JP2007028285A - Contact image sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数の光電変換装置を構成した密着型イメージセンサの光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目に関わるものである。 The present invention relates to a joint between a photoelectric conversion device and a photoelectric conversion device of a contact image sensor that constitutes a plurality of photoelectric conversion devices.
近年、光電変換装置の分野においては、縮小光学系を用いたCCDセンサ、複数の光電変換装置を実装した等倍系の密着型イメージセンサの開発が盛んに行われている。 2. Description of the Related Art In recent years, in the field of photoelectric conversion devices, CCD sensors using a reduction optical system and equal-magnification contact image sensors mounted with a plurality of photoelectric conversion devices have been actively developed.
特開2003−32437号公報には以下の受光素子の配置構成を有する。 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-32437 has the following arrangement of light receiving elements.
図4は特開2003−32437号公報で用いている受光素子の配置図を示す。 FIG. 4 shows a layout of the light receiving elements used in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-32437.
図5は特開2003−32437号公報で用いている2個の光電変換装置のつなぎ目部拡大図を示す。 FIG. 5 is an enlarged view of a joint portion of two photoelectric conversion devices used in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-32437.
図5において、密着型イメージセンサ2024の各受光素子上には、RGB三原色のカラーフィルタが形成されている。2024−1は、可視光の中で赤色の波長成分を透過するRフィルタが形成された受光素子を1ラインに配置した受光素子列である。
In FIG. 5, RGB primary color filters are formed on each light receiving element of the
また、2024−2,2024−3は、緑色光,青色光の波長成分を透過するGフィルタ、Bフィルタが形成された受光素子をそれぞれ1ラインに配置した受光素子列である。従来技術では光電変換装置と光電変換装置の間に配置された受光素子ピッチは同光電変換装置の受光素子ピッチの2倍である。同光電変換装置の通常の受光素子ピッチの2倍をすることによって光電変換装置間にはひとつの受光素子分が欠けることになる。これを補正するために両端にある受光素子から生成された信号を用い、画素処理を行うことによって光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を低減できる。 Reference numerals 2024-2 and 2024-3 denote light-receiving element arrays in which light-receiving elements each having a G filter and a B filter that transmit the wavelength components of green light and blue light are arranged in one line. In the prior art, the pitch of the light receiving elements disposed between the photoelectric conversion devices is twice the light receiving element pitch of the photoelectric conversion devices. By doubling the normal light receiving element pitch of the photoelectric conversion device, one light receiving element is missing between the photoelectric conversion devices. In order to correct this, by using the signals generated from the light receiving elements at both ends and performing pixel processing, discontinuity appearing in the image quality at the joint between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device can be reduced.
特開2004−172836号公報には以下の受光素子の配置構成を有する。 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-172836 has the following arrangement of light receiving elements.
図6は特開2004−172836号公報で用いている受光素子の配置図を示す。 FIG. 6 shows a layout of the light receiving elements used in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-172836.
密着型イメージセンサ2024のそれぞれのRED、GREEN、BLUE受光素子上には、RGB三原色のカラーフィルタが形成されている。両端の光電変換装置に配置されている受光素子の受光面積は同光電変換装置の通常受光素子より小さい面積を有することが特徴である。こうすることによって光電変換装置の両端部の受光素子ピッチが狭くなり、従って光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を低減できる。
特開2003−32437号公報の図5は2個の光電変換装置のつなぎ目部拡大図を示す。 FIG. 5 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-32437 shows an enlarged view of a joint portion between two photoelectric conversion devices.
図5で示したような複数の受光素子列を持つ密着型イメージセンサにおいて、光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を低減するためには、光電変換装置の両端に配置した受光素子を同光電変換装置の通常受光素子ピッチの2倍にし、両端にある受光素子から生成された信号を用い、画素処理を行うことによって光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を低減できる。しかし、光電変換装置内部で画像処理を行う場合は画像処理回路用の半導体領域が必要し、コストアップにつながる要因になる。例え、光電変換装置の外部で画像処理を行う場合でもユーザにとって負荷が発生する要因となり、従ってこの方法は効果的ではない。 In the contact type image sensor having a plurality of light receiving element arrays as shown in FIG. 5, in order to reduce discontinuities appearing on the image quality at the joint portion of the photoelectric conversion device, the light reception arranged at both ends of the photoelectric conversion device. Appears on the image quality at the joint between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device by performing pixel processing using the signals generated from the light receiving elements at both ends, making the element twice the normal light receiving element pitch of the photoelectric conversion device Discontinuity can be reduced. However, when image processing is performed inside the photoelectric conversion device, a semiconductor region for the image processing circuit is required, which causes a cost increase. For example, even when image processing is performed outside the photoelectric conversion device, it causes a load on the user, and therefore this method is not effective.
