JP2007045656A - Work dividing apparatus and display panel manufactured using the same - Google Patents

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JP2007045656A JP2005230830A JP2005230830A JP2007045656A JP 2007045656 A JP2007045656 A JP 2007045656A JP 2005230830 A JP2005230830 A JP 2005230830A JP 2005230830 A JP2005230830 A JP 2005230830A JP 2007045656 A JP2007045656 A JP 2007045656A
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Tetsuro Katayama
哲朗 片山
Takao Omagari
孝夫 尾曲
Kenji Watanabe
健二 渡辺
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Citizen Seimitsu Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work dividing apparatus having high scribe working efficiency. <P>SOLUTION: A work dividing apparatus is provided with a scribe block 106 having a scribe cutter 114 on a unit substrate 225 comprising a brittle material with a deposition film layer and moving back and forth along the surface of a work 23, a 1st peeling block 226a having a 1st peeling cutter 224a capable of working in a forward step and a 2nd peeling block 226b having a 2nd peeling cutter 224b capable of working in a backward step. The scribe cutter, the 1st peeling cutter and the 2nd peeling cutter are capable of selecting a working state and a non-working state independently. The scribing is carried out in the back and forth movement of the unit substrate to improve the working efficiency. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明はガラスやプラスチック等の基板の切断に使用されるワーク分断装置およびそれを用いて製作した表示板に関する。   The present invention relates to a workpiece cutting device used for cutting substrates such as glass and plastic, and a display board manufactured using the workpiece cutting device.

各種電子機器部品等の表示部に使用する表示板、例えば液晶板、EL板、タッチパネル板、あるいは顕微鏡標本の作製に使用するスライドガラス等を造る場合、大型の基板を分割することにより所定の大きさの小型の基板を得る。大型の基板の切断には、分断装置の載物面上に真空吸着等の手段で大型の基板を固定し、基板の片面側に、その外周部が超硬合金、ダイヤモンド等の硬質部材で形成されたホイール状のカッターにより、スクライブと呼ばれる線状の条痕を施した後、切断装置(ブレーカー)で反対面側よりプレス、またはローラー等の押圧手段によりスクライブ線に沿って加圧し、基板のスクライブ溝に発生し、基板面と垂直方向に向かうクラックを進展させて切断する方法が一般的に行われている。   When making display plates used for display parts such as various electronic equipment parts, such as liquid crystal plates, EL plates, touch panel plates, or slide glasses used for the preparation of microscope specimens, a large substrate is divided into a predetermined size. A small substrate is obtained. For cutting a large substrate, a large substrate is fixed on the surface of the cutting device by vacuum suction or the like, and the outer peripheral portion is formed of a hard member such as cemented carbide or diamond on one side of the substrate. After a linear streak called scribing is applied by the wheel-shaped cutter, the substrate is pressed along the scribe line by pressing means such as a press or a roller from the opposite surface side with a cutting device (breaker), In general, a method of cutting by causing a crack generated in a scribe groove and extending in a direction perpendicular to the substrate surface is performed.

図5は背景技術におけるワーク分断装置の側面図であり、図5(a)は、成膜層無しのワークを加工するワーク分断装置を、図5(b)は、成膜層付きのワークを加工するワーク分断装置を、図6は、背景技術としての液晶パネルの素材となる基板の外観を示す斜視図を、図7は、背景技術として、ワーク分断装置の移動ユニットが液晶パネルの素材となる基板上でD方向へ動作中の状態を示す斜視図を、図8は、背景技術として、液晶パネル製造装置を動作させた後の基板の外観を示す斜視図で、図8(a)は、TFT側を、図8(b)は、カラーフィルター側を、図9は、背景技術として、液晶パネルの外観を示す斜視図であり、図9(a)は、表面側を、図9(b)は、裏面側を、図10は、背景技術のワーク分断装置で加工後の基板の断面図をもちいて、スクライブカッター及び剥離カッターの往復工程と加工箇所との関係を示す説明図を、図11は、背景技術としての揺動式スクライブカッターの断面図を示す。   FIG. 5 is a side view of a workpiece cutting apparatus in the background art, FIG. 5 (a) shows a workpiece cutting apparatus for processing a workpiece without a film forming layer, and FIG. 5 (b) shows a work with a film forming layer. FIG. 6 is a perspective view showing an appearance of a substrate that is a material of a liquid crystal panel as a background technology, and FIG. 7 is a diagram showing a moving unit of the workpiece cutting device as a material of the liquid crystal panel. FIG. 8 is a perspective view showing an appearance of the substrate after operating the liquid crystal panel manufacturing apparatus as a background art, and FIG. FIG. 8B is a perspective view showing the appearance of a liquid crystal panel as a background art, and FIG. 9A is a perspective view showing the front side, FIG. b) shows the back side, and FIG. 10 shows the substrate after processing with the workpiece cutting device of the background art. Using a cross-sectional view, a diagram showing the relationship between the reciprocal process and the processing portion of the scribe cutter and peeling cutter, FIG. 11 shows a cross-sectional view of the swing type scribing cutter as background art.

先ず、従来のワーク分断装置の一般的な構成と動作を図5(a)を用いながら説明する。
移動ブロック1は本体部9上をコの字状に跨ぐユニット全体であり、左右一対のボールネジ2及びガイド3により、図示しないモータ等の駆動手段及び制御手段により本体部に対し、図5(a)の上下方向に所定量移動可能な構成になっている。移動ブロック1上には、タイミングベルト4が設けられ、このタイミングベルト4にユニット基板5が固定され、該ユニット基板5並びに、その上に設けたスクライブブロック6は、図示しないモータ等の駆動手段によるプーリー7の回転に伴うタイミングベルト4の移動によってガイドレール8に沿って左右に必要量移動可能である。前記移動ブロック1が取り付いている本体部9は、ワークテーブル11、支持台12と一体に構成され、ワークテーブル11には、真空吸着等の固定手段によりワーク13をワークテーブル11上面に固定できる。ユニット基板5上のスクライブブロック6には、図示しない周知の油圧、空圧またはバネ力等の押圧手段で、ガラス基板等のワーク13に対し、スクライブブロック6の下方に設けたスクライブカッター14を所定の荷重で押圧しながら、周知のボールスライド等から成るガイドレール8に沿って移動(例えば右方向に)する時、ワーク13上にスクライブラインを形成する。スクライブブロック6の復工程では前記押圧手段を用いてスクライブカッター14を引込めた状態で当初のユニット基板5の位置に戻る。又、ワークテーブル11および支持台12は、本体部9内に格納されている回転駆動手段により、図5(a)の上方からみて90°回転可能である。この構成により、ワークテーブル11上のワーク13には格子状にスクライブを施すことが可能であり、この装置を用いて、ガラス板等の大型のワーク13から小片を切出すことができる。
First, a general configuration and operation of a conventional workpiece cutting device will be described with reference to FIG.
The moving block 1 is the entire unit straddling the U-shaped portion on the main body 9, and the main body is shown in FIG. ) Can move a predetermined amount in the vertical direction. A timing belt 4 is provided on the moving block 1, and a unit substrate 5 is fixed to the timing belt 4. The unit substrate 5 and the scribe block 6 provided on the unit substrate 5 are driven by driving means such as a motor (not shown). The required amount can be moved left and right along the guide rail 8 by the movement of the timing belt 4 accompanying the rotation of the pulley 7. The main body 9 to which the moving block 1 is attached is configured integrally with a work table 11 and a support base 12, and a work 13 can be fixed to the upper surface of the work table 11 by a fixing means such as vacuum suction. The scribe block 6 on the unit substrate 5 is provided with a scribe cutter 14 provided below the scribe block 6 against a workpiece 13 such as a glass substrate by a known pressing means such as hydraulic pressure, pneumatic pressure or spring force (not shown). A scribe line is formed on the work 13 when moving (for example, in the right direction) along the guide rail 8 made of a known ball slide or the like while being pressed with a load of. In the returning process of the scribe block 6, the scribe cutter 14 is retracted by using the pressing means and the original position of the unit substrate 5 is returned. Further, the work table 11 and the support base 12 can be rotated by 90 ° as viewed from above in FIG. With this configuration, the work 13 on the work table 11 can be scribed in a lattice shape, and small pieces can be cut out from a large work 13 such as a glass plate using this apparatus.

