JP2007158095A

JP2007158095A - Load port

Info

Publication number: JP2007158095A
Application number: JP2005352235A
Authority: JP
Inventors: Tatsuhiko Nagata; 龍彦永田; Hiroshi Ito; 伊藤　　博; Hiroyuki Sakurai; 浩之桜井; Makoto Okuno; 誠奥野; Masaru Seki; 優関
Original assignee: Right Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Right Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2005-12-06
Filing date: 2005-12-06
Publication date: 2007-06-21
Anticipated expiration: 2025-12-06
Also published as: WO2007066690A1; JP4856420B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a load port capable of smoothly driving a door member under simple control, reducing man-hour for alignment work, and further supporting the door member so as not to absolutely change a position with respect to a saving direction when driving the door member in an opening/closing direction of a lid body. <P>SOLUTION: Within a first range DZ of a driving stroke, driving power of a driving power supplier 120 is transported to a saving direction moving mechanism 130, and a door member 103 is moved in a saving direction different from an opening/closing direction of a lid body P3. Furthermore, within a second range DX of the driving stroke, the driving power of the driving power supplier 120 is transported to an opening/closing direction moving mechanism 140, and the door member 103 is moved in the opening/closing direction. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体ウエハを搬送容器の蓋体を開閉駆動するロードポートに関するものである。 The present invention relates to a load port for opening and closing a lid of a transfer container for a semiconductor wafer.

従来から、ロードポートは、半導体ウエハを搬送するＦＯＵＰ（ＦＲＯＮＴＯＰＥＮＩＮＧＵＮＩＦＩＥＤＰＯＤ）等の搬送容器の蓋体を、扉部材に着脱可能に保持させ、さらに水平方向及び垂直方向の２方向に移動することにより、蓋体の開閉駆動をしていた。ロードポートは、扉部材の２方向の移動を、各方向に移動させるエアシリンダ、モータ等のアクチュエータと、各方向に移動させる移動機構とを設けた２軸駆動による駆動装置により行っていた（例えば、特許文献１）。
しかし、この駆動装置には、以下の問題があった。
（１）扉部材の移動は、蓋体に付着した微細なゴミが落下しないように行う必要があるので、駆動装置は、水平方向及び垂直方向の方向を変換するときの動作を、滑らかにする必要があり、制御が複雑であった。
（２）このような２軸駆動では、センサ等によって扉部材の高さを検出し、モータ等によって扉部材を垂直方向に移動、支持しなければならない。このため、機械のガタ、経時変化等によるズレがある場合、扉部材の垂直方向の高さが不安定になり、扉部材を水平方向に移動しているときに、蓋体の扉部材への着脱を、うまく行えない場合があった。
（３）駆動装置は、各方向への独立した移動機構を備えるため、構造が複雑であり、経時変化にともなう各部品のひずみ、ズレ等にともない、複雑なアライメントが必要であった。
（４）駆動装置は、各方向にアクチュエータと移動機構とを備えるため、コスト高であった。
特開平１１−２８８９９１号公報 Conventionally, a load port has a lid member of a transfer container such as FOUP (FRONT OPENING UNIFIED POD) that transfers a semiconductor wafer detachably held by a door member, and further moves in two directions, a horizontal direction and a vertical direction. Thus, the lid was opened and closed. The load port has moved the door member in two directions by a two-axis drive device provided with an actuator such as an air cylinder and a motor that moves in each direction and a moving mechanism that moves in each direction (for example, Patent Document 1).
However, this drive device has the following problems.
(1) Since the movement of the door member needs to be performed so that fine dust attached to the lid body does not fall, the driving device smoothes the operation when changing the horizontal direction and the vertical direction. It was necessary and the control was complicated.
(2) In such a biaxial drive, the height of the door member must be detected by a sensor or the like, and the door member must be moved and supported in the vertical direction by a motor or the like. For this reason, when there is a shift due to machine play, aging, etc., the vertical height of the door member becomes unstable, and when the door member is moving in the horizontal direction, In some cases, it was difficult to attach and detach.
(3) Since the driving device includes an independent moving mechanism in each direction, the structure is complicated, and complicated alignment is necessary in accordance with the distortion and displacement of each part with time.
(4) Since the drive device includes an actuator and a moving mechanism in each direction, the cost is high.
JP-A-11-288991

本発明の課題は、扉部材を容易な制御により滑らかに駆動することができ、また、アライメント作業の手間を減らすことができ、さらに、扉部材を、蓋体の開閉方向に駆動するときに、退避方向に対する位置が絶対的に変化しないように支持できるロードポートを提供することである。 The problem of the present invention is that the door member can be driven smoothly by easy control, the labor of alignment work can be reduced, and further, when the door member is driven in the opening and closing direction of the lid, To provide a load port that can be supported so that the position in the retreat direction does not change absolutely.

前記課題を解決するために、請求項１の発明は、半導体ウエハを搬送する搬送容器の蓋体（Ｐ３）が着脱可能に取り付けられる扉部材と、駆動力を供給する１つの駆動力供給部（１２０，２２０，３２０）と、前記扉部材（１０３）が設けられ、蓋体（Ｐ３）の開閉方向に移動する開閉方向移動機構（１４０）と、前記開閉方向移動機構（１４０）が接続され、前記開閉方向とは異なる退避方向に移動する退避方向移動機構（１３０）と、前記駆動力供給部（１２０，２２０，３２０）からの駆動力を、駆動ストロークの第１の範囲（ＤＺ）で前記退避方向移動機構（１３０）に伝達し、駆動ストロークの第２の範囲（ＤＸ）で前記開閉方向移動機構（１４０）に伝達する駆動力伝達部（１５０，１５１，１５２，２５１，２５２，３５１，３５２）と、を備えるロードポートである。 In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 is directed to a door member to which a lid (P3) of a transport container for transporting a semiconductor wafer is detachably attached, and one driving force supply section for supplying a driving force ( 120, 220, 320), the door member (103) is provided, the opening / closing direction moving mechanism (140) moving in the opening / closing direction of the lid (P3), and the opening / closing direction moving mechanism (140) are connected, The driving force from the retracting direction moving mechanism (130) that moves in a retracting direction different from the opening / closing direction and the driving force supply unit (120, 220, 320) is expressed in the first range (DZ) of the driving stroke. Driving force transmission units (150, 151, 152, 251, 252, 351, which transmit to the retracting direction moving mechanism (130) and transmit to the opening / closing direction moving mechanism (140) in the second range (DX) of the driving stroke. And 52), a load port comprising a.

