JP2007095520A - Organic electroluminescent element and its manufacturing method - Google Patents

Organic electroluminescent element and its manufacturing method Download PDF

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Koji Takeshita
耕二 竹下
Takahisa Shimizu
貴央 清水
Hironori Kawakami
宏典 川上
Nahoko Kadota
奈歩子 門田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide organic EL elements and their manufacturing methods wherein color mixing with neighboring pixels can be prevented when forming an organic light-emitting layer on a substrate by a letterpress printing method using an organic light-emitting ink, and moreover, unevenness in film-thickness can be suppressed when forming a positive hole transport layer or the like by a coating method such as a spin-coating method using ink in the organic EL element equipped with the substrate, a first electrode installed on this substrate, and a barrier rib between first electrodes, equipped with an organic light emitting medium layer including an organic light-emitting layer having different lighting colors on the first electrode, and equipped with a second electrode by pinching the organic light-emitting medium layer. <P>SOLUTION: This is the organic electroluminescent element in which the top part of the barrier rib between the first electrodes has a recessed part. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子)、特に、フルカラーの有機EL素子およびその製造方法に関し、さらに、有機発光媒体層を湿式成膜法によって形成する有機EL素子およびその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element), in particular, a full-color organic EL element and a manufacturing method thereof, and further, an organic EL element in which an organic light emitting medium layer is formed by a wet film forming method and a manufacturing method thereof About.

有機EL素子は、ふたつの対向する電極の間に有機発光材料からなる有機発光層が形成され、有機発光層に電流を流すことで発光させるものであるが、効率よく発光させるには有機発光層の膜厚が重要であり、100nm程度の薄膜にする必要がある。さらに、これをディスプレイ化するには各画素が赤色(R)、緑色(G)、青色(B)となるように、有機発光層を高精細にパターニングする必要がある。   An organic EL element is one in which an organic light emitting layer made of an organic light emitting material is formed between two opposing electrodes, and light is emitted by passing a current through the organic light emitting layer. The film thickness is important, and it is necessary to form a thin film of about 100 nm. Furthermore, in order to make this a display, it is necessary to pattern the organic light emitting layer with high definition so that each pixel becomes red (R), green (G), and blue (B).

有機発光層を形成する有機発光材料には、低分子材料と高分子材料があり、一般に低分子材料は抵抗加熱蒸着法等により薄膜形成し、このときに微細パターンのマスクを用いてパターニングするが、この方法では基板が大型化すればするほどパターニング精度が出難いという問題がある。   Organic light-emitting materials that form the organic light-emitting layer include low-molecular materials and high-molecular materials. Generally, low-molecular materials are formed into thin films by resistance heating vapor deposition or the like, and then patterned using a fine pattern mask. In this method, there is a problem that the patterning accuracy is less likely as the substrate becomes larger.

そこで、最近では有機発光材料に高分子材料を用い、有機発光材料を溶剤に分散または溶解させて塗工液にし、これをウェットコーティング法で薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。薄膜形成するためのウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、突出コート法、ディップコート法等があるが、高精細にパターニングしたりRGB3色に塗り分けしたりするためには、これらのウェットコーティング法では難しく、塗り分け・パターニングを得意とする印刷法による薄膜形成が最も有効であると考えられる。 Therefore, recently, a method of using a polymer material as an organic light emitting material, dispersing or dissolving the organic light emitting material in a solvent to form a coating solution, and forming a thin film by a wet coating method has been tried. As the wet coating method for forming a thin film, there are a spin coating method, a bar coating method, a protruding coating method, a dip coating method, and the like. However, it is considered difficult to form a thin film by a printing method that is good at coating and patterning.

さらに、各種印刷法のなかでも、ガラスを基板とする有機EL素子やディスプレイでは、グラビア印刷法等のように金属製の印刷版等の硬い版を用いる方法は不向きであり、弾性を有するゴムブランケットを用いるオフセット印刷法や同じく弾性を有するゴム版や樹脂版を用いる凸版印刷法が好適である。実際にこれらの印刷法による試みとして、オフセット印刷による方法(特許文献1)、凸版印刷による方法(特許文献2)などが提唱されている。   Further, among various printing methods, in organic EL elements and displays using glass as a substrate, a method using a hard plate such as a metal printing plate such as a gravure printing method is unsuitable, and an elastic rubber blanket. An offset printing method using, and a relief printing method using an elastic rubber plate or resin plate are also suitable. Actually, as an attempt by these printing methods, a method by offset printing (Patent Document 1), a method by letterpress printing (Patent Document 2), and the like have been proposed.

一方、高分子有機発光材料は、水、アルコール系の溶剤に対する溶解性が悪く、塗工液(以下インキと記す)化するには、有機溶剤を用いて溶解、分散させる必要があり、中でも、トルエンやキシレンその他の有機溶剤が好適である。したがって、有機発光材料のインキ(以下有機発光インキと記す)は有機溶剤のインキとなっている。   On the other hand, the polymer organic light-emitting material has poor solubility in water and alcohol solvents, and in order to form a coating liquid (hereinafter referred to as ink), it is necessary to dissolve and disperse using an organic solvent. Toluene, xylene and other organic solvents are preferred. Therefore, the ink of organic light emitting material (hereinafter referred to as organic light emitting ink) is an ink of organic solvent.

ところが、オフセット印刷に用いるゴムブランケットはトルエンやキシレン等の有機溶剤によって膨潤や変形を起こしやすいという問題がある。ブランケットに使用されるゴムの種類はオレフィン系のゴムからシリコーン系のゴムまで多様であるが、いずれのゴムもトルエン、キシレンその他の溶剤に対して耐性がなく、膨潤や変形が起こりやすく、よって有機発光インキの印刷には不適切である。   However, a rubber blanket used for offset printing has a problem that it is easily swollen or deformed by an organic solvent such as toluene or xylene. The types of rubber used in blankets vary from olefin rubber to silicone rubber, but none of these rubbers are resistant to toluene, xylene or other solvents and are prone to swelling and deformation. Not suitable for printing luminescent inks.

また、弾性を有する凸版を使用する凸版印刷法には、ゴム製の版を用いるフレキソ印刷方式と樹脂性の版を用いる樹脂凸版方式があるが、このうち水現像タイプの樹脂凸版を用いる方式であれば、トルエン、キシレン、その他の有機溶剤に対する耐性も高く、有機発光インキの印刷に使用可能である。   In addition, the relief printing method using an elastic relief plate includes a flexographic printing method using a rubber plate and a resin relief plate method using a resinous plate. Among these, a method using a water development type resin relief plate is used. If present, it is highly resistant to toluene, xylene, and other organic solvents, and can be used for printing organic light-emitting inks.

