JP2007003977A - Method for manufacturing liquid crystal apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent or suppress a phenomenon such as intrusion of a liquid crystal into a seal during laminating upper and lower substrates and to provide a liquid crystal apparatus having high reliability. <P>SOLUTION: The method for manufacturing a liquid crystal apparatus having a liquid crystal 50 held between a pair of substrates 10, 20 laminated with a sealing material 52 includes: a step of forming the sealing material 52 on at least one substrate 10 of the pair of substrates 10, 20; and a step of laminating the substrates 10, 20 while holding the liquid crystal 50 in between the substrate 10 having the sealing material 52 formed thereon and the other substrate 20 in a reduced pressure atmosphere. The viscosity of the sealing material 52 in the laminating step is controlled to a range of 100 to 300 Pa s. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶装置の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal device.

近年、液晶装置を製造する方法として、封口レス(ODF、One Drop Fill)方式が広く利用されている(特許文献1参照)。この封口レス方式は、まず、基板上にシール材を描画し、上下基板の貼り合わせ時に基板上に液晶を配置する。続けて、この液晶が配置された上下基板を真空中にて貼り合せ、貼り合わせ後に大気開放する。このような工程により封口レス方式においては液晶装置を製造する。しかし、この封口レス方式においては、液晶が配置された上下基板を真空中にて貼り合わせた後、大気開放するため、シールパス現象が発生する場合がある。すなわち、貼り合わせた上下基板が大気開放される際に、液晶の膨張力にシール材が耐えられず、パネル外部に液晶が漏れ出す現象である。そこで、近年においては、上下基板の貼り合わせ時に使用するシール材には、大気開放時の液晶の膨張力に耐え得るシール材(例えば、25℃で粘度が30±10Pa・s)が使用されている。
特開平9−127528号公報
In recent years, as a method for manufacturing a liquid crystal device, an ODF (One Drop Fill) method has been widely used (see Patent Document 1). In this sealing-less method, first, a sealing material is drawn on a substrate, and a liquid crystal is arranged on the substrate when the upper and lower substrates are bonded together. Subsequently, the upper and lower substrates on which the liquid crystal is arranged are bonded together in a vacuum, and the atmosphere is released after bonding. With such a process, a liquid crystal device is manufactured in the sealing-less system. However, in this sealing-less method, since the upper and lower substrates on which the liquid crystal is arranged are bonded together in a vacuum and then released to the atmosphere, a seal pass phenomenon may occur. That is, when the bonded upper and lower substrates are opened to the atmosphere, the sealing material cannot withstand the expansion force of the liquid crystal, and the liquid crystal leaks outside the panel. Therefore, in recent years, a sealing material that can withstand the expansion force of liquid crystal when exposed to the atmosphere (for example, a viscosity of 30 ± 10 Pa · s at 25 ° C.) is used as the sealing material used when the upper and lower substrates are bonded together. Yes.
JP-A-9-127528

しかしながら、上記のシール材の粘度では、実際には、シールパス現象が発生してしまう場合があり、シール材の粘度としては不十分であった。さらに、上記シール材の粘度では、液晶量とパネル内容積との関係において以下の問題が発生した。すなわち、基板上に配置する液晶量がパネル内容積を上回ると、液晶がシール内部に浸食してしまい、シール材と基板との密着性を悪化させ、透湿性及び剥離において不都合が生じる場合があった。一方、液晶量がパネル内容積を下回ると、パネル内部が負圧の状態となりシール材をパネル内部に引き込んでしまう場合があり、表示部分にシール材が干渉してしまうという問題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、上下基板の貼り合わせ時にシール内部への液晶の浸食等の現象を抑制又は防止し、信頼性の高い液晶装置を製造することのできる液晶装置の製造方法を提供することを目的とする。
However, the viscosity of the sealing material may actually cause a seal pass phenomenon, which is insufficient as the viscosity of the sealing material. Further, the viscosity of the sealing material has the following problems in relation to the amount of liquid crystal and the panel internal volume. In other words, if the amount of liquid crystal placed on the substrate exceeds the internal volume of the panel, the liquid crystal may erode inside the seal, deteriorating the adhesion between the sealing material and the substrate, and causing inconvenience in moisture permeability and peeling. It was. On the other hand, if the amount of liquid crystal is less than the volume in the panel, the inside of the panel is in a negative pressure state, and the sealing material may be drawn into the panel, and there is a problem that the sealing material interferes with the display portion.
The present invention has been made to solve the above-described problems, and suppresses or prevents a phenomenon such as erosion of liquid crystal inside the seal when the upper and lower substrates are bonded to each other to manufacture a highly reliable liquid crystal device. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal device.