特開2004−172836号公報の図7は2個の光電変換装置と光源の配置図を示す。 FIG. 7 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-172836 shows an arrangement diagram of two photoelectric conversion devices and a light source.
図6は特開2004−172836号公報で用いている受光素子の配置図を示す。 FIG. 6 shows a layout of the light receiving elements used in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-172836.
図6で示したような複数の受光素子列を持つ密着型イメージセンサにおいて、光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を低減するためには、両端の光電変換装置に配置されている受光素子の受光面積を同光電変換装置の通常受光素子より小さくし、光電変換装置のつなぎ目部分の受光素子ピッチを狭くするのが特徴である。この手段は光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を低減できる。しかし、光電変換装置の両端に配置している受光素子の受光面積が小さくなった分感度が落ち、同光電変換装置の通常の受光素子感度と比べて低くなるのは明らかである。光電変換装置の両端に配置している受光素子の感度を向上させるためには、図7で示しているように光源であるLEDの輝度を部分的に上げる必要があり、極めて困難な設計となる。 In the contact type image sensor having a plurality of light receiving element arrays as shown in FIG. 6, in order to reduce discontinuity appearing in the image quality at the joint portion of the photoelectric conversion device, it is arranged in the photoelectric conversion devices at both ends. The light receiving area of the light receiving element is smaller than that of the normal light receiving element of the photoelectric conversion device, and the light receiving element pitch at the joint portion of the photoelectric conversion device is narrowed. This means can reduce the discontinuity appearing on the image quality at the joint portion of the photoelectric conversion device. However, it is clear that the sensitivity is lowered by the reduction of the light receiving area of the light receiving elements arranged at both ends of the photoelectric conversion device, and is lower than the normal light receiving device sensitivity of the photoelectric conversion device. In order to improve the sensitivity of the light receiving elements arranged at both ends of the photoelectric conversion device, it is necessary to partially increase the brightness of the LED as the light source as shown in FIG. .
上記で述べたように従来の技術はどちらも一長一短である。 As described above, both conventional techniques have advantages and disadvantages.
上記の問題を解決するために、本発明の密着型イメージセンサは共通の基板上に、複数の光電変換装置が主走査方向に直線状に配置され、前記光電変換装置は互いに平行して副走査方向に配列される複数の受光素子列を有し、それぞれの受光素子が出力信号を取り出すための出力読み出し配線を有する密着型イメージセンサにおいて、前記光電変換装置の受光素子の出力読み出し配線を適切の配置する方法を用い、光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチを狭くすることで光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を低減する
本発明は両端部に配置している受光素子の受光面積を変更せず、画像処理を行うことなく、光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を少なくすることができる。
In order to solve the above problems, the contact image sensor of the present invention has a plurality of photoelectric conversion devices arranged in a straight line in the main scanning direction on a common substrate, and the photoelectric conversion devices are sub-scanned in parallel with each other. In a contact-type image sensor having a plurality of light receiving element arrays arranged in a direction and each light receiving element having an output read wiring for taking out an output signal, an appropriate output read wiring for the light receiving element of the photoelectric conversion device is provided. The discontinuity that appears in the image quality at the joint portion of the photoelectric conversion device is reduced by narrowing the light receiving element pitch at the joint portion between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device using the arrangement method. The discontinuity that appears in the image quality at the joint between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device can be reduced without changing the light receiving area of the light receiving element and without performing image processing. it can.
