JP2007057587A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition excellent in developability and in performance of a cured film, and a photo-solder resist for a printed circuit board. <P>SOLUTION: The alkali developable photosensitive resin composition contains a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional acrylate monomer (B), a photopolymerization initiator (C) and host molecules (D) having inclusion ability, wherein cyclodextrin may be used as the component (D) and its content is preferably 0.1-15 wt.% based on the solid content of the photosensitive resin composition. The photo-solder resist comprises the photosensitive resin composition. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は感光性樹脂組成物に関する。詳しくはプリント配線基板用のフォトソルダーレジストに関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition. Specifically, the present invention relates to a photo solder resist for a printed wiring board.

感光性樹脂組成物は各種の用途に幅広く使用されている。プリント配線基板では、回路の永久保護被膜として感光性樹脂組成物がフォトソルダーレジストとして広く用いられている。フォトソルダーレジストとは回路導体のはんだ付けする部分を除いた全面に被膜が形成されるもので、プリント配線基板に電子部品を配線する際、はんだが不必要な部分に付着するのを防ぐとともに、回路が直接空気に暴露されるのを防止する保護被膜として使用されるものである。現在プリント配線基板用のフォトソルダーレジストとしては高精度化、高密度化、及び環境問題対応の点から、液状のフォトソルダーレジストが広く使用されている。   Photosensitive resin compositions are widely used for various applications. In a printed wiring board, a photosensitive resin composition is widely used as a photo solder resist as a permanent protective film for a circuit. Photo solder resist is a film formed on the entire surface excluding the part to be soldered of the circuit conductor, and when wiring electronic parts on the printed circuit board, it prevents solder from adhering to unnecessary parts, It is used as a protective coating that prevents the circuit from being directly exposed to air. Currently, liquid photo solder resists are widely used as photo solder resists for printed wiring boards from the viewpoints of high precision, high density, and environmental problems.

この液状のフォトソルダーレジストとしては、例えば特許文献−1及び特許文献−2に、ノボラック型エポキシ樹脂のアクリル酸との部分反応物を主成分とするソルダーレジストインク組成物が提案されている。しかしながらこれらの組成物は、露光後の硬化塗膜性能が十分でなく、塗膜形成後にべたつき(タック)が残る等の問題があった。   As this liquid photo solder resist, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2 propose a solder resist ink composition mainly composed of a partial reaction product of a novolak epoxy resin with acrylic acid. However, these compositions have problems such as insufficient cured film performance after exposure and stickiness (tack) remaining after the formation of the coating film.

また特許文献−3にはノボラック型エポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸との付加物と多塩基酸無水物との反応生成物を主成分とする感光性樹脂組成物が提案されており、フォトソルダーレジストとしても使用できることが開示されている。しかしながら、この感光性樹脂組成物は、現像性が十分でなく、また長時間インクを放置すると未露光部に現像むらが発生したりする等の問題があった。
上述の通り、硬化性及び現像性を両立したアルカリ現像可能なフォトソルダーレジストは、まだ得られてはいなかった。
特開昭60−208337号公報 特開昭61−59447号公報 特公平1−54390号公報
Patent Document 3 proposes a photosensitive resin composition comprising as a main component a reaction product of an adduct of a novolak type epoxy resin and an unsaturated monocarboxylic acid and a polybasic acid anhydride. It is disclosed that it can also be used as a resist. However, this photosensitive resin composition has insufficient developability and has problems such as uneven development in unexposed areas when ink is left for a long time.
As described above, an alkali-developable photo solder resist having both curability and developability has not yet been obtained.
JP-A-60-208337 JP-A-61-59447 Japanese Patent Publication No. 1-54390

本発明は、アルカリ現像性及び硬化塗膜性能に優れた感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition excellent in alkali developability and cured coating film performance.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち本発明は、親水性ポリマー(A)、多官能アクリレートモノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び包接能を有するホスト分子(D)を含有するアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物、及び該感光性樹脂組成物からなるプリント配線板用フォトソルダーレジストである。
The inventors of the present invention have arrived at the present invention as a result of intensive studies to solve the above problems.
That is, the present invention relates to an alkali developable photosensitive resin composition comprising a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional acrylate monomer (B), a photopolymerization initiator (C), and a host molecule (D) having an inclusion ability. And a photo solder resist for a printed wiring board comprising the photosensitive resin composition.

本発明の感光性樹脂組成物は、以下の効果を奏する。
・アルカリ現像性に優れる。
・硬化塗膜性能に優れる。
The photosensitive resin composition of the present invention has the following effects.
・ Excellent alkali developability.
-Excellent cured film performance.

本発明の感光性樹脂組成物は、親水性ポリマー(A)、多官能アクリレートモノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び包接能を有するホスト分子(D)(以下、単に(D)と記載する場合がある)を含有することを特徴とするものであり、特に(D)を含有することにより、硬化塗膜性能とアルカリ現像性の両方を兼ね備えた感光性樹脂組成物が得られるものである。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional acrylate monomer (B), a photopolymerization initiator (C), and a host molecule (D) having inclusion ability (hereinafter simply referred to as (D In particular, by containing (D), a photosensitive resin composition having both cured coating film performance and alkali developability is obtained. It is what

本発明において、包接能を有するホスト分子(D)とは、自らが形成している空孔に別の原子又は分子(以下、ゲストと記す場合がある)を取り込む性質をもつ分子を指す。
この包接を引き起こす駆動力としては、疎水相互作用、イオン相互作用、水素結合、ファンデアワールス力等が考えられている。
本発明の感光性樹脂組成物において、(D)はゲストとしてのアルカリ金属イオンを取り込み、その結果として特にアルカリ現像性に優れた効果を発揮するものと考えられる。
In the present invention, the host molecule (D) having an inclusion ability refers to a molecule having a property of taking another atom or molecule (hereinafter sometimes referred to as a guest) into a vacancy formed by itself.
As the driving force that causes the inclusion, hydrophobic interaction, ionic interaction, hydrogen bond, van der Waals force, and the like are considered.
In the photosensitive resin composition of the present invention, it is considered that (D) takes in an alkali metal ion as a guest and, as a result, exhibits an effect particularly excellent in alkali developability.

(D)の具体例としては、環状D−グルカン類(シクロデキストリン、D−グルコピラノース基により構成される糖質類等)、シクロファン類(シクロファン、アザシクロファン等)、カリックスアレン、クラウンエーテル、スフェランド、キャピタンド等の単分子で包接能をもつもの、尿素、チオ尿素、デオキシコール酸、アポコール酸、コール酸、ジニトロジフェニル、ヒドロキノン、ペルヒドロトリフェニレン、トリ−o−チモイド、オキシフラバン、ジシアノアンミンニッケル、ジオキシトリフェニルメタン、メチルナフタリン、スピロクマリン、ペルヒドロトリフェニレン等の多分子系で包接能をもつものが挙げられる。
さらにセルロース、デンプン、キチン、キトサン、タンパク質等の天然高分子やポリビニルアルコール等の合成高分子、及び上記包接能を有する化合物をポリマーにペンダント置換基として懸垂させたポリマー(ポリビニルアルコールにグラフトしたシクロデキストリン、酢酸ビニルにグラフトしたシクロデキストリン等)も包接能を有し(D)の具体例として挙げられる。
上記のうち好ましいのは単分子で包接能をもつものであり、さらに好ましくは環状D−グルカン類、特に好ましくはシクロデキストリンである。
Specific examples of (D) include cyclic D-glucans (cyclodextrin, carbohydrates composed of D-glucopyranose groups, etc.), cyclophanes (cyclophane, azacyclophane, etc.), calixarene, crown A single molecule such as ether, spherand, capitand, etc., which has inclusion ability, urea, thiourea, deoxycholic acid, apocholic acid, cholic acid, dinitrodiphenyl, hydroquinone, perhydrotriphenylene, tri-o-thymoid, oxyflavan, Examples thereof include those having inclusion ability in multimolecular systems such as dicyanoammine nickel, dioxytriphenylmethane, methylnaphthalene, spirocoumarin, and perhydrotriphenylene.
Furthermore, natural polymers such as cellulose, starch, chitin, chitosan, proteins, synthetic polymers such as polyvinyl alcohol, and polymers having the above inclusion ability and a polymer suspended as a pendant substituent (polymer grafted onto polyvinyl alcohol). (Dextrin, cyclodextrin grafted on vinyl acetate, etc.) also have an inclusion ability and can be mentioned as a specific example of (D).
Among these, preferred are single molecules having inclusion ability, more preferred are cyclic D-glucans, and particularly preferred is cyclodextrin.

(Q)の固形分の重量に基づく(D)の含有量は、アルカリ現像性と硬化性の両立の観点から0.1〜15重量%が好ましく、さらに好ましくは0.5〜10%(以下において、%は特に限定しない限り重量%を表す)、特に好ましくは2〜5%である。0.1%以上であればアルカリ現像性がさらに良好に発揮でき、15%以下であれば硬化塗膜性能がさらに良好に発揮できる。
なお、本明細書において「固形分」とは当該組成物から溶剤を除いた成分を意味する。
The content of (D) based on the weight of the solid content of (Q) is preferably 0.1 to 15% by weight, more preferably 0.5 to 10% (below) from the viewpoint of both alkali developability and curability. In the above,% represents% by weight unless otherwise specified), particularly preferably 2 to 5%. If it is 0.1% or more, the alkali developability can be exhibited more favorably, and if it is 15% or less, the cured coating film performance can be exhibited more favorably.
In the present specification, the “solid content” means a component obtained by removing the solvent from the composition.

本発明における親水性ポリマー(A)(以下、単に(A)と表記する場合がある)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
(A)のHLB値は、(A)の樹脂骨格(例えば、ビニル系樹脂、エポキシ系系樹脂、ポリエステル系樹脂など)によって好ましい範囲が異なるが、好ましくは4〜19、さらに好ましくは5〜18、特に好ましくは6〜17である。4以上であればフォトソルダーレジストの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。なお、本発明におけるHLBは、小田法によるHLB値であり、親水性−疎水性バランス値のことであり、有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB≒10×無機性/有機性
また、無機性の値及び有機性の値は、文献「界面活性剤の合成とその応用」(槇書店発行、小田、寺村著)の501頁;または、「新・界面活性剤入門」(藤本武彦著、三洋化成工業株式会社発行)の198頁に詳しく記載されている。
また、(A)の溶解度パラメーター(以下、SP値という。)は、好ましくは7〜14、さら好ましくは8〜13、特に好ましくは11〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であると硬化物の耐水性がさらに良好である。
The hydrophilicity index in the hydrophilic polymer (A) in the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as (A)) is defined by HLB. Generally, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
Although the preferable range of the HLB value of (A) varies depending on the resin skeleton of (A) (for example, vinyl resin, epoxy resin, polyester resin, etc.), it is preferably 4-19, more preferably 5-18. Especially preferably, it is 6-17. When it is 4 or more, developability of the photo solder resist is further improved, and when it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further improved. In addition, HLB in this invention is an HLB value by the Oda method, is a hydrophilicity-hydrophobicity balance value, and can be calculated from the ratio of the organic value and inorganic value of an organic compound.
HLB≈10 × inorganic / organic In addition, the inorganic value and the organic value are described on page 501 of the document “Synthesis of Surfactant and its Application” (published by Tsuji Shoten, written by Oda, Teramura); It is described in detail on page 198 of “Introduction to New Surfactants” (Takehiko Fujimoto, published by Sanyo Chemical Industries, Ltd.).
Moreover, the solubility parameter (hereinafter referred to as SP value) of (A) is preferably 7 to 14, more preferably 8 to 13, and particularly preferably 11 to 13. When it is 7 or more, the developability can be further improved, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY,1974,Vol.14,No.2,ROBERT F.FEDORS.(147〜154頁)」
SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく(分散性が高い)、この数値が離れているものは混ざりにくいことを表す指標である。
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
"POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY, 1974, Vol. 14, No. 2, ROBERT F. FEDORS. (Pp. 147-154)"
Those with close SP values are easy to mix with each other (highly dispersible), and those with a distant numerical value are indexes indicating that they are difficult to mix.

(A)は、現像性の観点からカルボキシル基を有することが好ましい。カルボキシル基の含有量は酸価で示される。
(A)の酸価は、10mgKOH/g以上であると、現像性がさらに良好に発揮されやすく、500mgKOH/g以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。
(A) preferably has a carboxyl group from the viewpoint of developability. The carboxyl group content is indicated by an acid value.
When the acid value of (A) is 10 mgKOH / g or more, developability is more likely to be exhibited, and when it is 500 mgKOH / g or less, the water resistance of the cured product can be further improved.

本発明における酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。
方法は以下の通りである。
(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノール・アセトン溶液[アセトンとメタノールを1:1(容量比)で混合したもの]を加え溶解する。
(ii)フェノールフタレイン指示薬数滴を加え、0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が30秒続いたときを中和の終点とする。
(iii)次式を用いて決定する。
酸価(KOHmg/g)=(A×f×5.61)/S
ただし、A:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液のmL数。
f:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液の力価
S:試料採取(g)
The acid value in the present invention can be measured by an indicator titration method using an alkaline titration solution.
The method is as follows.
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then a neutral methanol / acetone solution (a mixture of acetone and methanol at 1: 1 (volume ratio)) is added and dissolved.
(Ii) Add several drops of phenolphthalein indicator and titrate with 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution. The end point of neutralization is defined as the time when the indicator is slightly red for 30 seconds.
(Iii) Determine using the following equation.
Acid value (KOHmg / g) = (A × f × 5.61) / S
However, A: The number of mL of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution.
f: Potency of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution
S: Sampling (g)

(A)としては、親水性ビニル系ポリマー(A1)(以下、単に(A1)と表記する場合がある)、親水性エポキシ系ポリマー(A2)(以下、単に(A2)と表記する場合がある)、親水性ポリエステル樹脂、親水性ポリアミド樹脂、親水性ポリカーボネート樹脂および親水性ポリウレタン樹脂などが挙げられる。(A)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらのうち、得られる硬化物の硬度の観点と、製造のし易さの観点から、好ましいのは(A1)および(A2)である。
Examples of (A) include a hydrophilic vinyl polymer (A1) (hereinafter sometimes simply referred to as (A1)) and a hydrophilic epoxy polymer (A2) (hereinafter simply referred to as (A2)). ), Hydrophilic polyester resins, hydrophilic polyamide resins, hydrophilic polycarbonate resins, and hydrophilic polyurethane resins. (A) may be used by 1 type and may use 2 or more types together.
Of these, (A1) and (A2) are preferred from the viewpoint of the hardness of the resulting cured product and the ease of production.

(A1)としては、親水基をビニル系ポリマー分子の側鎖および/または末端に有するものが挙げられる。
親水基としては、カルボキシル基、水酸基、スルホン酸基、アミノ基、アミド基、ポリエーテル基およびこれらのうちの2種以上の併用などが挙げられる。
充分な現像性を発揮するためには側鎖に親水基、特にカルボキシル基を有するものが好ましい。
Examples of (A1) include those having a hydrophilic group in the side chain and / or terminal of the vinyl polymer molecule.
Examples of the hydrophilic group include a carboxyl group, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, an amino group, an amide group, a polyether group, and a combination of two or more of these.
In order to exhibit sufficient developability, those having a hydrophilic group, particularly a carboxyl group in the side chain are preferred.

(A1)の好ましい製造方法は、親水基を有するビニルモノマー(a)(以下、単に(a)と表記する場合がある)と、必要により疎水基含有ビニルモノマー(b)(以下、単に(b)と表記する場合がある)とをビニル重合して得られる。   A preferred production method of (A1) is a vinyl monomer having a hydrophilic group (a) (hereinafter sometimes simply referred to as (a)) and, if necessary, a hydrophobic group-containing vinyl monomer (b) (hereinafter simply referred to as (b) ) May be represented by vinyl polymerization.

親水基を有するビニルモノマー(a)としては、以下の(a1)〜(a7)のビニルモノマーが挙げられる。
(a1)水酸基含有ビニルモノマー:
ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート[2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなど]、ポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート[ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートなど]、アルキロール(メタ)アクリルアミド[N−メチロール(メタ)アクリルアミドなど]、ヒドロキシスチレンおよび2−ヒドロキシエチルプロペニルエーテルなどが挙げられる。
(a1)のうち好ましいのはアルカリ現像性の観点からヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、特に2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートである。
Examples of the vinyl monomer (a) having a hydrophilic group include the following vinyl monomers (a1) to (a7).
(A1) Hydroxyl-containing vinyl monomer:
Hydroxyalkyl (meth) acrylate [2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, etc.], polyalkylene glycol mono (meth) acrylate [polyethylene glycol mono (meta ) Acrylate etc.], alkylol (meth) acrylamide [N-methylol (meth) acrylamide etc.], hydroxystyrene and 2-hydroxyethylpropenyl ether.
Among (a1), preferred is hydroxyalkyl (meth) acrylate, particularly 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, from the viewpoint of alkali developability.

(a2)カルボキシル基含有ビニルモノマー:
不飽和モノカルボン酸[(メタ)アクリル酸、クロトン酸および桂皮酸など]、不飽和多価(2〜4価)カルボン酸[(無水)マレイン酸、イタコン酸、フマル酸およびシトラコン酸など]、不飽和多価カルボン酸アルキル(炭素数1〜10のアルキル基)エステル[マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステルおよびシトラコン酸モノアルキルエステルなど]、並びにこれらの塩[アルカリ金属塩(ナトリウム塩およびカリウム塩等)、アルカリ土類金属塩(カルシウム塩およびマグネシウム塩等)、アミン塩およびアンモニウム塩等]が挙げられる。
(a2)のうち好ましいのは親水性の観点から不飽和モノカルボン酸、さらに好ましいのは(メタ)アクリル酸である。
(a3)スルホン酸基含有ビニルモノマー:
例えば、ビニルスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸、2−(メタ)アクリロイルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸およびこれらの塩が挙げられる。塩としてはアルカリ金属(ナトリウムおよびカリウム等)塩、アルカリ土類金属(カルシウムおよびマグネシウム等)塩、第1〜3級アミン塩、アンモニウム塩および第4級アンモニウム塩などが挙げられる。
(A2) Carboxyl group-containing vinyl monomer:
Unsaturated monocarboxylic acids [such as (meth) acrylic acid, crotonic acid and cinnamic acid], unsaturated polyvalent (2-4 valent) carboxylic acids [such as (anhydrous) maleic acid, itaconic acid, fumaric acid and citraconic acid], Unsaturated polyvalent carboxylic acid alkyl (alkyl group having 1 to 10 carbon atoms) ester [maleic acid monoalkyl ester, fumaric acid monoalkyl ester, citraconic acid monoalkyl ester, etc.] and salts thereof [alkali metal salt (sodium salt) And potassium salts, etc.), alkaline earth metal salts (calcium salts and magnesium salts, etc.), amine salts and ammonium salts, etc.].
Of (a2), preferred is an unsaturated monocarboxylic acid from the viewpoint of hydrophilicity, and more preferred is (meth) acrylic acid.
(A3) Sulphonic acid group-containing vinyl monomer:
Examples thereof include vinyl sulfonic acid, (meth) allyl sulfonic acid, styrene sulfonic acid, α-methyl styrene sulfonic acid, 2- (meth) acryloylamido-2-methylpropane sulfonic acid, and salts thereof. Examples of the salt include alkali metal (sodium and potassium) salts, alkaline earth metal (calcium and magnesium) salts, primary to tertiary amine salts, ammonium salts and quaternary ammonium salts.

