JP2007141484A - Plasma display panel - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a highly efficient PDP (plasma display panel) by securing service life of the PDP, and reducing voltage level of driving voltage. <P>SOLUTION: The plasma display panel includes a front surface plate 1 and a back surface plate 2 installed facing each other with a separating wall 13 in-between, so that a discharging space 15 is formed inside. The front surface plate 1 includes a display electrode 7 composed by a scanning electrode 5 and a sustaining electrode 6 in face to face with each other with a discharging gap 4 in-between, a dielectric layer 8 covering the display electrode 7, and a protecting layer 9 covering the dielectric layer 8 on a substrate 3. The back surface plate 2 includes an address electrode 11 crossing with the display electrode 7 on a substrate 10; and at least a material layer 18 which is selected from an oxide, a fluoride, a simple substance compound or a mixed compound belonging to group II metal excluding Be and Mg is placed as a part of the protecting layer 9, in a region facing the discharging gap 4 which is exposed in the discharging space 15. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は表示デバイスとして知られているプラズマディスプレイパネルに関するものである。   The present invention relates to a plasma display panel known as a display device.

近年、大画面、壁掛けテレビへの期待が高まっており、そのための表示デバイスとして、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、液晶表示パネル（ＬＣＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＥＬ）等、数多くのものがある。   In recent years, expectations for large screens and wall-mounted televisions have increased, and as display devices therefor, plasma display panels (PDP), liquid crystal display panels (LCD), field emission displays (FED), electroluminescence displays (EL), etc. There are many things.

これらの表示デバイス中でも特にＰＤＰは、自発光型で美しい画像表示ができ、大画面化が容易である等の理由から、視認性に優れた薄型表示デバイスとして注目されており、高精細化および大画面化に向けた開発が進められている。   Among these display devices, in particular, PDPs are attracting attention as thin display devices with excellent visibility because they are self-luminous and can display beautiful images and are easy to increase in screen size. Development for screen creation is in progress.

このＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主流を占めるようになってきている。   This PDP is broadly divided into AC type and DC type in terms of driving, and there are two types of discharge types, a surface discharge type and a counter discharge type. From the viewpoint of high definition, large screen, and ease of manufacturing. At present, AC type and surface discharge type PDPs are becoming mainstream.

ＡＣ型の面放電型ＰＤＰは、一般に、前面板と背面板とを対向配置してなる。前面板は、ガラスのような透明な基板上に表示電極として走査電極と維持電極とが互いに並行に複数対形成され、これら表示電極を覆うように誘電体層および保護層としてＭｇＯ層が形成されている。   The AC type surface discharge type PDP is generally formed by disposing a front plate and a back plate facing each other. The front plate has a plurality of scan electrodes and sustain electrodes formed in parallel as display electrodes on a transparent substrate such as glass, and a MgO layer is formed as a dielectric layer and a protective layer so as to cover these display electrodes. ing.

背面板は、基板上にアドレス電極が互いに並行に複数形成され、それらを覆うように誘電体層が形成される。そしてこの誘電体層上にアドレス電極と並行に隔壁が複数形成され、誘電体層の表面と隔壁の側面とに蛍光体層が形成される。そして、表示電極とデータ電極とが交差するように前面板と背面板とを対向させて密封し、その内部の放電空間に放電ガスを例えば６６５００Ｐａ（約５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入することによりＰＤＰが構成される（例えば、非特許文献１参照）。
内池平樹、御子柴茂生共著、「プラズマディスプレイのすべて」（株）工業調査会、１９９７年５月１日、ｐ７９−ｐ８０ In the back plate, a plurality of address electrodes are formed in parallel with each other on a substrate, and a dielectric layer is formed so as to cover them. A plurality of barrier ribs are formed on the dielectric layer in parallel with the address electrodes, and a phosphor layer is formed on the surface of the dielectric layer and the side surfaces of the barrier ribs. Then, the front plate and the rear plate are sealed so that the display electrode and the data electrode cross each other, and the discharge gas is sealed in the discharge space inside the PDP at a pressure of about 66500 Pa (about 500 Torr), for example. (For example, refer nonpatent literature 1).
Heki Uchiike and Shigeo Miko, “All about Plasma Displays”, Industrial Research Council, Inc., May 1, 1997, p79-p80

ＰＤＰにおいては、高効率化が求められており、そのために、駆動電圧の低下が必要とされている。すなわち、駆動電圧が高いと回路の耐電圧性能の向上が不可欠となり、コストの上昇や、無効電力の上昇などの問題を引き起こす場合があるからである。   In the PDP, high efficiency is demanded, and for this reason, a reduction in driving voltage is required. That is, when the drive voltage is high, it is essential to improve the withstand voltage performance of the circuit, which may cause problems such as an increase in cost and an increase in reactive power.

また近年、ＰＤＰにおいては、更なる高効率化に対して、放電ガス中のＸｅ分圧を１０％〜１００％に高めることが有効であることが見出されてきているが、Ｘｅ分圧を高めると、放電電圧が上昇するので、上述した問題はさらに顕著となってしまう場合がある。   In recent years, it has been found that it is effective to increase the Xe partial pressure in the discharge gas to 10% to 100% for further higher efficiency in the PDP. When the voltage is increased, the discharge voltage is increased, so that the above-described problem may become more remarkable.

ここで、駆動電圧の低下を目的として、ＭｇＯ膜である保護層に対して、その材料を変更するなどのさまざまな検討がなされてはいるが、これには、保護層の劣化に起因するＰＤＰの寿命に対しての悪影響の発生という問題が発生してしまう場合がある。   Here, for the purpose of lowering the driving voltage, various investigations such as changing the material of the protective layer, which is an MgO film, have been made, and this includes the PDP caused by the deterioration of the protective layer. There may be a problem that an adverse effect on the lifetime of the product occurs.

本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、ＰＤＰの寿命を確保しつつ、駆動電圧の低電圧化を可能とし、もって、高効率なＰＤＰを実現することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to realize a highly efficient PDP by making it possible to reduce the driving voltage while ensuring the life of the PDP.

上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルは、内部に放電空間を形成するように隔壁を挟んで対向配置した前面板と背面板とを備え、前面板は、基板上に、放電ギャップを挟んで対峙する走査電極と維持電極とにより構成される表示電極と、この表示電極を覆う誘電体層と、この誘電体層を覆う保護層とを有し、背面板は、基板上に、表示電極と交差するアドレス電極を有し、前記放電空間に露出した放電ギャップに対する領域に、保護層の一部として、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料層を配したことを特徴としたものである。   In order to achieve the above object, the plasma display panel of the present invention includes a front plate and a back plate that are opposed to each other with a partition wall interposed therebetween so as to form a discharge space. The front plate has a discharge gap on the substrate. A display electrode composed of a scan electrode and a sustain electrode facing each other, a dielectric layer covering the display electrode, and a protective layer covering the dielectric layer. An address electrode intersecting with the display electrode, and a region of the discharge gap exposed in the discharge space, as a part of the protective layer, a group II metal excluding Be and Mg, oxide, fluoride, simple compound, mixed It is characterized in that at least one material layer selected from compounds is provided.

また、上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルは、内部に放電空間を形成するように隔壁を挟んで対向配置した前面板と背面板とを備え、前面板は、基板上に、放電ギャップを挟んで対峙する走査電極と維持電極とにより構成される表示電極と、この表示電極を覆う誘電体層と、この誘電体層を覆う保護層とを有し、背面板は、基板上に、表示電極と交差するアドレス電極を有し、前記放電空間に露出した放電ギャップに対する領域に、保護層の一部として、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの粒子状材料を配したことを特徴としたものである。   In order to achieve the above object, the plasma display panel of the present invention includes a front plate and a back plate that are opposed to each other with a partition wall interposed therebetween so as to form a discharge space therein. The display electrode includes a scan electrode and a sustain electrode facing each other across the discharge gap, a dielectric layer covering the display electrode, and a protective layer covering the dielectric layer. In addition, an address electrode intersecting with the display electrode, and a region of the discharge gap exposed in the discharge space, as a part of the protective layer, a group II metal excluding Be and Mg, oxide, fluoride, simple substance compound In addition, at least one particulate material selected from mixed compounds is provided.

本発明のＰＤＰによれば、ＰＤＰの寿命を確保しつつ、駆動電圧の低電圧化が可能な、高効率なＰＤＰを実現することができる。   According to the PDP of the present invention, it is possible to realize a highly efficient PDP that can reduce the drive voltage while ensuring the life of the PDP.

すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、内部に放電空間を形成するように隔壁を挟んで対向配置した前面板と背面板とを備え、前面板は、基板上に、放電ギャップを挟んで対峙する走査電極と維持電極とにより構成される表示電極と、この表示電極を覆う誘電体層と、この誘電体層を覆う保護層とを有し、背面板は、基板上に、表示電極と交差するアドレス電極を有し、前記放電空間に露出した放電ギャップに対する領域に、保護層の一部として、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料層を配したことを特徴とするプラズマディスプレイパネルである。   In other words, the invention described in claim 1 of the present invention includes a front plate and a back plate that are opposed to each other with a partition wall interposed therebetween so as to form a discharge space therein, and the front plate has a discharge gap on the substrate. It has a display electrode composed of a scan electrode and a sustain electrode facing each other, a dielectric layer that covers this display electrode, and a protective layer that covers this dielectric layer. An address electrode intersecting with the electrode, and an oxide, fluoride, simple substance compound, mixed compound of a group II metal excluding Be and Mg as a part of the protective layer in a region with respect to the discharge gap exposed in the discharge space The plasma display panel is characterized in that at least one material layer selected from the above is disposed.

また、本発明の請求項２に記載の発明は、内部に放電空間を形成するように隔壁を挟んで対向配置した前面板と背面板とを備え、前面板は、基板上に、放電ギャップを挟んで対峙する走査電極と維持電極とにより構成される表示電極と、この表示電極を覆う誘電体層と、この誘電体層を覆う保護層とを有し、背面板は、基板上に、表示電極と交差するアドレス電極を有し、前記放電空間に露出した放電ギャップに対する領域に、保護層の一部として、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの粒子状材料を配したことを特徴とするプラズマディスプレイパネルである。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a front plate and a back plate which are arranged opposite to each other with a partition wall interposed therebetween so as to form a discharge space therein, and the front plate has a discharge gap on the substrate. It has a display electrode composed of a scan electrode and a sustain electrode facing each other, a dielectric layer that covers this display electrode, and a protective layer that covers this dielectric layer. An address electrode intersecting with the electrode, and an oxide, fluoride, simple substance compound, mixed compound of a group II metal excluding Be and Mg as a part of the protective layer in a region with respect to the discharge gap exposed in the discharge space A plasma display panel comprising at least one particulate material selected from the above.

また、本発明の請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記粒子状材料が、単結晶粒子であることを特徴とするものである。   The invention described in claim 3 of the present invention is characterized in that, in the invention described in claim 2, the particulate material is a single crystal particle.

また、本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、前記放電空間には、Ｘｅを１０％以上の分圧で含む放電ガスが封入されていることを特徴とするものである。   According to a fourth aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, a discharge gas containing Xe at a partial pressure of 10% or more is enclosed in the discharge space. It is a feature.

以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰについて、図面を用いて説明する。なお、以下の説明において用いる図面においては、同じ構成部品には同じ符号を付している。   Hereinafter, a PDP according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings used in the following description, the same reference numerals are given to the same components.

（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの概略構成を示す断面斜視図である。図１に示すように、ＰＤＰは、前面板１と背面板２とから構成されている。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional perspective view showing a schematic configuration of a PDP according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the PDP includes a front plate 1 and a back plate 2.

前面板１は、例えばフロート法による硼珪素ナトリウム系ガラスによるガラス基板など、透明な基板３上に、放電ギャップ４を挟んで対峙する走査電極５と維持電極６とにより構成される表示電極７と、この表示電極７を覆う誘電体層８と、この誘電体層８上の保護層９を有する。なお、走査電極５および維持電極６それぞれは、透明電極５ａ、６ａ、およびこの透明電極５ａ、６ａに電気的に接続されたＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等、金属電極であるバス電極５ｂ、６ｂとから構成されている。また保護層９については後述する。   The front plate 1 includes a display electrode 7 composed of a scanning electrode 5 and a sustaining electrode 6 facing each other across a discharge gap 4 on a transparent substrate 3 such as a glass substrate made of sodium borosilicate glass by a float method. A dielectric layer 8 covering the display electrode 7 and a protective layer 9 on the dielectric layer 8 are provided. Scan electrode 5 and sustain electrode 6 are respectively transparent electrodes 5a and 6a, and bus electrodes 5b and 6b that are metal electrodes such as Cr / Cu / Cr or Ag electrically connected to transparent electrodes 5a and 6a. It consists of and. The protective layer 9 will be described later.

背面板２は、基板３に対向配置される基板１０上に、表示電極７と交差するアドレス電極１１と、このアドレス電極１１を覆う誘電体層１２と、この誘電体層１２上の、例えばストライプ状の隔壁１３と、この隔壁１３間の側面および誘電体層１２の表面に形成した蛍光体層１４とを有する。蛍光体層１４は、カラー表示のために通常、赤、緑、青の３色が順に配置されている。   The back plate 2 is formed on a substrate 10 opposed to the substrate 3, an address electrode 11 intersecting with the display electrode 7, a dielectric layer 12 covering the address electrode 11, and a stripe, for example, on the dielectric layer 12. And a phosphor layer 14 formed on the side surface between the partition walls 13 and the surface of the dielectric layer 12. The phosphor layer 14 is normally arranged in order of three colors of red, green, and blue for color display.

そして、以上の構成の前面板１と背面板２とを、表示電極７とアドレス電極１１とが交差し、内部に放電空間１５を形成するように隔壁１３を挟んで対向配置するとともに、周囲を封着部材により封止し、そして前記放電空間１５にネオン及びキセノンなどを混合してなる放電ガスを６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入することによりＰＤＰを構成している。ここで、隔壁１３によって区画された放電空間１５の、表示電極７とアドレス電極１１とが交差する部分が、単位発光領域である放電セルとして機能する。なお、図１では内部の構成が判り易いように、前面板１と背面板２とを離間させて描いているが、実際には、前面板１と背面板２とは、隔壁１３を挟んだ状態で対向配置している。   Then, the front plate 1 and the back plate 2 having the above-described configuration are arranged to face each other with the partition wall 13 interposed therebetween so that the display electrode 7 and the address electrode 11 intersect and form a discharge space 15 inside. The PDP is configured by sealing with a sealing member and enclosing a discharge gas obtained by mixing neon and xenon into the discharge space 15 at a pressure of about 66500 Pa (500 Torr). Here, a portion of the discharge space 15 partitioned by the barrier ribs 13 where the display electrode 7 and the address electrode 11 intersect functions as a discharge cell which is a unit light emitting region. In FIG. 1, the front plate 1 and the back plate 2 are drawn apart from each other so that the internal configuration can be easily understood, but actually, the front plate 1 and the back plate 2 sandwich the partition wall 13. They are arranged opposite each other.

そして、表示電極７、アドレス電極１１に印加する周期的な電圧によって放電を発生させ、この放電による紫外線を蛍光体層１４に照射して可視光に変換させることにより、画像表示を行う。   Then, a discharge is generated by a periodic voltage applied to the display electrode 7 and the address electrode 11, and an image is displayed by irradiating the phosphor layer 14 with ultraviolet light generated by this discharge to convert it into visible light.

図２は、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの放電セル１６の概略構成を示す平面図である。走査電極５と維持電極６は、図２に示すように、マトリクス表示の各ラインにおいて放電ギャップ４を挟んで隣接するように列方向に交互に配列されている。ここで、隔壁１３によって区画された放電空間１５の、表示電極７とアドレス電極１１（図１）とが交差する部分が、単位発光領域である放電セル１６として機能する。   FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the discharge cell 16 of the PDP according to one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the scan electrodes 5 and the sustain electrodes 6 are alternately arranged in the column direction so as to be adjacent to each other with the discharge gap 4 in each line of the matrix display. Here, the portion of the discharge space 15 partitioned by the barrier ribs 13 where the display electrode 7 and the address electrode 11 (FIG. 1) intersect functions as a discharge cell 16 which is a unit light emitting region.

また、隣接する放電セルの、バス電極５ｂとバス電極６ｂとの間には、コントラストを向上させる目的のブラックストライプ（不図示）が形成され、このことから、バス電極５ｂ、６ｂの形成領域を含めた、隣接する放電セル間の領域は、非発光領域１７となる。   Further, a black stripe (not shown) for improving the contrast is formed between the bus electrode 5b and the bus electrode 6b of the adjacent discharge cells. From this, a region where the bus electrodes 5b and 6b are formed is defined. The area between adjacent discharge cells, including the non-light emitting area 17, is included.