通常のワーク分断装置10では、スクライブブロック6の往復工程の内、1工程(例えば往工程)でスクライブする。しかし、スクライブ作業のスピードアップ化の要請から、往、復の両工程でスクライブする必要が生じ、それを実現する一つの技術として、例えば下記の特許文献1がある。   In the normal workpiece cutting apparatus 10, scribing is performed in one process (for example, forward process) in the reciprocating process of the scribe block 6. However, there is a need for scribing in both the forward and backward processes due to a request for speeding up the scribe work, and one technology for realizing this is, for example, Patent Document 1 below.

特許出願公開 特開平9−249427号公報Japanese Patent Application Publication No. 9-249427

特許文献1に開示された技術を図11を用いながら説明する。揺動部15は揺動可能にカッターホルダー16に支持されている。揺動部15の先端にはスクライブカッター14がついていて、スクライブ時にカッタースライド17(図5のスクライブブロックの下端部を構成する)が移動すると、揺動部15が軸18を中心にカッターホルダー16の軸心位置から一定距離ずれる様に移動し、この結果スクライブカッター14はカッタースライド17の移動に追従して直進する。   The technique disclosed in Patent Document 1 will be described with reference to FIG. The swing part 15 is supported by the cutter holder 16 so as to be swingable. A scribing cutter 14 is attached to the tip of the swinging portion 15, and when the cutter slide 17 (which constitutes the lower end portion of the scribing block in FIG. 5) moves during scribing, the swinging portion 15 is centered about the shaft 18 and the cutter holder 16. As a result, the scribe cutter 14 moves straight following the movement of the cutter slide 17.

ところで、大型のワーク基板から切出した小片は、その後、位相差板、偏光板等の成膜層を設け表示板としての完成品として仕上げることがある。この様な場合、近年は、製品完成迄の全工程を考え、製品トータルとしての生産コストを下げるために、表面に予めこれらの成膜層を設けた基板から個別の製品を直接切出すことも多くなった。この様な場合に用いるワーク分断装置は、図5(b)に示したように、ユニット基板25上に、既に説明したスクライブブロック6の他に、先端に成膜層を帯状に剥離するための剥離カッター24を有する剥離ブロック26を備えたワーク分断装置20を用いる。このワーク分断装置20は、ユニット基板25の往工程で、ワーク23表面の成膜層を剥離カッター24によって削り取り、基板を帯状に表出して、帯状剥離領域を形成する。これに後続して、その帯状剥離領域に沿ってスクライブカッター14が基板と接触しながら移動し、スクライブラインを形成する。そして、ユニット基板25の復工程においては、剥離カッター24及びスクライブカッター14は上昇し、ワーク23と非接触状態で復帰する。この後、ユニット基板25を左右一対のボールネジ2及びガイド3により、本体部9に対し、図5(b)の上下方向に所定量移動させ、順次スクライブしたい位置で上記の動作を繰り返す。次いでワーク23を水平面内で90°回転させ、同様に直交するスクライブラインを形成する。   By the way, the small piece cut out from the large work substrate may be finished with a film-forming layer such as a phase difference plate or a polarizing plate and then finished as a finished product as a display plate. In such a case, in recent years, considering the entire process up to the completion of the product, in order to reduce the production cost as a total product, it is also possible to cut out individual products directly from the substrate on which these film formation layers have been previously provided. Increased. As shown in FIG. 5 (b), the workpiece cutting apparatus used in such a case is for stripping a film forming layer at the tip of the unit substrate 25 in addition to the scribe block 6 already described. The workpiece | work parting apparatus 20 provided with the peeling block 26 which has the peeling cutter 24 is used. In the workpiece cutting device 20, in the forward process of the unit substrate 25, the film forming layer on the surface of the workpiece 23 is scraped off by the peeling cutter 24, and the substrate is exposed in a band shape to form a band-shaped peeling region. Subsequent to this, the scribe cutter 14 moves along the strip-like peeling region while contacting the substrate to form a scribe line. In the returning process of the unit substrate 25, the peeling cutter 24 and the scribe cutter 14 are raised and returned to the workpiece 23 in a non-contact state. Thereafter, the unit substrate 25 is moved by a predetermined amount in the vertical direction of FIG. 5B with respect to the main body portion 9 by the pair of left and right ball screws 2 and the guide 3, and the above operation is repeated at the position where the scribing is sequentially desired. Next, the work 23 is rotated by 90 ° in a horizontal plane, and similarly, an orthogonal scribe line is formed.

この成膜層付きワーク23の加工例として液晶パネルの製造を説明するが、そのための準備として、先ず液晶セルの構成を、次いで、その製造順を図6〜図9を用いて説明していく。   The manufacturing of the liquid crystal panel will be described as an example of processing the workpiece 23 with the film-forming layer. As a preparation for this, first, the configuration of the liquid crystal cell will be described, and then the manufacturing order will be described with reference to FIGS. .

図9に示す様に、液晶セル50は、外周を貼り合わされたガラス基板から成り、該ガラス基板の間に液晶が封入された液晶セル、即ち、TFT側ガラス基板31と、カラーフィルター側ガラス基板セル41より成り、TFT側ガラス基板31の一方向面側がカラーフィルター側ガラス基板41の側面よりも突出している。その突出部32の内面側には、液晶パネル駆動用の接続端子32Aが形成されている。接続端子32Aには液晶セル50が液晶表示装置に搭載された状態で電気的な信号を受け取って液晶セル50を点灯させるためのFPC(Flexible Printed Circuit)や、COG(Chip On Glass)が接続される。この液晶セル50はバックライト型の液晶表示装置に適用されるものであり、各液晶セル50の外面には略全域に亘って偏光板(TFT側偏光板33、カラーフィルター側偏光板43)が貼り付けられている。   As shown in FIG. 9, the liquid crystal cell 50 is composed of a glass substrate with the outer periphery bonded, and a liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between the glass substrates, that is, a TFT side glass substrate 31 and a color filter side glass substrate. It consists of cells 41, and the one side surface side of the TFT side glass substrate 31 protrudes from the side surface of the color filter side glass substrate 41. A connection terminal 32 </ b> A for driving the liquid crystal panel is formed on the inner surface side of the protruding portion 32. An FPC (Flexible Printed Circuit) or COG (Chip On Glass) for receiving an electrical signal and lighting the liquid crystal cell 50 in a state where the liquid crystal cell 50 is mounted on the liquid crystal display device is connected to the connection terminal 32A. The This liquid crystal cell 50 is applied to a backlight type liquid crystal display device, and a polarizing plate (TFT side polarizing plate 33, color filter side polarizing plate 43) is provided on the outer surface of each liquid crystal cell 50 over substantially the entire area. It is pasted.

