JP2007043462A - Piezoelectric oscillator and electronic equipment - Google Patents

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寿一郎 松澤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric oscillator and electronic equipment which are easily manufactured, are thin, and have small plain surface size. <P>SOLUTION: The piezoelectric oscillator 10 has a piezoelectric vibrator 20 and an IC chip 40 equipped with a circuit for oscillating the piezoelectric vibrator 20. A mount electrode part 50 having a step part 52 is joined to each angle part on one surface of the electric vibrator 20, the IC chip 40 and the step part 52 are electrically connected, and the piezoelectric oscillator 20, the IC chip 40, and the mount electrode part 50 are covered with a sealing body, while exposing a mount surface 58 provided to the lower surface of the mount electrode part 50. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は圧電発振器および電子機器に係り、特に圧電振動子とこの圧電振動子を発振させる回路を備えたICチップの周囲を封止体で被った圧電発振器および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric oscillator and an electronic apparatus, and more particularly to a piezoelectric oscillator and an electronic apparatus in which an IC chip including a piezoelectric vibrator and a circuit for oscillating the piezoelectric vibrator is covered with a sealing body.

圧電発振器には、圧電振動片を実装した圧電振動子と、この圧電振動子を発振させる回路をリードで接続し、これらの周囲を樹脂で封止した構成のものや、セラミックパッケージに設けられた凹陥部に圧電振動片とこの圧電振動片を発振させる回路を実装し、凹陥部を蓋体で封止した構成のものがある。そして圧電振動子と回路をリードで接続し、これらを樹脂で封止した圧電発振器の具体的な構成は、次のようになっている。   Piezoelectric oscillators have a piezoelectric vibrator mounted with a piezoelectric vibrating piece and a circuit that oscillates this piezoelectric vibrator with leads and the periphery of which is sealed with resin, or provided in a ceramic package There is a configuration in which a piezoelectric vibrating piece and a circuit for oscillating the piezoelectric vibrating piece are mounted in the recessed portion, and the recessed portion is sealed with a lid. A specific configuration of a piezoelectric oscillator in which a piezoelectric vibrator and a circuit are connected with leads and these are sealed with resin is as follows.

すなわち圧電発振器は、圧電振動片を内部に実装した圧電振動子の裏面に、この圧電振動子を発振させる回路を内蔵したICチップを設けるともに、圧電振動子の外部端子と重なる位置にリード部を絶縁固定し、圧電振動子とICチップ、およびリード部とICチップをワイヤで接続した構成である。そして圧電発振器は、圧電振動子、ICチップおよびリード部におけるインナーリード部等を被覆するように樹脂モールドし、この樹脂モールドから突出したリード部を折り曲げ形成した構成である(例えば、特許文献1を参照)。   That is, in the piezoelectric oscillator, an IC chip including a circuit for oscillating the piezoelectric vibrator is provided on the back surface of the piezoelectric vibrator in which the piezoelectric vibrating piece is mounted, and a lead portion is provided at a position overlapping the external terminal of the piezoelectric vibrator. Insulated and fixed, the piezoelectric vibrator and the IC chip, and the lead portion and the IC chip are connected by wires. The piezoelectric oscillator is configured by resin molding so as to cover the piezoelectric vibrator, the IC chip, the inner lead portion of the lead portion, and the like, and bending the lead portion protruding from the resin mold (for example, see Patent Document 1). reference).

また圧電発振器には、上側リードフレームと下側リードフレームで構成される積層リードフレームを圧電振動子の下部に配設して、下側リードフレームにICを実装した構成のものがある(例えば、特許文献2を参照)。
特開2004−297770号公報 特開2005−33755号公報
In addition, there is a piezoelectric oscillator having a structure in which a laminated lead frame composed of an upper lead frame and a lower lead frame is disposed below the piezoelectric vibrator, and an IC is mounted on the lower lead frame (for example, (See Patent Document 2).
JP 2004-297770 A JP 2005-33755 A

近年は、圧電発振器が搭載される電子機器が小型化されているのに伴い、圧電発振器に対しても薄型化および平面サイズの小型化が要求されている。このため圧電発振器に対しては、コンマ数ミリメートルでも薄型化および平面サイズを小型化したいという要求がある。しかしながら圧電発振器を構成する各部品、例えばパッケージやリード、ICチップ等には、各部品の最低限の強度を確保するために限界となる厚さがあり、また部品の機能を確保するために限界となるサイズがあるので、容易に薄型化および平面サイズの小型化ができなくなっている。
そして圧電振動子やICチップ等の周囲を樹脂で封止した構成の圧電発振器では、リードを折り曲げ加工したり、積層フレームを用いたりしてICチップを実装する厚みを得ているので、薄型化を行い難い構成となっていた。
In recent years, as electronic devices on which piezoelectric oscillators are mounted have been reduced in size, piezoelectric oscillators are also required to be thinner and smaller in plane size. For this reason, there is a demand for piezoelectric oscillators to reduce the thickness and the planar size even with a few millimeters of commas. However, each component that constitutes a piezoelectric oscillator, such as a package, lead, and IC chip, has a thickness that is limited to ensure the minimum strength of each component, and is limited to ensure the function of the component. Therefore, it is difficult to reduce the thickness and the planar size easily.
And in piezoelectric oscillators with a configuration where the periphery of the piezoelectric vibrator, IC chip, etc. is sealed with resin, the thickness of mounting the IC chip is obtained by bending the lead or using a laminated frame, so the thickness is reduced It was difficult to do.

またセラミックパッケージに圧電振動片やICチップを実装した圧電発振器では、パッケージの凹陥部に圧電振動片およびICチップを実装した後に、凹陥部を気密封止しているので、不良品を実装してしまう虞がある。すなわち、例えば圧電振動片は、気密封止されていないと空気抵抗等の影響により発振させることができないので、気密封止する前段階では、圧電振動片が良品か不良品かを検査することができず、不良品をパッケージに実装してしまう虞がある。   Also, in a piezoelectric oscillator in which a piezoelectric vibrating piece or IC chip is mounted on a ceramic package, after mounting the piezoelectric vibrating piece and IC chip on the recessed portion of the package, the recessed portion is hermetically sealed. There is a risk of it. That is, for example, since the piezoelectric vibrating piece cannot be oscillated due to the influence of air resistance or the like unless it is hermetically sealed, it is possible to inspect whether the piezoelectric vibrating piece is good or defective before the hermetic sealing. There is a risk that a defective product may be mounted on the package.

そして不良品の圧電振動片と、良品のICチップをパッケージの凹陥部に実装し、この凹陥部を気密封止した後の検査において圧電発振器が不良品と判定された場合、この圧電発振器は廃棄されてしまう。このため良品のICチップも廃棄してしまうので、圧電発振器のコストが高くなる問題点がある。
本発明は、容易に作製することができる、薄型および平面サイズが小型の圧電発振器および電子機器を提供することを目的とする。
If a defective piezoelectric vibrator and a non-defective IC chip are mounted in a recessed portion of the package and the recessed portion is hermetically sealed, and the piezoelectric oscillator is determined to be defective, the piezoelectric oscillator is discarded. Will be. For this reason, a good IC chip is also discarded, and there is a problem that the cost of the piezoelectric oscillator is increased.
An object of the present invention is to provide a piezoelectric oscillator and an electronic device that can be easily manufactured and are thin and have a small plane size.