ここで、ＰＤＰを駆動すると放電セル１６内で放電が発生するが、この放電により保護層９がスパッタされ、このスパッタにより保護層９は削られ厚みが薄くなってしまう。このような保護層９の膜厚の変化は、放電の安定発生に支障を与え、例えば保護層９がなくなってしまうほどの膜厚の変化は、ＰＤＰとして機能させることを非常に困難なものとしてしまう場合がある。   Here, when the PDP is driven, discharge is generated in the discharge cell 16, but the protective layer 9 is sputtered by this discharge, and the protective layer 9 is scraped and thinned by this sputtering. Such a change in the thickness of the protective layer 9 hinders the stable generation of discharge. For example, such a change in the thickness that the protective layer 9 disappears makes it very difficult to function as a PDP. May end up.

しかしながら本発明者は検討により、上述した保護層９に対するスパッタは、図２におけるＷの領域、すなわち、放電ギャップ４と非発光領域１７を除いた領域に対する保護層９の部分にのみ発生し、その他の保護層９の領域、すなわち、放電ギャップ４や非発光領域１７に対する保護層９の領域にはスパッタによるダメージ（厚みが薄くなる等）は非常に小さいという、位置依存性があることを確認している。   However, as a result of the study, the above-described sputtering for the protective layer 9 occurs only in the portion of the protective layer 9 in the W region in FIG. 2, that is, the region excluding the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17. It is confirmed that the region of the protective layer 9, that is, the region of the protective layer 9 with respect to the discharge gap 4 and the non-light-emitting region 17 has a position dependency that damage (thinning, etc.) due to sputtering is very small. ing.

そこで、本発明の一実施の形態によるＰＤＰにおいては、図３に、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの前面板１の一部分の概略構成を、模式的に断面図で示すように、誘電体層８上の、スパッタによるダメージの影響が非常に小さい領域である、放電ギャップ４に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８を保護層９の一部として配した構成としている。また、保護層９の、材料層１８以外の領域はＭｇＯ層１９である。   Therefore, in the PDP according to the embodiment of the present invention, as shown in a schematic sectional view of a part of the front panel 1 of the PDP according to the embodiment of the present invention in FIG. For the region corresponding to the discharge gap 4 on the layer 8 where the influence of damage due to sputtering is very small, a group II metal excluding Be and Mg is selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds. The material layer 18 made of at least one material is arranged as a part of the protective layer 9. The region other than the material layer 18 of the protective layer 9 is an MgO layer 19.

すなわち、保護層９を構成する材料としては、耐スパッタ性のみを考慮するとＭｇＯが最も好ましいのであるが、放電電圧を低下させるという目的には、その電子殻の構造から
ＭｇＯよりも二次電子放出性能の高いと考えられる、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｒａなど、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料層１８を用いることが好ましいことを本発明者が確認している。 That is, MgO is most preferable as a material for forming the protective layer 9 in consideration of only sputtering resistance. However, for the purpose of reducing the discharge voltage, secondary electron emission is more than MgO due to the structure of the electron shell. Use at least one material layer 18 selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg, such as Ca, Ba, Sr, and Ra, which are considered to have high performance. The present inventors have confirmed that this is preferable.

ここで、従来、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８は、放電時のスパッタに対しての耐久性に問題があったのであるが、しかしながら上述したように、スパッタの発生には位置依存性があり、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの場合、スパッタによるダメージが非常に小さい、誘電体層８上の、放電ギャップ４に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８を配しており、このことによりスパッタによる劣化という問題の発生を抑制しつつ、二次電子放出を高めることができ、もって耐久性が高く、かつ低駆動電圧のＰＤＰを実現することが可能となる。   Here, conventionally, the material layer 18 composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg is used for sputtering during discharge. However, as described above, the occurrence of spatter is position-dependent, and in the case of the PDP according to an embodiment of the present invention, damage caused by spatter is very small. A material layer composed of at least one material selected from the group consisting of oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg on the dielectric layer 8 with respect to the discharge gap 4 18, which can increase secondary electron emission while suppressing the problem of deterioration due to sputtering, and has high durability and low driving voltage. PDP can be realized.

ここで、放電開始電圧を決定する保護層からの二次電子放出については、イオンが保護層（従来の構成ではＭｇＯ層）に対してスパッタを発生させるほどのエネルギーで衝突するという過程はほとんど影響を及ぼしておらず、それよりも、エクソエミッションやオージェ過程で説明されるメカニズムが影響を与えており、これにより放電開始電圧が支配されているという考えがある。この考えに基づくと、放電開始電圧を低下させるには、エクソエミッションやオージェ過程で二次電子を如何に効果的に得ることができるかということが重要となる。   Here, the secondary electron emission from the protective layer that determines the discharge start voltage is largely affected by the process of ions colliding with the energy that causes spattering to the protective layer (MgO layer in the conventional configuration). Rather than that, there is an idea that the mechanism explained in the exo-emission and Auger processes has an influence, and the discharge start voltage is governed by this. Based on this idea, in order to reduce the discharge start voltage, it is important how effectively secondary electrons can be obtained by exo-emission or Auger process.

そこで、上述した本発明の一実施の形態によるＰＤＰにおいては、ＭｇＯよりは耐スパッタ性能は劣るが二次電子放出性能の高い、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８を、スパッタの影響が非常に小さい領域に配しており、このことにより、従来のＭｇＯ層構造に対し、耐スパッタ性能を確保しつつ、エクソエミッションやオージェ過程での二次電子を効果的に得ることができることとなり、もって放電開始電圧の低下を実現することが可能となる。   Therefore, in the above-described PDP according to the embodiment of the present invention, the sputtering resistance performance is inferior to that of MgO, but the secondary electron emission performance is high. The material layer 18 composed of at least one material selected from a compound and a mixed compound is arranged in a region where the influence of sputtering is very small. It is possible to effectively obtain secondary electrons in exo-emission and Auger processes while ensuring the performance, and thus it is possible to realize a reduction in the discharge start voltage.

なお、上述した本発明の一実施の形態によるＰＤＰにおいては、放電空間１５に露出した放電ギャップ４に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８が形成されていれば同様の効果を得ることができるので、例えば、図４に示すような、材料層１８は、誘電体層８上の、放電ギャップ４に対する領域以上に配されており、この材料層１８を覆うように、ＭｇＯ層１９が、放電ギャップ４に対する領域を除いて配された構成や、図５に示すような、誘電体層８を覆うＭｇＯ層１９上の、放電ギャップ４に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８を配するという構成でもかまわない。なお、このような構成であると、材料層１８とＭｇＯ層１９とのパターニング形成が容易となり好ましい。   In the above-described PDP according to the embodiment of the present invention, the region corresponding to the discharge gap 4 exposed in the discharge space 15 is an oxide, fluoride, simple compound, or mixed compound of Group II metal excluding Be and Mg. Since the same effect can be obtained if the material layer 18 composed of at least one material selected from the above is formed, the material layer 18 shown in FIG. Above the region for the discharge gap 4, the MgO layer 19 is disposed so as to cover the material layer 18 except for the region for the discharge gap 4, or as shown in FIG. At least one selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg in the region corresponding to the discharge gap 4 on the MgO layer 19 covering the dielectric layer 8. The material layer 18 composed of the above material may be provided. Such a configuration is preferable because the patterning of the material layer 18 and the MgO layer 19 becomes easy.

また、同じく、スパッタによるダメージが非常に小さい領域として、バス電極５ｂ、６ｂを含む、隣接する放電セルとの間の部分である、非発光領域１７を挙げることができることを本発明者は確認している。そこで、図６に示すように、この非発光領域１７に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８を配することで、スパッタによる劣化という問題の発生を抑制しつつ、二次電子放出を高めることができ、もって耐久性の高い、低駆動電圧のＰＤＰを実現することが可能となる。   In addition, the present inventor confirmed that the non-light emitting region 17 which is a portion between the adjacent discharge cells including the bus electrodes 5b and 6b can be cited as the region where damage due to sputtering is very small. ing. Therefore, as shown in FIG. 6, the non-light emitting region 17 is composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Be and Mg. By disposing the material layer 18, it is possible to increase secondary electron emission while suppressing the problem of deterioration due to sputtering, and to realize a PDP having high durability and low driving voltage. .

