JP2007026567A - Magnetic recording medium, magnetic transfer method, and magnetic reproducing method - Google Patents

Magnetic recording medium, magnetic transfer method, and magnetic reproducing method Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium in which influence of a sub-pulse when magnetic transfer is performed can be eliminated and which copes with high density recording, a magnetic transfer method, and a magnetic reproducing method. <P>SOLUTION: The magnetic recording medium of a disk type is constituted so that a plurality of magnetic layer patterns and non-magnetic layer patterns provided between these magnetic layer patterns are formed alternately on the surface, thereby recording magnetic information. When the minimum value of length in the circumferential direction of the magnetic layer patten and/or the non-magnetic layer pattern is larger than (b) and it is length in the circumference direction which causes the sub-pulse P<SB>s</SB>becoming a reading error when reading is performed by a magnetic head, position information of the prescribed magnetic layer pattern and/or the non-magnetic layer pattern are recorded as magnetic information. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気記録媒体、磁気転写方法、及び磁気再生方法に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写するのに好適な磁気記録媒体、磁気転写方法、及び磁気再生方法に関する。   The present invention relates to a magnetic recording medium, a magnetic transfer method, and a magnetic reproduction method, and more particularly, a magnetic recording suitable for transferring a magnetic information pattern such as format information from a master disk to a magnetic disk used in a hard disk device or the like. The present invention relates to a medium, a magnetic transfer method, and a magnetic reproduction method.

近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク(ハードディスク)は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。   In recent years, magnetic disks (hard disks) used in hard disk drives, which have been rapidly spreading, are written with format information and address information before being installed in the drive after being delivered to the drive manufacturer by the magnetic disk manufacturer. It is common. Although this writing can be performed by a magnetic head, a method of batch transfer from a master disk in which these format information and address information are written is efficient and preferable.

この磁気転写技術は、マスターディスクと被転写ディスク(スレーブディスク)とを密着させた状態で、片側又は両側に電磁石装置、永久磁石装置等の磁界生成手段を配設して転写用磁界を印加し、マスターディスクの有する情報(たとえばサーボ信号)に対応する磁化パターンの転写を行うものである。   This magnetic transfer technology applies a magnetic field for transfer by arranging magnetic field generating means such as an electromagnet device or a permanent magnet device on one side or both sides in a state where a master disk and a disk to be transferred (slave disk) are in close contact with each other. The magnetic pattern corresponding to the information (for example, servo signal) of the master disk is transferred.

この磁気転写では、マスターディスクとスレーブディスクとの相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している。   This magnetic transfer has the advantage that recording can be performed statically without changing the relative positions of the master disk and slave disk, and the time required for recording is extremely short.

特に、近年の電子線描画技術に代表される超微細加工技術の進歩により、最短ビット長が100nm以下である信号のパターニングも可能となり、現在のハードディスクの面密度相当の信号の一括書き込みを磁気転写により行うことも可能となってきた。   In particular, with advances in ultra-fine processing technology represented by recent electron beam lithography technology, signal patterning with a minimum bit length of 100 nm or less is also possible, and batch writing of signals equivalent to the current hard disk surface density is magnetically transferred. It has become possible to do this.

従来より、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている(たとえば、特許文献1、2等。)。この特許文献1の提案は、基板の表面に情報信号に対応する磁性材料からなる凹凸形状が形成されたマスターディスクより一括転写するものである。特許文献2の提案は、磁気転写の際にマスターディスクとスレーブディスクとの密着性を向上させるものである。そして、これらの提案により、高密度の磁気転写ができるとされている。
特開平10−40544号公報 特開平10−269566号公報
Conventionally, various proposals have been made as this type of magnetic transfer technology (for example, Patent Documents 1 and 2). The proposal of Patent Document 1 is to perform batch transfer from a master disk in which a concavo-convex shape made of a magnetic material corresponding to an information signal is formed on the surface of a substrate. The proposal of Patent Document 2 improves the adhesion between the master disk and the slave disk during magnetic transfer. These proposals suggest that high-density magnetic transfer can be performed.
JP 10-40544 A Japanese Patent Laid-Open No. 10-269566

しかしながら、磁気転写方法における技術的な問題点の一つとして、マスター媒体(マスターディスク)からスレーブ媒体(スレーブディスク)への信号の転写において、スレーブ媒体上に不明瞭な磁気記録部(反転磁化)が発生するという問題がある。これを図9によって説明する。なお、この問題点は、従来の磁気ヘッドによる書き込みでは生じていなかった磁気転写に固有の問題点である。   However, as one of the technical problems in the magnetic transfer method, in the signal transfer from the master medium (master disk) to the slave medium (slave disk), an unclear magnetic recording portion (reversal magnetization) on the slave medium. There is a problem that occurs. This will be described with reference to FIG. This problem is a problem inherent to magnetic transfer that has not occurred in writing by a conventional magnetic head.

図9は、転写信号のパルス波形を示す図である。正常な磁気転写が行われた場合には、(a)に示されるように、正のパルス波形PP、PP…と負のパルス波形PN、PN…とが交互に生じる。ところが、正常な磁気転写が行われずに、(b)に示されるように、正のパルス波形PPと負のパルス波形PNとの間に偽のパルスであるサブパルスPS、PS…を生じることがある。 FIG. 9 is a diagram showing a pulse waveform of the transfer signal. When normal magnetic transfer is performed, as shown in (a), positive pulse waveforms P P , P P ... And negative pulse waveforms P N , P N. However, normal magnetic transfer is not performed, and as shown in (b), subpulses P S , P S ..., Which are false pulses, are placed between the positive pulse waveform P P and the negative pulse waveform P N. May occur.

このサブパルスPSは、その振幅高さが本来のパルス(正のパルスPP及び負のパルスPN)の振幅高さに対してどの程度であるかが重要となる。すなわち、サブパルスPSの振幅高さが本来のパルスの振幅高さに対して無視できないレベルであった場合、本来のパルスとの区別がつきにくくなり、サブパルスを再生信号として認識しエラーを発生することとなる。 The magnitude of the amplitude height of the sub-pulse P S is important with respect to the amplitude height of the original pulse (positive pulse P P and negative pulse P N ). That is, when the amplitude height of the sub-pulse P S is a level that cannot be ignored with respect to the amplitude height of the original pulse, it becomes difficult to distinguish from the original pulse, and the sub-pulse is recognized as a reproduction signal and an error occurs. It will be.

サブパルスの発生メカニズムには不明な点が多いが、マスター媒体の基板として磁性体基板を使用すること、マスター媒体とスレーブ媒体との密着圧力等の転写条件を調整することなどにより抑制できることがわかってきた。しかしサブパルスは完全には抑制できない。このため磁気転写による独自のサブパルスが発生しても、磁気記録媒体の記録再生系と同様な信号処理が行えることが必要である。   Although there are many unclear points in the sub-pulse generation mechanism, it has been found that it can be suppressed by using a magnetic substrate as the master medium substrate and adjusting transfer conditions such as the adhesion pressure between the master medium and the slave medium. It was. However, subpulses cannot be completely suppressed. For this reason, even if a unique sub-pulse is generated by magnetic transfer, it is necessary to be able to perform signal processing similar to the recording / reproducing system of the magnetic recording medium.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、磁気転写を行う際のサブパルスの影響を除去でき、高密度記録に対応した磁気記録媒体、磁気転写方法、及び磁気再生方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a magnetic recording medium, a magnetic transfer method, and a magnetic reproduction method that can remove the influence of sub-pulses when performing magnetic transfer and are compatible with high-density recording. For the purpose.

前記目的を達成するために、本発明は、複数個の磁性層パターンと、該磁性層パターン同士の間に設けられた非磁性層パターンとが交互に表面に形成され、これにより磁気情報が記録された円盤状体の磁気記録媒体であって、前記磁性層パターン及び/又は前記非磁性層パターンの円周方向長さの最小値がbであり、所定の前記磁性層パターン及び/又は前記非磁性層パターンの円周方向長さがbより大きく、かつ磁気ヘッドにより読み取った際に読み取りエラーとなるサブパルスを発生させる円周方向長さである場合に、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報が磁気情報として記録されていることを特徴とする磁気記録媒体を提供する。   In order to achieve the above object, according to the present invention, a plurality of magnetic layer patterns and nonmagnetic layer patterns provided between the magnetic layer patterns are alternately formed on the surface, thereby recording magnetic information. A disc-shaped magnetic recording medium, wherein a minimum value of a circumferential length of the magnetic layer pattern and / or the nonmagnetic layer pattern is b, and the predetermined magnetic layer pattern and / or the non-magnetic layer When the circumferential length of the magnetic layer pattern is greater than b and the circumferential length is such that a sub-pulse that causes a reading error when read by a magnetic head is used, the predetermined magnetic layer pattern and / or non- There is provided a magnetic recording medium in which position information of a magnetic layer pattern is recorded as magnetic information.

本発明者らは、上記課題解決のため各種の検討を行った結果、サブパルスは記録信号パターン間隔の長い(ビット間隔が長い)ときに発生することを見出した。すなわち、比較的波形干渉の少ない、信号パターン間隔が長い時に、再生波形と合わせてサブパルスが発生することを見出した。この詳細は、図にしたがって後述する。   As a result of various studies for solving the above problems, the present inventors have found that sub-pulses are generated when the recording signal pattern interval is long (bit interval is long). That is, it has been found that when the signal pattern interval is long with relatively little waveform interference, a sub-pulse is generated together with the reproduced waveform. Details of this will be described later with reference to the drawings.

このため、磁気転写の有無がわかる情報と、充分に長いパターン間隔での転写信号を予め記録しておき、信号を読み取る際に磁気転写の有無の検出と、サブパルス情報(サブパルス位置、サブパルスピーク値)とを認識すれば、この情報をもとに、磁気転写時はサブパルス信号をキャンセルする回路を経由して信号処理を行える。これにより磁気転写方式による媒体(スレーブディスク)でも磁気記録方式での記録再生装置(ハードディスクドライブ)に組み込んで使用できる。   For this reason, information indicating the presence / absence of magnetic transfer and a transfer signal with a sufficiently long pattern interval are recorded in advance, detection of the presence / absence of magnetic transfer when reading the signal, and sub-pulse information (sub-pulse position, sub-pulse peak). When the magnetic transfer is performed, signal processing can be performed via a circuit that cancels the sub-pulse signal. As a result, a magnetic transfer system medium (slave disk) can be used by being incorporated in a magnetic recording system recording / reproducing apparatus (hard disk drive).

したがって、本発明によれば、磁気転写を行う際のサブパルスの影響を除去でき、高密度記録に対応した磁気記録媒体が得られる。   Therefore, according to the present invention, it is possible to eliminate the influence of sub-pulses when performing magnetic transfer and to obtain a magnetic recording medium compatible with high-density recording.

なお、この磁気記録媒体は、マスター媒体(マスターディスク)であってもよく、スレーブ媒体(スレーブディスク)であってもよい。   The magnetic recording medium may be a master medium (master disk) or a slave medium (slave disk).

本発明の磁気記録媒体において、前記円盤状体の表面において、位置決め情報が記録されたサーボウェッジと、読み出し情報が記録されたデータエリアとが円周方向に交互に形成されており、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報が前記データエリアの一部に記録されていることが好ましい。   In the magnetic recording medium of the present invention, servo wedges in which positioning information is recorded and data areas in which read information is recorded are alternately formed in the circumferential direction on the surface of the disk-shaped body, The position information of the magnetic layer pattern and / or the nonmagnetic layer pattern is preferably recorded in a part of the data area.

このように、サーボウェッジと、データエリアとが円周方向に交互に形成されており、サブパルスの情報がデータエリアの一部に記録されていれば、使用上便利である。   As described above, if the servo wedge and the data area are alternately formed in the circumferential direction, and the sub-pulse information is recorded in a part of the data area, it is convenient for use.

なお、通常の磁気記録媒体(スレーブディスク)は、サーボウェッジに位置決め情報等が記録されており、これ以外の部分(ギャップ)は書き込み情報を記録すべく設けられたものであるが、今後の需要動向によっては、データエリアにまで情報が記録されて供給(販売等)される態様も増大すると見込まれ、このようなリード・オンリー・ディスクの場合に有効である。   The normal magnetic recording medium (slave disk) has positioning information recorded on the servo wedge, and the other part (gap) is provided to record the write information. Depending on the trend, it is expected that the manner in which information is recorded and supplied (sales, etc.) to the data area will also increase, which is effective in the case of such a read-only disc.

また、本発明の磁気記録媒体において、前記円盤状体の表面において、位置決め情報が記録されたサーボウェッジと、書き込み情報を記録すべく設けられたギャップとが円周方向に交互に形成されており、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報が前記ギャップの一部に記録されていることが好ましい。   Further, in the magnetic recording medium of the present invention, servo wedges on which positioning information is recorded and gaps provided for recording write information are alternately formed in the circumferential direction on the surface of the disk-shaped body. Preferably, the positional information of the predetermined magnetic layer pattern and / or nonmagnetic layer pattern is recorded in a part of the gap.

このように、サーボウェッジと、ギャップとが円周方向に交互に形成されており、サブパルスの情報がギャップの一部に記録されていれば、使用上便利である。   Thus, it is convenient in use if servo wedges and gaps are alternately formed in the circumferential direction, and sub-pulse information is recorded in a part of the gap.

また、本発明は、前記の磁気記録媒体を磁気転写用のマスター媒体として用い、該マスター媒体と被転写用媒体とを密着させる密着工程と、磁界生成手段を設け、前記被転写用媒体と前記マスター媒体の円周方向に磁界を加え、前記マスター媒体の磁気パターンを前記被転写用媒体に転写させる磁気転写工程と、を備えることを特徴とする磁気転写方法を提供する。   In addition, the present invention uses the magnetic recording medium as a master medium for magnetic transfer, and provides an adhesion process for bringing the master medium and a medium to be transferred into close contact with each other, and a magnetic field generation unit, And a magnetic transfer step of applying a magnetic field in the circumferential direction of the master medium to transfer the magnetic pattern of the master medium to the medium to be transferred.

このような磁気記録媒体を磁気転写用のマスター媒体として用い、スレーブディスクへの磁気転写を行えば、サブパルスの情報が容易に読み取れるので、正確な磁気転写が行える。   If such a magnetic recording medium is used as a master medium for magnetic transfer and magnetic transfer to a slave disk is performed, subpulse information can be easily read, so that accurate magnetic transfer can be performed.

本発明の磁気転写方法において、前記密着工程の前に、前記被転写用媒体の円周方向に磁界を加え、該被転写用媒体を円周方向に初期直流磁化させる初期磁化工程を備えることが好ましい。このような初期磁化工程が設けられていれば、より正確な磁気転写が行える。   The magnetic transfer method of the present invention may include an initial magnetization step of applying a magnetic field in the circumferential direction of the medium to be transferred and initial DC magnetization of the medium to be transferred in the circumferential direction before the adhesion step. preferable. If such an initial magnetization step is provided, more accurate magnetic transfer can be performed.

また、本発明の磁気転写方法において、前記磁気転写工程の際に又は前記磁気転写工程の後に、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報より、前記磁気転写工程の際に発生するサブパルスを除去することが好ましい。このように、磁気転写工程の際に発生するサブパルスを除去できれば、正確な磁気転写が行える。   Further, in the magnetic transfer method of the present invention, during the magnetic transfer process, the position information of the predetermined magnetic layer pattern and / or nonmagnetic layer pattern is used during the magnetic transfer process or after the magnetic transfer process. It is preferable to remove the generated sub-pulse. Thus, if the sub-pulse generated during the magnetic transfer process can be removed, accurate magnetic transfer can be performed.

また、本発明は、前記の磁気記録媒体を磁気転写用のマスター媒体として用い、該マスター媒体を被転写用媒体とを密着させ、前記被転写用媒体と前記マスター媒体の円周方向に磁界を加え、前記マスター媒体の磁気パターンを磁気転写した前記被転写用媒体より前記磁気転写された磁気記録情報を磁気ヘッドにより読み出す磁気再生方法であって、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報より、前記磁気転写の際に発生したサブパルスを除去することを特徴とする磁気再生方法を提供する。   In the present invention, the magnetic recording medium is used as a master medium for magnetic transfer, the master medium is brought into close contact with the medium to be transferred, and a magnetic field is applied in a circumferential direction between the medium to be transferred and the master medium. In addition, there is provided a magnetic reproducing method for reading out the magnetic recording information magnetically transferred from the medium to be transferred by magnetic transfer of the magnetic pattern of the master medium by a magnetic head, wherein a predetermined magnetic layer pattern and / or nonmagnetic layer There is provided a magnetic reproducing method characterized in that sub-pulses generated during the magnetic transfer are removed from pattern position information.

このように、再生時に、サブパルスの位置情報より、磁気転写の際に発生したサブパルスを除去するのであれば、正確な磁気再生が行える。
る。
In this way, accurate magnetic reproduction can be performed if sub-pulses generated during magnetic transfer are removed from position information of sub-pulses during reproduction.
The

以上説明したように、本発明によれば、磁気転写を行う際のサブパルスの影響を除去でき、高密度記録に対応できる。   As described above, according to the present invention, it is possible to eliminate the influence of sub-pulses when performing magnetic transfer, and it is possible to cope with high-density recording.

以下、添付図面に従って、本発明に係る磁気記録媒体、磁気転写方法、及び磁気再生方法の好ましい実施の形態について詳説する。   Hereinafter, preferred embodiments of a magnetic recording medium, a magnetic transfer method, and a magnetic reproduction method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、磁気記録媒体である磁気転写用マスターディスク46の磁性層パターンを示した図である。このマスターディスク46の表面には、複雑な磁性層パターンにより構成されるサーボウェッジ10A、10A…(ハッチング部分)と、サーボウェッジ10A、10A…の間に形成されるギャップ10B、10B…と呼ばれる磁性層のほとんどない部分(白地部分)が交互に形成されている。なお、ギャップ10Bには、その先頭部分にサブパルスの位置情報に対応する磁性層パターンが形成されている。   FIG. 1 is a diagram showing a magnetic layer pattern of a magnetic transfer master disk 46 which is a magnetic recording medium. On the surface of the master disk 46, magnetism called a gap 10B, 10B,... Formed between the servo wedges 10A, 10A,. The portions with almost no layer (white background portions) are alternately formed. In the gap 10B, a magnetic layer pattern corresponding to the position information of the subpulse is formed at the head portion.

図2は、磁気転写用マスターディスク46、又はマスターディスク46により磁気転写された磁気ディスク(スレーブディスク)を回転させ、磁気ヘッドがサーボウェッジ10A、10A…を通過するときに再生される信号の波形を示したものである。図2において、期間T10Aの範囲がサーボウェッジ10Aの1ピッチ分の信号であり、期間T10Bはギャップ10Bの1ピッチ分の信号(信号なし)である。   FIG. 2 shows a waveform of a signal reproduced when the magnetic head is rotated or the magnetic disk magnetically transferred by the master disk 46 (slave disk) is rotated and the magnetic head passes through the servo wedges 10A, 10A. Is shown. In FIG. 2, the range of the period T10A is a signal for one pitch of the servo wedge 10A, and the period T10B is a signal for one pitch of the gap 10B (no signal).

サーボウェッジ10Aの1ピッチ分の信号は、先頭(図の左)より、最初のプリアンブル50、サーボタイミングマーク52、セクターアドレス54、シリンダーアドレス56、定周期のバースト信号58(58A、58B、58C、及び58Dの4種よりなる)、及び最後のプリアンブル60よりなる。   The signal for one pitch of the servo wedge 10A is the first preamble 50, the servo timing mark 52, the sector address 54, the cylinder address 56, and the burst signal 58 (58A, 58B, 58C, fixed cycle) from the top (left). And 58D), and the last preamble 60.