上記目的を達成するために、本発明に係る圧電発振器は、圧電振動子と、前記圧電振動子を発振させる回路を備えたICチップとを有し、前記圧電振動子の一方の面における各角部に段差部を備えた実装電極部を接合し、前記ICチップと前記段差部を電気的に接続して、前記実装電極部の下面に設けられた実装面を露出させつつ前記圧電振動子、前記ICチップおよび前記実装電極部を封止体で被った、ことを特徴としている。この場合、前記段差部は、ハーフエッチングまたはプレス加工によって形成されたことを特徴としている。   In order to achieve the above object, a piezoelectric oscillator according to the present invention includes a piezoelectric vibrator and an IC chip including a circuit for oscillating the piezoelectric vibrator, and each angle on one surface of the piezoelectric vibrator. Bonding the mounting electrode part having a step part to the part, electrically connecting the IC chip and the step part, and exposing the mounting surface provided on the lower surface of the mounting electrode part, The IC chip and the mounting electrode part are covered with a sealing body. In this case, the step portion is formed by half etching or press working.

この実装電極部は、ICチップとワイヤの高さよりも少しでも厚い1枚のリードフレームで形成されているので、圧電発振器を薄型化することができる。また段差部は、ハーフエッチングまたはプレス加工を用いて、実装電極部を垂直方向に沿って切り欠いて形成されるので、平面サイズを小さくすることができる。したがって圧電発振器の平面サイズを小型化することができる。さらに段差部は、ハーフエッチングまたはプレス加工により形成されるので、容易に形成することができる。さらにまた、既に完成品となっている圧電振動子とICチップとを組み合わせて圧電発振器を形成しているので、圧電振動子やICチップ、実装電極部を接合する前に圧電振動子やICチップの動作等を検査して不良品を取り除いておけば、良品のみを組み合わせて圧電発振器を製造できる。したがって不良品を用いることによる無駄がなくなり、圧電発振器のコストを低くできる。   Since the mounting electrode portion is formed of a single lead frame that is slightly thicker than the height of the IC chip and the wire, the piezoelectric oscillator can be thinned. Further, the stepped portion is formed by notching the mounting electrode portion along the vertical direction by using half etching or pressing, so that the planar size can be reduced. Therefore, the planar size of the piezoelectric oscillator can be reduced. Further, since the step portion is formed by half etching or press working, it can be easily formed. Furthermore, since the piezoelectric oscillator is formed by combining the already-completed piezoelectric vibrator and the IC chip, the piezoelectric vibrator and the IC chip before joining the piezoelectric vibrator, the IC chip, and the mounting electrode portion. If a defective product is removed by inspecting the operation and the like, a piezoelectric oscillator can be manufactured by combining only good products. Therefore, waste due to the use of defective products is eliminated, and the cost of the piezoelectric oscillator can be reduced.

また本発明に係る圧電発振器は、圧電振動子と、前記圧電振動子を発振させる回路を備えたICチップと、上側の段差面と下側の段差面を垂直方向に沿う面によって接続され、前記ICチップと電気的に接続される段差部を備えるともに、下面に実装面を備え、前記圧電振動子の一方の面に上面が固着される実装電極部と、前記実装面を露出させつつ前記圧電振動子、前記ICチップおよび前記実装電極部を被う封止体と、を備えたことを特徴としている。   The piezoelectric oscillator according to the present invention includes a piezoelectric vibrator, an IC chip including a circuit for oscillating the piezoelectric vibrator, and an upper step surface and a lower step surface connected by a surface along the vertical direction, A mounting electrode portion having a step portion electrically connected to the IC chip, having a mounting surface on a lower surface, and having an upper surface fixed to one surface of the piezoelectric vibrator, and the piezoelectric while exposing the mounting surface And a sealing body that covers the vibrator, the IC chip, and the mounting electrode portion.

この実装電極部は、ICチップとワイヤの高さよりも少しでも厚い1枚のリードフレームで形成されているので、圧電発振器を薄型化することができる。また段差部は、上側の段差面と下方の段差面を垂直方向に沿う面により接続して形成されるので、平面方向のサイズを小さくすることができる。したがって圧電発振器の平面サイズを小型化することができる。さらに段差部は、ハーフエッチングまたはプレス加工により形成されるので、容易に形成することができる。さらにまた、既に完成品となっている圧電振動子とICチップとを組み合わせて圧電発振器を形成しているので、圧電振動子やICチップ、実装電極部を接合する前に圧電振動子やICチップの動作等を検査して不良品を取り除いておけば、良品のみを組み合わせて圧電発振器を製造できる。したがって不良品を用いることによる無駄がなくなり、圧電発振器のコストを低くできる。   Since the mounting electrode portion is formed of a single lead frame that is slightly thicker than the height of the IC chip and the wire, the piezoelectric oscillator can be thinned. Further, since the step portion is formed by connecting the upper step surface and the lower step surface by a surface along the vertical direction, the size in the planar direction can be reduced. Therefore, the planar size of the piezoelectric oscillator can be reduced. Further, since the step portion is formed by half etching or press working, it can be easily formed. Furthermore, since the piezoelectric oscillator is formed by combining the already-completed piezoelectric vibrator and the IC chip, the piezoelectric vibrator and the IC chip before joining the piezoelectric vibrator, the IC chip, and the mounting electrode portion. If a defective product is removed by inspecting the operation and the like, a piezoelectric oscillator can be manufactured by combining only good products. Therefore, waste due to the use of defective products is eliminated, and the cost of the piezoelectric oscillator can be reduced.

この場合、前記ICチップは前記圧電振動子の一方の面に固着されて、前記ICチップと前記圧電振動子とにワイヤが接合され、前記段差部は前記実装電極部の上部に設けられて、前記段差部における前記圧電振動子に対して反対側の面と前記ICチップとにワイヤが接合された、ことを特徴としている。圧電振動子とICチップが直に固着されているので、圧電発振器を薄型化することができる。   In this case, the IC chip is fixed to one surface of the piezoelectric vibrator, a wire is bonded to the IC chip and the piezoelectric vibrator, and the step portion is provided on the mounting electrode part. A wire is bonded to the surface of the step portion opposite to the piezoelectric vibrator and the IC chip. Since the piezoelectric vibrator and the IC chip are directly fixed, the piezoelectric oscillator can be thinned.

