JP2007084403A - Discharge cell for ozone generator - Google Patents

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JP2007084403A JP2005277779A JP2005277779A JP2007084403A JP 2007084403 A JP2007084403 A JP 2007084403A JP 2005277779 A JP2005277779 A JP 2005277779A JP 2005277779 A JP2005277779 A JP 2005277779A JP 2007084403 A JP2007084403 A JP 2007084403A
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敬 松野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the damage of two dielectric plates 11, 11 caused by warpage in an ozone generator having a planar dielectric unit 10 in which a first electrode 12 is inserted between the dielectric plates 11, 11. <P>SOLUTION: A space in which a gap amount is determined by spacers 30, 30 is formed between two second electrode plates 20, 20. The dielectric unit 10 is arranged at the space so as to form discharge voids 70, 70 between the second electrode plates 20, 20. For burying the first electrode plate 12, a recessed part 13 to be engaged with the first electrode 12 is provided at either or both of the respective confronted faces of the two dielectric plates 11, 11. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明はオゾン発生装置に使用される放電セルに関し、特に板状の誘電体を用いた板型の放電セルに関する。   The present invention relates to a discharge cell used in an ozone generator, and more particularly to a plate-type discharge cell using a plate-like dielectric.

オゾン発生装置に使用される放電セルは板型と管型に大別され、板型はさらに円板型と角板型に細分される。板型放電セルは、誘電板に接して形成される放電空隙を狭くしやすいこと、その放電空隙寸法(ギャップ量)を均等化しやすいことなどから、高濃度オゾンの生成に多用されている。そして、このような板型放電セルの一つが特許文献1に記載されている。特許文献1に記載された放電セルの概略構造を図4を参照して説明する。   The discharge cells used in the ozone generator are roughly classified into a plate type and a tube type, and the plate type is further subdivided into a disc type and a square plate type. Plate-type discharge cells are frequently used to generate high-concentration ozone because the discharge gap formed in contact with the dielectric plate is easily narrowed and the discharge gap dimension (gap amount) is easily equalized. One such plate discharge cell is described in Patent Document 1. The schematic structure of the discharge cell described in Patent Document 1 will be described with reference to FIG.

特開2000−281318号公報JP 2000-281318 A

特許文献1に記載された放電セルでは、一対の誘電板1,1の間に高圧電極2を挟んで構成された平板状の誘電体ユニット3と、平板状の剛性体により構成された一対の接地電極4,4とが積層される。より具体的には、一対の接地電極4,4の間に剛性体スペーサー5,5が配置されることにより、ギャップ量が確定された空間が形成される。そして、一対の接地電極4,4との間に放電空隙6,6が形成されるように、前記空間内の中立位置に誘電体ユニット3が配置される。放電空隙6におけるギャップ量確保等のために、接地電極4と誘電体ユニット3との間には、複数のスペーサー7,7・・が配置される。   In the discharge cell described in Patent Document 1, a flat plate-like dielectric unit 3 having a high voltage electrode 2 sandwiched between a pair of dielectric plates 1 and 1, and a pair of flat plate-like rigid bodies. The ground electrodes 4 and 4 are laminated. More specifically, by disposing the rigid spacers 5 and 5 between the pair of ground electrodes 4 and 4, a space in which the gap amount is determined is formed. The dielectric unit 3 is disposed at a neutral position in the space so that the discharge gaps 6 and 6 are formed between the pair of ground electrodes 4 and 4. A plurality of spacers 7, 7... Are arranged between the ground electrode 4 and the dielectric unit 3 in order to ensure the gap amount in the discharge gap 6.

ここで接地電極4,4は冷却体(水冷ジャケット)を兼ねている。誘電板1,1は例えば厚みが0.7mmのガラス板であり、例えば厚みが0.3mmのステンレス鋼箔からなる高圧電極2を挟んで、高圧電極2の外側で接着剤8,8により接着される。ギャップ量確保のためのスペーサー7,7・・は例えば外径が0.3mmのステンレス鋼ワイヤである。接地電極4,4の間に配置される剛性体スペーサー5,5は厚みが約2mmのステンレス鋼プレートである。   Here, the ground electrodes 4 and 4 also serve as a cooling body (water cooling jacket). The dielectric plates 1 and 1 are, for example, a glass plate having a thickness of 0.7 mm. For example, the dielectric plates 1 and 1 are bonded by adhesives 8 and 8 outside the high-voltage electrode 2 with the high-voltage electrode 2 made of stainless steel foil having a thickness of 0.3 mm, for example. Is done. The spacers 7, 7,... For securing the gap amount are, for example, stainless steel wires having an outer diameter of 0.3 mm. The rigid spacers 5 and 5 disposed between the ground electrodes 4 and 4 are stainless steel plates having a thickness of about 2 mm.

放電セルの運転中は、高圧電極2と接地電極4,4との間に所定の高周波高電圧が印加される。この状態で放電空隙6,6に前後から原料ガスが導入されることにより、原料ガスがオゾン化される。放電空隙6,6で生成されたオゾンガスは、放電空隙6,6の前後方向中間部から両側へ取り出される。   During operation of the discharge cell, a predetermined high frequency high voltage is applied between the high voltage electrode 2 and the ground electrodes 4 and 4. In this state, the raw material gas is ozonized by introducing the raw material gas into the discharge gaps 6 and 6 from before and after. The ozone gas generated in the discharge gaps 6 and 6 is taken out from the front and rear intermediate portions of the discharge gaps 6 and 6 to both sides.

このような放電セルでは、剛性体スペーサー5,5の部分で接地電極4,4が積層方向に締め付けられることにより、放電セルが組み立てられる。剛性体スペーサー5,5のために、接地電極4,4の間はギャップ量が確定した空間となり、この空間に配置される誘電体ユニット3及びスペーサー7,7・・には、基本的に締め付け力が付加されない。ただし、前記空間内で誘電体ユニット3がかたつかないように、剛性体スペーサー5,5の厚みは、誘電板1,1、高圧電極2、スペーサー7,7・・の合計寸法と同じに設定される。これにより、締め付けに伴う誘電板1,1の破損が防止されると共に、放電空隙6,6のギャップ量に関し、0.5mm以下というような微小なギャップ量を均一に且つ安定的に確保することが可能になる。   In such a discharge cell, the ground electrodes 4 and 4 are clamped in the stacking direction at the rigid body spacers 5 and 5 to assemble the discharge cell. Because of the rigid spacers 5 and 5, a gap is defined between the ground electrodes 4 and 4, and the dielectric unit 3 and the spacers 7, 7. No power is added. However, the thickness of the rigid spacers 5, 5 is the same as the total dimensions of the dielectric plates 1, 1, the high voltage electrode 2, the spacers 7, 7,... So that the dielectric unit 3 does not touch the space. Is set. This prevents damage to the dielectric plates 1 and 1 due to tightening and ensures a uniform and stable minute gap amount of 0.5 mm or less with respect to the gap amount of the discharge gaps 6 and 6. Is possible.