上記の課題を解決するため、本発明の液晶装置の製造方法は、シール材を介して貼り合わされた一対の基板の間に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上にシール材を形成する工程と、前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上に液晶を配置する工程と、前記一対の基板を貼り合わせる工程とを有し、前記シール材は、前記貼り合わせ工程におけるシール材の粘度よりも低い粘度で形成された後、前記シール材の粘度を高める処理により、その粘度が前記貼り合わせ工程で必要とされる粘度にまで高められることを特徴とする。ここで、前記処理としては、前記シール材を加熱する処理、前記シール材に紫外線を照射する処理、又は前記シール材を一定時間放置する処理のいずれかを用いることができる。
この方法によれば、上下基板の貼り合わせ時において、シール材の粘度が高粘度に調節されるため、シール材の粘度が低粘度である場合に発生するシールパス現象を防止することができる。また、これにより、液晶量がパネル内部の容積を上回る場合に発生する液晶がシール内部に浸食する現象、又は液晶量がパネル内部の容積より少ない場合に発生するシール材がパネル内部に引き込まれる現象を回避することができる。また、最初から粘度の高いシール材を用いる場合に比べて、シール材の描画が円滑にでき、またシール材中へのギャップ材の混入等も容易に行なえるようになる。
In order to solve the above problems, a method for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal device in which a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates bonded together with a sealant. Forming a sealant on at least one of the substrates, placing a liquid crystal on at least one of the pair of substrates, and bonding the pair of substrates. The sealing material is formed with a viscosity lower than the viscosity of the sealing material in the bonding step, and then the viscosity of the sealing material is increased to a viscosity required in the bonding step by a process of increasing the viscosity of the sealing material. It is characterized by being enhanced. Here, as the process, any of a process of heating the sealing material, a process of irradiating the sealing material with ultraviolet light, or a process of leaving the sealing material for a certain period of time can be used.
According to this method, since the viscosity of the sealing material is adjusted to a high viscosity when the upper and lower substrates are bonded together, a seal pass phenomenon that occurs when the viscosity of the sealing material is low can be prevented. This also causes a phenomenon that the liquid crystal generated when the amount of liquid crystal exceeds the volume inside the panel erodes inside the seal, or a phenomenon where the sealing material that occurs when the amount of liquid crystal is less than the volume inside the panel is drawn into the panel. Can be avoided. Further, as compared with the case of using a sealing material having a high viscosity from the beginning, the drawing of the sealing material can be performed smoothly, and the gap material can be easily mixed into the sealing material.

本発明においては、前記貼り合わせ工程における前記シール材の粘度は、100Pa・s〜300Pa・sの範囲であることが望ましい。
この方法によれば、シールパス現象を確実に防止することができる。
In the present invention, the viscosity of the sealing material in the bonding step is preferably in the range of 100 Pa · s to 300 Pa · s.
According to this method, the seal pass phenomenon can be reliably prevented.

本発明の液晶装置の製造方法は、シール材を介して貼り合わされた一対の基板の間に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上にシール材を形成する工程と、前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上に液晶を配置する工程と、前記一対の基板を貼り合わせる工程とを有し、前記シール材の粘度として、前記貼り合わせ工程におけるシール材の粘度を100Pa・s〜300Pa・sの範囲に制御することを特徴とする。
この方法によれば、上下基板の貼り合わせ時において、シール材の粘度が100Pa・s〜300Pa・sと高粘度であるため、シール材の粘度が低粘度である場合に発生するシールパス現象を確実に防止することができる。
The method for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal device in which a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates bonded together with a sealing material, and at least one of the pair of substrates. A step of forming a sealing material thereon, a step of arranging liquid crystal on at least one of the pair of substrates, and a step of bonding the pair of substrates, The viscosity of the sealing material in the bonding step is controlled in a range of 100 Pa · s to 300 Pa · s.
According to this method, when the upper and lower substrates are bonded together, the viscosity of the sealing material is as high as 100 Pa · s to 300 Pa · s, so that the seal pass phenomenon that occurs when the viscosity of the sealing material is low is ensured. Can be prevented.

本発明においては、前記シール材は、前記貼り合わせ工程におけるシール材の粘度よりも低い粘度で形成された後、前記シール材の粘度を高める処理により、その粘度が前記貼り合わせ工程で必要とされる粘度にまで高められるものとすることができる。ここで、前記処理としては、前記シール材を加熱する処理、前記シール材に紫外線を照射する処理、又は前記シール材を一定時間放置する処理のいずれかを用いることができる。
この方法によれば、最初から粘度の高いシール材を用いる場合に比べて、シール材の描画を円滑にでき、またシール材中へのギャップ材の混入等も容易に行なえるようになる。
In the present invention, after the sealing material is formed at a viscosity lower than the viscosity of the sealing material in the bonding step, the viscosity is required in the bonding step by a process of increasing the viscosity of the sealing material. The viscosity can be increased to a certain viscosity. Here, as the process, any of a process of heating the sealing material, a process of irradiating the sealing material with ultraviolet light, or a process of leaving the sealing material for a certain period of time can be used.
According to this method, as compared with the case of using a sealing material having a high viscosity from the beginning, the drawing of the sealing material can be performed smoothly, and mixing of the gap material into the sealing material can be easily performed.