また前記段差部は前記実装電極部の上面と下面の間に設けられ、前記実装電極部の隙間に前記ICチップが固着されたダイパッドが配設され、前記段差部と前記ICチップとにワイヤが接合された、ことを特徴としている。実装電極部の上面から段差部の上面までの高さは、ICチップの高さとワイヤの高さを足したものよりも少しでも高ければよいので、圧電発振器を薄型化することができる。また段差部の下面も切り欠かれているので、実装電極部と封止体の接合面積が大きくなり、実装電極部が封止体から抜け落ちるのを防止できる。   The step portion is provided between an upper surface and a lower surface of the mounting electrode portion, a die pad to which the IC chip is fixed is disposed in a gap between the mounting electrode portions, and a wire is provided between the step portion and the IC chip. It is characterized by being joined. Since the height from the upper surface of the mounting electrode portion to the upper surface of the stepped portion should be slightly higher than the sum of the height of the IC chip and the height of the wire, the piezoelectric oscillator can be made thinner. In addition, since the lower surface of the step portion is also cut away, the bonding area between the mounting electrode portion and the sealing body is increased, and the mounting electrode portion can be prevented from falling off the sealing body.

また前記実装電極部の間に書き込み端子を設け、前記ICチップと導通したワイヤが接合される段差部を前記書き込み端子の先端部に設けたことを特徴としている。これにより圧電発振器を形成した後でも、書き込み端子を介してICチップにデータを書き込むことができるので、所望の特性の圧電発振器を得ることができる。   In addition, a writing terminal is provided between the mounting electrode portions, and a step portion where a wire conducting with the IC chip is joined is provided at a tip portion of the writing terminal. Thus, even after the piezoelectric oscillator is formed, data can be written to the IC chip via the write terminal, so that a piezoelectric oscillator with desired characteristics can be obtained.

また前記実装電極部に、切り欠き部を設けたことを特徴としている。この切り欠き部により、実装電極部と封止体との接合面積を増やすことができるので、実装電極部が封止体から抜け落ちるのを防止できる。また圧電振動子の一方の面に固着されるICチップの平面サイズに応じて切り欠き部を設けることにより、平面サイズの大きなICチップも圧電振動子の一方の面に固着できる。   Further, the mounting electrode portion is provided with a notch portion. Since the notched portion can increase the bonding area between the mounting electrode portion and the sealing body, the mounting electrode portion can be prevented from falling off the sealing body. Further, by providing a notch according to the planar size of the IC chip fixed to one surface of the piezoelectric vibrator, an IC chip having a large planar size can be fixed to one surface of the piezoelectric vibrator.

また前記実装電極部は、リードフレームにより形成されることを特徴としている。これにより圧電発振器は、ハーフエッチングまたはプレス加工によって段差部を形成したリードフレームを用いているので、容易に且つ安価に製造されることができる。   The mounting electrode portion is formed of a lead frame. As a result, the piezoelectric oscillator uses a lead frame in which a step portion is formed by half etching or press working, and therefore can be manufactured easily and inexpensively.

以下に、本発明に係る圧電発振器および電子機器の最良の実施形態について説明する。まず第1の実施形態について説明する。図1は第1の実施形態に係る圧電発振器の説明図である。ここで図1(A)は圧電発振器の概略平面図であり、図1(B)は同図(C)のA−A線における概略断面図であり、図1(C)は概略底面図である。なお図1(A)および図1(C)では封止体の記載を省略している。図2は圧電振動子の概略断面図である。   Hereinafter, the best embodiments of the piezoelectric oscillator and the electronic apparatus according to the present invention will be described. First, the first embodiment will be described. FIG. 1 is an explanatory diagram of the piezoelectric oscillator according to the first embodiment. 1A is a schematic plan view of the piezoelectric oscillator, FIG. 1B is a schematic cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1C, and FIG. 1C is a schematic bottom view. is there. Note that the sealing body is not illustrated in FIGS. 1A and 1C. FIG. 2 is a schematic sectional view of the piezoelectric vibrator.

図1に示される圧電発振器10は、圧電振動子20を有しており、この圧電振動子20の一方の面に集積回路(IC)チップ40を配設するとともに、この一方の面における各角部に段差部52を備えた実装電極部50を接合し、ICチップ40と段差部52を電気的に接続した構成である。   A piezoelectric oscillator 10 shown in FIG. 1 has a piezoelectric vibrator 20, and an integrated circuit (IC) chip 40 is disposed on one surface of the piezoelectric vibrator 20, and each angle on the one surface is arranged. The mounting electrode part 50 provided with the step part 52 is joined to the part, and the IC chip 40 and the step part 52 are electrically connected.

具体的には、次のような構成になっている。すなわち図2に示される圧電振動子20はパッケージベース22を備えており、この裏面に外部端子24が設けられている。この外部端子24は、ICチップ40および実装電極部50と重ならない位置、すなわちパッケージベース22の角部および中央部を除いた位置に設けられている。またパッケージベース22は、内部に凹陥部26が設けられており、この底面に接続電極28が設けられている。この接続電極28は、外部端子24と電気的に接続している。また接続電極28には、導電性接着剤30を用いて圧電振動片32が接合されている。圧電振動片32は、ATカット等の圧電振動片や音叉型圧電振動片、弾性表面波素子片等であればよい。そしてパッケージベース22の上部に、凹陥部26を気密封止する蓋体34が接合されている。   Specifically, the configuration is as follows. That is, the piezoelectric vibrator 20 shown in FIG. 2 includes a package base 22, and an external terminal 24 is provided on the back surface. The external terminal 24 is provided at a position where it does not overlap with the IC chip 40 and the mounting electrode section 50, that is, at a position excluding the corner and center of the package base 22. Further, the package base 22 is provided with a recessed portion 26 inside, and a connection electrode 28 is provided on the bottom surface thereof. The connection electrode 28 is electrically connected to the external terminal 24. In addition, a piezoelectric vibrating piece 32 is bonded to the connection electrode 28 using a conductive adhesive 30. The piezoelectric vibrating piece 32 may be a piezoelectric vibrating piece such as an AT cut, a tuning fork type piezoelectric vibrating piece, a surface acoustic wave element piece, or the like. A lid 34 that hermetically seals the recessed portion 26 is joined to the upper portion of the package base 22.

このような圧電振動子20の裏面には、図1に示されるように圧電振動子20を発振させる回路を備えたICチップ40が固着されている。より具体的には、ICチップ40は、パッド42が設けられた能動面を圧電振動子20と反対側に向けて圧電振動子20の中央部に固着されている。そしてICチップ40は、圧電振動子20から出力される周波数の安定度を高めるために温度補償を行う回路や、圧電振動子20から出力される周波数を設定電圧に応じて制御する回路を備えることもできる。   An IC chip 40 having a circuit that oscillates the piezoelectric vibrator 20 is fixed to the back surface of the piezoelectric vibrator 20 as shown in FIG. More specifically, the IC chip 40 is fixed to the central portion of the piezoelectric vibrator 20 with the active surface provided with the pads 42 facing away from the piezoelectric vibrator 20. The IC chip 40 includes a circuit that performs temperature compensation in order to increase the stability of the frequency output from the piezoelectric vibrator 20 and a circuit that controls the frequency output from the piezoelectric vibrator 20 according to the set voltage. You can also.

