JP2007123387A - Manufacturing system and manufacturing line - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、製造システムおよび製造ラインに関し、特に、各工程に材料や中間製造物を同一方向から搬出入することを特徴とする製造システムおよび製造ラインに関するものである。 The present invention relates to a manufacturing system and a manufacturing line, and more particularly to a manufacturing system and a manufacturing line characterized in that materials and intermediate products are carried in and out of each process from the same direction.
従来の製造システムにおけるライン構成は、材料や中間製造物をラインの上流側から下流側に受け渡してゆくように、各工程に配置された製造装置間での制御が行われている。このため、製造装置間の制御は、上流側をマスターとし、下流側をスレーブとするような制御が行われている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、従来の製造システムでは、上記のように、材料や中間製造物を各工程に配置された製造装置間でラインの上流側から下流側に受け渡すように制御していたため、各製造装置間にそれぞれ搬出入装置が必要であった。そのため、製造システムの占有面積が大きくなるという問題がある。 However, in the conventional manufacturing system, as described above, materials and intermediate products are controlled to be transferred from the upstream side of the line to the downstream side between the manufacturing devices arranged in each process. Each required a loading and unloading device. Therefore, there is a problem that the occupation area of the manufacturing system becomes large.
また、製造システム自体の規模が小さい場合には、走行ロボット等を用いることにより、上記の問題を解決することもできるが、こうした製造システムの場合には、汎用性に欠けるといった問題があった。 Further, when the scale of the manufacturing system itself is small, the above problem can be solved by using a traveling robot or the like. However, in the case of such a manufacturing system, there is a problem that the versatility is lacking.
そこで、本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、製造システムの占有面積を小さくするとともに、汎用性を備えた製造システムを提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a manufacturing system having versatility while reducing the occupation area of the manufacturing system.
上記の課題を解決するために、本発明は、以下の事項を提案している。
本発明は、材料や中間製造物を搬出入する搬出入装置と、複数の製造装置とからなる製造システムであって、前記搬出入装置の動作モードを該製造装置に前記材料や前記中間製造物を搬入する搬入モードと、該製造装置から該搬出入装置に前記材料や前記中間製造物を搬出する搬出モードのいずれかに切り替えて、前記材料や前記中間製造物を前記複数の製造装置間で搬送することを特徴とする製造システムを提案している。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following matters.
The present invention is a manufacturing system comprising a loading / unloading apparatus for loading / unloading materials and intermediate products, and a plurality of manufacturing apparatuses, wherein the operation mode of the loading / unloading apparatus is assigned to the manufacturing apparatus. Switching between the carry-in mode for carrying in the material and the carry-out mode for carrying out the material and the intermediate product from the manufacturing device to the carry-in / out device, and transferring the material and the intermediate product between the plurality of manufacturing devices. Proposes a manufacturing system characterized by transporting.
本発明によれば、搬出入装置の動作モードを製造装置に材料や中間製造物を搬入する搬入モードと、製造装置から搬出入装置に材料や中間製造物を搬出する搬出モードのいずれかに切り替えて、材料や中間製造物を複数の製造装置間で搬送する。すなわち、マスター装置である搬出入装置がスレーブ装置である複数の製造装置の動作状態、具体的には、搬出入装置と製造装置の接続が可能であるか否かを示すインライン信号や受取要求信号、取出し要求信号等を監視して、スレーブ装置の動作状態に応じてモードの切替を行う。したがって、従来のように、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。そのため、製造ラインを構成する装置の数を削減し、製造ラインのレイアウト面積を小さくすることができる。また、マスター装置がスレーブ装置を制御する構成であることから、制御の標準化が可能であり、設計工数を削減することができる。 According to the present invention, the operation mode of the carry-in / out device is switched between the carry-in mode for carrying materials and intermediate products into the production device and the carry-out mode for carrying materials and intermediate products from the production device to the carry-in / out devices. Thus, materials and intermediate products are conveyed between a plurality of manufacturing apparatuses. That is, the operation state of a plurality of manufacturing apparatuses in which the carry-in / out apparatus as the master apparatus is a slave apparatus, specifically, an inline signal or a reception request signal indicating whether the connection between the carry-in / out apparatus and the manufacturing apparatus is possible The take-out request signal and the like are monitored, and the mode is switched according to the operation state of the slave device. Therefore, as in the prior art, the concept of upstream and downstream is eliminated regarding the loading and unloading of materials and manufacturing intermediates, and materials and manufacturing intermediates can be loaded and unloaded from the same place. Therefore, the number of devices constituting the production line can be reduced, and the layout area of the production line can be reduced. In addition, since the master device is configured to control the slave device, standardization of control is possible and design man-hours can be reduced.