請求項２の発明は、請求項１に記載のロードポートにおいて、前記駆動力伝達部（１５０，１５１，１５２，２５１，２５２，３５１，３５２）は、前記第１の範囲（ＤＺ）で、伝達された駆動力を前記退避方向移動機構（１３０）の前記退避方向へと伝達し、前記第２の範囲（ＤＸ）で、前記伝達された駆動力を回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）を中心とした回転力に変換しさらに前記開閉方向に変換して前記開閉方向移動機構（１４０）に伝達すること、を特徴とするロードポートである。
請求項３の発明は、請求項２に記載のロードポートにおいて、前記駆動力伝達部（１５０，１５１，１５２，２５１，２５２，３５１，３５２）は、前記伝達された駆動力により、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）を中心として回転する第１アーム（１５１ｂ，２５１ｂ，３５１ｂ）と、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）を中心として前記第１アーム（１５１ｂ，２５１ｂ，３５１ｂ）と一体で回転する第２アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｂ）とを有し、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）を介して前記退避方向移動機構（１３０）に前記駆動力供給部（１２０，２２０，３２０）からの駆動力を伝達し、前記第１の範囲（ＤＺ）で、前記第２アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｂ）の前記回転を制約する回転制約ガイド部（１５２ａ，２５２，３５２）と、前記第２の範囲（ＤＸ）で、前記第２アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｂ）の前記回転の制約を解除する回転ガイド部（１５２ｂ，２５２，３５２）とを備えること、前記退避方向移動機構（１３０）は、前記第１の範囲（ＤＺ）で、前記第１アーム（１５１ｂ，２５１ｂ，３５１ｂ）の回転が前記第２アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｂ）及び回転制約ガイド部（１５２ａ，２５２，３５２）により制約されることにより、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）の回転が制約され、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）を介して前記退避方向への駆動力が伝達され、前記扉部材（１０３）を前記退避方向に移動し、前記第２の範囲（ＤＸ）で、前記第１アーム（１５１ｂ，２５１ｂ，３５１ｂ）の回転の制約が前記第２アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｂ）及び前記回転ガイド部（１５２ｂ，２５２，３５２）により解除され、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）が所定の位置で回転することにより、前記扉部材（１０３）の前記退避方向の移動を停止すること、を特徴とするロードポートである。
請求項４の発明は、請求項３に記載のロードポートにおいて、前記駆動力伝達部（１５０，１５１，１５２，２５１，２５２，３５１，３５２）は、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）を中心として前記第１アーム（１５１ｂ，２５１ｂ，３５１ｂ）と一体で回転する第３アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｈ）とを有し、前記開閉方向移動機構（１４０）は、前記第２の範囲（ＤＸ）で、前記第１アーム（１５１ｂ，２５１ｂ，３５１ｂ）の回転の制約が前記第２アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｂ）及び前記回転ガイド部（１５２ｂ，２５２，３５２）により解除され、前記第１アーム（１５１ｂ，２５１ｂ，３５１ｂ）と一体で前記第３アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｈ）が回転し、前記第３アーム（１５１ｄ，２５１ｄ，３５１ｈ）の回転力が前記開閉方向の駆動力に変換されて伝達され、前記扉部材（１０３）を前記開閉方向に移動すること、を特徴とするロードポートである。
請求項５の発明は、請求項４に記載のロードポートにおいて、前記第２アーム（１５１ｄ，２５１ｄ）と前記第３アーム（１５１ｄ，２５１ｄ）とを兼用すること、を特徴とするロードポートである。
請求項６の発明は、請求項３に記載のロードポートにおいて、前記第２アームは、カムフォロア（１５１ｅ，２５１ｅ，３５１ｅ）が設けられ、回転制約ガイド部（１５２ａ，２５２，３５２）及び前記回転ガイド部（１５２ｂ，２５２，３５２）は、前記カムフォロア（１５１ｅ，２５１ｅ，３５１ｅ）をガイドするカム（１５１ｄ，１５１ｅ）であること、を特徴とするロードポートである。
請求項７の発明は、請求項６に記載のロードポートにおいて、前記カム（１５１ｄ）の形状は、前記回転軸（１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ）と前記カムフォロア（１５１ｅ，２５１ｅ，３５１ｅ）との間の長さ（Ｒ２−Ｒ４）を半径（Ｒ３）とする円弧であること、を特徴とするロードポートである。
請求項８の発明は、請求項６に記載のロードポートにおいて、前記開閉方向は、水平方向であり、前記回転ガイド部（１５２ｂ，２５２，３５２）は、形状が鉛直面上の円弧であり、前記円弧が前記カムフォロア（１５１ｅ，２５１ｅ，３５１ｅ）の下側に接して前記カムフォロア（１５１ｅ，２５１ｅ，３５１ｅ）をガイドし、蓋体（Ｐ３）の開閉位置で、前記円弧の前記カムフォロア（１５１ｅ，２５１ｅ，３５１ｅ）と接する点の接線が略水平であること、を特徴とするロードポートである。
請求項９の発明は、請求項１に記載のロードポートにおいて、前記駆動力供給部（１２０，２２０，３２０）は、回転力を発生する回転駆動源（１２２，２２２，３２２）と、前記回転駆動源（１２２，２２２，３２２）と前記駆動力伝達部（１５０，１５１，１５２，２５１，２５２，３５１，３５２）と間の少なくとも一部に、前記回転駆動源（１２２，２２２，３２２）の回転力を前記退避方向への駆動力に変換する変換機構（１２４，１２３，１２６ａ，２２３，３２４等）と、を備えることを特徴とするロードポートである。
請求項１０の発明は、請求項９に記載のロードポートにおいて、前記回転駆動源（１２２，２２２，３２２）は、ＡＣモータ、ＤＣモータ、サーボモータ又はステップモータであること、を特徴とするロードポートである。
請求項１１の発明は、請求項９に記載のロードポートにおいて、前記変換機構は、ボールネジ（１２３，１２６ａ）、送りネジ、ワイヤ部材又はベルト部材を備えること、を特徴とするロードポートである。
請求項１２の発明は、請求項１に記載のロードポートにおいて、前記駆動力供給部（１２０，２２０，３２０）は、前記退避方向への力を発生する直動駆動源を備えること、を特徴とするロードポートである。
請求項１３の発明は、請求項１２に記載のロードポートにおいて、前記直動駆動源は、油圧若しくは空圧によるシリンダ駆動による駆動源、又はリニアモータであること、を特徴とするロードポートである。 According to a second aspect of the present invention, in the load port according to the first aspect, the driving force transmission portion (150, 151, 152, 251, 252, 351, 352) transmits within the first range (DZ). The transmitted driving force is transmitted in the retracting direction of the retracting direction moving mechanism (130), and the transmitted driving force is centered on the rotation shaft (151a, 251a, 351a) in the second range (DX). The load port is characterized in that it is converted into a rotational force and further converted into the opening / closing direction and transmitted to the opening / closing direction moving mechanism (140).
According to a third aspect of the present invention, in the load port according to the second aspect, the driving force transmission portion (150, 151, 152, 251, 252, 351, 352) is configured so that the rotating shaft is rotated by the transmitted driving force. (151a, 251a, 351a) and a first arm (151b, 251b, 351b) that rotates about the rotation axis (151a, 251a, 351a) and the first arm (151b, 251b, 351b) as a center And a second arm (151d, 251d, 351b) that rotates at a position of the driving force supply unit (120, 220, 351b) to the retraction direction moving mechanism (130) via the rotation shaft (151a, 251a, 351a). 320), and the rotation of the second arm (151d, 251d, 351b) in the first range (DZ). Rotation restriction guide portions (152a, 252, 352) to be restricted, and rotation guide portions (152b, 152b, 352b) for releasing the rotation restriction of the second arms (151d, 251d, 351b) in the second range (DX). 252), and the retraction direction moving mechanism (130) is configured to rotate the first arm (151b, 251b, 351b) in the first range (DZ). 251d, 351b) and the rotation restriction guide portions (152a, 252, 352), the rotation of the rotation shafts (151a, 251a, 351a) is restricted, and the rotation shafts (151a, 251a, 351a) are restricted. Driving force in the retracting direction is transmitted via the door member (103) in the retracting direction, and in the second range (DX), The restriction on the rotation of one arm (151b, 251b, 351b) is released by the second arm (151d, 251d, 351b) and the rotation guide part (152b, 252, 352), and the rotation shaft (151a, 251a, 351a). ) Is rotated at a predetermined position to stop the movement of the door member (103) in the retracting direction.
According to a fourth aspect of the present invention, in the load port according to the third aspect, the driving force transmitting portion (150, 151, 152, 251, 252, 351, 352) is configured to connect the rotating shaft (151a, 251a, 351a). It has a third arm (151d, 251d, 351h) that rotates integrally with the first arm (151b, 251b, 351b) as a center, and the opening / closing direction moving mechanism (140) has the second range (DX ), The rotation restriction of the first arm (151b, 251b, 351b) is released by the second arm (151d, 251d, 351b) and the rotation guide part (152b, 252, 352), and the first arm (151b, 251b, 351b) and the third arm (151d, 251d, 351h) rotate together with the third arm (151d). 251d, is transmitted rotational force is converted into the driving force of the opening and closing direction of 351h), to move said door member (103) in the closing direction, a load port according to claim.
A fifth aspect of the present invention is the load port according to the fourth aspect, wherein the second arm (151d, 251d) and the third arm (151d, 251d) are combined. .
According to a sixth aspect of the present invention, in the load port according to the third aspect, the second arm is provided with a cam follower (151e, 251e, 351e), a rotation restriction guide portion (152a, 252, 352) and the rotation guide. The parts (152b, 252 and 352) are cams (151d and 151e) for guiding the cam followers (151e, 251e and 351e).
The invention of claim 7 is the load port according to claim 6, wherein the shape of the cam (151d) is between the rotating shaft (151a, 251a, 351a) and the cam follower (151e, 251e, 351e). It is a load port characterized by being a circular arc whose length (R2-R4) is a radius (R3).
The invention according to claim 8 is the load port according to claim 6, wherein the opening and closing direction is a horizontal direction, and the rotation guide portion (152b, 252, 352) is an arc on a vertical plane, The arc contacts the cam follower (151e, 251e, 351e) on the lower side of the cam follower (151e, 251e, 351e), guides the cam follower (151e, 251e, 351e), and the cam follower (151e, 251e) of the arc at the opening / closing position of the lid (P3). , 351e) is a load port characterized in that the tangent line of the point in contact with it is substantially horizontal.
According to a ninth aspect of the present invention, in the load port according to the first aspect, the driving force supply unit (120, 220, 320) includes a rotational driving source (122, 222, 322) that generates a rotational force, and the rotation The rotational drive source (122, 222, 322) is at least partially between the drive source (122, 222, 322) and the drive force transmission unit (150, 151, 152, 251, 252, 351, 352). A load port comprising: a conversion mechanism (124, 123, 126a, 223, 324, etc.) that converts a rotational force into a driving force in the retracting direction.
A tenth aspect of the present invention is the load port according to the ninth aspect, wherein the rotational drive source (122, 222, 322) is an AC motor, a DC motor, a servo motor, or a step motor. Port.
The invention of claim 11 is the load port according to claim 9, wherein the conversion mechanism includes a ball screw (123, 126a), a feed screw, a wire member, or a belt member.
The invention according to claim 12 is the load port according to claim 1, wherein the driving force supply section (120, 220, 320) includes a linear drive source that generates a force in the retracting direction. It is a load port.
A thirteenth aspect of the present invention is the load port according to the twelfth aspect of the present invention, wherein the linear drive source is a cylinder-driven drive source by hydraulic pressure or pneumatic pressure, or a linear motor. .

本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）本発明は、駆動ストロークの第１の範囲で、退避方向移動機構に、駆動力供給部の駆動力を伝達し、扉部材を蓋体の開閉方向とは異なる退避方向に移動する。また、駆動ストロークの第２の範囲で、開閉方向移動機構に、駆動力供給部の駆動力を伝達し、扉部材を開閉方向に移動する。これにより、１つの駆動力供給部から駆動力を、開閉方向移動機構と退避方向移動機構とに伝達すればよいので、駆動力供給部の制御を、容易にかつ低コストで行うことができる。 According to the present invention, the following effects can be obtained.
(1) In the first range of the driving stroke, the present invention transmits the driving force of the driving force supply unit to the retracting direction moving mechanism, and moves the door member in a retracting direction different from the opening / closing direction of the lid. Further, in the second range of the driving stroke, the driving force of the driving force supply unit is transmitted to the opening / closing direction moving mechanism, and the door member is moved in the opening / closing direction. As a result, it is only necessary to transmit the driving force from one driving force supply unit to the opening / closing direction moving mechanism and the retracting direction moving mechanism, so that the driving force supply unit can be controlled easily and at low cost.

（２）本発明は、駆動力供給部からの駆動力を、駆動ストロークの第１の範囲で、回転軸を介して退避方向移動部に伝達して扉部材を退避方向に移動し、駆動ストロークの第２の範囲で、退避方向へ駆動力の伝達を停止するので、扉部材の退避方向への移動及び停止をすることができる。また、回転軸の回転が制約された状態及び回転の制約の解除された状態を滑らかに変換することにより、扉部材の移動方向の変換を滑らかに行うことができ、蓋体に付着した微細のゴミの落下を防止することができる。 (2) The present invention transmits the driving force from the driving force supply unit to the retracting direction moving unit via the rotating shaft within the first range of the driving stroke to move the door member in the retracting direction. In the second range, transmission of the driving force is stopped in the retracting direction, so that the door member can be moved and stopped in the retracting direction. In addition, by smoothly converting the state in which the rotation of the rotation shaft is restricted and the state in which the restriction on the rotation is released, the movement direction of the door member can be smoothly changed, and the minute amount attached to the lid can be reduced. Garbage can be prevented from falling.

（３）本発明は、駆動力供給部からの駆動力を退避方向に伝達するために、一体で回転する第１及び第２アームと、回転軸の回転を制約及び制約を解除するガイド部を備えればよいので、シンプルな機械的な駆動機構により、扉部材を退避方向に移動することができる。また、構造がシンプルであるので、経時変化にともなう構成部品のひずみやゆがみの発生を少なくできるので、アライメント等の手間を減らすことができる。 (3) In the present invention, in order to transmit the driving force from the driving force supply unit in the retracting direction, the first and second arms that rotate integrally, and the guide unit that restricts the rotation of the rotating shaft and releases the restriction are provided. As long as it is provided, the door member can be moved in the retracting direction by a simple mechanical drive mechanism. Further, since the structure is simple, the occurrence of distortion and distortion of the component parts with the passage of time can be reduced, so that it is possible to reduce the labor of alignment and the like.

（４）本発明は、駆動力供給部からの駆動力を開閉方向に変換するために、第３アームの回転力を開閉方向に変換すればよいので、シンプルな機械的な駆動機構により、扉部材を開閉方向に移動することができる。 (4) In the present invention, in order to convert the driving force from the driving force supply unit into the opening / closing direction, the rotational force of the third arm may be converted into the opening / closing direction. The member can be moved in the opening and closing direction.

（５）本発明は、第２アームと第３アームとを兼用するので、駆動機構の構成をよりシンプルにすることができる。 (5) Since the present invention also serves as the second arm and the third arm, the configuration of the drive mechanism can be further simplified.

（６）本発明は、第２アームにカムフォロアが設けられ、回転制約ガイド部及び回転ガイド部が、カムフォロアをガイドするカムであるので、カム機構により、扉部材を退避方向に移動することができる。 (6) In the present invention, the cam follower is provided on the second arm, and the rotation restriction guide portion and the rotation guide portion are cams for guiding the cam follower. Therefore, the door member can be moved in the retracting direction by the cam mechanism. .

（７）本発明は、カムの形状が回転軸とカムフォロアとの間の長さを半径とする円弧であるので、扉部材を、蓋体の開閉方向に駆動するときに、退避方向に対する位置が絶対的に変化しないように支持できる。 (7) In the present invention, since the shape of the cam is an arc having a radius between the rotation shaft and the cam follower, when the door member is driven in the opening / closing direction of the lid, the position in the retraction direction is It can be supported not to change absolutely.

