JP2007102965A - Method for manufacturing optical integrated unit, method for manufacturing optical pickup apparatus and manufacturing apparatus of optical integrated unit - Google Patents

Method for manufacturing optical integrated unit, method for manufacturing optical pickup apparatus and manufacturing apparatus of optical integrated unit Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an optical integrated unit in which the attachment accuracy of a light receiving means is high and a method for manufacturing an optical pickup apparatus in which the accuracy of relative positions between the optical integrated unit and an objective lens is high. <P>SOLUTION: The manufacturing method is provided with a process for adjusting an attaching position of a light receiving means on the basis of a detection signal generated in a first light receiving part by non-diffraction light out of the non-diffraction light and diffraction light generated by separating return light by a diffraction means. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、光集積ユニットの製造方法および光ピックアップ装置の製造方法に関するものである。より詳細には、光集積ユニットにおける受光素子の取り付け位置精度の向上により安定した信号検出が可能な光集積ユニットの製造方法、および、光ピックアップに搭載される光集積ユニットの取り付け位置精度の向上により安定した信号検出が可能な光ピックアップ装置の製造方法に関するものである。   The present invention relates to an optical integrated unit manufacturing method and an optical pickup device manufacturing method. More specifically, by improving the mounting position accuracy of the optical integrated unit mounted on the optical pickup and the manufacturing method of the optical integrated unit capable of stable signal detection by improving the mounting position accuracy of the light receiving element in the optical integrated unit. The present invention relates to a method of manufacturing an optical pickup device capable of stable signal detection.

近年、高画質の動画等を記録するために光ディスクなどの光記録媒体の情報記録容量を高密度化、大容量化すること、さらに、この光ディスクをモバイル用途で使用するために光ピックアップ装置を小型軽量化することが強く望まれている。   In recent years, the information recording capacity of optical recording media such as optical discs has been increased in density and capacity in order to record high-quality moving pictures and the like, and the optical pickup device has been reduced in size for use in mobile applications. There is a strong demand for weight reduction.

そこで、小型軽量化の要求に対応して様々な集積化ピックアップが提案されている。例えば、特許文献1には、ホログラム素子とビームスプリッタとを備えた光集積ユニットおよび、それを備えた光ピックアップ装置が提案されている。   In view of this, various integrated pickups have been proposed in response to the demand for reduction in size and weight. For example, Patent Document 1 proposes an optical integrated unit including a hologram element and a beam splitter and an optical pickup device including the optical integrated unit.

はじめに、図19〜図21に基づいて、この光集積ユニットと光ピックアップ装置の原理を説明する。   First, the principle of the optical integrated unit and the optical pickup device will be described with reference to FIGS.

図19は、この光ピックアップ装置の構成図である。光集積ユニット101に搭載された光源からの出射光がコリメータレンズ102により平行光にされた後、対物レンズ103を介して光ディスク104上に集光される。そして、光ディスク104から反射した戻り光は再び対物レンズ103、コリメータレンズ102を介して、光集積ユニット101に搭載された受光素子110上に集光される。光ディスク104は、基板104a、光ビームが透過するカバー層104b、情報の記録再生に用いられる記録層104cで構成されている。   FIG. 19 is a configuration diagram of the optical pickup device. Light emitted from the light source mounted on the optical integrated unit 101 is collimated by the collimator lens 102 and then condensed on the optical disc 104 via the objective lens 103. Then, the return light reflected from the optical disk 104 is condensed again on the light receiving element 110 mounted on the optical integrated unit 101 via the objective lens 103 and the collimator lens 102. The optical disc 104 includes a substrate 104a, a cover layer 104b through which a light beam is transmitted, and a recording layer 104c used for recording / reproducing information.

図20は、この光集積ユニット101の詳細な構造を示す図である。半導体レーザ(光源)105から出射した光120(光軸中心122)は3ビーム用回折格子106によってメインビーム(0次回折光)と2つのサブビーム(±1次回折光)に分割され、複合プリズム107の偏光ビームスプリッタ(PBS)面107aを通過し、1/4波長板108を透過して、コリメータレンズ102に向かう。なお、図の煩雑を避けるため、サブビーム(±1次回折光)は図示していない。   FIG. 20 is a diagram showing a detailed structure of the optical integrated unit 101. The light 120 (optical axis center 122) emitted from the semiconductor laser (light source) 105 is divided into a main beam (0th-order diffracted light) and two sub-beams (± 1st-order diffracted light) by the three-beam diffraction grating 106. The light passes through the polarization beam splitter (PBS) surface 107 a, passes through the quarter-wave plate 108, and travels toward the collimator lens 102. In order to avoid complication of the drawing, the sub beam (± first order diffracted light) is not shown.

そして、戻り光121は1/4波長板108を透過してPBS面107aおよび、反射ミラー面107bで反射され、ホログラム素子109に入射する。ホログラム素子109に入射した戻り光121は回折されて+1次回折光(光軸中心125a)と−1次回折光(光軸中心125b)に分割され、受光素子110に入射する。なお、図の煩雑を避けるため、戻り光121については光軸中心の光線のみを図示している。   Then, the return light 121 passes through the quarter-wave plate 108, is reflected by the PBS surface 107 a and the reflection mirror surface 107 b, and enters the hologram element 109. The return light 121 incident on the hologram element 109 is diffracted and divided into + 1st order diffracted light (optical axis center 125a) and −1st order diffracted light (optical axis center 125b), and enters the light receiving element 110. In order to avoid complication of the drawing, only the light beam centered on the optical axis is shown as the return light 121.

ここで、半導体レーザ105から出射した光は偏光方向がx方向の直線偏光(P偏光)であり、PBS面107aを透過後、1/4波長板108で円偏光にされ、光ディスク104に入射する。光ディスク104からの戻り光は再び1/4波長板108に入射してy方向の直線偏光(S偏光)になってPBS面107aで反射される。   Here, the light emitted from the semiconductor laser 105 is linearly polarized light (P-polarized light) whose polarization direction is the x direction, is transmitted through the PBS surface 107a, is circularly polarized by the quarter wavelength plate 108, and enters the optical disk 104. . The return light from the optical disk 104 is incident on the quarter-wave plate 108 again, becomes y-direction linearly polarized light (S-polarized light), and is reflected by the PBS surface 107a.

したがって、半導体レーザ105から出射した光を、メインビーム・サブビーム共にほとんど全て光ディスク104に導くとともに、戻り光もほとんど全て受光素子110に導くことができるため光利用効率が高い。   Therefore, almost all of the light emitted from the semiconductor laser 105 is guided to the optical disk 104 in both the main beam and the sub beam, and almost all of the return light can be guided to the light receiving element 110, so that the light utilization efficiency is high.

図21は、ホログラム素子109のホログラムパターンと受光素子110の受光部パターンを説明する図である。ホログラム素子109は光ディスク104の半径方向に相当するx方向の分割線109xとトラックに沿った方向に相当するy方向の分割線109yによって、109a〜109cの3つの領域に分割されている。受光素子110はホログラム素子109による+1次回折光を検出する110a〜110fの6つの受光部と−1次回折光を検出する110g〜110iの3つの受光部から構成されている。そして、+1次回折光でシングルナイフエッジ法によるフォーカス誤差信号(FES)と差動プッシュプル(DPP)法によるトラッキング誤差信号(TES)とを検出し、−1次回折光で情報信号(RF信号)と位相差(DPD)法によるTESとを検出するようになっている。   FIG. 21 is a diagram for explaining the hologram pattern of the hologram element 109 and the light receiving portion pattern of the light receiving element 110. The hologram element 109 is divided into three regions 109a to 109c by a dividing line 109x in the x direction corresponding to the radial direction of the optical disc 104 and a dividing line 109y in the y direction corresponding to the direction along the track. The light receiving element 110 includes six light receiving portions 110a to 110f that detect + 1st order diffracted light by the hologram element 109 and three light receiving portions 110g to 110i that detect −1st order diffracted light. Then, a focus error signal (FES) by the single knife edge method and a tracking error signal (TES) by the differential push-pull (DPP) method are detected with the + 1st order diffracted light, and an information signal (RF signal) is detected with the -1st order diffracted light. TES by the phase difference (DPD) method is detected.

FES検出やDPP法によるTES検出のようなサーボ信号検出に要求される受光素子の周波数応答は、一般的に、RF信号に比べて十分低い周波数でも検出可能である。一方、RF信号や位相差(DPD)法を用いたTES検出には高速応答の受光素子が必要とされている。   The frequency response of the light receiving element required for servo signal detection such as FES detection or TES detection by the DPP method is generally detectable even at a sufficiently lower frequency than the RF signal. On the other hand, a high-speed light-receiving element is required for TES detection using an RF signal or a phase difference (DPD) method.

また、受光素子110の設計には、RF信号検出用の受光部にはRF信号の高速再生に対応するため受光部面積をより小さくする必要がある一方で、FES検出用の受光部には応答は遅くても良いが、その引き込み範囲を十分確保するために受光部の面積を大きく保つ必要があるという両立が困難な2つの要求があった。従来技術では、+1次回折光と−1次回折光の両方を利用して、それぞれに信号生成の役割分担をさせることで、RF信号の高速化とFES信号の引き込み範囲の確保を両立している。   In designing the light receiving element 110, the light receiving portion for detecting the RF signal needs to have a smaller light receiving portion area in order to cope with high-speed reproduction of the RF signal, while the light receiving portion for detecting the FES has a response. However, there are two requirements that make it difficult to achieve both the necessity of keeping the area of the light receiving portion large in order to ensure a sufficient pull-in range. In the prior art, both the + 1st order diffracted light and the −1st order diffracted light are used to share the role of signal generation, thereby achieving both high-speed RF signal and securing the FES signal pull-in range.

光集積ユニットにおいて安定した検出信号を得るためには、該光集積ユニットの製造工程において、受光手段に入射する戻り光が該受光手段に備えられた受光部に正確に入射するよう、光源から受光手段に至る光路上に存在する光学系構成要素を配置する必要がある。上記光集積ユニット101に即して言えば、受光素子110に備えられた各受光部(110a〜110i)に、ホログラム素子109で回折された+1次回折光(光軸中心125a)と−1次回折光(光軸中心125b)が正しく入射するよう、受光素子110、あるいは、戻り光を受光素子110に導くビームスプリッタ107を取り付ける必要がある。   In order to obtain a stable detection signal in the integrated optical unit, in the manufacturing process of the integrated optical unit, the return light incident on the light receiving unit is received from the light source so that it accurately enters the light receiving unit provided in the light receiving unit. It is necessary to arrange the optical system components existing on the optical path to the means. Speaking of the optical integrated unit 101, + 1st order diffracted light (optical axis center 125a) and −1st order diffracted light diffracted by the hologram element 109 are received by the light receiving portions (110a to 110i) provided in the light receiving element 110. It is necessary to attach the light receiving element 110 or the beam splitter 107 that guides the return light to the light receiving element 110 so that the (optical axis center 125b) is correctly incident.

また、上記ホログラム素子109のように、ホログラムパターンを有する回折手段を備えた光集積ユニットにおいては、その製造工程において、回折手段に入射する戻り光が上記ホログラムパターンにより正しく分割されるよう、回折手段を戻り光の光軸に対して正しい位置に取り付ける必要がある。回折手段が所定の位置に取り付けられていない場合、回折光を受光する受光部において、回折光が正しく受光部に入射しないという問題を生じる。   Further, in the optical integrated unit including the diffraction means having the hologram pattern as in the hologram element 109, the diffraction means so that the return light incident on the diffraction means is correctly divided by the hologram pattern in the manufacturing process. Must be mounted in the correct position with respect to the optical axis of the return light. When the diffracting means is not attached at a predetermined position, there arises a problem that the diffracted light does not correctly enter the light receiving unit in the light receiving unit that receives the diffracted light.

上記光集積ユニット101においては、ホログラム素子109とビームスプリッタ107とは一体化されている。一体化されたホログラム素子109とビームスプリッタ107とを、光源105から出射した光120の光軸122を軸に回転調整することよって、受光素子110へ入射する戻り光の集光スポットを、図示したy軸方向へ移動させることができる。これにより、FESオフセットを補正することが可能である。   In the optical integrated unit 101, the hologram element 109 and the beam splitter 107 are integrated. The integrated hologram element 109 and beam splitter 107 are rotationally adjusted around the optical axis 122 of the light 120 emitted from the light source 105, thereby showing the condensed spot of the return light incident on the light receiving element 110. It can be moved in the y-axis direction. Thereby, it is possible to correct the FES offset.

また、例えば、特許文献2には、受光素子の出力信号をモニタリングしながら受光素子の位置調整を行うことで、半導体レーザと受光素子との相対位置を精密に調整する光ピックアップデバイスの製造方法が開示されている。   For example, Patent Document 2 discloses an optical pickup device manufacturing method that precisely adjusts the relative position between a semiconductor laser and a light receiving element by adjusting the position of the light receiving element while monitoring the output signal of the light receiving element. It is disclosed.

図22に基づいて、この光ピックアップデバイスの構成とその製造方法の原理とを説明する。   Based on FIG. 22, the structure of this optical pickup device and the principle of the manufacturing method will be described.

図22は、特許文献2に示された光ピックアップデバイス201の構造を示す構成図である。   FIG. 22 is a configuration diagram showing the structure of the optical pickup device 201 disclosed in Patent Document 2. As shown in FIG.

半導体レーザ(光源)205から出射した光ビーム220は3ビーム用回折格子231によってメインビーム(0次回折光)と2つのサブビーム(±1次回折光)に分割され、ホログラム素子232を透過して光ディスクに向けて出射される。なお、図の煩雑を避けるため、サブビーム(±1次回折光)は図示していない。光ディスクからの戻り光221はホログラム素子232で回折されて、回折光221が受光素子210に入射する。   The light beam 220 emitted from the semiconductor laser (light source) 205 is divided into a main beam (0th order diffracted light) and two sub beams (± 1st order diffracted light) by the three-beam diffraction grating 231, and passes through the hologram element 232 to be an optical disc. It is emitted toward. In order to avoid complication of the drawing, the sub beam (± first order diffracted light) is not shown. The return light 221 from the optical disk is diffracted by the hologram element 232, and the diffracted light 221 enters the light receiving element 210.

半導体レーザ205は、回折光が透過する開口部が形成されたキャップ217bとベース217aとにより構成されるパッケージ217に収納されている。3ビーム用回折格子231およびホログラム素子232は透明基板215に形成されており、該透明基盤215はキャップ217上に機械精度により無調整で接着固定されている。   The semiconductor laser 205 is housed in a package 217 including a cap 217b and a base 217a in which an opening through which diffracted light is transmitted is formed. The three-beam diffraction grating 231 and the hologram element 232 are formed on a transparent substrate 215, and the transparent substrate 215 is bonded and fixed on the cap 217 without adjustment by mechanical accuracy.

受光素子210は基板219を介してベース217aに取り付けられる。受光素子210と基板219とのベース217aに対する位置は、ホログラム素子232により回折された回折光221を検出する受光素子210から出力される出力信号に基づいて調整される。すなわち、受光素子210からの出力信号をモニタリングし、該出力信号が所定の値になった状態で基板219とベース217aとが固定される。その結果、受光素子210と戻り光の相対位置を正確に位置決めすることができるようになる。   The light receiving element 210 is attached to the base 217a through the substrate 219. The positions of the light receiving element 210 and the substrate 219 relative to the base 217 a are adjusted based on an output signal output from the light receiving element 210 that detects the diffracted light 221 diffracted by the hologram element 232. That is, the output signal from the light receiving element 210 is monitored, and the substrate 219 and the base 217a are fixed in a state where the output signal becomes a predetermined value. As a result, the relative position between the light receiving element 210 and the return light can be accurately determined.

また、特許文献3には、回折手段により分離された非回折光および回折光を受光する光ヘッド装置が開示されている。上記光ヘッド装置の製造方法においては、回折光から検出される出力信号からROT信号(回転誤差信号)を生成し、このROT信号に基づいて回折手段を回転し、該回折手段の取り付け角度が調整される。
特開2001−273666号公報(2001年10月5日公開) 特開2003− 59094号公報(2003年2月28日公開) 特開2002−190125号公報(2002年7月5日公開) 特開2001−250250号公報(2001年9月14日公開) 特開2002−157771号公報(2002年5月31日公開)
Patent Document 3 discloses an optical head device that receives non-diffracted light and diffracted light separated by a diffraction means. In the method of manufacturing the optical head device, an ROT signal (rotation error signal) is generated from an output signal detected from the diffracted light, the diffractive means is rotated based on the ROT signal, and the mounting angle of the diffractive means is adjusted. Is done.
JP 2001-273666 A (published October 5, 2001) JP 2003-59094 A (published February 28, 2003) JP 2002-190125 A (released July 5, 2002) Japanese Patent Laid-Open No. 2001-250250 (published September 14, 2001) JP 2002-157771 A (published on May 31, 2002)

しかしながら、従来の光集積ユニットの製造方法において、受光手段は、回折手段により回折された回折光を受光する受光部において該回折光によって生成される検出信号に基づいて、その取り付け位置を調整されていた。このため、受光手段の取り付け位置は、回折手段の公差の影響(格子間隔のばらつきによる回折角の変動など)、あるいは、回折手段の取り付け位置の誤差の影響により変化してしまうという問題があった。従って、非回折光が上記受光手段に備えられた非回折光を受光する受光部に正しく受光されるよう受光手段の取り付け位置を調整することは困難であった。   However, in the conventional method of manufacturing an optical integrated unit, the light receiving unit is adjusted in its mounting position based on the detection signal generated by the diffracted light in the light receiving unit that receives the diffracted light diffracted by the diffracting unit. It was. For this reason, there is a problem that the mounting position of the light receiving means changes due to the influence of the tolerance of the diffracting means (such as fluctuation of the diffraction angle due to the variation in the grating interval) or the influence of the error of the mounting position of the diffracting means. . Therefore, it is difficult to adjust the mounting position of the light receiving means so that the non-diffracted light is correctly received by the light receiving unit that receives the non-diffracted light provided in the light receiving means.

このため、非回折を受光する受光部に入射する非回折光の引き込み範囲を十分確保するために、該受光部の面積を十分大きくする必要があった。換言すれば、従来の製造方法によって、非回折光を受光する受光部においてRF信号などの高速信号を生成する光集積ユニットであって、非回折光を受光する受光部が小さく設計された光集積ユニットを製造することは困難であった。   For this reason, in order to secure a sufficient drawing range of the non-diffracted light incident on the light receiving portion that receives non-diffracted light, it is necessary to increase the area of the light receiving portion sufficiently. In other words, an optical integrated unit that generates a high-speed signal such as an RF signal in a light receiving unit that receives non-diffracted light by a conventional manufacturing method, and the optical integrated unit in which the light receiving unit that receives non-diffracted light is designed to be small. It was difficult to manufacture the unit.

上記問題に関して、より具体的に述べれば以下のとおりである。   More specifically, the above problem is as follows.

特許文献1に示された従来の光集積ユニットである上記光集積ユニット101の受光素子110は、上述したように、ホログラム素子109による+1次回折光を検出する110a〜110fの6つの受光部と−1次回折光を検出する110g〜110iの3つの受光部とから構成されており、受光素子110の取り付け位置は±1次回折光によって上記受光部において生成された検出信号に基づいて調整されていた。このため、ホログラム素子109の取り付け位置の誤差、あるいは、ホログラム素子109におけるホログラムパターンの公差により、受光手段に集光される非回折光の集光スポット位置が変化する。従って、ホログラム素子109を透過し受光素子110に入射する非回折光に対して、受光素子110の取り付け位置を正確に調整することは困難であった。   As described above, the light receiving element 110 of the optical integrated unit 101, which is a conventional optical integrated unit disclosed in Patent Document 1, includes six light receiving units 110a to 110f that detect + first-order diffracted light by the hologram element 109, and − The light receiving element 110 includes three light receiving portions 110g to 110i that detect first-order diffracted light, and the mounting position of the light-receiving element 110 is adjusted based on detection signals generated in the light-receiving portion by ± first-order diffracted light. For this reason, the condensing spot position of the non-diffracted light focused on the light receiving means changes due to an error in the mounting position of the hologram element 109 or the tolerance of the hologram pattern in the hologram element 109. Therefore, it is difficult to accurately adjust the mounting position of the light receiving element 110 with respect to the non-diffracted light that passes through the hologram element 109 and enters the light receiving element 110.

また、上記光集積ユニット101における受光素子110とホログラム素子109の取り付け位置調整に関しては、以下に述べる問題も同時に存在していた。   Further, regarding the adjustment of the mounting position of the light receiving element 110 and the hologram element 109 in the optical integrated unit 101, the following problems also exist at the same time.

上記光集積ユニット101においては、PBS面107aと反射ミラー面107bが平行に配置されている。このため、一体化したホログラム素子109とビームスプリッタ107とを光軸122に垂直な面内で(図示した)x軸方向あるいは(図示した)y軸方向に平行移動させても、受光素子110へ入射する戻り光の集光スポットの位置は移動しない。すなわち、上記光集積ユニット101においては、受光素子110へ入射する戻り光の集光スポットをx軸方向に移動することは不可能であった。   In the optical integrated unit 101, the PBS surface 107a and the reflection mirror surface 107b are arranged in parallel. Therefore, even if the integrated hologram element 109 and beam splitter 107 are translated in the x-axis direction (illustrated) or the y-axis direction (illustrated) in a plane perpendicular to the optical axis 122, the light-receiving element 110 is obtained. The position of the condensing spot of the incident return light does not move. That is, in the optical integrated unit 101, it is impossible to move the condensing spot of the return light incident on the light receiving element 110 in the x-axis direction.

また、上記光集積ユニット101においては、一体化したホログラム素子109とビームスプリッタ107との取り付け位置の調整により受光素子110へ入射する戻り光の集光スポットをx軸方向に移動できないことを考慮し、受光素子110に設けられた受光部から戻り光の集光スポットがはみ出すことの無いように、各受光部のx方向の寸法を十分確保する必要があった。すなわち、受光素子110における受光部の面積を大きくする必要があった。従って、該受光部においてRF信号などの高速信号を検出することが困難になるという問題があった。   Further, in the optical integrated unit 101, it is considered that the condensing spot of the return light incident on the light receiving element 110 cannot be moved in the x-axis direction by adjusting the mounting position of the integrated hologram element 109 and beam splitter 107. Therefore, it is necessary to sufficiently secure the dimension in the x direction of each light receiving portion so that the condensed spot of the return light does not protrude from the light receiving portion provided in the light receiving element 110. That is, it is necessary to increase the area of the light receiving portion in the light receiving element 110. Therefore, there is a problem that it is difficult to detect a high-speed signal such as an RF signal in the light receiving unit.

