JP2007042968A - 現像処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 レジストパターン寸法の基板面内での均一性を簡便に向上させる。
【解決手段】 ガラス基板1は、スピン・ステージ2に固着して取り付けられた温度制御部材3上に固定して載置される。そして、ガラス基板1はモータ駆動の回転軸4およびスピン・ステージ2のスピン回転により回転され、ガラス基板1の上方部に配置した現像液ノズル5から霧状の現像液6が吐出し、ガラス基板1全面に供給される。ここで、ガラス基板1表面に供給された現像液6の温度は、ガラス基板1の下部に配置された温度制御部材3により、ガラス基板1上において所定の温度分布になるように制御される。このようにしてガラス基板1上のフォトレジストがスプレー現像される。
【選択図】 図1
【解決手段】 ガラス基板1は、スピン・ステージ2に固着して取り付けられた温度制御部材3上に固定して載置される。そして、ガラス基板1はモータ駆動の回転軸4およびスピン・ステージ2のスピン回転により回転され、ガラス基板1の上方部に配置した現像液ノズル5から霧状の現像液6が吐出し、ガラス基板1全面に供給される。ここで、ガラス基板1表面に供給された現像液6の温度は、ガラス基板1の下部に配置された温度制御部材3により、ガラス基板1上において所定の温度分布になるように制御される。このようにしてガラス基板1上のフォトレジストがスプレー現像される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、フォトレジストのスプレー現像方法に係り、詳しくは、大型化した基板面内におけるレジストパターン寸法の均一性を向上させるフォトレジストの現像処理方法に関する。
半導体装置、液晶表示装置の製造あるいはレチクル等のフォトマスクの製造においては、半導体ウエハあるいはガラス基板の基板表面にフォトリソグラフィ技術を用いてレジストパターンが形成される。このフォトリソグラフィでは、基板上に塗布形成したフォトレジストに対して所望のパターンの露光転写(潜像形成)が行われ、その後にそのフォトレジストに現像処理が施されて所望のレジストパターンが形成される。
従来の上記フォトリソグラフィにおける現像処理の方法は、ディップ現像、パドル現像、スプレー現像の3種類に大別される。スプレー現像は、一般的に他の2つの現像処理方法に比べてレジストパターン寸法の基板面内の均一性に優れており、高い寸法精度の要求される工程において広く使用されている。
従来の上記フォトリソグラフィにおける現像処理の方法は、ディップ現像、パドル現像、スプレー現像の3種類に大別される。スプレー現像は、一般的に他の2つの現像処理方法に比べてレジストパターン寸法の基板面内の均一性に優れており、高い寸法精度の要求される工程において広く使用されている。
上記スプレー現像の一例について図6を参照して説明する。図6に示すように、その表面にフォトレジストの形成された基板101が、真空チャック等で基板回転台102上に載置され固定される。この基板101は、モータ(不図示)駆動の回転軸103に連結した基板回転台102のスピン回転により、所定の回転数でスピン回転される。そして、基板101の上方部に配置した現像液ノズル104から霧状の現像液105が吐出し、上記回転している基板101全面に供給される。ここで、基板101表面に吐出した現像液105は、基板101の回転による遠心力でその外側に流動し、基板101表面上で均一になるように拡げられ供給される。このようにして、基板101上のフォトレジストがスプレー現像される。
しかし、フォトマスク用のガラス基板、あるいは液晶表示基板のように基板101が大型化しその寸法が増大化すると、上記現像後の基板上においてレジストパターン寸法に大きなバラツキが生じてくる。特に、基板101の中心部と外周部で生じる寸法差の問題が顕在化している。そこで、半導体ウエハも含め基板の大型化に伴うレジストパターン寸法の上記バラツキを低減するために、基板の上方部に現像液ノズルを多数個に配列する方法が種々に提案されるようになってきている(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−118057号公報
