JP2006526798A - Scanning microscope with apparatus for fluorescence correlation spectroscopy - Google Patents

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Abstract

【課題】分子などのサンプルの要素の拡散速度や流れ速度の方向依存する測定をそれぞれ可能にする走査顕微鏡を提案する。
【解決手段】本発明は蛍光相関分光法のための装置を有する走査顕微鏡に関する。走査顕微鏡は、照明光の強度及び/又は検出感度が測定容積内で空間的に調整されることを特徴とする。
A scanning microscope is provided that enables direction-dependent measurements of the diffusion rate and flow rate of sample elements such as molecules.
The present invention relates to a scanning microscope having an apparatus for fluorescence correlation spectroscopy. The scanning microscope is characterized in that the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light is spatially adjusted within the measurement volume.

Description

本発明は、蛍光相関分光法のための走査顕微鏡に関する。   The present invention relates to a scanning microscope for fluorescence correlation spectroscopy.

走査顕微鏡法では、試料で放出された反射光又は蛍光ライトを観測するために、試験すべき対象が光ビームで照射される。照明光ビームの焦点は、制御可能なビーム偏向装置を用いて、一般的には対象物面内で2つのミラーを傾けることで対象物面内で動かされる。偏向軸はたいてい互いに垂直に位置しており、それで1つのミラーはx方向及び他方でy方向に偏向する。例えば、ミラーはガルバノメトリックポジショナーを用いて傾けられる。対象物から来る光のパワーの測定は照明光ビームの走査位置に依存する。   In scanning microscopy, the object to be tested is illuminated with a light beam in order to observe the reflected light or fluorescent light emitted by the sample. The focus of the illumination light beam is generally moved in the object plane by tilting two mirrors in the object plane using a controllable beam deflection device. The deflection axes are usually located perpendicular to each other so that one mirror deflects in the x direction and on the other in the y direction. For example, the mirror is tilted using a galvanometric positioner. The measurement of the power of light coming from the object depends on the scanning position of the illumination light beam.

特に共焦点走査顕微鏡法では、対象物は光ビームのフォーカスにより3次元で走査される。一般的に共焦点走査顕微鏡は、光源、光源からの光がピンホール開口(いわゆる、励起開口)にフォーカスされるフォーカスのための光学系、ビームスプリッタ、ビームを制御するビームデフレクター、顕微鏡光学系、検出開口、及び検出光又は蛍光ライトを検出する検出器を有する。照明光はビームスプリッタを介して1つになる。対象物から来る蛍光ライト又は反射光は、ビームデフレクターを介してビームスプリッタに戻り、そこを通り、最終的に検出開口に焦点が合う。この開口の後ろに検出器がある。焦点領域から直接生じない検出光は別な光路をとり、検出開口を通らない。それで、対象物の連続走査の結果、3次元画像を生じるピクセル情報が得られる。たいていの場合、3次元画像は階層データイメージングにより実行される。理論的には、走査光ビームの経路は対象物上又は対象物内で蛇行する(一定のy位置でx方向に線を走査し、次いで走査すべき次の線へのx走査及びy再位置決めが中断され、次いで一定のy位置で負のx方向にこの線を走査する、など)。階層データイメージングを可能にするために、層を走査した後試料テーブル又は対物レンズが再位置決めされ、走査すべき次の層が対物レンズの焦点面に運ばれる。   Particularly in confocal scanning microscopy, the object is scanned in three dimensions by the focus of the light beam. In general, a confocal scanning microscope has a light source, a focusing optical system in which light from the light source is focused on a pinhole aperture (so-called excitation aperture), a beam splitter, a beam deflector that controls the beam, a microscope optical system, It has a detection aperture and a detector for detecting detection light or fluorescent light. The illumination light becomes one through the beam splitter. Fluorescent light or reflected light coming from the object returns to the beam splitter via the beam deflector, passes through it, and finally focuses on the detection aperture. There is a detector behind this opening. Detection light not directly generated from the focal region takes another optical path and does not pass through the detection aperture. Thus, pixel information that yields a three-dimensional image is obtained as a result of continuous scanning of the object. In most cases, 3D images are performed by hierarchical data imaging. Theoretically, the path of the scanning light beam meanders on or within the object (scans a line in the x direction at a constant y position, then x scans and y repositions to the next line to be scanned) Is then interrupted, then scanning this line in the negative x direction at a constant y position, etc.). To enable hierarchical data imaging, after scanning a layer, the sample table or objective is repositioned and the next layer to be scanned is brought to the focal plane of the objective.

例えば、光軸方向の解像度の増加は、「二重共焦点走査顕微鏡」というタイトルの特許文献1に記載されたような二重の対物レンズ配置(4π配置)を用いることにより実現される。照明系から来る光は2つの部分ビームに分けられる。これらビームは、鏡像対称に配置された2つの対物レンズを通って互いに反対方向に延びるように、同時に試料を照射する。2つの対物レンズは共通の対象物面の異なる面に配置される。この干渉計照明の結果、強め合う干渉の間に1つの主な最高値と幾つかの2次的な最高値を示す干渉パターンが対象物点に形成される。ここで、2次的な最高値は一般的に光軸に沿って配置される。干渉計照明による従来の走査顕微鏡と比較して二重共焦点走査顕微鏡を用いて、軸の解像度の増加が実現される。   For example, the increase in resolution in the optical axis direction is realized by using a double objective lens arrangement (4π arrangement) as described in Patent Document 1 entitled “Double Confocal Scanning Microscope”. The light coming from the illumination system is divided into two partial beams. These beams simultaneously irradiate the sample so as to extend in opposite directions through two objective lenses arranged in mirror image symmetry. The two objective lenses are arranged on different surfaces of the common object surface. As a result of this interferometer illumination, an interference pattern is formed at the object point that exhibits one main maximum value and several secondary maximum values during constructive interference. Here, the secondary maximum value is generally arranged along the optical axis. Using a double confocal scanning microscope compared to a conventional scanning microscope with interferometric illumination, an increased axial resolution is achieved.

共焦点走査顕微鏡は蛍光相関分光法(FCS)においても用いられる。ここで、効率的な測定容積(測定ボリューム)は主に共焦点容積によりセットされる。FCSは好ましくは解決法において分子動力学の解析を可能にする。例えば反応速度又は拡散時間に関する結論を出すために、1つ又は複数の蛍光染料によりマークされたでたらめな分子の通路は測定容積を介して検出される。   Confocal scanning microscopes are also used in fluorescence correlation spectroscopy (FCS). Here, the effective measurement volume (measurement volume) is set mainly by the confocal volume. FCS preferably allows analysis of molecular dynamics in the solution. Random molecular passages marked by one or more fluorescent dyes are detected through the measurement volume, for example to draw conclusions regarding the reaction rate or diffusion time.

拡散速度が決定される共焦点走査顕微鏡によるFCS測定は、とりわけ、点広がり関数(PSF)−焦点容積における照明光の強度分布−が円筒状に対称であり、z方向と横方向の両方に同様の分布(プロフィール)を有するという問題が生じる。ゆえに、相関信号は様々な方向の拡散及び流れ速度に関して明白な結果をもたらさない。観察されたサンプルの反応の相関曲線への影響は、解析をより困難にする。   The FCS measurement with a confocal scanning microscope in which the diffusion rate is determined is, inter alia, a point spread function (PSF) —the intensity distribution of the illumination light in the focal volume—that is cylindrically symmetric and similar in both the z and lateral directions. The problem of having a distribution (profile) of. Therefore, the correlation signal does not give a clear result with respect to diffusion and flow velocity in various directions. The effect of the observed sample response on the correlation curve makes the analysis more difficult.

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ゆえに、本発明の根底にある目的は、分子などのサンプルの要素の拡散速度や流れ速度の方向依存する測定をそれぞれ可能にする走査顕微鏡を提案することである。理論的には、これは、相関曲線の反応動力学と運動の影響を容易に区別するための方法を提供する。   Therefore, the object underlying the present invention is to propose a scanning microscope that allows each direction-dependent measurement of the diffusion rate and flow rate of sample elements such as molecules. Theoretically, this provides a way to easily distinguish between the response dynamics of the correlation curve and the effects of movement.

この目的は走査顕微鏡により解決され、照明光の強度及び/又は検出感度は測定容積内で空間的に調整(変調)される。   This object is solved by a scanning microscope, and the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light is spatially adjusted (modulated) within the measurement volume.

