JP2007041661A - Operation time counting system for semiconductor manufacturing equipment - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system for solving problems wherein an accounting system is required to be built in newly manufactured semiconductor manufacturing equipment and an accounting system is required to be newly added to the conventional semiconductor manufacturing equipment. <P>SOLUTION: The problems are solved by inserting a program into a production management system instead of the semiconductor manufacturing equipment. A writing section is built in a production management device of a device user, a calling section is built in an operation time acquiring device of a device manufacturer, they are interconnected through a public communication line, and an operation time counting device is newly disposed as a relay point. Thus, a system for easily counting the operation time of the semiconductor manufacturing equipment is obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体製造装置の稼動時間集計システムに関する。 The present invention relates to an operating time counting system for a semiconductor manufacturing apparatus.

半導体デバイスの製造を行う半導体製造メーカ（以下、「装置ユーザ」という）は、半導体デバイスを製造するための製造装置を半導体製造装置メーカ（以下、「装置メーカ」という）から購入し、この装置を使用して半導体デバイスの製造を行う。この場合装置ユーザは購入すべき装置の仕様書を装置メーカに提示し、この仕様に適合した装置を製作依頼するのが一般的である。 A semiconductor manufacturer (hereinafter referred to as “apparatus user”) that manufactures semiconductor devices purchases a manufacturing apparatus for manufacturing a semiconductor device from a semiconductor manufacturing apparatus manufacturer (hereinafter referred to as “apparatus maker”), and uses this apparatus. Used to manufacture semiconductor devices. In this case, the device user generally presents the specifications of the device to be purchased to the device manufacturer, and requests production of a device that conforms to this specification.

また、汎用装置の場合には装置メーカが予め定めた仕様に基づく装置が用意されているため、装置ユーザはこの装置を単に購入するだけでよい。
装置メーカは装置１台あたりの価格で販売するが、この販売価格は装置本体の価格に加え、装置納入後の立ち上げ調整費および所定期間の保証費などが含まれている。装置が装置メーカから装置ユーザに納入され、所定の検収が終了した時点で装置の所有権が顧客である装置ユーザに移管される。 In the case of a general-purpose device, a device based on specifications predetermined by the device manufacturer is prepared, so that the device user simply purchases this device.
A device manufacturer sells at a price per device, and this sales price includes a start-up adjustment cost after delivery of the device and a warranty cost for a predetermined period in addition to the price of the device body. When the device is delivered from the device manufacturer to the device user and a predetermined acceptance is completed, the ownership of the device is transferred to the device user who is the customer.

通常、半導体デバイスの製造は前処理工程と後処理工程とに大きく２分されており、前処理工程では大型の高価格な装置を使用することが多い。このような高価格な前処理用の装置であっても、装置ユーザはこの装置を装置メーカから購入するのが一般的である。 Usually, the manufacture of a semiconductor device is largely divided into a pretreatment process and a posttreatment process, and a large and expensive apparatus is often used in the pretreatment process. Even for such an expensive pretreatment device, the device user generally purchases this device from a device manufacturer.

しかし、このような従来の装置購入とその稼動では顧客である装置ユーザのキャッシュフロー上の負担が大きかった。すなわち半導体製造装置の設備投資のための金額が高額であるため、資金繰りがしばしば困難になるという問題があった。またこのような製造装置はすべて固定費として処理されるため、固定費負担が増大するという問題もある。また一定期間の減価償却費はその装置の稼動による生産量に関係なく発生し、安定した利益を確保することが困難になるという問題もあった。 However, such a conventional apparatus purchase and operation has a heavy cash flow burden on the apparatus user as a customer. That is, there is a problem that it is often difficult to raise funds because the amount of capital investment for semiconductor manufacturing equipment is high. Moreover, since all such manufacturing apparatuses are processed as fixed costs, there is also a problem that the fixed cost burden increases. In addition, depreciation costs for a certain period are incurred regardless of the production volume due to the operation of the equipment, and it is difficult to secure a stable profit.

