JP2007101305A - Vibration detector - Google Patents

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Kazuya Fujii
和也 藤井
Takashi Kuno
高志 久野
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Mitsumi Electric Co Ltd
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Mitsumi Electric Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration detector of high productivity and high sensitivity. <P>SOLUTION: A microphone device 1 comprises a cylindrical case 2 made of resin, a first storage section 26 formed in an inner cylinder section on one end side in the axial direction of the cylindrical case 2 having an opening on the one end side, a second storage section 23 communicating with the first storage section 26 and formed in the inner cylinder section on the other end side in the axial direction of the cylindrical case 2, a vibration detecting element 3 engaged with and fixed to the second storage section 23, and a vibration transmission medium 4 stored in the first storage section 26 and physically abutting on a vibration film of the vibration detecting element via the communication section with the second storage section 26. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、人体の軟部組織を介して伝達された個体振動を検出する振動検出装置に関する。   The present invention relates to a vibration detection apparatus that detects individual vibrations transmitted through a soft tissue of a human body.

従来から、人体の骨を媒体とする音の伝達、いわゆる骨伝導を利用したスピーカ等が開発されている。
この骨伝導に対し、近年では、音媒体を人体の筋肉や、脂肪、皮膚等の軟部組織とする肉伝導と呼ばれる伝達機構が注目されており、この肉伝導を利用したマイクロフォン装置等が開発されている(例えば、非特許文献1参照)。肉伝導は、気道の乱流雑音を音源とする無声呼吸音が、発話器官の運動による音響的フィルタ特性変化により調音された後、人体の主に軟部組織を伝導する振動の伝達機構である。肉伝導によれば、軟部組織を介して伝わる気道音を直接サンプリングするため、ささやき声等、通常の発声音量よりずっと小さいものでも感度良く検出することが可能である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a speaker using sound transmission using a human bone as a medium, so-called bone conduction, and the like has been developed.
In recent years, a transmission mechanism called meat conduction, in which the sound medium is a soft tissue such as a human muscle, fat, skin, etc., has attracted attention for this bone conduction, and a microphone device using this meat conduction has been developed. (For example, refer nonpatent literature 1). Meat conduction is a vibration transmission mechanism that conducts mainly soft tissue of the human body after an unvoiced breathing sound that uses airflow turbulent noise as a sound source is tuned by acoustic filter characteristic changes due to the movement of the speech organs. According to meat conduction, airway sound transmitted through the soft tissue is directly sampled, so that it is possible to detect even whispering voices and the like that are much smaller than the normal voice volume with high sensitivity.

肉伝導を利用した製品については開発途中であり、実用化に向けて種々の研究がすすめられている。例えば、上記マイクロフォン装置のような振動検出装置においてはいまだ手作業での製作であり、量産化を目的とするには製品自体の耐性や生産性において実用的な構成となっていない。   Products using meat conduction are in the process of development, and various studies are underway for practical application. For example, a vibration detection device such as the above-described microphone device is still manufactured manually, and is not practical in terms of durability and productivity of the product itself for mass production.

従来の肉伝導を利用したマイクロフォン装置の構成を図7に示す。
このマイクロフォン装置Mは円筒状に形成され、上部に開口を有するケースm1内にマイクロフォン素子m5を設置しその周囲をハードシリコーンm7で埋め、残りの開口により解放された空間をソフトシリコーンm8で満たしているものである。また、ケースm1の外周端部にはオーリングm9が設けられている。
The configuration of a conventional microphone device using meat conduction is shown in FIG.
This microphone device M is formed in a cylindrical shape, a microphone element m5 is installed in a case m1 having an opening at the top, the periphery is filled with hard silicone m7, and the space released by the remaining opening is filled with soft silicone m8. It is what. An O-ring m9 is provided at the outer peripheral end of the case m1.

使用時には、露出しているソフトシリコーンm8面が人体の軟部組織、通常は皮膚に接触され、この皮膚からの音振動がソフトシリコーンm8層を介してマイクロフォン素子m5に伝導するしくみである。   In use, the exposed soft silicone m8 surface is in contact with the soft tissue of the human body, usually the skin, and sound vibration from the skin is conducted to the microphone element m5 through the soft silicone m8 layer.

図7のマイクロフォン装置Mの作製方法について、図8を参照して説明する。
まず、図8(a)に示すように、防音シートを加工して上部が開口された円筒状のケースm1が作成される。次いで、円筒内の底部分に吸音用のゴム部材m3が敷かれ、その上が防音シートで被覆されて下地が作製される。下地が出来上がると、下地の中心部にハードシリコーンから形成された台座m4が設置され、その台座m4上にマイクロフォン素子m5が配置される。マイクロフォン素子m5には外部と電気的な接続を行うためのケーブルm6がケースm1の側面を貫通して配設される。
A method for manufacturing the microphone device M in FIG. 7 will be described with reference to FIGS.
First, as shown to Fig.8 (a), the cylindrical case m1 by which the soundproof sheet was processed and the upper part was opened is produced. Next, a rubber member m3 for sound absorption is laid on the bottom portion in the cylinder, and the top is covered with a soundproof sheet to produce a base. When the base is completed, a pedestal m4 made of hard silicone is placed in the center of the base, and the microphone element m5 is placed on the pedestal m4. In the microphone element m5, a cable m6 for electrical connection with the outside is disposed through the side surface of the case m1.

次いで、マイクロフォン素子m5が台座m4に載置され、図8(b)に示すように、マイクロフォン素子m5周辺にハードシリコーンm7が充填される。ハードシリコーンm7は、音振動の反射板として作用させるため、ケースm1の開口からマイクロフォン素子m7に向かって内径が縮小するようにその形状が成形される。また、開口端においてオーリングm9を配置するため、開口端部分は幅を持たせた平坦な面に成形される。   Next, the microphone element m5 is placed on the pedestal m4, and as shown in FIG. 8B, the hard silicone m7 is filled around the microphone element m5. The shape of the hard silicone m7 is formed so that the inner diameter thereof decreases from the opening of the case m1 toward the microphone element m7 in order to act as a sound vibration reflector. Further, since the O-ring m9 is disposed at the opening end, the opening end portion is formed into a flat surface having a width.

