JP2007081203A - Area sensor, image input device, and electrophotographic device and the like in which same is incorporated - Google Patents

Area sensor, image input device, and electrophotographic device and the like in which same is incorporated Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an an area sensor which does not decrease in S/N and is thin and compact although a light emitting element is used not to depend upon external light, and makes it possible to constitute a flexible image input device upon occasion. <P>SOLUTION: The area sensor has light emitting pixels and light receiving pixels arrange din two dimensions. The light emitting pixels formed by stacking light emitting elements and thin film transistors and the light receiving elements formed by stacking photoelectric converting elements and thin film transistors are arranged in a plane. The light emitting elements, photoelectric converting elements, thin film transistors, etc., are formed of organic materials, and a substrate is made of a flexible material, so that the area sensor can be made flexible. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、エリアセンサに関し、特に、受光画素と発光画素とが2次元的に配置されているエリアセンサに関する。そして、本発明は、そのようなエリアセンサを用いた画像入力装置に関し、特に、フレキシブルで薄型とすることができる画像入力装置に関する。また、そのような画像入力装置を組み込んだ電子写真装置等に関する。   The present invention relates to an area sensor, and more particularly to an area sensor in which light receiving pixels and light emitting pixels are two-dimensionally arranged. The present invention relates to an image input apparatus using such an area sensor, and more particularly to an image input apparatus that can be made flexible and thin. The present invention also relates to an electrophotographic apparatus incorporating such an image input apparatus.

原稿や写真を読み取る従来の画像入力装置は、発光部から原稿に光を照射しその反射光を受光部で読み取るものであるが、その受光部が1次元のリニアセンサであるために、原稿の読み取りには発光部と受光部を含む読み取りヘッドを機械的に走査させる必要があった。そのため、読み取り時間が多くかかるという問題や、曲面をもつような非平面の原稿を読み取りにくいという課題を抱えていた。   A conventional image input device that reads a document or a photograph irradiates the document with light from a light emitting unit and reads the reflected light by a light receiving unit. Since the light receiving unit is a one-dimensional linear sensor, For reading, it was necessary to mechanically scan a reading head including a light emitting portion and a light receiving portion. For this reason, there are problems that it takes a long time to read and that it is difficult to read a non-planar document having a curved surface.

これに対して、読み取りのために受光部を走査せずに済むよう、受光部を2次元の面状としたエリアセンサも研究されている。
例えば、特許文献1では、面状発光のバックライトを使用し、エリアセンサの各素子間に形成された開口部を通して光を原稿に当て、返ってくる光をa−Si等を用いたアクティブマトリクス型のエリアセンサで読み取っている。
また、特許文献2では、有機光電変換素子(受光部)と有機EL等(発光部)を積層し、発光部の光を受光素子を透過して原稿に照射し、その反射光を各受光素子で受光している。
一方、非特許文献1では、有機トランジスタマトリックスと有機光センサを集積化することで、フレキシブルなシート型イメージスキャナの作製に成功している。ただし、光は外光を用い、シートの開口部を透過して原稿から返ってくる光を、シート上の有機光センサで受光し、有機トランジスタで読み出している。
On the other hand, an area sensor having a two-dimensional planar light receiving portion has been studied so that the light receiving portion need not be scanned for reading.
For example, in Patent Document 1, an active matrix using a planar light-emitting backlight, applying light to an original through openings formed between each element of an area sensor, and returning light using a-Si or the like. It is read by a mold area sensor.
In Patent Document 2, an organic photoelectric conversion element (light receiving part) and an organic EL (light emitting part) are stacked, light from the light emitting part is transmitted through the light receiving element to irradiate the original, and the reflected light is applied to each light receiving element. It is receiving light.
On the other hand, in Non-Patent Document 1, a flexible sheet-type image scanner has been successfully produced by integrating an organic transistor matrix and an organic photosensor. However, outside light is used as light, and light returned from the original through the opening of the sheet is received by the organic light sensor on the sheet and read by the organic transistor.

特開2004−47618号公報JP 2004-47618 A 特開2004−260798号公報JP 2004-260798 A 信学技報 Vol.104 No.688 P.19「有機トランジスタと有機光センサの集積化 −シート型スキャナへの応用−」IEICE Technical Report Vol. 104 No. 688 P.I. 19 "Integration of organic transistors and organic photosensors-Application to sheet-type scanners"

特許文献1では、バックライトを使用してエリアセンサの各素子間に形成された開口部を通して光照射をしているため、薄型にすることは難しく、またフレキシブル基板上へ作製することは困難であると考えられる。
また、特許文献2では、有機の受光素子と発光部を積層し、受光素子を透過して発光部からの光を原稿に照射しているが、これでは受光素子は受光されるべき光を一旦通すので、原稿からの反射光に対する受光素子のS/N比が低く、低感度なものとなってしまうと考えられる。
また、非特許文献1では、フレキシブルスキャナを作製できたが、外光により露光を行っているため、安定した画像読み取りは困難である。
In Patent Document 1, since light is irradiated through an opening formed between each element of an area sensor using a backlight, it is difficult to make it thin and difficult to fabricate on a flexible substrate. It is believed that there is.
Further, in Patent Document 2, an organic light receiving element and a light emitting part are stacked, and the original is irradiated with light from the light emitting part through the light receiving element. Therefore, it is considered that the S / N ratio of the light receiving element with respect to the reflected light from the document is low and the sensitivity is low.
In Non-Patent Document 1, a flexible scanner can be manufactured. However, since exposure is performed by external light, stable image reading is difficult.

したがって、本発明の目的は、外光に頼らずに発光素子も使用しながら、S/N比が低下せず、しかも薄型コンパクトで場合によりフレキシブルな画像入力装置とすることができるエリアセンサを提供することである。   Therefore, an object of the present invention is to provide an area sensor that can be used as a thin and compact image input device that does not decrease the S / N ratio while using a light emitting element without relying on outside light, and that is thin and compact. It is to be.

本発明者は、光電変換素子と発光素子を2次元状に平面配置したエリアセンサとすることにより、S/N比を低下させず、またバックライトも必要がなくなるため、非常に薄型でコンパクトでしかも高感度な画像入力装置を提供することが可能となることを見出し、本発明に想到した。また、本発明において、光電変換素子と発光素子とそれらを駆動するトランジスタに有機半導体を用いることにより、フレキシブル基板上に読み取りヘッドを作製することが可能となり、曲面原稿の入力も容易になる。
すなわち、本発明は、下記の手段によって達成された。
The present inventor makes the photoelectric conversion element and the light emitting element two-dimensionally arranged in an area sensor, so that the S / N ratio is not lowered and the backlight is not necessary. In addition, the inventors have found that it is possible to provide a highly sensitive image input device and have arrived at the present invention. In the present invention, by using an organic semiconductor for a photoelectric conversion element, a light emitting element, and a transistor for driving the photoelectric conversion element, a read head can be manufactured on a flexible substrate, and a curved document can be easily input.
That is, the present invention has been achieved by the following means.

〔1〕
発光素子を含む発光画素と、光電変換素子を含む受光画素とが、2次元的に配置されていることを特徴とするエリアセンサ。
〔2〕
発光素子と薄膜トランジスタとを積層してなる発光画素と、光電変換素子と薄膜トランジスタとを積層してなる受光画素とが、2次元的に配置されていることを特徴とするエリアセンサ。
〔3〕
有機発光素子と薄膜トランジスタとを積層してなる発光画素と、有機光電変換素子と薄膜トランジスタとを積層してなる受光画素とが、2次元的に配置されていることを特徴とするエリアセンサ。
〔4〕
前記薄膜トランジスタに有機半導体を用いていることを特徴とする〔2〕または〔3〕に記載のエリアセンサ。
〔5〕
前記発光素子と光電変換素子の間に遮光壁を形成することを特徴とする〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔6〕
前記各発光画素が白色発光であり、前記各受光画素が赤色光、緑色光、青色光のいずれかに感受性、もしくはイエロー色光、マゼンタ色光、シアン色光のいずれかに感受性であることを特徴とする〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔7〕
前記各発光画素が赤色発光、緑色発光、青色発光のいずれか、もしくはイエロー色発光、マゼンタ色発光、シアン色発光のいずれかであり、前記各受光画素が汎色感受性であることを特徴とする〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔8〕
前記各発光画素が白色発光、前記各受光画素が汎色感受性であり、各受光画素上に、赤色、緑色、青色フィルタのいずれか、もしくはイエロー色、マゼンタ色、シアン色フィルタのいずれかの、カラーフィルタを配置してあることを特徴とする〔1〕〜〔7〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔9〕
前記各発光画素が白色発光、前記各受光画素が汎色感受性であり、各発光画素上に、赤色、緑色、青色フィルタのいずれか、もしくはイエロー色、マゼンタ色、シアン色フィルタのいずれかの、カラーフィルタを配置してあることを特徴とする〔1〕〜〔8〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔10〕
前記各発光画素の列と各受光画素の列とが交互に並んでいることを特徴とする〔1〕〜〔9〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔11〕
前記各白色発光画素と、前記赤色光、緑色光、青色光のいずれかに感受性、もしくはイエロー色光、マゼンタ色光、シアン色光のいずれかに感受性の各受光画素とがベイヤー配列であることを特徴とする〔1〕〜〔10〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔12〕
前記各画素が、基板上に配置されていることを特徴とする〔1〕〜〔11〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔13〕
前記各画素の前記基板側に遮光層が配置されていることを特徴とする〔1〕〜〔12〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
〔14〕
前記基板がフレキシブル基板であることを特徴とする〔1〕〜〔13〕のいずれかに記載のエリアセンサ。
[1]
An area sensor, wherein a light emitting pixel including a light emitting element and a light receiving pixel including a photoelectric conversion element are two-dimensionally arranged.
[2]
An area sensor, wherein a light emitting pixel formed by stacking a light emitting element and a thin film transistor and a light receiving pixel formed by stacking a photoelectric conversion element and a thin film transistor are two-dimensionally arranged.
[3]
An area sensor, wherein a light emitting pixel formed by stacking an organic light emitting element and a thin film transistor and a light receiving pixel formed by stacking an organic photoelectric conversion element and a thin film transistor are two-dimensionally arranged.
[4]
The area sensor according to [2] or [3], wherein an organic semiconductor is used for the thin film transistor.
[5]
The area sensor according to any one of [1] to [4], wherein a light shielding wall is formed between the light emitting element and the photoelectric conversion element.
[6]
Each of the light emitting pixels emits white light, and each of the light receiving pixels is sensitive to any of red light, green light, and blue light, or sensitive to any of yellow light, magenta light, and cyan light. The area sensor according to any one of [1] to [5].
[7]
Each of the light emitting pixels is one of red light emission, green light emission, and blue light emission, or one of yellow light emission, magenta light emission, and cyan light emission, and each of the light receiving pixels is panchromatic. [1] The area sensor according to any one of [6].
[8]
Each of the light emitting pixels emits white light, and each of the light receiving pixels is panchromatic, and on each light receiving pixel, either a red, green, or blue filter, or a yellow, magenta, or cyan filter, The area sensor according to any one of [1] to [7], wherein a color filter is disposed.
[9]
Each of the light emitting pixels emits white light, each of the light receiving pixels is panchromatic, and on each light emitting pixel, either a red, green, or blue filter, or a yellow, magenta, or cyan filter, The area sensor according to any one of [1] to [8], wherein a color filter is disposed.
[10]
The area sensor according to any one of [1] to [9], wherein the columns of the light emitting pixels and the columns of the light receiving pixels are alternately arranged.
[11]
Each of the white light emitting pixels and each of the light receiving pixels sensitive to any of red light, green light, and blue light, or sensitive to any of yellow light, magenta light, and cyan light are in a Bayer array. The area sensor according to any one of [1] to [10].
[12]
Each area pixel is arrange | positioned on a board | substrate, The area sensor in any one of [1]-[11] characterized by the above-mentioned.
[13]
The area sensor according to any one of [1] to [12], wherein a light shielding layer is disposed on the substrate side of each pixel.
[14]
The area sensor according to any one of [1] to [13], wherein the substrate is a flexible substrate.

〔15〕
〔1〕〜〔14〕のいずれかに記載のエリアセンサと、前記各発光画素のを発光させて露光を行うための露光制御装置と、前記各受光画素から信号を読み出す読み出し装置と、それらを制御する制御手段とを有することを特徴とする画像入力装置。
〔16〕
〔2〕〜〔14〕のいずれかに記載されたエリアセンサと、前記各発光画素の各薄膜トランジスタに接続され各発光素子を発光させて露光を行うための露光制御装置と、前記各受光画素の各薄膜トランジスタに接続され該薄膜トランジスタを駆動する受光制御装置と、該受光画素の各薄膜トランジスタに接続され各光電変換素子から信号を読み出す読み出し装置と、それらを制御する制御手段とを有することを特徴とする画像入力装置。
〔17〕
〔15〕または〔16〕の画像入力装置を組み込んだことを特徴とする電子写真装置。
〔18〕
〔15〕または〔16〕の画像入力装置を組み込んだことを特徴とするホワイトボード。
〔19〕
〔15〕または〔16〕の画像入力装置を組み込んだことを特徴とする携帯電話。
〔20〕
〔15〕または〔16〕の画像入力装置を組み込んだことを特徴とする下敷き。
〔21〕
〔15〕または〔16〕の画像入力装置を組み込んだことを特徴とするメモノート。
[15]
The area sensor according to any one of [1] to [14], an exposure control device for performing exposure by causing each of the light emitting pixels to emit light, a reading device for reading a signal from each of the light receiving pixels, and An image input apparatus comprising: control means for controlling.
[16]
[2] to [14], the area control device according to any one of the above, an exposure control device connected to each thin film transistor of each light emitting pixel to emit light from each light emitting element, and each of the light receiving pixels. A light receiving control device connected to each thin film transistor to drive the thin film transistor, a reading device connected to each thin film transistor of the light receiving pixel to read a signal from each photoelectric conversion element, and a control means for controlling them Image input device.
[17]
An electrophotographic apparatus comprising the image input device according to [15] or [16].
[18]
A whiteboard comprising the image input device according to [15] or [16].
[19]
A cellular phone comprising the image input device according to [15] or [16].
[20]
An underlay comprising the image input device according to [15] or [16].
[21]
[15] A memo note comprising the image input device according to [16].

発光画素と受光画素を2次元状に配置したエリアセンサとすることにより、S/N比を低下させず、またバックライトも必要がなくなるため、薄型でコンパクトでしかも高感度な画像入力装置を提供することが可能となる。また、光電変換素子と発光素子とそれらを駆動するトランジスタに有機半導体を用いることにより、フレキシブル基板上に読み取りヘッドを作製することが可能となり、曲面をもつような原稿の入力も容易になる。   By providing an area sensor with two-dimensionally arranged light-emitting pixels and light-receiving pixels, the S / N ratio is not reduced, and no backlight is required, providing a thin, compact and highly sensitive image input device. It becomes possible to do. Further, by using an organic semiconductor for a photoelectric conversion element, a light emitting element, and a transistor for driving the photoelectric conversion element, a reading head can be manufactured over a flexible substrate, and a document having a curved surface can be easily input.

以下、本発明のエリアセンサについて、図面に基づいて説明するが、本発明はこの説明により限定されない。
図1には、本発明のエリアセンサの好適な実施の形態についての断面図が示されている。また、図2〜10には、本発明のエリアセンサにおける、発光画素と受光画素を2次元的に配置する仕方の例が、示されている。
Hereinafter, the area sensor of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to this description.
FIG. 1 shows a cross-sectional view of a preferred embodiment of the area sensor of the present invention. FIGS. 2 to 10 show examples of how the light emitting pixels and the light receiving pixels are two-dimensionally arranged in the area sensor of the present invention.

本発明のエリアセンサは、発光素子110を含む発光画素100と、光電変換素子210を含む受光画素200とが、2次元的に配置されていることを特徴としている。
すなわち、発光素子110を含む発光画素100と、光電変換素子210を含む受光画素200とが、隣り合う等、近接して、平面状に配置されている。
本発明のエリアセンサは、発光素子110を含む発光画素100と光電変換素子210を含む受光画素200とが2次元的に配置されていることから、エリアセンサの発光画素100の発光素子110から発光された光は、開口部を通過したり、受光部を透過したりすることなく、原稿0に直接照射され、原稿0から反射されて返ってくる光を、近接した受光画素200の光電変換素子210で受光している。
The area sensor of the present invention is characterized in that a light emitting pixel 100 including a light emitting element 110 and a light receiving pixel 200 including a photoelectric conversion element 210 are two-dimensionally arranged.
That is, the light-emitting pixel 100 including the light-emitting element 110 and the light-receiving pixel 200 including the photoelectric conversion element 210 are arranged adjacent to each other, for example, in a planar shape.
In the area sensor of the present invention, the light-emitting pixel 100 including the light-emitting element 110 and the light-receiving pixel 200 including the photoelectric conversion element 210 are two-dimensionally arranged, so that light is emitted from the light-emitting element 110 of the light-emitting pixel 100 of the area sensor. The received light is directly irradiated on the document 0 without passing through the opening or passing through the light receiving unit, and the light reflected and returned from the document 0 is converted into the photoelectric conversion element of the adjacent light receiving pixel 200. Light is received at 210.

図1に示されたエリアセンサでは、発光素子110と薄膜トランジスタ120とを積層して発光画素100を構成しており、また、光電変換素子210と薄膜トランジスタ220とを積層して受光画素200を構成している。   In the area sensor shown in FIG. 1, a light emitting pixel 100 is configured by stacking a light emitting element 110 and a thin film transistor 120, and a light receiving pixel 200 is configured by stacking a photoelectric conversion element 210 and a thin film transistor 220. ing.

発光素子110は、無機材料、有機材料どちらにより構成されてもよいが、フレキシブルなエリアセンサとするには、有機材料からなる発光素子であることが好ましい。
また、光電変換素子210も、無機材料、有機材料どちらにより構成されてもよいが、フレキシブルなエリアセンサとするには、有機材料からなる光電変換素子であることが好ましい。
The light emitting element 110 may be composed of either an inorganic material or an organic material, but is preferably a light emitting element made of an organic material for a flexible area sensor.
The photoelectric conversion element 210 may also be composed of either an inorganic material or an organic material. However, in order to obtain a flexible area sensor, the photoelectric conversion element 210 is preferably a photoelectric conversion element made of an organic material.

また、薄膜トランジスタ12、22についても、無機材料、有機材料どちらにより構成されてもよいが、フレキシブルなエリアセンサとするには、有機材料からなる薄膜トランジスタであることが好ましい。   The thin film transistors 12 and 22 may be made of either an inorganic material or an organic material. However, in order to obtain a flexible area sensor, the thin film transistor made of an organic material is preferable.

