JP2006323934A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory Download PDF

Info

Publication number
JP2006323934A
JP2006323934A JP2005146354A JP2005146354A JP2006323934A JP 2006323934 A JP2006323934 A JP 2006323934A JP 2005146354 A JP2005146354 A JP 2005146354A JP 2005146354 A JP2005146354 A JP 2005146354A JP 2006323934 A JP2006323934 A JP 2006323934A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
memory
block
decode
signal
row
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005146354A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Maki
隆志 巻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2005146354A priority Critical patent/JP2006323934A/en
Publication of JP2006323934A publication Critical patent/JP2006323934A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the erroneous operation of a semiconductor memory by reducing power source noise. <P>SOLUTION: A column memory block group includes memory blocks arrayed in a vertical direction. A row memory block group includes memory blocks arrayed in a horizontal direction. A first row address decoder activates one of a plurality of first decoding signals corresponding to a first row address. A plurality of amplifier circuits connected to a common power line corresponding to each row memory block group receive first decoding signals different from one another. Since power is supplied to the simultaneously operated amplifier circuits, a drop in power supply voltage is reduced, and power supply noise generated in the power line is reduced. Thus, the erroneous operation of the semiconductor memory is prevented. Since the number of power lines arranged in the amplifier circuits is reduced, the margin of the layout of the power lines is increased. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、マトリックス状に配置された複数のメモリブロックを有する半導体メモリに関する。   The present invention relates to a semiconductor memory having a plurality of memory blocks arranged in a matrix.

一般に、複数のメモリブロックがマトリックス状に配置された半導体メモリでは、センスアンプあるいはライトアンプは、各メモリブロックに隣接して配置される。特開2004−62997号公報および特開平10−302470号公報には、センスアンプ等の増幅回路を、二つのメモリブロックで共有するために、増幅回路を千鳥状に配置する例が記載されている。千鳥状の配置により、増幅回路は分散して配置されるため、レイアウト設計は容易になる。   Generally, in a semiconductor memory in which a plurality of memory blocks are arranged in a matrix, a sense amplifier or a write amplifier is arranged adjacent to each memory block. Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2004-62997 and 10-302470 describe examples in which amplifier circuits such as sense amplifiers are arranged in a staggered manner so that two memory blocks can share the amplifier circuit. . With the staggered arrangement, the amplifier circuits are arranged in a distributed manner, so that the layout design becomes easy.

また、複数のメモリブロックがマトリックス状に配置された半導体メモリでは、外部データ端子の所定のビットが、一方向に並ぶメモリブロックで構成されるメモリブロック群毎に割り当てられている場合がある。この種の半導体メモリでは、アクセス要求に応じて全ての外部データ端子にデータを入出力するために、一方のメモリブロック群のメモリブロックに対応する増幅回路と、他方のメモリブロック群のメモリブロックに対応する増幅回路とが同時に活性化される。
特開2004−62997号公報 特開平10−302470号公報
Further, in a semiconductor memory in which a plurality of memory blocks are arranged in a matrix, a predetermined bit of an external data terminal may be assigned for each memory block group composed of memory blocks arranged in one direction. In this type of semiconductor memory, in order to input / output data to all external data terminals in response to an access request, an amplifier circuit corresponding to the memory block of one memory block group and a memory block of the other memory block group The corresponding amplifier circuit is activated simultaneously.
Japanese Patent Laid-Open No. 2004-62997 JP-A-10-302470

従来、アクセス要求に応じて同時にアクセスされるメモリブロックと、同時にアクセスされるメモリブロックに対応して同時に活性化される増幅回路とは、デコーダ等の論理を簡易にし、デコード信号の配線経路を簡素にするために、上述の一方向に対して直交する方向に一列に配置されることが多い。   Conventionally, a memory block that is simultaneously accessed in response to an access request and an amplifier circuit that is simultaneously activated in response to the simultaneously accessed memory block simplify the logic of a decoder and the like, and simplify the wiring path of the decode signal Therefore, they are often arranged in a row in a direction orthogonal to the one direction described above.