以下、本発明の一実施の形態を図1〜図6を参照して説明する。
図1は本実施の形態の液晶装置の製造方法に用いる液晶・シール材塗布装置の概略構成図、図2は同、製造方法に用いる基板貼り合わせ装置の概略構成図である。図3〜図5は製造プロセスを順を追って示す工程図、図6は製造プロセスのフローチャート、図7は本方法で用いるシール材の作用を説明するための概念図である。なお、以下の各図面において、各構成要素を見やすくするため、各構成要素の寸法、膜厚等の比率は適宜異ならせてある。また、以下の説明では、基板の表面に沿う方向をX方向(例えば図7中、左右方向)およびY方向(例えば図7中、紙面と垂直な方向)とし、XY平面と直交する方向をZ方向として説明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a liquid crystal / sealant coating apparatus used in the manufacturing method of the liquid crystal device of the present embodiment, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a substrate bonding apparatus used in the manufacturing method. 3 to 5 are step diagrams showing the manufacturing process in order, FIG. 6 is a flowchart of the manufacturing process, and FIG. 7 is a conceptual diagram for explaining the action of the sealing material used in this method. In the following drawings, the ratios of dimensions, film thickness, and the like of each component are appropriately changed in order to make each component easy to see. In the following description, the direction along the surface of the substrate is defined as the X direction (for example, the left-right direction in FIG. 7) and the Y direction (for example, the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 7), and the direction orthogonal to the XY plane is Z. This will be described as a direction.

液晶・シール材塗布装置(材料供給部)63は、図1に示すように、基板を保持してX方向、Y方向およびθ方向(Z軸と平行な軸周りの回転方向)に移動自在なテーブル65と、テーブル65の上方に配設されて液晶材料を吐出、滴下する液滴吐出ヘッド66と、液滴吐出ヘッド66の近傍に配設されシール材を塗布するシール材塗布部67とを主体に構成されている。シール材塗布部67から塗布されるシール材には、略球形状のギャップ制御材が含まれており、ギャップ制御材の直径は基板のセルギャップと略同じ寸法(直径略3μm)に形成されている。なお、液晶材料を滴下させる手段として、液滴吐出ヘッド66の他、精密薬液吐出機(計量型ディスペンサ)など、滴下する液晶材料量を制御できるものであれば、どのような装置を用いてもよい。また、ギャップ制御材は略球形状に形成され、シール材に含有するものに限ることなく、繊維形状に形成されシール材に含有するものや、シール材に含有せず基板から柱状に突出して形成されたもの等、種々のものを使用することができる。また、基板給除部62は、液晶・シール材塗布装置63と後述する基板貼り合わせ装置64との間で基板を搬送するキャリアを用いている。   As shown in FIG. 1, the liquid crystal / sealant coating device (material supply unit) 63 holds the substrate and is movable in the X direction, the Y direction, and the θ direction (rotation direction around an axis parallel to the Z axis). A table 65; a droplet discharge head 66 disposed above the table 65 for discharging and dropping a liquid crystal material; and a seal material application portion 67 disposed near the droplet discharge head 66 for applying a seal material. Consists of the subject. The sealing material applied from the sealing material application portion 67 includes a substantially spherical gap control material, and the diameter of the gap control material is formed to be approximately the same as the cell gap of the substrate (diameter approximately 3 μm). Yes. As a means for dropping the liquid crystal material, any apparatus can be used as long as it can control the amount of liquid crystal material to be dropped, such as a precision liquid discharger (measuring type dispenser) in addition to the liquid drop discharge head 66. Good. In addition, the gap control material is formed in a substantially spherical shape, and is not limited to the one contained in the sealing material, but is formed in a fiber shape and contained in the sealing material, or is not contained in the sealing material and protrudes from the substrate in a column shape. Various types such as those made can be used. Further, the substrate supply / removal unit 62 uses a carrier for transporting the substrate between the liquid crystal / sealant coating device 63 and a substrate bonding device 64 described later.

基板貼り合わせ装置(基板貼り合わせ部)64は、図2に示すように、基板を保持してX方向、Y方向およびθ方向に移動自在なテーブル68と、テーブル68上に設置された下チャック部69と、下チャック部69の上方に配置された真空チャンバ70と、真空チャンバ70内に下チャック部69と対向配置された上チャック部71と、上チャック部71をZ方向に移動自在に支持し、且つ下チャック部69に向けて加圧する下降機構72と、から概略構成されている。真空チャンバ70には、覗き窓70aと排気部76とが設けられている。覗き窓70aの上方には、覗き窓70aを介して基板上のアライメントマークを拡大、観測する貼り合わせ用顕微鏡74が配置され、貼り合わせ用顕微鏡74には、拡大されたアライメントマークの画像を取り込むCCDカメラ81が備えられている。排気部76には、収容空間70b内の気体を排気(真空引き)するための真空ポンプ等の吸引装置78が接続されている。また、真空チャンバ70には、シール材52を仮硬化させる紫外線を照射する水銀ランプ等のUVランプからファイバなどを経路として使用したUV照射ユニット82が備えられている。なお、UV照射ユニット82は、シール材52の粘度を高める程度のエネルギーを供給できればよい。また、シール材52にエネルギーを与える手段は、UVランプに限られることなく、加熱・冷却装置や、可視光照射装置など、シール材52の性質によりさまざまな装置を用いることができる。   As shown in FIG. 2, the substrate bonding apparatus (substrate bonding unit) 64 includes a table 68 that holds the substrate and is movable in the X, Y, and θ directions, and a lower chuck installed on the table 68. Part 69, vacuum chamber 70 disposed above lower chuck part 69, upper chuck part 71 disposed in vacuum chamber 70 so as to face lower chuck part 69, and upper chuck part 71 movable in the Z direction. A lowering mechanism 72 that supports and pressurizes the lower chuck portion 69 toward the lower chuck portion 69. The vacuum chamber 70 is provided with a viewing window 70 a and an exhaust part 76. A bonding microscope 74 for magnifying and observing the alignment mark on the substrate through the sighting window 70a is disposed above the sighting window 70a. The bonding microscope 74 captures an image of the enlarged alignment mark. A CCD camera 81 is provided. The exhaust unit 76 is connected to a suction device 78 such as a vacuum pump for exhausting (evacuating) the gas in the accommodation space 70b. Further, the vacuum chamber 70 is provided with a UV irradiation unit 82 using a fiber or the like as a path from a UV lamp such as a mercury lamp that irradiates ultraviolet rays for temporarily curing the sealing material 52. The UV irradiation unit 82 only needs to supply energy that increases the viscosity of the sealing material 52. The means for applying energy to the sealing material 52 is not limited to the UV lamp, and various devices such as a heating / cooling device and a visible light irradiation device can be used depending on the properties of the sealing material 52.

