JP2007101305A

JP2007101305A - Vibration detector

Info

Publication number: JP2007101305A
Application number: JP2005290025A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Fujii; 和也藤井; Takashi Kuno; 高志久野
Original assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Current assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date: 2005-10-03
Filing date: 2005-10-03
Publication date: 2007-04-19

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration detector of high productivity and high sensitivity. <P>SOLUTION: A microphone device 1 comprises a cylindrical case 2 made of resin, a first storage section 26 formed in an inner cylinder section on one end side in the axial direction of the cylindrical case 2 having an opening on the one end side, a second storage section 23 communicating with the first storage section 26 and formed in the inner cylinder section on the other end side in the axial direction of the cylindrical case 2, a vibration detecting element 3 engaged with and fixed to the second storage section 23, and a vibration transmission medium 4 stored in the first storage section 26 and physically abutting on a vibration film of the vibration detecting element via the communication section with the second storage section 26. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、人体の軟部組織を介して伝達された個体振動を検出する振動検出装置に関する。 The present invention relates to a vibration detection apparatus that detects individual vibrations transmitted through a soft tissue of a human body.

従来から、人体の骨を媒体とする音の伝達、いわゆる骨伝導を利用したスピーカ等が開発されている。
この骨伝導に対し、近年では、音媒体を人体の筋肉や、脂肪、皮膚等の軟部組織とする肉伝導と呼ばれる伝達機構が注目されており、この肉伝導を利用したマイクロフォン装置等が開発されている（例えば、非特許文献１参照）。肉伝導は、気道の乱流雑音を音源とする無声呼吸音が、発話器官の運動による音響的フィルタ特性変化により調音された後、人体の主に軟部組織を伝導する振動の伝達機構である。肉伝導によれば、軟部組織を介して伝わる気道音を直接サンプリングするため、ささやき声等、通常の発声音量よりずっと小さいものでも感度良く検出することが可能である。 2. Description of the Related Art Conventionally, a speaker using sound transmission using a human bone as a medium, so-called bone conduction, and the like has been developed.
In recent years, a transmission mechanism called meat conduction, in which the sound medium is a soft tissue such as a human muscle, fat, skin, etc., has attracted attention for this bone conduction, and a microphone device using this meat conduction has been developed. (For example, refer nonpatent literature 1). Meat conduction is a vibration transmission mechanism that conducts mainly soft tissue of the human body after an unvoiced breathing sound that uses airflow turbulent noise as a sound source is tuned by acoustic filter characteristic changes due to the movement of the speech organs. According to meat conduction, airway sound transmitted through the soft tissue is directly sampled, so that it is possible to detect even whispering voices and the like that are much smaller than the normal voice volume with high sensitivity.

肉伝導を利用した製品については開発途中であり、実用化に向けて種々の研究がすすめられている。例えば、上記マイクロフォン装置のような振動検出装置においてはいまだ手作業での製作であり、量産化を目的とするには製品自体の耐性や生産性において実用的な構成となっていない。 Products using meat conduction are in the process of development, and various studies are underway for practical application. For example, a vibration detection device such as the above-described microphone device is still manufactured manually, and is not practical in terms of durability and productivity of the product itself for mass production.

従来の肉伝導を利用したマイクロフォン装置の構成を図７に示す。
このマイクロフォン装置Ｍは円筒状に形成され、上部に開口を有するケースｍ１内にマイクロフォン素子ｍ５を設置しその周囲をハードシリコーンｍ７で埋め、残りの開口により解放された空間をソフトシリコーンｍ８で満たしているものである。また、ケースｍ１の外周端部にはオーリングｍ９が設けられている。 The configuration of a conventional microphone device using meat conduction is shown in FIG.
This microphone device M is formed in a cylindrical shape, a microphone element m5 is installed in a case m1 having an opening at the top, the periphery is filled with hard silicone m7, and the space released by the remaining opening is filled with soft silicone m8. It is what. An O-ring m9 is provided at the outer peripheral end of the case m1.

使用時には、露出しているソフトシリコーンｍ８面が人体の軟部組織、通常は皮膚に接触され、この皮膚からの音振動がソフトシリコーンｍ８層を介してマイクロフォン素子ｍ５に伝導するしくみである。 In use, the exposed soft silicone m8 surface is in contact with the soft tissue of the human body, usually the skin, and sound vibration from the skin is conducted to the microphone element m5 through the soft silicone m8 layer.

図７のマイクロフォン装置Ｍの作製方法について、図８を参照して説明する。
まず、図８（ａ）に示すように、防音シートを加工して上部が開口された円筒状のケースｍ１が作成される。次いで、円筒内の底部分に吸音用のゴム部材ｍ３が敷かれ、その上が防音シートで被覆されて下地が作製される。下地が出来上がると、下地の中心部にハードシリコーンから形成された台座ｍ４が設置され、その台座ｍ４上にマイクロフォン素子ｍ５が配置される。マイクロフォン素子ｍ５には外部と電気的な接続を行うためのケーブルｍ６がケースｍ１の側面を貫通して配設される。 A method for manufacturing the microphone device M in FIG. 7 will be described with reference to FIGS.
First, as shown to Fig.8 (a), the cylindrical case m1 by which the soundproof sheet was processed and the upper part was opened is produced. Next, a rubber member m3 for sound absorption is laid on the bottom portion in the cylinder, and the top is covered with a soundproof sheet to produce a base. When the base is completed, a pedestal m4 made of hard silicone is placed in the center of the base, and the microphone element m5 is placed on the pedestal m4. In the microphone element m5, a cable m6 for electrical connection with the outside is disposed through the side surface of the case m1.

次いで、マイクロフォン素子ｍ５が台座ｍ４に載置され、図８（ｂ）に示すように、マイクロフォン素子ｍ５周辺にハードシリコーンｍ７が充填される。ハードシリコーンｍ７は、音振動の反射板として作用させるため、ケースｍ１の開口からマイクロフォン素子ｍ７に向かって内径が縮小するようにその形状が成形される。また、開口端においてオーリングｍ９を配置するため、開口端部分は幅を持たせた平坦な面に成形される。 Next, the microphone element m5 is placed on the pedestal m4, and as shown in FIG. 8B, the hard silicone m7 is filled around the microphone element m5. The shape of the hard silicone m7 is formed so that the inner diameter thereof decreases from the opening of the case m1 toward the microphone element m7 in order to act as a sound vibration reflector. Further, since the O-ring m9 is disposed at the opening end, the opening end portion is formed into a flat surface having a width.

次いで、図８（ｃ）に示すように、ケースｍ１上部の開口端部分にオーリングｍ９が設置され、接着材により固定される。オーリングｍ９は、後に充填するソフトシリコーンの充填枠として用いられるものである。オーリングｍ９の位置が固定されると、ケースｍ１外周面が重合レジンｍ２によりコーティングされる。その後、図８（ｄ）に示すように、オーリングｍ９の上面に達するまでケースｍ１内にソフトシリコーンｍ８が注入され、このソフトシリコーンｍ８が硬化するとマイクロフォン装置Ｍが完成する。
中村淑貴、「ＮＡＭインターフェイスコミュニケーション」、奈良先端技術大学院大学博士論文、２００５年２月２日 Next, as shown in FIG. 8C, an O-ring m9 is installed at the opening end portion at the top of the case m1, and is fixed by an adhesive. The O-ring m9 is used as a filling frame for soft silicone to be filled later. When the position of the O-ring m9 is fixed, the outer peripheral surface of the case m1 is coated with the polymerization resin m2. Thereafter, as shown in FIG. 8 (d), soft silicone m8 is injected into case m1 until it reaches the upper surface of O-ring m9. When this soft silicone m8 is cured, microphone device M is completed.
Yuki Nakamura, “NAM Interface Communication”, Nara Institute of Technology, Doctoral Dissertation, February 2, 2005

従来のマイクロフォン装置Ｍは、上述したように手作業で作製しているため、製品の量産化及び品質向上に向けては改良が必要である。
例えば、マイクロフォン素子ｍ５を台座ｍ４に置き、その周辺にハードシリコーンｍ７を充填して位置の固定を図っていたが、ハードシリコーンｍ７自体がマイクロフォン素子ｍ５を支持できる充分な硬度を有しておらず、固定が不安定であった。マイクロフォン素子ｍ５は自身の動きによる振動も検出するため、固定が不安定だとその感度特性に影響を及ぼす可能性がある。 Since the conventional microphone device M is manufactured manually as described above, improvement is necessary for mass production and quality improvement of the product.
For example, the microphone element m5 is placed on the base m4 and the periphery thereof is filled with hard silicone m7 to fix the position, but the hard silicone m7 itself does not have sufficient hardness to support the microphone element m5. The fixation was unstable. Since the microphone element m5 detects vibration due to its own movement, if the fixation is unstable, its sensitivity characteristic may be affected.

また、接着材を使用してハードシリコーンｍ７上及び防音シートにオーリングｍ９を固定する構造は、強度が充分でなく、長期使用や乱雑な使用において剥離する可能性がある。また、ハードシリコーンｍ７とソフトシリコーンｍ８の密着性は良いものの、やはり製品の使用期間や使用状況等を考慮すると、耐剥離性を向上させることが好ましい。 Moreover, the structure which fixes the O-ring m9 on the hard silicone m7 and the soundproof sheet using an adhesive is not sufficient in strength, and may peel off in long-term use or messy use. In addition, although the adhesion between the hard silicone m7 and the soft silicone m8 is good, it is preferable to improve the peel resistance in consideration of the period of use of the product and the usage situation.

さらに、背後からのマイクロフォン素子ｍ５への振動の回り込みを防止するため、防音シートを加工してケースｍ１を作成したり、ケースｍ１内に吸音用のゴム材ｍ３を設置したりしているが、この構成では製造工程が多くなり、生産効率が悪い。 Furthermore, in order to prevent the vibration from wrapping around the microphone element m5 from behind, the soundproof sheet is processed to create the case m1 or the sound absorbing rubber material m3 is installed in the case m1. With this configuration, the number of manufacturing steps is increased and the production efficiency is poor.

本発明の課題は、生産性及び感度の良い振動検出装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a vibration detection device with good productivity and sensitivity.

請求項１に記載の発明は、振動検出装置において、
樹脂成形された筒状ケースと、
前記筒状ケースの軸方向一端側の内筒部に形成され、当該一端側に開口を有する第１収容部と、
前記第１収容部と連通し、前記筒状ケースの軸方向他端側の内筒部に形成される第２収容部と、
前記第２収容部に嵌合固定された振動検出素子と、
前記第１収容部に収容され、前記第２収容部との連通部分を介して前記振動検出素子の振動膜に物理的に当接する振動伝達媒質と、
を備えることを特徴とする。 The invention according to claim 1 is the vibration detecting apparatus,
A resin-molded cylindrical case;
A first housing part formed in an inner cylinder part on one axial end side of the cylindrical case and having an opening on the one end side;
A second housing portion that communicates with the first housing portion and is formed in an inner tubular portion on the other axial end side of the tubular case;
A vibration detecting element fitted and fixed to the second accommodating portion;
A vibration transmission medium housed in the first housing portion and physically in contact with a vibration film of the vibration detecting element via a communicating portion with the second housing portion;
It is characterized by providing.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動検出装置において、
前記第１収容部の内面が前記開口から前記第２収容部との連通部分に向かって内径が縮小するように形成されていることを特徴とする。 The invention according to claim 2 is the vibration detecting device according to claim 1,
The inner surface of the first housing part is formed so that the inner diameter decreases from the opening toward the communication part with the second housing part.

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の振動検出装置において、
前記第１収容部の内面に、周縁に沿って連続する環状溝が形成されていることを特徴とする。 The invention according to claim 3 is the vibration detecting device according to claim 1 or 2,
An annular groove that is continuous along the periphery is formed on the inner surface of the first housing portion.

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の振動検出装置において、
前記環状溝に切欠部が付設されていることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration detection device according to the third aspect,
The annular groove is provided with a notch.

請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記第１収容部の開口端は、前記筒状ケースの軸方向において前記振動伝達媒質の表面より突出していることを特徴とする。 Invention of Claim 5 is the vibration detection apparatus as described in any one of Claims 1-4,
The opening end of the first housing part protrudes from the surface of the vibration transmission medium in the axial direction of the cylindrical case.

請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記振動伝達媒質は、生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有していることを特徴とする。 The invention according to claim 6 is the vibration detecting apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The vibration transmission medium has an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body.

請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の振動検出装置において、
前記振動伝達媒質は、生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有するシリコーンであることを特徴とする。 The invention according to claim 7 is the vibration detecting apparatus according to claim 6,
The vibration transmission medium is silicone having an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body.

請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記振動伝達媒質の表面の面積は、前記振動検出素子の振動膜の面積より大きいことを特徴とする。 The invention according to claim 8 is the vibration detection apparatus according to any one of claims 1 to 7,
The surface area of the vibration transmission medium is larger than the area of the vibration film of the vibration detection element.

請求項９に記載の発明は、請求項１〜８の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記第１収容部と前記第２収容部間に透孔を有する隔壁が設けられ、この透孔を介して前記第１収容部と第２収容部が連通していることを特徴とする。 The invention according to claim 9 is the vibration detecting device according to any one of claims 1 to 8,
A partition wall having a through hole is provided between the first housing portion and the second housing portion, and the first housing portion and the second housing portion communicate with each other through the through hole.

請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の振動検出装置において、
前記隔壁の透孔は、前記振動検出素子の振動膜の径より小さい内径を有し、かつ前記隔壁と前記振動膜との間に間隙が設けられ、この間隙内に前記振動伝達物質が充填されていることを特徴とする。 The invention according to claim 10 is the vibration detecting apparatus according to claim 9,
The through hole of the partition wall has an inner diameter smaller than the diameter of the vibration film of the vibration detecting element, and a gap is provided between the partition wall and the vibration film, and the vibration transmitting substance is filled in the gap. It is characterized by.

請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記振動検出素子は、コンデンサ型マイクロフォン素子であることを特徴とする。 The invention according to claim 11 is the vibration detection device according to any one of claims 1 to 10,
The vibration detecting element is a capacitor type microphone element.

請求項１２に記載の発明は、請求項１〜１１の何れか一項に記載の振動検出装置において、
前記第２収容部は、前記筒状ケースの軸方向他端側に開口を有することを特徴とする。 The invention according to claim 12 is the vibration detection apparatus according to any one of claims 1 to 11,
The second accommodating portion has an opening on the other axial end side of the cylindrical case.

本発明によれば、振動検出素子の位置をケースに嵌合固定させて感度特性の安定化を図るとともに、振動検出装置の耐衝撃性を向上させることができる。また、予めケースを振動検出素子が挿嵌可能な樹脂成形品とし、製造過程を簡易化することにより生産効率を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to stabilize the sensitivity characteristic by fitting and fixing the position of the vibration detection element to the case, and to improve the shock resistance of the vibration detection device. In addition, it is possible to improve the production efficiency by making the case a resin molded product into which the vibration detecting element can be inserted in advance and simplifying the manufacturing process.

〈振動検出装置の構造〉
以下、本発明を適用したマイクロフォン装置について、図を参照して説明する。
図１に示すのはマイクロフォン装置１の平面図であり、図２に示すのは図１のII−II線における断面図である。 <Structure of vibration detector>
Hereinafter, a microphone device to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view of the microphone device 1, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.

図１及び図２に示すように、マイクロフォン装置１はケース２内にマイクロフォン素子３が収容されてなり、マイクロフォン素子３の上部はシリコーン４で満たされてマイクロフォン素子３の振動膜３３と当接している。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the microphone device 1 includes a case 2 in which a microphone element 3 is accommodated, and the upper portion of the microphone element 3 is filled with silicone 4 and is in contact with the vibration film 33 of the microphone element 3. Yes.

ケース２は、ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂等の合成樹脂、ゴム状、樹脂状のハードシリコーン等により図３に示す形状に予め成形された樹脂成形品である。なお、耐衝撃性を考慮すると、樹脂ではなく硬度の高い金属を材料とすることとしてもよいが、軽量化を図るためには樹脂を用いることが好ましい。 The case 2 is a resin molded product that has been molded in advance into the shape shown in FIG. 3 with synthetic resin such as ABS resin, polystyrene resin, acrylic resin, rubber, resinous hard silicone, or the like. In consideration of impact resistance, a metal having a high hardness instead of a resin may be used. However, in order to reduce the weight, it is preferable to use a resin.

図３に示すように、ケース２には円筒下方の中心部分にマイクロフォン素子３を収容するための円筒形の第２収容部２３が形成されている。第２収容部２３は、マイクロフォン素子３の径よりやや小さい径を有しており、マイクロフォン素子３を第２収容部２３へ圧入すると、マイクロフォン素子３が第２収容部２３で嵌合固定されるように形成されている。また、第２収容部２３の底面は開口されており、この開口部分からマイクロフォン素子３を挿嵌することが可能である。開口部分は、マイクロフォン素子３を挿嵌しやすいように、マイクロフォン素子３の底面積より開口部分の面積が大きくなるよう開口されている。また、図２に示すように、この開口は板状の底蓋５がケース２の底面に取り付けられることにより被覆される。底蓋５には、マイクロフォン素子３のケーブルＣを通すための貫通孔が設けられている。 As shown in FIG. 3, the case 2 is formed with a cylindrical second accommodating portion 23 for accommodating the microphone element 3 in the central portion below the cylinder. The second housing part 23 has a diameter slightly smaller than the diameter of the microphone element 3, and when the microphone element 3 is press-fitted into the second housing part 23, the microphone element 3 is fitted and fixed in the second housing part 23. It is formed as follows. Further, the bottom surface of the second housing portion 23 is opened, and the microphone element 3 can be inserted through the opening. The opening portion is opened so that the area of the opening portion is larger than the bottom area of the microphone element 3 so that the microphone element 3 can be easily inserted. Further, as shown in FIG. 2, the opening is covered by attaching a plate-like bottom lid 5 to the bottom surface of the case 2. The bottom lid 5 is provided with a through hole for passing the cable C of the microphone element 3.

第２収容部２３の周囲は環状の空洞が形成されている。これは樹脂成形上の理由からである。すなわち、ケース２を樹脂成形する際には樹脂密度が高いところではひけと呼ばれるくぼみが生じやすい。本実施形態に示すケース２では、これを避けるため、第２収容部２３の周囲を空洞とし樹脂密度が高くならないようにしているものである。なお、本実施形態では環状の空洞としているが、どのような形状の空洞を形成するかは特に限定しない。 An annular cavity is formed around the second housing portion 23. This is because of resin molding reasons. That is, when the case 2 is molded with resin, a depression called sink is likely to occur where the resin density is high. In the case 2 shown in the present embodiment, in order to avoid this, the periphery of the second accommodating portion 23 is a cavity so that the resin density does not increase. In the present embodiment, an annular cavity is used, but the shape of the cavity to be formed is not particularly limited.

一方、ケース２の円筒上端には上端側に開口を有する第１収容部２６が形成されている。第１収容部２６と第２収容部２３間には透孔を有する隔壁が設けられ、第１収容部２６と第２収容部２３はこの透孔を介して連通している。また、前記隔壁は、第２収容部２３へのマイクロフォン素子３の挿入を係止する係止部材２４として作用する。 On the other hand, a first accommodating portion 26 having an opening on the upper end side is formed at the upper end of the cylinder of the case 2. A partition wall having a through hole is provided between the first housing portion 26 and the second housing portion 23, and the first housing portion 26 and the second housing portion 23 communicate with each other through the through hole. The partition acts as a locking member 24 that locks the insertion of the microphone element 3 into the second accommodating portion 23.

第１収容部２６は、上端側の開口から第２収容部２３に向かってその内径が縮小するすり鉢形状に形成されている。なお、本実施形態ではすり鉢状の例を説明したが、その内面を湾曲させてパラボラ形状や半球状としてもよい。第１収容部２６の内面には、第１収容部２６に充填されるシリコーン４とケース２との密着性を高めるために、周縁に沿って連続する環状の溝２１が形成されている。また、この溝２１に付随して３つの切欠部２２が同一間隔で設けられている。切欠部２２は溝２１へのシリコーン４の流動性を改善するために設けられるものである。その数は３つに限らないが、均一にかつ迅速にシリコーン４を流動させるためには、複数の切欠部２２をバランス良く設けることが好ましい。 The 1st accommodating part 26 is formed in the mortar shape from which the internal diameter reduces toward the 2nd accommodating part 23 from opening of an upper end side. In addition, although the mortar-shaped example was demonstrated in this embodiment, it is good also as a parabola shape and hemisphere by curving the inner surface. An annular groove 21 continuous along the periphery is formed on the inner surface of the first housing portion 26 in order to improve the adhesion between the silicone 4 filled in the first housing portion 26 and the case 2. Further, three notches 22 are provided at the same interval along with the groove 21. The notch 22 is provided to improve the fluidity of the silicone 4 into the groove 21. The number is not limited to three, but it is preferable to provide a plurality of notches 22 in a well-balanced manner in order to cause the silicone 4 to flow uniformly and quickly.

また、図３に示す第１収容部２６の開口端２５は、図２に示すように第１収容部２６に収容されるシリコーン４の表面より突出するように成形されている。シリコーン４の表面は皮膚への接触面となるが、この皮膚への接触時には接触の押圧による振動も少なからずマイクロフォン素子３に伝達されるため、これがノイズ（雑音）として検出されてしまう。開口端２５を突出させるのは、この皮膚への接触時に生じるノイズを抑制するためであり、シリコーン４を介してマイクロフォン素子３に過剰に加わる押圧を緩和する作用を有する。 3 is formed so as to protrude from the surface of the silicone 4 accommodated in the first accommodating portion 26 as shown in FIG. The surface of the silicone 4 serves as a contact surface with the skin, but vibration due to the pressing of the contact is transmitted to the microphone element 3 at the time of contact with the skin, and this is detected as noise. The reason why the open end 25 is protruded is to suppress noise generated at the time of contact with the skin, and has an action of alleviating the pressure applied to the microphone element 3 through the silicone 4.

第１収容部２６には、振動伝達媒質であるシリコーン４が充填されており、このシリコーン４は第２収容部２３との連通部分を介してマイクロフォン素子３３側にも充填され、マイクロフォン素子３と振動膜３３とが当接している。シリコーン４は、その表面が振動の検出対象となる生体の軟部組織との接触面となって、軟部組織からの音振動をマイクロフォン素子３に伝導する。ここで、生体の軟部組織とは、皮膚組織、筋肉組織、脂肪組織、臓器等、有る程度の弾性を有する固体組織をいう。 The first housing portion 26 is filled with silicone 4 which is a vibration transmission medium, and this silicone 4 is also filled into the microphone element 33 side through the communication portion with the second housing portion 23. The vibrating membrane 33 is in contact with it. The surface of the silicone 4 serves as a contact surface with a soft tissue of a living body whose vibration is to be detected, and conducts sound vibration from the soft tissue to the microphone element 3. Here, the soft tissue of a living body refers to a solid tissue having a certain degree of elasticity, such as skin tissue, muscle tissue, adipose tissue, organ, and the like.

シリコーン４の材料は、音振動の伝達媒質となる生体の軟部組織と略同様の音響インピーダンスを有するものが選択されている。音響インピーダンスは、媒質の密度ρと伝搬速度Ｃの積により求められる。２つの隣接する物質間では、各物質の音響インピーダンスが異なれば異なるだけ、その２つ物質が接する境界面において強く音の反射が起こる。よって、生体の軟部組織を伝搬する音を可能な限り反射減衰させることなく、マイクロフォン素子３の振動膜３３まで媒介するには、その軟部組織と同等の音響インピーダンスを持つ材料を用いることが、振動検出の感度向上の条件となる。 As the material of the silicone 4, a material having substantially the same acoustic impedance as that of a soft tissue of a living body serving as a sound vibration transmission medium is selected. The acoustic impedance is obtained by the product of the medium density ρ and the propagation velocity C. As long as the acoustic impedance of each substance is different between two adjacent substances, sound is strongly reflected at the interface between the two substances. Therefore, in order to mediate the sound propagating through the soft tissue of the living body to the vibration film 33 of the microphone element 3 without causing reflection attenuation as much as possible, it is necessary to use a material having an acoustic impedance equivalent to that soft tissue. This is a condition for improving the sensitivity of detection.

軟部組織の音響インピーダンスは組織によって若干差があるものの、ほぼ同様の値を示すことが知られている。軟部組織の具体的な音響インピーダンス値は、測定環境によっても変化するものであるが、脂肪組織は約１．３×１０^６（kg/m²s）程度である。実際にシリコーン４の材料を選択する際には、実験的、経験的に最良の音響インピーダンスをもつものを選択すればよい。 It is known that the acoustic impedance of soft tissue shows almost the same value although there is a slight difference depending on the tissue. The specific acoustic impedance value of the soft tissue varies depending on the measurement environment, but the fat tissue is about 1.3 × 10 ⁶ (kg / m ² s). When actually selecting the material of the silicone 4, what has the best acoustic impedance may be selected experimentally and empirically.