次いで、図8(c)に示すように、ケースm1上部の開口端部分にオーリングm9が設置され、接着材により固定される。オーリングm9は、後に充填するソフトシリコーンの充填枠として用いられるものである。オーリングm9の位置が固定されると、ケースm1外周面が重合レジンm2によりコーティングされる。その後、図8(d)に示すように、オーリングm9の上面に達するまでケースm1内にソフトシリコーンm8が注入され、このソフトシリコーンm8が硬化するとマイクロフォン装置Mが完成する。
中村淑貴、「NAMインターフェイスコミュニケーション」、奈良先端技術大学院大学博士論文、2005年2月2日
Next, as shown in FIG. 8C, an O-ring m9 is installed at the opening end portion at the top of the case m1, and is fixed by an adhesive. The O-ring m9 is used as a filling frame for soft silicone to be filled later. When the position of the O-ring m9 is fixed, the outer peripheral surface of the case m1 is coated with the polymerization resin m2. Thereafter, as shown in FIG. 8 (d), soft silicone m8 is injected into case m1 until it reaches the upper surface of O-ring m9. When this soft silicone m8 is cured, microphone device M is completed.
Yuki Nakamura, “NAM Interface Communication”, Nara Institute of Technology, Doctoral Dissertation, February 2, 2005

従来のマイクロフォン装置Mは、上述したように手作業で作製しているため、製品の量産化及び品質向上に向けては改良が必要である。
例えば、マイクロフォン素子m5を台座m4に置き、その周辺にハードシリコーンm7を充填して位置の固定を図っていたが、ハードシリコーンm7自体がマイクロフォン素子m5を支持できる充分な硬度を有しておらず、固定が不安定であった。マイクロフォン素子m5は自身の動きによる振動も検出するため、固定が不安定だとその感度特性に影響を及ぼす可能性がある。
Since the conventional microphone device M is manufactured manually as described above, improvement is necessary for mass production and quality improvement of the product.
For example, the microphone element m5 is placed on the base m4 and the periphery thereof is filled with hard silicone m7 to fix the position, but the hard silicone m7 itself does not have sufficient hardness to support the microphone element m5. The fixation was unstable. Since the microphone element m5 detects vibration due to its own movement, if the fixation is unstable, its sensitivity characteristic may be affected.

また、接着材を使用してハードシリコーンm7上及び防音シートにオーリングm9を固定する構造は、強度が充分でなく、長期使用や乱雑な使用において剥離する可能性がある。また、ハードシリコーンm7とソフトシリコーンm8の密着性は良いものの、やはり製品の使用期間や使用状況等を考慮すると、耐剥離性を向上させることが好ましい。   Moreover, the structure which fixes the O-ring m9 on the hard silicone m7 and the soundproof sheet using an adhesive is not sufficient in strength, and may peel off in long-term use or messy use. In addition, although the adhesion between the hard silicone m7 and the soft silicone m8 is good, it is preferable to improve the peel resistance in consideration of the period of use of the product and the usage situation.

さらに、背後からのマイクロフォン素子m5への振動の回り込みを防止するため、防音シートを加工してケースm1を作成したり、ケースm1内に吸音用のゴム材m3を設置したりしているが、この構成では製造工程が多くなり、生産効率が悪い。   Furthermore, in order to prevent the vibration from wrapping around the microphone element m5 from behind, the soundproof sheet is processed to create the case m1 or the sound absorbing rubber material m3 is installed in the case m1. With this configuration, the number of manufacturing steps is increased and the production efficiency is poor.

本発明の課題は、生産性及び感度の良い振動検出装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a vibration detection device with good productivity and sensitivity.

請求項1に記載の発明は、振動検出装置において、
樹脂成形された筒状ケースと、
前記筒状ケースの軸方向一端側の内筒部に形成され、当該一端側に開口を有する第1収容部と、
前記第1収容部と連通し、前記筒状ケースの軸方向他端側の内筒部に形成される第2収容部と、
前記第2収容部に嵌合固定された振動検出素子と、
前記第1収容部に収容され、前記第2収容部との連通部分を介して前記振動検出素子の振動膜に物理的に当接する振動伝達媒質と、
を備えることを特徴とする。
The invention according to claim 1 is the vibration detecting apparatus,
A resin-molded cylindrical case;
A first housing part formed in an inner cylinder part on one axial end side of the cylindrical case and having an opening on the one end side;
A second housing portion that communicates with the first housing portion and is formed in an inner tubular portion on the other axial end side of the tubular case;
A vibration detecting element fitted and fixed to the second accommodating portion;
A vibration transmission medium housed in the first housing portion and physically in contact with a vibration film of the vibration detecting element via a communicating portion with the second housing portion;
It is characterized by providing.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の振動検出装置において、
前記第1収容部の内面が前記開口から前記第2収容部との連通部分に向かって内径が縮小するように形成されていることを特徴とする。
The invention according to claim 2 is the vibration detecting device according to claim 1,
The inner surface of the first housing part is formed so that the inner diameter decreases from the opening toward the communication part with the second housing part.

請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の振動検出装置において、
前記第1収容部の内面に、周縁に沿って連続する環状溝が形成されていることを特徴とする。
The invention according to claim 3 is the vibration detecting device according to claim 1 or 2,
An annular groove that is continuous along the periphery is formed on the inner surface of the first housing portion.

請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の振動検出装置において、
前記環状溝に切欠部が付設されていることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration detection device according to the third aspect,
The annular groove is provided with a notch.

請求項5に記載の発明は、請求項1〜4の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記第1収容部の開口端は、前記筒状ケースの軸方向において前記振動伝達媒質の表面より突出していることを特徴とする。
Invention of Claim 5 is the vibration detection apparatus as described in any one of Claims 1-4,
The opening end of the first housing part protrudes from the surface of the vibration transmission medium in the axial direction of the cylindrical case.

請求項6に記載の発明は、請求項1〜5の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記振動伝達媒質は、生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有していることを特徴とする。
The invention according to claim 6 is the vibration detecting apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The vibration transmission medium has an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body.

請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の振動検出装置において、
前記振動伝達媒質は、生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有するシリコーンであることを特徴とする。
The invention according to claim 7 is the vibration detecting apparatus according to claim 6,
The vibration transmission medium is silicone having an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body.

請求項8に記載の発明は、請求項1〜7の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記振動伝達媒質の表面の面積は、前記振動検出素子の振動膜の面積より大きいことを特徴とする。
The invention according to claim 8 is the vibration detection apparatus according to any one of claims 1 to 7,
The surface area of the vibration transmission medium is larger than the area of the vibration film of the vibration detection element.

請求項9に記載の発明は、請求項1〜8の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記第1収容部と前記第2収容部間に透孔を有する隔壁が設けられ、この透孔を介して前記第1収容部と第2収容部が連通していることを特徴とする。
The invention according to claim 9 is the vibration detecting device according to any one of claims 1 to 8,
A partition wall having a through hole is provided between the first housing portion and the second housing portion, and the first housing portion and the second housing portion communicate with each other through the through hole.

