JP2007107961A

JP2007107961A - Deterioration testing device

Info

Publication number: JP2007107961A
Application number: JP2005297840A
Authority: JP
Inventors: Mitsuharu Imamura; 光治今村; Nobuyuki Nanba; 伸幸南波
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-10-12
Filing date: 2005-10-12
Publication date: 2007-04-26

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a deterioration testing device capable of executing a highly-accurate deterioration test in a short time. <P>SOLUTION: This deterioration testing device 100 for evaluating light resistance of a specimen is characterized by being equipped with a laser light output part 110 for outputting laser light used for deterioration treatment of the specimen; and a laser light branch part 120 for branching the laser light LB<SB>o</SB>outputted from the laser light output part 110, and irradiating therewith a plurality of specimens 15, 25 or a plurality of portions in the same specimen. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、劣化試験装置に関するものである。 The present invention relates to a deterioration test apparatus.

従来から、液晶パネルの信頼性評価の１つとして耐光性試験が行われている。例えば、液晶プロジェクタにおいてライトバルブとして用いられる液晶パネルは、強い光が長時間に渡って照射されて各構成要素（部品、部材）に劣化が生じやすいので、耐光性試験は所望の品質を確保する上で重要である。 Conventionally, a light resistance test has been performed as one of the reliability evaluations of liquid crystal panels. For example, a liquid crystal panel used as a light valve in a liquid crystal projector is likely to be deteriorated in each component (component, member) by being irradiated with intense light for a long time. Is important above.

このような液晶パネルの耐光性においては、長い場合には数ヶ月といったオーダでの試験期間を要する場合がある。しかし、製品開発期間の短縮化が求められる状況ではこのような長期間の試験は許容しがたい。 In the light resistance of such a liquid crystal panel, a test period on the order of several months may be required if it is long. However, such a long-term test is unacceptable in situations where a shortened product development period is required.

これに対して、評価期間を短縮する手法の１つとして、実際の使用状況よりも過酷な条件による負荷をかけて試験を行い、その結果から長期間の使用後における劣化を予測する、いわゆる加速試験が知られている。このような液晶パネルの耐光性評価に関する従来技術が、例えば特許文献１に開示されている。
特開２００１−４５２６号公報 On the other hand, as one of the methods for shortening the evaluation period, so-called acceleration is performed, in which a test is performed under a load under conditions more severe than the actual use situation, and the deterioration after long-term use is predicted from the result. The test is known. For example, Patent Document 1 discloses a conventional technique relating to the light resistance evaluation of such a liquid crystal panel.
JP 2001-4526 A

しかしながら、上記従来の耐光性評価の方法では、メタルハイドロランプ、ＵＨＰランプあるいはハロゲンランプなどの光源を用いて液晶パネルに光を照射しているため、集光性が低く、高エネルギー密度が得られず、短時間で劣化現象を発現させることが難しかった。このため、液晶パネルの耐光性の評価に長時間を要することとなり、製品開発期間の短縮化の妨げとなっていた。 However, in the above conventional light resistance evaluation method, light is irradiated onto the liquid crystal panel using a light source such as a metal hydro lamp, UHP lamp or halogen lamp, so that the light condensing property is low and a high energy density is obtained. Therefore, it was difficult to develop the deterioration phenomenon in a short time. For this reason, it took a long time to evaluate the light resistance of the liquid crystal panel, which hindered the shortening of the product development period.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、短時間に高精度の劣化試験を実施することができる劣化試験装置を提供することを目的としている。 This invention is made | formed in view of such a situation, Comprising: It aims at providing the deterioration test apparatus which can implement a highly accurate deterioration test in a short time.

上記の課題を解決するため、本発明の劣化試験装置は、被検物の耐光性評価のための劣化試験装置であって、前記被検物の劣化処理に用いるレーザ光を出力するレーザ光出力部と、前記レーザ光出力部から出力されたレーザ光を分岐し、複数の前記被検物又は同一被検物内の複数の部位に照射するレーザ光分岐部とを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、劣化処理用の光源としてレーザ光源を用いているので、レーザ光の強いエネルギーによって被検物に対して短時間に十分な大きさの劣化を生じさせることができる。また、レーザ光のスポット径を絞ることによって、被検物に対するレーザ光の照射領域（試験対象領域）を微小化できるため、例えば、被検物に形成された特定の構造物を避けて所望の領域のみに選択的にレーザ光を照射するといったことが可能になる。例えば、ブラックマトリクスを避けて画素内のみにレーザ光を照射することで、ブラックマトリクスの温度上昇による測定誤差の影響をなくすことが可能である。
また、レーザ光を複数の被検物又は同一被検物の複数の部位に分岐して照射しているので、レーザ光を減光板等で吸収しなくても、照射するレーザ光の強度を測定に必要な強度にまで十分に減少させることができる。すなわち、測定に必要なレーザ強度は非常に小さいので、レーザ光を単一の試験対象領域に照射する場合には、出力されたレーザ光の大部分を減光板等で吸収しなければならないが、本発明のようにレーザ光を分岐させて複数の試験対象領域に照射する場合には、減光板等を介さなくても十分に小さい強度となっているので、無駄になるレーザ光の光量が少なくなり、光利用効率が非常に高いものとなる。
また、レーザ光を微小なスポットで照射した場合には、劣化による変化が微小になるため定量的な評価が困難になるが、本発明のように複数の劣化部位を形成した場合には、これらの劣化部位の平均として劣化量（劣化の度合い）を評価できるので、より精度の高い耐光性評価が可能である。また、複数の被検物に対して同時に照射を行なう場合には、被検物間で外部環境の影響（温度、湿度等）による誤差を無視することができるため、更に好適である。 In order to solve the above-described problems, a deterioration test apparatus according to the present invention is a deterioration test apparatus for evaluating light resistance of a test object, and outputs a laser beam used for deterioration processing of the test object. And a laser beam branching unit that divides the laser beam output from the laser beam output unit and irradiates the plurality of specimens or a plurality of sites in the same specimen. .
According to this configuration, since the laser light source is used as the light source for the deterioration processing, it is possible to cause a sufficiently large deterioration in the test object in a short time by the strong energy of the laser light. In addition, by narrowing the spot diameter of the laser beam, the irradiation area (test target area) of the laser beam on the test object can be miniaturized. For example, a desired structure can be avoided by avoiding a specific structure formed on the test object. It is possible to selectively irradiate only the region with laser light. For example, it is possible to eliminate the influence of the measurement error due to the temperature rise of the black matrix by irradiating only the pixels with the laser light while avoiding the black matrix.
In addition, since laser light is split and irradiated to multiple specimens or multiple parts of the same specimen, the intensity of the irradiated laser light can be measured without absorbing the laser light with a dimming plate. Can be sufficiently reduced to the required strength. That is, since the laser intensity required for measurement is very small, when irradiating laser light to a single test target region, most of the output laser light must be absorbed by a light reducing plate, When the laser light is split and irradiated to a plurality of test target areas as in the present invention, the intensity is sufficiently small without using a light reducing plate or the like, so the amount of laser light that is wasted is small. Thus, the light utilization efficiency is very high.
In addition, when the laser beam is irradiated with a minute spot, the change due to deterioration becomes minute, so quantitative evaluation becomes difficult. However, when a plurality of deteriorated parts are formed as in the present invention, these Since the deterioration amount (degree of deterioration) can be evaluated as an average of the deteriorated parts, more accurate light resistance evaluation is possible. Further, when irradiating a plurality of specimens at the same time, it is more preferable because errors due to the influence of the external environment (temperature, humidity, etc.) can be ignored among the specimens.

本発明においては、前記分岐手段は、前記レーザ光分岐部は、前記レーザ光出力部から出力されたレーザ光をそれぞれ光量調節された複数のレーザ光に分岐するものとすることができる。
この構成によれば、１回の試験で光の照射量と劣化量との関係を調べることができる。従来の劣化試験では、光の照射量は光の照射時間によって制御しており、照射時間を変えた複数回の試験によって光の照射量と劣化量との関係を調べていた。このため、寿命特性等を調べる場合には、最低でも２回の試験が必要であったが、本発明では１回の試験で光の照射量と劣化量との関係を調べることができるので、寿命特性等についても原理的に１回の試験で調べることが可能である。 In the present invention, the branching unit may be configured such that the laser beam branching unit branches the laser beam output from the laser beam output unit into a plurality of laser beams whose light amounts are adjusted.
According to this configuration, the relationship between the light irradiation amount and the deterioration amount can be examined in one test. In the conventional deterioration test, the light irradiation amount is controlled by the light irradiation time, and the relationship between the light irradiation amount and the deterioration amount is examined by a plurality of tests with different irradiation times. For this reason, when examining the life characteristics, etc., at least two tests were necessary, but in the present invention, the relationship between the light irradiation amount and the deterioration amount can be examined by one test, In principle, the life characteristics can be examined by a single test.

本発明においては、前記被検物を観察する観察部を備えることができる。
この構成によれば、被検物の劣化処理と、劣化部位の観察とを並行して行なうことができる。また、観察部によって観察した情報をコンピュータ等で解析することで、劣化部位の光学的特性等を正確に評価することが可能になる。さらに、被検物と劣化試験機との光軸を合わせる場合にも、当該観察手段を活用することによって正確な位置合わせが可能になる。 In this invention, the observation part which observes the said test object can be provided.
According to this configuration, the deterioration process of the test object and the observation of the deteriorated part can be performed in parallel. Further, by analyzing the information observed by the observation unit with a computer or the like, it is possible to accurately evaluate the optical characteristics and the like of the deteriorated part. Furthermore, when aligning the optical axes of the test object and the deterioration tester, accurate alignment is possible by utilizing the observation means.