発光画素100の発光素子110は、例えば、画素電極11、電子注入層、発光層13、正孔輸送層と、共通の対向電極15から構成される。また、受光画素200の光電変換素子210は、例えば、画素電極11、正孔ブロッキング層、光電変換層14、電子ブロッキング層と、共通の対向電極15から構成される。発光素子110と光電変換素子210の間には、光が直接あたらないように、遮光壁12を形成する。遮光壁12の壁の角度、絞込み等を調整すること等で、遠くの画素への影響(信号混入)を少なくすることも可能である   The light emitting element 110 of the light emitting pixel 100 includes, for example, a pixel electrode 11, an electron injection layer, a light emitting layer 13, a hole transport layer, and a common counter electrode 15. In addition, the photoelectric conversion element 210 of the light receiving pixel 200 includes, for example, the pixel electrode 11, the hole blocking layer, the photoelectric conversion layer 14, the electron blocking layer, and the common counter electrode 15. A light shielding wall 12 is formed between the light emitting element 110 and the photoelectric conversion element 210 so that light is not directly applied. It is also possible to reduce the influence (signal mixing) on distant pixels by adjusting the angle of the light shielding wall 12, narrowing, etc.

本発明のエリアセンサと、各発光画素の発光素子を発光させて露光を行うための露光制御装置と、各受光画素から信号を読み出す読み出し装置と、それらを制御する制御手段とで、画像入力装置を構成する。   An image input device comprising the area sensor of the present invention, an exposure control device for performing exposure by emitting light from the light emitting element of each light emitting pixel, a reading device for reading a signal from each light receiving pixel, and a control means for controlling them. Configure.

発光画素100では、発光素子110に薄膜トランジスタ120が積層されており、発光素子110の画素電極11が、薄膜トランジスタ120のソース電極8に接続している。一方、薄膜トランジスタ120のゲート電極6には各発光画素100の発光素子110を発光させて露光を行うための露光制御装置が接続されている。
また、受光画素200では、光電変換素子210に薄膜トランジスタ220が積層されており、光電変換素子210の画素電極が、薄膜トランジスタ220のドレイン電極9に接続している。一方、薄膜トランジスタ220のゲート電極6には薄膜トランジスタ220を駆動する受光制御装置が接続され、薄膜トランジスタ220のソース電極8には各光電変換素子210から信号を読み出す読み出し装置が接続されている。
そして、それらを制御する制御手段を有することで、画像入力装置として作動する。
例えば、全面の発光画素100を発光させて露光するかわりに、各受光画素200の読み取る順序に応じてその近傍の各発光画素100を順次発光させて露光するような制御をすることができる。そのように制御することにより、全面発光させる場合に比べて、信号混入を大幅に減らすことができる。
In the light emitting pixel 100, the thin film transistor 120 is stacked on the light emitting element 110, and the pixel electrode 11 of the light emitting element 110 is connected to the source electrode 8 of the thin film transistor 120. On the other hand, the gate electrode 6 of the thin film transistor 120 is connected to an exposure control device for performing exposure by causing the light emitting element 110 of each light emitting pixel 100 to emit light.
In the light receiving pixel 200, the thin film transistor 220 is stacked on the photoelectric conversion element 210, and the pixel electrode of the photoelectric conversion element 210 is connected to the drain electrode 9 of the thin film transistor 220. On the other hand, a light receiving control device for driving the thin film transistor 220 is connected to the gate electrode 6 of the thin film transistor 220, and a reading device for reading a signal from each photoelectric conversion element 210 is connected to the source electrode 8 of the thin film transistor 220.
And it has a control means which controls them, and it operates as an image input device.
For example, instead of exposing the entire light emitting pixel 100 to emit light, it is possible to perform control such that each light emitting pixel 100 in the vicinity of the light emitting pixel 100 is sequentially emitted according to the reading order of each light receiving pixel 200 and exposed. By controlling in such a manner, signal mixing can be greatly reduced as compared with the case of emitting light entirely.

本発明のエリアセンサにおいて、各発光画素100と各受光画素200とを2次元的に配置する仕方としては、様々な配置方法が可能である。例えば、図2に示されているように、発光画素の列と受光画素の列とが交互に並んだ配置とすることができる。   In the area sensor of the present invention, various arrangement methods are possible as a method of arranging each light emitting pixel 100 and each light receiving pixel 200 two-dimensionally. For example, as shown in FIG. 2, the light emitting pixel columns and the light receiving pixel columns may be arranged alternately.

本発明のエリアセンサは、単色の画像を得るモノクロセンサとすることもできるし、また、2色以上の多色の画像を得るカラーセンサとすることもできる。
単色の画像を得るモノクロセンサの場合は、発光画素の発光素子が発光する(以下、簡単に「発光画素が発光する」という。)光の波長が、受光画素の光電変換素子が感受する(以下、簡単に「受光画素が感受する」という。)光の波長域と重なっていれば、適宜の組合せとすることができる。
また、白地に赤と黒等の2色の画像を得るための2色センサの場合は、例えば、各発光画素は白色発光であり、各受光画素は、赤色光に感受性のものと、すべての色光に感受する汎色感受性のものとが、交互に配置されているもので構成することができる。また、各受光画素を汎色感受性のものとし、各受光画素上に赤色フィルタを配置したものと配置しないものとを交互に並べて構成することもできる。
The area sensor of the present invention can be a monochrome sensor that obtains a single color image, or can be a color sensor that obtains a multicolor image of two or more colors.
In the case of a monochrome sensor that obtains a single color image, the light emitting element of the light emitting pixel emits light (hereinafter simply referred to as “light emitting pixel emits light”), and the photoelectric conversion element of the light receiving pixel senses the wavelength of light (hereinafter referred to as “light emitting pixel”). It is simply referred to as “the light-receiving pixel senses.”) An appropriate combination is possible as long as it overlaps the wavelength range of light.
Further, in the case of a two-color sensor for obtaining an image of two colors such as red and black on a white background, for example, each light emitting pixel emits white light, and each light receiving pixel is sensitive to red light, It can be constituted by those arranged alternately with those which are sensitive to the color light. In addition, each light receiving pixel may be pan-color sensitive, and a structure in which a red filter is disposed on each light receiving pixel and a structure in which no red filter is disposed may be alternately arranged.

一方、フルカラーの画像を得るためのセンサの場合には、各受光画素については、それぞれ、RGBないしCMY等の3原色に分光した情報を得ることが必要となる。発光画素側での発光の仕方と、受光画素側での色光感受性を適当に組み合わせることで、各発光画素・受光画素の1セットごとに3原色に分光した色光の情報を得ることができる。   On the other hand, in the case of a sensor for obtaining a full-color image, for each light receiving pixel, it is necessary to obtain information that is split into three primary colors such as RGB or CMY. By appropriately combining the light emission method on the light-emitting pixel side and the color light sensitivity on the light-receiving pixel side, it is possible to obtain information on the color light separated into the three primary colors for each set of light-emitting pixels and light-receiving pixels.

例えば、発光画素側を白色発光とし、受光画素側をRGBの3原色に感受性のものを交互に並べたものとすることで、RGB受光画素の1セットごとにRGBに分光した色光の情報が得られる。
具体的に、例えば、図2に示されているような発光画素の列と受光画素の列とが交互に並んだ配置とする場合を考える。
For example, by setting the light-emitting pixel side to emit white light and the light-receiving pixel side alternately arranged to be sensitive to the three primary colors of RGB, information on the color light separated into RGB is obtained for each set of RGB light-receiving pixels. It is done.
Specifically, for example, a case is considered where the light emitting pixel columns and the light receiving pixel columns are arranged alternately as shown in FIG.

図3に示されているように、各発光画素はすべて白色発光とし、各受光画素については、赤色光感受性受光画素R、緑色光感受性受光画素G、青色光感受性受光画素Bの順に並べて、エリアセンサを構成することができる。この場合近接した発光画素からの白色光は、原稿から反射されて、各受光画素R、G、Bで受光される。
白色発光画素3つと受光画素R、G、B1つずつの1セットについて簡略化して言うと、赤色原稿から反射されてきた赤色光については受光画素Rのみが感受性である。同様に、緑色原稿からの緑色光についてはGのみが、青色原稿からの青色光についてはBのみが感受性であり、イエロー色原稿からのイエロー色光についてはRとGが、マゼンタ色原稿からのマゼンタ色光についてはRとBが、シアン色原稿からのシアン色光についてはGとBが、感受し、白色原稿からの白色光についてはR,G,Bすべての受光画素が感受する。また、黒色原稿からは、光は返ってこないのでR,G,Bすべての受光画素が感受しない。このようにして、エリアセンサはすべての色光を分光して感受することができる。
なお、上記では受光画素を、赤色光感受性R、緑色光感受性G、青色光感受性Bとしたが、各受光画素自体は汎色感受性であり、各汎色感受性受光画素上に、赤色、緑色、青色のカラーフィルタを配置した構成としてもよい。(図11)
また、図面上では、発光画素1つと受光画素1つの大きさを同じにしたが、大きさを変えること、例えば、発光画素の大きさを受光画素の大きさに比べて小さく設計することも可能である。
As shown in FIG. 3, all the light emitting pixels emit white light, and each light receiving pixel is arranged in the order of a red light sensitive light receiving pixel R, a green light sensitive light receiving pixel G, and a blue light sensitive light receiving pixel B. A sensor can be constructed. In this case, white light from adjacent light emitting pixels is reflected from the original and received by each of the light receiving pixels R, G, and B.
To simplify the description of one set of three white light emitting pixels and one light receiving pixel R, G, B, only the light receiving pixel R is sensitive to red light reflected from the red document. Similarly, only G for green light from a green document, and only B for blue light from a blue document are sensitive, and R and G for yellow light from a yellow document are magenta from a magenta document. R and B are perceived for color light, G and B are perceived for cyan light from a cyan original, and all R, G, and B light sensing pixels are perceived for white light from a white original. Further, since no light is returned from the black original, all the light receiving pixels of R, G and B are not sensed. In this way, the area sensor can spectrally sense all color lights.
In the above description, the light receiving pixels are red light sensitive R, green light sensitive G, and blue light sensitive B. However, each light receiving pixel itself is panchromatic sensitive, and red, green, A blue color filter may be arranged. (Fig. 11)
In the drawing, the size of one light emitting pixel and one light receiving pixel are the same, but it is possible to change the size, for example, to design the size of the light emitting pixel smaller than the size of the light receiving pixel. It is.

また、図4に示されているように、各発光画素はすべて白色発光とし、各受光画素については、イエロー色光感受性受光画素Y、マゼンタ色光感受性受光画素M、シアン色光感受性受光画素Cの順に並べて、エリアセンサを構成することもできる。
この場合も、各受光画素自体は汎色感受性であり、各汎色感受性受光画素上に、イエロー色Y、マゼンタ色Y、シアン色Cのカラーフィルタを配置した構成としてもよい。
Further, as shown in FIG. 4, each light emitting pixel emits white light, and each light receiving pixel is arranged in the order of yellow light sensitive light receiving pixel Y, magenta light sensitive light receiving pixel M, cyan light sensitive light receiving pixel C. An area sensor can also be configured.
Also in this case, each light receiving pixel itself is pan-color sensitive, and a color filter of yellow color Y, magenta color Y, and cyan color C may be arranged on each pan-color sensitive light receiving pixel.

これまでは、発光画素はすべて白色発光としたが、各発光画素について、赤色発光、緑色発光、青色発光のいずれかとし、各受光画素はすべて汎色感受性として、エリアセンサを構成することもできる。
具体的には、例えば、図5に示されているように、各発光画素については、赤色発光画素R、緑色発光画素G、青色発光画素Bの順に並べ、各受光画素はすべて汎色感受性として、エリアセンサを構成することができる。この場合近接した発光画素からの各色光は、原稿から反射されて、汎色感受性の各受光画素で受光される。
発光画素R、G、B1つずつと汎色感受性受光画素3つの1セットについて簡略化して言うと、赤色発光画素Rからの赤色光は赤色原稿やイエロー色原稿やマゼンタ色原稿で反射されて汎色感受性の受光画素で感受される。同様に、緑色発光画素Gからの緑色光は緑色原稿やイエロー色原稿やシアン色原稿で反射されて汎色感受性の受光画素で感受される。また、青色発光画素Bからの青色光は青色原稿やマゼンタ色原稿やシアン色原稿で反射されて汎色感受性の受光画素で感受される。そこで、例えば赤色発光画素R、緑色発光画素G、青色発光画素Bの発光時間をそれぞれずらして発光させれば、エリアセンサはすべての色光を分光して感受することができる。
なお、上記では発光画素を、赤色発光R、緑色発光G、青色発光Bとしたが、各発光画素自体は白色発光であり、各白色発光画素上に、赤色R、緑色G、青色Bのカラーフィルタを配置した構成としてもよい。(図12)
Until now, all the light-emitting pixels are white light emission, but each light-emitting pixel can be any of red light emission, green light emission, and blue light emission, and each light-receiving pixel can be configured as panchromatic sensitivity to constitute an area sensor. .
Specifically, for example, as shown in FIG. 5, for each light-emitting pixel, the red light-emitting pixel R, the green light-emitting pixel G, and the blue light-emitting pixel B are arranged in this order. An area sensor can be configured. In this case, each color light from the adjacent light emitting pixels is reflected from the original and received by each panchromatic sensitive light receiving pixel.
In short, one set of each of the light emitting pixels R, G, and B and three sets of the pan-color sensitive light-receiving pixels, the red light from the red light-emitting pixel R is reflected by the red original, the yellow original, and the magenta original. Sensitive to color-sensitive light-receiving pixels. Similarly, the green light from the green light emitting pixel G is reflected by a green original, a yellow original, or a cyan original and is received by a panchromatic sensitive light receiving pixel. Further, the blue light from the blue light emitting pixel B is reflected by a blue original, a magenta original, or a cyan original and is received by a panchromatic sensitive light receiving pixel. Therefore, for example, if the light emission times of the red light emitting pixel R, the green light emitting pixel G, and the blue light emitting pixel B are shifted to emit light, the area sensor can spectrally sense all the color lights.
In the above description, the light emitting pixels are the red light emitting R, the green light emitting G, and the blue light emitting B. However, each light emitting pixel itself emits white light, and the color of red R, green G, and blue B is provided on each white light emitting pixel. It is good also as a structure which has arrange | positioned the filter. (Fig. 12)

また、図6に示されているように、各発光画素については、イエロー色発光画素Y、マゼンタ色発光画素M、シアン色発光画素Cの順に並べ、各受光画素はすべて汎色感受性として、エリアセンサを構成することもできる。
この場合も、各発光画素自体は白色発光であり、各白色発光画素上に、イエロー色Y、マゼンタ色M、シアン色Cのカラーフィルタを配置した構成としてもよい。
Further, as shown in FIG. 6, for each light emitting pixel, the yellow light emitting pixel Y, the magenta light emitting pixel M, and the cyan light emitting pixel C are arranged in this order. A sensor can also be constructed.
In this case as well, each light emitting pixel itself emits white light, and a yellow color Y, magenta color M, and cyan color C color filter may be arranged on each white light emitting pixel.

前述したように、本発明のエリアセンサにおいて、各発光画素と各受光画素とを2次元的に配置する仕方としては、様々な配置方法が可能である。これまでは、図2に示されているように、発光画素の列と受光画素の列とが交互に並んだ配置について説明したが、その他の配置方法、例えば、図7に示されているように、発光画素と受光画素とが市松模様に交互に並んだ配置とすることもできるし、また3原色の配置についても様々な配置方法が可能である。   As described above, in the area sensor of the present invention, various arrangement methods are possible as the two-dimensional arrangement of the light emitting pixels and the light receiving pixels. So far, as shown in FIG. 2, the arrangement in which the columns of light emitting pixels and the columns of light receiving pixels are alternately arranged has been described. However, other arrangement methods, for example, as shown in FIG. In addition, the light emitting pixels and the light receiving pixels can be arranged alternately in a checkered pattern, and various arrangement methods are possible for the arrangement of the three primary colors.

例えば、図8に示すように、発光画素1つと受光画素3つとをベイヤー配列とすることもできる。
図3では、白色発光画素3つと赤色光感受性受光画素R、緑色光感受性受光画素G、青色光感受性受光画素Bが1セットであったが、図9には、白色発光画素1つと赤色光感受性受光画素R、緑色光感受性受光画素G、青色光感受性受光画素Bが1セットでベイヤー配列としたものを、示している。
また、図10は、白色発光画素1つとイエロー色光感受性受光画素Y、マゼンタ色光感受性受光画素M、シアン色光感受性受光画素Cが1セットでベイヤー配列としたものである。
For example, as shown in FIG. 8, one light emitting pixel and three light receiving pixels may be arranged in a Bayer array.
In FIG. 3, one set of three white light emitting pixels, a red light sensitive light receiving pixel R, a green light sensitive light receiving pixel G, and a blue light sensitive light receiving pixel B is shown, but FIG. 9 shows one white light emitting pixel and a red light sensitive pixel. The light receiving pixel R, the green light sensitive light receiving pixel G, and the blue light sensitive light receiving pixel B are shown as one set in a Bayer array.
FIG. 10 shows a Bayer arrangement in which one white light emitting pixel, one yellow light sensitive light receiving pixel Y, magenta light sensitive light receiving pixel M, and one cyan light sensitive light receiving pixel C are arranged.

各発光画素100及び各受光画素200は、通常、基板3上に配置される。
基板3としては、機械的強度が充分なものであれば、ガラス、プラスチック、セラミック、金属、紙等、種々のものを用いることができる。透明な素材でも、不透明な素材でも良い。
ガラス、プラスチック等のように、基板3が透明な場合は、基板3側からの光を遮るために、各画素1,2の基板3側に遮光層4を設けることが好ましい。遮光層の素材は、光を充分に遮ることができる素材であればよい。図1では遮光層4は各画素1,2と基板3との間に位置しているが、遮光層4を基板3の外側に設けても良い。
Each light emitting pixel 100 and each light receiving pixel 200 are normally disposed on the substrate 3.
As the substrate 3, various materials such as glass, plastic, ceramic, metal, and paper can be used as long as the mechanical strength is sufficient. It can be transparent or opaque.
When the substrate 3 is transparent, such as glass or plastic, it is preferable to provide a light shielding layer 4 on the substrate 3 side of each pixel 1 and 2 in order to block light from the substrate 3 side. The material of the light shielding layer may be any material that can sufficiently block light. In FIG. 1, the light shielding layer 4 is located between the pixels 1 and 2 and the substrate 3, but the light shielding layer 4 may be provided outside the substrate 3.