(a4)アミノ基含有ビニルモノマー:
3級アミノ基含有(メタ)アクリレート[ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートおよびジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートなどのジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート]などが挙げられる。
(a5)アミド基含有ビニルモノマー:
(メタ)アクリルアミド、N−アルキル(炭素数1〜6)(メタ)アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、N,N’−メチレン−ビス(メタ)アクリルアミド、N,N−ジアルキル(炭素数1〜6)またはジアラルキル(炭素数7〜15)(メタ)アクリルアミド(例えば、N,N−ジメチルアクリルアミドおよびN,N−ジベンジルアクリルアミドなど)、メタクリルホルムアミド、N−メチル−N−ビニルアセトアミド、桂皮酸アミドおよび環状アミド(N−ビニルピロリドン、N−アリルピロリドン等)が挙げられる。
(a6)第4級アンモニウム塩基含有ビニルモノマー;
炭素数6〜50(好ましくは8〜20)の第3級アミノ基含有ビニルモノマーの4級化物(4級化剤としては、メチルクロライド、ジメチル硫酸、ベンジルクロライドおよびジメチルカーボネート等)、例えば、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物およびジエチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物などが挙げられる。
(a7)ポリエーテル基含有ビニルモノマー:
アルコキシ(アルコキシ基の炭素数1〜8)ポリアルキレン(アルキレン基の炭素数2〜4)グリコールモノ(メタ)アクリレート[メトキシポリエチレングリコール(重合度2〜40)モノ(メタ)アクリレートおよびメトキシポリプロピレングリコール(重合度2〜30)モノ(メタ)アクリレートなど]などが挙げられる。
(A4) Amino group-containing vinyl monomer:
Tertiary amino group-containing (meth) acrylates [dialkylaminoalkyl (meth) acrylates such as dimethylaminoethyl (meth) acrylate and diethylaminoethyl (meth) acrylate)] and the like.
(A5) Amide group-containing vinyl monomer:
(Meth) acrylamide, N-alkyl (C1-6) (meth) acrylamide, diacetone acrylamide, N, N'-methylene-bis (meth) acrylamide, N, N-dialkyl (C1-6) or Diaralkyl (7 to 15 carbon atoms) (meth) acrylamide (for example, N, N-dimethylacrylamide and N, N-dibenzylacrylamide), methacrylformamide, N-methyl-N-vinylacetamide, cinnamic amide and cyclic amide (N-vinylpyrrolidone, N-allylpyrrolidone, etc.).
(A6) a quaternary ammonium base-containing vinyl monomer;
A quaternized product of a tertiary amino group-containing vinyl monomer having 6 to 50 carbon atoms (preferably 8 to 20 carbon atoms, such as methyl chloride, dimethyl sulfate, benzyl chloride and dimethyl carbonate), for example, dimethyl Examples include quaternized aminoethyl (meth) acrylate, quaternized diethylaminoethyl (meth) acrylate, quaternized dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, and quaternized diethylaminoethyl (meth) acrylamide.
(A7) Polyether group-containing vinyl monomer:
Alkoxy (alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms) polyalkylene (alkylene group having 2 to 4 carbon atoms) glycol mono (meth) acrylate [methoxypolyethylene glycol (degree of polymerization 2 to 40) mono (meth) acrylate and methoxypolypropylene glycol ( Polymerization degree 2-30) mono (meth) acrylate, etc.].

(a)のうち好ましいのは、充分な現像性を付与するという観点から(a1)および(a2)、特に(a2)である。 Of these, (a) is preferably (a1) and (a2), particularly (a2) from the viewpoint of imparting sufficient developability.

疎水基含有ビニルモノマー(b)としては、以下の非イオン性のモノマー(b1)〜(b6)が挙げられる。 Examples of the hydrophobic group-containing vinyl monomer (b) include the following nonionic monomers (b1) to (b6).

(b1)(メタ)アクリル酸エステル;
アルキル基の炭素数1〜20のアルキル(メタ)アクリレート[例えばメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル(メタ)アクリレートおよび2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートなど];脂環基含有(メタ)アクリレート[ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シジクロペンテニル(メタ)アクリレートおよびイソボルニル(メタ)アクリレートなど];
(B1) (meth) acrylic acid ester;
C1-C20 alkyl (meth) acrylate of an alkyl group [for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate, etc.]; alicyclic group-containing (meth) acrylate [dicyclopentanyl (meth) acrylate, sidiclopentenyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, etc. ];

(b2)芳香族炭化水素モノマー;
スチレン骨格を有する炭化水素モノマー[例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、2,4−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレンおよびベンジルスチレン]およびビニルナフタレンなどが挙げられる。
(b3)カルボン酸ビニルエステル;
炭素数4〜50のもの、例えば酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルおよび酪酸ビニルなどが挙げられる。
(b4)ビニルエーテル系モノマー;
炭素数3〜50(好ましくは6〜20)のもの、例えば、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル、ビニルブチルエーテルなどが挙げられる。
(b5)ビニルケトン系モノマー;
炭素数4〜50のもの、例えば、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトンおよびビニルフェニルケトンなどが挙げられる。
(b6)ハロゲン原子含有モノマー;
炭素数2〜50(好ましくは2〜20)のもの、例えば、塩化ビニル、臭化ビニル、塩化ビニリデン、クロルスチレンおよびブロムスチレンなどが挙げられる。
(B2) an aromatic hydrocarbon monomer;
And hydrocarbon monomers having a styrene skeleton [for example, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, 2,4-dimethylstyrene, ethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, phenylstyrene, cyclohexylstyrene, and benzylstyrene] and vinylnaphthalene. It is done.
(B3) carboxylic acid vinyl ester;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl acetate, vinyl propionate and vinyl butyrate.
(B4) vinyl ether monomers;
Those having 3 to 50 (preferably 6 to 20) carbon atoms such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, vinyl propyl ether, vinyl butyl ether and the like can be mentioned.
(B5) vinyl ketone monomer;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl methyl ketone, vinyl ethyl ketone, and vinyl phenyl ketone.
(B6) a halogen atom-containing monomer;
Examples thereof include those having 2 to 50 (preferably 2 to 20) carbon atoms, such as vinyl chloride, vinyl bromide, vinylidene chloride, chlorostyrene and bromostyrene.

(b)のうち好ましいのは、硬化性の観点から(b1)、さらに好ましいのは脂環基含有(メタ)アクリレートである。   Preferred among (b) is (b1) from the viewpoint of curability, and more preferred is an alicyclic group-containing (meth) acrylate.

(A1)における、(a)/(b)の仕込みモノマーモル比は、通常10〜100/0〜90、硬化性と現像性の観点から、好ましくは10〜80/20〜90、さらに好ましくは25〜85/15〜75である。   In (A1), the charged monomer molar ratio of (a) / (b) is usually from 10 to 100/0 to 90, preferably from 10 to 80/20 to 90, more preferably from the viewpoint of curability and developability. ~ 85 / 15-75.

(A1)は、上記の(a)および必要により(b)を構成単量体とする重合体に、さらに
硬化性を向上させる目的で(メタ)アクリロイル基を側鎖に含有させてもよい。
側鎖に(メタ)アクリロイル基を含有させる方法としては、例えば下記の(1)および(2)の方法が挙げられる。
(1);(a)のうちの少なくとも一部にイソシアネート基と反応しうる基(水酸基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物(アクリロイルエチルイソシアネートなど)を反応させる方法、
(2);(a)のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる基(水酸基、カルボキシル基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とエポキシ基を有する化合物(グリシジルアクリレートなど)を反応させる方法。
(A1) may contain a (meth) acryloyl group in the side chain for the purpose of further improving curability in the polymer having (a) and, if necessary, (b) as a constituent monomer.
Examples of the method of incorporating a (meth) acryloyl group in the side chain include the following methods (1) and (2).
(1): A polymer is produced using a monomer having a group capable of reacting with an isocyanate group (such as a hydroxyl group or a primary or secondary amino group) in at least a part of (a), and then (meth) A method of reacting a compound having an acryloyl group and an isocyanate group (such as acryloylethyl isocyanate);
(2); producing a polymer using a monomer having a group capable of reacting with an epoxy group (hydroxyl group, carboxyl group, primary or secondary amino group, etc.) in at least a part of (a); A method of reacting a compound having a (meth) acryloyl group and an epoxy group (such as glycidyl acrylate).

(A1)の数平均分子量(以下、Mnと略記。ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーによる測定値)は、硬化物となったときの硬度と現像性の観点から、好ましくは500〜500,000、さらに好ましくは1,000〜100,000、特に好ましくは3,000〜20,000である。   The number average molecular weight of (A1) (hereinafter abbreviated as Mn. Measured value by gel permeation chromatography) is preferably 500 to 500,000 from the viewpoint of hardness and developability when it becomes a cured product. Preferably it is 1,000-100,000, Most preferably, it is 3,000-20,000.

