JP2007010386A - Discharge detecting system and discharge detecting technique - Google Patents

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Hisashi Yoshinaga
寿 吉長
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent destruction of magnetic heads by electric discharge. <P>SOLUTION: An end of a coaxial cable 10 arranging a core wire transmitting electric signal, an insulator, shielding materials, and insulating materials sequentially from within is prepared near a section polishing a magnetic head of a magnetic head polishing device 30. A discharge detecting device 20 connected to the coaxial cable 10 detects discharge generated by polishing of a magnetic head in the magnetic head polishing device 30. Thus, since the presence and degree of discharging can be checked, setting conditions, such as the polishing process polishing magnetic heads according to detected results, can be optimized. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、放電を検出する放電検出システム、及び、放電検出方法に関する。   The present invention relates to a discharge detection system for detecting discharge and a discharge detection method.

磁気テープ型の磁気記録媒体に対する信号の記録、もしくは、再生を実行する装置として、例えば、回転ドラムを用いたヘリカルスキャン方式の装置が存在している。この装置の回転ドラムに、MR(Magneto Resistive)ヘッドやGMR(Giant Magneto Resistive)ヘッド等の磁気ヘッドが搭載されている。これらのMRヘッドやGMRヘッドには、薄膜プロセスで形成される薄膜ヘッド素子が搭載されている。この信号の記録、もしくは、再生を実行する装置において、磁気ヘッドと磁気テープとを回転ドラムの外周面において接触させ、信号の記録、もしくは、再生を実行している。   As an apparatus for recording or reproducing a signal on a magnetic tape type magnetic recording medium, for example, there is a helical scan apparatus using a rotating drum. A magnetic head such as an MR (Magneto Resistive) head or a GMR (Giant Magneto Resistive) head is mounted on the rotating drum of this apparatus. These MR heads and GMR heads are equipped with thin film head elements formed by a thin film process. In the apparatus for recording or reproducing the signal, the magnetic head and the magnetic tape are brought into contact with each other on the outer peripheral surface of the rotating drum, and the signal is recorded or reproduced.

ここで、磁気ヘッドの製造工程には磁気ヘッドを研磨する研磨工程が存在し、重要となっている。この研磨工程において、摩擦による微小な放電が生じてしまい、この放電を制御することが磁気ヘッドの品質を向上させる上で重要となっている。   Here, the manufacturing process of the magnetic head includes a polishing process for polishing the magnetic head, which is important. In this polishing step, a minute discharge due to friction occurs, and controlling this discharge is important for improving the quality of the magnetic head.

なお、これに関連した技術として、電力ケーブルに発生する部分放電を検出する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平6−66874号公報
As a technique related to this, a technique for detecting a partial discharge generated in a power cable has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
JP-A-6-66874

上述したように、磁気ヘッドを研磨する研磨工程において、摩擦による微小な放電で生じる放射ノイズが発生してしまう。この放射ノイズの原因である放電が、磁気ヘッドを破壊してしまう。   As described above, in the polishing process for polishing the magnetic head, radiation noise generated by minute discharge due to friction occurs. The discharge that is the cause of the radiation noise destroys the magnetic head.

本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、放電が磁気ヘッドを破壊することを防止する放電検出システム、及び、放電検出方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a discharge detection system and a discharge detection method for preventing discharge from destroying a magnetic head.

本発明では、上記課題を解決するために、図1に例示するように、放電を検出する放電検出システムにおいて、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置30と、磁気ヘッド研磨装置30の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブル10と、同軸ケーブル10に接続され、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置20と、を有することを特徴とする放電検出システムが提供される。   In the present invention, in order to solve the above problems, as illustrated in FIG. 1, in a discharge detection system for detecting discharge, a magnetic head polishing apparatus 30 for polishing a magnetic head and a magnetic head of the magnetic head polishing apparatus 30 are provided. One end is disposed in the vicinity of the portion to be polished, and the core cable, the insulator, the shield material, and the coaxial cable 10 in which the insulating material is disposed in order from the inside are connected to the coaxial cable 10 and the magnetic head is polished. There is provided a discharge detection system including a discharge detection device 20 that detects a discharge generated by the discharge.

