JP2007005333A - Porous plate and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空チャック装置や浮上装置などに使用される多孔質板及びその多孔質板の製造方法に関する。 The present invention relates to a porous plate used in a vacuum chuck device, a levitation device, and the like, and a method for manufacturing the porous plate.
多孔質板は、微細な気孔がランダムに形成されており、例えば、真空チャック装置や浮上装置などに応用されている。 The porous plate has fine pores formed randomly, and is applied to, for example, a vacuum chuck device and a floating device.
例えば、真空チャック装置では、ワークとの対向部位に多孔質板を配置し、多孔質板を介して真空引きすることによって吸引力を均一に作用させ、もってワークを吸着保持するチャック機能を有する。また、浮上装置では、ワークとの対向部位に多孔質板を配置し、多孔質板を介して加圧気体を与えることで、多孔質板の表面に静圧を発生させ、ワークを多孔質板の表面から浮上させた状態で支持する非接触支持機能を有する。さらに、チャック機能と非接触支持機能との両機能を持たせ、必要に応じてそれら各機能を使い分けるようにした装置も提案されている。 For example, a vacuum chuck device has a chuck function for disposing a porous plate at a position facing a workpiece and applying a suction force uniformly by vacuuming through the porous plate, thereby holding the workpiece by suction. In the levitation device, a porous plate is disposed at a position facing the workpiece, and a pressurized gas is applied through the porous plate to generate a static pressure on the surface of the porous plate. It has a non-contact support function to support in a state where it is levitated from the surface. Furthermore, there has also been proposed an apparatus which has both a chuck function and a non-contact support function, and uses these functions properly as necessary.
ここで、多孔質板としては、セラミック材料により作製されたセラミック多孔質板(例えば特許文献1参照)、金属材料により作製された金属多孔質板(例えば特許文献2参照)、合成樹脂により作製された合成樹脂多孔質板(例えば特許文献3、特許文献4参照)など、素材の異なる各種の多孔質板が提案されている。 Here, as the porous plate, a ceramic porous plate made of a ceramic material (see, for example, Patent Document 1), a metal porous plate made of a metal material (see, for example, Patent Document 2), and a synthetic resin are used. Various porous plates made of different materials such as synthetic resin porous plates (see, for example, Patent Document 3 and Patent Document 4) have been proposed.
セラミック多孔質板は、セラミック自身の有する強度の高さにより、加圧変形量が少ないという利点がある。一方、セラミック多孔質板はセラミック粒子を焼結することにより製造されるが、未焼結粒子が多孔質板内に残存してしまい、使用時に加圧気体を与えると未焼結粒子が多孔質板から飛び出してワークなどに悪影響を与えるおそれがあるという不具合がある。また、セラミック多孔質板は、超高温焼結によって製造されるものであるため設備が大袈裟なものとなり、材料自体も高価であるため、多孔質板のコスト高の原因となるという問題もある。以上の問題は、金属多孔質板についても概ね同様である。 The ceramic porous plate has an advantage that the amount of pressure deformation is small due to the high strength of the ceramic itself. On the other hand, the ceramic porous plate is manufactured by sintering ceramic particles, but the unsintered particles remain in the porous plate, and if a pressurized gas is applied during use, the unsintered particles become porous. There is a problem that it may jump out of the board and adversely affect the workpiece. In addition, since the ceramic porous plate is manufactured by ultra-high temperature sintering, the facilities are extensive, and the material itself is expensive, which causes the cost of the porous plate to increase. The above problems are generally the same for the metal porous plate.
これに対し、合成樹脂多孔質板は、未焼結粒子が発生しないように製造することが容易であるため、クリーンな環境での使用に適している。また、合成樹脂多孔質板は、セラミック多孔質板などに比べて設備負担も小さく、比較的低コストでの提供が可能である。一方、合成樹脂多孔質板は、セラミック多孔質板などに比べて加圧変形量が比較的大きいという問題がある。 On the other hand, the synthetic resin porous plate is suitable for use in a clean environment because it is easy to manufacture so that unsintered particles are not generated. In addition, the synthetic resin porous plate has a smaller equipment burden than a ceramic porous plate and can be provided at a relatively low cost. On the other hand, the synthetic resin porous plate has a problem that the amount of pressure deformation is relatively large compared to a ceramic porous plate or the like.
すなわち図8に示すように、合成樹脂製の多孔質板51は薄板状をなしており、その外周部が接合されるようにして多孔質支持体52に組み付けられている。多孔質支持体52には圧縮空気等の加圧気体を流通するための通路53が形成されており、多孔質支持体52の底面側から通路53に加圧気体が供給されると、その加圧気体が多孔質板51を介して図の上方に噴出される。これにより、多孔質板51に対面するワークが浮上する。また、通路53を通じて吸引動作が行われると、多孔質板51の表面に吸引力が生じ、ワークが多孔質板51に吸引される。
That is, as shown in FIG. 8, the synthetic resin
上記構成の多孔質板51では、加圧変形量が大きくなると、多孔質板51の表面における平面度が低下する。その結果、浮上装置として使用する場合には浮上力の均一性が低下し、真空チャック装置に適用する場合には吸引力の均一性が低下する。
In the
また、多孔質板によるワークの浮上力を高めることは、今後緻密さを要求されるワークの製造や検査において有効である。そして、浮上力を高めるには、多孔質板の表面からのワーク浮上量を小さい状態にコントロールできることが要求されるが、従来の多孔質板ではそこまでの要求には応えられていないのが実情である。
本発明は、合成樹脂多孔質板が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、合成樹脂多孔質板の加圧変形量を抑えることを第1の目的とするものである。 The first object of the present invention is to suppress the amount of pressure deformation of the synthetic resin porous plate while taking advantage of the low cost and high cleanliness of the synthetic resin porous plate.
また、合成樹脂多孔質板を浮上装置に適用した場合において、ワークの浮上力を一層高めることを第2の目的とするものである。 In addition, when the synthetic resin porous plate is applied to a levitation device, a second object is to further increase the levitation force of the workpiece.