また、本発明において、前記搬出入装置が前記複数の製造装置の動作状態を検出する動作状態検出手段と、該動作状態検出手段により検出された動作状態に応じて前記材料や前記中間製造物の搬出入を制御する搬出入制御手段と、を備えている。 In the present invention, the carry-in / out device detects an operation state of the plurality of manufacturing apparatuses, and an operation state detection unit detects the operation state of the material and the intermediate product according to the operation state detected by the operation state detection unit. Loading / unloading control means for controlling loading / unloading.
本発明によれば、搬出入装置が動作状態検出手段により複数の製造装置の動作状態を検出し、検出された動作状態に応じて搬出入制御手段が材料や中間製造物の搬出入を制御する。したがって、従来のように、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。 According to the present invention, the carry-in / out apparatus detects the operation states of the plurality of manufacturing apparatuses by the operation state detection means, and the carry-in / out control means controls the carry-in / out of the material and the intermediate product according to the detected operation states. . Therefore, as in the prior art, the concept of upstream and downstream is eliminated regarding the loading and unloading of materials and manufacturing intermediates, and materials and manufacturing intermediates can be loaded and unloaded from the same place.
また、本発明において、前記搬出入装置と前記複数の製造装置とのインターフェースがパラレルインターフェースであることが望ましい。
この発明によれば、パラレルインターフェースを用いていることから、装置を選ばず汎用性のあるシステムを構築することができる。すなわち、デジタル信号（Ｈｉｇｈ／Ｌｏｗ）を入力、或いは出力できる制御装置であればそれぞれの機能を持つ信号線ごとに制御可能なため汎用性がある。但し、この場合、機器同士の信号の電圧レベルをあわせることが必要となる。
In the present invention, it is desirable that an interface between the carry-in / out apparatus and the plurality of manufacturing apparatuses is a parallel interface.
According to the present invention, since a parallel interface is used, a versatile system can be constructed regardless of the device. In other words, a control device that can input or output digital signals (High / Low) is versatile because it can be controlled for each signal line having each function. In this case, however, it is necessary to match the voltage levels of the signals between the devices.
また、本発明において、前記複数の製造装置の各製造装置の搬出口と搬入口とが同一方向に配置されていることが望ましい。
この発明によれば、各製造装置の搬出口と搬入口とが同一方向に配置されているため、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。
In the present invention, it is desirable that the carry-out port and the carry-in port of each production device of the plurality of production devices are arranged in the same direction.
According to this invention, since the carry-out port and the carry-in port of each manufacturing apparatus are arranged in the same direction, there is no concept of upstream and downstream with respect to carry-in and carry-out of materials and production intermediates. And manufacturing intermediates can be carried in and out.
また、本発明の製造ラインは、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の製造システムを複数有し、当該複数の製造システムを制御する制御装置をさらに有し、前記材料や前記中間製造物を前記複数の製造システム間で搬送することを特徴とする。
A production line of the present invention includes a plurality of the production systems according to any one of
以下、本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る製造システムの一例であるガラス基板の切断分離システムを示している。図１に示すように、本実施形態に係る製造システムは、給材ステージ１と、アライメント装置２と、スクライバー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）３と、アライメントユニット付反転装置（製造装置に相当、スレーブ装置）４と、ブレーカー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）５と、除材ステージ６と、仮置きステージ７と、スクライバー用トランスポータ（搬出入装置に相当）１０と、ブレーカー用トランスポータ（搬出入装置に相当）２０とから構成されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
FIG. 1 shows a glass substrate cutting and separating system which is an example of a manufacturing system according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the manufacturing system according to the present embodiment includes a
