the inside of the recessed part in the 2nd plate 12. FIG.

上記のように構成することにより、第1の支持部17と第2の支持部18を構成する突起の高さを光学部品14の外周部14aの高さよりも十分に高くすることができるため、光学部品14は収容位置からさらに逸脱しにくくなるものである。また、第1のプレート11と第2のプレート12間の隙間は当初の状態から、突起の高さと凹部23の深さと光学部品14の外周部14aの厚みの合計以上に増加しなければ光学部品14が逸脱することはないため、光学部品14の収容位置からの逸脱をさらに効果的に防止することができるものである。   By configuring as described above, the height of the protrusions constituting the first support portion 17 and the second support portion 18 can be made sufficiently higher than the height of the outer peripheral portion 14a of the optical component 14, The optical component 14 is more difficult to deviate from the storage position. If the gap between the first plate 11 and the second plate 12 does not increase from the initial state to the sum of the height of the protrusion, the depth of the recess 23, and the thickness of the outer peripheral portion 14a of the optical component 14, the optical component. Since 14 does not deviate, the deviation of the optical component 14 from the accommodation position can be more effectively prevented.

本発明に係るパレットは、外力や光学薄膜形成時に加わる熱によりパレットが変形して一対のプレート間に隙間が発生したとしても、光学部品がプレートの透孔から逸脱してその隙間に入るということはなくなり、これにより、光学部品を常に所定の収容位置に保持することができるという効果を有し、各種光学部品を製造および包装する際に有用となるものである。   In the pallet according to the present invention, even if the pallet is deformed by an external force or heat applied during the formation of the optical thin film and a gap is generated between the pair of plates, the optical component deviates from the through hole of the plate and enters the gap. Thus, the optical component can be held at a predetermined accommodation position at all times, which is useful when manufacturing and packaging various optical components.

本発明の実施の形態1におけるパレットに光学部品を収容した状態の部分拡大断面図The partial expanded sectional view of the state which accommodated the optical component in the pallet in Embodiment 1 of this invention 同パレットを構成する第1のプレートの光学部品に接する面を上面とした斜視図The perspective view which made the surface which touches the optical component of the 1st plate which comprises the pallet the upper surface 同パレットを構成する第1のプレートの光学部品に接する面を下面とした斜視図The perspective view which made the surface which touches the optical component of the 1st plate which comprises the pallet the lower surface 同パレットを構成する第2のプレートの光学部品に接する面を上面とした斜視図The perspective view which made the surface which touches the optical component of the 2nd plate which comprises the pallet the upper surface 同パレットを構成する第2のプレートの光学部品に接する面を下面とした斜視図The perspective view which made the surface which touches the optical component of the 2nd plate which comprises the pallet the lower surface 本発明の実施の形態2におけるパレットに光学部品を収容した状態の部分拡大断面図Partial expanded sectional view of the state which accommodated the optical component in the pallet in Embodiment 2 of this invention 従来のパレットに光学部品を収容した状態の部分拡大断面図Partial enlarged sectional view of a state where optical components are housed in a conventional pallet

符号の説明Explanation of symbols

11 第1のプレート
12 第2のプレート
13 パレット
14 光学部品
15 第1の透孔
16 第2の透孔
17 第1の支持部
18 第2の支持部
19,20 位置決め手段
21,22 位置ずれ防止手段
23 凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 1st plate 12 2nd plate 13 Pallet 14 Optical component 15 1st through-hole 16 2nd through-hole 17 1st support part 18 2nd support part 19,20 Positioning means 21,22 Prevention of position shift Means 23 Recess

Claims (9)