本発明においては、前記観察部は、前記被検物の複数の劣化部位を同一観察視野内に収めて観察するものとすることができる。
この構成によれば、複数の劣化部位を同時に観察できるので、効率的な観察が可能になる。また、複数の劣化部位が近接した位置に配置されることで、劣化部位が見やすくなり、劣化の評価も精度の高いものとなる。 In the present invention, the observation unit may observe a plurality of deteriorated portions of the test object within the same observation field.
According to this configuration, since a plurality of deteriorated parts can be observed simultaneously, efficient observation becomes possible. Further, since the plurality of deteriorated parts are arranged at close positions, the deteriorated parts can be easily seen, and the evaluation of deterioration is also highly accurate.

本発明においては、前記観察部を複数の前記劣化部位の観察位置に移動させる移動手段を備えることができる。
この構成によれば、それぞれの劣化部位を適切な観察位置で観察することができる。劣化部位の距離が大きく離れている場合には、これらを同一観察視野内で観察するのは困難であるため、このような場合には、これらの劣化部位をそれぞれ別々に観察することで、正確な評価が可能になる。 In this invention, the moving part which moves the said observation part to the observation position of several said degradation site | part can be provided.
According to this configuration, it is possible to observe each deteriorated portion at an appropriate observation position. When the distance between the deteriorated parts is far away, it is difficult to observe them within the same observation field. In such a case, it is possible to accurately observe these deteriorated parts separately. Evaluation becomes possible.

本発明においては、複数の前記観察位置を記憶する記憶手段を備えることができる。
この構成によれば、常に同じ観察位置で被検物を観察できるので、コントラスト等の光学的な評価を行なう場合には、特に精度の高い評価が可能になる。また、観察を行なうたびに適切な観察位置を探す必要がないので、位置合わせ等に要する時間も短縮することができる。 In the present invention, storage means for storing a plurality of the observation positions can be provided.
According to this configuration, the test object can always be observed at the same observation position. Therefore, when performing optical evaluation of contrast or the like, evaluation with particularly high accuracy is possible. In addition, since it is not necessary to search for an appropriate observation position every time observation is performed, the time required for alignment and the like can be shortened.

以下、図面を参照しながら本発明の劣化試験装置、及びそれを用いた劣化試験方法の実施の形態について説明する。以下の実施形態で説明する劣化試験方法は、被検物に対してレーザ光を照射し、これにより劣化された前記被検物の劣化部位を光学的に観察することによって、前記被検物の劣化度合いを評価するものである。ここでは、被検物として、一対の基板間に液晶層を挟持してなる液晶パネルを用いる。 Embodiments of a deterioration test apparatus of the present invention and a deterioration test method using the same will be described below with reference to the drawings. In the deterioration test method described in the following embodiment, the test object is irradiated with laser light, and the deterioration portion of the test object deteriorated thereby is optically observed, whereby the test object The degree of deterioration is evaluated. Here, a liquid crystal panel in which a liquid crystal layer is sandwiched between a pair of substrates is used as a test object.

［第１の実施の形態］
［劣化試験装置］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る劣化試験装置の概略構成を示す図である。
図１に示す劣化試験装置１００は、劣化処理に用いられるレーザ光を出力するレーザ光出力部１１０と、被検物である液晶パネル１５，２５を支持する複数の被検物支持部１９，２９と、レーザ光出力部１１０から出力されたレーザ光ＬＢ_０を複数のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２に分岐し、分岐された各々のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を被検物支持部１９，２９に支持された複数の液晶パネル１５，２５に対して照射するレーザ光分岐部１２０と、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２によって劣化された液晶パネル１５，２５の劣化部位を観察する観察部１３０とを備えている。 [First Embodiment]
[Deterioration test equipment]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a deterioration test apparatus according to the first embodiment of the present invention.
A degradation test apparatus 100 shown in FIG. 1 includes a laser beam output unit 110 that outputs a laser beam used for degradation processing, and a plurality of test object support units 19 and 29 that support liquid crystal panels 15 and 25 that are test objects. Then, the laser beam LB ₀ output from the laser beam output unit 110 is branched into a plurality of laser beams LB ₁ and LB ₂ , and each of the branched laser beams LB ₁ and LB ₂ is subjected to test object support units 19 and 29. A laser beam branching unit 120 that irradiates the plurality of liquid crystal panels 15 and 25 supported by the laser beam, and an observation unit 130 that observes the deteriorated portions of the liquid crystal panels 15 and 25 deteriorated by the laser beams LB ₁ and LB ₂ . I have.

レーザ光出力部１１０は、被検物１５，２５の劣化処理に用いるレーザ光を出力するレーザ光源１０と、第１遮光素子であるシャッタ１１とを備えている。 The laser light output unit 110 includes a laser light source 10 that outputs laser light used for deterioration processing of the test objects 15 and 25, and a shutter 11 that is a first light shielding element.

レーザ光源１０は、例えば発振波長４０６ｎｍの青紫レーザ光ＬＢ_０を出力するレーザ光源であり、レーザ光をその波長、照射エネルギー、及び照射時間のうち、少なくとも１つを可変パラメータとして出力可能なものとされる。本実施形態の劣化試験装置１００は、レーザ光照射により液晶パネル１５，２５の配向膜等を劣化させ、液晶の配向性低下の程度を観測して液晶パネル１５，２５の耐光性を評価するものであるから、レーザ光源１０には、液晶パネル１５，２５に対し短時間で所望の劣化を生じさせることができるものが用いられる。 The laser light source 10 is a laser light source that outputs, for example, a blue-violet laser beam LB ₀ having an oscillation wavelength of 406 nm, and can output at least one of the wavelength, irradiation energy, and irradiation time as a variable parameter. Is done. The deterioration test apparatus 100 according to this embodiment evaluates the light resistance of the liquid crystal panels 15 and 25 by observing the degree of deterioration of the alignment of the liquid crystals by deteriorating the alignment films of the liquid crystal panels 15 and 25 by laser light irradiation. Therefore, a laser light source 10 that can cause desired deterioration of the liquid crystal panels 15 and 25 in a short time is used.

シャッタ１１は、レーザ光ＬＢ_０の光路に対し進退自在の遮光素子である。かかるシャッタ１１により任意のタイミングでレーザ光ＬＢ_０を遮断することで、液晶パネル１５，２５に入射させる光（レーザ光／観察光）を切り替えることができるようになっている。 The shutter 11 is a light blocking element movable forward and backward with respect to the optical path of the laser beam LB _0. The light (laser light / observation light) incident on the liquid crystal panels 15 and 25 can be switched by blocking the laser light LB ₀ at an arbitrary timing by the shutter 11.

レーザ光分岐部１２０は、レーザ光出力部１１０から出力されたレーザ光ＬＢ_０を複数のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２に分岐するハーフミラー１３及びミラー２３と、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光量を調節するＮＤフィルタ１２，３０と、分岐されたレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を所定のスポット径に調節する集光レンズ１４，２４と、第２遮光素子であるシャッタ１６，２６と、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光量を測定するパワーメータヘッド１８，２８及びパワーメータ３３とを備えている。 The laser beam branching unit 120 includes a half mirror 13 and a mirror 23 that branch the laser beam LB ₀ output from the laser beam output unit 110 into a plurality of laser beams LB ₁ and LB ₂ , and the light amounts of the laser beams LB ₁ and LB ₂ . ND filters 12 and 30 for adjusting the light, condensing lenses 14 and 24 for adjusting the branched laser beams LB ₁ and LB ₂ to a predetermined spot diameter, shutters 16 and 26 as second light shielding elements, and laser light Power meter heads 18 and 28 and a power meter 33 for measuring the light amounts of LB ₁ and LB ₂ are provided.

レーザ光出力部１１０から出力されたレーザ光ＬＢ_０は、ＮＤフィルタ１２により測定に必要な光量に絞られた後、ハーフミラー１３に入射する。ここで反射されたレーザ光ＬＢ_１は、シャッタ１６を介して集光レンズ１４に入射し、集光レンズ１４により所定のスポット径に調整された後、第１の被検物である液晶パネル１５の試験対象領域に照射される。一方、ハーフミラー１３を透過したレーザ光は、ＮＤフィルタ３０により所定の光量に絞られた後、ミラー２３で反射される。そして、反射されたレーザ光ＬＢ_２は、シャッタ２６を介して集光レンズ２４に入射し、集光レンズ２４により所定のスポット径に調節された後、第２の被検物である液晶パネル２５の試験対象領域に照射される。 The laser beam LB ₀ output from the laser beam output unit 110 is narrowed down to a light amount necessary for measurement by the ND filter 12 and then enters the half mirror 13. The laser beam LB ₁ reflected here enters the condenser lens 14 via the shutter 16, and is adjusted to a predetermined spot diameter by the condenser lens 14, and then the liquid crystal panel 15 that is the first test object. The test target area is irradiated. On the other hand, the laser light transmitted through the half mirror 13 is reflected by the mirror 23 after being narrowed down to a predetermined light quantity by the ND filter 30. The reflected laser beam LB ₂ enters the condenser lens 24 via the shutter 26, and is adjusted to a predetermined spot diameter by the condenser lens 24, and then the liquid crystal panel 25 that is the second test object. The test target area is irradiated.

このレーザ光分岐部１２０では、第１の被検物１５に入射されるレーザ光ＬＢ_１の光量は、第１の光量調節手段であるＮＤフィルタ１２及びハーフミラー１３によって調節され、第２の被検物２５に入射されるレーザ光ＬＢ_２の光量は、第２の光量調節手段であるハーフミラー１３及びＮＤフィルタ３０によって調節される。各被検物１５，２５に照射される光量はそれぞれ独立に設定することができ、これらを同一とすることも、異ならせることも可能である。 In the laser beam branching section 120, the light amount of the laser light LB ₁ incident on the first object 15 is adjusted by the ND filter 12 and the half mirror 13 which are first light amount adjusting means, and the second object The light quantity of the laser beam LB ₂ incident on the inspection object 25 is adjusted by the half mirror 13 and the ND filter 30 which are second light quantity adjusting means. The amount of light applied to each of the test objects 15 and 25 can be set independently, and can be the same or different.