なお、本実施形態においては、給材ステージ１、アライメント装置２およびスクライバー用トランスポータ１０を含めて１つのマスター装置とし、除材ステージ６、仮置きステージ７およびブレーカー用トランスポータ２０を含めて１つのマスター装置として説明する。また、図中の点線部分は、スクライバー用トランスポータ１０およびブレーカー用トランスポータ２０の可動範囲を示しており、本実施形態においては、スクライバー用トランスポータ１０およびブレーカー用トランスポータ２０は、図示しないＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等の制御装置でコントロールされている。
In the present embodiment, one master device including the
給材ステージ１は、材料を供給するステージであり、本実施形態においては、ガラスが張り合わされた２層のガラス基板の分割ラインを想定していることから、ガラス基板がスクライバー用トランスポータ１０により材料として供給される。なお、給材ステージ１には、供給されるガラス基板を検出するガラス基板検出センサとスクライバー用トランスポータ１０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
The
アライメント装置２は、給材ステージ１から供給されるガラス基板に対して、機械的あるいは光学的な方法で次工程における処理に必要な位置決め処理を行う。なお、アライメント装置２には、供給されるガラス基板を検出するガラス基板検出センサが設けられている。
The
スクライバー装置３は、スクライバー用トランスポータ１０等のマスター装置に対するスレーブ装置であり、スクライバー用トランスポータ１０から供給されるアライメント装置２において位置決めされたガラス基板に対して、機械的な方法で分割を行うための溝をガラス基板上に形成する。なお、スクライバー装置３には、ガラス基板を検出するガラス基板検出センサとスクライバー用トランスポータ１０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
The scriber device 3 is a slave device for a master device such as the
アライメントユニット付反転装置４は、スクライバー用トランスポータ１０等のマスター装置に対するスレーブ装置であり、スクライバー用トランスポータ１０から供給されるアライメント装置２において一方の面（例えば、Ａ面という）に関してスクライバー処理されたガラス基板に対して、これを反転、移動して、他方の面（例えば、Ｂ面という）について、機械的あるいは光学的な方法で次工程における処理に必要な位置決め処理を行う。なお、反転・移動装置およびアライメント装置には、ガラス基板を検出するガラス基板検出センサとスクライバー用トランスポータ１０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
The
ブレーカー装置５は、ブレーカー用トランスポータ２０等のマスター装置に対するスレーブ装置であり、スクライバー処理されたガラス基板の一方の面について分割の処理を実行する。なお、ブレーカー装置５には、ガラス基板を検出するガラス基板検出センサとブレーカー用トランスポータ２０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
The
本実施形態のシステムにおけるガラス基板の流れを説明すると、まず、スクライバー用トランスポータ１０がアライメント装置２におけるアライメント処理の終了後に、ガラス基板をスクライバー装置３に搬入する。すなわち、このときのガラス基板の流れは、上流側がスクライバー用トランスポータ１０、下流側がスクライバー装置３となる。
The flow of the glass substrate in the system of the present embodiment will be described. First, the
次に、スクライバー装置３における処理が終了すると、スクライバー用トランスポータ１０がガラス基板をスクライバー装置３から搬出する。すなわち、このときのガラス基板の流れは、上流側がスクライバー装置３、下流側がスクライバー用トランスポータ１０となる。
Next, when the processing in the scriber device 3 is completed, the
さらに、スクライバー用トランスポータ１０は、搬出したガラス基板をそのままアライメントユニット付反転装置４に搬入する。すなわち、このときのガラス基板の流れは、上流側がスクライバー用トランスポータ１０、下流側がアライメントユニット付反転装置４となる。
Further, the
すなわち、本実施形態における製造システムにおいては、ガラス基板を搬入する場合と搬出する場合とで、その都度、上流、下流を入れ替えながらガラス基板が搬送されている。つまり、マスター装置とスレーブ装置とがスレーブ装置の動作状態に応じてハンドシェークを行い、順次、上流、下流を入れ替えながらガラス基板を搬送している。 That is, in the manufacturing system according to the present embodiment, the glass substrate is transported while the upstream and the downstream are switched each time when the glass substrate is carried in and when the glass substrate is carried out. That is, the master device and the slave device perform handshaking according to the operation state of the slave device, and sequentially convey the glass substrate while switching the upstream and downstream.
次に、図２を用いて、マスター装置であるスクライバー用トランスポータ１０およびブレーカー用トランスポータ２０の構成について説明する。マスター装置は、図２に示すように、受信部３０と、スレーブ装置状態判別部（動作状態検出手段に相当）３１と、搬入搬出制御部（搬出入制御手段に相当）３２と、送信部３３とを備えている。
Next, the configuration of the
受信部３０は、スレーブ装置からの受取要求信号や取出し要求信号等を受信し、スレーブ装置状態判別部３１に出力する。スレーブ装置状態判別部３１は、受信部３０から入力した受取要求信号や取出し要求信号等からスレーブ装置の要求内容や状態等を検出する。搬入搬出制御部３２は、スレーブ装置状態判別部３１が検出したスレーブ装置の要求内容や状態等に応じて、搬入および搬出を制御する。送信部３３は、スレーブ装置に対して、搬出動作中、搬入動作中等の情報を送信する。すなわち、受信部３０と送信部３３とがマスター装置とスレーブ装置との間のインターフェースを構築している。
The receiving
マスター装置とスレーブ装置との間のインターフェースは、例えば、図３のようになっている。図３において、左側がマスター装置側のインターフェースラインであり、右側がスレーブ装置のインターフェースラインである。また、各信号ラインには、その信号が入力信号であるのか出力信号であるのかを識別するために、「Ｉｎ」あるいは「Ｏｕｔ」の表記がなされている。 The interface between the master device and the slave device is, for example, as shown in FIG. In FIG. 3, the left side is an interface line on the master device side, and the right side is an interface line on the slave device. Each signal line is labeled “In” or “Out” in order to identify whether the signal is an input signal or an output signal.