また、本発明のエリアセンサにおいては、基板3がフレキシブル基板であることが好ましい。各画素1,2もフレキシブルな素材で構成することで、例えば有機発光素子と有機光電変換素子、有機半導体を用いた薄膜トランジスタ等を用いることで、フレキシブルなエリアセンサとすることができる。したがって、フレキシブルな読み取りヘッドを作製することが可能となり、曲面をもつような原稿の形状に合わせることができるので、曲面原稿の入力が容易になる。   Moreover, in the area sensor of this invention, it is preferable that the board | substrate 3 is a flexible substrate. Each pixel 1 and 2 is also made of a flexible material. For example, by using an organic light emitting element, an organic photoelectric conversion element, a thin film transistor using an organic semiconductor, or the like, a flexible area sensor can be obtained. Therefore, it becomes possible to manufacture a flexible reading head and to match the shape of a document having a curved surface, so that it is easy to input a curved document.

以下、本発明のエリアセンサの各部材について、詳細に説明する。   Hereinafter, each member of the area sensor of the present invention will be described in detail.

〔基板 封止基板〕
本発明における基板は特に光が透過する必要はないが、プロセス中の熱安定性が高く、かつ可能な限り水分や酸素の透過率の低い基板がよい。可撓性が必要でなければ、ジルコニア安定化イットリウム(YSZ)、ガラス等の無機材料、または、亜鉛、アルミニウム、ステンレス、クロム、スズ、ニッケル、鉄、ニッケル銅などの金属板やセラミック板でもよい。可撓性が必要な場合には、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリブチレンフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステルやポリスチレン、ポリカ−ボネ−ト、ポリエ−テルスルホン、ポリアリレ−ト、ポリイミド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリ(クロロトリフルオロエチレン)等の有機材料が挙げられる。また不透明なプラスチック基板でもよい。上記の中では、特に耐熱性の点などにおいてポリカーボネートなどが好んで用いられる。有機材料の場合、耐熱性以外にも、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶縁性、及び加工性に優れていることが好ましい。上記のようなフレキシブル基板を用いることにより、ガラスや金属、セラミック基板を用いる場合に比べて軽量化を図ることができ、可搬性を高めることができかつ曲げ応力にも強いものにできる。プラスチック基板の厚さは20μmから500μmが適当である。
[Substrate sealing substrate]
The substrate in the present invention is not particularly required to transmit light, but a substrate having high thermal stability during the process and having a low moisture and oxygen permeability as much as possible is preferable. If flexibility is not required, it may be an inorganic material such as zirconia stabilized yttrium (YSZ) or glass, or a metal plate or ceramic plate such as zinc, aluminum, stainless steel, chromium, tin, nickel, iron or nickel copper. . When flexibility is required, polyesters such as polyethylene terephthalate, polybutylene phthalate, polyethylene naphthalate, polystyrene, polycarbonate, polyethersulfone, polyarylate, polyimide, Organic materials such as polycycloolefin, norbornene resin, and poly (chlorotrifluoroethylene) can be mentioned. An opaque plastic substrate may also be used. Among the above, polycarbonate and the like are preferably used particularly in terms of heat resistance. In the case of an organic material, it is preferable that in addition to heat resistance, it is excellent in dimensional stability, solvent resistance, electrical insulation, and workability. By using the flexible substrate as described above, the weight can be reduced as compared with the case of using a glass, metal, or ceramic substrate, the portability can be improved, and the bending stress can be increased. The thickness of the plastic substrate is suitably 20 μm to 500 μm.

封止基板は、発光層から放出した光や原稿で反射し受光層に入射する光を透過する必要があり、透明、もしくは半透明であることが好ましく、具体的には400nm〜700nmの可視光の波長領域において、少なくとも50パーセント以上、好ましくは70パーセント以上、より好ましくは90%以上の光透過率を有するものが好ましい。
封止基板としては、ガラス基板や、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルスルフォン、ポリフッ化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリアクリレート、非晶質ポリオレフィン、フッ素系樹脂等の可視光領域について透明度の高い材料を用いることができ、これらの材料をフィルム化した可撓性を有するフレキシブル基板であっても良い。
前記基板の形状、構造、大きさ等については、特に制限はなく、画像入力装置の用途、目的等に応じて適宜選択することができる。一般的には、前記形状としては、板状である。前記構造としては、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよく、また、単一部材で形成されていてもよいし、2種類以上の部材で形成されていてもよい。
The sealing substrate needs to transmit the light emitted from the light emitting layer or the light reflected by the original and incident on the light receiving layer, and is preferably transparent or translucent, specifically, visible light of 400 nm to 700 nm. In this wavelength region, those having a light transmittance of at least 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 90% or more are preferable.
As the sealing substrate, transparency of the visible light region such as glass substrate, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyether sulfone, polyvinyl fluoride, polypropylene, polyethylene, polyacrylate, amorphous polyolefin, fluorine resin, etc. High materials can be used, and a flexible substrate having flexibility obtained by forming these materials into a film may be used.
The shape, structure, size, etc. of the substrate are not particularly limited, and can be appropriately selected according to the use, purpose, etc. of the image input apparatus. Generally, the shape is a plate shape. The structure may be a single layer structure, a laminated structure, a single member, or two or more members.

〔遮光層〕
基板に光透過性のものを用いた場合は、受光画素への外光の進入を防ぐために、遮光層を用いる。これにより、外光の影響を受けず安定した画像読取が可能となる。遮光層としては、アルミニウム、クロム、スズ、インジウム、亜鉛、マグネシウム、モリブデン、タングステン、タンタル、ニッケル、チタン、合金などの金属や、カーボンブラックなどの遮光性のある不透明材料などを分散させた樹脂を用いてもよい。遮光層は、単層構造であっても良いし、多層構造であってもよい。
遮光層の形成方法としては、金属の場合は真空蒸着法や電子ビーム蒸着法、スパッタリング法などの気相成膜法を採用することができ、樹脂を用いる場合は、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、ロールコート法、バーコート法等の塗布法を用いることができる。
[Light shielding layer]
When a light-transmitting substrate is used, a light shielding layer is used in order to prevent external light from entering the light receiving pixels. Thus, stable image reading can be performed without being affected by external light. As the light shielding layer, a resin in which a metal such as aluminum, chromium, tin, indium, zinc, magnesium, molybdenum, tungsten, tantalum, nickel, titanium, or an alloy, or an opaque material such as carbon black is dispersed. It may be used. The light shielding layer may have a single layer structure or a multilayer structure.
As a method for forming the light shielding layer, a vapor deposition method such as a vacuum deposition method, an electron beam deposition method, or a sputtering method can be employed in the case of metal, and a spin coating method or a blade coating method can be employed when using a resin. Application methods such as a dip coating method, a roll coating method, and a bar coating method can be used.

〔保護層〕
導電性基板を用いた場合やアルミニウム等の導電性遮光層を用いた場合は、絶縁膜として第一保護層は必要である。また基板としてポリカーボネートなどの可撓性プラスチック基板などを用いた場合は、有機層や電極に水分・酸素が入り込むことによる素子性能の劣化を防止するために、透湿性の低い保護層が必要となる。
また、基板側からのみならず、素子側からの水分や酸素の浸入を防ぐために第二保護層も必要となる。第二保護層は発光層から放出した光や原稿で反射し受光層に入射する光を透過する必要があり、透明、もしくは半透明であることが好ましく、具体的には400nm〜700nmの可視光の波長領域において、少なくとも50パーセント以上、好ましくは70パーセント以上、より好ましくは90%以上の光透過率を有するものが好ましい。
[Protective layer]
When a conductive substrate is used or a conductive light shielding layer such as aluminum is used, the first protective layer is necessary as an insulating film. When a flexible plastic substrate such as polycarbonate is used as the substrate, a protective layer with low moisture permeability is required to prevent deterioration of device performance due to moisture and oxygen entering the organic layer and electrodes. .
In addition, a second protective layer is also required to prevent moisture and oxygen from entering from the element side as well as from the substrate side. The second protective layer needs to transmit the light emitted from the light emitting layer or the light reflected from the original and incident on the light receiving layer, and is preferably transparent or translucent, specifically, visible light of 400 nm to 700 nm. In this wavelength region, those having a light transmittance of at least 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 90% or more are preferable.

保護層の材料としては、酸化珪素、窒化珪素、酸化ゲルマニウム、窒化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化珪素、酸化炭化珪素、窒化炭化珪素、酸化窒化炭化珪素、酸化窒化ゲルマニウム、酸化炭化ゲルマニウム、窒化炭化ゲルマニウム、酸化窒化炭化ゲルマニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化炭化アルミニウム、窒化炭化アルミニウム、酸化窒化炭化アルミニウムやこれらの混合物などの無機物を用いることができる。また、バリア性と可撓性を両立させるため、これらの多層積層膜が用いられる場合もある。
この保護層の厚さは、特に限定されないが、1〜1000μm程度であることが好ましく、5〜500μm程度であることがより好ましい。
この保護層の形成方法としては、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、CVD法等を用いることができる。
As the material of the protective layer, silicon oxide, silicon nitride, germanium oxide, germanium nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, silicon oxynitride, silicon oxycarbide, silicon nitride carbide, silicon oxynitride carbide, germanium oxynitride, germanium oxycarbide, Inorganic substances such as germanium nitride carbide, germanium oxynitride carbide, aluminum oxynitride, aluminum oxide carbide, aluminum nitride carbide, aluminum oxynitride carbide, and mixtures thereof can be used. Further, in order to achieve both barrier properties and flexibility, these multilayer laminated films may be used.
The thickness of the protective layer is not particularly limited, but is preferably about 1 to 1000 μm, and more preferably about 5 to 500 μm.
As a method for forming this protective layer, a vacuum evaporation method, an electron beam evaporation method, a sputtering method, a CVD method, or the like can be used.

〔TFT〕
発光画素と受光画素をそれぞれ駆動制御するために必要な薄膜トランジスタには、公知の構造を用いることができ、例えばトップゲート型でもよいし、ボトムゲート型でもよいし、そのほかの型であってもよい。
[TFT]
A known structure can be used for the thin film transistor necessary for driving and controlling the light emitting pixel and the light receiving pixel, for example, a top gate type, a bottom gate type, or other types may be used. .

〔半導体層〕
可撓性を必要とせず、金属板やガラス板を基板とした場合は、多結晶シリコン、アモルファスシリコン等のシリコン、ゲルマニウム、ヒ素化ガリウム等の無機半導体を用いることができる。また基板としてポリカーボネートなどの可撓性プラスチック基板などを用いた場合は、低温成膜可能で可撓性、柔軟性をもち導電性を有する種々の縮合多環芳香族化合物や共役系化合物などの有機半導体を用いることができる。
具体的には、低分子有機半導体としては、ペンタセン、テトラセン、アントラセンに代表されるアセン系化合物、中心金属がCu、Zn、Co、Ni、Pb、Pt、Fe、Mg等の2価もしくは無金属フタロシアニン、アルミニウムクロロフタロシアニン、インジウムクロロフタロシアニン、ガリウムクロロフタロシアニン等のハロゲン原子が配位した3価金属のフタロシアニン、その他バアナジルフタロシアニン、チタニルフタロシアニン等の酸素が配位したフタロシアニン等に代表されるフタロシアニン系顔料、インジゴ、チオインジゴ系顔料、キナクリドン系顔料、ペリレンもしくはPTCDA、PTCDI、PTCBI.Me−PTCなどのペリレン系顔料、C60、C70、C76、C78、C84等フラーレン類、カーボンナノチューブ類、メロシアニン色素などの色素類などを用いることができる。
高分子有機半導体としては、ポリピロール、ポリ(N−置換ピロール)などのポリピロール類、ポリチオフェン、ポリ(3−置換チオフェン)などのポリチオフェン類、ポリアセチレン類、ポリビニルカルバゾール、ポリフエニレンスルフィド、ポリビニレンスルフィドなどのポリマーを用いることができる。
上記の材料は単体で用いてもよいし、樹脂などのバインダーに分散混合させて用いて用いることができる。
また、有機半導体の導電率を調整するために、ドナー性、もしくはアクセプター性の無機材料、無機化合物、有機化合物などのドーパントをドープしてもよい。
[Semiconductor layer]
In the case where a metal plate or a glass plate is used as a substrate without requiring flexibility, an inorganic semiconductor such as silicon such as polycrystalline silicon or amorphous silicon, germanium, or gallium arsenide can be used. When a flexible plastic substrate such as polycarbonate is used as the substrate, organic materials such as various condensed polycyclic aromatic compounds and conjugated compounds that can be formed at low temperature, have flexibility, flexibility, and conductivity. A semiconductor can be used.
Specifically, low molecular organic semiconductors include acene-based compounds represented by pentacene, tetracene, and anthracene, and divalent or metal-free metals such as Cu, Zn, Co, Ni, Pb, Pt, Fe, and Mg as central metals. Phthalocyanines such as phthalocyanines represented by trivalent metals coordinated with halogen atoms such as phthalocyanine, aluminum chlorophthalocyanine, indium chlorophthalocyanine, and gallium chlorophthalocyanine, and other phthalocyanines coordinated with oxygen such as baanadyl phthalocyanine and titanyl phthalocyanine Pigments, indigo, thioindigo pigments, quinacridone pigments, perylene or PTCDA, PTCDI, PTCBI. Perylene pigments such as Me-PTC, fullerenes such as C 60 , C 70 , C 76 , C 78 , and C 84 , dyes such as carbon nanotubes, and merocyanine dyes can be used.
Examples of polymer organic semiconductors include polypyrroles such as polypyrrole and poly (N-substituted pyrrole), polythiophenes such as polythiophene and poly (3-substituted thiophene), polyacetylenes, polyvinylcarbazole, polyphenylene sulfide, and polyvinylene sulfide. These polymers can be used.
The above materials may be used alone, or may be used by being dispersed and mixed in a binder such as a resin.
Further, in order to adjust the conductivity of the organic semiconductor, a dopant such as a donor-type or acceptor-type inorganic material, inorganic compound, or organic compound may be doped.

半導体層の形成方法としては、乾式成膜法あるいは湿式成膜法を用いることができる。乾式成膜法の具体的な例としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法,MBE法等の物理気相成長法あるいはプラズマ重合等のCVD法が挙げられる。湿式成膜法としては、キャスト法、スピンコート法、ディッピング法、LB法等の塗布法と用いることができる。また、インクジェット印刷やスクリーン印刷などの印刷法、熱転写やレーザー転写などの転写法を用いてもよい。パターニングは、フォトリソグラフィ−などによる化学的エッチングにより行ってもよいし、紫外線やレ−ザ−などによる物理的エッチングにより行ってもよいし、マスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法、印刷法、転写法により行ってもよい。
低分子を用いる場合は、乾式成膜法が好ましく用いられ、特に真空蒸着法が好ましく用いられる。真空蒸着法は抵抗加熱蒸着法、電子線加熱蒸着法等の化合物の加熱の方法、るつぼ、ボ−ト等の蒸着源の形状、真空度、蒸着温度、基盤温度、蒸着速度等が基本的なパラメ−タ−である。均一な蒸着を可能とするために基盤を回転させて蒸着することは好ましい。真空度は高い方が好ましく10-4Torr以下、好ましくは10-6Torr以下、特に好ましくは10-8Torr以下で真空蒸着が行われる。蒸着時のすべての工程は真空中で行われることが好ましく、基本的には化合物が直接、外気の酸素、水分と接触しないようにする。真空蒸着の上述した条件は有機膜の結晶性、アモルファス性、密度、緻密度等に影響するので厳密に制御する必要がある。水晶振動子、干渉計等の膜厚モニタ−を用いて蒸着速度をPIもしくはPID制御することは好ましく用いられる。2種以上の化合物を同時に蒸着する場合には共蒸着法、フラッシュ蒸着法等を好ましく用いることができる。
高分子を用いる場合は、作成の容易な湿式成膜法により成膜することが好ましい。蒸着等の乾式成膜法を用いた場合、高分子を用いることは分解のおそれがあるため難しく、代わりとしてそのオリゴマーを好ましく用いることができる。
半導体層の膜厚は、好ましくは、10nm以上1μm以下、さらに好ましくは30nm以上500nm以下、特に好ましくは50nm以上200nm以下である。
As a method for forming the semiconductor layer, a dry film formation method or a wet film formation method can be used. Specific examples of the dry film forming method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a physical vapor deposition method such as an MBE method, or a CVD method such as plasma polymerization. As the wet film formation method, a coating method such as a cast method, a spin coating method, a dipping method, or an LB method can be used. Further, a printing method such as ink jet printing or screen printing, or a transfer method such as thermal transfer or laser transfer may be used. Patterning may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching using ultraviolet rays, laser, or the like, or may be performed by vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. Alternatively, a lift-off method, a printing method, or a transfer method may be used.
When a low molecule is used, a dry film forming method is preferably used, and a vacuum deposition method is particularly preferably used. The vacuum deposition method is basically based on the method of heating compounds such as resistance heating deposition method and electron beam heating deposition method, shape of deposition source such as crucible and boat, degree of vacuum, deposition temperature, base temperature, deposition rate, etc. It is a parameter. In order to make uniform deposition possible, it is preferable to perform deposition by rotating the substrate. The degree of vacuum is preferably higher, and vacuum deposition is performed at 10 −4 Torr or less, preferably 10 −6 Torr or less, particularly preferably 10 −8 Torr or less. It is preferable that all steps during the vapor deposition are performed in a vacuum, and basically the compound is not directly in contact with oxygen and moisture in the outside air. The above-described conditions for vacuum deposition need to be strictly controlled because they affect the crystallinity, amorphousness, density, density, etc. of the organic film. It is preferable to use PI or PID control of the deposition rate using a film thickness monitor such as a quartz crystal resonator or an interferometer. When two or more kinds of compounds are vapor-deposited simultaneously, a co-evaporation method, a flash vapor deposition method, or the like can be preferably used.
In the case of using a polymer, it is preferable to form a film by a wet film forming method that is easy to prepare. When a dry film formation method such as vapor deposition is used, it is difficult to use a polymer because it may be decomposed, and an oligomer thereof can be preferably used instead.
The thickness of the semiconductor layer is preferably 10 nm to 1 μm, more preferably 30 nm to 500 nm, and particularly preferably 50 nm to 200 nm.

