JP2007024983A - Photosetting composition, color filter and method for manufacturing the same - Google Patents

Photosetting composition, color filter and method for manufacturing the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosetting composition using a dye and giving a sufficient color value, sensitivity and curing property and excellent rectangularity and developing property of a pattern, and to provide a color filter and a method for manufacturing the color filter having a sufficient color value and excellent rectangularity of a pattern. <P>SOLUTION: The photosetting composition contains at least an acidic dye, a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator, wherein the content of the dye is 40 mass% or more with respect to the entire solid content, and the total content of the dye, the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator is 90 mass% or more with respect to the entire solid content. The color filter and the method for manufacturing the color filter use the above composition. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタを構成する着色画像の形成に好適な光硬化性組成物、並びに該光硬化性組成物を用いたカラーフィルタおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a photocurable composition suitable for forming a colored image constituting a color filter used in a liquid crystal display element (LCD), a solid-state image sensor (CCD, CMOS, etc.), and the like. The present invention relates to a used color filter and a method for manufacturing the same.

液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。   As a method for producing a color filter used for a liquid crystal display device or a solid-state imaging device, a dyeing method, a printing method, an electrodeposition method, and a pigment dispersion method are known.

このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。   Among these, the pigment dispersion method is a method for producing a color filter by a photolithography method using a colored radiation-sensitive composition in which a pigment is dispersed in various photosensitive compositions. It has the advantage of being stable to heat and the like. Further, since patterning is performed by a photolithography method, it has been widely used as a suitable method for manufacturing a color filter for a large-screen, high-definition color display with high positional accuracy.

顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布し乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光・現像することによって着色された画素が形成され、この操作を各色ごとに繰り返し行なうことでカラーフィルタを得ることができる。   When producing a color filter by a pigment dispersion method, a radiation sensitive composition is applied on a glass substrate by a spin coater or a roll coater and dried to form a coating film, and the coating film is subjected to pattern exposure and development. Colored pixels are formed, and a color filter can be obtained by repeating this operation for each color.

前記顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物が記載されたものがある(例えば、特許文献1〜4参照。)。   Examples of the pigment dispersion method include a negative photosensitive composition in which a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator are used in combination with an alkali-soluble resin (see, for example, Patent Documents 1 to 4).

近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては更なる高精細化が望まれている。しかしながら、従来の顔料分散系では解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子により色ムラが発生する等の問題がある。このため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。   In recent years, there has been a demand for higher definition in color filters for solid-state imaging devices. However, it is difficult to further improve the resolution in the conventional pigment dispersion system, and there is a problem that color unevenness occurs due to the coarse particles of the pigment. For this reason, it was not suitable for uses requiring a fine pattern such as a solid-state imaging device.

かかる問題を解決すべく、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている(例えば、特許文献5参照。)。しかしながら、一般的に染料を含有する硬化性組成物は、例えば、耐光性、耐熱性、溶解性、塗布均一性など様々な性能につき、顔料を用いた硬化性組成物に比べて劣るという問題があった。   In order to solve such a problem, a technique of using a dye instead of a pigment has been conventionally proposed (for example, see Patent Document 5). However, in general, a curable composition containing a dye is inferior to a curable composition using a pigment in terms of various properties such as light resistance, heat resistance, solubility, and coating uniformity. there were.

特に、固体撮像素子(イメージセンサ)用カラーフィルタは、シェーディングの改良、デバイスの小型化に対応すべく、厚さを1.5μm以下に薄膜化させる傾向にある。しかし、このような薄膜化をおこなうと、膜中に含有させる着色剤の含有量も必然的に低下するため、色特性(色価)の面で問題が出てくる。このような傾向は、着色剤として顔料を用いた場合よりも、染料を用いた場合に特に顕著である。   In particular, color filters for solid-state imaging devices (image sensors) tend to be thinned to a thickness of 1.5 μm or less in order to cope with improved shading and device miniaturization. However, when such a thin film is formed, the content of the colorant contained in the film is inevitably lowered, which causes a problem in terms of color characteristics (color value). Such a tendency is particularly remarkable when a dye is used rather than when a pigment is used as a colorant.

即ち、有機顔料を用いた場合には、結晶状に発色団となる分子がカラーフィルタ中に凝集した状態で存在しているのに対して、染料を用いた場合には、分子分散した状態で存在しており、しかも耐久性や耐光性を高めるために、発色団分子の他にそれらの特性を改良するための分子鎖が結合していることから、発色団となる分子鎖がさらに希釈され、その分だけ色価が低下してしまう。   That is, when an organic pigment is used, the molecules that form a chromophore are present in an aggregated state in the color filter, whereas when a dye is used, the molecules are dispersed in a molecular state. In addition to the chromophore molecules, molecular chains that improve their properties are bound to increase durability and light resistance, so the molecular chains that become chromophores are further diluted. , The color value will decrease by that much.

以上のように、固体撮像素子においてカラーフィルタの薄膜化の要求に応えるためには、カラーフィルタ中の着色剤の含有比率を高める必要がある。この要求は着色剤として顔料を用いた場合よりも染料を用いた場合において、特に重要である。   As described above, in order to meet the demand for thinning the color filter in the solid-state imaging device, it is necessary to increase the content ratio of the colorant in the color filter. This requirement is particularly important when dyes are used rather than when pigments are used as colorants.

しかしながら、着色剤の含有比率を高めることは必然的に組成物中に含有させる他の成分の比率を減少させることになる。この場合、当然のこととして他の成分の比率を低下させると、光硬化性やアルカリ現像性が低下してしまうことから、着色剤の含有比率の向上にも限界があった。特に、着色剤として染料を用いる場合には、顔料を用いた場合以上に薄膜化に伴う色度の低下が著しく、色度以外の実用特性とのバランスを図ることが非常に困難であった。   However, increasing the content ratio of the colorant inevitably decreases the ratio of other components contained in the composition. In this case, as a matter of course, when the ratio of the other components is lowered, the photocurability and the alkali developability are lowered, so that there is a limit to the improvement of the content ratio of the colorant. In particular, when a dye is used as a colorant, the chromaticity is significantly reduced as the film is made thinner than when a pigment is used, and it is very difficult to achieve a balance with practical characteristics other than chromaticity.

特開平2−181704号公報JP-A-2-181704 特開平2−199403号公報JP-A-2-199403 特開平5−273411号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-273411 特開平7−140654号公報JP-A-7-140654 特開平6−75375号公報JP-A-6-75375

本発明の目的は染料を使用し、十分な色価、感度および硬化性が得られ、且つ、パターンの矩形性および現像性に優れた光硬化性組成物を提供することにある。また、本発明は、十分な色価を有し、パターンの矩形性に優れたカラーフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a photocurable composition that uses a dye, has a sufficient color value, sensitivity, and curability, and is excellent in pattern rectangularity and developability. Another object of the present invention is to provide a color filter having a sufficient color value and excellent pattern rectangularity, and a method for producing the same.

前記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 少なくとも、染料と、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む光硬化性組成物であって、前記染料の含有量が全固形分に対して40質量%以上であり、且つ、前記染料、前記光重合性化合物および前記光重合開始剤の総含有量が、全固形分に対して90質量%以上であることを特徴とする光硬化性組成物である。
Specific means for solving the above problems are as follows.
<1> A photocurable composition containing at least a dye, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator, wherein the content of the dye is 40% by mass or more based on the total solid content. And the total content of the said dye, the said photopolymerizable compound, and the said photoinitiator is 90 mass% or more with respect to the total solid, It is a photocurable composition characterized by the above-mentioned.

<2> 前記染料の35質量%以上が、酸性染料であることを特徴とする前記<1>の光硬化性組成物である。   <2> The photocurable composition according to <1>, wherein 35% by mass or more of the dye is an acidic dye.