板状の第1のプレートと板状の第2のプレートを重ね合わせることにより、それらの間に光学部品を保持するパレットであって、前記第1のプレートは、光学部品を保持する際にその表面の一部を露出させる第1の透孔と、この第1の透孔を取り囲む複数の突起からなる第1の支持部とを有し、かつ前記第2のプレートは、光学部品を保持する際にその表面の一部を露出させる第2の透孔と、この第2の透孔を取り囲む複数の突起からなる第2の支持部とを有し、前記第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせた時、前記第1の支持部と第2の支持部の先端部同士が突き当たらないような位置合わせをして、光学部品の外周を側面から支持するようにしたパレット。 A pallet for holding an optical component between the plate-shaped first plate and the plate-shaped second plate by superimposing the plate-shaped first plate, the first plate being The first plate has a first through hole that exposes a part of the surface, and a first support portion that includes a plurality of protrusions surrounding the first through hole, and the second plate holds an optical component. The first plate and the second plate having a second through hole that exposes a part of the surface thereof and a second support portion comprising a plurality of protrusions surrounding the second through hole. A pallet that is positioned so that the tip portions of the first support portion and the second support portion do not collide with each other when the two are stacked, and the outer periphery of the optical component is supported from the side. 第1のプレートと第2のプレートのうち、一方のプレートに、第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせた時、他方のプレートに設けられた支持部を構成する突起が入り込む凹部を設けた請求項1記載のパレット。 One of the first plate and the second plate is provided with a recess into which one of the plates, when the first plate and the second plate are overlapped, is inserted into a protrusion that constitutes a support portion provided on the other plate. The pallet according to claim 1. 第1のプレートと第2のプレートを重ね合わせることによりそれらの間に光学部品を保持した時、前記第1のプレートと第2のプレートの表面から光学部品が透孔を通して突出しない厚みに第1のプレートと第2のプレートを構成した請求項1記載のパレット。 When the optical component is held between them by superimposing the first plate and the second plate, the first plate has a thickness such that the optical component does not protrude from the surface of the first plate and the second plate through the through hole. The pallet according to claim 1, wherein the plate and the second plate are configured. 第1のプレートおよび第2のプレートにおける複数の突起からなる第1の支持部および第2の支持部において、前記第1の支持部および第2の支持部を構成する複数の突起の間に、光学部品をプレートに載置する際に光学部品を掴むための治具逃げ部を設けた請求項1記載のパレット。 In the first support part and the second support part, which are composed of a plurality of protrusions in the first plate and the second plate, between the plurality of protrusions constituting the first support part and the second support part, The pallet according to claim 1, further comprising a jig escape portion for gripping the optical component when the optical component is placed on the plate. 第1のプレートおよび第2のプレートを樹脂で構成した請求項1記載のパレット。 The pallet according to claim 1, wherein the first plate and the second plate are made of resin. パレットに、複数個のパレットを積み重ねた時の位置ずれ防止手段を備えた請求項1記載のパレット。 The pallet according to claim 1, further comprising means for preventing misalignment when a plurality of pallets are stacked on the pallet. 請求項1に記載のパレットに光学部品を収容した状態で前記光学部品の露出した面に光学薄膜を形成し、その後、前記光学部品の露出した面を検査するようにした光学部品の製造方法。 An optical component manufacturing method in which an optical thin film is formed on an exposed surface of the optical component in a state where the optical component is housed in the pallet according to claim 1, and then the exposed surface of the optical component is inspected. 請求項1に記載のパレットに光学部品を収容した状態で前記光学部品に光学薄膜を形成し、かつこの状態で包装を行うようにした光学部品の包装体。 An optical component packaging body in which an optical thin film is formed on the optical component in a state where the optical component is housed in the pallet according to claim 1 and packaging is performed in this state. 請求項1に記載のパレットに光学部品を収容した光学部品の収容体。 An optical component container in which an optical component is accommodated in the pallet according to claim 1.
JP2005357412A 2005-12-12 2005-12-12 Pallet, optical component manufacturing method using the pallet, optical component packaging body and container Expired - Fee Related JP4811008B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005357412A JP4811008B2 (en) 2005-12-12 2005-12-12 Pallet, optical component manufacturing method using the pallet, optical component packaging body and container

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005357412A JP4811008B2 (en) 2005-12-12 2005-12-12 Pallet, optical component manufacturing method using the pallet, optical component packaging body and container

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007161278A true JP2007161278A (en) 2007-06-28
JP4811008B2 JP4811008B2 (en) 2011-11-09

Family

ID=38244626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005357412A Expired - Fee Related JP4811008B2 (en) 2005-12-12 2005-12-12 Pallet, optical component manufacturing method using the pallet, optical component packaging body and container

