JP2007127977A - Integrated circuit device and electronic apparatus - Google Patents

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Maki Shoda
真樹 正田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an integrated circuit device that supplies various inspection data in a short period of time, and also to provide an electronic apparatus including the device. <P>SOLUTION: A driver IC 10 includes: an input interface circuit 14; a non-volatile data memory 20 where first inspection data are preliminarily stored through the input interface circuit; a data register 600 where second inspection data are stored through the input interface circuit 14 during inspection; a selector 610 for selecting one of the outputs from the non-volatile data memory 20 and the register; and a selector control circuit 640 for controlling to switch the selector 610 according to a selector switching command inputted through the input interface circuit 14. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、集積回路装置及び電子機器に関する。   The present invention relates to an integrated circuit device and an electronic apparatus.

液晶パネルなどの表示パネルを駆動する集積回路装置として表示ドライバ(LCDドライバ)がある。この表示ドライバでは、低コスト化のためにチップサイズの縮小が要求される。   There is a display driver (LCD driver) as an integrated circuit device for driving a display panel such as a liquid crystal panel. This display driver is required to reduce the chip size in order to reduce the cost.

しかしながら、携帯電話機などに組み込まれる表示パネルの大きさはほぼ一定である。従って、微細プロセスを採用し、表示ドライバの集積回路装置を単純にシュリンクしてチップサイズを縮小しようとすると、実装が困難になるなどの問題を招く。   However, the size of a display panel incorporated in a mobile phone or the like is almost constant. Therefore, if a fine process is adopted and the integrated circuit device of the display driver is simply shrunk to reduce the chip size, problems such as difficulty in mounting are caused.

また、ユーザーが表示ドライバを液晶パネルに実装して表示装置を製造するにあたり、表示ドライバ側にて種々の調整が必要である。例えば、表示ドライバをパネルの仕様(アモルファスTFT、低温ポリシリコンTFT、QCIF、QVGA、VGA等)や駆動条件の仕様に合わせる調整や、あるいはパネル間の表示特性にばらつきがないように調整することである。ICメーカ側でも、IC検査時に、発振周波数、出力電圧の調整や、冗長メモリへの切換などが必要となっている。   In addition, when a user mounts a display driver on a liquid crystal panel to manufacture a display device, various adjustments are necessary on the display driver side. For example, by adjusting the display driver according to the specifications of the panel (amorphous TFT, low-temperature polysilicon TFT, QCIF, QVGA, VGA, etc.) and driving conditions, or by adjusting the display characteristics so that there is no variation between the panels. is there. The IC manufacturer also needs to adjust the oscillation frequency and output voltage, switch to redundant memory, etc. during IC inspection.

従来は、ユーザー側の調整は、外付けのEPROM(ELECTRICAL ERASABLE PROGRAMABLE READ ONLY MEMORY)、外付けのトリマ抵抗(可変抵抗)により行なわれていた。ICメーカ側での冗長メモリへの切換などは、集積回路装置内に設けたヒューズ素子の溶断により行なわれていた。 Conventionally, the adjustment on the user side has been performed by an external E 2 PROM (ELECTRICAL ERASABLE PROGRAMABLE READ ONLY MEMORY) and an external trimmer resistance (variable resistance). Switching to a redundant memory on the IC manufacturer side is performed by fusing a fuse element provided in the integrated circuit device.

しかし、部品の外付け作業はユーザーにとって煩雑であり、トリマ抵抗は高価でサイズも大きく、壊れ易いと言う欠点もある。ICメーカ側にとっても、ヒューズ素子の切断、その後の動作確認の作業も煩雑である。   However, the external work of the components is complicated for the user, and the trimmer resistor is expensive, large in size, and has the disadvantage of being easily broken. For the IC manufacturer side, the work of cutting the fuse element and the subsequent operation confirmation are also complicated.

ここで、二層のゲートを要するスタックゲート型の不揮性記憶装置と比して、簡易な製造工程で、かつ安価なコストで製造できる不揮発性記憶装置として、特許文献1に記載の不揮発性記憶装置が提案されている。特許文献1に記載の不揮発性記憶装置は、コントロールゲートが半導体層内のN型の不純物領域であり、フローティングゲート電極が、一層のポリシリコン層などの導電層からなる(以下、「単層ゲート型の不揮発性記憶装置」ということもある)。このような単層ゲート型の不揮発性記憶装置は、ゲート電極を積層する必要がないため、通常のCMOSトランジスタのプロセスと同様にして形成することができる。   Here, as a non-volatile memory device that can be manufactured at a low cost with a simple manufacturing process as compared with a stacked gate type non-volatile memory device that requires two layers of gates, the non-volatile memory described in Patent Document 1 Storage devices have been proposed. In the nonvolatile memory device described in Patent Document 1, the control gate is an N-type impurity region in the semiconductor layer, and the floating gate electrode is formed of a conductive layer such as a single polysilicon layer (hereinafter referred to as “single-layer gate”). Type non-volatile memory device). Such a single-layer gate type nonvolatile memory device can be formed in the same manner as a process of a normal CMOS transistor because it is not necessary to stack gate electrodes.

本発明者等は、この種の不揮発性記憶装置に検査データを格納しておき、検査時に不揮発性記憶装置から読み出された検査データを、集積回路装置内の被検査回路に供給して検査を実施することを試みた。
特開昭63−166274号公報
The inventors store inspection data in this type of nonvolatile storage device, and supply the inspection data read from the nonvolatile storage device at the time of inspection to the circuit to be inspected in the integrated circuit device for inspection. Tried to carry out.
JP 63-166274 A

本発明の目的は、不揮発性記憶装置から検査データを供給するだけでなく、操作者が直接入力できるレジスタからの検査データをも割り込みにより供給でき、様々な検査データを短時間で供給できるようにした集積回路装置及びこれを含む電子機器を提供することにある。   An object of the present invention is not only to supply inspection data from a nonvolatile storage device, but also to supply inspection data from a register that can be directly input by an operator by interruption, so that various inspection data can be supplied in a short time. An integrated circuit device and an electronic apparatus including the integrated circuit device are provided.

本発明の一態様に係る集積回路装置は、入力インターフェース回路と、前記入力インターフェース回路を介して第1の検査データが予め記憶される不揮発性データメモリと、検査時に、前記入力インターフェース回路を介して第2の検査データが記憶されるデータレジスタと、前記不揮発性データメモリ及び前記データレジスタの一方の出力を選択するセレクタと、前記入力インターフェース回路を介して入力されるセレクタ切換コマンドに従って、前記セレクタを切換え制御するセレクタ制御回路とを有することを特徴とする。   An integrated circuit device according to an aspect of the present invention includes an input interface circuit, a nonvolatile data memory in which first inspection data is stored in advance via the input interface circuit, and the input interface circuit during inspection. In accordance with a data register for storing second test data, a selector for selecting one output of the nonvolatile data memory and the data register, and a selector switching command input via the input interface circuit, the selector And a selector control circuit for switching control.

本発明の一態様では、検査時に、入力インターフェース回路を介してデータレジスタに第2の検査データを記憶し、入力インターフェース回路を介して入力されるセレクタ切換コマンドに従ってセレクタ制御回路がセレクタを切換え制御する。これにより、不揮発性データメモリからの第1の検査データだけでなく、データレジスタからの第2の検査データを割込み出力させることができる。よって、様々な検査データを短時間で供給でき、検出率を高めることができる。   In one aspect of the present invention, at the time of inspection, the second inspection data is stored in the data register through the input interface circuit, and the selector control circuit switches and controls the selector according to the selector switching command input through the input interface circuit. . As a result, not only the first test data from the nonvolatile data memory but also the second test data from the data register can be output as an interrupt. Therefore, various inspection data can be supplied in a short time, and the detection rate can be increased.

本発明の一態様では、前記入力インターフェース回路は、N(Nは2以上の整数)ビットの検査データまたはセレクタ切換コマンドが入力される入力端子を有し、前記第1及び第2の検査データの各々はNビットの検査データであり、前記セレクタ制御回路は、Nビットのセレクタ切換コマンドが入力される論理ゲートの出力に基づいて、前記セレクタが前記データレジスタの出力を選択するように切換え制御することができる。   In one aspect of the present invention, the input interface circuit has an input terminal to which N (N is an integer of 2 or more) bits of inspection data or a selector switching command is input, and the first and second inspection data Each is N-bit test data, and the selector control circuit performs switching control so that the selector selects the output of the data register based on the output of the logic gate to which the N-bit selector switching command is input. be able to.

このように、検査データと同じNビットのセレクタ切換コマンドの論理を予め定めておくことで、このNビットのセレクタ切換コマンドが入力される論理ゲートの出力によって、セレクタを切換え制御できる。   As described above, the logic of the same N-bit selector switching command as that of the inspection data is determined in advance, so that the selector can be switched and controlled by the output of the logic gate to which the N-bit selector switching command is input.

本発明の一態様では、前記データレジスタは、第1〜第Nのレジスタを含み、レジスタ書き込み信号がアクティブである第1期間中に、前記第1〜第Nのレジスタに、Nビットの前記第2の検査データの各ビットがそれぞれ書き込まれ、前記セレクタ制御回路は、セレクタ制御レジスタを含み、前記第1期間後にレジスタ出力信号がアクティブとなる第2期間に、前記論理ゲートからの出力に基づいて前記セレクタ制御レジスタに出力切換データが書き込まれるようにしてもよい。   In one aspect of the present invention, the data register includes first to Nth registers, and the first to Nth registers have the N-bit first register during a first period in which a register write signal is active. Each of the two test data bits is written, and the selector control circuit includes a selector control register, and a second period in which the register output signal becomes active after the first period is based on the output from the logic gate. Output switching data may be written in the selector control register.

このように、第2の検査データの書き込み期間と、出力切換データの書き込み期間とを分けることで、入力インターフェース回路を介して入力される第2の検査データと、入力インターフェース回路を介して入力されるセレクタ切換コマンドに基づいて生成された出力切換データとを、それぞれのレジスタに書き込むことができる。   In this way, by dividing the writing period of the second inspection data and the writing period of the output switching data, the second inspection data input via the input interface circuit and the input interface circuit are input. The output switching data generated based on the selector switching command can be written to the respective registers.

本発明の一態様では、前記第1〜第Nのレジスタは、前記第1期間中に入力された第1の動作クロックに基づいて、Nビットの前記第2の検査データの各ビットがそれぞれ書き込まれ、前記セレクタ制御レジスタは、前記第2期間中に入力された第2の動作クロックに基づいて、前記出力切換データが書き込まれ、前記第2期間に、記第1〜第Nのレジスタより前記第2の検査データが読み出され、かつ、前記セレクタ制御レジスタより前記出力切換データが読み出されて、前記セレクタにて前記第2の検査データを選択することができる。   In one aspect of the present invention, the first to Nth registers are each written with N bits of the second check data based on the first operation clock input during the first period. In the selector control register, the output switching data is written based on the second operation clock input during the second period, and in the second period, the first to Nth registers Second inspection data is read, and the output switching data is read from the selector control register, so that the second inspection data can be selected by the selector.

こうして、各期間にそれぞれ1発ずつ入力される動作クロックに基づいて、第2の検査データの書き込み、出力切換データの書き込み、セレクタからの第2の検査データの選択をそれぞれ実施することができる。   Thus, the second test data can be written, the output switching data can be written, and the second test data can be selected from the selector, based on the operation clock that is input once for each period.

本発明の一態様では、前記セレクタの後段にデータ出力回路が接続され、前記データ出力回路はラッチ回路を含むことができる。この場合、前記第2期間後の第3期間中に入力された第3の動作クロックと同期してアクティブとなるラッチ信号に基づいて、前記セレクタにて選択された前記第2の検査データを前記ラッチ回路にてラッチすることができる。   In one embodiment of the present invention, a data output circuit is connected to a subsequent stage of the selector, and the data output circuit can include a latch circuit. In this case, the second inspection data selected by the selector based on the latch signal that becomes active in synchronization with the third operation clock input during the third period after the second period is stored in the second inspection data. It can be latched by a latch circuit.

本発明の一態様では、前記データレジスタ及び前記セレクタ制御回路を含むマクロセルを選択するマクロセル選択信号がアクティブからノンアクティブとなった時に、前記第1〜第Nのレジスタ及び前記セレクタ制御レジスタをリセットすることができる。   In one aspect of the present invention, the first to Nth registers and the selector control register are reset when a macro cell selection signal for selecting a macro cell including the data register and the selector control circuit changes from active to non-active. be able to.

このリセット動作により、セレクタが不揮発性データメモリを選択する通常動作に復帰できる。   By this reset operation, the selector can return to the normal operation of selecting the nonvolatile data memory.

ここで、前記マクロセル選択信号の供給線に遅延回路が設けられ、前記遅延回路は、前記第1〜第Nのレジスタがリセットされるタイミングを、前記セレクタ制御レジスタがリセットされるタイミングよりも遅らせることが好ましい。   Here, a delay circuit is provided in the macro cell selection signal supply line, and the delay circuit delays the timing at which the first to Nth registers are reset from the timing at which the selector control register is reset. Is preferred.

第1〜第Nのレジスタが先にリセットされることで発生する第2の検査データ以外のデータが、セレクタより出力されるという誤動作を、防止することができる。   It is possible to prevent a malfunction in which data other than the second inspection data generated by first resetting the first to Nth registers is output from the selector.

本発明の一態様では、前記不揮発性データメモリは、消去、プログラム及びコントロールゲートを制御する複数のロジック信号に基づいて動作制御され、前記マクロセル選択信号は、前記複数のロジック信号の各論理の組み合わせに基づいて生成されても良い。   In one aspect of the present invention, the nonvolatile data memory is controlled in operation based on a plurality of logic signals for controlling erase, program and control gates, and the macro cell selection signal is a combination of logics of the plurality of logic signals. May be generated based on

マクロセル選択信号がアクティブである時には不揮発性データメモリは使用されずに複数のロジック信号は不要となる。この不要となる複数のロジック信号を利用して、マクロセル選択信号を生成することができる。   When the macro cell selection signal is active, the nonvolatile data memory is not used and a plurality of logic signals are not required. A macro cell selection signal can be generated using a plurality of unnecessary logic signals.

本発明の一態様では、前記不揮発性データメモリに設けられた複数のメモリセルの各々は、半導体基板に形成された書き込み/読み出しトランジスタ及び消去トランジスタと、前記書き込み/読み出しトランジスタ及び前記消去トランジスタの各ゲートに共用されるフローティングゲートと、前記半導体基板に形成されており、前記フローティングゲートが絶縁層を介して対向する位置に形成された不純物領域にて形成されるコントロールゲートと、を有することができる。   In one embodiment of the present invention, each of the plurality of memory cells provided in the nonvolatile data memory includes a write / read transistor and an erase transistor formed on a semiconductor substrate, and each of the write / read transistor and the erase transistor. A floating gate shared by the gate; and a control gate formed in the semiconductor substrate and formed in an impurity region formed at a position where the floating gate faces through an insulating layer. .

本発明の一態様でも、フローティングゲートのみの「単層ゲート」構造であるが、書き込みと消去とをチャネルの導電型が異なるMOSトランジスタで行なっている点が従来技術と異なる。書き込み領域と同一の箇所で消去をする場合と比して消去の電圧に対する耐圧を向上させることができる。   One embodiment of the present invention also has a “single layer gate” structure with only a floating gate, but differs from the prior art in that writing and erasing are performed by MOS transistors having different channel conductivity types. The withstand voltage against the erase voltage can be improved as compared with the case of erasing at the same location as the write region.

また本発明の他の態様は、上記のいずれかに記載の集積回路装置と、前記集積回路装置により駆動される表示パネルとを含む電子機器を定義している。   Another aspect of the present invention defines an electronic device including any of the integrated circuit devices described above and a display panel driven by the integrated circuit device.

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The present embodiment described below does not unduly limit the contents of the present invention described in the claims, and all the configurations described in the present embodiment are indispensable as means for solving the present invention. Not necessarily.

1.集積回路装置の構成
本実施形態の集積回路装置10の構成例を図1に示す。本実施形態では、集積回路装置10の短辺である第1の辺SD1から対向する第3の辺SD3へと向かう方向を第1の方向D1とし、D1の反対方向を第3の方向D3としている。また集積回路装置10の長辺である第2の辺SD2から対向する第4の辺SD4へと向かう方向を第2の方向D2とし、D2の反対方向を第4の方向D4としている。なお、図1では集積回路装置10の左辺が第1の辺SD1で、右辺が第3の辺SD3になっているが、左辺が第3の辺SD3で、右辺が第1の辺SD1であってもよい。
1. Configuration of Integrated Circuit Device FIG. 1 shows a configuration example of the integrated circuit device 10 of the present embodiment. In the present embodiment, the direction from the first side SD1 which is the short side of the integrated circuit device 10 to the third side SD3 facing the first direction D1 is the first direction D1, and the opposite direction of D1 is the third direction D3. Yes. The direction from the second side SD2 which is the long side of the integrated circuit device 10 to the fourth side SD4 facing the second side D2 is a second direction D2, and the opposite direction of D2 is a fourth direction D4. In FIG. 1, the left side of the integrated circuit device 10 is the first side SD1 and the right side is the third side SD3. However, the left side is the third side SD3 and the right side is the first side SD1. May be.