図3は、マスターディスク46の表面の微細な突起状パターンを示す部分拡大斜視図である。マスターディスク46は円盤状に形成され、基板47の片面に磁性層48による微細な突起状パターンが形成された転写情報担持面が形成されており、基板47の反対側の面が不図示の密着手段に保持されている。この微細な突起状パターンの形成は、後述するフォトファブリケーション法等によりなされる。このマスターディスク46の片面(転写情報担持面)は、スレーブディスク40と密着される。   FIG. 3 is a partially enlarged perspective view showing a fine protrusion pattern on the surface of the master disk 46. The master disk 46 is formed in a disk shape, and a transfer information carrying surface is formed on one surface of the substrate 47, on which a fine projection pattern is formed by the magnetic layer 48, and the opposite surface of the substrate 47 is in close contact with the unillustrated surface. Held in the means. The fine protrusion pattern is formed by a photofabrication method to be described later. One side (transfer information carrying surface) of the master disk 46 is in close contact with the slave disk 40.

微細な突起状パターンは、平面視で長方形であり、厚さtの磁性層48が形成された状態で、トラック方向(図中の太矢印方向)の長さbと、半径方向の長さlとよりなる。この長さbとlの最適値は、記録密度や記録信号波形等により異なるが、たとえば、長さbを80nmに、長さlを200nmにできる。   The fine protrusion pattern is rectangular in plan view, and in the state where the magnetic layer 48 having a thickness t is formed, the length b in the track direction (thick arrow direction in the figure) and the length l in the radial direction. And more. The optimum values of the lengths b and l vary depending on the recording density, the recording signal waveform, and the like. For example, the length b can be 80 nm and the length l can be 200 nm.

この微細な突起状パターンはサーボ信号の場合は、半径方向に長く形成される。この場合、たとえば、半径方向の長さlが0.05〜20μm、トラック方向(円周方向)の長さが0.05〜5μmであることが好ましい。この範囲で半径方向の方が長いパターンを選ぶことが、サーボ信号の情報を担持するパターンとしては好ましい。   In the case of a servo signal, this fine projection pattern is formed long in the radial direction. In this case, for example, the length l in the radial direction is preferably 0.05 to 20 μm, and the length in the track direction (circumferential direction) is preferably 0.05 to 5 μm. It is preferable to select a pattern having a longer radial direction within this range as a pattern carrying servo signal information.

基板47表面の微細な突起状パターンの深さ(突起の高さ)は、80〜800nmの範囲が好ましく、100〜600nmの範囲がより好ましい。   The depth of the fine projection pattern on the surface of the substrate 47 (projection height) is preferably in the range of 80 to 800 nm, and more preferably in the range of 100 to 600 nm.

以上のように、基板47表面の微細な突起状パターンの磁性層48が、磁性層パターンに該当し、微細な突起状パターン同士の間の凹部が非磁性層パターンに該当する。   As described above, the fine protrusion-shaped magnetic layer 48 on the surface of the substrate 47 corresponds to the magnetic layer pattern, and the recesses between the fine protrusion patterns correspond to the non-magnetic layer pattern.

マスターディスク46において、基板47がNi等を主体とした強磁性体の場合には、この基板47のみで磁気転写が可能であり、磁性層48は被覆しなくてもよいが、転写特性のよい磁性層48を設けることにより、より良好な磁気転写が行える。基板47が非磁性体の場合には、磁性層48を設けることが必要である。マスターディスク46の磁性層48は、保磁力Hcが48kA/m(≒600Oe)以下の軟磁性層であることが好ましい。   In the master disk 46, when the substrate 47 is a ferromagnetic material mainly composed of Ni or the like, magnetic transfer can be performed only by the substrate 47, and the magnetic layer 48 may not be covered, but the transfer characteristics are good. By providing the magnetic layer 48, better magnetic transfer can be performed. When the substrate 47 is a nonmagnetic material, it is necessary to provide the magnetic layer 48. The magnetic layer 48 of the master disk 46 is preferably a soft magnetic layer having a coercive force Hc of 48 kA / m (≈600 Oe) or less.

マスターディスク46の基板47としては、ニッケル、シリコン、石英ガラス等各種組成のガラス、アルミニウム、合金、各種組成のセラミックス、合成樹脂等が使用できる。この基板47表面の凹凸パターンの形成は、フォトファブリケーション法や、フォトファブリケーション法等で形成した原盤によるスタンパー法、等によって行える。   As the substrate 47 of the master disk 46, glass of various compositions such as nickel, silicon, quartz glass, aluminum, alloys, ceramics of various compositions, synthetic resins, and the like can be used. The uneven pattern on the surface of the substrate 47 can be formed by a photofabrication method, a stamper method using a master disk formed by a photofabrication method, or the like.

スタンパー法における原盤の形成は、たとえば、以下のように行える。表面が平滑なガラス板(又は石英ガラス板)の上にスピンコート法等によりフォトレジストの層を形成し、プレベーク後に、このガラス板を回転させながら、サーボ信号に対応して変調したレーザー光(又は電子ビーム)を照射し、フォトレジスト層の略全面に所定のパターン、たとえば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応する部分に露光する。   Formation of the master in the stamper method can be performed, for example, as follows. A photoresist layer is formed on a glass plate (or quartz glass plate) having a smooth surface by spin coating or the like, and after pre-baking, the laser plate is rotated in response to a servo signal while rotating the glass plate ( Or a portion corresponding to each frame on the circumference of a predetermined pattern, for example, a pattern corresponding to a servo signal extending linearly in the radial direction from the center of rotation to each track. To expose.

その後、フォトレジストの層を現像処理し、露光部分が除去されたフォトレジストの層により形成された凹凸形状を有するガラス原盤を得る。次いで、ガラス原盤の表面の凹凸パターンを基に、この表面にメッキ(電鋳)を施し所定厚さまで形成することにより、表面にポジ状の凹凸パターンを有するNi基板を作成する。そして、この基板をガラス原盤から剥離する。   Thereafter, the photoresist layer is developed to obtain a glass master having a concavo-convex shape formed by the photoresist layer from which the exposed portion has been removed. Next, based on the concavo-convex pattern on the surface of the glass master, the surface is plated (electroformed) to form a predetermined thickness, thereby creating a Ni substrate having a positive concavo-convex pattern on the surface. Then, the substrate is peeled from the glass master.

この基板をそのままプレス原盤とするか、凹凸パターン上に必要に応じて軟磁性層、保護膜等を被覆してプレス原盤とする。   This substrate is used as a press master as it is, or a soft master layer, a protective film, etc. are coated on the concavo-convex pattern as necessary to form a press master.

また、ガラス原盤にメッキを施して、電鋳により第2の原盤を作成し、この第2の原盤に更にメッキを施して、電鋳によりネガ状凹凸パターンを有する反転原盤を作成してもよい。更に、第2の原盤にメッキを施して電鋳を行うか、低粘度の樹脂を押し付けて硬化させるかした、第3の原盤を作成し、第3の原盤にメッキを施して電鋳を行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作成してもよい。   Alternatively, the glass master may be plated to create a second master by electroforming, and the second master may be further plated to create a reversing master having a negative uneven pattern by electroforming. . Furthermore, the second master is plated and electroformed, or a low-viscosity resin is pressed and cured to create a third master, and the third master is plated and electroformed. A substrate having a positive uneven pattern may be formed.