マイクロフォン素子３は、第１収容部２６に充填されたシリコーン４を介して伝導される振動を検出し、電気信号に変換する振動検出素子である。
図４にマイクロフォン素子３の拡大断面図を示す。
図４に示すように、マイクロフォン素子３は、円筒状を呈するケース３１内に振動膜３３、スペーサ３４、背電極３５、ＦＥＴ（Field Effect Transistor）３６が収容されてなる、コンデンサ型のマイクロフォン素子である。 The microphone element 3 is a vibration detection element that detects a vibration conducted through the silicone 4 filled in the first housing portion 26 and converts it into an electric signal.
FIG. 4 shows an enlarged cross-sectional view of the microphone element 3.
As shown in FIG. 4, the microphone element 3 is a capacitor-type microphone element in which a diaphragm 33, a spacer 34, a back electrode 35, and an FET (Field Effect Transistor) 36 are housed in a cylindrical case 31. is there.

ケース３１はその上方中央部が円状に開口され、受音孔３７が形成されている。ケース３１の上面内側には、この受音孔３７と同じ孔径を有するワッシャ３２が設けられており、このワッシャ３２に振動膜３３、スペーサ３４、背電極３５が積層されて取り付けられている。 The case 31 has an upper central portion opened in a circular shape, and a sound receiving hole 37 is formed. A washer 32 having the same hole diameter as the sound receiving hole 37 is provided inside the upper surface of the case 31, and a vibration film 33, a spacer 34, and a back electrode 35 are laminated and attached to the washer 32.

ケース３１の底面から間隙をおいて上方に基板３８が設置されており、基板３８と背電極３５との間にスペーサ３９が設置される。このスペーサ３９により前記振動膜３３の張り付けられたワッシャ３２等が支持されている。また、基板３８上のスペーサ３９の内孔にはＦＥＴ３６が設置されており、このＦＥＴ３６の電極は背電極３５、外部と接続されるケーブルＣ等に配線される。 A substrate 38 is disposed above the bottom surface of the case 31 with a gap therebetween, and a spacer 39 is disposed between the substrate 38 and the back electrode 35. The spacer 39 supports the washer 32 and the like to which the vibration film 33 is attached. An FET 36 is installed in the inner hole of the spacer 39 on the substrate 38, and the electrode of the FET 36 is wired to the back electrode 35, the cable C connected to the outside, and the like.

〈マイクロフォン装置の作製方法〉
図５を参照して、上記マイクロフォン装置１の作製方法について説明する。
まず、図５（ａ）に示すように、樹脂成形品であるケース２を準備し、このケース２の底面開口部から第２収容部２３にマイクロフォン素子３を挿入する。マイクロフォン素子３は予めケーブルＣを半田付けして配線しておく。これは第２収容部２３にマイクロフォン素子３を収容した後に半田付けを行うと、半田付けの際の熱が第２収容部２３内にこもり、その結果マイクロフォン素子３が熱で破壊される可能性があるためである。また、シリコーン４を充填した後に半田付けを行うと、その熱によりシリコーン４とマイクロフォン素子３の振動膜３３との密着性が悪化することも理由の一つである。なお、熱に対する対策が講じられるのであれば、マイクロフォン素子３を挿入した後に半田付けを行うことも可能である。 <Method for manufacturing microphone device>
With reference to FIG. 5, the manufacturing method of the said microphone apparatus 1 is demonstrated.
First, as shown in FIG. 5A, a case 2 that is a resin molded product is prepared, and the microphone element 3 is inserted into the second housing portion 23 from the bottom opening of the case 2. The microphone element 3 is wired in advance by soldering the cable C. This is because if the soldering is performed after the microphone element 3 is accommodated in the second accommodating part 23, the heat at the time of soldering is trapped in the second accommodating part 23, and as a result, the microphone element 3 may be destroyed by the heat. Because there is. Another reason is that when soldering is performed after the silicone 4 is filled, the adhesion between the silicone 4 and the vibration film 33 of the microphone element 3 deteriorates due to the heat. If measures against heat are taken, it is also possible to perform soldering after inserting the microphone element 3.

そして、マイクロフォン素子３を係止部２４により係止されるまで圧入すると、図５（ｂ）に示すように底蓋５をケース２の底に取り付ける。底蓋５の取り付けは、接着材を用いてもよいし、底蓋５とケース２を両者が嵌合する形状に成形しておき、挿嵌することとしてもよい。また、底蓋５は最終工程で取り付けることとしてもよい。この場合、ソフトシリコーン４も全て充填した後に取り付けることとなるため、ソフトシリコーン４が有る程度硬化した後に取り付けることが必要となる。次いで、ケース２の第１収容部２６にシリコーン４を充填する。充填時には、シリコーン４が直接マイクロフォン素子３に滴下しないように、第１収容部２６内面の傾斜部分から流し込む。このとき、シリコーン４は滴下量に応じてその界面が上がって徐々に第１収容部２６を満たしていき、切欠部２２に流れ込む。切欠部２２に流れ込んだシリコーン４は溝２１に進入し、さらなる充填により第１収容部２６内を満たしたシリコーン４の界面と合流する。 When the microphone element 3 is press-fitted until it is locked by the locking portion 24, the bottom cover 5 is attached to the bottom of the case 2 as shown in FIG. The bottom cover 5 may be attached using an adhesive, or the bottom cover 5 and the case 2 may be molded into a shape that fits both, and then inserted. The bottom lid 5 may be attached in the final process. In this case, since the soft silicone 4 is also filled after being filled, it is necessary to attach the soft silicone 4 after it has been cured to some extent. Next, the first accommodating portion 26 of the case 2 is filled with the silicone 4. At the time of filling, the silicone 4 is poured from the inclined portion of the inner surface of the first housing portion 26 so that the silicone 4 does not drop directly on the microphone element 3. At this time, the interface of the silicone 4 rises according to the amount of dripping, gradually fills the first housing portion 26, and flows into the notch 22. The silicone 4 that has flowed into the notch 22 enters the groove 21 and merges with the interface of the silicone 4 that fills the inside of the first housing portion 26 by further filling.