本発明には、適切な空間調整では、異なる方向の運動が互いに区別され、このような測定の適切な組み合わせにより別な動力学により引き起こされる効果から区別されるという利点がある。結局、x、y及びz空間軸に沿う運動に加えて、全ての想定できる方向の運動が解析され、例えば拡散はダイレクトな輸送と区別される。   The present invention has the advantage that with proper spatial adjustment, the movements in different directions are distinguished from each other and from the effects caused by different dynamics by the appropriate combination of such measurements. Eventually, in addition to motion along the x, y and z space axes, all possible motions are analyzed, eg diffusion is distinguished from direct transport.

好ましくは、測定容積は少なくとも1つの画像点によって定められ、いわゆる当業者であれば、どのようにして測定容積内で所与の蛍光分子に蛍光を発させ、組み合わせた確率の適切な標準的な空間分布を作るか分かり、またこの蛍光をどのように検出するか分かる。用語「画像点」は数学的意味の次元のない位置を意味しない。   Preferably, the measurement volume is defined by at least one image point, so-called a person skilled in the art how to fluoresce a given fluorescent molecule within the measurement volume and have a suitable standard of combined probability. You can see how to make a spatial distribution and how to detect this fluorescence. The term “image point” does not mean a location without a mathematical dimension.

測定容積は複数の画像点を有してもよく、画像点で放出される検出光が同時に−平行に−好ましくは複数の検出器で検出される。   The measurement volume may have a plurality of image points, and the detection light emitted at the image points is detected simultaneously—in parallel—preferably with a plurality of detectors.

好ましい実施形態では、照明光の強度及び/又は検出感度は空間的・周期的に調整される。   In a preferred embodiment, the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light is adjusted spatially and periodically.

好ましくは、照明光の強度及び/又は検出感度の調節はスイッチでオン・オフにされ、又は空間的に変えられてもよい。これは、異なる調整でイメージ化された同じ測定容積の蛍光相関スペクトルが互いの比較により解析されるという利点を有する。好ましくは、補正(例えば、バックグラウンドの補正)が行われた後、調整をオン及びオフにしてイメージ化された同じ測定容積の蛍光相関スペクトルがその場合他方により分割される。   Preferably, the adjustment of the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity may be switched on / off with a switch or spatially varied. This has the advantage that fluorescence correlation spectra of the same measurement volume imaged with different adjustments are analyzed by comparison with each other. Preferably, after correction (eg, background correction) is made, the fluorescence correlation spectrum of the same measurement volume imaged with adjustments on and off is then split by the other.

ある変形例では、照明光の強度及び/又は検出感度の調整は時間的に変えられる。この場合、異なる調整でイメージ化された同じ測定容積の蛍光相関スペクトルは互いの比較により解析される。強度と検出感度を同時に調整することにより(ロックイン法)、「効率的な」測定容積の空間調整が作られる。   In a variant, the adjustment of the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity is varied over time. In this case, the fluorescence correlation spectra of the same measurement volume imaged with different adjustments are analyzed by comparison with each other. By adjusting the intensity and detection sensitivity simultaneously (lock-in method), a spatial adjustment of the “effective” measurement volume is made.

好ましくは、照明光の強度及び/又は検出感度の調整は干渉により作られる。好ましい実施形態では、干渉に寄与する光波は互いに調節できる位相関係を示し、それで空間調整は位相関係を変えることで変化する。   Preferably, the adjustment of the illumination light intensity and / or detection sensitivity is made by interference. In a preferred embodiment, the light waves that contribute to the interference exhibit a phase relationship that can be adjusted to each other, so that the spatial adjustment is changed by changing the phase relationship.