以上示したように、本発明は光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチを縮小し、光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を少なくし、かつ安価なイメージセンサを提供することが実現できる。 As described above, the present invention provides an inexpensive image sensor that reduces the pitch of the light receiving elements at the joints of the photoelectric conversion device, reduces the discontinuity that appears in the image quality at the joints of the photoelectric conversion device, and provides an inexpensive image sensor. Can be realized.
以下、本発明の実施形態の図面を示し、これらの図を用いて本発明の詳細を説明する。 Hereinafter, the drawings of the embodiments of the present invention will be shown, and the details of the present invention will be described using these drawings.
本発明は、複数の光電変換装置が主走査方向に直線状に配置される。光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部分の受光素子ピッチを同光電変換装置の受光素子ピッチに近寄ることで、光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部分で画質上に現れる不連続性を少なくすることに関する発明である。 In the present invention, a plurality of photoelectric conversion devices are linearly arranged in the main scanning direction. By reducing the light receiving element pitch at the joint between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device to the light receiving element pitch of the photoelectric conversion device, the discontinuity that appears in the image quality at the joint between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device is reduced. It is invention regarding.
図1は複数の光電変換装置をライン状に実装される密着型イメージセンサイメージ図を示す。 FIG. 1 shows an image diagram of a contact image sensor in which a plurality of photoelectric conversion devices are mounted in a line.
図1において、同基板上(100)に10個の光電変換装置(201-210)をライン状に実装される密着型イメージセンサは光電変換装置と光電変換装置の間にできるつなぎ目部(ZOOM)が生じる。この光電変換装置と光電変換装置の幅によって、光電変換装置の両端に配置される受光素子のピッチが決まる。本来この受光素子のピッチが同光電変換装置内部の通常受光素子ピッチと同等のピッチが望まれる。しかし、光電変換装置の実装技術によって限界がある。また、光電変換装置の回路を保護するためにウエハを切るときは光電変換装置の両端にスグライブという空き領域を残す必要がある。従って、複数光電変換装置が主走査方向に直線状に配置されると、光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部分に隙間ができ、光電変換装置の両端に配置した受光素子ピッチが同光電変換装置の通常受光素子ピッチより広くなる。 In FIG. 1, a contact type image sensor in which ten photoelectric conversion devices (201-210) are mounted in a line on the substrate (100) is a joint (ZOOM) formed between the photoelectric conversion devices. Occurs. The pitch of the light receiving elements arranged at both ends of the photoelectric conversion device is determined by the width of the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device. Essentially, the pitch of the light receiving elements is desired to be equal to the normal light receiving element pitch inside the photoelectric conversion device. However, there is a limit depending on the mounting technology of the photoelectric conversion device. Further, when cutting the wafer in order to protect the circuit of the photoelectric conversion device, it is necessary to leave a vacant area called “scribing” at both ends of the photoelectric conversion device. Accordingly, when a plurality of photoelectric conversion devices are linearly arranged in the main scanning direction, a gap is formed at the joint portion between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device, and the light receiving element pitches arranged at both ends of the photoelectric conversion device are the same. It becomes wider than the normal light receiving element pitch.
図2は特開2003−32437号公報の図4と図5を用いて、光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部周辺に配置される出力読み出し配線を想定したイメージ図を示す。 FIG. 2 shows an image diagram assuming an output readout wiring arranged around the joint portion between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device, using FIGS. 4 and 5 of JP-A-2003-32437.