これらの種々の問題点を解決するために、装置メーカと装置ユーザの利害が一致する半導体製造装置の稼動課金方法として、
特開２００２−１１７３３６号が提案されている。 In order to solve these various problems, as an operation billing method for semiconductor manufacturing equipment in which the interests of equipment manufacturers and equipment users match,
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-117336 has been proposed.

この提案では、半導体製造装置の稼動課金方法は、顧客の仕様に適合した半導体製造装置を貸出し、前記顧客が稼動させた前記半導体製造装置の稼動量に応じて課金を行うものである。また本提案は、顧客が稼動させた半導体製造装置の保守費用を、前記半導体装置の稼動量に応じて課金するものである。 In this proposal, a semiconductor manufacturing apparatus operation charging method is a method of lending a semiconductor manufacturing apparatus conforming to customer specifications and charging according to the operation amount of the semiconductor manufacturing apparatus operated by the customer. This proposal also charges the maintenance cost of the semiconductor manufacturing apparatus operated by the customer according to the operation amount of the semiconductor device.

別の提案として、半導体製造装置の導入時のイニシャルコストを低減する方法として、
特開２００２−７５８２０号がある。 As another proposal, as a method of reducing the initial cost at the time of introduction of semiconductor manufacturing equipment,
There exists Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-75820.

この提案は、いわゆる数量制のように装置の使用状況に従って課金する方法である。これによって、導入時のイニシャルコストの低減と同時に導入後のユーザサポート品質の向上が図れる。 This proposal is a method of charging according to the use status of the apparatus as in the so-called quantity system. Thereby, the initial cost at the time of introduction can be reduced and the quality of user support after the introduction can be improved.

本発明で解決しようとする課題は、装置ユーザが使用する半導体製造装置の稼働時間を装置メーカが簡単に集計することにある。
したがって、課金（量）は、その結果として簡単に把握できるものである。
装置ユーザが半導体製造装置を導入する際のイニシャルコストの低減を図る点では、前記提案である特開２００２−１１７３３６号並びに特開２００２−７５８２０号と同じである。
しかし、その解決方法において相違し、従って、効果も大である。 The problem to be solved by the present invention is that the equipment manufacturer simply aggregates the operating time of the semiconductor manufacturing equipment used by the equipment user.
Therefore, the charge (amount) can be easily grasped as a result.
It is the same as Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-117336 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-75820 in terms of reducing the initial cost when the apparatus user introduces the semiconductor manufacturing apparatus.
However, there is a difference in the solution, and therefore the effect is great.

本発明において、課題の解決するための手段は、以下の通りである。
半導体製造装置の稼動時間集計システムにおいて、
装置ユーザ内に設置された半導体製造装置の生産管理装置に書込部を内蔵し、
該書込部により前記生産管理装置より前記半導体製造装置の稼動時間を抽出し、
前記稼動時間を公衆通信回線を通じて稼動時間集計装置に一時的に記録し、
装置メーカ内に設置された稼動時間取得装置に呼出部を内蔵し、
該呼出部により前記稼動時間集計装置に蓄積された前記稼動時間を公衆通信回線を通じて呼び出すことによって、前記半導体製造装置の前記稼動時間を前記稼動時間取得装置に集計することを特徴とした、
半導体製造装置の稼動時間集計システム、
である。 In the present invention, means for solving the problems are as follows.
In the operating time counting system for semiconductor manufacturing equipment,
A writing unit is built in the production management device of the semiconductor manufacturing device installed in the device user.
The operation time of the semiconductor manufacturing apparatus is extracted from the production management apparatus by the writing unit,
Temporarily record the operating time on the operating time counting device through a public communication line,
Built-in calling unit in the operating time acquisition device installed in the device manufacturer,
The operation time of the semiconductor manufacturing apparatus is totalized in the operation time acquisition device by calling the operation time accumulated in the operation time aggregation device by the calling unit through a public communication line,
Operation time counting system for semiconductor manufacturing equipment,
It is.