一方、半導体メモリに形成される電源線は、メモリチップの縦方向および横方向のいずれかまたは両方に配線される。上述の同時に活性化される増幅回路は、縦方向または横方向に配線される共通の電源線に接続される。共通の電源線に接続された複数の増幅回路が同時に活性化されるとき、電源線に発生する電源ノイズは大きくなりやすい。特に、センスアンプ等の増幅回路は、電源電圧のドロップの影響により誤動作しやすい。誤動作を防止するためには、電源配線を太くする必要がある。あるいは、配線する電源線の本数を増やす必要がある。   On the other hand, power supply lines formed in the semiconductor memory are wired in either or both of the vertical direction and the horizontal direction of the memory chip. The above-described amplifier circuits activated simultaneously are connected to a common power supply line wired in the vertical direction or the horizontal direction. When a plurality of amplifier circuits connected to a common power supply line are simultaneously activated, power supply noise generated on the power supply line tends to increase. In particular, an amplifier circuit such as a sense amplifier tends to malfunction due to the influence of a drop in power supply voltage. In order to prevent malfunction, it is necessary to thicken the power supply wiring. Alternatively, it is necessary to increase the number of power lines to be wired.

また、半導体メモリがシステムLSI内に実装される場合、半導体メモリに配線される電源線の数が増えることで、他のブロックに供給される電源線の配線余裕は小さくなる。この結果、電源線等をレイアウトする設計ツールの配線の自由度が小さくなり、レイアウトするための計算時間が長くなる。最悪の場合、自動レイアウトができなくなる。   Further, when the semiconductor memory is mounted in the system LSI, the wiring margin of the power supply lines supplied to other blocks is reduced by increasing the number of power supply lines wired to the semiconductor memory. As a result, the degree of freedom of wiring of the design tool for laying out the power supply lines and the like is reduced, and the calculation time for layout is increased. In the worst case, automatic layout is not possible.

本発明の目的は、電源ノイズを小さくし、半導体メモリの誤動作を防止することにある。   An object of the present invention is to reduce power supply noise and prevent malfunction of a semiconductor memory.

本発明の別の目的は、増幅回路に接続される電源線の幅を小さくし、あるいは増幅回路に接続される電源の本数を少なくし、他のブロックへ配線される電源線のレイアウトの余裕度を大きくすることにある。   Another object of the present invention is to reduce the width of the power supply line connected to the amplifier circuit, or reduce the number of power supplies connected to the amplifier circuit, and allowance for the layout of the power supply line wired to other blocks. Is to make it larger.

本発明の一形態では、半導体メモリは、マトリックス状に配置された複数のメモリブロックを有する。コラムメモリブロック群は、縦方向に配列された所定数のメモリブロックにより構成される。ロウメモリブロック群は、横方向に配列された所定数のメモリブロックにより構成される。増幅回路ブロックは、メモリセルに入出力されるデータを増幅するために、メモリセルブロックの一端にそれぞれ配置される。例えば、増幅回路ブロックは、メモリセルから読み出されるデータの信号量を増幅する複数のセンスアンプを有する。あるいは、増幅回路ブロックは、メモリセルに書き込むデータの信号量を増幅する複数のライトアンプを有する。例えば、半導体メモリは、ロジック回路とともにシステムLSIに搭載されている。システムLSIは、半導体基板上の所定の配線層を用いて横方向に向く複数の電源線を有している。   In one embodiment of the present invention, a semiconductor memory has a plurality of memory blocks arranged in a matrix. The column memory block group includes a predetermined number of memory blocks arranged in the vertical direction. The row memory block group includes a predetermined number of memory blocks arranged in the horizontal direction. The amplifier circuit block is disposed at one end of the memory cell block in order to amplify data input / output to / from the memory cell. For example, the amplifier circuit block includes a plurality of sense amplifiers that amplify the signal amount of data read from the memory cell. Alternatively, the amplifier circuit block includes a plurality of write amplifiers that amplify the signal amount of data to be written in the memory cell. For example, a semiconductor memory is mounted on a system LSI together with a logic circuit. The system LSI has a plurality of power supply lines oriented in the horizontal direction using a predetermined wiring layer on a semiconductor substrate.