以上に述べた理由から、ガラス基板のような硬い基材の上に、トルエン、キシレン、その他の芳香族系有機溶剤からなる有機発光インキを印刷する方式としては、水現像タイプの樹脂凸版を用いる凸版印刷方式が最適である。しかし、凸版印刷法の問題点として、インキが版の凸部から基材に押し付けられる際に、押しつぶされて外に広がる現象が起こりやすい。これによって、版の線幅よりも実際に印刷された印刷体の線幅が広くなってしまうが、有機発光インキの印刷においても実際に線幅の広がりが見られる。   For the reasons described above, a water-developing type resin relief printing plate is used as a method for printing organic light-emitting ink composed of toluene, xylene and other aromatic organic solvents on a hard base material such as a glass substrate. The letterpress printing method is optimal. However, as a problem of the relief printing method, when ink is pressed against the substrate from the convex portion of the plate, a phenomenon that the ink is crushed and spreads out easily occurs. As a result, the line width of the printed material actually printed becomes wider than the line width of the plate, but the line width is actually widened even in the printing of the organic light emitting ink.

また、有機発光インキの場合、有機発光材料の溶解性の問題と、薄膜を作る必要性の両方の問題から、インキの固形分濃度を1%前後と低くせざるを得ず、インキ粘度が低くなるため、さらにインキが広がりやすい傾向にある。   In the case of organic light-emitting inks, due to both the problem of solubility of organic light-emitting materials and the necessity of forming a thin film, the ink solid content concentration has to be lowered to around 1%, and the ink viscosity is low. Therefore, the ink tends to spread more easily.

これらを見越して、あらかじめ版の線幅を細くしておくことが考えられるが、有機ELディスプレイの画素を形成するための線幅自体がもともと40〜120μm程度と細く、それより細い線幅の版を形成することは難易度が高くなる。   In anticipation of these, it is conceivable that the line width of the plate is narrowed in advance, but the line width itself for forming the pixels of the organic EL display is originally thin, about 40 to 120 μm, and a plate with a thinner line width than that. Forming is more difficult.

特開2001−93668号公報JP 2001-93668 A 特開2001−155858号公報JP 2001-155858 A

凸版印刷法に代表されるインキを用いた有機発光層の形成では、印刷体の線幅が版の線幅よりも広がりやすいという問題点がある。基板上にパターン化された第一電極が形成されており、その第一電極上に有機発光層を印刷した場合、有機発光インキが隣の第一電極にまで広がってしまうと、異なる発光色を有する有機発光層と混色を起こしてしまい、ディスプレイの色むらの原因となる。   In the formation of an organic light emitting layer using an ink typified by a relief printing method, there is a problem that the line width of the printed body tends to be wider than the line width of the plate. When the patterned first electrode is formed on the substrate and the organic light emitting layer is printed on the first electrode, if the organic light emitting ink spreads to the adjacent first electrode, a different emission color is generated. This causes color mixing with the organic light emitting layer, and causes uneven color in the display.

また、このようなインキの広がりによる混色を防止するために、極端に高い隔壁等を設けると、正孔輸送層等をスピンコート法等で有機EL素子全面に形成する場合に、隔壁近傍の膜厚が大きくなってしまい、膜厚の不均一化を生じ易いという問題もある。   In addition, in order to prevent color mixing due to the spread of ink, when an extremely high partition wall is provided, a film in the vicinity of the partition wall is formed when a hole transport layer or the like is formed on the entire surface of the organic EL element by a spin coat method or the like. There is also a problem that the thickness becomes large and the film thickness tends to be nonuniform.

そこで本発明では、有機発光インキを用いて凸版印刷法により基板上に有機発光層を形成した際に隣接する画素への混色を防止できる有機EL素子およびその製造方法を提供することを目的とする。また、正孔輸送層等をインキを用いてスピンコート方等の塗布方式で形成する場合の、隔壁近傍の膜厚ムラも抑制することのできる有機EL素子およびその製造方法を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic EL element capable of preventing color mixture to adjacent pixels when an organic light emitting layer is formed on a substrate by a relief printing method using an organic light emitting ink, and a method for manufacturing the same. . Another object of the present invention is to provide an organic EL device capable of suppressing unevenness in film thickness in the vicinity of a partition wall when a hole transport layer or the like is formed by a coating method such as spin coating using ink, and a method for producing the same. And

上記課題を解決するために、本発明者等は隔壁の形状を検討した結果、次のような手段が有効であることを見出した。   In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have examined the shape of the partition walls and found that the following means are effective.

本発明の請求項1に係る発明は、基板と、この基板上に設けられた第一電極と、第一電極間に隔壁を具備し、第一電極上に異なる発光色を有する有機発光層を含む有機発光媒体層を具備し、該有機発光媒体層を挟んで第二電極を具備する有機エレクトロルミネッセンス素子において、該隔壁の頂部が凹部を有していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子とした。   The invention according to claim 1 of the present invention includes a substrate, a first electrode provided on the substrate, a partition between the first electrodes, and an organic light emitting layer having a different emission color on the first electrode. An organic electroluminescence device comprising an organic light-emitting medium layer, and a second electrode sandwiching the organic light-emitting medium layer, wherein the top of the partition wall has a recess, and did.

また、請求項2に係る発明は、前記隔壁の高さが0.3μmから1.0μmの範囲にあることを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス素子とした。   The invention according to claim 2 provides the organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the height of the partition wall is in the range of 0.3 μm to 1.0 μm.

また、請求項3に係る発明は、有機発光媒体層形成材料を溶媒に溶解または分散させてインキ化し、該インキを用いて湿式成膜法により前記有機発光媒体層のうち少なくとも1層を形成したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とした。   In the invention according to claim 3, an organic light emitting medium layer forming material is dissolved or dispersed in a solvent to form an ink, and at least one of the organic light emitting medium layers is formed by a wet film forming method using the ink. A method for producing an organic electroluminescent element according to claim 1 or claim 2 is provided.

また、請求項4に係る発明は、有機発光材料を溶媒に溶解または分散させてインキ化し、該インキを用いて凸版印刷法により前記有機発光層を形成したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とした。   The invention according to claim 4 is characterized in that an organic light emitting material is dissolved or dispersed in a solvent to form an ink, and the organic light emitting layer is formed by a relief printing method using the ink. It was set as the manufacturing method of the organic electroluminescent element of claim | item 2.

本発明によれば、隔壁の頂部が凹部を有することによって、発光色の異なる有機発光層を形成する際に、該凹部がインクの隣接するパターン化された第一電極上への侵入を防ぐことが可能となり、混色の無い有機EL素子を得ることができた。また、隔壁を低くすることが可能となり、スピンコート法等の塗布方式で正孔輸送層等を形成した場合に隔壁近傍でインキの膜厚が大きくなるのことを防ぐことが可能となり、色ムラの無い有機発光素子を得ることができた。   According to the present invention, when the top of the partition wall has a recess, the recess prevents the ink from entering the adjacent patterned first electrode when forming an organic light emitting layer having a different emission color. Thus, it was possible to obtain an organic EL element having no color mixture. In addition, the partition walls can be lowered, and when a hole transport layer or the like is formed by a coating method such as spin coating, it is possible to prevent the ink film thickness from increasing in the vicinity of the partition walls. An organic light-emitting device free from the above could be obtained.