つまり、本解決方法は、装置ユーザの生産管理装置に書込部を内蔵（実際には、簡単なプログラムを付加）し、装置メーカの稼動時間取得装置には呼出部を内蔵し、これらを公衆通信回線で接続し、その間に稼動時間集計装置（中継点）を設けて、半導体製造装置の稼働時間を集計する点、にある。 In other words, this solution incorporates a writing unit (actually a simple program is added) in the production management device of the device user, and a calling unit is built in the operating time acquisition device of the device manufacturer. The operation time totaling device (relay point) is provided between the communication lines, and the operation time of the semiconductor manufacturing device is totaled.

本発明の半導体製造装置の稼動時間集計システムによると、次のような効果が期待できる。
その１
半導体製造装置内もしくその周辺に課金を行うシステムを組み込む必要がないため、その分の膨大な追加ソフトウエア開発を必要としない。結果として、装置メーカは装置ユーザに安価な半導体製造装置を提供することができる。
その２
課金を行うことを前提としていない、従来からある、いわゆる旧式の半導体製造装置の稼動時間を集計し、その結果として課金量を算定することが可能である。
その３
複数の装置ユーザ（複数の半導体製造装置を含む）と複数の装置メーカの稼動時間（課金量）取得ニーズに容易に対応することができるし、契約内容などの変更にも迅速に対応できる。
その４
装置メーカから装置ユーザへの半導体製造装置の提供として、売り切り、レンタル、リースがあるが、それぞれに対応できる。 According to the operation time totaling system for semiconductor manufacturing apparatus of the present invention, the following effects can be expected.
Part 1
Since it is not necessary to incorporate a billing system in or around the semiconductor manufacturing apparatus, it is not necessary to develop a huge amount of additional software. As a result, the device manufacturer can provide an inexpensive semiconductor manufacturing device to the device user.
Part 2
It is possible to add up the operating time of a so-called old-style semiconductor manufacturing apparatus, which is not based on the premise of charging, and to calculate the charge amount as a result.
Part 3
It is possible to easily respond to needs for obtaining operating hours (billing amounts) of a plurality of device users (including a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses) and a plurality of device manufacturers, and it is also possible to respond quickly to changes in contract details.
4
There are sold out, rented and leased provisions of semiconductor manufacturing equipment from equipment manufacturers to equipment users.

本発明者は、従来技術とその問題点を詳細に検討した結果、以下の経緯により本発明を完成するに至った。 As a result of examining the prior art and its problems in detail, the present inventor has completed the present invention through the following process.

＜半導体製造装置の稼動時間集計システム＞
図１は、半導体製造装置の稼動時間集計システムを示す機能図である。
装置ユーザ１内に設置された半導体製造装置１１（例、Nikon NSR-S308F：株式会社ニコン社製のステッパ）は、制御装置１２（例、CELLBrain300：横河電機株式会社製の制御ソフトを搭載）にて制御され、該制御装置１２は生産管理装置１３（例、CIMIVision-semi：横河電機株式意会社製の生産管理システム）で管理されている。
書込部１３１は、前記生産管理装置１３に簡易なプログラム（後述）を内蔵したものである。該書込部１３１は、書込みウエブサービス４２１(Web Service)を用いて、工程管理情報から前記稼動時間をデータベース部４３に記録するウエブサービスのクライアント(client)として働く。 <Operating time counting system for semiconductor manufacturing equipment>
FIG. 1 is a functional diagram showing an operating time counting system of a semiconductor manufacturing apparatus.
A semiconductor manufacturing apparatus 11 (for example, Nikon NSR-S308F: a stepper manufactured by Nikon Corporation) installed in the apparatus user 1 is a control apparatus 12 (for example, CELLBrain300: equipped with control software manufactured by Yokogawa Electric Corporation) The control device 12 is managed by a production management device 13 (for example, CIMIVision-semi: a production management system manufactured by Yokogawa Electric Corporation).
The writing unit 131 incorporates a simple program (described later) in the production management apparatus 13. The writing unit 131 functions as a client of a web service that records the operation time in the database unit 43 from the process management information using a writing web service 421 (Web Service).