〔ゲート絶縁膜〕
比誘電率の高い無機酸化物や有機化合物を用いることができる。
無機酸化物としては、酸化珪素、窒化珪素、酸化ゲルマニウム、窒化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化珪素、酸化炭化珪素、窒化炭化珪素、酸化窒化炭化珪素、酸化窒化ゲルマニウム、酸化炭化ゲルマニウム、窒化炭化ゲルマニウム、酸化窒化炭化ゲルマニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化炭化アルミニウム、窒化炭化アルミニウム、酸化窒化炭化アルミニウムやこれらの混合物を用いることができる。
有機化合物としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることもできる。また、これらのポリマー微粒子に無機酸化物を被覆した粒子も用いることができる。
ゲート絶縁層の形成方法としては、乾式成膜法あるいは湿式成膜法を用いることができる。乾式成膜法の具体的な例としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法,MBE法等の物理気相成長法あるいはプラズマ重合等のCVD法が挙げられる。湿式成膜法としては、キャスト法、スピンコート法、ディッピング法、LB法等の塗布法と用いることができる。また、インクジェット印刷やスクリーン印刷などの印刷法、熱転写やレーザー転写などの転写法を用いてもよい。パターニングは、フォトリソグラフィ−などによる化学的エッチングにより行ってもよいし、紫外線やレ−ザ−などによる物理的エッチングにより行ってもよいしマスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法、印刷法、転写法により行ってもよい。
また、TFTの構造にも依るが、ゲート電極の表面をO2プラズマ処理や陽極酸化法などにより酸化する方法や、N2プラズマを用いて窒化する方法などによりゲート絶縁膜を作製することもできる。
ゲート絶縁膜の膜厚としては、50nm〜3μmが好ましく、より好ましくは、100nm〜1μmである。
[Gate insulation film]
An inorganic oxide or an organic compound having a high relative dielectric constant can be used.
Examples of inorganic oxides include silicon oxide, silicon nitride, germanium oxide, germanium nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, silicon oxynitride, silicon oxycarbide, silicon nitride carbide, silicon oxynitride carbide, germanium oxynitride, germanium oxycarbide, and nitride Germanium carbide, germanium oxynitride carbide, aluminum oxynitride, aluminum oxycarbide, aluminum nitride carbide, aluminum oxynitride carbide, and mixtures thereof can be used.
Examples of organic compounds include polyimides, polyamides, polyesters, polyacrylates, photo-curing resins based on radical photopolymerization, photocationic polymerization, or copolymers containing an acrylonitrile component, polyvinylphenol, polyvinyl alcohol, novolac resins, and cyanoethyl. Pullulan or the like can also be used. Further, particles obtained by coating these polymer fine particles with an inorganic oxide can also be used.
As a method for forming the gate insulating layer, a dry film formation method or a wet film formation method can be used. Specific examples of the dry film forming method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a physical vapor deposition method such as an MBE method, or a CVD method such as plasma polymerization. As the wet film formation method, a coating method such as a cast method, a spin coating method, a dipping method, or an LB method can be used. Further, a printing method such as ink jet printing or screen printing, or a transfer method such as thermal transfer or laser transfer may be used. Patterning may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching such as ultraviolet rays or laser, or may be performed by vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. Alternatively, a lift-off method, a printing method, or a transfer method may be used.
Further, although depending on the structure of the TFT, the gate insulating film can be formed by a method of oxidizing the surface of the gate electrode by O 2 plasma treatment or anodizing, a method of nitriding using N 2 plasma, or the like. .
The film thickness of the gate insulating film is preferably 50 nm to 3 μm, more preferably 100 nm to 1 μm.

〔ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極〕
導電性材料であれば特に限定されず、例えば白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、アルミニウム、亜鉛、マグネシウム、これらの金属の合金、インジウム・錫酸化物等の導電性金属酸化物、ドーピング等で導電率を向上させた無機及び有機半導体(シリコン単結晶、ポリシリコン、アモルファスシリコン、ゲルマニウム、グラファイト、ポリアセチレン、ポリパラフェニレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチエニレンビニレン、ポリパラフェニレンビニレン等)、これらの材料の複合体等が挙げられる。特にソース領域及びドレイン領域に用いる電極の材料は、上記の材料の中でも半導体層との接触面において電気抵抗が少ないものが好ましい。
[Gate electrode, source electrode, drain electrode]
It is not particularly limited as long as it is a conductive material. For example, platinum, gold, silver, nickel, chromium, copper, iron, tin, antimony lead, tantalum, indium, aluminum, zinc, magnesium, alloys of these metals, indium / tin Conductive metal oxides such as oxides, inorganic and organic semiconductors whose conductivity has been improved by doping (silicon single crystal, polysilicon, amorphous silicon, germanium, graphite, polyacetylene, polyparaphenylene, polythiophene, polypyrrole, polyaniline, Polythienylene vinylene, polyparaphenylene vinylene, etc.) and composites of these materials. In particular, the material of the electrode used for the source region and the drain region is preferably a material having low electrical resistance at the contact surface with the semiconductor layer among the above materials.

ゲート電極の形成方法としては、乾式成膜法あるいは湿式成膜法を用いることができる。乾式成膜法の具体的な例としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法,MBE法等の物理気相成長法あるいはプラズマ重合等のCVD法が挙げられる。湿式成膜法としては、キャスト法、スピンコート法、ディッピング法、LB法等の塗布法と用いることができる。また、インクジェット印刷やスクリーン印刷などの印刷法、熱転写やレーザー転写などの転写法を用いてもよい。パターニングは、フォトリソグラフィ−などによる化学的エッチングにより行ってもよいし、紫外線やレ−ザ−などによる物理的エッチングにより行ってもよいしマスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法、印刷法、転写法により行ってもよい。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の膜厚としては、好ましくは、10nm以上1μm以下、さらに好ましくは30nm以上500nm以下、特に好ましくは50nm以上200nm以下である。
As a method for forming the gate electrode, a dry film formation method or a wet film formation method can be used. Specific examples of the dry film forming method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a physical vapor deposition method such as an MBE method, or a CVD method such as plasma polymerization. As the wet film formation method, a coating method such as a cast method, a spin coating method, a dipping method, or an LB method can be used. Further, a printing method such as ink jet printing or screen printing, or a transfer method such as thermal transfer or laser transfer may be used. Patterning may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching such as ultraviolet rays or laser, or may be performed by vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. Alternatively, a lift-off method, a printing method, or a transfer method may be used.
The film thicknesses of the gate electrode, the source electrode, and the drain electrode are preferably 10 nm to 1 μm, more preferably 30 nm to 500 nm, and particularly preferably 50 nm to 200 nm.

〔層間絶縁膜〕
層間絶縁膜には、ゲート絶縁膜と同様な材料を用いることができ、比誘電率の高い無機酸化物や有機化合物が好ましい。
無機酸化物としては、酸化珪素、窒化珪素、酸化ゲルマニウム、窒化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化珪素、酸化炭化珪素、窒化炭化珪素、酸化窒化炭化珪素、酸化窒化ゲルマニウム、酸化炭化ゲルマニウム、窒化炭化ゲルマニウム、酸化窒化炭化ゲルマニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化炭化アルミニウム、窒化炭化アルミニウム、酸化窒化炭化アルミニウムやこれらの混合物を用いることができる。
有機化合物としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることもできる。また、これらのポリマー微粒子に無機酸化物を被覆した粒子も用いることができる。
[Interlayer insulation film]
For the interlayer insulating film, a material similar to that of the gate insulating film can be used, and an inorganic oxide or an organic compound having a high relative dielectric constant is preferable.
Examples of inorganic oxides include silicon oxide, silicon nitride, germanium oxide, germanium nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, silicon oxynitride, silicon oxycarbide, silicon nitride carbide, silicon oxynitride carbide, germanium oxynitride, germanium oxycarbide, and nitride Germanium carbide, germanium oxynitride carbide, aluminum oxynitride, aluminum oxycarbide, aluminum nitride carbide, aluminum oxynitride carbide, and mixtures thereof can be used.
Examples of organic compounds include polyimides, polyamides, polyesters, polyacrylates, photo-curing resins based on radical photopolymerization, photocationic polymerization, or copolymers containing an acrylonitrile component, polyvinylphenol, polyvinyl alcohol, novolac resins, and cyanoethyl. Pullulan or the like can also be used. Further, particles obtained by coating these polymer fine particles with an inorganic oxide can also be used.

層間絶縁層の形成方法としては、乾式成膜法あるいは湿式成膜法を用いることができる。乾式成膜法の具体的な例としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法,MBE法等の物理気相成長法あるいはプラズマ重合等のCVD法が挙げられる。湿式成膜法としては、キャスト法、スピンコート法、ディッピング法、LB法等の塗布法と用いることができる。また、インクジェット印刷やスクリーン印刷などの印刷法、熱転写やレーザー転写などの転写法を用いてもよい。パターニングは、フォトリソグラフィ−などによる化学的エッチングにより行ってもよいし、紫外線やレ−ザ−などによる物理的エッチングにより行ってもよいしマスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法、印刷法、転写法により行ってもよい。
層間絶縁膜の膜厚としては、50nm〜3μmが好ましく、より好ましくは、100nm〜1μmである。
As a method for forming the interlayer insulating layer, a dry film forming method or a wet film forming method can be used. Specific examples of the dry film forming method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a physical vapor deposition method such as an MBE method, or a CVD method such as plasma polymerization. As the wet film formation method, a coating method such as a cast method, a spin coating method, a dipping method, or an LB method can be used. Further, a printing method such as ink jet printing or screen printing, or a transfer method such as thermal transfer or laser transfer may be used. Patterning may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching such as ultraviolet rays or laser, or may be performed by vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. Alternatively, a lift-off method, a printing method, or a transfer method may be used.
The film thickness of the interlayer insulating film is preferably 50 nm to 3 μm, more preferably 100 nm to 1 μm.

〔受光部発光部画素電極 対向電極〕
受光部においては画素電極を陽極としてもよいし陰極としてもよい。陽極とする場合は、隣接する正孔輸送性光電変換膜または正孔輸送層または電子ブロッキング層から正孔を取り出すものであり、陰極とする場合は、隣接する電子輸送性光電変換層または電子輸送層または正孔ブロッキング層から電子を取り出すものである。
発光部においても画素電極を陽極としてもよいし陰極としてもよい。陽極とする場合は、隣接する正孔注入層、正孔輸送層などに正孔を注入するものであり、陰極とする場合は、隣接する電子注入層、電子輸送層などに電子を注入するものである。
受光部、発光部において画素電極は光利用効率を高めるために、反射率の高い材料を用いることが好ましい。また、受光部、発光部は同じ材料を使用することにより製造プロセスを簡略化することがきる。
対向電極には、受光部、発光部それぞれの画素電極と対極となる電極を設置する。対向電極は、光利用効率を高めるために、透明、もしくは半透明である必要があり、400nm〜700nmの可視光の波長領域において、少なくとも50パーセント以上、好ましくは70パーセント以上、より好ましくは90%以上の光透過率を有するものが好ましい。
(Light-receiving part Light-emitting part pixel electrode Counter electrode)
In the light receiving portion, the pixel electrode may be an anode or a cathode. When the anode is used, holes are taken out from the adjacent hole-transporting photoelectric conversion film or hole-transporting layer or electron blocking layer. When the anode is used as the anode, the adjacent electron-transporting photoelectric conversion layer or electron transport is used. Electrons are extracted from the layer or the hole blocking layer.
Also in the light emitting portion, the pixel electrode may be an anode or a cathode. In the case of an anode, holes are injected into the adjacent hole injection layer, hole transport layer, etc. In the case of a cathode, electrons are injected into the adjacent electron injection layer, electron transport layer, etc. It is.
In the light receiving portion and the light emitting portion, the pixel electrode is preferably made of a highly reflective material in order to increase the light use efficiency. Further, the manufacturing process can be simplified by using the same material for the light receiving portion and the light emitting portion.
The counter electrode is provided with electrodes serving as counter electrodes to the pixel electrodes of the light receiving unit and the light emitting unit. The counter electrode needs to be transparent or semi-transparent in order to increase the light utilization efficiency, and is at least 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 90% in the visible light wavelength region of 400 nm to 700 nm. What has the above light transmittance is preferable.

画素電極と対向電極の材料は、隣接する層との密着性や電子親和力、イオン化ポテンシャル、安定性等を考慮して選ばれ、金属、合金、金属酸化物、電気伝導性化合物、またはこれらの混合物などを用いることができる材料である。
これらの具体例として、陽極の材料としては、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウムスズ(ITO)等の導電性金属酸化物、あるいは金、銀、クロム、ニッケル等の金属、さらにこれらの金属と導電性金属酸化物との混合物または積層物、ヨウ化銅、硫化銅などの無機導電性物質、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールなどの有機導電性材料、シリコン化合物およびこれらとITOとの積層物などが挙げられ、好ましくは、導電性金属酸化物であり、特に、生産性、高導電性、透明性等の点からITO、IZOが好ましい。
陰極の材料としては、アルカリ金属(例えばLi、Na、K等)及びそのフッ化物または酸化物、アルカリ土類金属(例えばMg、Ca等)及びそのフッ化物または酸化物、金、銀、鉛、アルミニウム、ナトリウム−カリウム合金またはそれらの混合金属、リチウム−アルミニウム合金またはそれらの混合金属、マグネシウム−銀合金またはそれらの混合金属、インジウム、イッテリビウム等の希土類金属等が挙げられ、好ましくは仕事関数が4eV以下の材料であり、より好ましくはアルミニウム、銀、金またはそれらの混合金属等である。陰極は、上記化合物及び混合物の単層構造だけでなく、上記化合物及び混合物を含む積層構造を取ることもできる。例えば、アルミニウム/フッ化リチウム、アルミニウム/酸化リチウムの積層構造が挙げられる。また、二成分以上を同時に蒸着することもできる。さらに、複数の金属を同時に蒸着して合金電極を形成することも可能であり、あらかじめ調整した合金を蒸着させてもよい。
The material of the pixel electrode and the counter electrode is selected in consideration of adhesion between adjacent layers, electron affinity, ionization potential, stability, etc., and is a metal, alloy, metal oxide, electrically conductive compound, or a mixture thereof. It is a material that can be used.
As specific examples of these, the anode material may be a conductive metal oxide such as tin oxide, zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), or a metal such as gold, silver, chromium, nickel, or the like. Mixtures or laminates of metals and conductive metal oxides, inorganic conductive materials such as copper iodide and copper sulfide, organic conductive materials such as polyaniline, polythiophene and polypyrrole, silicon compounds and laminates of these with ITO, etc. Preferably, it is a conductive metal oxide, and ITO and IZO are particularly preferable in terms of productivity, high conductivity, transparency, and the like.
Examples of the cathode material include alkali metals (for example, Li, Na, K, etc.) and their fluorides or oxides, alkaline earth metals (for example, Mg, Ca, etc.) and their fluorides or oxides, gold, silver, lead, Aluminum, sodium-potassium alloy or mixed metal thereof, lithium-aluminum alloy or mixed metal thereof, magnesium-silver alloy or mixed metal thereof, rare earth metal such as indium, ytterbium, etc., preferably a work function of 4 eV The following materials are preferable, and aluminum, silver, gold, or mixed metals thereof are more preferable. The cathode can take not only a single layer structure of the compound and the mixture but also a laminated structure including the compound and the mixture. For example, a laminated structure of aluminum / lithium fluoride and aluminum / lithium oxide can be given. Two or more components can be vapor-deposited simultaneously. Furthermore, a plurality of metals can be vapor deposited at the same time to form an alloy electrode, and a previously prepared alloy may be vapor deposited.

画素電極の膜厚は材料により適宜選択可能であるが、通常10nm以上1μm以下の範囲のものが好ましく、より好ましくは30nm以上500nm以下であり、更に好ましくは50nm以上300nm以下である。
対向電極の膜厚は材料により適宜選択可能であるが、光透過率を高めるために可能な限り薄い方がよく、通常3nm以上500nm以下の範囲が好ましく、より好ましくは5nm以上300nm以下であり、更に好ましくは7nm以上100nm以下である。
陽極及び陰極のシート抵抗は低い方が好ましく、数百Ω/□以下が好ましい。
The film thickness of the pixel electrode can be appropriately selected depending on the material, but is usually preferably in the range of 10 nm to 1 μm, more preferably 30 nm to 500 nm, and still more preferably 50 nm to 300 nm.
The thickness of the counter electrode can be appropriately selected depending on the material, but is preferably as thin as possible in order to increase the light transmittance, and is usually preferably in the range of 3 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 300 nm, More preferably, it is 7 nm or more and 100 nm or less.
The sheet resistance of the anode and the cathode is preferably low, and is preferably several hundred Ω / □ or less.

電極の形成方法としては、乾式成膜法あるいは湿式成膜法を用いることができる。乾式成膜法の具体的な例としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法,MBE法等の物理気相成長法あるいはプラズマ重合等のCVD法が挙げられる。湿式成膜法としては、キャスト法、スピンコート法、ディッピング法、LB法等の塗布法と用いることができる。また、インクジェット印刷やスクリーン印刷などの印刷法、熱転写やレーザー転写などの転写法を用いてもよい。パターニングは、フォトリソグラフィ−などによる化学的エッチングにより行ってもよいし、紫外線やレ−ザ−などによる物理的エッチングにより行ってもよいしマスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法、印刷法、転写法により行ってもよい。
対向電極を形成する際は、直下の有機膜に対してダメージを与えないよう注意が必要である。例えばITOなどの透明電極を成膜する場合、プラズマフリーで作製することが好ましい。プラズマフリーで透明電極膜を作成することで、プラズマが基板に与える影響を少なくすることができ、光電変換特性を良好にすることができる。ここで、プラズマフリーとは、透明電極膜の成膜中にプラズマが発生しないか、またはプラズマ発生源から基体までの距離が2cm以上、好ましくは10cm以上、更に好ましくは20cm以上であり、基体に到達するプラズマが減ずるような状態を意味する。
透明電極膜の成膜中にプラズマが発生しない装置としては、例えば、電子線蒸着装置(EB蒸着装置)やパルスレーザー蒸着装置がある。EB蒸着装置またはパルスレーザー蒸着装置については、沢田豊監修「透明導電膜の新展開」(シーエムシー刊、1999年)、沢田豊監修「透明導電膜の新展開II」(シーエムシー刊、2002年)、日本学術振興会著「透明導電膜の技術」(オーム社、1999年)、及びそれらに付記されている参考文献等に記載されているような装置を用いることができる。プラズマ発生源から基体への距離が2cm以上であって基体へのプラズマの到達が減ずるような状態を実現できる装置(以下、プラズマフリーである成膜装置という)については、例えば、対向ターゲット式スパッタ装置やアークプラズマ蒸着法などが考えられ、それらについては沢田豊監修「透明導電膜の新展開」(シーエムシー刊、1999年)、沢田豊監修「透明導電膜の新展開II」(シーエムシー刊、2002年)、日本学術振興会著「透明導電膜の技術」(オーム社、1999年)、及びそれらに付記されている参考文献等に記載されているような装置を用いることができる。
As a method for forming the electrode, a dry film forming method or a wet film forming method can be used. Specific examples of the dry film forming method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a physical vapor deposition method such as an MBE method, or a CVD method such as plasma polymerization. As the wet film formation method, a coating method such as a cast method, a spin coating method, a dipping method, or an LB method can be used. Further, a printing method such as ink jet printing or screen printing, or a transfer method such as thermal transfer or laser transfer may be used. Patterning may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching such as ultraviolet rays or laser, or may be performed by vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. Alternatively, a lift-off method, a printing method, or a transfer method may be used.
When forming the counter electrode, care must be taken not to damage the organic film directly below. For example, when forming a transparent electrode such as ITO, it is preferable to produce it without plasma. By creating a transparent electrode film free from plasma, the influence of plasma on the substrate can be reduced, and the photoelectric conversion characteristics can be improved. Here, plasma free means that no plasma is generated during the formation of the transparent electrode film, or the distance from the plasma generation source to the substrate is 2 cm or more, preferably 10 cm or more, more preferably 20 cm or more. It means a state in which the plasma that reaches is reduced.
Examples of an apparatus that does not generate plasma during the formation of the transparent electrode film include an electron beam vapor deposition apparatus (EB vapor deposition apparatus) and a pulse laser vapor deposition apparatus. Regarding EB deposition equipment or pulsed laser deposition equipment, “Surveillance of Transparent Conductive Films” supervised by Yutaka Sawada (published by CMC, 1999), “New Development of Transparent Conductive Films II” supervised by Yutaka Sawada (published by CMC, 2002) ), "Transparent conductive film technology" by the Japan Society for the Promotion of Science (Ohm Co., 1999), and the references attached thereto, etc. can be used. For an apparatus that can realize a state in which the distance from the plasma generation source to the substrate is 2 cm or more and the arrival of plasma to the substrate is reduced (hereinafter referred to as a plasma-free film forming apparatus), for example, an opposed target sputtering Equipment, arc plasma deposition, etc. are considered, and these are supervised by Yutaka Sawada “New development of transparent conductive film” (published by CMC, 1999), and supervised by Yutaka Sawada “New development of transparent conductive film II” (published by CMC) 2002), “Transparent conductive film technology” (Ohm Co., 1999) by the Japan Society for the Promotion of Science, and references and the like attached thereto can be used.