実装電極部50は、リードフレームから形成されており、下面が実装基板(不図示)に接合されるときの実装面58になっている。そして実装電極部50の上面の一部分が圧電振動子20の角部に固着されている。すなわち図1(A),(C)に示されるように、実装電極部50は圧電発振器10の各角部に設けられており、圧電振動子20は圧電発振器10の中央部に設けられている。また実装電極部50における下側の一部に、ハーフエッチングやプレス加工により形成された段差部52が設けられている。   The mounting electrode portion 50 is formed of a lead frame, and the lower surface serves as a mounting surface 58 when bonded to a mounting substrate (not shown). A part of the upper surface of the mounting electrode unit 50 is fixed to the corner of the piezoelectric vibrator 20. That is, as shown in FIGS. 1A and 1C, the mounting electrode unit 50 is provided at each corner of the piezoelectric oscillator 10, and the piezoelectric vibrator 20 is provided at the center of the piezoelectric oscillator 10. . Further, a stepped portion 52 formed by half etching or pressing is provided in a part of the lower side of the mounting electrode portion 50.

より具体的には、実装電極部50は、図1(C)に示されるように、圧電発振器10の中央部側に段差部52が設けられている。この段差部52には、ICチップ40に近い側に切り欠き部54が設けられている。このように実装電極部50は、図1(B)に示されるように、段差部52が設けられることによって、その一部が側面視L字型に形成されている。この段差部52には、ICチップ40と電気的に接続されるためのワイヤ56が接合される。なお実装電極部50の高さは、ICチップ40とワイヤ56を合わせた高さよりも高くなっている。
そして圧電振動子20、ICチップ40および実装電極部50の周囲は、実装電極部50の実装面58を露出させつつ樹脂等の封止体14によって被われている。
More specifically, as shown in FIG. 1C, the mounting electrode unit 50 is provided with a stepped portion 52 on the center side of the piezoelectric oscillator 10. The stepped portion 52 is provided with a cutout portion 54 on the side close to the IC chip 40. Thus, as shown in FIG. 1B, the mounting electrode portion 50 is provided with the step portion 52 so that a part thereof is formed in an L shape in side view. A wire 56 for electrical connection with the IC chip 40 is joined to the step portion 52. The height of the mounting electrode unit 50 is higher than the total height of the IC chip 40 and the wire 56.
The periphery of the piezoelectric vibrator 20, the IC chip 40, and the mounting electrode unit 50 is covered with a sealing body 14 such as a resin while the mounting surface 58 of the mounting electrode unit 50 is exposed.

次に、圧電発振器10の製造方法について説明する。まず圧電発振器10の実装電極部50はリードフレームから形成されており、実装電極部50の所定位置をハーフエッチングまたはプレス加工して、他の部分よりも薄い段差部52を形成する。また圧電振動子20は、導電性接着剤30を用いて圧電振動片32がパッケージベース22に実装された後、パッケージベース22上に蓋体34が接合されて圧電振動片32が真空または不活性ガスで気密封止される。この後、圧電振動子20は、正常に動くか否か等の検査が行われてもよい。   Next, a method for manufacturing the piezoelectric oscillator 10 will be described. First, the mounting electrode portion 50 of the piezoelectric oscillator 10 is formed of a lead frame, and a predetermined step portion 52 of the mounting electrode portion 50 is half-etched or pressed to form a stepped portion 52 thinner than the other portions. In the piezoelectric vibrator 20, after the piezoelectric vibrating piece 32 is mounted on the package base 22 using the conductive adhesive 30, the lid 34 is joined on the package base 22 so that the piezoelectric vibrating piece 32 is vacuumed or inactive. It is hermetically sealed with gas. Thereafter, an inspection such as whether or not the piezoelectric vibrator 20 moves normally may be performed.

そしてリードフレーム上に圧電振動子20を固着する。このとき、非導電性の接着剤を用いてリードフレームと圧電振動子20を接合すれば、接着剤が接合箇所から流れ出した場合でも、実装電極部50同士の短絡や、実装電極部50と外部端子24の短絡を防止できる。この後、圧電振動子20の裏面にICチップ40を固着する。この圧電振動子20とICチップ40の接合には、例えば銀ペーストを用いればよい。なおICチップ40を圧電振動子20に固着する前に、ICチップ40が正常に動作するか否か検査してもよい。   Then, the piezoelectric vibrator 20 is fixed on the lead frame. At this time, if the lead frame and the piezoelectric vibrator 20 are joined using a non-conductive adhesive, even if the adhesive flows out from the joint, the mounting electrode parts 50 are short-circuited with each other, A short circuit of the terminal 24 can be prevented. Thereafter, the IC chip 40 is fixed to the back surface of the piezoelectric vibrator 20. For example, a silver paste may be used for joining the piezoelectric vibrator 20 and the IC chip 40. Before the IC chip 40 is fixed to the piezoelectric vibrator 20, it may be inspected whether the IC chip 40 operates normally.

この後、ICチップ40の能動面に設けられたパッド42と実装電極部50の段差部52とにワイヤボンディングを施して、これらをワイヤ56により導通する。そして実装電極部50の実装面58となる部分を除いて、圧電振動子20、ICチップ40、実装電極部50およびワイヤ56等の周囲を封止体14で被う。この封止体14は、例えば樹脂等で形成されていればよい。そして最後に、封止体14から突出した部分のリードフレームを切断して、圧電発振器10を形成する。   Thereafter, wire bonding is applied to the pad 42 provided on the active surface of the IC chip 40 and the stepped portion 52 of the mounting electrode portion 50, and these are conducted by the wire 56. Then, the sealing body 14 covers the periphery of the piezoelectric vibrator 20, the IC chip 40, the mounting electrode unit 50, the wire 56, and the like except for the portion that becomes the mounting surface 58 of the mounting electrode unit 50. This sealing body 14 should just be formed, for example with resin. Finally, the lead frame protruding from the sealing body 14 is cut to form the piezoelectric oscillator 10.

このような圧電発振器10において、実装電極部50は、ICチップ40とワイヤ56の高さよりも厚い1枚のリードフレームで形成されているので、従来技術のようにリードフレームを積層させて厚みを稼ぐ必要がなく、圧電発振器10を薄型化することができる。そして実装電極部50において段差部52が設けられてない部分はICチップ40とワイヤ56の高さよりも少しでも厚ければよく、また段差部52の高さはICチップ40の高さ程度であればよいので、十分な強度を確保できる。さらに実装電極部50等の周囲は封止体14により被われているので、圧電発振器10は十分な強度を得ることができる。さらにまた圧電発振器10は、ハーフエッチング等によって段差部52を形成したリードフレームを用いているので、容易に且つ安価に製造することができる。   In such a piezoelectric oscillator 10, the mounting electrode unit 50 is formed by a single lead frame that is thicker than the height of the IC chip 40 and the wire 56. There is no need to earn, and the piezoelectric oscillator 10 can be thinned. The portion of the mounting electrode portion 50 where the stepped portion 52 is not provided needs only to be slightly thicker than the height of the IC chip 40 and the wire 56, and the height of the stepped portion 52 may be about the height of the IC chip 40. Therefore, sufficient strength can be secured. Further, since the periphery of the mounting electrode portion 50 and the like is covered with the sealing body 14, the piezoelectric oscillator 10 can obtain sufficient strength. Furthermore, since the piezoelectric oscillator 10 uses the lead frame in which the step portion 52 is formed by half etching or the like, it can be manufactured easily and inexpensively.