<3> 支持体上に画素を有し、前記画素は、前記<1>または<2>の光硬化性組成物を用いて形成された塗布膜を、アルカリ現像を用いたフォトリソ法によってパターニングすることで得られることを特徴とするカラーフィルタである。   <3> A pixel is provided on a support, and the pixel patterns a coating film formed using the photocurable composition according to <1> or <2> by a photolithography method using alkali development. It is a color filter characterized by being obtained by this.

<4> 波長400nm〜700nmの範囲において、最小透過率が10%以下で、かつ、前記波長範囲おける最大透過率と該最小透過率との差が75%以上であることを特徴とする前記<3>のカラーフィルタである。   <4> In the wavelength range of 400 nm to 700 nm, the minimum transmittance is 10% or less, and the difference between the maximum transmittance and the minimum transmittance in the wavelength range is 75% or more. 3> color filter.

<5> 前記画素の厚みが1.5μm以下であることを特徴とする前記<3>または<4>のカラーフィルタである。   <5> The color filter according to <3> or <4>, wherein the pixel has a thickness of 1.5 μm or less.

<6> 前記画素の最大辺の長さが5.0μm以下であることを特徴とする前記<3〜5>のカラーフィルタである。   <6> The color filter according to <3-5>, wherein a length of a maximum side of the pixel is 5.0 μm or less.

<7> 支持体上に前記<1>または<2>の光硬化性組成物を用いて塗布膜を形成し、アルカリ現像を用いたフォトリソ法によって前記塗布膜をパターニングして画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。   <7> Forming a coating film on the support using the photocurable composition <1> or <2>, and patterning the coating film by photolithography using alkali development to form pixels. A method for producing a color filter characterized by the above.

本発明によれば、染料を使用し、十分な色価、感度および硬化性が得られ、且つ、パターンの矩形性および現像性に優れた光硬化性組成物を提供することにある。また、本発明は、十分な色価を有し、パターンの矩形性に優れたカラーフィルタおよびその製造方法を提供することができる。   An object of the present invention is to provide a photocurable composition that uses a dye, has a sufficient color value, sensitivity, and curability, and is excellent in pattern rectangularity and developability. In addition, the present invention can provide a color filter having a sufficient color value and excellent pattern rectangularity, and a method for producing the same.

以下、本発明の光硬化性組成物、並びに該光硬化性組成物を用いて構成されるカラーフィルタおよびその製造方法について詳述する。   Hereinafter, the photocurable composition of the present invention, a color filter formed using the photocurable composition, and a production method thereof will be described in detail.

《光硬化性組成物》
本発明の光硬化性組成物は、少なくとも、染料と、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む光硬化性組成物であって、前記染料の含有量が全固形分に対して40質量%以上であり、且つ、前記染料、前記光重合性化合物および前記光重合開始剤の総含有量が、全固形分に対して90質量%以上であることを特徴とし、必要に応じてアルカリ可溶性樹脂や有機溶剤を含んで構成される。
本発明の光硬化性組成物は、前記染料の含有量が全固形分に対して40質量%以上であり、且つ、前記染料、前記光重合性化合物および前記光重合開始剤の総含有量が、全固形分に対して90質量%以上であることから、アルカリ可溶性樹脂を実質的に使用しないため、染料の含有量が全固形分に対して40質量%と多くなっていても、硬化性成分である光重合性化合物および光重合開始剤の含有量を維持することができる。これにより、カラーフィルタの塗布膜としての実用特性(色価、感度、硬化性等)を確保し、得られるカラーフィルタの画素の色価およびパターンプロファイル(パターンの矩形性)を良好なものにすることができる。
<< Photocurable composition >>
The photocurable composition of the present invention is a photocurable composition containing at least a dye, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator, wherein the content of the dye is based on the total solid content. 40% by mass or more, and the total content of the dye, the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator is 90% by mass or more based on the total solid content. And an alkali-soluble resin and an organic solvent.
In the photocurable composition of the present invention, the content of the dye is 40% by mass or more based on the total solid content, and the total content of the dye, the photopolymerizable compound, and the photopolymerization initiator is Since the alkali-soluble resin is not substantially used since it is 90% by mass or more based on the total solid content, the curability is high even if the content of the dye is as large as 40% by mass based on the total solid content. The content of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator, which are components, can be maintained. As a result, practical characteristics (color value, sensitivity, curability, etc.) of the color filter as a coating film are ensured, and the color value and pattern profile (pattern rectangularity) of the pixel of the obtained color filter are improved. be able to.

上述の通り、本発明の光硬化性組成物中における、染料、光重合性化合物および光重合開始剤の総含有量は、全固形分に対して90質量%以上である。換言すると、本発明の光硬化性組成物中における、染料、光重合性化合物および光重合開始剤以外の固形成分の総含有量は、10質量%未満である。前記染料、光重合性化合物および光重合開始剤の総含有量が、全固形分に対して90質量%未満であると、色価、感度および硬化性等を十分に向上させることができない。前記光重合性化合物および光重合開始剤の総含有量は、全固形分に対して93質量%以上であることが好ましく、95質量%以上であることが更に好ましい。   As above-mentioned, the total content of dye, a photopolymerizable compound, and a photoinitiator in the photocurable composition of this invention is 90 mass% or more with respect to the total solid. In other words, the total content of solid components other than the dye, the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photocurable composition of the present invention is less than 10% by mass. When the total content of the dye, the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator is less than 90% by mass with respect to the total solid content, the color value, sensitivity, curability and the like cannot be sufficiently improved. The total content of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator is preferably 93% by mass or more, more preferably 95% by mass or more based on the total solid content.

また、本発明の光硬化性組成物は、全染料に対して35質量%以上を酸性染料とすることが好ましい。これにより、アルカリ現像性を維持することができ、得られるパターンの矩形性および現像性を良好にすることができる。
以下、本発明の光硬化性組成物に含まれる各成分について説明する。
Moreover, it is preferable that the photocurable composition of this invention makes 35 mass% or more an acidic dye with respect to all the dyes. Thereby, alkali developability can be maintained and the rectangularity and developability of the pattern obtained can be made favorable.
Hereinafter, each component contained in the photocurable composition of the present invention will be described.

(染料)
本発明における染料としては、有機溶剤可溶性染料等を特に制限なく使用することができ、例えば、従来カラーフィルタ用として公知の染料などが挙げられる。前記公知の染料としては、例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の色素が挙げられる。また、化学構造の観点からは、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等が挙げられる。本発明における染料として特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料が挙げられる。
(dye)
As the dye in the present invention, an organic solvent-soluble dye or the like can be used without particular limitation, and examples thereof include conventionally known dyes for color filters. Examples of the known dye include, for example, JP-A 64-90403, JP-A 64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, JP-T-2592207, US Patent. No. 4,808,501, U.S. Pat.No. 5,667,920, U.S. Pat.No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, Examples thereof include dyes described in JP-A-6-51115 and JP-A-6-194828. From the viewpoint of chemical structure, triphenylmethane, anthraquinone, benzylidene, oxonol, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, xanthene, phthalocyanine, benzopyran, indigo, etc. can be mentioned. . Particularly preferable dyes in the present invention include pyrazole azo dyes, anilinoazo dyes, pyrazolotriazole azo dyes, pyridone azo dyes, anthraquinone dyes, and anthrapyridone dyes.

また、水またはアルカリ現像を行うレジスト系の場合には現像によりバインダーおよび/または染料を完全に除去するという観点から、本発明における染料として酸性染料および/またはその誘導体を好適に使用できることがある。そのほか、本発明における染料としては、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/またはこれらの誘導体等も好適に使用することができる。   In the case of a resist system that performs water or alkali development, an acid dye and / or a derivative thereof may be preferably used as the dye in the present invention from the viewpoint of completely removing the binder and / or dye by development. In addition, direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof may be suitably used as the dye in the present invention. it can.