ここで、切欠部２１が設けられていない場合を考える。シリコーン４が溝２１との境界に達したとき、シリコーン４はその表面張力により溝２１への進入が一時的に滞ってしまう。さらにシリコーン４の滴下量を増して表面張力以上の圧力をかけることにより、溝２１へシリコーン４が進入することとなるが、その間溝２１周辺ではシリコーン４の流動性が低下するため、その分溝２１周辺のシリコーン４は硬化が進む。すなわち、第１収容部２６におけるシリコーン４の硬化が不均一となる可能性がある。また、表面張力を超えるために過剰な滴下を行うと、溝２１がシリコーン４で満たされたときにはその界面が本来充填すべき位置を超えてしまうことが考えられる。 Here, consider a case where the notch 21 is not provided. When the silicone 4 reaches the boundary with the groove 21, the silicone 4 temporarily enters the groove 21 due to its surface tension. Further, the silicone 4 enters the groove 21 by increasing the dripping amount of the silicone 4 and applying a pressure equal to or higher than the surface tension. However, since the fluidity of the silicone 4 decreases around the groove 21 during that period, The silicone 4 around 21 is cured. That is, there is a possibility that the curing of the silicone 4 in the first housing portion 26 is not uniform. Further, if excessive dropping is performed in order to exceed the surface tension, it is considered that when the groove 21 is filled with the silicone 4, the interface exceeds the position that should be originally filled.

しかし、本実施形態におけるケース２には、溝２１に切欠部２２が付設されているため、図５（ｂ）に示すように、シリコーン４は溝２１より低い位置にある切欠部２２に先に進入することとなる。これを契機としてシリコーン４の表面張力は緩和されるとともに、切欠部２２から進入したシリコーン４が溝２１へ入り込むため、溝２１の形成によって生じるシリコーン４の低流動性を改善することができる。 However, since the notch 22 is attached to the groove 21 in the case 2 in the present embodiment, the silicone 4 is placed first on the notch 22 at a position lower than the groove 21 as shown in FIG. You will enter. As a result, the surface tension of the silicone 4 is relaxed, and the silicone 4 that has entered from the notch 22 enters the groove 21, so that the low fluidity of the silicone 4 caused by the formation of the groove 21 can be improved.

ソフトシリコーン４は予め充填基準となる位置まで充填されるようにその充填量が予め決められている。充填基準となる位置は、第１収容部２６の開口端２５の突出部分より例えば１ｍｍ下方等、低い位置とされる。そして、決められた量だけソフトシリコーン４が充填され、経時によりシリコーン４が硬化すると、マイクロフォン装置１が完成する。 The filling amount of the soft silicone 4 is determined in advance so that the soft silicone 4 is filled up to a position serving as a filling reference. The position serving as the filling reference is a position that is lower, for example, 1 mm below the protruding portion of the opening end 25 of the first housing portion 26. Then, the soft silicone 4 is filled in a predetermined amount, and when the silicone 4 is cured over time, the microphone device 1 is completed.

〈マイクロフォン装置１の動作〉
上記マイクロフォン装置１を使用する際には、シリコーン４の表面（露出面）を生体の軟部組織に接触させる。このとき、接触させる位置によりマイクロフォン装置１の感度は変わるため、経験的に感度の良い位置を探せばよい。実験の結果では、耳の後部にあたる乳様突起直下部分が最適であることが分かっている。 <Operation of Microphone Device 1>
When the microphone device 1 is used, the surface (exposed surface) of the silicone 4 is brought into contact with the soft tissue of the living body. At this time, since the sensitivity of the microphone device 1 varies depending on the contact position, it is only necessary to find a position with good sensitivity empirically. Experimental results have shown that the area immediately below the mastoid, which is the back of the ear, is optimal.

接触時にはシリコーン４の表面より突出しているケース２の開口端２５がまず軟部組織に接触すると、その接触圧により開口端２５内の軟部組織が盛り上がり、シリコーン４の表面と接触する。接触した生体の軟部組織から伝えられる振動は、シリコーン４を介してマイクロフォン素子３に伝導される。マイクロフォン素子３では、振動膜３３が受ける振動に応じてＦＥＴ３６により電気信号が生成され、この電気信号がケーブルＣを介して外部へ送出される。 When the opening end 25 of the case 2 protruding from the surface of the silicone 4 contacts the soft tissue at the time of contact, the soft tissue in the opening end 25 rises by the contact pressure and contacts the surface of the silicone 4. The vibration transmitted from the soft tissue of the living body that is in contact is conducted to the microphone element 3 through the silicone 4. In the microphone element 3, an electric signal is generated by the FET 36 according to the vibration received by the vibration film 33, and this electric signal is sent to the outside via the cable C.

以上のように、本実施形態によれば、マイクロフォン素子３を収容するケース２を樹脂成型品とし、マイクロフォン素子３を嵌合固定する構成としたので、マイクロフォン素子３の位置を安定的にケース２に固定することができるとともに、マイクロフォン装置１自体の耐衝撃性を向上させることができる。また、予めケース２を成形品とすることにより、従来のように防音シートを加工してケースを作製するといった製造工程を省略することができ、生産効率を向上させることができる。 As described above, according to the present embodiment, since the case 2 that accommodates the microphone element 3 is a resin molded product and the microphone element 3 is fitted and fixed, the position of the microphone element 3 can be stably placed in the case 2. The impact resistance of the microphone device 1 itself can be improved. Moreover, by making the case 2 into a molded product in advance, it is possible to omit a manufacturing process of manufacturing a case by processing a soundproof sheet as in the past, and to improve production efficiency.

また、ケース２に第１収容部２６を設け、この第１収容部２６に生体の軟部組織と略同等の音響インピーダンスを有するシリコーン４を充填した。このシリコーン４の表面を軟部組織と接触させることにより、軟部組織からの振動を可能な限り反射減衰させることなく、マイクロフォン素子３まで伝達することが可能となる。従って、マイクロフォン装置１の振動検出感度を向上させることができる。 In addition, the case 2 is provided with a first accommodating portion 26, and the first accommodating portion 26 is filled with silicone 4 having an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body. By bringing the surface of the silicone 4 into contact with the soft tissue, vibration from the soft tissue can be transmitted to the microphone element 3 without being attenuated by reflection as much as possible. Therefore, the vibration detection sensitivity of the microphone device 1 can be improved.

また、第１収容部２６は、第２収容部２３と連通し、この連通部分を中心底部とするすり鉢状に形成したので、この傾斜を有する第１収容部の内面が音振動の反射板として作用し、マイクロフォン装置１の振動検出感度をより向上させることができる。 Moreover, since the 1st accommodating part 26 was connected with the 2nd accommodating part 23, and formed in the mortar shape which uses this communicating part as a center bottom part, the inner surface of the 1st accommodating part which has this inclination serves as a reflector of sound vibration It acts, and the vibration detection sensitivity of the microphone device 1 can be further improved.