（８）本発明は、開閉方向が水平方向であり、回転ガイド部が円弧であり、蓋体の開閉位置において、円弧のカムフォロアと接する点の接線が略水平である。これにより、蓋体の開閉位置において、蓋体、扉部材等の荷重を、カムフォロアを介して、カムが受け止めることができる。すなわち、駆動力供給部からの駆動力を、蓋体、扉部材等の荷重を受け止めるために用いる必要がないので、蓋体の開閉に効果的に用いることができる。 (8) According to the present invention, the opening / closing direction is a horizontal direction, the rotation guide portion is an arc, and the tangent of the point that contacts the arc cam follower is substantially horizontal at the opening / closing position of the lid. Thereby, the cam can receive the load of the lid, the door member, etc. via the cam follower at the open / close position of the lid. That is, since it is not necessary to use the driving force from the driving force supply unit to receive the load of the lid, door member, etc., it can be used effectively for opening and closing the lid.

本発明は、扉部材を容易な制御により滑らかに駆動することができ、また、アライメント作業の手間を減らすことができ、さらに、扉部材を、蓋体の開閉方向に駆動するときに、退避方向に対する位置が絶対的に変化しないように支持できるロードポートを提供するという目的を、駆動ストロークの第１の範囲で、退避方向移動機構に、駆動力供給部の駆動力を伝達し、扉部材を蓋体の開閉方向とは異なる退避方向に移動し、また、駆動ストロークの第２の範囲で、開閉方向移動機構に、駆動力供給部の駆動力を伝達し、扉部材を開閉方向に移動することによって実現した。 According to the present invention, the door member can be smoothly driven by easy control, the labor of the alignment work can be reduced, and the door member is retracted when driven in the opening / closing direction of the lid. For the purpose of providing a load port that can be supported so that the position with respect to the absolute position does not change, the driving force of the driving force supply unit is transmitted to the retracting direction moving mechanism in the first range of the driving stroke, and the door member is It moves in a retracting direction different from the opening / closing direction of the lid, and transmits the driving force of the driving force supply unit to the opening / closing direction moving mechanism in the second range of the driving stroke, and moves the door member in the opening / closing direction. Realized by that.

以下、図面等を参照して、本発明を適用したロードポートの実施例１をあげて、さらに詳しく説明する。
図１は、実施例１のロードポート１００の外観を示す図であり、図２は、ロードポート１００の断面図である。
図１に示すように、ロードポート１００は、高クリーン度の空間Ａと低クリーン度の空間Ｂとを区画する仕切板１０１と、仕切板１０１に形成され、高クリーン度の空間Ａと低クリーン度の空間Ｂとを連通する開口部１０２と、仕切板１０１の開口部１０２を開閉する扉部材１０３と、扉部材１０３に設けられた位置決めピン１０４ａ，１０４ｂ及びＴ字キー１０４ｃ，１０４ｄとを有し、低クリーン度の空間Ｂ側に設けられ、搬送容器Ｐが載置され、位置決めピン１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ及びロックキー１０５ｄを有するテーブル１０５等とを備えている。 Hereinafter, a load port according to a first embodiment to which the present invention is applied will be described in more detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram illustrating an appearance of the load port 100 according to the first embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the load port 100.
As shown in FIG. 1, the load port 100 includes a partition plate 101 that partitions a space A having a high cleanliness level and a space B having a low cleanliness level, and the partition plate 101. An opening 102 that communicates with the space B, a door member 103 that opens and closes the opening 102 of the partition plate 101, positioning pins 104a and 104b and T-keys 104c and 104d provided on the door member 103. In addition, it is provided on the low clean space B side, is provided with a transport container P, and includes a table 105 having positioning pins 105a, 105b, 105c and a lock key 105d.

搬送容器Ｐは、内部空間Ｃが高クリーン度に保たれ、半導体ウエハを複数枚（例えば、２５枚）収容する容器である。この搬送容器Ｐは、容器本体Ｐ１と、容器本体Ｐ１の一面に設けられた開口部Ｐ２と、開口部Ｐ２を開閉し、位置決めピン１０４が嵌合するピン孔Ｐ４ａ，Ｐ４ｂ及びＴ字キー１０４ｃ，１０４ｄが係合するキー孔Ｐ４ｃ，Ｐ４ｄとを有する蓋体Ｐ３と、テーブル１０５の位置決めピン１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃが嵌合する断面Ｖ字溝Ｐ５ａ，Ｐ５ｂ，Ｐ５ｃ及びロックキー１０５ｄが係合するキー孔Ｐ５ｄを有する底面Ｐ５を備えている。 The transfer container P is a container in which the internal space C is kept clean and accommodates a plurality of (for example, 25) semiconductor wafers. The transport container P includes a container main body P1, an opening P2 provided on one surface of the container main body P1, an opening P2 that opens and closes, and pin holes P4a and P4b into which positioning pins 104 are fitted and T-keys 104c, A lid P3 having key holes P4c, P4d with which 104d is engaged, and a key with which the cross-sectional V-shaped grooves P5a, P5b, P5c and the lock key 105d are engaged with the positioning pins 105a, 105b, 105c of the table 105. A bottom surface P5 having a hole P5d is provided.

搬送容器Ｐをテーブル１０５に載置すると、３本の位置決めピン１０５ａ〜１０５ｃが、断面Ｖ字溝Ｐ５ａ〜Ｐ５ｃに嵌合する。ここで、不図示のロックボタンをオンすると、ロックキー１０５ｄが上昇及び傾斜して、キー孔Ｐ５ｄに係合すると共に、テーブル１０５全体が、仕切板１０１側に所定距離（約７０ｍｍ程度）移動して、搬送容器Ｐが仕切板１０１に密着する。仕切板１０１の開口部１０２及び搬送容器Ｐの開口部Ｐ２の外周には、不図示のＯリングなどのシール材が設けられており、密着により、クリーン度を保つことができる。 When the transport container P is placed on the table 105, the three positioning pins 105a to 105c are fitted into the V-shaped grooves P5a to P5c. Here, when a lock button (not shown) is turned on, the lock key 105d rises and tilts to engage with the key hole P5d, and the entire table 105 moves to the partition plate 101 side by a predetermined distance (about 70 mm). Thus, the transport container P comes into close contact with the partition plate 101. A sealing material such as an O-ring (not shown) is provided on the outer periphery of the opening 102 of the partition plate 101 and the opening P2 of the transport container P, and the cleanliness can be maintained by close contact.

搬送容器Ｐは、テーブル１０５の移動により、蓋体Ｐ３が扉部材１０３に密着して、位置決めピン１０４ａ，１０４ｂが、蓋体Ｐ３のピン孔Ｐ４ａ，Ｐ４ｂに嵌合し、Ｔ字キー１０４ｃ，１０４ｄがキー孔Ｐ４ｃ，Ｐ４ｄに入り込む。その後に、不図示のロータリーアクチュエータ等によって、Ｔ字キー１０４ｃ，１０４ｄを９０度回転することにより、爪Ｐ４ｅ〜Ｐ４ｈが引き込まれて、容器本体Ｐ１と蓋体Ｐ３とのロックが解かれる。
以上の構造により、扉部材１０３は、蓋体Ｐ３を着脱可能に保持する。
扉部材１０３は、図２に示すように、ケース１０６内に設けられた駆動装置１１０によって、ロードポート１００内側に引き込まれる（矢印Ｄ１）と共に、下降して（矢印Ｄ２）、搬送容器Ｐの内部空間Ｃと、仕切板１０１の内部空間Ａとが、高クリーン度を保ったまま連通する。 In the transport container P, the lid P3 comes into close contact with the door member 103 by the movement of the table 105, the positioning pins 104a and 104b are fitted into the pin holes P4a and P4b of the lid P3, and the T-shaped keys 104c and 104d. Enters the key holes P4c and P4d. Thereafter, the T-keys 104c and 104d are rotated 90 degrees by a rotary actuator (not shown), etc., whereby the claws P4e to P4h are drawn and the container body P1 and the lid P3 are unlocked.
With the above structure, the door member 103 detachably holds the lid P3.
As shown in FIG. 2, the door member 103 is pulled into the load port 100 (arrow D1) and lowered (arrow D2) by the driving device 110 provided in the case 106, and the inside of the transport container P The space C and the internal space A of the partition plate 101 communicate with each other while maintaining a high degree of cleanliness.

以下、ロードポート１００の駆動装置１１０について詳しく説明する。
図３、図４は、駆動装置１１０を示す図であり、図３は、側面図であり、図４（ａ）は、斜視図、図４（ｂ）は、クランクの斜視図である。
なお以下の説明において、水平方向の内、蓋体Ｐ３の開閉方向が矢印Ｘ方向（閉側である水平方向左側が矢印Ｘ１方向、開側である水平方向右側が矢印Ｘ２方向）、Ｘ方向に対して垂直な方向がＹ方向であり、また、鉛直方向（退避方向）は、矢印Ｚ方向（鉛直方向上側が矢印Ｚ１方向、鉛直方向下側が矢印Ｚ２方向）である。
図３、図４に示すように、駆動装置１１０は、駆動力供給部１２０と、退避方向移動機構１３０と、開閉方向移動機構１４０と、駆動力伝達部１５０とを備えている。
駆動力供給部１２０は、基材１２１と、モータ１２２（駆動源、回転駆動源）と、ネジ軸１２３と、ベルト１２４と、ガイド軸１２５と、上下動板１２６とを備えている。 Hereinafter, the drive device 110 of the load port 100 will be described in detail.
3 and 4 are views showing the driving device 110, FIG. 3 is a side view, FIG. 4 (a) is a perspective view, and FIG. 4 (b) is a perspective view of a crank.
In the following description, in the horizontal direction, the opening / closing direction of the lid P3 is the arrow X direction (the horizontal left side which is the closed side is the arrow X1 direction, the horizontal right side which is the open side is the arrow X2 direction), and the X direction The direction perpendicular to the Y direction is the Y direction, and the vertical direction (retraction direction) is the arrow Z direction (the vertical direction upper side is the arrow Z1 direction, and the vertical lower side is the arrow Z2 direction).
As shown in FIGS. 3 and 4, the driving device 110 includes a driving force supply unit 120, a retracting direction moving mechanism 130, an opening / closing direction moving mechanism 140, and a driving force transmitting unit 150.
The driving force supply unit 120 includes a base material 121, a motor 122 (a driving source and a rotational driving source), a screw shaft 123, a belt 124, a guide shaft 125, and a vertical moving plate 126.