換言すれば、受光素子110における受光部においてRF信号などの高速信号を検出可能な光集積ユニットを製造するためには(すなわち、受光部面積の小さい光集積ユニットを製造するためには)、戻り光が正確に該受光部に入射するよう、半導体レーザ105、ホログラム素子109、およびビームスプリッタ107の加工精度、並びに、これらの部材の取り付け誤差を厳しく管理する必要が生じる。すなわち、RF信号の高速再生を可能な光集積ユニット101の製造に際しては、高精度の製造設備や高精度の部品を用いる必要があり、光集積ユニットの製造コストが高くなるという問題があった。   In other words, in order to manufacture an optical integrated unit capable of detecting a high-speed signal such as an RF signal in the light receiving unit of the light receiving element 110 (that is, to manufacture an optical integrated unit having a small light receiving unit area), the return It is necessary to strictly manage the processing accuracy of the semiconductor laser 105, the hologram element 109, and the beam splitter 107 and the mounting errors of these members so that the light accurately enters the light receiving unit. That is, when manufacturing the optical integrated unit 101 capable of high-speed reproduction of RF signals, it is necessary to use high-precision manufacturing equipment and high-accuracy parts, and there is a problem that the manufacturing cost of the optical integrated unit increases.

また、光集積ユニット101において、3ビーム用回折格子106およびホログラム素子109は偏光ビームスプリッタ107と一体化されている。このため、戻り光が受光素子110の受光部に正確に入射するようホログラム素子109を戻り光の光軸に直交する面内で移動すると、同時に3ビーム用回折格子106も移動し、光源105から出射された光ビーム120の光軸中心に対する3ビーム用回折格子106の位置ずれが生じる。   In the optical integrated unit 101, the three-beam diffraction grating 106 and the hologram element 109 are integrated with the polarization beam splitter 107. Therefore, when the hologram element 109 is moved in a plane orthogonal to the optical axis of the return light so that the return light is accurately incident on the light receiving portion of the light receiving element 110, the three-beam diffraction grating 106 is also moved at the same time. A positional deviation of the three-beam diffraction grating 106 with respect to the optical axis center of the emitted light beam 120 occurs.

3ビーム用回折格子にはその中心を通る境界線により分割されたいくつかの領域が形成されている。トラッキング誤差信号(TES)を検出するために位相シフトDPP法を用いる場合、上記境界線により分割される光ビーム120の断面積比が性能を決める重要なパラメータとなる。   In the three-beam diffraction grating, several regions divided by a boundary line passing through the center are formed. When the phase shift DPP method is used to detect the tracking error signal (TES), the cross-sectional area ratio of the light beam 120 divided by the boundary line is an important parameter that determines the performance.

ところが、光集積ユニット101においては、上述したように、ホログラム素子109の位置を調整すると、同時に3ビーム回折格子も移動して往路の光軸中心と3ビーム用回折格子106の中心とがずれる。このため、TESを検出するために位相シフトDPP法を用いることが困難であるという問題があった。   However, in the optical integrated unit 101, as described above, when the position of the hologram element 109 is adjusted, the three-beam diffraction grating is also moved at the same time, and the center of the forward optical axis is shifted from the center of the three-beam diffraction grating 106. For this reason, there is a problem that it is difficult to use the phase shift DPP method for detecting TES.

特許文献2に示すような光ピックアップデバイスの製造方法においても、受光手段の取り付け位置は回折光の受光状態に基づいて調整する必要があった。すなわち、ホログラム素子232により回折された戻り光221を基準にして受光素子210の位置を決定する必要があった。   Also in the method of manufacturing the optical pickup device as shown in Patent Document 2, it is necessary to adjust the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light. In other words, it is necessary to determine the position of the light receiving element 210 with reference to the return light 221 diffracted by the hologram element 232.

このため、ホログラム素子232の取り付け位置やホログラム素子232におけるホログラムパターンの作製誤差によって、戻り光221を正しく受光するための受光素子210の位置が変化してしまうという問題があった。   For this reason, there is a problem that the position of the light receiving element 210 for correctly receiving the return light 221 changes depending on the mounting position of the hologram element 232 and the hologram pattern production error in the hologram element 232.

また、ホログラム素子232により回折された回折光を受光するための受光部は、光源の波長変動に伴う回折角の変化の影響を受けないよう、回折方向と平行な境界により分割された領域からなる。したがって、上記受光部へ入射する回折光の、上記境界をなす分割線に沿った方向への位置ずれについては、該受光部から集光スポットがはみ出した状態を検出し、その中間点に設定することで集光スポットと受光素子210の位置決めを行う必要がある。したがって、位置決め精度が悪いという問題があった。   In addition, the light receiving unit for receiving the diffracted light diffracted by the hologram element 232 includes a region divided by a boundary parallel to the diffraction direction so as not to be affected by the change in the diffraction angle due to the wavelength variation of the light source. . Therefore, with respect to the positional deviation of the diffracted light incident on the light receiving portion in the direction along the dividing line that forms the boundary, the state where the condensed spot protrudes from the light receiving portion is detected and set to the intermediate point. Thus, it is necessary to position the focused spot and the light receiving element 210. Therefore, there is a problem that positioning accuracy is poor.

また、特許文献3においては、戻り光を非回折光および回折光に分岐する回折手段と、非回折光を検出する光検出領域および回折光を検出する光検出領域を有する光検出手段とを備えた光ヘッド装置が開示されており、上記回折手段の調整方法に関して記載されている。しかしながら、特許文献3においては、回折手段の回転調整については記載されているものの、受光手段の取り付け位置を調整することに関しては特に考慮されていなかった。   Further, Patent Document 3 includes a diffractive means for branching return light into non-diffracted light and diffracted light, and a light detection means having a light detection region for detecting non-diffracted light and a light detection region for detecting diffracted light. An optical head device is disclosed, and a method for adjusting the diffraction means is described. However, in Patent Document 3, although the rotation adjustment of the diffractive means is described, the adjustment of the mounting position of the light receiving means is not particularly considered.

さらに、近年の光記録媒体の高密度化に伴い、光集積ユニットに対しては、光出力の高出力化、および、RF信号再生の高速化が要求されている。このため、光出力の高出力化には光源の交換で、また、RF再生信号の高速化には受光素子の交換で対応できる、汎用光源と汎用受光素子とを用いることが可能な光集積ユニットの構造が求められている。しかしながら、このような構造の光集積ユニットに、汎用部品を無調整で搭載した場合、光源に対する受光素子の取り付け位置誤差の拡大を招来するという問題があった。   Furthermore, with the recent increase in the density of optical recording media, optical integrated units are required to have higher optical output and faster RF signal reproduction. For this reason, an optical integrated unit that can use a general-purpose light source and a general-purpose light-receiving element, which can be handled by exchanging the light source to increase the output of the light and replacing the light-receiving element to increase the speed of the RF reproduction signal. The structure of is required. However, when general-purpose parts are mounted on the optical integrated unit having such a structure without adjustment, there is a problem in that an error in the mounting position of the light receiving element with respect to the light source is increased.

また、従来技術では光集積ユニットを光ピックアップ装置に搭載する際に、光ピックアップ装置において光集積ユニットの調整状態を再現させる方法について一切考慮されていなかった。そこで、光ピックアップ装置上で光集積ユニットの調整(製造)をしようとすると、光ピックアップ装置内に調整のための機構部品を設けるか、あるいは、外部から調整治具で光集積ユニット構成部品を保持するための空間を確保しなければならず、光ピックアップ装置の小型化や低コスト化を阻害するという問題があった。   Further, in the prior art, when the optical integrated unit is mounted on the optical pickup device, no consideration has been given to a method for reproducing the adjustment state of the optical integrated unit in the optical pickup device. Therefore, when an optical integrated unit is adjusted (manufactured) on the optical pickup device, a mechanism part for adjustment is provided in the optical pickup device, or the optical integrated unit components are held by an adjustment jig from the outside. Therefore, there is a problem in that a space for the optical pickup device must be secured, which hinders downsizing and cost reduction of the optical pickup device.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、受光素子の位置決め精度を上げることで受光部面積のより小さい光集積ユニットの製造を可能にし、RF信号の高速再生が実現できる光集積ユニットの製造方法を提供することにある。また、光集積ユニット製造時の調整状態を光ピックアップ装置に搭載する際に再現することで信号品質の向上を実現できる光ピックアップ装置の製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to make it possible to manufacture an optical integrated unit with a smaller area of the light receiving portion by increasing the positioning accuracy of the light receiving element, and to reproduce an RF signal at a high speed. Is to provide a method of manufacturing an optical integrated unit. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing an optical pickup device that can realize improvement in signal quality by reproducing an adjustment state at the time of manufacturing an optical integrated unit when the optical integrated unit is mounted on the optical pickup device.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法は、光ビームを出射する光源と、光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴としている。   An optical integrated unit manufacturing method according to the present invention includes a light source that emits a light beam, and an optical axis of return light of the light beam reflected by an optical recording medium. The return light is diffracted from non-diffracted light. A light receiving unit having a first light receiving unit that receives non-diffracted light separated by the diffraction unit, and a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffraction unit; A method of manufacturing an optical integrated unit comprising: a step of adjusting an attachment position of the light receiving means based on a detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light. Yes.

上記構成によれば、上記受光手段の取り付け位置は、上記回折手段を透過した非回折光を用いて調整される。このため、回折手段に影響されない、受光手段の正確な位置調整が可能になる。すなわち、格子間隔のばらつきによる回折角の変動など、回折手段の公差による影響を受けずに、上記回折手段を透過した非回折光が上記受光部に正確に受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能になる。   According to the above configuration, the mounting position of the light receiving means is adjusted using the non-diffracted light transmitted through the diffracting means. For this reason, it is possible to accurately adjust the position of the light receiving means without being affected by the diffraction means. That is, the mounting position of the light receiving means is such that the non-diffracted light transmitted through the diffracting means is accurately received by the light receiving section without being affected by the tolerance of the diffracting means, such as fluctuations in the diffraction angle due to variations in grating spacing Can be adjusted.

このため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、より安定した検出信号が得られる光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   For this reason, light with which a more stable detection signal can be obtained without adjustment or by adjusting the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light and compared with the conventional method of manufacturing an optical integrated unit to which the light receiving means is attached. The integrated unit can be manufactured.

また、上記構成によれば、上記回折手段を透過した非回折光が上記受光部に正確に受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能であるため、受光手段に入射する非回折光の入射位置誤差を考慮して、受光手段の有する受光部の面積を大きく確保する必要がない。   Further, according to the above configuration, the mounting position of the light receiving means can be adjusted so that the non-diffracted light transmitted through the diffracting means can be accurately received by the light receiving portion, and therefore, the non-diffracted light incident on the light receiving means can be adjusted. In consideration of the incident position error of the diffracted light, it is not necessary to secure a large area of the light receiving portion of the light receiving means.

このため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、高精度の構成部材、あるいは、高精度の製造設備を用いることなく、より小さい受光部面積を有する受光手段を備える光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   For this reason, it is possible to adjust the mounting position of the light receiving means without adjustment or to adjust the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light, and to provide a highly accurate structural member or There is an effect that it is possible to manufacture an optical integrated unit including a light receiving unit having a smaller light receiving part area without using an accurate manufacturing facility.

従って、RF信号やDPD信号のような高速信号を上記受光部で検出する光集積ユニットの製造においては、製造コストの上昇を招来することなく、より高速な再生が可能な光集積ユニットの製造が可能になる。さらに、受光部面積が小さくなることにより、多層光記録媒体の再生に際して他層迷光の影響を受けにくくなる。すなわち、多層光記録媒体に対応した光集積ユニットであって、他層迷光による検出信号の汚染を受けにくい光集積ユニットの製造が可能になる。   Therefore, in the manufacture of an optical integrated unit that detects a high-speed signal such as an RF signal or a DPD signal by the light receiving unit, an optical integrated unit that can be reproduced at a higher speed without causing an increase in manufacturing cost. It becomes possible. Furthermore, since the area of the light receiving portion is reduced, it is less likely to be affected by other layer stray light during reproduction of the multilayer optical recording medium. In other words, it is possible to manufacture an optical integrated unit corresponding to a multilayer optical recording medium, which is less susceptible to detection signal contamination by other layers of stray light.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法は、光ビームを出射する光源と、光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、上記光ビームを透過させ、かつ、上記回折手段により分離された非回折光および回折光を上記光源とは異なる方向へ導く導光手段と、上記導光手段により導かれた非回折光を受光する第1の受光部および上記導光手段により導かれた回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記受光手段を上記導光手段と一体で移動し、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴としている。   An optical integrated unit manufacturing method according to the present invention includes a light source that emits a light beam, and an optical axis of return light of the light beam reflected by an optical recording medium. The return light is diffracted from non-diffracted light. Diffracting means for separating light, light guiding means for transmitting the light beam and guiding non-diffracted light and diffracted light separated by the diffracting means in a direction different from the light source, and the light guiding means A method of manufacturing an optical integrated unit comprising: a first light receiving unit that receives the guided non-diffracted light; and a light receiving unit that includes a second light receiving unit that receives the diffracted light guided by the light guiding unit. And moving the light receiving means integrally with the light guiding means based on the detection signal generated in the first light receiving section by the non-diffracted light, and adjusting the mounting position of the light receiving means. It is characterized by

上記構成によれば、上記受光手段の取り付け位置は、上記回折手段を透過した非回折光を用いて調整される。このため、回折手段に影響されない、受光手段の正確な位置調整が可能になる。すなわち、格子間隔のばらつきによる回折角の変動など、回折手段の公差による影響を受けずに、上記受光部に正確に上記回折手段を透過した非回折光が受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能になる。   According to the above configuration, the mounting position of the light receiving means is adjusted using the non-diffracted light transmitted through the diffracting means. For this reason, it is possible to accurately adjust the position of the light receiving means without being affected by the diffraction means. That is, the mounting position of the light receiving means is such that non-diffracted light that has passed through the diffraction means is accurately received by the light receiving unit without being affected by the tolerance of the diffraction means, such as fluctuations in the diffraction angle due to variations in grating spacing. Can be adjusted.

このため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、より安定した検出信号が得られる光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   For this reason, light with which a more stable detection signal can be obtained without adjustment or by adjusting the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light and compared with the conventional method of manufacturing an optical integrated unit to which the light receiving means is attached. The integrated unit can be manufactured.

また、上記構成によれば、上記回折手段を透過した非回折光が上記受光部に正確に受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能であるため、受光手段に入射する非回折光の入射位置誤差を考慮して、受光手段の有する受光部の面積を大きく確保する必要がない。   Further, according to the above configuration, the mounting position of the light receiving means can be adjusted so that the non-diffracted light transmitted through the diffracting means can be accurately received by the light receiving portion, and therefore, the non-diffracted light incident on the light receiving means can be adjusted. In consideration of the incident position error of the diffracted light, it is not necessary to secure a large area of the light receiving portion of the light receiving means.

このため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、高精度の構成部材、あるいは、高精度の製造設備を用いることなく、より小さい受光部面積を有する受光手段を備える光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   For this reason, it is possible to adjust the mounting position of the light receiving means without adjustment or to adjust the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light, and to provide a highly accurate structural member or There is an effect that it is possible to manufacture an optical integrated unit including a light receiving unit having a smaller light receiving part area without using an accurate manufacturing facility.

従って、RF信号やDPD信号のような高速信号を上記受光部で検出する光集積ユニットの製造においては、製造コストの上昇を招来することなく、より高速な再生が可能な光集積ユニットの製造が可能になる。さらに、受光部面積が小さくなることにより、多層光記録媒体の再生に際して他層迷光の影響を受けにくくなる。すなわち、多層光記録媒体に対応した光集積ユニットであって、他層迷光による検出信号の汚染を受けにくい光集積ユニットの製造が可能になる。   Therefore, in the manufacture of an optical integrated unit that detects a high-speed signal such as an RF signal or a DPD signal by the light receiving unit, an optical integrated unit that can be reproduced at a higher speed without causing an increase in manufacturing cost. It becomes possible. Furthermore, since the area of the light receiving portion is reduced, it is less likely to be affected by other layer stray light during reproduction of the multilayer optical recording medium. In other words, it is possible to manufacture an optical integrated unit corresponding to a multilayer optical recording medium, which is less susceptible to detection signal contamination by other layers of stray light.

また、上記構成によれば、上記受光手段と上記導光手段とが一体化された状態で調整されるため、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程において、上記受光手段と上記導光手段との相対位置が変化しない。このため、上記導光手段に上記受光素子の取り付け位置の変動を考慮したマージンを確保する必要がなく、上記導光手段をより小さくすることが可能になる。すなわち、より小型軽量な光集積ユニットを製造することが可能になるという更なる効果を奏する。   According to the above configuration, since the light receiving means and the light guide means are adjusted in an integrated state, the light receiving means and the light guide means are adjusted in the step of adjusting the mounting position of the light receiving means. The relative position of does not change. For this reason, it is not necessary to secure a margin in the light guide means in consideration of a change in the mounting position of the light receiving element, and the light guide means can be made smaller. That is, there is a further effect that it is possible to manufacture a smaller and lighter optical integrated unit.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法は、光ビームを出射する光源と、光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、上記光集積ユニットに上記回折手段を取り付けるより前に、上記非回折光と同一の光路を通り上記第1の受光部に入射する戻り光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴としている。   An optical integrated unit manufacturing method according to the present invention includes a light source that emits a light beam, and an optical axis of return light of the light beam reflected by an optical recording medium. The return light is diffracted from non-diffracted light. A light receiving unit having a first light receiving unit that receives non-diffracted light separated by the diffraction unit, and a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffraction unit; The optical integrated unit is manufactured by the method of manufacturing the integrated optical unit, wherein the diffracting means is attached to the integrated optical unit before passing through the same optical path as the non-diffracted light. The method includes a step of adjusting an attachment position of the light receiving means based on a detection signal generated in the first light receiving portion.

上記構成によれば、上記受光手段の取り付け位置は、上記非回折光と同一の光路を通り上記第1の受光部に入射する戻り光を用いて調整される。すなわち、上記回折手段が取り付けられた光集積ユニットにおいては、取り付けられた回折手段を透過した非回折光は、上記受光手段の取り付け位置を調整するために用いられる戻り光と同一の光路を通り、受光手段に入射される。このため、回折手段の影響を完全に排除した状態で、上記受光部に正確に上記回折手段を透過した非回折光が受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能になる。   According to the above configuration, the mounting position of the light receiving means is adjusted using return light that enters the first light receiving section through the same optical path as the non-diffracted light. That is, in the optical integrated unit to which the diffractive means is attached, the non-diffracted light transmitted through the attached diffractive means passes through the same optical path as the return light used for adjusting the attachment position of the light receiving means, Incident on the light receiving means. For this reason, it is possible to adjust the mounting position of the light receiving means so that the non-diffracted light transmitted through the diffracting means is accurately received by the light receiving portion in a state where the influence of the diffracting means is completely eliminated.

このため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、より安定した検出信号が得られる光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   For this reason, light with which a more stable detection signal can be obtained without adjustment or by adjusting the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light and compared with the conventional method of manufacturing an optical integrated unit to which the light receiving means is attached. The integrated unit can be manufactured.

また、受光手段に入射する非回折光の入射位置誤差を考慮して、受光手段の有する受光部の面積を大きく確保する必要がないため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、高精度の構成部材、あるいは、高精度の製造設備を用いることなく、より小さい受光部面積を有する受光手段を備える光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   In addition, it is not necessary to secure a large area of the light receiving portion of the light receiving means in consideration of the incident position error of the non-diffracted light incident on the light receiving means, so no adjustment or based on the light receiving state of the diffracted light Compared to the conventional method of manufacturing an optical integrated unit in which the light receiving means is mounted and the light receiving means is attached, the light receiving portion has a smaller light receiving area without using high-precision components or high-precision manufacturing equipment. There is an effect that it is possible to manufacture an optical integrated unit including the means.

従って、RF信号やDPD信号のような高速信号を上記受光部で検出する光集積ユニットの製造においては、製造コストの上昇を招来することなく、より高速な再生が可能な光集積ユニットの製造が可能になる。さらに、受光部面積が小さくなることにより、多層光記録媒体の再生に際して他層迷光の影響を受けにくくなる。すなわち、多層光記録媒体に対応した光集積ユニットであって、他層迷光による検出信号の汚染を受けにくい光集積ユニットの製造が可能になる。   Therefore, in the manufacture of an optical integrated unit that detects a high-speed signal such as an RF signal or a DPD signal by the light receiving unit, an optical integrated unit that can be reproduced at a higher speed without causing an increase in manufacturing cost. It becomes possible. Furthermore, since the area of the light receiving portion is reduced, it is less likely to be affected by other layer stray light during reproduction of the multilayer optical recording medium. In other words, it is possible to manufacture an optical integrated unit corresponding to a multilayer optical recording medium, which is less susceptible to detection signal contamination by other layers of stray light.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法は、光ビームを出射する光源と、光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、上記光集積ユニットに上記回折手段を取り付けるより前に、上記回折手段と同じ屈折率および同じ厚みを有する透明部材を上記回折手段と同じ位置に配置し、上記透明部材を透過し上記非回折光と同じ光路を通り上記第1の受光部に入射する戻り光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴とする光集積ユニットの製造方法。   An optical integrated unit manufacturing method according to the present invention includes a light source that emits a light beam, and an optical axis of return light of the light beam reflected by an optical recording medium. The return light is diffracted from non-diffracted light. A light receiving unit having a first light receiving unit that receives non-diffracted light separated by the diffraction unit, and a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffraction unit; The transparent member having the same refractive index and the same thickness as the diffractive means is placed at the same position as the diffractive means before attaching the diffractive means to the optical integrated unit. Arranged on the basis of the detection signal generated in the first light receiving unit by the return light that passes through the transparent member and passes through the same optical path as the non-diffracted light and enters the first light receiving unit. Method of manufacturing an optical integrated unit, which comprises a step of adjusting the Ri attached position.

上記構成によれば、上記受光手段の取り付け位置は、上記非回折光と同一の光路を通り上記第1の受光部に入射する上記透明部材を透過した戻り光を用いて調整される。すなわち、上記回折手段が取り付けられた光集積ユニットにおいては、取り付けられた回折手段を透過した非回折光は、上記受光手段の取り付け位置を調整するために用いられる戻り光と同一の光路を通り、受光手段に入射される。このため、球面収差は同じ状態を保ちながら、回折手段の影響を完全に排除した状態で、上記受光部に正確に上記回折手段を透過した非回折光が受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能になる。   According to the above configuration, the mounting position of the light receiving means is adjusted by using the return light transmitted through the transparent member that enters the first light receiving section through the same optical path as the non-diffracted light. That is, in the optical integrated unit to which the diffractive means is attached, the non-diffracted light transmitted through the attached diffractive means passes through the same optical path as the return light used for adjusting the attachment position of the light receiving means, Incident on the light receiving means. For this reason, the mounting position of the light receiving means is such that the non-diffracted light that has passed through the diffracting means is accurately received by the light receiving portion while the spherical aberration remains the same and the influence of the diffracting means is completely eliminated. Can be adjusted.