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4811008B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009202883A (en) * 2008-02-26 2009-09-10 Konica Minolta Opto Inc Lens unit storing tray
WO2011122173A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-06 コニカミノルタオプト株式会社 Tray, housing structure for optical products, and housing method for optical products
JP2015016870A (en) * 2013-07-09 2015-01-29 三甲株式会社 Tray, and storage structure of workpiece using tray
CN109421987A (en) * 2017-08-30 2019-03-05 株式会社岛津制作所 Supporting plate used for optical elements and bale packing container

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08158049A (en) * 1994-11-30 1996-06-18 Olympus Optical Co Ltd Cleaning pallet
JP2001348080A (en) * 2000-04-04 2001-12-18 Nissin Kohki Co Ltd Product housing container
JP2004182297A (en) * 2002-12-04 2004-07-02 Shinon Denki Sangyo Kk Tray for semiconductor integrated circuit
JP2004315014A (en) * 2003-04-15 2004-11-11 Hitachi Maxell Ltd Tray, and method for treating optical product

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08158049A (en) * 1994-11-30 1996-06-18 Olympus Optical Co Ltd Cleaning pallet
JP2001348080A (en) * 2000-04-04 2001-12-18 Nissin Kohki Co Ltd Product housing container
JP2004182297A (en) * 2002-12-04 2004-07-02 Shinon Denki Sangyo Kk Tray for semiconductor integrated circuit
JP2004315014A (en) * 2003-04-15 2004-11-11 Hitachi Maxell Ltd Tray, and method for treating optical product

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009202883A (en) * 2008-02-26 2009-09-10 Konica Minolta Opto Inc Lens unit storing tray
WO2011122173A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-06 コニカミノルタオプト株式会社 Tray, housing structure for optical products, and housing method for optical products
CN102933470A (en) * 2010-03-31 2013-02-13 柯尼卡美能达先进多层薄膜株式会社 Tray, housing structure for optical products, and housing method for optical products
JP2015016870A (en) * 2013-07-09 2015-01-29 三甲株式会社 Tray, and storage structure of workpiece using tray
CN109421987A (en) * 2017-08-30 2019-03-05 株式会社岛津制作所 Supporting plate used for optical elements and bale packing container
CN109421987B (en) * 2017-08-30 2020-08-07 株式会社岛津制作所 Pallet for optical element and packaging container

Also Published As

Publication number Publication date
JP4811008B2 (en) 2011-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4811008B2 (en) Pallet, optical component manufacturing method using the pallet, optical component packaging body and container
JP2008308192A (en) Electronic-component packaging tray
JP2006076617A (en) Storage tray and storing device
JP2004315014A (en) Tray, and method for treating optical product
JP2011131940A (en) Substrate-storing body container, film coated glass substrate-storing body, mask blank-storing body, and transfer mask-storing body
KR100748455B1 (en) Optical element reception case
WO2012147532A1 (en) Packaging structure and packaging method
US20200377289A1 (en) Packaging member for cleaning blades
JP2006273400A (en) Optical element storage case
JP5210142B2 (en) Gear storage tray and storage body
JP2008007175A (en) Shock absorbing packing body and packing method
JP2005088995A (en) Tray for electronic component
JP6357898B2 (en) Packing method for plate
JP4801981B2 (en) Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body
JP7183731B2 (en) Tray, work package, and work packing method
JP5609548B2 (en) Semiconductor chip tray and semiconductor chip transfer method
JP5358416B2 (en) Substrate transfer method
JP5316448B2 (en) Optical element packaging method and optical element package
JP6501723B2 (en) Support tray
JP2013151313A (en) Storage container
JP2010269853A (en) Storage tray and storage body
WO2011122173A1 (en) Tray, housing structure for optical products, and housing method for optical products
JP2011063316A (en) Holding board of circular fluorescent lamp and packaging structure of circular fluorescent lamp
JP4567348B2 (en) Optical component storage method
JP2001097474A (en) Electronic component storage tray

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080806

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110111

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110301

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110726

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110808

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140902

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees