JP2006347709A - Workpiece lifting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、透明基板などの板状に形成されたワークをワークステージ上から押し上げるワークリフト装置に関する。 The present invention relates to a work lift device that pushes up a work formed in a plate shape such as a transparent substrate from a work stage.
従来、この種のワークリフト装置は、図5に示すように、板状のワークWをワークステージWS上から押し上げる適宜の複数本のリフトピン11(図では便宜上、二本のリフトピンを示している)と、これらのリフトピン11をそれぞれ上下方向に駆動する複数のシリンダ装置12とを備えている。これらのシリンダ装置12は圧縮空気供給源13から電磁式切換弁14を経て供給される圧縮空気により作動するようになっており、各シリンダ装置12と電磁式切換弁14とを各々接続する二本の圧縮空気供給管15には流量調整用の絞り弁16が設けられている。
Conventionally, as shown in FIG. 5, this type of work lift device appropriately includes a plurality of
このようなワークリフト装置では、シリンダ装置12内に流入する圧縮空気の流入量を絞り弁16で調整することによりシリンダ装置12の摩擦抵抗によるリフトピン11の動作速度のばらつきを小さくすることが可能であるが、シリンダ装置12を作動させる作動流体として空気等の圧縮性流体を使用しているため、シリンダ装置12の摩擦抵抗に起因するスティックスリップや配管距離の不均一などによってリフトピン11の動作タイミングにずれが生じ、その結果、図6に示すように、ワークWが斜めに傾いた状態でワークステージWSの上方に押し上げられてしまうことがある。
In such a work lift device, it is possible to reduce variations in the operating speed of the
このような不具合を解消する方策として、例えば水平ガイド17(図7参照)に支持されたクサビ状部材18をシリンダ装置12により水平方向に移動させてリフトピン11を上下動させる方式や、横リンクガイド19(図8参照)に支持された横リンク20とリフトピン11の下端部に連結された斜めリンク21とを連結し、シリンダ装置12により横リンク20を水平方向に移動させてリフトピン11を上下動させる方式などが考えられるが、図7及び図8に示したワークリフト装置では、構造が複雑になると共にワークステージWSの下方に大きなスペースを必要とするなどの難点がある。そこで、図9に示すように、リフトピン11を上下動させるシリンダ装置として油圧シリンダ22を用いると共に圧縮空気供給源13からの空気圧を圧力コンバータ23により油圧に変換して、リフトピン11を上下動させるようにしたワークリフト装置が提案されている。
As a measure for solving such a problem, for example, a method in which the wedge-
このようなワークリフト装置では、リフトピンを上下動させるシリンダ装置としてエアーシリンダを用いた場合のように、作動流体の圧縮性に起因するリフトピンの動作タイミングにずれが生じることを抑制することができるが、次のような問題点を有していた。すなわち上述したワークリフト装置では、各油圧シリンダ22と圧力コンバータ23とを接続する各々の作動油供給管24に流量調整用の絞り弁16が設けられているため、絞り弁16の開度調整に手間を要するという問題があった。また、リフトピン11に加わる荷重が変化すると各油圧シリンダ22の動作速度が変動するという問題もあった。さらに、圧力コンバータ23から作動油供給管24にエアーが混入するため、エアー抜き作業を定期的に行わなければならないという問題があった。また、作動油供給管24にエアーが混入した場合には、リフトピンの動作タイミングにずれが生じるおそれがあった。
In such a work lift device, it is possible to suppress deviations in the operation timing of the lift pins due to the compressibility of the working fluid, as in the case where an air cylinder is used as the cylinder device for moving the lift pins up and down. , Had the following problems. In other words, in the above-described work lift device, each hydraulic
本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、ワークステージと平行状態を保ちながらワークを押し上げることができ、かつリフトピンの動作タイミングにずれが生じることを防止することのできるワークリフト装置を提供しようとするものである。 The present invention has been made paying attention to the above-mentioned problems, and the object of the present invention is that the work can be pushed up while maintaining a state parallel to the work stage, and the operation timing of the lift pins is shifted. An object of the present invention is to provide a work lift device that can be prevented.