特に好ましい実施形態では、照明光の強度及び/又は検出感度の調整は、反対の伝播方向の2つの照明光ビームの干渉により作られる。好ましくは、走査顕微鏡は互いに向き合う2つの対物レンズのために4π配置であり、その間に試料が配置される。照明光は好ましくは2つの部分の照明ビーム束に分かれ、そのそれぞれは干渉計のアームを通過し、対物レンズの1つを介して試料に達する。同様に、試料により放出される検出光は対物レンズを通過し、先ず2つの検出光ビーム束でビームコンバイナーに入り、次いで一緒に検出器に向かう。好ましくは、ビームスプリッタは検出光ビーム束のためにビーム結合機として働く。   In a particularly preferred embodiment, the adjustment of the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light is made by the interference of two illumination light beams in opposite propagation directions. Preferably, the scanning microscope is in a 4π arrangement for two objective lenses facing each other, between which the sample is arranged. The illumination light is preferably split into two parts of the illumination beam bundle, each of which passes through the arm of the interferometer and reaches the sample via one of the objective lenses. Similarly, the detection light emitted by the sample passes through the objective lens, first enters the beam combiner with two detection light beam bundles, and then travels together to the detector. Preferably, the beam splitter acts as a beam combiner for the detected light beam bundle.

干渉計のアームを通過する光の位相関係は時間的に一定に変化するので、この実施形態は軸方向の流速を測定するのに特に適する。時間変化の速さは、例えばそれが流速に適合するまで変化する。   This embodiment is particularly suitable for measuring axial flow velocities, since the phase relationship of the light passing through the interferometer arm varies constant over time. The rate of time change varies, for example, until it matches the flow rate.

好ましい変形例では、照明光の強度及び/又は検出感度の調整を行う振幅フィルタが設けられる。好ましくは、幾つかのサイドローブが測定容積内で作られる。サイドローブは互いに同様に形成される。   In a preferred modification, an amplitude filter that adjusts the intensity and / or detection sensitivity of illumination light is provided. Preferably several side lobes are created in the measuring volume. The side lobes are formed in the same way.

別の変形例では、照明光の強度及び/又は検出感度の調整を作るために、位相フィルタ又は、位相フィルタと振幅フィルタを有する組み合わせが設けられてもよい。   In another variation, a phase filter or a combination having a phase filter and an amplitude filter may be provided to make adjustments to the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light.

別な変形例では、照明光の強度及び/又は検出感度の調整を作るために、レンズ配置(例えば、マイクロレンズ配置)又は複数のビームスプリッタの組み合わせが設けられる。   In another variation, a lens arrangement (eg, a microlens arrangement) or a combination of multiple beam splitters is provided to make adjustments to the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light.

走査顕微鏡は好ましくは共焦点走査顕微鏡として設計される。   The scanning microscope is preferably designed as a confocal scanning microscope.

本発明のサブジェクトは線図に概略的に示され、図面に基づいて以下に記述する。同様に機能する要素は同じ参照番号を付されている。   The subject of the invention is schematically shown in the diagram and is described below with reference to the drawings. Elements that function similarly are given the same reference numbers.

図1は、特に指示された相関関数を測定するのに適する走査顕微鏡を示す。入射レーザビームはビームスプリッタ(図示せず)により2つのビームに分かれる。部分ビームの1つは4π共振器に直に向かう。ここで別なビームスプリッタ(BS)は2つのビームを作る。これらビームは2つの対物レンズ(OL)を通って試料の同じ位置にフォーカスされ、そこで干渉により軸パターンを作る。   FIG. 1 shows a scanning microscope which is particularly suitable for measuring the indicated correlation function. The incident laser beam is split into two beams by a beam splitter (not shown). One of the partial beams goes directly to the 4π resonator. Here another beam splitter (BS) produces two beams. These beams pass through two objective lenses (OL) and are focused on the same position of the sample, where they create an axial pattern by interference.

それに代えて、マイクロレンズスキャナー(LA)により複数の隣接ビームに分かれた他方の部分ビームも用いられる。ビームの位置はビームプロフィール内で変化する。結局、付加的な移動可能な横パターンが試料内で作られる。   Instead, the other partial beam divided into a plurality of adjacent beams by a microlens scanner (LA) is also used. The position of the beam varies within the beam profile. Eventually, an additional movable lateral pattern is created in the sample.

4π共振器の2つの側面の1つのスイッチを切ることで純粋な横パターンが作られる。   A pure lateral pattern is created by switching off one of the two sides of the 4π resonator.

ここでは、光軸回りのパターンを回転させる多くの可能性の1つとして、ドーププリズム(DP)が示されている。   Here, a doped prism (DP) is shown as one of many possibilities for rotating the pattern around the optical axis.