基材１２１は、駆動力供給部１２０の基礎を形成するための部材であり、ケース１０６内の下側の範囲に固定されている。
モータ１２２は、回転力を発生するための駆動源であり、ＡＣモータ、ＤＣモータ、サーボモータ、ステップモータ（パルスモータ）等の中から、必要な精度に応じて適宜選択される。モータ１２２は、駆動軸が垂直になるように基材１２１に固定され、駆動軸の先端にプーリ１２２ａが設けられている。モータ１２２の回転制御は、制御部（図示せず）により行われる。
ネジ軸１２３は、上下動板１２６を退避方向にガイドし、上下動板１２６に駆動力を伝達するための部材であり、回転軸が退避方向になるように配置されている。ネジ軸１２３は、上下にそれぞれ設けられた軸受（軸受１２１ａ等）により、回転可能に支持されている。ネジ軸１２３は、下部先端にプーリ１２３ｂが設けられている。 The base material 121 is a member for forming the foundation of the driving force supply unit 120, and is fixed to a lower range in the case 106.
The motor 122 is a drive source for generating a rotational force, and is appropriately selected from an AC motor, a DC motor, a servo motor, a step motor (pulse motor), and the like according to necessary accuracy. The motor 122 is fixed to the base 121 so that the drive shaft is vertical, and a pulley 122a is provided at the tip of the drive shaft. The rotation control of the motor 122 is performed by a control unit (not shown).
The screw shaft 123 is a member for guiding the vertical moving plate 126 in the retracting direction and transmitting a driving force to the vertical moving plate 126, and is arranged so that the rotating shaft is in the retracting direction. The screw shaft 123 is rotatably supported by bearings (bearing 121a and the like) provided on the upper and lower sides. The screw shaft 123 is provided with a pulley 123b at the lower end.

ベルト１２４は、モータ１２２の回転を、ネジ軸１２３に伝達するために、プーリ１２２ａ及びプーリ１２３ｂに巻き掛けられたシンクロベルト等である。
ガイド軸１２５は、上下動板１２６を退避方向にガイドするための軸体であり、ケース１０６内に、中心軸が退避方向になるように固定されている。
上下動板１２６は、退避方向移動機構１３０及び開閉方向移動機構１４０に駆動力を伝達するための平板状の部材であり、表面が鉛直方向を向くように配置されている。上下動板１２６は、軸受１２６ａ，１２６ｂを備えている。軸受１２６ａは、内部にボールが収容され、ネジ軸１２３が螺合した軸受であり、ネジ軸１２３と一緒にボールネジを構成する。軸受１２６ｂは、ガイド軸１２５が挿通され、上下動板１２６を退避方向に移動可能に支持する軸受である。 The belt 124 is a synchro belt or the like wound around the pulley 122a and the pulley 123b in order to transmit the rotation of the motor 122 to the screw shaft 123.
The guide shaft 125 is a shaft body for guiding the vertical moving plate 126 in the retracting direction, and is fixed in the case 106 so that the central axis is in the retracting direction.
The vertical moving plate 126 is a flat plate-shaped member for transmitting a driving force to the retracting direction moving mechanism 130 and the opening / closing direction moving mechanism 140, and is arranged so that the surface thereof faces the vertical direction. The vertical moving plate 126 includes bearings 126a and 126b. The bearing 126 a is a bearing in which a ball is housed and the screw shaft 123 is screwed together, and constitutes a ball screw together with the screw shaft 123. The bearing 126b is a bearing through which the guide shaft 125 is inserted and supports the vertical moving plate 126 so as to be movable in the retracting direction.

以上のように、駆動力供給部１２０は、上下動板１２６を、水平方向への移動を制約しかつ退避方向に移動可能に支持し、また、モータ１２２の回転力を、ボールネジ、ベルト等からなる変換機構を用いて退避方向への駆動力に変換することにより、上下動板１２６を、退避方向に移動することができる。
なお、駆動力供給部１２０は、ネジ軸１２３と軸受１２６ａとを、ボールがないタイプの通常の送りネジにしてもよいが、ボールネジとした方が、ネジ軸１２３を回転するときの抵抗が少ないので、好適である。 As described above, the driving force supply unit 120 supports the vertical moving plate 126 so as to restrict the movement in the horizontal direction and to be movable in the retracting direction, and to apply the rotational force of the motor 122 from the ball screw, the belt, or the like. The vertical moving plate 126 can be moved in the retracting direction by converting the driving force in the retracting direction using the conversion mechanism.
In addition, the driving force supply unit 120 may use a normal feed screw of a type without a ball as the screw shaft 123 and the bearing 126a, but the ball screw has less resistance when rotating the screw shaft 123. Therefore, it is preferable.

退避方向移動機構１３０は、扉部材１０３を退避方向に移動可能に支持するための移動機構であり、ガイド軸１３１と、退避方向移動ブロック１３２とから構成される。
ガイド軸１３１は、退避方向移動ブロック１３２を退避方向にガイドするための、断面が矩形の軸体であり、軸方向が退避方向になるようにケース１０６に固定されている。 The retracting direction moving mechanism 130 is a moving mechanism for supporting the door member 103 so as to be movable in the retracting direction, and includes a guide shaft 131 and a retracting direction moving block 132.
The guide shaft 131 is a shaft body having a rectangular cross section for guiding the retraction direction moving block 132 in the retraction direction, and is fixed to the case 106 so that the axial direction becomes the retraction direction.

退避方向移動ブロック１３２は、ガイド軸１３１により、退避方向に移動可能に支持された部材である。退避方向移動ブロック１３２は、２つのガイド溝１３２ａ，１３２ｂと、回転軸孔１３２ｃと、開閉方向ガイド突起１３２ｄとを有している。
２つのガイド溝１３２ａ，１３２ｂは、退避方向移動ブロック１３２を退避方向にガイドするために退避方向移動ブロック１３２の側面の上側及び下側を窪ませて設けられた溝であり、ガイド軸１３１に係合している。
回転軸孔１３２ｃは、クランク１５１（後述する）を回転可能に支持するために、退避方向移動ブロック１３２の側面に、矢印Ｙ方向に平行に設けられた軸孔である。
開閉方向ガイド突起１３２ｄは、開閉方向移動ブロック１４１（後述する）を、開閉方向にガイドするために、退避方向移動ブロック１３２の上面を突出させて設けられている。開閉方向ガイド突起１３２ｄは、退避方向移動ブロック１３２の上面に、開閉方向に延在するように設けられている。 The retreat direction moving block 132 is a member supported by the guide shaft 131 so as to be movable in the retreat direction. The retraction direction moving block 132 has two guide grooves 132a and 132b, a rotation shaft hole 132c, and an opening / closing direction guide protrusion 132d.
The two guide grooves 132 a and 132 b are grooves provided by recessing the upper side and the lower side of the side surface of the retracting direction moving block 132 in order to guide the retracting direction moving block 132 in the retracting direction. Match.
The rotation shaft hole 132c is a shaft hole provided in parallel to the arrow Y direction on the side surface of the retraction direction moving block 132 in order to rotatably support the crank 151 (described later).
The opening / closing direction guide protrusion 132d is provided with the upper surface of the retracting direction moving block 132 protruding so as to guide an opening / closing direction moving block 141 (described later) in the opening / closing direction. The opening / closing direction guide protrusion 132d is provided on the upper surface of the retracting direction moving block 132 so as to extend in the opening / closing direction.

開閉方向移動機構１４０は、扉部材１０３を蓋体Ｐ３の開閉方向に移動可能に支持するための移動機構であり、扉部材１０３が設けられ、退避方向移動機構１３０が接続されている。開閉方向移動機構１４０は、開閉方向移動ブロック１４１と、前述した開閉方向ガイド突起１３２ｄとから構成される。
開閉方向移動ブロック１４１は、開閉方向移動機構１４０と退避方向移動機構１３０とを接続するための部材である。開閉方向移動ブロック１４１は、開閉方向に細長い部材であり、後端部（矢印Ｘ２方向の端部）に扉部材１０３が載置される。開閉方向移動ブロック１４１は、ガイド溝１４１ａと、カム板１４１ｂとを有している。
ガイド溝１４１ａは、開閉方向移動ブロック１４１を開閉方向にガイドするために、開閉方向移動ブロック１４１の下面を窪ませて設けられている。ガイド溝１４１ａは、開閉方向に延在するように設けられている。ガイド溝１４１ａは、退避方向移動ブロック１３２の開閉方向ガイド突起１３２ｄに係合することにより、開閉方向移動ブロック１４１をガイドし、また、退避方向移動機構１３０と開閉方向移動機構１４０とを接続する。
カム板１４１ｂは、開閉方向移動ブロック１４１を開閉方向に移動するための部分であり、開閉方向移動ブロック１４１の下面から突出するように設けられている。カム板１４１ｂは、退避方向に長い有底のカム穴１４１ｃを有し、これにクランク１５１（後述する）が接続されている。 The opening / closing direction moving mechanism 140 is a moving mechanism for supporting the door member 103 so as to be movable in the opening / closing direction of the lid P3. The door member 103 is provided, and the retraction direction moving mechanism 130 is connected thereto. The opening / closing direction moving mechanism 140 includes an opening / closing direction moving block 141 and the above-described opening / closing direction guide protrusion 132d.
The opening / closing direction moving block 141 is a member for connecting the opening / closing direction moving mechanism 140 and the retracting direction moving mechanism 130. The opening / closing direction moving block 141 is a member that is elongated in the opening / closing direction, and the door member 103 is placed on the rear end (the end in the arrow X2 direction). The opening / closing direction moving block 141 has a guide groove 141a and a cam plate 141b.
The guide groove 141a is provided by recessing the lower surface of the opening / closing direction moving block 141 in order to guide the opening / closing direction moving block 141 in the opening / closing direction. The guide groove 141a is provided so as to extend in the opening / closing direction. The guide groove 141 a guides the opening / closing direction moving block 141 by engaging with the opening / closing direction guide protrusion 132 d of the retracting direction moving block 132, and connects the retracting direction moving mechanism 130 and the opening / closing direction moving mechanism 140.
The cam plate 141 b is a part for moving the opening / closing direction moving block 141 in the opening / closing direction, and is provided so as to protrude from the lower surface of the opening / closing direction moving block 141. The cam plate 141b has a bottomed cam hole 141c that is long in the retraction direction, and a crank 151 (described later) is connected to the cam plate 141b.

駆動力伝達部１５０は、駆動力供給部１２０からの駆動力を、駆動ストロークの第１の範囲ＤＺで退避方向移動機構１３０に伝達し、駆動ストロークの第２の範囲ＤＸで開閉方向移動機構１４０に伝達するため伝達部である。駆動力伝達部１５０は、クランク１５１と、クランクガイド部１５２と備えている。 The driving force transmission unit 150 transmits the driving force from the driving force supply unit 120 to the retracting direction moving mechanism 130 in the first range DZ of the driving stroke, and the opening / closing direction moving mechanism 140 in the second range DX of the driving stroke. It is a transmission part for transmitting to. The driving force transmission unit 150 includes a crank 151 and a crank guide unit 152.

クランク１５１は、回転軸１５１ａと、第１アーム１５１ｂと、駆動コロ１５１ｃと、第２アーム１５１ｄと、垂直コロ１５１ｅ（カムフォロア）と、コロ接続軸１５１ｆと、開閉コロ１５１ｇとを有している。
回転軸１５１ａは、クランク１５１を回転可能にするために、退避方向移動ブロック１３２の回転軸孔１３２ｃに挿通された軸体である。
第１アーム１５１ｂは、一端に回転軸１５１ａが設けられ、他の一端に駆動コロ１５１ｃが設けられた部材である。第１アーム１５１ｂは、駆動コロ１５１ｃが上下動板１２６の上面に当接し、この上面を転がって移動することにより、回転軸１５１ａを中心に回転する。第１アーム１５１ｂは、上下動板１２６の退避方向の駆動力が駆動コロ１５１ｃに伝達されることにより、この退避方向の駆動力をクランク１５１の回転軸１５１ａを中心とした回転力に変換する。 The crank 151 includes a rotation shaft 151a, a first arm 151b, a drive roller 151c, a second arm 151d, a vertical roller 151e (cam follower), a roller connection shaft 151f, and an opening / closing roller 151g.
The rotation shaft 151a is a shaft body that is inserted into the rotation shaft hole 132c of the retraction direction moving block 132 so that the crank 151 can rotate.
The first arm 151b is a member provided with a rotating shaft 151a at one end and a drive roller 151c at the other end. The first arm 151b rotates around the rotation shaft 151a when the driving roller 151c abuts on the upper surface of the vertical moving plate 126 and moves by rolling on the upper surface. The first arm 151b converts the driving force in the retracting direction of the up-and-down moving plate 126 to the driving roller 151c, thereby converting the driving force in the retracting direction into a rotating force centered on the rotating shaft 151a of the crank 151.