基板の材料としては、金属ではNi又はNi合金を使用することができる。この基板を作成するメッキ法としては、無電解メッキ、電鋳、スパッタリング、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法等が適用できる。   As the material of the substrate, Ni or Ni alloy can be used as the metal. As a plating method for producing this substrate, various metal film forming methods including electroless plating, electroforming, sputtering, and ion plating can be applied.

磁性層48(軟磁性層)の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。磁性層48の磁性材料としては、Co、Co合金(CoNi、CoNiZr、CoNbTaZr等)、Fe、Fe合金(FeCo、FeCoNi、FeNiMo、FeAlSi、FeAl、FeTaN)、Ni、Ni合金(NiFe)を用いることができる。特に、FeCo、FeCoNiが好ましく用いることができる。磁性層48の厚さtは、50nm〜500nmの範囲が好ましく、100nm〜400nmの範囲が更に好ましい。   The magnetic layer 48 (soft magnetic layer) is formed by depositing a magnetic material by a vacuum film forming means such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like. As the magnetic material of the magnetic layer 48, Co, Co alloy (CoNi, CoNiZr, CoNbTaZr, etc.), Fe, Fe alloy (FeCo, FeCoNi, FeNiMo, FeAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, Ni alloy (NiFe) should be used. Can do. In particular, FeCo and FeCoNi can be preferably used. The thickness t of the magnetic layer 48 is preferably in the range of 50 nm to 500 nm, and more preferably in the range of 100 nm to 400 nm.

なお、磁性層48の上にダイヤモンドライクカーボン等の保護膜を設けることが好ましく、保護膜の上に更に潤滑剤層を設けてもよい。この場合、保護膜として厚さが5〜30nmのダイヤモンドライクカーボン膜と潤滑剤層とする構成が好ましい。また、磁性層48と保護膜との間に、Si等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤は、スレーブディスク40との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などの耐久性の劣化を改善する効果を有する。   A protective film such as diamond-like carbon is preferably provided on the magnetic layer 48, and a lubricant layer may be further provided on the protective film. In this case, the protective film is preferably a diamond-like carbon film having a thickness of 5 to 30 nm and a lubricant layer. Further, an adhesion strengthening layer such as Si may be provided between the magnetic layer 48 and the protective film. The lubricant has an effect of improving the deterioration of durability such as the occurrence of scratches due to friction when correcting the deviation caused in the contact process with the slave disk 40.

マスターディスク46として、前記のプレス原盤を用いて樹脂基板を作製し、その表面に磁性層を設けて形成してもよい。樹脂基板の樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオレフィン及びポリエステルなどが使用できる。   The master disk 46 may be formed by producing a resin substrate using the above-mentioned press master and providing a magnetic layer on the surface thereof. As the resin material of the resin substrate, acrylic resin such as polycarbonate and polymethyl methacrylate, vinyl chloride resin such as polyvinyl chloride and vinyl chloride copolymer, epoxy resin, amorphous polyolefin, and polyester can be used.

このうち、耐湿性、寸法安定性及び価格などの点からポリカーボネートが好ましい。成形品にばりがある場合は、これをバーニシュ又は研磨加工により除去する。また、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを使用して、プレス原盤にスピンコート、バーコート等の塗布によりマスターディスク46を形成してもよい。樹脂基板のパターン突起の高さは、50〜1000nmの範囲が好ましく、100〜500nmの範囲が更に好ましい。   Of these, polycarbonate is preferable from the viewpoints of moisture resistance, dimensional stability, and price. If there is a flash in the molded product, it is removed by burnishing or polishing. Alternatively, the master disk 46 may be formed on the press master by spin coating, bar coating, or the like using an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like. The height of the pattern protrusions on the resin substrate is preferably in the range of 50 to 1000 nm, and more preferably in the range of 100 to 500 nm.

この樹脂基板の表面の微細パターンの上に磁性層48を被覆しマスターディスク46を得る。磁性層48の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法などによる成膜方法で行える。   A magnetic layer 48 is coated on the fine pattern on the surface of the resin substrate to obtain a master disk 46. The magnetic layer 48 can be formed by depositing a magnetic material using a vacuum deposition method such as vacuum deposition, sputtering, or ion plating, or a deposition method such as plating.

一方、マスターディスク46の形成方法の1種であるフォトファブリケーション法は、以下の手順で行う。先ず、たとえば、平板状の基板の平滑な表面にフォトレジストを塗布し、サーボ信号のパターンに応じたフォトマスクを用いた露光、現像処理により、情報に応じたパターンを形成させる。   On the other hand, the photofabrication method, which is one of the methods for forming the master disk 46, is performed according to the following procedure. First, for example, a photoresist is applied to a smooth surface of a flat substrate, and a pattern corresponding to information is formed by exposure and development processing using a photomask corresponding to a servo signal pattern.

次いで、エッチング工程により、パターンに応じて基板のエッチングを行い、磁性層48の厚さに相当する深さの穴を形成する。次いで、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法等により、形成した穴に対応した厚さで基板の表面まで磁性材料を成膜する。   Next, in the etching process, the substrate is etched according to the pattern to form a hole having a depth corresponding to the thickness of the magnetic layer 48. Next, a magnetic material is formed on the surface of the substrate with a thickness corresponding to the formed hole by a vacuum film formation method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like.

次いで、フォトレジストをリフトオフ法で除去し、表面を研磨して、ばりがある場合には、これを取り除くとともに、表面を平滑化する。   Next, the photoresist is removed by a lift-off method, and the surface is polished to remove any flash, and the surface is smoothed.

次に、スレーブディスク40(図4〜図7参照)について説明する。スレーブディスク40は、両面又は片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、マスターディスク46に密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起又は付着塵埃を除去するクリーニング処理(バーニッシィング等)が必要に応じて施される。また、スレーブディスク40には予め初期磁化が施される。この詳細は後述する。   Next, the slave disk 40 (see FIGS. 4 to 7) will be described. The slave disk 40 is a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk or a flexible disk having a magnetic recording layer formed on both sides or one side. Or the cleaning process (burnishing etc.) which removes adhering dust is given as needed. The slave disk 40 is preliminarily magnetized in advance. Details of this will be described later.

スレーブディスク40としては、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体が使用できる。スレーブディスク40の磁気記録層には、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層が採用できる。   As the slave disk 40, a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk or a high-density flexible disk can be used. As the magnetic recording layer of the slave disk 40, a coating type magnetic recording layer, a plating type magnetic recording layer, or a metal thin film type magnetic recording layer can be adopted.