〔受光部有機層 (有機受光層)〕
受光部の有機層は画素電極と対向電極に挟まれて設置され、その構成は、光電変換層のみでもよいし、電子ブロッキング層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔ブロッキング層、結晶化防止層、バッファ層、平滑化層などを積層してもよいし、これらの層を混合してもよい。受光層の具体的な構成(電極を含む)としては、陽極/電子ブロッキング層/光電変換層/正孔ブロッキング層/陰極、陽極/電子ブロッキング層/正孔輸送層/光電変換層/電子輸送層/正孔ブロッキング層/陰極、陽極/バッファ層/電子ブロッキング層/光電変換層/正孔ブロッキング層/陰極、陽極/電子ブロッキング層/光電変換層/正孔ブロッキング層/バッファ層/陰極、陽極/電子ブロッキング層/結晶化防止層/光電変換層/正孔ブロッキング層/陰極などが挙げられる。また、光電変換層、電子ブロッキング層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔ブロッキング層、結晶化防止層、バッファ層、平滑化層などを複数設けてもよい。
装置全体の構成にも依るが、光電変換層は、青光、緑光、赤光をすべて吸収し光電変換するか、もしくはこれらのうち2つの光を吸収し光電変換するか、もしくはこれらのうち1つの光のみを吸収し光電変換することが好ましい。青光吸収層は少なくとも400〜500nmの光を吸収することができ、好ましくはその波長域でのピ−ク波長の吸収率は50%以上である。緑光吸収層は少なくとも500〜600nmの光を吸収することができ、好ましくはその波長域でのピ−ク波長の吸収率は50%以上である。赤光吸収層は少なくとも600〜700nmの光を吸収することができ、好ましくはその波長域でのピ−ク波長の吸収率は50%以上である。
[Light receiving part organic layer (organic light receiving layer)]
The organic layer of the light receiving part is placed between the pixel electrode and the counter electrode, and the configuration may be only the photoelectric conversion layer, or the electron blocking layer, hole transport layer, electron transport layer, hole blocking layer, crystallization A prevention layer, a buffer layer, a smoothing layer, or the like may be laminated, or these layers may be mixed. Specific structures (including electrodes) of the light receiving layer include anode / electron blocking layer / photoelectric conversion layer / hole blocking layer / cathode, anode / electron blocking layer / hole transport layer / photoelectric conversion layer / electron transport layer. / Hole blocking layer / cathode, anode / buffer layer / electron blocking layer / photoelectric conversion layer / hole blocking layer / cathode, anode / electron blocking layer / photoelectric conversion layer / hole blocking layer / buffer layer / cathode, anode / Electron blocking layer / crystallization prevention layer / photoelectric conversion layer / hole blocking layer / cathode and the like. A plurality of photoelectric conversion layers, electron blocking layers, hole transport layers, electron transport layers, hole blocking layers, anti-crystallization layers, buffer layers, smoothing layers, and the like may be provided.
Depending on the overall configuration of the device, the photoelectric conversion layer absorbs all of blue light, green light, and red light and photoelectrically converts them, or absorbs two of these lights and photoelectrically converts them, or 1 of them. It is preferable to absorb only one light and perform photoelectric conversion. The blue light absorbing layer can absorb light of at least 400 to 500 nm, and preferably the absorption rate of the peak wavelength in that wavelength region is 50% or more. The green light absorbing layer can absorb light of at least 500 to 600 nm, and preferably the absorption rate of the peak wavelength in that wavelength region is 50% or more. The red light absorbing layer can absorb light of at least 600 to 700 nm, and preferably the absorption rate of the peak wavelength in the wavelength region is 50% or more.

光電変換層は、n型半導体、もしくはp型半導体を単層で用いることもできるが、好ましくはn型半導体とp型半導体を組み合わせて用いるのがよい。
有機p型半導体は、ドナー性有機半導体であり、主に正孔輸送性有機化合物に代表され、電子を供与しやすい性質がある有機化合物をいう。さらに詳しくは2つの有機材料を接触させて用いたときにイオン化ポテンシャルの小さい方の有機化合物をいう。したがって、ドナー性有機化合物は、電子供与性のある有機化合物であればいずれの有機化合物も使用可能である。例えば、トリアリールアミン化合物、ベンジジン化合物、ピラゾリン化合物、スチリルアミン化合物、ヒドラゾン化合物、トリフェニルメタン化合物、カルバゾール化合物、ポリシラン化合物、チオフェン化合物、フタロシアニン化合物、シアニン化合物、メロシアニン化合物、オキソノール化合物、ポリアミン化合物、インドール化合物、ピロール化合物、ピラゾール化合物、ポリアリーレン化合物、縮合芳香族炭素環化合物(ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、フルオランテン誘導体)、含窒素ヘテロ環化合物を配位子として有する金属錯体等を用いることができる。なお、これに限らず、上記したように、n型(アクセプター性)化合物として用いた有機化合物よりもイオン化ポテンシャルの小さい有機化合物であればドナー性有機半導体として用いてよい。
有機n型半導体は、アクセプター性有機半導体であり、主に電子輸送性有機化合物に代表され、電子を受容しやすい性質がある有機化合物をいう。さらに詳しくは2つの有機化合物を接触させて用いたときに電子親和力の大きい方の有機化合物をいう。したがって、アクセプター性有機化合物は、電子受容性のある有機化合物であればいずれの有機化合物も使用可能である。例えば、縮合芳香族炭素環化合物(ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、フルオランテン誘導体)、窒素原子、酸素原子、硫黄原子を含有する5ないし7員のヘテロ環化合物(例えばピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、トリアジン、キノリン、キノキサリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、イソキノリン、プテリジン、アクリジン、フェナジン、フェナントロリン、テトラゾール、ピラゾール、イミダゾール、チアゾール、オキサゾール、インダゾール、ベンズイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、トリアゾロピリダジン、トリアゾロピリミジン、テトラザインデン、オキサジアゾール、イミダゾピリジン、ピラリジン、ピロロピリジン、チアジアゾロピリジン、ジベンズアゼピン、トリベンズアゼピン等)、ポリアリーレン化合物、フルオレン化合物、シクロペンタジエン化合物、シリル化合物、含窒素ヘテロ環化合物を配位子として有する金属錯体などが挙げられる。なお、これに限らず、上記したように、ドナー性有機化合物として用いた有機化合物よりも電子親和力の大きな有機化合物であればアクセプター性有機半導体として用いてよい。
また、有機p型半導体、有機n型半導体として、有機色素p型有機色素やn型有機色素を用いることもでき、好ましくは、シアニン色素、スチリル色素、ヘミシアニン色素、メロシアニン色素(ゼロメチンメロシアニン(シンプルメロシアニン)を含む)、3核メロシアニン色素、4核メロシアニン色素、ロダシアニン色素、コンプレックスシアニン色素、コンプレックスメロシアニン色素、アロポーラー色素、オキソノール色素、ヘミオキソノール色素、スクアリウム色素、クロコニウム色素、アザメチン色素、クマリン色素、アリーリデン色素、アントラキノン色素、トリフェニルメタン色素、アゾ色素、アゾメチン色素、スピロ化合物、メタロセン色素、フルオレノン色素、フルギド色素、ペリレン色素、フェナジン色素、フェノチアジン色素、キノン色素、インジゴ色素、ジフェニルメタン色素、ポリエン色素、アクリジン色素、アクリジノン色素、ジフェニルアミン色素、キナクリドン色素、キノフタロン色素、フェノキサジン色素、フタロペリレン色素、ポルフィリン色素、クロロフィル色素、フタロシアニン色素、金属錯体色素、縮合芳香族炭素環系色素(ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、フルオランテン誘導体)が挙げられる。
As the photoelectric conversion layer, an n-type semiconductor or a p-type semiconductor can be used as a single layer, but an n-type semiconductor and a p-type semiconductor are preferably used in combination.
The organic p-type semiconductor is a donor organic semiconductor, and is mainly represented by a hole transporting organic compound, and means an organic compound having a property of easily donating electrons. More specifically, an organic compound having a smaller ionization potential when two organic materials are used in contact with each other. Therefore, any organic compound can be used as the donor organic compound as long as it is an electron-donating organic compound. For example, triarylamine compounds, benzidine compounds, pyrazoline compounds, styrylamine compounds, hydrazone compounds, triphenylmethane compounds, carbazole compounds, polysilane compounds, thiophene compounds, phthalocyanine compounds, cyanine compounds, merocyanine compounds, oxonol compounds, polyamine compounds, indoles Compounds, pyrrole compounds, pyrazole compounds, polyarylene compounds, condensed aromatic carbocyclic compounds (naphthalene derivatives, anthracene derivatives, phenanthrene derivatives, tetracene derivatives, pyrene derivatives, perylene derivatives, fluoranthene derivatives), nitrogen-containing heterocyclic compounds The metal complex etc. which it has as can be used. Not limited to this, as described above, any organic compound having an ionization potential smaller than that of the organic compound used as the n-type (acceptor property) compound may be used as the donor organic semiconductor.
The organic n-type semiconductor is an acceptor organic semiconductor, and is mainly represented by an electron transporting organic compound, and means an organic compound having a property of easily accepting electrons. More specifically, the organic compound having the higher electron affinity when two organic compounds are used in contact with each other. Therefore, as the acceptor organic compound, any organic compound can be used as long as it is an electron-accepting organic compound. For example, condensed aromatic carbocyclic compounds (naphthalene derivatives, anthracene derivatives, phenanthrene derivatives, tetracene derivatives, pyrene derivatives, perylene derivatives, fluoranthene derivatives), 5- to 7-membered heterocyclic compounds containing nitrogen atoms, oxygen atoms, and sulfur atoms (E.g. pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, triazine, quinoline, quinoxaline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, isoquinoline, pteridine, acridine, phenazine, phenanthroline, tetrazole, pyrazole, imidazole, thiazole, oxazole, indazole, benzimidazole, benzotriazole, Benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, triazolopyridazine, triazolopyrimidine, tetrazaindene, o Metal complexes having as ligands, such as sadiazole, imidazopyridine, pyralidine, pyrrolopyridine, thiadiazolopyridine, dibenzazepine, tribenzazepine), polyarylene compounds, fluorene compounds, cyclopentadiene compounds, silyl compounds, and nitrogen-containing heterocyclic compounds. Etc. Note that the present invention is not limited thereto, and as described above, any organic compound having an electron affinity higher than that of the organic compound used as the donor organic compound may be used as the acceptor organic semiconductor.
Organic p-type organic dyes and n-type organic dyes can also be used as organic p-type semiconductors and organic n-type semiconductors, preferably cyanine dyes, styryl dyes, hemicyanine dyes, merocyanine dyes (zero methine merocyanine (simple Merocyanine), trinuclear merocyanine dye, tetranuclear merocyanine dye, rhodacyanine dye, complex cyanine dye, complex merocyanine dye, allopolar dye, oxonol dye, hemioxonol dye, squalium dye, croconium dye, azamethine dye, coumarin dye, Arylidene dye, anthraquinone dye, triphenylmethane dye, azo dye, azomethine dye, spiro compound, metallocene dye, fluorenone dye, fulgide dye, perylene dye, phenazine dye, phenothia Dye, quinone dye, indigo dye, diphenylmethane dye, polyene dye, acridine dye, acridinone dye, diphenylamine dye, quinacridone dye, quinophthalone dye, phenoxazine dye, phthaloperylene dye, porphyrin dye, chlorophyll dye, phthalocyanine dye, metal complex dye, And condensed aromatic carbocyclic dyes (naphthalene derivatives, anthracene derivatives, phenanthrene derivatives, tetracene derivatives, pyrene derivatives, perylene derivatives, fluoranthene derivatives).

次に金属錯体化合物について説明する。金属錯体化合物は金属に配位する少なくとも1つの窒素原子または酸素原子または硫黄原子を有する配位子をもつ金属錯体であり、金属錯体中の金属イオンは特に限定されないが、好ましくはベリリウムイオン、マグネシウムイオン、アルミニウムイオン、ガリウムイオン、亜鉛イオン、インジウムイオン、または錫イオンであり、より好ましくはベリリウムイオン、アルミニウムイオン、ガリウムイオン、または亜鉛イオンであり、更に好ましくはアルミニウムイオン、または亜鉛イオンである。前記金属錯体中に含まれる配位子としては種々の公知の配位子が有るが、例えば、H.Yersin著「Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds」Springer−Verlag社,1987年発行、山本明夫著「有機金属化学−基礎と応用−」裳華房社,1982年発行、等に記載の配位子が挙げられる。
前記配位子として、好ましくは含窒素ヘテロ環配位子(好ましくは炭素数1〜30、より好ましくは炭素数2〜20、特に好ましくは炭素数3〜15であり、単座配位子であっても2座以上の配位子であっても良い。好ましくは2座配位子である。例えばピリジン配位子、ビピリジル配位子、キノリノール配位子、ヒドロキシフェニルアゾール配位子(ヒドロキシフェニルベンズイミダゾール、ヒドロキシフェニルベンズオキサゾール配位子、ヒドロキシフェニルイミダゾール配位子)などが挙げられる)、アルコキシ配位子(好ましくは炭素数1〜30、より好ましくは炭素数1〜20、特に好ましくは炭素数1〜10であり、例えばメトキシ、エトキシ、ブトキシ、2−エチルヘキシロキシなどが挙げられる。)、アリールオキシ配位子(好ましくは炭素数6〜30、より好ましくは炭素数6〜20、特に好ましくは炭素数6〜12であり、例えばフェニルオキシ、1−ナフチルオキシ、2−ナフチルオキシ、2,4,6−トリメチルフェニルオキシ、4−ビフェニルオキシなどが挙げられる。)、ヘテロアリールオキシ配位子(好ましくは炭素数1〜30、より好ましくは炭素数1〜20、特に好ましくは炭素数1〜12であり、例えばピリジルオキシ、ピラジルオキシ、ピリミジルオキシ、キノリルオキシなどが挙げられる。)、アルキルチオ配位子(好ましくは炭素数1〜30、より好ましくは炭素数1〜20、特に好ましくは炭素数1〜12であり、例えばメチルチオ、エチルチオなどが挙げられる。)、アリールチオ配位子(好ましくは炭素数6〜30、より好ましくは炭素数6〜20、特に好ましくは炭素数6〜12であり、例えばフェニルチオなどが挙げられる。)、ヘテロ環置換チオ配位子(好ましくは炭素数1〜30、より好ましくは炭素数1〜20、特に好ましくは炭素数1〜12であり、例えばピリジルチオ、2−ベンズイミゾリルチオ、2−ベンズオキサゾリルチオ、2−ベンズチアゾリルチオなどが挙げられる。)、またはシロキシ配位子(好ましくは炭素数1〜30、より好ましくは炭素数3〜25、特に好ましくは炭素数6〜20であり、例えば、トリフェニルシロキシ基、トリエトキシシロキシ基、トリイソプロピルシロキシ基などが挙げられる)であり、より好ましくは含窒素ヘテロ環配位子、アリールオキシ配位子、ヘテロアリールオキシ基、またはシロキシ配位子であり、更に好ましくは含窒素ヘテロ環配位子、アリールオキシ配位子、またはシロキシ配位子が挙げられる。
Next, the metal complex compound will be described. The metal complex compound is a metal complex having a ligand having at least one nitrogen atom or oxygen atom or sulfur atom coordinated to the metal, and the metal ion in the metal complex is not particularly limited, but preferably beryllium ion, magnesium Ion, aluminum ion, gallium ion, zinc ion, indium ion, or tin ion, more preferably beryllium ion, aluminum ion, gallium ion, or zinc ion, and still more preferably aluminum ion or zinc ion. As the ligand contained in the metal complex, there are various known ligands. Listed by Yersin's “Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds”, Springer-Verlag, published in 1987, Akio Yamamoto, “Organic Metal Chemistry-Fundamentals and Applications”, published by Yukabosha, 1982, etc. It is done.
The ligand is preferably a nitrogen-containing heterocyclic ligand (preferably having 1 to 30 carbon atoms, more preferably 2 to 20 carbon atoms, particularly preferably 3 to 15 carbon atoms, and a monodentate ligand. Or a bidentate or higher ligand, preferably a bidentate ligand such as a pyridine ligand, a bipyridyl ligand, a quinolinol ligand, a hydroxyphenylazole ligand (hydroxyphenyl) Benzimidazole, hydroxyphenylbenzoxazole ligand, hydroxyphenylimidazole ligand)), alkoxy ligand (preferably 1-30 carbon atoms, more preferably 1-20 carbon atoms, particularly preferably carbon 1-10, for example, methoxy, ethoxy, butoxy, 2-ethylhexyloxy, etc.), aryloxy ligands Preferably it has 6 to 30 carbon atoms, more preferably 6 to 20 carbon atoms, particularly preferably 6 to 12 carbon atoms, such as phenyloxy, 1-naphthyloxy, 2-naphthyloxy, 2,4,6-trimethylphenyl Oxy, 4-biphenyloxy, etc.), heteroaryloxy ligands (preferably having 1 to 30 carbon atoms, more preferably 1 to 20 carbon atoms, particularly preferably 1 to 12 carbon atoms, such as pyridyl. Oxy, pyrazyloxy, pyrimidyloxy, quinolyloxy, etc.), alkylthio ligands (preferably having 1 to 30 carbon atoms, more preferably 1 to 20 carbon atoms, particularly preferably 1 to 12 carbon atoms, such as methylthio, Ethylthio, etc.), arylthio ligands (preferably having 6 to 30 carbon atoms, more preferred) Has 6 to 20 carbon atoms, particularly preferably 6 to 12 carbon atoms, such as phenylthio, etc.), a heterocyclic substituted thio ligand (preferably 1 to 30 carbon atoms, more preferably 1 to carbon atoms). 20, particularly preferably 1 to 12 carbon atoms, such as pyridylthio, 2-benzimidazolylthio, 2-benzoxazolylthio, 2-benzthiazolylthio and the like, or siloxy ligand (preferably Has 1 to 30 carbon atoms, more preferably 3 to 25 carbon atoms, particularly preferably 6 to 20 carbon atoms, and examples thereof include a triphenylsiloxy group, a triethoxysiloxy group, and a triisopropylsiloxy group. More preferably a nitrogen-containing heterocyclic ligand, an aryloxy ligand, a heteroaryloxy group, or a siloxy ligand, Preferably, a nitrogen-containing heterocyclic ligand, an aryloxy ligand, or a siloxy ligand is used.