図6に示した様に、液晶セル50を製造する為の素材としての液晶パネル基板60は、液晶パネル用ガラス基板61を主構成要素とし、この液晶パネル用ガラス基板61は、相互に貼りあわされた一対のTFT側大版ガラス基板30、及びカラーフィルター側大版ガラス基板40からなる。この液晶パネル用ガラス基板61には、格子状に分割配置、即ち、隣接配置された複数のTFT側ガラス基板31およびカラーフィルター側ガラス基板41が形成されており、各一対のTFT側ガラス基板31およびカラーフィルター側ガラス基板41間には液晶が封入されている。またTFT側大版ガラス基板30、カラーフィルター側大版ガラス基板40の各外面には、全面を覆うように、夫々TFT側偏光板62、カラーフィルター側偏光板63が貼り付けられている。これらTFT側偏光板62、カラーフィルター側偏光板63の各外面には、保護用の成膜層が積層されている。(図示省略)   As shown in FIG. 6, a liquid crystal panel substrate 60 as a material for manufacturing the liquid crystal cell 50 includes a liquid crystal panel glass substrate 61 as a main component, and the liquid crystal panel glass substrate 61 is bonded to each other. The TFT side large plate glass substrate 30 and the color filter side large plate glass substrate 40 are formed. The liquid crystal panel glass substrate 61 is formed with a plurality of TFT side glass substrates 31 and a color filter side glass substrate 41 which are divided and arranged adjacent to each other in a grid pattern, and each pair of TFT side glass substrates 31. Liquid crystal is sealed between the color filter side glass substrates 41. A TFT side polarizing plate 62 and a color filter side polarizing plate 63 are attached to the outer surfaces of the TFT side large plate glass substrate 30 and the color filter side large plate glass substrate 40, respectively, so as to cover the entire surface. On each outer surface of the TFT side polarizing plate 62 and the color filter side polarizing plate 63, a protective film forming layer is laminated. (Not shown)

この大型の液晶パネル基板60をTFT側が上になる様にガラス分断装置(この場合は、液晶パネル製造装置)のベット上にセットする。図7中の移動ユニット70は、図5(b)におけるガラス分断装置20の剥離ブロック26とスクライブブロック6の機能を抽出してモデル化したものであるが、この移動ユニット70が隣接するTFT側ガラス基板セル同士の境界上を液晶パネル基板60の端から端まで一方向に移動すると、TFT側偏光板62が剥離カッター24によって、切屑71を出しながら削り取られ、TFT側大版ガラス基板30が帯状に表出して、帯状剥離領域72が形成される。これに後続して、その帯状剥離領域72に沿ってスクライブカッター14が移動し、スクライブライン73が形成されていく。その後、液晶パネル基板60を水平面内で平行移動させ、順次境界に対して上記の動作を繰り返し、次いで液晶パネル基板60を水平面内で90°回転させ、今度は直交するスクライブライン73を形成する。図8(a)参照。   The large liquid crystal panel substrate 60 is set on a bed of a glass cutting device (in this case, a liquid crystal panel manufacturing device) so that the TFT side is on the upper side. The moving unit 70 in FIG. 7 is a model obtained by extracting and modeling the functions of the peeling block 26 and the scribe block 6 of the glass cutting apparatus 20 in FIG. 5B. The moving unit 70 is adjacent to the TFT side. When the liquid crystal panel substrate 60 moves in one direction on the boundary between the glass substrate cells, the TFT side polarizing plate 62 is scraped off by the peeling cutter 24 while taking out the chips 71, so that the TFT side large plate glass substrate 30 is removed. A strip-shaped peeling region 72 is formed in a strip shape. Following this, the scribe cutter 14 moves along the strip-like peeling region 72, and a scribe line 73 is formed. Thereafter, the liquid crystal panel substrate 60 is translated in the horizontal plane, the above operations are sequentially repeated with respect to the boundary, and then the liquid crystal panel substrate 60 is rotated by 90 ° in the horizontal plane, thereby forming scribe lines 73 that are orthogonal to each other. Refer to FIG.

次いで、液晶パネル基板60を裏返し、カラーフィルター側に対し、上記の動作を繰返す訳だが、今度は、TFT側に対する動作と若干異なる。つまり、TFT側ガラス基板31の境界に対向するカラーフィルター側ガラス基板41の境界とともに、TFT側ガラス基板31に突出部32(図8(b)、図9参照)を形成すべく、各々所定距離を隔てて突出境界を設定する。そしてカラーフィルター側ガラス基板41の境界74、突出形成境界75と交互に順に液晶パネル基板60の端から端まで一方向に移動していく。これにより、カラーフィルター側偏光板63が剥離カッター24によって削り取られ、カラーフィルター側ガラス基板40が帯状に表出して帯状剥離領域72が交互に形成され、これに後続して帯状剥離領域72に沿ってスクライブカッター14が移動し、スクライブラインが形成されていく。その後、液晶パネル基板60を水平面内で90°回転させ、TFT側ガラス基板31の境界に対向するカラーフィルター側ガラス基板41の境界に対して上記の動作を繰り返しスクライブを形成する。   Next, the liquid crystal panel substrate 60 is turned over, and the above operation is repeated on the color filter side, but this time, the operation is slightly different from the operation on the TFT side. That is, a predetermined distance is formed to form the protrusion 32 (see FIGS. 8B and 9) on the TFT side glass substrate 31 together with the boundary of the color filter side glass substrate 41 facing the boundary of the TFT side glass substrate 31. A protruding boundary is set across. Then, the liquid crystal panel substrate 60 moves in one direction from one end to the other in order alternately with the boundary 74 and the protrusion formation boundary 75 of the glass substrate 41 on the color filter side. As a result, the color filter side polarizing plate 63 is scraped off by the peeling cutter 24, the color filter side glass substrate 40 is exposed in a strip shape, and strip strip regions 72 are formed alternately, and subsequently, along the strip strip region 72. Then, the scribe cutter 14 moves and a scribe line is formed. Thereafter, the liquid crystal panel substrate 60 is rotated 90 ° in a horizontal plane, and the above operation is repeated on the boundary of the color filter side glass substrate 41 facing the boundary of the TFT side glass substrate 31 to form a scribe.

その後、必要に応じて液晶パネル基板60に負荷を与え、一対のTFT側ガラス基板31、カラーフィルター側ガラス基板41毎に分断する。その際、カラーフィルター側ガラス基板40におけるカラーフィルター側ガラス基板境界74と突出形成境界75間に存在する部分は不要部分76として除去される。これにより、TFT側ガラス基板31に突出部32が形成される。最後にこの突出部32に設けられた接続端子にCOGやFPCを接続し、表示板としての液晶セル50が完成する。   Thereafter, a load is applied to the liquid crystal panel substrate 60 as necessary, and the liquid crystal panel substrate 60 is divided into a pair of TFT side glass substrate 31 and color filter side glass substrate 41. At this time, a portion existing between the color filter side glass substrate boundary 74 and the protrusion formation boundary 75 in the color filter side glass substrate 40 is removed as an unnecessary portion 76. Thereby, the protrusion 32 is formed on the TFT side glass substrate 31. Finally, COG and FPC are connected to the connection terminals provided on the projecting portion 32 to complete the liquid crystal cell 50 as a display panel.

以上、表示板としての生産性をあげるため、成膜層付きの大型ガラス基板を加工する場合の代表例として、大型のガラス基板から小型のガラス基板へワーク分断装置を用いて液晶パネルの製造を例にあげてその製造方法を説明してきた。   As described above, in order to increase productivity as a display panel, as a representative example of processing a large glass substrate with a film formation layer, a liquid crystal panel is manufactured from a large glass substrate to a small glass substrate using a workpiece dividing device. The manufacturing method has been described as an example.