金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Co、Co合金(CoPtCr、CoCr、CoPtCrTa、CoPtCrNbTa、CoCrB、CoNi等)、Fe、Fe合金(FeCo、FePt、FeCoNi)を用いることができる。これらは、磁束密度が大きいこと、磁界印加方向と同じ方向(面内記録なら面内方向)の磁気異方性を有していることより、明瞭な転写が行えるため好ましい。   As the magnetic material of the metal thin film type magnetic recording layer, Co, Co alloy (CoPtCr, CoCr, CoPtCrTa, CoPtCrNbTa, CoCrB, CoNi, etc.), Fe, Fe alloy (FeCo, FePt, FeCoNi) can be used. These are preferable because clear transfer can be performed because of high magnetic flux density and magnetic anisotropy in the same direction as the magnetic field application direction (in-plane direction for in-plane recording).

そして磁性材料の下(支持体側)に必要な磁気異方性を付与するために、非磁性の下地層を設けることが好ましい。この下地層には、結晶構造と格子定数を磁性層48に合わすことが必要である。そのためには、Cr、CrTi、CoCr、CrTa、CrMo、NiAl、Ru等を用いることが好ましい。   In order to provide the necessary magnetic anisotropy under the magnetic material (on the support side), it is preferable to provide a nonmagnetic underlayer. This underlayer needs to match the crystal structure and lattice constant to the magnetic layer 48. For that purpose, it is preferable to use Cr, CrTi, CoCr, CrTa, CrMo, NiAl, Ru or the like.

次に、磁気転写の概要について説明する。図4は磁気転写用マスターディスク46を使用して磁気転写を行うための磁気転写装置10の要部斜視図である。   Next, an outline of magnetic transfer will be described. FIG. 4 is a perspective view of a main part of the magnetic transfer apparatus 10 for performing magnetic transfer using the magnetic transfer master disk 46.

磁気転写時には図5(a)に示される後述する初期直流磁化を行った後のスレーブディスク40のスレーブ面(磁気記録面)を、マスターディスク46の情報担持面(磁性層48)に接触させ、所定の押圧力で密着させる。そして、このスレーブディスク40とマスターディスク46との密着状態で、磁界生成手段30により転写用磁界を印加して、マスターディスク46の凹凸パターンをスレーブディスク40に転写する。   At the time of magnetic transfer, the slave surface (magnetic recording surface) of the slave disk 40 after initial DC magnetization described later shown in FIG. 5A is brought into contact with the information carrying surface (magnetic layer 48) of the master disk 46, Adhere with a predetermined pressing force. Then, with the slave disk 40 and the master disk 46 in close contact with each other, a magnetic field for transfer is applied by the magnetic field generating means 30 to transfer the uneven pattern of the master disk 46 to the slave disk 40.

マスターディスク46による磁気転写は、スレーブディスク40の片面にマスターディスク46を密着させて片面に転写を行う場合と、図示しないが、スレーブディスク40の両面に一対のマスターディスク46を密着させて両面で同時転写を行う場合とがある。   The magnetic transfer by the master disk 46 is performed when the master disk 46 is brought into close contact with one side of the slave disk 40 and the transfer is performed with one side of the slave disk 40, although not shown, a pair of master disks 46 are brought into close contact with both sides of the slave disk 40. There are cases where simultaneous transfer is performed.

転写用磁界を印加する磁界生成手段30は、密着保持されたスレーブディスク40とマスターディスク46の半径方向に延びるギャップ31を有するコア32にコイル33が巻き付けられた電磁石装置34、34が上下両側に配設されており、上下で同じ方向にトラック方向と平行な磁力線を有する転写用磁界を印加する。   The magnetic field generating means 30 for applying the transfer magnetic field includes electromagnet devices 34, 34 each having a coil 33 wound around a core 32 having a gap 31 extending in the radial direction between the slave disk 40 and the master disk 46 held in close contact with each other. A transfer magnetic field having magnetic field lines parallel to the track direction is applied in the same direction in the vertical direction.

磁界印加時には、スレーブディスク40とマスターディスク46とを一体的に回転させつつ磁界生成手段30によって転写用磁界を印加させ、マスターディスク46の凹凸パターンをスレーブディスク40のスレーブ面に磁気的に転写する。なお、この構成以外に磁界生成手段の方を回転移動させるようにしてもよい。   When a magnetic field is applied, a magnetic field for transfer is applied by the magnetic field generating means 30 while rotating the slave disk 40 and the master disk 46 integrally, and the uneven pattern of the master disk 46 is magnetically transferred to the slave surface of the slave disk 40. . In addition to this configuration, the magnetic field generation means may be rotated.

転写用磁界は、最適転写磁界強度範囲(スレーブディスク40の保磁力Hcの0.6〜1.3倍)の最大値を超える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が1つのトラック方向で少なくとも1カ所以上存在し、これと逆向きのトラック方向の磁界強度が何れのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲内の最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させている。   The transfer magnetic field does not have any magnetic field strength exceeding the maximum value in the optimum transfer magnetic field strength range (0.6 to 1.3 times the coercive force Hc of the slave disk 40) in any of the track directions. There are at least one portion having a magnetic field strength within the range in one track direction, and the magnetic field strength in the opposite track direction is less than the minimum value in the optimum transfer magnetic field strength range at any position in the track direction. A magnetic field having a certain magnetic field intensity distribution is generated in a part of the track direction.

図5は、面内記録による磁気転写方法の基本工程を説明する説明図である。図6は、同じく斜視図である。先ず、図5(a)に示されるように、予めスレーブディスク40に初期磁界Hi をトラック方向の一方向に印加して初期磁化(直流消磁)を施しておく。   FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the basic steps of the magnetic transfer method using in-plane recording. FIG. 6 is a perspective view of the same. First, as shown in FIG. 5A, initial magnetization (DC demagnetization) is applied to the slave disk 40 by applying an initial magnetic field Hi in one direction in the track direction in advance.

次に、図5(b)及び図6に示されるように、このスレーブディスク40の記録面(磁気記録部)とマスターディスク46の凹凸パターンPが形成された情報担持面とを密着させ、スレーブディスク40のトラック方向に初期磁界Hi とは逆方向に転写用磁界Hd を印加して磁気転写を行う。転写用磁界Hd が凹凸パターンの凸部の磁性層48に吸い込まれてこの部分の磁化は反転せず、その他の部分の磁界が反転する結果、図5(c)及び図6に示されるように、スレーブディスク40の磁気記録面にはマスターディスク46の凹凸パターンが磁気的に転写記録される。   Next, as shown in FIGS. 5B and 6, the recording surface (magnetic recording portion) of the slave disk 40 and the information carrying surface of the master disk 46 on which the concave / convex pattern P is formed are brought into close contact with each other. Magnetic transfer is performed by applying a transfer magnetic field Hd in the direction opposite to the initial magnetic field Hi in the track direction of the disk 40. As shown in FIG. 5C and FIG. 6, the transfer magnetic field Hd is sucked into the magnetic layer 48 of the convex part of the concavo-convex pattern and the magnetization of this part is not reversed, and the magnetic field of the other part is reversed. The concave / convex pattern of the master disk 46 is magnetically transferred and recorded on the magnetic recording surface of the slave disk 40.