上記の目的を達成するために、本発明は、板状のワークをワークステージ上から押し上げる複数のリフトピンと、該リフトピンをそれぞれ上下方向に駆動する複数のシリンダ装置と、該シリンダ装置に非圧縮性の作動流体を供給する作動流体供給機構とを備えたワークリフト装置であって、前記作動流体供給機構が前記シリンダ装置に各々対応する複数の液体シリンダと、該液体シリンダと前記シリンダ装置とを各々接続する複数の作動液供給管と、前記液体シリンダの各ピストンロッドに連結部材を介して連結されたピストンロッドを有するエアーシリンダと、該エアーシリンダに作動用圧縮空気を供給する圧縮空気供給源と、該圧縮空気供給源から前記エアーシリンダに供給される圧縮空気の流れ方向を切り換える切換弁とを有して構成されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of lift pins that push up a plate-shaped workpiece from above a work stage, a plurality of cylinder devices that respectively drive the lift pins in the vertical direction, and an incompressible property to the cylinder device. A working fluid supply mechanism that supplies a working fluid supply mechanism, wherein the working fluid supply mechanism includes a plurality of liquid cylinders respectively corresponding to the cylinder devices, and each of the liquid cylinders and the cylinder devices. A plurality of hydraulic fluid supply pipes to be connected; an air cylinder having a piston rod connected to each piston rod of the liquid cylinder via a connecting member; and a compressed air supply source for supplying compressed air for operation to the air cylinder; And a switching valve for switching the flow direction of the compressed air supplied from the compressed air supply source to the air cylinder. And characterized in that.
本発明に係るワークリフト装置において、前記作動流体供給機構は前記エアーシリンダと前記切換弁とを接続する二本の圧縮空気供給管を有するものでもよい。この場合、前記圧縮空気供給管は流量調整用の絞り弁をそれぞれ有することが好ましい。
また、前記作動流体供給機構は、前記複数の液体シリンダのピストンロッドと前記エアーシリンダのピストンロッドとを連結するリンク部材と、該リンク部材を揺動可能に支持する支持ピンとを有するものであってもよい。
さらに、前記複数の作動液供給管をバイパス管により接続し、かつ前記バイパス管に開閉弁を設けた構成であってもよい。
In the work lift device according to the present invention, the working fluid supply mechanism may have two compressed air supply pipes connecting the air cylinder and the switching valve. In this case, the compressed air supply pipe preferably has a throttle valve for adjusting the flow rate.
The working fluid supply mechanism includes a link member that connects the piston rods of the plurality of liquid cylinders and the piston rod of the air cylinder, and a support pin that supports the link member in a swingable manner. Also good.
Furthermore, the structure which connected the said some hydraulic fluid supply pipe | tube with the bypass pipe, and provided the on-off valve in the said bypass pipe | tube may be sufficient.
本発明に係るワークリフト装置では、シリンダ装置を作動させる作動流体として油、水等の非圧縮性流体を用いたことにより、作動流体として空気等の圧縮性流体を用いた場合のように、シリンダ装置の摩擦抵抗に起因するスティックスリップや配管距離の不均一によるリフトピンの動作タイミングのずれを小さくできるので、ワークステージと平行状態を保ちながらワークを押し上げることができる。 In the work lift device according to the present invention, the cylinder is operated by using an incompressible fluid such as oil or water as a working fluid for operating the cylinder device. Since the shift of the operation timing of the lift pins due to stick slip caused by the frictional resistance of the apparatus and uneven piping distance can be reduced, the workpiece can be pushed up while maintaining a state parallel to the workpiece stage.
また、シリンダ装置に各々対応する複数の液体シリンダと、液体シリンダとシリンダ装置とを各々接続する複数の作動液供給管と、液体シリンダの各ピストンロッドに連結部材を介して連結されたピストンロッドを有するエアーシリンダと、エアーシリンダに切換弁を介して作動用空気を供給する空気供給源とを有する作動流体供給機構を備えたことにより、シリンダ装置、液体シリンダ及び作動液供給管からなる閉回路(液体回路)はエアーシリンダ、圧縮空気供給源及び切換弁からなる空気の回路と分離されており、図9に示すような圧力コンバータ23を用いる場合のように前記液体回路内に前記空気の回路内の空気が混入することなくリフトピンを駆動できるので、リフトピンの動作タイミングにずれが生じることを防止することができる。
Further, a plurality of liquid cylinders respectively corresponding to the cylinder device, a plurality of hydraulic fluid supply pipes respectively connecting the liquid cylinder and the cylinder device, and a piston rod connected to each piston rod of the liquid cylinder via a connecting member A closed circuit comprising a cylinder device, a liquid cylinder, and a hydraulic fluid supply pipe by including a working fluid supply mechanism having an air cylinder having an air cylinder and an air supply source that supplies working air to the air cylinder via a switching valve. The liquid circuit) is separated from an air circuit comprising an air cylinder, a compressed air supply source and a switching valve, and in the liquid circuit as in the case of using a
以下、本発明に係るワークリフト装置を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るワークリフト装置の概略構成を示す図である。同図に示されるように、第1の実施形態に係るワークリフト装置10は、板状のワークWをワークステージWS上から押し上げる適宜の複数本のリフトピン11(図では便宜上、二本のリフトピンを示している)と、これらのリフトピン11をそれぞれ上下方向に駆動する複数のシリンダ装置25とを備えており、シリンダ装置25は油、水等の非圧縮性流体によって作動するようになっている。また、ワークリフト装置10はシリンダ装置25に作動流体を供給する作動流体供給機構26を備えている。
Hereinafter, the work lift device concerning the present invention is explained based on a drawing.