しかしながら、上記多数個の現像液ノズルを用いる方法では、各ノズルにはそれぞれ独立した現像液の吐出制御が必要になる。例えば、現像液の吐出量、現像液の温度あるいは現像液の濃度等の条件を複数のノズルに対してそれぞれに制御することが必要になる。このために、現像処理装置が高機能化すると共に複雑化し高価なものになってしまう。
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、大型化した基板の現像処理において、基板面内におけるレジストパターン寸法の均一性を簡便に向上させることができるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の現像処理方法は、基板を回転させながらノズルから前記基板上に現像液を供給するフォトレジストのスプレー現像において、前記基板の裏面に温度制御部材を配置し、前記基板上における前記現像液の面内温度分布を前記温度制御部材により制御する構成になっている。
上記発明において、現像後のレジストパターン寸法の基板面上でのバラツキが小さくなるように基板上の現像液の面内温度分布を調整することにより、レジストパターン寸法の均一性を簡便に向上させることができるようになる。
あるいは、本発明の現像処理方法は、基板を回転させながらノズルから前記基板上に現像液を供給するフォトレジストのスプレー現像において、平面形状が矩形となる前記基板表面の4隅の角部に前記現像液を溜める貯留壁を配置する構成になっている。
上記発明により、基板の最外周部となる角部において、遠心力による現像液の飛散が抑えられ、基板表面の角部の領域に充分な量の現像液が溜まるようになる。このようにして、上記角部の領域におけるフォトレジストの現像不足を簡便に防止することができ、レジストパターン寸法の基板面上でのバラツキを低減させることができる。
あるいは、本発明の現像処理方法は、レジスト層を形成した基板にパターン露光を施す工程と、前記パターン露光を施した前記基板にPEB処理を行い、続いて、前記レジスト層を現像処理するステップを複数回繰り返してレジストパターンを形成する工程を備えた構成となっている。
本発明の現像処理方法によれば、大型化した基板面内におけるレジストパターン寸法の均一性を簡便に向上させることができる。また、上記レジストパターンの微細形状を容易に制御することができる。
以下、本発明の好適な実施形態のいくつかを図面を参照して説明する。
(実施の形態1)
第1の実施形態では、レチクル等のマスクを形成するガラス基板の表面温度を制御しながらフォトレジストの現像処理を行い、ガラス基板上にレジストパターンを形成する場合について説明する。ここで、図1は、第1の実施形態における現像処理方法を示す縦断面図であり、図2は、現像処理されるガラス基板が載置される温度制御部材の平面図である。
(実施の形態1)
第1の実施形態では、レチクル等のマスクを形成するガラス基板の表面温度を制御しながらフォトレジストの現像処理を行い、ガラス基板上にレジストパターンを形成する場合について説明する。ここで、図1は、第1の実施形態における現像処理方法を示す縦断面図であり、図2は、現像処理されるガラス基板が載置される温度制御部材の平面図である。
ガラス基板1においては、レチクルのマスクパターンになる例えばクロム(Cr)膜のような遮光膜上にフォトレジストが形成され、上記フォトレジストには例えばEB(Electron Beam)のパターン描画により潜像形成が施されている。このようなガラス基板1は、図1に示すように、スピン・ステージ2に固着して取り付けられた温度制御部材3上に固定して載置される。ここで、ガラス基板1は平面形状が矩形であり、それに合わせて、スピン・ステージ2および温度制御部材3も平面形状が矩形になっている。
上記ガラス基板1は、モータ駆動の回転軸4に連結したスピン・ステージ2のスピン回転により例えば100rpmの回転数で回転される。そして、従来の技術で説明したのと同様にして、ガラス基板1の上方部に配置した現像液ノズル5から霧状の現像液6が吐出し、回転しているガラス基板1全面に供給される。このようにしてガラス基板1上のフォトレジストがスプレー現像される。ここで、ガラス基板1表面に供給された現像液6の温度は、ガラス基板1の下部に配置された温度制御部材3により、ガラス基板1上において所定の温度分布になるように制御される。