本発明の有機EL素子について示す。図1に本発明の有機EL素子の説明断面図を示した。なお、(b)は(a)の隔壁部分を拡大したものである。   It shows about the organic EL element of this invention. FIG. 1 shows an explanatory cross-sectional view of the organic EL device of the present invention. (B) is an enlarged view of the partition wall portion of (a).

以下、図面を参照して、本発明を説明する。なお、本発明はパッシブマトリックス方式の有機EL素子、アクティブマトリックス方式の有機EL素子のどちらにも適用可能である。パッシブマトリックス方式とはストライプ状の電極を直交させるように対向させ、その交点を発光させる方式であるのに対し、アクティブマトリックス方式は画素毎にトランジスタを形成した、いわゆる薄膜トランジスタ(TFT)基板を用いることにより、画素毎に独立して発光する方式である。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is applicable to both passive matrix type organic EL elements and active matrix type organic EL elements. The passive matrix method is a method in which stripe-shaped electrodes are opposed to each other so as to be orthogonal to each other, and light is emitted at the intersection, whereas the active matrix method uses a so-called thin film transistor (TFT) substrate in which a transistor is formed for each pixel. Thus, the light is emitted independently for each pixel.

図1に示すように、本発明の有機EL素子は、基板1の上に、第一電極2を有している。パッシブマトリックス方式の場合、この第一電極2はストライプ状のパターンを有している。アクティブマトリックス方式の場合、第一電極2は画素ごとのパターンを有している。そして、第一電極2の間に凹部を有する隔壁7が設けられている。第一電極をフォトリソ法によりパターニングした場合、第一電極の縁部がバリを有することがある。この第一電極の縁部のバリは第二電極とのショートの原因となる。したがって、隔壁7は第一の電極の端部を覆うように形成することが好ましい。   As shown in FIG. 1, the organic EL element of the present invention has a first electrode 2 on a substrate 1. In the case of the passive matrix system, the first electrode 2 has a stripe pattern. In the case of the active matrix method, the first electrode 2 has a pattern for each pixel. A partition wall 7 having a recess is provided between the first electrodes 2. When the first electrode is patterned by photolithography, the edge of the first electrode may have burrs. The burr at the edge of the first electrode causes a short circuit with the second electrode. Therefore, the partition wall 7 is preferably formed so as to cover the end portion of the first electrode.

そして、本発明の有機EL素子は、第一電極2上であって、隔壁7で区画された領域(画素部)に有機発光媒体層を有している。有機発光媒体層は、有機発光層単独から構成されたものであってもよいし、有機発光層と発光補助層との積層構造から構成されたものでもよい。図1では発光補助層である正孔輸送層3と有機発光層(41、42、43)との積層構造から構成された有機発光媒体層を示している。第一電極上に正孔輸送層3が設けられ、正孔輸送層3上に赤色有機発光層41、緑色有機発光層42、青色有機発光層43がそれぞれ設けられている。   The organic EL element of the present invention has an organic light emitting medium layer on the first electrode 2 and in a region (pixel portion) partitioned by the partition walls 7. The organic light emitting medium layer may be composed of an organic light emitting layer alone, or may be composed of a laminated structure of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer. FIG. 1 shows an organic light emitting medium layer composed of a laminated structure of a hole transport layer 3 which is a light emission auxiliary layer and organic light emitting layers (41, 42, 43). A hole transport layer 3 is provided on the first electrode, and a red organic light-emitting layer 41, a green organic light-emitting layer 42, and a blue organic light-emitting layer 43 are provided on the hole transport layer 3.

更に、有機発光層上に第二電極が配置される。パッシブマトリックス方式の場合、ストライプ状を有する第一電極と直交する形で第二電極はストライプ状に設けられる。アクティブマトリックス方式の場合、第二電極は、有機EL素子全面に形成される。   Furthermore, a second electrode is disposed on the organic light emitting layer. In the case of the passive matrix method, the second electrode is provided in a stripe shape so as to be orthogonal to the first electrode having a stripe shape. In the case of the active matrix method, the second electrode is formed on the entire surface of the organic EL element.

本発明では、各隣接する画素電極間に形成されてた隔壁の中央部に凹部を設けたことにより、画素電極上に印刷された有機ELインキが隔壁を乗り越えて隣接画素へはみ出そうとする際に、その凹部にインキを一定量の溜めることができるため、インキのはみ出しを抑える効果がある。余分なインキ8は隔壁凹部でトラップされ、隣の画素にインキが侵入することは無い。なお、アクティブマトリックス方式の有機EL素子の場合、凹部を有する隔壁は隣り合う有機発光層が異なる発光色となる部分のみに形成してもよい。   In the present invention, when the concave portion is provided in the central portion of the partition formed between each adjacent pixel electrode, the organic EL ink printed on the pixel electrode is over the partition and tries to protrude into the adjacent pixel. In addition, since a certain amount of ink can be stored in the concave portion, there is an effect of suppressing the protrusion of the ink. Excess ink 8 is trapped in the concave portion of the partition wall, and the ink does not enter the adjacent pixel. In the case of an active matrix organic EL element, the partition walls having the recesses may be formed only in the portions where the adjacent organic light emitting layers have different emission colors.

また、原理的には隔壁凹部の体積が大きければ大きいほどインキの堰きとめ効果は大きいが、隔壁の部分は非発光部分となるため、隔壁をそれほど大きくとることはできない。通常は、発光層部分の線幅に対して隔壁部分の線幅は最大でも50%程度、望ましくは25%程度に抑えたい。一方、隔壁部分に形成する隔壁の幅は、これを大きくすると残る隔壁部分の幅が狭くなりすぎるため、一定以上に大きくすることはできず、隔壁部分の50%程度の幅にするのが限度である。   In principle, the larger the volume of the partition wall recess, the greater the ink damming effect. However, the partition wall portion is a non-light emitting portion, and therefore the partition wall cannot be made so large. Usually, it is desired to keep the line width of the partition wall portion at most about 50%, desirably about 25% with respect to the line width of the light emitting layer portion. On the other hand, the width of the partition wall formed in the partition wall portion cannot be increased beyond a certain level because the width of the remaining partition wall portion becomes too narrow if it is increased, and it is limited to about 50% of the width of the partition wall portion. It is.