(A1)は、モノマーを必要により溶剤(E4)(以下、単に(E4)と表記する場合がある)で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行う事で得ることが出来る。溶剤(E4)としては、グリコールエーテル類(エチレングリコールモノアルキルエーテルおよびプロピレングリコールモノアルキルエーテルなど)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソフ゛チルケトンおよびシクロヘキサノンなど)、およびエステル類(ブチルアセテート、エチレングリコールアルキルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールアルキルエーテルアセテートなど)が挙げられる。(E4)のうち好ましいのはケトン類およびエステル類である。
(E4)を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、モノマーの合計重量に基づいて通常、1〜400%、好ましくは5〜300%、特に好ましくは10〜200%である。
重合開始剤としては、過酸化物及びアゾ化合物が挙げられる。
過酸化物としては、無機過酸化物(例えば、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウムなど)、および有機過酸化物(例えば、過酸化ベンゾイル、ジ−t−ブチルパーオキサイド、クメンヒドロパーオキサイド、ラウリルパーオキシドなど)などが挙げられる。アゾ化合物としては、アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、アゾビスシアノ吉草酸およびその塩(例えば塩酸塩など)、およびアゾビス(2−アミジノプロパン)ハイドロクロライドなどが挙げられる。好ましいものとしては、アゾ化合物である。重合開始剤の使用量としては、モノマーの合計重量に基づいて、通常、0.0001〜20%が好ましく、さらに好ましくは0.001〜15%、特に好ましくは0.005〜10%である。反応温度および反応時間は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定される。
(A1) can be obtained by performing polymerization with a radical polymerization initiator after diluting the monomer with a solvent (E4) (hereinafter sometimes simply referred to as (E4)) if necessary. Solvents (E4) include glycol ethers (such as ethylene glycol monoalkyl ether and propylene glycol monoalkyl ether), ketones (such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone), and esters (butyl acetate, ethylene glycol alkyl). Ether acetate and propylene glycol alkyl ether acetate). Of (E4), ketones and esters are preferred.
When (E4) is used, the amount used is not particularly limited, but is usually 1 to 400%, preferably 5 to 300%, particularly preferably 10 to 200% based on the total weight of the monomers.
Examples of the polymerization initiator include peroxides and azo compounds.
Peroxides include inorganic peroxides (eg, hydrogen peroxide, ammonium persulfate, potassium persulfate, sodium persulfate, etc.) and organic peroxides (eg, benzoyl peroxide, di-t-butyl peroxide, Cumene hydroperoxide, lauryl peroxide, etc.). Examples of the azo compound include azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), azobisisobutyronitrile, azobis (2-methylbutyronitrile), azobiscyanovaleric acid and its salts (for example, hydrochloride), and azobis (2 -Amidinopropane) hydrochloride and the like. Preferred is an azo compound. As a usage-amount of a polymerization initiator, 0.0001-20% is preferable normally based on the total weight of a monomer, More preferably, it is 0.001-15%, Most preferably, it is 0.005-10%. The reaction temperature and reaction time are appropriately determined depending on the type of radical polymerization initiator.

前述のように(A)の親水性の指標はHLBにより規定されるが、このうちの(A1)のHLB値は、好ましくは9〜19、さらに好ましくは10〜18、特に好ましくは11〜17である。(A1)のHLBが9以上であれば、現像性がさらに良好に発揮できる。   As described above, the hydrophilicity index of (A) is defined by HLB. Of these, the HLB value of (A1) is preferably 9 to 19, more preferably 10 to 18, particularly preferably 11 to 17. It is. If the HLB of (A1) is 9 or more, developability can be further improved.

本発明における(A)のうちのエポキシ系ポリマー(A2)(以下、単に(A2)と表記する場合がある)は、水酸基又はカルボキシル基等の親水性を有する官能基を含むエポキシ樹脂骨格を有するポリマーである。   The epoxy-based polymer (A2) in the present invention (A) (hereinafter sometimes simply referred to as (A2)) has an epoxy resin skeleton containing a functional group having hydrophilicity such as a hydroxyl group or a carboxyl group. It is a polymer.

(A2)の好ましい製造法は、エポキシ樹脂(A20)(以下、単に(A20)と表記する場合がある)中のエポキシ基に、アクリロイル基含有モノカルボン酸を反応させてエポキシ基を開環させて水酸基を生成させ、該水酸基の一部に多価カルボン酸もしくはその多価カルボン酸無水物(e)(以下、単に(e)と表記する場合がある)を反応させる方法である。 A preferred production method of (A2) is to open an epoxy group by reacting an acryloyl group-containing monocarboxylic acid with an epoxy group in an epoxy resin (A2 0 ) (hereinafter sometimes simply referred to as (A2 0 )). This is a method in which a hydroxyl group is generated by ringing, and a polyvalent carboxylic acid or a polyvalent carboxylic acid anhydride (e) (hereinafter sometimes simply referred to as (e)) is reacted with a part of the hydroxyl group.

(A20)としては、脂肪族エポキシ樹脂[例えばエポトートYH−300、PG−202、PG−207(いずれも東都化成社製)など]や脂環式エポキシ樹脂[例えばCY−179、CY−177、CY−175(いずれも旭化成エポキシ社製)など]や芳香族エポキシ樹脂[例えば、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビフェニール型エポキシ樹脂おおびグリシジル変性ポリビニルフェノールなど]が挙げられる。
(A20)のうち好ましいのは硬化性の観点から芳香族エポキシ樹脂である。
アクリロイル基含有モノカルボン酸としては、アクリル酸が挙げられる。
多価カルボン酸および多価カルボン酸無水物(e)としては、前述の(a)のうちの不飽和多価カルボン酸およびそれらの無水物、並びに飽和多価(2〜6価)カルボン酸(例えばシュウ酸、コハク酸、フタル酸、アジピン酸、ドデカン二酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸およびオクタデセニルコハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸;テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸およびナフタレンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸)およびそれらの無水物(例えば、無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸、ペンタデセニル無水コハク酸およびオクタデセニル無水コハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸無水物;無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸無水物およびナフタレンテトラカルボン 酸 無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物)が挙げられる。好ましいのは、反応性及び現像性の観点から飽和多価カルボン酸無水物である。
Examples of (A2 0 ) include aliphatic epoxy resins [eg, Etototo YH-300, PG-202, PG-207 (all manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.)] and alicyclic epoxy resins [eg, CY-179, CY-177. CY-175 (all manufactured by Asahi Kasei Epoxy Co., Ltd.)] and aromatic epoxy resins [eg, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, bisphenol A epoxy resin, biphenyl type epoxy resin and glycidyl modified polyvinylphenol] Can be mentioned.
Among (A2 0 ), an aromatic epoxy resin is preferable from the viewpoint of curability.
Examples of the acryloyl group-containing monocarboxylic acid include acrylic acid.
Examples of the polyvalent carboxylic acid and the polyvalent carboxylic acid anhydride (e) include the unsaturated polyvalent carboxylic acids and their anhydrides in the aforementioned (a), and saturated polyvalent (2-6 valent) carboxylic acids ( Aliphatic saturated polycarboxylic acids such as oxalic acid, succinic acid, phthalic acid, adipic acid, dodecanedioic acid, dodecenyl succinic acid, pentadecenyl succinic acid and octadecenyl succinic acid; tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic Acids, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, aromatic polycarboxylic acids such as biphenyltetracarboxylic acid and naphthalenetetracarboxylic acid) and their anhydrides (eg, succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, Aliphatic saturated polycarboxylic acids such as pentadecenyl succinic anhydride and octadecenyl succinic anhydride Water, aromatics such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, biphenyltetracarboxylic anhydride and naphthalenetetracarboxylic anhydride Polyvalent carboxylic acid anhydride). A saturated polycarboxylic acid anhydride is preferable from the viewpoint of reactivity and developability.

(A2)の製造における、アクリル酸/(A20)の仕込み重量比は、好ましいのは(A2)のアクリロイル基の濃度が1.0mmol/g以上となるようなアクリル酸の仕込み重量比である。アクリル酸/(A20)の重量比は上記の観点から、好ましくは0.072以上/1、さらに好ましくは0.079〜0.72/1である。
(A20)とアクリル酸の反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは5〜30時間である。また、必要により触媒(例えば、トリフェニルホスフィンなど)およびラジカル重合禁止剤(ヒドロキノン、p−メトキシフェノールなど)を用いてもよい。
また、(A20)のアクリル酸付加物の重量に対する、(e)の仕込み当量は、(A2)の酸価が、好ましくは10〜500mgKOH/gとなるような(e)の仕込み当量であり、例えば、(e)が2価カルボン酸もしくはその無水物である場合、(e)の仕込み当量/(A20)のアクリル酸付加物の重量は、上記の観点から、好ましくは0.18〜8.9ミリ当量/g、さらに好ましくは0.53〜7.1ミリ当量/gである。
(A20)のアクリル酸付加物と(e)との反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは3〜10時間である。
In the production of (A2), the charged weight ratio of acrylic acid / (A2 0 ) is preferably a charged weight ratio of acrylic acid such that the concentration of the acryloyl group in (A2) is 1.0 mmol / g or more. . From the above viewpoint, the weight ratio of acrylic acid / (A2 0 ) is preferably 0.072 or more / 1, and more preferably 0.079 to 0.72 / 1.
The reaction temperature in the reaction between (A2 0 ) and acrylic acid is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 5 to 30 hours. Further, if necessary, a catalyst (for example, triphenylphosphine) and a radical polymerization inhibitor (hydroquinone, p-methoxyphenol, etc.) may be used.
The charge equivalent of (e) relative to the weight of the acrylic acid adduct of (A2 0 ) is the charge equivalent of (e) such that the acid value of (A2) is preferably 10 to 500 mgKOH / g. For example, when (e) is a divalent carboxylic acid or an anhydride thereof, the weight of the charged equivalent of (e) / acrylic acid adduct of (A2 0 ) is preferably 0.18 to The amount is 8.9 meq / g, more preferably 0.53 to 7.1 meq / g.
The reaction temperature in the reaction of the acrylic acid adduct of (A2 0 ) and (e) is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 3 to 10 hours.

(A2)のMnは、硬化物となったときの硬度と現像性の観点から、通常500〜3,000、好ましくは1,000〜2,800、特に好ましくは1,500〜2,500である。   Mn of (A2) is usually 500 to 3,000, preferably 1,000 to 2,800, particularly preferably 1,500 to 2,500, from the viewpoints of hardness and developability when it becomes a cured product. is there.

