JP2007095328A - ショートアーク放電灯の封止構造 - Google Patents

Abstract

【課題】ショートアーク放電灯の耐圧性と熱負荷耐性を高めて、点灯時や運搬中に壊れにくくする。
【解決手段】ショートアーク放電灯の封止部の複数枚の金属箔が、円周上で重ならないようにする。封止部の内側の第１封止管と外側の第２封止管とにより二重に封止する。ランプ電流値(Ａ)／｛（金属箔枚数）×（金属箔の幅（mm））×（金属製リングの厚さ（mm））｝の値を2.08未満とする。第１封止管の発光管側端部を、ラッパ状に開かれた形状とする。第１封止管の厚さを、２mm以下で、第２封止管の厚さの2/3より薄くする。内部ガラス部品の発光管側の端面から第１封止管の端面までの長さを、５〜12mmとする。
【選択図】図１

Description

本発明は、ショートアーク放電灯の封止構造に関し、特に、半導体や液晶の製造分野などで使用されるショートアーク放電灯の封止管内の構造に関する。

従来のショートアーク放電灯は、図10に示すような構造をしている。半導体や液晶の製造分野などで、光源として使用されている。ショートアーク放電灯では、封止部により、電極を支持するとともに、発光管の気密状態を維持している。ここで、従来のショートアーク放電灯の封止部の構造を説明する。

陽極２を支える陽極支持棒４と封止管50との間には、内部ガラス部品14があり、陽極支持棒４を保持している。陽極支持棒４は、内部金属リング24に溶接されている。内部金属リング24は、内部ガラス部品14とガラス棒13の間に介在している。内部金属リング24の円周面には、複数枚の厚さ１mm以下の金属箔18が溶接されている。その円周面にはさらに、エンボス加工された金属箔（図示せず）が巻かれている。複数枚の金属箔18は、ガラス棒13と封止管50との間に、円周方向に各々離れて配置されている。複数枚の金属箔18は、それらに溶接された内部金属リング24を介して、互いに電気的に導通している。

金属箔18をガラス棒13と封止管50との間に挟んで溶着することにより、放電灯内部と外部の間の気密状態を実現している。複数枚の金属箔18は、外部金属リング25の円周面に溶接されている。その円周面にはさらに、エンボス加工された金属箔（図示せず）が巻かれている。外部金属リング25は、外部ガラス部品15とガラス棒13との間に介在している。外部金属リング25には、リード棒５が溶接されており、リード棒５から電力を供給するようになっている。放電灯のリード棒５から放電灯の内部の陽極２へ電力を供給する一連の金属性部品と、これらを保持するガラス部品から構成される部品をまとめて、マウント部品と称する。このような封止部は、放電灯の強度や寿命に密接に関連している。以下に、ショートアーク放電灯の封止部の構造に関する従来技術の例を、いくつかあげる。

特許文献１に開示された「放電ランプ」は、搬送途中での電極支持棒の振動を抑制し、給電用モリブデン金属箔の箔切れを生じない放電ランプである。発光管に連設された封止管内で、その先端に電極を有する電極支持棒を、石英ガラス製の管状部材に挿通し保持した構造を有する放電ランプである。管状部材の一端側である発光管側端部域の外径を、他端側の端部域の外径より大きくした。

特許文献２に開示された「ショートアーク水銀ランプ」は、封止部内に発生する応力や歪みを少なくして長寿命化を図ったショートアーク水銀ランプであり、封止工程における電極の軸ズレのないショートアーク水銀ランプである。一対の電極が、発光部の放電空間内に対向して配置されている。放電空間内には、水銀及び希ガスが封入されている。発光部の両端に続いて、封止部がある。封止部で保持される電極芯棒で電極を支持している。電極芯棒と封止部との間に、石英ガラス体が介在している。内部金属円筒体が、電極芯棒に接続されている。封止用金属箔が、内部金属円筒体に接続されている。外部金属円筒体が、封止用金属箔を介して内部金属円筒体と接続されている。外部電流導入体が、外部金属円筒体に接続されている。内部金属円筒体と外部金属円筒体の間に、気密封止用石英ガラス体が介在している。内部金属円筒体の厚さをT1とし、外部金属円筒体の厚さをT2とし、封止用金属箔の長さをＬとしたとき、２≦T1≦L/6、２≦T2≦L/6である。