第1ロウアドレスデコーダは、コラムメモリブロック群毎に増幅回路ブロックのいずれかを活性化するために、第1ロウアドレスに応じて複数の第1デコード信号のいずれかを活性化する。各ロウメモリブロック群に対応する複数の増幅回路ブロックには、共通の電源線が接続されている。各ロウメモリブロック群に対応する複数の増幅回路ブロックは、互いに異なる第1デコード信号を受ける。すなわち、第1ロウアドレスに応じて活性化される複数の増幅回路ブロックは、それぞれ異なるロウメモリブロック群に属し、異なる電源線に接続されている。同時に動作する増幅回路ブロックに、異なる電源線を用いて電源が供給されるため、電源電圧のドロップを小さくでき、電源線に発生する電源ノイズを低減できる。この結果、増幅回路ブロックの誤動作を防止できる。   The first row address decoder activates one of the plurality of first decode signals according to the first row address in order to activate any one of the amplifier circuit blocks for each column memory block group. A common power supply line is connected to a plurality of amplifier circuit blocks corresponding to each row memory block group. A plurality of amplifier circuit blocks corresponding to each row memory block group receive different first decode signals. That is, the plurality of amplifier circuit blocks activated in accordance with the first row address belong to different row memory block groups and are connected to different power supply lines. Since power is supplied to amplifier circuit blocks operating simultaneously using different power supply lines, power supply voltage drops can be reduced and power supply noise generated in the power supply lines can be reduced. As a result, malfunction of the amplifier circuit block can be prevented.

また、本発明の適用により、増幅回路ブロック上に配線される電源線の本数を少なくでき、あるいは電源線の幅を小さくできる。したがって、システムLSI等において、他のブロックに配線される電源線を、半導体メモリの増幅回路ブロック上を通すことが可能になる。この結果、電源線をレイアウトする設計ツールの配線の自由度(レイアウトの余裕度)を大きくでき、レイアウトするための計算時間を短縮できる。   Further, by applying the present invention, the number of power supply lines wired on the amplifier circuit block can be reduced, or the width of the power supply line can be reduced. Therefore, in a system LSI or the like, a power supply line wired to another block can be passed over the amplifier circuit block of the semiconductor memory. As a result, it is possible to increase the degree of wiring freedom (layout margin) of the design tool for laying out the power supply lines, and shorten the calculation time for layout.

本発明の一形態における好ましい例では、第2ロウアドレスデコーダは、コラムメモリブロック群毎にワード線のいずれかを活性化するために、第2ロウアドレス信号に応じて複数の第2デコード信号のいずれかを活性化する。ワード線デコーダは、一対のコラムメモリブロック群の一対のワード線に対応する複数のデコード回路を有する。各デコード回路は、第1論理回路と各ワード線に対応する一対の第2論理回路を有する。第1論理回路は、第2デコード信号に応じて一対のワード線に共通な第3デコード信号を生成する。各第2論理回路は、第3デコード信号と第1デコード信号とに応じて、対応するワード線を活性化する。一対の第2論理回路が受ける第1デコード信号は、互いに異なる。したがって、簡易な論理回路を用いて、活性化される増幅回路ブロックに対応するメモリブロックのワード線を活性化できる。   In a preferred example of one aspect of the present invention, the second row address decoder includes a plurality of second decode signals in response to the second row address signal in order to activate one of the word lines for each column memory block group. Activate either. The word line decoder has a plurality of decoding circuits corresponding to a pair of word lines of a pair of column memory block groups. Each decode circuit has a first logic circuit and a pair of second logic circuits corresponding to each word line. The first logic circuit generates a third decode signal common to the pair of word lines according to the second decode signal. Each second logic circuit activates a corresponding word line in response to the third decode signal and the first decode signal. The first decode signals received by the pair of second logic circuits are different from each other. Therefore, the word line of the memory block corresponding to the activated amplifier circuit block can be activated using a simple logic circuit.

