JP2007121036A - Flowmeter - Google Patents

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Hiroyuki Inagaki
広行 稲垣
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flowmeter which can achieve stable measurement results and enlarge a measurement range. <P>SOLUTION: A space between an installation surface for a sensor 24 for measuring the flow of a fluid and a facing wall corresponding to the installation surface is formed as a sensor flow channel 121. A flow channel enlargement section 121a having a size c which is larger than a spacing size a between the installation surface for the sensor 24 and the facing wall is provided at a position other than the flow channel part at which the sensor 24 is positioned in the sensor flow channel 121. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、流体の流量を計測する流量計に関し、特に、その流路構造に関するものである。   The present invention relates to a flow meter for measuring a flow rate of a fluid, and more particularly to a flow channel structure thereof.

従来、流路内の流体の流れを整流するようにした流量計として、例えば、特許文献1に示されるように、流路部分の両端に入口ポートと出口ポートを設け、かつ、これら入口ポートと出口ポートの流路と直角に流路を設け、この流路と流量センサが位置する流路とが直角となるよう流量計内の流路を形成することにより、小形化を図りながら、計測対象となる流体の再現性のある流速分布を形成し、安定した計測結果が得られるようにしたものがあった。   Conventionally, as a flow meter that rectifies the flow of fluid in a flow path, for example, as shown in Patent Document 1, an inlet port and an outlet port are provided at both ends of a flow path portion, and these inlet ports A flow path is provided at right angles to the flow path of the outlet port, and the flow path in the flow meter is formed so that the flow path and the flow path where the flow sensor is located are at right angles. In some cases, a reproducible flow velocity distribution of the fluid was formed, and a stable measurement result was obtained.

特開2004−3887号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-3877

上記従来の流量計では、上述した流路の形状を有することにより、小形でかつ安定した計測結果が得られるといった効果を有するものである。しかしながら、このような流量計では、更に、流量の計測範囲を拡大化することへの要請が強く、このような点から、小形化への条件を満たしながら更に大きな流量を計測することのできる流量計の実現が要望されていた。   The conventional flow meter has an effect that a small and stable measurement result can be obtained by having the shape of the flow path described above. However, in such a flow meter, there is a strong demand for expanding the measurement range of the flow rate, and from this point, a flow rate that can measure a larger flow rate while satisfying the conditions for downsizing. Realization of the total was requested.

この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、安定した計測結果を得ると共に、計測範囲を拡大することのできる流量計を得ることを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to obtain a flowmeter capable of obtaining a stable measurement result and expanding a measurement range.

この発明に係る流量計は、流体の流量を計測するためのセンサの設置面とこの設置面に対向する対向壁との間に形成される空間をセンサ流路とし、センサ流路のセンサが位置する流路部分以外の位置に、センサの設置面と対向壁との間隔寸法より大きな寸法を有する流路拡張部を設けたものである。   In the flow meter according to the present invention, a space formed between an installation surface of a sensor for measuring a flow rate of a fluid and an opposing wall facing the installation surface is used as a sensor flow channel, and the sensor of the sensor flow channel is positioned. A flow path expansion portion having a size larger than the distance between the sensor installation surface and the opposing wall is provided at a position other than the flow path portion.

この発明に係る流量計は、センサ流路の上流側に位置する上流側流路からセンサ流路への流体の流れ方向が屈曲するよう流路を形成したものである。   In the flow meter according to the present invention, the flow path is formed so that the flow direction of the fluid from the upstream flow path located upstream of the sensor flow path to the sensor flow path is bent.

この発明に係る流量計は、上流側流路が屈曲部を有するようにしたものである。   The flow meter according to the present invention is such that the upstream flow path has a bent portion.

この発明の流量計は、センサ流路におけるセンサが位置する流路部分以外の位置に、センサの設置面と対向壁との間隔より大きな寸法を有する流路拡張部を設けたので、流量が大きい場合でもセンサは安定した流量検出を行うことができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。また、センサ流路として必要な流路断面積は、流路拡張部によって確保できるため、更に、センサと対向壁との間隔寸法を小さくすることができ、その結果、更にセンサ部分を流れる流体の層流化を図ることができる。従って、安定した流量計測結果を得ることができる。   In the flowmeter of the present invention, the flow rate is large because the flow channel expansion portion having a size larger than the distance between the sensor installation surface and the opposing wall is provided at a position other than the flow channel portion where the sensor is located in the sensor flow channel. Even in this case, the sensor can detect the flow rate stably, and the flow rate measurement range as a flow meter can be enlarged. In addition, since the flow path cross-sectional area necessary for the sensor flow path can be secured by the flow path extension portion, the distance between the sensor and the opposing wall can be further reduced. As a result, the fluid flowing through the sensor portion can be further reduced. Laminar flow can be achieved. Therefore, a stable flow measurement result can be obtained.

この発明の流量計は、上流側流路からセンサ流路への流体の流れ方向が屈曲するよう流路を形成したので、センサ流路に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成することができ、その結果、より安定した流量測定結果を得ることができる。   In the flow meter of the present invention, since the flow path is formed so that the flow direction of the fluid from the upstream flow path to the sensor flow path is bent, a reproducible constant flow velocity distribution of the fluid flowing into the sensor flow path is formed. As a result, a more stable flow rate measurement result can be obtained.