図2に示すように、平面形状が例えば正方形の温度制御部材3には、発熱体7が取り付けられている。ここで、発熱体7は、例えば板状に形成された複数の発熱体7a、7b,7c、…7nから構成される(図2の例ではn=36)。そして、これらの発熱体7a、7b,7c、…7nは、それぞれ独立に温度制御できるようになっている。例えば、それぞれ独立に温度制御できるヒータが厚板のセラミックスの内部に二次元配列に埋め込まれ、上記発熱体7a、7b,7c、…7nを構成している。
このような発熱体7により、その上部のガラス基板1が所定の温度分布を有するように加温される。この加温により、ガラス基板1上の現像液6の温度は、ガラス基板1上において所定の温度分布になるように制御される。通常、現像液6の温度が高くなるとフォトレジストの現像速度は増大し、現像液6の温度が低くなるとフォトレジストの現像速度は減少する。そこで、大型化したガラス基板1上において現像後のレジストパターン寸法のバラツキを相殺するように、上記温度制御部材3によりガラス基板1上の現像液温度を調整してスプレー現像を行うようにする。
上記第1の実施形態によれば、スプレー現像によるフォトレジストの現像処理において、現像後のレジストパターン寸法が大きくなる領域の温度を発熱体の温度制御により高くして、その領域での現像速度を大きくする。逆に、現像後のレジストパターン寸法が小さくなる領域の温度を発熱体の温度制御により低くして、その領域での現像速度を小さくする。このように、現像後のレジストパターン寸法のバラツキが小さくなるように温度分布の調整をすることにより、レジストパターン寸法のガラス基板1上におけるバラツキを簡便に低減させることができるようになる。
上記実施形態では、基板がフォトマスク用のガラス基板の場合について説明しているが、大口径化する半導体ウエハ、あるいは液晶表示基板の場合にも全く同様に適用できるものである。また、発熱体の個数は、ガラス基板1の大きさ等に合わせて適宜に決めることができる。
(実施の形態2)
第2の実施形態では、平面形状が矩形であるレチクル用のガラス基板の現像処理において、その最外周部となる基板表面の角部の領域に現像液を貯留させながらフォトレジストの現像を行い、レジストパターン寸法の基板上でのバラツキを低減させる場合について説明する。ここで、図3は、第2の実施形態における現像処理方法を示す側面図であり、図4は、上記現像処理方法を示す平面図である。これ等の図において、図1,2に示したものと同様のものは同一符号を付して説明する。
第2の実施形態では、平面形状が矩形であるレチクル用のガラス基板の現像処理において、その最外周部となる基板表面の角部の領域に現像液を貯留させながらフォトレジストの現像を行い、レジストパターン寸法の基板上でのバラツキを低減させる場合について説明する。ここで、図3は、第2の実施形態における現像処理方法を示す側面図であり、図4は、上記現像処理方法を示す平面図である。これ等の図において、図1,2に示したものと同様のものは同一符号を付して説明する。
第1の実施形態の場合と同様に、平面形状が矩形のガラス基板1は、Cr膜のような遮光膜上にフォトレジストが形成され、フォトレジストには例えばEB描画による潜像形成がなされている。このガラス基板1は、図3に示すように、スピン・ステージ2に固定して載置される。ここで、平面形状が矩形のスピン・ステージ2の角部にそれぞれ設けられた貯留壁8a、8bおよび貯留壁8c、8dに、ガラス基板1の角部が当接するように載置される。
そして、第1の実施形態で説明したのと同様にして、上記ガラス基板1は、モータにより駆動する回転軸4およびスピン・ステージ2のスピン回転を通して例えば100rpmの回転数で回転され、ガラス基板1の上方部に配置した現像液ノズル5から霧状の現像液6が吐出する。このようにして、回転するガラス基板1全面に現像液6が供給される。ここで、貯留壁8a、8bおよび貯留壁8c、8dはガラス基板1の厚さよりも高く形成され、この貯留壁8a、8bおよび貯留壁8c、8dにより、ガラス基板1表面の角部の領域に上記現像液6が溜まるようになる。このようにしてガラス基板1上のフォトレジストがスプレー現像される。
図4に示すように、上記矩形のスピン・ステージ2には、その4隅の角部に貯留壁8a、8b、貯留壁8c、8d、貯留壁8e、8f、貯留壁8g、8hが固着して取り付けられている。ここで、これらの貯留壁8は、その高さ寸法がガラス基板1の厚さよりも例えば2mm程度大きくなるように設計される。そして、貯留壁8の長さ寸法が、ガラス基板1の一辺の長さの10〜20%になるように設けられる。