図３において、インライン信号とは、通信可能な状態を示す信号であり、具体的には、インライン／オフライン選択スイッチがＯＮ状態であり、自動起動モードであるときにマスター装置がこのインライン信号をアクティブにする。一方、スレーブ装置は、マスター装置からのインライン信号がアクティブのときにマスター装置に出力するインライン信号をアクティブとし、マスター装置からのインライン信号がノンアクティブのとき、あるいは自動起動モードが終了したときには、マスター装置に出力するインライン信号をノンアクティブにする。マスター装置は、スレーブ装置から出力されるインライン信号の状態を監視し、他の信号についてハンドシェーク通信を行うことができるか否かを判断する。なお、インライン信号をノンアクティブとする場合には、すべての信号をノンアクティブとする。 In FIG. 3, the inline signal is a signal indicating a communicable state. Specifically, the master device activates the inline signal when the inline / offline selection switch is in the ON state and in the automatic start mode. To. On the other hand, the slave device activates the inline signal output to the master device when the inline signal from the master device is active. When the inline signal from the master device is inactive or when the automatic startup mode ends, the slave device Deactivate the inline signal output to the device. The master device monitors the state of the inline signal output from the slave device, and determines whether or not handshake communication can be performed for other signals. When inline signals are made inactive, all signals are made inactive.
受取準備完了信号は、スレーブ装置がガラス基板を受け取ることができる状態になったことを示す信号であり、マスター装置は、スレーブ装置からのインライン信号がアクティブであり、受取準備完了信号がアクティブであるときに、ガラス基板搬入のための通信を開始する。 The reception ready signal is a signal indicating that the slave device is ready to receive a glass substrate, and the master device has an inline signal from the slave device active and a reception ready signal is active. Occasionally, communication for carrying in the glass substrate is started.
受取要求信号は、スレーブ装置がガラス基板の搬入を希望する場合にアクティブとなる信号であり、マスター装置は、ガラス基板搬入のための通信を開始した後、この信号がアクティブであるときに搬入搬出制御部３２を作動させて搬入動作を開始する。
The reception request signal is an active signal when the slave device desires to carry in the glass substrate, and the master device carries in / out when this signal is active after starting communication for carrying in the glass substrate. The
受取完了信号は、スレーブ装置が自装置内にガラス基板があることを検出し、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０との機械的な干渉が無くなった場合にアクティブとなる信号であり、マスター装置は、受取完了信号の入力によりガラス基板を搬入する通信の終了準備が整ったことを検知する。
The reception completion signal is a signal that becomes active when the slave device detects that there is a glass substrate in its own device and there is no mechanical interference with the
取出し準備完了信号は、スレーブ装置がガラス基板を搬出できる状態になった時点でアクティブとなる信号であり、マスター装置は、スレーブ装置からのインライン信号がアクティブであり、取出し準備完了信号がアクティブであるときに、ガラス基板搬出のための通信を開始する。 The take-out preparation completion signal is a signal that becomes active when the slave device is ready to carry out the glass substrate. The master device has an in-line signal from the slave device active, and the take-out preparation completion signal is active. Sometimes communication for carrying out the glass substrate is started.