このため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、より安定した検出信号が得られる光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   For this reason, light with which a more stable detection signal can be obtained without adjustment or by adjusting the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light and compared with the conventional method of manufacturing an optical integrated unit to which the light receiving means is attached. The integrated unit can be manufactured.

また、受光手段に入射する非回折光の入射位置誤差を考慮して、受光手段の有する受光部の面積を大きく確保する必要がないため、無調整で、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し、受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、高精度の構成部材、あるいは、高精度の製造設備を用いることなく、より小さい受光部面積を有する受光手段を備える光集積ユニットの製造が可能になるという効果を奏する。   In addition, it is not necessary to secure a large area of the light receiving portion of the light receiving means in consideration of the incident position error of the non-diffracted light incident on the light receiving means, so no adjustment or based on the light receiving state of the diffracted light Compared to the conventional method of manufacturing an optical integrated unit in which the light receiving means is mounted and the light receiving means is attached, the light receiving portion has a smaller light receiving area without using high-precision components or high-precision manufacturing equipment. There is an effect that it is possible to manufacture an optical integrated unit including the means.

従って、RF信号やDPD信号のような高速信号を上記受光部で検出する光集積ユニットの製造においては、製造コストの上昇を招来することなく、より高速な再生が可能な光集積ユニットの製造が可能になる。さらに、受光部面積が小さくなることにより、多層光記録媒体の再生に際して他層迷光の影響を受けにくくなる。すなわち、多層光記録媒体に対応した光集積ユニットであって、他層迷光による検出信号の汚染を受けにくい光集積ユニットの製造が可能になる。   Therefore, in the manufacture of an optical integrated unit that detects a high-speed signal such as an RF signal or a DPD signal by the light receiving unit, an optical integrated unit that can be reproduced at a higher speed without causing an increase in manufacturing cost. It becomes possible. Furthermore, since the area of the light receiving portion is reduced, it is less likely to be affected by other layer stray light during reproduction of the multilayer optical recording medium. In other words, it is possible to manufacture an optical integrated unit corresponding to a multilayer optical recording medium, which is less susceptible to detection signal contamination by other layers of stray light.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法においては、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程において、上記受光手段は該受光手段に入射する非回折光あるいは戻り光の光軸に垂直な面内で移動されることが好ましい。   In the method of manufacturing an optical integrated unit according to the present invention, in the step of adjusting the mounting position of the light receiving means, the light receiving means is within a plane perpendicular to the optical axis of non-diffracted light or return light incident on the light receiving means. Preferably it is moved.

上記構成によれば、上記受光手段の受光面において、該受光面に入射する非回折光あるいは戻り光の集光スポットの大きさおよび形状を変化させることなく、該集光スポットの位置を調整することが可能になる。このため、非回折光あるいは戻り光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて上記受光手段の取り付け位置を調整することが容易になるという更なる効果を奏する。さらに、上記構成によれば、上記受光手段を保持するホルダと上記光源を保持するホルダとを互いに摺動することにより、上記受光手段の取り付け位置調整が行えるホルダ構成が容易になる。また、受光手段を光軸方向に移動して位置調整を行う必要がないので、経時変化や衝撃に対して、受光手段の光軸方向のズレが生じないホルダ構成にすることが可能である。   According to the above configuration, the position of the focused spot is adjusted on the light receiving surface of the light receiving means without changing the size and shape of the focused spot of non-diffracted light or return light incident on the light receiving surface. It becomes possible. For this reason, there is a further effect that it is easy to adjust the mounting position of the light receiving means based on the detection signal generated in the first light receiving unit by non-diffracted light or return light. Further, according to the above configuration, a holder configuration that can adjust the mounting position of the light receiving means is facilitated by sliding the holder that holds the light receiving means and the holder that holds the light source relative to each other. In addition, since it is not necessary to adjust the position by moving the light receiving means in the optical axis direction, it is possible to have a holder configuration in which the light receiving means does not deviate in the optical axis direction with respect to a change with time or an impact.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法においては、上記非回折光を受光する受光部は互いに直交する2本の直線により分割された4つの受光セルからなり、上記非回折光を受光する受光部によって生成される検出信号は、上記4つの受光セルから出力される4つの出力信号からなる検出信号であることが好ましい。   In the method of manufacturing an optical integrated unit according to the present invention, the light receiving unit that receives the non-diffracted light is composed of four light receiving cells divided by two straight lines orthogonal to each other, and receives the non-diffracted light. The detection signal generated by is preferably a detection signal composed of four output signals output from the four light receiving cells.

上記構成によれば、上記受光手段の取り付け位置の誤差を、上記受光手段に入射する非回折光の光軸に垂直な面における第1の方向の誤差、および、該面内において第1の方向に直交する第2の方向の誤差として独立して検出することが可能である。従って、上記構成によれば、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程において、上記受光手段を移動する方向が簡単かつ正確に求められ、上記受光手段の取り付け位置の調整が容易になるという更なる効果を奏する。   According to the above configuration, the error in the mounting position of the light receiving means is the error in the first direction in the plane perpendicular to the optical axis of the non-diffracted light incident on the light receiving means, and the first direction in the plane. It is possible to independently detect the error in the second direction orthogonal to. Therefore, according to the above configuration, in the step of adjusting the mounting position of the light receiving means, the direction in which the light receiving means is moved can be obtained simply and accurately, and the adjustment of the mounting position of the light receiving means is facilitated. There is an effect.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法においては、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程は、上記4つの受光セルから出力される4つの出力信号が概ね均等であるかを判定する工程を含むことが好ましい。   In the optical integrated unit manufacturing method according to the present invention, the step of adjusting the mounting position of the light receiving means includes a step of determining whether the four output signals output from the four light receiving cells are substantially equal. It is preferable.

上記構成によれば、上記受光手段に入射する非回折光の光軸中心と、上記受光部における該受光部を分割する2本の直線の交点とが正確に一致しているかを判定することが可能になる。このため、より安定した検出信号が得られる光ピックアップ装置の製造が可能になるという更なる効果を奏する。   According to the above configuration, it is possible to determine whether the optical axis center of the non-diffracted light incident on the light receiving unit and the intersection of two straight lines that divide the light receiving unit in the light receiving unit exactly match. It becomes possible. For this reason, it is possible to manufacture an optical pickup device that can obtain a more stable detection signal.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法においては、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程に引き続き、上記第1の受光部において検出される検出信号を調整誤差として記録する工程を含むことが好ましい。   The method for manufacturing an optical integrated unit according to the present invention preferably includes a step of recording a detection signal detected by the first light receiving unit as an adjustment error subsequent to the step of adjusting the mounting position of the light receiving means. .

上記構成によれば、第1の受光部において検出される検出信号を調整誤差として記録することは、光集積ユニット製造時に定まる、受光手段の取り付け位置誤差を記録することを意味する。したがって、該光集積ユニットを光ピックアップ装置に組み込むときに、記録しておいた調整誤差を利用して光ピックアップ装置の調整を最適化することが可能になる。すなわち、光集積ユニット製造時には、調整誤差を最小化するように受光手段の取り付け位置を調整しているから、該光集積ユニットを光ピックアップ装置に組み込むときに、光集積ユニット製造時の調整誤差を再現すれば、光ピックアップ装置における光集積ユニットの取り付け誤差を最小化するよう、光ピックアップ装置を調整することが可能になるという更なる効果を奏する。   According to the above configuration, recording the detection signal detected by the first light receiving unit as an adjustment error means recording an attachment position error of the light receiving unit that is determined when the optical integrated unit is manufactured. Therefore, when the optical integrated unit is incorporated in the optical pickup device, the adjustment of the optical pickup device can be optimized using the recorded adjustment error. That is, when the optical integrated unit is manufactured, the mounting position of the light receiving means is adjusted so as to minimize the adjustment error. Therefore, when the optical integrated unit is incorporated in the optical pickup device, the adjustment error at the time of manufacturing the optical integrated unit is reduced. If reproduced, the optical pickup device can be adjusted to minimize the mounting error of the optical integrated unit in the optical pickup device.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法においては、上記回折光によって上記第2の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸に垂直な面内で平行移動し、上記回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸を中心に回転し、上記回折手段の取り付け位置および取り付け角度を調整する工程を含むことが好ましい。   In the method for manufacturing an integrated optical unit according to the present invention, the diffracting means is perpendicular to the optical axis of the return light incident on the diffracting means based on the detection signal generated by the diffracted light at the second light receiving unit. It is preferable to include a step of translating in a plane, rotating the diffractive means about the optical axis of the return light incident on the diffractive means, and adjusting the attachment position and the attachment angle of the diffractive means.

上記構成によれば、上記戻り光の光軸に対する上記回折手段の位置、および、上記回折手段の角度を調整することが可能である。このため、上記回折光を受光する受光部に、上記回折手段により回折された回折光が正確に入射するよう回折手段が調整された光集積ユニットの製造が可能になるという更なる効果を奏する。従って、サーボ信号を上記回折光を受光する受光部で検出する光集積ユニットの製造においては、安定したサーボ信号が生成できる光集積ユニットの製造が可能になる。   According to the above configuration, it is possible to adjust the position of the diffracting means relative to the optical axis of the return light and the angle of the diffracting means. For this reason, it is possible to manufacture an optical integrated unit in which the diffracting means is adjusted so that the diffracted light diffracted by the diffracting means accurately enters the light receiving portion that receives the diffracted light. Therefore, in the manufacture of an optical integrated unit that detects a servo signal by the light receiving unit that receives the diffracted light, an optical integrated unit that can generate a stable servo signal can be manufactured.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法においては、上記回折手段の取り付け位置を調整する工程は、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程の後に行われることが好ましい。   In the optical integrated unit manufacturing method according to the present invention, the step of adjusting the attachment position of the diffraction means is preferably performed after the step of adjusting the attachment position of the light receiving means.

上記構成によれば、受光手段が正確に位置決めされた状態で回折手段の取り付け位置の調整が行われる。このため、受光手段に対する回折手段の取り付け位置の調整精度をより高めることが可能になるという更なる効果を奏する。従って、サーボ信号を上記回折光を受光する受光部で検出する光集積ユニットの製造においては、より安定したサーボ信号が生成できる光集積ユニットの製造が可能になる。   According to the above configuration, the attachment position of the diffractive means is adjusted with the light receiving means positioned accurately. For this reason, there is a further effect that it is possible to further improve the adjustment accuracy of the attachment position of the diffraction means with respect to the light receiving means. Therefore, in the manufacture of the optical integrated unit that detects the servo signal by the light receiving unit that receives the diffracted light, it is possible to manufacture the optical integrated unit that can generate a more stable servo signal.

本発明に係る光ピックアップ装置の製造方法であって、光ビームを出射する光源と、光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットと、上記光集積ユニットから出射される光ビームを平行光に変える、上記光ビームの光軸上に配置されたコリメータレンズと、上記コリメータレンズにより平行光に変えられた光ビームを集光する、上記光ビームの光軸上に配置された対物レンズと、を備えた光ピックアップ装置の製造方法は、上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、かつ/または、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴としている。   An optical pickup device manufacturing method according to the present invention, comprising: a light source that emits a light beam; and an optical axis of return light of the light beam reflected by an optical recording medium, wherein the return light is non-diffracted light. Receiving means having a diffracting means for separating the diffracted light, a first light receiving part for receiving the non-diffracted light separated by the diffracting means, and a second light receiving part for receiving the diffracted light separated by the diffracting means. An optical integrated unit comprising: means; a collimator lens disposed on the optical axis of the light beam that converts the light beam emitted from the optical integrated unit into parallel light; and the collimator lens converts the light beam into parallel light. And an objective lens arranged on the optical axis of the light beam, the method for manufacturing the optical pickup device includes a non-diffracted light in the first light receiving unit. Based on the detection signal formed, the objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam, and / or the optical integrated unit is integrated with the collimator lens on the optical axis of the light beam. The method includes a step of moving in a vertical plane and adjusting a relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit.

上記構成によれば、当該光ピックアップによる光記録媒体に対する情報の記録時あるいは再生時における上記受光部に対する非回折光の受光状態に即して、上記光集積ユニット、上記コリメータレンズ、および、上記対物レンズの取り付け位置を調整することが可能になる。このため、機械精度で上記光集積ユニット、上記コリメータレンズ、および、上記対物レンズを光ピックアップ装置に取り付ける場合と比べ、安定した検出信号が得られる光ピックアップ装置の製造が可能になるという効果を奏する。   According to the above configuration, the optical integrated unit, the collimator lens, and the objective according to the light receiving state of the non-diffracted light with respect to the light receiving unit at the time of recording or reproducing information with respect to the optical recording medium by the optical pickup. It becomes possible to adjust the mounting position of the lens. For this reason, it is possible to manufacture an optical pickup device that can obtain a stable detection signal as compared with the case where the optical integrated unit, the collimator lens, and the objective lens are attached to the optical pickup device with mechanical accuracy. .

本発明に係る光ピックアップ装置の製造方法においては、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程において、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動する方向と、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動する方向とは、互いに直交する方向であることが好ましい。   In the method of manufacturing an optical pickup device according to the present invention, in the step of adjusting the relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit, the objective lens is placed in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam. The moving direction and the direction in which the optical integrated unit is integrated with the collimator lens in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam are preferably orthogonal to each other.

上記構成によれば、上記対物レンズと上記光集積ユニットおよび上記コリメータレンズが一体化された部材との相対位置の調整に関して、調整可能な範囲に限定を加えることなく、上記光集積ユニットと上記コリメータレンズとを一体で移動する方向を一軸方向に限定することができる。このため、上記製造方法により製造される光ピックアップ装置においては、上記一軸方向と直交する方向に上記コリメータレンズおよび上記光集積ユニットの取り付け位置調整を考慮した空間を確保する必要がなく、従って、該光ピックアップ装置の小型軽量化が可能になる。すなわち、上記構成によれば、より小型軽量な光ピックアップ装置の製造が可能になるという更なる効果を奏する。   According to the above configuration, the adjustment of the relative position between the objective lens, the optical integrated unit, and the member integrated with the collimator lens is not limited to the adjustable range, and the optical integrated unit and the collimator are not limited. The direction in which the lens is moved integrally can be limited to a uniaxial direction. For this reason, in the optical pickup device manufactured by the above manufacturing method, it is not necessary to secure a space in consideration of adjusting the mounting position of the collimator lens and the optical integrated unit in a direction orthogonal to the uniaxial direction. The optical pickup device can be reduced in size and weight. That is, according to the above configuration, there is an additional effect that a smaller and lighter optical pickup device can be manufactured.

本発明に係る光ピックアップ装置の製造方法においては、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程は、上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号が上記光集積ユニット製造時に記録された調整誤差と同一になるように、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、かつ/または、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程であることが好ましい。   In the method of manufacturing an optical pickup device according to the present invention, the step of adjusting the relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit is a detection generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light. The objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam and / or the optical integrated unit is moved to the collimator so that the signal is the same as the adjustment error recorded at the time of manufacturing the optical integrated unit. It is preferable to adjust the relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit by moving in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam integrally with the lens.

上記構成によれば、光集積ユニット製造時の調整誤差を再現する光ピックアップ装置の製造が可能になる。すなわち、与えられた光集積ユニットに対して、光集積ユニットの取り付け誤差を最小にする光ピックアップ装置の製造が可能になる。   According to the above configuration, it is possible to manufacture an optical pickup device that reproduces an adjustment error in manufacturing an optical integrated unit. That is, it becomes possible to manufacture an optical pickup device that minimizes the mounting error of the optical integrated unit for a given optical integrated unit.

本発明に係る光集積ユニットの製造装置は、光ビームを出射する光源と、光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットを製造する製造装置であって、上記光集積ユニットに接続され、上記第1の受光部において生成される検出信号を入力する入力部と、上記検出信号から誤差信号を演算する演算部と、上記誤差信号を出力する出力部とを備えることを特徴としている。   An optical integrated unit manufacturing apparatus according to the present invention is provided on a light source that emits a light beam and an optical axis of the return light of the light beam reflected by an optical recording medium, and the return light is diffracted from non-diffracted light. A light receiving unit having a first light receiving unit that receives non-diffracted light separated by the diffraction unit, and a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffraction unit; A manufacturing apparatus for manufacturing an integrated optical unit comprising: an input unit connected to the integrated optical unit and configured to input a detection signal generated by the first light receiving unit; and an error signal from the detection signal. An arithmetic unit for calculating and an output unit for outputting the error signal are provided.

上記構成によれば、上記出力部に出力される誤差信号に基づいて、手動で、あるいは、他に設けられた調整装置によって、上記受光手段の取り付け位置調整が可能になる。また、上記受光手段の取り付け位置は、上記回折手段を透過した非回折光を用いて調整される。このため、回折手段に影響されない、受光手段の正確な位置調整が可能になる。すなわち、格子間隔のばらつきによる回折角の変動など、回折手段の公差による影響を受けずに、上記回折手段を透過した非回折光が上記受光部に正確に受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能になる。   According to the above configuration, the mounting position of the light receiving means can be adjusted manually or by another adjusting device provided on the basis of the error signal output to the output unit. Further, the mounting position of the light receiving means is adjusted using non-diffracted light transmitted through the diffracting means. For this reason, it is possible to accurately adjust the position of the light receiving means without being affected by the diffraction means. That is, the mounting position of the light receiving means is such that the non-diffracted light transmitted through the diffracting means is accurately received by the light receiving section without being affected by the tolerance of the diffracting means, such as fluctuations in the diffraction angle due to variations in grating spacing. Can be adjusted.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法は、以上のように、上記非回折光を受光するための受光部において生成される検出信号に基づいて、上記受光手段に入射する非回折光の光軸に垂直な面内で上記受光手段を移動し、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴としている。   As described above, the optical integrated unit manufacturing method according to the present invention is based on the detection signal generated in the light receiving unit for receiving the non-diffracted light, and the optical axis of the non-diffracted light incident on the light receiving means. And moving the light receiving means within a plane perpendicular to the surface to adjust the mounting position of the light receiving means.

上記構成によれば、回折手段に影響されない、受光手段の正確な位置調整が可能になる。すなわち、格子間隔のばらつきによる回折角の変動など、回折手段の公差による影響を受けずに、上記受光部に正確に上記回折手段を透過した非回折光が受光されるよう上記受光手段の取り付け位置を調整することが可能になる。   According to the above configuration, it is possible to accurately adjust the position of the light receiving means without being affected by the diffraction means. That is, the mounting position of the light receiving means is such that non-diffracted light that has passed through the diffraction means is accurately received by the light receiving unit without being affected by the tolerance of the diffraction means, such as fluctuations in the diffraction angle due to variations in grating spacing. Can be adjusted.

このため、無調整、あるいは、回折光の受光状態に基づいて受光手段の取り付け位置を調整し受光手段を取り付ける従来の光集積ユニットの製造方法と比べ、より安定した信号検出が可能な光集積ユニットが製造可能になるなどの効果を奏する。   For this reason, an optical integrated unit capable of performing more stable signal detection compared to a conventional method of manufacturing an optical integrated unit that is not adjusted or that adjusts the mounting position of the light receiving means based on the light receiving state of the diffracted light and attaches the light receiving means. Has the effect of being able to be manufactured.

本発明に係る光ピックアップ装置の製造方法は、以上のように、上記非回折光を受光するための受光部において生成される検出信号に基づいて、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、かつ/または、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴としている。   As described above, the method of manufacturing the optical pickup device according to the present invention moves the objective lens perpendicular to the optical axis of the light beam based on the detection signal generated in the light receiving unit for receiving the non-diffracted light. And / or moving the integrated optical unit integrally with the collimator lens in a plane perpendicular to the optical axis of the optical beam, so that the objective lens and the integrated optical unit can be moved relative to each other. The method includes a step of adjusting the mounting position.

上記構成によれば、当該光ピックアップによる光記録媒体に対する情報の記録時あるいは再生時における上記受光部に対する非回折光の受光状態に即して、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整することが可能になる。このため、機械精度で上記光集積ユニット、上記コリメータレンズ、および、上記対物レンズを光ピックアップ装置に取り付ける場合と比べ、安定した検出信号が得られる光ピックアップ装置の製造が可能になるなどの効果を奏する。   According to the above configuration, the objective lens and the optical integrated unit are relative to each other in accordance with the light receiving state of the non-diffracted light with respect to the light receiving unit at the time of recording or reproducing information with respect to the optical recording medium by the optical pickup. It is possible to adjust the mounting position. For this reason, compared with the case where the optical integrated unit, the collimator lens, and the objective lens are attached to the optical pickup device with mechanical accuracy, it is possible to manufacture an optical pickup device that can obtain a stable detection signal. Play.

〔実施の形態1〕
本発明に係る実施の形態について、図1〜図15にもとづいて説明すれば以下のとおりである。なお、以下の説明では、本発明に係る、光集積ユニットの製造方法を、光ディスク(光情報記録媒体)に対して光学的に情報の記録および再生を行う光情報記録再生装置に備えられる光ピックアップ装置に相当する製造装置に搭載した状態で説明する。
[Embodiment 1]
An embodiment according to the present invention will be described below with reference to FIGS. In the following description, an optical pickup provided in an optical information recording / reproducing apparatus for optically recording and reproducing information with respect to an optical disc (optical information recording medium) will be described as an optical integrated unit manufacturing method according to the present invention. It demonstrates in the state mounted in the manufacturing apparatus corresponded to an apparatus.

図15は、光集積ユニット1を搭載した光ピックアップ装置8の構成図である。上記光ピックアップ装置8は光集積ユニット1と、コリメータレンズ2と、対物レンズ3と、1/4波長板5とを備えており、光ディスク4に対して光学的に情報の記録および再生を行うようになっている。   FIG. 15 is a configuration diagram of an optical pickup device 8 on which the optical integrated unit 1 is mounted. The optical pickup device 8 includes an optical integrated unit 1, a collimator lens 2, an objective lens 3, and a ¼ wavelength plate 5, and optically records and reproduces information with respect to the optical disc 4. It has become.

一方、図3は、光集積ユニットの製造装置9の構成を示した概略図である。上記製造装置9は、光集積ユニットが光ピックアップ装置8に搭載された状態を再現するよう、上記光ピックアップ装置8と同一の部品を備えている。すなわち、光集積ユニットの製造装置9は、コリメータレンズ2と、対物レンズ3と、光ディスク4と、1/4波長板5とを備えている。光集積ユニット1は着脱可能な状態で上記製造装置9に保持されている。   On the other hand, FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of the optical integrated unit manufacturing apparatus 9. The manufacturing apparatus 9 includes the same components as the optical pickup apparatus 8 so as to reproduce the state in which the optical integrated unit is mounted on the optical pickup apparatus 8. That is, the optical integrated unit manufacturing apparatus 9 includes a collimator lens 2, an objective lens 3, an optical disk 4, and a ¼ wavelength plate 5. The optical integrated unit 1 is held by the manufacturing apparatus 9 in a detachable state.

