JP2007085872A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】台座とパッケージとの固定強度を低下させずに無鉛はんだ合金のリフロー温度に対応可能な圧力センサを提供する。
【解決手段】ガラス台座2とパッケージ10(主部11の底面)との間に介在しガラス台座2及びパッケージ10(主部11の底面)とそれぞれ接着固定される固定部材30を備える。ガラス台座2と固定部材30とを接着する接着剤13には従来と共通の接着剤が使用できるとともに、固定部材30とパッケージ10とを接着する接着剤31にはパッケージ10の成型材料との相性を考慮した最適な接着剤を使用することができる。その結果、ガラス台座2とパッケージ10との固定強度を低下させずに無鉛はんだ合金のリフロー温度に対応することが可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】ガラス台座2とパッケージ10(主部11の底面)との間に介在しガラス台座2及びパッケージ10(主部11の底面)とそれぞれ接着固定される固定部材30を備える。ガラス台座2と固定部材30とを接着する接着剤13には従来と共通の接着剤が使用できるとともに、固定部材30とパッケージ10とを接着する接着剤31にはパッケージ10の成型材料との相性を考慮した最適な接着剤を使用することができる。その結果、ガラス台座2とパッケージ10との固定強度を低下させずに無鉛はんだ合金のリフロー温度に対応することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧力センサに関するものである。
従来より、シリコーンの優れた弾性体としての性質を利用し、マイクロマシニング技術によりダイアフラム部と呼ばれる薄膜部をシリコーン基板に形成して圧力変化を電気信号に変換するようにした圧力センサ(半導体圧力センサ)が提供されている(例えば、特許文献1参照)。
図2はこの種の半導体圧力センサの一例を示す断面図である。この従来例は、半導体基板(シリコーン基板)を加工して薄膜のダイアフラム部1a及びダイアフラム部1aの圧力による撓みを検出する検出素子たるピエゾ抵抗(図示せず)が形成されたセンサチップ1と、センサチップ1を収納するパッケージ10とを備えている。パッケージ10は、合成樹脂材料の成形品であって、一面が開口する略函形に形成された主部11と、この主部11の底面中央より外向き(図2における下向き)に突出する筒状の導入管12とが一体に形成されたものである。センサチップ1は、ガラス製の台座(ガラス台座)2を介して主部11の底面に取り付けられる。このガラス台座2には表裏両面に開口する貫通孔2aが設けられており、貫通孔2aの表側の開口を塞ぐ形でセンサチップ1がガラス台座2の表面(図2における上面)に接合され、導入管12の開口(導入口)と貫通孔2aとを連通させるようにガラス台座2の裏面(図2における下面)が主部11の底面に接着される。また、主部11には複数の出力端子20がインサートされており、これら複数の出力端子20とセンサチップ1のピエゾ抵抗とがボンディングワイヤ3で電気的に接続されている。ここで、センサチップ1とガラス台座2とは陽極接合によって接合されており、また、ガラス台座2とパッケージ10とはシリコーン系の接着剤(ダイボンド剤)13によって接着されている。
特開平9−250964号公報
ところで、地球環境への悪影響を避けるため、従来の鉛を含むはんだ合金の代わりに無鉛(鉛フリー)はんだ合金を使用したはんだ接合が徐々に広まっている。現在使用されている無鉛はんだ合金は従来の有鉛はんだ合金よりも一般に融点が高いため、リフロー温度を従来より高くする必要がある(一般にピーク温度が約260℃に設定される)。一方、リフロー温度の上昇に伴ってパッケージ10を形成する合成樹脂材料をより耐熱性の高い材料に変更する必要が生じる。ところが、パッケージ10の成形材料を変更した場合にガラス台座2を接着するための接着剤との相性によっては接着強度が従来よりも低下してしまうことがある。これに対して接着剤を変更した場合、変更前の接着剤と比べて圧力センサの経年的な特性が変動してしまうという問題がある。
本発明は上記事情に鑑みて為されたものであり、その目的は、台座とパッケージとの固定強度を低下させずに無鉛はんだ合金のリフロー温度に対応可能な圧力センサを提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、半導体基板を加工して薄膜のダイアフラム部及び該ダイアフラム部の圧力による撓みを検出する検出素子が形成されたセンサチップと、被圧力検出流体を内部に導入する導入口を有して前記センサチップを収納するパッケージと、前記導入口に連通する孔を有して一面にセンサチップが接着固定される台座と、該台座と前記パッケージとの間に介在し台座及びパッケージとそれぞれ接着固定される固定部材とを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、台座とパッケージとの間に固定部材を介在させているので、台座と固定部材とを接着する接着剤には従来と共通の接着剤が使用できるとともに、固定部材とパッケージとを接着する接着剤にはパッケージの成型材料との相性を考慮した最適な接着剤を使用することができる。その結果、台座とパッケージとの固定強度を低下させずに無鉛はんだ合金のリフロー温度に対応することが可能となる。