(酸性染料)
本発明の光硬化性組成物においては、パターンの矩形性を向上させる観点から、全染料の35質量%以上が酸性染料であることが好ましく、45質量%以上が酸性染料であることが更に好ましく、60質量%以上が酸性染料であることが特に好ましい。
前記酸性染料について説明する。酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
(Acid dyes)
In the photocurable composition of the present invention, from the viewpoint of improving the rectangularity of the pattern, 35% by mass or more of the total dye is preferably an acid dye, and more preferably 45% by mass or more is an acid dye. 60% by mass or more is particularly preferably an acid dye.
The acid dye will be described. The acidic dye is not particularly limited as long as it is a dye having an acidic group such as sulfonic acid, carboxylic acid, phenolic hydroxyl group, etc., but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, curability. It is selected in consideration of all required performance such as interaction with other components in the composition, light resistance, heat resistance and the like.

以下、前記酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明における酸性染料はこれらに限定されるものではない。例えば、
Acid Black 24;
Acid Blue 1,7,9,15,83,86,90,103,108,113,120,249,;
Acid Green 1,3,5,9,16,50;
Acid Orange 7,8,10,12,50,51,52,63;
Hereinafter, specific examples of the acid dye will be given. However, the acidic dye in the present invention is not limited to these. For example,
Acid Black 24;
Acid Blue 1,7,9,15,83,86,90,103,108,113,120,249,
Acid Green 1, 3, 5, 9, 16, 50;
Acid Orange 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 63;

Acid Red 4,8,14,17,18,26,27,51,66,73,80,87,88,91,92,94,103,111,114,145,150,151;
Acid Violet 9,17,49;
Acid Yellow 1,7,9,11,17,23,34,36,38,40,65,72,76,135,228;
Acid Red 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 51, 66, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 103, 111, 114, 145, 150, 151;
Acid Violet 9, 17, 49;
Acid Yellow 1,7,9,11,17,23,34,36,38,40,65,72,76,135,228;

Direct Yellow 34;
Direct Orange 41,61,70;
Direct Violet 54;
Direct Blue 86,108,109,199;
Mordant Yellow 8,10,20;
Mordant Red 9,32;
Mordant Violet 2,41;
Mordant Blue 1,3;
Mordant Green 4;
Food Yellow 3;
Direct Yellow 34;
Direct Orange 41, 61, 70;
Direct Violet 54;
Direct Blue 86, 108, 109, 199;
Modern Yellow 8, 10, 20;
Modern Red 9, 32;
Modern Violet 2,41;
Modern Blue 1,3;
Modern Green 4;
Food Yellow 3;

Solvent Yellow 14;
Solvent Orange 2,7,15;
Solvent Red 49;
Valifast Blue 2620
およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
Solvent Yellow 14;
Solvent Orange 2, 7, 15;
Solvent Red 49;
Valentine Blue 2620
And derivatives of these dyes.

前記酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることができるものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。   As the derivative of the acid dye, an inorganic salt of an acid dye having an acid group such as sulfonic acid or carboxylic acid, a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound, a sulfonamide of an acid dye, or the like can be used, and a curable composition It is not particularly limited as long as it can be dissolved as a solution, but it needs solubility, absorbance, interaction with other components in the curable composition, light resistance, heat resistance, etc. in an organic solvent or developer. It is selected in consideration of all the performance to be performed.

前記酸性染料と含窒素化合物との塩について説明する。酸性染料と含窒素化合物との塩を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性および耐光性改良に効果的な場合がある。   The salt of the acidic dye and the nitrogen-containing compound will be described. The method of forming a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound may be effective for improving the solubility of the acid dye (providing solubility in an organic solvent) and improving heat resistance and light resistance.

酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、および酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。
含窒素化合物は、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性および耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
The nitrogen-containing compound that forms a salt with the acid dye and the nitrogen-containing compound that forms an amide bond with the acid dye will be described.
Nitrogen-containing compounds are the solubility of salts or amide compounds in organic solvents and developers, salt-forming properties, dye absorbance / color value, interaction with other components in the curable composition, and heat resistance as a colorant. In addition, it is selected in consideration of all of light resistance and the like. When selecting only in terms of absorbance and color value, the nitrogen-containing compound is preferably as low as possible in molecular weight, more preferably having a molecular weight of 300 or less, more preferably having a molecular weight of 280 or less, and a molecular weight of 250 or less. Those are particularly preferred.

酸性染料と含窒素化合物との塩における、含窒素化合物/酸性染料のモル比(以下、「n」という。)について説明する。前記nは、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0<n≦5の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、前記nは0<n≦4.5の間の数値をとることが好ましく、0<n≦4の間の数値をとることがさらに好ましく、0<n≦3.5の間の数値をとることが特に好ましい。   The molar ratio (hereinafter referred to as “n”) of the nitrogen-containing compound / acid dye in the salt of the acid dye and the nitrogen-containing compound will be described. Said n is a value which determines the molar ratio of an acidic dye molecule and the amine compound which is a counter ion, and can be freely selected according to the salt forming conditions of the acidic dye-amine compound. Specifically, a number between 0 <n ≦ 5 of the number of functional groups of the acid in the acid dye is practically used, and the solubility in organic solvents and developers, salt formation, absorbance, and curable composition It is selected in consideration of all necessary performance such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like. When selecting from the standpoint of absorbance only, n is preferably a value between 0 <n ≦ 4.5, more preferably a value between 0 <n ≦ 4, and 0 <n. It is particularly preferable to take a numerical value between ≦ 3.5.

前記に示した酸性染料はその構造上酸性基を導入したことにより、酸性染料となっていることから、その置換基を変更することにより、非酸性染料とすることができる。
酸性染料は、アルカリ現像の際に好適に作用する場合もあるが、一方で過現像となってしまうこともあり、非酸性染料を好適に使用する場合もある。
これら染料は、補色系であるイエロー、マゼンタおよびシアンを構成させるときはそれぞれ単色の染料を用いるが、原色系であるレッド、グリーン、ブルーを構成させる場合には、二種類以上の染料を組合わせを用いる。本発明においては、二種類以上の染料を組合わせて原色系を組上げることが好ましい。
Since the acidic dye shown above is an acidic dye due to the introduction of an acidic group in its structure, it can be made a non-acidic dye by changing its substituent.
In some cases, the acid dye works favorably during alkali development, but on the other hand, it may become over-developed, and a non-acid dye may be preferably used.
These dyes use single-color dyes when forming the complementary colors of yellow, magenta, and cyan, respectively. When forming the primary colors of red, green, and blue, two or more dyes are combined. Is used. In the present invention, it is preferable to assemble a primary color system by combining two or more kinds of dyes.

また、本発明の光硬化性組成物において、全固形成分中における前記染料の含有量は40質量%以上である。前記染料の含有量が40質量%未満であると、画素の膜厚を1.5μm以下とした場合に、充分な色濃度が得られず、例えば、それを用いたイメージセンサの色分離性を低下させてしまう。前記染料の含有量としては、全固形分に対して45質量%以上であることが好ましく、50質量%であることが更に好ましい。また、前記染料の含有量の上限は特に限定はないが、硬化性および感度の低下を防止すべく、光重合性化合物および光重合開始剤の含有量をある程度確保する観点から、80質量%以下であることが好ましく、70質量%以下が更に好ましい。   In the photocurable composition of the present invention, the content of the dye in all solid components is 40% by mass or more. When the content of the dye is less than 40% by mass, a sufficient color density cannot be obtained when the film thickness of the pixel is 1.5 μm or less. For example, the color separation of an image sensor using the color density can be reduced. It will decrease. The content of the dye is preferably 45% by mass or more, and more preferably 50% by mass with respect to the total solid content. The upper limit of the content of the dye is not particularly limited, but is 80% by mass or less from the viewpoint of securing a certain amount of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in order to prevent the curability and sensitivity from being lowered. It is preferable that it is 70 mass% or less.

(光重合性化合物)
次に、前記光重合性化合物について説明する。前記光重合性化合物としては、例えば、ラジカル重合性モノマー等が挙げられる。本発明において用いられる光重合性化合物としては、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。
(Photopolymerizable compound)
Next, the photopolymerizable compound will be described. Examples of the photopolymerizable compound include radical polymerizable monomers. The photopolymerizable compound used in the present invention is preferably a compound having at least one addition-polymerizable ethylenic double bond and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure.