上記製造装置9において、光集積ユニット1に搭載された光源11から出射した光ビームは、コリメータレンズ2により平行光にされた後、対物レンズ3を介して光ディスク4に集光される。そして、光ディスク4から反射した光(以下、これを「戻り光」を呼ぶ)は、再び対物レンズ3とコリメータレンズ2を通過して、光集積ユニット1に搭載された受光素子12上に受光される。   In the manufacturing apparatus 9, the light beam emitted from the light source 11 mounted on the optical integrated unit 1 is collimated by the collimator lens 2 and then condensed on the optical disk 4 through the objective lens 3. Then, the light reflected from the optical disk 4 (hereinafter referred to as “return light”) passes through the objective lens 3 and the collimator lens 2 again and is received on the light receiving element 12 mounted on the optical integrated unit 1. The

また、上記製造装置9においては、光集積ユニット1に搭載された光源11から出射された光ビームの光軸上、コリメータレンズ2と対物レンズ3との間に1/4波長板5が設けられている。上記1/4波長板5によって、光ディスク4への入射光と光ディスク4からの戻り光とは偏光方向が90度異なるようになっている。   In the manufacturing apparatus 9, a quarter-wave plate 5 is provided between the collimator lens 2 and the objective lens 3 on the optical axis of the light beam emitted from the light source 11 mounted on the optical integrated unit 1. ing. Due to the ¼ wavelength plate 5, the incident light to the optical disk 4 and the return light from the optical disk 4 have a polarization direction different by 90 degrees.

光ディスク4は、基板4aと、光ビームが透過するカバー層4bと、基板4aとカバー層4bとの境界に形成された記録層4cと、によって構成されており、スピンドルモータ(図示せず)によって回転制御がなされる。そして、対物レンズ3は、対物レンズ駆動機構(図示せず)によってフォーカス方向(z方向)とトラッキング方向(x方向)に駆動されるようになっており、光ディスク4の面振れや偏心があっても集光スポットが記録層4cの所定位置を追従するようになっている。

なお、上記トラッキング方向は、光ディスク4の半径方向に等しく、図3ではx方向にて図示している。また、製造装置9に装着された状態の光ディスク4に平行な面内において、x方向に垂直な方向、すなわち光ディスク4の円周における接線方向を、図3ではy方向にて図示している。さらに、これらx・y方向に垂直な方向、すなわち上記フォーカス方向を、図3ではz方向にて図示している。
The optical disc 4 includes a substrate 4a, a cover layer 4b through which a light beam is transmitted, and a recording layer 4c formed at the boundary between the substrate 4a and the cover layer 4b, and is driven by a spindle motor (not shown). Rotation control is performed. The objective lens 3 is driven in the focus direction (z direction) and the tracking direction (x direction) by an objective lens drive mechanism (not shown), and there is surface deflection or eccentricity of the optical disc 4. Also, the condensing spot follows a predetermined position of the recording layer 4c.

The tracking direction is equal to the radial direction of the optical disk 4 and is shown in the x direction in FIG. Further, in the plane parallel to the optical disc 4 mounted on the manufacturing apparatus 9, the direction perpendicular to the x direction, that is, the tangential direction on the circumference of the optical disc 4, is shown in the y direction in FIG. Further, the direction perpendicular to the x and y directions, that is, the focus direction is shown in the z direction in FIG.

本実施の形態では、光集積ユニット1の上記光源11が波長405nm程度の短波長光源であり、製造装置9が開口数NA0.85程度の高NA対物レンズを備えている場合について説明する。本発明はこれに限定されるものではないが、これにより高密度の光記録媒体に対する書き込み、および、読み出しが可能な光集積ユニットの製造が可能になる。   In the present embodiment, the case where the light source 11 of the optical integrated unit 1 is a short wavelength light source having a wavelength of about 405 nm and the manufacturing apparatus 9 includes a high NA objective lens having a numerical aperture NA of about 0.85 will be described. Although the present invention is not limited to this, an optical integrated unit capable of writing to and reading from a high-density optical recording medium can be manufactured.

以下、光集積ユニット1の構成について詳細に説明する。図2は、図3において図示した光集積ユニット1の構成を示した構成図である。上記光集積ユニット1は、図2に示すように、光源11としての半導体レーザ(以下、半導体レーザ11と呼称替えする)と、受光素子(受光手段)12と、偏光ビームスプリッタ(導光手段)14と、偏光回折素子(回折手段)15と、ホルダ51と、ホルダ52とを備えている。半導体レーザ11はパッケージ18に収納されており、受光素子12はパッケージ19に収納されている。   Hereinafter, the configuration of the optical integrated unit 1 will be described in detail. FIG. 2 is a configuration diagram showing the configuration of the optical integrated unit 1 shown in FIG. As shown in FIG. 2, the optical integrated unit 1 includes a semiconductor laser as a light source 11 (hereinafter referred to as the semiconductor laser 11), a light receiving element (light receiving means) 12, and a polarization beam splitter (light guiding means). 14, a polarization diffraction element (diffractive means) 15, a holder 51, and a holder 52. The semiconductor laser 11 is housed in a package 18, and the light receiving element 12 is housed in a package 19.

次に、図2に基づいて、各構成部材の配置を説明する。なお、以下の説明において、説明の便宜上、偏光ビームスプリッタ14における半導体レーザ11から出射する光ビーム20が入射する面を、偏光ビームスプリッタ14の光ビーム入射面とし、偏光ビームスプリッタ14における戻り光が入射する面を、偏光ビームスプリッタ14の戻り光入射面とする。また、偏光回折素子15における半導体レーザ11から出射する光ビーム20が入射する面を、偏光回折素子15の光ビーム入射面とし、偏光回折素子15における戻り光が入射する面を、偏光回折素子15の戻り光入射面とする。   Next, the arrangement of each component will be described with reference to FIG. In the following description, for convenience of explanation, the surface of the polarization beam splitter 14 on which the light beam 20 emitted from the semiconductor laser 11 is incident is the light beam incident surface of the polarization beam splitter 14, and the return light from the polarization beam splitter 14 is The incident surface is a return light incident surface of the polarization beam splitter 14. Further, the surface of the polarization diffraction element 15 on which the light beam 20 emitted from the semiconductor laser 11 is incident is the light beam incident surface of the polarization diffraction element 15, and the surface of the polarization diffraction element 15 on which the return light is incident is polarization diffraction element 15. The return light incident surface.

偏光ビームスプリッタ14とパッケージ18に収納された半導体レーザ11とはホルダ51に固定されている。   The polarization beam splitter 14 and the semiconductor laser 11 housed in the package 18 are fixed to a holder 51.

一方、受光素子12は偏光ビームスプリッタ14から出射した戻り光の光軸に対して直交する面内で移動できるようにホルダ51に保持されている。   On the other hand, the light receiving element 12 is held by a holder 51 so as to be movable in a plane orthogonal to the optical axis of the return light emitted from the polarization beam splitter 14.

より具体的には、以下のとおりである。パッケージ19に収納された受光素子12はホルダ52に固定されている。ホルダ51には、偏光ビームスプリッタ14に入射した戻り光が、再び偏光ビームスプリッタ14から射出する位置に、受光素子12を収めるための空間が設けられており、該空間に受光素子12、パッケージ19、および、ホルダ52が一体化して配置される。ホルダ52はホルダ51に対して摺動することができるようになっている。すなわち、受光素子12を図示したxy面内で移動することが可能になっている。   More specifically, it is as follows. The light receiving element 12 housed in the package 19 is fixed to the holder 52. The holder 51 is provided with a space for receiving the light receiving element 12 at a position where the return light incident on the polarizing beam splitter 14 is emitted from the polarizing beam splitter 14 again. In the space, the light receiving element 12 and the package 19 are provided. , And the holder 52 are integrally arranged. The holder 52 can slide with respect to the holder 51. That is, the light receiving element 12 can be moved in the xy plane shown in the figure.

上記偏光回折素子15は、その光ビーム入射面が、上記偏光ビームスプリッタ14の戻り光入射面に対向するように、かつ、半導体レーザ11から出射する光ビームの光軸21上に、配置されている。このため、偏光回折素子15を偏光ビームスプリッタ14上で摺動することにより、偏光回折素子15を図示したxy面内で移動することが可能になっている。すなわち、偏光回折素子15は光ディスクで反射された戻り光の光軸に対して直交する面内で移動できるように保持されている。   The polarization diffraction element 15 is disposed on the optical axis 21 of the light beam emitted from the semiconductor laser 11 so that the light beam incident surface faces the return light incident surface of the polarization beam splitter 14. Yes. For this reason, by sliding the polarization diffraction element 15 on the polarization beam splitter 14, the polarization diffraction element 15 can be moved in the xy plane shown in the figure. That is, the polarization diffraction element 15 is held so that it can move in a plane orthogonal to the optical axis of the return light reflected by the optical disk.

上記半導体レーザ11は、上述したように、波長λ=405nmの光ビーム20を出射するものを使用している。光ビーム20は、図示した光軸方向(z方向)に対してx方向の偏光振動面を有する直線偏光(P偏光)である。半導体レーザ11から出射された光ビーム20は、偏光ビームスプリッタ14に入射する。   As described above, the semiconductor laser 11 that emits the light beam 20 having the wavelength λ = 405 nm is used. The light beam 20 is linearly polarized light (P-polarized light) having a polarization vibration plane in the x direction with respect to the illustrated optical axis direction (z direction). The light beam 20 emitted from the semiconductor laser 11 enters the polarization beam splitter 14.

上記偏光ビームスプリッタ14は、偏光ビームスプリッタ(PBS)面(機能面)14aと、反射ミラー(反射面)14bとを有している。上記PBS面14aは、上記半導体レーザ11から出射されたP偏光を有する光ビームの上記光軸21と交差し、該光ビーム20が透過するように配置されている。上記反射ミラー14bは、PBS面14aに対して平行になるように、かつ、受光素子12の受光面と対向するように配置されている。   The polarization beam splitter 14 has a polarization beam splitter (PBS) surface (functional surface) 14a and a reflection mirror (reflection surface) 14b. The PBS surface 14a is arranged so as to intersect the optical axis 21 of the P-polarized light beam emitted from the semiconductor laser 11 and transmit the light beam 20. The reflection mirror 14b is disposed so as to be parallel to the PBS surface 14a and to face the light receiving surface of the light receiving element 12.

上記PBS面14aは、図示した光軸方向(z方向)に対してx方向の偏光振動面を有する直線偏光(P偏光)を透過し、該偏光振動面に垂直な偏光振動面を有する、すなわち、図示した光軸方向(z方向)に対してy方向の偏光振動面を有する直線偏光(S偏光)を反射するような特性をもつ。   The PBS surface 14a transmits linearly polarized light (P-polarized light) having a polarization vibration surface in the x direction with respect to the illustrated optical axis direction (z direction), and has a polarization vibration surface perpendicular to the polarization vibration surface. , It has a characteristic of reflecting linearly polarized light (S-polarized light) having a polarization vibration plane in the y direction with respect to the illustrated optical axis direction (z direction).

一方、上記反射ミラー14bは、少なくともS偏光を反射する特性を持ち、上記PBS面14aにより反射され上記反射ミラーに入射するS偏光は、さらに上記反射ミラー14bにより反射される。   On the other hand, the reflection mirror 14b has a property of reflecting at least S-polarized light, and the S-polarized light reflected by the PBS surface 14a and incident on the reflection mirror is further reflected by the reflection mirror 14b.

PBS面14aを透過した上記光ビーム20(P偏光)は、次に、上記偏光回折素子15に入射する。   Next, the light beam 20 (P-polarized light) transmitted through the PBS surface 14 a is incident on the polarization diffraction element 15.

次に、上記偏光回折素子15について詳細に説明する。上記偏光回折素子15は、第1の偏光ホログラム素子31および第2の偏光ホログラム素子32を備えている。上記第1の偏光ホログラム素子31および上記第2の偏光ホログラム素子32はともに、光ビーム20の光軸21上に配置されており、上記第1の偏光ホログラム素子31は、上記第2の偏光ホログラム素子32よりも半導体レーザ11側に配置された構成となっている。   Next, the polarization diffraction element 15 will be described in detail. The polarization diffraction element 15 includes a first polarization hologram element 31 and a second polarization hologram element 32. The first polarization hologram element 31 and the second polarization hologram element 32 are both disposed on the optical axis 21 of the light beam 20, and the first polarization hologram element 31 is the second polarization hologram. It is configured to be disposed closer to the semiconductor laser 11 than the element 32.

上記第1の偏光ホログラム素子31はP偏光を回折させてS偏光を透過させ、上記第2の偏光ホログラム素子32はS偏光を回折させてP偏光を透過させる。これら偏光の回折は、各偏光ホログラム素子31・32に形成された溝構造(格子)によって行われ、回折角度は、上記格子のピッチ(以下、これを格子ピッチとよぶ)によって規定される。   The first polarization hologram element 31 diffracts P-polarized light and transmits S-polarized light, and the second polarization hologram element 32 diffracts S-polarized light and transmits P-polarized light. The diffraction of these polarized light is performed by the groove structure (grating) formed in each polarization hologram element 31 and 32, and the diffraction angle is defined by the pitch of the grating (hereinafter referred to as the grating pitch).

上記第1の偏光ホログラム素子31は、トラッキング誤差信号(TES)を検出するための3ビーム生成用のホログラムパターンが形成されている。   The first polarization hologram element 31 has a three-beam generating hologram pattern for detecting a tracking error signal (TES).

すなわち、PBS面14aを透過したP偏光の光ビーム20は、第1の偏光ホログラム素子31に入射すると、回折されてトラッキング誤差信号(TES)を検出するための3ビーム(メインビームおよび、2つのサブビーム)となって該第1の偏光ホログラム素子31から出射する。なお、上記第1の偏光ホログラム素子31の詳細なホログラムパターンについては、後述する。なお、3ビームを用いたTES検出方法としては、3ビーム法や、差動プッシュプル(DPP)法や、位相シフトDPP法等を用いることができる。   That is, when the P-polarized light beam 20 transmitted through the PBS surface 14a is incident on the first polarization hologram element 31, it is diffracted and is diffracted into three beams (a main beam and two beams for detecting a tracking error signal (TES)). And is emitted from the first polarization hologram element 31. The detailed hologram pattern of the first polarization hologram element 31 will be described later. As a TES detection method using three beams, a three-beam method, a differential push-pull (DPP) method, a phase shift DPP method, or the like can be used.

上記第2の偏光ホログラム素子32は、入射した光のうち、S偏光は回折させ、P偏光はそのまま透過させる。具体的には、上記第2の偏光ホログラム素子32は、入射したS偏光を回折し、0次回折光(非回折光)と、±1次回折光(回折光)とに分離する。   Of the incident light, the second polarization hologram element 32 diffracts S-polarized light and transmits P-polarized light as it is. Specifically, the second polarization hologram element 32 diffracts incident S-polarized light and separates it into zero-order diffracted light (non-diffracted light) and ± first-order diffracted light (diffracted light).

すなわち、第1の偏光ホログラム素子31を出射したP偏光の光ビーム20は、上記第2の偏光ホログラム素子32に入射し、そのまま透過する。なお、第2の偏光ホログラム素子32の詳細なホログラムパターンについては、後述する。   That is, the P-polarized light beam 20 emitted from the first polarization hologram element 31 is incident on the second polarization hologram element 32 and is transmitted as it is. The detailed hologram pattern of the second polarization hologram element 32 will be described later.

光集積ユニット1から出射したP偏光の光ビーム20は、図3に示すように、コリメータレンズ2により平行光にされた後、1/4波長板5に入射する。上記P偏光の光ビーム20は1/4波長板5により円偏光に変換され、対物レンズ3により光ディスク4の記録層上に集光される。   As shown in FIG. 3, the P-polarized light beam 20 emitted from the optical integrated unit 1 is collimated by the collimator lens 2 and then enters the quarter-wave plate 5. The P-polarized light beam 20 is converted into circularly polarized light by the quarter-wave plate 5 and condensed on the recording layer of the optical disk 4 by the objective lens 3.

光ディスク4によって反射された光ビーム、すなわち戻り光は、再び対物レンズ3を通過して再び1/4波長板5に入射する。上記戻り光は1/4波長板5によって図示した光軸方向(z方向)に対してy方向の偏光振動面を有する直線偏光(S偏光)に変換される。そして、コリメータレンズ2により集光されて光集積ユニット1の第2の偏光ホログラム素子32に入射する。   The light beam reflected by the optical disk 4, that is, the return light passes through the objective lens 3 again and enters the quarter-wave plate 5 again. The return light is converted into linearly polarized light (S-polarized light) having a polarization vibration plane in the y direction with respect to the optical axis direction (z direction) shown by the quarter wavelength plate 5. Then, the light is condensed by the collimator lens 2 and enters the second polarization hologram element 32 of the optical integrated unit 1.

上記第2の偏光ホログラム素子32に入射したS偏光の戻り光は、上述したように、0次回折光(非回折光)と、±1次回折光(回折光)とに分離されて出射する。該回折されたS偏光の戻り光(0次回折光および±1次回折光)は、上記第1の偏光ホログラム素子31に入射し、そのまま透過する。次に、該S偏光の戻り光は、上記偏光ビームスプリッタ14に入射し、上記PBS面14aによって反射され、反射ミラー14bによってさらに反射されて偏光ビームスプリッタ14から出射する。偏光ビームスプリッタ14から出射した該S偏光の戻り光は、上記受光素子12に受光される。なお、上記受光素子12の受光部パターンについては、後述する。   As described above, the S-polarized return light incident on the second polarization hologram element 32 is separated into zero-order diffracted light (non-diffracted light) and ± first-order diffracted light (diffracted light) and is emitted. The diffracted S-polarized return light (0th-order diffracted light and ± 1st-order diffracted light) is incident on the first polarization hologram element 31 and is transmitted as it is. Next, the S-polarized return light enters the polarization beam splitter 14, is reflected by the PBS surface 14a, is further reflected by the reflection mirror 14b, and is emitted from the polarization beam splitter 14. The S-polarized return light emitted from the polarization beam splitter 14 is received by the light receiving element 12. The light receiving part pattern of the light receiving element 12 will be described later.

次に、図4を用いて、第1の偏光ホログラム素子31に形成されるホログラムパターンについて説明する。   Next, a hologram pattern formed on the first polarization hologram element 31 will be described with reference to FIG.

第1の偏光ホログラム素子31における格子ピッチは、受光素子12上で3ビームが十分分離されるように設計されている。これは、上記3ビームを受光する受光部間での信号クロストークを小さくするためである。   The grating pitch in the first polarization hologram element 31 is designed so that the three beams are sufficiently separated on the light receiving element 12. This is to reduce the signal crosstalk between the light receiving portions that receive the three beams.

一方、光ディスク4上でのメインビームとサブビームとの間隔は、狭いほど組立誤差の影響で発生するトラッキング誤差信号のオフセットが小さくなるので好ましいが、上記の受光素子12上でのメインビームとサブビームとの間隔を決定すると同時に決定してしまう。したがって、光ディスク4上でのメインビームとサブビームとの間隔を十分狭くすることができない場合は、3ビーム法やDPP法に対して組立誤差の影響で発生するトラッキング誤差信号のオフセットが小さいという特徴を持つ位相シフトDPP法をトラッキング誤差信号検出方式として採用することが好ましい。   On the other hand, the smaller the distance between the main beam and the sub beam on the optical disk 4 is, the smaller the offset of the tracking error signal generated due to the influence of the assembly error is. However, the main beam and the sub beam on the light receiving element 12 are preferable. The interval is determined at the same time. Therefore, when the distance between the main beam and the sub beam on the optical disk 4 cannot be sufficiently narrowed, the tracking error signal offset generated by the influence of the assembly error is small compared to the three-beam method or the DPP method. It is preferable to employ the phase shift DPP method having the tracking error signal detection method.

図4は、第1の偏光ホログラム素子31に形成されるホログラムパターンを示した模式図である。ホログラムパターンとしては、3ビーム法または差動プッシュプル法(DPP法)を用いたトラッキング誤差信号(TES)の検出のための規則的な直線格子でもよいが、ここでは特許文献4に開示されている位相シフトDPP法を採用した場合について説明する。   FIG. 4 is a schematic diagram showing a hologram pattern formed on the first polarization hologram element 31. The hologram pattern may be a regular linear grating for detecting a tracking error signal (TES) using a three-beam method or a differential push-pull method (DPP method), but is disclosed in Patent Document 4 here. A case where the existing phase shift DPP method is employed will be described.

図4における第1の偏光ホログラム素子31のホログラムパターンは、領域31aと領域31bの2つの領域で構成されている。領域31aと領域31bは、周期構造の位相が180度異なっている。このような周期構造とすることでサブビームのプッシュプル信号振幅がほぼ0となり、対物レンズシフトやディスクチルトに対してオフセットがキャンセル可能になる。第1の偏光ホログラム素子31上の光ビーム20は、領域31aと領域31bに対して正確な位置あわせをするほど、良好なオフセットキャンセル性能が得られる。   The hologram pattern of the first polarization hologram element 31 in FIG. 4 is composed of two regions, a region 31a and a region 31b. The region 31a and the region 31b have a phase difference of 180 degrees in the periodic structure. By adopting such a periodic structure, the push-pull signal amplitude of the sub beam becomes almost zero, and the offset can be canceled with respect to the objective lens shift and the disc tilt. As the light beam 20 on the first polarization hologram element 31 is more accurately aligned with respect to the region 31a and the region 31b, a better offset canceling performance is obtained.

次に、図5を用いて、第2の偏光ホログラム素子32に形成されるホログラムパターンについて説明する。   Next, a hologram pattern formed on the second polarization hologram element 32 will be described with reference to FIG.

図5は、第2の偏光ホログラム素子32に形成されるホログラムパターンを示した模式図である。第2の偏光ホログラム素子32のホログラムパターンは、3つの領域32a、32b、32cから構成される。具体的には、トラッキング方向に対応するx方向の境界線32xによって2分割された一方の半円領域32cと、他方の半円領域がさらに円弧状の境界線によって分割された内周領域32aおよび外周領域32bである。なお、図中において、戻り光を点線で示している。   FIG. 5 is a schematic diagram showing a hologram pattern formed on the second polarization hologram element 32. The hologram pattern of the second polarization hologram element 32 includes three regions 32a, 32b, and 32c. Specifically, one semicircular region 32c divided into two by an x-direction boundary line 32x corresponding to the tracking direction, an inner peripheral region 32a in which the other semicircular region is further divided by an arc-shaped boundary line, and This is the outer peripheral region 32b. In the figure, the return light is indicated by a dotted line.