図2は光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部(ZOOM)の拡大図を示す。図2において、第1光電変換装置201は可視光の中で赤色の波長成分を透過するRフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(R598, R599, R600)、可視光の中で緑色の波長成分を透過するGフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(G598, G599, G600)、可視光の中で青色の波長成分を透過するBフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(B598, B599, B600)、R受光素子用の読み出し回路4、G受光素子用の読み出し回路5、B受光素子用の読み出し回路6、複数の受光素子列からの信号を処理して出力する回路部7、R受光素子用の出力読み出し配線(r598, r599, r600)、G受光素子用の出力読み出し配線(g598, g599, g600)、B受光素子用の出力読み出し配線(b598, b599, b600)、第2光電変換装置202は可視光の中で赤色の波長成分を透過するRフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(R1, R2, R3)、可視光の中で緑色の波長成分を透過するGフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(G1, G2, G3)、可視光の中で青色の波長成分を透過するBフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(B1, B2, B3)、R受光素子用の読み出し回路4、G受光素子用の読み出し回路5、B受光素子用の読み出し回路6、複数の受光素子列からの信号を処理して出力する回路部7、R受光素子用の出力読み出し配線(r1, r2, r3)、G受光素子用の出力読み出し配線(g1, g2, g3)、B受光素子用の出力読み出し配線(b1, b2, b3)、から構成される。
FIG. 2 is an enlarged view of a joint (ZOOM) between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device. In FIG. 2, the first
図2で示したように第1光電変換装置の最端に配置されている受光素子列600と第2光電変換装置の最端に配置されている受光素子列001の間に2本分の出力読み出し配線(g600配線とr1配線)が配置されている。
As shown in FIG. 2, two outputs are output between the light
以下(1)式は光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチ計算式を示す(図2を参照)。 Equation (1) below shows a formula for calculating the light receiving element pitch at the joint portion of the photoelectric conversion device (see FIG. 2).
実装できる最小の幅=b
光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチ=c
両端に配置された受光素子の中心から光電変換装置のエッチまでの距離=e
c = 2e + b …(1)
例えば、出力読み出し配線ルールLine/Spaceが2um/2umであれば、配線2本分の8umが両端に配置された受光素子の中心から光電変換装置のエッチまでの距離を占める。光電変換装置のつなぎ目部に配置されている受光素子ピッチは8umの出力読み出し配線で占めることになる。この光電変換装置のつなぎ目部に配置されている受光素子ピッチは受光素子の列数に比例して広がり、つなぎ目部分で画質上に現れる不連続性もそれに比例して悪化する。600dpi密着型イメージセンサの通常受光素子ピッチの42umに対して出力読み出し配線2本分(8um)は受光素子ピッチの1/4を占める数字になり、受光素子ピッチを縮小するために決して出力読み出し配線は無視できない重要な要素である。
Minimum width that can be mounted = b
Light receiving element pitch at the joint of the photoelectric conversion device = c
Distance from the center of the light receiving element arranged at both ends to the etch of the photoelectric conversion device = e
c = 2e + b (1)
For example, if the output read wiring rule Line / Space is 2 um / 2 um, 8 um for two wirings occupy the distance from the center of the light receiving element arranged at both ends to the etch of the photoelectric conversion device. The pitch of the light receiving elements arranged at the joint portion of the photoelectric conversion device is occupied by the 8 μm output readout wiring. The pitch of the light receiving elements arranged in the joint portion of this photoelectric conversion device increases in proportion to the number of columns of the light receiving elements, and the discontinuity appearing on the image quality at the joint portion also deteriorates in proportion thereto. The output readout wiring for 2 lines (8um) is occupying 1/4 of the light receiving element pitch for the normal light receiving element pitch of 42um of the 600dpi contact type image sensor. Is an important element that cannot be ignored.
図3は本発明の実施形態の平面図であり、光電変換装置と光電変換装置のつなぎ目部(ZOOM)の拡大図を示す。 FIG. 3 is a plan view of the embodiment of the present invention, and shows an enlarged view of a joint portion (ZOOM) between the photoelectric conversion device and the photoelectric conversion device.