図3は段差部を形成する工程の違いによって平面サイズが異なることを説明する断面図である。ここで図3(A)は折り曲げ加工して段差部を形成したリードフレームの断面図であり、図3(B)はハーフエッチングにより段差部を形成したリードフレームの断面図である。図3(A)に示されるリードフレーム60は、曲げ加工して段差部を形成しているので、リードフレーム60の一部に斜めに折れ曲がる部分が設けられてしまう。すなわち上側の段差面62と下側の段差面64は、斜め方向の面66により接続されている。これに対し図3(B)に示されるように、本実施形態に係る実装電極部50は、ハーフエッチング等により段差部52を形成しているので、上側の段差面68と下側の段差面70(実装面58)を垂直方向に沿う面72により接続することができる。これにより本実施形態では、実装電極部50の平面サイズを小型にすることができるとともに、段差部52を容易に形成できる。よって圧電発振器10は、平面サイズを小型化することができる。   FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining that the planar size differs depending on the step of forming the stepped portion. Here, FIG. 3A is a cross-sectional view of a lead frame in which a step portion is formed by bending, and FIG. 3B is a cross-sectional view of a lead frame in which a step portion is formed by half etching. Since the lead frame 60 shown in FIG. 3A is bent to form a stepped portion, a part of the lead frame 60 that is bent obliquely is provided. That is, the upper step surface 62 and the lower step surface 64 are connected by the oblique surface 66. On the other hand, as shown in FIG. 3B, the mounting electrode portion 50 according to the present embodiment has the stepped portion 52 formed by half etching or the like, so the upper stepped surface 68 and the lower stepped surface. 70 (mounting surface 58) can be connected by a surface 72 along the vertical direction. Thereby, in this embodiment, while the planar size of the mounting electrode part 50 can be made small, the level | step-difference part 52 can be formed easily. Accordingly, the plane size of the piezoelectric oscillator 10 can be reduced.

また圧電発振器10の製造時において、圧電振動子20やICチップ40、実装電極部50を接合する前に圧電振動子20やICチップ40の動作等を検査して不良品を取り除いておけば、良品のみを組み合わせて圧電発振器10を製造できるので、不良品を用いることによる無駄がなくなりコストを低くできる。   Further, when the piezoelectric oscillator 10 is manufactured, before the piezoelectric vibrator 20, the IC chip 40, and the mounting electrode unit 50 are joined, the operation of the piezoelectric vibrator 20 or the IC chip 40 is inspected to remove defective products. Since the piezoelectric oscillator 10 can be manufactured by combining only non-defective products, waste due to the use of defective products is eliminated and the cost can be reduced.

また圧電発振器10は、実装電極部50の実装面58を露出させて、圧電振動子20やICチップ40、ワイヤ56、実装電極部50を封止体14で被っているので、圧電発振器10の全体を絶縁することができ、ワイヤ56が切断される等の故障や、内部にゴミが入るのを防止することができる。   The piezoelectric oscillator 10 exposes the mounting surface 58 of the mounting electrode unit 50 and covers the piezoelectric vibrator 20, the IC chip 40, the wire 56, and the mounting electrode unit 50 with the sealing body 14. It is possible to insulate the whole, and it is possible to prevent a failure such as the wire 56 being cut or a dust from entering inside.

なお上述した圧電発振器10には、書き込み端子を設けることもできる。図4は書き込み端子を設けた圧電発振器の概略底面図である。なお図4では封止体の記載を省略している。書き込み端子80は、周波数調整用等のデータをICチップ40に書き込むときに用いられる。この書き込み端子80は、リードフレームから形成されており、ハーフエッチングやプレス加工により形成された段差部82が先端部に設けられている。そして書き込み端子80は、図4(A)に示されるように、圧電発振器10の短辺における実装電極部50の間に配設され、また図4(B)に示されるように、圧電発振器10の長辺における実装電極部50の間に配設される。また書き込み端子80は、圧電発振器10の短辺における実装電極部50の間と、長辺における実装電極部50の間のいずれにも配設されることもできる。さらに書き込み端子80は、図4(B)に示されるように、実装電極部50の間に複数配設されることもできる。なお書き込み端子80が配設される位置は、ICチップ40の能動面に設けられたパッド42の位置や、圧電振動子20に設けられた外部端子24の位置を考慮して適宜決定されればよい。   The piezoelectric oscillator 10 described above can be provided with a write terminal. FIG. 4 is a schematic bottom view of a piezoelectric oscillator provided with a write terminal. In addition, description of the sealing body is abbreviate | omitted in FIG. The write terminal 80 is used when writing data for frequency adjustment or the like to the IC chip 40. The writing terminal 80 is formed of a lead frame, and a stepped portion 82 formed by half etching or pressing is provided at the tip. The write terminal 80 is disposed between the mounting electrode portions 50 on the short side of the piezoelectric oscillator 10 as shown in FIG. 4A, and the piezoelectric oscillator 10 as shown in FIG. 4B. It is arrange | positioned between the mounting electrode parts 50 in the long side. The write terminals 80 can be disposed between the mounting electrode portions 50 on the short side of the piezoelectric oscillator 10 and between the mounting electrode portions 50 on the long side. Further, as shown in FIG. 4B, a plurality of writing terminals 80 can be provided between the mounting electrode portions 50. Note that the position where the write terminal 80 is disposed may be determined as appropriate in consideration of the position of the pad 42 provided on the active surface of the IC chip 40 and the position of the external terminal 24 provided on the piezoelectric vibrator 20. Good.

このような書き込み端子80は、まず圧電振動子20やICチップ40等を封止体14で被った後に、この封止体14から突出させて切断される。この後、封止体14から突出している書き込み端子80にプローブ等を接触させて、データをICチップ40に書き込んだ後、突出している書き込み端子80を封止体14の表面に沿って切断すればよい。これにより圧電発振器10は、所望の特性を得ることができる。   Such a write terminal 80 is cut off by projecting from the sealing body 14 after covering the piezoelectric vibrator 20 and the IC chip 40 with the sealing body 14 first. After that, a probe or the like is brought into contact with the writing terminal 80 protruding from the sealing body 14 to write data to the IC chip 40, and then the protruding writing terminal 80 is cut along the surface of the sealing body 14. That's fine. Thereby, the piezoelectric oscillator 10 can obtain desired characteristics.