このような放電検出システムによると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。
また、本発明では、上記課題を解決するために、図1に例示するように、放電を検出する放電検出方法において、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置30の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブル10の一端を配置し、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を同軸ケーブル10を介して検出することを特徴とする放電検出方法が提供される。
According to such a discharge detection system, the presence / absence and degree of discharge can be confirmed, so that setting conditions such as a polishing process for polishing the magnetic head can be optimized according to the detection result.
Further, in the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, as illustrated in FIG. 1, in the discharge detection method for detecting discharge, in the vicinity of the portion of the magnetic head polishing apparatus 30 for polishing the magnetic head that polishes the magnetic head. A discharge detecting method is provided, in which one end of the coaxial cable 10 is disposed and a discharge generated by polishing the magnetic head is detected via the coaxial cable 10.

このような放電検出方法によると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。   According to such a discharge detection method, since the presence or absence and degree of discharge can be confirmed, it is possible to optimize setting conditions such as a polishing process for polishing the magnetic head according to the detection result.

本発明では、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を、同軸ケーブルを介して検出するようにする。
このようにすると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。よって、放電が磁気ヘッドを破壊することを防止できる。
In the present invention, the discharge generated by polishing the magnetic head is detected through the coaxial cable.
In this way, since the presence / absence and degree of discharge can be confirmed, setting conditions such as a polishing process for polishing the magnetic head can be optimized according to the detection result. Therefore, it is possible to prevent discharge from destroying the magnetic head.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。本発明の実施の形態は、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置に適用したものである。
まず、磁気ヘッド研磨装置に対し、放電検出システムを構築する場合について説明する。図1は、磁気ヘッド研磨装置に対する放電検出システムを示す図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiment of the present invention is applied to a magnetic head polishing apparatus for polishing a magnetic head.
First, the case where a discharge detection system is constructed for the magnetic head polishing apparatus will be described. FIG. 1 is a diagram showing a discharge detection system for a magnetic head polishing apparatus.

放電検出システムは、同軸ケーブル10、放電検出装置20、及び、磁気ヘッド研磨装置30を有している。また、この磁気ヘッド研磨装置30は、回転治具31、及び、回転定盤32を有している。   The discharge detection system includes a coaxial cable 10, a discharge detection device 20, and a magnetic head polishing device 30. In addition, the magnetic head polishing apparatus 30 includes a rotating jig 31 and a rotating surface plate 32.

ここで、同軸ケーブル10は、一端が磁気ヘッド研磨装置30の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に配置され、他の一端が放電検出装置20に接続される。また、同軸ケーブル10は、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材を内部から順に配置して形成される。放電検出装置20は、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を同軸ケーブル10を介して検出する。磁気ヘッド研磨装置30は、研磨対象の磁気ヘッドを搭載した回転治具31と回転定盤32とを回転させ、磁気ヘッドを研磨する。   Here, one end of the coaxial cable 10 is disposed in the vicinity of the portion of the magnetic head polishing device 30 that polishes the magnetic head, and the other end is connected to the discharge detection device 20. The coaxial cable 10 is formed by sequentially arranging a core wire, an insulator, a shield material, and an insulating material for transmitting an electric signal from the inside. The discharge detection device 20 detects a discharge generated by polishing the magnetic head via the coaxial cable 10. The magnetic head polishing apparatus 30 rotates a rotating jig 31 and a rotating surface plate 32 on which a magnetic head to be polished is mounted, and polishes the magnetic head.

このような磁気ヘッド研磨装置30に対する放電検出システムにおいて、磁気ヘッドを研磨する研磨工程等で、研磨対象の磁気ヘッドを搭載した回転治具31と回転定盤32とが回転し、その磁気ヘッドは研磨される。これらの回転治具31と回転定盤32との界面で、摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する。その放射ノイズは、同軸ケーブル10を介して検出される。ここでの検出結果は、スペクトラムアナライザ等の放電検出装置20により、周波数帯域毎に振幅が計測されて表示される。この計測結果により、静電気放電が確認される。   In such a discharge detection system for the magnetic head polishing apparatus 30, the rotating jig 31 and the rotating platen 32 on which the magnetic head to be polished is rotated in a polishing process or the like for polishing the magnetic head. Polished. Radiation noise generated by minute electrostatic discharge due to friction is generated at the interface between the rotating jig 31 and the rotating surface plate 32. The radiation noise is detected via the coaxial cable 10. The detection result is measured and displayed for each frequency band by the discharge detection device 20 such as a spectrum analyzer. This measurement result confirms electrostatic discharge.