さらには、以上の合成樹脂多孔質板を好適に製造するための製造方法を提供することを第3の目的とするものである。 Furthermore, a third object is to provide a production method for suitably producing the above synthetic resin porous plate.
以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて効果等を示しつつ説明する。なお以下では、理解を容易にするため、発明の実施の形態において対応する構成例を括弧書き等で適宜示すが、この括弧書き等で示した具体的構成に限定されるものではない。 Hereinafter, effective means for solving the above-described problems will be described while showing effects and the like as necessary. In the following, in order to facilitate understanding, a corresponding configuration example in the embodiment of the invention is appropriately shown in parentheses, etc., but is not limited to the specific configuration shown in parentheses.
手段1.合成樹脂の粒子を焼結することにより作製され、内部の微細孔を通じて気体が噴出又は吸引される多孔質板において、
ワークに対向する表面側の多孔質層(第1多孔質層16)とその内側である非表面側の多孔質層(第2多孔質層17)とを有する構成とし、前記表面側の多孔質層の気孔率又は気孔径を、前記非表面側の多孔質層の気孔率又は気孔径よりも小さくしたことを特徴とする多孔質板。
A surface-side porous layer (first porous layer 16) facing the workpiece and a non-surface-side porous layer (second porous layer 17) inside thereof are provided, and the surface-side porous layer A porous plate, wherein a porosity or a pore diameter of the layer is made smaller than a porosity or a pore diameter of the porous layer on the non-surface side.
手段1の多孔質板によれば、表面側の多孔質層の気孔率又は気孔径が非表面側の多孔質層の気孔率又は気孔径よりも小さくなっている。かかる場合、気孔率又は気孔径が大きい非表面側の多孔質層では、粒子間の結合が比較的強固なものとなっており、加圧気体が作用する際においてその加圧気体による変形が抑制される。一方、気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層では、加圧気体の噴出時においてその表面から噴出する気体流量が絞られる。そのため、加圧気体を噴出させてワークを浮上させる場合においてワークの浮上量が小さくなり、ワークを安定状態で浮上させることができる。
According to the porous plate of
以上により、合成樹脂多孔質板が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、合成樹脂多孔質板の加圧変形量を抑えることができる。また、合成樹脂多孔質板を浮上装置に適用した場合において、ワークの浮上力を一層高めることができる。 As described above, the amount of pressure deformation of the synthetic resin porous plate can be suppressed while taking advantage of the low cost and high cleanliness of the synthetic resin porous plate. Further, when the synthetic resin porous plate is applied to a levitation device, the levitation force of the workpiece can be further increased.
手段2.前記非表面側の多孔質層に、複数の開口部(パンチング孔18a)を有する高剛性部材(インサートメタル18)を設けたことを特徴とする手段1に記載の多孔質板。
Mean 2. The porous plate according to
手段2によれば、高剛性部材によって多孔質板の剛性強度が一層高められる。したがって、多孔質板の表面における平面度をより確実に保持することができる。 According to the means 2, the rigidity strength of the porous plate is further enhanced by the high rigidity member. Therefore, the flatness on the surface of the porous plate can be more reliably maintained.
手段3.前記高剛性部材として、多数の孔部(パンチング孔18a)を有する金属板(インサートメタル18)を用い、前記非表面側の多孔質層を、インサート成形により前記金属板を合成樹脂内に埋設して作製したことを特徴とする手段2に記載の多孔質板。 Means 3. As the high-rigidity member, a metal plate (insert metal 18) having a large number of holes (punching holes 18a) is used, and the non-surface porous layer is embedded in a synthetic resin by insert molding. The porous plate according to means 2, wherein the porous plate is produced.
手段3によれば、インサート成形により合成樹脂内に金属板が埋設されるため、金属板の剥離や抜け落ち等の不都合が解消される。 According to the means 3, since the metal plate is embedded in the synthetic resin by insert molding, inconveniences such as peeling and falling off of the metal plate are eliminated.
手段4.前記表面側の多孔質層は平均粒径が比較的小さい合成樹脂の粒子を焼結することにより作製され、前記非表面側の多孔質層は平均粒径が比較的大きい合成樹脂の粒子を焼結することにより作製されたものであることを特徴とする手段1乃至3のいずれかに記載の多孔質板。
Means 4. The porous layer on the surface side is prepared by sintering synthetic resin particles having a relatively small average particle size, and the porous layer on the non-surface side is sintered by synthetic resin particles having a relatively large average particle size. 4. The porous plate according to any one of
平均粒径が比較的小さい合成樹脂の粒子を焼結することにより、気孔率や気孔径が小さい表面側の多孔質層が作製され、平均粒径が比較的大きい合成樹脂の粒子を焼結することにより、気孔率や気孔径が大きい非表面側の多孔質層が作製されている。これにより、上記のとおり2層構造の多孔質板が実現でき、所望の効果を得ることができる。 By sintering synthetic resin particles having a relatively small average particle diameter, a porous layer on the surface side having a small porosity and pore diameter is produced, and the synthetic resin particles having a relatively large average particle diameter are sintered. As a result, a porous layer on the non-surface side having a large porosity and pore diameter is produced. Thereby, as above-mentioned, the porous board of a 2 layer structure is realizable, and a desired effect can be acquired.
手段5.前記表面側の多孔質層は低分子量合成樹脂により作製され、前記非表面側の多孔質層は高分子量合成樹脂により作製されたものであることを特徴とする手段1乃至3のいずれかに記載の多孔質板。
Means 5. 4. The means according to
低分子量合成樹脂を用いることにより、気孔率や気孔径が小さい表面側の多孔質層が作製され、高分子量合成樹脂を用いることにより、気孔率や気孔径が大きい非表面側の多孔質層が作製されている。これにより、上記のとおり2層構造の多孔質板が実現でき、所望の効果を得ることができる。 By using a low molecular weight synthetic resin, a porous layer on the surface side having a small porosity and pore diameter is produced, and by using a high molecular weight synthetic resin, a porous layer on the non-surface side having a large porosity and pore diameter can be formed. Have been made. Thereby, as above-mentioned, the porous board of a 2 layer structure is realizable, and a desired effect can be acquired.