請求項10に記載の発明は、請求項9に記載の振動検出装置において、
前記隔壁の透孔は、前記振動検出素子の振動膜の径より小さい内径を有し、かつ前記隔壁と前記振動膜との間に間隙が設けられ、この間隙内に前記振動伝達物質が充填されていることを特徴とする。
The invention according to claim 10 is the vibration detecting apparatus according to claim 9,
The through hole of the partition wall has an inner diameter smaller than the diameter of the vibration film of the vibration detecting element, and a gap is provided between the partition wall and the vibration film, and the vibration transmitting substance is filled in the gap. It is characterized by.

請求項11に記載の発明は、請求項1〜10の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記振動検出素子は、コンデンサ型マイクロフォン素子であることを特徴とする。
The invention according to claim 11 is the vibration detection device according to any one of claims 1 to 10,
The vibration detecting element is a capacitor type microphone element.

請求項12に記載の発明は、請求項1〜11の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記第2収容部は、前記筒状ケースの軸方向他端側に開口を有することを特徴とする。
The invention according to claim 12 is the vibration detection apparatus according to any one of claims 1 to 11,
The second accommodating portion has an opening on the other axial end side of the cylindrical case.

本発明によれば、振動検出素子の位置をケースに嵌合固定させて感度特性の安定化を図るとともに、振動検出装置の耐衝撃性を向上させることができる。また、予めケースを振動検出素子が挿嵌可能な樹脂成形品とし、製造過程を簡易化することにより生産効率を向上させることができる。   According to the present invention, it is possible to stabilize the sensitivity characteristic by fitting and fixing the position of the vibration detection element to the case, and to improve the shock resistance of the vibration detection device. In addition, it is possible to improve the production efficiency by making the case a resin molded product into which the vibration detecting element can be inserted in advance and simplifying the manufacturing process.

〈振動検出装置の構造〉
以下、本発明を適用したマイクロフォン装置について、図を参照して説明する。
図1に示すのはマイクロフォン装置1の平面図であり、図2に示すのは図1のII−II線における断面図である。
<Structure of vibration detector>
Hereinafter, a microphone device to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view of the microphone device 1, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.

図1及び図2に示すように、マイクロフォン装置1はケース2内にマイクロフォン素子3が収容されてなり、マイクロフォン素子3の上部はシリコーン4で満たされてマイクロフォン素子3の振動膜33と当接している。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the microphone device 1 includes a case 2 in which a microphone element 3 is accommodated, and the upper portion of the microphone element 3 is filled with silicone 4 and is in contact with the vibration film 33 of the microphone element 3. Yes.

ケース2は、ABS樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂等の合成樹脂、ゴム状、樹脂状のハードシリコーン等により図3に示す形状に予め成形された樹脂成形品である。なお、耐衝撃性を考慮すると、樹脂ではなく硬度の高い金属を材料とすることとしてもよいが、軽量化を図るためには樹脂を用いることが好ましい。   The case 2 is a resin molded product that has been molded in advance into the shape shown in FIG. 3 with synthetic resin such as ABS resin, polystyrene resin, acrylic resin, rubber, resinous hard silicone, or the like. In consideration of impact resistance, a metal having a high hardness instead of a resin may be used. However, in order to reduce the weight, it is preferable to use a resin.

図3に示すように、ケース2には円筒下方の中心部分にマイクロフォン素子3を収容するための円筒形の第2収容部23が形成されている。第2収容部23は、マイクロフォン素子3の径よりやや小さい径を有しており、マイクロフォン素子3を第2収容部23へ圧入すると、マイクロフォン素子3が第2収容部23で嵌合固定されるように形成されている。また、第2収容部23の底面は開口されており、この開口部分からマイクロフォン素子3を挿嵌することが可能である。開口部分は、マイクロフォン素子3を挿嵌しやすいように、マイクロフォン素子3の底面積より開口部分の面積が大きくなるよう開口されている。また、図2に示すように、この開口は板状の底蓋5がケース2の底面に取り付けられることにより被覆される。底蓋5には、マイクロフォン素子3のケーブルCを通すための貫通孔が設けられている。   As shown in FIG. 3, the case 2 is formed with a cylindrical second accommodating portion 23 for accommodating the microphone element 3 in the central portion below the cylinder. The second housing part 23 has a diameter slightly smaller than the diameter of the microphone element 3, and when the microphone element 3 is press-fitted into the second housing part 23, the microphone element 3 is fitted and fixed in the second housing part 23. It is formed as follows. Further, the bottom surface of the second housing portion 23 is opened, and the microphone element 3 can be inserted through the opening. The opening portion is opened so that the area of the opening portion is larger than the bottom area of the microphone element 3 so that the microphone element 3 can be easily inserted. Further, as shown in FIG. 2, the opening is covered by attaching a plate-like bottom lid 5 to the bottom surface of the case 2. The bottom lid 5 is provided with a through hole for passing the cable C of the microphone element 3.

第2収容部23の周囲は環状の空洞が形成されている。これは樹脂成形上の理由からである。すなわち、ケース2を樹脂成形する際には樹脂密度が高いところではひけと呼ばれるくぼみが生じやすい。本実施形態に示すケース2では、これを避けるため、第2収容部23の周囲を空洞とし樹脂密度が高くならないようにしているものである。なお、本実施形態では環状の空洞としているが、どのような形状の空洞を形成するかは特に限定しない。   An annular cavity is formed around the second housing portion 23. This is because of resin molding reasons. That is, when the case 2 is molded with resin, a depression called sink is likely to occur where the resin density is high. In the case 2 shown in the present embodiment, in order to avoid this, the periphery of the second accommodating portion 23 is a cavity so that the resin density does not increase. In the present embodiment, an annular cavity is used, but the shape of the cavity to be formed is not particularly limited.

一方、ケース2の円筒上端には上端側に開口を有する第1収容部26が形成されている。第1収容部26と第2収容部23間には透孔を有する隔壁が設けられ、第1収容部26と第2収容部23はこの透孔を介して連通している。また、前記隔壁は、第2収容部23へのマイクロフォン素子3の挿入を係止する係止部材24として作用する。   On the other hand, a first accommodating portion 26 having an opening on the upper end side is formed at the upper end of the cylinder of the case 2. A partition wall having a through hole is provided between the first housing portion 26 and the second housing portion 23, and the first housing portion 26 and the second housing portion 23 communicate with each other through the through hole. The partition acts as a locking member 24 that locks the insertion of the microphone element 3 into the second accommodating portion 23.

