JP2007095612A - 有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 機能層の上層に形成された対向電極にクラックが発生することを防止して、機
能層が水分により劣化することを防止することのできる有機EL装置およびそれを用いた
電子機器を提供すること。
【解決手段】 有機EL装置1は、基板10上に、画素電極11、機能層13、陰極14
、陰極カバー層15、および保護層16が積層されている。画素電極11と機能層13と
の層間には、画素電極11の端部に外側から被さる段差緩和層12が形成され、この段差
緩和層12において画素電極11上に位置する側面が画素電極11の上面に対してなすテ
ーパ角が20°以下である。従って、段差緩和層12の側面が形成している段差が機能層
13、陰極14などに反映されているとしても段差形状が緩い。従って、有機EL装置1
に対して耐湿試験を行っても、陰極14にクラックが発生することがない。
【選択図】 図2
能層が水分により劣化することを防止することのできる有機EL装置およびそれを用いた
電子機器を提供すること。
【解決手段】 有機EL装置1は、基板10上に、画素電極11、機能層13、陰極14
、陰極カバー層15、および保護層16が積層されている。画素電極11と機能層13と
の層間には、画素電極11の端部に外側から被さる段差緩和層12が形成され、この段差
緩和層12において画素電極11上に位置する側面が画素電極11の上面に対してなすテ
ーパ角が20°以下である。従って、段差緩和層12の側面が形成している段差が機能層
13、陰極14などに反映されているとしても段差形状が緩い。従って、有機EL装置1
に対して耐湿試験を行っても、陰極14にクラックが発生することがない。
【選択図】 図2
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置(以下有機EL装置と称す)、および電
子機器に関するものである。
子機器に関するものである。
有機EL装置では、図5(a)に示すように、基板10上に、島状に形成された陽極と
しての画素電極11と、該画素電極11の表面側を覆う機能層13と、該機能層13上に
積層された陰極14としての対向電極とを有している。ここで、機能層13は、発光機能
を担う発光層として形成されている。かかる機能層13は、水分によって劣化しやすいた
め、陰極14の上層には無機物からなる陰極カバー層15、および樹脂層からなる樹脂保
護層16が積層されることが多い。このように構成した有機EL装置においては、画素電
極11の端部によって形成された段差が上層側にも反映した状態になっている。
しての画素電極11と、該画素電極11の表面側を覆う機能層13と、該機能層13上に
積層された陰極14としての対向電極とを有している。ここで、機能層13は、発光機能
を担う発光層として形成されている。かかる機能層13は、水分によって劣化しやすいた
め、陰極14の上層には無機物からなる陰極カバー層15、および樹脂層からなる樹脂保
護層16が積層されることが多い。このように構成した有機EL装置においては、画素電
極11の端部によって形成された段差が上層側にも反映した状態になっている。
なお、別構成の有機EL装置であるが、基板上に画素電極によって段差が形成されてい
ると、機能層に段差切れが発生するとして、画素電極の側面をテーパ面とする構成、およ
び画素電極の側方に別の金属膜を形成する構成が開示されている(例えば、特許文献1参
照)。
特開平10−294183号公報
ると、機能層に段差切れが発生するとして、画素電極の側面をテーパ面とする構成、およ
び画素電極の側方に別の金属膜を形成する構成が開示されている(例えば、特許文献1参
照)。
しかしながら、特許文献1に開示の構成は、あくまで機能層に段差切れが発生すること
を目的としており、以下の問題を解消することはできない。すなわち、有機EL装置に対
して耐湿試験を行うと、陰極14に過大な応力が加わってクラックが発生し、このクラッ
クを通って水分が機能層13に到達する。このような水分は機能層13を劣化させ、画素
での発光面積が縮小してしまう画素シュリンク現象の原因となる。
を目的としており、以下の問題を解消することはできない。すなわち、有機EL装置に対
して耐湿試験を行うと、陰極14に過大な応力が加わってクラックが発生し、このクラッ
クを通って水分が機能層13に到達する。このような水分は機能層13を劣化させ、画素
での発光面積が縮小してしまう画素シュリンク現象の原因となる。
かかる問題点について本願発明者は種々検討した結果、陰極にクラックを発生させる原
因となる応力は、画素電極11の端部によって形成された段差が影響しているという新た
な知見を得た。そこで、図5(b)に示すように、画素電極11と機能層13との層間に
、画素電極11の端部に外側から被さる段差緩和層12を形成し、画素電極11の端部に
よって形成された段差を上層側に反映しないようにすることが考えられる。
因となる応力は、画素電極11の端部によって形成された段差が影響しているという新た
な知見を得た。そこで、図5(b)に示すように、画素電極11と機能層13との層間に
、画素電極11の端部に外側から被さる段差緩和層12を形成し、画素電極11の端部に
よって形成された段差を上層側に反映しないようにすることが考えられる。
しかしながら、図5(b)に示す構造では、段差緩和層12において画素電極11上に
位置する側面が形成する段差が上層側に反映されてしまい、その結果、陰極14に応力が