手段6.合成樹脂の粒子を焼結することにより作製され、内部の微細孔を通じて気体が噴出又は吸引される多孔質板において、複数の開口部(パンチング孔18a)を有する高剛性部材(インサートメタル18)を備えたことを特徴とする多孔質板。 Means 6. A high rigidity member (insert metal 18) having a plurality of openings (punching holes 18a) is formed in a porous plate produced by sintering synthetic resin particles, and gas is ejected or sucked through fine holes inside. A porous plate characterized by comprising.
手段6によれば、多孔質板に設けた高剛性部材により、多孔質板に加圧気体が作用する際においてその加圧気体による変形が抑制される。これにより、合成樹脂多孔質板が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、合成樹脂多孔質板の加圧変形量を抑えることができる。 According to the means 6, the deformation by the pressurized gas is suppressed when the pressurized gas acts on the porous plate by the highly rigid member provided on the porous plate. Thereby, the pressure deformation amount of a synthetic resin porous board can be suppressed, taking advantage of the low cost and high cleanliness which a synthetic resin porous board has.
手段7.前記高剛性部材として、多数の孔部(パンチング孔18a)を有する金属板(インサートメタル18)を用い、インサート成形により前記金属板を合成樹脂内に埋設したことを特徴とする手段6に記載の多孔質板。 Mean 7 The means 6 according to claim 6, wherein a metal plate (insert metal 18) having a large number of holes (punching holes 18a) is used as the high-rigidity member, and the metal plate is embedded in a synthetic resin by insert molding. Porous plate.
手段7によれば、インサート成形により合成樹脂内に金属板が埋設されるため、金属板の剥離や抜け落ち等の不都合が解消される。 According to the means 7, since the metal plate is embedded in the synthetic resin by insert molding, inconveniences such as peeling and falling off of the metal plate are eliminated.
手段8.高温融点の合成樹脂を焼結し、所定の気孔率又は気孔径を有する非表面側の多孔質層(第2多孔質層17)を作製する工程と、
その多孔質層に低温融点の合成樹脂を積層して焼結を行い、前記非表面側の多孔質層よりも気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層(第1多孔質層16)を作製する工程と、
を備えたことを特徴とする多孔質板の製造方法。
Means 8. Sintering a high-temperature melting point synthetic resin to produce a non-surface-side porous layer (second porous layer 17) having a predetermined porosity or pore diameter;
The porous layer is laminated with a low-melting-point synthetic resin and sintered, and the porous layer on the surface side (first porous layer 16) having a smaller porosity or pore diameter than the porous layer on the non-surface side. A step of producing
A method for producing a porous plate, comprising:
手段8によれば、気孔率又は気孔径が大きい非表面側の多孔質層と、気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層とを有する多孔質板が作製される。この多孔質板では、比較的強固な非表面側の多孔質層により、加圧気体が作用する際において加圧気体による変形を抑制するとともに、気体噴出時において表面側の多孔質層から噴出される気体流量を絞ることによりワークを安定状態で浮上させることができる。つまり、合成樹脂多孔質板が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、合成樹脂多孔質板の加圧変形量を抑えることができる。また、合成樹脂多孔質板を浮上装置に適用した場合において、ワークの浮上力を一層高めることができる。 According to the means 8, a porous plate having a non-surface-side porous layer having a large porosity or pore diameter and a surface-side porous layer having a small porosity or pore diameter is produced. In this porous plate, the relatively strong non-surface-side porous layer suppresses deformation due to the pressurized gas when the pressurized gas acts, and is ejected from the surface-side porous layer during gas ejection. The workpiece can be floated in a stable state by reducing the gas flow rate. That is, the amount of pressure deformation of the synthetic resin porous plate can be suppressed while taking advantage of the low cost and high cleanliness of the synthetic resin porous plate. Further, when the synthetic resin porous plate is applied to a levitation device, the levitation force of the workpiece can be further increased.
手段9.多数の孔部(パンチング孔18a)を有する金属板(インサートメタル18)を型(上型D1,下型D2)内にセットするとともに同型内に高温融点の合成樹脂を充填する工程と、
前記高温融点の合成樹脂を焼結し、所定の気孔率又は気孔径を有する非表面側の多孔質層(第2多孔質層17)を作製する工程と、
その多孔質層に低温融点の合成樹脂を積層して焼結を行い、前記非表面側の多孔質層よりも気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層(第1多孔質層16)を作製する工程と、
を備えたことを特徴とする多孔質板の製造方法。
Means 9. Setting a metal plate (insert metal 18) having a large number of holes (punching holes 18a) in a mold (upper mold D1, lower mold D2) and filling the same mold with a high-melting-point synthetic resin;
Sintering the high-temperature melting point synthetic resin to produce a non-surface-side porous layer (second porous layer 17) having a predetermined porosity or pore diameter;
The porous layer is laminated with a low-melting-point synthetic resin and sintered, and the porous layer on the surface side (first porous layer 16) having a smaller porosity or pore diameter than the porous layer on the non-surface side. A step of producing
A method for producing a porous plate, comprising:
手段9によれば、インサートメタル等の金属板が設けられかつ気孔率又は気孔径が大きい非表面側の多孔質層と、気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層とを有する多孔質板が作製される。この多孔質板では、比較的強固な非表面側の多孔質層により、加圧気体が作用する際において加圧気体による変形を抑制するとともに、気体噴出時において表面側の多孔質層から噴出される気体流量を絞ることによりワークを安定状態で浮上させることができる。つまり、合成樹脂多孔質板が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、合成樹脂多孔質板の加圧変形量を抑えることができる。また、合成樹脂多孔質板を浮上装置に適用した場合において、ワークの浮上力を一層高めることができる。 According to the means 9, a porous plate provided with a metal plate such as an insert metal and having a non-surface-side porous layer having a large porosity or pore diameter and a surface-side porous layer having a small porosity or pore diameter. A plate is made. In this porous plate, the relatively strong non-surface-side porous layer suppresses deformation due to the pressurized gas when the pressurized gas acts, and is ejected from the surface-side porous layer during gas ejection. The workpiece can be floated in a stable state by reducing the gas flow rate. That is, the amount of pressure deformation of the synthetic resin porous plate can be suppressed while taking advantage of the low cost and high cleanliness of the synthetic resin porous plate. Further, when the synthetic resin porous plate is applied to a levitation device, the levitation force of the workpiece can be further increased.