特許文献３に開示された「放電ランプ」は、封止管部内に配置されたガラス部材または内部リード棒保持用筒体にクラックが発生することを防止し、ひいては、ガスリークや封止管部の破損を防止でき、長い使用寿命を得ることができる放電ランプである。封体の封止管部の内部に、柱状のガラス部材が配置されている。ガラス部材の発光空間囲繞部側に面する一方の側に、金属板が配置されている。内部リード棒の基端が金属板に固定され、先端が発光管囲繞部内に伸びるように配置されている。内部リード棒の先端に、電極が設けられている。内部リード棒の外周と封止管部の内周面との間に、ガラス製の内部リード棒保持用筒体が配置されている。ガラス部材の封止管部の外端側に面する他方の側に、外部リード棒が配置されている。金属箔が、ガラス部材の外周に沿って伸び、その一端部が金属板に接続され、その他端部が外部リード棒に電気的に接続されている。ガラス部材と金属板との間に、金属箔が配置されている。

特許文献４に開示された「ショートアーク型放電ランプ」は、箔シール工程後の自然冷却時において、封止管などにクラックが入ることのないショートアーク型放電ランプである。円柱体の外周面に、複数枚の給電用モリブデン箔が、軸線方向に配置されて、封止管によって箔シールされている。円柱体の端面に当接して配置されて、給電用モリブデン箔の端部が溶接された第１集電円盤の周面と封止管内壁の間に、溶着防止用モリブデン箔が介在している。第２集電円盤の周面と封止管内壁の間、円柱体の両端面と第１集電円盤および第２集電円盤の間、および第１集電円盤と第１中空肉厚管の間、および第２集電円盤と第２中空肉厚管の間にも、溶着防止用モリブデン箔を介在させる。
特開2000-003695号公報 特開2000-173544号公報 特許3228073号公報 特許3475815号公報

しかし、従来のショートアーク放電灯の封止部構造には、次のような問題がある。導電性部品（例えば、金属リング）に流れる電流が増大することにより、ジュール熱による発熱がかなり大きくなる。そのため、通電時のジュール熱と、放電による輻射熱によって、封止部の温度が、石英ガラスの除冷点である1200℃を超える場合があり、放電灯が破壊されてしまう。また、金属リングの外径が内部ガラス部品に比較して大きくてかなり薄いと、製造工程において封止部の破壊が発生しやすい。また、電極重量の荷重が導電性金属箔にかかるため、放電灯の運送時に破壊されやすい。

本発明の目的は、上記従来の問題を解決して、ショートアーク放電灯の点灯時や運搬中に破壊しにくくするとともに、耐圧性と熱負荷耐性を高めることである。

上記の課題を解決するために、本発明では、外部ガラス部品と金属箔と内部金属リングと外部金属リングとガラス棒と内部ガラス部品とに封止管を溶着することにより封止を行うショートアーク放電灯の封止構造を、金属箔の枚数をｎとし、金属箔の幅をＷとし、金属リングの外径をOD_ring（mm）とし、金属リングの厚さをｔ_ring（mm）とし、ランプ電流値をＩ(A)としたとき、
Ｉ／（ｎ×Ｗ×ｔ_ring）＜2.08
ｎ×Ｗ＜π×OD_ring
であるようにした。

さらに、内部金属リングと外部金属リングとガラス棒と内部ガラス部品と外部ガラス部品の外径を同一とした。封止管は、軸に近い側である内側の第１封止管と軸から遠い側の外側の第２封止管とからなり、第１封止管と前記第２封止管とにより二重に封止されている。第１封止管の発光管側端部をラッパ状に開かれた形状とする。第１封止管の厚さをｔ_inside（mm）とし、第２封止管の厚さをｔ_outside（mm）とすると、
1.5ｔ_inside＜ｔ_outside
ｔ_inside≦２
である。内部ガラス部品の発光管側の端面から第１封止管の発光管側端面までの長さａ(mm)の値を
５＜ａ＜１２
の範囲とする。発光管と第１封止管の発光管側端面との間に薄肉部を設けた。

上記のように構成したことにより、ショートアーク放電灯の封止部の破壊内圧を高くできる。また、熱負荷に対する耐性も高くなる。さらに、放電灯点灯中や運搬中の破壊が起こり難くなる。特に、高入力点灯時の放電灯の安全性が著しく改善される。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図１〜図９を参照しながら詳細に説明する。