光電変換層の構成は、p型半導体層とn型半導体層とを有し、該p型半導体とn型半導体の少なくともいずれかが有機半導体であり、かつ、それらの半導体層の間に、該p型半導体およびn型半導体を含むバルクヘテロ接合構造層を中間層として有する光電変換膜(感光層)を含有する場合が好ましい。このような場合、光電変換膜において、有機層にバルクへテロ接合構造を含有させることにより有機層のキャリア拡散長が短いという欠点を補い、光電変換効率を向上させることができる。なお、バルクへテロ接合構造については、特願2004−080639号において詳細に説明されている。
また、光電変換層の構成として、1対の電極間にp型半導体の層とn型半導体の層で形成されるpn接合層の繰り返し構造(タンデム構造)の数を2以上有する構造を持つ光電変換膜(感光層)を含有する場合も好ましく、さらに好ましくは、前記繰り返し構造の間に、導電材料の薄層を挿入する場合である。pn接合層の繰り返し構造(タンデム構造)の数はいかなる数でもよいが、光電変換効率を高くするために好ましくは2〜50であり、さらに好ましくは2〜30であり、特に好ましくは2または10である。導電材料としては銀または金が好ましく、銀が最も好ましい。なお、タンデム構造については、特願2004−079930号において詳細に説明されている。
光吸収の点では有機色素層の膜厚は大きいほど好ましいが、電荷分離に寄与しない割合を考慮すると、本発明における有機色素層の膜厚として好ましくは、30nm以上300nm以下、さらに好ましくは50nm以上250nm以下、特に好ましくは80nm以上200nm以下である。
The configuration of the photoelectric conversion layer includes a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer, and at least one of the p-type semiconductor and the n-type semiconductor is an organic semiconductor, and between the semiconductor layers, It is preferable to contain a photoelectric conversion film (photosensitive layer) having a bulk heterojunction structure layer containing a p-type semiconductor and an n-type semiconductor as an intermediate layer. In such a case, in the photoelectric conversion film, by incorporating a bulk heterojunction structure in the organic layer, the disadvantage that the carrier diffusion length of the organic layer is short can be compensated, and the photoelectric conversion efficiency can be improved. The bulk heterojunction structure is described in detail in Japanese Patent Application No. 2004-080639.
In addition, as a structure of the photoelectric conversion layer, a photoelectric conversion structure having two or more pn junction layer repeating structures (tandem structures) formed of a p-type semiconductor layer and an n-type semiconductor layer between a pair of electrodes. A case where a conversion film (photosensitive layer) is contained is also preferable, and a case where a thin layer of a conductive material is inserted between the repetitive structures is more preferable. The number of repeating structures (tandem structures) of the pn junction layer may be any number, but is preferably 2 to 50, more preferably 2 to 30, particularly preferably 2 or 10 in order to increase the photoelectric conversion efficiency. It is. Silver or gold is preferable as the conductive material, and silver is most preferable. The tandem structure is described in detail in Japanese Patent Application No. 2004-079930.
In terms of light absorption, the larger the thickness of the organic dye layer is, the more preferable, but considering the ratio that does not contribute to charge separation, the thickness of the organic dye layer in the present invention is preferably 30 nm to 300 nm, more preferably 50 nm or more. It is 250 nm or less, and particularly preferably 80 nm or more and 200 nm or less.

〔電子ブロッキング層、正孔輸送層〕
電子ブロッキング層と正孔輸送層には、電子供与性有機材料を用いることができる。電子ブロッキング層や正孔輸送層は光電変換層で発生した正孔を陽極に輸送する能力が高いこと、また、逆バイアス印加時に陽極からの電子注入を阻止する能力が高いことを求められる。
具体的には、低分子材料では、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミン(TPD)や4,4’−ビス[N−(ナフチル)−N−フェニル−アミノ]ビフェニル(α−NPD)等の芳香族ジアミン化合物、オキサゾール、オキサジアゾール、トリアゾール、イミダゾール、イミダゾロン、スチルベン誘導体、ピラゾリン誘導体、テトラヒドロイミダゾール、ポリアリールアルカン、ブタジエン、4,4’,4”−トリス(N−(3−メチルフェニル)N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン(m−MTDATA)、ポルフィン、テトラフェニルポルフィン銅、フタロシアニン、銅フタロシアニン、チタニウムフタロシアニンオキサイド等のポリフィリン化合物、トリアゾール誘導体、オキサジザゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アニールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、シラザン誘導体などを用いることができ、高分子材料では、フェニレンビニレン、フルオレン、カルバゾール、インドール、ピレン、ピロール、ピコリン、チオフェン、アセチレン、ジアセチレン等の重合体や、その誘導体を用いることができる。
電子ブロッキング層、もしくは正孔輸送層の膜厚として好ましくは、10nm以上300nm以下、さらに好ましくは30nm以上250nm以下、特に好ましくは50nm以上200nm以下である。
[Electron blocking layer, hole transport layer]
An electron donating organic material can be used for the electron blocking layer and the hole transport layer. The electron blocking layer and the hole transport layer are required to have a high ability to transport holes generated in the photoelectric conversion layer to the anode, and to have a high ability to prevent electron injection from the anode when a reverse bias is applied.
Specifically, in a low molecular material, N, N′-bis (3-methylphenyl)-(1,1′-biphenyl) -4,4′-diamine (TPD) or 4,4′-bis [N Aromatic diamine compounds such as-(naphthyl) -N-phenyl-amino] biphenyl (α-NPD), oxazole, oxadiazole, triazole, imidazole, imidazolone, stilbene derivative, pyrazoline derivative, tetrahydroimidazole, polyarylalkane, butadiene 4,4 ′, 4 ″ -tris (N- (3-methylphenyl) N-phenylamino) triphenylamine (m-MTDATA), porphine, tetraphenylporphine copper, phthalocyanine, copper phthalocyanine, titanium phthalocyanine oxide, etc. Porphyrin compounds, triazole derivatives, oxazizazo Derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, annealing amine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, silazane derivatives, etc. As the polymer material, polymers such as phenylene vinylene, fluorene, carbazole, indole, pyrene, pyrrole, picoline, thiophene, acetylene, diacetylene, and derivatives thereof can be used.
The thickness of the electron blocking layer or the hole transport layer is preferably 10 nm to 300 nm, more preferably 30 nm to 250 nm, and particularly preferably 50 nm to 200 nm.

〔正孔ブロッキング層、電子輸送層〕
正孔ブロッキング層と電子輸送層には、電子受容性有機材料を用いることができる。正孔ブロッキング層や電子輸送層は光電変換層で発生した電子を陰極に輸送する能力が高いこと、また、逆バイアス印加時に陰極からの正孔注入を阻止する能力が高いことを求められる。
電子受容性材料としてはC60、C70をはじめとするフラーレンやカーボンナノチューブ、及びそれらの誘導体や、1,3−ビス(4−tert−ブチルフェニル−1,3,4−オキサジアゾリル)フェニレン(OXD−7)等のオキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、バソクプロイン、バソフェナントロリン、及びこれらの誘導体、トリアゾール化合物、トリス(8−ヒドロキシキノリナート)アルミニウム錯体、ビス(4−メチル−8−キノリナート)アルミニウム錯体、ジスチリルアリーレン誘導体、シロール化合物などを用いることができる。
正孔ブロッキング層、もしくは電子輸送層の膜厚として好ましくは、10nm以上300nm以下、さらに好ましくは30nm以上250nm以下、特に好ましくは50nm以上200nm以下である。
[Hole blocking layer, electron transport layer]
An electron-accepting organic material can be used for the hole blocking layer and the electron transport layer. The hole blocking layer and the electron transport layer are required to have a high ability to transport electrons generated in the photoelectric conversion layer to the cathode, and to have a high ability to prevent hole injection from the cathode when a reverse bias is applied.
As an electron-accepting material, fullerenes such as C60 and C70, carbon nanotubes, derivatives thereof, 1,3-bis (4-tert-butylphenyl-1,3,4-oxadiazolyl) phenylene (OXD-7) ) And other oxadiazole derivatives, anthraquinodimethane derivatives, diphenylquinone derivatives, bathocuproine, bathophenanthroline, and derivatives thereof, triazole compounds, tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum complexes, bis (4-methyl-8) -Quinolinato) Aluminum complexes, distyrylarylene derivatives, silole compounds and the like can be used.
The thickness of the hole blocking layer or the electron transport layer is preferably 10 nm to 300 nm, more preferably 30 nm to 250 nm, and particularly preferably 50 nm to 200 nm.

これら有機層の形成方法としては、乾式成膜法あるいは湿式成膜法を用いることができる。乾式成膜法の具体的な例としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法,MBE法等の物理気相成長法あるいはプラズマ重合等のCVD法が挙げられる。湿式成膜法としては、キャスト法、スピンコート法、ディッピング法、LB法等の塗布法と用いることができる。また、インクジェット印刷やスクリーン印刷などの印刷法、熱転写やレーザー転写などの転写法を用いてもよい。パターニングは、フォトリソグラフィ−などによる化学的エッチングにより行ってもよいし、紫外線やレ−ザ−などによる物理的エッチングにより行ってもよいしマスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等をして行ってもよいし、リフトオフ法、印刷法、転写法により行ってもよい。   As a method for forming these organic layers, a dry film forming method or a wet film forming method can be used. Specific examples of the dry film forming method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a physical vapor deposition method such as an MBE method, or a CVD method such as plasma polymerization. As the wet film formation method, a coating method such as a cast method, a spin coating method, a dipping method, or an LB method can be used. Further, a printing method such as ink jet printing or screen printing, or a transfer method such as thermal transfer or laser transfer may be used. Patterning may be performed by chemical etching such as photolithography, or may be performed by physical etching such as ultraviolet rays or laser, or may be performed by vacuum deposition or sputtering with a mask overlapped. Alternatively, a lift-off method, a printing method, or a transfer method may be used.

〔発光部有機層 (有機発光層)〕
発光部の有機層は画素電極と対向電極に挟まれて設置され、その構成は、発光層のみからなる単層構造であってもよいし、発光層の外に、ホール注入層、ホール輸送層、電子注入層、電子輸送層等のその他の層を適宜有する積層構造であってもよい。有機化合物層22の具体的な構成(電極を含む)としては、陽極/ホール注入層/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/陰極、陽極/発光層/電子輸送層/陰極、陽極/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/陰極などが挙げられる。また、発光層、ホール輸送層、ホール注入層、電子注入層を複数設けてもよい。
装置全体の構成にも依るが、発光層は、青光、緑光、赤光をすべてを発光(白色光)するか、もしくはこれらのうち2つの光を発光するか、もしくはこれらのうち1つの光のみ発光するかことが好ましい。青光発光層は少なくとも400〜500nmの光を発光することができ、緑光発光層は少なくとも500〜600nmの光を発光することができ、赤光発光層は少なくとも600〜700nmの光を発光することができる必要がある。
発光層は、電界印加時に陽極又は正孔注入層、正孔輸送層から正孔を受け取り、陰極又は電子注入層、電子輸送層から電子を受け取り、正孔と電子の再結合の場を提供して発光させる機能を有する層である。
[Light-emitting part organic layer (organic light-emitting layer)]
The organic layer of the light emitting unit is disposed between the pixel electrode and the counter electrode, and the configuration may be a single layer structure composed of only the light emitting layer, or a hole injection layer, a hole transport layer outside the light emitting layer. Further, it may be a laminated structure having other layers such as an electron injection layer and an electron transport layer as appropriate. Specific configurations (including electrodes) of the organic compound layer 22 include anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode, anode / light emitting layer / electron transport layer / cathode, anode / hole. Examples include transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode. A plurality of light emitting layers, hole transport layers, hole injection layers, and electron injection layers may be provided.
Depending on the overall configuration of the device, the light emitting layer emits all of blue light, green light and red light (white light), or emits two of these lights, or one of these lights. It is preferable that only light is emitted. The blue light emitting layer can emit light of at least 400 to 500 nm, the green light emitting layer can emit light of at least 500 to 600 nm, and the red light emitting layer can emit light of at least 600 to 700 nm. Need to be able to
The light emitting layer receives holes from the anode or hole injection layer and hole transport layer when an electric field is applied, receives electrons from the cathode or electron injection layer and electron transport layer, and provides a field for recombination of holes and electrons. And a layer having a function of emitting light.

発光層は発光材料を含有する。発光材料は単一化合物で形成されても良いし、複数の化合物で形成されても良い。また、発光層は1層であっても2層以上であっても良く、それぞれの層が異なる発光色で発光しても良い。発光層が複数の場合は、それぞれの発光層は単一材料で形成されていても良いし、複数の材料で形成されていても良い。
発光層の材料としては、ベンゾオキサゾール、ベンゾイミダゾール、ベンゾチアゾール、スチリルベンゼン、ポリフェニル、ジフェニルブタジエン、テトラフェニルブタジエン、ナフタルイミド、クマリン、ペリレン、ペリノン、オキサジアゾール、アルダジン、ピラリジン、シクロペンタジエン、ビススチリルアントラセン、キナクリドン、ピロロピリジン、チアジアゾロピリジン、シクロペンタジエン、スチリルアミン、芳香族ジメチリディン化合物、8−キノリノールの金属錯体や希土類錯体に代表される各種金属錯体、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン等のポリマー化合物、有機シラン、イリジウムトリスフェニルピリジン錯体、及び、白金ポルフィリン錯体に代表される遷移金属錯体、及び、それらの誘導体等を用いることができる。
発光層の膜厚は、通常1nm〜5μmの範囲のものが好ましく、より好ましくは5nm〜1μmであり、更に好ましくは10nm〜500nmである。
The light emitting layer contains a light emitting material. The light emitting material may be formed of a single compound or a plurality of compounds. Further, the light emitting layer may be a single layer or two or more layers, and each layer may emit light in different emission colors. When there are a plurality of light emitting layers, each light emitting layer may be formed of a single material or a plurality of materials.
Materials for the light-emitting layer include benzoxazole, benzimidazole, benzothiazole, styrylbenzene, polyphenyl, diphenylbutadiene, tetraphenylbutadiene, naphthalimide, coumarin, perylene, perinone, oxadiazole, aldazine, pyralidine, cyclopentadiene, bis Polymers such as styrylanthracene, quinacridone, pyrrolopyridine, thiadiazolopyridine, cyclopentadiene, styrylamine, aromatic dimethylidin compounds, various metal complexes represented by 8-quinolinol metal complexes and rare earth complexes, polythiophene, polyphenylene, polyphenylene vinylene, etc. Compounds, organosilanes, iridium trisphenylpyridine complexes, transition metal complexes represented by platinum porphyrin complexes, and derivatives thereof It can be used the body or the like.
The thickness of the light emitting layer is usually preferably in the range of 1 nm to 5 μm, more preferably 5 nm to 1 μm, and still more preferably 10 nm to 500 nm.

正孔注入層、正孔輸送層の材料は、陽極から正孔を注入する機能、正孔を輸送する機能、陰極から注入された電子を障壁する機能のいずれか有しているものであればよい。その具体例としては、カルバゾール、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、イミダゾール、ポリアリールアルカン、ピラゾリン、ピラゾロン、フェニレンジアミン、アリールアミン、アミノ置換カルコン、スチリルアントラセン、フルオレノン、ヒドラゾン、スチルベン、シラザン、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポルフィリン系化合物、ポリシラン系化合物、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、アニリン系共重合体、チオフェンオリゴマー、ポリチオフェン等の導電性高分子オリゴマー、有機シラン、カーボン膜等をもちいることができる。
正孔注入層、正孔輸送層の膜厚は、通常1nm〜5μmの範囲のものが好ましく、より好ましくは5nm〜1μmであり、更に好ましくは10nm〜500nmである。正孔注入層、正孔輸送層は上述した材料の1種又は2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
The material of the hole injection layer and the hole transport layer may be any one having a function of injecting holes from the anode, a function of transporting holes, or a function of blocking electrons injected from the cathode. Good. Specific examples include carbazole, triazole, oxazole, oxadiazole, imidazole, polyarylalkane, pyrazoline, pyrazolone, phenylenediamine, arylamine, amino-substituted chalcone, styrylanthracene, fluorenone, hydrazone, stilbene, silazane, aromatic group Tertiary amine compounds, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, porphyrin compounds, polysilane compounds, poly (N-vinylcarbazole), aniline copolymers, thiophene oligomers, conductive polymer oligomers such as polythiophene, organic Silane, carbon film, etc. can be used.
The film thicknesses of the hole injection layer and the hole transport layer are usually preferably in the range of 1 nm to 5 μm, more preferably 5 nm to 1 μm, and still more preferably 10 nm to 500 nm. The hole injection layer and the hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the materials described above, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.