取出し要求信号は、スレーブ装置がガラス基板を搬出する状態になった時点でアクティブとなる信号であり、マスター装置は、ガラス基板の搬出処理の開始後、この取出し要求信号がアクティブであるときに搬入搬出制御部３２を作動させて搬出動作を開始する。
The take-out request signal is active when the slave device enters the state of carrying out the glass substrate, and the master device carries in when the take-out request signal is active after the start of the glass substrate take-out process. The carry-out
取出し完了信号は、マスター装置が、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０のヘッドがガラス基板を保持した状態で機械的な干渉のないスレーブ装置の外側にある待機点に移動したときにアクティブとなる信号であり、スレーブ装置は、この信号を入力すると搬出処理の終了の準備を完了する。
The take-out completion signal is activated when the master device moves to a standby point outside the slave device without mechanical interference while the head of the
一時停止要求信号は、スレーブ装置が自装置内のトラブル等によりマスター装置を一時停止させたいときにアクティブとなる信号であり、スレーブ装置は、一時停止中は、この信号とインライン信号以外は出力しない。なお、処理中に、この信号をアクティブとする場合には、インターフェースの終了まで動作を継続した後、一時停止状態に移行する。一方で、マスター装置は、一時停止要求信号を入力すると、一時停止状態となる。なお、スレーブ装置と同様に、処理中に、一時停止要求信号を入力した場合には、インターフェースの終了まで動作を継続した後、一時停止状態に移行する。 The pause request signal is an active signal when the slave device wants to pause the master device due to a trouble in its own device, etc. During the pause, the slave device does not output anything other than this signal and the inline signal. . When this signal is made active during processing, the operation is continued until the interface is terminated, and then the state is temporarily stopped. On the other hand, when the master device inputs a pause request signal, the master device enters a pause state. As in the case of the slave device, if a pause request signal is input during processing, the operation continues until the end of the interface and then shifts to a pause state.
非常停止要求信号は、処理中に、スレーブ装置がマスター装置との機械的な干渉あるいはオペレータの接触等により危険な状態を検出したときにアクティブとなる信号である。なお、非常停止状態で処理中の装置間にあるガラス基板については、手動またはハンドワークを用いてガラス基板を元に戻し、インターフェース開始直前から再起動する。したがって、装置の状態を示すフラグやデータについては保存をしておく。また、処理中でないときに、自装置のトラブル等で非常停止する場合やサイクル停止させる場合もアクティブとなる。一方で、マスター装置は、非常停止要求信号を入力すると、直ちに動作を停止させる。なお、スレーブ装置と同様に、非常停止状態で処理中の装置間にあるガラス基板については、手動またはハンドワークを用いてガラス基板を元に戻し、インターフェース開始直前から再起動する。 The emergency stop request signal is a signal that becomes active during processing when the slave device detects a dangerous state due to mechanical interference with the master device or operator contact. In addition, about the glass substrate between apparatuses currently processed in an emergency stop state, a glass substrate is returned to the original using manual or handwork, and it restarts from just before an interface start. Therefore, the flag and data indicating the state of the device are saved. In addition, when processing is not in progress, it is also active when an emergency stop or cycle stop is caused due to a trouble of the own apparatus. On the other hand, when the master device inputs an emergency stop request signal, the master device immediately stops its operation. Similar to the slave device, the glass substrate between the devices being processed in the emergency stop state is returned to the original state by using manual or hand work, and restarted immediately before the interface is started.
Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ１は、スレーブ装置が１番目のガラス基板についてＡ面のスクライブ処理が完了したときに、ガラス基板の受け渡しに際して、フラグを立てるものであり、スレーブ装置は、このフラグとガラス基板とを一緒に受取り、取り出し時にこれを受け渡す。また、Ｂ面のスクライブが完了してガラス基板を取り出すときには、フラグをクリアする。さらに、自装置内で、ガラス基板が割れた場合や抜き取られた場合には、このフラグをクリアする。これは、処理中に、ガラス基板が割れた場合も同様である。一方、マスター装置は、このフラグとガラス基板とを一緒に受取り、これをスレーブ装置に受け渡す。そして、このフラグのＯＮ／ＯＦＦによりガラス基板をスクライバーに戻すか、あるいはアンローダに排出するかを判断する。また、このフラグのＯＮ／ＯＦＦにより後述するレシピナンバーを選択し、スクライバーおよびブレーカにこの情報を受け渡す。また、自装置内でガラス基板が割れた場合あるいは処理中にガラス基板が割れた場合には、このフラグをクリアする。なお、Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ２、Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ３およびＢ面スクライブ要求フラグＮｏ４は、２番目のガラス基板、３番目のガラス基板等についてのフラグであり、その機能は、Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ１と同様である。 The B-side scribe request flag No1 sets a flag when the slave device completes the A-side scribing process for the first glass substrate, and the slave device sets the flag and the glass substrate. And hand it over at the time of removal. When the scribing of the B surface is completed and the glass substrate is taken out, the flag is cleared. Furthermore, this flag is cleared when the glass substrate is broken or pulled out in the apparatus itself. The same applies to the case where the glass substrate is broken during processing. On the other hand, the master device receives the flag and the glass substrate together, and passes them to the slave device. Then, whether the glass substrate is returned to the scriber or discharged to the unloader is determined by turning on / off the flag. Further, a recipe number, which will be described later, is selected by turning this flag ON / OFF, and this information is transferred to the scriber and breaker. Further, when the glass substrate is broken in the apparatus itself or when the glass substrate is broken during processing, this flag is cleared. In addition, B surface scribe request flag No2, B surface scribe request flag No3, and B surface scribe request flag No4 are flags about the 2nd glass substrate, the 3rd glass substrate, etc., The function is B surface scribe request | requirement. It is the same as flag No1.