次に、本発明の特徴部分であるサブパルスの影響を除去する方法について説明する。図7は、サブパルスの影響を説明する説明図であり、(a)は、正常な磁気転写が行われた場合を示し、(b)は、正常な磁気転写が行われずに、正のパルス波形PPと負のパルス波形PNとの間に偽のパルスであるサブパルスPSを生じた場合を示す。 Next, a method for removing the influence of sub-pulses, which is a characteristic part of the present invention, will be described. 7A and 7B are explanatory diagrams for explaining the influence of the sub-pulse. FIG. 7A shows a case where normal magnetic transfer is performed, and FIG. 7B shows a positive pulse waveform without performing normal magnetic transfer. A case where a sub-pulse P S which is a false pulse is generated between P P and a negative pulse waveform P N is shown.

図7(a)においては、磁性層パターンの円周方向長さの最小値bのn倍である円周方向長さnbの非磁性層パターンがあっても、サブパルスPSの発生はなく、既述の図5及び図6に示されたように、正常な磁気転写が行われている。 In FIG. 7A, even if there is a nonmagnetic layer pattern having a circumferential length nb that is n times the minimum value b of the circumferential length of the magnetic layer pattern, no sub-pulse P S is generated. As shown in FIGS. 5 and 6 described above, normal magnetic transfer is performed.

一方、図7(b)においては、磁性層パターンの円周方向長さの最小値bのn倍である円周方向長さnbの非磁性層パターンにより、サブパルスPSが発生し、これにより対応する部分で磁化の反転を生じ、正常な磁気転写が行われない。 On the other hand, in FIG. 7 (b), the nonmagnetic layer pattern of circumferential length nb is n times the minimum value b of the circumferential length of the magnetic layer pattern, the sub-pulse P S is generated, thereby Magnetization reversal occurs in the corresponding part, and normal magnetic transfer is not performed.

このサブパルスPSを発生させるbのn倍の値は、マスターディスク46やスレーブディスク40の構成、磁気転写の条件(磁界強度等)、bの長さ等によって左右され、一概には言えないが、nが10以上であれば、ほぼ確実に発生し、nが8である場合であっても発生する場合がある。 The value of n times b for generating the sub-pulse P S depends on the configuration of the master disk 46 and the slave disk 40, magnetic transfer conditions (magnetic field strength, etc.), the length of b, etc. If n is 10 or more, it occurs almost certainly, and may occur even when n is 8.

したがって、磁気転写によってサブパルスPSが発生する条件の場合に、サブパルスPSの位置情報を磁気情報として記録しておけば、磁気ヘッドにより各種磁気情報を読み取った際にサブパルスPSの位置が容易に解り、このサブパルスPSの領域を消去したり、このサブパルスPSの領域を再生しないようにしたりすることにより、サブパルスの影響を排除できる。 Therefore, if the position information of the sub pulse P S is recorded as magnetic information under the condition that the sub pulse P S is generated by the magnetic transfer, the position of the sub pulse P S is easy when various magnetic information is read by the magnetic head. to understand, or clear an area of the sub-pulse P S, by or to not play the area of the sub-pulse P S, can eliminate the influence of sub-pulses.

この際、サブパルスPSの位置情報を磁気情報として記録するゾーンは、マスターディスク46であればギャップ10Bの先頭部分が好ましく、予め読み出し情報が記録されたスレーブディスク40(リード・オンリー・ディスク)であればデータエリアの先頭部分が好ましく、通常のスレーブディスク40であればギャップの先頭部分が好ましい。ただし、これ以外のゾーン、たとえば、ギャップやデータエリアの末尾部分であったり、サーボウェッジの一部に記録することもできる。 At this time, the zone where the position information of the sub-pulse P S is recorded as magnetic information is preferably the head portion of the gap 10B in the case of the master disk 46, and is a slave disk 40 (read-only disk) in which read information is recorded in advance. If there is, the head portion of the data area is preferable, and if it is a normal slave disk 40, the head portion of the gap is preferable. However, it can be recorded in other zones, for example, at the end of a gap or data area, or in a part of a servo wedge.

以上の構成によれば、磁気転写を行う際のサブパルスの影響を除去でき、高密度記録に対応できる。   According to the above configuration, it is possible to eliminate the influence of sub-pulses when performing magnetic transfer, and to cope with high-density recording.

なお、スレーブディスク40は、磁気記録装置(ハードディスクドライブ)に組み込んで好適に使用できる。これに使用されるハードディスクドライブとしては、各ドライブメーカーより販売されている公知の各種装置を使用すればよい。   The slave disk 40 can be suitably used by being incorporated in a magnetic recording device (hard disk drive). As the hard disk drive used for this, various known devices sold by each drive manufacturer may be used.

以上、本発明に係る磁気記録媒体、磁気転写方法、及び磁気再生方法の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。   As described above, the embodiments of the magnetic recording medium, the magnetic transfer method, and the magnetic reproduction method according to the present invention have been described.

たとえば、上記実施形態においては、図3に示されるように、マスターディスク46の基板47の表面の微細な突起状パターンの磁性層48(磁性層パターンに該当)と、微細な突起状パターン同士の間の凹部(非磁性層パターンに該当)とで転写情報担持面となっているが、これ以外の態様をも採り得る。   For example, in the above embodiment, as shown in FIG. 3, the magnetic layer 48 (corresponding to the magnetic layer pattern) of the fine projection pattern on the surface of the substrate 47 of the master disk 46 and the fine projection pattern The concave portion (corresponding to the nonmagnetic layer pattern) between them forms a transfer information carrying surface, but other modes can also be adopted.

図8は、この例を示すマスターディスク46の部分拡大断面図である。このうち(a)は、非磁性の平坦な基板47の表面に微細な突起状パターンの磁性層48が形成され、磁性層48同士の間が非磁性層パターンとなっている態様であり、(b)は、非磁性の基板47の表面に微細なパターンの磁性層48が埋め込まれて形成され、磁性層48同士の間が非磁性層パターンとなっており、基板47の表面が平坦となっている態様である。このような態様のマスターディスク46であっても、本発明は好適に適用できる。   FIG. 8 is a partial enlarged cross-sectional view of the master disk 46 showing this example. Among these, (a) is an aspect in which a magnetic layer 48 having a fine protrusion pattern is formed on the surface of a nonmagnetic flat substrate 47, and a space between the magnetic layers 48 is a nonmagnetic layer pattern. In b), a magnetic layer 48 having a fine pattern is embedded in the surface of the nonmagnetic substrate 47, and a nonmagnetic layer pattern is formed between the magnetic layers 48, so that the surface of the substrate 47 becomes flat. It is the aspect which is. The present invention can be suitably applied even to the master disk 46 having such an aspect.