第２アーム１５１ｄは、一端に回転軸１５１ａが設けられることにより、第１アーム１５１ｂと一体で回転し、他の一端に垂直コロ１５１ｅが設けられた部材である。垂直コロ１５１ｅは、クランクガイド部１５２のカム孔（後述する）に挿入されている。また、第２アーム１５１ｄは、垂直コロ１５１ｅに矢印Ｙ方向のコロ接続軸１５１ｆを介して開閉コロ１５１ｇが設けられ、これが開閉方向移動ブロック１４１のカム穴１４１ｃに挿入されている。第１アーム１５１ｂと第２アーム１５１ｄとは、回転軸１５１ａを中心としてなす角が、略直角である。 The second arm 151d is a member that rotates integrally with the first arm 151b by being provided with a rotating shaft 151a at one end and a vertical roller 151e at the other end. The vertical roller 151e is inserted into a cam hole (described later) of the crank guide portion 152. In the second arm 151d, an opening / closing roller 151g is provided on a vertical roller 151e via a roller connecting shaft 151f in the arrow Y direction, and this is inserted into the cam hole 141c of the opening / closing direction moving block 141. The first arm 151b and the second arm 151d have an approximately right angle with respect to the rotation axis 151a.

クランクガイド部１５２は、クランク１５０の回転を制約し、また、この回転の制約を解除するためのカム部材である。クランクガイド部１５２は、退避方向に延在する平板状の部材であり、回転制約ガイド部１５２ａ及び回転ガイド部１５２ｂからなるカム孔を有し、これに第２アーム１５１ｄの垂直コロ１５１ｅが挿入されている。
回転制約ガイド部１５２ａは、駆動ストロークの第１の範囲ＤＺで第２アーム１５１ｄの回転を制約するためのカム孔である。回転制約ガイド部１５２ａは、退避方向の長さが駆動ストロークの第１の範囲ＤＺであり、退避方向に長いカム孔である。回転制約ガイド部１５２ａは、開閉方向閉方側の側面１５２ｄに、垂直コロ１５１ｅの外周面が押し当てられることにより、第２アーム１５１ｄの回転を制約する。 The crank guide portion 152 is a cam member for restricting the rotation of the crank 150 and releasing the restriction of the rotation. The crank guide portion 152 is a flat plate-like member extending in the retracting direction, and has a cam hole including a rotation restriction guide portion 152a and a rotation guide portion 152b, into which the vertical roller 151e of the second arm 151d is inserted. ing.
The rotation restriction guide portion 152a is a cam hole for restricting the rotation of the second arm 151d within the first range DZ of the drive stroke. The rotation constraint guide portion 152a is a cam hole having a length in the retracting direction that is the first range DZ of the drive stroke and being long in the retracting direction. The rotation restricting guide portion 152a restricts the rotation of the second arm 151d by pressing the outer peripheral surface of the vertical roller 151e against the side surface 152d on the closing side in the opening / closing direction.

回転ガイド部１５２ｂは、駆動ストロークの第２の範囲ＤＸで、第２アーム１５１ｄの回転の制約を解除することにより、クランク１５１の回転の制約を解除するための円弧状のカム孔である。回転ガイド部１５２ｂは、回転制約ガイド部１５２ａに滑らかに連続するように接続されている。回転ガイド部１５２ｂ（円弧）は、中心が、退避方向移動ブロック１３２の退避方向への移動が停止した状態（すなわち、扉部材１０３を開閉方向に移動させる状態、図２参照）における、クランク１５１の回転軸１５１ａと同心（所定の位置）であり、半径が、この状態における開閉コロ１５１ｇの回転半径と同じ長さである。また、回転ガイド部１５２ｂは、開閉方向の長さが、駆動ストロークの第２の範囲ＤＸである。クランク１５１は、回転ガイド部１５２ｂの退避方向下側の側面１５２ｅに沿って、垂直コロ１５１ｅが転がりながら移動することにより回転の制約が解除される。 The rotation guide portion 152b is an arcuate cam hole for releasing the restriction on the rotation of the crank 151 by releasing the restriction on the rotation of the second arm 151d in the second range DX of the drive stroke. The rotation guide part 152b is connected to the rotation restriction guide part 152a so as to be smoothly continuous. The rotation guide portion 152b (arc) has a center of the crank 151 in a state in which the movement of the retraction direction moving block 132 in the retraction direction is stopped (that is, the door member 103 is moved in the opening / closing direction, see FIG. 2). It is concentric (predetermined position) with the rotating shaft 151a, and the radius is the same as the rotating radius of the opening / closing roller 151g in this state. In addition, the rotation guide portion 152b has a length in the opening / closing direction within the second range DX of the drive stroke. The rotation restriction of the crank 151 is released by the vertical roller 151e moving while rolling along the side surface 152e on the lower side in the retracting direction of the rotation guide portion 152b.

次に、以上説明した構造の駆動装置１１０の動作について説明する。
図５は、駆動装置１１０が動作中の状態を示す側面図であり、図５（ａ）は、扉部材１０３を退避方向上側に移動する状態、図５（ｂ）は、扉部材１０３の移動を退避方向から開閉方向に変換する状態、図５（ｃ）は、扉部材１０３を閉じる状態を示す図である。
最初に、駆動力供給部１２０は、モータ１２２を駆動させネジ軸１２３を回転駆動することにより、上下動板１２６を退避方向上側に移動する（図３参照）。上下動板１２６は、上面に、クランク１５１の第１アーム１５１ｂに設けられた駆動コロ１５１ｃと当接しているので、クランク１５１は、回転軸１５１ａを中心に回転しようとする。しかし、クランクガイド部１５２は、回転制約ガイド部１５２ａに垂直コロ１５１ｅが挿入されているので、この回転を制約する。このため、駆動力供給部１２０からの駆動力は、回転軸１５１ａを介して退避方向移動ブロック１３２（すなわち、退避方向移動機構１３０）に、退避方向上側へと伝達され、退避方向移動ブロック１３２は、扉部材１０３と一体で退避方向上側に移動する。 Next, the operation of the driving device 110 having the above-described structure will be described.
5A and 5B are side views showing a state in which the driving device 110 is operating. FIG. 5A is a state in which the door member 103 is moved upward in the retracting direction, and FIG. 5B is a movement of the door member 103. FIG. 5C is a diagram showing a state in which the door member 103 is closed.
First, the driving force supply unit 120 drives the motor 122 and rotationally drives the screw shaft 123, thereby moving the vertical moving plate 126 upward in the retracting direction (see FIG. 3). Since the vertical moving plate 126 is in contact with the driving roller 151c provided on the first arm 151b of the crank 151 on the upper surface, the crank 151 tends to rotate about the rotation shaft 151a. However, the crank guide portion 152 restricts this rotation because the vertical roller 151e is inserted into the rotation restriction guide portion 152a. Therefore, the driving force from the driving force supply unit 120 is transmitted to the retracting direction moving block 132 (that is, the retracting direction moving mechanism 130) via the rotating shaft 151a, and the retracting direction moving block 132 is , Move integrally with the door member 103 and move upward in the retracting direction.

図５（ｂ）に示すように、クランクガイド部１５２の回転ガイド部１５２ｂは、駆動ストロークの第１の範囲ＤＺの上端、すなわち、駆動ストロークの第２の範囲ＤＸの右端で、第２アーム１５１ｄの回転の制約を解除するので、クランク１５１は、矢印θ１に回転する。これに従って、第２アーム１５１ｄに設けられた開閉コロ１５１ｇは、回転軸１５１ａを中心として回転し、開閉方向移動ブロック１４１（すなわち、開閉方向移動機構１４０）のカム穴１４１ｃ内を退避方向及び開閉方向に移動し、開閉方向移動ブロック１４１を扉部材１０３と一体で開閉方向閉側（矢印Ｘ１方向）に移動する。なお、回転ガイド部１５２ｂの半径が開閉コロ１５１ｇの回転半径と同じ長さであるので、扉部材１０３が開閉方向に移動する状態において、開閉方向移動ブロック１４１及び扉部材１０３は、絶対的に退避方向に移動することはない。すなわち、扉部材１０３の退避方向の移動が完全に停止する。 As shown in FIG. 5 (b), the rotation guide portion 152b of the crank guide portion 152 has an upper end of the first range DZ of the drive stroke, that is, the right end of the second range DX of the drive stroke, and the second arm 151d. Therefore, the crank 151 rotates in the direction of the arrow θ1. Accordingly, the opening / closing roller 151g provided on the second arm 151d rotates about the rotation shaft 151a, and the retraction direction and the opening / closing direction in the cam hole 141c of the opening / closing direction moving block 141 (that is, the opening / closing direction moving mechanism 140). The opening / closing direction moving block 141 is moved together with the door member 103 to the opening / closing direction closed side (arrow X1 direction). Since the radius of the rotation guide portion 152b is the same length as the rotation radius of the opening / closing roller 151g, the opening / closing direction moving block 141 and the door member 103 are absolutely retracted when the door member 103 moves in the opening / closing direction. Never move in the direction. That is, the movement of the door member 103 in the retracting direction is completely stopped.

このように、クランク１５１は、駆動ストロークの第１の範囲ＤＺで、駆動力供給部１２０から伝達された駆動力を、退避方向移動機構１３０の退避方向へと伝達する。また、クランク１５１は、駆動ストロークの第２の範囲ＤＸで、駆動力供給部１２０から伝達された駆動力を、回転軸１５１ａを中心とした回転力に変換し、さらに開閉方向に変換して、開閉方向移動機構１４０に伝達する。また、クランク１５１は、退避方向の移動に用いる第２アーム１５１ｄを、開閉方向の移動に用いるアーム（第３アーム）として兼用している。これにより、駆動機構の構成をよりシンプルにすることができる。
そして、図５（ｃ）に示すように、駆動ストロークの第２の範囲ＤＸの左端で、扉部材１０３を閉位置に移動する。 Thus, the crank 151 transmits the driving force transmitted from the driving force supply unit 120 in the retracting direction of the retracting direction moving mechanism 130 in the first range DZ of the driving stroke. In addition, the crank 151 converts the driving force transmitted from the driving force supply unit 120 into a rotating force centered on the rotating shaft 151a in the second range DX of the driving stroke, and further converts it into an opening / closing direction. This is transmitted to the opening / closing direction moving mechanism 140. The crank 151 also uses the second arm 151d used for movement in the retraction direction as an arm (third arm) used for movement in the opening / closing direction. Thereby, the structure of a drive mechanism can be made simpler.
Then, as shown in FIG. 5C, the door member 103 is moved to the closed position at the left end of the second range DX of the drive stroke.

