JP2007121036A - Flowmeter - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、流体の流量を計測する流量計に関し、特に、その流路構造に関するものである。 The present invention relates to a flow meter for measuring a flow rate of a fluid, and more particularly to a flow channel structure thereof.
従来、流路内の流体の流れを整流するようにした流量計として、例えば、特許文献1に示されるように、流路部分の両端に入口ポートと出口ポートを設け、かつ、これら入口ポートと出口ポートの流路と直角に流路を設け、この流路と流量センサが位置する流路とが直角となるよう流量計内の流路を形成することにより、小形化を図りながら、計測対象となる流体の再現性のある流速分布を形成し、安定した計測結果が得られるようにしたものがあった。 Conventionally, as a flow meter that rectifies the flow of fluid in a flow path, for example, as shown in Patent Document 1, an inlet port and an outlet port are provided at both ends of a flow path portion, and these inlet ports A flow path is provided at right angles to the flow path of the outlet port, and the flow path in the flow meter is formed so that the flow path and the flow path where the flow sensor is located are at right angles. In some cases, a reproducible flow velocity distribution of the fluid was formed, and a stable measurement result was obtained.
上記従来の流量計では、上述した流路の形状を有することにより、小形でかつ安定した計測結果が得られるといった効果を有するものである。しかしながら、このような流量計では、更に、流量の計測範囲を拡大化することへの要請が強く、このような点から、小形化への条件を満たしながら更に大きな流量を計測することのできる流量計の実現が要望されていた。 The conventional flow meter has an effect that a small and stable measurement result can be obtained by having the shape of the flow path described above. However, in such a flow meter, there is a strong demand for expanding the measurement range of the flow rate, and from this point, a flow rate that can measure a larger flow rate while satisfying the conditions for downsizing. Realization of the total was requested.
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、安定した計測結果を得ると共に、計測範囲を拡大することのできる流量計を得ることを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to obtain a flowmeter capable of obtaining a stable measurement result and expanding a measurement range.
この発明に係る流量計は、流体の流量を計測するためのセンサの設置面とこの設置面に対向する対向壁との間に形成される空間をセンサ流路とし、センサ流路のセンサが位置する流路部分以外の位置に、センサの設置面と対向壁との間隔寸法より大きな寸法を有する流路拡張部を設けたものである。 In the flow meter according to the present invention, a space formed between an installation surface of a sensor for measuring a flow rate of a fluid and an opposing wall facing the installation surface is used as a sensor flow channel, and the sensor of the sensor flow channel is positioned. A flow path expansion portion having a size larger than the distance between the sensor installation surface and the opposing wall is provided at a position other than the flow path portion.
この発明に係る流量計は、センサ流路の上流側に位置する上流側流路からセンサ流路への流体の流れ方向が屈曲するよう流路を形成したものである。 In the flow meter according to the present invention, the flow path is formed so that the flow direction of the fluid from the upstream flow path located upstream of the sensor flow path to the sensor flow path is bent.
この発明に係る流量計は、上流側流路が屈曲部を有するようにしたものである。 The flow meter according to the present invention is such that the upstream flow path has a bent portion.
この発明の流量計は、センサ流路におけるセンサが位置する流路部分以外の位置に、センサの設置面と対向壁との間隔より大きな寸法を有する流路拡張部を設けたので、流量が大きい場合でもセンサは安定した流量検出を行うことができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。また、センサ流路として必要な流路断面積は、流路拡張部によって確保できるため、更に、センサと対向壁との間隔寸法を小さくすることができ、その結果、更にセンサ部分を流れる流体の層流化を図ることができる。従って、安定した流量計測結果を得ることができる。 In the flowmeter of the present invention, the flow rate is large because the flow channel expansion portion having a size larger than the distance between the sensor installation surface and the opposing wall is provided at a position other than the flow channel portion where the sensor is located in the sensor flow channel. Even in this case, the sensor can detect the flow rate stably, and the flow rate measurement range as a flow meter can be enlarged. In addition, since the flow path cross-sectional area necessary for the sensor flow path can be secured by the flow path extension portion, the distance between the sensor and the opposing wall can be further reduced. As a result, the fluid flowing through the sensor portion can be further reduced. Laminar flow can be achieved. Therefore, a stable flow measurement result can be obtained.
この発明の流量計は、上流側流路からセンサ流路への流体の流れ方向が屈曲するよう流路を形成したので、センサ流路に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成することができ、その結果、より安定した流量測定結果を得ることができる。 In the flow meter of the present invention, since the flow path is formed so that the flow direction of the fluid from the upstream flow path to the sensor flow path is bent, a reproducible constant flow velocity distribution of the fluid flowing into the sensor flow path is formed. As a result, a more stable flow rate measurement result can be obtained.
この発明の流量計は、上流側流路が屈曲部を有するようにしたので、屈曲部の壁部に流体が衝突することで再現性のある一定の流速分布を形成され、安定した流量計測結果を得ることができる。これは、入力ポートから流入する時点で流速分布を持つ流れが、屈曲部の壁部に当たることにより変化し、流路内の流速分布が再編成され、これを繰り返すことにより、入力ポートより手前の流路で形成された流速分布が変わり、屈曲部による流速分布が形成されるからである。 In the flowmeter of the present invention, the upstream flow path has a bent portion, so that a fluid flow collides with the wall portion of the bent portion to form a reproducible constant flow velocity distribution, and a stable flow measurement result. Can be obtained. This is because the flow having the flow velocity distribution at the time of flowing in from the input port changes when it hits the wall of the bent portion, the flow velocity distribution in the flow path is reorganized, and this is repeated, so that the flow before the input port is changed. This is because the flow velocity distribution formed in the flow path changes and a flow velocity distribution is formed by the bent portion.
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1による流量計の断面図であり、図2のA−A線断面図を示している。
図2は、この発明の実施の形態1による流量計の流路に対して横方向から見た場合の断面図である。
Embodiment 1 FIG.
1 is a cross-sectional view of a flow meter according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view when viewed from the lateral direction with respect to the flow path of the flowmeter according to the first embodiment of the present invention.
これらの図において、流量計は、本体1、蓋体2、回路基板3、センサ4、コネクタ5、金属製管体6を備えている。本体1は樹脂で形成されて、回路基板3が一体に接着され、かつ、蓋体2の一端部を回動自在に支持している。回路基板3は、例えばセラミック基板であり、この回路基板3の上面にはコネクタ5や各種機能を持った素子(図示省略)が搭載されており、回路基板3の下面にはコネクタ5に接続されたセンサ4が配設されている。このセンサ4は、例えば、ヒータエレメントを挟むように測温抵抗エレメントが配置されたフローセンサである。
In these drawings, the flow meter includes a main body 1, a lid body 2, a
尚、ここでは、説明の都合上、上面や下面とは、図示状態での方向を意味しているが、本発明の流量計の設置方向としては、上方向、下方向といった区別は特に存在しない。 Here, for convenience of explanation, the upper surface and the lower surface mean directions in the illustrated state, but there is no particular distinction between the upward direction and the downward direction as the installation direction of the flowmeter of the present invention. .
金属製管体6は、本体1に埋め込まれ、入力ポート7、出口ポート8を構成するものであり、また、これらの金属製管体6の内周面には図示しないホースを接続するための雌ねじが形成されている。 The metal pipe body 6 is embedded in the main body 1 and constitutes an input port 7 and an outlet port 8, and a hose (not shown) is connected to the inner peripheral surface of the metal pipe body 6. An internal thread is formed.