また同様に、放電空間１５に露出した非発光領域１７に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８が形成されていれば同様の効果を得ることができるので、例えば、図７に示すような、材料層１８は、誘電体層８上の、非発光領域１７に対する領域以上に配されており、この材料層１８を覆うように、ＭｇＯ層１９が、非発光領域１７に対する領域を除いて配された構成や、図８に示すような、誘電体層８を覆うＭｇＯ層１９上の、非発光領域１７に対する領域に材料層１８を配するという構成でもかまわない。このような構成であると、保護層９としての、材料層１８とＭｇＯ層１９とのパターニング形成が容易となり好ましい。   Similarly, the region corresponding to the non-light emitting region 17 exposed in the discharge space 15 is composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg. Since the same effect can be obtained if the material layer 18 to be formed is formed, for example, the material layer 18 as shown in FIG. 7 is more than the region for the non-light emitting region 17 on the dielectric layer 8. The MgO layer 19 is disposed so as to cover the material layer 18 except for the region corresponding to the non-light-emitting region 17, or the MgO layer 19 covering the dielectric layer 8 as shown in FIG. A configuration in which the material layer 18 is disposed in the region with respect to the non-light emitting region 17 may be employed. Such a configuration is preferable because patterning of the material layer 18 and the MgO layer 19 as the protective layer 9 becomes easy.

また以上の説明から明らかなように、図９、図１０および図１１に示すような、放電空間１５に露出した、放電ギャップ４に対する領域と非発光領域１７に対する領域との両方に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８を形成した構成としてもかまわない。   As is apparent from the above description, Be, Mg, and the like are exposed in the discharge space 15 as shown in FIGS. 9, 10, and 11 in both the region for the discharge gap 4 and the region for the non-light emitting region 17. A material layer 18 composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than may be used.

また以上説明した構成において、非発光領域１７に材料層１８を形成した場合、走査電極５側のバス電極５ｂに対する領域に、二次電子放出性能の高い材料層１８が配されることとなるので、このことからＰＤＰの駆動時において、走査電極５とアドレス電極１１との対向放電を発生させる書き込み期間において、その際の放電開始電圧を低下させることができるという効果も得ることが可能となる。   In the configuration described above, when the material layer 18 is formed in the non-light emitting region 17, the material layer 18 having high secondary electron emission performance is disposed in the region for the bus electrode 5b on the scanning electrode 5 side. Thus, it is possible to obtain an effect that the discharge start voltage can be lowered during the writing period in which the counter discharge between the scan electrode 5 and the address electrode 11 is generated during the driving of the PDP.

（実施の形態２）
図１２に本発明の一実施の形態によるＰＤＰの前面板１の一部分の概略構成を、模式的に断面図で示す。 (Embodiment 2)
FIG. 12 schematically shows a schematic configuration of a part of the front plate 1 of the PDP according to one embodiment of the present invention in a sectional view.

図１２に示すＰＤＰは、スパッタによるダメージの影響が非常に小さい、誘電体層８上の、前記放電ギャップ４に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される粒子状材料２０を、保護層９の一部として配した構成としている。また、保護層９の、粒子状材料２０を配した領域以外の領域は、ＭｇＯ層など、II族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層２１である。   The PDP shown in FIG. 12 has oxides, fluorides and simple compounds of Group II metals other than Be and Mg in the region on the dielectric layer 8 on the dielectric layer 8 where the influence of sputtering damage is very small. The particulate material 20 composed of at least one material selected from the mixed compounds is arranged as a part of the protective layer 9. Further, the region other than the region where the particulate material 20 is arranged in the protective layer 9 is made of at least one material selected from Group II metal oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds such as an MgO layer. It is the material layer 21 comprised.

すなわち、上述した本発明の一実施の形態によるＰＤＰにおいては、ＭｇＯよりは耐スパッタ性能は劣るが二次電子放出性能の高い、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される粒子材料２０をスパッタの影響が非常に小さい領域である放電ギャップ４に対する領域に配しており、このことにより、従来のＭｇＯ層構造に対し、耐スパッタ性能を確保しつつ、エクソエミッションやオージェ過程での二次電子を効果的に得ることができることとなり、もって放電開始電圧の低下を実現することが可能となる。   That is, in the above-described PDP according to the embodiment of the present invention, the sputtering resistance performance is inferior to that of MgO, but the secondary electron emission performance is high. A particulate material 20 composed of at least one material selected from a compound and a mixed compound is disposed in a region with respect to the discharge gap 4, which is a region where the influence of sputtering is very small. With respect to the structure, it is possible to effectively obtain secondary electrons in the exo-emission and Auger processes while ensuring the sputtering resistance performance, and thus it is possible to realize a reduction in the discharge start voltage.

さらに、本実施の形態においては、粒子状材料２０を配したことにより、以下に述べる効果を得ることが可能となる。   Furthermore, in the present embodiment, the effects described below can be obtained by providing the particulate material 20.

すなわち、例えば、従来の構成において、ＭｇＯ層の膜厚の値は０．１μｍがほぼ上限であるが、粒子状材料２０を配した構成によれば、例えば平均粒子径が０．２μｍの粒子を用いることで、従来に比して２倍の厚みを容易に実現することができ、これにより、単純には耐スパッタ寿命を２倍とすることを容易に実現でき、耐スパッタ性をさらに確保できる。   That is, for example, in the conventional configuration, the upper limit of the value of the film thickness of the MgO layer is approximately 0.1 μm, but according to the configuration in which the particulate material 20 is arranged, for example, particles having an average particle diameter of 0.2 μm By using it, it is possible to easily realize twice the thickness as compared with the conventional one, and thus, it is possible to easily realize the doubled sputtering life, and to further secure the sputtering resistance. .

また、粒子状材料２０は、従来のような、蒸着によって形成される層（膜）構造に比べ、結晶構造として強固なものとすることが可能となる。このことによっても、耐スパッタ性をさらに確保することが可能となる。   Further, the particulate material 20 can be made stronger as a crystal structure than a conventional layer (film) structure formed by vapor deposition. This also makes it possible to further ensure sputtering resistance.

また、粒子状材料２０を配した構成とすることにより、その領域での表面積が増大し、その結果、イオンが接近できる領域が増加するので、オージェ過程やエクソエミッションなどによる二次電子をさらに効率よく得ることができるようになる。   Further, by adopting a configuration in which the particulate material 20 is arranged, the surface area in the region increases, and as a result, the region where ions can approach increases, so that secondary electrons by Auger process, exo-emission, etc. are more efficient. You can get well.

さらに、II族金属においては、（１１１）面が他の結晶方位面より二次電子放出係数が高く、粒子状材料２０を配する構成とすることで、従来の層（膜）構造に比べ、その領域において（１１１）面が含まれる確率が高まり、その結果、二次電子がさらに得られやすくなる。   Furthermore, in the group II metal, the (111) plane has a higher secondary electron emission coefficient than other crystal orientation planes, and the configuration in which the particulate material 20 is arranged, compared with the conventional layer (film) structure, The probability that the (111) plane is included in the region increases, and as a result, secondary electrons are more easily obtained.

以上により、ＰＤＰとしての寿命を確保しつつ、駆動電圧の低電圧化が可能な、高効率なＰＤＰを実現することが可能となる。   As described above, it is possible to realize a high-efficiency PDP that can reduce the drive voltage while ensuring the life of the PDP.

ここで、上述した本発明の一実施の形態によるＰＤＰにおいては、放電空間１５に露出した放電ギャップ４に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される粒子状材料２０が形成されていれば同様の効果を得ることができるので、例えば、図１３に示すような、粒子状材料２０は、誘電体層８上の、放電ギャップ４に対する領域以上に配されており、この粒子状材料２０を覆うように、ＭｇＯ層など、II族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層２１が、放電ギャップ４に対する領域を除いて配された構成や、図１４に示すような、誘電体層８を覆う材料層２１上の、放電ギャップ４に対する領域に粒子状材料２０を配するという構成でもかまわない。なお、このような構成であると、粒子状材料２０の配設領域と材料層２１とのパターニング形成が容易となり好ましい。   Here, in the PDP according to the embodiment of the present invention described above, an oxide, a fluoride, a simple compound, a mixture of a group II metal excluding Be and Mg is formed in the region corresponding to the discharge gap 4 exposed in the discharge space 15. Since the same effect can be obtained as long as the particulate material 20 composed of at least one material selected from the compounds is formed, the particulate material 20 as shown in FIG. It is arranged over the region corresponding to the discharge gap 4 on the body layer 8 so as to cover the particulate material 20, such as an MgO layer, a group II metal oxide, fluoride, simple substance compound, mixed compound, etc. 14 or a material layer 21 covering the dielectric layer 8 as shown in FIG. 14, or a material layer 21 made of at least one material selected from the above. Alternatively, a configuration in which the particulate material 20 is disposed in the region with respect to the discharge gap 4 may be used. In addition, such a configuration is preferable because patterning of the arrangement region of the particulate material 20 and the material layer 21 is facilitated.