なお、クランクガイド部１５２は、図５（ａ）に示すように、回転制約ガイド部１５２ａの開閉方向閉側の側面１５２ｄと、回転ガイド部１５２ｂの鉛直方向下側の側面１５２ｅとを、なだらかな円弧１５２ｃにより接続している。このため、垂直コロ１５１ｅは、円滑に回転制約ガイド部１５２ａと回転ガイド部１５２ｂとの間を移動することができる。これにより、クランク１５１の回転が制約された状態及び回転の制約の解除された状態を滑らかに変換することができるため、扉部材１０３の移動方向の変換を滑らかにすることができるので、蓋体Ｐ３に付着した微細なゴミの落下を防止することができる。
また、モータ１２２の駆動は、制御部（図示せず）に制御される。この制御は、基本的に、クランクガイド部１５２に沿った垂直コロ１５１ｅの位置を検出することにより行われる。具体的には、回転制約ガイド部１５２ａの下部及び上部に、垂直コロ１５１ｅの位置を検出するためのセンサが設けられている。下部のセンサは、垂直コロ１５１ｅの位置をイニシャライズするためのものであり、上部のセンサは、退避方向上側に垂直コロ１５１ｅが移動したことを検出するためのものである。そして、制御部は、垂直コロ１５１ｅが、これらのセンサの出力に基づいて、回転制約ガイド部１５２ａ内を下部から上部に移動したと判断したとき、垂直コロ１５１ｅの移動速度を減速するようにモータ１２２を制御する。これにより、回転ガイド部１５２ｂに垂直コロ１５１ｅが移動する前に、扉部材１０３の移動速度を減速し、より滑らかに扉部材１０３の移動方向の変換を行うことができる。このような制御は、２方向にそれぞれ駆動モータを設けて駆動させる複雑な制御に比較して、安定かつ、容易に行うことができる。 As shown in FIG. 5 (a), the crank guide portion 152 gently forms a side surface 152d on the closing side in the opening / closing direction of the rotation restriction guide portion 152a and a side surface 152e on the lower side in the vertical direction of the rotation guide portion 152b. The arcs 152c are connected. For this reason, the vertical roller 151e can smoothly move between the rotation restriction guide portion 152a and the rotation guide portion 152b. Thereby, since the state where the rotation of the crank 151 is restricted and the state where the restriction on the rotation is released can be smoothly converted, the conversion of the moving direction of the door member 103 can be made smooth. Fine dust attached to P3 can be prevented from falling.
The driving of the motor 122 is controlled by a control unit (not shown). This control is basically performed by detecting the position of the vertical roller 151e along the crank guide portion 152. Specifically, sensors for detecting the position of the vertical roller 151e are provided below and above the rotation restriction guide portion 152a. The lower sensor is for initializing the position of the vertical roller 151e, and the upper sensor is for detecting that the vertical roller 151e has moved upward in the retracting direction. Then, when the control unit determines that the vertical roller 151e has moved from the lower part to the upper part in the rotation restriction guide part 152a based on the outputs of these sensors, the motor is configured to decelerate the moving speed of the vertical roller 151e. 122 is controlled. Thereby, before the vertical roller 151e moves to the rotation guide part 152b, the moving speed of the door member 103 can be decelerated and the moving direction of the door member 103 can be converted more smoothly. Such control can be performed stably and easily compared to complicated control in which drive motors are provided in two directions and driven.

次に、駆動力伝達部１５０の力学的な状態について説明する。
図６（ａ）及び図６（ｂ）は、扉部材１０３の退避方向及び開閉方向移動時におけるクランク１５１、クランクガイド部１５２を模式的に拡大して示す図である。
なお、以下の説明において、
α及びβ：第１アーム１５１ｂ及び第２アーム１５１ｄと水平方向（開閉方向）の軸とがなす角
Ｒ１：回転軸１５１ａと駆動コロ１５１ｃの取付軸との長さ
Ｒ２：回転軸１５１ａと垂直コロ１５１ｅの取付軸との長さ
Ｗ：扉部材１０３等により、回転軸１５１ａにかかる荷重
である。 Next, the dynamic state of the driving force transmission unit 150 will be described.
FIGS. 6A and 6B are diagrams schematically showing the crank 151 and the crank guide portion 152 when the door member 103 is moved in the retracting direction and the opening / closing direction.
In the following explanation,
α and β: angle formed between the first arm 151b and the second arm 151d and the horizontal (opening / closing direction) axis R1: the length of the rotating shaft 151a and the mounting shaft of the driving roller 151c R2: the rotating shaft 151a and the vertical roller Length of 151e with mounting shaft W: A load applied to the rotating shaft 151a by the door member 103 or the like.

図６（ａ）に示すように、退避方向移動時において、上下動板１２６が駆動コロ１５１ｃを押し上げる力Ｆ１による、回転軸１５１ａ回りの回転モーメントＭ１は、反時計回りに、
Ｍ１＝Ｆ１・Ｒ１ｃｏｓα
である。
回転制約ガイド部１５２ａの側面１５２ｄが垂直コロ１５１ｅを、開閉方向に押す力（反力）Ｆ２による、回転軸１５１ａ回りの回転モーメントＭ２は、時計回りに、
Ｍ２＝Ｆ２・Ｒ２ｓｉｎβ
である。また、
Ｍ１＝Ｍ２より、
Ｆ２＝Ｆ１・（Ｒ１ｃｏｓα）／（Ｒ２ｓｉｎβ）
である。
しかし、垂直コロ１５１ｅは、回転制約ガイド部１５２ａの側面１５２ｄにより、開閉方向への移動が制約されている。このため、Ｆ１＝Ｗであれば、退避方向（鉛直方向）における力がついあい、上下動板１２６は、移動しない。一方、Ｆ１＞Ｗであれば、上下動板１２６、クランク１５１等は、扉部材１０３と一体で、退避方向上側に移動することになる。 As shown in FIG. 6A, the rotational moment M1 around the rotary shaft 151a due to the force F1 that the vertical moving plate 126 pushes up the drive roller 151c during the retraction direction movement is counterclockwise.
M1 = F1 · R1cosα
It is.
The rotational moment M2 around the rotation shaft 151a due to the force (reaction force) F2 that the side surface 152d of the rotation constraint guide portion 152a pushes the vertical roller 151e in the opening and closing direction is clockwise.
M2 = F2 · R2sinβ
It is. Also,
From M1 = M2,
F2 = F1 · (R1cosα) / (R2sinβ)
It is.
However, the movement of the vertical roller 151e in the opening and closing direction is restricted by the side surface 152d of the rotation restriction guide portion 152a. For this reason, if F1 = W, a force in the retracting direction (vertical direction) is applied, and the vertical moving plate 126 does not move. On the other hand, if F1> W, the up-and-down moving plate 126, the crank 151 and the like move integrally with the door member 103 and move upward in the retracting direction.

図６（ｂ）に示すように、開閉方向移動時において、回転ガイド部１５２ｂの側面１５２ｅ（カム）の形状は、鉛直面上の円弧であり、この円弧の半径Ｒ３の大きさが、長さＲ２と垂直コロ１５１ｅの半径Ｒ４との差である（すなわち、半径Ｒ３は、回転軸１５１ａと垂直コロ１５１ｅとの間の長さを半径とする円弧である）。このため、垂直コロ１５１ｅが第２の駆動ストロークの範囲ＤＸを移動するとき（すなわち、回転軸１５１ａがこの円弧の中心（所定の位置）と同心であるとき）、回転軸１５１ａは、ここを中心として回転するので、回転軸１５１ａの退避方向における位置は、絶対的に変化しない。このため、退避方向移動ブロック１３２、開閉方向移動ブロック１４１及び扉部材１０３（図３参照）も、退避方向における位置が絶対的に変化しない。これにより、扉部材１０３は、位置決めピン１０４ａ，１０４ｂを蓋体Ｐ３のピン孔Ｐ４ａ，Ｐ４ｂに確実に挿入させ、さらに、Ｔ字キー１０４ｃ，１０４ｄを、キー孔Ｐ４ｃ，Ｐ４ｄに確実に挿入させ、蓋体Ｐ３の安定した着脱が可能である（図１参照）。 As shown in FIG. 6B, when moving in the opening / closing direction, the shape of the side surface 152e (cam) of the rotation guide portion 152b is a circular arc on the vertical plane, and the size of the radius R3 of this circular arc is the length. This is the difference between R2 and the radius R4 of the vertical roller 151e (that is, the radius R3 is an arc whose radius is the length between the rotating shaft 151a and the vertical roller 151e). For this reason, when the vertical roller 151e moves in the second drive stroke range DX (that is, when the rotation shaft 151a is concentric with the center (predetermined position) of the arc), the rotation shaft 151a is centered here. Therefore, the position of the rotating shaft 151a in the retracting direction does not change absolutely. For this reason, the position in the retracting direction of the retracting direction moving block 132, the opening / closing direction moving block 141, and the door member 103 (see FIG. 3) does not change absolutely. Thereby, the door member 103 securely inserts the positioning pins 104a and 104b into the pin holes P4a and P4b of the lid P3, and further inserts the T-shaped keys 104c and 104d into the key holes P4c and P4d. The lid P3 can be stably attached and detached (see FIG. 1).

また、回転ガイド部１５２ｂの側面１５２ｅは、図６（ｂ）に示すように、蓋体Ｐ３、扉部材１０３等の荷重Ｗを、垂直コロ１５１ｅを介して、受け止めている。このため、駆動力伝達部１５０は、駆動力供給部１２０からの駆動力を、荷重Ｗを受け止めるために用いる割合を減らして、扉部材１０３の開閉方向の移動に効果的に用いることができる。
さらに、蓋体Ｐ３の開閉位置（２点鎖線で示す）で、側面１５２ｅは、円弧の形状が、垂直コロ１５１ｅと接する点の接線Ｌが略水平になるように設けられ、荷重Ｗを完全に受け止めることができる。加えて、第１アーム１５１ｂと第２アーム１５１ｄ（第３アーム）とは、回転軸１５１ａを中心としてなす角が略直角である。これにより、駆動力伝達部１５０は、駆動力供給部１２０の駆動力を、蓋体Ｐ３の開閉に効果的に用いることができる。 Further, as shown in FIG. 6B, the side surface 152e of the rotation guide portion 152b receives the load W of the lid P3, the door member 103, and the like via the vertical roller 151e. For this reason, the driving force transmission unit 150 can effectively use the driving force from the driving force supply unit 120 to move the door member 103 in the opening / closing direction by reducing the ratio used to receive the load W.
Further, at the open / close position of the lid P3 (indicated by a two-dot chain line), the side surface 152e is provided such that the arc shape is such that the tangent line L at the point of contact with the vertical roller 151e is substantially horizontal, and the load W is completely applied. I can take it. In addition, the first arm 151b and the second arm 151d (third arm) have substantially right angles with respect to the rotation shaft 151a. Thereby, the driving force transmission unit 150 can effectively use the driving force of the driving force supply unit 120 to open and close the lid P3.