磁気転写用マスターディスクの磁性層パターンを示した図The figure which showed the magnetic layer pattern of the master disk for magnetic transfer 磁気ヘッドがサーボウェッジを通過するときに再生される信号の波形を示した図The figure which showed the waveform of the signal reproduced when a magnetic head passes a servo wedge マスターディスクの表面の微細な突起状パターンを示す部分拡大斜視図Partial enlarged perspective view showing fine protrusion pattern on the surface of the master disk 磁気転写装置の要部斜視図Perspective view of main part of magnetic transfer device 磁気転写方法の基本工程を説明する説明図Explanatory drawing explaining the basic process of the magnetic transfer method 磁気転写方法の基本工程を示す斜視図Perspective view showing basic steps of magnetic transfer method サブパルスの影響を説明する説明図Explanatory drawing explaining the influence of subpulse 他の例を示すマスターディスクの部分拡大断面図Partial enlarged sectional view of a master disk showing another example 転写信号のパルス波形を示す図Diagram showing pulse waveform of transfer signal

符号の説明Explanation of symbols

10…磁気転写装置、30…磁界生成手段、31…ギャップ、32…コア、33…コイル、34…電磁石装置、40…スレーブディスク(被転写用ディスク)、46…マスターディスク、PS…サブパルス
10 ... magnetic transfer apparatus, 30 ... magnetic field generating means, 31 ... gap, 32 ... core, 33 ... coil, 34 ... electromagnet device 40 ... slave disk (disk for the transfer), 46 ... master disk, P S ... subpulse

Claims (7)

複数個の磁性層パターンと、該磁性層パターン同士の間に設けられた非磁性層パターンとが交互に表面に形成され、これにより磁気情報が記録された円盤状体の磁気記録媒体であって、
前記磁性層パターン及び/又は前記非磁性層パターンの円周方向長さの最小値がbであり、所定の前記磁性層パターン及び/又は前記非磁性層パターンの円周方向長さがbより大きく、かつ磁気ヘッドにより読み取った際に読み取りエラーとなるサブパルスを発生させる円周方向長さである場合に、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報が磁気情報として記録されていることを特徴とする磁気記録媒体。
A disk-shaped magnetic recording medium in which a plurality of magnetic layer patterns and nonmagnetic layer patterns provided between the magnetic layer patterns are alternately formed on the surface, thereby recording magnetic information. ,
The minimum value of the circumferential length of the magnetic layer pattern and / or the nonmagnetic layer pattern is b, and the circumferential length of the predetermined magnetic layer pattern and / or the nonmagnetic layer pattern is larger than b. In addition, when the length is in the circumferential direction that generates a sub-pulse that causes a reading error when read by the magnetic head, the positional information of the predetermined magnetic layer pattern and / or nonmagnetic layer pattern is recorded as magnetic information. A magnetic recording medium comprising:
前記円盤状体の表面において、位置決め情報が記録されたサーボウェッジと、読み出し情報が記録されたデータエリアとが円周方向に交互に形成されており、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報が前記データエリアの一部に記録されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。   Servo wedges in which positioning information is recorded and data areas in which read information is recorded are alternately formed in the circumferential direction on the surface of the disk-like body, and a predetermined magnetic layer pattern and / or non-magnetic layer in the previous period. 2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein position information of a layer pattern is recorded in a part of the data area. 前記円盤状体の表面において、位置決め情報が記録されたサーボウェッジと、書き込み情報を記録すべく設けられたギャップとが円周方向に交互に形成されており、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報が前記ギャップの一部に記録されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。   Servo wedges in which positioning information is recorded and gaps provided for recording write information are alternately formed in the circumferential direction on the surface of the disk-shaped body, and a predetermined magnetic layer pattern and / or 2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein position information of the nonmagnetic layer pattern is recorded in a part of the gap. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁気記録媒体を磁気転写用のマスター媒体として用い、該マスター媒体と被転写用媒体とを密着させる密着工程と、
磁界生成手段を設け、前記被転写用媒体と前記マスター媒体の円周方向に磁界を加え、前記マスター媒体の磁気パターンを前記被転写用媒体に転写させる磁気転写工程と、
を備えることを特徴とする磁気転写方法。
Using the magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 3 as a master medium for magnetic transfer, an adhesion step for bringing the master medium and a medium to be transferred into close contact with each other;
A magnetic transfer step of providing a magnetic field generating means, applying a magnetic field in a circumferential direction of the medium to be transferred and the master medium, and transferring a magnetic pattern of the master medium to the medium to be transferred;
A magnetic transfer method comprising:
前記密着工程の前に、前記被転写用媒体の円周方向に磁界を加え、該被転写用媒体を円周方向に初期直流磁化させる初期磁化工程を備えることを特徴とする請求項4に記載の磁気転写方法。   5. The method according to claim 4, further comprising an initial magnetization step of applying a magnetic field in a circumferential direction of the medium to be transferred and performing initial direct current magnetization in the circumferential direction before the adhesion step. Magnetic transfer method. 前記磁気転写工程の際に又は前記磁気転写工程の後に、前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報より、前記磁気転写工程の際に発生するサブパルスを除去することを特徴とする請求項4又は5に記載の磁気転写方法。   In the magnetic transfer process or after the magnetic transfer process, sub-pulses generated during the magnetic transfer process are removed from position information of a predetermined magnetic layer pattern and / or nonmagnetic layer pattern in the previous period. The magnetic transfer method according to claim 4 or 5. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁気記録媒体を磁気転写用のマスター媒体として用い、該マスター媒体を被転写用媒体とを密着させ、前記被転写用媒体と前記マスター媒体の円周方向に磁界を加え、前記マスター媒体の磁気パターンを磁気転写した前記被転写用媒体より前記磁気転写された磁気記録情報を磁気ヘッドにより読み出す磁気再生方法であって、
前期所定の磁性層パターン及び/又は非磁性層パターンの位置情報より、前記磁気転写の際に発生したサブパルスを除去することを特徴とする磁気再生方法。
A magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 3 is used as a master medium for magnetic transfer, the master medium is brought into close contact with a medium to be transferred, and a circle between the medium to be transferred and the master medium. A magnetic reproducing method of applying a magnetic field in the circumferential direction and reading out the magnetically transferred magnetic recording information from the medium to be transferred from the magnetic recording medium on which the magnetic pattern of the master medium is magnetically transferred,
A magnetic reproducing method comprising removing sub-pulses generated during the magnetic transfer from position information of a predetermined magnetic layer pattern and / or non-magnetic layer pattern in the previous period.
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