上記第2の偏光ホログラム素子32の各領域における格子ピッチは、領域32bが一番小さく(回折角度が最大)、領域32aが一番大きく(回折角度が最小)、領域32cはこれらの中間の数値となっている。   The grating pitch in each region of the second polarization hologram element 32 is the smallest in the region 32b (maximum diffraction angle), the largest in the region 32a (minimum diffraction angle), and the region 32c is an intermediate numerical value between them. It has become.

球面収差を補正するために用いられる球面収差誤差信号(SAES)は、後述するように、領域32aからの−1次回折光と領域32bと領域32cからの+1次回折光を、受光素子12に備えられた受光部により受光し、該受光部で生成される検出信号を演算することにより検出できる。   As will be described later, a spherical aberration error signal (SAES) used for correcting spherical aberration is provided in the light receiving element 12 with −1st order diffracted light from the region 32a and + 1st order diffracted light from the region 32b and the region 32c. It can be detected by receiving light by the light receiving unit and calculating a detection signal generated by the light receiving unit.

また、焦点位置ずれを補正するために用いられる焦点誤差信号(FES)は、領域32cからの−1次回折光と領域32aと領域32bからの+1次回折光を用いたダブルナイフエッジ法によって検出できる。   Further, the focus error signal (FES) used for correcting the focal position deviation can be detected by the double knife edge method using the −1st order diffracted light from the region 32c and the + 1st order diffracted light from the regions 32a and 32b.

また、本実施の形態では、0次回折光(非回折光)を、RF信号とDPD法のTES信号等の高速信号との検出に用いる。   In this embodiment, 0th-order diffracted light (non-diffracted light) is used for detection of an RF signal and a high-speed signal such as a TES signal of the DPD method.

なお、第1の偏光ホログラム素子31と第2の偏光ホログラム素子32とは、マスク精度で正確な位置決めをして一体的に作製することが可能である。偏光回折素子15偏光回折素子15したがって、所定のサーボ信号が得られるように第2の偏光ホログラム素子32の位置調整を行うと同時に、第1の偏光ホログラム素子の位置調整が完了する。すなわち、光集積ユニット1の組立調整が容易になる共に、調整精度が高いという効果が得られる。   The first polarization hologram element 31 and the second polarization hologram element 32 can be integrally manufactured by accurately positioning with mask accuracy. Polarization diffraction element 15 Polarization diffraction element 15 Therefore, the position adjustment of the first polarization hologram element 32 is completed simultaneously with the position adjustment of the second polarization hologram element 32 so as to obtain a predetermined servo signal. That is, it is possible to easily assemble and adjust the optical integrated unit 1 and to obtain an effect of high adjustment accuracy.

図6(a)・(b)は、本実施の形態の光集積ユニットに備えられた第2の偏光ホログラム素子32の分割パターンと受光素子12の受光部パターンの関係を説明する説明図である。図6(a)は、図3における光ディスク4のカバー層4bの厚みに対して、対物レンズ3による集光ビームに球面収差が発生しないように、コリメータレンズ2の光軸方向の位置調整がなされている状態で記録層4c上に合焦状態に集光している場合の、受光素子12上での光ビームを示している。   6A and 6B are explanatory diagrams for explaining the relationship between the division pattern of the second polarization hologram element 32 and the light receiving portion pattern of the light receiving element 12 provided in the optical integrated unit of the present embodiment. . 6A, the position of the collimator lens 2 in the optical axis direction is adjusted so that spherical aberration does not occur in the condensed beam by the objective lens 3 with respect to the thickness of the cover layer 4b of the optical disk 4 in FIG. 2 shows a light beam on the light receiving element 12 when the light is focused on the recording layer 4c in a focused state.

光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光は、該戻り光の光軸上に設けられた回折手段により、非回折光と回折光とに分離される。すなわち、図2に示したように、往路光学系において第1の偏光ホログラム素子31で形成された3つの光ビーム(メインビーム、および、2つのサブビーム)は、光ディスク4で反射して復路光学系において、それぞれ第2の偏光ホログラム素子32により非回折光22(0次回折光)と回折光23(±1次回折光)とに分離される。   The return light of the light beam reflected by the optical recording medium is separated into non-diffracted light and diffracted light by the diffraction means provided on the optical axis of the return light. That is, as shown in FIG. 2, the three light beams (main beam and two sub beams) formed by the first polarization hologram element 31 in the outward optical system are reflected by the optical disk 4 and are then returned to the optical system. 2 are separated into non-diffracted light 22 (0th order diffracted light) and diffracted light 23 (± 1st order diffracted light) by the second polarization hologram element 32, respectively.

なお、第2の偏光ホログラム素子32にはホログラムパターンがブレーズされている。すなわち、特定次数の回折光の光強度が強くなるように、格子の断面形状が斜面形状または階段形状に形成されている。本実施の形態では、領域32aと領域32bとは+1次回折光に、領域32cは−1次回折光に光強度が集中するような断面形状となっている。   A hologram pattern is blazed on the second polarization hologram element 32. In other words, the cross-sectional shape of the grating is formed into a slope shape or a staircase shape so that the light intensity of the diffracted light of a specific order is increased. In the present embodiment, the region 32a and the region 32b have a cross-sectional shape in which the light intensity concentrates on the + 1st order diffracted light, and the region 32c has a light intensity concentrate on the −1st order diffracted light.

受光素子12には、上記非回折光22(0次回折光)および回折光23(±1次回折光)を受光する受光部が備えられている。なお、上記受光素子には必ずしも第2の偏光ホログラム素子32により分離された全ての回折光および非回折光を受光する受光部を備える必要はなく、これらのうちRF信号やサーボ信号の検出に必要な光ビームを受光するための受光部が備えられていれば良い。   The light receiving element 12 includes a light receiving unit that receives the non-diffracted light 22 (0th order diffracted light) and the diffracted light 23 (± 1st order diffracted light). The light receiving element is not necessarily provided with a light receiving unit for receiving all diffracted light and non-diffracted light separated by the second polarization hologram element 32, and among these, it is necessary for detecting an RF signal and a servo signal. It is sufficient that a light receiving unit for receiving a light beam is provided.

本実施の形態においては、図6(a)に示すように、第2の偏光ホログラム素子32により、3つの0次回折光40と、6つの+1次回折光41と、3つの−1次回折光42との合計12個のビームが形成される。これら光ビームのうちRF信号やサーボ信号の検出に用いられる光ビームを受光するために、上記受光素子12は、0次回折光を受光する3つの受光部12A〜12Cと、+1回折光を受光する2つの受光部12Dおよび12Eと、−1次回折光を受光する受光部12Fとの6つの受光部を備えている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 6A, the second polarization hologram element 32 causes three 0th-order diffracted lights 40, six + 1st-order diffracted lights 41, and three −1st-order diffracted lights 42 to A total of 12 beams are formed. In order to receive a light beam used for detection of an RF signal or a servo signal among these light beams, the light receiving element 12 receives three light receiving portions 12A to 12C that receive 0th-order diffracted light and +1 diffracted light. There are six light receiving parts including two light receiving parts 12D and 12E and a light receiving part 12F that receives -1st order diffracted light.

上記各受光部のうち、非回折光を受光する受光部12A(第1の受光部)は、該受光部の中心を通り直交する2本の直線によって4つの受光セル12a〜12dに分割されている。この4つの受光セル12a〜12dから出力される4つの出力信号を含む検出信号は、後で詳述するように、受光素子12の取り付け位置を調整するための検出信号として用いられる。一方受光部12B〜12Fは、それぞれ、該受光部を横断する直線により2つの受光セルに分割されている。従って、上記受光素子12は、12a〜12nの合計14個の受光セルが備えられている。   Among the light receiving parts, the light receiving part 12A (first light receiving part) that receives non-diffracted light is divided into four light receiving cells 12a to 12d by two straight lines that pass through the center of the light receiving part and are orthogonal to each other. Yes. The detection signals including the four output signals output from the four light receiving cells 12a to 12d are used as detection signals for adjusting the mounting position of the light receiving element 12, as will be described in detail later. On the other hand, each of the light receiving portions 12B to 12F is divided into two light receiving cells by a straight line crossing the light receiving portion. Accordingly, the light receiving element 12 includes a total of 14 light receiving cells 12a to 12n.

第2の偏光ホログラム素子32により形成された上記光ビームのうち、0次回折光40は、プッシュプル法によるTES検出を可能にするために十分なビーム径を有した光ビームとなるように設計される。本実施の形態では、0次回折光40のビーム径がある程度の大きさを有するように、受光素子12を、0次回折光40の集光点に対して若干奥側(0次回折光40の進行方向に沿って奥側)にずらした位置に設置している。なお、本発明はこれに限定されるものではなく、受光素子12を0次回折光40の集光点に対して上記進行方向の手前側にずらした位置に設置するものであってもよい。   Of the light beams formed by the second polarization hologram element 32, the 0th-order diffracted light 40 is designed to be a light beam having a sufficient beam diameter to enable TES detection by the push-pull method. The In the present embodiment, the light receiving element 12 is slightly behind the condensing point of the 0th-order diffracted light 40 so that the beam diameter of the 0th-order diffracted light 40 has a certain size (the traveling direction of the 0th-order diffracted light 40). Along the back side). The present invention is not limited to this, and the light receiving element 12 may be installed at a position shifted to the near side of the traveling direction with respect to the condensing point of the 0th-order diffracted light 40.

このように、ある程度の大きさの光ビーム径を有した光ビームが、受光部12Aの中心(すなわち、4つの受光セル12a〜12dに分割する直線の交点)付近に集光されるので、後述する調整方法によりこれらの4つの受光セル12a〜12dから出力される出力信号が均等になるように調整することで、非回折光22に対する受光素子12の位置調整が可能である。   In this way, the light beam having a certain size of light beam diameter is condensed near the center of the light receiving unit 12A (that is, the intersection of the straight lines dividing the four light receiving cells 12a to 12d). The position of the light receiving element 12 relative to the non-diffracted light 22 can be adjusted by adjusting the output signals output from the four light receiving cells 12a to 12d to be equal by the adjusting method.

図6(b)は、図6(a)の状態から、図3における対物レンズ3が光ディスク4に近づいた場合の、受光素子12上での光ビームを示している。対物レンズ3が光ディスク4に近づくことによって、光ビームのビーム径が大きくなる。しかしながら、受光部からの光ビームのはみ出しは発生していない。   FIG. 6B shows a light beam on the light receiving element 12 when the objective lens 3 in FIG. 3 approaches the optical disc 4 from the state of FIG. As the objective lens 3 approaches the optical disc 4, the beam diameter of the light beam increases. However, the light beam does not protrude from the light receiving unit.

このように、+1次回折光と−1次回折光の両方を用いることによって、偏光回折素子15の光軸中心の回転調整によりダブルナイフエッジ法のFES信号のオフセット調整を確実に行うことができるという効果がある。   Thus, by using both the + 1st order diffracted light and the −1st order diffracted light, the offset adjustment of the FES signal of the double knife edge method can be reliably performed by adjusting the rotation of the optical axis center of the polarization diffraction element 15. There is.

次に、図5と図6(a)・(b)を用いて、RF信号およびサーボ信号生成の動作について説明する。なお、ここでは受光セル12a〜12nの出力信号をSa〜Snと表す。   Next, the operation of generating an RF signal and a servo signal will be described with reference to FIGS. 5 and 6A and 6B. Here, the output signals of the light receiving cells 12a to 12n are represented as Sa to Sn.

RF信号(RF)は、非回折光を用いて検出する。すなわち、RF信号(RF)は、
RF=Sa+Sb+Sc+Sd
で与えることができる。
The RF signal (RF) is detected using non-diffracted light. That is, the RF signal (RF) is
RF = Sa + Sb + Sc + Sd
Can be given in

DPD法によるトラッキング誤差信号(TES1)は、Sa〜Sdの位相比較を行うことにより検出される。具体的には、以下の原理が利用される。光ディスク4の記録層4cに形成されたピット列を対物レンズ3により集光された光ビームが走査する場合、ピット列と光ビームの位置関係により反射ビームの強度分布パターンが変化する。そこで、(Sa+Sc)と(Sb+Sd)を検出すると、光ビームがピット列の中央を走査している場合には同位相であるのに対して、光ビームがピット列の中央からずれた位置を走査している場合には、ずれの方向により逆方向となる位相差が生じる。したがって、(Sa+Sc)と(Sb+Sd)の位相差を検出することによりトラッキング誤差信号が得られる。   The tracking error signal (TES1) by the DPD method is detected by performing a phase comparison of Sa to Sd. Specifically, the following principle is used. When the light beam condensed by the objective lens 3 scans the pit row formed on the recording layer 4c of the optical disc 4, the intensity distribution pattern of the reflected beam changes depending on the positional relationship between the pit row and the light beam. Therefore, when (Sa + Sc) and (Sb + Sd) are detected, the light beam is in the same phase when scanning the center of the pit row, but the position where the light beam is shifted from the center of the pit row is scanned. In such a case, a phase difference in the opposite direction occurs depending on the direction of deviation. Therefore, a tracking error signal can be obtained by detecting the phase difference between (Sa + Sc) and (Sb + Sd).

位相シフトDPP法によるトラッキング誤差信号(TES2)は、
TES2={(Sa+Sb)−(Sc+Sd)}
−α{(Se−Sf)+(Sg−Sh)}
で与えられる。なお、ここで、αは対物レンズシフトや光ディスクチルトによるオフセットをキャンセルするのに最適な係数に設定される。
The tracking error signal (TES2) by the phase shift DPP method is
TES2 = {(Sa + Sb)-(Sc + Sd)}
−α {(Se−Sf) + (Sg−Sh)}
Given in. Here, α is set to an optimum coefficient for canceling offset due to objective lens shift or optical disc tilt.

フォーカス誤差信号(FES)は、ダブルナイフエッジ法を用いて検出する。すなわち、FESは、
FES=(Sm−Sn)−{(Sk+Si)−(Sl+Sj)}
で与えられる。
The focus error signal (FES) is detected using a double knife edge method. That is, FES is
FES = (Sm−Sn) − {(Sk + Si) − (Sl + Sj)}
Given in.

上述したように、本実施の形態では、開口数NAが0.85の対物レンズと、波長が405nmのレーザ光を用いて大容量化を実現している。しかし、大容量化が図られた光ディスクでは、対物レンズの開口数NAが大きくなるに従って、収差の影響が問題となる。   As described above, in this embodiment, a large capacity is realized by using an objective lens having a numerical aperture NA of 0.85 and a laser beam having a wavelength of 405 nm. However, in an optical disk with a large capacity, the influence of aberration becomes a problem as the numerical aperture NA of the objective lens increases.

光ディスクの記録領域にレーザ光が照射された際に、情報が記録された記録層上に照射されるレーザ光が透過される距離であるレーザ光の入射面と記録層との間のカバー層の厚さt(以下、ディスク基板厚さtと称する)の誤差によって発生する球面収差は、開口数NAの4乗に比例して増加する。この球面収差を抑制するためには、ディスク基板厚さtの寸法公差を小さくすることが効果的である。例えば、レーザ光の波長が780nm、開口数NAが0.45であるCDのディスク基板厚さtの寸法公差は±100μm、レーザ光の波長が650nm、開口数NAが0.6であるDVDのディスク基板厚さtの寸法公差は±30μmであるのに対して、本実施の形態と同様、レーザ光の波長が405nm、開口数NAが0.85である次世代高密度光ディスクのディスク基板厚さtの寸法公差は±3μmになる。このように、大容量化が図られるに従って、ディスクの製作精度は加速度的に厳しくなる。   When the laser beam is irradiated onto the recording area of the optical disc, the cover layer between the incident surface of the laser beam and the recording layer is a distance through which the laser beam irradiated onto the recording layer on which information is recorded is transmitted. The spherical aberration caused by the error in the thickness t (hereinafter referred to as the disc substrate thickness t) increases in proportion to the fourth power of the numerical aperture NA. In order to suppress this spherical aberration, it is effective to reduce the dimensional tolerance of the disk substrate thickness t. For example, a CD disk substrate thickness t of a CD having a laser beam wavelength of 780 nm and a numerical aperture NA of 0.45 is ± 100 μm, a laser beam wavelength of 650 nm, and a numerical aperture NA of 0.6. While the dimensional tolerance of the disk substrate thickness t is ± 30 μm, the disk substrate thickness of the next-generation high-density optical disk in which the wavelength of the laser beam is 405 nm and the numerical aperture NA is 0.85, as in this embodiment. The dimensional tolerance of the length t is ± 3 μm. Thus, as the capacity is increased, the manufacturing accuracy of the disk becomes stricter in terms of acceleration.

しかし、ディスク基板厚さtの誤差は光ディスクの製造方法に依存するため、ディスク基板厚さtの寸法精度を高めることが非常に困難であるという問題がある。また、ディスク基板厚さtの寸法精度を高めることは、光ディスクの製造コストを増加させてしまうという不都合がある。したがって、光ピックアップ装置に、光ディスクを再生する際に生じる球面収差を補正する機能を有することが求められる。   However, since the error of the disk substrate thickness t depends on the manufacturing method of the optical disk, there is a problem that it is very difficult to increase the dimensional accuracy of the disk substrate thickness t. Also, increasing the dimensional accuracy of the disk substrate thickness t has the disadvantage of increasing the manufacturing cost of the optical disk. Therefore, the optical pickup device is required to have a function of correcting spherical aberration that occurs when reproducing an optical disk.

一般的には、ビームエキスパンダ等のレンズを機械的に移動させることで球面収差補正が行われる。この球面収差補正を正確かつ高速に行うために、球面収差補正の目標となる球面収差誤差信号の検出が必要になる。   In general, spherical aberration correction is performed by mechanically moving a lens such as a beam expander. In order to perform this spherical aberration correction accurately and at high speed, it is necessary to detect a spherical aberration error signal which is a target of spherical aberration correction.

本実施の形態においても、カバー層4bの厚み誤差で生じる球面収差を補正するために、コリメータレンズ2をコリメータレンズ駆動機構(図示せず)により光軸方向に位置調整をするようになっている。   Also in the present embodiment, the position of the collimator lens 2 is adjusted in the optical axis direction by a collimator lens driving mechanism (not shown) in order to correct the spherical aberration caused by the thickness error of the cover layer 4b. .

このような駆動機構を制御する球面収差補正信号の検出には、様々な方法が提案されている。例えば、戻り光をホログラム素子により2つの光ビームに分離して、光ビームの焦点位置に基づいて球面収差誤差信号を検出する方法がある(特許文献5を参照)。   Various methods have been proposed for detecting a spherical aberration correction signal for controlling such a drive mechanism. For example, there is a method in which return light is separated into two light beams by a hologram element and a spherical aberration error signal is detected based on the focal position of the light beam (see Patent Document 5).

本実施の形態においても、球面収差誤差信号(SAES)は内外周に分離した光ビームからの検出信号を利用して検出する。すなわち、SAESは、
SAES1=(Sk−Sl)−β(Si−Sj)
SAES2=(Sk−Sl)−β(Sm−Sn)
SAES3=(Si−Sj)−β(Sm−Sn)
のいずれかで与えられる。なお、ここで、βはSAESのオフセットをキャンセルするのに最適な係数に設定される。
Also in this embodiment, the spherical aberration error signal (SAES) is detected by using a detection signal from the light beam separated into the inner and outer circumferences. That is, SAES is
SAES1 = (Sk−Sl) −β (Si−Sj)
SAES2 = (Sk−Sl) −β (Sm−Sn)
SAES3 = (Si-Sj)-[beta] (Sm-Sn)
Given in either Here, β is set to an optimum coefficient for canceling the SAES offset.

図7は光ディスク4におけるカバー層4bの厚み誤差の影響で対物レンズ3の集光ビームに球面収差が発生している状態で、光ディスク4が対物レンズ3の焦点に位置している場合の受光素子12上での光ビームの形状を説明する図である。   FIG. 7 shows a light receiving element when the optical disc 4 is located at the focal point of the objective lens 3 in a state where spherical aberration is generated in the focused beam of the objective lens 3 due to the thickness error of the cover layer 4 b in the optical disc 4. FIG. 12 is a diagram illustrating the shape of a light beam on 12;

なお、本実施の形態に係る光集積ユニット1においては、パッケージ19に収納された受光素子12はホルダ52を介してホルダ51に保持されていたが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。すなわち、例えば、図8に示すように受光素子12(受光手段)と偏光ビームスプリッタ14(導光手段)とを一体化した構成とすることも可能である。   In the optical integrated unit 1 according to the present embodiment, the light receiving element 12 housed in the package 19 is held by the holder 51 via the holder 52, but the present invention is not necessarily limited to this. Absent. That is, for example, as shown in FIG. 8, the light receiving element 12 (light receiving means) and the polarization beam splitter 14 (light guiding means) may be integrated.

上記光集積ユニットに関して、図8を用いて説明する。なお、図2と同じ部材には同じ符号を付して説明は省略する。   The optical integrated unit will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same member as FIG. 2, and description is abbreviate | omitted.

図8に示すように、パッケージ18に収納された半導体レーザ11はホルダ51に固定されている。一方、パッケージ19に収納された受光素子12は偏光ビームスプリッタ14に固定されている。さらに、偏光ビームスプリッタ14はホルダ52に固定されている。従って、ホルダ52をホルダ51上で摺動することにより、一体化した受光素子12と偏光ビームスプリッタ14とを図示したxy面内で移動することが可能となる。   As shown in FIG. 8, the semiconductor laser 11 housed in the package 18 is fixed to a holder 51. On the other hand, the light receiving element 12 housed in the package 19 is fixed to the polarization beam splitter 14. Further, the polarization beam splitter 14 is fixed to the holder 52. Therefore, by sliding the holder 52 on the holder 51, it is possible to move the integrated light receiving element 12 and the polarizing beam splitter 14 within the xy plane shown in the drawing.

図8に示した上記光集積ユニット1においては、受光素子12と偏光ビームスプリッタ14とを一体で移動し、受光素子12の取り付け位置が調整される。このため、上記光集積ユニット1の調整時に受光素子12と偏光ビームスプリッタ14との相対位置が変化しない。従って、偏光ビームスプリッタ14に受光素子12の取り付け位置の変動を考慮したマージンを確保する必要がなく、受光素子12と偏光ビームスプリッタ14との一体化時の精度を上げれば、偏光ビームスプリッタ14を小さくすることが可能になる。すなわち、光集積ユニット1を小型軽量化することが可能になる。   In the optical integrated unit 1 shown in FIG. 8, the light receiving element 12 and the polarization beam splitter 14 are moved together to adjust the mounting position of the light receiving element 12. For this reason, the relative position of the light receiving element 12 and the polarization beam splitter 14 does not change when the optical integrated unit 1 is adjusted. Therefore, it is not necessary to secure a margin for the polarization beam splitter 14 in consideration of a change in the mounting position of the light receiving element 12, and if the accuracy when the light receiving element 12 and the polarization beam splitter 14 are integrated is increased, the polarization beam splitter 14 is It becomes possible to make it smaller. That is, the optical integrated unit 1 can be reduced in size and weight.