手段10.分子量が異なる同材質の合成樹脂、又は材質が各々異なる合成樹脂を用い、前記非表面側の多孔質層と前記表面側の多孔質層とを作製することを特徴とする手段8又は9に記載の多孔質板の製造方法。
手段10によれば、分子量又は材質が相違する合成樹脂を用いており、各々融点の違いにより気孔率又は気孔径が異なる2つの多孔質層が作製される。これにより、前述のとおり所望の効果が得られる。
According to the
手段11.合成樹脂の粒子を一対の型内に充填する工程と、
多孔質板の表面側に対応する方の型の加熱温度を前記合成樹脂の焼結温度より若干高くして焼結を行う工程と、
を備えたことを特徴とする多孔質板の製造方法。
Means 11. Filling a pair of molds with synthetic resin particles;
A step of sintering by heating the mold corresponding to the surface side of the porous plate slightly higher than the sintering temperature of the synthetic resin; and
A method for producing a porous plate, comprising:
手段11によれば、多孔質板の表面側に対応する方の型の加熱温度を前記合成樹脂の焼結温度より若干高くして焼結を行うことにより、その焼結時において型に接する多孔質板の面(表面側となる面)が溶融される。これにより、多孔質板の一部の気孔率又は気孔径が小さくなり、気孔率又は気孔径が大きい非表面側の多孔質層と、気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層とを有する多孔質板を作製することができる。この多孔質板では、比較的強固な非表面側の多孔質層により、加圧気体が作用する際において加圧気体による変形を抑制するとともに、気体噴出時において表面側の多孔質層から噴出される気体流量を絞ることによりワークを安定状態で浮上させることができる。つまり、合成樹脂多孔質板が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、合成樹脂多孔質板の加圧変形量を抑えることができる。また、合成樹脂多孔質板を浮上装置に適用した場合において、ワークの浮上力を一層高めることができる。また、本製造方法によれば、型の交換を行わなくとも2層の多孔質板が作製でき、簡易な製造方法が提供できる。 According to the means 11, the sintering is performed with the heating temperature of the mold corresponding to the surface side of the porous plate slightly higher than the sintering temperature of the synthetic resin. The surface (surface which becomes the surface side) of the material board is melted. Thereby, the porosity or pore diameter of a part of the porous plate is reduced, and the porous layer on the non-surface side having a large porosity or pore diameter and the porous layer on the surface side having a small porosity or pore diameter are provided. The porous board which has can be produced. In this porous plate, the relatively strong non-surface-side porous layer suppresses deformation due to the pressurized gas when the pressurized gas acts, and is ejected from the surface-side porous layer during gas ejection. The workpiece can be floated in a stable state by reducing the gas flow rate. That is, the amount of pressure deformation of the synthetic resin porous plate can be suppressed while taking advantage of the low cost and high cleanliness of the synthetic resin porous plate. Further, when the synthetic resin porous plate is applied to a levitation device, the levitation force of the workpiece can be further increased. Further, according to this production method, a two-layer porous plate can be produced without exchanging the mold, and a simple production method can be provided.
(第1の実施の形態)
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。図1は、本実施の形態における多孔質ユニット10の外観構成を示す斜視図であり、図2は多孔質ユニット10の断面構造を示す図面である。この多孔質ユニット10は、例えば、液晶パネルや半導体デバイス等のワークを搬送するための搬送装置に用いられるものであり、同搬送装置は非接触支持機能とチャック機能とを有する。つまり、多孔質ユニット10により圧縮空気等の加圧気体を噴出又は吸引することでワークが非接触支持又は吸着保持される。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an external configuration of a
多孔質ユニット10は、大別して多孔質支持体11と多孔質板12とを備えている。多孔質支持体11は略円柱状をなしており、その上面(ワーク対向面側)には、平面視において円形状をなす収容溝13が形成されている。収容溝13に多孔質板12が収容されており、多孔質板12はその一部が多孔質支持体11の上面より突出した状態で保持されている。また、多孔質支持体11には、収容溝13よりも小径の流通溝14が形成されるとともに、その流通溝14と同軸であってかつ多孔質支持体11の底面に通じるようにして連通路15が形成されている。
The
多孔質支持体11は、ポリエチレンやポリプロピレンといったオレフィン系樹脂材料(熱可塑性樹脂)を焼結することにより作製されている。多孔質支持体11は、気孔のない緻密層(無孔質層)となっている。 The porous support 11 is produced by sintering an olefin resin material (thermoplastic resin) such as polyethylene or polypropylene. The porous support 11 is a dense layer (nonporous layer) having no pores.