背景技術の中で説明したように、成膜層の無い基板を加工する場合は、生産性をあげるために往復で加工することが行われた。しかし、従来のワーク分断装置を用いた場合、液晶パネル基板60の様な成膜層を有する大型基板を、復工程でもスクライブすることは不可能であった。このため、従来のワーク分断装置で成膜層付き大型基板を加工する場合、生産性向上という点で限界があった。この様子を、図8(b)のB−B断面図である図10を用いて改めて説明すると、往工程でのみ加工し、復工程は空(ワーク加工無し)で戻らざるを得ないので、例えば、図示のスクライブ箇所(計6箇所で、図8(b)のB−B断面方向で見た場合に限ると、液晶セル2個を切出す回数に相当する)に帯状剥離領域72を形成し、スクライブライン73を加工する為のトータルのユニット基板25の往復回数は6回にも達し、生産性向上の障害となっていた。   As described in the background art, when a substrate without a film formation layer is processed, it is processed in a reciprocating manner in order to increase productivity. However, when the conventional workpiece cutting apparatus is used, it is impossible to scribe a large substrate having a film formation layer such as the liquid crystal panel substrate 60 even in the returning process. For this reason, when processing a large substrate with a film-forming layer with a conventional workpiece cutting apparatus, there is a limit in terms of productivity improvement. If this state is described again with reference to FIG. 10 which is a BB cross-sectional view of FIG. 8 (b), the machining is performed only in the forward process, and the return process must be returned empty (no workpiece machining). For example, the strip-like peeling region 72 is formed at the scribe locations shown (corresponding to the number of times two liquid crystal cells are cut out when viewed in the BB cross-sectional direction in FIG. 8B in a total of six locations). However, the total number of reciprocations of the unit substrate 25 for processing the scribe line 73 has reached six times, which has been an obstacle to improving productivity.

本発明は上記課題を解決するために成されたものである。解決する手段として、本発明の請求項1記載に係わる発明は、成膜層が形成されたガラスあるいはプラスチック等の脆性材料よりなるワークを、ワークテーブルに固定し、複数に分断するワーク分断装置において、該ワークの表面に沿って相対的に往復動作をするユニット基板を備え、該ユニット基板上には、垂直移動可能であると同時にユニット基板の移動方向に揺動可能であるスクライブカッターを先端に有するスクライブブロックと、垂直移動可能である剥離カッターを先端に有する剥離ブロックとを備え、且つ、該スクライブカッター及び該剥離カッターが、ワークに押し当てたワーク加工状態と、ワークから離したワーク非加工状態のいずれかを夫々独立して選択可能とする制御部を備えたことを特徴とするワーク分断装置である。   The present invention has been made to solve the above problems. As a means for solving the problem, the invention according to claim 1 of the present invention is a work cutting apparatus for fixing a work made of a brittle material such as glass or plastic on which a film formation layer is formed to a work table and dividing the work into a plurality of parts. A unit substrate that reciprocally moves along the surface of the workpiece, and a scribe cutter that can move vertically in the unit substrate and at the same time move in the moving direction of the unit substrate is provided at the tip of the unit substrate. A scribe block having a peeling block having a vertically movable peeling cutter at the tip, and a workpiece machining state in which the scribe cutter and the peeling cutter are pressed against the workpiece, and a workpiece non-working separated from the workpiece A workpiece cutting device including a control unit that can independently select any of the states.

また、本発明の請求項2記載に係わる発明は、前記ワークに対して前記剥離ブロックが先行し、前記スクライブブロックが後追いする方向に前記ユニット基板が動作する時に、該剥離ブロックに備えた剥離カッターにて前記成膜層に作製した帯状剥離領域内に、スクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第1のスクライブラインを作製し、前記スクライブブロックが先行し、前記剥離ブロックが後追いする方向に、前記ワークに対して前記ユニット基板が動作する時に、前記成膜層に作製した該帯状剥離領域内に、スクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第2のスクライブラインを作製することを特徴とするワーク分断装置である。   The invention according to claim 2 of the present invention is the peeling cutter provided in the peeling block when the peeling block precedes the workpiece and the unit substrate operates in a direction in which the scribe block follows. In the strip-shaped peeling region produced in the film-forming layer, a first scribe line is produced using a scribe cutter provided for the scribe block, the scribe block is preceded, and the peeling block follows the direction, When the unit substrate operates with respect to the workpiece, a second scribe line is produced using a scribe cutter provided in a scribe block in the strip-like peeling region produced in the film formation layer. It is a workpiece cutting device.

また、本発明の請求項3記載に係わる発明は、成膜付きワークを、ワークテーブルに固定し、複数に分断するガラス分断装置において、該ワークの表面に沿って相対的に往復動作をするユニット基板を備え、該ユニット基板上には、垂直移動可能であると同時にユニット基板の移動方向に揺動可能であるスクライブカッターを先端に有するスクライブブロックと、該スクライブブロックの一方端に位置し、垂直移動可能なる第1剥離カッターを、刃先が該スクライブブロックより離れる方向に向けて取付けた第1剥離ブロックと、該スクライブブロックの他方端に位置し、垂直移動可能なる第2剥離カッターを、刃先が該スクライブブロックより離れる方向に向けて取付けた第2剥離ブロックを備え、且つ、該スクライブカッター及び該第1剥離カッター及び該第2剥離カッターが、ワークに押し当てたワーク加工状態と、ワークから離したワーク非加工状態のいずれかを夫々独立して選択可能とする制御部を備えたことを特徴とするワーク分断装置である。   Further, the invention according to claim 3 of the present invention is a unit for reciprocating relatively along the surface of a workpiece in a glass cutting apparatus for fixing a workpiece with a film to a work table and dividing it into a plurality of pieces. A scribe block having a scribe cutter at the tip thereof, which is vertically movable and simultaneously swingable in the moving direction of the unit substrate, and is positioned vertically on one end of the scribe block. The first peeling cutter, which is movable, is mounted on the other end of the scribe block, and the second peeling cutter, which is positioned at the other end of the scribe block, is mounted on the other end of the scribe block. A second peeling block attached in a direction away from the scribe block; and the scribe cutter and the first The separation cutter and the second peeling cutter include a control unit that can independently select either a workpiece processing state pressed against the workpiece or a workpiece non-processing state separated from the workpiece. It is a workpiece cutting device.

また、本発明の請求項4記載に係わる発明は、前記第1剥離ブロックが先行し、前記スクライブブロックが後追いする方向に、前記ワークに対して前記ユニット基板が動作する時に、該第1剥離ブロックに備えた第1剥離カッターにて前記成膜層に作製した帯状剥離領域内にスクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第1のスクライブラインを作製し、前記第2剥離ブロックが先行し、前記スクライブブロックが後追いする方向に、前記ワークに対して前記ユニット基板が動作する時に、該第2剥離ブロックに備えた第2剥離カッターにて、前記成膜層に作製した帯状剥離領域内に、スクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第2のスクライブラインを作製することを特徴とする請求項3に記載のワーク分断装置である。   The invention according to claim 4 of the present invention is such that when the unit substrate moves with respect to the workpiece in a direction in which the first peeling block precedes and the scribe block follows. A first scribe line is prepared using a scribe cutter provided in a scribe block in a strip-like release region prepared in the film-forming layer by the first release cutter prepared in the step, the second release block precedes, When the unit substrate is operated with respect to the workpiece in the direction in which the scribe block follows, the scribe block is scribed in the strip-like peeling region formed in the film-forming layer by the second peeling cutter provided for the second peeling block. 4. The workpiece cutting device according to claim 3, wherein the second scribe line is produced using a scribe cutter provided in the block. It is.

また、本発明の請求項5記載に係わる発明は、前記ワークはガラス又はプラスチックよりなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載のワーク分断装置である。   The invention according to claim 5 of the present invention is the workpiece cutting device according to any one of claims 1 to 4, wherein the workpiece is made of glass or plastic.

また、本発明の請求項6記載に係わる発明は、請求項5に記載のワーク分断装置によって製作したことを特徴とする表示板である。   The invention according to claim 6 of the present invention is a display board manufactured by the work cutting apparatus according to claim 5.

発明の効果として、請求項1記載に係わる本発明のワーク分断装置は、スクライブカッター及び剥離カッターをワークに押し当てたワーク加工状態か、ワークから離したワーク非加工状態を夫々独立して選択可能となり、この結果、ユニット基板の1往復工程中に加工可能な様式の自由度が高くなり、ワークに応じた加工方式を選択することでワークのスクライブ加工効率をあげることができる。   As an effect of the invention, the workpiece cutting device of the present invention according to claim 1 can independently select a workpiece machining state in which the scribe cutter and the peeling cutter are pressed against the workpiece or a workpiece non-working state separated from the workpiece. As a result, the degree of freedom of the form that can be processed during one reciprocation process of the unit substrate is increased, and the work scribing efficiency can be increased by selecting a processing method according to the work.