本発明では、電源線に発生する電源ノイズを低減でき、増幅回路ブロックの誤動作を防止できる。また、電源線をレイアウトする設計ツールの配線の自由度を大きくでき、レイアウトするための計算時間を短縮できる。   In the present invention, power supply noise generated in the power supply line can be reduced, and malfunction of the amplifier circuit block can be prevented. In addition, it is possible to increase the wiring flexibility of the design tool for laying out the power supply lines, and to reduce the calculation time for layout.

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。図中の二重丸は、外部端子を示している。図中、太線で示した信号線は、複数本で構成されている。また、太線が接続されているブロックの一部は、複数の回路で構成されている。信号が伝達される信号線には、信号名と同じ符号を使用する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Double circles in the figure indicate external terminals. In the figure, the signal lines indicated by bold lines are composed of a plurality of lines. A part of the block to which the thick line is connected is composed of a plurality of circuits. The same reference numerals as the signal names are used for signal lines through which signals are transmitted.

図1は、本発明の半導体メモリの第1の実施形態を示している。半導体メモリは、例えば、CMOS技術を用いてSRAMとして形成されている。SRAMは、後述する図6に示すように、システムLSIに搭載される。SRAMは、動作制御回路10、アドレス入力回路12、データ入出力回路14、ロウアドレスデコーダ16、ワード線デコーダ18、コラムアドレスデコーダ20、コラムスイッチデコーダ22、メモリセルアレイARY、コラムスイッチCSW、センスアンプブロックSA(増幅回路ブロック)およびライトアンプブロックWA(増幅回路ブロック)を有している。   FIG. 1 shows a first embodiment of the semiconductor memory of the present invention. The semiconductor memory is formed as an SRAM using, for example, CMOS technology. The SRAM is mounted on the system LSI as shown in FIG. The SRAM includes an operation control circuit 10, an address input circuit 12, a data input / output circuit 14, a row address decoder 16, a word line decoder 18, a column address decoder 20, a column switch decoder 22, a memory cell array ARY, a column switch CSW, and a sense amplifier block. It has SA (amplifier circuit block) and write amplifier block WA (amplifier circuit block).

動作制御回路10は、SRAMに読み出し動作および書き込み動作を実行させるための制御信号CNTを外部制御端子CNTを介して受信し、受信した制御信号CNTを解読する。動作制御回路10は、解読結果に応じて読み出し動作または書き込み動作を実行するための内部制御信号ICNT(タイミング信号)を、ロウアドレスデコーダ16およびコラムアドレスデコーダ20に出力する。内部制御信号ICNTは、ロウアドレスデコーダ16およびコラムアドレスデコーダ20だけではなく、アドレス入力回路12およびデータ入出力回路14等にも供給される。   The operation control circuit 10 receives a control signal CNT for causing the SRAM to execute a read operation and a write operation via the external control terminal CNT, and decodes the received control signal CNT. The operation control circuit 10 outputs an internal control signal ICNT (timing signal) for executing a read operation or a write operation to the row address decoder 16 and the column address decoder 20 according to the decoding result. The internal control signal ICNT is supplied not only to the row address decoder 16 and the column address decoder 20, but also to the address input circuit 12, the data input / output circuit 14, and the like.

アドレス入力回路12は、外部アドレス端子ADを介して供給されるアドレス信号AD(AD0−14)をロウアドレス信号RA(RA0−7)およびコラムアドレス信号CA(CA0−6)として出力する。ロウアドレス信号RAは、アドレス信号ADの上位ビットで構成され、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAを選択するとともに、ワード線WLを選択するために使用される。コラムアドレス信号CAは、アドレス信号ADの下位ビットで構成され、ビット線BLを選択するために使用される。なお、アドレス信号AD、RA、CAのビット数は、この例に限定されない。   The address input circuit 12 outputs an address signal AD (AD0-14) supplied via the external address terminal AD as a row address signal RA (RA0-7) and a column address signal CA (CA0-6). The row address signal RA is composed of upper bits of the address signal AD, and is used for selecting the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA and selecting the word line WL. The column address signal CA is composed of lower bits of the address signal AD and is used to select the bit line BL. Note that the number of bits of the address signals AD, RA, and CA is not limited to this example.

