JP2006511921A5 - - Google Patents

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Claims (18)

  1. アノードを形成する1つ以上のセルを備えたイオンポンプに使用される磁石アセンブリであって、
    内部領域を規定する第一および第二の側方部と第一および第二の端部とを有する磁石ヨークと、
    前記磁石ヨークの前記第一および第二の端部に配置された互いに反対の極性を有する一次磁石と、
    前記磁石ヨークの前記第一および第二の側方部に配置された二次磁石であって、当該磁石アセンブリにより発生される磁界によって前記アノードの外側の両端部内での電子経路を長くし、前記アノードを横切る磁界の強度を高くし、ポンピング速度を高くする二次磁石とを含む磁石アセンブリ。
  2. 前記二次磁石が、前記磁石ヨークの前記第一の側方部に配置された互いに反対の極性を有する磁石と、前記磁石ヨークの前記第二の側方部に配置された互いに反対の極性を有する磁石とを備えており、各々の二次磁石が同じ極性の一次磁石に隣接して配置されている、請求項1記載の磁石アセンブリ。
  3. 前記一次磁石および前記二次磁石が、その内部領域中に実質的に一様な磁界を発生させるように構成された、請求項1記載の磁石アセンブリ。
  4. 以上の陽極ポンプセルと、
    前記1以上の陽極ポンプセルに近接して配置された陰極であって、前記陰極と前記1以上の陽極ポンプセルとの間に電界が印加される陰極と、
    前記1以上の陽極ポンプセル中に磁界を発生させる磁石アセンブリとを含み、
    前記磁石アセンブリが、
    前記陽極ポンプセルの両端に配置された互いに反対の極性を有する一次磁石と、
    前記陽極ポンプセルの両側方に配置された二次磁石であって、前記磁石アセンブリが、軸方向の磁界を実質的に一様にし、前記1つ以上の陽極ポンプセルを横切る磁界強度を高くして、ポンピング速度を大きくする二次磁石とを含むイオンポンプ。
  5. 前記磁石アセンブリが内部領域を規定する第一および第二の側方部と第一および第二の端部とを有する磁石ヨークを更に含む、請求項4記載のイオンポンプ。
  6. 前記一次磁石が前記磁石ヨークの前記第一および第二の端部に配置されており、かつ前記二次磁石が前記磁石ヨークの前記第一および第二の側方部に配置されている、請求項5記載のイオンポンプ。
  7. 前記二次磁石が前記磁石ヨークの前記第一の側方部に配置された互いに反対の極性を有する磁石と、前記磁石ヨークの前記第二の側方部に配置された互いに反対の極性を有する磁石とを備え、各々の二次磁石が同じ極性の一次磁石に隣接して配置されている、請求項6記載のイオンポンプ。
  8. 前記一次磁石および前記二次磁石が、前記1つ以上の陽極ポンプセル内に実質的に一様な磁界を発生させるように構成されている、請求項4記載のイオンポンプ。
  9. 前記1つ以上の陽極ポンプセルが第一および第二の端部を有しており、前記一次磁石が前記陽極ポンプセルの前記第一および第二の端部から間隔を開けて配置されている、請求項4記載のイオンポンプ。
  10. 前記陰極が前記1つ以上の陽極セルの第一および第二の端部から間隔を開けて配置された陰極板を備えた、請求項4記載のイオンポンプ。
  11. 前記陰極と前記1つ以上の陽極ポンプセルとの間に接続された電源を更に含む、請求項4記載のイオンポンプ。
  12. 前記1つ以上の陽極ポンプセルと前記陰極とが2極型のイオンポンプ構成を有する、請求項4記載のイオンポンプ。
  13. 前記1つ以上の陽極ポンプセルと前記陰極とが3極型のイオンポンプ構成を有する、請求項4記載のイオンポンプ。
  14. 1つ以上の陽極ポンプセルと陰極とを含むイオンポンプを運転する方法であって、
    前記陰極と 前記1つ以上の陽極ポンプセルとの間に電界を印加すること、および
    前記陽極ポンプセルの両端に配置された一次磁石と前記陽極ポンプセルの両側方に配置された二次磁石とを含む磁石アセンブリによって、前記1つ以上の陽極ポンプセル内に磁界を発生させることを含む方法。
  15. 前記磁界を発生する工程が、前記1つ以上の陽極ポンプセル内に実質的に一様な軸方向の磁界を発生させることを含む、請求項14記載の方法。
  16. 前記磁界を発生する工程が、内部領域を規定する第一および第二の側方部と第一および第二の端部とを有する磁石ヨークを用意すること、ならびに前記一次磁石を前記磁石ヨークの前記第一および第二の端部に配置し、かつ前記二次磁石を前記磁石ヨークの前記第一および第二の側方部に配置することを含む、請求項14記載の方法。
  17. 前記二次磁石を配置する工程が、前記磁石ヨークの前記第一の側方部に互いに反対の極性を有する二次磁石を配置すること、および前記磁石ヨークの前記第二の側方部に互いに反対の極性を有する二次磁石を配置することを含み、各々の二次磁石を同じ極性の一次磁石に隣接して配設する、請求項16記載の方法。
  18. 1つ以上のアノードセルを備えたイオンポンプに使用される磁石アセンブリであって、
    内部領域を規定する第一および第二の側方部と第一および第二の端部とを有する磁石ヨークと、
    前記磁石ヨークの前記第一および第二の端部にそれぞれ配置された第一の一次磁石を含む互いに反対の極性を有する一次磁石と、
    前記磁石ヨークの前記第一の側方部に配置された互いに反対の極性を有する第一および第二の二次磁石と、前記磁石ヨークの前記第二の側方部に配置された互いに反対の極性を有する第三および第四の二次磁石とを含む二次磁石であって、前記一次磁石と前記二次磁石とが、前記磁石ヨークの前記内部領域内に実質的に一様な磁界を発生させて、その結果、前記アノードセル内のポンピング速度を高くするように構成されている二次磁石とを含む磁石アセンブリ。
JP2004565119A 2002-12-18 2003-11-25 スパッタイオンポンプ用磁石アセンブリ Pending JP2006511921A (ja)

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