レーザ光ＬＢ_１とレーザ光ＬＢ_２の光量を異ならせた場合には、１回の試験で光の照射量と劣化量（劣化の度合い）との関係を調べることができる。すなわち、従来の劣化試験では、光の照射量は光の照射時間によって制御しており、照射時間を変えた複数回の試験によって光の照射量と劣化量との関係を調べていた。このため、寿命特性等を調べる場合には、最低でも２回の試験が必要であったが、本実施形態の構成では１回の試験で光の照射量と劣化量との関係を調べることができるので、寿命特性等についても原理的に１回の試験で調べることが可能である。 When the light amounts of the laser light LB ₁ and the laser light LB ₂ are made different, the relationship between the light irradiation amount and the deterioration amount (degree of deterioration) can be examined by one test. That is, in the conventional deterioration test, the light irradiation amount is controlled by the light irradiation time, and the relationship between the light irradiation amount and the deterioration amount is examined by a plurality of tests with different irradiation times. For this reason, when examining the life characteristics and the like, at least two tests are necessary. However, in the configuration of the present embodiment, the relationship between the light irradiation amount and the deterioration amount can be examined by one test. As a result, the life characteristics and the like can be examined in a single test in principle.

分岐されたレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２は、それぞれ液晶パネル１５，２５の背面側（集光レンズ１４，２４と反対側）に配置されたパワーメータヘッド１８，２８へ導かれる。パワーメータヘッド１８，２８は、それぞれパワーメータ３３に接続されており、このパワーメータ３３の表示を読み取ることで、それぞれの光量が検出される。 The branched laser beams LB ₁ and LB ₂ are guided to the power meter heads 18 and 28 disposed on the back side of the liquid crystal panels 15 and 25 (the side opposite to the condenser lenses 14 and 24), respectively. The power meter heads 18 and 28 are respectively connected to the power meter 33, and each light quantity is detected by reading the display of the power meter 33.

シャッタ１６，２６は、それぞれレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光路に対し進退自在の遮光素子である。かかるシャッタ１６，２６により任意のタイミングでレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を遮断することで、劣化処理のオン／オフ、又は液晶パネル１５，２５に入射させるレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光量を調節できるようになっている。 The shutters 16 and 26 are light-shielding elements that can move forward and backward with respect to the optical paths of the laser beams LB ₁ and LB ₂ , respectively. By shutting off the laser beams LB ₁ and LB ₂ at an arbitrary timing by the shutters 16 and 26, the deterioration process is turned on / off or the light amounts of the laser beams LB ₁ and LB ₂ incident on the liquid crystal panels 15 and 25 are adjusted. It can be done.

観察部１３０は、液晶パネル１５，２５の背面側に配置された観察光源３１と、該観察光源３１を駆動する駆動装置３２と、液晶パネル１５，２５の前面側（集光レンズ１４，２４と同じ側）に配置された撮像手段としてのＣＣＤカメラ３４と、該ＣＣＤカメラ３４を駆動する駆動装置３５とを備えている。また、観察光源３１と液晶パネル１５，２５との間、及び液晶パネル１５，２５とＣＣＤカメラ３４との間には、それぞれ偏光板１７，２７、及び偏光板３６，３７が設けられている。 The observation unit 130 includes an observation light source 31 disposed on the back side of the liquid crystal panels 15 and 25, a driving device 32 that drives the observation light source 31, and the front side of the liquid crystal panels 15 and 25 (the condensing lenses 14 and 24 and A CCD camera 34 as an image pickup means disposed on the same side) and a drive device 35 for driving the CCD camera 34 are provided. Further, polarizing plates 17 and 27 and polarizing plates 36 and 37 are provided between the observation light source 31 and the liquid crystal panels 15 and 25 and between the liquid crystal panels 15 and 25 and the CCD camera 34, respectively.

観察光源３１は、例えば蛍光ランプ、タングステンランプ、ハロゲンランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプ、発光ダイオード等を用いた光源である。この観察光源３１としては、液晶パネル１５，２５が搭載される実機（液晶表示装置、プロジェクタ）が備える光源と同種のものを用いることができる。液晶パネル１５，２５の劣化状態を目視観察するには、観察光源３１に白色光を出力する光源を用いると、実機での表示状態を再現しやすくなり、また目視観察も容易になる。 The observation light source 31 is a light source using, for example, a fluorescent lamp, a tungsten lamp, a halogen lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, a light emitting diode, or the like. As the observation light source 31, the same type of light source as that provided in an actual machine (liquid crystal display device or projector) on which the liquid crystal panels 15 and 25 are mounted can be used. In order to visually observe the deterioration state of the liquid crystal panels 15 and 25, if a light source that outputs white light is used as the observation light source 31, it becomes easy to reproduce the display state in an actual machine, and visual observation is also facilitated.

観察光源３１には、移動手段としての駆動装置３２が接続されている。駆動装置３２は、ステッピングモータやサーボモータ等の高精度の分解能を有するモータを有している。駆動装置３２の動作は制御装置４０によって制御されており、この制御装置４０からの指示に基づいて、観察光源３１を観察光ＯＢの光軸に対して直交する平面内で移動させるようになっている。すなわち、観察光源３１は液晶パネル１５及び液晶パネル２５に共通の光源とされており、駆動装置３２によって移動させることで、それぞれの液晶パネル１５，２５に対して適切な観察位置ＯＰ１，ＯＰ２に観察光源３１を配置できるようになっている。 The observation light source 31 is connected with a driving device 32 as a moving means. The drive device 32 has a motor having high resolution such as a stepping motor and a servo motor. The operation of the driving device 32 is controlled by the control device 40. Based on an instruction from the control device 40, the observation light source 31 is moved in a plane orthogonal to the optical axis of the observation light OB. Yes. That is, the observation light source 31 is a light source common to the liquid crystal panel 15 and the liquid crystal panel 25, and is moved to the appropriate observation positions OP1 and OP2 with respect to the liquid crystal panels 15 and 25 by being moved by the driving device 32. The light source 31 can be arranged.

ＣＣＤカメラ３４は、液晶パネル１５，２５の少なくとも表面の一部を撮像する。その撮像用光源としては、観察光源３１が使用される。ＣＣＤカメラ３４で撮像された画像情報は、必要に応じて画像処理された後、図示略のモニタに表示される。ＣＣＤカメラ３４及びモニタは、例えば、液晶パネル１５，２５の劣化部位を目視観察するための画像観察手段、液晶パネル１５，２５上の試験対象領域とレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光軸との位置合わせをするための位置決め手段、及び前記試験対象領域と観察光ＯＢとの位置合わせをするための位置決め手段等として用いられる。 The CCD camera 34 images at least part of the surface of the liquid crystal panels 15 and 25. An observation light source 31 is used as the imaging light source. Image information captured by the CCD camera 34 is subjected to image processing as necessary, and then displayed on a monitor (not shown). The CCD camera 34 and the monitor include, for example, an image observation means for visually observing a deteriorated portion of the liquid crystal panels 15 and 25, a test target area on the liquid crystal panels 15 and 25, and the optical axes of the laser beams LB ₁ and LB _2. It is used as positioning means for positioning, positioning means for positioning the test object region and the observation light OB, and the like.

ＣＣＤカメラ３４には、移動手段としての駆動装置３５が接続されている。駆動装置３５は、ステッピングモータやサーボモータ等の高精度の分解能を有するモータを含んでいる。駆動装置３５の動作は制御装置４０によって制御されており、この制御装置４０からの指示に基づいて、ＣＣＤカメラ３４を観察光ＯＢの光軸に対して直交する平面内で移動させるようになっている。すなわち、ＣＣＤカメラ３４は液晶パネル１５及び液晶パネル２５に共通の撮像手段とされており、駆動装置３５によって移動させることで、それぞれの液晶パネル１５，２５に対して適切な観察位置にＣＣＤカメラ３４を配置できるようになっている。ＣＣＤカメラ３４の観察位置は観察光源３１の位置に対応した位置とされており、ＣＣＤカメラ３４と観察光源３１とが連動して移動することによって、特定の液晶パネル１５又は液晶パネル２５を観察できるようになっている。 The CCD camera 34 is connected with a driving device 35 as a moving means. The driving device 35 includes a motor having high resolution such as a stepping motor and a servo motor. The operation of the driving device 35 is controlled by the control device 40. Based on an instruction from the control device 40, the CCD camera 34 is moved in a plane orthogonal to the optical axis of the observation light OB. Yes. That is, the CCD camera 34 is an image pickup means common to the liquid crystal panel 15 and the liquid crystal panel 25, and the CCD camera 34 is moved to an appropriate observation position with respect to the liquid crystal panels 15 and 25 by being moved by the driving device 35. Can be placed. The observation position of the CCD camera 34 is a position corresponding to the position of the observation light source 31, and the specific liquid crystal panel 15 or the liquid crystal panel 25 can be observed by the CCD camera 34 and the observation light source 31 moving together. It is like that.

ＣＣＤカメラ３４及び観察光源３１による観察位置、すなわち液晶パネル１５，２５における試験対象領域の位置は、ＲＯＭやＲＡＭなどの記憶手段（図示略）に記憶されている。そして、この記憶手段に記憶された情報に基づいて制御装置４０が駆動装置３２を駆動することによって、常に同じ位置で観察を行なうことができるようになっている。 The observation position by the CCD camera 34 and the observation light source 31, that is, the position of the test target area in the liquid crystal panels 15 and 25 is stored in a storage means (not shown) such as a ROM or a RAM. The control device 40 drives the drive device 32 based on the information stored in the storage means, so that observation can always be performed at the same position.