データ入出力回路14は、読み出し動作時に、メモリセルアレイARYからデータ線DTおよびデータバスDBを介して転送される読み出しデータを外部データ端子I/O(I/O0−31)に出力する。データ入出力回路14は、書き込み動作時に、書き込みデータを外部データ端子I/Oを介して受信し、受信した書き込みデータをデータバスDBを介してメモリセルアレイARYに供給する。なお、外部データ端子I/Oのビット数は、この例に限定されない。   The data input / output circuit 14 outputs read data transferred from the memory cell array ARY via the data line DT and the data bus DB to the external data terminal I / O (I / O0-31) during the read operation. During a write operation, the data input / output circuit 14 receives write data via the external data terminal I / O and supplies the received write data to the memory cell array ARY via the data bus DB. The number of bits of the external data terminal I / O is not limited to this example.

ロウアドレスデコーダ16は、ロウアドレス信号RA0−1、RA2−3、RA4−5、RA6−7をそれぞれデコードし、ロウデコード信号A(A0−3)、B(B0−3)、C(C0−3)、D(D0−3)として出力する。例えば、ロウアドレス信号RA0−1が十進数で”0”、”1”、”2”、”3”のとき、ロウアドレスデコーダ16は、それぞれロウデコード信号Aの、”A0”、”A1”、”A2”、”A3”のみを高論理レベルに変化させ、他を低論理レベルに変化させる。ワード線デコーダ18は、ロウデコード信号A−Dをデコードし、ロウアドレス信号RA0−7が示すワード線WLを高電圧レベルに変化させ、他のワード線WLを低電圧レベルに変化させる。ロウアドレスデコーダ16およびワード線デコーダ18の詳細は、後述する図3および図4で説明する。   The row address decoder 16 decodes the row address signals RA0-1, RA2-3, RA4-5, RA6-7, respectively, and generates row decode signals A (A0-3), B (B0-3), C (C0- 3) Output as D (D0-3). For example, when the row address signal RA0-1 is a decimal number “0”, “1”, “2”, “3”, the row address decoder 16 outputs “A0”, “A1” of the row decode signal A, respectively. , “A2” and “A3” are changed to a high logic level, and others are changed to a low logic level. The word line decoder 18 decodes the row decode signal AD, changes the word line WL indicated by the row address signal RA0-7 to the high voltage level, and changes the other word lines WL to the low voltage level. Details of the row address decoder 16 and the word line decoder 18 will be described later with reference to FIGS.

コラムアドレスデコーダ20は、コラムアドレス信号CAをデコードし、コラムデコード信号CDECとして出力する。コラムスイッチデコーダ22は、コラムデコード信号CDECをデコードし、コラムアドレス信号CAが示すコラムスイッチCSWをオンし、ビット線BLを選択するために、対応するコラム選択信号CSを高論理レベルに変化させ、他のコラム選択信号を低論理レベルに変化させる。   Column address decoder 20 decodes column address signal CA and outputs it as column decode signal CDEC. The column switch decoder 22 decodes the column decode signal CDEC, turns on the column switch CSW indicated by the column address signal CA, changes the corresponding column selection signal CS to a high logic level in order to select the bit line BL, The other column selection signal is changed to a low logic level.