しかしながら、実際に製造した放電セルでは、締め付け力が付加されないはずの誘電板1,1に破損の生じることが経験された。また、多数のスペーサー7,7・・を配置しているにもかかわらず、放電空隙6,6のギャップ量分布が期待するほどには均一化されないことが明らかになった。その原因を調査したところ、高圧電極2の外側で誘電板1,1が接着されることによる誘電板1,1の反り、より詳しくは、スペーサー7,7・・の配置箇所での誘電板1,1の反りによる荷重集中が原因であることが判明した。   However, in the actually manufactured discharge cell, it has been experienced that the dielectric plates 1 and 1 to which no clamping force should be applied are damaged. Further, it has been clarified that the gap amount distribution of the discharge gaps 6 and 6 is not as uniform as expected despite the large number of spacers 7, 7. As a result of investigating the cause, warpage of the dielectric plates 1 and 1 due to the adhesion of the dielectric plates 1 and 1 outside the high-voltage electrode 2, more specifically, the dielectric plate 1 at the location where the spacers 7, 7,. , 1 was found to be caused by load concentration due to warpage.

すなわち、誘電板1,1の間に高圧電極2を固定し、組立性をよくするため、更には高圧電極2の電気的な絶縁のために、高圧電極2の外側で誘電板1,1がエポキシ樹脂等からなる接着剤8,8により接着される。その結果、誘電板1,1は中央部が上下へ膨らむ方向に反る。ここで、スペーサー7,7・・は、誘電体ユニット3のがたつき防止のために放電空隙6にきつく挿入されている。また、誘電板1,1、高圧電極2、スペーサー7,7・・の合計寸法は、それぞれの公差が重なるためにばらつきが大きい。更に、ワイヤからなるスペーサー7,7・・は誘電板1に線接触する。これらのため、誘電板1はその反りによりしばしばスペーサー7,7・・から大きな集中荷重を受け、破損に至るのである。   That is, in order to fix the high voltage electrode 2 between the dielectric plates 1 and 1 to improve the assemblability and further to electrically insulate the high voltage electrode 2, the dielectric plates 1 and 1 are disposed outside the high voltage electrode 2. Bonding is performed with adhesives 8 and 8 made of epoxy resin or the like. As a result, the dielectric plates 1 and 1 warp in the direction in which the central portion swells up and down. Here, the spacers 7, 7... Are tightly inserted into the discharge gap 6 in order to prevent the dielectric unit 3 from rattling. Further, the total dimensions of the dielectric plates 1, 1, the high-voltage electrode 2, the spacers 7, 7... Vary greatly because their tolerances overlap. Further, the spacers 7 made of wires are in line contact with the dielectric plate 1. For these reasons, the dielectric plate 1 is often subjected to a large concentrated load from the spacers 7, 7.

この問題とは別に、上記放電セルでは、ギャップ量管理のために多数のスペーサー7,7・・が必要であり、スペーサー7,7・・に使用するワイヤのコストが増大する問題もある。   Apart from this problem, the discharge cell requires a large number of spacers 7, 7,... For managing the gap amount, and there is a problem that the cost of the wires used for the spacers 7, 7,.

本発明の目的は、高圧電極を挟む誘電板の反りを防止できるオゾン発生装置用放電セルを提供することにある。本発明の別の目的は、ギャップ量管理のためのスペーサーのコストを低減できるオゾン発生装置用放電セルを提供することにある。   The objective of this invention is providing the discharge cell for ozone generators which can prevent the curvature of the dielectric plate which pinches | interposes a high voltage electrode. Another object of the present invention is to provide a discharge cell for an ozone generator capable of reducing the cost of a spacer for managing the gap amount.

本発明のオゾン発生装置用放電セルは、2枚の誘電板の間に第1電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、2枚の第2電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく前記誘電体ユニットを2枚の第2電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、2枚の誘電板の間の第1電極板を埋め込み型とするべく、2枚の誘電板の各対向面の一方又は両方に第1電極が嵌合する凹部を設けたものである。   The discharge cell for an ozone generator of the present invention has a plate-type dielectric unit having a first electrode sandwiched between two dielectric plates, and a pair of discharge gaps between the two second electrode plates. In the plate-type ozone generator discharge cell in which the dielectric unit is disposed between two second electrode plates to form a first electrode plate between the two dielectric plates, A recess in which the first electrode is fitted is provided on one or both of the opposing surfaces of the dielectric plate.

本発明のオゾン発生装置用放電セルにおいては、2枚の誘電板の間に挟まれる第1電極が2枚の誘電板の対向面に埋め込まれるため、第1電極の外側で2枚の誘電板が密着する。このため、第1電極の外側で2枚の誘電板を接着しても、2枚の誘電板に反りが生じない。誘電板の接着は、間に挟まれる第1電極の機械的な固定だけでなく、第1電極の電気的な絶縁に有効である。   In the discharge cell for the ozone generator of the present invention, the first electrode sandwiched between the two dielectric plates is embedded in the opposing surfaces of the two dielectric plates, so that the two dielectric plates are in close contact with each other outside the first electrode. To do. For this reason, even if the two dielectric plates are bonded outside the first electrode, the two dielectric plates are not warped. The adhesion of the dielectric plate is effective not only for mechanical fixation of the first electrode sandwiched therebetween, but also for electrical insulation of the first electrode.

本発明の別のオゾン発生装置用放電セルは、2枚の誘電板の間に第1電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、2枚の第2電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく、前記誘電体ユニットを2枚の第2電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、第1電極の外側で2枚の誘電板同士を無溶剤接着剤により接着したものである。   Another discharge cell for an ozone generator according to the present invention has a plate-type dielectric unit in which a first electrode is sandwiched between two dielectric plates, and a pair of two dielectric electrode plates is interposed between the two second electrode plates. In a plate-type ozone generator discharge cell in which the dielectric unit is disposed between two second electrode plates in order to form a discharge gap, the two dielectric plates are bonded to each other outside the first electrode with a solvent-free adhesive. Are bonded together.

本発明の別のオゾン発生装置用放電セルにおいては、第1電極の外側で2枚の誘電板同士が無溶剤接着剤により接着される。溶剤を使用しない無溶剤接着剤としては、具体的には、アサヒ化学研究所製SA−250シリーズ等がある。溶剤を用いるエポキシ樹脂系の接着剤の場合は、硬化の過程で溶剤が蒸発し収縮するが、溶剤を用いない無溶剤接着剤の場合は溶剤の蒸発による収縮がないため、誘電板を埋め込み型とせずとも、2枚の誘電板の反りを可及的に抑制することができる。   In another discharge cell for an ozone generator according to the present invention, two dielectric plates are bonded to each other with a solventless adhesive outside the first electrode. Specific examples of the solventless adhesive that does not use a solvent include SA-250 series manufactured by Asahi Chemical Research Laboratory. In the case of an epoxy resin adhesive that uses a solvent, the solvent evaporates and shrinks during the curing process, but in the case of a non-solvent adhesive that does not use a solvent, there is no shrinkage due to the evaporation of the solvent. Even if not, the warpage of the two dielectric plates can be suppressed as much as possible.