また、ケース２に底部分が開口されてなる第２収容部２３を設け、第２収容部２３にマイクロフォン素子３を挿嵌可能に成形したため、マイクロフォン素子３の実装が容易となる。さらに、第２収容部２３と第１収容部２６の連通部分に係止部２４が設けられているため、この係止部２４により係止されるまでマイクロフォン素子３を挿嵌することにより、マイクロフォン素子３を第２収容部２３に正確に収めることができる。 Moreover, since the 2nd accommodating part 23 by which the bottom part is opened is provided in the case 2, and the microphone element 3 was shape | molded so that insertion was possible in the 2nd accommodating part 23, mounting of the microphone element 3 becomes easy. Furthermore, since the engaging part 24 is provided in the communication part of the 2nd accommodating part 23 and the 1st accommodating part 26, by inserting the microphone element 3 until it latches by this engaging part 24, a microphone is inserted. The element 3 can be accurately stored in the second housing portion 23.

また、開口端２５はシリコーン４の表面より突出するよう成形するので、生体の軟部組織にマイクロフォン装置１を接触させたときの圧力を開口端２５で緩和することができ、マイクロフォン素子３への過剰な加圧を防止することができる。オーリングの設置は部品数が増えるとともに製造工程が増え、さらに接着強度が弱いと外れる可能性もある。よって、本実施形態のように、オーリングの機能をケース２で担うことにより、生産効率の向上及び低コスト化を図ることができる。 Further, since the opening end 25 is formed so as to protrude from the surface of the silicone 4, the pressure when the microphone device 1 is brought into contact with the soft tissue of the living body can be relieved by the opening end 25, and the excess to the microphone element 3 can be reduced. Pressure can be prevented. The installation of the O-ring increases the number of parts and the manufacturing process, and may be removed if the adhesive strength is weak. Therefore, as in the present embodiment, the Oring function is performed by the case 2 so that the production efficiency can be improved and the cost can be reduced.

また、第１収容部２６の内面の傾斜部分に溝２１を設けることにより、シリコーン４とケース２との接触面積を大きくすることができ、シリコーン４とケース２との接着力を強化させることができる。 Further, by providing the groove 21 in the inclined portion of the inner surface of the first housing portion 26, the contact area between the silicone 4 and the case 2 can be increased, and the adhesive force between the silicone 4 and the case 2 can be enhanced. it can.

また、溝２１に隣接して切欠部２２を設けているので、シリコーン４の流動性を改善することができ、シリコーン４の表面張力による充填速度の停滞を回避することができる。シリコーン４は用いる材質によってその硬化速度が速いものもあるが、切欠部２２により溝２１へのシリコーン４の進入を誘導することができ、均一かつ迅速にシリコーン４の充填を行うことが可能となる。 Moreover, since the notch part 22 is provided adjacent to the groove | channel 21, the fluidity | liquidity of the silicone 4 can be improved and the stagnation of the filling speed by the surface tension of the silicone 4 can be avoided. Some silicones 4 have a fast curing speed depending on the material used, but the notches 22 can induce the silicone 4 to enter the grooves 21, and the silicone 4 can be filled uniformly and quickly. .

また、マイクロフォン素子３の受音孔３７はワッシャ３２の内径以上とし、第１収容部２６の開口面積が、マイクロフォン素子３の振動膜３３の面積以上になるよう構成している。これにより、シリコーン４を伝導する音振動の損失を防ぎ、その検出感度を向上させることができる。 Further, the sound receiving hole 37 of the microphone element 3 is set to be equal to or larger than the inner diameter of the washer 32, and the opening area of the first housing portion 26 is configured to be equal to or larger than the area of the vibration film 33 of the microphone element 3. Thereby, the loss of the sound vibration which conducts the silicone 4 can be prevented, and its detection sensitivity can be improved.

〈変形例〉
なお、上記実施形態は本発明を適用した好適な一例であって、これに限らない。
例えば、上記実施形態では、第１収容部２６と第２収容部２６間に隔壁を設け、係止部２４としたが、この隔壁を排除し、第１収容部２６と第２収容部を連通させることとしてもよい。この場合、第１収容部２６側又は第２収容部２３側の何れの開口部からでもマイクロフォン素子３を第２収容部２３に挿嵌することができる。また、このとき、第２収容部２３底側の開口部分に係止部２４を設け、第１収容部２６側からのマイクロフォン素子３の挿入を係止することとしてもよい。 <Modification>
In addition, the said embodiment is a suitable example to which this invention is applied, Comprising: It does not restrict to this.
For example, in the above-described embodiment, a partition is provided between the first storage portion 26 and the second storage portion 26 to form the locking portion 24. However, the partition is removed and the first storage portion 26 and the second storage portion are communicated. It is also possible to make it. In this case, the microphone element 3 can be inserted into the second housing portion 23 from any opening on the first housing portion 26 side or the second housing portion 23 side. At this time, a locking portion 24 may be provided in the opening portion on the bottom side of the second housing portion 23 to lock the insertion of the microphone element 3 from the first housing portion 26 side.

また、図６に示すように、係止部２４をさらに延在し、マイクロフォン素子３の受音孔３７を一部被覆することとしてもよい。係止部２４と振動膜３３との間にはケース３１及びワッシャ３２が介在しており、間隙が生じているため、この間隙にシリコーン４が充填されることにより、シリコーン４が係止部２４と嵌合する形状を呈することとなる。従って、シリコーン４がケース２から剥離しにくい構造となり、耐剥離性をより向上させることができる。 In addition, as shown in FIG. 6, the locking portion 24 may be further extended to partially cover the sound receiving hole 37 of the microphone element 3. Since the case 31 and the washer 32 are interposed between the locking portion 24 and the vibration film 33 and a gap is generated, the silicone 4 is filled in the gap, so that the silicone 4 is locked to the locking portion 24. It will exhibit a shape that fits. Therefore, the silicone 4 has a structure that is difficult to peel off from the case 2, and the peel resistance can be further improved.