かかり、耐湿試験時に陰極14にクラックが発生するという問題点がある。
位置する側面が形成する段差が上層側に反映されてしまい、その結果、陰極14に応力が
かかり、耐湿試験時に陰極14にクラックが発生するという問題点がある。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、機能層の上層に形成された対向電極にクラッ
クが発生することを防止して、機能層が水分により劣化することを防止することのできる
有機EL装置およびそれを用いた電子機器を提供することにある。
クが発生することを防止して、機能層が水分により劣化することを防止することのできる
有機EL装置およびそれを用いた電子機器を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では、基板上に、島状に形成された画素電極と、該
画素電極の表面側を覆う機能層と、該機能層上に積層された対向電極とを有する有機EL
装置において、前記画素電極と前記機能層との層間には、当該画素電極の端部に外側から
被さる段差緩和層が形成され、前記段差緩和層において前記画素電極上に位置する側面が
当該画素電極の上面に対してなすテーパ角が20°以下であることを特徴とする。
画素電極の表面側を覆う機能層と、該機能層上に積層された対向電極とを有する有機EL
装置において、前記画素電極と前記機能層との層間には、当該画素電極の端部に外側から
被さる段差緩和層が形成され、前記段差緩和層において前記画素電極上に位置する側面が
当該画素電極の上面に対してなすテーパ角が20°以下であることを特徴とする。
本発明では、画素電極の端部は段差緩和層で覆われているため、画素電極の端部によっ
て形成された段差が上層側に反映されない。このため、画素電極の端部が形成する段差に
よって対向電極に応力が加わることがない。また、段差緩和層において画素電極上に位置
する側面が画素電極の上面に対してなすテーパ角が20°以下であるため、段差緩和層の
側面が形成する段差が上層側に反映されているとしても段差形状が緩い。従って、有機E
L装置に対して耐湿試験を行っても、対向電極に過大な応力が加わらないので、対向電極
にクラックが発生することがない。それ故、対向電極に発生したクラックを通って水分が
機能層まで侵入するということがないので、機能層が水分で劣化するのを防止できる。よ
って、機能層の劣化に起因する発光面積の縮小を確実に防止することができる。
て形成された段差が上層側に反映されない。このため、画素電極の端部が形成する段差に
よって対向電極に応力が加わることがない。また、段差緩和層において画素電極上に位置
する側面が画素電極の上面に対してなすテーパ角が20°以下であるため、段差緩和層の
側面が形成する段差が上層側に反映されているとしても段差形状が緩い。従って、有機E
L装置に対して耐湿試験を行っても、対向電極に過大な応力が加わらないので、対向電極
にクラックが発生することがない。それ故、対向電極に発生したクラックを通って水分が
機能層まで侵入するということがないので、機能層が水分で劣化するのを防止できる。よ
って、機能層の劣化に起因する発光面積の縮小を確実に防止することができる。
本発明において、前記段差緩和層は、樹脂層によって構成することが好ましい。前記段
差緩和層が樹脂層であれば、容易に側面のテーパ角を20°以下にすることができる。
差緩和層が樹脂層であれば、容易に側面のテーパ角を20°以下にすることができる。
本発明において、前記対向電極の上層にカバー層が形成されている場合、当該カバー層
と前記対向電極とは、ヤング率が同等であることが好ましい。
と前記対向電極とは、ヤング率が同等であることが好ましい。
本発明の別の形態では、基板上に、島状に形成された画素電極と、該画素電極の表面側
を覆う機能層と、該機能層上に積層された対向電極とを有する有機エレクトロルミネッセ
ンス装置において、前記対向電極の上層にはカバー層が形成され、当該カバー層と前記対
向電極とは、ヤング率が同等であることを特徴とする。
を覆う機能層と、該機能層上に積層された対向電極とを有する有機エレクトロルミネッセ
ンス装置において、前記対向電極の上層にはカバー層が形成され、当該カバー層と前記対
向電極とは、ヤング率が同等であることを特徴とする。
例えば、前記対向電極はマグネシウム−銀合金であり、前記カバー層はシリコン酸化膜
であることことが好ましい。
であることことが好ましい。
本発明では、対向電極の上層には、対向電極とヤング率が同等のカバー層が形成される
ため、対向電極に応力が加わっても、カバー層で吸収できる。従って、有機EL装置に対
して耐湿試験を行った際、対向電極に応力が加わっても対向電極にクラックが発生するこ
とがない。それ故、対向電極に発生したクラックを通って水分が機能層まで侵入するとい
うことがないので、機能層が水分で劣化するのを防止できる。よって、機能層の劣化に起
因する発光面積の縮小を確実に防止することができる。
ため、対向電極に応力が加わっても、カバー層で吸収できる。従って、有機EL装置に対
して耐湿試験を行った際、対向電極に応力が加わっても対向電極にクラックが発生するこ
とがない。それ故、対向電極に発生したクラックを通って水分が機能層まで侵入するとい
うことがないので、機能層が水分で劣化するのを防止できる。よって、機能層の劣化に起
因する発光面積の縮小を確実に防止することができる。
本発明に係る有機EL装置は、各種表示装置や、複写機その他の画像形成装置などとい