本発明の実施例は、複数枚の金属箔が円周上で重ならないようにし、内側の第１封止管と外側の第２封止管とにより二重に封止し、ランプ電流値(Ａ)／｛（金属箔枚数）×（金属箔の幅（mm））×（金属製リングの厚さ（mm））｝の値を2.08未満とし、第１封止管の発光管側端部をラッパ状に開かれた形状とし、第１封止管の厚さを、２mm以下で、第２封止管の厚さの2/3より薄くし、内部ガラス部品の発光管側の端面から第１封止管の端面までの長さを５〜12mmとしたショートアーク放電灯である。

図１は、本発明の実施例におけるショートアーク放電灯の概観図である。図１において、発光管１は、水銀を封入した石英ガラス製の管である。陽極２は、プラス側の電極である。陰極３は、マイナス側の電極である。

図２は、ショートアーク放電灯のマウント部の図である。図２において、陽極支持棒４は、陽極を支持する金属部材である。リード棒５は、電力を供給するための導電性部材である。第１封止管11は、気密封じのための円筒状のガラス部材である。第２封止管12は、発光管の延長の円筒状部分である。ガラス棒13は、リード棒と陽極支持棒を構造的に連結するガラス部材である。内部ガラス部品14は、陽極支持棒を保持するガラス部材である。外部ガラス部品15は、リード棒を保持するガラス部材である。内部金属リング24は、陽極支持棒と金属箔を電気的に接続するモリブデン製の部材である。外部金属リング25は、リード棒と金属箔を電気的に接続するモリブデン製の部材である。ラッパ形状部31は、第１封止管のランプ内部側の端部であり、漏斗状に広がった部分である。放電空間Ｓは、水銀蒸気が封入されて放電が起こる空間である。

図３は、ショートアーク放電灯のマウント部の一部拡大図である。図３において、接合部32は、発光管の球面部と第２封止管とのつなぎ目である。端面33は、第１封止管のランプ内部側の端部である。電極側端面34は、内部ガラス部品のランプ内部側の端部である。露出部分36は、第２封止管が放電空間内に露出した部分である。ｔ_insideは、第１封止管の厚さである。ｔ_outsideは、第２封止管の厚さである。

図４は、ショートアーク放電灯の電流と封止部外面の温度の最高値との関係を示すグラフである。図５は、ショートアーク放電灯のマウント部品を第１封止管内に封入した状態を示す図である。図５において、第１封止管41は、封着前の第１封止管である。図６は、ショートアーク放電灯のラッパ形状を有するマウント部品を第２封止管内に挿入した状態を示す図である。図６において、第２封止管42は、封着前の第２封止管である。図７は、ショートアーク放電灯のマウント部品を第２封止管内に封入した状態を示す図である。図８は、ショートアーク放電灯のラッパ部の長さと破壊内圧の関係を示すグラフである。図９は、ショートアーク放電灯の入力電力と封止部温度の関係を示すグラフである。

上記のように構成された本発明のショートアーク放電灯の構造について詳しく説明する。最初に、図１を参照しながら、ショートアーク放電灯の全体構造を説明する。ショートアーク放電灯は、中央部が膨らんだ発光管１を有し、発光管１内に、相対して一対の陽極２と陰極３を有する。放電灯の外部から放電灯の内部の電極へ電力を供給する一連の金属性部品およびこれらを保持するガラス部品から構成されるマウント部を有する。

次に、図２と図３を参照しながら、マウント部の構造を説明する。発光管１に連接された第２封止管12と、第２封止管12とマウント部品の間には第１封止管11が介在する。マウント部品と第１封止管11がバーナーなどにより加熱溶着され、さらに第１封止管11と第２封止管12がバーナーなどにより加熱溶着され、発光管内部と外部との間の気密状態を維持するように封止されている。第１封止管11は、端面33に向かって径が大きくなっているラッパ形状をしている。