図1に示すように本実施形態の集積回路装置10は、D1方向に沿って配置される第1〜第Nの回路ブロックCB1〜CBN(Nは2以上の整数)を含む。本実施形態では回路ブロックCB1〜CBNがD1方向に並んでいる。第1〜第Nの回路ブロックCB1〜CBNの詳細については後述する。   As shown in FIG. 1, the integrated circuit device 10 of this embodiment includes first to Nth circuit blocks CB1 to CBN (N is an integer of 2 or more) arranged along the direction D1. In this embodiment, circuit blocks CB1 to CBN are arranged in the D1 direction. Details of the first to Nth circuit blocks CB1 to CBN will be described later.

また集積回路装置10は、第1〜第Nの回路ブロックCB1〜CBNのD2方向側に辺SD4に沿って設けられる出力側I/F領域12を含む。また第1〜第Nの回路ブロックCB1〜CBNのD4方向側に辺SD2に沿って設けられる入力側I/F領域14(入力インターフェース回路)を含む。より具体的には、出力側I/F領域12(第1のインターフェース領域)は、回路ブロックCB1〜CBNのD2方向側に、例えば他の回路ブロック等を介さずに配置される。また入力側I/F領域14(第2のインターフェース領域)は、回路ブロックCB1〜CBNのD4方向側に、例えば他の回路ブロック等を介さずに配置される。なお集積回路装置10をIP(Intellectual Property)コアとして用いて他の集積回路装置に組み込む場合等には、I/F領域12、14の少なくとも一方を設けない構成とすることもできる。   Further, the integrated circuit device 10 includes an output side I / F region 12 provided along the side SD4 on the D2 direction side of the first to Nth circuit blocks CB1 to CBN. Further, the first to Nth circuit blocks CB1 to CBN include an input side I / F region 14 (input interface circuit) provided along the side SD2 on the D4 direction side. More specifically, the output-side I / F area 12 (first interface area) is arranged on the D2 direction side of the circuit blocks CB1 to CBN without using, for example, other circuit blocks. The input-side I / F area 14 (second interface area) is arranged on the D4 direction side of the circuit blocks CB1 to CBN, for example, without passing through other circuit blocks. Note that when the integrated circuit device 10 is used as an IP (Intellectual Property) core and incorporated in another integrated circuit device, at least one of the I / F regions 12 and 14 may be omitted.

出力側(表示パネル側)I/F領域12は、表示パネルとのインターフェースとなる領域であり、パッドや、パッドに接続される出力用トランジスタ、保護素子などの種々の素子を含む。なお表示パネルがタッチパネルである場合等には、入力用トランジスタを含んでもよい。   The output side (display panel side) I / F area 12 is an area serving as an interface with the display panel, and includes various elements such as a pad, an output transistor connected to the pad, and a protection element. In the case where the display panel is a touch panel, an input transistor may be included.

入力側(ホスト側)I/F領域14は、ホスト(MPU、画像処理コントローラ、ベースバンドエンジン)とのインターフェースとなる領域であり、パッドや、パッドに接続される入力用(入出力用)トランジスタ、出力用トランジスタ、保護素子などの種々の素子を含むことができる。   The input side (host side) I / F area 14 is an area serving as an interface with a host (MPU, image processing controller, baseband engine), and is a pad or an input (input / output) transistor connected to the pad. Various elements such as an output transistor and a protection element can be included.

なお、短辺である辺SD1、SD3に沿った出力側又は入力側I/F領域を設けるようにしてもよい。   Note that an output-side or input-side I / F area along the short sides SD1 and SD3 may be provided.

また第1〜第Nの回路ブロックCB1〜CBNは、少なくとも2つ(或いは3つ)の異なる回路ブロック(異なる機能を持つ回路ブロック)を含むことができる。集積回路装置10が表示ドライバである本実施形態では、プログラマブルROMブロック(広義には、不揮発性データメモリ)は必須であり、そのプログラマブルROMブロックからのデータの行く先であるロジック回路(広義にはゲートアレイブロック)及び電源回路ブロックの少なくとも一つが必須である。   The first to Nth circuit blocks CB1 to CBN can include at least two (or three) different circuit blocks (circuit blocks having different functions). In this embodiment in which the integrated circuit device 10 is a display driver, a programmable ROM block (nonvolatile data memory in a broad sense) is essential, and a logic circuit (gate in a broad sense) to which data from the programmable ROM block goes. At least one of an array block) and a power supply circuit block is essential.

例えば図2に種々のタイプの表示ドライバとそれが内蔵する回路ブロックの例を示す。メモリ(RAM)内蔵のアモルファスTFT(Thin Film Transistor)パネル用表示ドライバでは、回路ブロックCB1〜CBNは、プログラマブルROMブロックの他に、表示メモリ、データドライバ(ソースドライバ)、走査ドライバ(ゲートドライバ)、ロジック回路(ゲートアレイ回路)、階調電圧生成回路(γ補正回路)、電源回路のブロックを含む。一方、メモリ内蔵の低温ポリシリコン(LTPS)TFTパネル用表示ドライバでは、走査ドライバをガラス基板に形成できるため、走査ドライバのブロックを省略できる。またメモリ非内蔵のアモルファスTFTパネル用では、メモリのブロックを省略でき、メモリ非内蔵の低温ポリシリコンTFTパネル用では、メモリ及び走査ドライバのブロックを省略できる。またCSTN(Collar Super Twisted Nematic)パネル、TFD(Thin Film Diode)パネル用では、階調電圧生成回路のブロックを省略できる。   For example, FIG. 2 shows examples of various types of display drivers and circuit blocks incorporated therein. In a display driver for an amorphous TFT (Thin Film Transistor) panel with a built-in memory (RAM), the circuit blocks CB1 to CBN include a display memory, a data driver (source driver), a scanning driver (gate driver), a programmable ROM block, It includes a logic circuit (gate array circuit), a gradation voltage generation circuit (γ correction circuit), and a power supply circuit block. On the other hand, in a display driver for a low-temperature polysilicon (LTPS) TFT panel with a built-in memory, the scanning driver can be formed on a glass substrate, so that the scanning driver block can be omitted. Also, the memory block can be omitted for an amorphous TFT panel without a memory, and the memory and scan driver blocks can be omitted for a low-temperature polysilicon TFT panel without a memory. Further, for a CSTN (Collar Super Twisted Nematic) panel and a TFD (Thin Film Diode) panel, the block of the gradation voltage generation circuit can be omitted.

図3(A)(B)に本実施形態の表示ドライバの集積回路装置10の平面レイアウトの例を示す。図3(A)(B)は、メモリ内蔵のアモルファスTFTパネル用の例であり、図3(A)は例えばQCIF、32階調用の表示ドライバをターゲットとし、図3(B)はQVGA、64階調用の表示ドライバをターゲットとしている。   3A and 3B show examples of a planar layout of the integrated circuit device 10 of the display driver of this embodiment. 3A and 3B are examples for an amorphous TFT panel with a built-in memory. FIG. 3A targets a display driver for, for example, QCIF and 32 gradations, and FIG. The display driver for gradation is targeted.

図3(A)では、プログラマブルROM20は、電源回路PB及びロジック回路LBの間にある。換言すれば、プログラマブルROM20は、D1方向にて電源回路PB及びロジック回路LBの各ブロックに隣接している。   In FIG. 3A, the programmable ROM 20 is between the power supply circuit PB and the logic circuit LB. In other words, the programmable ROM 20 is adjacent to each block of the power supply circuit PB and the logic circuit LB in the direction D1.

一方、図3(B)では、プログラマブルROM20のブロックは、D1方向にて電源回路PBのブロックに隣接している。   On the other hand, in FIG. 3B, the block of the programmable ROM 20 is adjacent to the block of the power supply circuit PB in the direction D1.

この理由は、プログラマブルROM20から読み出されるデータの主たる行く先が、電源回路PB及び/またはロジック回路LBだからである。つまり、プログラマブルROM20からのデータをショートパスで電源回路PB及び/またはロジック回路LBに供給できる。なお、プログラマブルROM20から読み出されるデータについては後述する。   This is because the main destination of data read from the programmable ROM 20 is the power supply circuit PB and / or the logic circuit LB. That is, data from the programmable ROM 20 can be supplied to the power supply circuit PB and / or the logic circuit LB through a short path. The data read from the programmable ROM 20 will be described later.

図3(A)(B)では、上述した3つのブロック以外に、表示データが記憶されるメモリMB1〜MB4と、その各メモリに隣接して配置されるデータドライバDB1〜DB4と、階調電圧生成回路GBと、1または2個の走査ドライバSB(またはSB1,SB2)を含む。   3A and 3B, in addition to the three blocks described above, memories MB1 to MB4 in which display data is stored, data drivers DB1 to DB4 arranged adjacent to each memory, and gradation voltages The generation circuit GB and one or two scan drivers SB (or SB1, SB2) are included.

図3(A)のレイアウト配置によれば、メモリブロックMB1とMB2や、MB3とMB4の間で、カラムアドレスデコーダを共用できるという利点がある。一方、図3(B)のレイアウト配置によれば、データドライバブロックDB1〜DB4から出力側I/F領域12へのデータ信号出力線の配線ピッチを均等化でき、配線効率を向上できるという利点がある。   According to the layout arrangement of FIG. 3A, there is an advantage that the column address decoder can be shared between the memory blocks MB1 and MB2 and between the MB3 and MB4. On the other hand, according to the layout arrangement of FIG. 3B, there is an advantage that the wiring pitch of the data signal output lines from the data driver blocks DB1 to DB4 to the output side I / F region 12 can be equalized and the wiring efficiency can be improved. is there.

なお本実施形態の集積回路装置10のレイアウト配置は、プログラマブルROM20のブロックが、D1方向にてロジック回路LB及び/または電源回路PBに隣接している限り、図3(A)(B)に限定されない。また回路ブロックCB1〜CBNと出力側I/F領域12や入力側I/F領域14の間に、D2方向での幅が極めて狭い回路ブロック(WB以下の細長回路ブロック)を設けてもよい。また回路ブロックCB1〜CBNが、D2方向に多段に並んだ回路ブロックを含んでもよい。例えば走査ドライバ回路と電源回路を1つの回路ブロックとした構成としてもよい。   Note that the layout arrangement of the integrated circuit device 10 of the present embodiment is limited to FIGS. 3A and 3B as long as the block of the programmable ROM 20 is adjacent to the logic circuit LB and / or the power supply circuit PB in the direction D1. Not. Further, a circuit block having a very narrow width in the D2 direction (elongated circuit block of WB or less) may be provided between the circuit blocks CB1 to CBN and the output-side I / F region 12 or the input-side I / F region 14. The circuit blocks CB1 to CBN may include circuit blocks arranged in multiple stages in the D2 direction. For example, the scan driver circuit and the power supply circuit may be configured as one circuit block.

図4(A)に本実施形態の集積回路装置10のD2方向に沿った断面図の例を示す。ここでW1、WB、W2は、各々、出力側I/F領域12、回路ブロックCB1〜CBN、入力側I/F領域14のD2方向での幅である。またWは集積回路装置10のD2方向での幅である。   FIG. 4A shows an example of a cross-sectional view along the direction D2 of the integrated circuit device 10 of the present embodiment. Here, W1, WB, and W2 are the widths in the D2 direction of the output side I / F region 12, the circuit blocks CB1 to CBN, and the input side I / F region 14, respectively. W is the width of the integrated circuit device 10 in the direction D2.

本実施形態では図4(A)に示すように、D2方向において、回路ブロックCB1〜CBNと出力側、入力側I/F領域12、14との間に他の回路ブロックが介在しない構成にできる。従って、W1+WB+W2≦W<W1+2×WB+W2とすることができ、細長の集積回路装置を実現できる。具体的には、D2方向での幅Wは、W<2mmとすることができ、更に具体的にはW<1.5mmとすることができる。なおチップの検査やマウンティングを考慮すると、W>0.9mmであることが望ましい。また長辺方向での長さLD(図3(A)(B)参照)は、15mm<LD<27mmとすることができる。またチップ形状比SP=LD/Wは、SP>10とすることができ、更に具体的にはSP>12とすることができる。   In this embodiment, as shown in FIG. 4A, in the direction D2, no other circuit block is interposed between the circuit blocks CB1 to CBN and the output side and input side I / F regions 12 and 14. . Therefore, W1 + WB + W2 ≦ W <W1 + 2 × WB + W2 can be satisfied, and a narrow integrated circuit device can be realized. Specifically, the width W in the D2 direction can be set to W <2 mm, and more specifically, W <1.5 mm. In consideration of chip inspection and mounting, it is desirable that W> 0.9 mm. The length LD in the long side direction (see FIGS. 3A and 3B) can be 15 mm <LD <27 mm. The chip shape ratio SP = LD / W can be set to SP> 10, and more specifically, SP> 12.

また回路ブロックCB1〜CBNの各々のD2方向での幅は、例えば同じ幅に統一できる。この場合、各回路ブロックの幅は、実質的に同じであればよく、例えば数μm〜20μm(数十μm)程度の違いは許容範囲内である。また回路ブロックCB1〜CBNの中に、幅が異なる回路ブロックが存在する場合には、幅WBは、回路ブロックCB1〜CBNの幅の中の最大幅とすることができる。   The widths of the circuit blocks CB1 to CBN in the D2 direction can be unified to the same width, for example. In this case, the widths of the circuit blocks may be substantially the same. For example, a difference of about several μm to 20 μm (several tens of μm) is within an allowable range. When circuit blocks having different widths exist in the circuit blocks CB1 to CBN, the width WB can be the maximum width among the circuit blocks CB1 to CBN.

図4(B)は、2以上の複数の回路ブロックがD2方向に沿って配置される比較例を示す。またD2方向において、回路ブロック間や、回路ブロックとI/F領域の間に配線領域が形成される。従って集積回路装置500のD2方向(短辺方向)での幅Wが大きくなり、スリムな細長チップを実現できない。従って微細プロセスを利用してチップをシュリンクしても、D1方向(長辺方向)での長さLDも短くなってしまい、出力ピッチが狭ピッチになるため、実装の困難化を招く。   FIG. 4B shows a comparative example in which two or more circuit blocks are arranged along the direction D2. In the D2 direction, a wiring region is formed between the circuit blocks or between the circuit block and the I / F region. Therefore, the width W of the integrated circuit device 500 in the D2 direction (short side direction) becomes large, and a slim elongated chip cannot be realized. Therefore, even if the chip is shrunk using a fine process, the length LD in the D1 direction (long side direction) is also shortened, and the output pitch becomes narrow, which makes mounting difficult.

これに対して本実施形態では図1に示すように複数の回路ブロックCB1〜CBNがD1方向に沿って配置される。また図4(A)に示すように、パッド(バンプ)の下にトランジスタ(回路素子)を配置できる(能動面バンプ)。また回路ブロック内の配線であるローカル配線よりも上層(パッドよりも下層)で形成されるグローバル配線により、回路ブロック間や、回路ブロックとI/F領域間等での信号線を形成できる。従って、集積回路装置10のD1方向での長さLDを維持したままで、D2方向での幅Wを狭くでき、超スリムな細長チップを実現できる。この結果、出力ピッチを例えば22μm以上に維持することができ、実装を容易化できる。   In contrast, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, a plurality of circuit blocks CB1 to CBN are arranged along the direction D1. Further, as shown in FIG. 4A, a transistor (circuit element) can be disposed under the pad (bump) (active surface bump). In addition, signal lines between circuit blocks, between circuit blocks and I / F regions, and the like can be formed by global wiring formed in a layer above the local wiring (lower layer than the pad) that is a wiring in the circuit block. Therefore, the width W in the D2 direction can be narrowed while maintaining the length LD in the D1 direction of the integrated circuit device 10, and an ultra slim slim chip can be realized. As a result, the output pitch can be maintained at, for example, 22 μm or more, and mounting can be facilitated.

また本実施形態では複数の回路ブロックCB1〜CBNがD1方向に沿って配置されるため、製品の仕様変更等に容易に対応できる。即ち共通のプラットフォームを用いて様々な仕様の製品を設計できるため、設計効率を向上できる。例えば図3(A)(B)において、表示パネルの画素数や階調数が増減した場合にも、メモリブロックやデータドライバブロックのブロック数や、1水平走査期間での画像データの読み出し回数等を増減するだけで対応できる。また図3(A)(B)はメモリ内蔵のアモルファスTFTパネル用の例であるが、メモリ内蔵の低温ポリシリコンTFTパネル用の製品を開発する場合には、回路ブロックCB1〜CBNの中から走査ドライバブロックを取り除くだけで済む。またメモリ非内蔵の製品を開発する場合には、メモリブロックを取り除けば済む。そしてこのように仕様に合わせて回路ブロックを取り除いても、本実施形態では、それが他の回路ブロックに及ぼす影響が最小限に抑えられるため、設計効率を向上できる。   In the present embodiment, since the plurality of circuit blocks CB1 to CBN are arranged along the direction D1, it is possible to easily cope with a change in product specifications and the like. In other words, since it is possible to design products with various specifications using a common platform, the design efficiency can be improved. For example, in FIGS. 3A and 3B, even when the number of pixels and the number of gradations of the display panel increase or decrease, the number of memory blocks and data driver blocks, the number of times image data is read out in one horizontal scanning period, etc. Just increase or decrease the number. FIGS. 3A and 3B are examples for an amorphous TFT panel with a built-in memory. When developing a product for a low-temperature polysilicon TFT panel with a built-in memory, scanning is performed from among the circuit blocks CB1 to CBN. Just remove the driver block. When developing a product without a memory, the memory block can be removed. Even if the circuit block is removed in accordance with the specifications as described above, in this embodiment, the influence of the circuit block on the other circuit blocks can be minimized, so that the design efficiency can be improved.

また本実施形態では、各回路ブロックCB1〜CBNのD2方向での幅(高さ)を、例えばデータドライバブロックやメモリブロックの幅(高さ)に統一できる。そして各回路ブロックのトランジスタ数が増減した場合には、各回路ブロックのD1方向での長さを増減することで調整できるため、設計を更に効率化できる。例えば図3(A)(B)において、階調電圧生成回路ブロックや電源回路ブロックの構成が変更になり、トランジスタ数が増減した場合にも、階調電圧生成回路ブロックや電源回路ブロックのD1方向での長さを増減することで対応できる。   In the present embodiment, the width (height) of each circuit block CB1 to CBN in the D2 direction can be unified with, for example, the width (height) of the data driver block and the memory block. When the number of transistors in each circuit block increases / decreases, the design can be made more efficient because it can be adjusted by increasing / decreasing the length of each circuit block in the D1 direction. For example, in FIGS. 3A and 3B, even when the configuration of the gradation voltage generation circuit block or the power supply circuit block is changed and the number of transistors is increased or decreased, the direction of the D1 direction of the gradation voltage generation circuit block or the power supply circuit block is changed. This can be dealt with by increasing or decreasing the length.

2.プログラマブルROMのデータ
2.1.検査データ
本実施形態の集積回路装置では、不揮発性データメモリとしてのプログラマブルROM20に記憶されるデータは、ドライバIC10の検査データを含むことができる。この検査データとして、例えば、プログラマブルROM20とドライバIC10内のブロックとの接続検査データを挙げることができる。なお、後述する通り、検査に必要な一部のデータのみをプログラマブルROM20に記憶させ、他の一部の検査データは外部から入力することができる。例えば、プログラマブルROM20には最小限の接続検査のための特定データのみを記憶させておき、さらに検出率を高めるためのデータは検査時に外部から供給しても良い。
2. Programmable ROM data 2.1. Inspection Data In the integrated circuit device according to the present embodiment, the data stored in the programmable ROM 20 as the nonvolatile data memory can include the inspection data of the driver IC 10. As this inspection data, for example, connection inspection data between the programmable ROM 20 and the block in the driver IC 10 can be cited. As will be described later, only a part of the data necessary for the inspection can be stored in the programmable ROM 20, and the other part of the inspection data can be input from the outside. For example, only specific data for the minimum connection inspection may be stored in the programmable ROM 20, and data for further increasing the detection rate may be supplied from the outside during the inspection.

2.2.階調電圧データ
本実施形態の集積回路装置では、不揮発性データメモリとしてのプログラマブルROM20に記憶されるデータは、階調電圧を調整する調整データであってもよい。そして、階調電圧生成回路(γ補正回路)は、プログラマブルROM20に記憶された調整データに基づいて、階調電圧を生成する。以下、階調電圧生成回路(γ補正回路)の動作について説明する。
2.2. Gradation Voltage Data In the integrated circuit device of this embodiment, the data stored in the programmable ROM 20 as the nonvolatile data memory may be adjustment data for adjusting the gradation voltage. Then, the gradation voltage generation circuit (γ correction circuit) generates a gradation voltage based on the adjustment data stored in the programmable ROM 20. Hereinafter, the operation of the gradation voltage generation circuit (γ correction circuit) will be described.

図5は、図3(A)に示す回路ブロックのうち、プログラマブルROM20、ロジック回路LB及び階調電圧生成回路(γ補正回路)GBを示している。   FIG. 5 shows a programmable ROM 20, a logic circuit LB, and a gradation voltage generation circuit (γ correction circuit) GB among the circuit blocks shown in FIG.

プログラマブルROM20には、階調電圧を調整するための調整データが、例えばユーザー(表示装置製造メーカ)により入力される。調整レジスタ126は、ロジック回路LB内に設けられている。調整レジスタ126は、階調電圧を調整可能な種々の設定データを設定することができる。プログラムROM20に記憶された調整データを調整レジスタ126へ読み出すことにより設定データが出力される。調整レジスタ126から読み出された設定データが、階調電圧生成回路GBに供給される。   Adjustment data for adjusting the gradation voltage is input to the programmable ROM 20 by, for example, a user (display device manufacturer). The adjustment register 126 is provided in the logic circuit LB. The adjustment register 126 can set various setting data that can adjust the gradation voltage. Setting data is output by reading the adjustment data stored in the program ROM 20 to the adjustment register 126. The setting data read from the adjustment register 126 is supplied to the gradation voltage generation circuit GB.

階調電圧生成回路GBは、選択用電圧生成回路122と、階調電圧選択回路124とを有する。選択用電圧生成回路122(電圧分割回路)は、電源回路PBで生成された高電圧の電源電圧VDDH、VSSHに基づいて、選択用電圧を出力する。具体的には選択用電圧生成回路122は、直列に接続された複数の抵抗素子を有するラダー抵抗回路を含む。そしてVDDH、VSSHを、このラダー抵抗回路により分割した電圧を、選択用電圧として出力する。階調電圧選択回路124は、調整レジスタ126より供給された階調特性の設定データに基づいて、選択用電圧の中から、例えば64階調の場合には64個の電圧を選択して、階調電圧V0〜V63として出力する。このようにすれば表示パネルに応じた最適な階調特性(γ補正特性)の階調電圧を生成できる。   The gradation voltage generation circuit GB includes a selection voltage generation circuit 122 and a gradation voltage selection circuit 124. The selection voltage generation circuit 122 (voltage division circuit) outputs a selection voltage based on the high power supply voltages VDDH and VSSH generated by the power supply circuit PB. Specifically, the selection voltage generation circuit 122 includes a ladder resistor circuit having a plurality of resistor elements connected in series. A voltage obtained by dividing VDDH and VSSH by the ladder resistor circuit is output as a selection voltage. The gradation voltage selection circuit 124 selects, for example, 64 voltages in the case of 64 gradations from among the selection voltages based on the gradation characteristic setting data supplied from the adjustment register 126, to Output as regulated voltages V0 to V63. In this way, it is possible to generate a gradation voltage having an optimum gradation characteristic (γ correction characteristic) according to the display panel.

調整レジスタ126は、振幅調整レジスタ130、傾き調整レジスタ132、微調整レジスタ134を含んでいてもよい。振幅調整レジスタ130、傾き調整レジスタ132、微調整レジスタ134には、階調特性のデータが設定されている。   The adjustment register 126 may include an amplitude adjustment register 130, a tilt adjustment register 132, and a fine adjustment register 134. In the amplitude adjustment register 130, the inclination adjustment register 132, and the fine adjustment register 134, gradation characteristic data is set.

例えば、プログラマブルROM20に記憶された5ビットの設定データを振幅調整レジスタ130へ読み出すことで、図6(A)のB1、B2に示すように電源電圧VDDH、VSSHの電圧レベルが変化し、階調電圧の振幅調整が可能になる。   For example, by reading the 5-bit setting data stored in the programmable ROM 20 to the amplitude adjustment register 130, the voltage levels of the power supply voltages VDDH and VSSH change as shown by B1 and B2 in FIG. The voltage amplitude can be adjusted.

また、プログラマブルROM20に記憶された設定データを傾き調整レジスタ132へ読み出すことで、図6(B)のB3〜B6に示すように、階調レベルの4ポイントにおける階調電圧が変化し、階調特性の傾き調整が可能になる。即ち傾き調整レジスタ132に設定される各4ビットの設定データVRP0〜VRP3に基づいて、ラダー抵抗を構成する抵抗素子RL1,RL3,RL10,RL12の抵抗値が変化し、B3に示すような傾き調整が可能になる。   Further, by reading the setting data stored in the programmable ROM 20 to the inclination adjustment register 132, as shown in B3 to B6 of FIG. The inclination of the characteristic can be adjusted. That is, the resistance values of the resistance elements RL1, RL3, RL10, and RL12 constituting the ladder resistance change based on the 4-bit setting data VRP0 to VRP3 set in the inclination adjustment register 132, and the inclination adjustment as shown in B3 is performed. Is possible.

また、プログラマブルROM20に記憶された設定データを微調整レジスタ134へ読み出すことで、図6(C)のB7〜B14に示すように、階調レベルの8ポイントにおける階調電圧が変化し、階調特性の微調整が可能になる。即ち微調整レジスタ134に設定される各3ビットの設定データVP1〜VP8に基づいて、8to1セレクタ141〜148が、8つの抵抗素子RL2,RL4〜RL9,RL11の各8個のタップのうちから1つのタップをそれぞれ選択し、選択されたタップの電圧をVOP1〜OP8として出力する。これにより図6(C)のB7〜B14に示すような微調整が可能になる。   Further, by reading the setting data stored in the programmable ROM 20 to the fine adjustment register 134, as shown in B7 to B14 of FIG. Fine adjustment of the characteristics becomes possible. That is, based on the 3-bit setting data VP1 to VP8 set in the fine adjustment register 134, the 8to1 selectors 141 to 148 select one of eight taps of the eight resistance elements RL2, RL4 to RL9, and RL11. Two taps are selected, and the voltages of the selected taps are output as VOP1 to OP8. As a result, fine adjustment as shown in B7 to B14 of FIG.

階調アンプ部150は、8to1セレクタ142〜148の出力VOP1〜VOP8やVDDH、VSSHに基づいて、階調電圧V0〜V63を出力する。具体的には階調アンプ部150は、VOP1〜VPOP8が入力される第1〜第8のインピーダンス変換回路(ボルテージフォロワ接続された演算増幅器)を含む。そして例えば第1〜第8のインピーダンス変換回路のうちの隣り合うインピーダンス変換回路の出力電圧を抵抗分割することで、階調電圧V1〜V62が生成される。   The gradation amplifier unit 150 outputs gradation voltages V0 to V63 based on the outputs VOP1 to VOP8 of the 8to1 selectors 142 to 148, VDDH, and VSSH. Specifically, the gradation amplifier unit 150 includes first to eighth impedance conversion circuits (operational amplifiers connected to voltage followers) to which VOP1 to VPOP8 are input. Then, for example, by dividing the output voltage of the adjacent impedance conversion circuit among the first to eighth impedance conversion circuits by resistance, the gradation voltages V1 to V62 are generated.

以上のような調整を行えば、表示パネルの種類に応じた最適な階調特性(γ特性)を得ることができ、表示品質を向上できる。そして、本実施形態では、プログラマブルROM20には、表示パネルの種類に応じた最適な階調特性(γ特性)を得るための調整データが記憶されている。そのため、表示パネルの種類毎に最適な階調特性(γ特性)を得ることができ、表示品質を向上することができる。   By performing the adjustment as described above, it is possible to obtain the optimum gradation characteristic (γ characteristic) according to the type of the display panel, and to improve the display quality. In the present embodiment, the programmable ROM 20 stores adjustment data for obtaining optimum gradation characteristics (γ characteristics) according to the type of display panel. Therefore, it is possible to obtain optimum gradation characteristics (γ characteristics) for each type of display panel, and to improve display quality.

また、本実施の形態では、プログラマブルROM20と、ロジック回路ブロックLBとは、第1の方向D1に沿って隣接して配置されてなる。このようにすれば、プログラマブルROM20からの調整データの信号線をショートパスでロジック回路ブロックLBに接続できるため、配線領域を原因とするチップ面積の増加を防止できる。   In the present embodiment, the programmable ROM 20 and the logic circuit block LB are disposed adjacent to each other along the first direction D1. In this way, the adjustment data signal line from the programmable ROM 20 can be connected to the logic circuit block LB through a short path, and therefore an increase in chip area caused by the wiring region can be prevented.

さらに、本実施形態では図3(A)に示すようにロジック回路ブロックLBと階調電圧生成回路ブロックGBをD1方向に沿って隣接して配置させてもよい。このようにすれば、ロジック回路ブロックLBからの信号線を、ショートパスで階調電圧生成回路ブロックGBに接続できるため、配線領域を原因とするチップ面積の増加を防止できる。   Furthermore, in this embodiment, as shown in FIG. 3A, the logic circuit block LB and the gradation voltage generation circuit block GB may be arranged adjacent to each other along the direction D1. In this way, since the signal line from the logic circuit block LB can be connected to the gradation voltage generation circuit block GB through a short path, an increase in chip area due to the wiring region can be prevented.

なお、階調電圧を調整する調整データは、後述する、第2のメモリセルアレイブロック22に記憶されていてもよい。   Note that adjustment data for adjusting the gradation voltage may be stored in a second memory cell array block 22 described later.

2.3.パネル設定電圧データ
本実施形態の集積回路装置では、プログラマブルROM20に記憶されるデータは、パネル電圧を調整する調整データであってもよい。該パネル電圧を調整する調整データは、例えば、対向電極VCOMに与えられる電圧を調整するためのデータであってもよい。
2.3. Panel Setting Voltage Data In the integrated circuit device of this embodiment, the data stored in the programmable ROM 20 may be adjustment data for adjusting the panel voltage. The adjustment data for adjusting the panel voltage may be data for adjusting the voltage applied to the counter electrode VCOM, for example.

図7に、電気光学装置を含む表示装置の構成例のブロック図を示す。図7の表示装置は、液晶装置としての機能を実現する。そして、電気光学装置は、液晶パネルとしての機能を実現する。   FIG. 7 shows a block diagram of a configuration example of a display device including an electro-optical device. The display device of FIG. 7 realizes a function as a liquid crystal device. The electro-optical device realizes a function as a liquid crystal panel.

液晶装置160(広義には表示装置)は、スイッチング素子としてTFTを用いた液晶パネル(広義には表示パネル)162、データ線駆動回路170、走査線駆動回路180、コントローラ190、電源回路192を含む。   The liquid crystal device 160 (display device in a broad sense) includes a liquid crystal panel (display panel in a broad sense) 162 using TFTs as switching elements, a data line driving circuit 170, a scanning line driving circuit 180, a controller 190, and a power supply circuit 192. .

TFTのゲート電極は走査線Gに接続され、TFTのソース電極はデータ線Sに接続され、TFTのドレイン電極は画素電極PEに接続されている。この画素電極PEと、液晶素子(広義には電気光学物質)を挟んで対向する対向電極VCOM(コモン電極)との間には、液晶容量CL(液晶素子)及び補助容量CSが形成されている。そして、TFT、画素電極PE等が形成されるアクティブマトリクス基板と、対向電極VCOMが形成される対向基板との間に液晶が封入され、画素電極PEと対向電極VCOMの間の印加電圧に応じて画素の透過率が変化するようになっている。   The gate electrode of the TFT is connected to the scanning line G, the source electrode of the TFT is connected to the data line S, and the drain electrode of the TFT is connected to the pixel electrode PE. A liquid crystal capacitor CL (liquid crystal element) and an auxiliary capacitor CS are formed between the pixel electrode PE and a counter electrode VCOM (common electrode) facing each other with a liquid crystal element (electro-optical material in a broad sense) interposed therebetween. . Then, liquid crystal is sealed between the active matrix substrate on which the TFT, the pixel electrode PE, and the like are formed, and the counter substrate on which the counter electrode VCOM is formed, and according to the applied voltage between the pixel electrode PE and the counter electrode VCOM. The transmittance of the pixel is changed.

本実施の形態では、プログラマブルROM20には、対向電極VCOMに与えられる電圧を調整する調整データが記憶されていてもよい。そして、該調整データに基づいて、電源回路192の電圧が調整され、対向電極VCOMに与えられる。該調整データを、表示パネル毎に設定することで、表示品質を向上することができる。   In the present embodiment, the programmable ROM 20 may store adjustment data for adjusting the voltage applied to the counter electrode VCOM. Based on the adjustment data, the voltage of the power supply circuit 192 is adjusted and applied to the counter electrode VCOM. Display quality can be improved by setting the adjustment data for each display panel.

本実施の形態では、図3(A)に示すように、プログラマブルROM20と電源回路ブロックPBとは、第1の方向D1に沿って隣接して配置されてなる。このようにすれば、プログラマブルROM20からの調整データの信号線を、ショートパスで電源回路ブロックPBに接続できるため、配線領域を原因とするチップ面積の増加を防止できる。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3A, the programmable ROM 20 and the power supply circuit block PB are arranged adjacent to each other along the first direction D1. In this way, the adjustment data signal line from the programmable ROM 20 can be connected to the power supply circuit block PB through a short path, and therefore an increase in chip area due to the wiring region can be prevented.

なお、パネル設定電圧を調整するデータは、後述する、第1のメモリセルアレイブロック21に記憶されていてもよい。   Note that data for adjusting the panel setting voltage may be stored in a first memory cell array block 21 described later.

2.4.その他のユーザー設定情報
本実施の形態の集積回路装置では、プログラマブルROM20に記憶されるデータはこれらに限られるものではない。例えば、プログラマブルROM20には、表示ドライバ調整データとして、所与のタイミングを調整する調整データが記憶されていてもよい。すなわち、該調整データに基づいて、メモリのリフレッシュ周期や表示タイミングを制御する各種の制御信号が生成されてもよい。あるいは、プログラマブルROM20には、表示ドライバ調整データとして、集積回路装置の起動シーケンス設定を調整する調整データが記憶されていてもよい。
2.4. Other User Setting Information In the integrated circuit device of the present embodiment, the data stored in the programmable ROM 20 is not limited to these. For example, the programmable ROM 20 may store adjustment data for adjusting a given timing as display driver adjustment data. That is, various control signals for controlling the refresh cycle and display timing of the memory may be generated based on the adjustment data. Alternatively, the programmable ROM 20 may store adjustment data for adjusting the startup sequence setting of the integrated circuit device as display driver adjustment data.

以上の調整データは、ユーザーによりプログラミングされるものであるが、ICメーカがIC製造・検査過程で調整するデータを記憶させても良い。   The above adjustment data is programmed by the user, but data adjusted by the IC manufacturer in the IC manufacturing / inspection process may be stored.

3.プログラマブルROM
3.1.プログラマブルROMの全体構成
図8は、集積回路装置10内に配置されたプログラマブルROM20を示している。プログラマブルROM20は、大別して、メモリセルアレイブロック200と、コントロール回路ブロック202とを有している。メモリセルアレイブロック200とコントロール回路ブロック202とは、集積回路装置10の長辺方向であるD1方向にて隣接している。
3. Programmable ROM
3.1. Overall Configuration of Programmable ROM FIG. 8 shows a programmable ROM 20 arranged in the integrated circuit device 10. The programmable ROM 20 roughly includes a memory cell array block 200 and a control circuit block 202. The memory cell array block 200 and the control circuit block 202 are adjacent to each other in the direction D1 that is the long side direction of the integrated circuit device 10.

メモリセルアレイブロック200には、複数のワード線WLと複数のビット線BLとが設けられている。複数のワード線WLは、集積回路装置10の短辺方向であるD2方向に沿って延びている。複数のビット線BLは、集積回路装置10の長辺方向であるD1方向に沿って延びている。この理由は次の通りである。   The memory cell array block 200 is provided with a plurality of word lines WL and a plurality of bit lines BL. The plurality of word lines WL extend along the direction D2 which is the short side direction of the integrated circuit device 10. The plurality of bit lines BL extend along the direction D1 which is the long side direction of the integrated circuit device 10. The reason is as follows.

プログラマブルROM20の記憶容量は、ユーザー側の仕様等により機種毎に増減可能である。本実施形態では、記憶容量の増減は、ワード線WLの本数を変更することで対処する。つまり、ワード線WLの長さは、記憶容量が変更されても一定である。この結果、1本のワード線WLに接続されるメモリセルの個数は固定となる。ワード線WLの本数を増やせば、プログラムROM20の記憶容量は増大される。プログラムROM20の記憶容量を増大させても、メモリセルアレイブロック200は、集積回路装置10の短辺方向(D2方向)には長くならない。よって、図1にて説明したスリムな形状を維持できる。   The storage capacity of the programmable ROM 20 can be increased or decreased for each model depending on the specifications on the user side. In the present embodiment, the increase or decrease in storage capacity is dealt with by changing the number of word lines WL. That is, the length of the word line WL is constant even when the storage capacity is changed. As a result, the number of memory cells connected to one word line WL is fixed. If the number of word lines WL is increased, the storage capacity of the program ROM 20 is increased. Even if the storage capacity of the program ROM 20 is increased, the memory cell array block 200 does not become longer in the short side direction (D2 direction) of the integrated circuit device 10. Therefore, the slim shape described in FIG. 1 can be maintained.

他の理由として、プログラマブルROM20の記憶容量を増減させても、コントロール回路ブロック202は、集積回路装置10の短辺方向(D2方向)には長くならない。よって、図1にて説明したスリムな形状を維持できる。比較例である図9では、プログラムROM20の記憶容量を増大させた結果、メモリセルアレイブロック200が集積回路装置10の短辺方向(D2方向)に長くなる。この場合、コントロール回路ブロック202の回路設計をやり直さなければならない。しかし、比較例である図9のレイアウトを90°回転させた本実施形態の図8のレイアウトでは、その必要はない。よって、プログラマブルROM20の記憶容量を増減させても、特にコントロール回路ブロック202の設計の効率化を実現できる。   As another reason, even if the storage capacity of the programmable ROM 20 is increased or decreased, the control circuit block 202 does not become longer in the short side direction (D2 direction) of the integrated circuit device 10. Therefore, the slim shape described in FIG. 1 can be maintained. In FIG. 9 as a comparative example, the memory cell array block 200 becomes longer in the short side direction (D2 direction) of the integrated circuit device 10 as a result of increasing the storage capacity of the program ROM 20. In this case, the circuit design of the control circuit block 202 must be redone. However, this is not necessary in the layout of FIG. 8 of the present embodiment in which the layout of FIG. 9 as a comparative example is rotated by 90 °. Therefore, even when the storage capacity of the programmable ROM 20 is increased or decreased, the design efficiency of the control circuit block 202 can be improved.

さらに他の理由として、ビット線BLが集積回路装置10の長辺方向であるD1方向に沿って延びており、そのビット線BLの延長線上にコントロール回路ブロック202を配置できる。コントロール回路ブロック202の一つの機能は、ビット線BLを介して読み出されたデータをセンスアンプにて検出し、他の回路ブロックに供給するものである。上述のレイアウトにより、図9の比較例と比べれば、メモリセルアレイブロック200から読み出されたデータをショートパスでコントロール回路ブロック202へ供給できる。   As yet another reason, the bit line BL extends along the direction D1 which is the long side direction of the integrated circuit device 10, and the control circuit block 202 can be disposed on the extended line of the bit line BL. One function of the control circuit block 202 is to detect data read through the bit line BL by a sense amplifier and supply it to other circuit blocks. With the above-described layout, data read from the memory cell array block 200 can be supplied to the control circuit block 202 through a short path as compared with the comparative example of FIG.

3.2.単層ゲートのメモリセル
図10は、図8に示すメモリセルアレイブロック200に配置される単層ゲートのメモリセルMCの平面図である。図11は、単層ゲートのメモリセルMCの等価回路図である。
3.2. Single Layer Gate Memory Cell FIG. 10 is a plan view of a single layer gate memory cell MC arranged in the memory cell array block 200 shown in FIG. FIG. 11 is an equivalent circuit diagram of a single-layer gate memory cell MC.

図10において、このメモリセルMCは、コントロールゲート部分210と、書き込み/読み出しトランジスタ220と、消去トランジスタ230とを有し、この3つの領域にポリシリコンにて形成されたフローティングゲートFGが延びている。図11に示すように、このメモリセルMCは、書き込み/読み出しトランジスタ220のドレインとビット線BLとの間に設けられたトランスファーゲート240を有する。トランスファーゲート240は、サブワード線SWLの論理と、反転サブワード線XSWLとの論理により、書き込み/読み出しトランジスタ220のドレインとビット線BLとの接続/非接続を行なう。このトランスファーゲート240は、P型MOSトランジスタXfer(P)と、N型MOSトランジスタXfer(N)とで構成される。なお、ワード線を階層化しない場合は、トランスファーゲート240は、ワード線及び反転ワード線の各論理により制御される。   In FIG. 10, this memory cell MC has a control gate portion 210, a write / read transistor 220, and an erase transistor 230, and a floating gate FG formed of polysilicon extends in these three regions. . As shown in FIG. 11, the memory cell MC has a transfer gate 240 provided between the drain of the write / read transistor 220 and the bit line BL. The transfer gate 240 connects / disconnects the drain of the write / read transistor 220 and the bit line BL according to the logic of the sub word line SWL and the logic of the inverted sub word line XSWL. The transfer gate 240 includes a P-type MOS transistor Xfer (P) and an N-type MOS transistor Xfer (N). When the word lines are not hierarchized, the transfer gate 240 is controlled by each logic of the word line and the inverted word line.

単層ゲートとは、コントロールゲートCGが、半導体基板(例えばP型、広義には第1導電型)のP型ウェルPWEL内に形成されたN型(広義には第2導電型)不純物層NCUにて形成されているため、ポリシリコンのフローティングゲートFGが一層のみ形成されていることを意味する。つまり、コントロールゲートCG及びフローティングゲートFGの二層ゲートをポリシリコンで形成するものではない。このコントロールゲートCGと、それに対向するフローティングゲートFGとにより、カップリング容量が形成される。   The single-layer gate is an N-type (second conductivity type in a broad sense) impurity layer NCU in which a control gate CG is formed in a P-type well PWEL of a semiconductor substrate (for example, P-type, first conductivity type in a broad sense). This means that only one polysilicon floating gate FG is formed. That is, the two-layer gate of the control gate CG and the floating gate FG is not formed of polysilicon. A coupling capacitor is formed by the control gate CG and the floating gate FG facing the control gate CG.

本発明の一態様でも、フローティングゲートのみの「単層ゲート」構造であるが、書き込みと消去とをチャネルの導電型が異なるMOSトランジスタで行なっている点が従来技術と異なる。このように、書き込みと消去とを異なるMOSトランジスタで行う利点は以下の通りである。消去は、容量結合の小さい箇所に電圧を印加して、容量結合の大きい箇所を0Vにすることで、FNトンネル電流によりフローティングゲートに注入されている電子を引き抜くことで行われる。従来例としてあげられる単層ゲート型の不揮発性記憶装置としては、書き込みと消去とを同一のMOSトランジスタ(同一箇所)で行うタイプのものがある。単層ゲート型の不揮発性記憶装置では、コントロールゲートとフローティングゲート電極との間の容量を書き込みの領域の容量と比して大きくする必要があるため、書き込み領域の容量が小さくなるように設計されている。つまり、消去の際には、容量結合の小さい箇所に消去のための大きな電圧を印加しなくてはならないことになる。   One embodiment of the present invention also has a “single layer gate” structure with only a floating gate, but differs from the prior art in that writing and erasing are performed by MOS transistors having different channel conductivity types. Thus, the advantage of performing writing and erasing with different MOS transistors is as follows. Erasing is performed by applying a voltage to a portion with small capacitive coupling and setting the portion with large capacitive coupling to 0 V, thereby extracting electrons injected into the floating gate by the FN tunnel current. As a conventional single layer gate type nonvolatile memory device, there is a type in which writing and erasing are performed by the same MOS transistor (same location). In a single-layer gate type nonvolatile memory device, the capacity between the control gate and the floating gate electrode needs to be larger than the capacity of the writing area, so the capacity of the writing area is designed to be small. ing. That is, when erasing, a large voltage for erasing must be applied to a portion having a small capacitive coupling.

しかし、特に、微細な不揮発性記憶装置の場合には、消去の際に印加する電圧に対して十分な耐圧を確保することができず、MOSトランジスタが破壊されてしまうことがある。そのため、本実施形態に係るプログラマブルROMブロックでは、書き込みと消去とを異なるMOSトランジスタで行い、かつ、それぞれのMOSトランジスタのチャネルの導電型を異ならせている。消去を行うMOSトランジスタとして、例えばPチャネル型のMOSトランジスタを形成すると、この消去のためのMOSトランジスタは、N型ウェルの上に形成されることになる。そのため、消去の際に、N型ウエルと、基板(半導体層)のジャンクション耐圧までの電圧を印加することができることになる。その結果、書き込み領域と同一の箇所で消去をする場合と比して消去の電圧に対する耐圧を向上させることができ、微細化が図られ信頼性が向上する。   However, in particular, in the case of a fine nonvolatile memory device, a sufficient breakdown voltage cannot be ensured with respect to the voltage applied at the time of erasing, and the MOS transistor may be destroyed. Therefore, in the programmable ROM block according to the present embodiment, writing and erasing are performed by different MOS transistors, and the channel conductivity types of the respective MOS transistors are different. If, for example, a P-channel type MOS transistor is formed as the MOS transistor for erasing, the MOS transistor for erasing is formed on the N-type well. Therefore, at the time of erasing, a voltage up to the junction breakdown voltage of the N-type well and the substrate (semiconductor layer) can be applied. As a result, the withstand voltage against the erasing voltage can be improved as compared with the case where erasing is performed at the same location as the writing region, miniaturization is achieved and reliability is improved.

なお、本実施形態の集積回路装置10では、LV(Low Voltage)系(例えば1.8V)、MV系(Middle Voltage)系(例えば3V)及びHV(High Voltage)系(例えば20V)が存在するが、メモリセルMCはMV系の耐圧構造である。書き込み/読み出しトランジスタ220及びN型MOSトランジスタXfer(N)はMV系のN型MOSトランジスタであり、消去トランジスタ230及びP型MOSトランジスタXfer(P)はMV系のP型MOSトランジスタである。   In the integrated circuit device 10 of the present embodiment, there are an LV (Low Voltage) system (for example, 1.8 V), an MV system (Middle Voltage) system (for example, 3 V), and an HV (High Voltage) system (for example, 20 V). However, the memory cell MC has an MV-type withstand voltage structure. The write / read transistor 220 and the N-type MOS transistor Xfer (N) are MV N-type MOS transistors, and the erase transistor 230 and the P-type MOS transistor Xfer (P) are MV P-type MOS transistors.

図12は、メモリセルMCへのデータ書き込み(プログラム)動作を示している。コントロールゲートCGに例えば8Vを印加し、書き込みトランジスタ220のドレインにビット線BL及びトランスファーゲート240を介して例えば8Vを印加する。書き込み/読み出しトランジスタ220のソース及びP型ウェルPWELの電位は0Vである。それにより、書き込み/読み出しトランジスタ220のチャネルでホットエレクトロンを発生させて、その電子を書き込み/読み出しトランジスタ220のフローティングゲートに引き込む。この結果、書き込み/読み出しトランジスタ220のしきい値Vthは、図13に示すように初期状態より高くなる。   FIG. 12 shows a data write (program) operation to the memory cell MC. For example, 8V is applied to the control gate CG, and for example, 8V is applied to the drain of the write transistor 220 via the bit line BL and the transfer gate 240. The potential of the source of the write / read transistor 220 and the P-type well PWEL is 0V. Thereby, hot electrons are generated in the channel of the write / read transistor 220, and the electrons are drawn into the floating gate of the write / read transistor 220. As a result, the threshold value Vth of the write / read transistor 220 becomes higher than the initial state as shown in FIG.

一方、消去時には、図14に示すように、コントロールゲートCGは例えば接地され、消去トランジスタ230のN型ウェルNWELの電位は例えば20V(消去電圧)である。こうすると、コントロールゲートCGとN型ウェルNWELとの間に高い電圧がかかるために、フローティングゲートFGの電子をN型ウェルNWEL側に引き込む。このFN(Fowler-Nordheim)トンネル電流により、データが消去される。このとき、図15に示すように、書き込み/読み出しトランジスタ220のしきい値Vthは、初期状態よりも低い負のしきい値となる。なお、消去時には、消去トランジスタ230のP型不純物層(ソース・ドレイン)にも20V(消去電圧)が印加され、P−N接合部での耐圧を確保している。   On the other hand, at the time of erasing, as shown in FIG. 14, the control gate CG is grounded, for example, and the potential of the N-type well NWEL of the erasing transistor 230 is 20 V (erasing voltage), for example. Thus, since a high voltage is applied between the control gate CG and the N-type well NWEL, electrons in the floating gate FG are drawn to the N-type well NWEL side. Data is erased by this FN (Fowler-Nordheim) tunnel current. At this time, as shown in FIG. 15, the threshold value Vth of the write / read transistor 220 is a negative threshold value lower than the initial state. At the time of erasing, 20V (erase voltage) is also applied to the P-type impurity layer (source / drain) of the erase transistor 230 to ensure a breakdown voltage at the PN junction.

データ読み出し時には、図16及び図17に示すように、コントロールゲートCGを接地し、書き込み/読み出しトランジスタ220のドレインに例えば1Vを印加する。このとき、書き込み/読み出しトランジスタ220のソース及びP型ウェルPWELの電位は0Vである。図16に示す書き込み状態では、フローティングゲートFGは電子過剰なので、チャネルに電流は流れない。一方、図17に示す消去状態では、フローティングゲートFGは正孔過剰なのでチャネルに電子が流れる。その電流の有無で、データ読み出しが可能となる。   At the time of data reading, as shown in FIGS. 16 and 17, the control gate CG is grounded, and for example, 1 V is applied to the drain of the write / read transistor 220. At this time, the potential of the source of the write / read transistor 220 and the P-type well PWEL is 0V. In the write state shown in FIG. 16, since the floating gate FG has an excess of electrons, no current flows through the channel. On the other hand, in the erased state shown in FIG. 17, since the floating gate FG has excess holes, electrons flow through the channel. Data can be read with or without the current.

なお、本実施形態のプログラマブルROM20は、上述したように主としてユーザーが従来のEPROMやトリマ抵抗の代わりとして調整データを記憶させ、あるいはICメーカが製造・検査段階にて調整データを記憶させる不揮発性メモリとして使用される。このため、書き換え回数を5回程度補償すれば足りるものである。 In the programmable ROM 20 of the present embodiment, as described above, the user mainly stores adjustment data instead of the conventional E 2 PROM or trimmer resistor, or the IC manufacturer stores the adjustment data at the manufacturing / inspection stage. Used as a memory. For this reason, it is sufficient to compensate the number of rewrites about 5 times.

3.3.メモリセルアレイブロック
3.3.1.平面レイアウト
図18は、メモリセルアレイブロック200及びその一部を拡大して示す平面図である。メモリセルアレイブロック200は、集積回路装置10の短辺方向(D2方向)の中心位置に、メインワード線ドライバMWLDrv及びコントロールゲート線ドライバCGDrvの形成領域250が設けられる。この形成領域250を境に、メモリセルアレイブロック200は第1,第2の領域に2分割されている。本実施形態では、第1,第2の領域にそれぞれ8個のカラムブロックが設けられ、計16個のカラムブロック0〜カラムブロック15が設けられている。1カラムブロック内にはD2方向にて8個のメモリセルMCが配置されている。本実施形態では、図3(A)に示す集積回路装置10の短辺の長さWを800μmとし、一メモリセルMCのD2方向の長さに基づいて、長さWに納められるメモリセルMCの個数として、16カラム×8メモリセルの設計となった。プログラマブルROM20の記憶容量を増減するには、ワード線の数を増減させれば良い。また、メインワード線ドライバMWLDrv及びコントロールゲート線ドライバCGDrvは、2分割された領域毎に一つずつ、計各2つが設けられている。なお、各一つのメインワード線ドライバMWLDrv及びコントロールゲート線ドライバCGDrvを、メモリアレイブロック200の端部に設けても良い。
3.3. Memory cell array block 3.3.1. Planar Layout FIG. 18 is an enlarged plan view showing the memory cell array block 200 and a part thereof. In the memory cell array block 200, a formation region 250 of the main word line driver MWLDrv and the control gate line driver CGDrv is provided at the center position in the short side direction (D2 direction) of the integrated circuit device 10. With this formation region 250 as a boundary, the memory cell array block 200 is divided into two parts, a first region and a second region. In the present embodiment, eight column blocks are provided in each of the first and second regions, and a total of 16 column blocks 0 to 15 are provided. Eight memory cells MC are arranged in the D2 direction in one column block. In the present embodiment, the length W of the short side of the integrated circuit device 10 shown in FIG. 3A is set to 800 μm, and the memory cell MC accommodated in the length W is based on the length of one memory cell MC in the D2 direction. The number of memory cells is 16 columns × 8 memory cells. In order to increase or decrease the storage capacity of the programmable ROM 20, the number of word lines may be increased or decreased. In addition, two main word line drivers MWLDrv and two control gate line drivers CGDrv are provided, one for each of the divided areas. One main word line driver MWLDrv and control gate line driver CGDrv may be provided at the end of the memory array block 200.

図18では、一つのメインワード線ドライバMWLDrvにより駆動されるメインワード線MWLは計34本設けられている。2本はICメーカのテストビット用のメモリセルに接続されたテスト用メインワード線T1,T0であり、残りの32本がユーザー用のメインワード線MWL0−MWL31である。また、一つのコントロールゲート線ドライバCGDrvにより駆動されるコントロールゲート線CG(図10に示すN型不純物層NCU)が、メインワード線MWLと平行に延びている。   In FIG. 18, a total of 34 main word lines MWL driven by one main word line driver MWLDrv are provided. Two are test main word lines T1 and T0 connected to memory cells for test bits of the IC manufacturer, and the remaining 32 are user main word lines MWL0 to MWL31. Further, a control gate line CG (N-type impurity layer NCU shown in FIG. 10) driven by one control gate line driver CGDrv extends in parallel with the main word line MWL.

16個のカラムブロック0〜カラムブロック15の各々は、メモリセル領域260とサブワード線デコーダ領域270を有する。サブワード線デコーダ領域270には、各メインワード線MWLに接続されたサブワード線デコーダSWLDecが設けられている。また、コントロール回路ブロック202の領域には、各サブワード線デコーダ領域270毎に、カラムドライバCLDrvが設けられている。各サブワード線デコーダ領域270に配置された全サブワード線デコーダSWLDecに、カラムドライバCLDrvの出力線が共通接続されている。   Each of the 16 column blocks 0 to 15 has a memory cell region 260 and a sub word line decoder region 270. The sub word line decoder area 270 is provided with a sub word line decoder SWLDec connected to each main word line MWL. In the area of the control circuit block 202, a column driver CLDrv is provided for each sub word line decoder area 270. The output lines of the column driver CLDrv are commonly connected to all the sub word line decoders SWLDec arranged in each sub word line decoder region 270.

一つのサブワード線デコーダSWLDecより、隣接するメモリセル領域260内に向けて、サブワード線SWLと反転サブワード線XSWLが延びている。一つのカラムブロック内では、メモリセル領域260内に、サブワード線SWLと反転サブワード線XSWLとに共通接続された例えば8個のメモリセルMCが配置されている。   A sub word line SWL and an inverted sub word line XSWL extend from one sub word line decoder SWLDec toward the adjacent memory cell region 260. In one column block, for example, eight memory cells MC commonly connected to the sub word line SWL and the inverted sub word line XSWL are arranged in the memory cell region 260.

図18に示すレイアウトでは、メインワード線ドライバMWLDrvにより1本のメインワード線MWLが選択され、かつ、カラムデコーダCLDrvにより1つのカラムブロックが選択されることで、一つのサブワード線デコーダSWLDecが選択される。この選択されたサブワード線デコーダSWLDecに接続された8個のメモリセルMCが選択セルとなり、データのプログラム(書き込み)または読み出しが行われる。データの消去時には、少なくとも共通のN型ウェルNWEL1−1上に消去トランジスタを有する複数のメモリセル(本実施形態ではメインワード線MWLの2本に従属するメモリセル)を最小単位として、ブロック単位で消去される。   In the layout shown in FIG. 18, one main word line MWL is selected by the main word line driver MWLDrv, and one column block is selected by the column decoder CLDrv, so that one sub word line decoder SWLDec is selected. The Eight memory cells MC connected to the selected sub word line decoder SWLDec are selected cells, and data is programmed (written) or read. When erasing data, a plurality of memory cells (memory cells subordinate to two main word lines MWL in this embodiment) having at least an erasing transistor on at least the common N-type well NWEL1-1 are used as a minimum unit. Erased.

3.3.2.メモリセル領域及びサブワード線デコーダ領域のウェルレイアウト
図18には、メモリセル領域260及びサブワード線デコーダ領域270に共通のウェルレイアウトが図示されている。メモリセル領域260内の一つのメモリセルMCを形成するために、3つのウェルが用いられている。一つは、メインワード線MWLに沿った方向(D2方向)に延びるP型ウェルPWEL(広義には第1導電型の表層ウェル)であり、他の一つはそのP型ウェルPWELを囲む環状N型ウェルNWEL1(広義には第2導電型の環状表層ウェル)であり、さらに他の一つが環状N型ウェルNWEL1の側方にてメインワード線MWLに沿った方向(D2方向)に延びる帯状N型ウェルNWEL2(広義には第2導電型の帯状表層ウェル)である。なお、環状N型ウェルNWEL1の一方の長辺領域をNWEL1−1とし、他方の長辺領域(NWEL2側)をNWEL1−2とする。
3.3.2. FIG. 18 shows a well layout common to the memory cell region 260 and the sub word line decoder region 270. Three wells are used to form one memory cell MC in the memory cell region 260. One is a P-type well PWEL (surface well of the first conductivity type in a broad sense) extending in a direction (D2 direction) along the main word line MWL, and the other is an annular shape surrounding the P-type well PWEL. An N-type well NWEL1 (second conductivity type annular surface layer well in a broad sense), and another one extends in a direction (D2 direction) along the main word line MWL at the side of the annular N-type well NWEL1. This is the N-type well NWEL2 (second conductivity type belt-shaped surface layer well in a broad sense). Note that one long side region of the annular N-type well NWEL1 is NWEL1-1, and the other long side region (NWEL2 side) is NWEL1-2.

一つのメモリセルMCは、図18に示す1メモリセルの長さ領域Lに亘って、3つのウェル(PWEL,NWEL1,NWEL2)上に形成される。図18のD1方向で隣接する2つのメモリセルは、NWEL1(特にNWEL1−1)とNWEL2が共用される。また、各メモリセル領域260内の長さ領域Lには、図18に示すように、一つのサブワード線デコーダSWLDecに共通接続される8個のメモリセルMCが形成される。   One memory cell MC is formed on three wells (PWEL, NWEL1, NWEL2) over the length region L of one memory cell shown in FIG. NWEL1 (particularly NWEL1-1) and NWEL2 are shared by two memory cells adjacent in the direction D1 in FIG. In the length region L in each memory cell region 260, as shown in FIG. 18, eight memory cells MC commonly connected to one sub word line decoder SWLDec are formed.

なお、図18において、環状N型ウェルNWEL1と、帯状N型ウェルNWEL2とをそれぞれ囲むP型不純物リング280(広義には第1導電型の不純物リング)が設けられているが、これについては後述する。   In FIG. 18, a P-type impurity ring 280 (a first conductivity type impurity ring in a broad sense) surrounding each of the annular N-type well NWEL1 and the strip-shaped N-type well NWEL2 is provided. This will be described later. To do.

図18において、サブワード線デコーダ領域270にも上述した3つのウェル(PWEL,NWEL1,NWEL2)が形成される。ただし、サブワード線デコーダSWLDecを構成するトランジスタの形成領域は、図18にてドット領域として示すP型ウェルPWEL及び帯状N型ウェルNWEL2上であり、環状N型ウェルNWEL1上には形成されない。   In FIG. 18, the above-described three wells (PWEL, NWEL1, NWEL2) are also formed in the sub word line decoder region 270. However, the formation region of the transistors constituting the sub word line decoder SWLDec is on the P-type well PWEL and the strip-like N-type well NWEL2 shown as dot regions in FIG. 18, and is not formed on the annular N-type well NWEL1.

3.3.3.メモリセルの平面レイアウト及び断面構造
図19は、図18にて隣り合う2つのメモリセルMCの平面レイアウトである。図20は、図19のC−C’断面を示し、一つのメモリセルMCの断面図である。なお、図19のC−C’の破断線のうち、D2方向の破線で示す断面は図20では省略されている。また、図19のC−C’破断線のうちD1方向の寸法と、図20のD1方向の寸法とは、必ずしも一致していない部分がある。
3.3.3. FIG. 19 is a planar layout of two memory cells MC adjacent to each other in FIG. FIG. 20 is a cross-sectional view of one memory cell MC, showing the CC ′ cross-section of FIG. Note that the cross section indicated by the broken line in the direction D2 among the broken lines CC ′ in FIG. 19 is omitted in FIG. Further, in the CC ′ fracture line of FIG. 19, there is a portion where the dimension in the D1 direction and the dimension in the D1 direction of FIG.

図19において、2つのメモリセルMCは、平面視でミラー配置される。図19に示すように、メモリセルMCは、3つのウェル(PWEL,NWEL1,NWEL2)に跨って形成されることは上述した。環状N型ウェルNWEL1の外縁領域内側の下層と、帯状N型ウェルNWEL2の下層には、図20に示すように、深層N型ウェルDNWEL(広義には第2導電型の深層ウェル)が設けられている。図20に示すように、深層N型ウェルDNWEL上の3つのウェル(PWEL,NWEL1,NWEL2)内にはP型またはN型の不純物領域(広義には最表層不純物領域)が設けられるので、本実施形態のメモリセルMCはトリプルウェル構造である。これにより、P型基板PsubとP型ウェルPWELとを別電位に設定できる。なお、P型基板Psub上にはプログラマブルROM20だけが形成されるのでなく、他の回路ブロックも形成され、バックゲート電圧印加等のニーズがあるので、必ずしもP型基板Psubの電位を接地電位に固定するとは限らない。   In FIG. 19, two memory cells MC are mirror-arranged in plan view. As described above, the memory cell MC is formed across three wells (PWEL, NWEL1, and NWEL2) as shown in FIG. As shown in FIG. 20, a deep N-type well DNWEL (second conductivity type deep well in a broad sense) is provided in the lower layer inside the outer edge region of the annular N-type well NWEL1 and the lower layer of the strip-shaped N-type well NWEL2. ing. As shown in FIG. 20, since three wells (PWEL, NWEL1, NWEL2) on the deep layer N-type well DNWEL are provided with P-type or N-type impurity regions (in the broad sense, the outermost layer impurity region), The memory cell MC of the embodiment has a triple well structure. Thereby, the P-type substrate Psub and the P-type well PWEL can be set to different potentials. Note that not only the programmable ROM 20 is formed on the P-type substrate Psub, but also other circuit blocks are formed, and there is a need for application of a back gate voltage. Therefore, the potential of the P-type substrate Psub is not necessarily fixed to the ground potential. Not always.

図19及び図20に示すように、環状N型ウェルNWEL1の一方の長辺領域NWEL1−1と、P型ウェルPWELの上層には、図示しない絶縁膜を介して、ポリシリコンによるフローティングゲートFGが形成されている。このフローティングゲートFGは、PWELに形成された書き込み/読み出しトランジスタ220と、環状N型ウェルNWEL1の一方の長辺領域NWEL1−1に形成された消去トランジスタ230の共通ゲートとして機能する。さらに、フローティングゲートFGと絶縁膜を介して対向するP型ウェルPWEL領域には、N型不純物領域NCUが形成される。このN型不純物領域NCUは、コントロールゲート電圧VCGが印加されて、コントロールゲートCGとして機能する。   As shown in FIGS. 19 and 20, a floating gate FG made of polysilicon is formed on one long side region NWEL1-1 of the annular N-type well NWEL1 and an upper layer of the P-type well PWEL via an insulating film (not shown). Is formed. The floating gate FG functions as a common gate for the write / read transistor 220 formed in the PWEL and the erase transistor 230 formed in one long side region NWEL1-1 of the annular N-type well NWEL1. Further, an N-type impurity region NCU is formed in a P-type well PWEL region facing the floating gate FG via an insulating film. The N-type impurity region NCU is applied with a control gate voltage VCG and functions as a control gate CG.

P型ウェルPWELには、図11に示すトランスファーゲート240のN型MOSトランジスタXfer(N)が設けられている。また、帯状N型ウェルNWEL2には、トランスファーゲート240のP型MOSトランジスタXfer(P)が設けられている。なお、図19に示すようにP型MOSトランジスタXfer(P)は複数設けられ、これらは並列接続されることでゲート幅を確保してドライブ能力を確保している。   The P-type well PWEL is provided with an N-type MOS transistor Xfer (N) of the transfer gate 240 shown in FIG. Further, a P-type MOS transistor Xfer (P) of the transfer gate 240 is provided in the strip-shaped N-type well NWEL2. As shown in FIG. 19, a plurality of P-type MOS transistors Xfer (P) are provided, and these are connected in parallel to secure the gate width and secure the drive capability.