偏光板１７，２７及び偏光板３６，３７は、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を照射することによる液晶パネル１５，２５の劣化状態を、液晶パネル１５，２５の液晶層のΔｎ（屈折率；光学異方性）の変化として検出するために設けられるものである。すなわち、液晶パネル１５，２５の配向膜等が劣化されると、液晶の配向状態も変化するので、偏光板３６，３７を透過した観察光ＯＢの光量を劣化処理の前後で比較すれば、液晶パネル１５，２５の劣化量を液晶パネル１５，２５のΔｎの変化量として容易に調べることができる。この場合、ＣＣＤカメラ３４による撮像情報をコンピュータ等で解析すれば、劣化部位の光学的特性等を正確に評価することが可能になる。なお、液晶パネル１５，２５に予め偏光板が設けられている場合には、偏光板１７，２７及び偏光板３６，３７は省略することができる。 The polarizing plates 17 and 27 and the polarizing plates 36 and 37 indicate the deterioration state of the liquid crystal panels 15 and 25 caused by irradiating the laser beams LB ₁ and LB _2, and Δn (refractive index; optical of the liquid crystal layer of the liquid crystal panels 15 and 25. It is provided for detecting as a change in anisotropy). That is, when the alignment films of the liquid crystal panels 15 and 25 are deteriorated, the alignment state of the liquid crystal also changes. Therefore, if the amount of the observation light OB transmitted through the polarizing plates 36 and 37 is compared before and after the deterioration process, the liquid crystal The amount of deterioration of the panels 15 and 25 can be easily checked as the amount of change in Δn of the liquid crystal panels 15 and 25. In this case, if the information captured by the CCD camera 34 is analyzed by a computer or the like, the optical characteristics and the like of the deteriorated portion can be accurately evaluated. In the case where the liquid crystal panels 15 and 25 are provided with polarizing plates in advance, the polarizing plates 17 and 27 and the polarizing plates 36 and 37 can be omitted.

被検物支持部１９，２９に支持された液晶パネル１５，２５は、制御装置４０に接続されている。制御装置４０は、液晶パネル１５，２５を駆動する図示略のパネル駆動部を介して液晶パネル１５，２５に任意の動作を行なわせることができるようになっている。このため、観察光ＯＢを照射した状態で液晶パネル１５，２５を動作させれば、液晶パネル１５，２５の電気光学特性（電圧−透過率（Ｖ−Ｔ）特性）を容易に得ることができ、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の照射による劣化処理と並行して、あるいは劣化処理と交互に、電気光学特性の測定を行なうことができる。 The liquid crystal panels 15 and 25 supported by the test object support portions 19 and 29 are connected to the control device 40. The control device 40 can cause the liquid crystal panels 15 and 25 to perform an arbitrary operation via a panel driving unit (not shown) that drives the liquid crystal panels 15 and 25. For this reason, if the liquid crystal panels 15 and 25 are operated in a state in which the observation light OB is irradiated, the electro-optical characteristics (voltage-transmittance (VT) characteristics) of the liquid crystal panels 15 and 25 can be easily obtained. In addition, the electro-optical characteristics can be measured in parallel with or alternately with the deterioration process by irradiation with the laser beams LB ₁ and LB ₂ .

以上に説明した劣化試験装置１００によれば、劣化処理用の光源としてレーザ光源１０を用いているので、レーザ光の強いエネルギーによって液晶パネル１５，２５に対して短時間に十分な大きさの劣化を生じさせることができる。 According to the deterioration test apparatus 100 described above, since the laser light source 10 is used as a light source for deterioration processing, the liquid crystal panels 15 and 25 are sufficiently large in deterioration in a short time due to the strong energy of the laser light. Can be generated.

また、レーザ光源１０から出力されたレーザ光ＬＢ_０を複数の液晶パネル１５，２５に分岐して照射しているので、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を減光板等で吸収しなくても、照射するレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の強度を測定に必要な強度にまで十分に減少させることができる。すなわち、測定に必要なレーザ強度は非常に小さいので、レーザ光ＬＢ_０を単一の試験対象領域に照射する場合には、出力されたレーザ光ＬＢ_０の大部分を減光板等で吸収しなければならないが、本実施形態のようにレーザ光ＬＢ_０を分岐させて複数の試験対象領域に照射する場合には、減光板等を介さなくても十分に小さい強度となっているので、吸収させるレーザ光の光量が少なくなり、光利用効率が非常に高いものとなる。 Further, since the laser beam LB ₀ output from the laser light source 10 is branched and irradiated to the plurality of liquid crystal panels 15 and 25, the irradiation is performed even if the laser beams LB ₁ and LB ₂ are not absorbed by the light reducing plate or the like. It is possible to sufficiently reduce the intensity of the laser beams LB ₁ and LB _{2 to} the intensity necessary for measurement. That is, since the laser intensity required for the measurement is very small, when the laser beam LB ₀ is irradiated onto a single test target region, most of the output laser beam LB ₀ must be absorbed by a light reducing plate or the like. Although it is necessary to divide the laser beam LB ₀ and irradiate a plurality of test target areas as in the present embodiment, the intensity is sufficiently small without passing through a dimming plate or the like, so that it is absorbed. The amount of laser light is reduced, and the light utilization efficiency is very high.

また、レーザ光出力部１１０と観察部１３０の双方を備えているので、液晶パネル１５，２５の劣化処理と劣化部位の検査とを１台の試験装置で行なうことができる。特に、液晶パネル１５，２５の検査を、液晶パネル１５，２５を被検物支持部１９，２９に支持した状態で行なうことができることから、液晶パネル１５，２５の加速劣化試験を簡便且つ正確に実施することが可能である。 Further, since both the laser beam output unit 110 and the observation unit 130 are provided, the deterioration process of the liquid crystal panels 15 and 25 and the inspection of the deteriorated part can be performed with one test apparatus. In particular, since the liquid crystal panels 15 and 25 can be inspected with the liquid crystal panels 15 and 25 supported by the test object support portions 19 and 29, the accelerated deterioration test of the liquid crystal panels 15 and 25 can be performed easily and accurately. It is possible to implement.

また、観察部であるＣＣＤカメラ３４及び観察光源３１を移動させる移動手段を備えているので、各液晶パネル１５，２５の劣化部位を適切な観察位置で観察することができる。このような観察位置に関する情報はＲＯＭ等の記憶手段に記憶されているので、係る情報に基づいてＣＣＤカメラ３４及び観察光源３１を移動させれば、常に同じ観察位置で被検物を観察することが可能である。コントラスト等の光学特性の評価においては、測定条件のばらつきが大きな誤差を生じさせる場合があるので、このような測定においては特に有効な構成となる。さらに、観察を行なうたびに適切な観察位置を探す必要がないので、位置合わせ等に要する時間も短縮することができる。 Moreover, since the moving part which moves the CCD camera 34 and the observation light source 31 which are observation parts is provided, the degradation site | part of each liquid crystal panel 15 and 25 can be observed in a suitable observation position. Information on such an observation position is stored in a storage means such as a ROM. Therefore, if the CCD camera 34 and the observation light source 31 are moved based on the information, the object to be observed is always observed at the same observation position. Is possible. In the evaluation of optical characteristics such as contrast, variation in measurement conditions may cause a large error, so that the configuration is particularly effective in such measurement. Furthermore, since it is not necessary to search for an appropriate observation position every time observation is performed, the time required for alignment and the like can be shortened.

なお、図１に示すレーザ光ＬＢ_０，ＬＢ_１，ＬＢ_２及び観察光ＯＢの光学系は、その主要部のみを簡略化して表示したものであり、試験装置の設計に応じた構成部材の変更／追加を妨げるものではない。例えば、集光レンズ１４，２４とともに、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の照度分布を均一化する光学補正素子（例えば、フライアイレンズ、ロッドレンズ等）を設けてもよい。このような構成とすれば、液晶パネル１５，２５の試験対象領域に均一な照度分布のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を照射でき、前記試験対象領域を均一に劣化させることができるので、液晶パネルの劣化状態を検査する際の測定値のばらつきや、目視観察におけるばらつきを防止して、より正確な試験結果を得られるようになる。 Note that the optical systems of the laser beams LB ₀ , LB ₁ , LB ₂ and the observation light OB shown in FIG. 1 are shown by simplifying only the main parts, and the constituent members are changed according to the design of the test apparatus. / It does not prevent the addition. For example, an optical correction element (for example, a fly-eye lens, a rod lens, etc.) that makes the illuminance distribution of the laser beams LB ₁ and LB ₂ uniform may be provided together with the condenser lenses 14 and 24. With such a configuration, the test target areas of the liquid crystal panels 15 and 25 can be irradiated with the laser beams LB ₁ and LB ₂ having a uniform illuminance distribution, and the test target areas can be uniformly deteriorated. It is possible to prevent variation in measured values when inspecting the deterioration state of the film and variation in visual observation, and obtain more accurate test results.

また、被検物である液晶パネル１５，２５を支持する被検物支持部１９，２９には、液晶パネルの温度制御を行なう温度制御部を設けることができる。かかる温度制御部により液晶パネル１５，２５を冷却ないし加熱し、試験中の液晶パネル１５，２５の温度を一定に保持するようにすることで、レーザ光照射での加熱に起因する液晶パネル１５，２５の劣化を抑制しつつ劣化試験を行なうことができるので、液晶パネル１５，２５の劣化因子から熱に起因する部分を排除し、光照射による液晶パネル１５，２５の劣化現象を正確に観測することが可能になる。 Moreover, the test object support parts 19 and 29 which support the liquid crystal panels 15 and 25 which are test objects can be provided with a temperature control part for controlling the temperature of the liquid crystal panel. The liquid crystal panels 15 and 25 are cooled or heated by the temperature control unit so that the temperature of the liquid crystal panels 15 and 25 under test is kept constant, thereby causing the liquid crystal panels 15 and 25 caused by heating by laser light irradiation. Since the deterioration test can be performed while suppressing the deterioration of 25, the portion caused by heat is excluded from the deterioration factors of the liquid crystal panels 15 and 25, and the deterioration phenomenon of the liquid crystal panels 15 and 25 due to light irradiation is accurately observed. It becomes possible.