本体1には.センサ4によって流量検出を行うための流路が形成されている。この流路は、センサ4が位置する流路部分であるセンサ流路101と、センサ流路101の上流側および下流側に位置する上流側流路102および下流側流路103から構成されている。また、センサ流路101におけるセンサ4の位置する流路の高さ寸法(センサ4の設置面と対向壁との間隔寸法)aと、上流側流路102および下流側流路103の間隔寸法bとの関係は、a<bとなっている。ここで、高さ寸法aは、流れる流体が、その流体の粘性により整流される高さ寸法として例えば2mm以下とされている。
In the main body 1. A flow path for detecting the flow rate by the
センサ流路101は、本体1と回路基板3とで区画される断面矩形で直線状の流路であり、その流れ方向および流れに垂直な方向(幅方向)の中心部にセンサ4が位置するよう構成されている。また、センサ流路101は、その幅方向の両端部に流路拡張部101aが形成されている。即ち、センサ流路101におけるセンサ4が位置する流路部分(図1中、200で示す)以外の位置に、センサ4と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部101aが設けられている。この流路拡張部101aは、本体1のセンサ4の位置する部分の流路方向両側に所定深さの溝部が構成され、この溝部と回路基板3とで区画される空間により形成されるものである。このような構成により、流路拡張部101aを含むセンサ流路101では、流れ方向に対する断面が下向きコ字状に形成されることになる。
The
また、流路拡張部101aの寸法cは、図2に示すように、流路拡張部101aの下端が入口ポート7や出口ポート8の上端より上側となるような位置とされている。これは、入口ポート7から入った流体が、垂直に立ち上がった上流側流路102の壁面に当たってセンサ流路101に導かれるような流路を形成することが必要であるからである。尚、流体の流れについては後述する。
Further, the dimension c of the flow
上流側流路102は、センサ流路101に対して垂直に立ち上がる流路であり、下流側流路103は、センサ流路101に対して垂直に立ち下がる流路である。また、上流側流路102は入力ポート7に連通し、かつ、上述したように入口ポート7の流体流れ方向に対して垂直となるよう形成され、また、下流側流路103は、出口ポート8に連通し、かつ、出口ポートの流体流れ方向に対して垂直となるよう形成されている。
The
このように構成された流量計は、測定対象となる流体の流路中に設置され、入口ポート7から流体、例えば空気が上流側流路102に流入してセンサ流路101に導かれ、更に、下流側流路103および出口ポート8を経て流出する。その際、流体は上流側流路102で流れの方向が変わる。次いで、深さが浅く流路断面積が縮小されたセンサ流路101で層流とされ、センサ4によって、例えば、流体の流れ状態が計測される。その計測値はコネクタ5を介して、図示しないコントローラに送られ、そこで流速値、つまり、流量が演算される。
The flow meter configured in this way is installed in the flow path of the fluid to be measured, and fluid, for example, air flows from the inlet port 7 into the
ここで、センサ4が位置するセンサ流路101には、流路拡張部101aが設けられているため、大きい流量であってもセンサ4は安定した流量検出を行うことができ、その結果、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。
Here, since the flow
図3は、本発明の流量計と、流路拡張部を有しない従来の流量計の特性を比較して示す図である。
図中の、従来の流量計の特性301と本発明の流量計の特性302から明らかなように、従来の流量計では、流量に対するセンサ出力が飽和してしまう領域であっても、本発明の流量計では流量に対するセンサ出力の直線性を保っている。これにより、大きな流量であっても精度の高いセンサ出力を得ることができる。
FIG. 3 is a diagram comparing the characteristics of the flowmeter of the present invention and a conventional flowmeter that does not have a flow path extension.
As is apparent from the characteristic 301 of the conventional flow meter and the
また、この流量計は、上流側流路102が入口ポート7の流路に対して垂直に立ち上がるよう形成されているので、入口ポート7から流入する流体は上流側流路102の壁面に当たって流れの方向が変わる。従って、流体に異物が混入している場合には、異物は上流側流路102の底部に留められる。次いで、流体はセンサ流路101に流入することになるが、センサ流路101の流路は、上流側流路102に対して垂直に形成されているので、上流側流路102から流入する流体はセンサ流路101の壁面、つまり、回路基板3に当たって流れの方向が変わる。従って、流体に異物が含まれていたとしても、それらの異物は、上流側流路102の底部および上流側流路102とセンサ流路101の会合部(隅部)に留められる。同様にして、流体に含まれている異物は、センサ流路101と下流側流路103との会合部(隅部)および下流側流路103の底部に留められる。
In addition, since the
流量計の上流で形成された流速分布を持つ流れが、上流側流路102の壁面,センサ流路101の壁面に当たることにより変化し、流路内の流速分布が再編成される。その結果、センサ流路101に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成し、安定した流量測定結果を得ることができるものである。
The flow having a flow velocity distribution formed upstream of the flow meter changes when it hits the wall surface of the
以上のように実施の形態1の流量計によれば、センサ流路101におけるセンサ4が位置する流路部分以外の位置に、センサ4の設置面と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部101aを設けたので、流量が大きい場合でもセンサ4は安定した流量検出を行うことができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。