また圧電発振器10の実装電極部50は、次のような構成であってもよい。図5は第1の実施形態における実装電極部の説明図である。ここで図5(A)は実装電極部の第1の変形例に係る平面図であり、図5(B)は実装電極部の第2の変形例に係る断面図である。図1に示される実装電極部50では、ICチップ40の平面サイズが大きいものであっても、切り欠き部84が設けられているので圧電振動子20の裏面にICチップ40を搭載することができる。しかしICチップ40の平面サイズが圧電振動子20に比べてより小さいものであれば、図5(A)に示されるように切り欠き部84を実装電極部50に設けなくてもよい。これにより、実装電極部50と封止体14の接触面積が増えるので接合強度を増やすことができ、封止体14から実装電極部50が抜けるのを防止できる。   The mounting electrode unit 50 of the piezoelectric oscillator 10 may have the following configuration. FIG. 5 is an explanatory diagram of the mounting electrode unit in the first embodiment. Here, FIG. 5A is a plan view according to a first modification of the mounting electrode part, and FIG. 5B is a cross-sectional view according to a second modification of the mounting electrode part. In the mounting electrode portion 50 shown in FIG. 1, even if the IC chip 40 has a large planar size, the cutout portion 84 is provided, so that the IC chip 40 can be mounted on the back surface of the piezoelectric vibrator 20. it can. However, if the planar size of the IC chip 40 is smaller than that of the piezoelectric vibrator 20, the cutout portion 84 may not be provided in the mounting electrode portion 50 as shown in FIG. Thereby, since the contact area of the mounting electrode part 50 and the sealing body 14 increases, joining strength can be increased and it can prevent that the mounting electrode part 50 slips out from the sealing body 14. FIG.

また実装電極部50と封止体14の接合面積を増やすためには、例えば図5(B)に示されるように、段差部52においてワイヤ56が接合される面に切り欠き部84を設ければよい。これにより実装電極部50と封止体14の接触面積が増えるので接合強度を増やすことができ、封止体14から実装電極部50が抜けるのを防止できる。なお切り欠き部84が設けられる位置は、図5(B)に示される位置に限定されることはない。   Further, in order to increase the bonding area between the mounting electrode portion 50 and the sealing body 14, for example, as shown in FIG. 5B, a notch portion 84 is provided on the surface where the wire 56 is bonded in the stepped portion 52. That's fine. Thereby, since the contact area of the mounting electrode part 50 and the sealing body 14 increases, joining strength can be increased and it can prevent that the mounting electrode part 50 slips out from the sealing body 14. FIG. The position where the notch 84 is provided is not limited to the position shown in FIG.

次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、第1の実施形態に係る圧電発振器の変形例について説明するので、第1の実施形態に係る圧電発振器と同様の構成部分に同番号を付し、その説明を省略または簡略する。図6は第2の実施形態に係る圧電発振器の説明図である。ここで図6(A)は圧電発振器の概略断面図であり、図6(B)は圧電発振器に対応する部分におけるリードフレームの概略平面図である。   Next, a second embodiment will be described. In the second embodiment, since a modified example of the piezoelectric oscillator according to the first embodiment will be described, the same components as those of the piezoelectric oscillator according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or omitted. Simplify. FIG. 6 is an explanatory diagram of the piezoelectric oscillator according to the second embodiment. Here, FIG. 6A is a schematic sectional view of the piezoelectric oscillator, and FIG. 6B is a schematic plan view of the lead frame in a portion corresponding to the piezoelectric oscillator.

圧電発振器90は、各角部に配設された実装電極部50と、平面方向における中央部に配設されたダイパッド92を備えている。そして圧電発振器90は、ICチップ40がダイパッド92上に固着されるとともに、実装電極部50の上面に圧電振動子20が固着されている。   The piezoelectric oscillator 90 includes a mounting electrode unit 50 disposed at each corner and a die pad 92 disposed at the center in the planar direction. In the piezoelectric oscillator 90, the IC chip 40 is fixed on the die pad 92, and the piezoelectric vibrator 20 is fixed on the upper surface of the mounting electrode unit 50.

具体的には、次のような構成になっている。実装電極部50およびダイパッド92は、リードフレームから形成されている。この実装電極部50には、圧電発振器90の中央部に最も近い高さ方向の辺における上部および下部が切りかかれて、段差部52が設けられている。この段差部52は、ワイヤ56が接合されるものであり、ハーフエッチングまたはプレス加工によって形成される。そして実装電極部50の上面から段差部52の上面までの高さは、ICチップ40の高さと、このICチップ40に施されるワイヤ56の高さを足したものよりも高くなっている。また実装電極部50の下面は、実装基板(不図示)と接合する実装面58になっている。   Specifically, the configuration is as follows. The mounting electrode unit 50 and the die pad 92 are formed from a lead frame. The mounting electrode portion 50 is provided with a step portion 52 by cutting an upper portion and a lower portion on the side in the height direction closest to the center portion of the piezoelectric oscillator 90. The step portion 52 is to which the wire 56 is joined, and is formed by half etching or press working. The height from the upper surface of the mounting electrode portion 50 to the upper surface of the stepped portion 52 is higher than the sum of the height of the IC chip 40 and the height of the wire 56 applied to the IC chip 40. The lower surface of the mounting electrode unit 50 is a mounting surface 58 that is bonded to a mounting substrate (not shown).

ダイパッド92は、段差部52に隣接しつつ、実装電極部50と接触することなく圧電発振器90の中央部に設けられている。すなわちダイパッド92は、実装電極部50の隙間に設けられている。このダイパッド92の上に、能動面を上側に向けてICチップ40が固着されている。そして能動面に設けられたパッド42と段差部52にワイヤ56が接合されて、ICチップ40と段差部52が導通している。   The die pad 92 is provided in the central portion of the piezoelectric oscillator 90 without being in contact with the mounting electrode portion 50 while being adjacent to the step portion 52. That is, the die pad 92 is provided in the gap between the mounting electrode portions 50. An IC chip 40 is fixed on the die pad 92 with the active surface facing upward. A wire 56 is bonded to the pad 42 and the stepped portion 52 provided on the active surface, and the IC chip 40 and the stepped portion 52 are electrically connected.

このような実装電極部50の上面に圧電振動子20が固着されている。より具体的には、圧電振動子20は、圧電発振器90における平面方向の中央部に配設されており、外部端子24と実装電極部50が接合している。そして実装電極部50の実装面58を除いて、圧電振動子20やICチップ40、ワイヤ56、実装電極部50の周囲が封止体14によって被われている。   The piezoelectric vibrator 20 is fixed to the upper surface of the mounting electrode unit 50. More specifically, the piezoelectric vibrator 20 is disposed in the central portion of the piezoelectric oscillator 90 in the planar direction, and the external terminal 24 and the mounting electrode portion 50 are joined. Except for the mounting surface 58 of the mounting electrode unit 50, the periphery of the piezoelectric vibrator 20, the IC chip 40, the wire 56, and the mounting electrode unit 50 is covered with the sealing body 14.