メモリセルアレイARYは、マトリックス状に配置された複数のメモリセルMC、図の横方向に並ぶメモリセルMCに接続された複数のワード線WL、および図の縦方向に並ぶ
メモリセルMCに接続された複数のビット線BLを有している。メモリセルMCは、特に図示しないが、一般のSRAMセルと同様に、入力と出力とが互いに接続されたインバータからなるラッチ回路と、ラッチ回路の記憶ノードをビット線BLに接続するためのトランスファトランジスタとを有している。トランスファトランジスタは、ゲートがワード線WLに接続され、ソースおよびドレインの一方が記憶ノードに接続され、ソースおよびドレインの他方がビット線BLに接続されている。
The memory cell array ARY is connected to a plurality of memory cells MC arranged in a matrix, a plurality of word lines WL connected to the memory cells MC arranged in the horizontal direction in the figure, and a memory cell MC arranged in the vertical direction in the figure. A plurality of bit lines BL are provided. Although not shown in particular, the memory cell MC has a latch circuit composed of an inverter having an input and an output connected to each other and a transfer transistor for connecting a storage node of the latch circuit to the bit line BL, as in a general SRAM cell. And have. In the transfer transistor, the gate is connected to the word line WL, one of the source and the drain is connected to the storage node, and the other of the source and the drain is connected to the bit line BL.

センスアンプブロックSAの各センスアンプ(増幅回路、図示せず)は、読み出し動作時に、ビット線BLを介してメモリセルMCから読み出されるデータの信号量を増幅する。ライトアンプブロックWAの各ライトアンプ(増幅回路、図示せず)は、データバスDB上の書き込みデータの信号量を増幅し、ビット線BLに出力する。コラムスイッチCSWは、コラム選択信号CSに応じて、ビット線BLをデータバスDBに接続する。コラムスイッチCSWにより、ビット線BLに読み出されセンスアンプで増幅された読み出しデータは、データバスDBを介してデータ入出力回路14に伝達される。データバスDBを介して供給されライトアンプで増幅された書き込みデータは、ビット線BLに伝達される。   Each sense amplifier (amplifier circuit, not shown) of the sense amplifier block SA amplifies the signal amount of data read from the memory cell MC via the bit line BL during the read operation. Each write amplifier (amplifier circuit, not shown) of the write amplifier block WA amplifies the signal amount of the write data on the data bus DB and outputs it to the bit line BL. The column switch CSW connects the bit line BL to the data bus DB according to the column selection signal CS. Read data read to the bit line BL and amplified by the sense amplifier by the column switch CSW is transmitted to the data input / output circuit 14 via the data bus DB. Write data supplied via the data bus DB and amplified by the write amplifier is transmitted to the bit line BL.

図2は、図1に示したSRAMのレイアウトの概要を示している。特に、メモリセルアレイARYとその周囲のレイアウトを示している。メモリセルアレイARYは、マトリックス状に配置された8個のメモリブロックBLK(BLKL0−3、BLKR0−3)を有している。センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAは、各メモリブロックBLKの下側に配置されている。図の縦方向に並ぶ4つのメモリブロックBLKにより一対のコラムメモリブロック群CBLKが構成されている。図の横方向に並ぶ2つのメモリブロックBLKにより4つのロウメモリブロック群RBLKが構成されている。各メモリブロックBLKは、コラムメモリブロック群CBLKの一方に属し、同時にロウメモリブロック群RBLKのいずれかに属している。   FIG. 2 shows an outline of the layout of the SRAM shown in FIG. In particular, the memory cell array ARY and its surrounding layout are shown. The memory cell array ARY has eight memory blocks BLK (BLKL0-3, BLKR0-3) arranged in a matrix. The sense amplifier block SA and the write amplifier block WA are arranged below each memory block BLK. A pair of column memory block groups CBLK is constituted by four memory blocks BLK arranged in the vertical direction in the figure. Four row memory block groups RBLK are constituted by two memory blocks BLK arranged in the horizontal direction in the figure. Each memory block BLK belongs to one of the column memory block group CBLK and simultaneously belongs to one of the row memory block group RBLK.