(A2)のHLB値は、好ましくは4〜14、さらに好ましくは5〜13、特に好ましくは6〜12である。(A2)のHLBが4以上であれば、現像性がさらに良好に発揮できる。   The HLB value of (A2) is preferably 4 to 14, more preferably 5 to 13, and particularly preferably 6 to 12. If the HLB of (A2) is 4 or more, developability can be further improved.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、(Q)の固形分に基づいて、(A)を好ましくは10〜50%、さらに好ましくは15〜45%、特に好ましくは20〜40%含有する。
10%以上であればさらに良好に現像性を発揮でき、50%以下であれば硬化物の硬度がさらに良好になる。
The photosensitive resin composition (Q) of the present invention contains (A) preferably 10 to 50%, more preferably 15 to 45%, particularly preferably 20 to 40% based on the solid content of (Q). To do.
If it is 10% or more, the developability can be further improved, and if it is 50% or less, the hardness of the cured product is further improved.

本発明において、(Q)中の1つの成分として用いられる多官能アクリレートモノマー(B)(以下、単に(B)と表記する場合がある)としては、通常の多官能アクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられ、2官能アクリレート(B1)、3官能アクリレート(B2)および4〜6官能アクリレート(B3)が挙げられる。(B)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   In the present invention, the polyfunctional acrylate monomer (B) used as one component in (Q) (hereinafter sometimes simply referred to as (B)) is an ordinary polyfunctional acrylate monomer. Used without limitation, bifunctional acrylate (B1), trifunctional acrylate (B2) and 4-6 functional acrylate (B3) can be mentioned. (B) may be used alone or in combination of two or more.

2官能アクリレート(B1)としては、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、グリセリンジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、1,10−デカンジオールジアクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジアクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジアクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジアクリレート、トリメチロールプロパンアクリル酸安息香酸エステル、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリル酸付加物、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、2−アクリロイロキシエチルアシッドホスフェート等が例示される。   Examples of the bifunctional acrylate (B1) include ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, dipropylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, glycerin diacrylate, 1 , 4-butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, 1,10-decanediol diacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol diacrylate, 2- Butyl-2-ethyl-1,3-propanediol diacrylate, dimethylol-tricyclodecane diacrylate, ethylene of bisphenol A Diacrylate of xide adduct, diacrylate of propylene oxide adduct of bisphenol A, trimethylolpropane acrylic acid benzoate, bisphenol A diglycidyl ether acrylic acid adduct, hydroxypivalic acid neopentyl glycol diacrylate, 2-acryloyl Examples include loxyethyl acid phosphate.

3官能アクリレート(B2)としては、グリセリントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート等が例示される。   Examples of the trifunctional acrylate (B2) include glycerin triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, triacrylate of trimethylolpropane ethylene oxide adduct, and the like.

4〜6官能アクリレート(B3)としては、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が例示される。   Examples of the 4- to 6-functional acrylate (B3) include pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and the like.

これらのうち好ましいものは、(B2)及び(B3)、最も好ましいものは硬化性の観点からジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびこれらの併用である。市場から容易に入手できる(B)としては、例えば、アロニックスM−101、M−208、M−240、M−305、M−400(以上、東亞合成製)等が挙げられる。   Of these, (B2) and (B3) are preferable, and most preferable are dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and combinations thereof from the viewpoint of curability. Examples of (B) that can be easily obtained from the market include Aronix M-101, M-208, M-240, M-305, and M-400 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.).

また、本発明における(B)には、その一部に感光性アクリルオリゴマー(B4)を含んでいてもよい。(B4)としては、Mnが1,000以下であって、カルボキシル基を含有せず、1分子中に2個以上のアクリロイル基を有するウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレートおよびポリエーテルアクリレートなどが挙げられる。
(B)中の(B4)の含有量は好ましくは50%以下、さらに好ましくは30%以下である。
Moreover, (B) in this invention may contain the photosensitive acrylic oligomer (B4) in the one part. Examples of (B4) include urethane acrylate, polyester acrylate, and polyether acrylate having Mn of 1,000 or less and containing no carboxyl group and having two or more acryloyl groups in one molecule.
The content of (B4) in (B) is preferably 50% or less, more preferably 30% or less.

(Q)の固形分の重量に基づく(B)の含有量は、10〜60%が好ましく、さらに好ましくは20〜55%、特に好ましくは25〜50%である。10%以上であれば、硬化物の硬度がさらに好ましくなり、60%以下であれば、さらに現像性が良好になる。   The content of (B) based on the weight of the solid content of (Q) is preferably 10 to 60%, more preferably 20 to 55%, and particularly preferably 25 to 50%. If it is 10% or more, the hardness of the cured product is further preferred, and if it is 60% or less, the developability is further improved.

(Q)中の1つの成分として用いられる光重合開始剤(C)(以下、単に(C)と表記する場合がある)としては、光ラジカル重合開始剤が用いられる。例えば、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾフェノン、メチルベンゾイルフォーメート、イソプロピルチオキサントン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、tert−ブチルアントラキノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、ミヒラーズケトン、ベンジル−2,4,6−(トリハロメチル)トリアジン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9ーアクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、ジメチルベンジルケタール、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、トリブロモメチルフェニルスルホン及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等が挙げられる。(C)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   As the photopolymerization initiator (C) used as one component in (Q) (hereinafter sometimes simply referred to as (C)), a photoradical polymerization initiator is used. For example, benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzophenone, methyl benzoyl formate, isopropyl thioxanthone, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, tert-butylanthraquinone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, acetophenone, 2,2- Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2-hydride Xyl-2-methylpropiophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 2-chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, Michler's ketone, benzyl- 2,4,6- (trihalomethyl) triazine, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 9-phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,5- Bis (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, dimethylbenzyl ketal, trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, tribromomethylphenylsulfone and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4 Morpholinophenyl) - butan-1-one, and the like. (C) may be used alone or in combination of two or more.

(C)は、市販のものが容易に入手することができ、例えばイルガキュア907、イルガキュア369(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)等が挙げられる。   As (C), a commercially available product can be easily obtained. Examples thereof include Irgacure 907 and Irgacure 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

(Q)の固形分の重量に基づく(C)の含有量は、0.0001〜20%が好ましく、さらに好ましくは0.001〜15%、特に好ましくは0.005〜10%である。0.0001%以上であれば硬化物の硬度がさらに良好に発揮でき、20%以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。   The content of (C) based on the weight of the solid content of (Q) is preferably 0.0001 to 20%, more preferably 0.001 to 15%, and particularly preferably 0.005 to 10%. If it is 0.0001% or more, the hardness of the cured product can be exhibited more favorably, and if it is 20% or less, developability can be exhibited more favorably.

(Q)は、必要によりさらにその他の成分(E)を含有していてもよい。
(E)としては、無機微粒子(E1)、増感剤(E2)、重合禁止剤(E3)、溶剤(E4)、有機顔料(E5)並びにその他の添加剤(E6)(例えば、化学めっき抑制剤、シランカップリング剤、レベリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤及び防かび剤等)が挙げられる。
(Q) may further contain other components (E) as necessary.
(E) includes inorganic fine particles (E1), sensitizer (E2), polymerization inhibitor (E3), solvent (E4), organic pigment (E5), and other additives (E6) (for example, chemical plating suppression) Agents, silane coupling agents, leveling agents, dyes, fluorescent brighteners, yellowing inhibitors, antioxidants, antifoaming agents, deodorants, fragrances, bactericides, fungicides, fungicides, etc.) Can be mentioned.

無機微粒子(E1)としては、無機質からなる微粒子であれば特に限定せずに使用できる。(E1)の好ましい体積平均粒子径は1〜5,000nmである。
体積平均粒子径は、その添加目的に依って、さらに好ましい範囲が異なり、硬化物の硬度を向上させる目的の場合は、さらに好ましい範囲は1〜300nm、特に好ましい範囲は1〜100nmであり、顔料として添加する場合は、さらに好ましい範囲は100〜5,000nm、特に好ましい範囲は200〜5,000nmである。
体積平均粒子径の測定は、例えばトルエンを溶媒にしてレーザー散乱式粒度分布測定装置LA−920(堀場製作所(株)製)で行うことができる。
(E1)としては、金属酸化物(E11)、金属塩(E12)、その他の無機物(E13)およびこれらの併用が挙げられる。
(E11)としては、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素および酸化アルミニウム等が挙げられる。
(E12)としては、例えば、アルカリ土類金属炭酸塩(炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウムなど)およびアルカリ土類金属硫酸塩(硫酸カルシウム、硫酸バリウムなど)等が挙げられる。
(E13)としては、マイカ、カオリン、タルク、ケイ酸アルミ、クレーなどが挙げられる。
(E1)のうち好ましいのは、硬化物の硬度向上の場合は(E11)、特に耐熱性および耐薬品性の観点から微粒子状(例えば、体積平均粒子径が1〜100nm)の酸化ケイ素であり、顔料として使用する場合は(E12)のうちのアルカリ土類金属硫酸塩(特に硫酸バリウム)および(E13)のうちのタルクである。
As the inorganic fine particles (E1), any inorganic fine particles can be used without particular limitation. A preferred volume average particle diameter of (E1) is 1 to 5,000 nm.
The volume average particle diameter is further preferably different depending on the purpose of addition, and for the purpose of improving the hardness of the cured product, the more preferable range is 1 to 300 nm, and the particularly preferable range is 1 to 100 nm. In the case of adding as, a more preferable range is 100 to 5,000 nm, and a particularly preferable range is 200 to 5,000 nm.
The volume average particle size can be measured, for example, using toluene as a solvent with a laser scattering particle size distribution analyzer LA-920 (manufactured by Horiba, Ltd.).
Examples of (E1) include metal oxide (E11), metal salt (E12), other inorganic substances (E13), and combinations thereof.
Examples of (E11) include titanium oxide, silicon oxide, and aluminum oxide.
Examples of (E12) include alkaline earth metal carbonates (calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, etc.) and alkaline earth metal sulfates (calcium sulfate, barium sulfate, etc.).
Examples of (E13) include mica, kaolin, talc, aluminum silicate, and clay.
Of these, (E1) is preferably (E11) in the case of improving the hardness of the cured product, particularly silicon oxide in the form of fine particles (for example, a volume average particle diameter of 1 to 100 nm) from the viewpoint of heat resistance and chemical resistance. When used as a pigment, alkaline earth metal sulfate (especially barium sulfate) in (E12) and talc in (E13).