さらに、偏光ビームスプリッタ14が受光素子12のカバーガラスとしての機能を兼ねることができるので、厚み寸法を増やすことなく受光素子12の受光面を保護することができる。   Furthermore, since the polarization beam splitter 14 can also function as a cover glass of the light receiving element 12, the light receiving surface of the light receiving element 12 can be protected without increasing the thickness dimension.

次に、本実施の形態に係る、光集積ユニットの一製造方法を、図1に示すフローチャートに基づいて説明する。本実施の形態に係る、光集積ユニットの該製造方法においては、光集積ユニット1は光ピックアップ装置への搭載に先立って、図3に示した製造装置9においてあらかじめ調整される。   Next, a method for manufacturing an optical integrated unit according to the present embodiment will be described based on the flowchart shown in FIG. In the method of manufacturing an optical integrated unit according to the present embodiment, the optical integrated unit 1 is adjusted in advance in the manufacturing apparatus 9 shown in FIG. 3 prior to mounting on the optical pickup device.

図3に示した光集積ユニットの製造装置9は、図15に示した光ピックアップ装置8と共通の部材で構成されている。ただし、対物レンズ3、コリメータレンズ2、1/4波長板5、光ディスク4が光集積ユニット製造装置側に組み込まれており、光集積ユニット1のみ調整と着脱が可能になっている。   The optical integrated unit manufacturing apparatus 9 shown in FIG. 3 is composed of the same members as the optical pickup apparatus 8 shown in FIG. However, the objective lens 3, the collimator lens 2, the quarter wavelength plate 5, and the optical disk 4 are incorporated on the optical integrated unit manufacturing apparatus side, and only the optical integrated unit 1 can be adjusted and attached / detached.

光集積ユニット1を、該光集積ユニット1が搭載される光ピックアップ装置8に相当する製造装置9によってあらかじめ調整することにより、光ピックアップ装置8に光集積ユニット1を調整するための機構部品や調整のための余分なスペースを確保する必要が無くなる。これにより、光ピックアップ装置8の部品配置の自由度が増えるとともに、小型軽量化が可能になる。   By adjusting the optical integrated unit 1 in advance by a manufacturing apparatus 9 corresponding to the optical pickup device 8 on which the optical integrated unit 1 is mounted, mechanical parts and adjustments for adjusting the optical integrated unit 1 to the optical pickup device 8 There is no need to secure extra space for. As a result, the degree of freedom of component arrangement of the optical pickup device 8 is increased, and the size and weight can be reduced.

なお、半導体レーザ11のxy軸方向の2次元位置調整とコリメータレンズ2のx軸方向の位置調整を行い基準軸方向の平行光が出射するように調整するのは通常の光ピックアップ装置の調整工程と同じである。以下の説明では上記工程に関する記載は省略し、それ以降の調整工程、すなわち、非回折光によって第1の受光部(受光部12A)において生成される第1の検出信号(出力信号Sa〜Sd)に基づいて受光手段(受光素子12)の取り付け位置を調整する工程、および、回折光によって第2の受光部(受光部12D〜12F)において生成される第2の検出信号(出力信号Si〜Sn)を用いて回折手段(偏光回折素子15)の取り付け位置を調整する工程について説明する。   It is to be noted that the two-dimensional position adjustment of the semiconductor laser 11 in the xy-axis direction and the position adjustment of the collimator lens 2 in the x-axis direction are performed so that parallel light in the reference axis direction is emitted. Is the same. In the following description, description on the above steps is omitted, and subsequent adjustment steps, that is, first detection signals (output signals Sa to Sd) generated in the first light receiving unit (light receiving unit 12A) by non-diffracted light. The step of adjusting the mounting position of the light receiving means (light receiving element 12) based on the first and second detection signals (output signals Si to Sn) generated in the second light receiving parts (light receiving parts 12D to 12F) by diffracted light The step of adjusting the attachment position of the diffractive means (polarized light diffraction element 15) using) will be described.

上記非回折光によって第1の受光部において生成される第1の検出信号に基づいて受光手段の取り付け位置を調整する工程は、以下のステップS1〜S3よりなる。   The step of adjusting the mounting position of the light receiving means based on the first detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light includes the following steps S1 to S3.

(1)受光手段を該受光手段に入射する非回折光あるいは戻り光の光軸に垂直な面内で移動する(ステップS1)。より具体的には、ホルダ52をホルダ51に対して摺動し、パッケージ19に収納された受光素子12を移動する。   (1) The light receiving means is moved in a plane perpendicular to the optical axis of non-diffracted light or return light incident on the light receiving means (step S1). More specifically, the holder 52 is slid with respect to the holder 51 and the light receiving element 12 accommodated in the package 19 is moved.

(2)第1の検出信号に基づいて非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかを判定する(ステップS2)。具体的には、上記非回折光を受光する受光部12Aに含まれる4つの受光セル12a〜12dから出力される4つの出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdが均等になるか判定する。さらに具体的には、上記4つの出力信号の差、|Sa−Sb|、|Sa−Sd|、|Sb−Sc|、および、|Sc−Sd|が定められた閾値以下になるか判定する。   (2) It is determined whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit based on the first detection signal (step S2). Specifically, it is determined whether the four output signals Sa, Sb, Sc, and Sd output from the four light receiving cells 12a to 12d included in the light receiving unit 12A that receives the non-diffracted light are equal. More specifically, it is determined whether the difference between the four output signals, | Sa−Sb |, | Sa−Sd |, | Sb−Sc |, and | Sc−Sd | .

なお、上記判定は必ずしも出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdが均等になるかを判定するものに限らず、上記非回折光が上記第1の受光部に正しく入射しているかを判定できるものであれば良い。すなわち、例えば、x方向調整信号=(Sa+Sb)−(Sc+Sd)、および、y方向調整信号=(Sa+Sd)−(Sb+Sc)がそれぞれ概ねゼロになる(すなわち、上記x方向調整信号とy方向調整信号とがそれぞれ定められた閾値以下になる)か判定することによって、上記非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかを判定しても良い。   The determination is not limited to determining whether the output signals Sa, Sb, Sc, and Sd are equal, and it can be determined whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit. Anything is fine. That is, for example, the x direction adjustment signal = (Sa + Sb) − (Sc + Sd) and the y direction adjustment signal = (Sa + Sd) − (Sb + Sc) are substantially zero (that is, the x direction adjustment signal and the y direction adjustment signal). It is also possible to determine whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit.

(3)上記ステップS2において、非回折光が第1の受光部に正しく入射していると判定された場合、受光手段の位置を固定する(ステップS3)。より具体的には、パッケージ19に収められた受光素子12が固定されたホルダ52を、ホルダ51との接合面にUV接着剤等を塗布してホルダ51に仮止めした状態で上記位置調整を行い、第1の検出信号が目標範囲にあるとき、ホルダ52とホルダ51との接合面に紫外線を照射することによりUV接着剤を硬化させて、受光素子12をホルダ52を介してホルダ51に対し固定すれば良い。   (3) If it is determined in step S2 that the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving portion, the position of the light receiving means is fixed (step S3). More specifically, the position adjustment is performed in a state in which the holder 52 to which the light receiving element 12 housed in the package 19 is fixed is temporarily fixed to the holder 51 by applying UV adhesive or the like to the joint surface with the holder 51. When the first detection signal is within the target range, the UV adhesive is cured by irradiating the bonding surface between the holder 52 and the holder 51 with ultraviolet rays, and the light receiving element 12 is transferred to the holder 51 via the holder 52. What is necessary is just to fix.

上記ステップS2において、非回折光が第1の受光部に正しく入射されていないと判定された場合は、ステップS1に戻り、ステップS2において第1の受光部により検出された検出信号に基づき、再び受光手段を戻り光の光軸に垂直な面内で移動する。すなわち、ステップS2において、非回折光が第1の受光部に正しく入射されていると判定されるまで、上記ステップS1とステップS2とを繰り返す。   If it is determined in step S2 that the non-diffracted light is not correctly incident on the first light receiving unit, the process returns to step S1, and again based on the detection signal detected by the first light receiving unit in step S2. The light receiving means is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the return light. That is, step S1 and step S2 are repeated until it is determined in step S2 that the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit.

回折光によって第2の受光部において生成される第2の検出信号に基づいて回折手段の取り付け位置を調整する工程は、以下のステップS4〜S6よりなる。   The step of adjusting the attachment position of the diffractive means based on the second detection signal generated by the diffracted light in the second light receiving unit includes the following steps S4 to S6.

(4)回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸に垂直な面内で平行移動し、回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸を中心に回転する(ステップS4)。より具体的には、偏光回折素子15を偏光ビームスプリッタ14上で摺動し、偏光回折素子15の、xy面内における位置調整と、偏光ビームスプリッタ14に入射する戻り光の光軸を回転軸とした角度調整とを行う。   (4) The diffractive means is translated in a plane perpendicular to the optical axis of the return light incident on the diffractive means, and the diffractive means is rotated around the optical axis of the return light incident on the diffractive means (step S4). . More specifically, the polarization diffraction element 15 is slid on the polarization beam splitter 14, the position of the polarization diffraction element 15 in the xy plane is adjusted, and the optical axis of the return light incident on the polarization beam splitter 14 is the rotation axis. And angle adjustment.

(5)第2の検出信号に基づいて、戻り光が正しく回折手段に入射しているかを判定する(ステップS5)。具体的には、第2の偏光ホログラム素子32による回折で生じた回折光23を受光する受光セル12i、12j、12k、12l、12m、および、12nにおいて生成される出力信号Si、Sj、Sk、Sl、Sm、および、Snから演算により求められる、FESおよびSAESが所定の信号になっているかを判定する。本ステップにおいて演算により求められるFESおよびSAESの具体形については、後述する。   (5) Based on the second detection signal, it is determined whether the return light is correctly incident on the diffraction means (step S5). Specifically, the output signals Si, Sj, Sk generated in the light receiving cells 12i, 12j, 12k, 12l, 12m, and 12n that receive the diffracted light 23 generated by the diffraction by the second polarization hologram element 32 are provided. It is determined whether FES and SAES obtained by calculation from Sl, Sm, and Sn are predetermined signals. Specific forms of FES and SAES obtained by calculation in this step will be described later.

(6)上記ステップS5において、戻り光が正しく回折手段に入射していると判定された場合、回折手段の位置を固定する(ステップS6)。より具体的には、偏光回折素子15にUV接着剤を塗布して偏光ビームスプリッタ14に仮止めした状態で上記位置調整および角度調整を行い、第2の検出信号が目標範囲内にあるとき、偏光回折素子15と偏光ビームスプリッタ14との接合面に紫外線を照射することでUV接着剤を硬化させて、偏光回折素子15を偏光ビームスプリッタに対して固定すれば良い。   (6) If it is determined in step S5 that the return light is correctly incident on the diffractive means, the position of the diffractive means is fixed (step S6). More specifically, the position adjustment and the angle adjustment are performed in a state where a UV adhesive is applied to the polarization diffraction element 15 and temporarily fixed to the polarization beam splitter 14, and when the second detection signal is within the target range, The polarizing diffraction element 15 may be fixed to the polarizing beam splitter by irradiating the bonding surface between the polarizing diffraction element 15 and the polarizing beam splitter 14 with ultraviolet rays to cure the UV adhesive.

上記ステップS6において、戻り光が第2の受光部に正しく入射されていないと判定された場合は、ステップS4に戻り、ステップS5において第2の受光部により検出された検出信号に基づき、再び回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸に垂直な面内で平行移動し、回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸を中心に回転する。   If it is determined in step S6 that the return light is not correctly incident on the second light receiving unit, the process returns to step S4, and diffraction is performed again based on the detection signal detected by the second light receiving unit in step S5. The means is translated in a plane perpendicular to the optical axis of the return light incident on the diffraction means, and the diffraction means is rotated around the optical axis of the return light incident on the diffraction means.

上記各ステップについて、図9および図10を用いて、さらに詳細に説明する。   Each of the above steps will be described in more detail with reference to FIG. 9 and FIG.

はじめに、受光手段の位置調整について、図9を用いて説明する。   First, the position adjustment of the light receiving means will be described with reference to FIG.

受光素子12の位置調整および偏光回折素子15の位置調整と角度調整がなされていない初期状態においては、受光素子12と戻り光の位置関係がずれており、偏光回折素子15の取り付け角度もずれている。この状態における、受光素子12に入射する非回折光22(0次回折光)および回折光23(±1次回折光)の集光スポットと該受光素子12に備えられた受光部との位置関係は、例えば、図9(a)に示すようになる。   In the initial state where the position adjustment of the light receiving element 12 and the position adjustment and the angle adjustment of the polarization diffraction element 15 are not performed, the positional relationship between the light reception element 12 and the return light is shifted, and the mounting angle of the polarization diffraction element 15 is also shifted. Yes. In this state, the positional relationship between the condensing spot of the non-diffracted light 22 (0th order diffracted light) and the diffracted light 23 (± 1st order diffracted light) incident on the light receiving element 12 and the light receiving unit provided in the light receiving element 12 is For example, as shown in FIG.

ステップS1およびステップS2において、偏光回折格子32を透過した非回折光を検出して受光素子12の戻り光に垂直な面内での位置調整を行うと、受光素子12に入射する非回折光22(0次回折光)および回折光23(±1次回折光)の集光スポットと該受光素子12に備えられた受光部との位置関係は、例えば、図9(b)に示すようになる。すなわち、ステップS2を終了した段階で、戻り光の光軸中心と受光素子12の中心とは正しく一致する。   In step S1 and step S2, when the non-diffracted light transmitted through the polarization diffraction grating 32 is detected and the position is adjusted in a plane perpendicular to the return light of the light receiving element 12, the non-diffracted light 22 incident on the light receiving element 12 is obtained. The positional relationship between the condensing spots of (0th-order diffracted light) and diffracted light 23 (± 1st-order diffracted light) and the light receiving unit provided in the light receiving element 12 is as shown in FIG. 9B, for example. That is, when step S2 is completed, the center of the optical axis of the return light and the center of the light receiving element 12 are correctly matched.

次に、回折手段の回転調整について、図10を用いて説明する。   Next, rotation adjustment of the diffraction means will be described with reference to FIG.

ステップS3を終了した段階では偏光回折素子15の取り付け角度が調整されていないため、受光素子12に入射する回折光23(±1次回折光)の集光スポットは、所定の位置からずれている。この状態を図10(a)に示した。ステップS4およびステップS5において、偏光回折素子15により回折された回折光を検出し、偏光回折素子15の取り付け角度を調整すると、受光素子12に入射する非回折光22(0次回折光)および回折光23(±1次回折光)の集光スポットと該受光素子12に備えられた受光部との位置関係は図10(b)に示すようになる。すなわち、受光素子12に備えられた各受光部に、偏光回折素子15により分離された非回折光が正確に入射している。   Since the attachment angle of the polarization diffraction element 15 is not adjusted at the stage where step S3 is completed, the condensed spot of the diffracted light 23 (± first-order diffracted light) incident on the light receiving element 12 is shifted from a predetermined position. This state is shown in FIG. In steps S4 and S5, when the diffracted light diffracted by the polarization diffraction element 15 is detected and the mounting angle of the polarization diffraction element 15 is adjusted, the non-diffracted light 22 (0th order diffracted light) and diffracted light incident on the light receiving element 12 are detected. FIG. 10B shows the positional relationship between the condensing spot of 23 (± first-order diffracted light) and the light receiving portion provided in the light receiving element 12. That is, the non-diffracted light separated by the polarization diffraction element 15 is accurately incident on each light receiving portion provided in the light receiving element 12.

また、ステップS5における戻り光が偏光回折素子15に正しく入射しているかの判定は、図3に示したx方向、y方向、および、角度に対して独立におこなわれる。すなわち、x方向に関する判定は、
受光セル12i〜12lにおいて生成される検出信号を用い、
Si+Sj=γ(Sk+Sl)
が成り立つかにより判定される。ここで、γは領域32aの大きさと戻り光の大きさの比率と、戻り光の強度分布で決まる定数である。また、y軸方向に関しては、受光セル12i〜12nにおいて生成される検出信号を用い、
Sm+Sn=Si+Sj+Sk+Sl
が成り立つかにより判定される。さらに、取り付け角度に関しては、RF信号最良状態(すなわち、フォーカスサーボとトラッキングサーボとをかけた状態で最大のRF信号信号振幅となる状態)で、
FES=(Sm−Sn)−{(Si−Sj)+γ(Sk−Sl)}=0
が成り立つかを判定すれば良い。
Further, whether or not the return light in step S5 is correctly incident on the polarization diffraction element 15 is determined independently with respect to the x direction, the y direction, and the angle shown in FIG. That is, the determination regarding the x direction is
Using detection signals generated in the light receiving cells 12i to 12l,
Si + Sj = γ (Sk + Sl)
Is determined by whether or not Here, γ is a constant determined by the ratio between the size of the region 32a and the magnitude of the return light and the intensity distribution of the return light. For the y-axis direction, detection signals generated in the light receiving cells 12i to 12n are used,
Sm + Sn = Si + Sj + Sk + Sl
Is determined by whether or not Furthermore, with respect to the mounting angle, in the best RF signal state (that is, a state in which the maximum RF signal signal amplitude is obtained when the focus servo and tracking servo are applied),
FES = (Sm−Sn) − {(Si−Sj) + γ (Sk−Sl)} = 0
What is necessary is just to determine whether or not.

なお、上記ステップS1においては、上述したように、受光素子12は該受光素子12に入射する非回折光あるは戻り光の光軸に垂直な面内で移動されることが好ましい。本発明は必ずしもこれに限定されるものではないが、受光素子12を該受光素子12に入射する非回折光あるいは戻り光の光軸に垂直な面内で移動することにより、受光部12A〜12Fが配置された受光面において、該受光面に入射する非回折光あるいは戻り光の集光スポットの大きさおよび形状を変化させることなく、各受光部に集光される集光スポットの位置を調整することが可能になる。このため、上記第1の検出信号に基づいて受光素子12の取り付け位置を調整することが容易になる。また、非回折光あるいは戻り光の光軸と上記受光面が直交していれば、上記光軸と上記受光面の直交性を保ったまま、受光素子12の取り付け位置を調整することが可能になる。このため、受光手段の取り付け位置精度を更に向上させるという効果を奏する。   In step S1, as described above, the light receiving element 12 is preferably moved in a plane perpendicular to the optical axis of non-diffracted light or return light incident on the light receiving element 12. Although the present invention is not necessarily limited to this, the light receiving elements 12A to 12F are moved by moving the light receiving element 12 in a plane perpendicular to the optical axis of the non-diffracted light or return light incident on the light receiving element 12. In the light receiving surface where the light is received, the position of the focused spot focused on each light receiving unit is adjusted without changing the size and shape of the focused spot of non-diffracted light or return light incident on the received light surface. It becomes possible to do. For this reason, it becomes easy to adjust the attachment position of the light receiving element 12 based on the first detection signal. Further, if the optical axis of non-diffracted light or return light is orthogonal to the light receiving surface, the mounting position of the light receiving element 12 can be adjusted while maintaining the orthogonality between the optical axis and the light receiving surface. Become. For this reason, there exists an effect that the attachment position accuracy of the light receiving means is further improved.

なお、本発明に係る光集積ユニットの製造方法においては、上述したように、上記回折手段の取り付け位置を調整する工程(S4〜S6)は、受光手段の取り付け位置を調整する工程(S1〜S3)の後に行われることが好ましい。本発明は必ずしもこれに限定されるものではないが、回折手段の取り付け位置を調整する工程(S4〜S6)を、受光手段の取り付け位置を調整する工程(S1〜S3)の後に行なうことにより、受光手段が正確に位置決めされた状態で回折手段の取り付け位置の調整を行うことが可能になる。このため、受光手段に対する回折手段の取り付け位置の調整精度をより高めることが可能になる。   In the method of manufacturing an optical integrated unit according to the present invention, as described above, the steps (S4 to S6) of adjusting the attachment position of the diffraction means are the steps (S1 to S3) of adjusting the attachment position of the light receiving means. ) Is preferably performed after. Although this invention is not necessarily limited to this, by performing the process (S4-S6) of adjusting the attachment position of a diffraction means after the process (S1-S3) of adjusting the attachment position of a light-receiving means, It is possible to adjust the attachment position of the diffraction means in a state where the light receiving means is accurately positioned. For this reason, it becomes possible to improve the adjustment accuracy of the attachment position of the diffraction means with respect to the light receiving means.

次に、本実施の形態に係る、光集積ユニットの他の製造方法に関して、図11に示すフローチャートに基づいて説明する。   Next, another method for manufacturing an optical integrated unit according to the present embodiment will be described based on the flowchart shown in FIG.

図11に示すフローチャートと図1に示したフローチャートとの相違点は、ステップS3とステップS4との間に、第1の検出信号を調整誤差として記録する工程をステップS7として追加したことにある。図11に示した光集積ユニットの製造方法によれば、該製造方法により製造された光集積ユニットを含む光ピックアップ装置の製造に際し、上記ステップS7において受光手段の調整誤差として記録された検出信号を参照し、該検出信号を再現するように光ピックアップ装置を調整することにより、光ピックアップ装置の製造精度を向上することが可能になる。   The difference between the flowchart shown in FIG. 11 and the flowchart shown in FIG. 1 is that a step of recording the first detection signal as an adjustment error is added as step S7 between steps S3 and S4. According to the manufacturing method of the optical integrated unit shown in FIG. 11, when the optical pickup device including the optical integrated unit manufactured by the manufacturing method is manufactured, the detection signal recorded as the adjustment error of the light receiving means in step S7 is used. By referring to and adjusting the optical pickup device so as to reproduce the detection signal, it becomes possible to improve the manufacturing accuracy of the optical pickup device.

さらに、本実施の形態に係る、光集積ユニットの他の製造方法に関して、図12に示すフローチャートに基づいて説明する。   Further, another manufacturing method of the optical integrated unit according to the present embodiment will be described based on the flowchart shown in FIG.