以上説明したように、本実施例のロードポート１００は、駆動ストロークの第１の範囲ＤＺで、退避方向移動機構１３０に、駆動力供給部１２０の駆動力を伝達し、扉部材１０３を蓋体Ｐ３の開閉方向とは異なる退避方向に移動する。また、駆動ストロークの第２の範囲ＤＸで、開閉方向移動機構１４０に、駆動力供給部１２０の駆動力を伝達し、扉部材１０３を開閉方向に移動する。
これにより、１つの駆動力供給部１２０の駆動力を、退避方向移動機構１３０と開閉方向移動機構１４０とに機械的に伝達すればよいので、駆動力供給部１２０の制御を、容易にかつ低コストで行うことができる。 As described above, the load port 100 of the present embodiment transmits the driving force of the driving force supply unit 120 to the retracting direction moving mechanism 130 in the first range DZ of the driving stroke, and the door member 103 is attached to the lid body. It moves in a retracting direction different from the opening / closing direction of P3. Further, in the second range DX of the drive stroke, the driving force of the driving force supply unit 120 is transmitted to the opening / closing direction moving mechanism 140, and the door member 103 is moved in the opening / closing direction.
As a result, the driving force of one driving force supply unit 120 has only to be mechanically transmitted to the retracting direction moving mechanism 130 and the opening / closing direction moving mechanism 140. Can be done at a cost.

また、駆動力伝達部１５０は、駆動力供給部１２０からの駆動力を退避方向及び開閉方向に伝達するために、第１アーム１５１ｂ及び第２アーム１５１ｄ等からなるクランク１５１と、クランク１５１の回転を制約及び回転の制約を解除するクランクガイド部１５２を備えればよいので、カム機構、クランク機構等からなるシンプルな構成で、扉部材１０３を退避方向に移動することができる。また、構造がシンプルであるので、経時変化にともなう構成部品のひずみやゆがみの発生を少なくできるので、アライメント等の手間を減らすことができる。 Further, the driving force transmission unit 150 transmits the driving force from the driving force supply unit 120 in the retracting direction and the opening / closing direction, and the crank 151 including the first arm 151b and the second arm 151d and the rotation of the crank 151 Therefore, the door 103 can be moved in the retracting direction with a simple configuration including a cam mechanism, a crank mechanism, and the like. Further, since the structure is simple, the occurrence of distortion and distortion of the component parts with the passage of time can be reduced, so that it is possible to reduce the labor of alignment and the like.

さらに、ロードポート１００は、蓋体Ｐ３の開閉方向が水平方向であり、回転ガイド部１５２ｂの側面１５２ｅ（カム）が円弧である。そして、この円弧は、蓋体Ｐ３の開閉位置において、垂直コロ１５１ｅ（カムフォロア）と接する点の接線が水平である。このため、蓋体Ｐ３の開閉位置において、蓋体Ｐ３、扉部材１０３等の荷重Ｗを、垂直コロ１５１ｅを介して、側面１５２ｅが受け止めることができる。これにより、駆動力供給部１２０からの駆動力を、蓋体Ｐ３、扉部材１０３等の荷重を受け止めるために用いる必要がなく、蓋体Ｐ３の開閉に効果的に用いることができる。 Further, in the load port 100, the opening / closing direction of the lid P3 is the horizontal direction, and the side surface 152e (cam) of the rotation guide portion 152b is an arc. The arc has a horizontal tangent at a point in contact with the vertical roller 151e (cam follower) at the opening / closing position of the lid P3. Therefore, the side surface 152e can receive the load W of the lid P3, the door member 103, and the like through the vertical roller 151e at the open / close position of the lid P3. Thereby, it is not necessary to use the driving force from the driving force supply unit 120 to receive the load of the lid P3, the door member 103, and the like, and it can be effectively used to open and close the lid P3.

次に、本発明を適用したロードポートの実施例２について説明する。
実施例２のロードポートは、主に、実施例１のクランク１５１の形状を変更したものである。
なお、以下の説明において、前述した実施例１と同様の機能を果たす部分には、同一の名称を付して、重複する説明を適宜省略する。
図７は、本実施例の駆動装置２１０を示す図であり、図７（ａ）は、内部構造の一部を断面で示す側面図、図７（ｂ）は、側面図、図７（ｃ）は、背面図である。また、本実施例では、開閉方向閉側が矢印Ｘ２方向、開閉方向開側が矢印Ｘ１方向である。
図７（ａ）に示すように、クランク２５１の第１アーム２５１ｂ及び第２アーム２５１ｄは、回転軸２５１ａを中心になす角ａｎｇ２が、約３０度である。
駆動装置２１０は、同じガイド軸２３１Ａ，２３１Ｂによって、退避方向移動ブロック１３２と上下動板部２２６とを、退避方向にガイドすることにより、構造の簡略化を図っている。 Next, a load port embodiment 2 to which the present invention is applied will be described.
The load port of the second embodiment is mainly obtained by changing the shape of the crank 151 of the first embodiment.
In the following description, parts having the same functions as those in the above-described first embodiment are given the same names, and redundant descriptions are omitted as appropriate.
7A and 7B are diagrams showing the driving device 210 of the present embodiment. FIG. 7A is a side view showing a part of the internal structure in cross section, FIG. 7B is a side view, and FIG. ) Is a rear view. In this embodiment, the opening / closing direction closing side is the arrow X2 direction, and the opening / closing direction opening side is the arrow X1 direction.
As shown in FIG. 7A, the first arm 251b and the second arm 251d of the crank 251 have an angle ang2 about 30 degrees with the rotation shaft 251a as the center.
The drive device 210 simplifies the structure by guiding the retraction direction moving block 132 and the vertical moving plate portion 226 in the retraction direction by the same guide shafts 231A and 231B.

次に、駆動装置２１０の動作について説明する。
図８〜図１０は、駆動装置２１０が動作中の状態を示す側面図（各図（ａ））及び背面図（各図（ｂ））であり、図８は、扉部材を退避方向上側に移動する状態、図９は、扉部材の移動を退避方向から開閉方向に変換する状態、図１０は、扉部材を閉じる状態を示す図である。
図８に示すように、実施例１と同様にして、駆動ストロークの第１の範囲ＤＺにおいて、駆動力が、上下動板部２２６から駆動コロ２５１ｃに伝達される。クランク２５１は、垂直コロ２５１ｅ及びクランクガイド部２５２により開閉方向の移動が制約されるので、回転軸２５１ａを中心とした回転が制約され、回転軸２５１ａを介して退避方向移動ブロック２３２に退避方向上側へと力が働き、退避方向移動ブロック２３２を退避方向上側に移動する。
そして、図９に示すように、駆動ストロークが、第１の範囲ＤＺの上端を介して、第２の範囲ＤＸへと切り替わると、垂直コロ２５１ｅ及びクランクガイド部２５２により、クランク２５１は、回転の制約が解除される。そして、開閉方向移動ブロック２４１は、クランク２５１の回転にともなって、カム板２４１ｂ、開閉コロ２５１ｇの作用によって、扉部材と一体で開閉方向閉側に移動する。
そして、図１０に示すように、扉部材が閉められる状態の位置に移動する。 Next, the operation of the driving device 210 will be described.
FIGS. 8 to 10 are a side view (each figure (a)) and a rear view (each figure (b)) showing a state in which the driving device 210 is operating, and FIG. FIG. 9 shows a state where the door member moves, FIG. 9 shows a state where the movement of the door member is converted from the retracting direction to the opening / closing direction, and FIG. 10 shows a state where the door member is closed.
As shown in FIG. 8, in the same manner as in the first embodiment, the driving force is transmitted from the vertical moving plate 226 to the driving roller 251c in the first range DZ of the driving stroke. Since the movement of the crank 251 in the opening and closing direction is restricted by the vertical roller 251e and the crank guide portion 252, the rotation about the rotation shaft 251a is restricted, and the retraction direction moving block 232 is connected to the retraction direction moving block 232 via the rotation shaft 251a. The force acts to move the retreat direction moving block 232 upward in the retreat direction.
Then, as shown in FIG. 9, when the drive stroke is switched to the second range DX via the upper end of the first range DZ, the crank 251 is rotated by the vertical roller 251e and the crank guide portion 252. The restriction is released. As the crank 251 rotates, the opening / closing direction moving block 241 moves together with the door member to the opening / closing direction closing side by the action of the cam plate 241b and the opening / closing roller 251g.
And as shown in FIG. 10, it moves to the position of the state in which a door member is closed.

本実施例のロードポートの駆動装置２１０は、以上の構造によって、扉部材を退避方向及び開閉方向に移動することができる。また、配置スペースの大きさ等に応じて、クランク２５１のアーム角度を変更することにより、装置の小型化を図ることができる。 The load port drive device 210 of the present embodiment can move the door member in the retracting direction and the opening / closing direction by the above structure. Further, the device can be downsized by changing the arm angle of the crank 251 in accordance with the size of the arrangement space or the like.

次に、本発明を適用したロードポートの実施例３について説明する。
実施例３のロードポートは、実施例１の駆動力供給部１２０とクランク１５１とを主に変更したものである。
図１１は、本実施例の駆動装置３１０を示す図であり、図１１（ａ）は、左側面図、図１１（ｂ）は、正面図、図１１（ｃ）は、右側面図、図１１（ｄ）は、クランクガイド部３５２を取り除いた状態の右側面図である。
図１１に示すように、本実施例の駆動力供給部３２０は、駆動軸が水平方向になるように配置されたモータ３２２と、駆動軸先端のプーリ３２２ａ及び鉛直方向上側に配置されたプーリ３２７に巻きかけられたベルト３２４と、ベルト３２４に接続された上下動板部３２６とを備え、上下動板部３２６を退避方向に移動する。このプーリ３２２ａ，３２７、ベルト３２４等の組合わせは、ベルト部材として、シンクロベルト、スチールベルト、チェーン、ワイヤ等を選択することにより、適宜変更可能である。
クランク３５１は、Ｔ型をしたアーム３５１ｂ（第１アーム及び第２アーム）に回転軸３５１ａと、駆動コロ３５１ｃと、垂直コロ３５１ｅとが設けられている。また、アーム３５１ｂと一体で回転軸３５１ａを中心に回転する第３アーム３５１ｈが新たに追加され、この先端に開閉コロ３５１ｇが設けられている。開閉コロ３５１ｇは、開閉方向移動ブロック３４１に設けられたカム板３４１ｂのカム穴に挿入されている。 Next, a load port embodiment 3 to which the present invention is applied will be described.
The load port of the third embodiment is mainly obtained by changing the driving force supply unit 120 and the crank 151 of the first embodiment.
11A and 11B are diagrams showing the driving device 310 of the present embodiment, in which FIG. 11A is a left side view, FIG. 11B is a front view, FIG. 11C is a right side view, and FIG. 11 (d) is a right side view of the state where the crank guide portion 352 is removed.
As shown in FIG. 11, the driving force supply unit 320 of the present embodiment includes a motor 322 arranged so that the driving shaft is in the horizontal direction, a pulley 322 a at the tip of the driving shaft, and a pulley 327 arranged on the upper side in the vertical direction. The belt 324 is wound around the belt 324, and the vertical moving plate 326 is connected to the belt 324, and the vertical moving plate 326 is moved in the retracting direction. The combination of the pulleys 322a and 327, the belt 324, and the like can be changed as appropriate by selecting a synchro belt, a steel belt, a chain, a wire, or the like as the belt member.
The crank 351 is provided with a rotating shaft 351a, a drive roller 351c, and a vertical roller 351e on a T-shaped arm 351b (first arm and second arm). Further, a third arm 351h that is integrated with the arm 351b and rotates around the rotation shaft 351a is newly added, and an opening / closing roller 351g is provided at the tip. The opening / closing roller 351g is inserted into a cam hole of a cam plate 341b provided in the opening / closing direction moving block 341.