無溶剤接着剤で2枚の誘電板同士を接着する場合、第1電極の外側の全体で接着を行う必要はない。部分的に接着を行うことができ、非接着部に反り防止用のスペーサーを介在させるのがよい。そうすることにより、接着剤の収縮による誘電板の反りをより効果的に抑制することができる。そのスペーサーは接着時にのみ使用し、接着後に取り外すこともも可能である。   When two dielectric plates are bonded to each other with a solventless adhesive, it is not necessary to perform bonding on the entire outside of the first electrode. Adhesion can be performed partially, and it is preferable to interpose a spacer for preventing warpage in the non-adhered portion. By doing so, the curvature of the dielectric plate due to the shrinkage of the adhesive can be more effectively suppressed. The spacer can be used only at the time of bonding and can be removed after bonding.

いずれのオゾン発生装置用放電セルにおいても、誘電体ユニットの各背面側に形成される各放電空隙にはギャップ量管理のためののスペーサーが設けられる。このスペーサーは従来どおりのワイヤなどでもよいが、2枚の誘電板の各背面の、スペーサー以外の部分を除去することにより形成された一体形成型のものが好ましい。この一体型スペーサーによると、ワイヤなどの別部材を使用せずにスペーサーの設置が可能になり、スペーサーコストが低減される。また、別部材が不要になること及び第1電極が誘電板に埋め込まれていることにより、2枚の第2電極板の間に配置される部材の厚みは、2枚の誘電板の合計厚みとなり、その結果、公差要因が減り、ばらつきが小さくなるので、この点からも誘電板の割れ防止が図られる。   In any discharge cell for an ozone generator, each discharge gap formed on each back side of the dielectric unit is provided with a spacer for managing the gap amount. The spacer may be a conventional wire or the like, but is preferably an integral type formed by removing portions other than the spacer on the back surfaces of the two dielectric plates. According to this integrated spacer, the spacer can be installed without using a separate member such as a wire, and the spacer cost is reduced. In addition, since the separate member is not necessary and the first electrode is embedded in the dielectric plate, the thickness of the member disposed between the two second electrode plates is the total thickness of the two dielectric plates, As a result, the tolerance factor is reduced and the variation is reduced. From this point, the dielectric plate can be prevented from cracking.

一対の第2電極板は、その間に配置された剛性体スペーサーによりギャップ量が確定された空間を形成し、且つ2枚の第2電極板との間に一対の放電空隙が形成されるように前記空間に前記誘電体ユニットを収容する構成が好ましい。この構成により、誘電体ユニットへの締め付け力の付加が回避されることは前述したとおりである。そして、この締め付け力の回避と前述した誘電板の反りの防止とにより、微小で均一分布のギャップ量を安定的に確保することが可能になる。   The pair of second electrode plates form a space in which the gap amount is determined by a rigid body spacer disposed therebetween, and a pair of discharge gaps are formed between the two second electrode plates. A configuration in which the dielectric unit is accommodated in the space is preferable. As described above, this configuration avoids the addition of a tightening force to the dielectric unit. By avoiding this tightening force and preventing the warping of the dielectric plate described above, it is possible to stably secure a minute and evenly distributed gap amount.

本発明のオゾン発生装置用放電セルは、1対の誘電板の間に挟まれる第1電極を埋め込み式としたことにより、第1電極が介在することによる1対の誘電板の反りを防止できる。これにより、第2電極との間の放電空隙に配置されるスペーサー部分での荷重集中を低減でき、誘電板の破損を防止できる。また、1対の誘電板の反り防止により、誘電板に接する放電空隙では微小で均一なギャップ量を安定的に確保できる。そのスペーサーを一対の誘電板の各背面に一体形成することにより、スペーサーの部材コストを節減できる。   In the discharge cell for an ozone generator of the present invention, the first electrode sandwiched between the pair of dielectric plates is embedded, so that the pair of dielectric plates can be prevented from warping due to the interposition of the first electrode. Thereby, the load concentration in the spacer part arrange | positioned at the discharge space | gap between 2nd electrodes can be reduced, and the failure | damage of a dielectric plate can be prevented. In addition, by preventing warping of the pair of dielectric plates, a fine and uniform gap amount can be stably secured in the discharge gap in contact with the dielectric plates. By integrally forming the spacers on the back surfaces of the pair of dielectric plates, the member cost of the spacers can be reduced.

本発明の別のオゾン発生装置用放電セルは、第1電極を挟む一対の誘電板を電極外側で接着する際に、その接着剤として無溶剤接着剤を使用することにより、第1電極が介在することによる1対の誘電板の反りを防止できる。これにより、第2電極との間の放電空隙に配置されるスペーサー部分での荷重集中を低減でき、誘電板の破損を防止できる。また、1対の誘電板の反り防止により、誘電板に接する放電空隙では微小で均一なギャップ量を安定的に確保できる。そのスペーサーを一対の誘電板の各背面に一体形成することにより、スペーサーの部材コストを節減できる。   In another discharge cell for an ozone generator according to the present invention, when a pair of dielectric plates sandwiching the first electrode is bonded outside the electrode, the first electrode is interposed by using a solventless adhesive as the adhesive. Thus, warping of the pair of dielectric plates can be prevented. Thereby, the load concentration in the spacer part arrange | positioned at the discharge space | gap between 2nd electrodes can be reduced, and the failure | damage of a dielectric plate can be prevented. Further, by preventing warping of the pair of dielectric plates, a fine and uniform gap amount can be stably secured in the discharge gap in contact with the dielectric plates. By integrally forming the spacers on the back surfaces of the pair of dielectric plates, the member cost of the spacers can be reduced.

以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの分解斜視図、図2は同オゾン発生装置用放電セルの主要部の構成を示す模式断面図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an exploded perspective view of an ozone generator discharge cell according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a main part of the ozone generator discharge cell.

本実施形態のオゾン発生装置用放電セルは、図1及び図2に示すように、複数枚の水平な板材を板厚方向(垂直方向)に積層して締め付けた積層体であり、より詳しくは、ほぼ正方形の板材からなる誘電体ユニット10と、誘電体ユニット10の各背面側に重ね合わされた長方形の板材からなる冷却体20,20と、誘電体ユニット10と共に冷却体20,20の間に配置されたスペーサー30,30と、上段の冷却体20の背面側にエンドプレート40を介して重ねられたトッププレート50と、下段の冷却体20の背面側に重ね合わされたボトムプレート60とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the discharge cell for an ozone generator according to the present embodiment is a laminate in which a plurality of horizontal plate members are stacked in a plate thickness direction (vertical direction) and tightened. The dielectric unit 10 made of a substantially square plate material, the cooling bodies 20, 20 made of rectangular plates superimposed on the respective back surfaces of the dielectric unit 10, and the cooling unit 20, 20 together with the dielectric unit 10 The spacers 30, 30 arranged, a top plate 50 stacked on the back side of the upper cooling body 20 via the end plate 40, and a bottom plate 60 stacked on the back side of the lower cooling body 20. ing.