なお、環状N型ウェルNWEL1の他方の長辺領域NWEL1−2には、N型不純物領域が設けられるだけで、アクティブ素子は設けられない。この他方の長辺領域NWEL1−2は、一方の長辺領域NWEL1−1と連結されてP型ウェルPWELを環状に囲むためだけに設けられている。他方の長辺領域NWEL1−2が形成されないと、たとえ深層N型ウェルDNWELを配置したとしても、P型ウェルPWELをP型基板Psubと電気的に分離できないからである。   In the other long side region NWEL1-2 of the annular N-type well NWEL1, only an N-type impurity region is provided, and no active element is provided. The other long side region NWEL1-2 is provided only to be connected to the one long side region NWEL1-1 and surround the P-type well PWEL in an annular shape. This is because if the other long side region NWEL1-2 is not formed, the P-type well PWEL cannot be electrically separated from the P-type substrate Psub even if the deep N-type well DNWEL is arranged.

本実施形態では、深層N型ウェルDNWELの上層であって、P型ウェルPWELと、その外側の環状N型ウェルNWEL1とは離間されている。この離間スペースG1は、消去時に20Vが印加される環状N型ウェルNWEL1と、VSS電位に設定されるP型ウェルPWELとの間で20Vの耐圧確保のためである。本実施形態では、離間スペースの距離G1を1μmとした。なお、環状N型ウェルNWEL1とP型ウェルPWELとの間で耐圧が確保されれば、離間スペースG1は必要ではない。例えば、設計ルールが0.25μmであれば離間スペースG1は不要であるが、0.18μmの設計ルールでは離間スペースG1により耐圧を確保しても良い。   In the present embodiment, the P-type well PWEL, which is the upper layer of the deep N-type well DNWEL, is separated from the outer annular N-type well NWEL1. This separation space G1 is for securing a withstand voltage of 20 V between the annular N-type well NWEL1 to which 20 V is applied during erasure and the P-type well PWEL set to the VSS potential. In the present embodiment, the distance G1 of the separation space is set to 1 μm. If the withstand voltage is secured between the annular N-type well NWEL1 and the P-type well PWEL, the separation space G1 is not necessary. For example, if the design rule is 0.25 μm, the separation space G1 is not necessary, but in the design rule of 0.18 μm, the withstand voltage may be secured by the separation space G1.

次に、環状N型ウェルNWEL1と、帯状N型ウェルNWEL2との間にも、離間スペースG2が設けられている。特に、この離間スペースG2の領域には、環状N型ウェルNWEL1と帯状N型ウェルNWEL2とを電気的に分離するために、深層N型ウェルDNWELも配置されない。代りに、深層P型ウェルDPWEL(広義には、第1導電型の環状深層ウェル)が形成されている。この深層P型ウェルDPWELは、P型基板Psbよりも不純物濃度が若干濃く、表層のP型ウェルPWELよりも濃度は薄くして、環状N型ウェルNWEL1と帯状N型ウェルNWEL2との間の耐圧を上げるために設けられている。なお、この深層P型ウェルDPWELは、図18の環状N型ウェルNWEL1と、帯状N型ウェルNWEL2とを囲って環状に配置される。   Next, a separation space G2 is also provided between the annular N-type well NWEL1 and the strip-shaped N-type well NWEL2. In particular, the deep N-type well DNWEL is not disposed in the space G2 in order to electrically isolate the annular N-type well NWEL1 and the strip-shaped N-type well NWEL2. Instead, a deep P-type well DPWEL (first conductivity type annular deep well) is formed. The deep layer P-type well DPWEL has a slightly higher impurity concentration than the P-type substrate Psb and a lower concentration than the surface P-type well PWEL, so that the breakdown voltage between the annular N-type well NWEL1 and the strip-shaped N-type well NWEL2 It is provided to raise. The deep P-type well DPWEL is annularly arranged so as to surround the annular N-type well NWEL1 and the strip-shaped N-type well NWEL2 in FIG.

加えて、本実施形態では、離間スペースG2の表層に、平面視でリング状にP型不純物層(P型リング、広義には第1導電型の不純物リング)280を配置した。このP型リング280の形成領域は図18に示す通り、環状N型ウェルNWEL1及び帯状N型ウェルNWEL2の双方を囲っている。   In addition, in the present embodiment, a P-type impurity layer (P-type ring, first conductivity type impurity ring in a broad sense) 280 is arranged in a ring shape in plan view on the surface layer of the separation space G2. The formation region of the P-type ring 280 surrounds both the annular N-type well NWEL1 and the strip-shaped N-type well NWEL2 as shown in FIG.

このP型リング280を設けることで、離間スペースG2の上を寄生トランジスタのゲートとなり得る金属配線が跨いだとしても、寄生トランジスタがオンして離間スペースG2内の電位が反転することを防止するためである。なお、本実施形態では離間スペースG2の長さ=4.5μmとし、離間スペースG2の中心に位置するP型リング280の幅は0.5μmとした。ただし、電位反転防止の観点からは、寄生トランジスタのゲートとなり得るポリシリコン層や第1層金属配線は、離間スペースG2を跨いで形成されないこことした。第二層以上の金属配線は、離間スペースG2を跨いでも良い設計とした。   Providing the P-type ring 280 prevents the potential in the separation space G2 from being inverted by turning on the parasitic transistor even if the metal wiring that can serve as the gate of the parasitic transistor straddles the separation space G2. It is. In this embodiment, the length of the separation space G2 is 4.5 μm, and the width of the P-type ring 280 located at the center of the separation space G2 is 0.5 μm. However, from the viewpoint of preventing the potential inversion, the polysilicon layer and the first layer metal wiring that can be the gate of the parasitic transistor are not formed across the separation space G2. The metal wiring of the second layer or higher is designed to be able to straddle the separation space G2.

図20の変形例として、図21を挙げることができる。図21では、離間スペースG2に環状の深層P型ウェルDPWELを設けずに、代りに環状の表層P型ウェルSPWEL(広義には第1導電型の環状表層ウェル)を設けた。P型リング280は、環状の表層P型ウェルSPWEL内に形成されている。なお、環状N型ウェルNWEL1の他方の長辺領域NWEL1−1と表層P型ウェルSPWELとの離間スペースG1(例えば1μm)は、上述と同じ理由で20Vの耐圧確保のために設けられている。   FIG. 21 can be given as a modification of FIG. In FIG. 21, the annular deep layer P-type well DPWEL is not provided in the separation space G2, but an annular surface layer P-type well SPWEL (first conductivity type annular surface well in a broad sense) is provided instead. The P-type ring 280 is formed in an annular surface layer P-type well SPWEL. A space G1 (for example, 1 μm) between the other long side region NWEL1-1 of the annular N-type well NWEL1 and the surface layer P-type well SPWEL is provided to ensure a withstand voltage of 20 V for the same reason as described above.

3.4.コントロール回路ブロック
次に、図8に示すコントロール回路ブロック202について説明する。図22はコントロール回路ブロック202のブロック図であり、図23はコントロール回路ブロック202のレイアウト図である。コントロール回路ブロック202は、メモリセルアレイブロック200内のメモリセルMCへのデータのプログラム(書き込み)、読み出し及び消去を制御するための回路ブロックである。このコントロール回路ブロック202には、図22に示すように、電源回路300、コントロール回路302、Xプリデコーダ304、Yプリデコーダ306、センスアンプ回路308、データ出力回路310、プログラムドライバ312、データ入力回路314及び上述したカラムドライバ316(CLDrv)を有している。なお、図23に示すインプット/アウトプットバッファ318は、図22のデータ出力回路310及びデータ入力回路314を含んでいる。電源回路300は、VPPスイッチ300−1、VCGスイッチ300−2及びERS(消去)スイッチ300−3を有している。
3.4. Control Circuit Block Next, the control circuit block 202 shown in FIG. 8 will be described. FIG. 22 is a block diagram of the control circuit block 202, and FIG. 23 is a layout diagram of the control circuit block 202. The control circuit block 202 is a circuit block for controlling data programming (writing), reading and erasing to the memory cells MC in the memory cell array block 200. As shown in FIG. 22, the control circuit block 202 includes a power supply circuit 300, a control circuit 302, an X predecoder 304, a Y predecoder 306, a sense amplifier circuit 308, a data output circuit 310, a program driver 312, and a data input circuit. 314 and the column driver 316 (CLDrv) described above. The input / output buffer 318 shown in FIG. 23 includes the data output circuit 310 and the data input circuit 314 shown in FIG. The power supply circuit 300 includes a VPP switch 300-1, a VCG switch 300-2, and an ERS (erase) switch 300-3.

図23に示すように、メモリセルアレイブロック200とコントロール回路ブロック202は、D1方向で隣接している。そして、メモリセルアレイブロック200より読み出されるデータは、コントロール回路ブロック202を経由して、コントロール回路ブロック202内のインプット/アウトプットバッファ318を介して、メモリセルアレイブロック200のビット線BLが延びる方向(D1方向)に沿って出力される。   As shown in FIG. 23, the memory cell array block 200 and the control circuit block 202 are adjacent in the D1 direction. The data read from the memory cell array block 200 passes through the control circuit block 202 and the input / output buffer 318 in the control circuit block 202 in the direction (D1) in which the bit line BL of the memory cell array block 200 extends. Direction).

ここで、図3(A)(B)にて説明したように、プログラマブルROM20は、そのデータの転送先であるロジック回路LBか電源回路PBのブロックに対して、D1方向にて隣接配置される。さらに加えて、プログラマブルROM20のコントロール回路ブロック202が、データの転送先であるロジック回路LBか電源回路PBのブロックに対して、D1方向にて隣接配置されれば、よりショートパスにてデータを供給できる。   Here, as described with reference to FIGS. 3A and 3B, the programmable ROM 20 is arranged adjacent to the block of the logic circuit LB or the power supply circuit PB, which is the data transfer destination, in the D1 direction. . In addition, if the control circuit block 202 of the programmable ROM 20 is arranged adjacent to the block of the logic circuit LB or the power supply circuit PB, which is the data transfer destination, in the D1 direction, data is supplied through a shorter path. it can.

4.プログラマブルROMとデータレジスタとを用いた検査
4.1.データレジスタ部
本実施形態では、図24に示すように、プログラマブルROM20に加えて、外部からの検査データを記憶するデータレジスタ600を有する。このデータレジスタ600は、図22に示すセンスアンプ回路308とデータ出力回路310との間に設けられるセレクタ610に接続され、セレクタ610によりセンスアンプ回路308とデータレジスタ600との一方の出力データが選択されてデータ出力回路310に送出される。
4). Inspection using programmable ROM and data register 4.1. Data Register Unit In this embodiment, as shown in FIG. 24, in addition to the programmable ROM 20, a data register 600 for storing inspection data from the outside is provided. The data register 600 is connected to a selector 610 provided between the sense amplifier circuit 308 and the data output circuit 310 shown in FIG. 22, and one output data of the sense amplifier circuit 308 and the data register 600 is selected by the selector 610. And sent to the data output circuit 310.

セレクタ610は、N(Nは2以上の整数)ビット、例えばN=8ビットのセンスアンプ出力SA0−SA7の各ビットが入力されるN=8個の第1〜第Nの1ビットセレクタ610−0〜610−7を有する。データレジスタ600も、N=8個の例えば第1〜第Nのフリップフロップ(レジスタ)600−1〜600−7を有し、その各ビット出力Qが1ビットセレクタ610−0〜610−7にそれぞれ入力される。   The selector 610 receives N = 8 first to Nth 1-bit selectors 610- to which N (N is an integer of 2 or more) bits, for example, each bit of the sense amplifier outputs SA0-SA7 of N = 8 bits is input. 0-610-7. The data register 600 also has N = 8, for example, first to Nth flip-flops (registers) 600-1 to 600-7, and each bit output Q is sent to the 1-bit selectors 610-0 to 610-7. Each is entered.

第kのフリップフロック600−k(k=0〜7)のデータ端子Dには、データDinkとレジスタ書き込み信号RRSとが入力されるアンドゲート620−kの出力が入力される。つまり、レジスタ書き込み信号RRSがアクティブ(本実施形態ではハイアクティブ)の時にのみ、データDinkが第kのフリップフロック600−kのデータ端子Dに入力される。ここで、データDin0〜Din7は、図1に示す入力側インターフェース領域14を介して外部から入力される検査データまたはコマンドデータであり、検査データがフリップフロック600−kに書き込まれる。   The output of the AND gate 620-k to which the data Dink and the register write signal RRS are input is input to the data terminal D of the kth flip-flop 600-k (k = 0 to 7). That is, the data Dink is input to the data terminal D of the kth flip-flop 600-k only when the register write signal RRS is active (high active in this embodiment). Here, the data Din0 to Din7 are inspection data or command data input from the outside via the input side interface area 14 shown in FIG. 1, and the inspection data is written in the flip-flop 600-k.

フリップフロック600−0〜600−7の各クロック端子Cには、動作クロックOPCKとレジスタ書き込み信号RRSとが入力されるアンドゲート630の出力が、共通に入力される。つまり、レジスタ書き込み信号RRSがアクティブの時にのみ、動作クロックOPCKが第kのフリップフロック600−kのクロック端子Cに入力される。   The outputs of the AND gates 630 to which the operation clock OPCK and the register write signal RRS are input are commonly input to the clock terminals C of the flip-flops 600-0 to 600-7. That is, the operation clock OPCK is input to the clock terminal C of the kth flip-flop 600-k only when the register write signal RRS is active.

図24ではさらに、セレクタ610の切り換えを制御するセレクタ制御回路640を有する。本実施形態では、セレクタ制御回路640は、セレクタ制御レジスタ642と3つのアンドゲート644,646,648とを有する。アンドゲート(広義には論理ゲート)644には、8個の入力データDin0−Din7が入力される。つまり、セレクタ切換コマンドとしてデータDin0−Din7の全てが“1”のときのみ、アンドゲート644の出力は“1”となる。   FIG. 24 further includes a selector control circuit 640 that controls switching of the selector 610. In the present embodiment, the selector control circuit 640 includes a selector control register 642 and three AND gates 644, 646, 648. Eight input data Din0 to Din7 are input to the AND gate (logic gate in a broad sense) 644. That is, the output of the AND gate 644 becomes “1” only when all the data Din0 to Din7 are “1” as the selector switching command.

セレクタ制御レジスタ(例えばフリップフロップ)642のD端子には、アンドゲート644とレジスタ出力信号ROSとが入力されるアンドゲート646の出力線が接続されている。つまり、セレクタ切換コマンドとしてデータDin0−Din7の全てが“1”のときであって、かつ、レジスタ出力信号ROSがアクティブの時のみ、セレクタ制御レジスタ642のD端子にセレクタ切換データ“1”が入力される。   An output line of an AND gate 646 to which an AND gate 644 and a register output signal ROS are input is connected to a D terminal of the selector control register (for example, flip-flop) 642. That is, the selector switching data “1” is input to the D terminal of the selector control register 642 only when all the data Din0 to Din7 are “1” as the selector switching command and the register output signal ROS is active. Is done.

セレクタ制御レジスタ643のC端子には、レジスタ出力信号ROSと動作クロック信号OPCKが入力されるアンドゲート648の出力線が接続されている。つまり、レジスタ出力信号ROSがアクティブの時のみ、セレクタ制御レジスタ642のC端子に動作クロックOPCKが入力される。   An output line of an AND gate 648 to which the register output signal ROS and the operation clock signal OPCK are input is connected to the C terminal of the selector control register 643. That is, the operation clock OPCK is input to the C terminal of the selector control register 642 only when the register output signal ROS is active.

本実施形態では、フリップフッロップ600−0〜600−7,642をリセットするために、データレジスタ610及びレジスタ制御回路640を含むマクロセルを選択するマクロセル選択信号MSを用いている。本実施形態では、マクロセル選択信号MSがアクティブ(High)からノンアクティブ(Low)になると、フリップフッロップ600−0〜600−7,642がリセットされる。ここで、フリップフロップ600−0〜600−7がリセットされるタイミングが、セレクタ制御レジスタであるフリップフロップ642がリセットされるタイミングより早いと、フリップフロップ600−0〜600−7のセット後のデータがセレクタ610より出力されてしまう。そこで、フリップフロップ600−0〜600−7のリセット端子にマクロセル選択信号MSが遅れて到達するように、遅延回路650を設けている。   In this embodiment, in order to reset the flip-flops 600-0 to 600-7 and 642, a macro cell selection signal MS for selecting a macro cell including the data register 610 and the register control circuit 640 is used. In the present embodiment, when the macro cell selection signal MS changes from active (High) to non-active (Low), the flip-flops 600-0 to 600-7 and 642 are reset. Here, if the timing when the flip-flops 600-0 to 600-7 are reset is earlier than the timing when the flip-flop 642 as the selector control register is reset, the data after the flip-flops 600-0 to 600-7 are set. Is output from the selector 610. Therefore, a delay circuit 650 is provided so that the macro cell selection signal MS arrives at the reset terminals of the flip-flops 600-0 to 600-7 with a delay.