図3において、第1光電変換装置の最後の受光素子部分と第2光電変換装置の最初の受光素子の拡大図である。図2で示したように、第1光電変換装置201は可視光の中で赤色の波長成分を透過するRフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(R598, R599, R600)、可視光の中で緑色の波長成分を透過するGフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(G598, G599, G600)、可視光の中で青色の波長成分を透過するBフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(B598, B599, B600)、R受光素子用の読み出し回路4、G受光素子用の読み出し回路5、B受光素子用の読み出し回路6、複数の受光素子列からの信号を処理して出力する回路部7、R受光素子用の出力読み出し配線(r598, r599, r600)、G受光素子用の出力読み出し配線(g598, g599, g600)、B受光素子用の出力読み出し配線(b598, b599, b600)、第2光電変換装置202は可視光の中で赤色の波長成分を透過するRフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(R1, R2, R3)、可視光の中で緑色の波長成分を透過するGフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(G1, G2, G3)、可視光の中で青色の波長成分を透過するBフィルタが形成された受光素子をライン状に配置した受光素子列(B1, B2, B3)、R受光素子用の読み出し回路4、G受光素子用の読み出し回路5、B受光素子用の読み出し回路6、複数の受光素子列からの信号を処理して出力する回路部7、R受光素子用の出力読み出し配線(r1, r2, r3)、G受光素子用の出力読み出し配線(g1, g2, g3)、B受光素子用の出力読み出し配線(b1, b2, b3)、から構成される。
FIG. 3 is an enlarged view of the last light receiving element portion of the first photoelectric conversion device and the first light receiving element of the second photoelectric conversion device in FIG. 3. As shown in FIG. 2, the first
図3で示したように、第1光電変換装置の出力読み出し配線(g600配線)を受光素子列599と受光素子列600の間に配置し、第2光電変換装置の出力読み出し配線(r1配線)を受光素子列001と受光素子列002の間に配置することで光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチを縮小している。
As shown in FIG. 3, the output readout wiring (g600 wiring) of the first photoelectric conversion device is arranged between the light
以下(2)式は光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチ計算式を示す(図3を参照)。 Equation (2) below represents a formula for calculating the light receiving element pitch at the joint portion of the photoelectric conversion device (see FIG. 3).
実装できる最小の幅=b
光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチ=c
両端に配置された受光素子の中心から光電変換装置のエッチまでの距離=e
c = 2(e-4um) + b …(2)
光電変換装置の通常受光素子ピッチ=dとした時本発明の光電変換装置のつなぎ目部の受光素子ピッチは以下の(3)式に限定する。
Minimum width that can be mounted = b
Light receiving element pitch at the joint of the photoelectric conversion device = c
Distance from the center of the light receiving element arranged at both ends to the etch of the photoelectric conversion device = e
c = 2 (e-4um) + b (2)
When the normal light receiving element pitch of the photoelectric conversion device is d, the light receiving element pitch at the joint portion of the photoelectric conversion device of the present invention is limited to the following equation (3).
d ≧ c ≦ 2d …(3)
上記実施形態はRED、GREEN、BLUE受光素子を有する密着型イメージセンサを主に例にとり説明したがこれに限定することなく、2ライン以上を有する密着型イメージセンサであれば本発明の配置方法を行うことによって同様な効果が得られるのは明白である。
d ≥ c ≤ 2d (3)
In the above embodiment, the contact type image sensor having the RED, GREEN, and BLUE light receiving elements is mainly described as an example. Obviously, similar effects can be obtained by doing so.
101 光電変換装置を実装する共通の基板
201 第1光電変換装置
202 第2光電変換装置
203 第3光電変換装置
204 第4光電変換装置
205 第5光電変換装置
206 第6光電変換装置
207 第7光電変換装置
208 第8光電変換装置
209 第9光電変換装置
210 第10光電変換装置
4R 受光素子用の読み出し回路
5G 受光素子の読み出し回路
6B 受光素子の読み出し回路
7 複数の受光素子列からの信号を処理して出力する回路部
R1、R2、R3、R598、R599、R600 RED受光素子
r1、r2、r3、r598、r599、r600 RED受光素子の出力読み出し配線
G1、G2、G3、G598、G599、G600 GREEN受光素子
g1、g2、g3、g598、g599、g600 GREEN受光素子の出力読み出し配線
B1、B2、B3、B598、B599、B600 BLUE受光素子
b1、b2、b3、b598、b599、b600 BLUE受光素子の出力読み出し配線
101 Common substrate for mounting
R1, R2, R3, R598, R599, R600 RED photo detector
r1, r2, r3, r598, r599, r600 RED photo detector output readout wiring
G1, G2, G3, G598, G599, G600 GREEN photo detector
g1, g2, g3, g598, g599, g600 GREEN light receiving element output readout wiring
B1, B2, B3, B598, B599, B600 BLUE photo detector
b1, b2, b3, b598, b599, b600 BLUE light receiving element output readout wiring
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081007 |