第1収容部26は、上端側の開口から第2収容部23に向かってその内径が縮小するすり鉢形状に形成されている。なお、本実施形態ではすり鉢状の例を説明したが、その内面を湾曲させてパラボラ形状や半球状としてもよい。第1収容部26の内面には、第1収容部26に充填されるシリコーン4とケース2との密着性を高めるために、周縁に沿って連続する環状の溝21が形成されている。また、この溝21に付随して3つの切欠部22が同一間隔で設けられている。切欠部22は溝21へのシリコーン4の流動性を改善するために設けられるものである。その数は3つに限らないが、均一にかつ迅速にシリコーン4を流動させるためには、複数の切欠部22をバランス良く設けることが好ましい。   The 1st accommodating part 26 is formed in the mortar shape from which the internal diameter reduces toward the 2nd accommodating part 23 from opening of an upper end side. In addition, although the mortar-shaped example was demonstrated in this embodiment, it is good also as a parabola shape and hemisphere by curving the inner surface. An annular groove 21 continuous along the periphery is formed on the inner surface of the first housing portion 26 in order to improve the adhesion between the silicone 4 filled in the first housing portion 26 and the case 2. Further, three notches 22 are provided at the same interval along with the groove 21. The notch 22 is provided to improve the fluidity of the silicone 4 into the groove 21. The number is not limited to three, but it is preferable to provide a plurality of notches 22 in a well-balanced manner in order to cause the silicone 4 to flow uniformly and quickly.

また、図3に示す第1収容部26の開口端25は、図2に示すように第1収容部26に収容されるシリコーン4の表面より突出するように成形されている。シリコーン4の表面は皮膚への接触面となるが、この皮膚への接触時には接触の押圧による振動も少なからずマイクロフォン素子3に伝達されるため、これがノイズ(雑音)として検出されてしまう。開口端25を突出させるのは、この皮膚への接触時に生じるノイズを抑制するためであり、シリコーン4を介してマイクロフォン素子3に過剰に加わる押圧を緩和する作用を有する。   3 is formed so as to protrude from the surface of the silicone 4 accommodated in the first accommodating portion 26 as shown in FIG. The surface of the silicone 4 serves as a contact surface with the skin, but vibration due to the pressing of the contact is transmitted to the microphone element 3 at the time of contact with the skin, and this is detected as noise. The reason why the open end 25 is protruded is to suppress noise generated at the time of contact with the skin, and has an action of alleviating the pressure applied to the microphone element 3 through the silicone 4.

第1収容部26には、振動伝達媒質であるシリコーン4が充填されており、このシリコーン4は第2収容部23との連通部分を介してマイクロフォン素子33側にも充填され、マイクロフォン素子3と振動膜33とが当接している。シリコーン4は、その表面が振動の検出対象となる生体の軟部組織との接触面となって、軟部組織からの音振動をマイクロフォン素子3に伝導する。ここで、生体の軟部組織とは、皮膚組織、筋肉組織、脂肪組織、臓器等、有る程度の弾性を有する固体組織をいう。   The first housing portion 26 is filled with silicone 4 which is a vibration transmission medium, and this silicone 4 is also filled into the microphone element 33 side through the communication portion with the second housing portion 23. The vibrating membrane 33 is in contact with it. The surface of the silicone 4 serves as a contact surface with a soft tissue of a living body whose vibration is to be detected, and conducts sound vibration from the soft tissue to the microphone element 3. Here, the soft tissue of a living body refers to a solid tissue having a certain degree of elasticity, such as skin tissue, muscle tissue, adipose tissue, organ, and the like.

シリコーン4の材料は、音振動の伝達媒質となる生体の軟部組織と略同様の音響インピーダンスを有するものが選択されている。音響インピーダンスは、媒質の密度ρと伝搬速度Cの積により求められる。2つの隣接する物質間では、各物質の音響インピーダンスが異なれば異なるだけ、その2つ物質が接する境界面において強く音の反射が起こる。よって、生体の軟部組織を伝搬する音を可能な限り反射減衰させることなく、マイクロフォン素子3の振動膜33まで媒介するには、その軟部組織と同等の音響インピーダンスを持つ材料を用いることが、振動検出の感度向上の条件となる。   As the material of the silicone 4, a material having substantially the same acoustic impedance as that of a soft tissue of a living body serving as a sound vibration transmission medium is selected. The acoustic impedance is obtained by the product of the medium density ρ and the propagation velocity C. As long as the acoustic impedance of each substance is different between two adjacent substances, sound is strongly reflected at the interface between the two substances. Therefore, in order to mediate the sound propagating through the soft tissue of the living body to the vibration film 33 of the microphone element 3 without causing reflection attenuation as much as possible, it is necessary to use a material having an acoustic impedance equivalent to that soft tissue. This is a condition for improving the sensitivity of detection.

軟部組織の音響インピーダンスは組織によって若干差があるものの、ほぼ同様の値を示すことが知られている。軟部組織の具体的な音響インピーダンス値は、測定環境によっても変化するものであるが、脂肪組織は約1.3×10(kg/m2s)程度である。実際にシリコーン4の材料を選択する際には、実験的、経験的に最良の音響インピーダンスをもつものを選択すればよい。 It is known that the acoustic impedance of soft tissue shows almost the same value although there is a slight difference depending on the tissue. The specific acoustic impedance value of the soft tissue varies depending on the measurement environment, but the fat tissue is about 1.3 × 10 6 (kg / m 2 s). When actually selecting the material of the silicone 4, what has the best acoustic impedance may be selected experimentally and empirically.

マイクロフォン素子3は、第1収容部26に充填されたシリコーン4を介して伝導される振動を検出し、電気信号に変換する振動検出素子である。
図4にマイクロフォン素子3の拡大断面図を示す。
図4に示すように、マイクロフォン素子3は、円筒状を呈するケース31内に振動膜33、スペーサ34、背電極35、FET(Field Effect Transistor)36が収容されてなる、コンデンサ型のマイクロフォン素子である。
The microphone element 3 is a vibration detection element that detects a vibration conducted through the silicone 4 filled in the first housing portion 26 and converts it into an electric signal.
FIG. 4 shows an enlarged cross-sectional view of the microphone element 3.
As shown in FIG. 4, the microphone element 3 is a capacitor-type microphone element in which a diaphragm 33, a spacer 34, a back electrode 35, and an FET (Field Effect Transistor) 36 are housed in a cylindrical case 31. is there.