また、同じく、スパッタによるダメージが非常に小さい領域として、バス電極５ｂ、６ｂを含む、隣接する放電セルとの間の部分である、非発光領域１７を挙げることができることを本発明者は確認している。そこで、図１５に示すように、この非発光領域１７に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される粒子状材料２０を配することで、スパッタによる劣化という問題の発生を抑制しつつ、二次電子放出を高めることができ、もって耐久性の高い、低駆動電圧のＰＤＰを実現することが可能となる。   In addition, the present inventor confirmed that the non-light emitting region 17 which is a portion between the adjacent discharge cells including the bus electrodes 5b and 6b can be cited as the region where damage due to sputtering is very small. ing. Therefore, as shown in FIG. 15, the non-light emitting region 17 is composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Be and Mg. By arranging the particulate material 20, it is possible to increase the secondary electron emission while suppressing the problem of deterioration due to sputtering, and to realize a highly durable and low driving voltage PDP. Become.

また同様に、放電空間１５に露出した非発光領域１７に対する領域に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される粒子状材料２０が形成されていれば同様の効果を得ることができるので、例えば、図１６に示すような、粒子状材料２０は、誘電体層８上の、非発光領域１７に対する領域以上に配されており、この粒子状材料２０を覆うように、材料層２１が、非発光領域１７に対する領域を除いて配された構成や、図１７に示すような、誘電体層８を覆う材料層２１上の、非発光領域１７に対する領域に粒子状材料２０を配するという構成でもかまわない。このような構成であると、粒子状材料２０の配設領域と材料層２１とのパターニング形成が容易となり好ましい。   Similarly, the region corresponding to the non-light emitting region 17 exposed in the discharge space 15 is composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg. Since the same effect can be obtained if the particulate material 20 to be formed is formed, for example, the particulate material 20 as shown in FIG. 16 is a region on the dielectric layer 8 with respect to the non-light emitting region 17. As described above, the material layer 21 covers the dielectric layer 8 as shown in FIG. 17 or the configuration in which the material layer 21 is arranged except for the non-light emitting region 17 so as to cover the particulate material 20. A configuration in which the particulate material 20 is disposed on the material layer 21 in a region corresponding to the non-light emitting region 17 may be used. Such a configuration is preferable because patterning of the arrangement region of the particulate material 20 and the material layer 21 is facilitated.

また、以上の説明から明らかなように、図１８、図１９および図２０に示すような、放電空間１５に露出した、放電ギャップ４に対する領域と非発光領域１７に対する領域との両方に、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される粒子状材料２０を形成し、その他の領域には、ＭｇＯ層など、II族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層２１が形成された構成としてもかまわない。   As is clear from the above description, Be, as shown in FIGS. 18, 19 and 20, are exposed in the discharge space 15 in both the region for the discharge gap 4 and the region for the non-light emitting region 17. A particulate material 20 composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Mg is formed, and in other regions, an MgO layer, etc. The material layer 21 made of at least one material selected from Group II metal oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds may be used.

また、図１３に示す構成においては、粒子状材料２０の上から材料層２１で覆う構成をしており、このような構成とすることにより、粒子状材料２０の上に材料層２１をスパッタや蒸着などで形成する際に、粒子状材料２０の間の部分に材料層２１を構成する、ＭｇＯなど、II族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料が入り込み、その結果、材料層２１と粒子状材料２０との積層部分が、光学的に、あたかも単層膜のようになる。   Further, in the configuration shown in FIG. 13, the material layer 21 is covered from above the particulate material 20, and with this configuration, the material layer 21 is sputtered on the particulate material 20. When forming by vapor deposition or the like, at least one selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals, such as MgO, constituting the material layer 21 in the portion between the particulate materials 20 A material composed of two materials enters, and as a result, the laminated portion of the material layer 21 and the particulate material 20 becomes optically as if it were a single layer film.

この結果、粒子状材料であることによる、屈折率などへの影響を無視できる程度のものとすることができ、放電セル１６全体の透過率として、材料層２１を配せずに粒子状材料２０のみを配した構成に比べ、大幅に改善することができる。   As a result, the influence on the refractive index and the like due to the particulate material can be neglected, and the transmittance of the discharge cell 16 as a whole is such that the particulate material 20 without the material layer 21 being disposed. Compared to the configuration in which only is arranged, it can be greatly improved.

同じ理由により、図１６に示す構成や図１９に示す構成も、同様に透過率を大幅に改善できる。   For the same reason, the transmittance shown in FIG. 16 and the configuration shown in FIG.

また以上説明した構成において、非発光領域１７に粒子状材料２０を形成した場合、走査電極５側のバス電極５ｂに対する領域に、二次電子放出性能の高い粒子状材料２０が配されることとなるので、このことからＰＤＰの駆動時において、走査電極５とアドレス電極１１との対向放電を発生させる書き込み期間において、その際の放電開始電圧を低下させることができるという効果も得ることが可能となる。   Further, in the configuration described above, when the particulate material 20 is formed in the non-light emitting region 17, the particulate material 20 having high secondary electron emission performance is disposed in the region for the bus electrode 5b on the scanning electrode 5 side. Therefore, it is possible to obtain an effect that the discharge start voltage at that time can be lowered during the writing period in which the counter discharge between the scan electrode 5 and the address electrode 11 is generated when the PDP is driven. Become.

（実施の形態３）
図２１に、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの前面板１の部分概略構成を、模式的に断面図で示す。 (Embodiment 3)
FIG. 21 schematically shows a partial schematic configuration of a front panel 1 of a PDP according to an embodiment of the present invention in a cross-sectional view.

これは、放電時に発生する保護層９に対するスパッタによるダメージが無視できない領域、すなわち放電ギャップ４と非発光領域１７とを除いた領域に、ＭｇＯの粒子状材料２２を保護層９の一部として配した構成としている。また、保護層９の、粒子状材料２２を配した領域以外の領域、すなわち放電ギャップ４と非発光領域１７には、ＭｇＯ層１９を配した構成である。   This is because the MgO particulate material 22 is disposed as a part of the protective layer 9 in a region where damage to the protective layer 9 generated during discharge cannot be ignored, that is, in a region excluding the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17. The configuration is as follows. Further, the MgO layer 19 is disposed in a region other than the region where the particulate material 22 is disposed in the protective layer 9, that is, in the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17.

以上のような、保護層９として、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２を配した構成とすることにより、従来の膜構造に比して、容易に厚みを厚くできること、および膜に比べ結晶構造として強固なものとすること、が可能となり、もって、スパッタが発生しその影響が無視できない領域における耐スパッタ性を向上させることができ、ＰＤＰの寿命を十分に確保することが可能となる。   By forming the particulate material 22 composed of MgO as the protective layer 9 as described above, the thickness can be easily increased compared to the conventional film structure, and the crystal structure compared to the film. As a result, it is possible to improve the spatter resistance in a region where spatter is generated and its influence cannot be ignored, and it is possible to sufficiently ensure the life of the PDP.

また、粒子状材料２２という形状から、それを配した領域での表面粗さを大きなものとすることができ、その結果、形状効果による、放電開始電圧のさらなる低電圧化が可能となる。   In addition, the shape of the particulate material 22 can increase the surface roughness in the region where the particulate material 22 is disposed, and as a result, the discharge start voltage can be further lowered due to the shape effect.

また、粒子状材料２２を配した構成であることから、その領域での表面積が増大し、その結果、イオンが接近できる領域が増加するので、オージェ過程やエクソエミッションなどによる二次電子を効率よく得ることができるようになる。   Further, since the particulate material 22 is arranged, the surface area in the region is increased, and as a result, the region where ions can approach is increased. Therefore, secondary electrons due to Auger process or exo-emission can be efficiently used. Be able to get.

さらに、II族金属においては、（１１１）面が他の結晶方位面より二次電子放出係数が高く、粒子状材料２２を配する構成とすることで、従来のＭｇＯ層構造に比べ、その領域において（１１１）面が含まれる確率が高まり、その結果、二次電子が得られやすくなり、放電開始電圧の低電圧化が可能となる。   Furthermore, in the group II metal, the (111) plane has a higher secondary electron emission coefficient than the other crystal orientation planes, and the region in which the particulate material 22 is arranged can be compared with the conventional MgO layer structure. In this case, the probability that the (111) plane is included increases, and as a result, secondary electrons are easily obtained, and the discharge start voltage can be lowered.