稼動時間集計装置４は、ウエブサーバ４１（Web Server 例、Apache）、アプリケーションサーバ４２（Application Server 例、Tomcat+Struts+Axis）とデータベース部４３（例、MySQL）、とで構成される。書込みウエブサービス４２１(Web Service)により、前記稼動時間は、前記データベース部４３に書込まれる。呼出しウエブサービス４２２(Web Service)は、前記データベース部４３より、前記稼動時間を呼び出す。
装置メーカ２内に設置された稼動時間取得装置２１は、ERP（Enterprise Resource Planning）である。
岡本茂監修、「最新パソコン用語辞典」（２００５−‘０６年版）株式会社技術評論社出版、平成１６年１１月１日、第１６版、第１刷発行、Ｐ．１２８．前記「最新パソコン用語辞典」によると、ＥＲＰは“企業、もしくは顧客などをも含む企業間システム。これらを実現する、企業情報システムを提供するソフトウエアをＥＲＰパッケージという。特に知られたＥＲＰパッケージとしては、ドイツのＳＡＰ社の「Ｒ／３」や、米国オラクル社の「Oracle Applications」、日本のオービックビジネスコンサルタントの「奉行新ＥＲＰ」などが知られている。”と、定義している。以下、本件出願で使用する用語は、断りが無い限り、本書を参考としている。呼出部２１１は、前記稼動時間取得装置２１に簡易なプログラム（後述）を内蔵したものである。該呼出部２１１は、呼出しウエブサービス４２２(Web Service)のクライアント(Client)として働く。＜フローチャート＞ The operation time totaling device 4 includes a web server 41 (Web Server example, Apache), an application server 42 (Application Server example, Tomcat + Struts + Axis), and a database unit 43 (eg, MySQL). The operating time is written in the database unit 43 by a writing web service 421 (Web Service). The calling web service 422 (Web Service) calls the operating time from the database unit 43.
The operating time acquisition device 21 installed in the device manufacturer 2 is ERP (Enterprise Resource Planning).
Supervised by Shigeru Okamoto, “Latest PC Glossary of Terms” (2005-'06 edition), published by Technical Critics Co., Ltd., November 1, 2004, 16th edition, first edition, p. 128. According to the above "latest personal computer terminology", ERP is "an inter-company system including companies or customers. Software that provides an enterprise information system that realizes these is called an ERP package. Are known as “R / 3” from SAP in Germany, “Oracle Applications” from Oracle Corporation in the US, and “Ogaku Shin ERP” from Obic Business Consultant in Japan. The terminology used in the present application is referred to this document unless otherwise specified. The calling unit 211 incorporates a simple program (described later) in the operating time acquisition device 21. The calling unit 211 serves as a client of the calling web service 422 (Web Service) <Flowchart>

図２は、本発明のフローチャートである。
ステップ１：
半導体製造装置１１が稼動する。
ステップ２：
前記半導体製造装置１１の動いた稼動時間が、制御装置１２により生産管理装置１３に送信される。
ステップ３：
前記稼動時間が前記生産管理装置１３に記録される。
ステップ４：
前記稼動時間は、書込部１３１によって公衆通信回線３１を経由して稼動時間集計装置４に送信される。
ステップ５：
前記稼動時間集計装置４は、ウエブサーバ４１とアプリケーションサーバ４２により前記稼動時間をデータベース部４３に記録する。
ステップ６：
稼動時間取得装置２１は、呼出部２１１により、公衆通信回線３２を経由して前記稼動時間集計装置４より前記稼動時間を呼び出す。
ステップ７
前記半導体製造装置１１の前記稼動時間は、前記稼動時間取得装置２１に記録される。
＜書込部１３１＞ FIG. 2 is a flowchart of the present invention.
Step 1:
The semiconductor manufacturing apparatus 11 operates.
Step 2:
The operating time in which the semiconductor manufacturing apparatus 11 has been moved is transmitted to the production management apparatus 13 by the control apparatus 12.
Step 3:
The operating time is recorded in the production management device 13.
Step 4:
The operating time is transmitted to the operating time counting device 4 by the writing unit 131 via the public communication line 31.
Step 5:
The operating time totaling device 4 records the operating time in the database unit 43 by the web server 41 and the application server 42.
Step 6:
The operating time acquisition device 21 uses the calling unit 211 to call the operating time from the operating time totaling device 4 via the public communication line 32.
Step 7
The operating time of the semiconductor manufacturing apparatus 11 is recorded in the operating time acquisition apparatus 21.
<Writing unit 131>