ワード線デコーダ18は、一対のコラムメモリブロック群CBLKの間に配置されている。ロウアドレスデコーダ16は、図においてワード線デコーダ18の下側に配置されている。データ入出力回路14は、図において各コラムメモリブロック群CBLKの下側に配置されている。例えば、図の左側のコラムメモリブロック群CBLKおよびデータ入出力回路14は、下位の外部データ端子I/O0−15に対応して形成されている。図の右側のコラムメモリブロック群CBLKおよびデータ入出力回路14は、上位の外部データ端子I/O16−31に対応して形成されている。このため、アクセス要求(制御信号CNT)に応じて、各コラムメモリブロック群CBLKにおいて、4つのメモリブロックBLKのいずれかが同時にアクセスされ、対応するセンスアンプブロックSAまたはライトアンプブロックWAが同時に活性化される。   The word line decoder 18 is arranged between a pair of column memory block groups CBLK. The row address decoder 16 is arranged below the word line decoder 18 in the drawing. The data input / output circuit 14 is arranged below each column memory block group CBLK in the drawing. For example, the column memory block group CBLK and the data input / output circuit 14 on the left side of the figure are formed corresponding to the lower external data terminals I / O0-15. The column memory block group CBLK and the data input / output circuit 14 on the right side of the figure are formed corresponding to the upper external data terminals I / O 16-31. Therefore, in response to an access request (control signal CNT), in each column memory block group CBLK, one of the four memory blocks BLK is accessed simultaneously, and the corresponding sense amplifier block SA or write amplifier block WA is activated simultaneously. Is done.

図3は、図1に示したロウアドレスデコーダ16の詳細を示している。ロウアドレスデコーダ16は、ロウアドレス信号RA0−1(第2ロウアドレス)、RA2−3(第2ロウアドレス)、RA4−5(第2ロウアドレス)、RA6−7(第1ロウアドレス)にそれぞれ対応するデコード回路RDEC(RDEC0−3)を有している。デコード回路RDEC0−3は、互いに同じ回路であるため、以下、主にデコード回路RDEC3を説明する。   FIG. 3 shows details of the row address decoder 16 shown in FIG. The row address decoder 16 receives the row address signals RA0-1 (second row address), RA2-3 (second row address), RA4-5 (second row address), and RA6-7 (first row address), respectively. A corresponding decode circuit RDEC (RDEC0-3) is provided. Since the decode circuits RDEC0-3 are the same circuit, the decode circuit RDEC3 will be mainly described below.

デコード回路RDEC3(第1ロウアドレスデコーダ)は、一対のロウアドレスレジスタRARと4つのAND回路とを有している。ロウアドレスレジスタRARは、ロウアドレス信号RA6−7をそれぞれラッチし、ロウアドレス信号RA6−7の正論理信号および負論理信号をそれぞれ出力する。AND回路は、正論理信号および負論理信号に応じてデコード信号D0−3(第1デコード信号)をそれぞれ生成する。同様に、デコード回路
RDEC0−2(第2ロウアドレスデコーダ)は、ロウアドレス信号RA0−1、RA2−3、RA4−5に応じて、デコード信号A0−3(第2デコード信号)、デコード信号B0−3(第2デコード信号)およびデコード信号C0−3(第2デコード信号)をそれぞれ生成する。
The decode circuit RDEC3 (first row address decoder) has a pair of row address registers RAR and four AND circuits. The row address register RAR latches the row address signal RA6-7, and outputs a positive logic signal and a negative logic signal of the row address signal RA6-7, respectively. The AND circuits generate decode signals D0-3 (first decode signals) according to the positive logic signal and the negative logic signal, respectively. Similarly, the decode circuits RDEC0-2 (second row address decoders) receive the decode signal A0-3 (second decode signal) and the decode signal B0 according to the row address signals RA0-1, RA2-3, RA4-5. -3 (second decode signal) and decode signal C0-3 (second decode signal) are generated.