った電子機器に用いられる。
った電子機器に用いられる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
[実施の形態1]
図1は、本発明が適用されるアクティブマトリクス型の有機EL表示装置の電気的構成
を示すブロック図である。図2は、本発明の実施の形態1に係る有機EL装置に形成され
た画素1つ分の断面図である。
図1は、本発明が適用されるアクティブマトリクス型の有機EL表示装置の電気的構成
を示すブロック図である。図2は、本発明の実施の形態1に係る有機EL装置に形成され
た画素1つ分の断面図である。
図1に示すように、有機EL装置1は、複数の走査線101と、走査線101に対して
交差する方向に延びる複数の信号線102と、信号線102に並列に延びる複数の電源線
103とがそれぞれ配線された構成を有するとともに、走査線101および信号線102
の各交点付近に、画素領域100が設けられている。信号線102には、シフトレジスタ
、レベルシフタ、ビデオラインおよびアナログスイッチを備えるデータ側駆動回路104
が接続され、走査線101には、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査側駆動
回路105が接続されている。画素領域100の各々には、走査線101を介して走査信
号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ107と、このスイッチ
ング用の薄膜トランジスタ107を介して信号線102から供給される画素信号を保持す
る保持容量7と、保持容量7によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動
用の薄膜トランジスタ123と、この駆動用薄膜トランジスタ123を介して電源線10
3に電気的に接続したときに当該電源線103から駆動電流が流れ込む画素電極11(陽
極)と、この画素電極11と陰極14(対向電極)との間に挟まれた機能層13とが設け
られている。ここで、画素電極11、機能層13および陰極14は、有機EL素子5を構
成している。
交差する方向に延びる複数の信号線102と、信号線102に並列に延びる複数の電源線
103とがそれぞれ配線された構成を有するとともに、走査線101および信号線102
の各交点付近に、画素領域100が設けられている。信号線102には、シフトレジスタ
、レベルシフタ、ビデオラインおよびアナログスイッチを備えるデータ側駆動回路104
が接続され、走査線101には、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査側駆動
回路105が接続されている。画素領域100の各々には、走査線101を介して走査信
号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ107と、このスイッチ
ング用の薄膜トランジスタ107を介して信号線102から供給される画素信号を保持す
る保持容量7と、保持容量7によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動
用の薄膜トランジスタ123と、この駆動用薄膜トランジスタ123を介して電源線10
3に電気的に接続したときに当該電源線103から駆動電流が流れ込む画素電極11(陽
極)と、この画素電極11と陰極14(対向電極)との間に挟まれた機能層13とが設け
られている。ここで、画素電極11、機能層13および陰極14は、有機EL素子5を構
成している。
このような有機EL装置1の各画素は、具体的には、図2に示すように、基板10上に
、島状に形成されたITO膜からなる画素電極11と、この画素電極11の表面側を覆う
機能層13と、この機能層13上に積層されたマグネシウム−銀合金からなる陰極14と
を有している。ここで、機能層13は、少なくとも発光層を備えており、発光層の下層側
には正孔注入層や正孔輸送層が形成される場合もある。いずれの場合も、機能層13は、
スチルベン系、カルバゾール系、ヒドラゾーン系、アリールアミン系、オキザディアゾー
ル系、スターバースト系誘導体などからなる低分子の有機材料から構成されているため、
水分によって劣化しやすい。そこで、本形態では、陰極14の上層には、シリコン酸化膜
、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜などの無機物からなる陰極カバー層15、およびエ
ポキシ樹脂などからなる保護層16が積層されている。なお、基板10の表面には、薄膜
トランジスタや光共振器が形成され、その上層側に画素電極11が形成されることが多い
が、以下の説明では、薄膜トランジスタや光共振器などの図示および説明を省略する。
、島状に形成されたITO膜からなる画素電極11と、この画素電極11の表面側を覆う
機能層13と、この機能層13上に積層されたマグネシウム−銀合金からなる陰極14と
を有している。ここで、機能層13は、少なくとも発光層を備えており、発光層の下層側
には正孔注入層や正孔輸送層が形成される場合もある。いずれの場合も、機能層13は、
スチルベン系、カルバゾール系、ヒドラゾーン系、アリールアミン系、オキザディアゾー
ル系、スターバースト系誘導体などからなる低分子の有機材料から構成されているため、
水分によって劣化しやすい。そこで、本形態では、陰極14の上層には、シリコン酸化膜