次に、図４のグラフを参照しながら、マウント部品の金属リングについて説明する。放電灯封止部内の１枚の金属箔18に通電した場合の電流と、封止部外面の温度の最高値との関係を、図４に示す。金属箔18と内部金属リング24が溶接接合された付近で、封止部の温度は最高になる。実施例の封止部では、通電に起因する温度上昇が大幅に抑えられ、1200℃まで封止部の温度が上昇する場合にも破壊しない。石英ガラスの除冷点は、1200℃近傍である。通電時には、封止部内の最高温度をこの温度以下に抑制する必要がある。金属箔18と内部金属リング24が接合された部分の電流密度をρとする。この電流密度ρは電流Ｉ(A)と、金属箔18の幅Ｗ(mm)と、金属箔18の枚数ｎと、金属リングの厚さｔ_ring（mm）とすると、式（１）より求めることができる。
ρ＝Ｉ／（ｎ×Ｗ×ｔ_ring） (１)
そこで、図４の実験結果のグラフにより、金属箔1枚に100(A)の電流を流したとき1200℃となる。また、表２より、金属箔18の幅Ｗ=12(mm)と、金属箔18の枚数ｎ=１と、金属リングの厚さｔ_ring=４(mm）とすると、封止部の温度を1200℃の時の電流密度ρは、式(１)よりの2.08(A/mm²)となる。
つまり、実験結果によれば、接合部の電流密度が2.08(A/mm²)未満なら、封止部内の最高温度は1200℃を超えないので、電流密度ρは、式(２)の関係を満たせばよい。
ρ＝Ｉ／（ｎ×Ｗ×ｔ_ring）＜2.08 (２)

内部金属リング24の外径をOD_ring（mm）とすると、金属箔同士の重なりを防ぐためには、金属箔の幅の合計が金属リングの円周長以下であればよいから、これらの値は式(３)の関係を満たす必要がある。
ｎ×Ｗ＜π×OD_ring (３)
したがって、式(２)および(３)を満たす封止部であれば、封止部内の金属箔18が重なることはない。同時に、通電時の温度は、石英ガラスの除冷点にまで達せず、破壊に対してより強い封止部が得られる。

内部ガラス部品14と外部ガラス部品15の外径は、金属箔の厚さを無視すると、金属リングの外径と等しい値となることが望ましい。その理由は次の通りである。封止部内に配置される電極やガラス部品などを、封止前に組み立てる工程が簡略化できる。発光管内部と外部との気密状態が、より確実に得られる。金属リングの酸化を防ぎ、口金取り付け時の作業が容易になる。

次に、図５と図６と図７を参照しながら、金属リングを用いたマウント部品を封止する工程について説明する。図５は、金属リングを用いたマウント部品を、第１封止管41内に封入した状態を示す図である。マウント部品を第１封止管41内に封入して、第１封止管内を負圧状態としてバーナーなどにより加熱して、第１封止管とマウント部品を溶着する。第１封止管11をバーナーなどにより加熱して縮径させて、少なくとも内部ガラス部品14の電極側端面まで溶着する。第１封止管11と内部ガラス部品14との溶着が不十分であると、ランプ点灯時の破裂の起点となる。第１封止管11と内部ガラス部品14との溶着部は、十分に加熱して馴染ませる必要がある。内部ガラス部品14に溶着した第１封止管11は、内部ガラス部品14の電極側端面34からａ(mm)の位置で切断する。

なお、電極側端面34からａ(mm)の位置の第１封止管11の径が、内部ガラス部品の外径より大きい場合、内部ガラス部品14の電極側端面34から陽極２側の軸方向へ、第１封止管の径が大きくなるラッパ形状となる。また、縮径して内部ガラス部品14に溶着した第１封止管11を、バーナーなどにより加熱しながら拡径することによっても、このラッパ形状は作製可能である。

図６は、第１封止管を内部ガラス部品の電極端面からａ(mm)の位置で切断してラッパ形状としたマウント部品を、第２封止管42の内に挿入した状態を示す図である。図７には、内部ガラス部品の電極端面からａ(mm)の位置で、第１封止管を切断したマウント部品を、第２封止管42の中に封入して、陽極２を放電空間Ｓ内の所望の位置に配置した状態を示す。第２封止管内（発光管内）を負圧状態として、バーナーなどにより加熱して、第２封止管と第１封止管を溶着する。同様に、放電空間において相対する陰極３に対しても、同様に封止を行う。

次に、表１を参照しながら、第１封止管11と第２封止管12の厚さについて説明する。表１は、放電灯の高圧力状態を模擬した静水圧試験において、破壊内圧と封止部の第１封止管11と第２封止管の厚さの関係を求めた表である。表１に示した結果から、第１封止管11と第２封止管12の組合せによっては、従来の封止構造の破壊内圧よりも、破壊内圧を上昇させられる。第１封止管11が厚いほど、破壊内圧が低下する傾向にある。内圧作用時の破壊内圧／作用内圧の値が1.5以上であれば、点灯時に破壊が発生しにくいことが、これまでの経験から分かっている。第１封止管11の厚さをｔ_inside(mm)とし、第２封止管12の厚さをｔ_outside(mm)とし、点灯時の内圧が最大で2.5MPa程度とすれば、表１から、1.5ｔ_inside＜ｔ_outside且つｔ_inside≦２の関係を満たすことにより、破壊耐性が著しく改善されることが分かる。