［液晶パネル］
ここで、被検物である液晶パネルの構成について説明する。
図２（ａ）は液晶パネル１５の一例を示す模式図である。図２（ａ）は、ＴＮモードの液晶層を具備したＴＦＴアクティブマトリクス型の液晶パネル１５の部分断面構成図であるが、液晶パネル１５はＶＡＮ（Vertical Aligned Nematic）モード、ＳＴＮ（Super Twisted Nematic）モード等の他の液晶モードのものであってもよく、その駆動形式（アクティブマトリクス型／パッシブマトリクス型）も限定されない。また液晶パネル１５は、透過型に限らず、反射型、半透過反射型のものであってもよい。反射型の液晶パネルの劣化試験を行う場合にも、観察光の検出手段の配置を変更するのみで容易に対応できる。 [LCD panel]
Here, the configuration of the liquid crystal panel as the test object will be described.
FIG. 2A is a schematic diagram illustrating an example of the liquid crystal panel 15. FIG. 2A is a partial cross-sectional configuration diagram of a TFT active matrix type liquid crystal panel 15 having a TN mode liquid crystal layer. The liquid crystal panel 15 has a VAN (Vertical Aligned Nematic) mode, STN (Super Twisted Nematic) mode. Other liquid crystal modes such as a mode may be used, and the drive format (active matrix type / passive matrix type) is not limited. The liquid crystal panel 15 is not limited to a transmission type, but may be a reflection type or a transflective type. Even when a deterioration test of a reflective liquid crystal panel is performed, it can be easily handled by simply changing the arrangement of the observation light detection means.

なお、図２では、３つの画素Ｐ１〜Ｐ３のみを示しているが、実際には画素Ｐ１〜Ｐ３と同様の構成の画素が平面視マトリクス状に配列形成された構成を備えている。また、各画素Ｐ１〜Ｐ３に対応して設けられるスイッチング素子であるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）についての図示は省略している。 In FIG. 2, only three pixels P1 to P3 are shown, but in actuality, a pixel having a configuration similar to that of the pixels P1 to P3 is arranged in a matrix in a plan view. Further, illustration of TFTs (thin film transistors) which are switching elements provided corresponding to the respective pixels P1 to P3 is omitted.

なお、液晶パネル２５は液晶パネル１５と同様の構成であるため、以下の説明では液晶パネル１５の構成及びその劣化試験方法についてのみ記載する。 Since the liquid crystal panel 25 has the same configuration as the liquid crystal panel 15, only the configuration of the liquid crystal panel 15 and its deterioration test method will be described in the following description.

図２（ａ）に示す液晶パネル１５は、液晶層１５５を挟持して対向する一対の基板１５１，１５２を備えている。基板１５１，１５２は、石英、ガラス、プラスチック等の透明基板であり、両基板の対向面に介在させた図示略のスペーサにより所定の間隔に離間されている。基板１５１の内面側（液晶層１５５側）に、複数の画素電極１５６と、画素電極１５６を覆う配向膜１５３とが形成されており、基板１５１の外面側には、偏光板１５９が配設されている。基板１５２の内面側に、遮光膜（ブラックマトリクス）１５８と、対向電極１５７と、配向膜１５４とが積層形成されており、基板１５２の外面側には、偏光板１６０が配設されている。 The liquid crystal panel 15 shown in FIG. 2A includes a pair of substrates 151 and 152 that face each other with a liquid crystal layer 155 interposed therebetween. The substrates 151 and 152 are transparent substrates such as quartz, glass, and plastic, and are separated at a predetermined interval by a spacer (not shown) interposed between opposing surfaces of both substrates. A plurality of pixel electrodes 156 and an alignment film 153 covering the pixel electrodes 156 are formed on the inner surface side (liquid crystal layer 155 side) of the substrate 151, and a polarizing plate 159 is disposed on the outer surface side of the substrate 151. ing. A light shielding film (black matrix) 158, a counter electrode 157, and an alignment film 154 are stacked on the inner surface side of the substrate 152, and a polarizing plate 160 is disposed on the outer surface side of the substrate 152.

液晶層１５５は、ネマチック液晶を主体としてなり、配向膜１５３、１５４の配向規制力によって、基板１５１，１５２間でツイスト配向している。配向膜１５３，１５４は、ポリイミド膜や酸化シリコン膜により形成することができ、ポリイミド膜を用いる場合には、液晶を所望の方向に配向させるためのラビング処理を施される。また、酸化シリコン膜を用いる場合には、斜方蒸着法等によって膜面に凹凸形状を付与し、かかる形状に起因する配向規制力により液晶を配向させる。 The liquid crystal layer 155 is mainly composed of nematic liquid crystal, and is twist-aligned between the substrates 151 and 152 by the alignment regulating force of the alignment films 153 and 154. The alignment films 153 and 154 can be formed of a polyimide film or a silicon oxide film, and when a polyimide film is used, a rubbing process for aligning the liquid crystal in a desired direction is performed. In the case where a silicon oxide film is used, a concavo-convex shape is imparted to the film surface by an oblique deposition method or the like, and the liquid crystal is aligned by an alignment regulating force resulting from the shape.

画素電極１５６は、各画素ごとに形成されて、当該領域内の液晶層１５５に駆動電圧を印加する。画素電極１５６は、例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）などの透明導電膜を基板１５１上に成膜し、パターニングすることによって形成できる。そして、各画素電極１５６には、図示しないＴＦＴ（スイッチング素子）が電気的に接続され、かかるＴＦＴのスイッチング動作に基づき画像信号に応じた電圧が書き込まれるようになっている。対向電極１５７は、上記の各画素電極１５６と共に液晶層１５５に電圧を印加するものであり、基板１５２上の略全面に形成されている。この対向電極１５７は、各画素に共用される共通電極となっており、接地電位等の所定電位に接続される。対向電極１５７についても、ＩＴＯ等の透明導電膜により形成することができる。 The pixel electrode 156 is formed for each pixel and applies a driving voltage to the liquid crystal layer 155 in the region. The pixel electrode 156 can be formed by, for example, forming a transparent conductive film such as ITO (indium tin oxide) on the substrate 151 and patterning it. Each pixel electrode 156 is electrically connected to a TFT (switching element) (not shown), and a voltage corresponding to an image signal is written based on the switching operation of the TFT. The counter electrode 157 applies a voltage to the liquid crystal layer 155 together with the pixel electrodes 156 described above, and is formed on substantially the entire surface of the substrate 152. The counter electrode 157 is a common electrode shared by each pixel, and is connected to a predetermined potential such as a ground potential. The counter electrode 157 can also be formed of a transparent conductive film such as ITO.

遮光膜１５８は、各画素の境界を覆い、当該領域における漏れ光を遮断するためのものであり、基板１５２上に形成されている。この遮光膜１５８には、低反射の金属材料（例えばクロム）が用いられ、各画素に対応する領域に開口部を有する平面視略格子状に形成されている。 The light shielding film 158 covers the boundary of each pixel and blocks leakage light in the region, and is formed on the substrate 152. The light-shielding film 158 is made of a low-reflection metal material (for example, chromium) and is formed in a substantially lattice shape in plan view having openings in regions corresponding to the respective pixels.

［劣化試験方法］
次に、液晶パネル１５における劣化試験方法について説明する。
この劣化試験方法では、液晶パネル１５に対して波長、照射時間等の条件を種々に設定してレーザ光を照射して劣化を生じさせ、この劣化処理と並行して、観察光ＯＢを液晶パネル１５に照射し、その透過光をモニタすることにより液晶パネル１５の耐光性を評価する。具体的には、液晶パネル１５に照射した観察光ＯＢの透過率変化を観測することにより劣化に至るΔｎの変化を観測する検査と、パネル駆動部により液晶パネル１５を駆動して電気光学特性（Ｖ−Ｔ特性）の変化を観測する検査と、ＣＣＤカメラ３４により液晶パネル１５を撮影することで液晶パネル１５を目視観察する検査とを行なうことができる。 [Deterioration test method]
Next, a deterioration test method for the liquid crystal panel 15 will be described.
In this deterioration test method, various conditions such as wavelength and irradiation time are set on the liquid crystal panel 15 to cause laser light irradiation to cause deterioration. In parallel with this deterioration processing, the observation light OB is supplied to the liquid crystal panel. 15 and the light resistance of the liquid crystal panel 15 is evaluated by monitoring the transmitted light. Specifically, an inspection for observing a change in Δn that leads to deterioration by observing a change in the transmittance of the observation light OB irradiated to the liquid crystal panel 15, and driving the liquid crystal panel 15 by a panel driving unit to perform electro-optical characteristics ( An inspection for observing a change in VT characteristics) and an inspection for visually observing the liquid crystal panel 15 by photographing the liquid crystal panel 15 with the CCD camera 34 can be performed.

例えば、液晶パネル１５に照射した観察光ＯＢの透過率変化を観測する検査では、レーザ光の照射時間を横軸にとり、液晶パネル１５を通過する光の強度（透過率）を縦軸にとったグラフをプロットすることにより、液晶パネルの耐光性の評価が可能である。かかる評価結果から加速係数を算出することにより、液晶パネル１５の耐用時間を推定することができる。以下、この試験方法について図面を参照して説明する。 For example, in the inspection for observing the change in transmittance of the observation light OB irradiated to the liquid crystal panel 15, the horizontal axis represents the irradiation time of the laser light, and the vertical axis represents the intensity (transmittance) of the light passing through the liquid crystal panel 15. By plotting the graph, the light resistance of the liquid crystal panel can be evaluated. By calculating the acceleration coefficient from the evaluation result, the service life of the liquid crystal panel 15 can be estimated. Hereinafter, this test method will be described with reference to the drawings.