この発明の流量計は、上流側流路が屈曲部を有するようにしたので、屈曲部の壁部に流体が衝突することで再現性のある一定の流速分布を形成され、安定した流量計測結果を得ることができる。これは、入力ポートから流入する時点で流速分布を持つ流れが、屈曲部の壁部に当たることにより変化し、流路内の流速分布が再編成され、これを繰り返すことにより、入力ポートより手前の流路で形成された流速分布が変わり、屈曲部による流速分布が形成されるからである。   In the flowmeter of the present invention, the upstream flow path has a bent portion, so that a fluid flow collides with the wall portion of the bent portion to form a reproducible constant flow velocity distribution, and a stable flow measurement result. Can be obtained. This is because the flow having the flow velocity distribution at the time of flowing in from the input port changes when it hits the wall of the bent portion, the flow velocity distribution in the flow path is reorganized, and this is repeated, so that the flow before the input port is changed. This is because the flow velocity distribution formed in the flow path changes and a flow velocity distribution is formed by the bent portion.

実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1による流量計の断面図であり、図2のA−A線断面図を示している。
図2は、この発明の実施の形態1による流量計の流路に対して横方向から見た場合の断面図である。
Embodiment 1 FIG.
1 is a cross-sectional view of a flow meter according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view when viewed from the lateral direction with respect to the flow path of the flowmeter according to the first embodiment of the present invention.

これらの図において、流量計は、本体1、蓋体2、回路基板3、センサ4、コネクタ5、金属製管体6を備えている。本体1は樹脂で形成されて、回路基板3が一体に接着され、かつ、蓋体2の一端部を回動自在に支持している。回路基板3は、例えばセラミック基板であり、この回路基板3の上面にはコネクタ5や各種機能を持った素子(図示省略)が搭載されており、回路基板3の下面にはコネクタ5に接続されたセンサ4が配設されている。このセンサ4は、例えば、ヒータエレメントを挟むように測温抵抗エレメントが配置されたフローセンサである。   In these drawings, the flow meter includes a main body 1, a lid body 2, a circuit board 3, a sensor 4, a connector 5, and a metal pipe body 6. The main body 1 is formed of a resin, the circuit board 3 is bonded together, and one end portion of the lid body 2 is rotatably supported. The circuit board 3 is, for example, a ceramic substrate. A connector 5 and elements (not shown) having various functions are mounted on the upper surface of the circuit board 3, and the circuit board 3 is connected to the connector 5 on the lower surface of the circuit board 3. A sensor 4 is provided. This sensor 4 is, for example, a flow sensor in which a temperature measuring resistance element is arranged so as to sandwich a heater element.

尚、ここでは、説明の都合上、上面や下面とは、図示状態での方向を意味しているが、本発明の流量計の設置方向としては、上方向、下方向といった区別は特に存在しない。   Here, for convenience of explanation, the upper surface and the lower surface mean directions in the illustrated state, but there is no particular distinction between the upward direction and the downward direction as the installation direction of the flowmeter of the present invention. .

金属製管体6は、本体1に埋め込まれ、入力ポート7、出口ポート8を構成するものであり、また、これらの金属製管体6の内周面には図示しないホースを接続するための雌ねじが形成されている。   The metal pipe body 6 is embedded in the main body 1 and constitutes an input port 7 and an outlet port 8, and a hose (not shown) is connected to the inner peripheral surface of the metal pipe body 6. An internal thread is formed.

本体1には.センサ4によって流量検出を行うための流路が形成されている。この流路は、センサ4が位置する流路部分であるセンサ流路101と、センサ流路101の上流側および下流側に位置する上流側流路102および下流側流路103から構成されている。また、センサ流路101におけるセンサ4の位置する流路の高さ寸法(センサ4の設置面と対向壁との間隔寸法)aと、上流側流路102および下流側流路103の間隔寸法bとの関係は、a<bとなっている。ここで、高さ寸法aは、流れる流体が、その流体の粘性により整流される高さ寸法として例えば2mm以下とされている。   In the main body 1. A flow path for detecting the flow rate by the sensor 4 is formed. This flow path includes a sensor flow path 101 that is a flow path portion where the sensor 4 is located, and an upstream flow path 102 and a downstream flow path 103 that are positioned upstream and downstream of the sensor flow path 101. . Further, the height dimension of the flow path where the sensor 4 is located in the sensor flow path 101 (the distance dimension between the installation surface of the sensor 4 and the opposing wall) a, and the distance dimension b between the upstream flow path 102 and the downstream flow path 103. Is a <b. Here, the height dimension “a” is, for example, 2 mm or less as a height dimension in which the flowing fluid is rectified by the viscosity of the fluid.