図2aが、488nmの励起光、1.2の開口数、浸水及びエアリーディスクのサイズの検出ピンホール開口と算定された1光子4π共焦点顕微鏡の点広がり関数(PSF)を示す。小さい図は、干渉ビームの相対位相が変化するときのパターンの変化を示す。   FIG. 2a shows the point spread function (PSF) of a one-photon 4π confocal microscope calculated as a detection pinhole aperture of 488 nm excitation light, a numerical aperture of 1.2, immersion and Airy disc size. The small figure shows the pattern change as the relative phase of the interference beam changes.

図2bは、移動パターンの時間的な平均強度分布を示す。それは共焦点PSFと一致する。   FIG. 2b shows the temporal average intensity distribution of the movement pattern. It is consistent with the confocal PSF.

図3aは、x軸上の200nmの距離に配置された複数の励起焦点のコヒーレントな重ね合わせから生じる横調整PSFを示す。隣接する焦点の位相は互いに対してπだけシフトする。それらの振幅は、ガウス形包絡面の中心までの距離に依存し、400nmの後は1/e倍まで減少する。PSFは、焦点面(xy)及びxz方向で表される。下の小さい図面は、焦点が包絡面内で移動する際のパターン変化を示す。 FIG. 3a shows the laterally adjusted PSF resulting from the coherent superposition of multiple excitation focal points located at a distance of 200 nm on the x-axis. The phases of adjacent focal points are shifted by π relative to each other. Their amplitude depends on the distance to the center of the Gaussian envelope and decreases to 1 / e 2 times after 400 nm. PSF is expressed in the focal plane (xy) and xz directions. The small drawing below shows the pattern change as the focus moves in the envelope plane.

図3bは時間的な移動パターンの平均を示す。   FIG. 3b shows the average of the temporal movement pattern.

図4a及び4bは、励起調整と検出調整の間の2つの異なる位相シフトφのために表された図2a及び3bのパターンの組み合わせからロックイン検出法により作られた有効なPSFを示す。   FIGS. 4a and 4b show an effective PSF made by the lock-in detection method from the combination of the patterns of FIGS. 2a and 3b represented for two different phase shifts φ between the excitation adjustment and the detection adjustment.

図5aは、横パターンと軸パターンの組み合わせから生じたPSFを示す。軸パターンと横パターンは、この例では小さい図に示された周波数ω=9ω/10で変化する。完全な円はφ=2πで決定される。時間平均から生じる包絡面がbに示されている。 FIG. 5a shows the PSF resulting from the combination of the horizontal and axial patterns. Axis pattern and horizontal pattern varies at the frequency ω 2 =1/10, shown in a small figure in this example. A complete circle is determined by φ = 2π. The envelope resulting from the time average is shown in b.

図6aは、ω−ωの周波数の差でロックイン検出法を用いて、図5に示されたパターンの組み合わせから生じた有効なPSFを示す。斜め構造が座標系の二等分線に沿う運動を認識するために用いられ、例えば、拡散テンソルを完全に決定する。 FIG. 6a shows the effective PSF resulting from the combination of patterns shown in FIG. 5 using the lock-in detection method with a frequency difference of ω 1 −ω 2 . The diagonal structure is used to recognize movement along the bisector of the coordinate system, for example, to completely determine the diffusion tensor.

特に指示された相関関数を測定するのに適する走査顕微鏡を示す。1 shows a scanning microscope suitable for measuring the indicated correlation function. 1光子4π共焦点顕微鏡の点広がり関数(PSF)を示す。The point spread function (PSF) of a one-photon 4π confocal microscope is shown. 時間的な移動パターンの平均を示す。The average of the movement pattern in time is shown. 励起調整と検出調整の間の2つの異なる位相シフトfのために表された図2a及び3bのパターンの組み合わせからロックイン検出法により作られた有効なPSFを示す。FIG. 4 shows an effective PSF made by the lock-in detection method from the combination of the patterns of FIGS. 2a and 3b represented for two different phase shifts f between excitation adjustment and detection adjustment. 横パターンと軸パターンの組み合わせから生じたPSFを示す。The PSF resulting from the combination of the horizontal pattern and the axis pattern is shown. ω−ωの周波数の差でロックイン検出法を用いて、図5に示されたパターンの組み合わせから生じた有効なPSFを示す。FIG. 6 shows the effective PSF resulting from the combination of patterns shown in FIG. 5 using a lock-in detection method with a frequency difference of ω 1 −ω 2 .