次に、図８のグラフを参照しながら、ラッパ部の長さａ(mm)について説明する。図８は、図３に示した長さａ(mm)と、静水圧試験における破壊内圧の関係を示す表である。第１封止管11の厚さを、１〜３(mm)まで変化させ、第２封止管12の厚さは、４(mm)とした。図８の結果から、長さａ(mm)を適正化することによって、耐圧性が向上することが分かる。すなわち、長さａ(mm)の値が５(mm)以上である場合に、それ以下の場合と比較して、破壊耐性が向上していることが分かる。ａ値が12(mm)以上となると、点灯時に付近の水銀が蒸発しにくくなる。したがって、５＜ａ＜12の範囲にすることによって、点灯時の立上り特性を劣化させることなく、破壊内圧を向上させることができる。

発光管１と第２封止管12との接合部32と、第１封止管11の端面33との間には、第２封止管が放電空間内に露出した露出部分36を設けることが好ましい。その理由は次の通りである。発光管１と第２封止管12との接合部32と、第１封止管11の端面33が近いと、第２封止管12を縮径するときのバーナーなどの熱により、発光管が変形することがあり、商品としての価値を著しく低下させる。露出部分36は、第２封止管のみの厚さとなり、二重に封止された部分と比較して薄いので、発光管１から封止部への熱伝導が少なくなり、封止部の温度上昇を抑えることもできる。また、内部ガラス部品14に近い封止部のガラスの厚さを、第１封止管11と第２封止管12を重ねた厚さとすることにより、重い電極（特に陽極）に対して、封止部の強度を大きくすることができる。

第１封止管11の発光管側の端面33をラッパ状にすることにより、バーナーなどの熱による封止作業において、第１封止管11と第２封止管12とを滑らかに溶着することができる。密着性が向上するので、第１封止管11と第２封止管12との溶着部の端面33から発生するクラックを防止でき、クラックに起因する放電灯の破裂を防ぐことができる。また、第１封止管11の端面33をラッパ状にすることにより、第１封止管11の外径と比較して内径がやや大きい第２封止管で封止を行う場合でも、封止管の中心軸から電極の中心軸がずれることを防止できる。電極の円周面が封止管内壁に接触することなく、第２封止管内に保持することができる。表面の加工を行った電極を傷つけないようにする場合に特に有効である。封止部部品の寸法と材質の例を、表２に示す。なお、本実施例では、金属箔18は１つの封止部あたり６枚使用した。

次に、図９のグラフを参照しながら、電力と温度の関係を説明する。放電灯を３本作製し、同じ条件で点灯させて、封止部内の温度を、放射温度計により測定した。放電灯へ入力された電力と、封止部の温度の関係を、図９に示す。封止部の温度測定結果から、実施例の封止部は、従来例の放電灯と比較して、同電力における封止部の温度が低いことが分かる。したがって、実施例の封止部は、熱負荷による破壊が起こりにくく、従来例のランプと比較して、熱負荷に対する耐性が高い。放電灯入力電力がより高くなると、効果が顕著に現れていることが分かる。

次に、表３を参照しながら、落下の場合の破壊耐性について説明する。運搬時にランプに作用する荷重が破壊に及ぼす影響を調べる。従来例と実施例の封止部を有するランプを梱包し、落下による衝撃を作用させる実験を行った。梱包されたランプを１ｍの高さから落下させ、落下前後における電極位置の変化と、封止部から破壊が発生したか否かを調べた。表３は、実験結果をまとめたものである。実施例の封止部構造を有するランプであれば、輸送時の落下等に起因する電極のずれや封止部の破壊に対し、従来例よりもすぐれた特性を有することが分かる。

上記のように、本発明の実施例では、ショートアーク放電灯の封止部を、複数枚の金属箔が円周上で重ならないようにし、内側の第１封止管と外側の第２封止管とにより二重に封止し、ランプ電流値(Ａ)／｛（金属箔枚数）×（金属箔の幅（mm））×（金属製リングの厚さ（mm））｝の値を2.08未満とし、第１封止管の発光管側端部をラッパ状に開かれた形状とし、第１封止管の厚さを、２mm以下で、第２封止管の厚さの2/3より薄くし、内部ガラス部品の発光管側の端面から第１封止管の端面までの長さを５〜12mmとしたので、封止部の破壊内圧を高くでき、熱負荷に対する耐性も高くなり、点灯中や運搬中の破壊が起こり難くなる。