、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜などの無機物からなる陰極カバー層15、およびエ
ポキシ樹脂などからなる保護層16が積層されている。なお、基板10の表面には、薄膜
トランジスタや光共振器が形成され、その上層側に画素電極11が形成されることが多い
が、以下の説明では、薄膜トランジスタや光共振器などの図示および説明を省略する。
また、本形態の有機EL装置1では、画素電極11と機能層13との層間に、画素電極
11の端部に外側から被さる段差緩和層12が形成されている。ここで、段差緩和層12
は、アクリル樹脂などから構成されている。また、段差緩和層12において画素電極11
上に位置する側面は、画素電極11の上面に対して所定のテーパ角βをもって被さってい
る。
11の端部に外側から被さる段差緩和層12が形成されている。ここで、段差緩和層12
は、アクリル樹脂などから構成されている。また、段差緩和層12において画素電極11
上に位置する側面は、画素電極11の上面に対して所定のテーパ角βをもって被さってい
る。
このように構成した有機EL装置1において、上記各層の厚さ、および段差緩和層12
の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・20°
に設定されている。すなわち、本形態では、各層の厚さは従来と同等であるが、段差緩和
層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは20°以下に設定されてい
る。
の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・20°
に設定されている。すなわち、本形態では、各層の厚さは従来と同等であるが、段差緩和
層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは20°以下に設定されてい
る。
このため、本形態によれば、段差緩和層12の側面が画素電極11上で形成している段
差が機能層13、陰極14、陰極カバー層15および保護層16に反映されているとして
も段差形状が緩い。従って、有機EL装置1に対して耐湿試験を行っても、陰極14に過
大な応力が加わらないので、陰極14にクラックが発生することがない。それ故、陰極1
4に発生したクラックを通って水分が機能層13まで侵入するということがないので、機
能層13が水分で劣化するのを防止できる。よって、機能層13の劣化に起因する発光面
積の縮小を確実に防止することができる。
差が機能層13、陰極14、陰極カバー層15および保護層16に反映されているとして
も段差形状が緩い。従って、有機EL装置1に対して耐湿試験を行っても、陰極14に過
大な応力が加わらないので、陰極14にクラックが発生することがない。それ故、陰極1
4に発生したクラックを通って水分が機能層13まで侵入するということがないので、機
能層13が水分で劣化するのを防止できる。よって、機能層13の劣化に起因する発光面
積の縮小を確実に防止することができる。
例えば、比較例1として、上記各層の厚さ、および段差緩和層12の側面が画素電極1
1の上面に対してなすテーパ角βを、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・30°
に設定した有機EL装置と、
比較例2として、上記各層の厚さ、および段差緩和層12の側面が画素電極11の上面
に対してなすテーパ角βを、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・45°
に設定した有機EL装置と、本形態の有機EL装置とを60℃、相対湿度95%の雰囲気
中に放置すると、テーパ角βと発光面積の収縮度合いとの関係として、以下の結果
テーパ角β=20° ・・発光面積の収縮=10%
テーパ角β=30° ・・発光面積の収縮=30%
テーパ角β=45° ・・発光面積の収縮=40%
が得られた。すなわち、本形態の有機EL装置では、発光面積が10%しか収縮しないと
いう結果が得られている。
1の上面に対してなすテーパ角βを、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・30°
に設定した有機EL装置と、
比較例2として、上記各層の厚さ、および段差緩和層12の側面が画素電極11の上面
に対してなすテーパ角βを、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・45°
に設定した有機EL装置と、本形態の有機EL装置とを60℃、相対湿度95%の雰囲気
中に放置すると、テーパ角βと発光面積の収縮度合いとの関係として、以下の結果
テーパ角β=20° ・・発光面積の収縮=10%
テーパ角β=30° ・・発光面積の収縮=30%
テーパ角β=45° ・・発光面積の収縮=40%
が得られた。すなわち、本形態の有機EL装置では、発光面積が10%しか収縮しないと
いう結果が得られている。
(製造方法)
このような有機EL装置1を製造するにあたって、段差緩和層12の側面のテーパ角β
を小さくするには、ポジタイプの感光性樹脂に対して露光、現像を施して段差緩和層12
を形成する際、画素電極11と重なる部分に対してハーフ露光を行い、その露光量を連続
的に変化させるなどの方法で形成できる。
このような有機EL装置1を製造するにあたって、段差緩和層12の側面のテーパ角β
を小さくするには、ポジタイプの感光性樹脂に対して露光、現像を施して段差緩和層12