セレクタ610の後段には、図22に示すデータ出力回路310が設けられている。このデータ出力回路310は、ラッチ信号によりイネーブルとされ、各ビットセレクタ610−kの出力がラッチされるラッチ回路310−1を有する。データ出力回路310は、出力段にP型及びN型トランジスタを直列接続した出力トランジス310−2を有する。データ出力信号を反転させるインバータ310−3の出力と、ラッチ回路310−1の出力とが入力されるオア回路310−4の出力がP型トランジスタのゲートに入力される。また、データ出力信号とラッチ回路310−1の出力とが入力されるアンドゲート310−5の出力が、N型トランジスタのゲートに入力される。   A data output circuit 310 shown in FIG. 22 is provided following the selector 610. The data output circuit 310 includes a latch circuit 310-1 that is enabled by a latch signal and latches the output of each bit selector 610-k. The data output circuit 310 has an output transistor 310-2 in which P-type and N-type transistors are connected in series at the output stage. The output of the OR circuit 310-4 to which the output of the inverter 310-3 for inverting the data output signal and the output of the latch circuit 310-1 are input is input to the gate of the P-type transistor. Further, the output of the AND gate 310-5 to which the data output signal and the output of the latch circuit 310-1 are input is input to the gate of the N-type transistor.

4.2.検査方法
次に、プログラマブルROM20とデータレジスタ600の双方を用いた検査方法について、図25のタイミングチャートも参照して説明する。プログラマブルROM20のデータを用いる時には、セレクタ制御レジスタ642の出力がLOWであるので、セレクタ610は、図22のセンスアンプ回路308の出力SA0−SA7を選択する。このセンスアンプ出力SA0−SA7はデータ出力回路310を介して出力される。この検査では、例えばセンスアンプ出力SA0−SA7としてオール0及びオール1を出力して、例えばプログラマブルROM20と、ロジック回路LBあるいは電源回路PBとの接続検査を行なうことができる。
4.2. Inspection Method Next, an inspection method using both the programmable ROM 20 and the data register 600 will be described with reference to the timing chart of FIG. Since the output of the selector control register 642 is LOW when using the data of the programmable ROM 20, the selector 610 selects the outputs SA0 to SA7 of the sense amplifier circuit 308 in FIG. The sense amplifier outputs SA0 to SA7 are output via the data output circuit 310. In this inspection, for example, all 0 and all 1 are output as the sense amplifier outputs SA0 to SA7, and for example, the connection inspection between the programmable ROM 20 and the logic circuit LB or the power supply circuit PB can be performed.

ここで、プログラマブルROM20に予め記憶されたデータだけの接続検査では検出率が低い場合がある。その場合、検査時にプログラマブルROM20に新たな検査データを記憶させることも可能であるが、プログラマブルROM20へのデータ書き込み時間は比較的長い(本実施形態では、例えば1.6ms/バイトが開発目標)。   Here, there is a case where the detection rate is low in the connection inspection of only the data stored in advance in the programmable ROM 20. In this case, it is possible to store new inspection data in the programmable ROM 20 at the time of inspection, but the data writing time to the programmable ROM 20 is relatively long (in this embodiment, for example, 1.6 ms / byte is a development target).

そこで、追加の検査データを外部から入力して、しかもプログラマブルROM20を経由せずに検査を行なうことを可能とした。つまり、本実施形態では、外部からの追加の検査データは、プログラマブルROM20でなく、データレジスタ600に記憶される。   Therefore, it is possible to input additional inspection data from the outside and perform the inspection without going through the programmable ROM 20. That is, in this embodiment, additional inspection data from the outside is stored in the data register 600 instead of the programmable ROM 20.

4.2.1.データレジスタへの検査データの書き込み期間(第1期間)
データレジスタ600に検査データを書き込む時には、外部からのコマンドに基づいて、ロジック回路LBは、プログラマプルROM20に本来用いられる消去(ER)ロジック信号、プログラム(PR)ロジック信号及びコントロールゲート(CG)ロジック信号を、図25に示すように、「データレジスタへの書き込み」特有の信号に設定する。この3つのロジック信号の論理に基づいて、図25に示すように、4種類の信号RRS,ROS,RS,DOSのうち、レジスタ書き込み信号RRSのみがアクティブ(HIGH)になる。
4.2.1. Write period of test data to data register (first period)
When the test data is written in the data register 600, the logic circuit LB, based on an external command, the erasing (ER) logic signal, the program (PR) logic signal, and the control gate (CG) logic originally used for the programmable ROM 20 As shown in FIG. 25, the signal is set to a signal peculiar to “write to data register”. Based on the logic of these three logic signals, as shown in FIG. 25, only the register write signal RRS among the four types of signals RRS, ROS, RS, and DOS becomes active (HIGH).

次に、図1に示す入力側インターフェース領域14のN=8個の入力端子を介して、8ビットの書き込みデータDin0−Din7がドライバIC10に入力される。図24に示すように第k(k=0〜7ずれか)のフリップフッロプ600−kのデータ端子Dには、第kのアンドゲート620−kの出力としてデータDinkが供給されることになる。続いて、図25に示すように、マクロセル選択信号MSがアクティブとなった後の1発目の動作クロックOPCK1が、アンドゲート630を介して全フリップフロップ600−0〜600−7のクロック端子Cに入力される。そして、この1発目の動作クロックOPCK1の立ち上がりにより、8ビットの書き込みデータDin0−Din7が各フリップフロップ600−0〜600−7に書き込まれ、その出力端子Qより出力される。ただし、この時点では、データセレクタ610はセンスアンプ出力を選択しているので、フリップフロップ600−0〜600−7からの出力が、データセレクタ610を介して出力されることはない。   Next, 8-bit write data Din0 to Din7 are input to the driver IC 10 via N = 8 input terminals of the input side interface region 14 shown in FIG. As shown in FIG. 24, data Dink is supplied to the data terminal D of the k-th (k = 0 to 7) flip-flop 600-k as the output of the k-th AND gate 620-k. Become. Subsequently, as shown in FIG. 25, the first operation clock OPCK1 after the macro cell selection signal MS becomes active is supplied to the clock terminals C of all the flip-flops 600-0 to 600-7 via the AND gate 630. Is input. Then, 8-bit write data Din0 to Din7 are written to the flip-flops 600-0 to 600-7 at the rising edge of the first operation clock OPCK1, and output from the output terminal Q. However, since the data selector 610 has selected the sense amplifier output at this time, the outputs from the flip-flops 600-0 to 600-7 are not output via the data selector 610.

4.2.2.センスアンプ/レジスタ出力切換え設定期間(第2期間)
次の、SA(センスアンプ)/Reg(レジスタ)出力切換え設定期間では、消去(ER)ロジック信号、プログラム(PR)ロジック信号及びコントロールゲート(CG)ロジック信号が図25に示すように変化する。これにより、このSA/Reg切換え期間では、レジスタ書き込み信号RRSはLowに、レジスタ出力信号ROSはHighに変化する。
4.2.2. Sense amplifier / register output switching setting period (second period)
In the next SA (sense amplifier) / Reg (register) output switching setting period, the erase (ER) logic signal, the program (PR) logic signal, and the control gate (CG) logic signal change as shown in FIG. Thereby, in this SA / Reg switching period, the register write signal RRS changes to Low and the register output signal ROS changes to High.

このSA/Reg切換え期間では、図1に示す入力側インターフェース領域14のN=8個の入力端子を介して、8ビットの書き込みセレクタ切換コマンドDin0−Din7がドライバIC10に入力される。本実施形態では、図25に示すセレクタ切換コマンドDin0−Din7はオールHighに設定される。このセレクタ切換コマンドDin0−Din7は、セレクタ制御回路640のアンドゲート644に入力され、アンドゲート644の出力はHighとなる。レジスタ出力信号ROSもHighであるから、セレクタ制御回路640のフリフロップ642のデータ端子DにデータHighが供給されることになる。なお、上述したセレクタ切換コマンドDin0−Din7は、データレジスタ600のフリップフロップ600−1〜600−7には供給されない。レジスタ書き込み信号RRSがLowであるため、アンドゲート620−0〜620−7にて遮断されるからである。   In this SA / Reg switching period, 8-bit write selector switching commands Din0 to Din7 are input to the driver IC 10 through N = 8 input terminals of the input side interface region 14 shown in FIG. In this embodiment, the selector switching commands Din0 to Din7 shown in FIG. 25 are set to All High. The selector switching commands Din0 to Din7 are input to the AND gate 644 of the selector control circuit 640, and the output of the AND gate 644 becomes High. Since the register output signal ROS is also High, the data High is supplied to the data terminal D of the flip-flop 642 of the selector control circuit 640. The selector switching commands Din0 to Din7 described above are not supplied to the flip-flops 600-1 to 600-7 of the data register 600. This is because the register write signal RRS is Low and is blocked by the AND gates 620-0 to 620-7.

続いて、図25に示すように、マクロセル選択信号MSがアクティブとなった後の2発目の動作クロックOPCK2が、アンドゲート648を介してフリップフロップ642のクロック端子Cに入力される。そして、この2発目の動作クロックOPCK2の立ち上がりにより、アンドゲート646からの出力切換データ(High)がフリップフロップ642に書き込まれ、出力切換データ(High)がフリップフロップ642より各ビットセレクタ610−0〜610−7に供給される。これにより、各ビットセレクタ610−0〜610−7は、センスアンプ出力SA0−SA7でなく、フリップフッロプ600−0〜600−7の出力端子Qからの出力を選択するように切り換わる。   Subsequently, as shown in FIG. 25, the second operation clock OPCK 2 after the macro cell selection signal MS becomes active is input to the clock terminal C of the flip-flop 642 via the AND gate 648. The output switching data (High) from the AND gate 646 is written to the flip-flop 642 by the rising edge of the second operation clock OPCK2, and the output switching data (High) is sent from the flip-flop 642 to each bit selector 610-0. To 610-7. As a result, each of the bit selectors 610-0 to 610-7 switches to select the output from the output terminals Q of the flip-flops 600-0 to 600-7 instead of the sense amplifier outputs SA0 to SA7.

4.2.3.データ読み出し期間(第3期間)
次のデータ読み出し期間では、消去(ER)ロジック信号、プログラム(PG)ロジック信号及びコントロールゲート(CG)ロジック信号が図25に示すように変化する。これにより、レジスタ出力信号ROSはLOWに変化し、データ出力信号DOSはHIGHに変化する。
4.2.3. Data read period (third period)
In the next data read period, the erase (ER) logic signal, the program (PG) logic signal, and the control gate (CG) logic signal change as shown in FIG. As a result, the register output signal ROS changes to LOW, and the data output signal DOS changes to HIGH.

このデータ読み出し期間にて、フリップフロップ600−0〜600−7に書き込まれていた検査データが、各ビットセレクタ610−0〜610−7を介して、プログラマブルROM20からの出力に代えて、3発目の動作クロックOPCK3に同期してHIGHとなるラッチ信号RSにより、データ出力回路310に供給されることになる。   In this data read period, the inspection data written in the flip-flops 600-0 to 600-7 is replaced with the output from the programmable ROM 20 via the bit selectors 610-0 to 610-7. This is supplied to the data output circuit 310 by the latch signal RS which becomes HIGH in synchronization with the operation clock OPCK3 of the eye.

ここで、ラッチ信号RSを生成する回路(図示せず)は、3つのロジック信号ER,PG,CGと、動作クロックOPCKとに基づいて、ラッチ信号RSを生成する。本実施形態では、3つのロジック信号ER,PG,CGが共にLOWとなるデータ読み出し期間(第3期間)にて、3発目の動作クロックOPCK3がHIGHとなる期間に亘って、ラッチ信号RSがHIGHとなる。   Here, a circuit (not shown) that generates the latch signal RS generates the latch signal RS based on the three logic signals ER, PG, and CG and the operation clock OPCK. In the present embodiment, in the data read period (third period) in which the three logic signals ER, PG, and CG are all LOW, the latch signal RS is supplied over the period in which the third operation clock OPCK3 is HIGH. Become HIGH.

なお、図24において、3発目の動作クロックOPCK3はアンドゲート630,648にも入力されるが、各アンドゲート630,648のもう一方の入力RRS,ROSは共にLOWであるので、フリップフッロプ600−0〜600−7,642での動作は、第2期間と第3期間とでは変更がない。   In FIG. 24, the third operation clock OPCK3 is also input to the AND gates 630 and 648. Since the other inputs RRS and ROS of the AND gates 630 and 648 are both LOW, the flip-flop The operation in 600-0 to 600-7, 642 is not changed between the second period and the third period.

データ出力回路310は、図25に示すようにデータ読み出し期間ではラッチ信号RS及びデータ出力信号DOSが共にHighであるので、各ビットセレクタ610−0〜610−7からの検査データがラッチ回路310−1に取り込まれ、ラッチ信号RSのLowへの立下り時にラッチされる。このラッチ回路310−1の出力端子Qの論理に基づいて出力トランジスタ310−2が駆動されて、検査データが出力される。   In the data output circuit 310, since the latch signal RS and the data output signal DOS are both High during the data read period as shown in FIG. 25, the test data from each of the bit selectors 610-0 to 610-7 is latched. 1 and latched when the latch signal RS falls to Low. Based on the logic of the output terminal Q of the latch circuit 310-1, the output transistor 310-2 is driven to output inspection data.

このように、書き込み速度の遅いプログラマブルROM20に代えて、例えばナノオーダーの短時間でデータの書き換えが可能なデータレジスタ600をRAMのように扱うことで、不良の検出率を向上させながら検査時間を大幅に短縮することができる。   In this way, instead of the programmable ROM 20 having a low writing speed, the data register 600 capable of rewriting data in a short time such as nano-order is handled like a RAM, so that the inspection time can be improved while improving the defect detection rate. It can be greatly shortened.

5.電子機器
図26(A)(B)に本実施形態の集積回路装置10を含む電子機器(電気光学装置)の例を示す。なお電子機器は図26(A)(B)に示されるもの以外の構成要素(例えばカメラ、操作部又は電源等)を含んでもよい。また本実施形態の電子機器は携帯電話機には限定されず、デジタルカメラ、PDA、電子手帳、電子辞書、プロジェクタ、リアプロジェクションテレビ、或いは携帯型情報端末などであってもよい。
5. Electronic Device FIGS. 26A and 26B show examples of electronic devices (electro-optical devices) including the integrated circuit device 10 of the present embodiment. Note that the electronic device may include components other than those shown in FIGS. 26A and 26B (for example, a camera, an operation unit, a power supply, or the like). The electronic device according to the present embodiment is not limited to a mobile phone, and may be a digital camera, a PDA, an electronic notebook, an electronic dictionary, a projector, a rear projection television, a portable information terminal, or the like.

図26(A)(B)においてホストデバイス410は、例えばMPU(Micro Processor Unit)、ベースバンドエンジン(ベースバンドプロセッサ)などである。このホストデバイス410は、表示ドライバである集積回路装置10の制御を行う。或いはアプリケーションエンジンやベースバンドエンジンとしての処理や、圧縮、伸長、サイジングなどのグラフィックエンジンとしての処理を行うこともできる。また図26(B)の画像処理コントローラ(表示コントローラ)420は、ホストデバイス410に代行して、圧縮、伸長、サイジングなどのグラフィックエンジンとしての処理を行う。   26A and 26B, the host device 410 is, for example, an MPU (Micro Processor Unit), a baseband engine (baseband processor), or the like. The host device 410 controls the integrated circuit device 10 that is a display driver. Alternatively, processing as an application engine or baseband engine, or processing as a graphic engine such as compression, decompression, or sizing can be performed. An image processing controller (display controller) 420 in FIG. 26B performs processing as a graphic engine such as compression, decompression, and sizing on behalf of the host device 410.