電子注入層、電子輸送層の材料は、陰極から電子を注入する機能、電子を輸送する機能、陽極から注入された正孔を障壁する機能のいずれか有しているものであればよい。その具体例としては、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、イミダゾール、フルオレノン、アントラキノジメタン、アントロン、ジフェニルキノン、チオピランジオキシド、カルボジイミド、フルオレニリデンメタン、ジスチリルピラジン、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン、8−キノリノールの金属錯体やメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾールやベンゾチアゾールを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体、シロールなどの有機シラン等を用いることができる。
電子注入層、電子輸送層の膜厚は、通常1nm〜5μmの範囲のものが好ましく、より好ましくは5nm〜1μmであり、更に好ましくは10nm〜500nmである。電子注入層、電子輸送層は上述した材料の1種又は2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
The material for the electron injection layer and the electron transport layer may be any material having any one of a function of injecting electrons from the cathode, a function of transporting electrons, and a function of blocking holes injected from the anode. Specific examples include fragrances such as triazole, oxazole, oxadiazole, imidazole, fluorenone, anthraquinodimethane, anthrone, diphenylquinone, thiopyrandioxide, carbodiimide, fluorenylidenemethane, distyrylpyrazine, naphthalene, and perylene. Use of metal complexes of cyclic tetracarboxylic anhydride, phthalocyanine, 8-quinolinol, metal phthalocyanine, metal complexes represented by benzoxazole or benzothiazole as ligands, organosilanes such as silole, etc. it can.
The film thicknesses of the electron injection layer and the electron transport layer are usually preferably in the range of 1 nm to 5 μm, more preferably 5 nm to 1 μm, and still more preferably 10 nm to 500 nm. The electron injection layer and the electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above-described materials, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.

〔隔壁〕
発光層から放出された光の中には受光層に直接向かう光もあり受光層のS/Nを低下させてしまうので、この光を遮断するために隔壁が必要となる。隔壁は、ブラックあるいは不透明にすることが望ましい。
隔壁の材料としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミド等の有機材料にカーボンブラックやチタンブラック、Cu−Fe−Mn系酸化物、合成鉄黒等の黒色顔料を混入したものを用いることができる。
隔壁の形成方法としては、湿式成膜法を用いることができる。具体的な例としては、キャスト法、スピンコート法、ディッピング法、LB法等の塗布法と用いることができる。また、インクジェット印刷やスクリーン印刷などの印刷法、熱転写やレーザー転写などの転写法を用いてもよい。パターニングは、フォトリソグラフィ−などによる化学的エッチングにより行ってもよいし、紫外線やレ−ザ−などによる物理的エッチングにより行ってもよいし、リフトオフ法、印刷法、転写法により行ってもよい。
隔壁の膜厚は、通常10nm〜5μmの範囲のものが好ましく、より好ましくは30nm〜1μmであり、更に好ましくは50nm〜500nmである。
[Partition]
Among the light emitted from the light emitting layer, there is light that goes directly to the light receiving layer, which lowers the S / N of the light receiving layer. Therefore, a partition is required to block this light. The partition walls are preferably black or opaque.
As a material for the partition, an organic material such as an acrylic resin, an epoxy resin, or a photosensitive polyimide mixed with a black pigment such as carbon black, titanium black, Cu—Fe—Mn oxide, or synthetic iron black may be used. it can.
As a method for forming the partition wall, a wet film formation method can be used. As a specific example, a coating method such as a casting method, a spin coating method, a dipping method, or an LB method can be used. Further, a printing method such as ink jet printing or screen printing, or a transfer method such as thermal transfer or laser transfer may be used. Patterning may be performed by chemical etching such as photolithography, physical etching using ultraviolet rays, laser, or the like, or may be performed by a lift-off method, a printing method, or a transfer method.
The thickness of the partition wall is usually preferably in the range of 10 nm to 5 μm, more preferably 30 nm to 1 μm, and still more preferably 50 nm to 500 nm.

〔接着層〕
第二保護層による有機層や電極への水分、酸素の遮断が十分でない場合は、接着剤と封止基板を用いて封止を行う必要がある。
トランジスタ、発光層、受光層を含む有機層を封止する接着剤は、例えばウレタン系、シリコーン系、スチレン系、エステル系、塩化ビニル系、エポキシ系の樹脂などのように、柔軟性のある紫外線硬化型または熱硬化型の樹脂が用いられ、封止基板の貼り付け後に硬化される。全面封止の場合は紫外線による有機層へのダメージが考えられるため、熱硬化型の樹脂が好ましい。
接着層は発光層から放出した光や原稿で反射し受光層に入射する光を透過する必要があり、透明、もしくは半透明であることが好ましく、具体的には400nm〜700nmの可視光の波長領域において、少なくとも50パーセント以上、好ましくは70パーセント以上、より好ましくは90%以上の光透過率を有するものが好ましい。
接着層を形成する方法としては、スクリーン印刷機によって封止樹脂を印刷する方法と、ディスペンサーによって封止樹脂を描画する方法を用いることができる。
[Adhesive layer]
When the water and oxygen are not sufficiently blocked by the organic layer and the electrode by the second protective layer, it is necessary to perform sealing using an adhesive and a sealing substrate.
Adhesives that seal organic layers including transistors, light-emitting layers, and light-receiving layers are flexible ultraviolet rays such as urethane-based, silicone-based, styrene-based, ester-based, vinyl chloride-based, and epoxy-based resins. A curable or thermosetting resin is used, and is cured after the sealing substrate is attached. In the case of full sealing, since the organic layer can be damaged by ultraviolet rays, a thermosetting resin is preferable.
The adhesive layer needs to transmit the light emitted from the light emitting layer or the light reflected from the original and incident on the light receiving layer, and is preferably transparent or translucent. Specifically, the wavelength of visible light is 400 nm to 700 nm. In the region, those having a light transmittance of at least 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 90% or more are preferable.
As a method for forming the adhesive layer, a method of printing a sealing resin with a screen printer and a method of drawing the sealing resin with a dispenser can be used.

〔カラーフィルタ層〕
受光層、発光層にカラーフィルタが必要な場合は、例えば、第二保護層上に設置してもよいし、あらかじめ封止基板に設置したものを接着してもよい。
[Color filter layer]
When a color filter is required for the light-receiving layer and the light-emitting layer, for example, it may be installed on the second protective layer, or one previously installed on the sealing substrate may be bonded.

〔読み出し回路〕(図13、図14、図15)
原稿を照射するための発光部はデータ線によりシフトレジスタ、レベルシフタ、アナログスイッチなどを備えるデータ線駆動回路に接続され、また、走査線によりシフトレジスタとレベルシフタを備える走査線駆動回路に接続されており、発光部コントローラからの信号を受け、受光部コントローラと連携して画素を発光させる。受光部は、水平アドレス回路と垂直アドレス回路に接続され、受光部コントローラの信号を受け、画素選択、信号読み出しを行い、出力信号に対してアナログ信号処理、AD変換、デジタル信号処理を行う。
[Read circuit] (FIGS. 13, 14, and 15)
A light emitting unit for irradiating a document is connected to a data line driving circuit including a shift register, a level shifter, an analog switch, and the like by a data line, and is connected to a scanning line driving circuit having a shift register and a level shifter by a scanning line. In response to the signal from the light emitting unit controller, the pixel is caused to emit light in cooperation with the light receiving unit controller. The light receiving unit is connected to the horizontal address circuit and the vertical address circuit, receives signals from the light receiving unit controller, performs pixel selection and signal readout, and performs analog signal processing, AD conversion, and digital signal processing on the output signal.

〔読み出し方法〕(図16)
発光画素の駆動方法としては、まず、走査線を介してトランジスタTr1のゲート電極Gが選択され電圧供給されると、Tr1はソース電極Sに供給されるデータ線からのデータ電圧に対応した電流を、ソース電極Sからドレイン電極Dに流す。すると、Tr1のゲート電極Gが選択されている間に、キャパシタC1が充電され、その電圧がトランジスタTr2のゲート電極Gに供給されて、Tr2にはそのゲート電圧とソース電圧に基づいた電流を、ソース電極Sから発光素子LEDに流し、LEDを発光させる。次に、Tr1のゲート電極Gへの電圧供給がオフになると、Tr1はカットオフとなり、Tr1のドレイン電極Dは開放状態となるものの、Tr2はキャパシタC1に蓄積された電荷によりゲート電極Gの電圧が保持され、次の走査まで駆動電流を維持し、LEDの発光が維持される。
受光画素は、光電変換効率を向上するために受光層に電圧を印加することが好ましく、印加電圧としては、いかなる電圧でも良いが、光電変換膜の膜厚により必要な電圧は変わってくる。すなわち、光電変換効率は、光電変換膜に加わる電場が大きいほど向上するが、同じ印加電圧でも光電変換膜の膜厚が薄いほど加わる電場は大きくなる。従って、光電変換膜の膜厚が薄い場合は、印加電圧は相対的に小さくても良い。光電変換膜に加える電場として好ましくは、10V/m以上であり、さらに好ましくは1×103V/m以上、さらに好ましくは1×105V/m以上、特に好ましくは1×106V/m以上、最も好ましくは1×107V/m以上である。上限は特にないが、電場を加えすぎると暗所でも電流が流れ好ましくないので、1×1012V/m以下が好ましく、さらに1×109V/m以下が好ましい。
受光画素の駆動方法としては、まず、選択線を介してトランジスタTr3のゲート電極Gを選択しフォトダイオードPDに光電変換に必要な逆バイアス電圧を供給する。この状態で原稿からの反射光を受光することによりPDに光電流が発生し、その信号をデータ線を介して読み出し、アンプによる増幅、アナログ信号処理、AD変換、デジタル信号処理を行う。
[Reading Method] (FIG. 16)
As a driving method of the light emitting pixel, first, when the gate electrode G of the transistor Tr1 is selected and supplied with a voltage through the scanning line, Tr1 generates a current corresponding to the data voltage from the data line supplied to the source electrode S. , Flow from the source electrode S to the drain electrode D. Then, while the gate electrode G of Tr1 is selected, the capacitor C1 is charged, the voltage is supplied to the gate electrode G of the transistor Tr2, and a current based on the gate voltage and the source voltage is supplied to Tr2, The light is emitted from the source electrode S to the light emitting element LED to cause the LED to emit light. Next, when the voltage supply to the gate electrode G of Tr1 is turned off, Tr1 is cut off and the drain electrode D of Tr1 is opened, but Tr2 is the voltage of the gate electrode G by the charge accumulated in the capacitor C1. Is maintained, the driving current is maintained until the next scanning, and the light emission of the LED is maintained.
In the light receiving pixel, it is preferable to apply a voltage to the light receiving layer in order to improve the photoelectric conversion efficiency. The applied voltage may be any voltage, but the necessary voltage varies depending on the film thickness of the photoelectric conversion film. That is, the photoelectric conversion efficiency improves as the electric field applied to the photoelectric conversion film increases, but the applied electric field increases as the film thickness of the photoelectric conversion film decreases even at the same applied voltage. Therefore, when the photoelectric conversion film is thin, the applied voltage may be relatively small. The electric field applied to the photoelectric conversion film is preferably 10 V / m or more, more preferably 1 × 10 3 V / m or more, further preferably 1 × 10 5 V / m or more, and particularly preferably 1 × 10 6 V / m. m or more, most preferably 1 × 10 7 V / m or more. The upper limit is not particularly since current even in a dark place when the electric field too added flows undesirable, 1 × preferably 10 12 V / m or less, preferably more 1 × 10 9 V / m or less.
As a method for driving the light receiving pixels, first, the gate electrode G of the transistor Tr3 is selected via the selection line, and a reverse bias voltage necessary for photoelectric conversion is supplied to the photodiode PD. In this state, light reflected from the document is received to generate a photocurrent in the PD, and the signal is read through the data line, and amplification by an amplifier, analog signal processing, AD conversion, and digital signal processing are performed.

具体的な読み出し方法としては、まず、読み取りたい原稿を封止基板上に密着させる。次に一つの受光画素を駆動させ、非発光時の暗信号をデータ線を介して読み出す。その後、駆動させた受光画素に隣接、もしくは近接する一つの発光画素を発光させ原稿に光を照射することにより、原稿の情報に対応した反射光が得る。この原稿からの反射光を駆動させておいた受光画素で受け取り、明信号として電気信号として読み出す。全面同時照射ではなく、順次、各発光部発光させることにより、受光画素に進入する漏れ光や多重反射などによる偽信号がなくなり、明信号と暗信号の比が高くなり精細な情報を得ることができる。
例えば、図13では一例として、発光画素と受光画素を並べた場合を示してあり、発光画素(1)は赤色発光、発光画素(2)は緑色発光、発光画素(3)は青色発光、受光画素(4)、(5)、(6)、(7)、(8)はいずれも、赤色緑色青色の三色すべてを受光することができる。この例の場合では、まず受光画素(4)を駆動させ、暗信号を読み出しておく。続いて発光画素(1)を駆動し赤光を発光させることにより原稿へ赤光が照射する。この反射光を受光画素で光電変換し、明信号として読み出す。原稿が赤光を吸収する場合、受光画素への反射光はなく、原稿が赤色を吸収しない場合は、強い反射が受光画素(4)へ届く。同様に、発光画素(1)の発光に対して受光画素(5)、受光画素(6)を駆動させ原稿の赤色情報を検出する。
次に、受光画素(5)を駆動し暗信号を読み出した後、緑光発光画素(2)を駆動させ原稿の緑情報を明信号として読み出す。同じように、受光画素(6)、受光画素(7)で順に原稿の緑信号を検出する。
次に、受光画素(6)を駆動し暗信号を読み出した後、青光発光画素素(3)を駆動させ、原稿の青情報を明信号として読み出す。同じように、受光画素(6)、受光画素(7)で順に原稿の青信号を検出する。
このような原稿情報の検出動作を順次すべての受光画素で行い、得られた信号を演算回路で処理することにより、原稿情報を高精細にフルカラーで読み取ることができる。
有機トランジスタ、有機発光素子、有機光電変換素子の駆動時間それぞれ十分高速であり、上記のような逐次読取りを行っても極短時間で原稿情報を読み取ることができる。
読取は端から順番に行ってもよいし、任意の場所から任意の順で行ってもよい。また、受光画素に進入する漏れ光や多重反射などによる偽信号の影響がない程度に離れた場所であれば、2箇所以上で同時に発光を行い一連の読取動作を行うこともできる。
As a specific reading method, first, a document to be read is brought into close contact with the sealing substrate. Next, one light receiving pixel is driven, and a dark signal at the time of non-light emission is read through the data line. Thereafter, one light-emitting pixel adjacent to or in proximity to the driven light-receiving pixel emits light and irradiates the original with light, whereby reflected light corresponding to information on the original is obtained. The reflected light from the original is received by a light receiving pixel that has been driven, and is read out as an electric signal as a bright signal. By making each light emitting part emit light sequentially instead of simultaneously irradiating the entire surface, there is no false signal due to leaked light or multiple reflections entering the light receiving pixels, and the ratio of the bright signal to the dark signal can be increased and fine information can be obtained. it can.
For example, FIG. 13 shows a case where a light emitting pixel and a light receiving pixel are arranged as an example. The light emitting pixel (1) emits red light, the light emitting pixel (2) emits green light, the light emitting pixel (3) emits blue light, and receives light. The pixels (4), (5), (6), (7), and (8) can receive all three colors of red, green, and blue. In the case of this example, the light receiving pixel (4) is first driven to read out the dark signal. Subsequently, the light emitting pixel (1) is driven to emit red light, whereby the original is irradiated with red light. This reflected light is photoelectrically converted by the light receiving pixels and read as a bright signal. When the original absorbs red light, there is no reflected light to the light receiving pixels, and when the original does not absorb red light, strong reflection reaches the light receiving pixels (4). Similarly, the light receiving pixel (5) and the light receiving pixel (6) are driven in response to the light emission of the light emitting pixel (1) to detect red information of the document.
Next, after the light receiving pixel (5) is driven to read out the dark signal, the green light emitting pixel (2) is driven to read out the green information of the document as a bright signal. Similarly, the green signal of the document is detected in order by the light receiving pixel (6) and the light receiving pixel (7).
Next, after the light receiving pixel (6) is driven to read out the dark signal, the blue light emitting pixel element (3) is driven to read out the blue information of the document as a bright signal. Similarly, the blue signal of the document is detected in order by the light receiving pixel (6) and the light receiving pixel (7).
Such detection operation of document information is sequentially performed on all the light receiving pixels, and the obtained signal is processed by an arithmetic circuit, whereby the document information can be read with high definition in full color.
The driving time of the organic transistor, the organic light emitting element, and the organic photoelectric conversion element is sufficiently high, and the document information can be read in a very short time even if the above sequential reading is performed.
Reading may be performed in order from the end, or may be performed in any order from any location. Further, a series of reading operations can be performed by simultaneously emitting light at two or more locations as long as the locations are far enough not to be affected by false signals due to leaked light or multiple reflections entering the light receiving pixels.

〔応用〕
本発明のエリアセンサを用いた画像入力装置は、例えば、パソコン等の画像読取用のスキャナとして用いることができることはもちろんであるが、その自発光、薄型コンパクト、フレキシブル、カラー用、等の種々の特性を生かして様々な装置に組み込むことが可能である。
例えば、普通の使い方としては、例えば電子写真装置等に、機械的走査をする必要がない原稿読取用のエリアセンサスキャナとして組み込むことができる。また、ホワイトボードに板書した内容をそのまま画像として読み取るためのエリアセンサスキャナとしてホワイトボードに組み込むことができる。読み取ったデータは、即時にプリントアウトするようにしても良いし、電子データとして保存して種々の加工をすることもできる。
薄型コンパクトとすることができることから、例えば携帯電話に組み込むことも可能であり、例えば暗いところでも簡便な小型のエリアセンサスキャナとして使用するようにすることも可能である。
フレキシブルな特性を生かして薄い下敷き様のエリアセンサスキャナに組み込むことも可能であり、ぶ厚い本等のように曲面状の原稿に対して曲面に沿わせてそのまま用いて原稿を読み取るようにすることができる。また、携帯可能な小型のメモノートに組み込むことで、紙や記載内容が消去可能な磁気ペーパー等に書いた内容をそのまま読み取るようにすることもできる。
〔application〕
The image input device using the area sensor of the present invention can be used as, for example, a scanner for image reading such as a personal computer. It can be incorporated into various devices by taking advantage of its characteristics.
For example, as a normal usage, it can be incorporated into an electrophotographic apparatus or the like as an area sensor scanner for reading a document that does not require mechanical scanning. Further, it can be incorporated into the whiteboard as an area sensor scanner for reading the contents written on the whiteboard as an image as it is. The read data may be printed out immediately, or stored as electronic data for various processing.
Since it can be made thin and compact, it can be incorporated into a mobile phone, for example, and can be used as a small area sensor scanner that is simple even in a dark place.
It can also be incorporated into a thin underlay-like area sensor scanner by taking advantage of its flexible characteristics. For example, a thick original can be used as it is along a curved surface to read the original. it can. Further, by incorporating it in a small portable memo note, it is possible to read the contents written on paper or magnetic paper that can be erased from the contents as it is.

以下、本発明のエリアセンサの作製例を示す。   Hereinafter, an example of manufacturing the area sensor of the present invention will be shown.