前記ラジカル重合性モノマーの例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、   Examples of the radical polymerizable monomer include monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate , Trimethylolethane tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) ) Acrylate, hexanediol (meth) acrylate,

トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの;特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物;を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも挙げることができる。 Trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyfunctional alcohols such as glycerin and trimethylolethane and then (meth) acrylated after addition of ethylene oxide or propylene oxide; Urethane acrylates as described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, JP-A-51-37193; JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, Polyester acrylates described in JP-B Nos. 52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid, and mixtures thereof; Can be mentionedFurthermore, the Japan Adhesion Association Vol. No. 20, No. 7, pages 300 to 308, which are introduced as photocurable monomers and oligomers.

本発明の光硬化性組成物中における前記光硬化性化合物の含有量は、上述の通り、染料および光重合開始剤との総含有量が90質量%以上となるように決定されるが、色濃度等の観点から、全固形分に対して93質量%以上が好ましく、95質量%以上が特に好ましい。   The content of the photocurable compound in the photocurable composition of the present invention is determined so that the total content of the dye and the photopolymerization initiator is 90% by mass or more as described above. From the viewpoint of concentration and the like, 93% by mass or more is preferable with respect to the total solid content, and 95% by mass or more is particularly preferable.

(光重合開始剤)
次に、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は、本発明の光硬化性組成物に上述の光硬化性化合物と共に含有される。本発明における光重合開始剤としては、前記光硬化性化合物を重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
(Photopolymerization initiator)
Next, the photopolymerization initiator will be described. A photoinitiator is contained with the above-mentioned photocurable compound in the photocurable composition of this invention. The photopolymerization initiator in the present invention is not particularly limited as long as it can polymerize the photocurable compound, but is preferably selected from the viewpoints of properties, initiation efficiency, absorption wavelength, availability, cost, and the like. .

前記光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合物およびハロメチル−s−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物、等が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include at least one active halogen compound selected from a halomethyloxadiazole compound and a halomethyl-s-triazine compound, a 3-aryl-substituted coumarin compound, a lophine dimer, a benzophenone compound, and an acetophenone. Examples thereof include compounds and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, and oxime compounds.

前記ハロメチルオキサジアゾール化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、等が挙げられる。   Examples of the active halogen compound that is the halomethyloxadiazole compound include 2-halomethyl-5-vinyl-1,3,4-oxadiazole compounds described in JP-B-57-6096, 2-trichloromethyl, and the like. -5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxy) Styryl) -1,3,4-oxadiazole, and the like.

ハロメチル−s−トリアジン系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物および4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物、等が挙げられる。   Examples of the active halogen compound which is a halomethyl-s-triazine compound include vinyl-halomethyl-s-triazine compounds described in JP-B-59-1281 and 2- (naphtho-) described in JP-A-53-133428. 1-yl) -4,6-bis-halomethyl-s-triazine compound and 4- (p-aminophenyl) -2,6-di-halomethyl-s-triazine compound.

前記ハロメチル−s−トリアジン系化合物として、具体的には、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、   Specific examples of the halomethyl-s-triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (3 , 4-methylenedioxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis ( Trichloromethyl) -6- (1-p-dimethylaminophenyl-1,3-butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2- (naphtho) -1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-tria 2- (4-Ethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloro Methyl-s-triazine, 2- [4- (2-methoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,

2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、 2- [4- (2-Ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (2-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-5- Methyl-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2 -(5-Methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,7-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl -S-triazine, 2- 6-Ethoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s -Triazine,

4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (ethoxycarbonyl) Methyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine 4- [o-methyl-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N, -Di (phenyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine ,

4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN- (p-methoxyphenyl) carbonylaminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [mN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s- Triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) Minophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)- s-triazine,

4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [o-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N- Di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloro Methyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-p -N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2, 6-di (trick Romechiru) -s- triazine,

4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [m-Fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylamino) Phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4 -(M-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloro) Methyl) -s-triazine,

4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。 4- (o-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro -PN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) ) -S-triazine, 4- (o-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-pN-chloro) Ethylamino) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine.

その他、前記光重合開始剤としては、みどり化学(株)製のTAZシリーズ(例えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123)、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−OMS、T−BMP、T−R、T−B)、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261)、ダロキュアシリーズ(例えばダロキュア1173)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、   In addition, as the photopolymerization initiator, TAZ series (for example, TAZ-107, TAZ-110, TAZ-104, TAZ-109, TAZ-140, TAZ-204, TAZ-113, manufactured by Midori Chemical Co., Ltd., TAZ-123), T series manufactured by PANCHIM (for example, T-OMS, T-BMP, TR, TB), Irgacure series manufactured by Ciba Specialty Chemicals (for example, Irgacure 651, Irgacure 184) , Irgacure 500, Irgacure 1000, Irgacure 149, Irgacure 819, Irgacure 261), Darocur series (eg Darocur 1173), 4,4′-bis (diethylamino) -benzophenone, 2- (O-benzoyloxime) -1- [ 4- (Phenylthio) phenyl -1,2-octanedione, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 2-benzyl-2-dimethyl Amino-4-morpholinobutyrophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone,

2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用いられる。
これら光重合開始剤の中でも、オキシム系化合物が好ましく、例えば、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、および、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンが特に好ましい。
2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5 -Diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (2, 4-Dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, benzoin isopropyl ether, and the like are also useful.
Among these photopolymerization initiators, oxime compounds are preferable. For example, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione and 1- (O— Acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone is particularly preferred.

また、これら光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
These photopolymerization initiators can be used in combination with a sensitizer and a light stabilizer.
Specific examples thereof include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin, 9-fluorenone, 2-chloro-9-fluorenone, 2-methyl-9-fluorenone, 9-anthrone, 2-bromo-9-anthrone, 2-ethyl-9. Anthrone, 9,10-anthraquinone, 2-ethyl-9,10-anthraquinone, 2-t-butyl-9,10-anthraquinone, 2,6-dichloro-9,10-anthraquinone, xanthone, 2-methylxanthone, 2-methoxyxanthone, 2-methoxyxanthone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, acridone, 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, dibenzylacetone, p- (dimethylamino) phenylstyryl ketone, p- ( Dimethylamino) phenyl-p-methyls Rilketone, benzophenone, p- (dimethylamino) benzophenone (or Michler's ketone), p- (diethylamino) benzophenone, benzoanthrone, benzothiazole compounds described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, tinuvin 1130, 400, etc. Can be mentioned.

本発明の光硬化性組成物には、上述の光重合開始剤のほかに他の公知の光重合開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリールイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
また、前記光重合開始剤の含有量は、上述の通り、染料および光重合性化合物と合わせた総含有量が90質量%以上となるように決定されるが、前記光重合性化合物に対して、0.01〜50質量%が好ましく、1〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が特に好ましい。前記光重合性化合物の含有量が、0.01〜50質量%の範囲内にあると重合が進み難くなることを防止でき、更に、分子量が低くなり膜強度が弱くなるのを防止することができる。
In addition to the above-mentioned photopolymerization initiator, other known photopolymerization initiators can be used for the photocurable composition of the present invention.
Specifically, the vicinal polykettle aldonyl compound disclosed in US Pat. No. 2,367,660, disclosed in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2,367,670. Substituted α-carbonyl compounds, acyloin ethers disclosed in US Pat. No. 2,448,828, α-hydrocarbons disclosed in US Pat. No. 2,722,512 Aromatic acyloin compounds, polynuclear quinone compounds disclosed in US Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758, disclosed in US Pat. No. 3,549,367. Triarylimidazole dimer / p-aminophenylketone combination, benzothiazole compound disclosed in Japanese Patent Publication No. 51-48516 / tri And halomethyl-s-triazine compounds.
Further, as described above, the content of the photopolymerization initiator is determined so that the total content combined with the dye and the photopolymerizable compound is 90% by mass or more, but with respect to the photopolymerizable compound. 0.01 to 50 mass% is preferable, 1 to 30 mass% is more preferable, and 1 to 20 mass% is particularly preferable. When the content of the photopolymerizable compound is in the range of 0.01 to 50% by mass, it is possible to prevent the polymerization from proceeding with difficulty, and further to prevent the molecular weight from being lowered and the film strength from being weakened. it can.