次に、圧電発振器90の製造方法について説明する。まず圧電発振器90の所定位置にハーフエッチング等を行って段差部52を形成する。そしてICチップ40は、能動面を上側に向けてダイパッド92の上面に固着される。この後、ICチップ40の能動面に設けられたパッド42と段差部52にワイヤボンディングを施して、ICチップ40と段差部52を導通させる。なおICチップ40をダイパッド92に接合する前に、ICチップ40が正常に動作するか否か等の検査を行ってもよい。   Next, a method for manufacturing the piezoelectric oscillator 90 will be described. First, the stepped portion 52 is formed by half-etching or the like at a predetermined position of the piezoelectric oscillator 90. The IC chip 40 is fixed to the upper surface of the die pad 92 with the active surface facing upward. Thereafter, wire bonding is applied to the pad 42 and the stepped portion 52 provided on the active surface of the IC chip 40 to make the IC chip 40 and the stepped portion 52 conductive. Before joining the IC chip 40 to the die pad 92, it may be inspected whether or not the IC chip 40 operates normally.

そして実装電極部50上に圧電振動子20を固着する。このとき圧電振動子20の裏面に設けられた外部端子24と、実装電極部50の上面とが接合している。なお圧電振動子20を実装電極部50に接合する前に圧電振動子20が正常に動作する否か等の検査を行ってもよい。この後、実装電極部50の実装面58となる部分を除いて、圧電振動子20、ICチップ40、実装電極部50およびワイヤ56等の周囲を封止体14で被う。そして最後に、封止体14から露出している部分のリードフレームを切断して、圧電発振器90を形成する。   Then, the piezoelectric vibrator 20 is fixed on the mounting electrode unit 50. At this time, the external terminal 24 provided on the back surface of the piezoelectric vibrator 20 and the upper surface of the mounting electrode portion 50 are joined. In addition, before joining the piezoelectric vibrator 20 to the mounting electrode part 50, you may test | inspect whether the piezoelectric vibrator 20 operate | moves normally. Thereafter, the sealing body 14 covers the periphery of the piezoelectric vibrator 20, the IC chip 40, the mounting electrode unit 50, the wire 56, etc., except for the part that becomes the mounting surface 58 of the mounting electrode unit 50. Finally, the portion of the lead frame exposed from the sealing body 14 is cut to form the piezoelectric oscillator 90.

このような圧電発振器90では、第1の実施形態に係る圧電発振器と同様の効果を奏することができる。すなわち、圧電発振器90を薄型化および平面サイズの小型化ができ、且つ容易に作製することができる。なお上述した圧電発振器90は、第1の実施形態で説明した書き込み端子を備えることもできる。   Such a piezoelectric oscillator 90 can achieve the same effects as the piezoelectric oscillator according to the first embodiment. That is, the piezoelectric oscillator 90 can be reduced in thickness and planar size, and can be easily manufactured. The piezoelectric oscillator 90 described above can also include the write terminal described in the first embodiment.

また圧電発振器90の実装電極部50は、次のような構成であってもよい。図7は第2の実施形態における実装電極部の説明図である。ここで図7(A)はこの変形例に係る圧電発振器の概略断面図であり、図7(B)〜(E)は実装電極部の変形例を示す概略断面図である。図7(A)に示される圧電発振器90は、実装電極部50の下側が切りかかれていない構成である。このように、実装電極部50の下面が切りかかれていなければ、実装面58を大きくすることができ、圧電発振器90と実装基板との接合面積を大きくすることができる。したがって圧電発振器90と前記実装基板との接合強度を向上できる。   The mounting electrode unit 50 of the piezoelectric oscillator 90 may have the following configuration. FIG. 7 is an explanatory diagram of a mounting electrode unit in the second embodiment. Here, FIG. 7A is a schematic sectional view of a piezoelectric oscillator according to this modification, and FIGS. 7B to 7E are schematic sectional views showing modifications of the mounting electrode portion. The piezoelectric oscillator 90 shown in FIG. 7A has a configuration in which the lower side of the mounting electrode unit 50 is not cut. As described above, if the lower surface of the mounting electrode unit 50 is not cut, the mounting surface 58 can be increased, and the bonding area between the piezoelectric oscillator 90 and the mounting substrate can be increased. Therefore, the bonding strength between the piezoelectric oscillator 90 and the mounting substrate can be improved.

また実装電極部50と封止体14との接合面積を増やすためには、図7(B)〜(E)に示されるような切り欠き部84を設けてもよい。すなわち図7(B),(D)に示されるように、実装電極部50において段差部52が設けられた部分よりも上側で、且つ封止体14と接触する面に切り欠き部84を設けることができる。また図7(C),(E)に示されるように、段差部52においてワイヤ56が接合される面に切り欠き部84を設けてもよい。これにより実装電極部50と封止体14の接触面積が増えるので接合強度を増やすことができ、封止体14から実装電極部50が抜けるのを防止できる。なお切り欠き部84が設けられる位置は、図7(B)〜(E)に示される位置に限定されることはない。   Further, in order to increase the bonding area between the mounting electrode part 50 and the sealing body 14, a notch part 84 as shown in FIGS. 7B to 7E may be provided. That is, as shown in FIGS. 7B and 7D, a notch 84 is provided on the surface of the mounting electrode portion 50 above the portion where the stepped portion 52 is provided and on the surface in contact with the sealing body 14. be able to. Further, as shown in FIGS. 7C and 7E, a notch portion 84 may be provided on the surface of the stepped portion 52 where the wire 56 is joined. Thereby, since the contact area of the mounting electrode part 50 and the sealing body 14 increases, joining strength can be increased and it can prevent that the mounting electrode part 50 slips out from the sealing body 14. FIG. The position where the notch 84 is provided is not limited to the position shown in FIGS.

なお第1および第2の実施形態で説明した圧電発振器10,90は、例えばディジタル式携帯電話や、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、携帯情報端末等の、制御用のクロック信号を必要とする電子機器等に搭載される。ここで圧電発振器10,90がディジタル式携帯電話に搭載された場合、圧電発振器10,90は、例えば送受信信号の送信部および受信部を制御する中央演算装置(CPU)に接続される。そして圧電発振器10,90の出力周波数を前記CPUに内蔵された所定の分周回路等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようになっている。また圧電発振器10,90に温度補償回路を搭載して温度補償型圧電発振器とした場合、温度補償型圧電発振器は、例えば前記CPUの出力側に接続されるとともに、前記送信部および前記受信部に接続される。そして環境温度が変化して前記CPUからの基本クロックが変動しても、温度補償型圧電発振器により修正されて、前記送信部および前記受信部に与えられるようになっている。   The piezoelectric oscillators 10 and 90 described in the first and second embodiments are, for example, digital devices such as digital mobile phones, personal computers, workstations, portable information terminals, and the like that require a clock signal for control. Mounted on. When the piezoelectric oscillators 10 and 90 are mounted on a digital mobile phone, the piezoelectric oscillators 10 and 90 are connected to a central processing unit (CPU) that controls, for example, a transmission / reception signal transmission unit and a reception unit. The output frequency of the piezoelectric oscillators 10 and 90 is used as a clock signal suitable for the control content by a predetermined frequency dividing circuit built in the CPU. Further, when a temperature compensation type piezoelectric oscillator is provided by mounting a temperature compensation circuit on the piezoelectric oscillators 10 and 90, the temperature compensation type piezoelectric oscillator is connected to, for example, the output side of the CPU, and is connected to the transmission unit and the reception unit. Connected. Even when the environmental temperature changes and the basic clock from the CPU fluctuates, it is corrected by the temperature-compensated piezoelectric oscillator and is supplied to the transmitting unit and the receiving unit.