以下、図1を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、本実施形態の基本構成は図2に示した従来例と共通であるから、共通の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態が従来例と異なる点は、ガラス台座2とパッケージ10(主部11の底面)との間に介在しガラス台座2及びパッケージ10(主部11の底面)とそれぞれ接着固定される固定部材30を備えた点にある。また本実施形態においては、無鉛はんだ合金のリフロー温度に対応した合成樹脂材料(例えば、LCP(液晶ポリマー)など)でパッケージ10が形成されている。
固定部材30は、導入管12及びガラス台座2の貫通孔2aと連通する孔30aが略中央に貫通した薄い板状に形成されている。そして、固定部材30の表面には従来例と同じ接着剤(シリコーン系の接着剤)13によってガラス台座2が接着固定され、固定部材30の裏面はパッケージ10の成型材料と相性の良い接着剤(例えば、エポキシ樹脂系の接着剤)31によってパッケージ10(主部11の底面)に接着固定されている。
而して、上述のように本実施形態によれば、ガラス台座2とパッケージ10との間に固定部材30を介在させているので、ガラス台座2と固定部材30とを接着する接着剤13には従来と共通の接着剤が使用できるとともに、固定部材30とパッケージ10とを接着する接着剤31にはパッケージ10の成型材料との相性を考慮した最適な接着剤を使用することができ、その結果、ガラス台座2とパッケージ10との固定強度を低下させずに無鉛はんだ合金のリフロー温度に対応することが可能となる。なお、本実施形態について信頼性試験(加速度試験)を行ったところ、経年的な特性の変動は見られなかった。
1 センサチップ
2 ガラス台座
2a 貫通孔
10 パッケージ
11 主部
12 導入管
13 接着剤
30 固定部材
30a 孔
31 接着剤
2 ガラス台座
2a 貫通孔
10 パッケージ
11 主部
12 導入管
13 接着剤
30 固定部材
30a 孔
31 接着剤
Claims (1)
- 半導体基板を加工して薄膜のダイアフラム部及び該ダイアフラム部の圧力による撓みを検出する検出素子が形成されたセンサチップと、被圧力検出流体を内部に導入する導入口を有して前記センサチップを収納するパッケージと、前記導入口に連通する孔を有して一面にセンサチップが接着固定される台座と、該台座と前記パッケージとの間に介在し台座及びパッケージとそれぞれ接着固定される固定部材とを備えたことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005274595A JP2007085872A (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005274595A JP2007085872A (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007085872A true JP2007085872A (ja) | 2007-04-05 |
Family
ID=37972995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005274595A Pending JP2007085872A (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007085872A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103090993A (zh) * | 2011-10-27 | 2013-05-08 | 深圳海川食品科技有限公司 | 一种冰淇淋机测温装置及其制备方法 |
JP2016535846A (ja) * | 2013-10-25 | 2016-11-17 | オキシトロル エス.アー. | 温度変化に対して耐性を示す接着剤層を制御するための構造を含む圧力センサ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001141590A (ja) * | 2000-10-03 | 2001-05-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体圧力センサー |
-
2005
- 2005-09-21 JP JP2005274595A patent/JP2007085872A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016535846A (ja) * | 2013-10-25 | 2016-11-17 | オキシトロル エス.アー. | 温度変化に対して耐性を示す接着剤層を制御するための構造を含む圧力センサ |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070306 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100222 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100629 |