(その他の添加剤)
本発明の光硬化性組成物においては、上述の染料、光重合性化合物および光重合開始剤以外に添加物を含有させることができる。但し、前記染料、光重合性化合物および光重合開始剤以外の固形成分の総含有量は、組成物の全固形分に対して10質量%未満であり、7質量%未満であることが好ましく、5質量%未満であることが更に好ましい。
以下に、本発明の光硬化性組成物において、用いることのできる染料、光重合性化合物および光重合開始剤以外に添加物について説明する。
(Other additives)
In the photocurable composition of the present invention, an additive can be contained in addition to the above-mentioned dye, photopolymerizable compound and photopolymerization initiator. However, the total content of solid components other than the dye, the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator is less than 10% by mass, preferably less than 7% by mass, based on the total solid content of the composition. More preferably, it is less than 5 mass%.
Hereinafter, additives other than the dye, photopolymerizable compound and photopolymerization initiator that can be used in the photocurable composition of the present invention will be described.

−アルカリ可溶性バインダー−
まず、アルカリ可溶性バインダーについて説明する。前記アルカリ可溶性バインダーは、アルカリ可溶性であれば特に限定はないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
-Alkali-soluble binder-
First, the alkali-soluble binder will be described. The alkali-soluble binder is not particularly limited as long as it is alkali-soluble, but is preferably selected from the viewpoints of heat resistance, developability, availability, and the like.

前記アルカリ可溶性バインダーとしては、線状有機高分子重合体であり、且つ、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。   The alkali-soluble binder is preferably a linear organic polymer, soluble in an organic solvent, and developable with a weak alkaline aqueous solution. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-54-25957. Methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, as described in JP-A-59-53836 and JP-A-59-71048. Examples thereof include a polymer, a maleic acid copolymer, and a partially esterified maleic acid copolymer. Similarly, acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain are useful.

前記のほか、前記アルカリ可溶性バインダーとしては、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
また、前記線状有機高分子重合体は、親水性を有するモノマーを共重合したものであってもよく、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級若しくは3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐若しくは直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐若しくは直鎖のブチル(メタ)アクリレート、または、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、等が挙げられる。
In addition to the above, the alkali-soluble binder includes a polymer having a hydroxyl group and an acid anhydride added thereto, a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), Polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl alcohol, etc. are also useful.
The linear organic polymer may be a copolymer of hydrophilic monomers, and examples thereof include alkoxyalkyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol (meta ) Acrylate, (meth) acrylamide, N-methylolacrylamide, secondary or tertiary alkylacrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyl Triazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, branched or linear propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, or phenoxyhydroxypropyl Meth) acrylate.

−架橋剤−
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。以下、架橋剤について説明する。
本発明に使用可能な架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
-Crosslinking agent-
In the present invention, it is also possible to obtain a film that has been further cured by using a crosslinking agent. Hereinafter, the crosslinking agent will be described.
The crosslinking agent usable in the present invention is not particularly limited as long as the film can be cured by a crosslinking reaction. For example, (a) an epoxy resin, (b) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group. At least one substituent selected from a melamine compound, a guanamine compound, a glycoluril compound or a urea compound, (c) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group, which is substituted with at least one substituent selected from Substituted phenolic compounds, naphthol compounds or hydroxyanthracene compounds. Of these, polyfunctional epoxy resins are preferred.

前記(a)エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、N,N−ジグリシジルアニリン等の2価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、TrisP−PAトリグリシジルエーテル等に代表される3価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールAテトラグリシジルエーテル等に代表される4価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル(メタ)アクリレート、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。   The epoxy resin (a) may be any epoxy resin as long as it has an epoxy group and has crosslinkability, for example, bisphenol A diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, butanediol diglycidyl ether. , Hexanediol diglycidyl ether, dihydroxybiphenyl diglycidyl ether, diphthalic acid diglycidyl ester, N, N-diglycidyl aniline and other divalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds, as well as trimethylolpropane triglycidyl ether, Trivalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds represented by methylolphenol triglycidyl ether, TrisP-PA triglycidyl ether, etc., as well as pentaerythritol tetraglycidyl ether, tetramethylol vinyl Tetravalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds typified by phenol A tetraglycidyl ether, polyvalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as dipentaerythritol pentaglycidyl ether, dipentaerythritol hexaglycidyl ether, polyglycidyl ( And glycidyl group-containing polymer compounds represented by 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol and the like. .

前記架橋剤(b)に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合2〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は2〜4であるが、好ましくはメラミン化合物の場合5〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は3〜4である。
以下、前記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、(b)に係る(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物という。
The number of methylol groups, alkoxymethyl groups, and acyloxymethyl groups substituted in the crosslinking agent (b) is 2 to 6 for melamine compounds, 2 for glycoluril compounds, guanamine compounds, and urea compounds. Although it is -4, Preferably it is 5-6 in the case of a melamine compound, and is 3-4 in the case of a glycoluril compound, a guanamine compound, and a urea compound.
Hereinafter, the (b) melamine compound, guanamine compound, glycoluril compound and urea compound are collectively referred to as a compound (containing a methylol group, an alkoxymethyl group or an acyloxymethyl group) according to (b).

前記(b)に係るメチロール基含有化合物は、(b)に係るアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記(b)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(b)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。   The methylol group-containing compound according to (b) can be obtained by heating the alkoxymethyl group-containing compound according to (b) in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like. The acyloxymethyl group-containing compound according to (b) can be obtained by mixing and stirring the methylol group-containing compound according to (b) with acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

以下、前記置換基を有する(b)に係る化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
Hereinafter, specific examples of the compound according to (b) having the substituent will be given.
Examples of the melamine compound include hexamethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, a compound in which 1 to 5 methylol groups of hexamethylol melamine are methoxymethylated, or a mixture thereof, hexamethoxyethyl melamine, hexaacyloxymethyl melamine, hexamethylol. Examples thereof include compounds in which 1 to 5 methylol groups of melamine are acyloxymethylated, or mixtures thereof.

前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。   Examples of the guanamine compound include tetramethylol guanamine, tetramethoxymethyl guanamine, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol guanamine or a mixture thereof, tetramethoxyethyl guanamine, tetraacyloxymethyl guanamine, tetramethylol. Examples thereof include compounds in which 1 to 3 methylol groups of guanamine are acyloxymethylated or a mixture thereof.

前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。   Examples of the glycoluril compound include tetramethylol glycoluril, tetramethoxymethylglycoluril, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolglycoluril, or a mixture thereof, or a methylol group of tetramethylolglycoluril. Examples thereof include compounds obtained by acylating 1 to 3 or a mixture thereof.

前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら(b)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
Examples of the urea compound include tetramethylol urea, tetramethoxymethyl urea, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol urea, a mixture thereof, and tetramethoxyethyl urea.
These compounds according to (b) may be used alone or in combination.

前記(c)の架橋剤、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物は、前記架橋剤(b)の場合と同様、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、(c)に係る(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物ということがある。   The crosslinking agent (c), that is, a phenol compound, a naphthol compound or a hydroxyanthracene compound substituted with at least one group selected from a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group is the crosslinking agent (b As in the case of), intermixing with the overcoated photoresist is suppressed by thermal crosslinking, and the film strength is further increased. Hereinafter, these compounds may be collectively referred to as a compound according to (c) (containing a methylol group, an alkoxymethyl group or an acyloxymethyl group).