搬入動作中信号は、マスター装置が搬入動作を行っていることを示す信号であり、マスター装置はスレーブ装置からの受取準備完了信号を受信し、ハンドシェークを行って、この信号をアクティブにして搬入インターフェースを開始する。マスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０がガラス基板を搬入して戻るまでの間、この信号をアクティブとする。一方、スレーブ装置は、受取準備完了信号がアクティブであり、マスター装置からの搬入動作中信号がアクティブである場合に搬入インターフェースを開始する。そして、受取完了信号がアクティブで搬入動作中信号がノンアクティブになったときに搬入インターフェースを終了する。
The carry-in operation signal is a signal indicating that the master device is carrying in the carry-in operation. The master device receives a reception preparation completion signal from the slave device, performs handshaking, and activates this signal to carry-in the interface. To start. The master device keeps this signal active until the
搬出動作中信号は、マスター装置が搬出動作を行っていることを示す信号であり、マスター装置はスレーブ装置からの取出し準備完了信号を受信し、ハンドシェークを行って、この信号をアクティブにして搬出インターフェースを開始する。マスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０がガラス基板を取り出して戻るまでの間、この信号をアクティブとする。一方、スレーブ装置は、取出し準備完了信号がアクティブであり、マスター装置からの搬出動作中信号がアクティブである場合に搬出インターフェースを開始する。そして、取出し完了信号がアクティブで搬出動作中信号がノンアクティブになったときに搬出インターフェースを終了する。
The unloading operation in-progress signal is a signal indicating that the master device is performing the unloading operation. The master device receives an unloading preparation completion signal from the slave device, performs handshaking, and activates this signal to carry out the unloading interface. To start. The master device makes this signal active until the
レシピナンバー２０−７は、予め設定された機種ごとに割り振られたナンバーであり、Ａ面、Ｂ面ともに８ビットのデータで構成される。マスター装置は、このデータをスレーブ装置にガラス基板と一緒に受け渡す。 Recipe number 20-7 is a number assigned for each preset model, and is composed of 8-bit data for both A-side and B-side. The master device passes this data along with the glass substrate to the slave device.
本実施形態においては、マスター装置とスレーブ装置とのインターフェースは、上記に示したように、パラレルインターフェースとなっている。このため、装置を選ばず汎用性のあるシステムを構築することができるという特徴を有している。 In the present embodiment, the interface between the master device and the slave device is a parallel interface as described above. For this reason, it has the characteristic that a versatile system can be constructed without selecting an apparatus.
次に、図４および図５を用いて、搬入、搬出動作の流れについて説明する。
図４は、マスター装置（スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０）からスレーブ装置（スクライバー装置３、アライメントユニット付反転装置４、ブレーカー装置５）に材料や中間生産物を搬入する場合のタイミングチャートを示している。なお、図４にはスレーブ装置を基準とした入出力信号が示されており、図中、「ＯＵＴ」は、スレーブ装置の出力信号を示し、「ＩＮ」は、スレーブ装置の入力信号を示している。
Next, the flow of carry-in and carry-out operations will be described with reference to FIGS. 4 and 5.
FIG. 4 shows the timing when materials and intermediate products are carried from the master device (
図４によれば、マスター装置からスレーブ装置に材料や中間生産物を搬入する場合には、まず、マスター装置がインライン信号をアクティブとする。この信号を入力したスレーブ装置は、インライン信号をアクティブとしてマスター装置に出力する。 According to FIG. 4, when a material or an intermediate product is carried from a master device to a slave device, the master device first activates an inline signal. The slave device receiving this signal outputs the inline signal as active and outputs it to the master device.