多孔質板12は円板状をなしており、その外径は前記収容溝13の内径寸法と同寸法となっている。特に本実施の形態では、多孔質板12を2層構造としており、表面層である第1多孔質層16と非表面層である第2多孔質層17とを有する構成としている。ここで、各多孔質層16,17は共に同一の合成樹脂材料により成形されているが、気孔率が相違しており、第1多孔質層16の気孔率が15%程度であるのに対し、第2多孔質層17の気孔率は30%程度となっている。なお広義には、第1多孔質層16の気孔率が第2多孔質層17の気孔率よりも小さいことを前提として、第1多孔質層16の気孔率が20%以下、第2多孔質層17の気孔率が20〜35%であると良い。第1多孔質層16は第2多孔質層17に比して層の厚さ寸法が小さいものとなっている。
The
各多孔質層16,17は多孔質支持体11と同じオレフィン系樹脂材料(熱可塑性樹脂)により作製されており、各多孔質層16,17と多孔質支持体11とは、前者が文字通り多孔質層、後者が緻密層である点が相違している。
The
第2多孔質層17にはインサートメタル18が埋設されている。インサートメタル18は例えばステンレス鋼板よりなり、図3に示すように多数のパンチング孔18aを有する。パンチング孔18aの孔径は15mm、インサートメタル18の気孔率は20%程度である。また、多孔質板12の厚さ寸法は2mmであり、インサートメタル18の厚さ寸法は0.8mmである。
An
次に、多孔質板12の製造工程を図4に基づいて説明する。その製造工程では、第2多孔質層17を先に作製し、その後第2多孔質層17に積層するようにして第1多孔質層16を作製することとしている。
Next, the manufacturing process of the
まずは(a)に示すように、上型D1及び下型D2の間にインサートメタル18を固定配置する。その後、(b)に示すように、上型D1及び下型D2により形成されたキャビティC1内に高温融点の樹脂材料を充填する。このとき充填される樹脂材料は、平均粒径が65±15μmの合成樹脂の粒子である。そして、(b)の状態で全体を電気炉等の加熱手段によって加熱し、インサートメタル18と樹脂材料とを一体焼結する。これにより、第2多孔質層17が作製される。
First, as shown in (a), the
続いて(c)に示すように、上型D1を別の上型D3に交換する。上型D3は、上型D1よりも内部空間の高さ方向の寸法が大きいものであり、この上型D3を装着することにより、第2多孔質層17の上面と上型D3の内壁との間にキャビティC2が形成される。そして、キャビティC2内に低温融点の樹脂材料を充填し焼結を行う。このとき充填される樹脂材料は、平均粒径が30μm以下の合成樹脂の粒子である。これにより、第1多孔質層16が作製される。
Subsequently, as shown in (c), the upper mold D1 is replaced with another upper mold D3. The upper mold D3 has a dimension in the height direction of the internal space larger than that of the upper mold D1, and by mounting the upper mold D3, the upper surface of the second
上記工程において、平均粒径が比較的大きい合成樹脂の粒子を焼結することにより、気孔率や気孔径が大きい第2多孔質層17が作製され(図4の(b))、平均粒径が比較的小さい合成樹脂の粒子を焼結することにより、気孔率や気孔径が小さい第1多孔質層16が作製される(図4の(c))。
In the above step, by sintering the synthetic resin particles having a relatively large average particle diameter, the second
第1多孔質層16の作製が完了すると、(d)に示すように多孔質板12を上型D3及び下型D2から取り出す。そしてその後、多孔質板12の外周面を研削加工するとともに、別途作製した多孔質支持体11に多孔質板12を組み付け、両者を超音波溶着により接合する。なお超音波溶着時には多孔質板12の外周面を溶融し、該外周面の微細孔を塞ぐようにすると良い。超音波溶着の後、多孔質ユニット10の表面側を平面研削し、その高さ寸法を調整する。多孔質支持体11と多孔質板12とを、超音波溶着に代えて熱溶着により接合することも可能である。
When the production of the first
上記構成の多孔質ユニット10では、多孔質支持体11の連通路15を介して図示しない気体供給装置から加圧気体が供給されることにより、多孔質板12内の微細孔を通じてその表面から加圧気体が噴出する。すると、多孔質ユニット10に対向して配置されるワークが浮上する。このとき、気孔率又は気孔径が大きい第2多孔質層17では、粒子間の結合が比較的強固なものとなっており、加圧気体が作用する際においてその加圧気体による変形が抑制される。その際、多孔質変形量を10μm以下にすることが可能となる。一方、気孔率又は気孔径が小さい第1多孔質層16表面層では、加圧気体の噴出時においてその表面から噴出する気体流量が絞られる。そのため、ワークの浮上量が小さくなり、ワークを安定状態で浮上させることができる。
In the
また、ワークを吸着保持(チャック)する場合には、図示しない真空引き装置の駆動により多孔質支持体11の連通路15を介して気体の吸引が行われ、その吸引力によりワークが多孔質板12の表面に吸着される。吸引力が生じている限りワークはその多孔質板12の表面に吸着された状態で保持される。このとき、第2多孔質層17が高剛性であるため、吸引力の発生による多孔質板12の変形が抑制される。
When the workpiece is sucked and held (chucked), gas is sucked through the
以上詳述した本実施の形態によれば、以下の優れた効果が得られる。 According to the embodiment described above in detail, the following excellent effects can be obtained.
多孔質板12を2層構造とし、表面層である第1多孔質層16の気孔率又は気孔径を、非表面層である第2多孔質層17の気孔率又は気孔径よりも小さくしたため、合成樹脂製の多孔質板12が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、同多孔質板12の加圧変形量を抑えることができる。また、多孔質板12によりワークを浮上させ非接触支持する場合において、ワークの浮上力を一層高めることができる。多孔質板12によるワークの浮上力が高められることにより、液晶パネルや半導体デバイスといったワークの製造や検査においてより緻密な作業等が可能となる。
Since the
多孔質板12の作製に用いられる合成樹脂の粒子は一般に標準化されたものを用いることができ、その材料の入手が比較的容易であるという利点もある。また、標準化された材料を用いることにより、出来映えが安定する。
The synthetic resin particles used for the production of the
第2多孔質層17に、多数のパンチング孔18aを有するインサートメタル18を埋設したため、多孔質板12の剛性強度が一層高められ、多孔質板12の表面における平面度をより確実に保持することができる。インサートメタル18は第2多孔質層17に埋設されているため、剥離や抜け落ち等の不都合が解消される。
Since the
多孔質板12の製造時において、先に高温融点の合成樹脂を焼結して第2多孔質層17を作製し、その後低温融点の合成樹脂を積層して焼結し第1多孔質層16を作製するようにした。この場合、所望とする2層構造の多孔質板12を好適に作製することができる。
When the
(第2の実施の形態)
上記第1の実施の形態では、多孔質板を2層構造とするとともに非表面側の多孔質層(第2多孔質層17)にインサートメタルを埋設する構成としたが、本実施の形態では、前記同様2層構造とするがインサートメタルを使わない構成とする。図5は、本実施の形態における多孔質ユニット30の断面構造を示す図面である。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, the porous plate has a two-layer structure, and the insert metal is embedded in the non-surface-side porous layer (second porous layer 17). In the present embodiment, As described above, a two-layer structure is used but no insert metal is used. FIG. 5 is a drawing showing a cross-sectional structure of the
図5に示すように、多孔質ユニット30は、大別して多孔質支持体31と多孔質板32とを備えている。多孔質支持体31の構成は前述の多孔質支持体11と同様であり、略述すると、多孔質支持体31は、ポリエチレンやポリプロピレンといったオレフィン系樹脂材料(熱可塑性樹脂)よりなり、該多孔質支持体31には、多孔質板32を収容するための収容溝33と、該収容溝33よりも小径の流通溝34と、多孔質支持体31の底面に通じる連通路35とが形成されている。
As shown in FIG. 5, the