まず、図２（ｂ）に示すように、レーザ光源１０から射出したレーザ光ＬＢをその波長、照射エネルギー又は照射時間のうち少なくとも１つを可変パラメータとして設定して、液晶パネル１５の試験対象領域に照射する（第１工程）。試験対象領域は任意に設定可能であり、例えば図示の場合では液晶パネル１５の１画素Ｐ２に対応する領域を設定している。レーザ光ＬＢを用いて比較的高いエネルギーを液晶パネル１５に与えることにより、液晶パネル１５の画素Ｐ２に含まれる各部材（例えば配向膜や液晶分子等）に劣化が生じる。このとき、液晶パネル１５の劣化量は、レーザ光ＬＢの可変パラメータの設定内容によって異なることとなる。本実施形態では、主として、レーザ光ＬＢの照射によって画素Ｐ２内の配向膜を変質させ、液晶分子の配向性を局所的に低下させるという態様の劣化を想定する。レーザ光ＬＢを連続波（ＣＷ）とすることにより、エネルギーをより効率よく与えることが可能である。 First, as shown in FIG. 2B, the laser light LB emitted from the laser light source 10 is set with at least one of its wavelength, irradiation energy or irradiation time as a variable parameter, and the test target region of the liquid crystal panel 15 is set. Is irradiated (first step). The test target area can be arbitrarily set. For example, in the illustrated case, an area corresponding to one pixel P2 of the liquid crystal panel 15 is set. By applying relatively high energy to the liquid crystal panel 15 using the laser beam LB, each member (for example, an alignment film or liquid crystal molecules) included in the pixel P2 of the liquid crystal panel 15 is deteriorated. At this time, the deterioration amount of the liquid crystal panel 15 varies depending on the setting contents of the variable parameter of the laser beam LB. In the present embodiment, it is assumed that the orientation film in the pixel P2 is altered by irradiation with the laser beam LB, and the orientation of the liquid crystal molecules is locally reduced. By making the laser beam LB continuous wave (CW), energy can be given more efficiently.

次に、図２（ｃ）に示すように、観察光ＯＢを液晶パネル１５に照射し、当該液晶パネル１５を通過した当該観察光ＯＢの状態を図１に示したＣＣＤカメラ３４により検出する（第２工程）。本実施形態では、検出対象とする観察光ＯＢの状態（光学的特性）として光量（光強度）を想定しているが、これに限定されず、偏光状態、分光特性など種々のものが考えられる。すなわち、観察光ＯＢの状態として検出したい内容に応じて観察光ＯＢを出力する光源と、その検出手段を用意すれば、種々の検出対象について測定が可能になる。検出対象（光量、偏光状態、分光特性等）を変更したとしても、液晶パネル１５の試験対象領域に劣化が生じていれば、レーザ光ＬＢを照射する前後で異なる光学的特性が検出されるので、液晶パネル１５の劣化量を観測することができる。 Next, as shown in FIG. 2C, the observation light OB is irradiated onto the liquid crystal panel 15, and the state of the observation light OB that has passed through the liquid crystal panel 15 is detected by the CCD camera 34 shown in FIG. Second step). In the present embodiment, the amount of light (light intensity) is assumed as the state (optical characteristics) of the observation light OB to be detected. However, the present invention is not limited to this, and various things such as polarization state and spectral characteristics are conceivable. . That is, if a light source that outputs the observation light OB according to the content to be detected as the state of the observation light OB and its detection means are prepared, various detection objects can be measured. Even if the detection target (light quantity, polarization state, spectral characteristics, etc.) is changed, if the test target area of the liquid crystal panel 15 has deteriorated, different optical characteristics are detected before and after the laser beam LB is irradiated. The amount of deterioration of the liquid crystal panel 15 can be observed.

ここで、図３は、上記第２工程で、液晶パネル１５を透過する観察光ＯＢの光量を検出対象として測定を行なう場合の説明図であり、図３（ａ）は、レーザ光ＬＢを照射する前（劣化しない状態）の液晶パネル１５について上記第２工程を実施する場合について示す図であり、図３（ｂ）は、レーザ光ＬＢを照射した後（液晶パネル１５を劣化させた後）の液晶パネル１５について上記第２工程を実施する場合について示す図である。 Here, FIG. 3 is an explanatory diagram in the case where measurement is performed using the amount of observation light OB transmitted through the liquid crystal panel 15 as a detection target in the second step, and FIG. 3A is irradiated with the laser light LB. It is a figure shown about the case where the said 2nd process is implemented about the liquid crystal panel 15 before performing (state which does not deteriorate), FIG.3 (b) is after irradiating the laser beam LB (after deteriorating the liquid crystal panel 15). It is a figure shown about the case where the said 2nd process is implemented about the liquid crystal panel.

図３（ａ）に示すように、液晶パネル１５の光入射側及び光射出側には、それぞれ偏光板１７，３６が配置されている。偏光板１７と偏光板３６とは、互いの透過軸が略直交するように配置されており、光入射側の偏光板１７の透過軸は、液晶パネル１５の基板１５１側における液晶分子の平均的配向方向（ダイレクタ）と略平行となるように配置されている。また、偏光板３６の透過軸は、液晶パネル１５の基板１５２側における前記ダイレクタと略平行となるように配置されている。 As shown in FIG. 3A, polarizing plates 17 and 36 are disposed on the light incident side and the light emitting side of the liquid crystal panel 15, respectively. The polarizing plate 17 and the polarizing plate 36 are arranged so that their transmission axes are substantially orthogonal to each other, and the transmission axis of the polarizing plate 17 on the light incident side is an average of the liquid crystal molecules on the substrate 151 side of the liquid crystal panel 15. It arrange | positions so that it may become substantially parallel to the orientation direction (director). The transmission axis of the polarizing plate 36 is arranged so as to be substantially parallel to the director on the substrate 152 side of the liquid crystal panel 15.

観察光源３１から出力されて偏光板１７に入射した観察光ＯＢは、当該偏光板１５９の光学的主軸に沿った振動成分のみが通過し、直線偏光となる。この直線偏光となった観察光ＯＢは、液晶層１５５を透過する際に、液晶層１５５の旋光作用によりその偏光方向が９０度回転されて液晶層１５５から射出される。その後、観察光ＯＢの偏光方向と平行な透過軸を有する偏光板３６を透過し、ＣＣＤカメラ３４にて光量検出される。 Only the vibration component along the optical principal axis of the polarizing plate 159 passes through the observation light OB output from the observation light source 31 and incident on the polarizing plate 17 and becomes linearly polarized light. When the observation light OB that has become linearly polarized light passes through the liquid crystal layer 155, the polarization direction of the observation light OB is rotated by 90 degrees by the optical rotation action of the liquid crystal layer 155, and is emitted from the liquid crystal layer 155. Thereafter, the light passes through a polarizing plate 36 having a transmission axis parallel to the polarization direction of the observation light OB and is detected by the CCD camera 34.

一方、図３（ｂ）に示す場合では、図２（ｃ）に示したように、レーザ光ＬＢの照射によって配向膜１５３，１５４に劣化を生じているので、画素Ｐ２においては配向膜１５３，１５４の配向規制力低下に起因する液晶の配向乱れが生じている。そしてこれに伴って入射光に対する偏光変換作用が低下するため、液晶層１５５を透過した後の観察光ＯＢの偏光状態は、例えば図示のように楕円偏光となり、図３（ａ）に示したものと異なった状態となる。そのため、観察光ＯＢのうち偏光板１６０を透過できる偏光成分が減少し、観察光量検出部３５で検出される光量も低下する。 On the other hand, in the case shown in FIG. 3B, as shown in FIG. 2C, the alignment films 153 and 154 are deteriorated by the irradiation with the laser beam LB. The alignment disorder of the liquid crystal resulting from the decrease in the alignment regulation force of 154 occurs. As a result, the polarization conversion action with respect to the incident light is reduced, so that the polarization state of the observation light OB after passing through the liquid crystal layer 155 becomes, for example, elliptically polarized light as shown in FIG. 3A. It will be in a different state. Therefore, the polarization component that can pass through the polarizing plate 160 in the observation light OB decreases, and the light amount detected by the observation light amount detection unit 35 also decreases.

以上のようにして、液晶パネル１５にレーザ光ＬＢを照射する前後においてそれぞれ液晶パネル１５を透過する観察光ＯＢの光量を検出したら、レーザ光ＬＢの可変パラメータの設定内容に応じた観察光ＯＢの状態の差異に基づいて液晶パネルの耐光性を評価する（第３工程）。例えば、レーザ光ＬＢの照射時間の長短による観察光ＯＢの状態の差異を比較することにより経時劣化を評価することができる。また、レーザ光ＬＢの照射エネルギーの大小による観察光ＯＢの状態の差異を比較することにより、光強度に対する耐性を評価することができる。 As described above, when the light amount of the observation light OB transmitted through the liquid crystal panel 15 is detected before and after the laser light LB is irradiated on the liquid crystal panel 15, the observation light OB corresponding to the setting contents of the variable parameter of the laser light LB is detected. The light resistance of the liquid crystal panel is evaluated based on the state difference (third step). For example, deterioration over time can be evaluated by comparing the difference in the state of the observation light OB depending on the irradiation time of the laser light LB. Moreover, the tolerance with respect to light intensity can be evaluated by comparing the difference in the state of the observation light OB depending on the irradiation energy of the laser light LB.