次に、第1の実施の形態で使用される同軸ケーブル10について説明する。図2は、第1の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
同軸ケーブル10は、絶縁材11に包み込まれて一部が外に露出したシールド材12を有している。このシールド材12は、網状に撚った構造の網組線となっている。また、同軸ケーブル10は、シールド材12に包み込まれた絶縁体13を有している。また、同軸ケーブル10は、絶縁体13に包み込まれて一部が外に露出した芯線14を有している。この芯線14の露出した部分の長さは、数mmである。
Next, the coaxial cable 10 used in the first embodiment will be described. FIG. 2 is a diagram illustrating the coaxial cable according to the first embodiment.
The coaxial cable 10 has a shield material 12 encased in an insulating material 11 and partially exposed to the outside. This shield material 12 is a mesh braid having a twisted structure. Further, the coaxial cable 10 has an insulator 13 wrapped in a shield material 12. The coaxial cable 10 has a core wire 14 that is encased in an insulator 13 and partly exposed to the outside. The length of the exposed portion of the core wire 14 is several mm.

ここで、絶縁材11は、外部から同軸ケーブル10を電気的に絶縁する。また、絶縁材11は、同軸ケーブル10を保護し、形状を維持する。シールド材12は、芯線14に伝わる電気信号による電磁波を、外部に漏らさないようにする。また、シールド材12は、外部から電磁波を侵入させないようにする。絶縁体13は、シールド材12と芯線14とを電気的に絶縁する。また、絶縁体13は、芯線14を保護し、形状を維持する。芯線14は、電気信号を伝える。また、芯線14は、露出した部分の長さを調節することで、放電検出装置20の感度を調節する。   Here, the insulating material 11 electrically insulates the coaxial cable 10 from the outside. The insulating material 11 protects the coaxial cable 10 and maintains its shape. The shield material 12 prevents an electromagnetic wave caused by an electrical signal transmitted to the core wire 14 from leaking outside. The shield material 12 prevents electromagnetic waves from entering from the outside. The insulator 13 electrically insulates the shield material 12 and the core wire 14. The insulator 13 protects the core wire 14 and maintains its shape. The core wire 14 transmits an electrical signal. Moreover, the core wire 14 adjusts the sensitivity of the discharge detection apparatus 20 by adjusting the length of the exposed part.

このような同軸ケーブル10において、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した芯線14の長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した芯線14の長さを長くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した芯線14の長さを短くし、放電検出装置20の感度を低下させる。   In such a coaxial cable 10, the length of the exposed core wire 14 is adjusted according to the radiation noise from the surrounding devices, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is adjusted. Specifically, when there is little radiation noise from surrounding devices, the length of the exposed core wire 14 is lengthened, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is improved. Moreover, when there is much radiation noise from surrounding devices, the length of the exposed core wire 14 is shortened, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is lowered.

なお、露出した芯線14の一部をシールド材12で包み込むことで、放電検出装置20の感度を調節してもよい。
次に、同軸ケーブル10に付属されるシールド治具について説明する。図3は、第1の実施の形態のシールド治具を示す図である。
The sensitivity of the discharge detection device 20 may be adjusted by wrapping a part of the exposed core wire 14 with the shield material 12.
Next, the shield jig attached to the coaxial cable 10 will be described. FIG. 3 is a diagram illustrating the shield jig according to the first embodiment.

シールド治具15は、金属製の筒状の形状であり、絶縁材11、シールド材12、絶縁体13、及び、芯線14の中の全部、もしくは、一部を被うように配置される。このシールド治具15は、絶縁材11と平行方向に、位置を移動できる。   The shield jig 15 has a cylindrical shape made of metal and is disposed so as to cover all or part of the insulating material 11, the shielding material 12, the insulator 13, and the core wire 14. The shield jig 15 can move in a direction parallel to the insulating material 11.

このようなシールド治具15において、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した芯線14をシールド治具15が被う長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した芯線14をシールド治具15が被う長さを短くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した芯線14をシールド治具15が被う長さを長くし、放電検出装置20の感度を低下させる。   In such a shield jig 15, the length of the shield jig 15 covering the exposed core wire 14 is adjusted according to the radiation noise from the surrounding devices, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is adjusted. Specifically, when the radiation noise from the surrounding devices is small, the length of the shield jig 15 covering the exposed core wire 14 is shortened to improve the sensitivity of the discharge detection device 20. Moreover, when there is much radiation noise from the surrounding apparatus, the length which the shield jig | tool 15 covers the exposed core wire 14 is lengthened, and the sensitivity of the discharge detection apparatus 20 is reduced.