多孔質板32は2層構造となっており、表面層である第1多孔質層36と非表面層である第2多孔質層37とを有する。ここで、各多孔質層36,37は共に同一の合成樹脂材料により成形されているが、気孔率が相違しており、第1多孔質層36の気孔率が15%程度であるのに対し、第2多孔質層37の気孔率は30%程度となっている。なお広義には、第1多孔質層36の気孔率が第2多孔質層37の気孔率よりも小さいことを前提として、第1多孔質層36の気孔率が20%以下、第2多孔質層37の気孔率が20〜35%であると良い。第1多孔質層36は第2多孔質層37に比して層の厚さ寸法が小さいものとなっている。多孔質板32の厚さ寸法は3mmである。
The
各多孔質層36,37は多孔質支持体31と同じオレフィン系樹脂材料(熱可塑性樹脂)により作製されており、各多孔質層36,37と多孔質支持体31とは、前者が文字通り多孔質層、後者が緻密層である点が相違している。
The
次に、多孔質板32の製造工程を図6に基づいて説明する。その製造工程では、第2多孔質層37を先に作製し、その後第2多孔質層37に積層するようにして第1多孔質層36を作製することとしている。
Next, the manufacturing process of the
まずは(a)に示すように、上型D11及び下型D12により形成されたキャビティC11内に高温融点の樹脂材料を充填する。このとき充填される樹脂材料は、平均粒径が65±15μmの合成樹脂の粒子である。そして、全体を電気炉等の加熱手段によって加熱し、樹脂材料を焼結する。これにより、第2多孔質層37が作製される。
First, as shown in (a), a resin material having a high melting point is filled into the cavity C11 formed by the upper mold D11 and the lower mold D12. The resin material filled at this time is synthetic resin particles having an average particle diameter of 65 ± 15 μm. And the whole is heated with heating means, such as an electric furnace, and a resin material is sintered. Thereby, the 2nd
続いて(b)に示すように、上型D11を別の上型D13に交換する。上型D13は、上型D11よりも内部空間の高さ方向の寸法が大きいものであり、この上型D13を装着することにより、第2多孔質層37の上面と上型D13の内壁との間にキャビティC12が形成される。そして、キャビティC12内に低温融点の樹脂材料を充填し焼結を行う。このとき充填される樹脂材料は、平均粒径が30μm以下の合成樹脂の粒子である。これにより、第1多孔質層36が作製される。
Subsequently, as shown in (b), the upper mold D11 is replaced with another upper mold D13. The upper mold D13 has a larger dimension in the height direction of the internal space than the upper mold D11. By mounting the upper mold D13, the upper surface of the second
上記工程において、平均粒径が比較的大きい合成樹脂の粒子を焼結することにより、気孔率や気孔径が大きい第2多孔質層37が作製され(図6の(a))、平均粒径が比較的小さい合成樹脂の粒子を焼結することにより、気孔率や気孔径が小さい第1多孔質層36が作製される(図6の(b))。
In the above step, by sintering the synthetic resin particles having a relatively large average particle diameter, the second
第1多孔質層36の作製が完了すると、(c)に示すように多孔質板32を上型D13及び下型D12から取り出す。そしてその後、多孔質板32の外周面を研削加工するとともに、別途作製した多孔質支持体31に多孔質板32を組み付け、両者を超音波溶着により接合する。なお超音波溶着時には多孔質板32の外周面を溶融し、該外周面の微細孔を塞ぐようにすると良い。超音波溶着の後、多孔質ユニット30の表面側を平面研削し、その高さ寸法を調整する。多孔質支持体31と多孔質板32とを、超音波溶着に代えて熱溶着により接合することも可能である。
When the production of the first
本実施の形態の多孔質ユニット30においても、前記同様、多孔質板32を2層構造とし、表面層である第1多孔質層36の気孔率又は気孔径を、非表面層である第2多孔質層37の気孔率又は気孔径よりも小さくしたため、合成樹脂製の多孔質板32が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、同多孔質板32の加圧変形量を抑えることができる。また、多孔質板32によりワークを浮上させ非接触支持する場合において、ワークの浮上力を一層高めることができる。
Also in the
分子量が異なる同材質の合成樹脂を用いることにより多孔質板を2層構造とすることも可能であり、かかる場合にも前記同様優れた効果を得ることができる。本多孔質板の図示構成は前記図5に準ずるため、図5を用いて説明すると、多孔質板32の第1多孔質層36は低分子量のオレフィン系樹脂材料により作製され、第2多孔質層37は高分子量のオレフィン系樹脂材料により作製されている。この場合、各多孔質層36,37における平均粒径はいずれも同じ(例えば65±15μm)であるが、分子量の違いにより気孔率又は気孔径が異なるものとなっている。低分子量合成樹脂は具体的には低分子量ポリエチレン又は低分子量ポリプロピレンであり、高分子量合成樹脂は具体的には高分子量ポリエチレン又は高分子量ポリプロピレンである。
By using synthetic resins of the same material having different molecular weights, it is possible to make the porous plate have a two-layer structure, and even in this case, the same excellent effect as described above can be obtained. Since the illustrated configuration of the porous plate is similar to that of FIG. 5, the first
その製造方法について前記図6を準用して説明する。ここでまずは(a)に示すように、上型D11及び下型D12により形成されたキャビティC11内に高分子量合成樹脂を充填する。そして、全体を電気炉等の加熱手段によって加熱し、樹脂材料を焼結する。これにより、第2多孔質層37が作製される。続いて(b)に示すように、上型D11を別の上型D13に交換し、第2多孔質層37の上面と上型D13の内壁との間に形成されるキャビティC12内に低分子量合成樹脂を充填し焼結を行う。これにより、第1多孔質層36が作製される。
The manufacturing method will be described with reference to FIG. Here, first, as shown in (a), a high molecular weight synthetic resin is filled into the cavity C11 formed by the upper mold D11 and the lower mold D12. And the whole is heated with heating means, such as an electric furnace, and a resin material is sintered. Thereby, the 2nd
上記工程において、高分子量合成樹脂を焼結することにより、気孔率や気孔径が大きい第2多孔質層37が成形され、低分子量合成樹脂を焼結することにより、気孔率や気孔径が小さい第1多孔質層36が成形される。その後(c)等の工程は前述のとおりであり、ここではその説明を省略する。
In the above process, by sintering the high molecular weight synthetic resin, the second
その他の構成として、2種類の合成樹脂を用いることにより多孔質板を2層構造とすることも可能である。かかる場合にも、気孔率や気孔径が小さい表面側の多孔質層と、気孔率や気孔径が大きい非表面側の多孔質層とを設けることにより、前記同様優れた効果を得ることができる。 As another configuration, it is possible to make the porous plate into a two-layer structure by using two kinds of synthetic resins. Even in such a case, the same excellent effects as described above can be obtained by providing a porous layer on the surface side with a small porosity and pore diameter and a porous layer on the non-surface side with a large porosity and pore diameter. .