センサ流路101は、本体1と回路基板3とで区画される断面矩形で直線状の流路であり、その流れ方向および流れに垂直な方向(幅方向)の中心部にセンサ4が位置するよう構成されている。また、センサ流路101は、その幅方向の両端部に流路拡張部101aが形成されている。即ち、センサ流路101におけるセンサ4が位置する流路部分(図1中、200で示す)以外の位置に、センサ4と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部101aが設けられている。この流路拡張部101aは、本体1のセンサ4の位置する部分の流路方向両側に所定深さの溝部が構成され、この溝部と回路基板3とで区画される空間により形成されるものである。このような構成により、流路拡張部101aを含むセンサ流路101では、流れ方向に対する断面が下向きコ字状に形成されることになる。   The sensor flow path 101 is a linear flow path having a rectangular cross section defined by the main body 1 and the circuit board 3, and the sensor 4 is located at the center of the flow direction and the direction perpendicular to the flow (width direction). It is configured as follows. The sensor channel 101 has channel expansion portions 101a at both ends in the width direction. That is, the flow path expanding portion 101a having a dimension c larger than the distance dimension a between the sensor 4 and the opposing wall at a position other than the flow path portion (indicated by 200 in FIG. 1) where the sensor 4 is located in the sensor flow path 101. Is provided. The flow channel expanding portion 101a is formed by a space having a predetermined depth on both sides in the flow channel direction of the portion of the main body 1 where the sensor 4 is located, and is defined by the groove and the circuit board 3. is there. With such a configuration, in the sensor flow path 101 including the flow path expanding portion 101a, the cross section with respect to the flow direction is formed in a downward U-shape.

また、流路拡張部101aの寸法cは、図2に示すように、流路拡張部101aの下端が入口ポート7や出口ポート8の上端より上側となるような位置とされている。これは、入口ポート7から入った流体が、垂直に立ち上がった上流側流路102の壁面に当たってセンサ流路101に導かれるような流路を形成することが必要であるからである。尚、流体の流れについては後述する。   Further, the dimension c of the flow path expanding portion 101a is set such that the lower end of the flow path expanded portion 101a is above the upper ends of the inlet port 7 and the outlet port 8 as shown in FIG. This is because it is necessary to form a flow path in which the fluid entering from the inlet port 7 hits the wall surface of the upstream flow path 102 rising vertically and is guided to the sensor flow path 101. The fluid flow will be described later.

上流側流路102は、センサ流路101に対して垂直に立ち上がる流路であり、下流側流路103は、センサ流路101に対して垂直に立ち下がる流路である。また、上流側流路102は入力ポート7に連通し、かつ、上述したように入口ポート7の流体流れ方向に対して垂直となるよう形成され、また、下流側流路103は、出口ポート8に連通し、かつ、出口ポートの流体流れ方向に対して垂直となるよう形成されている。   The upstream channel 102 is a channel that rises perpendicular to the sensor channel 101, and the downstream channel 103 is a channel that falls perpendicular to the sensor channel 101. The upstream flow path 102 communicates with the input port 7 and is formed to be perpendicular to the fluid flow direction of the inlet port 7 as described above, and the downstream flow path 103 is connected to the outlet port 8. And is perpendicular to the fluid flow direction of the outlet port.

このように構成された流量計は、測定対象となる流体の流路中に設置され、入口ポート7から流体、例えば空気が上流側流路102に流入してセンサ流路101に導かれ、更に、下流側流路103および出口ポート8を経て流出する。その際、流体は上流側流路102で流れの方向が変わる。次いで、深さが浅く流路断面積が縮小されたセンサ流路101で層流とされ、センサ4によって、例えば、流体の流れ状態が計測される。その計測値はコネクタ5を介して、図示しないコントローラに送られ、そこで流速値、つまり、流量が演算される。   The flow meter configured in this way is installed in the flow path of the fluid to be measured, and fluid, for example, air flows from the inlet port 7 into the upstream flow path 102 and is guided to the sensor flow path 101. Then, it flows out through the downstream channel 103 and the outlet port 8. At that time, the flow direction of the fluid changes in the upstream channel 102. Next, a laminar flow is formed in the sensor flow path 101 with a shallow depth and a reduced cross-sectional area of the flow path, and the sensor 4 measures the flow state of the fluid, for example. The measured value is sent to a controller (not shown) via the connector 5, where the flow velocity value, that is, the flow rate is calculated.

ここで、センサ4が位置するセンサ流路101には、流路拡張部101aが設けられているため、大きい流量であってもセンサ4は安定した流量検出を行うことができ、その結果、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。   Here, since the flow path expanding portion 101a is provided in the sensor flow path 101 in which the sensor 4 is located, the sensor 4 can perform stable flow rate detection even at a large flow rate. The flow rate measurement range as a meter can be increased.

図3は、本発明の流量計と、流路拡張部を有しない従来の流量計の特性を比較して示す図である。
図中の、従来の流量計の特性301と本発明の流量計の特性302から明らかなように、従来の流量計では、流量に対するセンサ出力が飽和してしまう領域であっても、本発明の流量計では流量に対するセンサ出力の直線性を保っている。これにより、大きな流量であっても精度の高いセンサ出力を得ることができる。
FIG. 3 is a diagram comparing the characteristics of the flowmeter of the present invention and a conventional flowmeter that does not have a flow path extension.
As is apparent from the characteristic 301 of the conventional flow meter and the characteristic 302 of the flow meter of the present invention in the figure, the conventional flow meter has the present invention even in a region where the sensor output with respect to the flow rate is saturated. The flow meter maintains the linearity of the sensor output with respect to the flow rate. Thereby, a sensor output with high accuracy can be obtained even at a large flow rate.