次に、第2の実施の形態で使用される同軸ケーブル10aについて説明する。図4は、第2の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
同軸ケーブル10aは、絶縁材11aに包み込まれて一部が外に露出したシールド材12aを有している。このシールド材12aは、網状に撚った構造の網組線となっている。また、同軸ケーブル10aは、シールド材12aに包み込まれて一部が外に露出した絶縁体13aを有している。この絶縁体13aの露出した部分の長さは、数mmである。また、同軸ケーブル10aは、絶縁体13aに包み込まれた芯線14aを有している。
Next, the coaxial cable 10a used in the second embodiment will be described. FIG. 4 is a diagram illustrating a coaxial cable according to the second embodiment.
The coaxial cable 10a has a shield material 12a that is encased in an insulating material 11a and partially exposed to the outside. This shield material 12a is a braided wire having a twisted structure. The coaxial cable 10a has an insulator 13a that is encased in a shield material 12a and partially exposed to the outside. The length of the exposed portion of the insulator 13a is several mm. The coaxial cable 10a has a core wire 14a wrapped in an insulator 13a.

ここで、絶縁材11aは、外部から同軸ケーブル10aを電気的に絶縁する。また、絶縁材11aは、同軸ケーブル10aを保護し、形状を維持する。シールド材12aは、芯線14aに伝わる電気信号による電磁波を、外部に漏らさないようにする。また、シールド材12aは、外部から電磁波を侵入させないようにする。絶縁体13aは、シールド材12aと芯線14aとを電気的に絶縁する。また、絶縁体13aは、芯線14aを保護し、形状を維持する。また、絶縁体13aは、露出した部分の長さを調節することで、放電検出装置20の感度を調節する。また、絶縁体13aは、芯線14aと検出対象の装置とが接触することによるノイズの発生、及び、芯線14aに対する電流の流入を防止する。芯線14aは、電気信号を伝える。   Here, the insulating material 11a electrically insulates the coaxial cable 10a from the outside. The insulating material 11a protects the coaxial cable 10a and maintains its shape. The shield material 12a prevents an electromagnetic wave caused by an electrical signal transmitted to the core wire 14a from leaking outside. The shield material 12a prevents electromagnetic waves from entering from the outside. The insulator 13a electrically insulates the shield material 12a and the core wire 14a. The insulator 13a protects the core wire 14a and maintains its shape. Moreover, the insulator 13a adjusts the sensitivity of the discharge detection device 20 by adjusting the length of the exposed portion. Further, the insulator 13a prevents the generation of noise due to the contact between the core wire 14a and the device to be detected, and the inflow of current to the core wire 14a. The core wire 14a transmits an electrical signal.

このような同軸ケーブル10aにおいて、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した絶縁体13aの長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した絶縁体13aの長さを長くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した絶縁体13aの長さを短くし、放電検出装置20の感度を低下させる。   In such a coaxial cable 10a, the length of the exposed insulator 13a is adjusted according to the radiation noise from the surrounding devices, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is adjusted. Specifically, when there is little radiation noise from surrounding devices, the length of the exposed insulator 13a is increased to improve the sensitivity of the discharge detection device 20. Moreover, when there is much radiation noise from surrounding devices, the length of the exposed insulator 13a is shortened, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is lowered.

なお、絶縁体13aに包み込まれた芯線14aの一部をシールド材12aで包み込むことで、放電検出装置20の感度を調節してもよい。
次に、同軸ケーブル10aに付属されるシールド治具について説明する。図5は、第2の実施の形態のシールド治具を示す図である。
In addition, you may adjust the sensitivity of the discharge detection apparatus 20 by wrapping a part of core wire 14a wrapped in the insulator 13a with the shielding material 12a.
Next, the shield jig attached to the coaxial cable 10a will be described. FIG. 5 is a diagram illustrating a shield jig according to the second embodiment.

シールド治具15aは、金属製の筒状の形状であり、絶縁材11a、シールド材12a、絶縁体13a、及び、芯線14aの中の全部、もしくは、一部を被うように配置される。このシールド治具15aは、絶縁材11aと平行方向に、位置を移動できる。   The shield jig 15a has a cylindrical shape made of metal and is disposed so as to cover all or a part of the insulating material 11a, the shielding material 12a, the insulator 13a, and the core wire 14a. The shield jig 15a can move in a direction parallel to the insulating material 11a.