ここで、上記貯留壁8の高さおよび長さ等の寸法は、ガラス基板1の寸法、スピン・ステージ2の回転数、現像液の温度あるいは粘度等により、現像後のレジストパターン寸法のバラツキが小さくなるように経験的に決められる。
このような貯留壁8により、上記ガラス基板1上のフォトレジストのスプレー現像において、ガラス基板1表面の4隅の角部の領域に現像液6が貯留するようになる。この現像液6の貯留により、この領域におけるフォトレジストの現像不足が解消され、ガラス基板1上での現像後のレジストパターン寸法のバラツキが低減するようになる。
これに対して、従来の技術のように上記貯留壁8を設けないスプレー現像では、大型化したガラス基板1表面の最外周部となる角部の領域に充分に現像液が供給されず、この角部の領域の現像後のレジストパターン寸法が大きくなり、レジストパターン寸法のバラツキが増大する要因になっていた。上記実施形態の貯留壁8を形成することにより、上記問題は極めて簡便に解決される。
上記第2の実施形態によれば、スピン・ステージ2の角部に貯留壁8を取り付けることにより、スプレー現像においてスピン回転の遠心力による現像液の飛散が抑えられ、ガラス基板1表面の角部の領域に現像液が溜まる。これにより、ガラス基板1の最外周部にも充分に現像液6が供給され、この領域におけるレジストパターン幅の増大が防止される。そして、現像後のレジストパターン寸法のガラス基板1上における均一性を極めて簡便に向上させることができる。
上記第2の実施形態では、基板がレチクル用のガラス基板の場合について説明しているが、液晶表示基板とする場合あるいは液晶表示装置の製造に用いるフォトマスクを基板とする場合にも全く同様に適用できるものである。
次に、図5を参照して現像処理方法の一態様について説明する。これは、上記実施形態において、現像後のレジストパターン寸法の均一性を向上させると共に、レジストパターンの断面形状を制御する一例である。この例は、複数回の現像処理を繰り返して行うことにより所望のレジストパターンを形成する現像処理方法を示す。図5は、複数回の現像処理によるレジストパターン形成の工程別断面図である。図5において、図1ないし4に示したものと同様のものは同一符号を付している。
初め、第1および第2の実施形態で説明したように、平面形状が矩形のガラス基板1は、Cr膜のような遮光膜上にフォトレジストが形成され、フォトレジストに例えばEB描画による潜像形成がなされている。
図5(a)に示すように、第1回目の現像処理として、上記EBの描画露光を施したフォトレジストにいわゆるPEB(Post Exposure Bake)処理を行い、第1又は2の実施形態に説明したスプレー現像を行う。この現像処理により、フォトレジスト9aの例えば上部1/3程度の厚さにレジストパターン10aを形成する。
次に、図5(b)に示すように、引続く第2回目の現像処理として、上記フォトレジスト9aにPEB処理を行う。そして、再度、第1又は2の実施形態に説明したスプレー現像を行う。この第2回目の現像処理により、フォトレジスト9bの上部2/3程度の厚さにレジストパターン10bが形成される。
最後に、図5(c)に示すように、第3回目の現像処理として、上記フォトレジスト9bにPEB処理を行い、第1又は2の実施形態に説明したスプレー現像を行う。この第3回目の現像処理により、最終的に所望のレジストパターン10が形成される。なお、上記現像処理の回数は、フォトレジストの厚さ、種類あるいはレジストパターンの寸法等に合わせて適宜に決められる。
次に、図5(b)に示すように、引続く第2回目の現像処理として、上記フォトレジスト9aにPEB処理を行う。そして、再度、第1又は2の実施形態に説明したスプレー現像を行う。この第2回目の現像処理により、フォトレジスト9bの上部2/3程度の厚さにレジストパターン10bが形成される。
最後に、図5(c)に示すように、第3回目の現像処理として、上記フォトレジスト9bにPEB処理を行い、第1又は2の実施形態に説明したスプレー現像を行う。この第3回目の現像処理により、最終的に所望のレジストパターン10が形成される。なお、上記現像処理の回数は、フォトレジストの厚さ、種類あるいはレジストパターンの寸法等に合わせて適宜に決められる。