また、この流量計は、上流側流路102が入口ポート7の流路に対して垂直に立ち上がるよう形成されているので、入口ポート7から流入する流体は上流側流路102の壁面に当たって流れの方向が変わる。従って、流体に異物が混入している場合には、異物は上流側流路102の底部に留められる。次いで、流体はセンサ流路101に流入することになるが、センサ流路101の流路は、上流側流路102に対して垂直に形成されているので、上流側流路102から流入する流体はセンサ流路101の壁面、つまり、回路基板3に当たって流れの方向が変わる。従って、流体に異物が含まれていたとしても、それらの異物は、上流側流路102の底部および上流側流路102とセンサ流路101の会合部(隅部)に留められる。同様にして、流体に含まれている異物は、センサ流路101と下流側流路103との会合部(隅部)および下流側流路103の底部に留められる。   In addition, since the upstream flow path 102 rises perpendicularly to the flow path of the inlet port 7 in this flow meter, the fluid flowing from the inlet port 7 hits the wall surface of the upstream flow path 102 and flows. The direction changes. Accordingly, when foreign matter is mixed in the fluid, the foreign matter is retained at the bottom of the upstream channel 102. Next, the fluid flows into the sensor flow channel 101. Since the flow channel of the sensor flow channel 101 is formed perpendicular to the upstream flow channel 102, the fluid flowing from the upstream flow channel 102 Is the wall surface of the sensor flow path 101, that is, the circuit board 3 and the flow direction changes. Accordingly, even if foreign matters are included in the fluid, the foreign matters are retained at the bottom of the upstream flow channel 102 and the meeting portion (corner) between the upstream flow channel 102 and the sensor flow channel 101. Similarly, foreign matter contained in the fluid is retained at the meeting portion (corner) between the sensor flow channel 101 and the downstream flow channel 103 and the bottom of the downstream flow channel 103.

流量計の上流で形成された流速分布を持つ流れが、上流側流路102の壁面,センサ流路101の壁面に当たることにより変化し、流路内の流速分布が再編成される。その結果、センサ流路101に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成し、安定した流量測定結果を得ることができるものである。   The flow having a flow velocity distribution formed upstream of the flow meter changes when it hits the wall surface of the upstream flow channel 102 and the wall surface of the sensor flow channel 101, and the flow velocity distribution in the flow channel is reorganized. As a result, a reproducible constant flow velocity distribution of the fluid flowing into the sensor flow path 101 is formed, and a stable flow measurement result can be obtained.

以上のように実施の形態1の流量計によれば、センサ流路101におけるセンサ4が位置する流路部分以外の位置に、センサ4の設置面と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部101aを設けたので、流量が大きい場合でもセンサ4は安定した流量検出を行うことができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。   As described above, according to the flow meter of the first embodiment, the dimension c larger than the distance dimension a between the installation surface of the sensor 4 and the opposing wall at a position other than the flow path portion where the sensor 4 is located in the sensor flow path 101. Is provided, the sensor 4 can stably detect the flow rate even when the flow rate is large, and the flow rate measurement range as a flow meter can be enlarged.

また、流路拡張部101aは、センサ流路101の両端に所定寸法となるよう形成されているため、流路拡張部101aによってセンサ流路101が幅方向に大きくなってしまうことがなく、従って、流量計として、特に幅方向に制約がある場合でも流量測定範囲を大きくした流量計を実現することができる。   In addition, since the flow channel expanding portion 101a is formed to have a predetermined size at both ends of the sensor flow channel 101, the sensor flow channel 101 is not enlarged in the width direction by the flow channel expanding portion 101a. As a flow meter, a flow meter having a large flow rate measurement range can be realized even when the width direction is particularly restricted.

更に、実施の形態1の流量計では、網板による整流機構やバイパス流路を全く用いていないため、ごみの蓄積による流量測定への悪影響を大幅に減少させることができる。例えば、大流量を計測可能とするために、センサが位置する流路とバイパス流路とを設けるバイパス方式が考えられるが、このような方式の場合、ごみの蓄積によってセンサが位置する流路とバイパス流路との分流比が大きく変わってしまうことが考えられる。これに対して、実施の形態1の流量計ではバイパス流路が存在しないため、このような悪影響を避けることができる。   Furthermore, since the flowmeter according to the first embodiment does not use any rectifying mechanism or bypass flow path with a mesh plate, the adverse effect on the flow rate measurement due to the accumulation of dust can be greatly reduced. For example, in order to make it possible to measure a large flow rate, a bypass system in which a flow path in which a sensor is located and a bypass flow path is considered, but in such a system, the flow path in which the sensor is located due to accumulation of dust It is conceivable that the diversion ratio with respect to the bypass flow path changes greatly. On the other hand, since there is no bypass flow path in the flow meter of the first embodiment, such adverse effects can be avoided.

また、センサ流路101として必要な流路断面積は、流路拡張部101aによって確保できるため、センサ4の設置面と対向壁との間隔寸法aを小さくすることができる。その結果、更に、センサ4部分を流れる流体の層流化を図ることができ、より安定した流量計測結果を得ることができる。   Moreover, since the flow path cross-sectional area necessary for the sensor flow path 101 can be secured by the flow path expanding portion 101a, the distance dimension a between the installation surface of the sensor 4 and the opposing wall can be reduced. As a result, the fluid flowing through the sensor 4 can be made laminar, and a more stable flow measurement result can be obtained.