次に、駆動装置３１０の動作について説明する。
図１２〜図１４は、駆動装置３１０が動作中の状態を示す右側面図（各図（ａ））、正面図（各図（ｂ））及び右側面図（各図（ｃ））であり、図１２は、扉部材を退避方向上側に移動する状態、図１３は、扉部材の移動を退避方向から開閉方向に変換する状態、図１４は、扉部材を閉じる状態を示す図である。
図１２に示すように、モータ３２２及びベルト３２４が駆動されることにより、上下動板部３２６が、退避方向上側に移動する。実施例１と同様にして、駆動ストロークの第１の範囲ＤＺにおいて、クランク３５１は、上下動板部３２６から駆動コロ３５１ｃに駆動力が伝達されるが、垂直コロ３５１ｅ及びクランクガイド部３５２により回転軸３５１ａを中心とした回転が制約され、回転軸３５１ａに退避方向上側に力が働き、退避方向移動ブロック３３２（図１２（ｂ）参照）を退避方向上側に移動する。
そして、図１３に示すように、駆動ストロークが、第２の範囲ＤＸへと切り替わると、垂直コロ３５１ｅ及びクランクガイド部３５２により、クランク３５１の回転の制約が解除される第３アーム３５１ｈが、回転軸３５１ａを中心に矢印θ３方向に回転する。第３アーム３５１ｈに設けられた開閉コロ３５１ｇは、カム板３４１ｂのカム穴に挿入されているので、開閉方向移動ブロック３４１は、第３アーム３５１ｈの回転にともなって扉部材と一体で開閉方向閉側（矢印Ｘ１方向）に移動する。 Next, the operation of the driving device 310 will be described.
12 to 14 are a right side view (each figure (a)), a front view (each figure (b)), and a right side view (each figure (c)) showing a state in which the driving device 310 is operating. 12 shows a state in which the door member is moved upward in the retracting direction, FIG. 13 shows a state in which the movement of the door member is converted from the retracting direction to the opening / closing direction, and FIG. 14 shows a state in which the door member is closed.
As shown in FIG. 12, when the motor 322 and the belt 324 are driven, the vertical moving plate portion 326 moves upward in the retracting direction. Similarly to the first embodiment, in the first range DZ of the drive stroke, the crank 351 transmits the driving force from the vertical moving plate portion 326 to the drive roller 351c, but is rotated by the vertical roller 351e and the crank guide portion 352. The rotation around the shaft 351a is restricted, and a force acts on the rotating shaft 351a upward in the retracting direction to move the retracting direction moving block 332 (see FIG. 12B) upward in the retracting direction.
Then, as shown in FIG. 13, when the drive stroke is switched to the second range DX, the third arm 351h in which the restriction on the rotation of the crank 351 is released by the vertical roller 351e and the crank guide portion 352 is rotated. It rotates in the direction of the arrow θ3 about the shaft 351a. Since the opening / closing roller 351g provided on the third arm 351h is inserted into the cam hole of the cam plate 341b, the opening / closing direction moving block 341 is integrally closed with the door member along with the rotation of the third arm 351h. Move to the side (arrow X1 direction).

本実施例のロードポートの駆動装置３１０は、以上の構造によっても、実施例１、実施例２と同様にして、扉部材を、退避方向及び開閉方向に移動することができる。 The load port drive device 310 of the present embodiment can move the door member in the retracting direction and the opening / closing direction in the same manner as in the first and second embodiments, even with the above structure.

（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
（１）各実施例において、駆動力供給部の駆動源は、回転駆動するＤＣモータ等である例を示したが、これに限定されない。例えば、駆動源は、退避方向への力を発生する直動駆動源（油圧シリンダ、空圧シリンダ備えたシリンダ駆動による駆動源、リニアモータ等）でもよい。 (Modification)
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes are possible, and these are also within the equivalent scope of the present invention.
(1) In each embodiment, the drive source of the driving force supply unit is an example of a DC motor that is rotationally driven, but is not limited thereto. For example, the drive source may be a linear drive source that generates a force in the retracting direction (a hydraulic cylinder, a drive source driven by a cylinder including a pneumatic cylinder, a linear motor, or the like).

本発明によるロードポートの実施例１の外観図である。It is an external view of Example 1 of a load port according to the present invention. 実施例１のロードポートの断面図である。1 is a cross-sectional view of a load port of Example 1. FIG. 実施例１の駆動装置の側面図である。It is a side view of the drive device of Example 1. 実施例１の駆動装置の斜視図である。It is a perspective view of the drive device of Example 1. 実施例１の駆動装置の駆動装置が動作中の状態の側面図である。It is a side view of the state in which the drive device of the drive device of Example 1 is operating. 実施例１の駆動装置の力学的な状態を示す図である。It is a figure which shows the dynamic state of the drive device of Example 1. FIG. 本発明による駆動装置の実施例２の側面図及び背面図である。It is the side view and back view of Example 2 of the drive device by this invention. 実施例２の駆動装置が動作中の状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the drive device of Example 2 is operate | moving. 実施例２の駆動装置が動作中の状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the drive device of Example 2 is operate | moving. 実施例２の駆動装置が動作中の状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the drive device of Example 2 is operate | moving. 本発明による駆動装置の実施例３の正面図及び側面図である。It is the front view and side view of Example 3 of the drive device by this invention. 実施例３の駆動装置が動作中の状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the drive device of Example 3 is operate | moving. 実施例３の駆動装置が動作中の状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the drive device of Example 3 is operate | moving. 実施例３の駆動装置が動作中の状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the drive device of Example 3 is operate | moving.

Explanation of symbols

１００ロードポート
１０３扉部材
１１０，２１０，３１０駆動装置
１２０，２２０，３２０駆動力供給部
１２２，２２２，３２２モータ
１２３，２２３ネジ軸
１２６上下動板
１３０退避方向移動機構
１３２，２３２，３３２退避方向移動ブロック
１４０開閉方向移動機構
１４１，２４１，３４１開閉方向移動ブロック
１５０駆動力伝達部
１５１，２５１，３５１クランク
１５１ａ，２５１ａ，３５１ａ回転軸
１５１ｂ，２５１ｂ第１アーム
１５１ｃ，２５１ｃ，３５１ｃ駆動コロ
１５１ｄ，２５１ｄ第２アーム
１５１ｅ，２５１ｅ，３５１ｅ垂直コロ
１５１ｇ，２５１ｇ，３５１ｇ開閉コロ
１５２，２５２，３５２クランクガイド部
１５２ａ回転制約ガイド部
１５２ｂ回転ガイド部
２２６，３２６上下動板部
３５１ｂアーム
３５１ｈ第３アーム
Ｐ搬送容器
Ｐ３蓋体

DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Load port 103 Door member 110,210,310 Driving device 120,220,320 Driving force supply part 122,222,322 Motor 123,223 Screw shaft 126 Vertical moving plate 130 Retraction direction moving mechanism 132,232,332 Retraction direction movement Block 140 Opening / closing direction moving mechanism 141, 241, 341 Opening / closing direction moving block 150 Driving force transmitting portion 151, 251, 351 Crank 151a, 251a, 351a Rotating shaft 151b, 251b First arm 151c, 251c, 351c Driving roller 151d, 251d First 2-arm 151e, 251e, 351e Vertical roller 151g, 251g, 351g Opening / closing roller 152, 252, 352 Crank guide part 152a Rotation restriction guide part 152b Rotation guide part 226, 326 Vertical moving plate part 351b Arm 351h Third arm P Transfer container P3 Lid

Claims

A door member to which a lid of a transfer container for transferring a semiconductor wafer is detachably attached;
One driving force supply unit for supplying driving force;
An opening / closing direction moving mechanism that is provided with the door member and moves in an opening / closing direction of the lid;
A retraction direction moving mechanism that is connected to the open / close direction moving mechanism and moves in a retreat direction different from the open / close direction;
A driving force transmission unit that transmits the driving force from the driving force supply unit to the retracting direction moving mechanism in a first range of a driving stroke, and transmits the driving force to the opening / closing direction moving mechanism in a second range of the driving stroke;
With load port.

The load port according to claim 1, wherein
The driving force transmission unit transmits the transmitted driving force in the first range in the retracting direction of the retracting direction moving mechanism, and the transmitted driving force in the second range is a rotating shaft. Is converted into a rotational force centered at the center and further converted into the opening / closing direction and transmitted to the opening / closing direction moving mechanism,
A load port featuring.

The load port according to claim 2,
The driving force transmission unit is
A first arm that rotates about the rotation axis by the transmitted driving force;
A second arm that rotates integrally with the first arm about the rotation axis;
Transmitting the driving force from the driving force supply unit to the retraction direction moving mechanism via the rotating shaft;
A rotation restriction guide portion for restricting the rotation of the second arm in the first range;
A rotation guide part for releasing the rotation restriction of the second arm in the second range;
The retraction direction moving mechanism is:
In the first range, the rotation of the first arm is restricted by the second arm and the rotation restriction guide portion, so that the rotation of the rotation shaft is restricted, and the rotation direction of the first arm is reduced via the rotation shaft. The driving force is transmitted, the door member is moved in the retracting direction,
In the second range, the rotation restriction of the first arm is released by the second arm and the rotation guide portion, and the rotation shaft rotates at a predetermined position, so that the door member in the retraction direction Stop moving,
A load port featuring.

The load port according to claim 3,
The driving force transmission unit includes a third arm that rotates integrally with the first arm around the rotation axis;
In the opening / closing direction moving mechanism, in the second range, the restriction on the rotation of the first arm is released by the second arm and the rotation guide portion, and the third arm rotates together with the first arm. The rotational force of the third arm is converted into the driving force in the opening / closing direction and transmitted, and the door member is moved in the opening / closing direction,
A load port featuring.

The load port according to claim 4,
Combining the second arm and the third arm;
A load port featuring.

The load port according to claim 3,
The second arm is provided with a cam follower,
The rotation constraint guide portion and the rotation guide portion are cams for guiding the cam follower;
A load port featuring.

The load port according to claim 6, wherein
The shape of the cam is an arc having a radius between the rotation shaft and the cam follower;
A load port featuring.

The load port according to claim 6, wherein
The opening and closing direction is a horizontal direction,
The rotation guide portion has an arc on a vertical plane, the arc contacts the cam follower on the lower side of the cam follower, and contacts the cam follower of the arc at the opening / closing position of the lid. The tangent is approximately horizontal,
A load port featuring.

The load port according to claim 1, wherein
The driving force supply unit is
A rotational drive source that generates rotational force;
A conversion mechanism for converting a rotational force of the rotational drive source into a drive force in the retracting direction at least partly between the rotational drive source and the drive force transmission unit;
A load port comprising:

The load port according to claim 9, wherein
The rotational drive source is an AC motor, a DC motor, a servo motor or a step motor;
A load port featuring.

The load port according to claim 9, wherein
The conversion mechanism comprises a ball screw, a feed screw, a wire member or a belt member;
A load port featuring.

The load port according to claim 1, wherein
The driving force supply unit includes a linear drive source that generates a force in the retreat direction;
A load port featuring.

The load port according to claim 12,
The linear drive source is a drive source by cylinder drive by hydraulic pressure or pneumatic pressure, or a linear motor;
A load port featuring.