図12に示すフローチャートと図1に示したフローチャートとの相違点は、ステップS3とステップS4との間にステップS8を追加したことにある。上記ステップS8は、光集積ユニットに回折手段を取り付ける工程である。すなわち、図12に示す光集積ユニットの製造方法においては、上記光集積ユニットに上記回折手段を取り付けるより前に(すなわち回折手段が取り付けられていない状態で)、上記非回折光と同一の光路を通り上記第1の受光部に入射する戻り光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記受光手段の取り付け位置が調整される。なお、図13には、回折手段である偏光回折素子15が取り付けられていない状態の光集積ユニット1を示した。   The difference between the flowchart shown in FIG. 12 and the flowchart shown in FIG. 1 is that step S8 is added between step S3 and step S4. Step S8 is a step of attaching diffraction means to the optical integrated unit. That is, in the method of manufacturing an optical integrated unit shown in FIG. 12, before the diffraction means is attached to the optical integrated unit (that is, in a state where no diffraction means is attached), the same optical path as the non-diffracted light is provided. As described above, the mounting position of the light receiving means is adjusted based on the detection signal generated in the first light receiving unit by the return light incident on the first light receiving unit. FIG. 13 shows the optical integrated unit 1 in a state where the polarization diffraction element 15 as the diffractive means is not attached.

上記製造方法によれば、ステップS1〜ステップS3における受光手段の位置調整を、回折手段の影響を確実に排除した上で行うことが可能になる。このため、回折手段の回折効率ばらつきによる強度分布変化の影響が無くなり、受光手段のより正確な位置調整ができる。   According to the manufacturing method described above, it is possible to adjust the position of the light receiving means in steps S1 to S3 after reliably eliminating the influence of the diffraction means. For this reason, the influence of the intensity distribution change due to the diffraction efficiency variation of the diffractive means is eliminated, and the position of the light receiving means can be adjusted more accurately.

また、上記ステップS1〜S3までの工程は、図14に示すように、上記回折手段と同じ屈折率および同じ厚みを有する透明基板53(透明部材)を偏光回折素子15(回折手段)と同じ位置に配置した状態で行われることも好ましい。すなわち、上記光集積ユニットに上記回折手段を取り付けるより前に、上記回折手段と同じ屈折率および同じ厚みを有する透明部材を上記回折手段と同じ位置に配置し、上記透明部材を透過し上記非回折光と同じ光路を通り上記第1の受光部に入射する戻り光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記受光手段の取り付け位置が調整されることも好ましい。   In addition, as shown in FIG. 14, the steps from S1 to S3 are performed by placing the transparent substrate 53 (transparent member) having the same refractive index and the same thickness as the diffracting means at the same position as the polarizing diffraction element 15 (diffracting means). It is also preferable to carry out in the state arrange | positioned. That is, before attaching the diffractive means to the optical integrated unit, a transparent member having the same refractive index and the same thickness as the diffractive means is disposed at the same position as the diffractive means, passes through the transparent member, and transmits the non-diffracted material. It is also preferable that the mounting position of the light receiving means is adjusted based on a detection signal generated in the first light receiving unit by return light incident on the first light receiving unit through the same optical path as the light.

上記製造方法によれば、光集積ユニットに回折手段の取り付けた場合と同等の球面収差が発生する状態を維持しながら、回折手段の影響を排除して受光手段の正確な位置調整をすることが可能になる。   According to the above manufacturing method, it is possible to accurately adjust the position of the light receiving means while eliminating the influence of the diffractive means while maintaining the state in which spherical aberration equivalent to that when the diffractive means is attached to the optical integrated unit is maintained. It becomes possible.

上記で説明をしたように、本実施の形態に係る製造方法により製造される光集積ユニットにおいては、受光素子12と偏光ビームスプリッタ14とを半導体レーザ11に対して正確に位置調整することが可能である。従って、光源、および、受光手段としてパッケージ18に収納された汎用の半導体レーザ11やパッケージ19に収納された汎用の受光素子12を用いた場合においても、戻り光を確実に受光素子12に入射させるよう受光素子12と偏光ビームスプリッタ14との取り付け位置を調整し、高精度の光集積ユニットを製造することが可能である。   As described above, in the optical integrated unit manufactured by the manufacturing method according to the present embodiment, the position of the light receiving element 12 and the polarization beam splitter 14 can be accurately adjusted with respect to the semiconductor laser 11. It is. Therefore, even when the general-purpose semiconductor laser 11 housed in the package 18 or the general-purpose light-receiving element 12 housed in the package 19 is used as the light source and the light-receiving means, the return light is reliably incident on the light-receiving element 12. It is possible to manufacture a highly accurate optical integrated unit by adjusting the mounting position of the light receiving element 12 and the polarization beam splitter 14.

したがって、汎用の半導体レーザ、および、汎用の受光素子を用いる場合であっても、非回折光を受光する受光部の面積がより小さい受光素子を採用することが可能になる。このため、高速信号の検出が良好に行えるようになる。また、この場合、汎用の半導体レーザ11や汎用の受光素子12を用いているので、これらが故障した場合の修理も容易になる。   Therefore, even when a general-purpose semiconductor laser and a general-purpose light receiving element are used, it is possible to employ a light receiving element having a smaller area of the light receiving portion that receives non-diffracted light. For this reason, high-speed signal detection can be performed satisfactorily. Further, in this case, since the general-purpose semiconductor laser 11 and the general-purpose light receiving element 12 are used, repair in the case of failure of these is facilitated.

さらに、回折手段の位置は、戻り光に対して正確に位置決めされると同時に往路の光ビームに対しても正確に位置決めされるので、回折手段として光ビームとの位置決めが重要となる位相シフトDPP法用のパターンや強度分布補正用のパターンを設けても良好な特性が得られる。   Further, since the position of the diffractive means is accurately positioned with respect to the return light and at the same time with respect to the forward light beam, the phase shift DPP in which positioning with the light beam is important as the diffractive means. Good characteristics can be obtained even if a pattern for law or a pattern for intensity distribution correction is provided.

なお、本発明に係る光集積ユニットの製造方法により光集積ユニットを製造する製造装置9は、上記光集積ユニットに接続され、上記光集積ユニットが備える第1の受光部において生成される検出信号を入力する入力部と、上記検出信号から誤差信号を演算する演算部と、上記誤差信号を出力する出力部とを備えることが好ましい。   The manufacturing apparatus 9 for manufacturing an optical integrated unit by the method for manufacturing an optical integrated unit according to the present invention is connected to the optical integrated unit and receives a detection signal generated in a first light receiving unit included in the optical integrated unit. It is preferable to include an input unit that inputs, an arithmetic unit that calculates an error signal from the detection signal, and an output unit that outputs the error signal.

これにより、上記出力部に出力部に出力される誤差信号に基づいて、手動で、あるいは、他に設けられた調整装置によって、受光手段、および、回折手段の取り付け位置調整が可能になる。
〔実施の形態2〕
本実施の形態に係る、光ピックアップ装置の製造方法について、図15〜図18に基づいて説明すれば以下のとおりである。なお、以下の説明では、光ピックアップ装置には、実施の形態1で説明した、図2に示す光集積ユニット1が搭載されているものとし、該光ピックアップ装置に搭載される光集積ユニットに関する説明は繰り返さない。
Accordingly, the mounting positions of the light receiving means and the diffracting means can be adjusted manually or by another adjusting device provided based on the error signal output to the output section.
[Embodiment 2]
The manufacturing method of the optical pickup device according to the present embodiment will be described as follows with reference to FIGS. In the following description, it is assumed that the optical integrated unit 1 shown in FIG. 2 described in the first embodiment is mounted on the optical pickup device, and the optical integrated unit mounted on the optical pickup device is described. Will not repeat.

上述したとおり、図15は光ピックアップ装置8の構造を説明する図である。図3に示した光集積ユニット製造装置との違いは、光集積ユニット1とコリメータレンズ2により発光ユニット6が構成され、対物レンズ3と対物レンズ駆動機構(図示せず)とにより対物レンズ駆動ユニット7が構成されている点である。   As described above, FIG. 15 is a diagram illustrating the structure of the optical pickup device 8. The difference from the optical integrated unit manufacturing apparatus shown in FIG. 3 is that a light emitting unit 6 is constituted by the optical integrated unit 1 and the collimator lens 2, and the objective lens driving unit is constituted by the objective lens 3 and an objective lens driving mechanism (not shown). 7 is configured.

発光ユニット6と対物レンズ駆動ユニット7は、後述する光ピックアップ装置の製造方法に基づいて、該発光ユニット6と該対物レンズ駆動ユニット7との相対位置が調整可能であるように保持されている。   The light emitting unit 6 and the objective lens driving unit 7 are held so that the relative positions of the light emitting unit 6 and the objective lens driving unit 7 can be adjusted based on a method of manufacturing an optical pickup device described later.

本発明に係る光ピックアップ装置の製造方法について、特に、非回折光によって第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、対物レンズ3と光集積ユニット1との相対的な取り付け位置を調整する工程について説明する。   Regarding the method of manufacturing the optical pickup device according to the present invention, in particular, the relative mounting position of the objective lens 3 and the optical integrated unit 1 is adjusted based on the detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light. The process to perform is demonstrated.

はじめに、対物レンズ3を光集積ユニット1から射出される光ビームの光軸21に垂直な面内で移動することにより、対物レンズ3と光集積ユニット1との相対的な取り付け位置を調整する工程に関して、図16に示すフローチャートに基づいて説明する。   First, the process of adjusting the relative attachment position of the objective lens 3 and the optical integrated unit 1 by moving the objective lens 3 in a plane perpendicular to the optical axis 21 of the light beam emitted from the optical integrated unit 1. Will be described based on the flowchart shown in FIG.

(1)対物レンズを光ビームの光軸に垂直な面内で移動する(ステップS11)。上記光ピックアップ装置8に即して言えば、対物レンズ3および対物レンズ駆動機構を備える対物レンズ駆動ユニット7を、光集積ユニットから出射される光ビームの光軸21に垂直な面内で移動する。   (1) The objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam (step S11). Speaking of the optical pickup device 8, the objective lens driving unit 7 having the objective lens 3 and the objective lens driving mechanism is moved in a plane perpendicular to the optical axis 21 of the light beam emitted from the optical integrated unit. .

(2)非回折光によって第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかを判定する(ステップS12)。具体的には、非回折光を受光する受光部12Aに含まれる4つの受光セル12a〜12dから出力される4つの出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdが均等になるか判定する。さらに具体的には、上記4つの出力信号の差、|Sa−Sb|、|Sa−Sd|、|Sb−Sc|、および、|Sc−Sd|が定められた閾値以下になるか判定する。   (2) Based on the detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light, it is determined whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit (step S12). Specifically, it is determined whether the four output signals Sa, Sb, Sc, and Sd output from the four light receiving cells 12a to 12d included in the light receiving unit 12A that receives non-diffracted light are equal. More specifically, it is determined whether the difference between the four output signals, | Sa−Sb |, | Sa−Sd |, | Sb−Sc |, and | Sc−Sd | .

なお、上記判定は必ずしも出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdが均等になるかを判定するものに限らず、上記非回折光が上記第1の受光部に正しく入射しているかを判定できるものであれば良い。例えば、x方向調整信号=(Sa+Sb)−(Sc+Sd)、および、y方向調整信号=(Sa+Sd)−(Sb+Sc)がそれぞれ概ねゼロになる(すなわち、上記x方向調整信号とy方向調整信号とがそれぞれ定められた閾値以下になる)かを判定することによっても、上記非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかを判定することが可能である。   The determination is not limited to determining whether the output signals Sa, Sb, Sc, and Sd are equal, and it can be determined whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit. Anything is fine. For example, the x-direction adjustment signal = (Sa + Sb) − (Sc + Sd) and the y-direction adjustment signal = (Sa + Sd) − (Sb + Sc) are almost zero (that is, the x-direction adjustment signal and the y-direction adjustment signal are It is also possible to determine whether or not the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit by determining whether or not each is equal to or less than a predetermined threshold.

(3)上記ステップS2において、非回折光が第1の受光部に正しく入射していると判定された場合、対物レンズの位置を固定する(ステップS13)。より具体的には、対物レンズ駆動ユニット7にUV接着剤を塗布して光ピックアップ装置8の筐体に仮止めした状態で上記位置調整を行い、第1の検出信号が目標範囲にあるとき、UV接着剤を塗布した接合面に紫外線を照射することによりUV接着剤を硬化させて、対物レンズ駆動ユニット7を光ピックアップ装置8の筐体に固定すれば良い。   (3) If it is determined in step S2 that the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit, the position of the objective lens is fixed (step S13). More specifically, when the above-mentioned position adjustment is performed in a state where a UV adhesive is applied to the objective lens driving unit 7 and temporarily fixed to the housing of the optical pickup device 8, and the first detection signal is within the target range, What is necessary is just to fix the objective lens drive unit 7 to the housing of the optical pickup device 8 by curing the UV adhesive by irradiating the bonding surface coated with the UV adhesive with ultraviolet rays.

上記ステップS12において、非回折光が第1の受光部に正しく入射されていないと判定された場合は、ステップS11に戻り、ステップS2において第1の受光部により検出された検出信号に基づき、再び対物レンズを光ビームの光軸に垂直な面内で移動する。すなわち、ステップS12において、非回折光が第1の受光部に正しく入射されていると判定されるまで、上記ステップS11とステップS12とを繰り返す。   If it is determined in step S12 that the non-diffracted light is not correctly incident on the first light receiving unit, the process returns to step S11, and again based on the detection signal detected by the first light receiving unit in step S2. The objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam. That is, step S11 and step S12 are repeated until it is determined in step S12 that the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit.

上記製造方法を用いることにより、当該光ピックアップ装置による光記録媒体に対する情報の記録あるいは再生時のサーボ信号の状態に即して、対物レンズ駆動ユニット7の取り付け位置調整を行うことが可能になる。このため、機械精度で対物レンズ駆動ユニット7の取り付けを行う場合と比べて、安定したサーボ信号が得られる光ピックアップ装置の製造が可能になる。   By using the above manufacturing method, it is possible to adjust the attachment position of the objective lens driving unit 7 in accordance with the state of the servo signal at the time of recording or reproducing information with respect to the optical recording medium by the optical pickup device. Therefore, it is possible to manufacture an optical pickup device that can obtain a stable servo signal as compared with the case where the objective lens driving unit 7 is attached with mechanical accuracy.

特に、位相シフトDPP法を用いた3ビーム回折格子や強度分布補正手段のような光軸中心に対する位置決め精度が必要な機能が回折素子と一体化されている場合に、特に効果がある。   This is particularly effective when functions that require positioning accuracy with respect to the optical axis center, such as a three-beam diffraction grating using the phase shift DPP method and intensity distribution correction means, are integrated with the diffraction element.

次に、光集積ユニット1をコリメータレンズ2と一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動することにより、対物レンズ3と光集積ユニット1との相対的な取り付け位置を調整する工程について、図17に示すフローチャートに基づいて説明する。   Next, the process of adjusting the relative mounting position of the objective lens 3 and the optical integrated unit 1 by moving the optical integrated unit 1 in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam integrally with the collimator lens 2. Will be described based on the flowchart shown in FIG.

(1)光集積ユニットをコリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動する(ステップS21)。上記光ピックアップ装置8に即して言えば、光集積ユニット1とコリメータレンズ2とからなる発光ユニット6を光集積ユニットから出射される光ビームの光軸21に垂直な面内で移動する。   (1) The optical integrated unit is moved integrally with the collimator lens in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam (step S21). Speaking of the optical pickup device 8, the light emitting unit 6 including the optical integrated unit 1 and the collimator lens 2 is moved in a plane perpendicular to the optical axis 21 of the light beam emitted from the optical integrated unit.

(2)非回折光によって第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかを判定する(ステップS22)。具体的には、非回折光を受光する受光部12Aに含まれる4つの受光セル12a〜12dから出力される4つの出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdが均等になるか判定する。さらに具体的には、上記4つの出力信号の差、|Sa−Sb|、|Sa−Sd|、|Sb−Sc|、および、|Sc−Sd|が定められた閾値以下になるか判定する。   (2) Based on the detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light, it is determined whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit (step S22). Specifically, it is determined whether the four output signals Sa, Sb, Sc, and Sd output from the four light receiving cells 12a to 12d included in the light receiving unit 12A that receives non-diffracted light are equal. More specifically, it is determined whether the difference between the four output signals, | Sa−Sb |, | Sa−Sd |, | Sb−Sc |, and | Sc−Sd | .

なお、上記判定は必ずしも出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdが均等になるかを判定するものに限らず、上記非回折光が上記第1の受光部に正しく入射しているかを判定できるものであれば良い。例えば、x方向調整信号=(Sa+Sb)−(Sc+Sd)、および、y方向調整信号=(Sa+Sd)−(Sb+Sc)がそれぞれ概ねゼロになる(すなわち、上記x方向調整信号とy方向調整信号とがそれぞれ定められた閾値以下になる)かを判定することによっても、上記非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかを判定することが可能である。   The determination is not limited to determining whether the output signals Sa, Sb, Sc, and Sd are equal, and it can be determined whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit. Anything is fine. For example, the x-direction adjustment signal = (Sa + Sb) − (Sc + Sd) and the y-direction adjustment signal = (Sa + Sd) − (Sb + Sc) are almost zero (that is, the x-direction adjustment signal and the y-direction adjustment signal are It is also possible to determine whether or not the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit by determining whether or not each is equal to or less than a predetermined threshold.

(3)上記ステップS2において、非回折光が第1の受光部に正しく入射していると判定された場合、光集積ユニットおよびコリメータレンズの位置を固定する(ステップS23)より具体的には、光集積ユニット1とコリメータレンズ2とからなる発光ユニット6にUV接着剤を塗布して光ピックアップ装置8の筐体に仮止めした状態で上記位置調整を行い、第1の検出信号が目標範囲にあるとき、UV接着剤を塗布した接合面に紫外線を照射することにより硬化させて、発光ユニット6を光ピックアップ装置8の筐体に固定すれば良い。   (3) If it is determined in step S2 that the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit, the positions of the optical integrated unit and the collimator lens are fixed (step S23). With the UV adhesive applied to the light emitting unit 6 composed of the optical integrated unit 1 and the collimator lens 2 and temporarily fixed to the housing of the optical pickup device 8, the above position adjustment is performed, and the first detection signal falls within the target range. In some cases, the light-emitting unit 6 may be fixed to the housing of the optical pickup device 8 by curing the joint surface coated with the UV adhesive by irradiating ultraviolet rays.

上記ステップS22において、非回折光が第1の受光部に正しく入射されていないと判定された場合は、ステップS21に戻り、ステップS22において第1の受光部により検出された検出信号に基づき、再び対物レンズを光ビームの光軸に垂直な面内で移動する。すなわち、ステップS22において、非回折光が第1の受光部に正しく入射されていると判定されるまで、上記ステップS21とステップS22とを繰り返す。   If it is determined in step S22 that the non-diffracted light is not correctly incident on the first light receiving unit, the process returns to step S21, and again based on the detection signal detected by the first light receiving unit in step S22. The objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam. That is, step S21 and step S22 are repeated until it is determined in step S22 that the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit.

上記製造方法を用いることによって、当該光ピックアップ装置による光記録媒体に対する情報の記録あるいは再生時のサーボ信号の状態を再現して光集積ユニットおよびコリメータレンズの取り付け位置調整を行うことが可能になる。   By using the above manufacturing method, it is possible to reproduce the state of the servo signal at the time of recording or reproducing information with respect to the optical recording medium by the optical pickup device and adjust the mounting position of the optical integrated unit and the collimator lens.

さらに、光集積ユニットをコリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で第1の方向に移動し、対物レンズを光ビームの光軸に垂直な面内で上記第1の方向に直交する第2の方向に移動することにより、対物レンズ3と光集積ユニット1との相対的な取り付け位置を調整する工程について、図18に示すフローチャートに基づいて説明する。   Further, the optical integrated unit is moved integrally with the collimator lens in a first direction within a plane perpendicular to the optical axis of the light beam, and the objective lens is moved in the first direction within a plane perpendicular to the optical axis of the light beam. A process of adjusting the relative mounting position of the objective lens 3 and the optical integrated unit 1 by moving in a second direction orthogonal to the above will be described based on the flowchart shown in FIG.

(1)光集積ユニットをコリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で第1の方向に移動する(ステップS31)。光ピックアップ装置41に即して言えば、光集積ユニット1とコリメータレンズ2とからなる発光ユニット6をx軸方向に移動する。   (1) The optical integrated unit is moved in the first direction integrally with the collimator lens in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam (step S31). Speaking of the optical pickup device 41, the light emitting unit 6 including the optical integrated unit 1 and the collimator lens 2 is moved in the x-axis direction.

(2)対物レンズを光ビームの光軸に垂直な面内で、上記第1の方向に直交する第2の方向に移動する(ステップS32)。光ピックアップ装置41に即して言えば、対物レンズ駆動ユニット7をy軸方向に移動する。   (2) The objective lens is moved in a second direction orthogonal to the first direction within a plane perpendicular to the optical axis of the light beam (step S32). Speaking of the optical pickup device 41, the objective lens driving unit 7 is moved in the y-axis direction.

(3)非回折光によって第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかを判定する(ステップS33)。具体的には、例えば、x方向調整信号=(Sa+Sb)−(Sc+Sd)、および、y方向調整信号=(Sa+Sd)−(Sb+Sc)がそれぞれ概ねゼロになる(すなわち、上記x方向調整信号とy方向調整信号とがそれぞれ定められた閾値以下になる)かを判定することによって非回折光が第1の受光部に正しく入射されているかを判定すれば良い。   (3) Based on the detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light, it is determined whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit (step S33). Specifically, for example, the x direction adjustment signal = (Sa + Sb) − (Sc + Sd) and the y direction adjustment signal = (Sa + Sd) − (Sb + Sc) are substantially zero (that is, the x direction adjustment signal and y It is only necessary to determine whether the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit by determining whether the direction adjustment signal is equal to or less than a predetermined threshold value.

(4)上記x方向調整信号が概ねゼロになる場合、一体化された光集積ユニットおよびコリメータレンズの位置を固定する(ステップS34)。より具体的には、発光ユニット6にUV接着剤等を塗布して光ピックアップ装置8の筐体に仮止めした状態で上記位置調整を行い、第1の検出信号が目標範囲にあるとき、UV接着剤を塗布した接合面に紫外線を照射することにより硬化させて、発光ユニット6を光ピックアップ装置8の筐体に固定すれば良い。   (4) If the x-direction adjustment signal becomes substantially zero, the positions of the integrated optical integrated unit and collimator lens are fixed (step S34). More specifically, when the above-mentioned position adjustment is performed in a state where a UV adhesive or the like is applied to the light emitting unit 6 and temporarily fixed to the housing of the optical pickup device 8, the UV is detected when the first detection signal is within the target range. What is necessary is just to fix the light emitting unit 6 to the housing | casing of the optical pick-up apparatus 8 by making it harden by irradiating an ultraviolet-ray to the joint surface which apply | coated the adhesive agent.