また、上述した効果は、放電空間１５に露出した、放電ギャップ４と非発光領域１７とを除いた領域に、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２が配されていれば同様の効果を得ることができるので、例えば、図２２に示すような、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２は、誘電体層８上の、放電ギャップ４と非発光領域１７とを除いた領域以上に配されており、この粒子状材料２２を覆うように、ＭｇＯ層１９が、放電ギャップ４と非発光領域１７とに対する領域に配された構成や、図２３に示すような、誘電体層８を覆う、ＭｇＯ層１９上の、放電ギャップ４と非発光領域１７とを除いた領域にＭｇＯにより構成される粒子状材料２２を配するという構成でもかまわない。このような構成であると、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２の配設領域とＭｇＯ層１９とのパターニング形成が容易となり好ましい。   Further, the above-described effect can be obtained when the particulate material 22 composed of MgO is disposed in the region excluding the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17 exposed in the discharge space 15. Therefore, for example, as shown in FIG. 22, the particulate material 22 composed of MgO is disposed on the dielectric layer 8 over the region excluding the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17. The MgO layer 19 covers the dielectric layer 8 as shown in FIG. 23, or a configuration in which the MgO layer 19 is disposed in the region with respect to the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17 so as to cover the particulate material 22. A configuration in which the particulate material 22 composed of MgO is disposed on the region 19 except for the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17 may be employed. Such a configuration is preferable because patterning formation of the arrangement region of the particulate material 22 composed of MgO and the MgO layer 19 becomes easy.

なお、粒子状材料２２の材料としては、耐スパッタ性のみを考慮するとＭｇＯが最も好ましいのであるが、放電電圧を低下させるという目的には、その電子殻の構造からＭｇＯよりも二次電子放出性能の高いと考えられる、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｒａなど、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少な
くとも一つの材料により構成される粒子状材料２０を用いることが好ましいことを本発明者が確認している。 The material of the particulate material 22 is most preferably MgO considering only the sputter resistance, but for the purpose of lowering the discharge voltage, the secondary electron emission performance is higher than that of MgO because of the structure of the electron shell. Particles composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg, such as Ca, Ba, Sr, and Ra. The present inventors have confirmed that it is preferable to use the material 20.

ここで、従来、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料は、放電時のスパッタに対しての耐久性に問題があったのであるが、しかしながら、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの場合、粒子状材料とすることで耐スパッタ性を従来に比べ確保しているので、したがって例えば、図２４〜図２６に示すように、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｒａなど、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により粒子状材料２０を構成することで、さらに耐スパッタ性の確保と放電電圧の低下を図ることが可能となる。   Here, conventionally, at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg has a problem in durability against sputtering during discharge. However, in the case of the PDP according to the embodiment of the present invention, since the sputter resistance is ensured by using the particulate material as compared with the prior art, for example, as shown in FIGS. Thus, the particulate material 20 is composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg, such as Ca, Sr, Ba, and Ra. As a result, it becomes possible to further secure the sputtering resistance and lower the discharge voltage.

以上の、図２１〜図２６に示した構成に対して、スパッタによるダメージが非常に小さい領域である、放電ギャップ４と非発光領域１７とに対する領域に形成されているＭｇＯ層１９の代わりに、図２７〜図３２に示すように、ＭｇＯよりは耐スパッタ性能は劣るが二次電子放出性能の高い、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８を形成することにより、耐スパッタ性能を確保しつつ、この領域でエクソエミッションやオージェ過程で説明されるメカニズムによる二次電子放出を効果的に得ることができるようになり、長寿命、低駆動電圧のＰＤＰを実現することが可能となる。   In place of the MgO layer 19 formed in the region with respect to the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17, which is a region where damage due to sputtering is very small compared to the configuration shown in FIGS. As shown in FIG. 27 to FIG. 32, among the oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Be and Mg, which are inferior in sputtering performance to MgO but have high secondary electron emission performance. By forming the material layer 18 composed of at least one material selected from the above, it is possible to effectively prevent the secondary electron emission by the mechanism explained in the exo-emission or Auger process in this region while ensuring the sputtering performance. As a result, a PDP having a long life and a low driving voltage can be realized.

また図３３は、放電空間１５に露出した、非発光領域１７を除く領域に、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２を保護層９の一部として配した構成としている。また、保護層９の、粒子状材料２２を配した領域以外の領域、すなわち、非発光領域１７には、ＭｇＯ層１９が形成された構成である。   FIG. 33 shows a configuration in which the particulate material 22 composed of MgO is disposed as a part of the protective layer 9 in the region excluding the non-light emitting region 17 exposed in the discharge space 15. Further, the MgO layer 19 is formed in a region of the protective layer 9 other than the region where the particulate material 22 is disposed, that is, in the non-light emitting region 17.

このような構成とすることにより、スパッタが発生しその影響が無視できない領域である、放電ギャップ４と非発光領域１７とを除いた領域に対する耐スパッタ性を向上させることができ、ＰＤＰに対する寿命を十分に確保することが可能となる効果、および、粒子状材料２２を配した構成とすることでの、表面粗さが大きくなることによる駆動電圧を低下させることが可能となるという効果、同じく表面粗さが大きくなることによっての、その領域での表面積が増大し、その結果、イオンが接近できる領域が増加するので、オージェ過程やエクソエミッションなどによる二次電子を効率よく得ることができるようになるという効果、さらに、II族金属においては、（１１１）面が他の結晶方位面より二次電子放出係数が高く、粒子状材料２２を配する構成とすることで、従来のＭｇＯ膜に比べ、その領域において（１１１）面が含まれる確率が高まり、その結果、二次電子が得られやすくなるので、放電開始電圧の低電圧化が可能となるという効果を得ることが可能となる。   By adopting such a configuration, it is possible to improve the sputter resistance for the region excluding the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17 where spatter is generated and the influence thereof cannot be ignored. The effect that can be sufficiently secured, and the effect that the driving voltage can be reduced due to the increased surface roughness due to the configuration in which the particulate material 22 is disposed, As the roughness increases, the surface area in the region increases, and as a result, the region where ions can approach increases, so that secondary electrons from Auger processes and exo-emission can be obtained efficiently. Further, in the group II metal, the (111) plane has a higher secondary electron emission coefficient than other crystal orientation planes, and the particulate material 2 With the configuration in which the structure is arranged, the probability that the (111) plane is included in the region is higher than that of the conventional MgO film, and as a result, secondary electrons are easily obtained, so that the discharge start voltage is reduced. It becomes possible to obtain the effect that the above becomes possible.

そして以上により、耐久性の高い、低駆動電圧のＰＤＰを実現することが可能となる。   As described above, it is possible to realize a PDP having a high durability and a low driving voltage.

また、上述した効果は、放電空間１５に露出した、非発光領域１７を除く領域にＭｇＯにより構成される粒子状材料２２が配され、それ以外の、すなわち非発光領域１７には、ＭｇＯ層１９が形成されておれば同様の効果を得ることができるので、例えば、図３４に示すような、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２は、誘電体層８上の、非発光領域１７を除いた領域以上に配されており、この粒子状材料２２を覆うように、ＭｇＯ層１９が、非発光領域１７に配された構成や、図３５に示すような、誘電体層８を覆うＭｇＯ層１９上の、非発光領域１７を除く領域にＭｇＯにより構成される粒子状材料２２を配するという構成でもかまわない。このような構成であると、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２の配設領域とＭｇＯ層１９とのパターニング形成が容易となり好ましい。   Further, the above-described effect is that the particulate material 22 composed of MgO is disposed in the region excluding the non-light emitting region 17 exposed in the discharge space 15, and the MgO layer 19 is provided in the other region, that is, the non-light emitting region 17. Therefore, for example, the particulate material 22 composed of MgO as shown in FIG. 34 excludes the non-light emitting region 17 on the dielectric layer 8. The MgO layer 19 is disposed over the region, and the MgO layer 19 covers the dielectric layer 8 as shown in FIG. A configuration in which the particulate material 22 composed of MgO is disposed in the region excluding the non-light-emitting region 17 may be employed. Such a configuration is preferable because patterning formation of the arrangement region of the particulate material 22 composed of MgO and the MgO layer 19 becomes easy.