(Q)の固形分の重量に基づく(E1)の含有量は、通常50%以下、好ましくは0.5〜50%である。、さらに好ましくは1〜45%、特に好ましくは2〜40%である。
(E1)の含有量は、その添加目的に依って、さらに好ましい範囲が異なり、硬化物の硬度を向上させる目的の場合のさらに好ましい範囲は0.5〜20%、特に好ましい範囲は0.5〜10%であり、顔料として添加する場合のさらに好ましい範囲は1〜45%、特に好ましい範囲は2〜40%である。
The content of (E1) based on the weight of the solid content of (Q) is usually 50% or less, preferably 0.5 to 50%. More preferably, it is 1 to 45%, particularly preferably 2 to 40%.
The content of (E1) has a more preferable range depending on the purpose of addition, and a more preferable range for the purpose of improving the hardness of the cured product is 0.5 to 20%, and a particularly preferable range is 0.5. When added as a pigment, a more preferable range is 1 to 45%, and a particularly preferable range is 2 to 40%.

増感剤(E2)としては、ニトロ化合物(例えば、アントラキノン、1,2−ナフトキノン、1,4−ナフトキノン,ベンズアントロン、p,p’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、クロラニル等のカルボニル化合物、ニトロベンゼン、p−ジニトロベンゼン及び2−ニトロフルオレン等)、芳香族炭化水素(例えば、アントラセン及びクリセン等)、硫黄化合物(例えば、ジフェニルジスルフィド等)及び窒素化合物(例えば、ニトロアニリン、2−クロロ−4−ニトロアニリン、5−ニトロ−2−アミノトルエン及びテトラシアノエチレン等)等が用いられる。   As the sensitizer (E2), nitro compounds (for example, anthraquinone, 1,2-naphthoquinone, 1,4-naphthoquinone, benzanthrone, p, p'-tetramethyldiaminobenzophenone, carbonyl compounds such as chloranil, nitrobenzene, p -Dinitrobenzene and 2-nitrofluorene), aromatic hydrocarbons (eg anthracene and chrysene), sulfur compounds (eg diphenyl disulfide etc.) and nitrogen compounds (eg nitroaniline, 2-chloro-4-nitroaniline) , 5-nitro-2-aminotoluene, tetracyanoethylene and the like.

光重合開始剤(C)の重量に対する増感剤(E2)の使用量は、通常100%以下、好ましくは0.5〜80%、特に好ましくは1〜70%である。   The usage-amount of the sensitizer (E2) with respect to the weight of a photoinitiator (C) is 100% or less normally, Preferably it is 0.5-80%, Most preferably, it is 1-70%.

重合禁止剤(E3)としては、特に限定はなく、通常の反応に使用するものが用いられる。具体的には、ジフェニルヒドラジル、トリ−p−ニトルフェニルメチル、N−(3−N−オキシアニリノ−1,3−ジメチルブチリデン)アニリンオキシド、p−ベンゾキノン、p−tert−ブチルカテコール、ニトロベンゼン、ピクリン酸、ジチオベンゾイルジスルフィド及び塩化銅(II)等が挙げられる。   There is no limitation in particular as a polymerization inhibitor (E3), What is used for normal reaction is used. Specifically, diphenylhydrazyl, tri-p-nitrophenylmethyl, N- (3-N-oxyanilino-1,3-dimethylbutylidene) aniline oxide, p-benzoquinone, p-tert-butylcatechol, nitrobenzene, Examples include picric acid, dithiobenzoyl disulfide, and copper (II) chloride.

(Q)の固形分の重量に基づく重合禁止剤(E3)の含有量は、1.0%以下が好ましく、さらに好ましくは0.01〜0.5%、特に好ましくは0.02〜0.1%である。   The content of the polymerization inhibitor (E3) based on the weight of the solid content of (Q) is preferably 1.0% or less, more preferably 0.01 to 0.5%, particularly preferably 0.02 to 0.00. 1%.

溶剤(E4)としては、上述の(A1)の製造に使用される溶剤(D4)と同様のものを使用できる。溶剤(E4)を使用する場合、その使用量は、特に限定されないが、(Q)の固形分の重量に対して、5〜500%が好ましく、さらに好ましくは7.5〜100%、特に好ましくは10〜50%である。   As a solvent (E4), the thing similar to the solvent (D4) used for manufacture of the above-mentioned (A1) can be used. When the solvent (E4) is used, the amount used is not particularly limited, but is preferably 5 to 500%, more preferably 7.5 to 100%, particularly preferably based on the weight of the solid content of (Q). Is 10 to 50%.

有機顔料(E5)としては通常のものが使用可能であり、例えば、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、カーボンブラックなどが挙げられ、これらを単独または混合して用いることができる。   As the organic pigment (E5), ordinary ones can be used, and examples thereof include phthalocyanine blue, phthalocyanine green, carbon black and the like, and these can be used alone or in combination.

(Q)の固形分の重量に対する(E5)の使用量は、通常5%以下、好ましくは0.5〜3%である。   The amount of (E5) used relative to the weight of the solid content of (Q) is usually 5% or less, preferably 0.5 to 3%.

化学めっき抑制剤としては通常のものが使用可能であり、例えば、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、アジミドトルエン、チオ尿素、メルカプトベンゾチアゾールなどが挙げられる。レベリング剤としては通常のものが使用可能であり、例えば、モンサント社製モダフロー等が使用できる。消泡剤としては通常のものが使用可能であり、例えば、シリコーンオイル系消泡剤が挙げられる。   As the chemical plating inhibitor, ordinary ones can be used, and examples thereof include triazole, benzotriazole, azidotoluene, thiourea, mercaptobenzothiazole and the like. A normal thing can be used as a leveling agent, for example, Monsanto Modaflow etc. can be used. A normal thing can be used as an antifoamer, for example, a silicone oil type antifoamer is mentioned.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、例えば、プラネタリーミキサーなどの公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。
上記のようにして得られる本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、通常、室温で液状であり、その粘度は、25℃で0.1mPa・s〜10,000mPa・s、好ましくは1mPa・s〜8,000mPa・sである。なお、当該粘度は、BL型粘度計で測定することができる。
The photosensitive resin composition (Q) of the present invention can be obtained, for example, by mixing the above-described components with a known mixing device such as a planetary mixer.
The photosensitive resin composition (Q) of the present invention obtained as described above is usually liquid at room temperature, and its viscosity is 0.1 mPa · s to 10,000 mPa · s at 25 ° C., preferably 1 mPa. S to 8,000 mPa · s. The viscosity can be measured with a BL type viscometer.

本発明における他の実施態様は、上記の感光性樹脂組成物(Q)からなるプリント配線板用フォトソルダーレジストである。
本発明のフォトソルダーレジストは、種々のプリント配線板用銅張り積層板、アルミ板等の金属板及び銅箔のないプラスティック板、(紙基材フェノール樹脂積層板、ガラス布基材ポリエステル樹脂積層板、ガラス布基材エポキシ樹脂積層板、ポリサルフォン樹脂積層板、ポリエーテルサルフォン樹脂積層板、ポリエーテルイミド樹脂積層板、ガラス布基材テフロン樹脂積層板、ポリイミド樹脂積層板等)に適用可能である。
Another embodiment of the present invention is a photo solder resist for a printed wiring board comprising the photosensitive resin composition (Q).
The photo solder resist of the present invention includes various copper-clad laminates for printed wiring boards, metal plates such as aluminum plates, and plastic plates without copper foil (paper base phenol resin laminate, glass cloth base polyester resin laminate) , Glass cloth base epoxy resin laminate, polysulfone resin laminate, polyether sulfone resin laminate, polyetherimide resin laminate, glass cloth base teflon resin laminate, polyimide resin laminate, etc. .

フォトソルダーレジストの膜厚としては、通常0.5〜500μm、好ましくは5〜100μmである。   The film thickness of the photo solder resist is usually 0.5 to 500 μm, preferably 5 to 100 μm.

フォトソルダーレジストの適用方法としては、スクリーン印刷機、ロールコーター、カーテンコーターなどで塗布 する方法、スプレー、刷毛、ヘラ等で塗る方法、及び浸漬する方法が挙げられる。   Application methods of the photo solder resist include a method of applying with a screen printer, a roll coater, a curtain coater, a method of applying with a spray, a brush, a spatula, etc., and a method of immersing.