As described above, according to the flow meter of the first embodiment, the dimension c larger than the distance dimension a between the installation surface of the
また、流路拡張部101aは、センサ流路101の両端に所定寸法となるよう形成されているため、流路拡張部101aによってセンサ流路101が幅方向に大きくなってしまうことがなく、従って、流量計として、特に幅方向に制約がある場合でも流量測定範囲を大きくした流量計を実現することができる。
In addition, since the flow
更に、実施の形態1の流量計では、網板による整流機構やバイパス流路を全く用いていないため、ごみの蓄積による流量測定への悪影響を大幅に減少させることができる。例えば、大流量を計測可能とするために、センサが位置する流路とバイパス流路とを設けるバイパス方式が考えられるが、このような方式の場合、ごみの蓄積によってセンサが位置する流路とバイパス流路との分流比が大きく変わってしまうことが考えられる。これに対して、実施の形態1の流量計ではバイパス流路が存在しないため、このような悪影響を避けることができる。 Furthermore, since the flowmeter according to the first embodiment does not use any rectifying mechanism or bypass flow path with a mesh plate, the adverse effect on the flow rate measurement due to the accumulation of dust can be greatly reduced. For example, in order to make it possible to measure a large flow rate, a bypass system in which a flow path in which a sensor is located and a bypass flow path is considered, but in such a system, the flow path in which the sensor is located due to accumulation of dust It is conceivable that the diversion ratio with respect to the bypass flow path changes greatly. On the other hand, since there is no bypass flow path in the flow meter of the first embodiment, such adverse effects can be avoided.
また、センサ流路101として必要な流路断面積は、流路拡張部101aによって確保できるため、センサ4の設置面と対向壁との間隔寸法aを小さくすることができる。その結果、更に、センサ4部分を流れる流体の層流化を図ることができ、より安定した流量計測結果を得ることができる。
Moreover, since the flow path cross-sectional area necessary for the
実施の形態2.
図4は、この発明の実施の形態2による流量計の断面図であり、図5のB−B線断面図を示している。
図5は、この発明の実施の形態2による流量計の流路に対して横方向から見た場合の断面図である。
これらの図において、流量計は、本体11、蓋体12、回路基板13、センサ14、リード線15、パッキン16,17を備えている。本体11および蓋体12は、それぞれ、例えば、PBT樹脂(ポリブチレンテレフタレート)といった樹脂からなり、これら本体11と蓋体12とは超音波溶着等で一体に固定されている。回路基板13は、センサ14による流量検出を行うための回路を備えた基板であり、その下面側にはセンサ14が取り付けられ、後述するセンサ流路の壁部の一部を構成するよう取り付けられている。この回路基板13は、本体11に対して一体に固定されるよう構成されている。
Embodiment 2. FIG.
4 is a cross-sectional view of a flow meter according to Embodiment 2 of the present invention, and shows a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view of the flowmeter according to the second embodiment of the present invention when viewed from the lateral direction.
In these drawings, the flow meter includes a
センサ14は、例えば、ヒータエレメントを挟むように測温抵抗エレメントが配置されたフローセンサであり、センサ流路内に若干突出するよう設けられている。リード線15は、センサ14で検出された流量データを取り出すための信号線である。パッキン16は回路基板13と本体11との間の流体の漏れを防止するためのパッキンであり、パッキン17は、本体11とマニホールド18との間の流体の漏れ防止のためのパッキンである。
The
本体11にはセンサ14によって流量検出を行うための流路が形成されており、この流路は、センサ14が位置する流路部分であるセンサ流路111と、センサ流路111の上流側および下流側に位置する上流側流路112および下流側流路113から構成されている。また、センサ流路111のセンサ14位置における流れ方向に垂直な高さ寸法(センサ14と対向壁との間隔寸法)aは、上流側流路112および下流側流路113の間隔寸法bよりも小さく設定されている。
A flow path for detecting a flow rate by the
センサ流路111は、本体11と回路基板13とで区画される断面矩形で直線状の流路であり、その流れ方向および流れに垂直な方向の中心部にセンサ14が位置するようになっている。また、センサ流路111には、実施の形態1の流路拡張部101aと同様に、センサ流路111におけるセンサ14が位置する流路部分(図4中、201で示す)以外の位置に、センサ14の設置面と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部111aが設けられている。そして、上流側流路112および下流側流路113は、その流路が、センサ流路111に対して略直角に屈曲するよう形成されており、これら上流側流路112および下流側流路113には、更に、マニホールド18との間に断面コ字状の屈曲部112a,113aを有している。また、上流側流路112および下流側流路113は、センサ14の位置を中心として対称となるよう設けられている。