第1の実施形態に係る圧電発振器の説明図である。It is explanatory drawing of the piezoelectric oscillator which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態における圧電振動子の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the piezoelectric vibrator in 1st Embodiment. 段差部を形成する工程の違いによって平面サイズが異なることを説明する断面図である。It is sectional drawing explaining that a plane size changes with the difference in the process of forming a level | step-difference part. 書き込み端子を設けた圧電発振器の概略底面図である。It is a schematic bottom view of the piezoelectric oscillator provided with the write terminal. 実装電極部の説明図である。It is explanatory drawing of a mounting electrode part. 第2の実施形態に係る圧電発振器の説明図である。It is explanatory drawing of the piezoelectric oscillator which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態における実装電極部の説明図である。It is explanatory drawing of the mounting electrode part in 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10………圧電発振器、14………封止体、20………圧電振動子、24………外部端子、40………ICチップ、50………実装電極部、52………段差部、58………実装面、80………書き込み端子、90………圧電発振器、92………ダイパッド。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ......... Piezoelectric oscillator, 14 ......... Sealing body, 20 ...... Piezoelectric vibrator, 24 ...... External terminal, 40 ...... IC chip, 50 ...... Mounting electrode part, 52 ...... Step Part 58... Mounting surface 80... Writing terminal 90... Piezoelectric oscillator 92.

Claims (9)

圧電振動子と、前記圧電振動子を発振させる回路を備えたICチップとを有し、
前記圧電振動子の一方の面における各角部に段差部を備えた実装電極部を接合し、
前記ICチップと前記段差部を電気的に接続して、前記実装電極部の下面に設けられた実装面を露出させつつ前記圧電振動子、前記ICチップおよび前記実装電極部を封止体で被った、
ことを特徴とする圧電発振器。
A piezoelectric vibrator, and an IC chip including a circuit for oscillating the piezoelectric vibrator;
Bonding a mounting electrode portion having a step portion at each corner portion on one surface of the piezoelectric vibrator,
The IC chip and the stepped portion are electrically connected to cover the piezoelectric vibrator, the IC chip, and the mounting electrode portion with a sealing body while exposing a mounting surface provided on a lower surface of the mounting electrode portion. The
A piezoelectric oscillator characterized by that.
前記段差部は、ハーフエッチングまたはプレス加工によって形成されたことを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。   The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the step portion is formed by half etching or press working. 圧電振動子と、
前記圧電振動子を発振させる回路を備えたICチップと、
上側の段差面と下側の段差面が垂直方向に沿う面によって接続され、前記ICチップと電気的に接続される段差部を備えるともに、下面に実装面を備え、前記圧電振動子の一方の面に上面が固着される実装電極部と、
前記実装面を露出させつつ前記圧電振動子、前記ICチップおよび前記実装電極部を被う封止体と、
を備えたことを特徴とする圧電発振器。
A piezoelectric vibrator;
An IC chip comprising a circuit for oscillating the piezoelectric vibrator;
The upper step surface and the lower step surface are connected by a surface along the vertical direction, and provided with a step portion that is electrically connected to the IC chip, and provided with a mounting surface on the lower surface, and one of the piezoelectric vibrators A mounting electrode part whose upper surface is fixed to the surface;
A sealing body that covers the piezoelectric vibrator, the IC chip, and the mounting electrode part while exposing the mounting surface;
A piezoelectric oscillator comprising:
前記ICチップは前記圧電振動子の一方の面に固着されて、前記ICチップと前記圧電振動子とにワイヤが接合され、
前記段差部は前記実装電極部の上部に設けられて、前記段差部における前記圧電振動子に対して反対側の面と前記ICチップとにワイヤが接合された、
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電発振器。
The IC chip is fixed to one surface of the piezoelectric vibrator, and a wire is bonded to the IC chip and the piezoelectric vibrator,
The step portion is provided on the mounting electrode portion, and a wire is bonded to the surface of the step portion opposite to the piezoelectric vibrator and the IC chip.
The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the piezoelectric oscillator is provided.
前記段差部は前記実装電極部の上面と下面の間に設けられ、
前記実装電極部の隙間に前記ICチップが固着されたダイパッドが配設され、
前記段差部と前記ICチップとにワイヤが接合された、
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電発振器。
The step portion is provided between the upper surface and the lower surface of the mounting electrode portion,
A die pad to which the IC chip is fixed is disposed in the gap between the mounting electrode portions,
A wire is bonded to the step portion and the IC chip,
The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the piezoelectric oscillator is provided.
前記実装電極部の間に書き込み端子を設け、前記ICチップと導通したワイヤが接合される段差部を前記書き込み端子の先端部に設けたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電発振器。   6. A writing terminal is provided between the mounting electrode portions, and a step portion to which a wire that is electrically connected to the IC chip is joined is provided at a tip portion of the writing terminal. Piezoelectric oscillator. 前記実装電極部に、切り欠き部を設けたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の圧電発振器。   The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the mounting electrode portion is provided with a notch portion. 前記実装電極部は、リードフレームにより形成されることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の圧電発振器。   The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the mounting electrode portion is formed of a lead frame. 請求項1ないし8のいずれかに記載の圧電発振器を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the piezoelectric oscillator according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008252780A (en) * 2007-03-30 2008-10-16 Kyocera Kinseki Corp Method of manufacturing piezoelectric oscillator
JP2009027469A (en) * 2007-07-19 2009-02-05 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Surface-mounting quartz oscillator
JP2012235203A (en) * 2011-04-28 2012-11-29 Seiko Npc Corp Crystal oscillator and assembly method therefor
JP2013030589A (en) * 2011-07-28 2013-02-07 Seiko Epson Corp Manufacturing method of electronic device, electronic device, piezoelectric device and electronic apparatus

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008252780A (en) * 2007-03-30 2008-10-16 Kyocera Kinseki Corp Method of manufacturing piezoelectric oscillator
JP2009027469A (en) * 2007-07-19 2009-02-05 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Surface-mounting quartz oscillator
JP2012235203A (en) * 2011-04-28 2012-11-29 Seiko Npc Corp Crystal oscillator and assembly method therefor
JP2013030589A (en) * 2011-07-28 2013-02-07 Seiko Epson Corp Manufacturing method of electronic device, electronic device, piezoelectric device and electronic apparatus

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