実施の形態2.
図4は、この発明の実施の形態2による流量計の断面図であり、図5のB−B線断面図を示している。
図5は、この発明の実施の形態2による流量計の流路に対して横方向から見た場合の断面図である。
これらの図において、流量計は、本体11、蓋体12、回路基板13、センサ14、リード線15、パッキン16,17を備えている。本体11および蓋体12は、それぞれ、例えば、PBT樹脂(ポリブチレンテレフタレート)といった樹脂からなり、これら本体11と蓋体12とは超音波溶着等で一体に固定されている。回路基板13は、センサ14による流量検出を行うための回路を備えた基板であり、その下面側にはセンサ14が取り付けられ、後述するセンサ流路の壁部の一部を構成するよう取り付けられている。この回路基板13は、本体11に対して一体に固定されるよう構成されている。
Embodiment 2. FIG.
4 is a cross-sectional view of a flow meter according to Embodiment 2 of the present invention, and shows a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view of the flowmeter according to the second embodiment of the present invention when viewed from the lateral direction.
In these drawings, the flow meter includes a main body 11, a lid body 12, a circuit board 13, a sensor 14, a lead wire 15, and packings 16 and 17. The main body 11 and the lid body 12 are each made of a resin such as PBT resin (polybutylene terephthalate), for example, and the main body 11 and the lid body 12 are integrally fixed by ultrasonic welding or the like. The circuit board 13 is a board provided with a circuit for detecting a flow rate by the sensor 14, and the sensor 14 is attached to the lower surface side of the circuit board 13 so as to constitute a part of a wall portion of the sensor flow path described later. ing. The circuit board 13 is configured to be integrally fixed to the main body 11.

センサ14は、例えば、ヒータエレメントを挟むように測温抵抗エレメントが配置されたフローセンサであり、センサ流路内に若干突出するよう設けられている。リード線15は、センサ14で検出された流量データを取り出すための信号線である。パッキン16は回路基板13と本体11との間の流体の漏れを防止するためのパッキンであり、パッキン17は、本体11とマニホールド18との間の流体の漏れ防止のためのパッキンである。   The sensor 14 is, for example, a flow sensor in which a resistance temperature element is disposed so as to sandwich the heater element, and is provided so as to slightly protrude into the sensor flow path. The lead wire 15 is a signal line for taking out the flow rate data detected by the sensor 14. The packing 16 is a packing for preventing fluid leakage between the circuit board 13 and the main body 11, and the packing 17 is a packing for preventing fluid leakage between the main body 11 and the manifold 18.

本体11にはセンサ14によって流量検出を行うための流路が形成されており、この流路は、センサ14が位置する流路部分であるセンサ流路111と、センサ流路111の上流側および下流側に位置する上流側流路112および下流側流路113から構成されている。また、センサ流路111のセンサ14位置における流れ方向に垂直な高さ寸法(センサ14と対向壁との間隔寸法)aは、上流側流路112および下流側流路113の間隔寸法bよりも小さく設定されている。   A flow path for detecting a flow rate by the sensor 14 is formed in the main body 11. The flow path includes a sensor flow path 111 that is a flow path portion where the sensor 14 is located, an upstream side of the sensor flow path 111, and It is comprised from the upstream flow path 112 and the downstream flow path 113 which are located in the downstream. Further, the height dimension (the distance dimension between the sensor 14 and the opposing wall) a of the sensor flow path 111 perpendicular to the flow direction at the sensor 14 position is larger than the distance dimension b between the upstream flow path 112 and the downstream flow path 113. It is set small.

センサ流路111は、本体11と回路基板13とで区画される断面矩形で直線状の流路であり、その流れ方向および流れに垂直な方向の中心部にセンサ14が位置するようになっている。また、センサ流路111には、実施の形態1の流路拡張部101aと同様に、センサ流路111におけるセンサ14が位置する流路部分(図4中、201で示す)以外の位置に、センサ14の設置面と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部111aが設けられている。そして、上流側流路112および下流側流路113は、その流路が、センサ流路111に対して略直角に屈曲するよう形成されており、これら上流側流路112および下流側流路113には、更に、マニホールド18との間に断面コ字状の屈曲部112a,113aを有している。また、上流側流路112および下流側流路113は、センサ14の位置を中心として対称となるよう設けられている。   The sensor flow path 111 is a linear flow path having a rectangular cross section defined by the main body 11 and the circuit board 13, and the sensor 14 is positioned at the center in the flow direction and the direction perpendicular to the flow. Yes. Further, in the sensor flow path 111, similarly to the flow path expansion section 101a of the first embodiment, the sensor flow path 111 is located at a position other than the flow path portion (indicated by 201 in FIG. 4) where the sensor 14 is located. A flow path expanding portion 111a having a dimension c larger than the distance dimension a between the installation surface of the sensor 14 and the opposing wall is provided. The upstream flow path 112 and the downstream flow path 113 are formed so that the flow path is bent at a substantially right angle with respect to the sensor flow path 111, and the upstream flow path 112 and the downstream flow path 113 are formed. In addition, bent portions 112 a and 113 a having a U-shaped cross section are provided between the manifold 18 and the manifold 18. Further, the upstream flow path 112 and the downstream flow path 113 are provided so as to be symmetric with respect to the position of the sensor 14.