図３は、前記書込部１３１と書込みウエブサービス４２１（Web Service）との関係を示したものである。
該書込部１３１の具体的なプログラムは以下の通りとなる。
○setUserID(鄭1000 ;
装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４の書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、ＩＤは「Ａ１０００」になる。
○setPassword(殿bcdef ;
装置ユーザ１のIDに対応したパスワードを前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、パスワードは「ａｂｃｄｅｆ」になる。
○setPN( 000 ;
半導体製造装置１１の型式番号を前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、型式番号は「１０００」になる。
○result = setUsedTime(100);
前記半導体製造装置１１の稼動時間を前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、稼働時間は「１００」時間となる。また、書込みに成功・失敗した場合は、その旨を示す値（成功時：１、失敗時：０）が前記呼出しウエブサービス４２１から送信される。
＜書込みウエブサービス４２１＞ FIG. 3 shows the relationship between the writing unit 131 and the writing web service 421 (Web Service).
A specific program of the writing unit 131 is as follows.
○ setUserID (鄭 1000;
The ID of the device user 1 is transmitted to the writing web service 421 of the operating time counting device 4. In this case, the ID is “A1000”.
○ setPassword (Mr. bcdef;
A password corresponding to the ID of the device user 1 is transmitted to the writing web service 421. In this case, the password is “abcdef”.
○ setPN (000;
The model number of the semiconductor manufacturing apparatus 11 is transmitted to the writing web service 421. In this case, the model number is “1000”.
○ result = setUsedTime (100);
The operating time of the semiconductor manufacturing apparatus 11 is transmitted to the writing web service 421. In this case, the operating time is “100” hours. If the writing succeeds / fails, a value indicating that (success: 1; failure: 0) is transmitted from the call web service 421.
<Writing Web Service 421>

図３の書込みウエブサービス（Web Service）の具体的プログラムの働きは以下の通りとなる。
○public setUserID(id As String)
前記書込部１３１から装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。
○public setPassword(pass As String)
前記書込部１３１から装置ユーザ１のIDに対応したパスワードを稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。
○public setPN(pn As String)
前記書込部１３１から半導体製造装置１１の型式番号を稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。
○public setUsedTime(ut As Integer) As Boolean
前記書込部１３１から前記半導体製造装置１１の稼動時間を稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。書込みに成功・失敗した場合は、その旨を示す値（成功時：１、失敗時：０）が前記書込部１３１に送信される。
＜呼出し部２１１＞ The specific program operation of the writing web service (Web Service) in FIG. 3 is as follows.
○ public setUserID (id As String)
It is a program unit that provides a writing web service 421 for recording the ID of the device user 1 in the operating time counting device 4 from the writing unit 131.
○ public setPassword (pass As String)
It is a program unit that provides a writing web service 421 for recording a password corresponding to the ID of the device user 1 from the writing unit 131 in the operating time counting device 4.
○ public setPN (pn As String)
It is a program unit that provides a write web service 421 for recording the model number of the semiconductor manufacturing apparatus 11 from the writing unit 131 to the operating time counting device 4.
○ public setUsedTime (ut As Integer) As Boolean
The program unit provides a write web service 421 for recording the operation time of the semiconductor manufacturing apparatus 11 in the operation time counting device 4 from the writing unit 131. When the writing succeeds or fails, a value indicating that (success: 1; failure: 0) is transmitted to the writing unit 131.
<Calling unit 211>