ケース31はその上方中央部が円状に開口され、受音孔37が形成されている。ケース31の上面内側には、この受音孔37と同じ孔径を有するワッシャ32が設けられており、このワッシャ32に振動膜33、スペーサ34、背電極35が積層されて取り付けられている。   The case 31 has an upper central portion opened in a circular shape, and a sound receiving hole 37 is formed. A washer 32 having the same hole diameter as the sound receiving hole 37 is provided inside the upper surface of the case 31, and a vibration film 33, a spacer 34, and a back electrode 35 are laminated and attached to the washer 32.

ケース31の底面から間隙をおいて上方に基板38が設置されており、基板38と背電極35との間にスペーサ39が設置される。このスペーサ39により前記振動膜33の張り付けられたワッシャ32等が支持されている。また、基板38上のスペーサ39の内孔にはFET36が設置されており、このFET36の電極は背電極35、外部と接続されるケーブルC等に配線される。   A substrate 38 is disposed above the bottom surface of the case 31 with a gap therebetween, and a spacer 39 is disposed between the substrate 38 and the back electrode 35. The spacer 39 supports the washer 32 and the like to which the vibration film 33 is attached. An FET 36 is installed in the inner hole of the spacer 39 on the substrate 38, and the electrode of the FET 36 is wired to the back electrode 35, the cable C connected to the outside, and the like.

〈マイクロフォン装置の作製方法〉
図5を参照して、上記マイクロフォン装置1の作製方法について説明する。
まず、図5(a)に示すように、樹脂成形品であるケース2を準備し、このケース2の底面開口部から第2収容部23にマイクロフォン素子3を挿入する。マイクロフォン素子3は予めケーブルCを半田付けして配線しておく。これは第2収容部23にマイクロフォン素子3を収容した後に半田付けを行うと、半田付けの際の熱が第2収容部23内にこもり、その結果マイクロフォン素子3が熱で破壊される可能性があるためである。また、シリコーン4を充填した後に半田付けを行うと、その熱によりシリコーン4とマイクロフォン素子3の振動膜33との密着性が悪化することも理由の一つである。なお、熱に対する対策が講じられるのであれば、マイクロフォン素子3を挿入した後に半田付けを行うことも可能である。
<Method for manufacturing microphone device>
With reference to FIG. 5, the manufacturing method of the said microphone apparatus 1 is demonstrated.
First, as shown in FIG. 5A, a case 2 that is a resin molded product is prepared, and the microphone element 3 is inserted into the second housing portion 23 from the bottom opening of the case 2. The microphone element 3 is wired in advance by soldering the cable C. This is because if the soldering is performed after the microphone element 3 is accommodated in the second accommodating part 23, the heat at the time of soldering is trapped in the second accommodating part 23, and as a result, the microphone element 3 may be destroyed by the heat. Because there is. Another reason is that when soldering is performed after the silicone 4 is filled, the adhesion between the silicone 4 and the vibration film 33 of the microphone element 3 deteriorates due to the heat. If measures against heat are taken, it is also possible to perform soldering after inserting the microphone element 3.

そして、マイクロフォン素子3を係止部24により係止されるまで圧入すると、図5(b)に示すように底蓋5をケース2の底に取り付ける。底蓋5の取り付けは、接着材を用いてもよいし、底蓋5とケース2を両者が嵌合する形状に成形しておき、挿嵌することとしてもよい。また、底蓋5は最終工程で取り付けることとしてもよい。この場合、ソフトシリコーン4も全て充填した後に取り付けることとなるため、ソフトシリコーン4が有る程度硬化した後に取り付けることが必要となる。次いで、ケース2の第1収容部26にシリコーン4を充填する。充填時には、シリコーン4が直接マイクロフォン素子3に滴下しないように、第1収容部26内面の傾斜部分から流し込む。このとき、シリコーン4は滴下量に応じてその界面が上がって徐々に第1収容部26を満たしていき、切欠部22に流れ込む。切欠部22に流れ込んだシリコーン4は溝21に進入し、さらなる充填により第1収容部26内を満たしたシリコーン4の界面と合流する。   When the microphone element 3 is press-fitted until it is locked by the locking portion 24, the bottom cover 5 is attached to the bottom of the case 2 as shown in FIG. The bottom cover 5 may be attached using an adhesive, or the bottom cover 5 and the case 2 may be molded into a shape that fits both, and then inserted. The bottom lid 5 may be attached in the final process. In this case, since the soft silicone 4 is also filled after being filled, it is necessary to attach the soft silicone 4 after it has been cured to some extent. Next, the first accommodating portion 26 of the case 2 is filled with the silicone 4. At the time of filling, the silicone 4 is poured from the inclined portion of the inner surface of the first housing portion 26 so that the silicone 4 does not drop directly on the microphone element 3. At this time, the interface of the silicone 4 rises according to the amount of dripping, gradually fills the first housing portion 26, and flows into the notch 22. The silicone 4 that has flowed into the notch 22 enters the groove 21 and merges with the interface of the silicone 4 that fills the inside of the first housing portion 26 by further filling.

ここで、切欠部21が設けられていない場合を考える。シリコーン4が溝21との境界に達したとき、シリコーン4はその表面張力により溝21への進入が一時的に滞ってしまう。さらにシリコーン4の滴下量を増して表面張力以上の圧力をかけることにより、溝21へシリコーン4が進入することとなるが、その間溝21周辺ではシリコーン4の流動性が低下するため、その分溝21周辺のシリコーン4は硬化が進む。すなわち、第1収容部26におけるシリコーン4の硬化が不均一となる可能性がある。また、表面張力を超えるために過剰な滴下を行うと、溝21がシリコーン4で満たされたときにはその界面が本来充填すべき位置を超えてしまうことが考えられる。   Here, consider a case where the notch 21 is not provided. When the silicone 4 reaches the boundary with the groove 21, the silicone 4 temporarily enters the groove 21 due to its surface tension. Further, the silicone 4 enters the groove 21 by increasing the dripping amount of the silicone 4 and applying a pressure equal to or higher than the surface tension. However, since the fluidity of the silicone 4 decreases around the groove 21 during that period, The silicone 4 around 21 is cured. That is, there is a possibility that the curing of the silicone 4 in the first housing portion 26 is not uniform. Further, if excessive dropping is performed in order to exceed the surface tension, it is considered that when the groove 21 is filled with the silicone 4, the interface exceeds the position that should be originally filled.