本発明のショートアーク放電灯は、耐圧性と熱負荷耐性が高く、点灯時や運搬中に壊れにくいショートアーク放電灯として最適である。

本発明の実施例におけるショートアーク放電灯の概観図である。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯のマウント部の図である。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯のマウント部の一部拡大図である。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯の電流と封止部外面の温度の最高値との関係を示すグラフである。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯のマウント部品を第１封止管内に封入した状態を示す図である。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯のラッパ形状を有するマウント部品を第２封止管内に挿入した状態を示す図である。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯のマウント部品を第２封止管内に封入した状態を示す図である。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯のラッパ部の長さと破壊内圧の関係を示すグラフである。 本発明の実施例におけるショートアーク放電灯の入力電力と封止部温度の関係を示すグラフである。 従来の放電灯の概観図である。

符号の説明

Ｓ 放電空間
１ 発光管
２ 陽極
３ 陰極
４ 陽極支持棒
５ リード棒
11 第１封止管
12 第２封止管
13 ガラス棒
14 内部ガラス部品
15 外部ガラス部品
18 金属箔
24 内部金属リング
25 外部金属リング
31 ラッパ形状部
32 接合部
33 端面
34 電極側端面
36 露出部分
41 第１封止管
42 第２封止管

Claims (7)

1. ガラス製の発光管と、前記発光管に接続されたガラス製の封止管と、前記発光管内に封じられた陽極と、前記陽極を支持する金属製の陽極支持棒と、前記発光管内に封じられた陰極と、前記陰極を支持する金属製の陰極支持棒と、前記陽極または陰極に電気的に接続されたモリブデン製の内部金属リングと、前記陽極または陰極に電力を供給するためのリード棒と、前記リード棒に電気的に接続されたモリブデン製の外部金属リングと、前記内部金属リングと前記外部金属リングの円周部に電気的に接続された複数枚の金属箔と、前記リード棒を支持する外部ガラス部品と、前記リード棒と前記内部金属リングと前記外部金属リングと前記陽極支持棒または前記陰極支持棒と前記金属箔とを支持するガラス棒と、前記陽極支持棒または前記陰極支持棒を支持する内部ガラス部品とを具備し、直流電力により放電状態を保持させるショートアーク放電灯において、前記外部ガラス部品と前記金属箔と前記内部金属リングと前記外部金属リングと前記ガラス棒と前記内部ガラス部品とに前記封止管を溶着することにより封止を行う封止構造であって、前記金属箔の枚数をｎとし、前記金属箔の幅をＷとし、前記金属リングの外径をOD_ring（mm）とし、前記金属リングの厚さをｔ_ring（mm）とし、ランプ電流値をＩ(A)としたとき、
   Ｉ／（ｎ×Ｗ×ｔ_ring）＜2.08
   ｎ×Ｗ＜π×OD_ring
   であることを特徴とするショートアーク放電灯の封止構造。
2. 前記内部金属リングと前記外部金属リングと前記ガラス棒と前記内部ガラス部品と前記外部ガラス部品の外径は同一であることを特徴とする請求項１に記載のショートアーク放電灯の封止構造。
3. 前記封止管は、軸に近い側である内側の第１封止管と軸から遠い側の外側の第２封止管とからなり、前記第１封止管と前記第２封止管とにより二重に封止されていることを特徴とする請求項１または２に記載のショートアーク放電灯の封止構造。
4. 前記第１封止管の発光管側端部をラッパ状に開かれた形状とすることを特徴とする請求項３に記載のショートアーク放電灯の封止構造。
5. 前記第１封止管の厚さをｔ_inside（mm）とし、前記第２封止管の厚さをｔ_outside（mm）とすると、
   1.5ｔ_inside＜ｔ_outside
   ｔ_inside≦２
   であることを特徴とする請求項３〜４のいずれかに記載のショートアーク放電灯の封止構造。
6. 前記内部ガラス部品の発光管側の端面から前記第１封止管の発光管側端面までの長さａ(mm)の値を
   ５＜ａ＜１２
   の範囲とすることを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載のショートアーク放電灯の封止構造。
7. 前記発光管と前記第１封止管の発光管側端面との間に薄肉部を設けたことを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載のショートアーク放電灯の封止構造。
   

Images