以上説明した劣化試験方法は、上述の劣化試験装置１００を用いて行なわれるものである。すなわち、単一のレーザ光を複数の被検物に分岐して照射し、これにより生じた被検物の劣化部位を観察することによって、前記被検物の劣化量を評価するものである。この方法においては、レーザ光の強いエネルギーによって被検物である液晶パネル１５，２５に対して短期間に十分な大きさの劣化を生じさせることができる。このため、従来のようにハロゲンランプ等を用いて試験を行なう場合に比べて、試験期間を大幅に短縮することが可能である。一方、レーザ光を複数に分岐して照射しているので、個々の液晶パネルに対しては、適度に光強度を減じた状態のレーザ光を照射することができる。すなわち、液晶パネルに入射させる前に減光板等でレーザ光を吸収させなくても、十分に小さい強度となっているので、無駄になるレーザ光の光量が少なくなり、光利用効率が非常に高いものとなる。さらに、レーザ光ＬＢの照射中、あるいはレーザ光ＬＢの照射を一時的に停止した状態で観察光ＯＢを液晶パネルに照射することができ、レーザ光ＬＢにより劣化処理した液晶パネルの劣化量の検査を簡便にかつ迅速に行なうことができる。 The degradation test method described above is performed using the degradation test apparatus 100 described above. That is, the amount of deterioration of the test object is evaluated by irradiating a plurality of test objects with a single laser beam and observing the deteriorated part of the test object generated thereby. In this method, the liquid crystal panels 15 and 25 as the test objects can be sufficiently deteriorated in a short time by the strong energy of the laser light. For this reason, it is possible to significantly shorten the test period as compared with the conventional case where the test is performed using a halogen lamp or the like. On the other hand, since the laser light is branched into a plurality of light beams, the individual liquid crystal panels can be irradiated with the laser light having a moderately reduced light intensity. That is, even if the laser beam is not absorbed by a light reducing plate or the like before entering the liquid crystal panel, the intensity is sufficiently small, so that the amount of wasted laser light is reduced and the light utilization efficiency is very high. It will be a thing. Further, it is possible to irradiate the liquid crystal panel with the observation light OB during the irradiation of the laser beam LB or in a state where the irradiation of the laser beam LB is temporarily stopped. Can be carried out simply and quickly.

［第２の実施の形態］
図４は、本発明の第２の実施形態に係る劣化試験装置の概略構成を示す図である。なお、第１実施形態の劣化試験装置１００と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。 [Second Embodiment]
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a deterioration test apparatus according to the second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the component which is common in the deterioration test apparatus 100 of 1st Embodiment, and detailed description is abbreviate | omitted.

図４に示す劣化試験装置２００は、劣化処理に用いられるレーザ光を出力するレーザ光出力部１１０と、被検物である液晶パネル１５を支持する被検物支持部１９と、レーザ光出力部１１０から出力されたレーザ光ＬＢ_０を複数のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２に分岐し、分岐された各々のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を被検物支持部１９，２９に支持された液晶パネル１５の複数の部位に照射するレーザ光分岐部１２０と、レーザ光によって劣化された液晶パネル１５の劣化部位を観察する観察部１３０とを備えている。 A degradation test apparatus 200 shown in FIG. 4 includes a laser beam output unit 110 that outputs a laser beam used for degradation processing, a test object support unit 19 that supports a liquid crystal panel 15 that is a test object, and a laser beam output unit. The laser beam LB ₀ output from 110 is branched into a plurality of laser beams LB ₁ and LB ₂ , and each of the branched laser beams LB ₁ and LB ₂ is supported by the test object support portions 19 and 29. 15 includes a laser beam branching unit 120 that irradiates a plurality of 15 sites, and an observation unit 130 that observes a degraded site of the liquid crystal panel 15 that is degraded by the laser beam.

第１実施形態の劣化試験装置１００では、レーザ出力部１１０から出力された一のレーザ光ＬＢ_０を複数の液晶パネルに分岐して照射した。このため、被検物支持部は被検物である液晶パネルの数に対応して複数設けられており、これらを観察するＣＣＤカメラ３４及び観察光源３１も、それぞれの観察位置に移動するための移動手段を備えていた。これに対して、本実施形態の劣化試験装置２００では、分岐した複数のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を同一液晶パネル１５内の複数の部位に照射するようになっている。このため、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を集光する集光レンズ１４以下の構成、すなわち集光レンズ１４、被検物支持部１９及びパワーメータヘッド１８はそれぞれ１組ずつ設けられており、液晶パネル１５を挟む偏光板１７，３６も１対のみ配置されている。また、液晶パネル１５を観察するＣＣＤカメラ３４及び観察光源３１も、近接した複数の劣化部位を同一の観察視野内で観察すればよいため、移動手段は設けられていない。 In the deterioration test apparatus 100 of the first embodiment, and irradiated by branching a laser beam LB ₀ one output from the laser output unit 110 into a plurality of liquid crystal panels. For this reason, a plurality of test object support portions are provided corresponding to the number of liquid crystal panels that are test objects, and the CCD camera 34 and the observation light source 31 for observing these are also moved to the respective observation positions. It was equipped with moving means. On the other hand, in the deterioration test apparatus 200 of the present embodiment, a plurality of branched laser beams LB ₁ and LB ₂ are irradiated to a plurality of parts in the same liquid crystal panel 15. For this reason, the configuration below the condensing lens 14 for condensing the laser beams LB ₁ and LB _2, that is, the condensing lens 14, the test object support portion 19, and the power meter head 18 are provided one by one. Only one pair of polarizing plates 17 and 36 sandwiching the panel 15 is also arranged. Further, the CCD camera 34 and the observation light source 31 for observing the liquid crystal panel 15 are also provided with no moving means because it is sufficient to observe a plurality of adjacent deteriorated parts within the same observation field.

これ以外の構成については、第１実施形態と同様である。したがって、以下の説明では、第１実施形態との主な相違点であるレーザ光分岐部１２０の構成を中心にして説明を行なう。 Other configurations are the same as those in the first embodiment. Therefore, in the following description, the description will focus on the configuration of the laser beam branching unit 120, which is the main difference from the first embodiment.

レーザ光分岐部１２０は、レーザ光出力部１１０から出力されたレーザ光ＬＢ_０を複数のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２に分岐するハーフミラー１３及びミラー５１，５２，５３と、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光量を調節するＮＤフィルタ１２，３０と、分岐されたレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を液晶パネル１５内の近接した部位に向けて反射する反射プリズム５０と、反射プリズム５０で反射された複数のレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２を所定のスポット径に調節する集光レンズ１４５と、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光量を測定するパワーメータヘッド１８及びパワーメータ３３とを備えている。 The laser beam branching unit 120 splits the laser beam LB ₀ output from the laser beam output unit 110 into a plurality of laser beams LB ₁ and LB ₂ , mirrors 51, 52, and 53, and laser beams LB ₁ , the ND filter 12, 30 for adjusting the amount of LB _2, the reflecting prism 50 for reflecting the laser beam _LB 1, LB ₂ which is branched to the portion adjacent in the liquid crystal panel 15, is reflected by the reflecting prism 50 A condensing lens 145 that adjusts the plurality of laser beams LB ₁ and LB ₂ to a predetermined spot diameter, a power meter head 18 and a power meter 33 that measure the light amounts of the laser beams LB ₁ and LB ₂ are provided.

レーザ光出力部１１０から出力されたレーザ光ＬＢ_０は、ＮＤフィルタ１２により測定に必要な光量に絞られた後、ハーフミラー１３に入射する。ここで反射されたレーザ光ＬＢ_１は、ミラー５１及び反射プリズム５０によって反射されて集光レンズ１４に入射し、集光レンズ１４により所定のスポット径に調整された後、被検物である液晶パネル１５の第１の試験対象領域に照射される。一方、ハーフミラー１３を透過したレーザ光は、ＮＤフィルタ３０により所定の光量に絞られた後、ミラー５２、ミラー５３及び反射プリズム５０によって反射されて集光レンズ２４に入射し、集光レンズ２４により所定のスポット径に調節された後、同一被検物である液晶パネル１５の第２の試験対象領域に照射される。 The laser beam LB ₀ output from the laser beam output unit 110 is narrowed down to a light amount necessary for measurement by the ND filter 12 and then enters the half mirror 13. The laser beam LB ₁ reflected here is reflected by the mirror 51 and the reflecting prism 50, enters the condenser lens 14, is adjusted to a predetermined spot diameter by the condenser lens 14, and is then a liquid crystal as a test object. The first test area of the panel 15 is irradiated. On the other hand, the laser light transmitted through the half mirror 13 is focused to a predetermined light quantity by the ND filter 30, then reflected by the mirror 52, the mirror 53, and the reflecting prism 50 and incident on the condenser lens 24. After adjusting to a predetermined spot diameter by the above, the second test target region of the liquid crystal panel 15 which is the same test object is irradiated.

反射プリズム５０は、レーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２の光路に対して進退自在に設けられている。そして、その進退量を変えることで、２つのレーザ光が照射される液晶パネル１５内の部位（試験対象領域）を調節できるようになっている。また、反射プリズム５０は、集光レンズ１４の光軸に対しても進退自在に設けられており、ＣＣＤカメラ３４により液晶パネル１５を観察する場合には、反射プリズム５０を集光レンズ１４の光軸から外して観察を行なえるようになっている。 The reflecting prism 50 is provided so as to be able to advance and retract with respect to the optical paths of the laser beams LB ₁ and LB ₂ . Then, by changing the amount of advance / retreat, the part (test target area) in the liquid crystal panel 15 irradiated with two laser beams can be adjusted. The reflecting prism 50 is also provided so as to be able to advance and retreat with respect to the optical axis of the condenser lens 14. When the liquid crystal panel 15 is observed by the CCD camera 34, the reflecting prism 50 is used as the light of the condenser lens 14. The observation can be performed off the axis.

このレーザ光分岐部１２０では、第１の試験対象領域に入射されるレーザ光ＬＢ_１の光量は、第１の光量調節手段であるＮＤフィルタ１２及びハーフミラー１３によって調節され、第２の試験対象領域に入射されるレーザ光ＬＢ_２の光量は、第２の光量調節手段であるハーフミラー１３及びＮＤフィルタ３０によって調節される。各試験対象領域に照射される光量はそれぞれ独立に設定することができ、これらを同一とすることも、異ならせることも可能である。 In the laser beam branching unit 120, the light amount of the laser light LB ₁ incident on the first test target region is adjusted by the ND filter 12 and the half mirror 13 which are the first light amount adjusting means, and the second test target. The light quantity of the laser beam LB ₂ incident on the region is adjusted by the half mirror 13 and the ND filter 30 which are second light quantity adjusting means. The amount of light applied to each test target area can be set independently, and can be the same or different.