を形成する際、画素電極11と重なる部分に対してハーフ露光を行い、その露光量を連続
的に変化させるなどの方法で形成できる。
なお、段差緩和層12を形成した後は、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティン
グ法、さらには、回転塗布法などを用いて、機能層13、陰極14、陰極カバー層15、
保護層16を順次形成する。
グ法、さらには、回転塗布法などを用いて、機能層13、陰極14、陰極カバー層15、
保護層16を順次形成する。
[実施の形態2]
本発明の実施の形態2に係る有機EL装置では、図2を参照して説明した画素電極11
、段差緩和層12、機能層13、陰極14、陰極カバー層15、および保護層16の厚さ
、および段差緩和層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、以下の
条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・1000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・20°
に設定されている。すなわち、本形態では、実施の形態1よりも段差緩和層12が薄く、
かつ、段差緩和層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、実施の形
態1と同様、20°以下に設定されている。
本発明の実施の形態2に係る有機EL装置では、図2を参照して説明した画素電極11
、段差緩和層12、機能層13、陰極14、陰極カバー層15、および保護層16の厚さ
、および段差緩和層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、以下の
条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・1000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・20°
に設定されている。すなわち、本形態では、実施の形態1よりも段差緩和層12が薄く、
かつ、段差緩和層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、実施の形
態1と同様、20°以下に設定されている。
このため、本形態によれば、段差緩和層12の側面が画素電極11上で形成している段
差が機能層13、陰極14、陰極カバー層15および保護層16に反映されているとして
も段差形状が緩い。従って、有機EL装置1に対して耐湿試験を行っても、陰極14に過
大な応力が加わらないので、陰極14にクラックが発生することがない。それ故、陰極1
4に発生したクラックを通って水分が機能層13まで侵入するということがないので、機
能層13が水分で劣化するのを防止できる。よって、機能層13の劣化に起因する発光面
積の縮小を確実に防止することができる。
差が機能層13、陰極14、陰極カバー層15および保護層16に反映されているとして
も段差形状が緩い。従って、有機EL装置1に対して耐湿試験を行っても、陰極14に過
大な応力が加わらないので、陰極14にクラックが発生することがない。それ故、陰極1
4に発生したクラックを通って水分が機能層13まで侵入するということがないので、機
能層13が水分で劣化するのを防止できる。よって、機能層13の劣化に起因する発光面
積の縮小を確実に防止することができる。
例えば、比較例3として、上記各層の厚さ、および段差緩和層12の側面が画素電極1
1の上面に対してなすテーパ角βを、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・1000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・30°
に設定した有機EL装置と、本形態の有機EL装置とを60℃、相対湿度95%の雰囲気
中に放置すると、テーパ角βと発光面積の収縮度合いとの関係として、以下の結果
テーパ角β=20° ・・発光面積の収縮=10%
テーパ角β=30° ・・発光面積の収縮=30%
が得られた。すなわち、本形態の有機EL装置では、発光面積が10%しか収縮しないと
いう結果が得られている。
1の上面に対してなすテーパ角βを、以下の条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・1000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・30°
に設定した有機EL装置と、本形態の有機EL装置とを60℃、相対湿度95%の雰囲気
中に放置すると、テーパ角βと発光面積の収縮度合いとの関係として、以下の結果
テーパ角β=20° ・・発光面積の収縮=10%
テーパ角β=30° ・・発光面積の収縮=30%
が得られた。すなわち、本形態の有機EL装置では、発光面積が10%しか収縮しないと
いう結果が得られている。
[実施の形態3]
本発明の実施の形態3に係る有機EL装置では、図2を参照して説明した画素電極11
、段差緩和層12、機能層13、陰極14、陰極カバー層15、および保護層16の厚さ
、および段差緩和層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、以下の
条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・45°
