JP2007107574A - 変位検出器を備えた流体圧駆動機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ピストンロッド13の所定箇所にレーザ照射することによって照射部分が高温となり、ピストンロッド13のレーザ照射された部分が変質することにより酸化膜22を形成するようにした。隣り合う酸化膜22の間には、反射率が異なるピストンロッド13に何も加工してない無垢の状態の非加工部分25が形成される。これにより、スケール形成のための加工工数を低減でき、丈夫な酸化膜をスケールとするので容易に剥離したり発錆したりしない。また、スケールの凹凸は微小でありロッドパッキンのダメージを低減でき、可動部材としてのピストンロッドそのものにスケールを形成するので大型化を回避できる。
【選択図】図1
Description
13 ピストンロッド(可動部材、直線運動部材)
17 エンコーダ(変位検出器)
18 ケース部材(非可動部側)
19 ロッドパッキン(パッキンシール)
22 酸化膜
23 レーザノズル
24 スケール
25 非加工部分(可動部材の表面における他の部分)
27 発光ダイオード(光源部)
28 受光部
40 揺動形アクチュエータ(流体圧駆動機器)
48 旋回部材(可動部材、旋回運動部材)
Claims (4)
- 流体の圧力によって変位する可動部材を有し、当該可動部材の変位を検出する変位検出器を備えた流体圧駆動機器であって、
前記可動部材の表面にその運動方向に交差して所定間隔で形成されるスケールと、
該スケールに対向して前記流体圧駆動機器の非可動部側に設けられ、光源部と当該光源部から出力される光の前記スケールからの反射光を受光する受光部とを有する前記変位検出器と、を備え、
前記スケールは、前記可動部材の表面にレーザ照射して生成される酸化膜であり、当該酸化膜における光の反射率を、前記可動部材の表面における他の部分と異ならせたことを特徴とする変位検出器を備えた流体圧駆動機器。 - 請求項1記載の変位検出器を備えた流体圧駆動機器において、前記酸化膜の光の反射率を10%以下に設定したことを特徴とする変位検出器を備えた流体圧駆動機器。
- 請求項1または2記載の変位検出器を備えた流体圧駆動機器において、前記可動部材がリニア形アクチュエータの直線運動部材であることを特徴とする変位検出器を備えた流体圧駆動機器。
- 請求項1または2記載の変位検出器を備えた流体圧駆動機器において、前記可動部材が旋回形アクチュエータの旋回運動部材であることを特徴とする変位検出器を備えた流体圧駆動機器。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150067000A (ko) * | 2013-12-09 | 2015-06-17 | 삼성전자주식회사 | 유체압 액츄에이터 |
KR101712782B1 (ko) * | 2016-06-08 | 2017-03-06 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 실린더 변위 측정 장치 및 이를 포함하는 굴삭기 |
CN112145400A (zh) * | 2019-06-28 | 2020-12-29 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 用于压缩机的控制装置及制冷设备 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITVR20130191A1 (it) * | 2013-08-07 | 2015-02-08 | Giuliani S R L | Unitá cilindro-pistone e metodo di rilevamento in continuo della posizione reciproca tra il cilindro ed il pistone di tale unitá. |
CN104343767B (zh) * | 2014-10-10 | 2017-05-31 | 长沙中联消防机械有限公司 | 一种油缸行程测量设备、系统、工程机械及方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59164406A (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-17 | Taiyo Tekko Kk | ストローク位置検出用ピストンロッドの製造方法 |
JPS61202702U (ja) * | 1985-06-11 | 1986-12-19 | ||
JPH02138508A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-28 | Komatsu Ltd | アブソリュート形ビットパターン付きロッド |
JPH0317280A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 色彩模様板の製造方法 |
JPH06136495A (ja) * | 1992-10-28 | 1994-05-17 | Showa Alum Corp | 電解コンデンサ電極用アルミニウム材料の製造方法 |
JPH06212451A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-08-02 | Osaka Prefecture | 金属表面の加飾加工方法 |
JPH0761198A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-07 | Yoshioka Fujio | レーザによる金属のカラーマーキング方法 |
JPH0950322A (ja) * | 1996-08-05 | 1997-02-18 | Yotaro Hatamura | 変位スケール付き直線運動装置 |
JPH1133754A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-02-09 | Amada Co Ltd | レーザ加工機による酸化被膜除去方法 |
JP2001520395A (ja) * | 1997-10-17 | 2001-10-30 | ビショップ イノヴェーション リミテッド | 光学トルクトランスデュサーの製造方法 |
JP2003166855A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式エンコーダ |
-
2005
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-
2006
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59164406A (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-17 | Taiyo Tekko Kk | ストローク位置検出用ピストンロッドの製造方法 |
JPS61202702U (ja) * | 1985-06-11 | 1986-12-19 | ||
JPH02138508A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-28 | Komatsu Ltd | アブソリュート形ビットパターン付きロッド |
JPH0317280A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 色彩模様板の製造方法 |
JPH06136495A (ja) * | 1992-10-28 | 1994-05-17 | Showa Alum Corp | 電解コンデンサ電極用アルミニウム材料の製造方法 |
JPH06212451A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-08-02 | Osaka Prefecture | 金属表面の加飾加工方法 |
JPH0761198A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-07 | Yoshioka Fujio | レーザによる金属のカラーマーキング方法 |
JPH0950322A (ja) * | 1996-08-05 | 1997-02-18 | Yotaro Hatamura | 変位スケール付き直線運動装置 |
JPH1133754A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-02-09 | Amada Co Ltd | レーザ加工機による酸化被膜除去方法 |
JP2001520395A (ja) * | 1997-10-17 | 2001-10-30 | ビショップ イノヴェーション リミテッド | 光学トルクトランスデュサーの製造方法 |
JP2003166855A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式エンコーダ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150067000A (ko) * | 2013-12-09 | 2015-06-17 | 삼성전자주식회사 | 유체압 액츄에이터 |
JP2015113868A (ja) * | 2013-12-09 | 2015-06-22 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 流体圧アクチュエータ |
KR102207212B1 (ko) * | 2013-12-09 | 2021-01-25 | 삼성전자주식회사 | 유체압 액츄에이터 |
KR101712782B1 (ko) * | 2016-06-08 | 2017-03-06 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 실린더 변위 측정 장치 및 이를 포함하는 굴삭기 |
CN112145400A (zh) * | 2019-06-28 | 2020-12-29 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 用于压缩机的控制装置及制冷设备 |
CN112145400B (zh) * | 2019-06-28 | 2022-08-02 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 用于压缩机的控制装置及制冷设备 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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