また、センサ流路111のセンサ14位置における流れ方向に垂直な高さ寸法aは、上流側流路112および下流側流路113の間隔寸法bよりも小さく設定されている。これは、実施の形態1で説明したように、センサ14が位置する流路部分の流体の流れに対する垂直な高さ寸法を、流体の粘性により整流される高さ寸法とすることにより、センサ14付近での流体の流れを整流、かつ、層流化することができるからである。このような形状により、センサ14による安定した計測結果を得ることができる。   The height dimension a perpendicular to the flow direction at the sensor 14 position of the sensor flow path 111 is set to be smaller than the interval dimension b between the upstream flow path 112 and the downstream flow path 113. As described in the first embodiment, this is because the height dimension perpendicular to the fluid flow of the flow path portion where the sensor 14 is located is set to a height dimension rectified by the viscosity of the fluid. This is because the fluid flow in the vicinity can be rectified and laminarized. With such a shape, a stable measurement result by the sensor 14 can be obtained.

更に、実施の形態2における流路拡張部111aの寸法cは、図5に示すように、流路拡張部111aの下端が、屈曲部112a,113aの上端面112b,113bより上側となるような位置とされている。これは、後述するように、屈曲部112a(113a)に流入した流体が、上端面112b(113b)に当たって方向を変える必要があるからである。   Furthermore, as shown in FIG. 5, the dimension c of the flow path expanding portion 111a in the second embodiment is such that the lower end of the flow path expanded portion 111a is above the upper end surfaces 112b and 113b of the bent portions 112a and 113a. It is considered as a position. This is because the fluid that has flowed into the bent portion 112a (113a) has to hit the upper end surface 112b (113b) and change its direction, as will be described later.

このように構成された流量計は、マニホールド18の入口ポート18aから流体、例えば空気が流入し、これが上流側通路112を経てセンサ流路111に導かれ、更に下流側通路113を経て出口ポート18bから流出される。その際、センサ流路111を流れる空気の流量がセンサ14によって検出され、その検出値はリード線15を介して図示しないコントローラに送られ、そこで流速値、つまり流量が演算される。   In the flow meter configured as described above, a fluid such as air flows from the inlet port 18 a of the manifold 18, which is guided to the sensor channel 111 via the upstream side passage 112, and further to the outlet port 18 b via the downstream side passage 113. Spilled from. At that time, the flow rate of the air flowing through the sensor flow path 111 is detected by the sensor 14, and the detected value is sent to a controller (not shown) via the lead wire 15, where the flow velocity value, that is, the flow rate is calculated.

ここで、本実施の形態において、上流側流路112では、入口ポート18aからの流路が略直角に4回屈曲されている。即ち、入口ポート18aから流入した空気は屈曲部112aの壁部に4度当たってその流れ方向が変化する。このように、空気の流れ方向が複数回変化する(複数回壁部に当たる)ことにより、再現性のある一定の流速分布を形成することが実験的に確かめられている。これは次のような理由からであると考えられる。   Here, in the present embodiment, in the upstream flow path 112, the flow path from the inlet port 18a is bent four times at substantially right angles. That is, the air flowing in from the inlet port 18a hits the wall portion of the bent portion 112a four times, and its flow direction changes. As described above, it has been experimentally confirmed that a reproducible constant flow velocity distribution is formed by changing the air flow direction a plurality of times (ie, hitting the wall portion a plurality of times). This is considered to be due to the following reason.

マニホールド18の流路内部で形成された流速分布を持つ流れが、屈曲部112a,113aの壁部に当たることにより変化し、流路内の流速分布が再編成される。そして、これが、屈曲部112a,113aを構成する各流路で繰り返されることにより、マニホールド18で形成された流速分布が変わり、屈曲部112a,113aによる流速分布が形成される。   The flow having a flow velocity distribution formed inside the flow path of the manifold 18 is changed by hitting the walls of the bent portions 112a and 113a, and the flow velocity distribution in the flow path is reorganized. And this is repeated in each flow path which comprises the bending parts 112a and 113a, the flow velocity distribution formed in the manifold 18 changes, and the flow velocity distribution by the bending parts 112a and 113a is formed.

その結果、センサ流路111に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成し、安定した流量測定結果を得ることができるものである。   As a result, a reproducible constant flow velocity distribution of the fluid flowing into the sensor flow path 111 is formed, and a stable flow measurement result can be obtained.

また、センサ流路111には、流路拡張部111aが設けられているため、実施の形態2の流量計においても、大きい流量を流すことができる。即ち、図3に示したような特性を得ることができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。   In addition, since the sensor flow path 111 is provided with the flow path extension 111a, a large flow rate can be flowed also in the flowmeter of the second embodiment. That is, the characteristics shown in FIG. 3 can be obtained, and the flow rate measurement range as a flow meter can be increased.

以上のように、実施の形態2の流量計によれば、上流側流路112が屈曲部112aを有するようにしたので、実施の形態1の流量計の効果に加えて、更に、センサ流路111に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成し、安定した流量測定結果を得ることができる。   As described above, according to the flowmeter of the second embodiment, the upstream flow path 112 has the bent portion 112a. In addition to the effects of the flowmeter of the first embodiment, the sensor flow path is further provided. A constant flow velocity distribution with reproducibility of the fluid flowing into 111 is formed, and a stable flow rate measurement result can be obtained.

実施の形態3.
上記実施の形態1、2では、上流側流路や下流側流路の流体流れ方向と、センサ流路の流体流れ方向とが屈曲する構成に対して、センサ流路に流路拡張部を設けたが、上流側流路や下流側流路とセンサ流路の流体流れ方向が同方向の構成であっても適用が可能であり、これを実施の形態3として以下に説明する。
Embodiment 3 FIG.
In the first and second embodiments, the sensor flow path is provided with a flow path expansion portion in contrast to the configuration in which the fluid flow direction of the upstream flow path or the downstream flow path and the fluid flow direction of the sensor flow path are bent. However, the present invention can be applied even when the fluid flow direction of the upstream flow path or the downstream flow path is the same as that of the sensor flow path, and this will be described below as a third embodiment.