このようなシールド治具15aにおいて、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した絶縁材11aをシールド治具15aが被う長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した絶縁材11aをシールド治具15aが被う長さを短くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した絶縁材11aをシールド治具15aが被う長さを長くし、放電検出装置20の感度を低下させる。   In such a shield jig 15a, the length that the shield jig 15a covers the exposed insulating material 11a is adjusted according to the radiation noise from the surrounding devices, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is adjusted. Specifically, when the radiation noise from surrounding devices is small, the length of the shield jig 15a covering the exposed insulating material 11a is shortened, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is improved. Further, when there is a lot of radiation noise from the surrounding devices, the length of the exposed insulating material 11a covered by the shield jig 15a is increased, and the sensitivity of the discharge detection device 20 is lowered.

以上の各実施の形態によると、磁気ヘッドを研磨することで発生する静電気放電を同軸ケーブル10、10aを介して検出し、静電気放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。具体的には、その放電が減少するように、回転治具31と回転定盤32との電圧値を最適化する。また、回転治具31と回転定盤32との回転数を最適化する。また、回転治具31と回転定盤32との間に配置する潤滑油の種類を最適化する。また、磁気ヘッドを研磨するために回転定盤32に配置されたダイヤモンド等の種類、及び、個数を最適化する。よって、摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズが、磁気ヘッドを破壊することを防止できる。   According to each of the above embodiments, the electrostatic discharge generated by polishing the magnetic head can be detected via the coaxial cables 10 and 10a, and the presence and degree of the electrostatic discharge can be confirmed. Thus, the setting conditions such as a polishing process for polishing the magnetic head can be optimized. Specifically, the voltage values of the rotating jig 31 and the rotating surface plate 32 are optimized so that the discharge is reduced. Further, the rotational speeds of the rotating jig 31 and the rotating surface plate 32 are optimized. Further, the type of lubricating oil disposed between the rotating jig 31 and the rotating surface plate 32 is optimized. In addition, the type and number of diamonds and the like arranged on the rotating platen 32 for polishing the magnetic head are optimized. Therefore, radiation noise generated by minute electrostatic discharge due to friction can be prevented from destroying the magnetic head.

また、磁気ヘッドを研磨する研磨工程等において、周囲の装置からの放射ノイズに応じて放電検出装置20の感度を調節するので、周囲の装置からの放射ノイズか摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズかを判別できる。   In addition, in the polishing process for polishing the magnetic head, etc., the sensitivity of the discharge detection device 20 is adjusted in accordance with the radiation noise from the surrounding device. Therefore, the radiation noise from the surrounding device or radiation generated by minute electrostatic discharge due to friction. Can determine whether it is noise.

なお、研磨工程以外の他の所定の製造工程において、微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する場合でも、その静電気放電を検出することができる。
また、磁気ヘッド研磨装置30以外の他の所定の装置において、微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する場合でも、その静電気放電を検出することができる。
In addition, in the predetermined manufacturing process other than the polishing process, even when radiation noise generated by minute electrostatic discharge occurs, the electrostatic discharge can be detected.
In addition, in a predetermined apparatus other than the magnetic head polishing apparatus 30, even when radiation noise generated by a minute electrostatic discharge occurs, the electrostatic discharge can be detected.

また、増幅器(図示せず)により、放射ノイズから変換された電気信号を増幅することができる。
(付記1) 放電を検出する放電検出システムにおいて、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置と、
前記磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置と、
を有することを特徴とする放電検出システム。
In addition, an electric signal converted from radiation noise can be amplified by an amplifier (not shown).
(Supplementary note 1) In a discharge detection system for detecting discharge,
A magnetic head polishing apparatus for polishing the magnetic head;
One end is disposed in the vicinity of the portion of the magnetic head polishing apparatus for polishing the magnetic head, a core wire for transmitting an electrical signal, an insulator, a shield material, and a coaxial cable in which the insulating material is sequentially disposed from the inside,
A discharge detecting device connected to the coaxial cable and detecting discharge generated by polishing the magnetic head;
A discharge detection system comprising:

(付記2) 前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれ、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれて一部が外に露出していることを特徴とする付記1記載の放電検出システム。   (Appendix 2) The one end of the coaxial cable has the shield material wrapped in the insulating material and partly exposed to the outside, the insulator is wrapped in the shield material, and the core wire is wrapped in the insulator. The discharge detection system according to appendix 1, wherein a part of the discharge detection system is exposed to the outside.