また、請求項2記載に係わる本発明のワーク分断装置は、成膜付きワークに対し、ユニット基板の1往復工程でスクライブラインを2本加工することができるので、簡単な装置構造にもかかわらず成膜付きワークのスクライブ加工効率をあげることができる。   Moreover, since the workpiece | work cutting device of this invention concerning Claim 2 can process two scribe lines with one reciprocation process of a unit board | substrate with respect to the workpiece | work with a film formation, it is in spite of simple apparatus structure. The scribing efficiency of the work with film formation can be increased.

また、請求項3記載に係わる本発明のワーク分断装置は、剥離ブロックが2個になるので装置構成は請求項1の装置より多少複雑になるが、請求項1の装置よりユニット基板の1往復工程の中に、より多くの加工様式を盛り込むことが可能になり、またスクライブ加工効率もより高まる。   In addition, since the workpiece cutting apparatus according to the third aspect of the present invention has two peeling blocks, the structure of the apparatus is slightly more complicated than that of the apparatus of the first aspect. It becomes possible to incorporate more processing modes into the process, and the scribe processing efficiency is further increased.

また、請求項4記載に係わる本発明のワーク分断装置は、ユニット基板の1往復工程で、ワーク表面に2本の帯状剥離領域と2本のスクライブラインを加工できるので、スクライブ加工効率が高くなると同時に、請求項2に記載のワーク分断装置の場合に存在したスクライブ加工位置の制限が無くなる。   Moreover, since the workpiece | work parting apparatus of this invention concerning Claim 4 can process two strip | belt-shaped peeling areas and two scribe lines on the workpiece | work surface in one reciprocation process of a unit board | substrate, when scribe processing efficiency becomes high At the same time, there is no restriction on the scribing position existing in the case of the workpiece cutting device according to claim 2.

また、請求項5記載に係わる本発明は、ワークを構成する脆性材料が、ガラスまたはプラスチックよりなる、請求項1乃至4のいずれか1つに記載のワーク分断装置でスクライブ加工する場合、特に加工効果を発揮する。   Further, the present invention according to claim 5 is a case where the brittle material constituting the workpiece is made of glass or plastic, and particularly when the scribe processing is performed by the workpiece cutting device according to any one of claims 1 to 4. Demonstrate the effect.

また、請求項6記載に係わる表示板は、スクライブ加工効率が高い本発明のワーク分断装置を使用することで、製造コストを安価に製造することが可能になる。   Moreover, the display board according to claim 6 can be manufactured at low cost by using the workpiece cutting device of the present invention having high scribing efficiency.

次に本発明を実施するための最良の形態(以下「実施形態」と略す)を図1〜4を用いて説明する。図1は本発明の第1実施形態のワーク分断装置の側面図を、図2は本発明の第1実施形態のワーク分断装置で加工後の液晶パネル基板の断面図を用いて、スクライブカッター及び剥離カッターの往復工程と加工箇所との関係を示す説明図を、図3は本発明の第2実施形態のワーク分断装置の側面図を、図4は本発明の第2実施形態のワーク分断装置で加工後の液晶パネル基板の断面図をもちいて、スクライブカッター及び剥離カッターの往復工程と加工箇所との関係を示す説明図を示す。ところで、図1、図3に示したに本発明の実施形態のワーク分断装置は、剥離ブロック及び図示しない制御部を除いて背景技術で既に図5を用いて説明したワーク分断装置と同じである。従って、背景技術で説明した構成部品と同一部品は同一符号を付し、説明は省略するか簡単にとどめる。   Next, the best mode for carrying out the present invention (hereinafter abbreviated as “embodiment”) will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a side view of a workpiece cutting apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a liquid crystal panel substrate processed by the workpiece cutting apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a side view of the workpiece cutting device of the second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a workpiece cutting device of the second embodiment of the present invention. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the relationship between the reciprocation process of the scribe cutter and the peeling cutter and the processing location, using a sectional view of the processed liquid crystal panel substrate. By the way, the workpiece cutting apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 and 3 is the same as the workpiece cutting apparatus already described with reference to FIG. 5 in the background art except for the peeling block and the control unit (not shown). . Accordingly, the same components as those described in the background art are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted or will be simplified.

本発明の第1実施形態のワーク分断装置は、図1に示した様に、ユニット基板125上にスクライブブロック106及び剥離ブロック126を備えている。タイミングベルト4に固定されたユニット基板125は、タイミングベルト4の移動によってガイドレール8に沿って移動可能にする。ワークテーブル11および支持台12は図1の上方からみて90°回転可能である。本体部9上をコの字状に跨ぐ移動ブロック1は、左右一対のボールネジ2及びガイド3により本体部9に対し、図1の前後方向所定量移動可能な構成になっている。尚、この第1実施形態では、本体部9、即ちワークテーブル11に対して門型の移動ブロック1が移動する形態を示したが、逆に門型の移動ブロック1に対してワークテーブル11が移動してもよく、相互が相対的に移動可能な構造であれば良いことは勿論である。また、前記スクライブブロック106は、先端にワークをスクライブする為のスクライブカッター114(揺動方式)を有し、スクライブカッター114は、図示しない手段を用いて上下方向に移動可能である。また、前記剥離ブロック126は、先端に、成膜層を帯状に剥離するための幅広剥離カッター124を有し、幅広剥離カッター124は、図示しない手段を用いて上下方向に移動可能である。一般に剥離カッターを用いた成膜層カット幅は、その中に1本のスクライブラインを刻むのに支障無い程度の最小幅であるが、本実施形態の幅広剥離カッター124を用いて、その中にスクライブライン2本を設けるに必要な幅を加工する。   The workpiece cutting apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a scribe block 106 and a peeling block 126 on a unit substrate 125 as shown in FIG. The unit substrate 125 fixed to the timing belt 4 is movable along the guide rail 8 by the movement of the timing belt 4. The work table 11 and the support base 12 can be rotated by 90 ° as viewed from above in FIG. The moving block 1 straddling the main body 9 in a U-shape is configured to be movable by a predetermined amount in the front-rear direction of FIG. 1 relative to the main body 9 by a pair of left and right ball screws 2 and guides 3. In the first embodiment, the gate-type moving block 1 is moved with respect to the main body 9, that is, the work table 11. Conversely, the work table 11 is moved with respect to the gate-shaped moving block 1. Needless to say, the structure may be movable as long as it is relatively movable. Further, the scribe block 106 has a scribe cutter 114 (oscillation method) for scribing a workpiece at the tip, and the scribe cutter 114 can be moved in the vertical direction using means not shown. Further, the peeling block 126 has a wide peeling cutter 124 for peeling the film-forming layer in a strip shape at the tip, and the wide peeling cutter 124 can be moved in the vertical direction using a means (not shown). In general, the film-forming layer cut width using a peeling cutter is a minimum width that does not hinder the engraving of one scribe line therein, but using the wide peeling cutter 124 of this embodiment, The width necessary for providing two scribe lines is processed.