に設定されている。すなわち、本形態では、実施の形態1と違って、段差緩和層12の側
面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは45°に設定されている。
本発明の実施の形態3に係る有機EL装置では、図2を参照して説明した画素電極11
、段差緩和層12、機能層13、陰極14、陰極カバー層15、および保護層16の厚さ
、および段差緩和層12の側面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは、以下の
条件
画素電極11・・・・・50nm
段差緩和層12・・2000nm
機能層13・・・・・100nm
陰極14・・・・・・・10nm
陰極カバー層15・・200nm
保護層16・・・・3000nm
テーパ角β・・・・・・45°
に設定されている。すなわち、本形態では、実施の形態1と違って、段差緩和層12の側
面が画素電極11の上面に対してなすテーパ角βは45°に設定されている。
但し、本形態においては、以下に陰極カバー層15と陰極14の材質およびヤング率を
示すように、
陰極14:マグネシウム−銀合金(ヤング率=70GPa)
陰極カバー層15:シリコン酸化膜(ヤング率=72GPa)
陰極カバー層15と陰極14とは、ヤング率が同等である。
示すように、
陰極14:マグネシウム−銀合金(ヤング率=70GPa)
陰極カバー層15:シリコン酸化膜(ヤング率=72GPa)
陰極カバー層15と陰極14とは、ヤング率が同等である。
このため、陰極14に応力が加わっても、かかる応力を陰極カバー層15で吸収できる
。従って、有機EL装置1に対して耐湿試験を行った際、陰極14に応力が加わっても陰
極14にクラックが発生することがない。それ故、陰極14に発生したクラックを通って
水分が機能層13まで侵入するということがないので、機能層13が水分で劣化するのを
防止できる。よって、機能層13の劣化に起因する発光面積の縮小を確実に防止すること
ができる。
。従って、有機EL装置1に対して耐湿試験を行った際、陰極14に応力が加わっても陰
極14にクラックが発生することがない。それ故、陰極14に発生したクラックを通って
水分が機能層13まで侵入するということがないので、機能層13が水分で劣化するのを
防止できる。よって、機能層13の劣化に起因する発光面積の縮小を確実に防止すること
ができる。
例えば、本形態の有機EL装置を60℃、相対湿度95%の雰囲気中に放置した場合に
おける発光面積の収縮は10%である。これに対して、陰極14および陰極カバー層15
として以下の材料
比較例4
陰極14:マグネシウム−銀合金(ヤング率=70GPa)
陰極カバー層15:シリコン窒化膜(ヤング率=150GPa)
比較例5
陰極14:マグネシウム−銀合金(ヤング率=70GPa)
陰極カバー層15:シリコン酸窒化膜(ヤング率=110GPa)
を用いた比較例4、5では、有機EL装置を60℃、相対湿度95%の雰囲気中に放置し
た場合における発光面積の収縮が60%、40%であった。
おける発光面積の収縮は10%である。これに対して、陰極14および陰極カバー層15
として以下の材料
比較例4
陰極14:マグネシウム−銀合金(ヤング率=70GPa)
陰極カバー層15:シリコン窒化膜(ヤング率=150GPa)
比較例5
陰極14:マグネシウム−銀合金(ヤング率=70GPa)
陰極カバー層15:シリコン酸窒化膜(ヤング率=110GPa)
を用いた比較例4、5では、有機EL装置を60℃、相対湿度95%の雰囲気中に放置し
た場合における発光面積の収縮が60%、40%であった。
[その他の実施の形態]
本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱し
ない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、実施の形態1、2でも
、実施の形態3と同様、陰極14をマグネシウム−銀合金とし、陰極カバー層15をシリ
コン酸化膜にして、陰極カバー層15と陰極14のヤング率を同等とすることが好ましい
。
本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱し
ない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、実施の形態1、2でも
、実施の形態3と同様、陰極14をマグネシウム−銀合金とし、陰極カバー層15をシリ
コン酸化膜にして、陰極カバー層15と陰極14のヤング率を同等とすることが好ましい
。
また、上記形態では、機能層が低分子材料から形成されているので、製造工程では、真
空蒸着法を採用したが、機能層を構成するのに高分子材料を用い、この高分子材料を所定
の溶媒に配合して、インクジェット法などの方法で吐出することにより、機能層を形成し
てもよい。
空蒸着法を採用したが、機能層を構成するのに高分子材料を用い、この高分子材料を所定
の溶媒に配合して、インクジェット法などの方法で吐出することにより、機能層を形成し
てもよい。
[電子機器への搭載例]
本発明を適用した有機EL装置を備えた電子機器の具体例について説明する。図4(a
)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図4(a)において、符号600は携帯電
話本体を示し、符号601は前記の有機EL装置を用いた表示部を示している。図4(b
)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図4