さらに、基板貼り合わせ装置64には、CCDカメラ81により取り込まれた画像を処理する画像処理部83と、画像処理部83により処理されたデータに基づいてテーブル68と下降機構72とを制御する制御部84が設けられている。また、下チャック部69および上チャック部71には、互いに対向する保持面69a、71aでそれぞれ基板を保持するための保持機構(図示せず)が備えられている。なお、下チャック部69および上チャック部71には、静電気力や粘着力を用いたチャック機構、または機械的に基板を保持する機械的保持機構など、略真空雰囲気においても基板を保持できる機構であれば、どのような機構が備えられていてもよい。例えば、基板に石英ガラスを用いた場合、静電気力による保持方法を用いると、保持力が弱く、基板の相対位置を十分な精度で調整することができない。その一方、接着力、分子間力、真空力、機械式保持等の保持方法であれば、石英ガラスでも十分な保持力を発揮することができるため、下チャック部69および上チャック部71の保持機構に用いて好適である。   Further, the substrate bonding apparatus 64 includes an image processing unit 83 that processes an image captured by the CCD camera 81, and a control that controls the table 68 and the lowering mechanism 72 based on the data processed by the image processing unit 83. A portion 84 is provided. Further, the lower chuck portion 69 and the upper chuck portion 71 are provided with holding mechanisms (not shown) for holding the substrate by holding surfaces 69a and 71a facing each other. The lower chuck portion 69 and the upper chuck portion 71 are mechanisms that can hold the substrate even in a substantially vacuum atmosphere, such as a chuck mechanism using electrostatic force or adhesive force, or a mechanical holding mechanism that mechanically holds the substrate. Any mechanism may be provided as long as it is present. For example, when quartz glass is used for the substrate, if a holding method using electrostatic force is used, the holding force is weak and the relative position of the substrate cannot be adjusted with sufficient accuracy. On the other hand, a holding method such as an adhesive force, an intermolecular force, a vacuum force, or a mechanical holding method can exert a sufficient holding force even with quartz glass, so that the lower chuck portion 69 and the upper chuck portion 71 can be held. It is suitable for use in a mechanism.

続いて、上記の製造装置を用いて薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor, 以下、TFTと略記する)をスイッチング素子としたアクティブマトリクス方式の液晶装置100を製造する手順について、図3〜図6を用いて説明する。
まず、ガラス基板上にTFTを形成し、さらに画素電極および配向膜等を形成してTFTアレイ基板を作製する一方(図6中のステップS1)、ガラス基板上に遮光膜、対向電極、配向膜等を形成して対向基板を作製する(図6中のステップS2)。
なお、以下の説明においては、TFTアレイ基板を下基板10と称し、対向基板を上基板20と称して説明する。
Subsequently, a procedure for manufacturing an active matrix liquid crystal device 100 using a thin film transistor (hereinafter abbreviated as TFT) as a switching element using the above manufacturing apparatus will be described with reference to FIGS. To do.
First, a TFT is formed on a glass substrate, and further a pixel electrode and an alignment film are formed to produce a TFT array substrate (step S1 in FIG. 6), while a light shielding film, a counter electrode, an alignment film are formed on the glass substrate. Etc. are formed to produce a counter substrate (step S2 in FIG. 6).
In the following description, the TFT array substrate is referred to as the lower substrate 10 and the counter substrate is referred to as the upper substrate 20.