前記架橋剤(c)に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基またはアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低2個必要であり、熱架橋性および保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の2位,4位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の3位または5位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
The number of methylol groups, acyloxymethyl groups or alkoxymethyl groups contained in the crosslinking agent (c) is at least 2 per molecule, and from the viewpoint of thermal crosslinkability and storage stability, phenol as a skeleton Compounds in which the 2nd and 4th positions of the compound are all substituted are preferred. In addition, the naphthol compound and hydroxyanthracene compound as the skeleton are preferably compounds in which all of the ortho-position and para-position of the OH group are substituted. The 3-position or 5-position of the phenol compound may be unsubstituted or may have a substituent.
The naphthol compound may be unsubstituted or substituted except for the ortho position of the OH group.

前記(c)に係るメチロール基含有化合物は、フェノール性OH基の2位または4位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記(c)に係るアルコキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
The methylol group-containing compound according to the above (c) uses a compound in which the phenolic OH group has a hydrogen atom at the 2nd or 4th position as a raw material, and this is used as sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia, tetraalkylammonium hydroxide. It can be obtained by reacting with formalin in the presence of a basic catalyst.
The alkoxymethyl group-containing compound according to (c) can be obtained by heating the methylol group-containing compound according to (c) in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like.
The acyloxymethyl group-containing compound according to (c) can be obtained by reacting the methylol group-containing compound according to (c) with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

架橋剤(c)における骨格化合物としては、フェノール性OH基のオルト位またはパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、2,3−キシレノ−ル、2,5−キシレノ−ル、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、ビスフェノールAなどのビスフェノール類、4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。   Examples of the skeletal compound in the crosslinking agent (c) include phenolic compounds, naphthols, hydroxyanthracene compounds in which the ortho-position or para-position of the phenolic OH group is unsubstituted, and examples thereof include phenol and cresol isomers, 2 , 3-xylenol, 2,5-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, bisphenols such as bisphenol A, 4,4'-bishydroxybiphenyl, TrisP-PA (Honshu Chemical Industry) Naphthol, dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxyanthracene, etc. are used.

前記架橋剤(c)の具体例としては、フェノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ(メトキシメチル)フェノール、トリメチロールフェノールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−3−クレゾール、トリ(メトキシメチル)−3−クレゾール、トリメチロール−3−クレゾールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、2,6−ジメチロール−4−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、テトラメトキシメチルビスフェノールA、テトラメチロールビスフェノールAの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PAのヘキサメチロール体、TrisP−PAのヘキサメトキシメチル体、TrisP−PAのヘキサメチロール体の1〜5個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。   Specific examples of the crosslinking agent (c) include, as a phenol compound, for example, trimethylolphenol, tri (methoxymethyl) phenol, a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylolphenol, trimethylol- Compounds obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of 3-cresol, tri (methoxymethyl) -3-cresol, trimethylol-3-cresol, dimethylol cresol such as 2,6-dimethylol-4-cresol, Compounds obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol bisphenol A, tetramethoxymethyl bisphenol A, tetramethylol bisphenol A, tetramethylol-4,4′-bishydroxybiphenyl, tetramethoxymethyl-4,4 ′ − Suhydroxybiphenyl, TrisP-PA hexamethylol, TrisP-PA hexamethoxymethyl, TrisP-PA hexamethylol compound methoxymethylated from 1 to 5 methylol groups, Bishydroxymethylnaphthalenediol, etc. Is mentioned.

また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、1,6−ジヒドロキシメチル−2,7−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。   In addition, examples of the hydroxyanthracene compound include 1,6-dihydroxymethyl-2,7-dihydroxyanthracene, and examples of the acyloxymethyl group-containing compound include, for example, a part of the methylol group of the methylol group-containing compound or Examples include compounds that are all acyloxymethylated.

これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−p−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基との両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら(c)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
Among these compounds, trimethylolphenol, bishydroxymethyl-p-cresol, tetramethylolbisphenol A, trisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.) or a methylol group thereof is preferable. Examples thereof include an alkoxymethyl group and a phenol compound substituted with both a methylol group and an alkoxymethyl group.
These compounds according to (c) may be used alone or in combination.

前記架橋剤の光硬化性組成物における総含有量としては、素材により異なるが、硬化性を向上させる観点から、前記光硬化性組成物の固形分(質量)に対して、0.1〜7質量%が好ましく、0.1〜6質量%がより好ましく、0.15〜5質量%が最も好ましい。   The total content of the crosslinking agent in the photocurable composition varies depending on the material, but from the viewpoint of improving curability, 0.1 to 7 with respect to the solid content (mass) of the photocurable composition. % By mass is preferable, 0.1 to 6% by mass is more preferable, and 0.15 to 5% by mass is most preferable.

−熱重合防止剤−
本発明の光硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
-Thermal polymerization inhibitor-
In addition to the above, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the photocurable composition of the present invention. For example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2 ' -Methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, etc. are useful.

−有機溶剤−
本発明に用いることのできる有機溶剤は、各成分の溶解性や光硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、本発明の光硬化性組成物を調製する際には、少なくとも2種類の有機溶剤を含むことが好ましい。
-Organic solvent-
The organic solvent that can be used in the present invention is basically not particularly limited as long as the solubility of each component and the coating property of the photocurable composition are satisfied, but in particular, the solubility, coating property, and safety of the dye and binder. Is preferably selected in consideration of Moreover, when preparing the photocurable composition of this invention, it is preferable that at least 2 type of organic solvent is included.

前記有機溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;   Examples of the organic solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, and lactic acid. Methyl, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc .;

3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、等;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、等;ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等; 3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate, such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, etc .; 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, such as methyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropion Acid ethyl, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-methoxy- 2-methylpropio Methyl acid, 2-ethoxy-2-methylpropionic acid ethyl, etc; methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc .;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等; Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl Ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, etc .;

ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、等;芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。 Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 3-heptanone are preferred; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are preferred.

上述の通りこれらの有機溶剤は、染料およびアルカリ可溶性バインダーの溶解性、塗布面状の改良などの観点から、2種以上を混合してもよく、特に、前記3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液が好適に用いられる。   As described above, these organic solvents may be used in combination of two or more from the viewpoints of solubility of the dye and the alkali-soluble binder, improvement of the coated surface, and the like. In particular, the above-mentioned methyl 3-ethoxypropionate, 3- Ethyl ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, and propylene glycol methyl A mixed solution composed of two or more selected from ether acetate is preferably used.

本発明における有機溶剤の使用量は、塗布性の観点から、本発明の光硬化性組成物の全固形分濃度が5〜80質量%になる量とすることが好ましく、5〜60質量%が更に好ましく、10〜50質量%が特に好ましい。   The amount of the organic solvent used in the present invention is preferably such that the total solid concentration of the photocurable composition of the present invention is 5 to 80% by mass from the viewpoint of applicability, and 5 to 60% by mass. More preferably, 10-50 mass% is especially preferable.

−各種添加物−
本発明の光硬化性組成物には、更に各種添加物、例えば充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。
-Various additives-
The photocurable composition of the present invention further contains various additives such as fillers, polymer compounds other than those described above, surfactants, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, anti-aggregation agents and the like. be able to.

前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。   Specific examples of the various additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; nonionic, cationic And anionic surfactants: vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ) Ethyltrimetoki Adhesion promoters such as silane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl- 6-t-butylphenol), 2,6-di-t-butylphenol and other antioxidants; 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, etc. And an anti-aggregation agent such as sodium polyacrylate.

また、非画像部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の光硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
Further, when the alkali solubility of the non-image area is promoted and the developability of the photocurable composition of the present invention is further improved, the composition has an organic carboxylic acid, preferably a low molecular weight having a molecular weight of 1000 or less. An organic carboxylic acid can be added.
Specifically, for example, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimesic acid, melophanoic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid Hydratropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.