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a work lift device according to a first embodiment of the present invention. As shown in the figure, the
作動流体供給機構26はシリンダ装置25に各々対応する複数の液体シリンダ27と、これら液体シリンダ27とシリンダ装置25とを各々接続する複数の作動液供給管28とを有している。また、作動流体供給機構26はエアーシリンダ29と、このエアーシリンダ29に作動用圧縮空気を供給する圧縮空気供給源30と、この圧縮空気供給源30からエアーシリンダ29に供給される圧縮空気の流れ方向を切り換える切換弁31とを有しており、エアーシリンダ29のピストンロッド29aは連結部材32を介して液体シリンダ27の各ピストンロッド27aに連結されている。
The working
さらに、作動流体供給機構26はエアーシリンダ29と切換弁31とを接続する二本の圧縮空気供給管33を有しており、これらの圧縮空気供給管33には流量調整用の絞り弁34が設けられている。
なお、エアーシリンダとして、バルブが直接マウントされたものを用いる場合は、圧縮空気供給管33を省略してもよい。
Furthermore, the working
Note that when an air cylinder with a valve mounted directly is used, the compressed
このような構成において、切換弁31を図1に示す状態から図2に示す状態に切り換えるとエアーシリンダ29の二つのシリンダ室のうち図中右側のシリンダ室に圧縮空気が空気供給源30から供給され、これにより、エアーシリンダ29のピストンロッド29aが図中左方に移動する。そして、エアーシリンダ29のピストンロッド29aが図中左方に移動すると各液体シリンダ27のピストンが図中左方に移動し、これにより、液体シリンダ27の二つのシリンダ室27b,27c(図2参照)のうち図中左側のシリンダ室27bから作動液が押し出される。
In such a configuration, when the
このようにして液体シリンダ27のシリンダ室27bから押し出された作動液はシリンダ装置25の二つのシリンダ室25a,25b(図2参照)のうち図中下側のシリンダ室25aに作動液供給管28を流通して供給され、これにより、リフトピン11が上方に押し上げられる。
上述のように、シリンダ装置25を作動させる作動流体として油、水等の非圧縮性流体を用いたことにより、作動流体として空気等の圧縮性流体を用いた場合のように、シリンダ装置の摩擦抵抗に起因するスティックスリップや配管距離の不均一によるリフトピン11の動作タイミングのずれを小さくできるので、ワークステージWSの上面部と平行状態を保ちながらワークWを押し上げることができる。
The hydraulic fluid pushed out from the
As described above, by using an incompressible fluid such as oil or water as the working fluid for operating the
また、作動流体供給機構26がシリンダ装置25に各々対応する複数の液体シリンダ27と、液体シリンダ27とシリンダ装置25とを各々接続する複数の作動液供給管28と、液体シリンダ27の各ピストンロッド27aに連結部材32を介して連結されたピストンロッド29aを有するエアーシリンダ29と、エアーシリンダ29に作動用圧縮空気を供給する圧縮空気供給源30と、圧縮空気供給源30からエアーシリンダ29に供給される圧縮空気の流れ方向を切り換える切換弁31とを有して構成されることにより、図9に示すような圧力コンバータ23を用いることなくリフトピン11を駆動でき、これにより、作動液供給管28にエアーが混入することがないので、リフトピン11の動作タイミングにずれが生じることを防止することができる。
The working
図3は本発明の第2の実施形態を示す図であり、第2の実施形態が第1の実施形態と異なる点は、液体シリンダ27のピストンロッド27aとエアーシリンダ29のピストンロッド29aとを連結するリンク部材35と、このリンク部材35を揺動可能に支持する支持ピン36とを作動流体供給機構26が有している点である。なお、図3において符号27aは液体シリンダ27のピストンロッド、29aはエアーシリンダ29のピストンロッドである。
FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. The second embodiment is different from the first embodiment in that the
このような構成において、図3に示す通り、支持ピン36の位置を液体シリンダ27寄りに設定してある(図3(b)においてA>B)ため、支持ピン36の位置をリンク部材35の中央部に設定した場合に比べて、エアーシリンダ29のピストンロッド29aの移動速度に対して液体シリンダ27のピストンロッド27aの移動速度が小さくなる。これにより、エアーシリンダ29のピストンロッド29aの移動速度を小さくすることなく液体シリンダ27のピストン移動速度を小さくできるので、上述した第1の実施形態の効果に加え、エアーシリンダ29にスティックスリップを生じさせることなくリフトピン11の動作速度を極低速まで調整できる。また、リフトピン11による持ち上げ力を大きくすることができる。
In such a configuration, as shown in FIG. 3, the position of the