上述したように、複数回の現像処理を連続的に行うことにより、最終できあがりのレジストパターン10断面のテーパ形状が抑制され、垂直形状に近いレジストパターンが形成できるようになる。これは、現像処理を複数回に分けPEB処理もそれに合わせて複数回に分けることにより、フォトレジストに形成されている上記潜像中の例えば酸の拡散を制御しフォトレジストの見かけ感度を後調整して、アルカリ現像液による現像後のレジストパターン形状を制御するものである。このような手法において、たとえば、複数回の後半の現像処理におけるPEB温度を高くし上記酸の拡散を促進させることで、レジストパターンの裾引きが簡便に防止できるようになり、しかも、微細なレジストパターンが極めて容易に形成できるようになる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、上述した実施形態は本発明を限定するものでない。当業者にあっては、具体的な実施態様において本発明の技術思想および技術範囲から逸脱せずに種々の変形・変更を加えることが可能である。
たとえば、上記の第1の実施形態で説明した温度制御部材3の角部に、第2の実施形態で説明した貯留壁8を設け、第1の実施形態と第2の実施形態を組み合わせてガラス基板1を現像処理する方法であってもよい。
上記フォトレジストはポジ型レジストあるいはネガ型レジストどちらであってもよい。また、フォトレジストへのパターンの露光転写は、EBの他に紫外光、エキシマレーザ光により行ってもよい。
最後に、本発明は、基板上に感光性絶縁膜を形成し、その絶縁膜にパターンの露光転写をして所望の潜像を形成し、その絶縁膜の現像を通して該絶縁膜に所望パターンを形成する場合にも同様に適用できることに言及しておく。
1 ガラス基板
2 スピン・ステージ
3 温度制御部材
4 回転軸
5 現像液ノズル
6 現像液
7,7a、7b、7c、7n 発熱体
8,8a、8b、8c、8d、8e、8f、8g、8h 貯留壁
9a、9b フォトレジスト
10,10a、10b レジストパターン
2 スピン・ステージ
3 温度制御部材
4 回転軸
5 現像液ノズル
6 現像液
7,7a、7b、7c、7n 発熱体
8,8a、8b、8c、8d、8e、8f、8g、8h 貯留壁
9a、9b フォトレジスト
10,10a、10b レジストパターン
Claims (5)
- 基板を回転させながらノズルから前記基板上に現像液を供給するフォトレジストのスプレー現像において、
前記基板の裏面に温度制御部材を配置し、前記基板上における前記現像液の面内温度分布を前記温度制御部材により制御することを特徴とする現像処理方法。 - 前記温度制御部材は、それぞれに温度制御される複数の発熱体により構成されていることを特徴とする請求項1に記載の現像処理方法。
- 基板を回転させながらノズルから前記基板上に現像液を供給するフォトレジストのスプレー現像において、
平面形状が矩形となる前記基板表面の4隅の角部に前記現像液を溜める貯留壁を配置することを特徴とする現像処理方法。 - 前記貯留壁は、前記基板が載置される回転ステージあるいは前記温度制御部材に固定して取り付けられることを特徴とする請求項3に記載の現像処理方法。
- レジスト層を形成した基板にパターン露光を施す工程と、
前記パターン露光を施した前記基板にPEB処理を行い、続いて、前記レジスト層を現像処理するステップを複数回繰り返してレジストパターンを形成する工程を備えたことを特徴とする現像処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005227490A JP2007042968A (ja) | 2005-08-05 | 2005-08-05 | 現像処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005227490A JP2007042968A (ja) | 2005-08-05 | 2005-08-05 | 現像処理方法 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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2005
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