Claims (19)

照明光の強度及び/又は検出感度が測定容積内で空間的に調整されることを特徴とする、蛍光相関分光法のための装置を有する走査顕微鏡。   A scanning microscope with a device for fluorescence correlation spectroscopy, characterized in that the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light is spatially adjusted within the measurement volume. 測定容積が少なくとも1つの画像点により定められることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   2. A scanning microscope according to claim 1, wherein the measuring volume is defined by at least one image point. 照明光の強度及び/又は検出感度が空間的・周期的に調整されることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   2. The scanning microscope according to claim 1, wherein the intensity and / or detection sensitivity of the illumination light is adjusted spatially and periodically. 照明光の強度及び/又は検出感度の調整が時間的に変化することを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 1, wherein the adjustment of the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity changes with time. 異なる調整で取られた同じ測定容積の蛍光相関スペクトルが互いの比較により解析されることを特徴とする請求項4に記載の走査顕微鏡。   5. Scanning microscope according to claim 4, characterized in that the fluorescence correlation spectra of the same measuring volume taken with different adjustments are analyzed by comparison with each other. 照明光の強度及び/又は検出感度の調整がスイッチでオン・オフにされることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   2. The scanning microscope according to claim 1, wherein the adjustment of the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity is turned on / off by a switch. 調整がスイッチでオンにされる際及び調整がスイッチでオフにされる際に取られた同じ測定容積の蛍光相関スペクトルが、互いの比較により解析されることを特徴とする請求項6に記載の走査顕微鏡。   7. The fluorescence correlation spectrum of the same measurement volume taken when the adjustment is switched on and when the adjustment is switched off, is analyzed by comparison with each other. Scanning microscope. 調整がスイッチでオンにされる際及び調整がスイッチでオフにされる際に取られた同じ測定容積の蛍光相関スペクトルが、他方により分割されることを特徴とする請求項6に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 6, characterized in that the fluorescence correlation spectrum of the same measuring volume taken when the adjustment is switched on and when the adjustment is switched off is split by the other. . 照明光の強度及び/又は検出感度の調整が干渉により作られることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 1, wherein the adjustment of the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity is made by interference. 干渉に寄与する光波が互いに調節可能な位相関係を示すことを特徴とする請求項9に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 9, wherein light waves contributing to interference exhibit a phase relationship that can be adjusted to each other. 照明光の強度の調整が、反対の伝播方向の2つの照明光ビームによる干渉により作られることを特徴とする請求項9に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 9, wherein the adjustment of the intensity of the illumination light is made by interference by two illumination light beams in opposite propagation directions. 検出感度の調整が、反対の伝播方向の2つの検出光ビームによる干渉により作られることを特徴とする請求項9に記載の走査顕微鏡。   10. The scanning microscope according to claim 9, wherein the adjustment of the detection sensitivity is made by interference by two detection light beams in opposite propagation directions. 走査顕微鏡が4π配置であることを特徴とする請求項9に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 9, wherein the scanning microscope has a 4π arrangement. 照明光の強度及び/又は検出感度の調整を作る振幅フィルタが設けられることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 1, further comprising an amplitude filter that adjusts the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity. 照明光の強度及び/又は検出感度の調整を作る位相フィルタが設けられることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 1, further comprising a phase filter that adjusts the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity. 照明光の強度及び/又は検出感度の調整を作るレンズ配置及び/又はビームスプリッタが設けられることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   2. The scanning microscope according to claim 1, further comprising a lens arrangement and / or a beam splitter for adjusting the intensity of the illumination light and / or the detection sensitivity. 測定容積内の試料が多光子励起により光学的に励起されることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 1, wherein the sample in the measurement volume is optically excited by multiphoton excitation. 照明光がパルスであることを特徴とする請求項17に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 17, wherein the illumination light is a pulse. 走査顕微鏡が共焦点走査顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の走査顕微鏡。   The scanning microscope according to claim 1, wherein the scanning microscope is a confocal scanning microscope.
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EP0491289A1 (en) * 1990-12-18 1992-06-24 Stefan Dr. Hell Double-confocal scanning microscope

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