(b)において、符号700は情報処理装置、符号701はキーボードなどの入力部、符
号703は情報処理装置本体、符号702は前記の有機EL装置を用いた表示部を示して
いる。図4(c)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図4(c)におい
て、符号800は時計本体を示し、符号801は前記の有機EL装置を用いた表示部を示
している。
本発明を適用した有機EL装置を備えた電子機器の具体例について説明する。図4(a
)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図4(a)において、符号600は携帯電
話本体を示し、符号601は前記の有機EL装置を用いた表示部を示している。図4(b
)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図4
(b)において、符号700は情報処理装置、符号701はキーボードなどの入力部、符
号703は情報処理装置本体、符号702は前記の有機EL装置を用いた表示部を示して
いる。図4(c)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図4(c)におい
て、符号800は時計本体を示し、符号801は前記の有機EL装置を用いた表示部を示
している。
1・・有機EL装置、10・・基板、11・・画素電極、12・・段差緩和層、13・・
機能層、14・・陰極(対向電極)、15・・陰極カバー層、16・・保護層
機能層、14・・陰極(対向電極)、15・・陰極カバー層、16・・保護層
Claims (6)
- 基板上に、島状に形成された画素電極と、該画素電極の表面側を覆う機能層と、該機能
層上に積層された対向電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス装置において、
前記画素電極と前記機能層との層間には、当該画素電極の端部に外側から被さる段差緩
和層が形成され、
前記段差緩和層において前記画素電極上に位置する側面が当該画素電極の上面に対して
なすテーパ角が20°以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 請求項1において、前記段差緩和層は、樹脂層であることを特徴とする有機エレクトロ
ルミネッセンス装置。 - 請求項1または2において、前記対向電極の上層には無機物からなるカバー層が形成さ
れ、
当該カバー層と前記対向電極とは、ヤング率が同等であることを特徴とする有機エレク
トロルミネッセンス装置。 - 基板上に、島状に形成された画素電極と、該画素電極の表面側を覆う機能層と、該機能
層上に積層された対向電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス装置において、
前記対向電極の上層にはカバー層が形成され、
当該カバー層と前記対向電極とは、ヤング率が同等であることを特徴とする有機エレク
トロルミネッセンス装置。 - 請求項3または4において、前記対向電極はマグネシウム−銀合金であり、前記カバー
層はシリコン酸化膜であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに規定する有機エレクトロルミネッセンス装置を備えてい
ることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005286411A JP2007095612A (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005286411A JP2007095612A (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007095612A true JP2007095612A (ja) | 2007-04-12 |
Family
ID=37981039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005286411A Withdrawn JP2007095612A (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007095612A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015032791A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社村田製作所 | 積層電子部品およびその製造方法 |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005286411A patent/JP2007095612A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015032791A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社村田製作所 | 積層電子部品およびその製造方法 |
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---|---|---|---|
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