〔実施例〕(図17〜19)
厚み200μmのポリカーボネートフィルム基板(1)上に遮光層(2)として、200nmのAl層をスパッタ法により成膜した。続いて、第一保護層(3)として、1μmのSiN、1μmのSiO、1μmのSiNをプラズマCVD法により順次成膜した。
続いて、マスクを用いた真空蒸着法により有機半導体層(4)として一辺約100μm、厚み200nmのペンタセンを成膜した。
その上に、基板を低温に保ったまま、プラズマCVD法により、酸化シリコン膜からなる200nmのゲート絶縁膜(5)を形成した。その上に200nmのクロム膜を形成しフォトリソ法によるパターニングを行い、ゲート電極(6)とした。
続いて層間絶縁層1(7)として厚み500nmの酸化シリコン膜を形成すると共にフォトリソ法によりゲート絶縁層、層間絶縁層をパターニングし、ソース電極とドレイン電極に対応する位置にコンタクトホールを形成した。
続いてコンタクトホールを覆うようにクロム膜を形成しフォトリソ法によるパターニングを行い、ソース電極(8)とドレイン電極(9)を形成した。
その上に層間絶縁層2(10)として厚み500nmの酸化シリコン膜を形成すると共にフォトリソ法により層間絶縁層2(10)をパターニングし、画素電極に対応する位置にコンタクトホールを形成した。
続いてこのコンタクトホールを覆うようにスパッタ法にて画素電極となる厚み100nmAl膜を形成し、その上にさらに厚み50nmのMo膜を形成し、その上にさらにスパッタ法により厚み50nmのITO膜を形成しそれらをフォトリソ法によるパターニングを行い、画素電極(11)を形成した。
続いて、その上に、遮光性樹脂膜として、黒色顔料を分散したアクリル樹脂を厚さ300nmでスピンコートした。続いてフォトリソ法によるパターニングを行い、遮光壁(12)を形成した。
次に、赤光発光層、緑光発光層、青光発光層(13)、受光層(14)をマスク法により順に形成した。赤光発光層(13)には、まずTPD(N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン)約50nm蒸着した後、赤色発光材料(D)及びAlq(トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム)を各々蒸着速度0.004nm/秒、0.4nm/秒で膜厚約50nmとなるように共蒸着した。さらに電子輸送材料(E)約20nmを順に基板温度室温の条件下蒸着した。つぎに緑光発光層(13)として、TPDを50nmの厚さで蒸着し、その上にルブレンを1モル%ドープしたAlqを50nm蒸着した。次に青光発光層(13)として、α−NPD(N,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(α−ナフチル)−ベンジジン)を40nm蒸着し、その上に、下記に示す化合物F(DPVBi)を20nm蒸着し、さらにその上に、化合物Eを40nm蒸着した。
次に、受光層(14)として、まず電子ブロッキング層となるm−MTDATAを20nmし、その上にp型有機半導体の銅フタロシアニンを30nm、n型有機半導体の3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリックビスイミダゾール(PTCBI)を30nm蒸着しさらにその上に、正孔ブロッキング層となる化合物Eを20nm蒸着した。
それらの上に、共通な半透明な対向電極(15)としてMgAg(10:1)を7nm蒸着した。
その上には、第二保護層(16)として、1μmのSiN、1μmのSiO、1μmのSiNをプラズマCVD法により順次成膜した。その上に、封止基板(19)と張り合わせるために、接着剤(17)を塗布した。接着剤は、エポキシ樹脂としてビスフェノールA型エポキシ樹脂(「エピコート825」、(株)ジャパンエポキシレジン社製)、硬化剤としてジエチレントリアミン((株)東京化成工業社製)、シランカップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(「KBM403」、(株)信越化学工業社製)を攪拌混合したものを用いた。硬化前にポリカーボネート封止基板を張り合わせ、その後、25℃で20時間接着剤の硬化を行った。
このシート状の画像読取素子に制御装置を接続し、画像入力装置とした。
[Example] (FIGS. 17 to 19)
A 200 nm Al layer was formed as a light shielding layer (2) on a polycarbonate film substrate (1) having a thickness of 200 μm by sputtering. Subsequently, as the first protective layer (3), 1 μm SiN, 1 μm SiO, and 1 μm SiN were sequentially formed by plasma CVD.
Subsequently, pentacene having a side of about 100 μm and a thickness of 200 nm was formed as the organic semiconductor layer (4) by vacuum evaporation using a mask.
A 200 nm gate insulating film (5) made of a silicon oxide film was formed thereon by plasma CVD while keeping the substrate at a low temperature. A 200 nm chromium film was formed thereon and patterned by photolithography to form a gate electrode (6).
Subsequently, a silicon oxide film having a thickness of 500 nm was formed as the interlayer insulating layer 1 (7), and the gate insulating layer and the interlayer insulating layer were patterned by a photolithography method to form contact holes at positions corresponding to the source electrode and the drain electrode.
Subsequently, a chromium film was formed so as to cover the contact hole, and patterning was performed by a photolithography method to form a source electrode (8) and a drain electrode (9).
A silicon oxide film having a thickness of 500 nm was formed thereon as the interlayer insulating layer 2 (10), and the interlayer insulating layer 2 (10) was patterned by photolithography to form a contact hole at a position corresponding to the pixel electrode.
Subsequently, a 100 nm thick Al film serving as a pixel electrode is formed by sputtering so as to cover this contact hole, a Mo film having a thickness of 50 nm is further formed thereon, and an ITO film having a thickness of 50 nm is further formed thereon by sputtering. They were formed and patterned by photolithography to form pixel electrodes (11).
Subsequently, an acrylic resin in which a black pigment was dispersed was spin-coated as a light-shielding resin film with a thickness of 300 nm. Subsequently, patterning by photolithography was performed to form a light shielding wall (12).
Next, a red light emitting layer, a green light emitting layer, a blue light emitting layer (13), and a light receiving layer (14) were sequentially formed by a mask method. First, TPD (N, N′-bis (3-methylphenyl) -N, N′-diphenylbenzidine) is deposited on the red light emitting layer (13) by about 50 nm, and then the red light emitting material (D) and Alq (Tris) are deposited. (8-hydroxyquinolinato) aluminum) was co-deposited at a deposition rate of 0.004 nm / second and 0.4 nm / second to a film thickness of about 50 nm. Furthermore, about 20 nm of electron transport material (E) was vapor-deposited in order at the substrate temperature of room temperature. Next, as a green light emitting layer (13), TPD was vapor-deposited with a thickness of 50 nm, and Alq doped with 1 mol% of rubrene was vapor-deposited thereon with 50 nm. Next, as a blue light emitting layer (13), α-NPD (N, N′-diphenyl-N, N′-di (α-naphthyl) -benzidine) was vapor-deposited to 40 nm, and the compound F shown below was deposited thereon. (DPVBi) was deposited to 20 nm, and further, Compound E was deposited to 40 nm thereon.
Next, as the light-receiving layer (14), first, m-MTDATA serving as an electron blocking layer is formed to 20 nm, and then copper-phthalocyanine of p-type organic semiconductor is formed to 30 nm, and 3,4,9,10-perylene of n-type organic semiconductor is formed thereon. Tetracarboxyl bisimidazole (PTCBI) was evaporated to 30 nm, and further, Compound E to be a hole blocking layer was evaporated to 20 nm thereon.
On top of them, 7 nm of MgAg (10: 1) was deposited as a common translucent counter electrode (15).
On top of this, 1 μm SiN, 1 μm SiO, and 1 μm SiN were sequentially formed as a second protective layer 16 by plasma CVD. On top of that, an adhesive (17) was applied in order to adhere to the sealing substrate (19). The adhesive is bisphenol A type epoxy resin (“Epicoat 825”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) as an epoxy resin, diethylenetriamine (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a curing agent, and γ− as a silane coupling agent. A mixture obtained by stirring and mixing glycidoxypropyltrimethoxysilane ("KBM403", manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used. Prior to curing, the polycarbonate sealing substrate was laminated, and then the adhesive was cured at 25 ° C. for 20 hours.
A control device was connected to the sheet-like image reading element to form an image input device.

Figure 2007081203
Figure 2007081203

本発明のエリアセンサの好適な実施の形態についての断面図。Sectional drawing about suitable embodiment of the area sensor of this invention. 発光画素の列と受光画素の列とが交互に並んだ配置。An arrangement in which light emitting pixel rows and light receiving pixel rows are arranged alternately. 発光画素はすべて白色発光、受光画素は、赤色光感受性R、緑色光感受性G、青色光感受性Bの順。All the light emitting pixels emit white light, and the light receiving pixels are red light sensitive R, green light sensitive G, and blue light sensitive B in this order. 各発光画素はすべて白色発光、受光画素は、イエロー色光感受性Y、マゼンタ色光感受性M、シアン色光感受性Cの順。All the light emitting pixels emit white light, and the light receiving pixels are yellow light sensitivity Y, magenta light sensitivity M, and cyan light sensitivity C in this order. 発光画素は、赤色発光R、緑色発光G、青色発光Bの順、各受光画素はすべて汎色感受性。The light emitting pixels are red light emitting R, green light emitting G, and blue light emitting B in this order, and each light receiving pixel is panchromatic. 発光画素は、イエロー色発光Y、マゼンタ色発光M、シアン色発光Cの順、各受光画素はすべて汎色感受性。The light emitting pixels are in the order of yellow light emission Y, magenta light emission M, cyan light emission C, and each light receiving pixel is panchromatic. 発光画素と受光画素とが市松模様に交互に並んだ配置。Arrangement of light-emitting pixels and light-receiving pixels arranged alternately in a checkered pattern. 発光画素1つと受光画素3つとをベイヤー配列に配置。One light emitting pixel and three light receiving pixels are arranged in a Bayer array. 白色発光画素1つと赤色光感受性R、緑色光感受性G、青色光感受性Bの各受光画素をベイヤー配列に配置。One white light emitting pixel and each light receiving pixel of red light sensitivity R, green light sensitivity G, and blue light sensitivity B are arranged in a Bayer array. 白色発光画素1つとイエロー色光感受性Y、マゼンタ色光感受性M、シアン色光感受性Cの各受光画素をベイヤー配列に配置。A white light emitting pixel and yellow light sensitivity Y, magenta light sensitivity M, and cyan light sensitivity C are arranged in a Bayer array. 各汎色感受性受光画素上にカラーフィルタ(RGB又はYMC)を配置した構成。A configuration in which a color filter (RGB or YMC) is arranged on each panchromatic sensitive light-receiving pixel. 各白色発光画素上カラーフィルタ(RGB又はYMC)を配置した構成。A configuration in which color filters (RGB or YMC) are arranged on each white light emitting pixel. 発光画素と受光画素を配置した本発明のエリアセンサの装置構成例。The apparatus structural example of the area sensor of this invention which has arrange | positioned the light emission pixel and the light reception pixel. 発光画素回路図例。The example of a light emission pixel circuit diagram. 受光画素回路図例。An example of a light receiving pixel circuit diagram. 読み出し方法例の説明図。Explanatory drawing of the example of a reading method. 本発明のエリアセンサ作製例(実施例)の説明図。Explanatory drawing of the area sensor preparation example (Example) of this invention. 本発明のエリアセンサ作製例(実施例)の説明図(続き)。Explanatory drawing of the area sensor preparation example (Example) of this invention (continuation). 本発明のエリアセンサ作製例(実施例)の説明図(続き)。Explanatory drawing of the area sensor preparation example (Example) of this invention (continuation).

符号の説明Explanation of symbols

0 原稿
1 基板
2 遮光層
3 保護層
4 半導体層
5 ゲート絶縁膜
6 ゲート電極
7 層間絶縁層1
8 ソース電極
9 ドレイン電極
10 層間絶縁層2
11 画素電極
12 遮光壁
13 発光層
14 光電変換層
15 対向透明電極
16 保護層
17 接着層
19 封止基板
100 発光画素
110 発光素子
120 薄膜トランジスタ
200 受光画素
210 光電変換素子
220 薄膜トランジスタ
0 Document 1 Substrate 2 Light-shielding layer 3 Protective layer 4 Semiconductor layer 5 Gate insulating film 6 Gate electrode 7 Interlayer insulating layer 1
8 Source electrode 9 Drain electrode 10 Interlayer insulating layer 2
11 pixel electrode 12 light shielding wall 13 light emitting layer 14 photoelectric conversion layer 15 counter transparent electrode 16 protective layer 17 adhesive layer 19 sealing substrate 100 light emitting pixel 110 light emitting element 120 thin film transistor 200 light receiving pixel 210 photoelectric conversion element 220 thin film transistor

Claims (21)

発光素子を含む発光画素と、光電変換素子を含む受光画素とが、2次元的に配置されていることを特徴とするエリアセンサ。   An area sensor, wherein a light emitting pixel including a light emitting element and a light receiving pixel including a photoelectric conversion element are two-dimensionally arranged. 発光素子と薄膜トランジスタとを積層してなる発光画素と、光電変換素子と薄膜トランジスタとを積層してなる受光画素とが、2次元的に配置されていることを特徴とするエリアセンサ。   An area sensor, wherein a light emitting pixel formed by stacking a light emitting element and a thin film transistor and a light receiving pixel formed by stacking a photoelectric conversion element and a thin film transistor are two-dimensionally arranged. 有機発光素子と薄膜トランジスタとを積層してなる発光画素と、有機光電変換素子と薄膜トランジスタとを積層してなる受光画素とが、2次元的に配置されていることを特徴とするエリアセンサ。   An area sensor, wherein a light emitting pixel formed by stacking an organic light emitting element and a thin film transistor and a light receiving pixel formed by stacking an organic photoelectric conversion element and a thin film transistor are two-dimensionally arranged. 前記薄膜トランジスタに有機半導体を用いていることを特徴とする請求項2または3に記載のエリアセンサ。   The area sensor according to claim 2, wherein an organic semiconductor is used for the thin film transistor. 前記発光素子と光電変換素子の間に遮光壁を形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のエリアセンサ。   The area sensor according to claim 1, wherein a light shielding wall is formed between the light emitting element and the photoelectric conversion element. 前記各発光画素が白色発光であり、前記各受光画素が赤色光、緑色光、青色光のいずれかに感受性、もしくはイエロー色光、マゼンタ色光、シアン色光のいずれかに感受性であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のエリアセンサ。   Each of the light emitting pixels emits white light, and each of the light receiving pixels is sensitive to any of red light, green light, and blue light, or sensitive to any of yellow light, magenta light, and cyan light. The area sensor according to claim 1. 前記各発光画素が赤色発光、緑色発光、青色発光のいずれか、もしくはイエロー色発光、マゼンタ色発光、シアン色発光のいずれかであり、前記各受光画素が汎色感受性であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のエリアセンサ。   Each of the light emitting pixels is one of red light emission, green light emission, and blue light emission, or one of yellow light emission, magenta light emission, and cyan light emission, and each of the light receiving pixels is panchromatic. The area sensor according to claim 1. 前記各発光画素が白色発光、前記各受光画素が汎色感受性であり、各受光画素上に、赤色、緑色、青色フィルタのいずれか、もしくはイエロー色、マゼンタ色、シアン色フィルタのいずれかの、カラーフィルタを配置してあることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のエリアセンサ。   Each of the light emitting pixels emits white light, and each of the light receiving pixels is panchromatic, and on each light receiving pixel, either a red, green, or blue filter, or a yellow, magenta, or cyan filter, The area sensor according to claim 1, further comprising a color filter. 前記各発光画素が白色発光、前記各受光画素が汎色感受性であり、各発光画素上に、赤色、緑色、青色フィルタのいずれか、もしくはイエロー色、マゼンタ色、シアン色フィルタのいずれかの、カラーフィルタを配置してあることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のエリアセンサ。   Each of the light emitting pixels emits white light, each of the light receiving pixels is panchromatic, and on each light emitting pixel, either a red, green, or blue filter, or a yellow, magenta, or cyan filter, The area sensor according to claim 1, further comprising a color filter. 前記各発光画素の列と各受光画素の列とが交互に並んでいることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のエリアセンサ。   The area sensor according to claim 1, wherein the columns of the light emitting pixels and the columns of the light receiving pixels are alternately arranged. 前記各白色発光画素と、前記赤色光、緑色光、青色光のいずれかに感受性、もしくはイエロー色光、マゼンタ色光、シアン色光のいずれかに感受性の各受光画素とがベイヤー配列であることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載のエリアセンサ。   Each of the white light emitting pixels and each of the light receiving pixels sensitive to any of red light, green light, and blue light, or sensitive to any of yellow light, magenta light, and cyan light are in a Bayer array. The area sensor according to claim 1. 前記各画素が、基板上に配置されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のエリアセンサ。   The area sensor according to claim 1, wherein each of the pixels is arranged on a substrate. 前記各画素の前記基板側に遮光層が配置されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のエリアセンサ。   The area sensor according to claim 1, wherein a light shielding layer is disposed on the substrate side of each pixel. 前記基板がフレキシブル基板であることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載のエリアセンサ。   The area sensor according to claim 1, wherein the substrate is a flexible substrate. 請求項1〜14のいずれかに記載のエリアセンサと、前記各発光画素を発光させて露光を行うための露光制御装置と、前記各受光画素から信号を読み出す読み出し装置と、それらを制御する制御手段とを有することを特徴とする画像入力装置。   15. The area sensor according to claim 1, an exposure control device for performing exposure by causing each light emitting pixel to emit light, a reading device for reading a signal from each light receiving pixel, and a control for controlling them. And an image input device. 請求項2〜14のいずれかに記載されたエリアセンサと、前記各発光画素の各薄膜トランジスタに接続され各発光素子を発光させて露光を行うための露光制御装置と、前記各受光画素の各薄膜トランジスタ接続され該薄膜トランジスタを駆動する受光制御装置と、該受光画素の各薄膜トランジスタに接続され各光電変換素子から信号を読み出す読み出し装置と、それらを制御する制御手段とを有することを特徴とする画像入力装置。   The area sensor according to any one of claims 2 to 14, an exposure control device connected to each thin film transistor of each light emitting pixel to emit light from each light emitting element, and each thin film transistor of each light receiving pixel An image input device comprising: a light receiving control device that is connected and drives the thin film transistor; a reading device that is connected to each thin film transistor of the light receiving pixel and reads a signal from each photoelectric conversion element; and a control unit that controls them. . 請求項15または16の画像入力装置を組み込んだことを特徴とする電子写真装置。   An electrophotographic apparatus incorporating the image input apparatus according to claim 15 or 16. 請求項15または16の画像入力装置を組み込んだことを特徴とするホワイトボード。   A whiteboard, wherein the image input device according to claim 15 or 16 is incorporated. 請求項15または16の画像入力装置を組み込んだことを特徴とする携帯電話。   A cellular phone incorporating the image input device according to claim 15 or 16. 請求項15または16の画像入力装置を組み込んだことを特徴とする下敷き様エリアセンサスキャナ。   An underlay-like area sensor scanner incorporating the image input device according to claim 15 or 16. 請求項15または16の画像入力装置を組み込んだことを特徴とするメモノート。   A memo note, wherein the image input device according to claim 15 or 16 is incorporated.
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