JP2007056678A - Air pump and camera module using the same - Google Patents
Air pump and camera module using the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007056678A JP2007056678A JP2005239432A JP2005239432A JP2007056678A JP 2007056678 A JP2007056678 A JP 2007056678A JP 2005239432 A JP2005239432 A JP 2005239432A JP 2005239432 A JP2005239432 A JP 2005239432A JP 2007056678 A JP2007056678 A JP 2007056678A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- hole
- chamber
- lens
- bag
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
Description
本発明は、空気を吸入し吐出する空気ポンプ及びそれを用いたカメラモジュールに関し、特に加熱による沸騰現象を用いて駆動する空気ポンプ及びそれを用いたカメラモジュールに関する。 The present invention relates to an air pump that sucks and discharges air and a camera module using the same, and more particularly to an air pump that drives using a boiling phenomenon due to heating and a camera module using the same.
従来より、カメラのレンズを自動焦点調節やズーム等のために光軸方向に移動させる駆動装置が知られている。一つには、歯車やモータを組み合わせてレンズを高精度に位置合わせするものがあり、このようなものとしては例えば特許文献1に記載されている。また、レンズの前後の空気室を密封し、各空気室の空気圧を駆動源により変化させることでレンズを移動させるものも知られている。この際には、エアシリンダやダイアフラムないしロータリー式のポンプなどが駆動源として用いられる。
特に近年、デジタルカメラ等の小型化の要請が強く、カメラにおけるレンズの駆動装置も小型化することが必要となっている。しかし、従来のレンズの駆動装置では、いずれも外部駆動源を必要とするために、装置の小型化が困難であった。そのため、駆動部と駆動源が一体化された駆動装置としての空気ポンプが望まれていた。 Particularly in recent years, there has been a strong demand for downsizing digital cameras and the like, and it is also necessary to downsize lens driving devices in cameras. However, all of the conventional lens driving devices require an external driving source, so that it is difficult to reduce the size of the device. Therefore, an air pump as a drive device in which a drive unit and a drive source are integrated has been desired.
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、駆動部と駆動源が一体となっており小型化を図ることのできる空気ポンプ及びそれを用いたカメラモジュールを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an air pump that can be downsized by integrating a drive unit and a drive source, and a camera module using the air pump.
上記課題を解決するため、本発明に係る空気ポンプは、空気の流路と外部に連通する少なくとも2つの穴部を有した容器と、該容器内に設けられ一方の穴部から空気を吸入し他方の穴部から空気を吐出させる駆動部とを備えた空気ポンプであって、
上記駆動部は上記容器の内面に設けられ液体が充填された複数の袋部と、該袋部の各々の下部にそれぞれ設けられる発熱体とからなり、
上記袋部と発熱体は上記空気の流路方向に沿って複数設けられ、上記発熱体は空気を吸入する穴部側から吐出する穴部側に向かって順に発熱することで、上記袋部内の液体を順に沸騰させて対応する袋部を膨張させ上記流路内の空気を吐出する穴部側に送り出すことを特徴として構成されている。
In order to solve the above problems, an air pump according to the present invention includes a container having at least two holes communicating with an air flow path and the outside, and sucks air from one of the holes provided in the container. An air pump including a drive unit that discharges air from the other hole,
The drive unit includes a plurality of bag portions provided on the inner surface of the container and filled with liquid, and heating elements respectively provided at the lower portions of the bag portions,
A plurality of the bag portions and heating elements are provided along the air flow path direction, and the heating elements generate heat in order from the hole suction side to the discharge hole side, The liquid is boiled in order to expand the corresponding bag portion, and is sent out to the hole portion side for discharging the air in the flow path.
また、本発明に係る空気ポンプは、発熱状態にある上記発熱体は空気を吸入する穴部側から吐出する穴部側に向かって順に発熱を停止することで、上記袋部内で沸騰した気体を順に液化して対応する袋部を収縮させ上記流路内に空気を吸入する穴部から吸入することを特徴として構成されている。 In addition, the air pump according to the present invention stops the heat generated in the bag portion by sequentially stopping the heat generation in the heat generating state from the hole portion side for sucking air toward the hole portion side for discharging air. The liquefaction is sequentially performed, the corresponding bag portion is contracted, and the air is sucked from the hole portion for sucking air into the flow path.
さらに、本発明に係る空気ポンプは、上記発熱体は空気を吸入する穴部側から吐出する穴部側に向かって順に発熱し対応する袋部を順に膨張させて空気の吐出動作を行うと共に、発熱を開始した発熱体より吸入する穴部側の発熱体の発熱を順に停止し対応する袋部を順に収縮させて空気の吸入動作を行い、
空気を吐出する穴部側端部の袋部が膨張した状態において空気を吸入する穴部側端部の発熱体が発熱し、空気を吸入する穴部側端部の袋部が膨張したら空気を吐出する穴部側端部の発熱体の発熱を停止すると共に、上記空気の吐出動作及び吸入動作を再開することを特徴として構成されている。
Further, in the air pump according to the present invention, the heating element sequentially generates heat from the hole side for sucking air toward the hole side to be discharged and inflates the corresponding bag part in order to perform an air discharging operation. Stop the heat generation of the heating element on the side of the hole that sucks in from the heating element that has started to generate heat, contract the corresponding bag part in order, and perform the air suction operation,
When the bag portion at the hole side end portion for discharging air is inflated, the heating element at the hole side end portion for sucking air generates heat, and when the bag portion at the hole side end portion for sucking air expands, the air is discharged. The heat generating body at the end portion on the hole side to be discharged is stopped, and the air discharge operation and the suction operation are restarted.
さらにまた、本発明に係るカメラモジュールは、レンズをレンズ室内に配置し、該レンズ室は上記レンズによりそれぞれ密封された第1室と第2室に分割され、該第1室と第2室の気圧差により上記レンズを光軸方向に移動させるカメラモジュールにおいて、
上記レンズ室の第1室と第2室はそれぞれ請求項1〜3のいずれか1項に記載の空気ポンプの各穴部に連通し、上記空気ポンプの動作により上記第1室と第2室に気圧差を生じさせて上記レンズを光軸方向に移動させることを特徴として構成されている。
Furthermore, in the camera module according to the present invention, the lens is disposed in the lens chamber, and the lens chamber is divided into a first chamber and a second chamber sealed by the lens, and the first chamber and the second chamber are divided. In the camera module that moves the lens in the direction of the optical axis by the pressure difference,
The first chamber and the second chamber of the lens chamber communicate with the holes of the air pump according to any one of
本発明に係る空気ポンプによれば、容器の内面に設けられ液体が充填された複数の袋部と、袋部の各々の下部にそれぞれ設けられる発熱体とからなり、袋部と発熱体は空気の流路方向に沿って複数設けられ、発熱体は空気を吸入する穴部側から吐出する穴部側に向かって順に発熱することで、袋部内の液体を順に沸騰させて対応する袋部を膨張させ流路内の空気を吐出する穴部側に送り出すことにより、駆動部と駆動源が一体化した空気ポンプとすることができるので、小型化を図ることができる。 According to the air pump of the present invention, the air pump includes a plurality of bag portions provided on the inner surface of the container and filled with a liquid, and heating elements provided at the lower portions of the bag portions, respectively. A plurality of heating elements are provided along the flow path direction, and the heating element sequentially generates heat from the hole side for sucking air toward the hole part side for discharging, thereby boiling the liquid in the bag part in order to form the corresponding bag part. Since the air pump in which the drive unit and the drive source are integrated can be obtained by inflating and sending the air in the flow path to the side of the hole that discharges the air, the size can be reduced.
また、本発明に係る空気ポンプによれば、発熱状態にある発熱体は空気を吸入する穴部側から吐出する穴部側に向かって順に発熱を停止することで、袋部内で沸騰した気体を順に液化して対応する袋部を収縮させ流路内に空気を吸入する穴部から吸入することにより、吸入動作を簡易に行うことができる。 Further, according to the air pump of the present invention, the heating element in a heat generating state stops the heat generation in order from the hole side for sucking air toward the hole side for discharging air, so that the gas boiled in the bag part is removed. The suction operation can be easily performed by sequentially liquefying and contracting the corresponding bag portion and sucking air from the hole for sucking air into the flow path.
さらに、本発明に係る空気ポンプによれば、発熱体は空気を吸入する穴部側から吐出する穴部側に向かって順に発熱し対応する袋部を順に膨張させて空気の吐出動作を行うと共に、発熱を開始した発熱体より吸入する穴部側の発熱体の発熱を順に停止し対応する袋部を順に収縮させて空気の吸入動作を行い、空気を吐出する穴部側端部の袋部が膨張した状態において空気を吸入する穴部側端部の発熱体が発熱し、空気を吸入する穴部側端部の袋部が膨張したら空気を吐出する穴部側端部の発熱体の発熱を停止すると共に、空気の吐出動作及び吸入動作を再開することにより、吸入動作と吐出動作を同時に行うことができるので、時間あたりの吸入及び吐出量を大きくすることができると共に、穴部間を開いた状態とすることがないので、空気の逆流を防ぐことができる。 Further, according to the air pump of the present invention, the heating element generates heat in order from the hole side for sucking air toward the hole side for discharging, and inflates the corresponding bag part in order to perform the air discharging operation. The heat generation of the heat generating element on the hole side that sucks in from the heat generating element that has started to generate heat is sequentially stopped, the corresponding bag part is contracted in order, the air is inhaled, and the bag part on the hole side end that discharges air The heat generating element at the hole side end that sucks air in the expanded state generates heat, and when the bag part at the hole side end that sucks air expands, the heat generating element at the hole side end that discharges air In addition, the suction operation and the discharge operation can be performed simultaneously by restarting the air discharge operation and the suction operation, so that the amount of suction and discharge per hour can be increased and the space between the holes can be increased. Air is never opened Reverse flow can be prevented.
さらにまた、本発明に係るカメラモジュールによれば、レンズ室の第1室と第2室はそれぞれ空気ポンプの各穴部に連通し、空気ポンプの動作により第1室と第2室に気圧差を生じさせてレンズを光軸方向に移動させることにより、レンズの駆動のためにステッピングモータを用いる場合に比べて、レンズのホルダにネジ部や巻き線部が不要となり、小型化を図ることができる。また、空気ポンプに外部駆動源が必要ないので、レンズモジュール全体として小型化を図ることができる。 Furthermore, according to the camera module of the present invention, the first chamber and the second chamber of the lens chamber communicate with the holes of the air pump, respectively, and the pressure difference between the first chamber and the second chamber is caused by the operation of the air pump. By causing the lens to move in the optical axis direction, the screw holder and the winding portion are not required in the lens holder and the size can be reduced as compared with the case where a stepping motor is used for driving the lens. it can. In addition, since the air pump does not require an external drive source, the entire lens module can be reduced in size.
本発明の実施形態について図面に沿って詳細に説明する。図1には本実施形態における空気ポンプの斜視図を、図2には空気ポンプの縦断面図を、それぞれ示している。図1に示すように、本実施形態における空気ポンプは、内部に空気の流路11を有した容器10と、流路11内に設けられる駆動部20とを備えてなり、容器10に形成され外部と連通した2つの穴部12、12の一方から空気を吸入し、他方から空気を吐出するものである。
Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of the air pump in the present embodiment, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the air pump. As shown in FIG. 1, the air pump in this embodiment includes a
駆動部20は、流路11の内面に複数設けられ内部に液体23を充填した袋部21と、各袋部21の下部にそれぞれ設けられる発熱体22により構成される。袋部21は、流路11方向に沿って並設されており、流路11の幅と略同じ幅を有している。
The
図2に示すように、発熱体22はそれぞれ流路11の底面に埋め込まれており、それを覆うように液体23を充填した袋部21が設けられる。発熱体22は、通電することで発熱する抵抗体により構成され、発熱することで袋部21内の液体23を加熱し沸騰させることができる。
As shown in FIG. 2, each
次に、空気ポンプの動作について説明する。図3は、空気ポンプの縦断面図であって空気の吸入及び吐出動作を示した図である。空気ポンプは、時間の経過と共に図3(a)〜図3(f)の順に動作する。この例においては図中右側の穴部12が空気の吸入口12aであり、図中左側の穴部12が空気の吐出口12bである。
Next, the operation of the air pump will be described. FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the air pump, showing the air suction and discharge operations. The air pump operates in the order of FIG. 3A to FIG. 3F with time. In this example, the
図3(a)〜図3(c)までは空気の吐出動作を示している。まず図3(a)のように吸入口12a側端部の発熱体22aに通電され、それに対応する袋部21aの液体23は加熱され沸騰して気泡24を生じる。これによって袋部21aは急激に膨張し流路11を塞いだ状態となる。この状態において膨張した袋部21aよりも吐出口12b側の流路11にある空気が、以下の過程で吐出口12bに向かって吐出される。
FIGS. 3A to 3C show the air discharge operation. First, as shown in FIG. 3 (a), the
次に、図3(b)に示すように吸入口12a側から吐出口12b側に向かって順に発熱体22b、22c、22d、22eに通電して発熱させ、袋部21b、21c、21d、21eを順に膨張させる。すると、流路11は吸入口12a側から吐出口12b側に向かって順に塞がれるので、流路11内の空気は吐出口12b側に向かって送り出される。
Next, as shown in FIG. 3B, the
図3(c)に示すように全ての袋部21が膨張すると、流路11からの空気の吐出動作が完了する。この際、袋部21内の気泡24を維持するために、各発熱体22にはそのまま通電が継続されているが、気泡24を維持するための発熱量は液体23を沸騰させるための発熱量よりも少なくてよいので、袋部21内の液体23の沸騰後は発熱体22に供給する電力を小さくするようにしてもよい。
When all the
次に、空気の吸入動作を行う。図3(d)に示すように、吐出動作が完了した状態からまず吸入口12a側端部の発熱体22aに対する通電を停止する。これによって通電が停止された発熱体22aに対応する袋部21aの気泡24は液化し液体23となる。これによって袋部21は急激に収縮し流路11を塞いだ状態が解除されてそれを開く。流路11が開かれた部分には吸入口12aから空気が吸入される。
Next, an air suction operation is performed. As shown in FIG. 3D, the energization to the
さらに、図3(e)に示すように、吸入口12a側から吐出口12b側に向かって順に発熱体22b、22c、22d、22eの通電を停止し、袋部21b、21c、21d、21eを順に収縮させる。すると、流路11は吸入口12a側から吐出口12b側に向かって順に開かれるので、流路11内に吸入口12aから空気が導かれる。最終的には図3(f)に示すように全ての袋部21が収縮して吸入口12aから吐出口12bまでが連通した状態となる。この状態の後、再び図3(a)のように吐出動作を再開することで、継続的に空気を吸入及び吐出することができる。
Further, as shown in FIG. 3 (e), energization of the
次に、吸入及び吐出動作を同時に行う場合の動作例について説明する。図4は本例における空気の吸入及び吐出動作を示した図である。この場合、図4(a)〜図4(f)の順に動作する。動作前は図2に示した状態と同じである。動作を開始すると、まず図4(a)に示すように吸入口12a側端部の発熱体22a及びそれに隣接する発熱体22bが通電されて発熱し、それらに対応する袋部21a、21bがそれぞれ膨張する。
Next, an operation example when performing the suction and discharge operations simultaneously will be described. FIG. 4 is a diagram showing air suction and discharge operations in this example. In this case, the operation is performed in the order of FIG. 4 (a) to FIG. 4 (f). Before operation, the state is the same as that shown in FIG. When the operation starts, first, as shown in FIG. 4 (a), the
続いて図4(b)及び図4(c)に示すように、吐出口12b側に向かって順に発熱体22が加熱され、それと同時に吸入口12a側の発熱体22に対する通電が順に解除される。したがって、膨張して流路11を塞いだ袋部21は、常時2つずつとされ、それらにより吸入口12a側では空気が流路11内に吸入されると共に、吐出口12b側では流路11内の空気が送り出されて、吸入動作及び吐出動作が同時に行われる。
Subsequently, as shown in FIGS. 4B and 4C, the
図4(d)に示すように、吐出口12b側端部の袋部21eが膨張した状態において空気の吸入動作及び吐出動作が完了する。このまま袋部21eを収縮させると、吐出口12b側から吸入口12a側に空気が逆流するので、図4(e)に示すように吸入口12a側端部の袋部21aを膨張させて流路11を塞ぎ、その状態で図4(f)に示すように、吐出口12b側端部の袋部21eを収縮させる。その後は再び図4(a)の状態に戻って動作を継続する。
As shown in FIG. 4D, the air suction operation and the discharge operation are completed in the state in which the
このように、流路11内の空気の吸入動作と吐出動作を同時に行うことにより、時間あたりの吸入及び吐出量を多くすることができる。また、吸入口12aから吐出口12bまで流路11をオープンな状態にすることがないので、空気の逆流も防止することができる。
Thus, by simultaneously performing the suction operation and the discharge operation of the air in the
図3及び図4の説明では、図中右側の穴部12を吸入口12a、図中左側の穴部12を吐出口12bとしたが、いずれの穴部12を吸入口または吐出口としてもよい。発熱体22に対する通電の順序を反対側からにすれば、図中左側の穴部12を吸入口とし、図中右側の穴部12を吐出口とすることができる。また、袋部21の動作は端部から順に行うとは限らず、中間部の袋部21から動作を開始するようにしてもよい。
In the description of FIGS. 3 and 4, the
さらに、本実施形態では穴部12を流路11の両端部に設けたが、穴部12をさらに流路11の中間部に設け、これを吸入口にすると共に、左右の穴部12、12から選択的に吐出するように袋部21を動作させることもできる。
Furthermore, in the present embodiment, the
次に、本実施形態の空気ポンプを用いたカメラモジュールについて説明する。図5には、本実施形態の空気ポンプを用いたカメラモジュールの概要図を示している。この図に示すようにカメラモジュールは、レンズ3をレンズ室2内に配置し、レンズ室2はレンズ3によってそれぞれ密封された第1室2a及び第2室2bに分割され、第1室2aと第2室2bは、それぞれ空気ポンプ1の穴部12、12に連通されている。
Next, a camera module using the air pump of this embodiment will be described. FIG. 5 shows a schematic diagram of a camera module using the air pump of the present embodiment. As shown in this figure, the camera module arranges the
また、レンズ室2は外方側にカバーガラス6が設けられ、それと対向する面には赤外線遮断フィルタ7が設けられている。さらに、レンズ3の光軸上にはイメージセンサ8が配置されて、カバーガラス6側からの光をレンズ3を介してイメージセンサ8上に結像するように構成されている。
Further, the
レンズ3は、円筒状のホルダ4に保持されており、ホルダ4とレンズ室2の壁面との間にはグリス5が設けられて、ホルダ4に保持されたレンズ3を光軸方向に移動自在としている。上述のようにレンズ室2の第1室2aと第2室2bはそれぞれ密封されると共に空気ポンプ1に接続されているので、空気ポンプ1によって第1室2aと第2室2bに気圧差を生じさせることができ、それによってレンズ3を光軸方向に移動させることができる。
The
空気ポンプ1は、上述のように容器10内に駆動部20を備え、駆動部20は袋部21と発熱体22から構成されて駆動源も兼ねていることにより、駆動源となるモータ等を別に設ける必要がなく、レンズ3の駆動装置を小型化することができる。また、ステッピングモータを設ける場合に比べて、ホルダ4にネジ部や巻き線部を設ける必要がないので、レンズ室2を小型化することができる。
The
本実施形態では、レンズ3をホルダ4に保持させて、ホルダ4はグリス5を介してレンズ室2内を移動するように構成したが、レンズ3が第1室2aと第2室2bの気圧差に応じて光軸方向に移動できるように構成してあればよく、例えばレンズ3をダイヤフラムを介してレンズ室2の壁面に固定するようにし、第1室2aと第2室2bの気圧差によってダイヤフラムが撓むことによりレンズ3を移動させるようにしてもよい。
In the present embodiment, the
1 空気ポンプ
2 レンズ室
3 レンズ
4 ホルダ
5 グリス
10 容器
11 流路
12 穴部
12a 吸入口
12b 吐出口
20 駆動部
21 袋部
22 発熱体
DESCRIPTION OF
Claims (4)
上記駆動部は上記容器の内面に設けられ液体が充填された複数の袋部と、該袋部の各々の下部にそれぞれ設けられる発熱体とからなり、
上記袋部と発熱体は上記空気の流路方向に沿って複数設けられ、上記発熱体は空気を吸入する穴部側から吐出する穴部側に向かって順に発熱することで、上記袋部内の液体を順に沸騰させて対応する袋部を膨張させ上記流路内の空気を吐出する穴部側に送り出すことを特徴とする空気ポンプ。 A container having at least two holes communicating with the air flow path and the outside, and a drive unit provided in the container for sucking air from one hole and discharging air from the other hole An air pump,
The drive unit includes a plurality of bag portions provided on the inner surface of the container and filled with liquid, and heating elements respectively provided at the lower portions of the bag portions,
A plurality of the bag portions and heating elements are provided along the air flow path direction, and the heating elements generate heat in order from the hole suction side to the discharge hole side, An air pump characterized in that the liquid is boiled in order to expand the corresponding bag portion and send it out to the hole side for discharging the air in the flow path.
空気を吐出する穴部側端部の袋部が膨張した状態において空気を吸入する穴部側端部の発熱体が発熱し、空気を吸入する穴部側端部の袋部が膨張したら空気を吐出する穴部側端部の発熱体の発熱を停止すると共に、上記空気の吐出動作及び吸入動作を再開することを特徴とする請求項1記載の空気ポンプ。 The heating element sequentially generates heat from the side of the hole for sucking air toward the side of the hole for discharging, and inflates the corresponding bag part in order to perform air discharging operation. Stop the heat generation of the heating element on the part side in order and contract the corresponding bag part in order to inhale air,
When the bag portion at the hole side end portion for discharging air is inflated, the heating element at the hole side end portion for sucking air generates heat, and when the bag portion at the hole side end portion for sucking air expands, the air is discharged. 2. The air pump according to claim 1, wherein heat generation from the heating element at the end of the hole to be discharged is stopped and the air discharge operation and the suction operation are restarted. 3.
上記レンズ室の第1室と第2室はそれぞれ請求項1〜3のいずれか1項に記載の空気ポンプの各穴部に連通し、上記空気ポンプの動作により上記第1室と第2室に気圧差を生じさせて上記レンズを光軸方向に移動させることを特徴とするカメラモジュール。 A lens is arranged in the lens chamber, and the lens chamber is divided into a first chamber and a second chamber sealed by the lens, respectively, and the lens is moved in the optical axis direction by a pressure difference between the first chamber and the second chamber. In the camera module
The first chamber and the second chamber of the lens chamber communicate with the holes of the air pump according to any one of claims 1 to 3, and the first chamber and the second chamber are operated by the operation of the air pump. A camera module, wherein an atmospheric pressure difference is caused to move the lens in the optical axis direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005239432A JP2007056678A (en) | 2005-08-22 | 2005-08-22 | Air pump and camera module using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005239432A JP2007056678A (en) | 2005-08-22 | 2005-08-22 | Air pump and camera module using the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007056678A true JP2007056678A (en) | 2007-03-08 |
Family
ID=37920390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005239432A Withdrawn JP2007056678A (en) | 2005-08-22 | 2005-08-22 | Air pump and camera module using the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007056678A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020510158A (en) * | 2017-03-13 | 2020-04-02 | スティーブン アラン マーシュ, | Micropump systems and processing techniques |
-
2005
- 2005-08-22 JP JP2005239432A patent/JP2007056678A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020510158A (en) * | 2017-03-13 | 2020-04-02 | スティーブン アラン マーシュ, | Micropump systems and processing techniques |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5684186B2 (en) | System and method for a pump having reduced form factor | |
JP5038378B2 (en) | Chemical solution supply apparatus and chemical solution supply method | |
JP5873687B2 (en) | Diaphragm pump | |
JP5338415B2 (en) | Liquid container and method for producing liquid container | |
JP2003197513A (en) | Chemical supply device | |
CN101473247A (en) | Irregular variable focus liquid lens and driver therefore | |
TW200301510A (en) | Chemical supplying device and gas-separation method thereof | |
CN105473857A (en) | Rapid-discharge-valve structural body and diaphragm pump | |
CN111622933B (en) | Tubular diaphragm pump | |
JP2007056678A (en) | Air pump and camera module using the same | |
JP2006049756A (en) | Chemical feeding system | |
KR100774080B1 (en) | Method and Apparatus for Discharging Liquid | |
JP2009024611A (en) | Small pump | |
JP4869781B2 (en) | Tube diaphragm pump | |
JP4758132B2 (en) | Diaphragm pump | |
JP2007064237A (en) | Integral hydraulic cylinder | |
JP6276589B2 (en) | Quick drain valve integrated diaphragm pump | |
JP2007103820A (en) | Cooler and projector | |
JPH07324680A (en) | Method and device for supplying fluid | |
JP2008225139A (en) | Optical apparatus and heat dissipation method of the optical apparatus | |
JPH09230189A (en) | Optical system adjusting device for camera | |
JP2008075534A (en) | Bellows pump | |
ATE475538T1 (en) | PUMP AND INKJET PRINTER | |
JP2005264754A (en) | Pump device | |
JP2019060289A (en) | Quick exhaust valve integrated type diaphragm pump |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081104 |