換言すれば、このオゾン発生装置用放電セルは、誘電体ユニット10、冷却体20,20及びエンドプレート40を、トッププレート50とボトムプレート60の間に挟んで板厚方向に締め付け固定した積層体であり、誘電体ユニット10の両側で冷却体20,20の間にスペーサー30,30を挟むことにより、冷却体20,20の間に誘電体ユニット10の収容空間を確保している。エンドプレート40、トッププレート50及びボトムプレート60は、冷却体20,20と同じ長方形の板材である。   In other words, the discharge cell for the ozone generator is a laminate in which the dielectric unit 10, the cooling bodies 20 and 20, and the end plate 40 are sandwiched between the top plate 50 and the bottom plate 60 and fixed in the thickness direction. The space for holding the dielectric unit 10 is secured between the cooling bodies 20 and 20 by sandwiching the spacers 30 and 30 between the cooling bodies 20 and 20 on both sides of the dielectric unit 10. The end plate 40, the top plate 50, and the bottom plate 60 are the same rectangular plates as the cooling bodies 20 and 20.

誘電体ユニット10は、ほぼ正方形のガラス板からなる1対の誘電板11,11と、誘電板11,11の間に挟まれたほぼ正方形の高圧電極12とを備えている。誘電板11,11の厚さは例えば1.0mmである。高圧電極12は第1電極であって、誘電板11,11より一回り小さい、例えば厚さが0.3mmのステンレス鋼薄板からなる。   The dielectric unit 10 includes a pair of dielectric plates 11 and 11 made of a substantially square glass plate, and a substantially square high-voltage electrode 12 sandwiched between the dielectric plates 11 and 11. The thickness of the dielectric plates 11, 11 is, for example, 1.0 mm. The high-voltage electrode 12 is a first electrode and is made of a stainless steel thin plate that is slightly smaller than the dielectric plates 11, 11, for example, having a thickness of 0.3 mm.

誘電板11,11の各対向面には、高圧電極12が嵌合するほぼ正方形の凹部13,13が設けられている。凹部13,13は、誘電板11,11の対向面の外縁部を除く部分にブラスト処理等により形成された均等厚の浅い窪みであり、その合計深さが高圧電極12の厚さに一致するように設計されている。凹部13,13内に高圧電極12が埋設収容されることにより、誘電板11,11は、高圧電極12より外側の外縁部で自然に密着することになり、その密着部分でエポキシ樹脂等により接着されている。   On the opposing surfaces of the dielectric plates 11, 11, substantially square recesses 13, 13 into which the high voltage electrode 12 is fitted are provided. The recesses 13, 13 are shallow recesses of uniform thickness formed by blasting or the like in portions other than the outer edge portions of the opposing surfaces of the dielectric plates 11, 11, and the total depth thereof matches the thickness of the high-voltage electrode 12. Designed to be When the high voltage electrode 12 is embedded and accommodated in the recesses 13 and 13, the dielectric plates 11 and 11 are naturally adhered to each other at the outer edge portion outside the high voltage electrode 12, and the adhesion portions are bonded by an epoxy resin or the like. Has been.

一方、誘電板11,11の各背面には、正面側から背面側へ延びる複数のリブ15,15・・が横幅方向に所定の間隔で設けられている。また周囲外縁部にも同様の凸部が設けられている。リブ15,15・・は断面が四角形、ここでは台形状であり、凸部以外の部分をブラスト処理等で除去することにより形成されている。これらのリブ15,15・・により、誘電板11,11と背面側の冷却体20,20との間には、均等なギャップ量の放電空隙70,70が形成される。   On the other hand, a plurality of ribs 15, 15... Extending from the front side to the back side are provided on the back surfaces of the dielectric plates 11, 11 at predetermined intervals in the lateral width direction. Similar convex portions are also provided on the peripheral outer edge. The ribs 15, 15,... Have a quadrangular cross section, here a trapezoid, and are formed by removing portions other than the convex portions by blasting or the like. These ribs 15, 15... Form discharge gaps 70, 70 having an equal gap amount between the dielectric plates 11, 11 and the rear cooling bodies 20, 20.

換言すれば、誘電板11,11と背面側の冷却体20,20との間に形成される放電空隙70,70のギャップ量の保持・均一化のために、各誘電板11の背面にリブ15,15・・がスペーサーとして一体形成されているのである。放電空隙70での円滑なガス流通のために、リブ15,15・・は長手方向中間部で分断されており、その前後で横幅方向に偏位している。リブ15,15・・の高さは例えば0.3mmである。   In other words, ribs are formed on the back surface of each dielectric plate 11 in order to maintain and uniform the gap amount of the discharge gaps 70, 70 formed between the dielectric plates 11, 11 and the cooling bodies 20, 20 on the back side. 15, 15... Are integrally formed as spacers. For smooth gas flow in the discharge gap 70, the ribs 15, 15,... Are divided at the middle part in the longitudinal direction, and are deviated in the lateral width direction before and after that. The height of the ribs 15, 15... Is, for example, 0.3 mm.

正方形状の誘電体ユニット10は、横に長い長方形状の冷却体20,20の間から正面側及び背面側に突出している。高圧電極12の一部は端子部14として誘電板11,11の間から正面側へ引き出されており、端子部14が通過する部分にも、凹部13,13に連続する溝部が設けられている。誘電体ユニット10の厚みは、誘電板11,11の合計厚みであり、後述するスペーサー30,30の各厚みと実質同一である。   The square-shaped dielectric unit 10 projects to the front side and the back side from between the rectangular cooling bodies 20 and 20 that are long horizontally. A part of the high-voltage electrode 12 is drawn out as a terminal part 14 from between the dielectric plates 11 and 11 to the front side, and a groove part continuing to the concave parts 13 and 13 is also provided in a part through which the terminal part 14 passes. . The thickness of the dielectric unit 10 is the total thickness of the dielectric plates 11 and 11 and is substantially the same as the thickness of the spacers 30 and 30 described later.