(第3の実施の形態)
本実施の形態では、多孔質板において多孔質層を1層のみとし、その1層の多孔質層に金属板(インサートメタル)を埋設する構成とする。図7は、本実施の形態における多孔質ユニット40の断面構造を示す図面である。
(Third embodiment)
In the present embodiment, the porous plate has only one porous layer, and a metal plate (insert metal) is embedded in the one porous layer. FIG. 7 is a drawing showing a cross-sectional structure of the
図7に示すように、多孔質ユニット40は、大別して多孔質支持体41と多孔質板42とを備えている。多孔質支持体41の構成は前述の多孔質支持体11と同様であり、略述すると、多孔質支持体41は、ポリエチレンやポリプロピレンといったオレフィン系樹脂材料(熱可塑性樹脂)よりなり、該多孔質支持体41には、多孔質板42を収容するための収容溝43と、該収容溝43よりも小径の流通溝44と、多孔質支持体41の底面に通じる連通路45とが形成されている。
As shown in FIG. 7, the
多孔質板42は多孔質支持体41と同じオレフィン系樹脂材料(熱可塑性樹脂)の多孔質層よりなり、多孔質板42の気孔率は20〜35%となっている。多孔質板42にはインサートメタル46が埋設されている。インサートメタル46は例えばステンレス鋼板よりなり、多数のパンチング孔46aを有する。パンチング孔46aの孔径は15mm、インサートメタル46の気孔率は20%程度となっている。
The
上記構成の多孔質ユニット40では、多孔質板42に加圧気体が作用する際においてその加圧気体による変形が抑制される。これにより、合成樹脂製の多孔質板42が有する低コスト及び高クリーン度の利点を生かしつつ、同多孔質板42の加圧変形量を抑えることができる。
In the
なお、本発明は上記実施の形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施しても良い。 In addition, this invention is not limited to the content of description of the said embodiment, For example, you may implement as follows.
2層構造の多孔質板の製造手法として、以下の手法を用いても良い。すなわち、まずは、合成樹脂の粒子を一対の型内に充填し、次に、多孔質板の表面側に対応する方の型の加熱温度を合成樹脂の焼結温度より若干高くして焼結を行う。便宜上既述の図6を用いて具体的に説明すれば、図6の(a)に示すように、上型D11及び下型D12により形成されたキャビティC11内に樹脂材料を充填する。そして、上型D11及び下型D12のうち、多孔質板の表面側に対応する方の型(例えば上型D11)の加熱温度を合成樹脂の焼結温度より若干高くして焼結を行い、上型D11に接する多孔質板の面(表面側となる面)を溶融させる。これにより、多孔質板の一部だけが気孔率又は気孔径が小さくなり、気孔率又は気孔径が大きい非表面側の多孔質層と、気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層とを有する多孔質板を作製することができる。 The following method may be used as a method for manufacturing a porous plate having a two-layer structure. That is, first, the synthetic resin particles are filled in a pair of molds, and then the heating temperature of the mold corresponding to the surface side of the porous plate is set slightly higher than the sintering temperature of the synthetic resin to perform sintering. Do. If it demonstrates concretely using FIG. 6 mentioned above for convenience, as shown to (a) of FIG. 6, resin material will be filled in the cavity C11 formed of the upper mold | type D11 and the lower mold | type D12. And among the upper mold D11 and the lower mold D12, sintering is performed with the heating temperature of the mold corresponding to the surface side of the porous plate (for example, the upper mold D11) slightly higher than the sintering temperature of the synthetic resin, The surface of the porous plate in contact with the upper mold D11 (surface on the front side) is melted. Thereby, only a part of the porous plate has a small porosity or pore diameter, a porous layer on the non-surface side having a large porosity or pore diameter, and a porous layer on the surface side having a small porosity or pore diameter. The porous board which has can be produced.
上記製造方法により作製された多孔質板においても、気孔率や気孔径が小さい表面側の多孔質層と、気孔率や気孔径が大きい非表面側の多孔質層とを設けることにより、前記同様優れた効果を得ることができる。また、本製造方法によれば、型の交換を行わなくとも2層の多孔質板が作製でき、簡易な製造方法が提供できる。 Also in the porous plate produced by the above production method, by providing a porous layer on the surface side with a small porosity and pore diameter and a porous layer on the non-surface side with a large porosity and pore diameter, the same as above An excellent effect can be obtained. Further, according to this production method, a two-layer porous plate can be produced without exchanging the mold, and a simple production method can be provided.