したがって、印刷された直後すなわち乾燥する前の有機発光インキが保持される部分である隔壁と第一電極に囲まれた部分の体積と隔壁に形成される隔壁の体積を比べたときに、隔壁の深さを最大限まで取ったとしても、隔壁の体積は最大でもインキが保持される隔壁と画素電極に囲まれた画素電極上の体積の25%程度となってしまう。さらに、検討の結果、凹部の体積はインキが保持される部分である隔壁と画素電極に囲まれた画素電極状の体積の少なくとも5%以上あればある程度のインキ堰きとめ効果があることがわかった。   Accordingly, when the volume of the partition surrounded by the first electrode and the volume of the partition formed on the partition is compared with that of the partition that is the portion where the organic light emitting ink is held immediately after printing, that is, before drying, the partition wall is formed. Even when the depth is maximized, the volume of the partition wall is at most about 25% of the volume on the pixel electrode surrounded by the partition wall and the pixel electrode holding the ink. Furthermore, as a result of the examination, it was found that there is a certain degree of ink damming effect if the volume of the recess is at least 5% or more of the volume of the pixel electrode surrounded by the partition wall and the pixel electrode, which is the part that holds the ink. .

また、隔壁の高さは0.3μmから1.0μmの範囲にあることが好ましい。隔壁の高さが0.3μmに満たない場合、凹部を設けたとしてもインキの広がりによる混色を防止することはできなくなってしまうことがある。また、隔壁の高さが1.0μmを超えると、正孔輸送層形成材料をインキ化しスピンコート法等で形成した場合に隔壁近傍の膜厚が厚くなってしまい、画素内での膜厚が不均一に立ってしまうことがある。   The height of the partition wall is preferably in the range of 0.3 μm to 1.0 μm. When the height of the partition wall is less than 0.3 μm, color mixing due to spreading of ink may not be prevented even if a recess is provided. In addition, if the height of the partition wall exceeds 1.0 μm, the film thickness in the vicinity of the partition wall becomes thick when the hole transport layer forming material is made into ink and formed by a spin coat method or the like, and the film thickness in the pixel is increased. You may stand unevenly.

次に、本発明に係る有機EL素子の製造方法を説明する。   Next, the manufacturing method of the organic EL element according to the present invention will be described.

本発明にかかる基板としては、絶縁性を有する基板であればいかなる基板も使用することができる。この基板側から光を出射するボトムエミッション方式の場合には、基板として透明なものを使用する必要がある。   As the substrate according to the present invention, any substrate can be used as long as it has an insulating property. In the case of the bottom emission method in which light is emitted from the substrate side, it is necessary to use a transparent substrate.

例えば、ガラス基板や石英基板が使用できる。また、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシートであっても良い。これら、プラスチックフィルムやシートに、有機発光媒体層への水分の侵入を防ぐことを目的として、金属酸化物薄膜、金属弗化物薄膜、金属窒化物薄膜、金属酸窒化膜薄膜、あるいは高分子樹脂膜を積層したものを基板として利用してもよい。   For example, a glass substrate or a quartz substrate can be used. Further, it may be a plastic film or sheet such as polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate. Metal oxide thin film, metal fluoride thin film, metal nitride thin film, metal oxynitride thin film, or polymer resin film for the purpose of preventing moisture from entering the organic light emitting medium layer in these plastic films and sheets You may utilize what laminated | stacked these as a board | substrate.

また、これらの基板は、あらかじめ加熱処理を行うことにより、基板内部や表面に吸着した水分を極力低減することがより好ましい。また、基板上に積層される材料に応じて、密着性を向上させるために、超音波洗浄処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、UVオゾン処理などの表面処理を施してから使用することが好ましい。   In addition, it is more preferable to reduce the moisture adsorbed on the inside or the surface of the substrate as much as possible by performing a heat treatment on these substrates in advance. Further, in order to improve the adhesion depending on the material to be laminated on the substrate, it is preferable to use after performing surface treatment such as ultrasonic cleaning treatment, corona discharge treatment, plasma treatment, UV ozone treatment.

また、これらに薄膜トランジスタ(TFT)を形成して、アクティブマトリックス方式の駆動用基板とすることが可能である。TFTの材料としては、ポリチオフェンやポリアニリン、銅フタロシアニンやペリレン誘導体等の有機TFTでもよく、また、アモルファスシリコンやポリシリコンTFTでもよい。また、TFT層上には平坦化層が形成してあると共に、TFTと第一電極がコンタクトホールを介して電気接続してあってもよい。   Further, a thin film transistor (TFT) can be formed on these to form an active matrix driving substrate. The TFT material may be an organic TFT such as polythiophene, polyaniline, copper phthalocyanine or perylene derivative, or may be amorphous silicon or polysilicon TFT. In addition, a planarization layer may be formed on the TFT layer, and the TFT and the first electrode may be electrically connected via a contact hole.

基板上には第一電極が設けられる。第一電極を陽極とした場合、その材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)、IZO(インジウム亜鉛複合酸化物)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、亜鉛アルミニウム複合酸化物等の金属複合酸化物や金、白金、クロムなどの金属材料を単層または積層したものをいずれも使用できる。第一電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。   A first electrode is provided on the substrate. When the first electrode is used as an anode, the material is a metal composite such as ITO (indium tin composite oxide), IZO (indium zinc composite oxide), tin oxide, zinc oxide, indium oxide, zinc aluminum composite oxide. A single layer or a stacked layer of metal materials such as oxide, gold, platinum, and chromium can be used. As a method for forming the first electrode, a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used.

なお、低抵抗であること、溶剤耐性があること、また、ボトムミッション方式としたときには透明性が高いことなどからITOが好ましく使用できる。ITOはスパッタ法によりガラス基板上に形成され、フォトリソ法によりパターニングされて第一電極となる。   In addition, ITO is preferably used because of its low resistance, solvent resistance, and high transparency when the bottom mission method is adopted. ITO is formed on a glass substrate by a sputtering method, and is patterned by a photolithography method to form a first electrode.

第一電極を形成後、隣接する画素電極の間に感光性材料を用いてフォトリソ法により隔壁が形成される。隔壁の形成は、まず絶縁性の感光性材料をスリットコート法やスピンコート法によりで全面コーティングしたあと、フォトリソ法を用いて、第一電極の間に形成される。感光性材料は大きくポジ型とネガ型に分類され、ネガ型感光性材料の場合、樹脂バインダー、モノマー、光重合開始剤を含む。ポジ型感光性材料は、ポジ型感光性樹脂を含む。本発明では、ネガ型、ポジ型どちらの感光性材料も使用可能である。感光性材料としては、具体的にはポリイミド系やアクリル樹脂系、ノボラック樹脂系といったものが挙げられる。   After forming the first electrode, a partition wall is formed by a photolithography method using a photosensitive material between adjacent pixel electrodes. The barrier ribs are formed between the first electrodes using a photolithographic method after first coating the entire surface with an insulating photosensitive material by a slit coating method or a spin coating method. The photosensitive material is roughly classified into a positive type and a negative type, and in the case of the negative type photosensitive material, a resin binder, a monomer, and a photopolymerization initiator are included. The positive photosensitive material contains a positive photosensitive resin. In the present invention, both negative and positive photosensitive materials can be used. Specific examples of the photosensitive material include polyimide, acrylic resin, and novolac resin.