誘電体ユニット10と共に冷却体20,20の間に配置されるスペーサー30,30は、誘電体ユニット10と同じ厚みのステンレス鋼板からなり、誘電体10の両側に位置して冷却体20,20間に配置されている。各スペーサー20には、冷却水が通過する前後一組の円形をした冷媒孔31,31が設けられると共に、オゾンガスが流通する四角形のガス孔32が、冷媒孔31,31の間に位置して設けられている。各スペーサー20には又、締め付け用のボルトが貫通する複数のボルト孔が設けられている。   The spacers 30, 30 disposed between the cooling units 20, 20 together with the dielectric unit 10 are made of stainless steel plates having the same thickness as the dielectric unit 10, and are positioned on both sides of the dielectric 10 between the cooling bodies 20, 20. Is arranged. Each spacer 20 is provided with a pair of circular coolant holes 31, 31 before and after cooling water passes, and a rectangular gas hole 32 through which ozone gas flows is located between the coolant holes 31, 31. Is provided. Each spacer 20 is also provided with a plurality of bolt holes through which tightening bolts pass.

冷却体20,20は、2枚の横に長い長方形のステンレス鋼板を接合し、接合面間に形成された通水路に冷却水を流通させる平板型のジャケットであり、第2電極(接地電極)を兼ねている。各冷却体20の両側部には、冷却水が通過する円形の冷媒孔21,21が、スペーサー30の冷媒孔31,31に対応して設けられると共に、オゾンガスが流通する四角形のガス孔22が、スペーサー30のガス孔32に対応して設けられている。   The cooling bodies 20 and 20 are flat-plate jackets that join two long rectangular stainless steel plates and distribute cooling water through a water passage formed between the joining surfaces. The second electrode (ground electrode) Doubles as On both sides of each cooling body 20, circular refrigerant holes 21, 21 through which cooling water passes are provided corresponding to the refrigerant holes 31, 31 of the spacer 30, and rectangular gas holes 22 through which ozone gas flows are provided. , Provided corresponding to the gas holes 32 of the spacer 30.

各冷却体20には又、複数のボルト孔が設けられると共に、横に長いスリット状のガス路23が両側のガス孔22,22の間に位置して設けられている。ガス路23は、冷却体20の前後方向の中間部に位置しており、両側のガス孔22,22とは、ステンレス鋼板の接合面間に形成されたガス路を介して連通している。   Each cooling body 20 is also provided with a plurality of bolt holes, and a slit-like gas passage 23 which is long in the side is provided between the gas holes 22 on both sides. The gas path 23 is located in the middle part of the cooling body 20 in the front-rear direction, and the gas holes 22 on both sides communicate with each other via a gas path formed between the joining surfaces of the stainless steel plates.

片側の二つの冷媒孔21,21は、接合面間に形成された通水路により相互に連通すると共に、反対側の二つの冷媒孔21,21とも、接合面間に形成された通水路により連通している。これらの通水路は、両側のガス孔22,22、その間のガス路及びボルト孔を避けて設けられている。   The two refrigerant holes 21 and 21 on one side communicate with each other through a water passage formed between the joint surfaces, and the two refrigerant holes 21 and 21 on the opposite side communicate with each other through a water passage formed between the joint surfaces. is doing. These water passages are provided avoiding the gas holes 22 and 22 on both sides, and the gas passages and bolt holes therebetween.

エンドプレート40は、上段の冷却体20のガス路23を上側から閉じる蓋板で、冷却体20,20と同じ大きさの1枚のステンレス鋼板からなり、冷却体20,20の冷媒孔21,21に対応する位置に冷媒孔41,41、ガス孔22に対応する位置にガス孔42をそれぞれ有している。また、冷却体20,20と同じ位置にボルト孔を有している。   The end plate 40 is a cover plate that closes the gas passage 23 of the upper cooling body 20 from above, and is made of one stainless steel plate having the same size as the cooling bodies 20, 20. The refrigerant holes 41 and 41 are provided at positions corresponding to the gas holes 21, and the gas holes 42 are provided at positions corresponding to the gas holes 22. Moreover, it has a bolt hole in the same position as the cooling bodies 20 and 20.

ボトムプレート60は、下段の冷却体20の冷媒孔21,21、ガス孔22及びガス路23を下側から閉じる蓋板であり、冷却体20,20と同じ大きさの1枚のステンレス鋼板からなる。端板を兼ねるボトムプレート60は厚板とされている。ボトムプレート60の4隅部表面には、シールリングを収容する円形の凹部61が、冷却体20の4隅部のガス孔21に対応して設けられている。また、複数のボルト孔が冷却体20と同じ位置に設けられている。   The bottom plate 60 is a cover plate that closes the refrigerant holes 21 and 21, the gas holes 22, and the gas passages 23 of the lower cooling body 20 from the lower side, and is made of one stainless steel plate having the same size as the cooling bodies 20 and 20. Become. The bottom plate 60 also serving as an end plate is a thick plate. On the surface of the four corners of the bottom plate 60, circular recesses 61 for accommodating the seal rings are provided corresponding to the gas holes 21 at the four corners of the cooling body 20. A plurality of bolt holes are provided at the same position as the cooling body 20.

トッププレート50は、エンドプレート40の冷媒孔41,41及びガス孔42を上から閉じる蓋板であり、ボトムプレート60と同様に1枚のステンレス鋼厚板により構成されている。トッププレート50の一隅部には、冷媒導入孔51が貫通して設けられており、対角位置にある隅部には、冷媒排出孔52が貫通して設けられている。また中心部には、ガス排出孔53が貫通して設けられており、エンドプレート40と同じ位置にはボルト孔が設けられている。   The top plate 50 is a lid plate that closes the refrigerant holes 41 and 41 and the gas holes 42 of the end plate 40 from above, and is composed of a single stainless steel plate like the bottom plate 60. A coolant introduction hole 51 is provided through one corner of the top plate 50, and a coolant discharge hole 52 is provided through the corner located at the diagonal position. Further, a gas discharge hole 53 is provided through the central portion, and a bolt hole is provided at the same position as the end plate 40.

冷媒導入孔51は、トッププレート50の裏面に形成された溝部を介してエンドプレート40の一方の側の冷媒孔41,41に連通しており、冷媒排出孔52は、トッププレート50の裏面に形成された溝部を介してエンドプレート40の他方の側の冷媒孔41,41に連通している。また、ガス排出孔53は、トッププレート50の裏面に形成された溝部を介してエンドプレート40の両側のガス孔42,42に連通している。   The refrigerant introduction hole 51 communicates with the refrigerant holes 41, 41 on one side of the end plate 40 through a groove formed on the back surface of the top plate 50, and the refrigerant discharge hole 52 is formed on the back surface of the top plate 50. The refrigerant holes 41 and 41 on the other side of the end plate 40 communicate with each other through the formed groove. The gas discharge holes 53 communicate with the gas holes 42 on both sides of the end plate 40 through a groove formed on the back surface of the top plate 50.

本実施形態のオゾン発生装置用放電セルは、次のようにして組み立てられる。   The discharge cell for an ozone generator according to this embodiment is assembled as follows.