図6は、この発明の実施の形態による流量計の断面図であり、図7のC−C線断面図を示している。
図7は、この発明の実施の形態3による流量計の流路に対して横方向から見た場合の断面図である。
これらの図において、流量計は、本体21、蓋体22、回路基板23、センサ24、リード線25を備え、本体21内にはセンサ流路121に連通する上流側通路26および下流側流路27が形成されている。ここで、本体21や蓋体22およびセンサ24が取り付けられた回路基板23とリード線25といった基本的な構成は、実施の形態1、2の流量計と同様である。
6 is a cross-sectional view of the flow meter according to the embodiment of the present invention, and shows a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view of the flowmeter according to Embodiment 3 of the present invention when viewed from the lateral direction.
In these drawings, the flow meter includes a main body 21, a lid body 22, a circuit board 23, a sensor 24, and a lead wire 25. 27 is formed. Here, the basic configuration of the circuit board 23 and the lead wire 25 to which the main body 21, the lid 22 and the sensor 24 are attached is the same as that of the flowmeters of the first and second embodiments.

また、図6に示すように、センサ24が位置する流路部分であるセンサ流路121と流路拡張部121aの構成も実施の形態1、2と同様である。即ち、センサ流路121は、本体21と回路基板23とで区画される断面矩形で直線状の流路であり、その流れ方向および流れに垂直な方向の中心部にセンサ24が位置するようになっている。また、センサ流路121には、センサ24が位置する流路部分(図6中、202で示す)以外の位置に、センサ24の設置位置と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部121aが設けられている。また、この流路拡張部121aの流れ方向における形成位置は、上流側流路26の円錐状部26aから下流側流路27の円錐状部27aまで設けられている。
上流側流路26および下流側流路27は円筒形状に形成された流路であり、実施の形態1、2とは異なり、その流体流れ方向がセンサ流路121の流体流れ方向と同方向となるよう構成されている。
Further, as shown in FIG. 6, the configuration of the sensor flow path 121 and the flow path expanding portion 121a, which are flow path portions where the sensor 24 is located, is the same as in the first and second embodiments. That is, the sensor flow path 121 is a linear flow path having a rectangular cross section defined by the main body 21 and the circuit board 23 so that the sensor 24 is positioned at the center in the flow direction and the direction perpendicular to the flow. It has become. Further, the sensor flow path 121 has a dimension c larger than the distance dimension a between the installation position of the sensor 24 and the opposing wall at a position other than the flow path portion where the sensor 24 is located (indicated by 202 in FIG. 6). A channel expansion part 121a is provided. Further, the formation position of the flow path expanding part 121a in the flow direction is provided from the conical part 26a of the upstream flow path 26 to the conical part 27a of the downstream flow path 27.
The upstream flow path 26 and the downstream flow path 27 are flow paths formed in a cylindrical shape. Unlike the first and second embodiments, the fluid flow direction is the same as the fluid flow direction of the sensor flow path 121. It is comprised so that it may become.

このように構成された流量計は、上流側流路26から流体、例えば空気が流入し、これがセンサ流路121に導かれ、更に下流側通路27から流出される。その際、センサ流路121を流れる空気の流量がセンサ24によって検出され、その検出値はリード線25を介して図示しないコントローラに送られ、そこで流速値、つまり流量が演算される。   In the flow meter configured as described above, a fluid, for example, air flows from the upstream flow path 26, is guided to the sensor flow path 121, and further flows out from the downstream path 27. At that time, the flow rate of the air flowing through the sensor flow path 121 is detected by the sensor 24, and the detected value is sent to a controller (not shown) via the lead wire 25, where the flow velocity value, that is, the flow rate is calculated.

また、センサ流路121には、流路拡張部121aが設けられているため、実施の形態3の流量計においても、大きい流量を流すことができる。即ち、図3に示したような特性を得ることができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。   In addition, since the sensor flow channel 121 is provided with the flow channel expansion portion 121a, a large flow rate can be flowed also in the flow meter of the third embodiment. That is, the characteristics shown in FIG. 3 can be obtained, and the flow rate measurement range as a flow meter can be increased.

以上のように、実施の形態3の流量計によれば、センサ流路121の、センサ24が位置する流路部分以外の位置に、センサ24の設置面と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部121aを設けたので、上記実施の形態1、2と同様に、流量が大きい場合でもセンサ24は安定した流量検出を行うことができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。   As described above, according to the flow meter of the third embodiment, the sensor channel 121 is larger than the distance dimension a between the installation surface of the sensor 24 and the opposing wall at a position other than the channel portion where the sensor 24 is located. Since the flow path expanding part 121a having the dimension c is provided, the sensor 24 can perform stable flow rate detection even when the flow rate is large, as in the first and second embodiments, and the flow rate measurement range as a flow meter. Can be increased.