図3(a)に示すように、対向電極等が形成された上基板20は基板給除部により運搬されて基板貼り合わせ装置64の上チャック部71に給材され、保持機構により上基板20が保持される。一方、TFT等が形成された下基板10は基板給除部により運搬され、液晶・シール材塗布装置63のテーブル65上に給材される(図1参照)。そして、テーブル65を移動させつつ、下基板10上にシール材塗布部67からシール材が閉じた枠状に塗布される(図6中のステップS3)。本実施の形態では、ここで従来使用されていたものよりも粘度が高いシール材が用いられる。具体的には、100Pa・s〜300Pa・sの範囲のUV硬化型樹脂や熱硬化樹脂等が用いられる。
次に、テーブル65を移動させつつ液滴吐出ヘッド66から液晶を吐出、滴下して、図3(b)に示すように、下基板10上のシール材52で囲まれた位置に液晶50を配置する(図6中のステップS4)。下基板10にはセル厚を一定に保持するためのスペーサー52aが配置されている。なお、図3(b)では、液晶50はシール材52で囲まれた領域の1箇所に滴下するように図示しているが、1箇所に滴下するものに限られることなく、複数の箇所に滴下してもよい。
As shown in FIG. 3A, the upper substrate 20 on which the counter electrode and the like are formed is transported by the substrate feeding / removal unit and supplied to the upper chuck portion 71 of the substrate bonding apparatus 64, and the upper substrate 20 by the holding mechanism. Is retained. On the other hand, the lower substrate 10 on which TFTs and the like are formed is transported by the substrate feeding / unloading unit and fed onto the table 65 of the liquid crystal / sealant coating device 63 (see FIG. 1). Then, while moving the table 65, the sealing material is applied in a closed frame shape from the sealing material application part 67 onto the lower substrate 10 (step S3 in FIG. 6). In the present embodiment, a sealing material having a higher viscosity than that conventionally used here is used. Specifically, a UV curable resin, a thermosetting resin, or the like in the range of 100 Pa · s to 300 Pa · s is used.
Next, the liquid crystal 50 is discharged and dropped from the droplet discharge head 66 while moving the table 65, and the liquid crystal 50 is placed at a position surrounded by the sealing material 52 on the lower substrate 10 as shown in FIG. Arrange (step S4 in FIG. 6). The lower substrate 10 is provided with a spacer 52a for keeping the cell thickness constant. In FIG. 3B, the liquid crystal 50 is shown to be dropped at one place in the region surrounded by the sealing material 52, but the liquid crystal 50 is not limited to being dropped at one place, and is dropped at a plurality of places. It may be dripped.

液晶が滴下された下基板10は基板給除部62により運搬され、図3(c)に示すように、下チャック部69に給材され(なお、以下の説明では便宜上、液晶50およびシール材52の図示を省略する)、保持機構により保持される。
そして、図4(a)に示すように、真空チャンバ70を下降させて下チャック部69に当接させ、収容空間70bを密封状態に閉塞する。収容空間70bが密封状態となったら、排気部76から負圧吸引して収容空間70b内を略真空状態(1.33Pa〜1.33×10−2Pa)とする。
The lower substrate 10 onto which the liquid crystal has been dropped is transported by the substrate supply / removal unit 62 and supplied to the lower chuck unit 69 as shown in FIG. 3C (in the following description, for convenience, the liquid crystal 50 and the sealing material are used). 52 is omitted) and is held by the holding mechanism.
Then, as shown in FIG. 4A, the vacuum chamber 70 is lowered and brought into contact with the lower chuck portion 69 to close the housing space 70b in a sealed state. When the storage space 70b is in a sealed state, negative pressure is sucked from the exhaust part 76 to bring the inside of the storage space 70b into a substantially vacuum state (1.33 Pa to 1.33 × 10 −2 Pa).

収容空間70b内が略真空状態となったら、図4(b)に示すように、上基板20と下基板10とに形成されたアライメントマーク(図示せず)を貼り合わせ用顕微鏡74を用いて拡大してCCDカメラ81に取り込む。CCDカメラ81に取り込まれたアライメントマークの画像データは、画像処理部83に入力され上基板20と下基板10との相対位置が検出される。制御部84は、画像処理部83により検出された相対位置に基づき、テーブル68を駆動して上基板20と下基板10との相対位置のズレが許容範囲以内になるように粗位置決めする。なお、上記収容空間70b内の真空引きと、基板10、20の粗位置決めとは同時に併行して実施してもよいし、粗位置決めを先に実施して真空引きを後から実施してもよい。真空引きと粗位置決めとを同時に実施した場合は、製造時間を短縮することができる。また、上チャック部71には、貼り合わせ用顕微鏡74および覗き窓70aの直下の位置に貫通孔71bが形成されており、この貫通孔71bを介して各基板10、20のアライメントマークを検出することができる。   When the inside of the accommodation space 70b is in a substantially vacuum state, as shown in FIG. 4B, an alignment mark (not shown) formed on the upper substrate 20 and the lower substrate 10 is used using a bonding microscope 74. The image is enlarged and taken into the CCD camera 81. The image data of the alignment mark captured by the CCD camera 81 is input to the image processing unit 83, and the relative position between the upper substrate 20 and the lower substrate 10 is detected. Based on the relative position detected by the image processing unit 83, the control unit 84 drives the table 68 to roughly position the relative position between the upper substrate 20 and the lower substrate 10 within an allowable range. Note that the evacuation in the housing space 70b and the rough positioning of the substrates 10 and 20 may be performed concurrently, or the rough positioning may be performed first and the evacuation may be performed later. . When evacuation and rough positioning are performed at the same time, the manufacturing time can be shortened. Further, a through hole 71b is formed in the upper chuck portion 71 at a position directly below the bonding microscope 74 and the viewing window 70a, and the alignment marks of the substrates 10 and 20 are detected through the through hole 71b. be able to.