図４は、前記呼出し部２１１と呼出しウエブサービス４２２（Web Service）との関係を示したものである。
該呼出し部２１１の具体的なプログラムは以下の通りとなる。
○setMakerID(溺9999 ;
装置メーカ２のIDを前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、IDは「Ｍ９９９９」となる。
○setPassword(塗igklm ;
前記装置メーカ２のIDに対応したパスワードを前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、パスワードは「ｈｉｇｋｌｍ」となる。
○setUserID("A1000");
装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４の前記呼出しウエブサービス４２２に送信する。この場合だと、ＩＤは「Ａ１０００」となる。
○setPN( 000 ;
半導体製造装置１１の型式番号を前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、型式番号は「１０００」となる。
○usedtime = getUsedTime();
前記半導体製造装置１１の型式番号と装置ユーザ１のIDに対応した稼働時間を取得している。この場合だと、前記稼動時間「１００」が前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）から送信されてくる。ただし、呼び出しに失敗した場合は、「−１」が送信されてくる。
＜呼出しウエブサービス４２２＞ FIG. 4 shows the relationship between the calling unit 211 and the calling web service 422 (Web Service).
A specific program of the calling unit 211 is as follows.
○ setMakerID (溺 9999;
The ID of the device manufacturer 2 is transmitted to the calling web service 422 (Web Service). In this case, the ID is “M9999”.
○ setPassword (paint igklm;
A password corresponding to the ID of the device manufacturer 2 is transmitted to the calling web service 422 (Web Service). In this case, the password is “highklm”.
○ setUserID ("A1000");
The ID of the device user 1 is transmitted to the calling web service 422 of the operating time counting device 4. In this case, the ID is “A1000”.
○ setPN (000;
The model number of the semiconductor manufacturing apparatus 11 is transmitted to the calling web service 422 (Web Service). In this case, the model number is “1000”.
○ usedtime = getUsedTime ();
The operating time corresponding to the model number of the semiconductor manufacturing apparatus 11 and the ID of the apparatus user 1 is acquired. In this case, the operation time “100” is transmitted from the calling web service 422 (Web Service). However, if the call fails, “−1” is transmitted.
<Calling web service 422>

図４の呼出しウエブサービス（Web Service）の具体的プログラムの働きは以下の通りとなる。
○public setMakerID(id As String)
前記呼出し部２１１から装置メーカ２のIDを稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public setPassword(pass As String)
前記装置メーカ２のIDに対応したパスワードを稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public setUserID(id As String)
前記呼出し部２１１から装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public setPN(pn As String)
前記呼出し部２１１から型式番号を稼動時間集計装置４に記録するための書込み呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public getUsedTime() As Integer
前記呼出し部２１１から前記半導体製造装置１１の型式番号と装置ユーザ１のIDに対応した前記稼働時間を稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。呼出しに失敗した場合は、「−１」が前記呼出し部２１１に送信される。 The specific program of the call web service (Web Service) in FIG. 4 is as follows.
○ public setMakerID (id As String)
This is a program unit that provides a call web service 422 for recording the ID of the device manufacturer 2 in the operating time counting device 4 from the call unit 211.
○ public setPassword (pass As String)
It is a program unit that provides a call web service 422 for recording a password corresponding to the ID of the device manufacturer 2 in the operating time counting device 4.
○ public setUserID (id As String)
It is a program unit that provides a call web service 422 for recording the ID of the device user 1 in the operation time counting device 4 from the call unit 211.
○ public setPN (pn As String)
It is a program unit that provides a write call web service 422 for recording the model number from the call unit 211 in the operating time counting device 4.
○ public getUsedTime () As Integer
It is a program unit that provides a calling web service 422 for recording the operating time corresponding to the model number of the semiconductor manufacturing apparatus 11 and the ID of the apparatus user 1 from the calling unit 211 to the operating time totaling apparatus 4. If the call fails, “−1” is transmitted to the call unit 211.