凹部を有する隔壁の形成方法の一例として、図2にフォトマスクパターンと隔壁の説明断面図を示した。(a)はポジ型の感光性材料を用いた場合のフォトマスクパターン(図2(a)上部)及び隔壁の断面形状(図2(a)下部)を示した。(b)はポジ型の感光性材料を用いた場合のフォトマスクパターン(図2(a)上部)及び隔壁の断面形状(図2(a)下部)を示した。フォトマスクとしてはガラス等の透明基材に遮光性材料がパターニングされた構造であり、透光部91と遮光部92を有する。このように、近接した2つのラインパターンを有するフォトマスクを用いることにより、凹部を有する隔壁は形成可能である。また、隔壁を2層構成とすることによっても形成可能である。すなわち、1層目は凹部を設けずに、隔壁の所望高さから形成しようとする凹部の深さを引いた高さで形成し、2層目は形成しようとする凹部の深さと同じ高さで塗膜を形成し、その後フォトリソ法で2層目に凹部を形成することで、所望の高さの隔壁に、所望の深さの凹部を形成できる。   As an example of a method for forming a partition having a recess, FIG. 2 shows a cross-sectional view of a photomask pattern and a partition. FIG. 2A shows a photomask pattern (upper part of FIG. 2A) and a cross-sectional shape of the partition wall (lower part of FIG. 2A) when a positive photosensitive material is used. FIG. 2B shows a photomask pattern (upper part of FIG. 2A) and a sectional shape of the partition wall (lower part of FIG. 2A) when a positive photosensitive material is used. The photomask has a structure in which a light shielding material is patterned on a transparent base material such as glass, and includes a light transmitting portion 91 and a light shielding portion 92. As described above, by using a photomask having two adjacent line patterns, a partition wall having a recess can be formed. It can also be formed by a two-layer structure of partition walls. That is, the first layer is formed with a height obtained by subtracting the depth of the concave portion to be formed from the desired height of the partition without providing the concave portion, and the second layer is the same height as the depth of the concave portion to be formed. By forming a coating film with, and then forming a recess in the second layer by a photolithography method, a recess having a desired depth can be formed in a partition wall having a desired height.

次に、有機発光媒体層を形成する。有機発光媒体層は、有機発光層単独から構成されたものでもよいし、有機発光層と正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層といった発光を補助するための層との積層構造としてもよい。なお、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層は適宜選択される。   Next, an organic light emitting medium layer is formed. The organic light emitting medium layer may be composed of an organic light emitting layer alone, or an organic light emitting layer and a layer for assisting light emission such as a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. A laminated structure may be used. The hole transport layer, hole injection layer, electron transport layer, and electron injection layer are appropriately selected.

有機発光層は電流を流すことにより発光する層である。有機発光層の形成する有機発光材料としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチルー5−トリフルオロメチルー8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチルー5−シアノー8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラートシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリー2,5−ジヘプチルオキシーパラーフェニレンビニレンなどの低分子系発光材料が使用できる。   The organic light emitting layer is a layer that emits light when an electric current is passed. Organic light-emitting materials formed by the organic light-emitting layer include 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolato) aluminum complex, bis (8-quinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-) 8-quinolate) aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) [4- (4-Cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, Lis (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (paratosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, poly-2,5-diheptyloxy-paraphenylene vinylene, etc. The low molecular weight light emitting material can be used.

また、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポリフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光対等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料を、高分子中に分散させたものが使用できる。高分子としてはポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等が使用できる。また、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系、ポリフルオレン、ポリフェニレンビニレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリチオフェン、ポリスピロなどの高分子発光材料であってもよい。また、これら高分子材料に前記低分子材料の分散又は共重合した材料や、その他既存の発光材料を用いることもできる。   Further, coumarin phosphors, perylene phosphors, pyran phosphors, anthrone phosphors, polyphyrin phosphors, quinacridone phosphors, N, N′-dialkyl-substituted quinacridone phosphors, naphthalimide phosphors, A material obtained by dispersing a low molecular weight light emitting material such as an N, N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole-based fluorescent pair or a phosphorescent light emitter such as an Ir complex in a polymer can be used. As the polymer, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole and the like can be used. Further, it may be a polymer light emitting material such as polyarylene, polyarylene vinylene, polyfluorene, polyphenylene vinylene, polyparaphenylene vinylene, polythiophene or polyspiro. In addition, a material obtained by dispersing or copolymerizing the low molecular material in these high molecular materials, or other existing light emitting materials can be used.

正孔輸送層の材料としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。   As a material for the hole transport layer, metal phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine and metal-free phthalocyanines, quinacridone compounds, 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) Cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, N, N′-di (1-naphthyl) -N, Aromatic amine low molecular hole injection and transport materials such as N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, polyaniline, polythiophene, polyvinylcarbazole, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) ) And polystyrene sulfonic acid and other polymer hole transport materials, polythiophene oligomer materials, and other existing hole transport materials It is possible to choose from.

また、電子輸送層の材料としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。   As a material for the electron transport layer, 2- (4-bifinylyl) -5- (4-t-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1-naphthyl)- 1,3,4-oxadiazole, an oxadiazole derivative, a bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complex, a triazole compound, or the like can be used.

有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、ヘキサン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、2−メチル−(t−ブチル)ベンゼン、1,2,3,4−テトラメチルベンゼン、ペンチルベンゼン、1,3,5−トリエチルベンゼン、シクロヘキシルベンゼン、1,3,5−トリ−イソプロピルベンゼン等を単独又は混合して用いることができる。また、有機発光インキには、必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。   Solvents that dissolve or disperse the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, hexane, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, 2-methyl- (t-butyl) Benzene, 1,2,3,4-tetramethylbenzene, pentylbenzene, 1,3,5-triethylbenzene, cyclohexylbenzene, 1,3,5-tri-isopropylbenzene and the like can be used alone or in combination. . Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.

正孔輸送材料、電子輸送材料を溶解または分散させる溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水等の単独またはこれらの混合溶剤などが挙げられる。特に、水またはアルコール類が好適である。   Solvents that dissolve or disperse the hole transport material and electron transport material include, for example, toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, water, etc. Alternatively, a mixed solvent thereof can be used. In particular, water or alcohols are suitable.

有機発光媒体層は湿式成膜法により形成される。なお、有機発光媒体層が積層構造から構成される場合には、その各層の全てをウェットコート方式により形成する必要はない。湿式成膜法としては、スピンコート法、ダイコート法、ディップコート法、吐出コート法、プレコート法、ロールコート法、バーコート法等の塗布方式がある。また、凸版印刷法、インクジェット印刷法の印刷法を利用しても良い。特に、有機発光層を形成する場合、印刷法によって画素部に選択的に適用することができる。このため、各画素に、互いに異なる色彩に発光する発光層を印刷して、カラー表示のできる有機EL素子を製造することが可能となる。   The organic light emitting medium layer is formed by a wet film forming method. When the organic light emitting medium layer has a laminated structure, it is not necessary to form all of the layers by the wet coat method. As the wet film forming method, there are coating methods such as a spin coating method, a die coating method, a dip coating method, a discharge coating method, a pre-coating method, a roll coating method, and a bar coating method. Moreover, you may utilize the printing method of a relief printing method and the inkjet printing method. In particular, when an organic light emitting layer is formed, it can be selectively applied to the pixel portion by a printing method. For this reason, it becomes possible to manufacture the organic EL element which can perform a color display by printing to each pixel the light emitting layer which light-emits in a mutually different color.