図4は本発明の第3の実施形態を示す図であり、第3の実施形態が第1の実施形態と異なる点は、シリンダ装置25と液体シリンダ27とを接続する作動液供給管28をバイパス管37で接続し、バイパス管37の途中にそれぞれ開閉弁38を設けた点である。
このような構成によると、各々シリンダ装置25、液体シリンダ27及び作動液供給管28からなる各液体回路内の作動液体の量に差が生じた場合にバイパス管37に設けられた開閉弁38を開放操作することにより、各液体回路内の作動液を均等にすることが可能となるので、作動液体量の不均一による各シリンダ装置25間の動作量のばらつきを抑えることができ、その結果、各リフトピン11を同じストロークで上下動させることができる。
FIG. 4 is a diagram showing a third embodiment of the present invention. The third embodiment is different from the first embodiment in that a hydraulic
According to such a configuration, the opening / closing
W ワーク
WS ワークステージ
10 ワークリフト装置
11 リフトピン
12 シリンダ装置
13 圧縮空気供給源
14 電磁式切換弁
15 圧縮空気供給管
16 絞り弁
17 水平ガイド
18 クサビ状部材
19 横リンクガイド
20 横リンク
21 斜めリンク
22 油圧シリンダ
23 圧力コンバータ
25 シリンダ装置
26 作動流体供給機構
27 液体シリンダ
27a ピストンロッド
28 作動液供給管
29 エアーシリンダ
29a ピストンロッド
30 圧縮空気供給源
31 切換弁
32 連結部材
33 圧縮空気供給管
34 絞り弁
35 リンク部材
36 支持ピン
37 バイパス管
38 開閉弁
W Work
Claims (5)
前記作動流体供給機構が前記シリンダ装置に各々対応する複数の液体シリンダと、該液体シリンダと前記シリンダ装置とを各々接続する複数の作動液供給管と、前記液体シリンダの各ピストンロッドに連結部材を介して連結されたピストンロッドを有するエアーシリンダと、該エアーシリンダに作動用圧縮空気を供給する圧縮空気供給源と、該圧縮空気供給源から前記エアーシリンダに供給される圧縮空気の流れ方向を切り換える切換弁とを有して構成されることを特徴とするワークリフト装置。 A plurality of lift pins that push up a plate-shaped workpiece from above the work stage, a plurality of cylinder devices that respectively drive the lift pins in the vertical direction, and a working fluid supply mechanism that supplies an incompressible working fluid to the cylinder devices A work lift device,
The working fluid supply mechanism includes a plurality of liquid cylinders respectively corresponding to the cylinder device, a plurality of hydraulic fluid supply pipes connecting the liquid cylinder and the cylinder device, and a connecting member for each piston rod of the liquid cylinder. An air cylinder having a piston rod connected thereto, a compressed air supply source for supplying compressed air for operation to the air cylinder, and a flow direction of the compressed air supplied from the compressed air supply source to the air cylinder is switched. A work lift device comprising a switching valve.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005176539A JP2006347709A (en) | 2005-06-16 | 2005-06-16 | Workpiece lifting device |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105366590A (en) * | 2015-12-08 | 2016-03-02 | 重庆美炽科技有限公司 | Control device for quenching lifting platform of multi-purpose furnace cylinder |
WO2017047108A1 (en) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | 株式会社タグチ工業 | Cylinder acceleration mechanism |
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