誘電体ユニット10を構成する誘電板11,11の間に高圧電極12を挟み、高圧電極12の外側で誘電板11,11の外縁部同士を接着する。誘電板11,11の間の高圧電極12は、誘電板11,11の対向面に形成された凹部13,13に嵌まり込む。これにより、誘電板11,11の外縁部同士が密着し、その密着部を接着するにもかかわらず、誘電板11,11に反りは生じない。こうして誘電体ユニット10が完成する。   The high voltage electrode 12 is sandwiched between the dielectric plates 11 and 11 constituting the dielectric unit 10, and the outer edges of the dielectric plates 11 and 11 are bonded to each other outside the high voltage electrode 12. The high-voltage electrode 12 between the dielectric plates 11 and 11 is fitted into recesses 13 and 13 formed on the opposing surfaces of the dielectric plates 11 and 11. As a result, the outer edges of the dielectric plates 11 and 11 are in close contact with each other, and the dielectric plates 11 and 11 are not warped even though the close contact portions are bonded. Thus, the dielectric unit 10 is completed.

ボトムプレート60、下段の冷却体20、誘電体ユニット10及びその両側のスペーサー30,30、上段の冷却体20、エンドプレート40、並びにトッププレート50を下から順に重ね合せ、所定本数の貫通ボルトにより板厚方向に締め付ける。これにより放電セルが完成する。   The bottom plate 60, the lower cooling body 20, the dielectric unit 10 and the spacers 30 and 30 on both sides thereof, the upper cooling body 20, the end plate 40, and the top plate 50 are stacked in order from the bottom, and a predetermined number of through bolts are used. Tighten in the thickness direction. Thereby, the discharge cell is completed.

完成した放電セルでは、誘電体ユニット10の両面側の冷却体20,20との間に放電空隙70,70が形成される。両側部では、冷却体20,20、スペーサー30、エンドプレート40の各冷媒孔が合体してそれぞれ2つの縦向き冷媒流路が形成されると共に、各ガス孔が合体して一つの縦向きガス流路が形成される。   In the completed discharge cell, discharge gaps 70 and 70 are formed between the cooling units 20 and 20 on both sides of the dielectric unit 10. On both sides, the coolant holes of the cooling bodies 20, 20, the spacer 30 and the end plate 40 are combined to form two vertically oriented coolant channels, and the gas holes are combined to form one vertically oriented gas. A flow path is formed.

ボルト締めに伴う締め付け圧力は、ボトムプレート60の両側部、下段の冷却体20の両側部、両側のスペーサー30,30、上段の冷却体20の両側部、エンドプレート40の両側部、及びトッププレート50の両側部に付加され、スペーサー30,30の間の誘電体ユニット10には実質的に付加されない。   The tightening pressure associated with the bolt tightening includes both sides of the bottom plate 60, both sides of the lower cooling body 20, both spacers 30 and 30, both sides of the upper cooling body 20, both sides of the end plate 40, and the top plate. 50 is added to both sides of the spacer 50 and is not substantially added to the dielectric unit 10 between the spacers 30 and 30.

すなわち、両側のスペーサー30,30により、上下の冷却体20,20の間にギャップ量が確定した空間が形成され、ここに誘電体ユニット10が配置される。しかも、誘電体ユニット10は反りを生じておらず、厚みの公差も少ない。誘電体ユニット10の厚みの公差が少ないのは、誘電体ユニット10の厚みが、冷却体20,20の合計厚みにより決定され、高圧電極12の厚みやワイヤスペーサーの外径の公差の影響を受けないためである。このため、誘電板11のリブ15,15・・が対向する冷却体20の表面に均等に面接触し、両面側の放電空隙70,70の各ギャップ量が同じに維持される。また、リブ15,15・・に付加される圧力は僅かで均等なため、誘電板11,11の割れが防止される。更には微小で均一なギャップ量が安定して得られる。   That is, a space with a fixed gap amount is formed between the upper and lower cooling bodies 20 and 20 by the spacers 30 and 30 on both sides, and the dielectric unit 10 is disposed here. Moreover, the dielectric unit 10 does not warp and has a small thickness tolerance. The thickness tolerance of the dielectric unit 10 is small because the thickness of the dielectric unit 10 is determined by the total thickness of the cooling bodies 20 and 20 and is affected by the tolerance of the thickness of the high voltage electrode 12 and the outer diameter of the wire spacer. This is because there is not. Therefore, the ribs 15, 15,... Of the dielectric plate 11 are in surface contact with the surface of the cooling body 20 facing each other, and the gap amounts of the discharge gaps 70, 70 on both sides are kept the same. Further, since the pressure applied to the ribs 15, 15... Is slight and uniform, the dielectric plates 11, 11 are prevented from cracking. Furthermore, a fine and uniform gap amount can be obtained stably.

放電セルの運転では、当該セルがタンクに収容され、そのタンク内に原料ガスが供給される。第2電極である冷却体20,20は接地され、第1電極である高圧電極12に所定の高周波高電圧が印加される。また、トッププレート50の冷媒導入孔51から冷却水が導入される。   In the operation of the discharge cell, the cell is accommodated in a tank, and the raw material gas is supplied into the tank. The cooling bodies 20, 20 that are the second electrodes are grounded, and a predetermined high-frequency high voltage is applied to the high-voltage electrode 12 that is the first electrode. Further, cooling water is introduced from the refrigerant introduction hole 51 of the top plate 50.

タンク内の原料ガスは、誘電体ユニット10の両面側に形成された放電空隙70,70に正面側及び背面側から流入し、放電空隙70,70を中央部に向かう過程でオゾン化される。こうして生成されたオゾンガスは、冷却体20,20のガス路23,23に導かれて両側へ方向転換し、両側の縦向きのガス流路を通ってトッププレート50のガス排出孔53から外部へ取り出される。   The raw material gas in the tank flows into the discharge gaps 70 and 70 formed on both sides of the dielectric unit 10 from the front side and the back side, and is ozonized in the process of moving the discharge gaps 70 and 70 toward the center. The ozone gas thus generated is guided to the gas passages 23 and 23 of the cooling bodies 20 and 20 so as to be turned to both sides, passes through the vertical gas flow passages on both sides, and passes through the gas discharge holes 53 of the top plate 50 to the outside. It is taken out.

トッププレート50の冷媒導入孔51からセル内へ導入された冷却水は、セルの一方の側部に形成された二つの縦向き冷媒流路を通って上下の冷却体20,20に流入し、これらを通過した後、セルの他方の側部に形成された二つの縦向き冷媒流路を通ってトッププレート50の冷媒排出孔52から排出される。これにより、放電空隙70,70が上下から効率よく冷却される。   The cooling water introduced into the cell from the refrigerant introduction hole 51 of the top plate 50 flows into the upper and lower cooling bodies 20 and 20 through two vertically oriented refrigerant channels formed on one side of the cell, After passing through these, the refrigerant is discharged from the refrigerant discharge hole 52 of the top plate 50 through two vertically oriented refrigerant channels formed on the other side of the cell. As a result, the discharge gaps 70 are efficiently cooled from above and below.