現像液としては、通常はアルカリ性溶液を使用する。
アルカリ性溶液に含まれるアルカリ性成分としては、アルカリ金属(ナトリウム、カリウムおよびリチウムなど)水酸化物および炭酸塩、アルカリ土類金属(カルシウムおよびマグネシウムなど)水酸化物、並びにアミン類(1級アミン、2級アミン、3級アミンおよび4級アンモニウム塩など)などが挙げられる。 アルカリ性溶液のpHは通常7.1〜12である。
アルカリ性溶液におけるアルカリ性成分の濃度は、通常0.001〜30%である。
アルカリ性溶液における溶剤としては、水、親水性アルコール系有機溶剤、およびこれらの混合溶剤が挙げられる。
水としては、通常の工業用水、上水またはイオン交換水が使用できる。
親水性アルコール系有機溶剤としては、脂肪族アルコールとしてメタノール、エタノール、n−プロパノール、i-プロパノール、n−ブタノール等)、セロソルブとしてメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ等、カービトールとしてメチルカービトール、エチルカービトール等が使用できる。
混合溶剤の場合の、水/親水性アルコール系有機溶剤の比率は、特に限定されないが、好ましくは10〜100%/0〜90%、さらに好ましくは50〜80%/20〜50%である。
現像液には、さらに、界面活性剤および少量の酸成分(有機酸又は無機酸)などが含まれていてもよい。
界面活性剤としては通常のカチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤が使用可能である。界面活性剤は、現像液中の濃度が通常0.01〜2%、好ましくは0.05〜1%の濃度で使用される。
無機酸としてはほう酸、燐酸、塩酸、硫酸等、有機酸としては酢酸、蟻酸、酒石酸、ヒドロキシ酢酸等が挙げられる。
無機酸、有機酸は、現像液中の濃度が、アルカリ性成分の当量よりも少ない当量であって、かつ、0〜10%、好ましくは0.5〜5%の濃度で使用される。
As the developer, an alkaline solution is usually used.
Alkaline components contained in the alkaline solution include alkali metal (such as sodium, potassium and lithium) hydroxides and carbonates, alkaline earth metal (such as calcium and magnesium) hydroxides, and amines (primary amine, 2 A tertiary amine, a tertiary amine, a quaternary ammonium salt, etc.). The pH of the alkaline solution is usually 7.1-12.
The concentration of the alkaline component in the alkaline solution is usually 0.001 to 30%.
Examples of the solvent in the alkaline solution include water, hydrophilic alcohol-based organic solvents, and mixed solvents thereof.
As water, normal industrial water, clean water or ion-exchanged water can be used.
Examples of hydrophilic alcohol-based organic solvents include aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, and n-butanol), cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, and butyl cellosolve, and carbitols such as methyl carbitol and ethyl carbe. Bitol etc. can be used.
The ratio of the water / hydrophilic alcohol-based organic solvent in the case of the mixed solvent is not particularly limited, but is preferably 10 to 100% / 0 to 90%, more preferably 50 to 80% / 20 to 50%.
The developer may further contain a surfactant and a small amount of an acid component (organic acid or inorganic acid).
As the surfactant, usual cationic surfactants, anionic surfactants, and nonionic surfactants can be used. The surfactant is used at a concentration of usually 0.01 to 2%, preferably 0.05 to 1% in the developer.
Examples of inorganic acids include boric acid, phosphoric acid, hydrochloric acid, and sulfuric acid, and examples of organic acids include acetic acid, formic acid, tartaric acid, and hydroxyacetic acid.
The inorganic acid and the organic acid are used in a concentration of 0 to 10%, preferably 0.5 to 5%, with the concentration in the developer being less than the equivalent of the alkaline component.

現像方法としてはシャワー、スプレー、浸漬等の方法が挙げられる。これらのうち好ましくは、スプレーである。   Examples of the developing method include methods such as showering, spraying and dipping. Of these, spray is preferred.

硬化方法は、通常、光または電子線照射による方法が挙げられるが、さらに熱硬化を併用してもよい。好ましくは光照射により硬化したのちに熱硬化するという二つの方法の併用がよい。   As the curing method, a method by irradiation with light or electron beam is usually mentioned, but thermal curing may be used in combination. Preferably, a combination of the two methods of curing by light irradiation and then curing by light irradiation is preferable.

光による硬化には、次のような照射光源が適当である。例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、電子線照射装置、X線照射装置、レーザー(アルゴンレーザー、色素レーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミウムレーザー等)等がある。これらのうち、好ましくは高圧水銀灯及び超高圧水銀灯である。
加熱装置としては、通常の循風乾燥器、電気炉、ガス炉、遠赤外炉等が使用できる。
加熱硬化温度は通常150℃以上、好ましくは180℃〜250℃である。硬化時間は、10分〜120分、好ましくは45分〜90分である。
The following irradiation light sources are suitable for curing with light. For example, low pressure mercury lamp, medium pressure mercury lamp, high pressure mercury lamp, ultra high pressure mercury lamp, xenon lamp, metal halogen lamp, electron beam irradiation device, X-ray irradiation device, laser (argon laser, dye laser, nitrogen laser, helium cadmium laser, etc.) There is. Of these, high pressure mercury lamps and ultrahigh pressure mercury lamps are preferred.
As the heating device, a normal air circulation dryer, an electric furnace, a gas furnace, a far infrared furnace, or the like can be used.
The heat curing temperature is usually 150 ° C. or higher, preferably 180 ° C. to 250 ° C. The curing time is 10 minutes to 120 minutes, preferably 45 minutes to 90 minutes.

本発明の感光性樹脂組成物は、フォトソルダーレジスト以外に、液晶ディスプレイ基板用フォトレジスト、プリント配線基板用エッチングレジスト、プリント配線基板用メッキレジストなどの用途にも使用できる。     In addition to the photo solder resist, the photosensitive resin composition of the present invention can also be used for applications such as a photoresist for a liquid crystal display substrate, an etching resist for a printed wiring board, and a plating resist for a printed wiring board.

[実施例]
以下、実施例を以て本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。以下、部は重量部を意味する。
[親水性ポリマーの調製]
<製造例1>
加熱冷却・撹拌装置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、イソボニルメタクリレート50部(0.22モル部)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート30部(0.23モル部)、メタクリル酸20部(0.23モル部)、およびシクロヘキサノン150部を仕込み、80℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたアゾビスイソブチロニトリル(V−60:和光純薬製、以下AIBNと称す)30部をシクロヘキサノン120部に溶解した溶液150部を、80℃のコルベン中に10分間で滴下し、さらに同温度で3時間反応させ、水酸基とカルボキシル基を有する親水性ポリマー(A−1:Mn:12,000、SP値:11.86、HLB値:11.98、酸価:102mgKOH/g)のシクロヘキサノン溶液を得た(樹脂分含量は25%)。
なお、MnはGPC測定機器(HLC−8120GPC、東ソー(株)製)、カラム(TSKgel GMHXL2本+TSKgel Multipore HXL−M、東ソー(株)製)を用い、GPC法により測定されるポリスチレン換算の値として求めた。また、SP値、HLB値、酸価は、前述のようにして求めた。以下の製造例についても同様の測定法である。
[Example]
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited to these. Hereinafter, the part means part by weight.
[Preparation of hydrophilic polymer]
<Production Example 1>
In a glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction pipe, 50 parts (0.22 mole) of isobornyl methacrylate, 30 parts (0.23 mole) of 2-hydroxyethyl methacrylate ), 20 parts (0.23 mole part) of methacrylic acid, and 150 parts of cyclohexanone were heated to 80 ° C. A solution in which 30 parts of azobisisobutyronitrile (V-60: Wako Pure Chemical Industries, Ltd., hereinafter referred to as AIBN) prepared in advance is dissolved in 120 parts of cyclohexanone after replacing the gas phase part in the system with nitrogen. 150 parts are dropped into Kolben at 80 ° C. over 10 minutes, and further reacted at the same temperature for 3 hours to obtain a hydrophilic polymer having a hydroxyl group and a carboxyl group (A-1: Mn: 12,000, SP value: 11.1). 86, HLB value: 11.98, acid value: 102 mgKOH / g) (resin content 25%).
Mn is a value in terms of polystyrene measured by the GPC method using a GPC measuring device (HLC-8120GPC, manufactured by Tosoh Corporation) and a column (two TSKgel GMHXL + TSKgel Multipore HXL-M, manufactured by Tosoh Corporation). Asked. The SP value, HLB value, and acid value were determined as described above. The same measurement method applies to the following production examples.

<製造例2>
製造例1と同様のコルベンに、イソボニルメタクリレート60部(0.27モル部)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート20部(0.15モル部)、メタクリル酸20部(0.23モル部)、およびシクロヘキサノン150部を仕込み、80℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたAIBN5部をシクロヘキサノン50部に溶解した溶液55部を、80℃のコルベン中に10分間で滴下し、さらに同温度で3時間反応させた。その後、シクロヘキサノンで樹脂分含量が25%となるように希釈し、60℃に温調し、水酸基とカルボキシル基を有する親水性ポリマー(A−2:Mn:21,000、SP値:12.24、HLB値:12.38、酸価:138mgKOH/g)のシクロヘキサノン溶液を得た(樹脂分含量は25%)。
<Production Example 2>
In the same Kolben as in Production Example 1, isobonyl methacrylate 60 parts (0.27 mol part), 2-hydroxyethyl methacrylate 20 parts (0.15 mol part), methacrylic acid 20 parts (0.23 mol part), and 150 parts of cyclohexanone was charged and heated to 80 ° C. After substituting the gas phase part in the system with nitrogen, 55 parts of a solution prepared by dissolving 5 parts of AIBN prepared in advance in 50 parts of cyclohexanone was dropped into Kolben at 80 ° C. over 10 minutes, and further 3 at the same temperature. Reacted for hours. Thereafter, the resin content is diluted with cyclohexanone to 25%, the temperature is adjusted to 60 ° C., and a hydrophilic polymer having a hydroxyl group and a carboxyl group (A-2: Mn: 21,000, SP value: 12.24). A cyclohexanone solution having an HLB value of 12.38 and an acid value of 138 mgKOH / g was obtained (resin content was 25%).

<製造例3>
製造例1と同様のコルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EOCN―1020」(日本化薬製、エポキシ当量200g/eq)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、110℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部(1.07モル部)、トリフェニルホスフィン2部、およびp−メトキシフェノール0.2部を仕込み、110℃にて10時間反応させた。反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部(0.60モル部)を仕込み、90℃5時間反応させ、水酸基とカルボキシル基を有する親水性ポリマー(A−3:Mn:2,200、SP値:11.26、HLB値:6.42、酸価:91mgKOH/g)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た(樹脂分含量は60%)。
<Production Example 3>
In the same Kolben as in Production Example 1, 200 parts of cresol novolac type epoxy resin “EOCN-1020” (manufactured by Nippon Kayaku, epoxy equivalent 200 g / eq) and 245 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate are charged and heated to 110 ° C. It was dissolved uniformly. Subsequently, 76 parts (1.07 mol part) of acrylic acid, 2 parts of triphenylphosphine, and 0.2 part of p-methoxyphenol were charged and reacted at 110 ° C. for 10 hours. The reaction product was further charged with 91 parts (0.60 mol part) of tetrahydrophthalic anhydride, reacted at 90 ° C. for 5 hours, and a hydrophilic polymer having a hydroxyl group and a carboxyl group (A-3: Mn: 2,200, SP value: A propylene glycol monomethyl ether acetate solution (11.26, HLB value: 6.42, acid value: 91 mg KOH / g) was obtained (resin content was 60%).