The sensor flow path 111 is a linear flow path having a rectangular cross section defined by the
また、センサ流路111のセンサ14位置における流れ方向に垂直な高さ寸法aは、上流側流路112および下流側流路113の間隔寸法bよりも小さく設定されている。これは、実施の形態1で説明したように、センサ14が位置する流路部分の流体の流れに対する垂直な高さ寸法を、流体の粘性により整流される高さ寸法とすることにより、センサ14付近での流体の流れを整流、かつ、層流化することができるからである。このような形状により、センサ14による安定した計測結果を得ることができる。
The height dimension a perpendicular to the flow direction at the
更に、実施の形態2における流路拡張部111aの寸法cは、図5に示すように、流路拡張部111aの下端が、屈曲部112a,113aの上端面112b,113bより上側となるような位置とされている。これは、後述するように、屈曲部112a(113a)に流入した流体が、上端面112b(113b)に当たって方向を変える必要があるからである。
Furthermore, as shown in FIG. 5, the dimension c of the flow
このように構成された流量計は、マニホールド18の入口ポート18aから流体、例えば空気が流入し、これが上流側通路112を経てセンサ流路111に導かれ、更に下流側通路113を経て出口ポート18bから流出される。その際、センサ流路111を流れる空気の流量がセンサ14によって検出され、その検出値はリード線15を介して図示しないコントローラに送られ、そこで流速値、つまり流量が演算される。
In the flow meter configured as described above, a fluid such as air flows from the
ここで、本実施の形態において、上流側流路112では、入口ポート18aからの流路が略直角に4回屈曲されている。即ち、入口ポート18aから流入した空気は屈曲部112aの壁部に4度当たってその流れ方向が変化する。このように、空気の流れ方向が複数回変化する(複数回壁部に当たる)ことにより、再現性のある一定の流速分布を形成することが実験的に確かめられている。これは次のような理由からであると考えられる。
Here, in the present embodiment, in the upstream flow path 112, the flow path from the
マニホールド18の流路内部で形成された流速分布を持つ流れが、屈曲部112a,113aの壁部に当たることにより変化し、流路内の流速分布が再編成される。そして、これが、屈曲部112a,113aを構成する各流路で繰り返されることにより、マニホールド18で形成された流速分布が変わり、屈曲部112a,113aによる流速分布が形成される。
The flow having a flow velocity distribution formed inside the flow path of the manifold 18 is changed by hitting the walls of the
その結果、センサ流路111に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成し、安定した流量測定結果を得ることができるものである。 As a result, a reproducible constant flow velocity distribution of the fluid flowing into the sensor flow path 111 is formed, and a stable flow measurement result can be obtained.
また、センサ流路111には、流路拡張部111aが設けられているため、実施の形態2の流量計においても、大きい流量を流すことができる。即ち、図3に示したような特性を得ることができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。
In addition, since the sensor flow path 111 is provided with the
以上のように、実施の形態2の流量計によれば、上流側流路112が屈曲部112aを有するようにしたので、実施の形態1の流量計の効果に加えて、更に、センサ流路111に流入する流体の再現性のある一定の流速分布を形成し、安定した流量測定結果を得ることができる。
As described above, according to the flowmeter of the second embodiment, the upstream flow path 112 has the
実施の形態3.
上記実施の形態1、2では、上流側流路や下流側流路の流体流れ方向と、センサ流路の流体流れ方向とが屈曲する構成に対して、センサ流路に流路拡張部を設けたが、上流側流路や下流側流路とセンサ流路の流体流れ方向が同方向の構成であっても適用が可能であり、これを実施の形態3として以下に説明する。
In the first and second embodiments, the sensor flow path is provided with a flow path expansion portion in contrast to the configuration in which the fluid flow direction of the upstream flow path or the downstream flow path and the fluid flow direction of the sensor flow path are bent. However, the present invention can be applied even when the fluid flow direction of the upstream flow path or the downstream flow path is the same as that of the sensor flow path, and this will be described below as a third embodiment.