このように、本実施形態のオゾン発生装置用放電セルでは、誘電体ユニット10の高圧電極12が、誘電板11,11の接着により固定されている。また、誘電体ユニット10自体も、冷却体20,20の間でがたつきなく固定されている。これらのため、放電空隙70,70のギャップ量が均等かつ均一になる。また、このようながたつきのない固定構造が採用されるにもかかわらず、高圧電極12が誘電板11,11間に埋め込まれるため、誘電板11,11の変形が発生しない。また、スペーサーであるリブ15,15・・も均等圧力で面接触している。これらのため、誘電体ユニット10の誘電板11,11に集中荷重が付加される危険がなく、誘電板11,11に割れが生じない。更に、誘電板11,11の変形によるギャップ量の不均一も生じない。   Thus, in the discharge cell for an ozone generator of the present embodiment, the high voltage electrode 12 of the dielectric unit 10 is fixed by bonding the dielectric plates 11 and 11. Further, the dielectric unit 10 itself is fixed between the cooling bodies 20 and 20 without rattling. Therefore, the gap amount between the discharge gaps 70 and 70 becomes uniform and uniform. In addition, although the fixing structure without such rattling is employed, the high voltage electrode 12 is embedded between the dielectric plates 11 and 11, so that the deformation of the dielectric plates 11 and 11 does not occur. Further, the ribs 15, 15... That are spacers are also in surface contact with equal pressure. For these reasons, there is no danger of a concentrated load being applied to the dielectric plates 11 and 11 of the dielectric unit 10, and the dielectric plates 11 and 11 are not cracked. Furthermore, the gap amount due to deformation of the dielectric plates 11 and 11 does not occur.

放電空隙70,70におけるギャップ量管理のためのスペーサーとして、誘電板11,11の各表面にリブ15,15・・を一体形成したので、そのスペーサーとしてステンレス鋼ワイヤを用いる場合と比べてスペーサーコストが下がる。誘電板11,11に対するワイヤの線接触がなくなり、この観点から誘電板11,11の割れが回避されることは前述したとおりである。   Since the ribs 15, 15,... Are integrally formed on the respective surfaces of the dielectric plates 11, 11 as spacers for managing the gap amount in the discharge gaps 70, 70, the spacer cost compared to the case where stainless steel wires are used as the spacers. Go down. As described above, the wire contact with the dielectric plates 11 and 11 is eliminated, and cracking of the dielectric plates 11 and 11 is avoided from this viewpoint.

誘電体ユニット10の高圧電極12は、本実施形態では誘電板11,11の両方に均等に埋設したが、誘電板11,11の両方に不均等に埋設することもでき、誘電板11,11の片方に埋設することもできる。   Although the high voltage electrode 12 of the dielectric unit 10 is equally embedded in both the dielectric plates 11 and 11 in the present embodiment, it can be unevenly embedded in both the dielectric plates 11 and 11. It is also possible to embed it in one side.

図3は本発明の別の実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの主要部の構成を示す模式断面図である。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the main part of a discharge cell for an ozone generator according to another embodiment of the present invention.

本実施形態のオゾン発生装置用放電セルは、前述のオゾン発生装置用放電セルと比べて誘電体ユニット10の構造が相違する。ここにおける誘電体ユニット10は、2枚の誘電板11,11の間に高圧電極12を挟んだ構造をしており、その高圧電極12は、誘電板11,11の間に埋め込まれていない。   The discharge cell for ozone generator of the present embodiment is different in the structure of the dielectric unit 10 from the discharge cell for ozone generator described above. The dielectric unit 10 here has a structure in which a high voltage electrode 12 is sandwiched between two dielectric plates 11, 11, and the high voltage electrode 12 is not embedded between the dielectric plates 11, 11.

すなわち、誘電板11,11の対向面は平坦であり、この間に一回り小さい高圧電極12を挟み、高圧電極12より外側の外縁部で誘電板11,11が無溶剤接着剤80により接着されている。すなわち、反り防止用のスペーサーを介在させるために、誘電板11,11は前記外縁部で部分的に接着されており、より詳しくは、接着の際に非接着部に反り防止用のスペーサーを介在させ、誘電板11,11同士を外縁部で無溶剤接着剤80により接着した後にスペーサーを誘電板11,11の間から引き抜くことにより、誘電板11,11は前記外縁部で部分的に接着されている。   That is, the opposing surfaces of the dielectric plates 11 and 11 are flat, and a small high voltage electrode 12 is sandwiched between them, and the dielectric plates 11 and 11 are bonded by a solventless adhesive 80 at the outer edge portion outside the high voltage electrode 12. Yes. That is, in order to interpose a spacer for preventing warpage, the dielectric plates 11 and 11 are partially bonded at the outer edge portion. More specifically, a spacer for preventing warpage is interposed in the non-adhesive portion at the time of bonding. Then, after the dielectric plates 11 and 11 are bonded to each other by the solventless adhesive 80 at the outer edge portions, the dielectric plates 11 and 11 are partially bonded at the outer edge portions by pulling out the spacer from between the dielectric plates 11 and 11. ing.

無溶剤接着剤80は、溶剤を含まない樹脂接着剤であるために凝固時に溶剤の揮発がなく収縮が生じない。加えて、無溶剤接着剤80による接着の際に、高圧電極12と同じ厚みのスペーサーを高圧電極12より外側の誘電板11,11間に、接着部を避けて介在させている。これらのために、高圧電極12を誘電板11,11に埋め込みしていないにもかかわらず、誘電板11,11の接着に伴う反りが防止される。   Since the solventless adhesive 80 is a resin adhesive that does not contain a solvent, the solvent does not volatilize during solidification and shrinkage does not occur. In addition, a spacer having the same thickness as that of the high-voltage electrode 12 is interposed between the dielectric plates 11 and 11 outside the high-voltage electrode 12 while avoiding the bonding portion when bonding with the solventless adhesive 80. For these reasons, even though the high-voltage electrode 12 is not embedded in the dielectric plates 11 and 11, warpage due to adhesion of the dielectric plates 11 and 11 is prevented.

誘電体ユニット10以外の部分の構造は、前述のオゾン発生装置用放電セルと同じであり、同一部分については同一番号を付与することにより、説明を省略する。   The structure of parts other than the dielectric unit 10 is the same as that of the discharge cell for an ozone generator described above, and the same parts are given the same numbers, and the description thereof is omitted.

本発明の一実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the discharge cell for ozone generator which shows one Embodiment of this invention. 同オゾン発生装置用放電セルの主要部の構造を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the structure of the principal part of the discharge cell for ozone generators. 本発明の別の実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの主要部の構造を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the structure of the principal part of the discharge cell for ozone generators which shows another embodiment of this invention. 従来のオゾン発生装置用放電セルの主要部の構造を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the structure of the principal part of the discharge cell for conventional ozone generators.