なお粒子状材料２２の材料としては、耐スパッタ性のみを考慮するとＭｇＯが最も好ましいのであるが、放電電圧を低下させるという目的には、その電子殻の構造からＭｇよりも二次電子放出性能の高いと考えられる、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｒａなど、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料を用いることが好ましいことを本発明者が確認している。   The material of the particulate material 22 is most preferably MgO considering only the sputter resistance, but for the purpose of lowering the discharge voltage, secondary electron emission performance is better than Mg due to its electron shell structure. It is preferable to use at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg, such as Ca, Ba, Sr and Ra, which are considered to be high. The present inventor has confirmed.

ここで、従来、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料は、放電時のスパッタに対しての耐久性に問題があったのであるが、しかしながら、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの場合、粒子状材料とすることで耐スパッタ性を従来に比べ確保しているので、したがって例えば、図３６〜図３８に示すように、Ｂａのみ、もしくはＭｇとＢａとの混合物など、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により粒子状材料２０を構成することで、さらに耐スパッタ性の確保と放電電圧の低下を図ることが可能となる。   Here, conventionally, at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg has a problem in durability against sputtering during discharge. However, in the case of the PDP according to the embodiment of the present invention, since the sputter resistance is ensured by using the particulate material as compared with the prior art, for example, as shown in FIGS. Thus, the particulate material 20 is composed of at least one material selected from the group consisting of oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of group II metals other than Be and Mg, such as Ba alone or a mixture of Mg and Ba. By configuring this, it becomes possible to further ensure the sputtering resistance and lower the discharge voltage.

以上の、図３３〜図３８に示した構成に対して、ＭｇＯ層１９を、図３９〜図４４に示すように、ＭｇＯよりは耐スパッタ性能は劣るが二次電子放出性能の高い、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８とすることにより、この領域でエクソエミッションやオージェ過程で説明されるメカニズムによる二次電子放出を効果的に得ることができるようになるので、さらに駆動電圧を低電圧化することが可能となる。   33 to FIG. 38, the MgO layer 19 has a higher secondary electron emission performance than that of MgO, as shown in FIGS. 39 to 44. Explaining exo-emission and Auger processes in this area by using the material layer 18 composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Mg As a result, it is possible to effectively obtain the secondary electron emission by the mechanism, so that the driving voltage can be further lowered.

また、図４５は、放電空間１５に露出した、放電ギャップ４を除く領域に、ＭｇＯの粒子状材料２２を保護層９の一部として配した構成としている。また、保護層９の、粒子状材料２２を配した領域以外の領域、すなわち放電ギャップ４に対する領域には、ＭｇＯ層１９が形成された構成である。   FIG. 45 shows a configuration in which the MgO particulate material 22 is disposed as a part of the protective layer 9 in the region excluding the discharge gap 4 exposed in the discharge space 15. Further, the MgO layer 19 is formed in a region of the protective layer 9 other than the region where the particulate material 22 is arranged, that is, a region corresponding to the discharge gap 4.

このような構成とすることにより、スパッタが発生しその影響が無視できない領域である、放電ギャップ４と非発光領域１７とを除いた領域に対する耐スパッタ性を向上させることができ、ＰＤＰに対する寿命を十分に確保することが可能となる効果、および、粒子状材料２２を配した構成とすることでの、表面粗さが大きくなることによる駆動電圧を低下させることが可能となるという効果、同じく表面粗さが大きくなることによっての、その領域での表面積が増大し、その結果、イオンが接近できる領域が増加するので、オージェ過程やエクソエミッションなどによる二次電子を効率よく得ることができるようになるという効果、さらに、II族金属においては、（１１１）面が他の結晶方位面より二次電子放出係数が高く、粒子状材料２２を配する構成とすることで、従来のＭｇＯ膜に比べ、その領域において（１１１）面が含まれる確率が高まり、その結果、二次電子が得られやすくなるので、放電開始電圧の低電圧化が可能となるという効果を得ることが可能となる。   By adopting such a configuration, it is possible to improve the sputter resistance for the region excluding the discharge gap 4 and the non-light emitting region 17 where spatter is generated and the influence thereof cannot be ignored. The effect that can be sufficiently secured, and the effect that the driving voltage can be reduced due to the increased surface roughness due to the configuration in which the particulate material 22 is disposed, As the roughness increases, the surface area in the region increases, and as a result, the region where ions can approach increases, so that secondary electrons from Auger processes and exo-emission can be obtained efficiently. Further, in the group II metal, the (111) plane has a higher secondary electron emission coefficient than other crystal orientation planes, and the particulate material 2 With the configuration in which the structure is arranged, the probability that the (111) plane is included in the region is higher than that of the conventional MgO film, and as a result, secondary electrons are easily obtained, so that the discharge start voltage is reduced. It becomes possible to obtain the effect that the above becomes possible.

そして以上により、耐久性の高い、低駆動電圧のＰＤＰを実現することが可能となる。   As described above, it is possible to realize a PDP having a high durability and a low driving voltage.

また、上述した効果は、放電空間１５に露出した、放電ギャップ４を除く領域にＭｇＯにより構成される粒子状材料２２が配され、それ以外の、すなわち放電ギャップ４に対する領域には、ＭｇＯ層１９が形成されておれば同様の効果を得ることができるので、図４６に示すような、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２は、誘電体層８上の、放電ギャップ４を除く領域以上に配されており、この粒子状材料２２を覆うように、ＭｇＯ層１９が、放電ギャップ４に対する領域に配された構成や、図４７に示すような、誘電体層８を覆うＭｇＯ層１９上の、放電ギャップ４に対する領域を除いた領域に、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２を配するという構成でもかまわない。このような構成であると、ＭｇＯにより構成される粒子状材料２２の配設領域とＭｇＯ層１９とのパターニング形成が容易となり好ましい。   Further, the above-described effect is that the particulate material 22 composed of MgO is disposed in the region excluding the discharge gap 4 exposed in the discharge space 15, and the MgO layer 19 is provided in the other region, that is, the region with respect to the discharge gap 4. 46 is formed, the particulate material 22 composed of MgO as shown in FIG. 46 is disposed on the dielectric layer 8 over the region excluding the discharge gap 4. In order to cover the particulate material 22, the MgO layer 19 is arranged in a region corresponding to the discharge gap 4, or the MgO layer 19 covering the dielectric layer 8 as shown in FIG. A configuration in which the particulate material 22 composed of MgO is disposed in a region excluding the region corresponding to the discharge gap 4 may be used. Such a configuration is preferable because patterning formation of the arrangement region of the particulate material 22 composed of MgO and the MgO layer 19 becomes easy.

なお粒子状材料２２の材料としては、耐スパッタ性のみを考慮するとＭｇＯが最も好ましいのであるが、放電電圧を低下させるという目的には、その電子殻の構造からＭｇよりも二次電子放出性能の高いと考えられる、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｒａなど、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料を用いることが好ましいことを本発明者が確認している。   The material of the particulate material 22 is most preferably MgO considering only the sputter resistance, but for the purpose of lowering the discharge voltage, secondary electron emission performance is better than Mg due to its electron shell structure. It is preferable to use at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg, such as Ca, Ba, Sr and Ra, which are considered to be high. The present inventor has confirmed.

ここで、従来、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料は、放電時のスパッタに対しての耐久性に問題があったのであるが、しかしながら、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの場合、粒子状材料とすることで耐スパッタ性を従来に比べ確保しているので、したがって例えば、図４８〜図５０に示すように、Ｂａのみ、もしくはＭｇとＢａとの混合物など、Ｂｅ、Ｍｇ以外のII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により粒子状材料２０を構成することで、さらに耐スパッタ性の確保と放電電圧の低下を図ることが可能となる。   Here, conventionally, at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Be and Mg has a problem in durability against sputtering during discharge. However, in the case of the PDP according to the embodiment of the present invention, since the sputter resistance is ensured by using the particulate material as compared with the prior art, for example, as shown in FIGS. Thus, the particulate material 20 is composed of at least one material selected from the group consisting of oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of group II metals other than Be and Mg, such as Ba alone or a mixture of Mg and Ba. By configuring this, it becomes possible to further ensure the sputtering resistance and lower the discharge voltage.

また以上の、図４５〜図５０に示した構成に対して、ＭｇＯ層１９を、図５１〜図５６に示すように、ＭｇＯよりは耐スパッタ性能は劣るが二次電子放出性能の高い、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層１８とすることにより、この領域でエクソエミッションやオージェ過程で説明されるメカニズムによる二次電子放出を効果的に得ることができるようになるので、さらに駆動電圧を低電圧化することが可能となる。   In addition to the above-described configurations shown in FIGS. 45 to 50, the MgO layer 19 has a higher secondary electron emission performance than the MgO layer, as shown in FIGS. 51 to 56. By using the material layer 18 composed of at least one material selected from the group consisting of oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals other than Mg, in this region, in the exo-emission and Auger processes Since secondary electron emission by the mechanism described can be effectively obtained, the drive voltage can be further reduced.