次に、スレーブ装置は、受取準備完了信号をマスター装置に出力する。受取準備完了信号を入力したマスター装置は、搬入動作中信号をスレーブ装置に出力する。なお、このとき、マスター装置は、Ｂ面スクライブ要求フラグを立て、スレーブ装置に対して、レシピナンバー２０−７を出力する。Ｂ面スクライブ要求フラグの状態は、搬入動作の完了まで保持される。 Next, the slave device outputs a reception preparation completion signal to the master device. The master device that has received the reception preparation completion signal outputs a loading operation in-progress signal to the slave device. At this time, the master device sets a B-side scribe request flag and outputs a recipe number 20-7 to the slave device. The state of the B-side scribe request flag is maintained until the carry-in operation is completed.
搬入動作中信号を入力したスレーブ装置は、受取要求信号を出力し、この信号を入力したマスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０を作動させて材料や中間生産物の搬入動作を開始させる。そして、スレーブ装置は、ガラス基板検出センサによりガラス基板を検出し、トランスポートヘッド検出センサによりトランスポートヘッドとのメカ的な干渉がなくなったと判断したとき、受取完了信号をマスター装置に対して出力する。
The slave device that has received the carry-in operation signal outputs a reception request signal, and the master device that has received this signal operates the
受取完了信号を出力したスレーブ装置は、受取準備完了信号をノンアクティブとする。一方、マスター装置が受取完了信号を入力すると、搬入動作中信号をノンアクティブとし、インライン信号をノンアクティブとすることにより、材料や中間生産物の搬入動作を終了する。なお、マスター装置から出力されるインライン信号がノンアクティブとなると、スレーブ装置もこれに応じて、インライン信号をノンアクティブとする。 The slave device that has output the reception completion signal makes the reception preparation completion signal inactive. On the other hand, when the master apparatus inputs a reception completion signal, the loading operation in-progress signal is made inactive, and the inline signal is made inactive, thereby completing the carrying-in operation of the material and the intermediate product. When the inline signal output from the master device becomes inactive, the slave device also makes the inline signal inactive accordingly.
図５は、スレーブ装置（スクライバー装置３、アライメントユニット付反転装置４、ブレーカー装置５）からマスター装置（スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０）に材料や中間生産物を搬出する場合のタイミングチャートを示している。
FIG. 5 shows the timing when materials and intermediate products are carried out from the slave device (scriber device 3, reversing
図５によれば、スレーブ装置からマスター装置に材料や中間生産物を搬出する場合には、まず、マスター装置がインライン信号をアクティブとする。この信号を入力したスレーブ装置は、インライン信号をアクティブとしてマスター装置に出力する。 According to FIG. 5, when a material or an intermediate product is carried from the slave device to the master device, the master device first activates the inline signal. The slave device receiving this signal outputs the inline signal as active and outputs it to the master device.
次に、スレーブ装置は、取出し準備完了信号をマスター装置に出力する。取出し準備完了信号を入力したマスター装置は、搬出動作中信号をスレーブ装置に出力する。そして、搬出動作中信号を入力したスレーブ装置は、取出し要求信号を出力し、この信号を入力したマスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０を作動させて材料や中間生産物の搬出動作を開始させる。
Next, the slave device outputs an extraction preparation completion signal to the master device. The master device that has input the take-out preparation completion signal outputs a carry-out operation in-progress signal to the slave device. The slave device that has received the unloading operation signal outputs a take-out request signal, and the master device that has received this signal operates the
そして、スレーブ装置は、トランスポートヘッド検出センサによりトランスポートヘッドとのメカ的な干渉がなくなったと判断したとき、取出し完了信号をマスター装置に対して出力する。 When the slave device determines that the mechanical interference with the transport head has been eliminated by the transport head detection sensor, the slave device outputs an extraction completion signal to the master device.
取出し完了信号を出力したスレーブ装置は、取出し準備完了信号をノンアクティブとする。一方、マスター装置が取出し完了信号を入力すると、搬出動作中信号をノンアクティブとし、インライン信号をノンアクティブとすることにより、材料や中間生産物の搬出動作を終了する。なお、マスター装置から出力されるインライン信号がノンアクティブとなると、スレーブ装置もこれに応じて、インライン信号をノンアクティブとする。 The slave device that has output the extraction completion signal makes the extraction preparation completion signal non-active. On the other hand, when the master device inputs a take-out completion signal, the carry-out operation in-progress signal is made inactive and the inline signal is made inactive, thereby terminating the carry-out operation of the material and intermediate product. When the inline signal output from the master device becomes inactive, the slave device also makes the inline signal inactive accordingly.