しかし、本実施形態におけるケース2には、溝21に切欠部22が付設されているため、図5(b)に示すように、シリコーン4は溝21より低い位置にある切欠部22に先に進入することとなる。これを契機としてシリコーン4の表面張力は緩和されるとともに、切欠部22から進入したシリコーン4が溝21へ入り込むため、溝21の形成によって生じるシリコーン4の低流動性を改善することができる。   However, since the notch 22 is attached to the groove 21 in the case 2 in the present embodiment, the silicone 4 is placed first on the notch 22 at a position lower than the groove 21 as shown in FIG. You will enter. As a result, the surface tension of the silicone 4 is relaxed, and the silicone 4 that has entered from the notch 22 enters the groove 21, so that the low fluidity of the silicone 4 caused by the formation of the groove 21 can be improved.

ソフトシリコーン4は予め充填基準となる位置まで充填されるようにその充填量が予め決められている。充填基準となる位置は、第1収容部26の開口端25の突出部分より例えば1mm下方等、低い位置とされる。そして、決められた量だけソフトシリコーン4が充填され、経時によりシリコーン4が硬化すると、マイクロフォン装置1が完成する。   The filling amount of the soft silicone 4 is determined in advance so that the soft silicone 4 is filled up to a position serving as a filling reference. The position serving as the filling reference is a position that is lower, for example, 1 mm below the protruding portion of the opening end 25 of the first housing portion 26. Then, the soft silicone 4 is filled in a predetermined amount, and when the silicone 4 is cured over time, the microphone device 1 is completed.

〈マイクロフォン装置1の動作〉
上記マイクロフォン装置1を使用する際には、シリコーン4の表面(露出面)を生体の軟部組織に接触させる。このとき、接触させる位置によりマイクロフォン装置1の感度は変わるため、経験的に感度の良い位置を探せばよい。実験の結果では、耳の後部にあたる乳様突起直下部分が最適であることが分かっている。
<Operation of Microphone Device 1>
When the microphone device 1 is used, the surface (exposed surface) of the silicone 4 is brought into contact with the soft tissue of the living body. At this time, since the sensitivity of the microphone device 1 varies depending on the contact position, it is only necessary to find a position with good sensitivity empirically. Experimental results have shown that the area immediately below the mastoid, which is the back of the ear, is optimal.

接触時にはシリコーン4の表面より突出しているケース2の開口端25がまず軟部組織に接触すると、その接触圧により開口端25内の軟部組織が盛り上がり、シリコーン4の表面と接触する。接触した生体の軟部組織から伝えられる振動は、シリコーン4を介してマイクロフォン素子3に伝導される。マイクロフォン素子3では、振動膜33が受ける振動に応じてFET36により電気信号が生成され、この電気信号がケーブルCを介して外部へ送出される。   When the opening end 25 of the case 2 protruding from the surface of the silicone 4 contacts the soft tissue at the time of contact, the soft tissue in the opening end 25 rises by the contact pressure and contacts the surface of the silicone 4. The vibration transmitted from the soft tissue of the living body that is in contact is conducted to the microphone element 3 through the silicone 4. In the microphone element 3, an electric signal is generated by the FET 36 according to the vibration received by the vibration film 33, and this electric signal is sent to the outside via the cable C.

以上のように、本実施形態によれば、マイクロフォン素子3を収容するケース2を樹脂成型品とし、マイクロフォン素子3を嵌合固定する構成としたので、マイクロフォン素子3の位置を安定的にケース2に固定することができるとともに、マイクロフォン装置1自体の耐衝撃性を向上させることができる。また、予めケース2を成形品とすることにより、従来のように防音シートを加工してケースを作製するといった製造工程を省略することができ、生産効率を向上させることができる。   As described above, according to the present embodiment, since the case 2 that accommodates the microphone element 3 is a resin molded product and the microphone element 3 is fitted and fixed, the position of the microphone element 3 can be stably placed in the case 2. The impact resistance of the microphone device 1 itself can be improved. Moreover, by making the case 2 into a molded product in advance, it is possible to omit a manufacturing process of manufacturing a case by processing a soundproof sheet as in the past, and to improve production efficiency.

また、ケース2に第1収容部26を設け、この第1収容部26に生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有するシリコーン4を充填した。このシリコーン4の表面を軟部組織と接触させることにより、軟部組織からの振動を可能な限り反射減衰させることなく、マイクロフォン素子3まで伝達することが可能となる。従って、マイクロフォン装置1の振動検出感度を向上させることができる。   In addition, the case 2 is provided with a first accommodating portion 26, and the first accommodating portion 26 is filled with silicone 4 having an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body. By bringing the surface of the silicone 4 into contact with the soft tissue, vibration from the soft tissue can be transmitted to the microphone element 3 without being attenuated by reflection as much as possible. Therefore, the vibration detection sensitivity of the microphone device 1 can be improved.

また、第1収容部26は、第2収容部23と連通し、この連通部分を中心底部とするすり鉢状に形成したので、この傾斜を有する第1収容部の内面が音振動の反射板として作用し、マイクロフォン装置1の振動検出感度をより向上させることができる。   Moreover, since the 1st accommodating part 26 was connected with the 2nd accommodating part 23, and formed in the mortar shape which uses this communicating part as a center bottom part, the inner surface of the 1st accommodating part which has this inclination serves as a reflector of sound vibration It acts, and the vibration detection sensitivity of the microphone device 1 can be further improved.

また、ケース2に底部分が開口されてなる第2収容部23を設け、第2収容部23にマイクロフォン素子3を挿嵌可能に成形したため、マイクロフォン素子3の実装が容易となる。さらに、第2収容部23と第1収容部26の連通部分に係止部24が設けられているため、この係止部24により係止されるまでマイクロフォン素子3を挿嵌することにより、マイクロフォン素子3を第2収容部23に正確に収めることができる。   Moreover, since the 2nd accommodating part 23 by which the bottom part is opened is provided in the case 2, and the microphone element 3 was shape | molded so that insertion was possible in the 2nd accommodating part 23, mounting of the microphone element 3 becomes easy. Furthermore, since the engaging part 24 is provided in the communication part of the 2nd accommodating part 23 and the 1st accommodating part 26, by inserting the microphone element 3 until it latches by this engaging part 24, a microphone is inserted. The element 3 can be accurately stored in the second housing portion 23.