特に、有機発光層の形成方法は凸版印刷法によって好適に形成される。凸版印刷法はインクジェット法と異なり、版と印刷基板が接するようにしてインキが転移されるため、隔壁を低くすることが可能となる。本発明において凸版印刷法に用いる凸版は水現像タイプの樹脂凸版を用いることが好ましい。本発明における樹脂版を構成する水現像タイプの感光性樹脂としては、例えば親水性のポリマーと不飽和結合を含むモノマーいわゆる架橋性モノマー及び光重合開始剤を構成要素とするタイプが挙げられる。このタイプでは、親水性ポリマーとしてポリアミド、ポリビニルアルコール、セルロース誘導体等が用いられる。また、架橋性モノマーとしては、例えばビニル結合を有するメタクリレート類が挙げられ、光重合開始剤としては例えば芳香族カルボニル化合物が挙げられる。中でも、印刷適性の面からポリアミド系の水現像タイプの感光性樹脂が好適である。   In particular, the organic light emitting layer is preferably formed by a relief printing method. Unlike the ink jet method, the relief printing method transfers the ink so that the plate and the printing substrate are in contact with each other, so that the partition wall can be lowered. In the present invention, the letterpress used in the letterpress printing method is preferably a water development type resin letterpress. Examples of the water-developable photosensitive resin constituting the resin plate in the present invention include a type having a hydrophilic polymer and a monomer containing an unsaturated bond, a so-called crosslinkable monomer and a photopolymerization initiator as constituent elements. In this type, polyamide, polyvinyl alcohol, cellulose derivatives and the like are used as hydrophilic polymers. Examples of the crosslinkable monomer include methacrylates having a vinyl bond, and examples of the photopolymerization initiator include aromatic carbonyl compounds. Among these, a polyamide-based water-developable photosensitive resin is preferable from the viewpoint of printability.

有機発光層の形成に用いる印刷装置は、平板に印刷する方式の凸版印刷装置であれば使用可能であるが、以下に示すような印刷機が望ましい。図3に本発明の凸版印刷装置の概略図を示した。本製造装置は、インクタンク10とインキチャンバー12とアニロックスロール14と樹脂凸版16を取り付けした版胴18を有している。インクタンク10には、溶剤で希釈された有機発光インキが収容されており、インキチャンバー12にはインクタンク10より有機発光インキが送り込まれるようになっている。アニロックスロール14は、インキチャンバー12のインキ供給部及び版胴18に接して回転するようになっている。   The printing apparatus used for forming the organic light emitting layer may be any relief printing apparatus that prints on a flat plate, but a printing machine as shown below is desirable. FIG. 3 shows a schematic diagram of the relief printing apparatus of the present invention. This manufacturing apparatus has a plate cylinder 18 to which an ink tank 10, an ink chamber 12, an anilox roll 14, and a resin relief plate 16 are attached. The ink tank 10 contains organic light-emitting ink diluted with a solvent, and the organic light-emitting ink is fed into the ink chamber 12 from the ink tank 10. The anilox roll 14 rotates in contact with the ink supply section of the ink chamber 12 and the plate cylinder 18.

アニロックスロール14の回転にともない、インキチャンバーから供給された有機発光インキ14aはアニロクスロール表面に均一に保持されたあと、版胴に取り付けされた樹脂凸版16の凸部に均一な膜厚で転移する。さらに、被印刷基板は摺動可能な基板固定台上に固定され、版のパターンと基板のパターンの位置調整機構により、位置調整しながら印刷開始位置まで移動して、版胴の回転に合わせて樹脂凸版16の凸部が基板に接しながらさらに移動し、ステージ20上にある被印刷基板24の所定位置にパターニングしてインキを転移する。   As the anilox roll 14 rotates, the organic light emitting ink 14a supplied from the ink chamber is uniformly held on the surface of the anilox roll, and then transferred to the convex portion of the resin relief plate 16 attached to the plate cylinder with a uniform film thickness. To do. Furthermore, the substrate to be printed is fixed on a slidable substrate fixing base, and moved to the printing start position while adjusting the position by the position adjustment mechanism of the plate pattern and the substrate pattern. The convex portion of the resin relief plate 16 further moves while contacting the substrate, and the ink is transferred by patterning to a predetermined position of the substrate 24 to be printed on the stage 20.

なお、本発明の凹部を有する隔壁を用いることによって、正孔輸送層などの有機発光層以外の有機発光媒体層について、インキを用いて湿式成膜法によりパターニングをおこなう場合や、有機発光層をインクジェット法で形成する場合にも適用可能である。   In addition, by using the partition wall having a concave portion of the present invention, when organic light emitting medium layers other than the organic light emitting layer such as a hole transport layer are patterned by a wet film forming method using ink, the organic light emitting layer is used. The present invention can also be applied when forming by an inkjet method.

次に、第二電極を形成する。第二電極を陰極とした場合その材料としては電子注入効率の高い物質を用いる。具体的にはMg、AL、Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li、LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いる。または電子注入効率と安定性を両立させるため、低仕事関数なLi、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等の金属1種以上と、安定なAg、Al、Cu等の金属元素との合金系が用いられる。具体的にはMgAg、AlLi,CuLi等の合金が使用できる。   Next, a second electrode is formed. When the second electrode is a cathode, a material having high electron injection efficiency is used as the material. Specifically, a single metal such as Mg, AL, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface in contact with the light emitting medium, and Al or Cu having high stability and conductivity is laminated. And use. Or, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, Yb, etc., which have low work function, and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu is used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used.

第二電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。厚さは10nm〜1μm程度が望ましい。なお、本発明では第一の電極を陰極、第二の電極を陽極とすることも可能である。   As a method for forming the second electrode, a dry film formation method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used. The thickness is preferably about 10 nm to 1 μm. In the present invention, the first electrode can be a cathode and the second electrode can be an anode.

そして、ガラスキャップ等により接着剤を介して封止をおこない、水分や酸素による陰極や発光媒体層の劣化を防止する。   And it seals through an adhesive agent with a glass cap etc., and prevents deterioration of the cathode and the light emitting medium layer due to moisture and oxygen.