符号の説明Explanation of symbols

10 誘電体ユニット
11 誘電板
12 高圧電極(第1電極)
13 凹部
14 端子部
15 リブ
20 冷却体(接地電極,第2電極)
30 スペーサー
40 エンドプレート
50 トッププレート
60 ボトムプレート
70 放電空隙
80 無溶剤接着剤
10 Dielectric unit 11 Dielectric plate 12 High voltage electrode (first electrode)
13 Concave portion 14 Terminal portion 15 Rib 20 Cooling body (ground electrode, second electrode)
30 Spacer 40 End plate 50 Top plate 60 Bottom plate 70 Discharge gap 80 Solvent-free adhesive

Claims (7)

2枚の誘電板の間に第1電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、2枚の第2電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく、前記誘電体ユニットを2枚の第2電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、2枚の誘電板の間の第1電極板を埋め込み型とするべく、2枚の誘電板の各対向面の一方又は両方に第1電極が嵌合する凹部を設けたことを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。   There is a plate-type dielectric unit having a first electrode sandwiched between two dielectric plates, and the dielectric unit is divided into two in order to form a pair of discharge gaps between the two second electrode plates. In a plate-type discharge cell for an ozone generator disposed between two second electrode plates, one or both of the opposing surfaces of the two dielectric plates so that the first electrode plate between the two dielectric plates is embedded. A discharge cell for an ozone generator, characterized in that a recess into which the first electrode is fitted is provided. 各放電空隙にギャップ管理用のスペーサーを有しており、該スペーサーは、2枚の誘電板の各背面の、スペーサーの配置箇所を除く部分を除去することにより形成された一体形成型である請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。   Each discharge gap has a spacer for managing a gap, and the spacer is an integrally formed type formed by removing a portion of each of the back surfaces of the two dielectric plates excluding a portion where the spacer is disposed. Item 2. A discharge cell for an ozone generator according to Item 1. 一対の第2電極板は、その間に配置された剛性体スペーサーによりギャップ量が確定された空間を形成しており、且つ2枚の第2電極板との間に一対の放電空隙が形成されるように前記空間に前記誘電体ユニットを収容する請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。   The pair of second electrode plates forms a space in which the gap amount is determined by a rigid spacer disposed therebetween, and a pair of discharge gaps is formed between the two second electrode plates. The discharge cell for an ozone generator according to claim 1, wherein the dielectric unit is accommodated in the space. 2枚の誘電板の間に第1電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、2枚の第2電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく、前記誘電体ユニットを2枚の第2電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、第1電極の外側で2枚の誘電板同士を無溶剤接着剤により接着したことを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。   There is a plate-type dielectric unit having a first electrode sandwiched between two dielectric plates, and the dielectric unit is divided into two in order to form a pair of discharge gaps between the two second electrode plates. Discharge for an ozone generator characterized in that in a plate-type discharge cell for an ozone generator arranged between two second electrode plates, two dielectric plates are bonded to each other with a solventless adhesive outside the first electrode. cell. 2枚の誘電板の間に反り防止用のスペースを介在させるために、第1電極の外側の一部分で2枚の誘電板同士を部分的に接着したことを特徴とする請求項4に記載のオゾン発生装置用放電セル。   The ozone generation according to claim 4, wherein the two dielectric plates are partially bonded to each other at a portion outside the first electrode in order to interpose a warp preventing space between the two dielectric plates. Device discharge cell. 各放電空隙にギャップ管理用のスペーサーを有しており、該スペーサーは、2枚の誘電板の各背面の、スペーサーの配置箇所を除く部分を除去することにより形成された一体形成型である請求項4に記載のオゾン発生装置用放電セル。   Each discharge gap has a spacer for managing a gap, and the spacer is an integrally formed type formed by removing a portion of each of the back surfaces of the two dielectric plates excluding a portion where the spacer is disposed. Item 5. A discharge cell for an ozone generator according to Item 4. 一対の第2電極板は、その間に配置された剛性体スペーサーによりギャップ量が確定された空間を形成しており、且つ2枚の第2電極板との間に一対の放電空隙が形成されるように前記空間に前記誘電体ユニットを収容する請求項4に記載のオゾン発生装置用放電セル。   The pair of second electrode plates forms a space in which the gap amount is determined by a rigid spacer disposed therebetween, and a pair of discharge gaps is formed between the two second electrode plates. The discharge cell for an ozone generator according to claim 4, wherein the dielectric unit is accommodated in the space.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100833577B1 (en) 2007-03-27 2008-05-30 신영철 Ultra high concentration ozone generator of micro discharge gap type
WO2016129327A1 (en) * 2015-02-13 2016-08-18 株式会社村田製作所 Ozone generating device
CN111517283A (en) * 2019-02-01 2020-08-11 华贸中经环保科技(天津)有限公司 High-voltage electrode plate assembly for ozone generator

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55162410A (en) * 1979-06-04 1980-12-17 Hitachi Ltd Ozonizer
JPH0812304A (en) * 1994-04-28 1996-01-16 Mitsubishi Electric Corp Ozonizer
JPH09278408A (en) * 1996-04-15 1997-10-28 Yaskawa Electric Corp Ozone generator
JPH10245205A (en) * 1997-03-05 1998-09-14 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Discharging cell for ozone-generation apparatus
JP2001206705A (en) * 2000-01-24 2001-07-31 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc Ozonizer and manufacturing method thereof
JP2004224695A (en) * 1999-01-29 2004-08-12 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Discharge cell for ozone generator

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55162410A (en) * 1979-06-04 1980-12-17 Hitachi Ltd Ozonizer
JPH0812304A (en) * 1994-04-28 1996-01-16 Mitsubishi Electric Corp Ozonizer
JPH09278408A (en) * 1996-04-15 1997-10-28 Yaskawa Electric Corp Ozone generator
JPH10245205A (en) * 1997-03-05 1998-09-14 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Discharging cell for ozone-generation apparatus
JP2004224695A (en) * 1999-01-29 2004-08-12 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Discharge cell for ozone generator
JP2001206705A (en) * 2000-01-24 2001-07-31 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc Ozonizer and manufacturing method thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100833577B1 (en) 2007-03-27 2008-05-30 신영철 Ultra high concentration ozone generator of micro discharge gap type
WO2016129327A1 (en) * 2015-02-13 2016-08-18 株式会社村田製作所 Ozone generating device
JPWO2016129327A1 (en) * 2015-02-13 2017-08-31 株式会社村田製作所 Ozone generator
CN111517283A (en) * 2019-02-01 2020-08-11 华贸中经环保科技(天津)有限公司 High-voltage electrode plate assembly for ozone generator

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