また、開口端25はシリコーン4の表面より突出するよう成形するので、生体の軟部組織にマイクロフォン装置1を接触させたときの圧力を開口端25で緩和することができ、マイクロフォン素子3への過剰な加圧を防止することができる。オーリングの設置は部品数が増えるとともに製造工程が増え、さらに接着強度が弱いと外れる可能性もある。よって、本実施形態のように、オーリングの機能をケース2で担うことにより、生産効率の向上及び低コスト化を図ることができる。   Further, since the opening end 25 is formed so as to protrude from the surface of the silicone 4, the pressure when the microphone device 1 is brought into contact with the soft tissue of the living body can be relieved by the opening end 25, and the excess to the microphone element 3 can be reduced. Pressure can be prevented. The installation of the O-ring increases the number of parts and the manufacturing process, and may be removed if the adhesive strength is weak. Therefore, as in the present embodiment, the Oring function is performed by the case 2 so that the production efficiency can be improved and the cost can be reduced.

また、第1収容部26の内面の傾斜部分に溝21を設けることにより、シリコーン4とケース2との接触面積を大きくすることができ、シリコーン4とケース2との接着力を強化させることができる。   Further, by providing the groove 21 in the inclined portion of the inner surface of the first housing portion 26, the contact area between the silicone 4 and the case 2 can be increased, and the adhesive force between the silicone 4 and the case 2 can be enhanced. it can.

また、溝21に隣接して切欠部22を設けているので、シリコーン4の流動性を改善することができ、シリコーン4の表面張力による充填速度の停滞を回避することができる。シリコーン4は用いる材質によってその硬化速度が速いものもあるが、切欠部22により溝21へのシリコーン4の進入を誘導することができ、均一かつ迅速にシリコーン4の充填を行うことが可能となる。   Moreover, since the notch part 22 is provided adjacent to the groove | channel 21, the fluidity | liquidity of the silicone 4 can be improved and the stagnation of the filling speed by the surface tension of the silicone 4 can be avoided. Some silicones 4 have a fast curing speed depending on the material used, but the notches 22 can induce the silicone 4 to enter the grooves 21, and the silicone 4 can be filled uniformly and quickly. .

また、マイクロフォン素子3の受音孔37はワッシャ32の内径以上とし、第1収容部26の開口面積が、マイクロフォン素子3の振動膜33の面積以上になるよう構成している。これにより、シリコーン4を伝導する音振動の損失を防ぎ、その検出感度を向上させることができる。   Further, the sound receiving hole 37 of the microphone element 3 is set to be equal to or larger than the inner diameter of the washer 32, and the opening area of the first housing portion 26 is configured to be equal to or larger than the area of the vibration film 33 of the microphone element 3. Thereby, the loss of the sound vibration which conducts the silicone 4 can be prevented, and its detection sensitivity can be improved.

〈変形例〉
なお、上記実施形態は本発明を適用した好適な一例であって、これに限らない。
例えば、上記実施形態では、第1収容部26と第2収容部26間に隔壁を設け、係止部24としたが、この隔壁を排除し、第1収容部26と第2収容部を連通させることとしてもよい。この場合、第1収容部26側又は第2収容部23側の何れの開口部からでもマイクロフォン素子3を第2収容部23に挿嵌することができる。また、このとき、第2収容部23底側の開口部分に係止部24を設け、第1収容部26側からのマイクロフォン素子3の挿入を係止することとしてもよい。
<Modification>
In addition, the said embodiment is a suitable example to which this invention is applied, Comprising: It does not restrict to this.
For example, in the above-described embodiment, a partition is provided between the first storage portion 26 and the second storage portion 26 to form the locking portion 24. However, the partition is removed and the first storage portion 26 and the second storage portion are communicated. It is also possible to make it. In this case, the microphone element 3 can be inserted into the second housing portion 23 from any opening on the first housing portion 26 side or the second housing portion 23 side. At this time, a locking portion 24 may be provided in the opening portion on the bottom side of the second housing portion 23 to lock the insertion of the microphone element 3 from the first housing portion 26 side.

また、図6に示すように、係止部24をさらに延在し、マイクロフォン素子3の受音孔37を一部被覆することとしてもよい。係止部24と振動膜33との間にはケース31及びワッシャ32が介在しており、間隙が生じているため、この間隙にシリコーン4が充填されることにより、シリコーン4が係止部24と嵌合する形状を呈することとなる。従って、シリコーン4がケース2から剥離しにくい構造となり、耐剥離性をより向上させることができる。   In addition, as shown in FIG. 6, the locking portion 24 may be further extended to partially cover the sound receiving hole 37 of the microphone element 3. Since the case 31 and the washer 32 are interposed between the locking portion 24 and the vibration film 33 and a gap is generated, the silicone 4 is filled in the gap, so that the silicone 4 is locked to the locking portion 24. It will exhibit a shape that fits. Therefore, the silicone 4 has a structure that is difficult to peel off from the case 2, and the peel resistance can be further improved.

また、上記実施形態では、マイクロフォン素子3として感度の良いコンデンサ型のマイクロフォン素子を適用し、小型化を図っていたが、本発明では、圧電素子等、他のマイクロフォン素子も適用可能である。   In the above embodiment, a capacitor-type microphone element with good sensitivity is applied as the microphone element 3 to reduce the size. However, in the present invention, other microphone elements such as a piezoelectric element are also applicable.

また、上記実施形態では、底蓋5は単純な板状部材を用いていたが、図6に示すような底蓋5aを適用することとしてもよい。底蓋5aは、ケース2の底側の形状に嵌合するように成形された樹脂成形品であり、板状の基板に対しドーナツ状の突起が設けられた形状となっている。底蓋5aをケース2の底部分に取り付けることにより、第2収容部23周辺の空洞を底蓋5aにより埋めることとなる。   Moreover, in the said embodiment, although the bottom cover 5 used the simple plate-shaped member, it is good also as applying the bottom cover 5a as shown in FIG. The bottom cover 5a is a resin molded product that is molded so as to fit into the shape of the bottom side of the case 2, and has a shape in which a donut-shaped protrusion is provided on a plate-shaped substrate. By attaching the bottom lid 5a to the bottom portion of the case 2, the cavity around the second housing portion 23 is filled with the bottom lid 5a.