また以上説明した構成においては、非発光領域１７に粒子状材料２０もしくは粒子材料２２を形成しており、このことにより、走査電極５側のバス電極５ｂに対する領域に、二次電子放出性能の高い粒子状材料２０が配されることとなるので、このことからＰＤＰの駆動時において、走査電極５とアドレス電極１１との対向放電を発生させる書き込み期間において、その際の放電開始電圧を低下させることができるという効果も得ることが可能となる。   Further, in the configuration described above, the particulate material 20 or the particulate material 22 is formed in the non-light emitting region 17, and thus, the secondary electron emission performance is high in the region for the bus electrode 5 b on the scanning electrode 5 side. Since the particulate material 20 is disposed, the discharge start voltage at that time is lowered during the writing period in which the opposing discharge between the scan electrode 5 and the address electrode 11 is generated when the PDP is driven. It is also possible to obtain the effect of being able to.

なお、以上、図３から図５６で示した構成においては、ＭｇＯ層、材料層、および粒子状材料の形態などは、模式的に示したものである。ＭｇＯ層、材料層は、実際には、柱状組織の集合体であったり、柱状組織間に空隙が存在していたりするものであるが、蒸着やスパッタなどの成膜プロセスによって形成されたものを指すものである。   As described above, in the configurations shown in FIGS. 3 to 56, the forms of the MgO layer, the material layer, the particulate material, and the like are schematically shown. The MgO layer and the material layer are actually aggregates of columnar structures, or there are voids between the columnar structures, but those formed by a film forming process such as vapor deposition or sputtering are used. It is what you point to.

また粒子状材料も、その配された領域においては、その厚み方向に粒子状材料が何個かが積層された状態であったり、粒子状材料の形状も、多角形や立方体、直方体などの形状など、図に示したような丸の単層とはならない場合が多い。   In addition, in the area where the particulate material is arranged, some of the particulate material is stacked in the thickness direction, and the shape of the particulate material is also a shape such as a polygon, a cube, a rectangular parallelepiped, etc. In many cases, it does not become a round single layer as shown in the figure.

なお、粒子状材料が単結晶材料で、（１１１）面が露呈した状態であれば、二次電子の放出がなされやすく好ましい。   Note that it is preferable that the particulate material be a single crystal material and the (111) plane be exposed, since secondary electrons are easily emitted.

また、以上においては、その電子殻構造により、ＭｇＯより二次電子の放出性能が高いと考えられる、Ｂｅ、Ｍｇを除いたII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料以外にも、ＢａＯ、Ｙ2Ｏ3，ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2、（ＭｇＯ）0.7（ＳｒＯ）0.2（ＣａＯ）0.1、ＬａＢ6などの材料を用いても同様の効果を得ることが可能である。 In the above, among the oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Be and Mg, which are considered to have higher secondary electron emission performance than MgO due to their electron shell structure. In addition to at least one material selected from the above, materials such as BaO, Y 2 O 3 , ZrO 2 , Al 2 O 3 , SiO 2 , (MgO) 0.7 (SrO) 0.2 (CaO) 0.1 , LaB 6 are used. The same effect can be obtained.

なお、上述での保護層９に対するダメージは、放電ガスのＸｅの分圧が高まるほど顕著となるため、本発明は、例えばＸｅの分圧が１０％以上などの高Ｘｅ分圧の放電ガスを使用したＰＤＰに対して、特に効果を奏することとなる。   Since the damage to the protective layer 9 becomes more significant as the Xe partial pressure of the discharge gas increases, the present invention uses a discharge gas having a high Xe partial pressure such as a Xe partial pressure of 10% or more. This is particularly effective for the used PDP.

以上述べてきたように本発明のプラズマディスプレイによると、ＰＤＰの放電開始電圧の低下と長寿命の両立が可能となり、もって高効率のＰＤＰを提供することができる。   As described above, according to the plasma display of the present invention, it is possible to achieve both a reduction in the discharge start voltage of the PDP and a long life, thereby providing a highly efficient PDP.

本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す断面斜視図1 is a cross-sectional perspective view showing a schematic configuration of a plasma display panel according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの画像表示部の概略構成を示す平面図The top view which shows schematic structure of the image display part of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this 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panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the 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plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分概略構成を模式的に示す断面図Sectional drawing which shows typically the partial schematic structure of the front plate of the plasma display panel by one embodiment of this invention

符号の説明Explanation of symbols

１ 前面板
２ 背面板
３ 基板
４ 放電ギャップ
５ 走査電極
６ 維持電極
７ 表示電極
８ 誘電体層
９ 保護層
１０ 基板
１１ アドレス電極
１２ 誘電体層
１３ 隔壁
１４ 蛍光体層
１５ 放電空間
１６ 放電セル
１７ 非発光領域
１８ Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層
１９ ＭｇＯ層
２０ Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される粒子状材料
２１ ＭｇＯ層など、II族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料により構成される材料層
２２ ＭｇＯにより構成される粒子状材料 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front plate 2 Back plate 3 Substrate 4 Discharge gap 5 Scan electrode 6 Sustain electrode 7 Display electrode 8 Dielectric layer 9 Protective layer 10 Substrate 11 Address electrode 12 Dielectric layer 13 Partition 14 Phosphor layer 15 Discharge space 16 Discharge cell 17 Non Luminescent region 18 Material layer composed of at least one material selected from oxides, fluorides, simple compounds and mixed compounds of group II metals excluding Be and Mg 19 MgO layer 20 Group II excluding 20 Be and Mg Particulate material composed of at least one material selected from metal oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds 21 MgO layer, etc. Group II metal oxides, fluorides, simple compounds, mixed Material layer composed of at least one material selected from compounds 22 Particulate material composed of MgO

Claims (4)

内部に放電空間を形成するように隔壁を挟んで対向配置した前面板と背面板とを備え、前面板は、基板上に、放電ギャップを挟んで対峙する走査電極と維持電極とにより構成される表示電極と、この表示電極を覆う誘電体層と、この誘電体層を覆う保護層とを有し、背面板は、基板上に、表示電極と交差するアドレス電極を有し、前記放電空間に露出した放電ギャップに対する領域に、保護層の一部として、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの材料層を配したことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 A front plate and a back plate are arranged opposite to each other so as to form a discharge space inside, and the front plate is constituted by a scan electrode and a sustain electrode facing each other across a discharge gap on the substrate. A display electrode; a dielectric layer covering the display electrode; and a protective layer covering the dielectric layer; the back plate has an address electrode intersecting the display electrode on the substrate; As a part of the protective layer, at least one material layer selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Be and Mg is disposed in a region corresponding to the exposed discharge gap. A plasma display panel characterized by 内部に放電空間を形成するように隔壁を挟んで対向配置した前面板と背面板とを備え、前面板は、基板上に、放電ギャップを挟んで対峙する走査電極と維持電極とにより構成される表示電極と、この表示電極を覆う誘電体層と、この誘電体層を覆う保護層とを有し、背面板は、基板上に、表示電極と交差するアドレス電極を有し、前記放電空間に露出した放電ギャップに対する領域に、保護層の一部として、Ｂｅ、Ｍｇを除くII族金属の、酸化物、フッ化物、単体化合物、混合化合物の中から選ばれる少なくとも一つの粒子状材料を配したことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 A front plate and a back plate are arranged opposite to each other so as to form a discharge space inside, and the front plate is constituted by a scan electrode and a sustain electrode facing each other across a discharge gap on the substrate. A display electrode; a dielectric layer covering the display electrode; and a protective layer covering the dielectric layer; the back plate has an address electrode intersecting the display electrode on the substrate; At least one particulate material selected from oxides, fluorides, simple compounds, and mixed compounds of Group II metals excluding Be and Mg is disposed as a part of the protective layer in a region corresponding to the exposed discharge gap. A plasma display panel characterized by that. 前記粒子状材料が、単結晶粒子であることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。 The plasma display panel according to claim 2, wherein the particulate material is a single crystal particle. 前記放電空間には、Ｘｅを１０％以上の分圧で含む放電ガスが封入されていることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイパネル。 The plasma display panel according to claim 1 or 2, wherein a discharge gas containing Xe at a partial pressure of 10% or more is enclosed in the discharge space.
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