このワーク分断装置は、図示しない制御部からのコントロールで以下の様な動作を行うことができる。即ち、油圧等の周知の押圧手段で、幅広剥離カッター124及びスクライブカッター114を、ワーク23に対し、所定の荷重で押圧しながら、周知のガイドレール8に沿って図の左から右方向に往動する。これにより、ワーク23には、幅広の帯状剥離領域及び第1のスクライブラインを刻む。この加工工程が終了したら、移動ブロック1を前方向(又は後方向)に一定量送った後、前記押圧手段を用いて、幅広剥離カッター124をワーク23から離し、スクライブカッター114のみをワーク23に所定の荷重で押圧しながら、前記ガイドレール8に沿って図の右から左方向に復動する。これにより、幅広の帯状剥離領域内に第2のスクライブラインが刻まれる。次に、移動ブロック1を本体部9に対し、図1の前後方向に所定量移動させ、順次、上記の動作を繰り返す。次いでワーク23を水平面内で90°回転させ、同様に直交するスクライブラインを形成する。   This workpiece cutting device can perform the following operations under the control of a control unit (not shown). That is, while the wide peeling cutter 124 and the scribe cutter 114 are pressed against the work 23 with a predetermined load by a known pressing means such as hydraulic pressure, the left and right directions in the drawing are moved along the known guide rail 8. Move. As a result, the work 23 is engraved with a wide strip-like peeling region and a first scribe line. When this processing step is completed, the moving block 1 is fed forward (or backward) by a predetermined amount, and then the wide peeling cutter 124 is separated from the work 23 by using the pressing means, and only the scribe cutter 114 is moved to the work 23. While pressing with a predetermined load, it moves backward along the guide rail 8 from right to left in the figure. Thereby, a 2nd scribe line is carved in a wide strip | belt-shaped peeling area | region. Next, the moving block 1 is moved by a predetermined amount in the front-rear direction of FIG. 1 with respect to the main body 9, and the above operations are sequentially repeated. Next, the work 23 is rotated by 90 ° in a horizontal plane, and similarly, an orthogonal scribe line is formed.

この実施形態1のワーク分断装置120を用いて液晶セル50を加工する場合を図1、図2を用いて説明する。ワーク23としては、背景技術で説明したと同様に、液晶パネル基板60を用いる。そして、カラーフィルター基板側を加工する場合、往工程では、幅広剥離カッター124で作製した幅広帯状剥離領域172内に、スクライブカッター114で第1スクライブライン173aを形成する。この加工工程終了後、移動ブロック1を前後方向に一定量送った後、復工程に入り、今度は、幅広剥離カッター124は、液晶パネル基板60から離し、スクライブカッター114のみを動作させて、往工程で剥離した幅広帯状剥離領域172内に第2スクライブライン173bを形成する。次に、移動ブロック1を本体部9に対し、図1の前後方向に所定量移動させ、順次、上記の動作を繰り返す。次いで液晶パネル基板60を水平面内で90°回転させ、同様に直交するスクライブラインを形成する。   A case where the liquid crystal cell 50 is processed using the workpiece cutting device 120 of the first embodiment will be described with reference to FIGS. As the work 23, the liquid crystal panel substrate 60 is used as described in the background art. When processing the color filter substrate side, in the forward process, the first scribe line 173 a is formed by the scribe cutter 114 in the wide strip-shaped release region 172 produced by the wide release cutter 124. After this processing step is completed, the moving block 1 is fed a certain amount in the front-rear direction, and then the return step is started. This time, the wide peeling cutter 124 is separated from the liquid crystal panel substrate 60 and only the scribe cutter 114 is operated, A second scribe line 173b is formed in the wide strip-like peeling region 172 peeled in the process. Next, the moving block 1 is moved by a predetermined amount in the front-rear direction of FIG. 1 with respect to the main body 9, and the above operations are sequentially repeated. Next, the liquid crystal panel substrate 60 is rotated by 90 ° in a horizontal plane to similarly form orthogonal scribe lines.

次に、第1実施形態のワーク分断装置120で、液晶パネルの素材となる液晶パネル基板60のTFT基板側をスクライブする場合は、液晶パネル基板60のTFT基板側を表にしてワークテーブル11上面に固定するが、その場合の加工方法は、図2に示した様に、カラーフィルター基板側加工時の往工程の加工のみを用いる。(復工程は、空で帰る)   Next, when the workpiece cutting device 120 of the first embodiment scribes the TFT substrate side of the liquid crystal panel substrate 60 that is the material of the liquid crystal panel, the top surface of the work table 11 with the TFT substrate side of the liquid crystal panel substrate 60 as a table. However, in this case, as shown in FIG. 2, only the processing in the forward process at the time of processing on the color filter substrate side is used. (Return process returns in the sky)

従来のワーク分断装置で液晶パネルを加工する場合、図10を用いて説明した通り、例えば図10図示のスクライブ箇所(計6箇所で、液晶セル2個を切出す回数に相当する)をスクライブする為のユニット基板25のトータルの往復回数は6回に達した。しかし、第1実施形態のワーク分断装置120を用いて液晶セル50を加工する場合は、同一の箇所を加工する時、図2に示した通り4回で済み、第1実施形態のワーク分断装置120は液晶セル50の生産性向上に効果がある。尚、第1実施形態の加工では、図2から明らかの様に、TFT側の偏光板62の幅広帯状剥離領域172の幅が背景技術の場合より少し広くなる。しかし、光学上は偏光板は表示領域を覆う程度の大きさ、つまり、カラーフィルター側と同じであれば十分である。尚、TFT側ガラス基板31の突出部32は成膜で被覆されない為強度が多少弱くなるが、これは、搬送時や組み込み時に欠損等の発生に注意を払えば問題無い。   When processing a liquid crystal panel with a conventional workpiece cutting apparatus, as described with reference to FIG. 10, for example, a scribe portion shown in FIG. 10 is scribed (corresponding to the number of times two liquid crystal cells are cut out in a total of six locations). Therefore, the total number of reciprocations of the unit substrate 25 has reached six. However, when the liquid crystal cell 50 is processed using the workpiece cutting device 120 of the first embodiment, when the same portion is processed, four times as shown in FIG. 2 is sufficient, and the workpiece cutting device of the first embodiment. 120 is effective in improving the productivity of the liquid crystal cell 50. In the processing of the first embodiment, as is apparent from FIG. 2, the width of the wide strip-like peeling region 172 of the polarizing plate 62 on the TFT side is slightly wider than in the background art. However, optically, it is sufficient that the polarizing plate is large enough to cover the display area, that is, the same size as the color filter side. In addition, although the protrusion part 32 of the TFT side glass substrate 31 is not covered by film formation, the strength is somewhat weakened. However, this is not a problem if attention is paid to the occurrence of a defect or the like at the time of transportation or incorporation.

次に、本発明の第2実施形態のワーク分断装置を、図3、図4を用いながら説明する。
第2実施形態のワーク分断装置220では、第1実施形態と異なって、スクライブブロック106を挟んで、先端に第1剥離カッター224aを有する第1剥離ブロック226aと、先端に第2剥離カッター224bを有する第2剥離ブロック226bとを設けてある。第1剥離カッター224aと第2剥離カッター224bの切刃の向きは180度異なり、第1剥離カッター224aは往工程で剥離カット可能、第2剥離カッター224bは復工程で剥離カット可能である。又、両カッターは、夫々独立して上下動可能である。また、第1剥離カッター224a及び第2剥離カッター224bを用いた成膜層カット幅は、その中に1本のスクライブラインを刻むのに支障無い程度で最小幅である。
Next, the workpiece | work parting apparatus of 2nd Embodiment of this invention is demonstrated, using FIG. 3, FIG.
In the workpiece cutting device 220 of the second embodiment, unlike the first embodiment, the first peeling block 226a having the first peeling cutter 224a at the tip and the second peeling cutter 224b at the tip are sandwiched between the scribe blocks 106. And a second peeling block 226b. The directions of the cutting edges of the first peeling cutter 224a and the second peeling cutter 224b are different by 180 degrees, the first peeling cutter 224a can be peel-cut in the forward process, and the second peeling cutter 224b can be peel-cut in the reverse process. Both cutters can be moved up and down independently. Further, the film formation layer cut width using the first peeling cutter 224a and the second peeling cutter 224b is the minimum width to the extent that there is no problem in engraving one scribe line therein.