《カラーフィルタおよびその製造方法》
次に、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の光硬化性組成物が用いられる。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に画素を有し、前記画素は、本発明の光硬化性組成物を用いて形成された塗布膜を、アルカリ現像を用いたフォトリソ法によってパターニングすることで得られることを特徴とする。このため、本発明のカラーフィルタは色濃度が高く、パターンの矩形に優れる。
<< Color filter and manufacturing method thereof >>
Next, the color filter of the present invention will be described in detail through its manufacturing method.
In the method for producing a color filter of the present invention, the above-described photocurable composition of the present invention is used.
The color filter of the present invention has a pixel on a support, and the pixel is formed by patterning a coating film formed using the photocurable composition of the present invention by a photolithographic method using alkali development. It is characterized by being obtained. For this reason, the color filter of the present invention has a high color density and is excellent in a rectangular pattern.

本発明のカラーフィルタは、波長400nm〜700nmの範囲において、最小透過率が10%以下で、かつ、前記波長範囲おける最大透過率と該最小透過率との差が75%以上であることが好ましい。中でも、カラーフィルタの色分離性と透過率の観点から前記最小透過率は8%以下が好ましく、6%以下が特に好ましい。また、前記波長範囲おける最大透過率と該最小透過率との差は、78%以上が好ましく、80%以上が特に好ましい。これらの組合せでは、より好ましい組合せがより好ましい。
本発明のカラーフィルタにおいて、支持体上に形成される画素の厚みは、カラーフィルタの薄膜化の観点から、1.5μm以下であることが好ましく、1.3μm以下であることが更に好ましく、1.2μmであることが特に好ましい。
更に、前記画素の最大辺(画素を上方から観察した場合における最大辺)の長さは、画素を高密度にして、高解像度を実現する観点から、5.0μm以下であることが好ましく、4μm以下であることが更に好ましく、3μm以下であることが特に好ましい。
The color filter of the present invention preferably has a minimum transmittance of 10% or less in a wavelength range of 400 nm to 700 nm, and a difference between the maximum transmittance and the minimum transmittance in the wavelength range of 75% or more. . Among these, the minimum transmittance is preferably 8% or less, and particularly preferably 6% or less, from the viewpoint of color separation property and transmittance of the color filter. The difference between the maximum transmittance and the minimum transmittance in the wavelength range is preferably 78% or more, and particularly preferably 80% or more. Among these combinations, a more preferable combination is more preferable.
In the color filter of the present invention, the thickness of the pixel formed on the support is preferably 1.5 μm or less, more preferably 1.3 μm or less, from the viewpoint of thinning the color filter. Particularly preferred is 2 μm.
Further, the length of the maximum side of the pixel (the maximum side when the pixel is observed from above) is preferably 5.0 μm or less from the viewpoint of realizing high resolution by increasing the pixel density. More preferably, it is more preferably 3 μm or less.

また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、支持体上に本発明の光硬化性組成物を用いて塗布膜を形成し、アルカリ現像を用いたフォトリソ法によって前記塗布膜をパターニングして画素を形成することを特徴とする。
具体的には、まず、本発明の光硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して塗布層(光硬化性組成物層)を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光して、アルカリ性の水溶液などの現像液でアルカリ現像することによって、ネガ型の着色パターン(画素)を形成することができる(画像形成工程)。また、必要により、形成された着色パターンを加熱および/または露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
The color filter manufacturing method of the present invention comprises forming a coating film on a support using the photocurable composition of the present invention, and patterning the coating film by a photolithographic method using alkali development to form pixels. It is characterized by forming.
Specifically, first, the photocurable composition of the present invention is applied onto a support by a coating method such as spin coating, cast coating, roll coating, and the like to form a coating layer (photocurable composition layer). The negative coloring pattern (pixel) can be formed by exposing the layer through a predetermined mask pattern and performing alkali development with a developer such as an alkaline aqueous solution (image forming step). Moreover, the hardening process which hardens | cures the formed coloring pattern by heating and / or exposure as needed may be included.

また、本発明のカラーフィルタの作製においては、前記画像形成工程(および必要により硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタを作製することができる。この際に使用される光若しくは放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。   Further, in the production of the color filter of the present invention, a color filter having a desired hue can be produced by repeating the image forming step (and the curing step if necessary) for the desired number of hues. As light or radiation used at this time, ultraviolet rays such as g-line, h-line and i-line are particularly preferably used.

前記支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
Examples of the support include soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, and quartz glass used for liquid crystal display elements and the like, and those obtained by attaching a transparent conductive film thereto, and photoelectric conversion element substrates used for imaging elements and the like. Examples thereof include a silicon substrate and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). These substrates may have black stripes that separate pixels.
Further, an undercoat layer may be provided on these supports, if necessary, in order to improve adhesion with the upper layer, prevent diffusion of substances, or flatten the substrate surface.

前記現像液としては、本発明の光硬化性組成物の未硬化部を溶解する一方、照射部は溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤としては、本発明の光硬化性組成物を調製する際に使用される前述の有機溶剤が挙げられる。   As the developer, any developer can be used as long as it has a composition that dissolves the uncured portion of the photocurable composition of the present invention and does not dissolve the irradiated portion. Specifically, a combination of various organic solvents or an alkaline aqueous solution can be used. As said organic solvent, the above-mentioned organic solvent used when preparing the photocurable composition of this invention is mentioned.

前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。   Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide. , Choline, pyrrole, piperidine, alkaline compounds such as 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, the concentration is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An alkaline aqueous solution obtained by dissolution is preferable. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed with water after development.

本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。   The color filter of the present invention can be used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

[実施例1]
1)平坦化層の作成
レジスト溶液、CT−2000L(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)をシリコンウェハ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、その後、オーブン中で220℃×1hr加熱乾燥させて、膜厚2μmの平坦化層を得た。
[Example 1]
1) Preparation of planarization layer A resist solution, CT-2000L (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) is applied onto a silicon wafer substrate using a spin coater, and then heated and dried in an oven at 220 ° C. for 1 hour. Thus, a planarization layer having a thickness of 2 μm was obtained.

2)光硬化性組成物の調製
以下に示す成分を混合溶解して、該レジスト層用塗布液として青色の光硬化性組成物を調製した。
溶剤:シクロヘキサノン 800部
光重合性化合物:TO−1382(新中村化学(株)製) 78部
光重合開始剤:o−アシルオキシム系化合物(CGI−124:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製) 34部
酸性染料:Valifast Blue 2620(オリエント化学(株)製)
88部
染料:C.I.Solvent Blue MC−3126(富士写真フイルム(株)製) 0部
2) Preparation of photocurable composition The components shown below were mixed and dissolved to prepare a blue photocurable composition as the resist layer coating solution.
Solvent: Cyclohexanone 800 parts Photopolymerizable compound: TO-1382 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 78 parts Photopolymerization initiator: o-acyl oxime compound (CGI-124: Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 34 parts acid dye: Varifast Blue 2620 (manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.)
88 parts dye: C.I. I. Solvent Blue MC-3126 (Fuji Photo Film Co., Ltd.) 0 parts

3)レジスト層の形成および露光・現像
上記光硬化性組成物を2)で得られた平坦化層上に塗布し、ホットプレートにより100℃×120秒間、加熱処理(プリベーク)して、膜厚が1μmになるようにレジスト層を得た。次いで、I線ステッパ露光装置FPA−3000i5+(キャノン(株)製)を使用して、前記レジスト層上に365nmの波長で2μmのIslandパターンマスクを通して3000mJ/cm2の露光量で照射した。露光後、スピン・シャワー現像機(DW−30型((株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に光硬化性塗布膜を形成させた基板をのせ、現像液CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を使用して、23℃で60sec間パドル現像を行った。次いで、真空チャック方式でシリコンウェハ基板を水平回転テーブルに固定し、回転装置により50rpmでシリコンウェハ基板を回転しつつ、その回転中心の上方から純水を噴出ノズルからシャワー状に供給し、リンス処理した。その後、スプレー乾燥し、カラーフィルタを得た。
3) Formation of resist layer and exposure / development The above-mentioned photocurable composition is applied onto the planarized layer obtained in 2), and heat-treated (prebaked) at 100 ° C. for 120 seconds with a hot plate to obtain a film thickness. A resist layer was obtained so as to be 1 μm. Next, using an I-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), the resist layer was irradiated with an exposure dose of 3000 mJ / cm 2 through a 2 μm Island pattern mask at a wavelength of 365 nm. After exposure, a substrate having a photocurable coating film formed on a horizontal rotating table of a spin shower developing machine (DW-30 type (manufactured by Chemtronics)) is placed on a developer CD-2000 (Fuji Film Electronics Material). The product was then subjected to paddle development for 60 seconds at 23 ° C. Next, the silicon wafer substrate was fixed to a horizontal rotary table by a vacuum chuck method, and the silicon wafer substrate was rotated at 50 rpm by a rotating device. Meanwhile, pure water was supplied from the jet nozzle in the form of a shower from above the rotation center, rinsed, and then spray-dried to obtain a color filter.