以上、説明したように、本実施形態によれば、マスター装置である搬出入装置がスレーブ装置である各工程に設けられた製造装置の動作状態、具体的には、インターフェースが可能であるか否かを示すインライン信号や受取要求信号、取出し要求信号等を監視して、スレーブ装置の動作状態に応じてインターフェースを切り替えることによりモードの切替を行う。したがって、従来のように、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。 As described above, according to the present embodiment, the operation state of the manufacturing apparatus provided in each process in which the carry-in / out apparatus as the master apparatus is the slave apparatus, specifically, whether the interface is possible or not is possible. The in-line signal, the reception request signal, the take-out request signal, etc. are monitored, and the mode is switched by switching the interface according to the operation state of the slave device. Therefore, as in the prior art, the concept of upstream and downstream is eliminated regarding the loading and unloading of materials and manufacturing intermediates, and materials and manufacturing intermediates can be loaded and unloaded from the same place.
また、図３から図５に示すように、マスター装置とスレーブ装置間のインターフェースがパラレルインターフェースになっていることから、装置を選ばず汎用性のあるシステムを構築することができる。 Further, as shown in FIGS. 3 to 5, since the interface between the master device and the slave device is a parallel interface, a versatile system can be constructed regardless of the device.
上記のように、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の構成等も含まれることは言うまでもない。例えば、本実施形態においては、マスター装置に相当するトランスポータを２つ有する比較的大規模な製造システムを例示して説明したが、トランスポータ１つから構成されるような比較的小規模な製造システムにも適用することができる。 As described above, the embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to this embodiment, and the configuration and the like within the scope of the present invention are not limited. Needless to say, it is included. For example, in the present embodiment, a comparatively large-scale manufacturing system having two transporters corresponding to the master device has been described as an example. However, a comparatively small-scale manufacturing configured with a single transporter has been described. It can also be applied to the system.
また、本実施形態においては、ガラス基板のカッティング工程を例にとり説明を行ったが、これに限らず、材料や製造中間物の搬入、搬出を伴うすべての製造システムに適用することができる。 Moreover, in this embodiment, although demonstrated taking the example of the cutting process of a glass substrate, it can apply not only to this but to all the manufacturing systems with carrying in and carrying out of a material and a manufacturing intermediate.
１・・・給材ステージ、２・・・アライメント装置、３・・・スクライバー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）、４・・・アライメントユニット付反転装置（製造装置に相当、スレーブ装置）、５・・・ブレーカー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）、６・・・除材ステージ、７・・・仮置きステージ、１０・・・スクライバー用トランスポータ（搬出入装置に相当）、２０・・・ブレーカー用トランスポータ（搬出入装置に相当）、３０・・・受信部、３１・・・スレーブ装置状態判別部（動作状態検出手段に相当）、３２・・・搬入搬出制御部（搬出入制御手段に相当）、３３・・・送信部
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記搬出入装置の動作モードを該製造装置に前記材料や前記中間製造物を搬入する搬入モードと、該製造装置から該搬出入装置に前記材料や前記中間製造物を搬出する搬出モードのいずれかに切り替えて、前記材料や前記中間製造物を前記複数の製造装置間で搬送することを特徴とする製造システム。 A manufacturing system comprising a loading / unloading device for loading and unloading materials and intermediate products, and a plurality of manufacturing devices,
The operation mode of the carry-in / out device is either a carry-in mode in which the material or the intermediate product is carried into the manufacturing device, or a carry-out mode in which the material or the intermediate product is carried out from the production device to the carry-in / out device. The manufacturing system is characterized in that the material and the intermediate product are transferred between the plurality of manufacturing apparatuses.
該動作状態検出手段により検出された動作状態に応じて前記材料や前記中間製造物の搬出入を制御する搬出入制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の製造システム。 An operation state detecting means for detecting an operation state of the plurality of manufacturing apparatuses by the carry-in / out device;
Carry-in / out control means for controlling the carry-in / out of the material and the intermediate product according to the operation state detected by the operation state detection means;
The manufacturing system according to claim 1, further comprising:
A plurality of manufacturing systems according to any one of claims 1 to 4, further comprising a control device for controlling the plurality of manufacturing systems, wherein the material and the intermediate product are transferred between the plurality of manufacturing systems. A production line characterized by conveying.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2005310943A JP2007123387A (en) | 2005-10-26 | 2005-10-26 | Manufacturing system and manufacturing line |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010282306A (en) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | Control program development supporting apparatus, control program development supporting method, and program |
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2005
- 2005-10-26 JP JP2005310943A patent/JP2007123387A/en not_active Withdrawn
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