(付記3) 前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれて一部が外に露出し、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれていることを特徴とする付記1記載の放電検出システム。   (Appendix 3) The one end of the coaxial cable is partially exposed to the outside when the shield material is encased in the insulating material, and partially exposed to the outside when the insulator is encased in the shield material, The discharge detection system according to appendix 1, wherein the core wire is encased in the insulator.

(付記4) 前記電気信号は、前記電気信号を増幅する増幅器を介し、前記放電検出装置に伝わることを特徴とする付記1記載の放電検出システム。
(付記5) 放電を検出する放電検出方法において、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブルの一端を配置し、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を前記同軸ケーブルを介して検出することを特徴とする放電検出方法。
(Supplementary note 4) The discharge detection system according to supplementary note 1, wherein the electrical signal is transmitted to the discharge detection device via an amplifier that amplifies the electrical signal.
(Additional remark 5) In the discharge detection method which detects discharge,
One end of a coaxial cable is disposed in the vicinity of the portion of the magnetic head polishing apparatus for polishing the magnetic head, and the discharge generated by polishing the magnetic head is detected via the coaxial cable. Discharge detection method characterized.

(付記6) 放電を検出する放電検出装置において、
磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出手段と、
を有することを特徴とする放電検出装置。
(Additional remark 6) In the discharge detection apparatus which detects discharge,
One end is arranged in the vicinity of the portion for polishing the magnetic head, and a coaxial cable in which the core wire, the insulator, the shielding material, and the insulating material for transmitting an electric signal are sequentially arranged from the inside,
A discharge detecting means connected to the coaxial cable for detecting a discharge generated by polishing the magnetic head;
A discharge detection device comprising:

磁気ヘッド研磨装置に対する放電検出システムを示す図である。It is a figure which shows the discharge detection system with respect to a magnetic head polisher. 第1の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。It is a figure which shows the coaxial cable of 1st Embodiment. 第1の実施の形態のシールド治具を示す図である。It is a figure which shows the shield jig | tool of 1st Embodiment. 第2の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。It is a figure which shows the coaxial cable of 2nd Embodiment. 第2の実施の形態のシールド治具を示す図である。It is a figure which shows the shield jig | tool of 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10 同軸ケーブル
20 放電検出装置
30 磁気ヘッド研磨装置
31 回転治具
32 回転定盤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Coaxial cable 20 Discharge detection apparatus 30 Magnetic head grinding | polishing apparatus 31 Rotating jig 32 Rotating surface plate

Claims (5)

放電を検出する放電検出システムにおいて、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置と、
前記磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置と、
を有することを特徴とする放電検出システム。
In a discharge detection system for detecting discharge,
A magnetic head polishing apparatus for polishing the magnetic head;
One end is disposed in the vicinity of the portion of the magnetic head polishing apparatus for polishing the magnetic head, a core wire for transmitting an electrical signal, an insulator, a shield material, and a coaxial cable in which the insulating material is sequentially disposed from the inside,
A discharge detecting device connected to the coaxial cable and detecting discharge generated by polishing the magnetic head;
A discharge detection system comprising:
前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれ、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれて一部が外に露出していることを特徴とする請求項1記載の放電検出システム。   The one end of the coaxial cable is partially exposed by the shield material being encased in the insulating material and partially exposed to the outside, the insulator being encased in the shield material, and the core wire being encased in the insulator. The discharge detection system according to claim 1, wherein is exposed to the outside. 前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれて一部が外に露出し、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれていることを特徴とする請求項1記載の放電検出システム。   The one end of the coaxial cable has the shield material wrapped in the insulating material and partly exposed to the outside, the insulator is wrapped in the shield material and partly exposed to the outside, and the core wire is The discharge detection system according to claim 1, wherein the discharge detection system is encased in an insulator. 前記電気信号は、前記電気信号を増幅する増幅器を介し、前記放電検出装置に伝わることを特徴とする請求項1記載の放電検出システム。   The discharge detection system according to claim 1, wherein the electrical signal is transmitted to the discharge detection device via an amplifier that amplifies the electrical signal. 放電を検出する放電検出方法において、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブルの一端を配置し、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を前記同軸ケーブルを介して検出することを特徴とする放電検出方法。
In the discharge detection method for detecting discharge,
One end of a coaxial cable is disposed in the vicinity of the portion of the magnetic head polishing apparatus for polishing the magnetic head, and the discharge generated by polishing the magnetic head is detected via the coaxial cable. Discharge detection method characterized.
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