液晶パネル１５、偏光板１７，３６、観察光源３１及びＣＣＤカメラ３４は、集光レンズ１４の光軸上に設けられている。すなわち、観察光ＯＢの光路はレーザ光の光路と平行な光路上に設けられている。 The liquid crystal panel 15, the polarizing plates 17 and 36, the observation light source 31 and the CCD camera 34 are provided on the optical axis of the condenser lens 14. That is, the optical path of the observation light OB is provided on an optical path parallel to the optical path of the laser light.

偏光板３６とＣＣＤカメラ３４との間には、シャッタ５４が設けられている。シャッタ５４は、観察光ＯＢの光路に対して進退自在の遮光素子である。かかるシャッタ５４によりレーザ照射中に観察光路を遮断することで、液晶パネル１５等によって不用意に反射されたレーザ光ＬＢ_１，ＬＢ_２によってＣＣＤカメラ３４が破損されることを防止することができる。 A shutter 54 is provided between the polarizing plate 36 and the CCD camera 34. The shutter 54 is a light shielding element that can move forward and backward with respect to the optical path of the observation light OB. By blocking the observation optical path during laser irradiation by the shutter 54, it is possible to prevent the CCD camera 34 from being damaged by the laser beams LB ₁ and LB ₂ carelessly reflected by the liquid crystal panel 15 or the like.

図５は、ＣＣＤカメラ３４によって液晶パネル１５を観察する際の観察視野ＯＡを示す模式図である。図５（ａ）は、２つの試験対象領域Ｐ_Ｓを近接して設けた状態を示す図、図５（ｂ）は、２つの試験対象領域Ｐ_Ｓを離れた位置に設けた状態を示す図、図５（ｃ）は、４つの試験対象領域Ｐ_Ｓを互いに近接して設けた状態を示す図である。観察視野ＯＡにおいて格子状に配置されているのは、液晶パネル１５の遮光膜１５８である。 FIG. 5 is a schematic diagram showing an observation field OA when the liquid crystal panel 15 is observed by the CCD camera 34. 5 (a) is a diagram showing two test subject area P _{state S} was provided adjacent, and FIG. 5 (b) is a diagram showing a state in which is provided at a position away two test subject area P _S , 5 (c) is a diagram showing a state which is provided close to each other the four test subject area P _S. The light shielding film 158 of the liquid crystal panel 15 is arranged in a lattice pattern in the observation visual field OA.

図５（ａ）において、２つの試験対象領域Ｐ_Ｓは遮光膜１５８を避けた位置に設けられている。レーザ光は、スポット径を絞ることによって照射領域（試験対象領域）を微小化できるため、このような微小な領域のみを選択的に照射することも可能になるのである。試験対象領域を微小化して特定の領域のみを劣化させることは、劣化のメカニズムを単純化する上で有効な方法である。例えば、図５（ａ）のように遮光膜１５８を避けて画素Ｐの透過領域のみにレーザ光を照射した場合には、遮光膜１５８の温度上昇による測定誤差の影響をなくして、純粋に光照射のみの影響を調べることが可能になる。また、複数の試験対象領域Ｐ_Ｓを近接して配置することで、劣化部位が見やすくなり、劣化の評価も精度の高いものとなる。 In FIG. 5 (a), 2 single test subject area P _S is provided at a position avoiding the light-shielding film 158. Since the irradiation region (test target region) can be miniaturized by reducing the spot diameter, the laser light can be selectively irradiated only on such a small region. It is an effective method for simplifying the degradation mechanism to reduce the size of the test target area and degrade only a specific area. For example, as shown in FIG. 5A, when the laser light is irradiated only on the transmission region of the pixel P while avoiding the light shielding film 158, the influence of the measurement error due to the temperature rise of the light shielding film 158 is eliminated, and the light is purely emitted. It becomes possible to examine the effects of irradiation alone. Further, by disposing proximate a plurality of test target areas P _S, deteriorated portion becomes easy to see, the evaluation of deterioration becomes high accuracy.

図５（ｂ）においては、２つの試験対象領域Ｐ_Ｓは２画素分離れた位置に設けられている。この方法によれば、２つの劣化部位が干渉しないため、純粋に１画素Ｐのみの劣化の状態を調べることが可能である。 In FIG. 5 (b), 2 single test subject area P _S is provided in the two pixels away. According to this method, since the two degradation sites do not interfere with each other, it is possible to examine the degradation state of only one pixel P.

図５（ｃ）においては、同一液晶パネル１５内に４つの試験対象領域Ｐ_Ｓが設けられている。試験対象領域Ｐ_Ｓを増やすことは、図４のレーザ光分岐部１２０の構成に若干の設計変更を加えることによって実現可能である。図５（ｃ）では４つの試験対象領域Ｐ_Ｓが上下及び左右の２方向に配列されており、２次元的な広がりを持った配置となっている。この方法は、同一視野内に全ての試験対象領域Ｐ_Ｓを配置する上で有効な方法であり、また複数の劣化部位が面的な広がりを持って配置されるので、劣化部位をより見やすくするという点でも有利である。ただし、これらの試験対象領域Ｐ_Ｓは必ずしも２次元的に配列される必要はなく、上下方向のみ又は左右方向のみというように１次元的に配列させることも可能である。 In FIG. 5 (c), 4 single test subject area P _S are provided on the same liquid crystal panel 15. Increasing the test subject area P _S can be realized by adding a slight design change to the configuration of the laser beam branching unit 120 of FIG. In FIG. 5 (c) is four test subject area P _S are arranged in two directions of vertical and horizontal, and has a configuration having a two-dimensional spread. This method is an effective way to place all of the test target area P _S in the same field of view, and since a plurality of deteriorated portion is arranged with a surface expanse, more visible degradation site This is also advantageous. However, these test subject area P _S need not necessarily be arranged two-dimensionally, it is also possible to one-dimensionally arranged so that the vertical direction only or the horizontal direction only.

以上説明した劣化試験方法においては、同一液晶パネル内の複数の劣化部位（試験対象領域Ｐ_Ｓ）を同一観察視野内に収めて観察するものとしている。このため、第１実施形態のようにＣＣＤカメラ３４及び観察光源３１をそれぞれの観察位置に移動して観察を行なう場合に比べて、効率的な観察が可能である。また、複数の劣化部位が近接した位置に配置されることで、劣化部位が見やすくなり、劣化の評価も精度の高いものとなる。 In the degradation test method described above, a plurality of degradation sites (test target region P _S ) in the same liquid crystal panel are observed within the same observation field. For this reason, compared with the case where the CCD camera 34 and the observation light source 31 are moved to the respective observation positions as in the first embodiment, the observation can be performed more efficiently. Further, since the plurality of deteriorated parts are arranged at close positions, the deteriorated parts can be easily seen, and the evaluation of deterioration is also highly accurate.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。例えば、上記実施形態では、被検物の一例として液晶パネルを用いたが、被検物は必ずしも液晶パネルに限られるものではなく、光によって劣化される種々の光学素子の劣化試験に対して本発明を広く適用可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, a liquid crystal panel is used as an example of the test object. However, the test object is not necessarily limited to the liquid crystal panel, and this test is performed for deterioration tests of various optical elements that are deteriorated by light. The invention is widely applicable.

第１実施形態に係る劣化試験装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the deterioration test apparatus which concerns on 1st Embodiment. 被検物の一例である液晶パネルの断面構造を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the cross-section of the liquid crystal panel which is an example of a test object. 劣化試験方法の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of a deterioration test method. 第２実施形態に係る劣化試験装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the deterioration test apparatus which concerns on 2nd Embodiment. 複数の劣化部位を同一観察視野内で観察した様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a mode that several deterioration site | parts were observed within the same observation visual field.

Explanation of symbols

１５，２５…液晶パネル（被検物）、３２，３５…駆動装置（移動手段）、１００，２００…劣化試験装置、１１０…レーザ光出力部、１２０…レーザ光分岐部、１３０…観察部、ＬＢ_０，ＬＢ_１，ＬＢ_２…レーザ光、ＯＡ…観察視野、ＯＰ１，ＯＰ２…観察位置、Ｐ_Ｓ…試験対象領域（劣化部位）

DESCRIPTION OF SYMBOLS 15, 25 ... Liquid crystal panel (test object), 32, 35 ... Drive apparatus (moving means), 100, 200 ... Degradation test apparatus, 110 ... Laser beam output part, 120 ... Laser beam branch part, 130 ... Observation part, LB ₀ , LB ₁ , LB ₂ ... Laser light, OA... Observation field of view, OP 1 and OP 2... Observation position, P _S.

Claims

A deterioration test apparatus for evaluating light resistance of a test object,
A laser beam output unit for outputting a laser beam used for the degradation treatment of the test object;
A degradation test apparatus comprising: a laser beam branching unit that branches the laser beam output from the laser beam output unit and irradiates the plurality of specimens or a plurality of parts in the same specimen. .

The deterioration test apparatus according to claim 1, wherein the laser beam branching unit branches the laser beam output from the laser beam output unit into a plurality of laser beams each having a light amount adjusted.

The deterioration test apparatus according to claim 1, further comprising an observation unit that observes the test object.

4. The deterioration test apparatus according to claim 3, wherein the observation unit observes a plurality of deterioration portions of the test object within the same observation field.

The deterioration test apparatus according to claim 3, further comprising a moving unit that moves the observation unit to an observation position of the plurality of deterioration portions.

6. A deterioration test apparatus according to claim 5, further comprising storage means for storing a plurality of the observation positions.