実施例１では、半導体製造装置１１が１台の場合について説明を行ったが、本件発明は図５に示すように、半導体製造装置１１、１１２が複数稼動（異種の半導体製造装置の稼動を含む）する場合も対応が可能である。
制御装置１２２については、制御装置１２を兼用することも可能であるが、生産管理装置１３については、１台で対応できる。
その余の事項は、実施例１と同じ。 In the first embodiment, the case where there is one semiconductor manufacturing apparatus 11 has been described. However, in the present invention, as shown in FIG. 5, a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 11 and 112 are operated (including the operation of different types of semiconductor manufacturing apparatuses). ) Is also possible.
The control device 122 can also be used as the control device 12, but the production management device 13 can be handled by one.
The other matters are the same as in the first embodiment.

実施例１では、装置ユーザ１が１つについて説明を行ったが、複数の装置ユーザが複数の半導体製造装置を稼動する場合も対応が可能である。図６参照。
別の装置ユーザ１−２は、半導体製造装置１１−２を、制御装置１２−２で制御し、生産管理装置１３−２で管理を行う。書込部１３１−２は、該生産管理装置１３−２に内蔵する。
該生産管理装置１３−２は、前記公衆通信回線３１を通じて前記稼動時間集計装置４につながっている。
その余の事項は、実施例１と同じ。 In the first embodiment, one apparatus user 1 has been described. However, it is possible to cope with a case where a plurality of apparatus users operate a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses. See FIG.
Another apparatus user 1-2 controls the semiconductor manufacturing apparatus 11-2 with the control apparatus 12-2 and manages it with the production management apparatus 13-2. The writing unit 131-2 is built in the production management apparatus 13-2.
The production management device 13-2 is connected to the operation time counting device 4 through the public communication line 31.
The other matters are the same as in the first embodiment.

実施例１では、装置メーカ２が１つについて説明を行ったが、複数の装置メーカが存在する場合にも対応できる。
別の装置メーカ２−２は、呼出部２２１−２を稼動時間取得装置２１−２に内蔵し、前記公衆通信回線３２を通じて前記稼動時間集計装置４につながっている。
その余の事項は、実施例１と同じ。 In the first embodiment, one apparatus manufacturer 2 has been described. However, a case where a plurality of apparatus manufacturers exist can also be handled.
Another device manufacturer 2-2 has a calling unit 221-2 built in the operating time acquisition device 21-2 and is connected to the operating time counting device 4 through the public communication line 32.
The other matters are the same as in the first embodiment.

実施例１では、半導体製造装置１１の稼動時間を取得する方法について、本件発明を行った。
半導体製造装置１１の稼動状況を把握する方法としては、その他、ウエーハ枚数を取得する手段もある。
あるいは、稼動時間とウエーハの枚数の両方のデータを取得することも可能である。
その余の事項は、実施例１と同じ。 In the first embodiment, the present invention is performed with respect to a method for obtaining the operating time of the semiconductor manufacturing apparatus 11.
As another method for grasping the operation status of the semiconductor manufacturing apparatus 11, there is a means for acquiring the number of wafers.
Alternatively, it is also possible to acquire data on both the operating time and the number of wafers.
The other matters are the same as in the first embodiment.