その他の構成は、図示しない制御部でコントロールする下記の動作順序を除いて第1実施形態と同一である。即ち、第1剥離カッター224a及びスクライブカッター114を、ワーク23に対し、所定の荷重で押圧しながら、図3の左から右方向に往動する。これにより、ワーク23には、第1の帯状剥離領域及び第1のスクライブラインを刻む。この加工工程が終了したら、移動ブロック1を前方向(又は後方向)に一定量送った後、第1剥離カッター224aをワーク23から離し、第2剥離カッター224bとスクライブカッター114をワーク23に対し、所定の荷重で押圧しながら、前記ガイドレール8に沿って図の右から左方向に復動する。これにより、第2の帯状剥離領域内に第2のスクライブラインが刻まれる。次に、移動ブロック1を本体部9に対し、図3の前後方向に所定量移動させ、順次、上記の動作を繰り返す。次いでワーク23を水平面内で90°回転させ、同様に直交するスクライブラインを形成する。   Other configurations are the same as those of the first embodiment except for the following operation sequence controlled by a control unit (not shown). That is, the first peeling cutter 224a and the scribe cutter 114 are moved forward from the left in FIG. 3 while pressing the work 23 with a predetermined load. As a result, the work 23 is engraved with the first strip-shaped peeling region and the first scribe line. When this processing step is finished, the moving block 1 is fed forward (or backward) by a certain amount, and then the first peeling cutter 224a is separated from the work 23, and the second peeling cutter 224b and the scribe cutter 114 are moved with respect to the work 23. Then, it moves backward along the guide rail 8 from the right to the left while pressing with a predetermined load. Thereby, a 2nd scribe line is carved in the 2nd strip | belt-shaped peeling area | region. Next, the moving block 1 is moved by a predetermined amount in the front-rear direction of FIG. 3 with respect to the main body 9, and the above operations are sequentially repeated. Next, the work 23 is rotated by 90 ° in a horizontal plane, and similarly, an orthogonal scribe line is formed.

第2実施形態のワーク分断装置220で液晶セル50を加工する場合を図4を用いて説明する。カラーフィルター基板側にスクライブラインを加工する時は、往工程では、第1剥離カッター224aで作製した第1帯状剥離領域272a内に、スクライブカッター114を用いて第1スクライブライン273aを形成する。この加工工程が終了したら、移動ブロック1を前後方向に一定量送った後、復工程に入り、今度は、液晶パネル基板60から第1剥離カッター224aを離し、第2剥離カッター224bを接触させて、第2剥離カッター224bで作製した第2帯状剥離領域272b内に、スクライブカッター114を用いて第2スクライブライン273bを形成する。次に、移動ブロック1を本体部9に対し、図3の前後方向に所定量移動させ、順次、上記の動作を繰り返す。次いで液晶パネル基板60を水平面内で90°回転させ、同様に直交するスクライブラインを形成する。   The case where the liquid crystal cell 50 is processed by the workpiece cutting device 220 of the second embodiment will be described with reference to FIG. When the scribe line is processed on the color filter substrate side, in the forward process, the first scribe line 273a is formed using the scribe cutter 114 in the first strip-like release region 272a produced by the first release cutter 224a. When this processing step is completed, the movable block 1 is sent in a predetermined amount in the front-rear direction, and then the return step is started. Next, the first peeling cutter 224a is separated from the liquid crystal panel substrate 60, and the second peeling cutter 224b is brought into contact therewith. The second scribe line 273b is formed using the scribe cutter 114 in the second strip-shaped release region 272b produced by the second release cutter 224b. Next, the moving block 1 is moved by a predetermined amount in the front-rear direction of FIG. 3 with respect to the main body 9, and the above operations are sequentially repeated. Next, the liquid crystal panel substrate 60 is rotated by 90 ° in a horizontal plane to similarly form orthogonal scribe lines.

第2実施形態のワーク分断装置220で、液晶セル50の素材となる液晶パネル基板60のTFT基板側をスクライブする場合の加工方法は、液晶パネル基板60のTFT基板側を表にしてワークテーブル11上面に固定しておいてから、図4で示した様に、カラーフィルター基板側加工時の往工程と復工程の加工を用いるとよい。   The processing method in the case of scribing the TFT substrate side of the liquid crystal panel substrate 60 that is the material of the liquid crystal cell 50 with the workpiece dividing device 220 of the second embodiment is as follows. After fixing to the upper surface, as shown in FIG. 4, it is preferable to use the forward process and the reverse process during the color filter substrate side processing.

第2実施形態のワーク分断装置220を用いて液晶セル50を加工する時、背景技術で図10を用いて説明した液晶セル50と同一の箇所を加工するとしたら、図4に示した通り3回の往復回数で済む。第2実施形態のワーク分断装置220は剥離ブロックを2個必要とするが、液晶セル50の生産性に一層優れる。   When processing the liquid crystal cell 50 using the workpiece cutting device 220 of the second embodiment, if the same part as the liquid crystal cell 50 described in the background art using FIG. 10 is processed, three times as shown in FIG. The number of round trips is sufficient. Although the workpiece cutting device 220 of the second embodiment requires two peeling blocks, the productivity of the liquid crystal cell 50 is further improved.

以上、本発明のワーク分断装置が効果を発揮するケースとして、液晶パネルの製造を用いて説明してきたが、本発明のワーク分断装置は、液晶パネル製造の利用に限るものではない。本発明のワーク分断装置は、成膜層付きの大型脆性材料板をユニット基板の往復両工程でスクライブ加工する事に特徴があり、例えばEL板、タッチパネル板などのように、保護膜層、位相差層、偏光層等の成膜層を有するガラスやプラスチック等ワークを備えた表示板の加工においても全く同様にその効果を発揮する。   As described above, the case where the work cutting apparatus of the present invention exhibits the effect has been described using the manufacture of a liquid crystal panel. However, the work cutting apparatus of the present invention is not limited to the use for manufacturing a liquid crystal panel. The workpiece cutting device of the present invention is characterized by scribing a large brittle material plate with a film formation layer in both reciprocation steps of a unit substrate. For example, an EL plate, a touch panel plate, etc. The same effect is exhibited in the processing of a display panel provided with a work such as glass or plastic having a film forming layer such as a phase difference layer and a polarizing layer.

本発明の第1実施形態のワーク分断装置の側面図である。It is a side view of the workpiece | work parting apparatus of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態のワーク分断装置で加工後の液晶パネル基板の断面図をもちいた、スクライブカッター及び剥離カッターの往復工程と加工箇所との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the reciprocation process of a scribe cutter and a peeling cutter, and the process location using the sectional view of the liquid crystal panel board | substrate after a process with the workpiece | work cutting device of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態のワーク分断装置の側面図である。It is a side view of the workpiece | work parting apparatus of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態のワーク分断装置で加工後の液晶パネル基板の断面図をもちいた、スクライブカッター及び剥離カッターの往復工程と加工箇所との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the reciprocation process of a scribe cutter and a peeling cutter, and the process location using the sectional view of the liquid crystal panel board | substrate after a process with the workpiece | work cutting device of 2nd Embodiment of this invention. 背景技術におけるワーク分断装置の側面図であり、図5(a)は、成膜層無しのワークを加工するワーク分断装置を、図5(b)は、成膜層付きのワークを加工するワーク分断装置である。FIG. 5A is a side view of a workpiece cutting apparatus in the background art, FIG. 5A is a workpiece cutting apparatus that processes a workpiece without a film formation layer, and FIG. 5B is a workpiece that processes a workpiece with a film formation layer. It is a cutting device. 背景技術における液晶パネルの素材となる基板の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the board | substrate used as the raw material of the liquid crystal panel in background art. 背景技術におけるワーク分断装置の移動ユニットが液晶パネルの素材となる基板上でD方向へ動作中の状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state in which the moving unit of the workpiece | work cutting device in background art is operating | moving to the D direction on the board | substrate used as the raw material of a liquid crystal panel. 背景技術における液晶パネル製造装置を動作させた後の基板の外観を示す斜視図で、図8(a)は、TFT側を、図8(b)は、カラーフィルター側を示す。FIG. 8A is a perspective view showing an appearance of a substrate after operating a liquid crystal panel manufacturing apparatus in the background art, FIG. 8A shows a TFT side, and FIG. 8B shows a color filter side. 背景技術における液晶パネルの外観を示す斜視図であり、図9(a)は、表面側を、図9(b)は、裏面側を示す。It is a perspective view which shows the external appearance of the liquid crystal panel in background art, Fig.9 (a) shows the surface side, FIG.9 (b) shows the back surface side. 背景技術におけるワーク分断装置で加工後の基板の断面図をもちいて、スクライブカッター及び剥離カッターの往復工程と加工箇所との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the reciprocation process of a scribe cutter and a peeling cutter, and a process location using sectional drawing of the board | substrate after a process with the workpiece | work parting apparatus in background art. 背景技術としての揺動式スクライブカッターの断面図である。It is sectional drawing of the rocking-type scribe cutter as background art.