基板10、20が粗位置決めされたら、図4(c)に示すように、下降機構72により上チャック部71を下降(相対移動)させて対向する基板10、20を貼り合わせる(図6中のステップS5)。さらに上チャック部71を下チャック部69に向けて下降させ、基板10、20に加圧してシール材52を押しつぶす。基板10、20の貼り合わせが完了すると、UV照射ユニット82により紫外線を照射してシール材52を仮硬化させ、シール材の粘度を高める(図6中のステップS6)。
なお、基板10、20を貼り合わせた後の加圧は、製造のプロセスおよびシール材52などの選択によっては実施しなくてもよい。また、UV照射ユニット82によるシール材52の仮硬化も同様にシール材52によっては実施しなくてもよい。
また、貼り合わせ後から精密位置合わせまでの間にズレの発生が予想され、そのズレ量、方向が統計的に予想される場合には、ズレ発生後の基板10、20の位置関係が上述した範囲内に収まるように、あらかじめオフセットさせて粗位置決めしてもよい。
When the substrates 10 and 20 are roughly positioned, as shown in FIG. 4C, the upper chuck portion 71 is lowered (relatively moved) by the lowering mechanism 72 to bond the opposing substrates 10 and 20 together (in FIG. 6). Step S5). Further, the upper chuck portion 71 is lowered toward the lower chuck portion 69, and pressurizes the substrates 10 and 20 to crush the sealing material 52. When the bonding of the substrates 10 and 20 is completed, the UV irradiation unit 82 irradiates ultraviolet rays to temporarily cure the sealing material 52 and increase the viscosity of the sealing material (step S6 in FIG. 6).
Note that the pressurization after bonding the substrates 10 and 20 may not be performed depending on the manufacturing process and the selection of the sealing material 52 and the like. Similarly, the temporary curing of the sealing material 52 by the UV irradiation unit 82 may not be performed depending on the sealing material 52.
Further, when a deviation is expected between the pasting and the precise positioning, and the amount and direction of the deviation are predicted statistically, the positional relationship between the substrates 10 and 20 after the occurrence of the deviation is described above. Rough positioning may be performed by offsetting in advance so as to be within the range.

この後、収容空間70b内に大気が導入され、略真空状態から大気圧に戻される。真空チャンバ70の収容空間70bが大気圧になると、圧力差により両基板10、20は押圧されてシール材52はさらに押しつぶされる(図6中のステップS7)。その後、図5に示すように、上チャック部71と下チャック部69との保持を解除し、真空チャンバ70を上昇させる。そして、下チャック部69に非保持状態で載置されている基板(この場合は基板10、20が貼り合わされた液晶装置100)を基板給除部62により除材する。その後、精密アライメント、UVランプによるシール材52の本硬化が行われ(図6中のステップS8)、液晶装置100の製造が完了する。   Thereafter, the atmosphere is introduced into the accommodation space 70b, and the pressure is returned from the substantially vacuum state to the atmospheric pressure. When the accommodation space 70b of the vacuum chamber 70 becomes atmospheric pressure, the substrates 10 and 20 are pressed by the pressure difference, and the sealing material 52 is further crushed (step S7 in FIG. 6). Thereafter, as shown in FIG. 5, the holding of the upper chuck portion 71 and the lower chuck portion 69 is released, and the vacuum chamber 70 is raised. Then, the substrate placed in the lower chuck portion 69 in a non-holding state (in this case, the liquid crystal device 100 to which the substrates 10 and 20 are bonded) is removed by the substrate feeding / unloading portion 62. Thereafter, precision alignment and main curing of the sealing material 52 using a UV lamp are performed (step S8 in FIG. 6), and the manufacture of the liquid crystal device 100 is completed.

本実施形態の液晶装置の製造方法においては、従来使用されていたものよりも粘度が高い、例えば100〜300Pa・s程度のシール材52が用いられるので、シール材の粘度が低粘度である場合に発生するシールパス現象を防止することができる。また、これにより、液晶量がパネル内部の容積を上回る場合に発生する液晶がシール内部に浸食する現象、又は液晶量がパネル内部の容積より少ない場合に発生するシール材がパネル内部に引き込まれる現象を回避することができる。   In the manufacturing method of the liquid crystal device according to the present embodiment, since the sealing material 52 having a higher viscosity than that conventionally used, for example, about 100 to 300 Pa · s is used, the viscosity of the sealing material is low. It is possible to prevent the seal pass phenomenon occurring in the case. This also causes a phenomenon that the liquid crystal generated when the amount of liquid crystal exceeds the volume inside the panel erodes inside the seal, or a phenomenon where the sealing material that occurs when the amount of liquid crystal is less than the volume inside the panel is drawn into the panel. Can be avoided.

ここで、本発明者らは、粘度の値を種々に変えたシール材を用いて実際に液晶パネルを試作し、シール材の描画のし易さ、シール材の侵食(シールパス)の程度、シール材の潰れ易さ等の評価を行った。[表1]にその結果を示す。なお、表中の×、○、及び◎は、液晶パネルの良品率を表し、○又は◎であれば良品と認められる。   Here, the present inventors actually made a prototype of a liquid crystal panel using sealing materials with various viscosity values, ease of drawing the sealing material, degree of erosion (seal path) of the sealing material, sealing Evaluation of the ease of crushing of the material was performed. The results are shown in [Table 1]. In the table, “x”, “◯”, and “◎” represent the non-defective product ratio of the liquid crystal panel.