さらに、上記構成ではマイクロフォン素子3に直接ケーブルCを配線することとしていたが、図6に示すようにマイクロフォン素子3に端子T1、底蓋5aに端子T2及びこの端子T2と接続され、ケーブルCに配線される端子T3を設け、この底蓋5aをケース2に取り付けた際にマイクロフォン素子3の端子T1と底蓋5aの端子T2が接触することによりケーブル配線が可能な構成としてもよい。すなわち、端子T3にケーブルCを配線した底蓋5aをケース2に取り付けると、マイクロフォン素子3の端子T1と底蓋5aの端子T2とが接触し、端子T2は端子T3に接続されていることから、マイクロフォン素子3をケーブル配線することが可能となる。この構成によれば、マイクロフォン素子3aに直接配線する必要がなく、ケーブル配線が容易になるとともに、配線時の高熱からマイクロフォン素子3を保護することができる。   Further, in the above configuration, the cable C is directly wired to the microphone element 3, but as shown in FIG. 6, the terminal T1 is connected to the microphone element 3, the terminal T2 is connected to the bottom cover 5a, and the terminal T2 is connected to the cable C. A terminal T3 to be wired may be provided, and when the bottom cover 5a is attached to the case 2, the terminal T1 of the microphone element 3 and the terminal T2 of the bottom cover 5a may be in contact with each other so that cable wiring is possible. That is, when the bottom cover 5a in which the cable C is wired to the terminal T3 is attached to the case 2, the terminal T1 of the microphone element 3 and the terminal T2 of the bottom cover 5a are in contact, and the terminal T2 is connected to the terminal T3. The microphone element 3 can be cabled. According to this configuration, it is not necessary to wire directly to the microphone element 3a, cable wiring is facilitated, and the microphone element 3 can be protected from high heat during wiring.

本発明を適用したマイクロフォン装置の平面図である。It is a top view of the microphone apparatus to which this invention is applied. 図1のII-II線における断面図である。It is sectional drawing in the II-II line of FIG. マイクロフォン装置のケースの断面図である。It is sectional drawing of the case of a microphone apparatus. マイクロフォン素子の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of a microphone element. マイクロフォン素子の作製方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of a microphone element. 他の実施形態に係るマイクロフォン装置の断面図である。It is sectional drawing of the microphone apparatus which concerns on other embodiment. 従来のマイクロフォン装置の断面図である。It is sectional drawing of the conventional microphone apparatus. 従来のマイクロフォン装置の作製方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the conventional microphone apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 マイクロフォン装置
2 ケース
21 溝
22 切欠部
23 第2収容部
24 係止部
25 開口端
26 第1収容部
3 マイクロフォン素子
33 振動膜
37 受音孔
4 シリコーン
5 底蓋
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microphone apparatus 2 Case 21 Groove 22 Notch part 23 2nd accommodating part 24 Locking part 25 Opening end 26 1st accommodating part 3 Microphone element 33 Vibration film 37 Sound receiving hole 4 Silicone 5 Bottom cover

Claims (12)

樹脂成形された筒状ケースと、
前記筒状ケースの軸方向一端側の内筒部に形成され、当該一端側に開口を有する第1収容部と、
前記第1収容部と連通し、前記筒状ケースの軸方向他端側の内筒部に形成される第2収容部と、
前記第2収容部に嵌合固定された振動検出素子と、
前記第1収容部に収容され、前記第2収容部との連通部分を介して前記振動検出素子の振動膜に物理的に当接する振動伝達媒質と、
を備えることを特徴とする振動検出装置。
A resin-molded cylindrical case;
A first housing part formed in an inner cylinder part on one axial end side of the cylindrical case and having an opening on the one end side;
A second housing portion that communicates with the first housing portion and is formed in an inner tubular portion on the other axial end side of the tubular case;
A vibration detecting element fitted and fixed to the second accommodating portion;
A vibration transmission medium housed in the first housing portion and physically in contact with a vibration film of the vibration detecting element via a communicating portion with the second housing portion;
A vibration detection apparatus comprising:
前記第1収容部の内面が前記開口から前記第2収容部との連通部分に向かって内径が縮小するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の振動検出装置。   2. The vibration detecting device according to claim 1, wherein an inner surface of the first housing portion is formed so that an inner diameter thereof decreases from the opening toward a communication portion with the second housing portion. 前記第1収容部の内面に、周縁に沿って連続する環状溝が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動検出装置。   The vibration detecting device according to claim 1, wherein an annular groove that is continuous along a peripheral edge is formed on an inner surface of the first housing portion. 前記環状溝に切欠部が付設されていることを特徴とする請求項3に記載の振動検出装置。   The vibration detecting device according to claim 3, wherein a cutout portion is attached to the annular groove. 前記第1収容部の開口端は、前記筒状ケースの軸方向において前記振動伝達媒質の表面より突出していることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の振動検出装置。   5. The vibration detection device according to claim 1, wherein an opening end of the first housing portion protrudes from a surface of the vibration transmission medium in an axial direction of the cylindrical case. 前記振動伝達媒質は、生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有していることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の振動検出装置。   The vibration detection apparatus according to claim 1, wherein the vibration transmission medium has an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body. 前記振動伝達媒質は、生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有するシリコーンであることを特徴とする請求項6に記載の振動検出装置。   The vibration detection apparatus according to claim 6, wherein the vibration transmission medium is silicone having an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body. 前記振動伝達媒質の表面の面積は、前記振動検出素子の振動膜の面積より大きいことを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の振動検出装置。   The vibration detection device according to claim 1, wherein an area of a surface of the vibration transmission medium is larger than an area of a vibration film of the vibration detection element. 前記第1収容部と前記第2収容部間に透孔を有する隔壁が設けられ、この透孔を介して前記第1収容部と第2収容部が連通していることを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の振動検出装置。   A partition having a through hole is provided between the first housing portion and the second housing portion, and the first housing portion and the second housing portion are communicated with each other through the through hole. The vibration detection apparatus according to any one of 1 to 8. 前記隔壁の透孔は、前記振動検出素子の振動膜の径より小さい内径を有し、かつ前記隔壁と前記振動膜との間に間隙が設けられ、この間隙内に前記振動伝達物質が充填されていることを特徴とする請求項9に記載の振動検出装置。   The through hole of the partition wall has an inner diameter smaller than the diameter of the vibration film of the vibration detecting element, and a gap is provided between the partition wall and the vibration film, and the vibration transmitting substance is filled in the gap. The vibration detection apparatus according to claim 9, wherein 前記振動検出素子は、コンデンサ型マイクロフォン素子であることを特徴とする請求項1〜10の何れか一項に記載の振動検出装置。   The vibration detection device according to claim 1, wherein the vibration detection element is a condenser microphone element. 前記第2収容部は、前記筒状ケースの軸方向他端側に開口を有することを特徴とする請求項1〜11の何れか一項に記載の振動検出装置。   The vibration detection apparatus according to claim 1, wherein the second housing portion has an opening on the other axial end side of the cylindrical case.
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