尚、上記実施の形態1〜3において、流路拡張部101a,111a,121aは、本体1,11,21側に形成したが、回路基板3,13,23側に突出するよう形成してもよい。即ち、実施の形態1〜3では、流路拡張部101a,111a,121aをセンサ4,14,24の位置より下方向に形成したが、上方向に形成してもよい。また、流路拡張部101a,111a,121aの形状も、実施の形態1〜3のような断面矩形に限定されるものではなく、センサ流路101,111,121の幅寸法より外側に突出せず、かつ、センサ流路101,111,121におけるセンサ4,14,24位置と連通しているものであれば、どのような形状であってもよい。   In the first to third embodiments, the flow path expanding portions 101a, 111a, 121a are formed on the main body 1, 11, 21 side, but may be formed so as to protrude on the circuit board 3, 13, 23 side. Good. That is, in the first to third embodiments, the flow path expanding portions 101a, 111a, and 121a are formed downward from the positions of the sensors 4, 14, and 24, but may be formed upward. Further, the shape of the flow path expanding portions 101a, 111a, and 121a is not limited to the rectangular cross section as in the first to third embodiments, and protrudes outside the width dimension of the sensor flow paths 101, 111, and 121. As long as it is in communication with the positions of the sensors 4, 14, 24 in the sensor flow paths 101, 111, 121, any shape may be used.

また、上記実施の形態1〜3では、流路拡張部101a,111a,121aをセンサ4,14,24の流路部分の両側に形成したが、片側のみであってもよい。   In the first to third embodiments, the channel expansion portions 101a, 111a, and 121a are formed on both sides of the channel portions of the sensors 4, 14, and 24. However, only one side may be used.

また、実施の形態1〜3では、流量計として種々の用途に適用可能であり、例えば、流体としても空気だけでなく、気体であれば種々のものに適用可能である。
更に、実施の形態1〜3では、流体は上流側流路102,112,26から下流側流路103,113,27に流れる場合を説明したが、これらの流量計は、センサ4,14,24に対してその上流側流路102,112,26と下流側流路103,113,27が対称に形成されているので、下流側流路103,113,27から上流側流路102,112,26へ向けて流体を流しても、同様に流量を計測することができる。
Moreover, in Embodiment 1-3, it is applicable to various uses as a flowmeter, for example, it can apply not only to air as a fluid but to various things if it is gas.
Further, in the first to third embodiments, the case where the fluid flows from the upstream flow paths 102, 112, and 26 to the downstream flow paths 103, 113, and 27 has been described. 24, the upstream flow paths 102, 112, 26 and the downstream flow paths 103, 113, 27 are formed symmetrically, so that the upstream flow paths 102, 112 are connected to the downstream flow paths 103, 113, 27. , 26, the flow rate can be measured in the same manner.

この発明の実施の形態1による流量計の断面図である。It is sectional drawing of the flowmeter by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による流量計を横方向から見た場合の断面図である。It is sectional drawing at the time of seeing the flowmeter by Embodiment 1 of this invention from a horizontal direction. この発明の実施の形態1による流量計と従来の流量計の特定を比較して示す説明図である。It is explanatory drawing which compares and shows specification of the flowmeter by Embodiment 1 of this invention, and the conventional flowmeter. この発明の実施の形態2による流量計の断面図である。It is sectional drawing of the flowmeter by Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態2による流量計を横方向から見た場合の断面図である。It is sectional drawing at the time of seeing the flowmeter by Embodiment 2 of this invention from a horizontal direction. この発明の実施の形態3による流量計の断面図である。It is sectional drawing of the flowmeter by Embodiment 3 of this invention. この発明の実施の形態3による流量計を横方向から見た場合の断面図である。It is sectional drawing at the time of seeing the flowmeter by Embodiment 3 of this invention from the horizontal direction.

符号の説明Explanation of symbols

1,11,21 本体
3,13,23 回路基板
4,14,24 センサ
26,102,112 上流側流路
27,103,113 下流側流路
101,111,121 センサ流路
101a,111a,121a 流路拡張部
112a,113a 屈曲部
1, 11, 21 Main body 3, 13, 23 Circuit board 4, 14, 24 Sensor 26, 102, 112 Upstream flow path 27, 103, 113 Downstream flow path 101, 111, 121 Sensor flow path 101a, 111a, 121a Channel expansion part 112a, 113a Bent part

Claims (3)

流体の流量を計測するためのセンサの設置面と当該設置面に対向する対向壁との間に形成される空間をセンサ流路とし、当該センサ流路の前記センサが位置する流路部分以外の位置に、前記センサの設置面と対向壁との間隔寸法より大きな寸法を有する流路拡張部を設けたことを特徴とする流量計。   A space formed between the installation surface of the sensor for measuring the flow rate of the fluid and the opposing wall facing the installation surface is defined as a sensor flow path, and the space other than the flow path portion where the sensor is located in the sensor flow path. A flowmeter characterized in that a flow path expanding portion having a dimension larger than the distance between the sensor installation surface and the opposing wall is provided at a position. センサ流路の上流側に位置する上流側流路から当該センサ流路への流体の流れ方向が屈曲するよう流路が形成されていることを特徴とする請求項1記載の流量計。   2. The flowmeter according to claim 1, wherein the flow path is formed so that the flow direction of the fluid from the upstream flow path positioned upstream of the sensor flow path to the sensor flow path is bent. 上流側流路は屈曲部を有することを特徴とする請求項2記載の流量計。
The flowmeter according to claim 2, wherein the upstream channel has a bent portion.
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