図6は、この発明の実施の形態による流量計の断面図であり、図7のC−C線断面図を示している。
図7は、この発明の実施の形態3による流量計の流路に対して横方向から見た場合の断面図である。
これらの図において、流量計は、本体21、蓋体22、回路基板23、センサ24、リード線25を備え、本体21内にはセンサ流路121に連通する上流側通路26および下流側流路27が形成されている。ここで、本体21や蓋体22およびセンサ24が取り付けられた回路基板23とリード線25といった基本的な構成は、実施の形態1、2の流量計と同様である。
6 is a cross-sectional view of the flow meter according to the embodiment of the present invention, and shows a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view of the flowmeter according to
In these drawings, the flow meter includes a
また、図6に示すように、センサ24が位置する流路部分であるセンサ流路121と流路拡張部121aの構成も実施の形態1、2と同様である。即ち、センサ流路121は、本体21と回路基板23とで区画される断面矩形で直線状の流路であり、その流れ方向および流れに垂直な方向の中心部にセンサ24が位置するようになっている。また、センサ流路121には、センサ24が位置する流路部分(図6中、202で示す)以外の位置に、センサ24の設置位置と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部121aが設けられている。また、この流路拡張部121aの流れ方向における形成位置は、上流側流路26の円錐状部26aから下流側流路27の円錐状部27aまで設けられている。
上流側流路26および下流側流路27は円筒形状に形成された流路であり、実施の形態1、2とは異なり、その流体流れ方向がセンサ流路121の流体流れ方向と同方向となるよう構成されている。
Further, as shown in FIG. 6, the configuration of the
The
このように構成された流量計は、上流側流路26から流体、例えば空気が流入し、これがセンサ流路121に導かれ、更に下流側通路27から流出される。その際、センサ流路121を流れる空気の流量がセンサ24によって検出され、その検出値はリード線25を介して図示しないコントローラに送られ、そこで流速値、つまり流量が演算される。
In the flow meter configured as described above, a fluid, for example, air flows from the
また、センサ流路121には、流路拡張部121aが設けられているため、実施の形態3の流量計においても、大きい流量を流すことができる。即ち、図3に示したような特性を得ることができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。
In addition, since the
以上のように、実施の形態3の流量計によれば、センサ流路121の、センサ24が位置する流路部分以外の位置に、センサ24の設置面と対向壁との間隔寸法aより大きな寸法cを有する流路拡張部121aを設けたので、上記実施の形態1、2と同様に、流量が大きい場合でもセンサ24は安定した流量検出を行うことができ、流量計としての流量測定範囲を大きくすることができる。
As described above, according to the flow meter of the third embodiment, the
尚、上記実施の形態1〜3において、流路拡張部101a,111a,121aは、本体1,11,21側に形成したが、回路基板3,13,23側に突出するよう形成してもよい。即ち、実施の形態1〜3では、流路拡張部101a,111a,121aをセンサ4,14,24の位置より下方向に形成したが、上方向に形成してもよい。また、流路拡張部101a,111a,121aの形状も、実施の形態1〜3のような断面矩形に限定されるものではなく、センサ流路101,111,121の幅寸法より外側に突出せず、かつ、センサ流路101,111,121におけるセンサ4,14,24位置と連通しているものであれば、どのような形状であってもよい。
In the first to third embodiments, the flow
また、上記実施の形態1〜3では、流路拡張部101a,111a,121aをセンサ4,14,24の流路部分の両側に形成したが、片側のみであってもよい。
In the first to third embodiments, the
また、実施の形態1〜3では、流量計として種々の用途に適用可能であり、例えば、流体としても空気だけでなく、気体であれば種々のものに適用可能である。
更に、実施の形態1〜3では、流体は上流側流路102,112,26から下流側流路103,113,27に流れる場合を説明したが、これらの流量計は、センサ4,14,24に対してその上流側流路102,112,26と下流側流路103,113,27が対称に形成されているので、下流側流路103,113,27から上流側流路102,112,26へ向けて流体を流しても、同様に流量を計測することができる。
Moreover, in Embodiment 1-3, it is applicable to various uses as a flowmeter, for example, it can apply not only to air as a fluid but to various things if it is gas.
Further, in the first to third embodiments, the case where the fluid flows from the
1,11,21 本体
3,13,23 回路基板
4,14,24 センサ
26,102,112 上流側流路
27,103,113 下流側流路
101,111,121 センサ流路
101a,111a,121a 流路拡張部
112a,113a 屈曲部
1, 11, 21
Claims (3)
The flowmeter according to claim 2, wherein the upstream channel has a bent portion.
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