Figure 2007003977
Figure 2007003977

表1から明らかなように、シール材52の粘度が100Paよりも小さい場合には、シール材の描画のし易さやシール材の潰れ易さは十分であるが、シールパスが発生し易く、十分な信頼性が得られない。逆に、シール材52の粘度が300Paよりも大きい場合には、シールパスは生じにくくなるが、シール材の描画のし易さやシール材の潰れ易さが十分でなくなる。これに対して、シール材52の粘度が100Pa・s〜300Pa・sの範囲であれば、シール材の浸食、及びシール材の潰れ易さの全てにおいて良好な結果が得られる。したがって、この範囲のシール材を用いることにより、信頼性の高い液晶装置を高い歩留まりで製造することが可能になる。   As apparent from Table 1, when the viscosity of the sealing material 52 is less than 100 Pa, the sealing material is easy to draw and the sealing material is easily crushed, but a sealing pass is likely to be generated and sufficient. Reliability cannot be obtained. On the other hand, when the viscosity of the sealing material 52 is greater than 300 Pa, a sealing pass is less likely to occur, but the ease of drawing the sealing material and the ease of crushing the sealing material are not sufficient. On the other hand, if the viscosity of the sealing material 52 is in the range of 100 Pa · s to 300 Pa · s, good results can be obtained in all of the erosion of the sealing material and the ease of collapsing of the sealing material. Therefore, by using the sealing material in this range, a highly reliable liquid crystal device can be manufactured with a high yield.

[変形例]
図7は、液晶装置の他の製造方法を示すフローチャートである。
この製造方法における基本的な工程は図6に示したものと同じである。先の実施形態では最初から粘度の高いシール材を用いたが、本変形例の製造方法では、最初は粘度の低い状態のシール材を用い、シール材描画後に、加熱等により粘度の高いシール材とする点で異なる。
[Modification]
FIG. 7 is a flowchart showing another method for manufacturing the liquid crystal device.
The basic steps in this manufacturing method are the same as those shown in FIG. In the previous embodiment, a high-viscosity sealing material was used from the beginning. However, in the manufacturing method of this modified example, a low-viscosity sealing material was first used, and after drawing the sealing material, the high-viscosity sealing material was heated. It is different in that.

図7において、シール材の形成工程(ステップS3)は、低粘度のシール材を用いて基板上にシール材を描画する工程(ステップS3a)と、このシール材を加熱等することにより、基板の貼り合わせ工程(ステップS5)で必要とされる粘度にまで高める工程(ステップ3b)とを含む。   In FIG. 7, the sealing material forming step (step S3) includes a step of drawing the sealing material on the substrate using a low-viscosity sealing material (step S3a), and heating the sealing material to And a step of increasing the viscosity required in the bonding step (step S5) (step 3b).

ステップ3aでは、従来使用されていたものと同じか、それよりも粘度の低いシール材が用いられる。具体的には、30Pa・s程度のUV硬化型樹脂や熱硬化樹脂等が用いられる。このような低粘度のシール材を用いることで、描画を円滑に行なうことができる。ステップ3aでシール材が描画されたら、ステップ3bにおいて、シール材の粘度を高める処理が行なわれる。この処理としては、シール材を加熱する処理、シール材に紫外線を照射する処理、又はシール材を一定時間放置する処理のいずれかを用いることができる。各処理における最適な条件を表2に示す。これらの条件は、シール材の粘度を前述した範囲(100Pa・s〜300Pa・s)に調節するための条件である。   In step 3a, a sealing material having the same viscosity as that conventionally used or a lower viscosity is used. Specifically, a UV curable resin, a thermosetting resin, or the like of about 30 Pa · s is used. By using such a low-viscosity sealing material, drawing can be performed smoothly. When the sealing material is drawn in step 3a, processing for increasing the viscosity of the sealing material is performed in step 3b. As this process, any one of a process of heating the sealing material, a process of irradiating the sealing material with ultraviolet rays, or a process of leaving the sealing material for a certain period of time can be used. Table 2 shows the optimum conditions for each treatment. These conditions are conditions for adjusting the viscosity of the sealing material to the above-described range (100 Pa · s to 300 Pa · s).

Figure 2007003977
Figure 2007003977

本変形例においては、最初に基板貼り合わせ工程におけるシール材の粘度よりも低い粘度でシール材を形成した後、加熱等の処理により、シール材の粘度を基板貼り合わせ工程で必要とされる粘度にまで高めるものとしている。このため、最初から粘度の高いシール材を用いる場合に比べて、シール材の描画を円滑にでき、またシール材中へのギャップ材の混入等も容易に行なえるようになる。   In this modification, after the sealing material is first formed with a viscosity lower than the viscosity of the sealing material in the substrate bonding step, the viscosity of the sealing material is required in the substrate bonding step by a process such as heating. It is supposed to be raised to. For this reason, as compared with the case of using a sealing material having a high viscosity from the beginning, the drawing of the sealing material can be performed smoothly, and the gap material can be easily mixed into the sealing material.

[電子機器]
以下、上記実施の形態の液晶装置を備えた電子機器の具体例について説明する。
図8は、携帯電話の一例を示した斜視図である。
図8において、符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は上記実施の形態の液晶装置を用いた表示部を示している。
図8に示す携帯電話は、上記の液晶装置を用いた表示部を備えているので、表示品位に優れた表示部を有する電子機器を実現することができる。
[Electronics]
Hereinafter, specific examples of electronic devices including the liquid crystal device of the above embodiment will be described.
FIG. 8 is a perspective view showing an example of a mobile phone.
In FIG. 8, reference numeral 1000 denotes a mobile phone body, and reference numeral 1001 denotes a display unit using the liquid crystal device of the above embodiment.
Since the mobile phone shown in FIG. 8 includes a display portion using the above liquid crystal device, an electronic device having a display portion with excellent display quality can be realized.

なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施の形態では、電気光学装置の例としてTFTをスイッチング素子としたアクティブマトリクス型液晶装置の例を挙げたが、薄膜ダイオード(Thin Film Diode,TFD)をスイッチング素子としたアクティブマトリクス型の液晶装置、パッシブマトリクス型の液晶装置でも良い。さらに、液晶装置のみならず、本発明は他の電気光学装置にも適用が可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above-described embodiment, an example of an active matrix liquid crystal device using a TFT as a switching element is given as an example of an electro-optical device. However, an active matrix liquid crystal device using a thin film diode (TFD) as a switching element. A device or a passive matrix liquid crystal device may be used. Furthermore, the present invention can be applied not only to a liquid crystal device but also to other electro-optical devices.

本発明の一実施形態の液晶装置の製造方法に用いる液晶・シール材塗布装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the liquid crystal and the sealing material coating device used for the manufacturing method of the liquid crystal device of one Embodiment of this invention. 同、製造方法に用いる基板貼り合わせ装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the board | substrate bonding apparatus used for a manufacturing method equally. 同、製造プロセスを順を追って示す工程図である。It is process drawing which shows a manufacturing process later on the same. 同、工程図の続きである。It is a continuation of the process diagram. 同、工程図の続きである。It is a continuation of the process diagram. 同、製造プロセスのフローチャートである。2 is a flowchart of the manufacturing process. 他の製造プロセスのフローチャートである。It is a flowchart of another manufacturing process. 電子機器の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

10…下基板、20…上基板、50…液晶、52…シール材

10 ... Lower substrate, 20 ... Upper substrate, 50 ... Liquid crystal, 52 ... Sealing material

Claims (6)

シール材を介して貼り合わされた一対の基板の間に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上にシール材を形成する工程と、
前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上に液晶を配置する工程と、
前記一対の基板を貼り合わせる工程とを有し、
前記シール材は、前記貼り合わせ工程におけるシール材の粘度よりも低い粘度で形成された後、前記シール材の粘度を高める処理により、その粘度が前記貼り合わせ工程で必要とされる粘度にまで高められることを特徴とする、液晶装置の製造方法。
A method of manufacturing a liquid crystal device in which a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates bonded via a sealing material,
Forming a sealing material on at least one of the pair of substrates;
Disposing liquid crystal on at least one of the pair of substrates;
Bonding the pair of substrates together,
After the sealing material is formed with a viscosity lower than the viscosity of the sealing material in the bonding step, the viscosity is increased to a viscosity required in the bonding step by a process of increasing the viscosity of the sealing material. A method for manufacturing a liquid crystal device.
前記処理は、前記シール材を加熱する処理、前記シール材に紫外線を照射する処理、又は前記シール材を一定時間放置する処理のいずれかであることを特徴とする、請求項1記載の液晶装置の製造方法。   2. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the process is one of a process of heating the sealing material, a process of irradiating the sealing material with ultraviolet rays, or a process of leaving the sealing material for a certain period of time. Manufacturing method. 前記貼り合わせ工程における前記シール材の粘度は、100Pa・s〜300Pa・sの範囲であることを特徴とする、請求項1又は2記載の液晶装置の製造方法。   The method for manufacturing a liquid crystal device according to claim 1, wherein the viscosity of the sealing material in the bonding step is in a range of 100 Pa · s to 300 Pa · s. シール材を介して貼り合わされた一対の基板の間に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上にシール材を形成する工程と、
前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板上に液晶を配置する工程と、
前記一対の基板を貼り合わせる工程とを有し、
前記シール材の粘度として、前記貼り合わせ工程におけるシール材の粘度を100Pa・s〜300Pa・sの範囲に制御することを特徴とする、液晶装置の製造方法。
A method of manufacturing a liquid crystal device in which a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates bonded via a sealing material,
Forming a sealing material on at least one of the pair of substrates;
Disposing liquid crystal on at least one of the pair of substrates;
Bonding the pair of substrates together,
A method for manufacturing a liquid crystal device, wherein the viscosity of the sealing material in the bonding step is controlled in a range of 100 Pa · s to 300 Pa · s as the viscosity of the sealing material.
前記シール材は、前記貼り合わせ工程におけるシール材の粘度よりも低い粘度で形成された後、前記シール材の粘度を高める処理により、その粘度が前記貼り合わせ工程で必要とされる粘度にまで高められることを特徴とする、請求項4記載の液晶装置の製造方法。   After the sealing material is formed with a viscosity lower than the viscosity of the sealing material in the bonding step, the viscosity is increased to a viscosity required in the bonding step by a process of increasing the viscosity of the sealing material. The method of manufacturing a liquid crystal device according to claim 4, wherein: 前記処理は、前記シール材を加熱する処理、前記シール材に紫外線を照射する処理、又は前記シール材を一定時間放置する処理のいずれかであることを特徴とする、請求項5記載の液晶装置の製造方法。   6. The liquid crystal device according to claim 5, wherein the treatment is one of a treatment of heating the sealing material, a treatment of irradiating the sealing material with ultraviolet rays, or a treatment of leaving the sealing material for a certain period of time. Manufacturing method.
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