本発明の半導体製造装置の稼動時間集計システムを示す図である。It is a figure which shows the operating time totaling system of the semiconductor manufacturing apparatus of this invention. 本発明のフローチャートである。3 is a flowchart of the present invention. 本発明の書込部と書込みウエブサービスとの関係を示したものである。The relationship between the writing part of this invention and a writing web service is shown. 本発明の呼出部と呼出しウエブサービスとの関係を示したものである。The relationship between the calling part of this invention and a calling web service is shown. 本発明の半導体製造装置が複数存在する場合を示したものである。This shows a case where there are a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses of the present invention. 本発明の装置ユーザが複数存在する場合を示したものである。The case where there are a plurality of apparatus users of the present invention is shown. 本発明の装置メーカが複数存在する場合を示したものである。This shows a case where there are a plurality of apparatus manufacturers of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 装置ユーザ
１１ 半導体製造装置
１２ 制御装置
１３ 生産管理装置
１３１ 書込部
２ 装置メーカ
２１ 稼動時間取得装置
２１１ 呼出部
３１、３２ 公衆通信回線
４ 稼動時間集計装置
４１ ウエブサーバ
４２ アプリケーションサーバ
４２１ 書込みウエブサービス
４２２ 呼出しウエブサービス
４３ データベース部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Device user 11 Semiconductor manufacturing device 12 Control device 13 Production management device 131 Writing unit 2 Device manufacturer 21 Operation time acquisition device 211 Calling unit 31, 32 Public communication line 4 Operation time totaling device 41 Web server 42 Application server 421 Write web service 422 Call web service 43 Database section

Claims (4)

半導体製造装置の稼動時間集計システムにおいて、
装置ユーザ（１）内に設置された半導体製造装置（１１）の生産管理装置（１３）に書込部（１３１）を内蔵し、
該書込部（１３１）により前記生産管理装置（１３）より前記半導体製造装置（１１）の稼動時間を抽出し、
前記稼動時間を公衆通信回線（３１）を通じて稼動時間集計装置（４）に一時的に記録し、
装置メーカ（２）内に設置された稼動時間取得装置（２１）に呼出部（２１１）を内蔵し、
該呼出部（２１１）により前記稼動時間集計装置（４）に蓄積された前記稼動時間を公衆通信回線（３２）を通じて呼び出すことによって、前記半導体製造装置（１１）の前記稼動時間を前記稼動時間取得装置（２１）に集計することを特徴とした、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。 In the operating time counting system for semiconductor manufacturing equipment,
A writing unit (131) is built in the production management device (13) of the semiconductor manufacturing device (11) installed in the device user (1).
The writing unit (131) extracts the operating time of the semiconductor manufacturing apparatus (11) from the production management apparatus (13),
The operation time is temporarily recorded in the operation time counting device (4) through the public communication line (31),
The operating time acquisition device (21) installed in the device manufacturer (2) incorporates a calling unit (211),
By calling the operating time stored in the operating time counting device (4) by the calling unit (211) through a public communication line (32), the operating time of the semiconductor manufacturing device (11) is obtained. The device (21) is totalized,
Operation time counting system for semiconductor manufacturing equipment. 請求項１において、
前記半導体製造装置（１１）は制御装置（１２）によって制御され、
該制御装置（１２）は前記生産管理装置（１３）によって管理され、
前記稼動時間は、前記生産管理装置（１３）に内蔵した前記書込部（１３１）により前記稼動時間集計装置（４）に前記公衆通信回線（３１）を通じて記録されることを特徴とした、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。 In claim 1,
The semiconductor manufacturing apparatus (11) is controlled by a control device (12),
The control device (12) is managed by the production management device (13),
The operating time is recorded in the operating time counting device (4) through the public communication line (31) by the writing unit (131) built in the production management device (13).
Operation time counting system for semiconductor manufacturing equipment. 請求項１において、
前記稼動時間集計装置（４）は、
ウエブサーバ（４１）、アプリケーションサーバ（４２）とデータベース部（４３）で構成されることを特徴とする、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。 In claim 1,
The operating time counting device (4)
It is composed of a web server (41), an application server (42), and a database unit (43).
Operation time counting system for semiconductor manufacturing equipment. 請求項３において、
前記アプリケーションサーバ（４２）は、前記稼動時間を前記データベース部（４３）に記録する書込みウエブサービス（４２１）と、前記稼動時間を前記データベース部（４３）から読み出す呼出しウェブサービス（４２２）とで構成されることを特徴とする、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。
In claim 3,
The application server (42) includes a write web service (421) for recording the operation time in the database unit (43) and a call web service (422) for reading the operation time from the database unit (43). It is characterized by being
Operation time counting system for semiconductor manufacturing equipment.
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