4)評価方法
得られたカラーフィルタについて、それぞれ1つのパターンをSEM(日立製作所(株)製S−9260A)を用いて真上から観察し、パターンプロファイルについて矩形のものを「○」、矩形性が劣るものを「△」、ぼやけて輪郭がはっきりしないものを「×」と評価し、残渣については未露光部に残渣がないものを「○」、残渣が少し残るものを「△」、残渣が残るものを「×」と評価した。
4) Evaluation method For each of the obtained color filters, one pattern was observed from directly above using SEM (S-9260A, manufactured by Hitachi, Ltd.). Are evaluated as “△”, those with a blurred and unclear outline are evaluated as “X”, those with no residue in the unexposed area are “◯”, those with a little residue are “△”, and residues Those with left are evaluated as “×”.

5)吸収極大透過率、吸収極小透過率の評価方法
光硬化性組成物をガラス基板上に塗布し、ホットプレートにより100℃×120secで加熱処理(プリベーク)して、膜厚が1.0μmになるようにしてレジスト層を得た。そのレジスト層を分光光度計(大塚電子(株)製MCPD−2000)を用いて波長400nm〜700nmの透過率を測定した。
5) Evaluation method of absorption maximum transmittance and absorption minimum transmittance A photocurable composition is applied on a glass substrate, and is heat-treated (prebaked) at 100 ° C. for 120 seconds with a hot plate, so that the film thickness becomes 1.0 μm. Thus, a resist layer was obtained. The resist layer was measured for transmittance at a wavelength of 400 nm to 700 nm using a spectrophotometer (MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.).

[実施例2〜4]
実施例1において、光硬化性組成物に含まれる各組成物を下記表1に示す組成にそれぞれ変更した以外は実施例1と同様にして、光硬化性組成物を調製し、カラーフィルタをシリコンウェハ上に形成した。実施例1と同様に平坦化層、レジスト層を作成し、評価した。
[Examples 2 to 4]
In Example 1, except that each composition contained in the photocurable composition was changed to the composition shown in Table 1 below, a photocurable composition was prepared in the same manner as in Example 1, and the color filter was made of silicon. Formed on the wafer. A planarization layer and a resist layer were prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

[比較例1〜3]
実施例1において、光硬化性組成物に含まれる各組成物を下記表1に示す組成にそれぞれ変更した以外は実施例1と同様にして、光硬化性組成物を調製し、カラーフィルタをシリコンウェハ上に形成した。実施例1と同様に平坦化層、レジスト層を作成し、評価した。
[Comparative Examples 1-3]
In Example 1, except that each composition contained in the photocurable composition was changed to the composition shown in Table 1 below, a photocurable composition was prepared in the same manner as in Example 1, and the color filter was made of silicon. Formed on the wafer. A planarization layer and a resist layer were prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

Figure 2007024983
Figure 2007024983

光重合性化合物A:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製)
光重合性化合物B:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(新中村化学(株)製)
酸性染料A:Valifast Blue 2620(オリエント化学(株)製)
染料B:C.I.Solvent Blue MC-3126(富士写真フイルム(株)製)
樹脂A:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(70/30共重合比:平均分子量30,000)
・含有率A:[(光重合性化合物+染料+光重合開始剤の総含有量)/全固形分]×100(質量%)
・含有率B:[(染料の総含有量)/全固形分]×100(質量%)
・含有率C:[(酸性染料Aの含有量)/(酸性染料A+染料Bの総含有量)]×100(質量%)
Photopolymerizable compound A: dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Photopolymerizable compound B: dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
Acid dye A: Valifast Blue 2620 (manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.)
Dye B: CISolvent Blue MC-3126 (Fuji Photo Film Co., Ltd.)
Resin A: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (70/30 copolymerization ratio: average molecular weight 30,000)
-Content A: [(total content of photopolymerizable compound + dye + photopolymerization initiator) / total solid content] × 100 (mass%)
Content rate B: [(total content of dye) / total solid content] × 100 (mass%)
Content C: [(content of acid dye A) / (total content of acid dye A + dye B)] × 100 (mass%)

Figure 2007024983
Figure 2007024983

表1に示すように、実施例1〜4ではパターンプロファイルが矩形で残渣の無い、色濃度が高い画素が得られた。これに対し、比較例1〜3のカラーフィルタでは、比較例1及び比較例2では画素のパターンプロファイルが裾を引いており、矩形とはならず、隣り合った画素の方にまで裾引きが及びがちであった。比較例3では充分な色濃度が得られなかった。   As shown in Table 1, in Examples 1 to 4, pixels having a high pattern density with a rectangular pattern profile and no residue were obtained. On the other hand, in the color filters of Comparative Examples 1 to 3, the pixel pattern profile has a tail in Comparative Example 1 and Comparative Example 2, and does not have a rectangular shape, but has a tail toward the adjacent pixels. And apt. In Comparative Example 3, a sufficient color density was not obtained.

Claims (7)

少なくとも、染料と、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む光硬化性組成物であって、前記染料の含有量が全固形分に対して40質量%以上であり、且つ、前記染料、前記光重合性化合物および前記光重合開始剤の総含有量が、全固形分に対して90質量%以上であることを特徴とする光硬化性組成物。   A photocurable composition comprising at least a dye, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator, wherein the content of the dye is 40% by mass or more based on the total solid content; and The photocurable composition, wherein the total content of the dye, the photopolymerizable compound, and the photopolymerization initiator is 90% by mass or more based on the total solid content. 前記染料の35質量%以上が、酸性染料であることを特徴とする請求項1に記載の光硬化性組成物。   The photocurable composition according to claim 1, wherein 35% by mass or more of the dye is an acid dye. 支持体上に画素を有し、前記画素は、請求項1または2に記載の光硬化性組成物を用いて形成された塗布膜を、アルカリ現像を用いたフォトリソ法によってパターニングすることで得られることを特徴とするカラーフィルタ。   It has a pixel on a support body, The said pixel is obtained by patterning the coating film formed using the photocurable composition of Claim 1 or 2 by the photolithographic method using alkali image development. A color filter characterized by that. 波長400nm〜700nmの範囲において、最小透過率が10%以下で、かつ、前記波長範囲おける最大透過率と該最小透過率との差が75%以上であることを特徴とする請求項3に記載のカラーフィルタ。   The minimum transmittance is 10% or less in a wavelength range of 400 nm to 700 nm, and the difference between the maximum transmittance and the minimum transmittance in the wavelength range is 75% or more. Color filter. 前記画素の厚みが1.5μm以下であることを特徴とする請求項3または4に記載のカラーフィルタ。   The color filter according to claim 3 or 4, wherein the pixel has a thickness of 1.5 µm or less. 前記画素の最大辺の長さが5.0μm以下であることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載のカラーフィルタ。   The color filter according to claim 3, wherein a length of a maximum side of the pixel is 5.0 μm or less. 支持体上に請求項1または2に記載の光硬化性組成物を用いて塗布膜を形成し、アルカリ現像を用いたフォトリソ法によって前記塗布膜をパターニングして画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
A coating film is formed on the support using the photocurable composition according to claim 1, and the coating film is patterned by a photolithographic method using alkali development to form a pixel. A method for producing a color filter.
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