符号の説明Explanation of symbols

11 ワークテーブル
23 ワーク
106 スクライブブロック
114 スクライブカッター
120、220 ワーク分断装置
124 剥離カッター
125、225 ユニット基板
126 剥離ブロック
172 幅広帯状剥離領域
173a、173b スクライブライン
224a 第1剥離カッター
224b 第2剥離カッター
226a 第1剥離ブロック
226b 第2剥離ブロック
272a 第1帯状剥離領域
272b 第2帯状剥離領域
273a 第1スクライブライン
273b 第2スクライブライン

11 Worktable
23 Work 106 Scribe block 114 Scribe cutter
120, 220 Work cutting device
124 Peeling cutter
125, 225 Unit substrate 126 Peeling block 172 Wide strip-like peeling region
173a, 173b Scribe line 224a First peeling cutter
224b Second peeling cutter
226a First peeling block
226b Second peeling block 272a First strip-like peeling area
272b Second strip-like peeling region 273a First scribe line
273b Second scribe line

Claims (6)

成膜層が形成された脆性材料よりなるワークを、ワークテーブルに固定し、複数に分断するワーク分断装置において、該ワークの表面に沿って相対的に往復動作をするユニット基板を備え、
該ユニット基板上には、垂直移動可能であると同時にユニット基板の移動方向に揺動可能であるスクライブカッターを先端に有するスクライブブロックと、垂直移動可能である剥離カッターを先端に有する剥離ブロックとを備え、且つ、該スクライブカッター及び該剥離カッターが、ワークに押し当てたワーク加工状態と、ワークから離したワーク非加工状態のいずれかを夫々独立して選択可能とする制御部を備えたことを特徴とするワーク分断装置。
In a workpiece cutting device that fixes a workpiece made of a brittle material on which a film formation layer is formed to a work table and divides the workpiece into a plurality of units, the unit substrate includes a unit substrate that reciprocally moves along the surface of the workpiece,
On the unit substrate, a scribe block having a scribe cutter at the tip that is vertically movable and simultaneously swingable in the moving direction of the unit substrate, and a peeling block having a peel cutter that is vertically movable at the tip And the scribe cutter and the peeling cutter include a control unit that can independently select either a workpiece processing state pressed against the workpiece or a workpiece non-processing state separated from the workpiece. Characteristic workpiece cutting device.
前記ワークに対して前記剥離ブロックが先行し、前記スクライブブロックが後追いする方向に前記ユニット基板が動作する時に、該剥離ブロックに備えた剥離カッターにて前記成膜層に作製した帯状剥離領域内に、スクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第1のスクライブラインを作製し、前記スクライブブロックが先行し、前記剥離ブロックが後追いする方向に、前記ワークに対して前記ユニット基板が動作する時に、前記成膜層に作製した該帯状剥離領域内に、スクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第2のスクライブラインを作製することを特徴とする請求の範囲1に記載のワーク分断装置。 When the peeling block precedes the workpiece, and the unit substrate operates in a direction in which the scribe block follows, in the strip-like peeling region formed in the film-forming layer by the peeling cutter provided for the peeling block. The first scribe line is produced using a scribe cutter provided in the scribe block, and when the unit substrate operates with respect to the workpiece in the direction in which the scribe block precedes and the peeling block follows. The work cutting apparatus according to claim 1, wherein a second scribe line is produced in the strip-like peeling region produced in the film forming layer by using a scribe cutter provided in a scribe block. 成膜付きワークを、ワークテーブルに固定し、複数に分断するガラス分断装置において、該ワークの表面に沿って相対的に往復動作をするユニット基板を備え、
該ユニット基板上には、垂直移動可能であると同時にユニット基板の移動方向に揺動可能であるスクライブカッターを先端に有するスクライブブロックと、該スクライブブロックの一方端に位置し、垂直移動可能なる第1剥離カッターを、刃先が該スクライブブロックより離れる方向に向けて取付けた第1剥離ブロックと、該スクライブブロックの他方端に位置し、垂直移動可能なる第2剥離カッターを、刃先が該スクライブブロックより離れる方向に向けて取付けた第2剥離ブロックを備え、且つ、該スクライブカッター及び該第1剥離カッター及び該第2剥離カッターが、ワークに押し当てたワーク加工状態と、ワークから離したワーク非加工状態のいずれかを夫々独立して選択可能とする制御部を備えたことを特徴とするワーク分断装置。
In a glass cutting apparatus that fixes a work with film formation to a work table and divides the work into a plurality, a unit substrate that relatively reciprocates along the surface of the work,
On the unit substrate, a scribe block having a scribe cutter at the tip thereof that is vertically movable and simultaneously swingable in the moving direction of the unit substrate, and a scribe block that is positioned at one end of the scribe block and is vertically movable. A first peeling block in which a cutting edge is mounted in a direction away from the scribe block, and a second peeling cutter that is positioned at the other end of the scribe block and is vertically movable. A second peeling block mounted in a direction away from the workpiece, and the workpiece processing state in which the scribe cutter, the first peeling cutter and the second peeling cutter are pressed against the workpiece, and the workpiece non-processing separated from the workpiece Work parting / separating device characterized by having a control unit that can independently select any of the states .
前記第1剥離ブロックが先行し、前記スクライブブロックが後追いする方向に、前記ワークに対して前記ユニット基板が動作する時に、該第1剥離ブロックに備えた第1剥離カッターにて前記成膜層に作製した帯状剥離領域内にスクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第1のスクライブラインを作製し、前記第2剥離ブロックが先行し、前記スクライブブロックが後追いする方向に、前記ワークに対して前記ユニット基板が動作する時に、該第2剥離ブロックに備えた第2剥離カッターにて、前記成膜層に作製した帯状剥離領域内に、スクライブブロックに備えたスクライブカッターを用いて第2のスクライブラインを作製することを特徴とする請求項3に記載のワーク分断装置。 When the unit substrate is operated with respect to the workpiece in a direction in which the first peeling block precedes and the scribe block follows, the first peeling block provided on the first peeling block is used to form the film-forming layer. A first scribe line is produced using a scribe cutter provided in a scribe block in the produced strip-like peeling region, the second peeling block precedes, and the scribe block follows the workpiece in the following direction. When the unit substrate is operated, a second scribe line is formed by using the scribe cutter provided in the scribe block in the strip-like release region prepared in the film formation layer by the second release cutter provided in the second release block. 4. The workpiece dividing device according to claim 3, wherein the workpiece dividing device is manufactured. 前記ワークは、ガラス又はプラスチックよりなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載のワーク分断装置。 The workpiece cutting apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the workpiece is made of glass or plastic. 請求項5に記載のワーク分断装置によって製作したことを特徴とする表示板。 A display board manufactured by the workpiece cutting device according to claim 5.
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