以下、本発明の実施例について具体的に説明する。本実施例(比較例)では、パッシブマトリック型の有機ELディスプレイパネルの作成例について示す。作成したパネルは、基板上に形成されているITOパターンすなわち第一電極のラインパターンは、線幅80μm、スペース40μmであり、スペース部に形成された隔壁は隣接する第一電極の両端にそれぞれ5μmずつ重なって形成されているため、隔壁の幅は50μmとなる。   Examples of the present invention will be specifically described below. In this example (comparative example), an example of creating a passive matrix type organic EL display panel is shown. In the prepared panel, the ITO pattern formed on the substrate, that is, the line pattern of the first electrode, has a line width of 80 μm and a space of 40 μm, and the partition formed in the space part is 5 μm at each end of the adjacent first electrode. Since they are formed one by one, the partition walls have a width of 50 μm.

(実施例1)
300mm角のガラス基板の上に、スパッタ法を用いてITO(インジウム−錫酸化物)薄膜を形成し、フォトリソ法と酸溶液によるエッチングでITO膜をパターニングして、対角5インチサイズのディスプレイが2面取れるように第一電極を形成した。ディスプレイ1面当たりの画素電極のラインパターンは、線幅80μm、スペース40μmでラインが1950ライン形成されるパターンとした。
Example 1
An ITO (indium-tin oxide) thin film is formed on a 300 mm square glass substrate by sputtering, and the ITO film is patterned by photolithography and etching with an acid solution. The first electrode was formed so that two surfaces could be taken. The line pattern of the pixel electrode per display surface was a pattern in which 1950 lines were formed with a line width of 80 μm and a space of 40 μm.

実施例1においては、画素電極の間に形成された隔壁の高さは0.5μmとした。隔壁の形成は、まず絶縁性のフォトレジスト材料をスリットコート法で全面コーティングしたあと、フォトリソ法を用いて、第一電極のスペース部にライン状に隔壁がパターン形成されるようにしておこなったが、このとき隔壁の頂部にライン状の凹部が形成されるようなフォトマスクにパターンにして、同時に隔壁頂部の凹部の形成も行った。凹部は幅20μm、深さ0.5μmで形成した。このときの凹部の体積は、隔壁と画素電極に囲まれたインキ保持部分の体積の25%であった。   In Example 1, the height of the partition formed between the pixel electrodes was 0.5 μm. The barrier ribs were formed by first coating the entire surface with an insulating photoresist material by a slit coating method, and then using the photolithography method so that the barrier ribs were patterned in a line shape in the space portion of the first electrode. At this time, a pattern was formed on the photomask in which a line-shaped recess was formed at the top of the partition wall, and at the same time, a recess at the top of the partition wall was formed. The recess was formed with a width of 20 μm and a depth of 0.5 μm. At this time, the volume of the concave portion was 25% of the volume of the ink holding portion surrounded by the partition wall and the pixel electrode.

その上に正孔輸送層として、PEDOTから成る高分子膜をスピンコート法で形成した。さらに、赤色、緑色、青色有機発光材料であるポリフェニレンビニレン誘導体を濃度1%になるようにトルエンに溶解させた各色の有機発光インキを用い、画素電極の上にそのラインパターンにあわせて各色の有機発光層を凸版印刷法で印刷した。このとき、150線/インチのアニロックスロールおよび水現像タイプの感光性樹脂版を使用した。印刷、乾燥後の有機発光層の膜厚は80nmとなった。   A polymer film made of PEDOT was formed thereon by spin coating as a hole transport layer. Furthermore, organic light-emitting inks of each color in which polyphenylene vinylene derivatives, which are red, green, and blue organic light-emitting materials, are dissolved in toluene so as to have a concentration of 1% are used. The light emitting layer was printed by a relief printing method. At this time, a 150 line / inch anilox roll and a water developing type photosensitive resin plate were used. The thickness of the organic light emitting layer after printing and drying was 80 nm.

その上にCa、Alからなる第二電極を第一電極のラインパターンと直交するようなラインパターンで抵抗過熱蒸着法によりマスク蒸着して形成した。最後にこれらの有機EL構成体を、外部の酸素や水分から保護するために、ガラスキャップと接着剤を用いて密閉封止し、有機ELディスプレイ用素子パネルを作成した。得られたパネルの表示部の周縁部には、各画素電極に接続されている陽極側および陰極側それぞれの取り出し電極があり、これらを電源に接続することでパネルの点灯表示確認を行い、発光状態のチェックを行った。   A second electrode made of Ca and Al was formed thereon by mask vapor deposition using a resistance overheating vapor deposition method in a line pattern orthogonal to the line pattern of the first electrode. Finally, in order to protect these organic EL constituents from external oxygen and moisture, they were hermetically sealed using a glass cap and an adhesive to produce an element panel for an organic EL display. In the peripheral part of the display part of the obtained panel, there are the extraction electrodes on the anode side and the cathode side connected to each pixel electrode, and the lighting display confirmation of the panel is performed by connecting these to the power source, and the light emission The state was checked.

(実施例2)
実施例2においては、隔壁の高さ1μm、隔壁の凹部を幅20μm、深さ0.2μmで形成した。凹部の深さの調整は、フォトレジストを2層形成することで実現した。すなわち、1層目は凹部を設けずに高さ0.8μmの隔壁を形成し、2層目は高さ0.2μmにして凹部を形成することで、トータル高さ1μm、凹部の深さ0.2μmの隔壁を形成できた。このときの凹部の体積は、隔壁と画素電極に囲まれた有機ELインキ保持部分の体積の5%であった。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。
(Example 2)
In Example 2, the height of the partition was 1 μm, and the recess of the partition was formed with a width of 20 μm and a depth of 0.2 μm. Adjustment of the depth of the recess was realized by forming two layers of photoresist. That is, the first layer is formed with a partition wall having a height of 0.8 μm without providing a recess, and the second layer is formed with a recess having a height of 0.2 μm, so that the total height is 1 μm and the depth of the recess is 0. A partition wall of 2 μm could be formed. The volume of the concave portion at this time was 5% of the volume of the organic EL ink holding portion surrounded by the partition wall and the pixel electrode. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(実施例3)
実施例3においては、隔壁の高さ0.3μm、隔壁の凹部を幅20μm、深さ0.2μmで形成した。凹部の形成は実施例1と同様にして行った。このときの凹部の体積は、隔壁と画素電極に囲まれた有機ELインキ保持部分の体積の25%となる。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。
(Example 3)
In Example 3, the partition wall height was 0.3 μm, and the partition wall recess was formed with a width of 20 μm and a depth of 0.2 μm. The recess was formed in the same manner as in Example 1. The volume of the concave portion at this time is 25% of the volume of the organic EL ink holding portion surrounded by the partition walls and the pixel electrodes. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(実施例4)
実施例4においては、隔壁の高さ0.2μm、隔壁の凹部を幅20μm、深さ0.1μmで形成した。凹部の形成は実施例1と同様にして行った。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。
Example 4
In Example 4, the partition wall height was 0.2 μm, and the partition wall recesses were formed with a width of 20 μm and a depth of 0.1 μm. The recess was formed in the same manner as in Example 1. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(比較例1)
比較例1においては、隔壁の高さ0.2μmで、隔壁の凹部を設けずに形成した。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。
(Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, the partition wall height was 0.2 μm and the partition wall recess was not provided. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(比較例2)
比較例2においては、隔壁の高さ0.3μmで、隔壁の凹部を設けずに形成した。その他は全く実施例1と同様にしてパネルを作成した。
(Comparative Example 2)
In Comparative Example 2, the partition wall height was 0.3 μm, and the partition wall recess was not provided. Other than that, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(比較例3)
比較例3においては、隔壁の高さ0.5μmで、隔壁の凹部を設けずに形成した。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。
(Comparative Example 3)
In Comparative Example 3, the partition wall height was 0.5 μm, and the partition wall recess was not provided. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(比較例4)
比較例4においては、隔壁の高さ0.8μmで、隔壁の凹部を設けずに形成した。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。
(Comparative Example 4)
In Comparative Example 4, the partition wall height was 0.8 μm, and the partition wall recess was not provided. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(比較例5)
比較例5においては、隔壁の高さ1.2μmで、隔壁の凹部を設けずに形成した。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。
(Comparative Example 5)
In Comparative Example 5, the partition wall height was 1.2 μm, and the partition wall recess was not provided. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1.