また、上記実施形態では、マイクロフォン素子３として感度の良いコンデンサ型のマイクロフォン素子を適用し、小型化を図っていたが、本発明では、圧電素子等、他のマイクロフォン素子も適用可能である。 In the above embodiment, a capacitor-type microphone element with good sensitivity is applied as the microphone element 3 to reduce the size. However, in the present invention, other microphone elements such as a piezoelectric element are also applicable.

また、上記実施形態では、底蓋５は単純な板状部材を用いていたが、図６に示すような底蓋５ａを適用することとしてもよい。底蓋５ａは、ケース２の底側の形状に嵌合するように成形された樹脂成形品であり、板状の基板に対しドーナツ状の突起が設けられた形状となっている。底蓋５ａをケース２の底部分に取り付けることにより、第２収容部２３周辺の空洞を底蓋５ａにより埋めることとなる。 Moreover, in the said embodiment, although the bottom cover 5 used the simple plate-shaped member, it is good also as applying the bottom cover 5a as shown in FIG. The bottom cover 5a is a resin molded product that is molded so as to fit into the shape of the bottom side of the case 2, and has a shape in which a donut-shaped protrusion is provided on a plate-shaped substrate. By attaching the bottom lid 5a to the bottom portion of the case 2, the cavity around the second housing portion 23 is filled with the bottom lid 5a.

さらに、上記構成ではマイクロフォン素子３に直接ケーブルＣを配線することとしていたが、図６に示すようにマイクロフォン素子３に端子Ｔ１、底蓋５ａに端子Ｔ２及びこの端子Ｔ２と接続され、ケーブルＣに配線される端子Ｔ３を設け、この底蓋５ａをケース２に取り付けた際にマイクロフォン素子３の端子Ｔ１と底蓋５ａの端子Ｔ２が接触することによりケーブル配線が可能な構成としてもよい。すなわち、端子Ｔ３にケーブルＣを配線した底蓋５ａをケース２に取り付けると、マイクロフォン素子３の端子Ｔ１と底蓋５ａの端子Ｔ２とが接触し、端子Ｔ２は端子Ｔ３に接続されていることから、マイクロフォン素子３をケーブル配線することが可能となる。この構成によれば、マイクロフォン素子３ａに直接配線する必要がなく、ケーブル配線が容易になるとともに、配線時の高熱からマイクロフォン素子３を保護することができる。 Further, in the above configuration, the cable C is directly wired to the microphone element 3, but as shown in FIG. 6, the terminal T1 is connected to the microphone element 3, the terminal T2 is connected to the bottom cover 5a, and the terminal T2 is connected to the cable C. A terminal T3 to be wired may be provided, and when the bottom cover 5a is attached to the case 2, the terminal T1 of the microphone element 3 and the terminal T2 of the bottom cover 5a may be in contact with each other so that cable wiring is possible. That is, when the bottom cover 5a in which the cable C is wired to the terminal T3 is attached to the case 2, the terminal T1 of the microphone element 3 and the terminal T2 of the bottom cover 5a are in contact, and the terminal T2 is connected to the terminal T3. The microphone element 3 can be cabled. According to this configuration, it is not necessary to wire directly to the microphone element 3a, cable wiring is facilitated, and the microphone element 3 can be protected from high heat during wiring.

本発明を適用したマイクロフォン装置の平面図である。It is a top view of the microphone apparatus to which this invention is applied. 図１のII-II線における断面図である。It is sectional drawing in the II-II line of FIG. マイクロフォン装置のケースの断面図である。It is sectional drawing of the case of a microphone apparatus. マイクロフォン素子の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of a microphone element. マイクロフォン素子の作製方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of a microphone element. 他の実施形態に係るマイクロフォン装置の断面図である。It is sectional drawing of the microphone apparatus which concerns on other embodiment. 従来のマイクロフォン装置の断面図である。It is sectional drawing of the conventional microphone apparatus. 従来のマイクロフォン装置の作製方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the conventional microphone apparatus.

Explanation of symbols

１マイクロフォン装置
２ケース
２１溝
２２切欠部
２３第２収容部
２４係止部
２５開口端
２６第１収容部
３マイクロフォン素子
３３振動膜
３７受音孔
４シリコーン
５底蓋 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microphone apparatus 2 Case 21 Groove 22 Notch part 23 2nd accommodating part 24 Locking part 25 Opening end 26 1st accommodating part 3 Microphone element 33 Vibration film 37 Sound receiving hole 4 Silicone 5 Bottom cover

Claims

A resin-molded cylindrical case;
A first housing part formed in an inner cylinder part on one axial end side of the cylindrical case and having an opening on the one end side;
A second housing portion that communicates with the first housing portion and is formed in an inner tubular portion on the other axial end side of the tubular case;
A vibration detecting element fitted and fixed to the second accommodating portion;
A vibration transmission medium housed in the first housing portion and physically in contact with a vibration film of the vibration detecting element via a communicating portion with the second housing portion;
A vibration detection apparatus comprising:

2. The vibration detecting device according to claim 1, wherein an inner surface of the first housing portion is formed so that an inner diameter thereof decreases from the opening toward a communication portion with the second housing portion.

The vibration detecting device according to claim 1, wherein an annular groove that is continuous along a peripheral edge is formed on an inner surface of the first housing portion.

The vibration detecting device according to claim 3, wherein a cutout portion is attached to the annular groove.

5. The vibration detection device according to claim 1, wherein an opening end of the first housing portion protrudes from a surface of the vibration transmission medium in an axial direction of the cylindrical case.

The vibration detection apparatus according to claim 1, wherein the vibration transmission medium has an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body.

The vibration detection apparatus according to claim 6, wherein the vibration transmission medium is silicone having an acoustic impedance substantially equal to that of a soft tissue of a living body.

The vibration detection device according to claim 1, wherein an area of a surface of the vibration transmission medium is larger than an area of a vibration film of the vibration detection element.

A partition having a through hole is provided between the first housing portion and the second housing portion, and the first housing portion and the second housing portion are communicated with each other through the through hole. The vibration detection apparatus according to any one of 1 to 8.

The through hole of the partition wall has an inner diameter smaller than the diameter of the vibration film of the vibration detecting element, and a gap is provided between the partition wall and the vibration film, and the vibration transmitting substance is filled in the gap. The vibration detection apparatus according to claim 9, wherein

The vibration detection device according to claim 1, wherein the vibration detection element is a condenser microphone element.

The vibration detection apparatus according to claim 1, wherein the second housing portion has an opening on the other axial end side of the cylindrical case.