表示パネル400は、複数のデータ線(ソース線)と、複数の走査線(ゲート線)と、データ線及び走査線により特定される複数の画素を有する。そして、各画素領域における電気光学素子(狭義には、液晶素子)の光学特性を変化させることで、表示動作を実現する。この表示パネル400は、TFT、TFDなどのスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式のパネルにより構成できる。なお表示パネル400は、アクティブマトリクス方式以外のパネルであってもよいし、液晶パネル以外のパネルであってもよい。   The display panel 400 includes a plurality of data lines (source lines), a plurality of scanning lines (gate lines), and a plurality of pixels specified by the data lines and the scanning lines. A display operation is realized by changing the optical characteristics of the electro-optical element (in a narrow sense, a liquid crystal element) in each pixel region. The display panel 400 can be constituted by an active matrix panel using switching elements such as TFTs and TFDs. Note that the display panel 400 may be a panel other than the active matrix method, or may be a panel other than the liquid crystal panel.

図26(A)の場合には、集積回路装置10としてメモリ内蔵のものを用いることができる。即ちこの場合には集積回路装置10は、ホストデバイス410からの画像データを、一旦内蔵メモリに書き込み、書き込まれた画像データを内蔵メモリから読み出して、表示パネルを駆動する。一方、図26(B)の場合には、集積回路装置10としてメモリ非内蔵のものを用いることができる。即ちこの場合には、ホストデバイス410からの画像データは、画像処理コントローラ420の内蔵メモリに書き込まれる。そして集積回路装置10は、画像処理コントローラ420の制御の下で、表示パネル400を駆動する。   In the case of FIG. 26A, the integrated circuit device 10 having a built-in memory can be used. That is, in this case, the integrated circuit device 10 once writes the image data from the host device 410 into the built-in memory, reads the written image data from the built-in memory, and drives the display panel. On the other hand, in the case of FIG. 26B, the integrated circuit device 10 without a memory can be used. That is, in this case, the image data from the host device 410 is written into the built-in memory of the image processing controller 420. The integrated circuit device 10 drives the display panel 400 under the control of the image processing controller 420.

なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語(第1のインターフェース領域、第2のインターフェース領域等)と共に記載された用語(出力側I/F領域、入力側I/F領域等)は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また集積回路装置や電子機器の構成、配置、動作も本実施形態で説明したものに限定に限定されず、種々の変形実施が可能である。   Although the present embodiment has been described in detail as described above, it will be easily understood by those skilled in the art that many modifications can be made without departing from the novel matters and effects of the present invention. Accordingly, all such modifications are included in the scope of the present invention. For example, in the specification or drawings, terms (output-side I / F region, input-side I / F) described at least once together with different terms having a broader meaning or the same meaning (first interface region, second interface region, etc.) (Area, etc.) can be replaced with the different terms anywhere in the specification or drawings. Further, the configuration, arrangement, and operation of the integrated circuit device and the electronic device are not limited to those described in this embodiment, and various modifications can be made.

例えば、本発明では、プログラマブルROM(不揮発性データメモリ)を構成するメモリセルMCは、不純物層NCUの代わりウェルを用いた単層ゲート構造であってもよい。また、必ずしも単層ゲートのものに限らず、二層ゲートであってもよい。   For example, in the present invention, the memory cell MC constituting the programmable ROM (nonvolatile data memory) may have a single layer gate structure using a well instead of the impurity layer NCU. Further, the gate is not necessarily limited to a single-layer gate, and may be a two-layer gate.

また、プログラマブルROMを搭載する半導体基板の第1導電型をN型とすることもできる。   In addition, the first conductivity type of the semiconductor substrate on which the programmable ROM is mounted can be an N type.

本実施形態の集積回路装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the integrated circuit device of this embodiment. 種々のタイプの表示ドライバとそれが内蔵する回路ブロックの例を示す図である。It is a figure which shows the example of various types of display drivers and the circuit block which it incorporates. 図3(A)(B)は本実施形態の集積回路装置の平面レイアウト例を示す図である。3A and 3B are diagrams showing an example of a planar layout of the integrated circuit device of this embodiment. 図4(A)(B)は集積回路装置の断面図の例を示す図である。4A and 4B are diagrams illustrating examples of cross-sectional views of the integrated circuit device. 図3(A)に示す回路ブロックのうち、プログラマブルROM、ロジック回路及び階調電圧生成回路の関係を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the relationship between programmable ROM, a logic circuit, and a gradation voltage generation circuit among the circuit blocks shown to FIG. 3 (A). 図6(A)(B)(C)は図5の回路によって調整される階調電圧を示す特性図である。6A, 6B, and 6C are characteristic diagrams showing gradation voltages adjusted by the circuit of FIG. 電気光学装置を含む表示装置の構成例のブロック図である。It is a block diagram of the structural example of the display apparatus containing an electro-optical apparatus. 集積回路装置内のプログラマブルROMブロックのレイアウトを示す図である。It is a figure which shows the layout of the programmable ROM block in an integrated circuit device. 図8に対する比較例のレイアウトを示す図である。It is a figure which shows the layout of the comparative example with respect to FIG. プログラマブルROM内に配置される単層ゲートのメモリセルの平面図である。It is a top view of the memory cell of the single layer gate arrange | positioned in programmable ROM. 図10に示すメモリセルの等価回路図である。FIG. 11 is an equivalent circuit diagram of the memory cell shown in FIG. 10. 図10のA−A’断面を示し、メモリセルでのプログラム(書き込み)原理を示す図である。FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 10, illustrating a program (write) principle in a memory cell. プログラム後の書き込み/読み出しトランジスタのしきい値の推移を説明する図である。It is a figure explaining transition of the threshold value of the write / read transistor after programming. 図10のB−B’断面を示し、メモリセルでの消去原理を示す図である。FIG. 11 shows a cross section taken along line B-B ′ of FIG. 消去後の書き込み/読み出しトランジスタのしきい値の推移を説明する図である。It is a figure explaining transition of the threshold value of the write / read transistor after erasure. 図10のA−A’断面を示し、書き込み状態のメモリセルからのデータ読み出し原理を示す図である。FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 10, illustrating a principle of reading data from a memory cell in a write state. 図10のA−A’断面を示し、消去状態のメモリセルからのデータ読み出し原理を示す図である。FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 10, illustrating a principle of reading data from a memory cell in an erased state. プログラマブルROMのメモリセルアレイブロックの平面図である。It is a top view of the memory cell array block of programmable ROM. 隣り合う2つのメモリセルの平面図である。It is a top view of two adjacent memory cells. 図19のC−C’断面図である。It is C-C 'sectional drawing of FIG. 図20の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of FIG. プログラマブルROMのブロック図である。It is a block diagram of programmable ROM. プログラマブルROM全体の平面的レイアウトを示す図である。It is a figure which shows the planar layout of the whole programmable ROM. データレジスタ、セレクタ、セレクタ制御回路の回路図である。It is a circuit diagram of a data register, a selector, and a selector control circuit. 図24に示す回路を用いた検査方法を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the inspection method using the circuit shown in FIG. 図26(A)(B)は電子機器の構成例を示す図である。26A and 26B are diagrams each illustrating a configuration example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

CB1〜CBN…第1〜第Nの回路ブロック、10…集積回路装置、12…出力側I/F領域、14…入力側I/F領域、20…プログラマブルROM(不揮発性データメモリ)、21…第1のメモリセルブロック、22…第2のメモリセルブロック、23…メモリセルブロック、24…メモリセルブロック、200…メモリセルアレイブロック、202…コントロール回路ブロック、210…コントロールゲート部分、220…書き込み/読み出しトランジスタ、230…消去トランジスタ、240…トランスファーゲート、250…メインワード線・コントロールゲート線ドライバ領域、260…メモリセル領域、270…サブワード線デコーダ領域、280…P型リング、300…電源回路、302…コントロール回路、304…Xプリデコーダ、306…Yプリデコーダ、308…センスアンプ回路、310…データ出力回路、312…プログラムドライバ、314…データ入力回路、318…インプット/アウトプットバッファ、600…データレジスタ、600−1〜600−7…第1〜第Nのレジスタ(フリップフッロプ)、610…セレクタ、610−0〜610−7…ビットセレクタ、620…論理ゲート(アンドゲート)、640…セレクタ制御回路、642…セレクタ制御レジスタ、644…論理ゲート(アンドゲート)、BL…ビット線、CG(NCU)…コントロールゲート、FG…フローティングゲート、LB…ロジック回路(ゲートアレイ)、MC…メモリセル、NWEL1…環状N型ウェル、NWEL2…帯状N型ウェル、PB…電源回路ブロック、PWEL…P型ウェル、Xfer(P)…トランスファーゲートのPMOS、Xfer(N)…トランスファーゲートのNMOS、WL…ワード線   CB1 to CBN ... 1st to Nth circuit blocks, 10 ... integrated circuit device, 12 ... output side I / F area, 14 ... input side I / F area, 20 ... programmable ROM (nonvolatile data memory), 21 ... 1st memory cell block, 22 ... 2nd memory cell block, 23 ... Memory cell block, 24 ... Memory cell block, 200 ... Memory cell array block, 202 ... Control circuit block, 210 ... Control gate part, 220 ... Write / Read transistor 230 ... Erase transistor 240 ... Transfer gate 250 ... Main word line / control gate line driver region 260 ... Memory cell region 270 ... Sub word line decoder region 280 ... P-type ring 300 ... Power supply circuit 302 ... Control circuit, 304 ... X Decoder, 306 ... Y predecoder, 308 ... Sense amplifier circuit, 310 ... Data output circuit, 312 ... Program driver, 314 ... Data input circuit, 318 ... Input / output buffer, 600 ... Data register, 600-1 to 600- 7 ... 1st to Nth registers (flip-flops), 610 ... selector, 610-0 to 610-7 ... bit selector, 620 ... logic gate (AND gate), 640 ... selector control circuit, 642 ... selector control register 644 ... Logic gate (AND gate), BL ... Bit line, CG (NCU) ... Control gate, FG ... Floating gate, LB ... Logic circuit (gate array), MC ... Memory cell, NWEL1 ... Ring N-type well, NWEL2 ... strip N-type well, PB ... power supply circuit block , PWEL ... P-type well, Xfer (P) ... transfer gate of the PMOS, Xfer (N) ... transfer gate of the NMOS, WL ... word line

Claims (10)

入力インターフェース回路と、
前記入力インターフェース回路を介して第1の検査データが予め記憶される不揮発性データメモリと、
検査時に、前記入力インターフェース回路を介して第2の検査データが記憶されるデータレジスタと、
前記不揮発性データメモリ及び前記データレジスタの一方の出力を選択するセレクタと、
前記入力インターフェース回路を介して入力されるセレクタ切換コマンドに従って、前記セレクタを切換え制御するセレクタ制御回路と、
を有することを特徴とする集積回路装置。
An input interface circuit;
A non-volatile data memory in which first inspection data is stored in advance via the input interface circuit;
A data register for storing second inspection data via the input interface circuit at the time of inspection;
A selector for selecting one output of the nonvolatile data memory and the data register;
A selector control circuit for switching the selector according to a selector switching command input via the input interface circuit;
An integrated circuit device comprising:
請求項1において、
前記入力インターフェース回路は、N(Nは2以上の整数)ビットの検査データまたはセレクタ切換コマンドが入力される入力端子を有し、
前記第1及び第2の検査データの各々はNビットの検査データであり、
前記セレクタ制御回路は、Nビットのセレクタ切換コマンドが入力される論理ゲートの出力に基づいて、前記セレクタが前記データレジスタの出力を選択するように切換え制御することを特徴とする集積回路装置。
In claim 1,
The input interface circuit has an input terminal to which N (N is an integer of 2 or more) bits of inspection data or a selector switching command is input.
Each of the first and second inspection data is N-bit inspection data;
The integrated circuit device, wherein the selector control circuit performs switching control so that the selector selects an output of the data register based on an output of a logic gate to which an N-bit selector switching command is input.
請求項2において、
前記データレジスタは、第1〜第Nのレジスタを含み、レジスタ書き込み信号がアクティブである第1期間中に、前記第1〜第Nのレジスタに、Nビットの前記第2の検査データの各ビットがそれぞれ書き込まれ、
前記セレクタ制御回路は、セレクタ制御レジスタを含み、前記第1期間後にレジスタ出力信号がアクティブとなる第2期間に、前記論理ゲートからの出力に基づいて前記セレクタ制御レジスタに出力切換データが書き込まれることを特徴とする集積回路装置。
In claim 2,
The data register includes first to Nth registers, and each bit of the second check data of N bits is stored in the first to Nth registers during a first period in which a register write signal is active. Is written respectively
The selector control circuit includes a selector control register, and output switching data is written to the selector control register based on an output from the logic gate in a second period in which a register output signal becomes active after the first period. An integrated circuit device.
請求項3において、
前記第1〜第Nのレジスタは、前記第1期間中に入力された第1の動作クロックに基づいて、Nビットの前記第2の検査データの各ビットがそれぞれ書き込まれ、
前記セレクタ制御レジスタは、前記第2期間中に入力された第2の動作クロックに基づいて、Nビットの前記セレクタ切換コマンドの各ビットが書き込まれ、
前記第2期間に、前記第1〜第Nのレジスタより前記第2の検査データが読み出され、かつ、前記セレクタ制御レジスタより前記出力切換データが読み出されて、前記セレクタにて前記第2の検査データを選択することを特徴とする集積回路装置。
In claim 3,
The first to Nth registers are each written with N bits of the second test data based on the first operation clock input during the first period,
In the selector control register, each bit of the selector switch command of N bits is written based on the second operation clock input during the second period,
In the second period, the second inspection data is read from the first to Nth registers, and the output switching data is read from the selector control register, and the second data is read by the selector. An integrated circuit device characterized by selecting inspection data.
請求項4において、
前記セレクタの後段にデータ出力回路が接続され、前記データ出力回路はラッチ回路を含み、
前記第2期間後の第3期間中に入力された第3の動作クロックと同期してアクティブとなるラッチ信号に基づいて、前記セレクタにて選択された前記第2の検査データが前記ラッチ回路にラッチされることを特徴とする集積回路装置。
In claim 4,
A data output circuit is connected to the subsequent stage of the selector, and the data output circuit includes a latch circuit,
Based on a latch signal that becomes active in synchronization with a third operation clock input during a third period after the second period, the second inspection data selected by the selector is input to the latch circuit. An integrated circuit device that is latched.
請求項3乃至5のいずれかにおいて、
前記データレジスタ及び前記セレクタ制御回路を含むマクロセルを選択するマクロセル選択信号がアクティブからノンアクティブとなった時に、前記第1〜第Nのレジスタ及び前記セレクタ制御レジスタがリセットされることを特徴とする集積回路装置。
In any of claims 3 to 5,
The integrated circuit wherein the first to Nth registers and the selector control register are reset when a macro cell selection signal for selecting a macro cell including the data register and the selector control circuit changes from active to non-active. Circuit device.
請求項6において、
前記マクロセル選択信号の供給線に遅延回路が設けられ、前記遅延回路は、前記第1〜第Nのレジスタがリセットされるタイミングを、前記セレクタ制御レジスタがリセットされるタイミングよりも遅らせることを特徴とする集積回路装置。
In claim 6,
A delay circuit is provided in the macro cell selection signal supply line, and the delay circuit delays the timing at which the first to Nth registers are reset from the timing at which the selector control register is reset. Integrated circuit device.
請求項6または7において、
前記不揮発性データメモリは、消去、プログラム及びコントロールゲートを制御する複数のロジック信号に基づいて動作制御され、
前記マクロセル選択信号は、前記複数のロジック信号の各論理の組み合わせに基づいて生成されることを特徴とする集積回路装置。
In claim 6 or 7,
The nonvolatile data memory is controlled based on a plurality of logic signals for controlling erase, program and control gates,
The integrated circuit device, wherein the macro cell selection signal is generated based on a combination of logics of the plurality of logic signals.
請求項1乃至8のいずれかにおいて、
前記不揮発性データメモリに設けられた複数のメモリセルの各々は、
半導体基板に形成された書き込み/読み出しトランジスタ及び消去トランジスタと、
前記書き込み/読み出しトランジスタ及び前記消去トランジスタの各ゲートに共用されるフローティングゲートと、
前記半導体基板に形成されており、前記フローティングゲートが絶縁層を介して対向する位置に形成された不純物領域にて形成されるコントロールゲートと、を有することを特徴とする集積回路装置。
In any one of Claims 1 thru | or 8.
Each of the plurality of memory cells provided in the nonvolatile data memory is
A write / read transistor and an erase transistor formed on a semiconductor substrate;
A floating gate shared by the gates of the write / read transistor and the erase transistor;
An integrated circuit device comprising: a control gate formed in an impurity region formed in the semiconductor substrate, the floating gate being formed at a position facing the floating gate via an insulating layer.
請求項1乃至9のいずれかに記載の集積回路装置と、
前記集積回路装置により駆動される表示パネルと、
を含むことを特徴とする電子機器。
An integrated circuit device according to any one of claims 1 to 9,
A display panel driven by the integrated circuit device;
An electronic device comprising:
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