(比較例6)
比較例6においては、隔壁の高さ2.0μmで、隔壁の凹部を設けずに形成した。その他は実施例1と同様にしてパネルを作成した。。
(Comparative Example 6)
In Comparative Example 6, the partition wall height was 2.0 μm and the partition wall recess was not provided. Otherwise, a panel was prepared in the same manner as in Example 1. .

表1に、実施例1乃至4及び比較例1乃至6のように作成した有機ELパネルの混色発生率の評価結果および正孔輸送層の膜厚均一性の評価結果を示す。   Table 1 shows the evaluation results of the color mixing rate of the organic EL panels prepared as in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 6, and the evaluation results of the film thickness uniformity of the hole transport layer.

Figure 2007095520
Figure 2007095520

混色発生率とは全ての画素数に対して、混色の発生している割合を示す。光学顕微鏡により確認した。また、正孔輸送層の膜厚均一性は、走査電子顕微鏡による断面観察をおこないその断面形状から判断した。丸印は膜厚均一性が良好であるもの、三角印は一部の画素断面において膜厚が隔壁近傍で大きくなっている箇所が確認されるもの、バツ印はほとんどの画素断面において膜厚が隔壁近傍で厚くなっている様子が確認されるものである。   The color mixture occurrence rate indicates the ratio of color mixture with respect to the total number of pixels. It confirmed with the optical microscope. Further, the film thickness uniformity of the hole transport layer was judged from the cross-sectional shape of the cross-sectional observation with a scanning electron microscope. Circle marks indicate good film thickness uniformity, triangle marks indicate areas where the film thickness is large in the vicinity of the partition wall in some pixel cross sections, and cross marks indicate film thicknesses in most pixel cross sections. It is confirmed that the thickness is increased in the vicinity of the partition wall.

比較例1乃至4からわかるとおり、隔壁の高さが1μmに満たないパネルでは、混色の発生する場合があるが、実施例1乃至3のように隔壁の高さが1μmに満たない場合でも、隔壁に凹部を設けることで、混色の発生を抑えることができる。ただし、実施例4では混色が確認された。ただし、比較例1との比較から、混色発生率は低下していることから本発明の効果は確認された。   As can be seen from Comparative Examples 1 to 4, in the panel where the partition wall height is less than 1 μm, color mixing may occur, but even when the partition wall height is less than 1 μm as in Examples 1 to 3, By providing a recess in the partition wall, the occurrence of color mixing can be suppressed. However, color mixing was confirmed in Example 4. However, from the comparison with Comparative Example 1, the effect of the present invention was confirmed because the color mixture occurrence rate was reduced.

また、比較例5、6からわかるように、隔壁の高さが1.0μmを超えるようであれば、凹部がなくても混色を起こすことはないが、この場合正孔輸送層の膜厚の不均一化が見られる。よって、隔壁の高さを0.3μmから1.0μmの範囲にして、隔壁に凹部を設けるのが最適である。   Further, as can be seen from Comparative Examples 5 and 6, if the height of the partition wall exceeds 1.0 μm, no color mixing occurs even if there is no recess, but in this case the film thickness of the hole transport layer Unevenness is observed. Therefore, it is optimal that the height of the partition wall is in the range of 0.3 μm to 1.0 μm and the recess is provided in the partition wall.

本発明の有機EL素子の説明断面図。Explanatory sectional drawing of the organic EL element of this invention. フォトマスクパターンと隔壁の説明断面図。An explanatory sectional view of a photomask pattern and a partition. 本発明の凸版印刷装置の概略図。1 is a schematic view of a relief printing apparatus of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 第一電極
3 正孔輸送層
41 赤色有機発光層
42 緑色有機発光層
43 青色有機発光層
7 隔壁
8 余分なインキ
91 透光部
92 遮光部
10 インクタンク
12 インキチャンバー
14 アニロックスロール
14a インキ
16 樹脂凸版
18 版胴
20 ステージ
24 被印刷基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 2 1st electrode 3 Hole transport layer 41 Red organic light emitting layer 42 Green organic light emitting layer 43 Blue organic light emitting layer 7 Partition 8 Excess ink 91 Light transmission part 92 Light shielding part 10 Ink tank 12 Ink chamber 14 Anilox roll 14a Ink 16 Resin relief 18 Plate cylinder 20 Stage 24 Printed substrate

Claims (4)

基板と、この基板上に設けられた第一電極と、第一電極間に隔壁を具備し、第一電極上に異なる発光色を有する有機発光層を含む有機発光媒体層を具備し、該有機発光媒体層を挟んで第二電極を具備する有機エレクトロルミネッセンス素子において、
該隔壁の頂部が凹部を有していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
A substrate, a first electrode provided on the substrate, a partition between the first electrodes, an organic light-emitting medium layer including an organic light-emitting layer having different emission colors on the first electrode, and the organic In the organic electroluminescence device comprising the second electrode with the luminescent medium layer interposed therebetween,
An organic electroluminescence element, wherein a top portion of the partition wall has a recess.
前記隔壁の高さが0.3μmから1.0μmの範囲にあることを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the height of the partition wall is in the range of 0.3 µm to 1.0 µm. 有機発光媒体層形成材料を溶媒に溶解または分散させてインキ化し、該インキを用いて湿式成膜法により前記有機発光媒体層のうち少なくとも1層を形成したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The organic light emitting medium layer forming material is dissolved or dispersed in a solvent to form an ink, and at least one of the organic light emitting medium layers is formed by a wet film forming method using the ink. Item 3. A method for producing an organic electroluminescence device according to Item 2. 有機発光材料を溶媒に溶解または分散させてインキ化し、該インキを用いて凸版印刷法により前記有機発光層を形成したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   3. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the organic light emitting material is dissolved or dispersed in a solvent to form an ink, and the organic light emitting layer is formed by a relief printing method using the ink. Method.
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