上記実施の形態では、多孔質層にインサートメタルを埋設して多孔質板の強度アップを図ったが、他の部材を多孔質層に埋設する構成であっても良い。例えば、孔径=10〜数10mm程度の多数の孔部を有するセラミック板など、金属板以外の高剛性の板材を多孔質層に埋設する構成であっても良い。また、多数の孔部を有する板材以外に、多数の開口部を有する格子状の芯部材(骨格部材)を多孔質層に埋設する構成であっても良い。 In the above embodiment, insert metal is embedded in the porous layer to increase the strength of the porous plate, but other members may be embedded in the porous layer. For example, a configuration in which a highly rigid plate material other than a metal plate, such as a ceramic plate having a large number of hole portions with a hole diameter of about 10 to several tens of mm, is embedded in the porous layer. Moreover, the structure which embeds the grid | lattice-like core member (skeleton member) which has many opening parts other than the board | plate material which has many hole parts in a porous layer may be sufficient.
多孔質板の作製に使用する合成樹脂材料としては、オレフィン系樹脂材料以外の樹脂材料を用いることができ、PPS(ポリフェニレンスルフィド)やPOM(ポリオキシメチレン)等のエンジンニアリングプラスチックなど、他の熱可塑性樹脂を用いることも可能である。 As the synthetic resin material used for the production of the porous plate, resin materials other than olefin resin materials can be used, and other heat such as engine nearing plastics such as PPS (polyphenylene sulfide) and POM (polyoxymethylene). It is also possible to use a plastic resin.
上記構成の多孔質ユニットは、ワークの非接触支持機能及びチャック機能を併せ持つ搬送装置以外にも適用でき、ワークの非接触支持機能(浮上機能)のみを有する浮上装置や、チャック機能のみを有するチャック装置などに適用することも可能である。 The porous unit having the above-described configuration can be applied to a conveying device having both a non-contact support function and a chuck function of a workpiece, and a floating device having only a non-contact support function (floating function) of the workpiece or a chuck having only a chuck function. It is also possible to apply to an apparatus or the like.
10…多孔質ユニット、11…多孔質支持体、12…多孔質板、16…第1多孔質層、17…第2多孔質層、18…インサートメタル、18a…パンチング孔、30…多孔質ユニット、31…多孔質支持体、32…多孔質板、36…第1多孔質層、37…第2多孔質層、40…多孔質ユニット、41…多孔質支持体、42…多孔質板、46…インサートメタル、46a…パンチング孔。
DESCRIPTION OF
Claims (11)
ワークに対向する表面側の多孔質層とその内側である非表面側の多孔質層とを有する構成とし、前記表面側の多孔質層の気孔率又は気孔径を、前記非表面側の多孔質層の気孔率又は気孔径よりも小さくしたことを特徴とする多孔質板。 In a porous plate that is produced by sintering synthetic resin particles, and gas is ejected or sucked through the internal micropores,
The structure has a porous layer on the surface side facing the workpiece and a porous layer on the non-surface side that is inside of the porous layer, and the porosity or pore diameter of the porous layer on the surface side is set to be the porous value on the non-surface side. A porous plate characterized by being smaller than the porosity or pore diameter of the layer.
その多孔質層に低温融点の合成樹脂を積層して焼結を行い、前記非表面側の多孔質層よりも気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層を作製する工程と、
を備えたことを特徴とする多孔質板の製造方法。 Sintering a high-melting-point synthetic resin to produce a non-surface-side porous layer having a predetermined porosity or pore diameter;
Laminating and sintering a synthetic resin having a low melting point on the porous layer, and producing a porous layer on the surface side having a smaller porosity or pore diameter than the porous surface on the non-surface side;
A method for producing a porous plate, comprising:
前記高温融点の合成樹脂を焼結し、所定の気孔率又は気孔径を有する非表面側の多孔質層を作製する工程と、
その多孔質層に低温融点の合成樹脂を積層して焼結を行い、前記非表面側の多孔質層よりも気孔率又は気孔径が小さい表面側の多孔質層を作製する工程と、
を備えたことを特徴とする多孔質板の製造方法。 A step of setting a metal plate having a large number of holes in a mold and filling a high temperature melting point synthetic resin in the mold;
Sintering the high-temperature melting point synthetic resin to produce a non-surface-side porous layer having a predetermined porosity or pore diameter;
Laminating and sintering a synthetic resin having a low melting point on the porous layer, and producing a porous layer on the surface side having a smaller porosity or pore diameter than the porous surface on the non-surface side;
A method for producing a porous plate, comprising:
多孔質板の表面側に対応する方の型の加熱温度を前記合成樹脂の焼結温度より若干高くして焼結を行う工程と、
を備えたことを特徴とする多孔質板の製造方法。 Filling a pair of molds with synthetic resin particles;
A step of sintering by heating the mold corresponding to the surface side of the porous plate slightly higher than the sintering temperature of the synthetic resin; and
A method for producing a porous plate, comprising:
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010532580A (en) * | 2007-06-29 | 2010-10-07 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | Substrate handling technology |
JP2016087916A (en) * | 2014-11-04 | 2016-05-23 | 東京エレクトロン株式会社 | Printer for electronic device pattern and printing method therefor |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6989361B2 (en) * | 2017-11-22 | 2022-01-05 | 日本特殊陶業株式会社 | Substrate adsorption member and its manufacturing method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002338714A (en) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Nitto Denko Corp | Method for manufacturing crosslinked polyethylene molded product |
JP2003129111A (en) * | 2001-10-18 | 2003-05-08 | Sanalloy Industry Co Ltd | Porous sintered compact |
JP2004095831A (en) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Mitsubishi Materials Corp | Suction pad, suction holder and manufacturing method of suction pad |
JP2004298970A (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Ckd Corp | Vacuum chuck |
-
2005
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002338714A (en) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Nitto Denko Corp | Method for manufacturing crosslinked polyethylene molded product |
JP2003129111A (en) * | 2001-10-18 | 2003-05-08 | Sanalloy Industry Co Ltd | Porous sintered compact |
JP2004095831A (en) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Mitsubishi Materials Corp | Suction pad, suction holder and manufacturing method of suction pad |
JP2004298970A (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Ckd Corp | Vacuum chuck |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010532580A (en) * | 2007-06-29 | 2010-10-07 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | Substrate handling technology |
JP2016087916A (en) * | 2014-11-04 | 2016-05-23 | 東京エレクトロン株式会社 | Printer for electronic device pattern and printing method therefor |
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