<実施例1〜4および比較例1〜3>
[フォトソルダーレジストの調製]
ガラス製の容器に表1に示した材料を配合部数仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに添加剤を添加して三本ロールミルにより混練してフォトソルダーレジストを調製した。
なお、表1中の各記号は以下のものを示す。
<Examples 1-4 and Comparative Examples 1-3>
[Preparation of photo solder resist]
The materials shown in Table 1 were charged in a glass container, and the mixture was stirred until it became uniform. Further, an additive was added and kneaded by a three-roll mill to prepare a photo solder resist.
In addition, each symbol in Table 1 indicates the following.

A−1溶液:親水性ポリマー(製造例1のもの)
A−2溶液:親水性ポリマー(製造例2のもの)
A−3溶液:親水性ポリマー(製造例3のもの)
B−1:(多官能アクリレートモノマー)
「ネオマーDA−600」(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペン タエリスリトールヘキサアクリレートの混合物:三洋化成工業(株)製)
C−1:(光重合開始剤)
「イルガキュア907」(2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
D−1(包接能を有するホスト分子)
:β−シクロデキストリン (シクロケム社製)
D−2(包接能を有するホスト分子)
:γ−シクロデキストリン (シクロケム社製)
E1−1(無機微粒子)
:硫酸バリウム(体積平均粒子径=500nm)
E4−1(溶剤)
:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
A-1 solution: hydrophilic polymer (from Production Example 1)
A-2 solution: hydrophilic polymer (Production Example 2)
A-3 solution: hydrophilic polymer (of Production Example 3)
B-1: (Polyfunctional acrylate monomer)
“Neomer DA-600” (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate: Sanyo Chemical Industries, Ltd.)
C-1: (Photopolymerization initiator)
“Irgacure 907” (2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one: manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)
D-1 (host molecule having inclusion ability)
: Β-cyclodextrin (manufactured by Cyclochem)
D-2 (host molecule having inclusion ability)
: Γ-cyclodextrin (manufactured by Cyclochem)
E1-1 (Inorganic fine particles)
: Barium sulfate (volume average particle diameter = 500 nm)
E4-1 (solvent)
: Propylene glycol monomethyl ether acetate

実施例1〜3および比較例1〜2で得られたフォトソルダーレジストを以下の評価方法で評価した。結果を表1に示す。
(1)現像性 ・・・フォトソルダーレジストを、パターン形成された銅箔基板上に全面塗布し、80℃で90分間、塗膜の乾燥を行い、1%炭酸ナトリウム水溶液でのスプレー現像による現像性を評価した。
◎:目視により残留物無し。
○:目視により残留物わずかにあり。
△:目視により残留物が多い。
×:目視によりパターン形成できていない。
The photo solder resists obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated by the following evaluation methods. The results are shown in Table 1.
(1) Developability: A photo solder resist is applied on the entire surface of the patterned copper foil substrate, the coating film is dried at 80 ° C. for 90 minutes, and development by spray development with 1% sodium carbonate aqueous solution is performed. Sex was evaluated.
A: There is no residue visually.
○: There is a slight residue visually.
Δ: There are many residues by visual inspection.
X: A pattern was not visually formed.

(2)塗膜性能・・・フォトソルダーレジストをパターン形成された銅箔基板上に全面塗布し、80℃で20分間乾燥した。次いで、この基板にネガフィルムを密着させ、露光後、1%炭酸ナトリウム水溶液で現像処理してパターンを形成した。次に、この基板を150℃で60分間熱硬化 して、硬化塗膜を有する評価基板を作製し、塗膜性能を評価した。 (2) Coating film performance: A photo solder resist was coated on the entire surface of the patterned copper foil substrate and dried at 80 ° C. for 20 minutes. Next, a negative film was adhered to the substrate, and after exposure, a pattern was formed by developing with a 1% aqueous sodium carbonate solution. Next, this substrate was thermally cured at 150 ° C. for 60 minutes to produce an evaluation substrate having a cured coating film, and the coating film performance was evaluated.

(A)硬度・・JIS K−5400 6.14に準拠して測定した。
(B)はんだ耐熱性・・硬化塗膜を有する評価基板をJIS C 6481の試験方法に従って、260℃の半田漕に30秒浸漬後セロハンテープによるピーリング試験を1サイクルとし、計1〜3サイクルを行った後の塗膜状態を観察し、耐熱性を評価した。
◎:3サイクル後も塗膜に変化がない。
○:3サイクル後に僅かに変化している。
△:2サイクル後に変化している。
×:1サイクル後に剥離を生じている。
(A) Hardness ·· Measured according to JIS K-5400 6.14.
(B) Solder heat resistance ·· An evaluation substrate having a cured coating film is immersed in a soldering iron at 260 ° C. for 30 seconds according to the test method of JIS C 6481, and then a peeling test with a cellophane tape is set as one cycle, and a total of 1 to 3 cycles The state of the coated film after observation was observed to evaluate the heat resistance.
A: There is no change in the coating film after 3 cycles.
○: Slightly changed after 3 cycles.
Δ: Change after 2 cycles.
X: Peeling occurs after 1 cycle.

(C)耐酸性・・硬化塗膜を有する評価基板を10%の硫酸水溶液に常温で30分間浸漬したのち、水洗後、セロハン粘着テープによるピーリング試験を行い、レジスト層の剥がれ、変色について観察し、耐酸性を評価した。
◎:全く変化が認められない。
○:ほんの僅かに変化した。
△:顕著に変化した。
×:塗膜が膨潤して剥離した。
(C) Acid-resistant ·· An evaluation substrate having a cured coating film was immersed in a 10% sulfuric acid aqueous solution at room temperature for 30 minutes, washed with water, then subjected to a peeling test using a cellophane adhesive tape, and the resist layer was peeled off and observed for discoloration. The acid resistance was evaluated.
(Double-circle): A change is not recognized at all.
○: Only slightly changed.
Δ: Remarkably changed.
X: The coating film was swollen and peeled off.

(D)耐溶剤性・・硬化塗膜を有する評価基板を常温の塩化メチレンに30分間浸漬したのち、水洗後、セロハン粘着テープによるピーリング試験を行い、レジスト層の剥がれ、変色について観察し、耐溶剤性を評価した。
◎:全く変化が認められない。
○:ほんの僅かに変化した。
△:顕著に変化した。
×:塗膜が膨潤して剥離した。
(D) Solvent resistance ·· An evaluation substrate having a cured coating film was immersed in methylene chloride at room temperature for 30 minutes, washed with water, then subjected to a peeling test using a cellophane adhesive tape, and the resist layer was observed for peeling and discoloration. Solvent properties were evaluated.
(Double-circle): A change is not recognized at all.
○: Only slightly changed.
Δ: Remarkably changed.
X: The coating film was swollen and peeled off.

Figure 2007057587
Figure 2007057587

表1から判るように、本発明のフォトソルダーレジストを用いることにより、現像性が良好でありかつ硬化塗膜性能(硬度、耐熱性等)に優れたソルダーレジスト皮膜を形成することができる。   As can be seen from Table 1, by using the photo solder resist of the present invention, a solder resist film having good developability and excellent cured coating film performance (hardness, heat resistance, etc.) can be formed.

本発明によれば、紫外線露光及び希アルカリ水溶液による現像で画像形成可能であって、現像性に優れ、かつ硬度および耐熱性等の硬化塗膜性能が優れたパターンを与えることができる感光性樹脂組成物を提供できるので、プリント配線板製造用ソルダーレジスト、液晶ディスプレイ基板用フォトレジスト、プリント配線基板用エッチングレジスト、プリント配線基板用メッキレジストとして利用することができる。   According to the present invention, a photosensitive resin that can form an image by ultraviolet exposure and development with a dilute alkaline aqueous solution, has excellent developability, and can provide a pattern having excellent cured film performance such as hardness and heat resistance. Since the composition can be provided, it can be used as a solder resist for producing a printed wiring board, a photoresist for a liquid crystal display substrate, an etching resist for a printed wiring board, and a plating resist for a printed wiring board.

Claims (6)

親水性ポリマー(A)、多官能アクリレートモノマー(B)、光重合開始剤(C)及び包接能を有するホスト分子(D)を含有するアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition capable of alkali development containing a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional acrylate monomer (B), a photopolymerization initiator (C), and a host molecule (D) having inclusion ability. 包接能を有するホスト分子(D)の含有量が、感光性樹脂組成物の固形分に基づいて0.1〜15重量%である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content of the host molecule (D) having inclusion ability is 0.1 to 15% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition. 包接能を有するホスト分子(D)がシクロデキストリンである請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the host molecule (D) having an inclusion ability is cyclodextrin. さらに無機微粒子(E1)を含有し、(E1)の含有量が感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づいて0.5〜50重量%請求項1〜3いずれか記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising inorganic fine particles (E1), wherein the content of (E1) is 0.5 to 50% by weight based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition. object. 無機微粒子(E1)の体積平均粒子径が1〜5,000nmである請求項4記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the volume average particle diameter of the inorganic fine particles (E1) is 1 to 5,000 nm. 請求項1〜5のいずれか記載の感光性樹脂組成物からなるプリント配線板用フォトソルダーレジスト。   The photo solder resist for printed wiring boards which consists of the photosensitive resin composition in any one of Claims 1-5.
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