(5)上記y方向の調整信号が概ねゼロになる場合、対物レンズの位置を固定する(ステップS35)。より具体的には、対物レンズ駆動ユニット7にUV接着剤を塗布して光ピックアップ装置8の筐体に仮止めした状態で上記位置調整を行い、第1の検出信号が目標範囲にあるとき、UV接着剤を塗布した接合面に紫外線を照射することにより硬化させて、対物レンズ駆動ユニット7を光ピックアップ装置8の筐体に固定すれば良い。   (5) When the adjustment signal in the y direction is substantially zero, the position of the objective lens is fixed (step S35). More specifically, when the above-mentioned position adjustment is performed in a state where a UV adhesive is applied to the objective lens driving unit 7 and temporarily fixed to the housing of the optical pickup device 8, and the first detection signal is within the target range, What is necessary is just to make it harden by irradiating an ultraviolet-ray to the joint surface which apply | coated the UV adhesive agent, and to fix the objective lens drive unit 7 to the housing | casing of the optical pick-up apparatus 8.

上記ステップS33において、非回折光が第1の受光部に正しく入射されていないと判定された場合は、ステップS31に戻り、上記x方向調整信号に基づき、再び光集積ユニット1とコリメータレンズ2とからなる発光ユニット6をx軸方向に移動し、あるいは、上記y方向調整信号に基づき、対物レンズ駆動ユニット7をy軸方向に移動する。すなわち、ステップ33において非回折光が第1の受光部に正しく入射されていると判定されるまで、上記ステップS31からステップS33を繰り返す。   If it is determined in step S33 that the non-diffracted light is not correctly incident on the first light receiving unit, the process returns to step S31, and based on the x-direction adjustment signal, the optical integrated unit 1, the collimator lens 2, and the like again. The light emitting unit 6 consisting of is moved in the x-axis direction, or the objective lens driving unit 7 is moved in the y-axis direction based on the y-direction adjustment signal. That is, step S31 to step S33 are repeated until it is determined in step 33 that the non-diffracted light is correctly incident on the first light receiving unit.

上記製造方法によれば、光集積ユニット1とコリメータレンズ2とからなる発光ユニット6の調整方向を一軸方向に限定することができる。このため、厚み方向(図15に図示したy軸方向)に発光ユニット6の取り付け位置調整のための空間を確保する必要がない。すなわち、上記製造方法により製造される光ピックアップ装置においては、厚み方向の寸法を増やさない設計が可能になるので、光ピックアップ装置の小型軽量化が実現できるという効果がある。   According to the manufacturing method, the adjustment direction of the light emitting unit 6 including the optical integrated unit 1 and the collimator lens 2 can be limited to a uniaxial direction. For this reason, it is not necessary to secure a space for adjusting the mounting position of the light emitting unit 6 in the thickness direction (y-axis direction shown in FIG. 15). In other words, the optical pickup device manufactured by the above manufacturing method can be designed without increasing the dimension in the thickness direction, so that the optical pickup device can be reduced in size and weight.

また上記各製造方法において、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程は、上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号が上記光集積ユニット製造時に記録された調整誤差と同一になるように、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、かつ/または、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程であることが好ましい。   In each of the above manufacturing methods, the step of adjusting the relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit may include detecting a signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light in the optical integrated unit. The objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam and / or the optical integrated unit is integrated with the collimator lens so as to be the same as the adjustment error recorded at the time of manufacture. It is preferable that it is a step of moving in a plane perpendicular to the optical axis of the beam and adjusting the relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit.

すなわち、上記ステップS12、ステップS22、あるいは、ステップS33においてなされる非回折光が第1の受光部に正しく入射しているかの判定は、該ステップにおいて検出される出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdが、該光ピックアップ装置8に搭載された光集積ユニット41の製造時に調整誤差として記録された出力信号Sa、Sb、Sc、および、Sdと同一になるかを判定するものであることが好ましい。   That is, whether or not the non-diffracted light made in step S12, step S22, or step S33 is correctly incident on the first light receiving unit is determined by the output signals Sa, Sb, Sc, and , Sd is determined to be the same as the output signals Sa, Sb, Sc, and Sd recorded as adjustment errors when the optical integrated unit 41 mounted on the optical pickup device 8 is manufactured. preferable.

このように、光ピックアップ装置時に、実施の形態1で示した光集積ユニットの製造方法において調整誤差として記録された検出信号を再現するよう、対物レンズと光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整することで、より正確な位置調整が可能になる。   As described above, when the optical pickup device is used, the relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit is set so as to reproduce the detection signal recorded as the adjustment error in the manufacturing method of the optical integrated unit shown in the first embodiment. By adjusting, more accurate position adjustment becomes possible.

なお、本発明は上述した各実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Such embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

本発明は、光ディスクなどの光記録媒体に情報を記録または再生する際に用いられる光ピックアップの小型化を実現するための光集積ユニットの製造方法およびそれを備えた光ピックアップ装置の製造方法に好適に利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is suitable for a manufacturing method of an optical integrated unit for realizing miniaturization of an optical pickup used when information is recorded on or reproduced from an optical recording medium such as an optical disk, and a manufacturing method of an optical pickup device including the same. Can be used.

本発明に係る光集積ユニットの製造方法に含まれる、受光手段の取り付け位置を調整する工程、および、回折手段の取り付け位置を調整する工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process of adjusting the attachment position of the light-receiving means, and the process of adjusting the attachment position of the diffraction means contained in the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される光集積ユニットの構成を示した構成図である。It is the block diagram which showed the structure of the optical integrated unit manufactured by the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法を適用し光集積ユニットを製造するための製造装置の構成図である。It is a block diagram of the manufacturing apparatus for manufacturing the optical integrated unit by applying the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される図2に示した光集積ユニットに用いる第1の偏光ホログラム素子のホログラムパターンを示す構成図である。It is a block diagram which shows the hologram pattern of the 1st polarization hologram element used for the optical integrated unit shown in FIG. 2 manufactured by the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される図2に示した光集積ユニットに用いる第2の偏光ホログラム素子のホログラムパターンを示す構成図である。It is a block diagram which shows the hologram pattern of the 2nd polarization hologram element used for the optical integrated unit shown in FIG. 2 manufactured by the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される図2に示した光集積ユニットに用いる受光素子の受光部パターンを説明する図であり、図6(a)は球面収差が発生していない場合における光ビームの受光状態を示し、図6(b)は対物レンズが図6(a)の場合と比べ光ディスクに近づいた場合における光ビームの受光状態を示した図である。FIG. 6A is a diagram for explaining a light receiving portion pattern of a light receiving element used in the optical integrated unit shown in FIG. 2 manufactured by the method for manufacturing an optical integrated unit according to the present invention, and FIG. FIG. 6B is a diagram showing a light beam receiving state when the objective lens is closer to the optical disc than in the case of FIG. 6A. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される図2に示した光集積ユニットに用いる受光素子の受光部パターンを説明する図であり、球面収差が発生した場合の光ビームの受光状態を示した図である。It is a figure explaining the light-receiving part pattern of the light receiving element used for the optical integrated unit shown in FIG. 2 manufactured by the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention, and the light-receiving state of the light beam when spherical aberration generate | occur | produces FIG. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される他の光集積ユニットの構成を示した構成図である。It is the block diagram which showed the structure of the other optical integrated unit manufactured by the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法に含まれる受光手段の取り付け位置を調整する工程における、回折光および非回折光の受光状態の変化を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the change of the light reception state of a diffracted light and a non-diffracted light in the process of adjusting the attachment position of the light-receiving means contained in the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法に含まれる回折手段の取り付け位置を調整する工程における、回折光および非回折光の受光状態の変化を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the change of the light reception state of a diffracted light and a non-diffracted light in the process of adjusting the attachment position of the diffraction means contained in the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention. 本発明に係る他の光集積ユニットの製造方法を説明するフローチャートであって、受光手段の取り付け位置を調整する工程、第1の受光部において検出される検出信号を調整誤差として記録する工程、および、回折手段の取り付け位置を調整する工程を示すフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing method of the other optical integrated unit which concerns on this invention, Comprising: The process of adjusting the attachment position of a light-receiving means, The process of recording the detection signal detected in a 1st light-receiving part as an adjustment error, It is a flowchart which shows the process of adjusting the attachment position of a diffraction means. 本発明に係る他の光集積ユニットの製造方法を説明するフローチャートであって、回折手段が取り付けられるより前に、受光手段の取り付け位置を調整する工程が含まれる製造方法を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing method of the other optical integrated unit which concerns on this invention, Comprising: Before the diffraction means is attached, it is a flowchart explaining the manufacturing method including the process of adjusting the attachment position of a light-receiving means. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される光集積ユニットを示す構成図であって、受光手段の取り付け位置を調整する工程において、回折手段を取り外した状態を示す構成図である。It is a block diagram which shows the optical integrated unit manufactured by the manufacturing method of the optical integrated unit which concerns on this invention, Comprising: In the process of adjusting the attachment position of a light-receiving means, it is a block diagram which shows the state which removed the diffraction means. 本発明に係る光集積ユニットの製造方法により製造される光集積ユニットを示す構成図であって、受光手段の取り付け位置を調整する工程において、回折手段の代わりに透明部材を取り付けた状態を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing an optical integrated unit manufactured by the method for manufacturing an optical integrated unit according to the present invention, and shows a state in which a transparent member is attached instead of the diffractive means in the step of adjusting the attachment position of the light receiving means FIG. 本発明に係る光ピックアップ装置の製造方法により製造される光ピックアップ装置の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the optical pick-up apparatus manufactured by the manufacturing method of the optical pick-up apparatus based on this invention. 本発明に係る光ピックアップ装置の製造方法に含まれる対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process of adjusting the relative attachment position of the objective lens and the said optical integrated unit which are included in the manufacturing method of the optical pick-up apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る光ピックアップ装置の他の製造方法に含まれる対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process of adjusting the relative attachment position of the objective lens and the said optical integrated unit contained in the other manufacturing method of the optical pick-up apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る光ピックアップ装置の他の製造方法に含まれる対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process of adjusting the relative attachment position of the objective lens and the said optical integrated unit contained in the other manufacturing method of the optical pick-up apparatus which concerns on this invention. 従来技術における光ピックアップ装置の構成図である。It is a block diagram of the optical pick-up apparatus in a prior art. 従来技術における光集積ユニットの構成図である。It is a block diagram of the optical integrated unit in a prior art. 従来技術における光集積ユニットに備えられたホログラム素子のホログラムパターンと、受光素子の受光部パターンを説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the hologram pattern of the hologram element with which the optical integrated unit in the prior art was equipped, and the light-receiving part pattern of a light receiving element. 従来技術における他の光集積ユニットの構成図である。It is a block diagram of the other optical integrated unit in a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

1 光集積ユニット
2 コリメータレンズ
3 対物レンズ
4 光ディスク(光情報記録媒体)
5 1/4波長板
6 発光ユニット
7 対物レンズ駆動ユニット
8 光ピックアップ装置
9 光集積ユニットの製造装置
11 半導体レーザ(光源)
12 受光素子(受光手段)
12A 受光部(第1の受光部)
12D〜12F 受光部(第2の受光部)
12a〜12d 受光セル
14 偏光ビームスプリッタ(導光手段)
15 偏光回折素子(回折手段)
18、19 パッケージ
20、21 光ビーム
22 非回折光
23 回折光
31 第1の偏光ホログラム素子
32 第2の偏光ホログラム素子
40 0次回折光(非回折光)
41 +1次回折光(回折光)
42 −1次回折光(非回折光)
51、52 ホルダ
53 透明基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical integrated unit 2 Collimator lens 3 Objective lens 4 Optical disk (optical information recording medium)
5 1/4 wavelength plate 6 Light emitting unit 7 Objective lens drive unit 8 Optical pickup device 9 Optical integrated unit manufacturing device 11 Semiconductor laser (light source)
12 Light receiving element (light receiving means)
12A light receiving part (first light receiving part)
12D to 12F Light receiving part (second light receiving part)
12a to 12d Light receiving cell 14 Polarizing beam splitter (light guiding means)
15 Polarization diffraction element (diffractive means)
18, 19 Package 20, 21 Light beam 22 Non-diffracted light 23 Diffracted light 31 First polarization hologram element 32 Second polarization hologram element 40 0th-order diffracted light (non-diffracted light)
41 + 1st order diffracted light (diffracted light)
42 −1st order diffracted light (non-diffracted light)
51, 52 Holder 53 Transparent substrate

Claims (14)

光ビームを出射する光源と、
光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、
上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、
上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて上記受光手段を移動し、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴とする光集積ユニットの製造方法。
A light source that emits a light beam;
Diffractive means provided on the optical axis of the return light of the light beam reflected by the optical recording medium, and separating the return light into non-diffracted light and diffracted light;
Production of an optical integrated unit comprising: a first light receiving unit that receives non-diffracted light separated by the diffracting unit; and a light receiving unit that has a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffracting unit. A method,
A method of manufacturing an optical integrated unit, comprising: moving the light receiving means based on a detection signal generated in the first light receiving portion by the non-diffracted light, and adjusting a mounting position of the light receiving means. .
光ビームを出射する光源と、
光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、
上記光ビームを透過させ、かつ、上記回折手段により分離された非回折光および回折光を上記光源とは異なる方向へ導く導光手段と、
上記導光手段により導かれた非回折光を受光する第1の受光部および上記導光手段により導かれた回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、
上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記受光手段を上記導光手段と一体で移動し、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴とする光集積ユニットの製造方法。
A light source that emits a light beam;
Diffractive means provided on the optical axis of the return light of the light beam reflected by the optical recording medium, and separating the return light into non-diffracted light and diffracted light;
A light guiding means that transmits the light beam and guides the non-diffracted light and the diffracted light separated by the diffraction means in a direction different from the light source;
An optical integrated unit comprising: a first light receiving unit that receives non-diffracted light guided by the light guiding unit; and a light receiving unit that includes a second light receiving unit that receives diffracted light guided by the light guiding unit. A manufacturing method of
And a step of moving the light receiving means integrally with the light guiding means based on a detection signal generated by the non-diffracted light in the first light receiving portion and adjusting an attachment position of the light receiving means. A method for manufacturing an optical integrated unit.
光ビームを出射する光源と、
光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、
上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、
上記光集積ユニットに上記回折手段を取り付けるより前に、上記非回折光と同一の光路を通り上記第1の受光部に入射する戻り光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて上記受光手段を移動し、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴とする光集積ユニットの製造方法。
A light source that emits a light beam;
Diffractive means provided on the optical axis of the return light of the light beam reflected by the optical recording medium, and separating the return light into non-diffracted light and diffracted light;
Production of an optical integrated unit comprising: a first light receiving unit that receives non-diffracted light separated by the diffracting unit; and a light receiving unit that has a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffracting unit. A method,
Before attaching the diffractive means to the optical integrated unit, based on a detection signal generated in the first light receiving unit by return light that enters the first light receiving unit through the same optical path as the non-diffracted light. And a step of moving the light receiving means and adjusting the mounting position of the light receiving means.
光ビームを出射する光源と、
光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、
上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットの製造方法であって、
上記光集積ユニットに上記回折手段を取り付けるより前に、上記回折手段と同じ屈折率および同じ厚みを有する透明部材を上記回折手段と同じ位置に配置し、上記透明部材を透過し上記非回折光と同じ光路を通り上記第1の受光部に入射する戻り光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて上記受光手段を移動し、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴とする光集積ユニットの製造方法。
A light source that emits a light beam;
Diffractive means provided on the optical axis of the return light of the light beam reflected by the optical recording medium, and separating the return light into non-diffracted light and diffracted light;
Production of an optical integrated unit comprising: a first light receiving unit that receives non-diffracted light separated by the diffracting unit; and a light receiving unit that has a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffracting unit. A method,
Before attaching the diffractive means to the optical integrated unit, a transparent member having the same refractive index and the same thickness as the diffractive means is disposed at the same position as the diffractive means, and passes through the transparent member and transmits the non-diffracted light. Including a step of adjusting the mounting position of the light receiving means by moving the light receiving means based on a detection signal generated in the first light receiving part by return light incident on the first light receiving part through the same optical path. A method for manufacturing an optical integrated unit.
上記受光手段の取り付け位置を調整する工程において、上記受光手段は該受光手段に入射する非回折光あるいは戻り光の光軸に垂直な面内で移動されることを特徴とする請求項1から4のうち何れか一項に記載の光集積ユニットの製造方法。   5. In the step of adjusting the mounting position of the light receiving means, the light receiving means is moved in a plane perpendicular to the optical axis of non-diffracted light or return light incident on the light receiving means. The manufacturing method of the optical integrated unit as described in any one of these. 上記第1の受光部は互いに直交する2本の直線により分割された4つの受光セルからなり、
上記第1の受光部において生成される検出信号は、上記4つの受光セルから出力される4つの出力信号を含む検出信号であることを特徴とする請求項1から5のうち何れか一項に記載の光集積ユニットの製造方法。
The first light receiving unit is composed of four light receiving cells divided by two straight lines orthogonal to each other,
6. The detection signal generated in the first light receiving unit is a detection signal including four output signals output from the four light receiving cells. The manufacturing method of the optical integrated unit of description.
上記受光手段の取り付け位置を調整する工程は、上記4つの受光セルから出力される4つの出力信号が概ね均等であるかを判定する工程を含むことを特徴とする請求項6に記載の光集積ユニットの製造方法。   7. The optical integration according to claim 6, wherein the step of adjusting the mounting position of the light receiving means includes a step of determining whether the four output signals output from the four light receiving cells are substantially equal. Unit manufacturing method. 上記受光手段の取り付け位置を調整する工程に引き続き、上記第1の受光部において生成される検出信号を調整誤差として記録する工程を含むことを特徴とする請求項1から7のうち何れか一項に記載の光集積ユニットの製造方法。   8. The method according to claim 1, further comprising a step of recording a detection signal generated in the first light receiving unit as an adjustment error following the step of adjusting the mounting position of the light receiving means. The manufacturing method of the optical integrated unit as described in any one of Claims 1-3. 上記回折光によって上記第2の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸に垂直な面内で平行移動し、上記回折手段を上記回折手段に入射する戻り光の光軸を中心に回転し、上記回折手段の取り付け位置および取り付け角度を調整する工程を含むことを特徴とする請求項1から8のうち何れか一項に記載の光集積ユニットの製造方法。   Based on the detection signal generated by the diffracted light in the second light receiving unit, the diffracting means is translated in a plane perpendicular to the optical axis of the return light incident on the diffracting means, and the diffracting means is The method according to any one of claims 1 to 8, further comprising a step of rotating about an optical axis of return light incident on the diffractive means and adjusting an attachment position and an attachment angle of the diffractive means. Manufacturing method of optical integrated unit. 上記回折手段の取り付け位置を調整する工程は、上記受光手段の取り付け位置を調整する工程より後に行われることを特徴とする請求項9に記載の光集積ユニットの製造方法。   10. The method of manufacturing an optical integrated unit according to claim 9, wherein the step of adjusting the attachment position of the diffraction means is performed after the step of adjusting the attachment position of the light receiving means. 光ビームを出射する光源と、光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットと、
上記光集積ユニットから出射される光ビームを平行光に変える、上記光ビームの光軸上に配置されたコリメータレンズと、
上記コリメータレンズにより平行光に変えられた光ビームを集光する、上記光ビームの光軸上に配置された対物レンズと、を備えた光ピックアップの製造方法であって、
上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号に基づいて、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、かつ/または、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程を含むことを特徴とする光ピックアップ装置の製造方法。
A light source that emits a light beam, a diffractive means that is provided on the optical axis of the return light of the light beam reflected by the optical recording medium and separates the return light into non-diffracted light and diffracted light, and the diffracting means An optical integrated unit comprising: a first light receiving unit that receives the non-diffracted light separated by the light receiving unit; and a light receiving unit that has a second light receiving unit that receives the diffracted light separated by the diffracting unit;
A collimator lens disposed on the optical axis of the light beam for changing the light beam emitted from the optical integrated unit into parallel light;
An objective lens arranged on the optical axis of the light beam for condensing the light beam converted into parallel light by the collimator lens,
Based on the detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light, the objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam and / or the optical integrated unit is An optical pickup device comprising a step of moving in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam integrally with a collimator lens and adjusting a relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit Production method.
上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程において、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動する方向と、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動する方向とは、互いに直交する方向であることを特徴とする請求項11に記載の光ピックアップ装置の製造方法。   In the step of adjusting the relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit, the objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam, and the optical integrated unit is moved to the collimator lens. The method of manufacturing an optical pickup device according to claim 11, wherein the directions moving in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam are orthogonal to each other. 上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程は、上記非回折光によって上記第1の受光部において生成される検出信号が上記光集積ユニット製造時に記録された調整誤差と同一になるように、上記対物レンズを上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、かつ/または、上記光集積ユニットを上記コリメータレンズと一体で上記光ビームの光軸に垂直な面内で移動し、上記対物レンズと上記光集積ユニットとの相対的な取り付け位置を調整する工程であることを特徴とする請求項11または12に記載の光ピックアップ装置の製造方法。   The step of adjusting the relative mounting position of the objective lens and the integrated optical unit includes an adjustment error in which a detection signal generated in the first light receiving unit by the non-diffracted light is recorded when the integrated optical unit is manufactured. The objective lens is moved in a plane perpendicular to the optical axis of the light beam and / or the optical integrated unit is integrated with the collimator lens and perpendicular to the optical axis of the light beam. The method of manufacturing an optical pickup device according to claim 11, wherein the method is a step of moving in a plane and adjusting a relative mounting position of the objective lens and the optical integrated unit. 光ビームを出射する光源と、
光記録媒体によって反射された上記光ビームの戻り光の光軸上に設けられ、上記戻り光を非回折光と回折光とに分離する回折手段と、
上記回折手段により分離された非回折光を受光する第1の受光部および上記回折手段により分離された回折光を受光する第2の受光部を有する受光手段と、を備えた光集積ユニットを製造する製造装置であって、
上記光集積ユニットに接続され、上記第1の受光部において生成される検出信号を入力する入力部と、
上記検出信号から上記受光手段の取り付け位置を調整するための誤差信号を演算する演算部と、
上記誤差信号を出力する出力部とを備えることを特徴とする光集積ユニット製造装置。
A light source that emits a light beam;
Diffractive means provided on the optical axis of the return light of the light beam reflected by the optical recording medium, and separating the return light into non-diffracted light and diffracted light;
An optical integrated unit comprising a first light receiving portion that receives non-diffracted light separated by the diffracting means and a second light receiving portion that receives diffracted light separated by the diffracting means is manufactured. A manufacturing device for
An input unit connected to the optical integrated unit and configured to input a detection signal generated in the first light receiving unit;
A calculation unit for calculating an error signal for adjusting the mounting position of the light receiving means from the detection signal;
An optical integrated unit manufacturing apparatus comprising: an output unit that outputs the error signal.
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