ロウアドレス信号RA0−7が十進数で”0”から”255”まで順次増加するとき、デコード信号A0−3は、A0、A1、A2、A3、A0、A1、A2、...の順で高論理レベルに変化する。デコード信号B0−3は、B0、B1、B2、B3は、それぞれ4回ずつ高論理レベルに変化する。デコード信号C0−3は、C0、C1、C2、C3は、それぞれ16回ずつ高論理レベルに変化する。デコード信号D0−3は、D0、D1、D2、D3は、それぞれ64回ずつ高論理レベルに変化する。   When the row address signal RA0-7 sequentially increases from “0” to “255” in decimal, the decode signal A0-3 is A0, A1, A2, A3, A0, A1, A2,. . . In order of high logic level. In the decode signal B0-3, B0, B1, B2, and B3 change to the high logic level four times each. In the decoded signal C0-3, C0, C1, C2, and C3 change to the high logic level 16 times each. In the decode signal D0-3, D0, D1, D2, and D3 each change to the high logic level 64 times.

図4は、図1に示したワード線デコーダ18の詳細を示している。ワード線デコーダ18は、一対のコラムメモリブロック群CBLKに共通に形成されている。ワード線デコーダ18は、一対のコラムメモリブロック群CBLKの一対のワード線WL(例えば、LWL0とRWL0)にそれぞれ対応するデコード回路DECを有している。   FIG. 4 shows details of the word line decoder 18 shown in FIG. The word line decoder 18 is formed in common to the pair of column memory block groups CBLK. The word line decoder 18 includes a decode circuit DEC corresponding to each of a pair of word lines WL (for example, LWL0 and RWL0) of the pair of column memory block groups CBLK.

各デコード回路DECは、3入力NANDゲートと、一対のインバータと、一対のNOR回路(負論理のAND回路)とを有している。NANDゲートは、デコード信号A0−3のいずれかと、デコード信号B0−3のいずれかと、デコード信号C0−3のいずれかとを受け、これら信号をデコードし、デコード信号/ABC(第3デコード信号)を出力する。インバータは、デコード信号D(例えば、D0とD1)の論理を反転する。NOR回路は、デコード信号/ABCおよびインバータから出力されるデコード信号Dの反転信号を受け、ワード線LWL、RWLに論理演算結果を出力する。各デコード回路DECにおいて、一対のNOR回路に供給されるデコード信号Dは、互いに異なる。   Each decode circuit DEC has a 3-input NAND gate, a pair of inverters, and a pair of NOR circuits (negative logic AND circuits). The NAND gate receives one of the decode signals A0-3, one of the decode signals B0-3, and one of the decode signals C0-3, decodes these signals, and outputs a decode signal / ABC (third decode signal). Output. The inverter inverts the logic of the decode signal D (for example, D0 and D1). The NOR circuit receives the decode signal / ABC and the inverted signal of the decode signal D output from the inverter, and outputs a logical operation result to the word lines LWL and RWL. In each decode circuit DEC, the decode signals D supplied to the pair of NOR circuits are different from each other.

この実施形態では、末尾の数字が同じメモリブロック(例えば、BLKL0とBLKR0)に対応するデコード回路DECは、全ての組み合わせのデコード信号A、B、C(64通り)と、互いに異なる2つのデコード信号D(例えば、D0とD1)とを受ける。メモリブロックBLKL0のワード線LWL0−63は、デコード信号D0により選択される。すなわち、メモリブロックBLKL0は、ロウアドレス信号RA7−6が”00”のときにアクセスされる。これに対して、メモリブロックBLKR0のワード線RWL0−63は、ロウアドレス信号RA7−6が”01”のときに選択される。このように、ワード線デコーダ18を挟んで対向するメモリブロックBLKL0−3、BLKR0−3は、同時に活性化されない。より詳細には、ロウアドレス信号RA7−6が”00”のとき、メモリブロックBLKL0、BLKR1がアクセスされる。ロウアドレス信号RA7−6が”01”のとき、メモリブロックBLKL1、BLKR0がアクセスされる。ロウアドレス信号RA7−6が”10”のとき、メモリブロックBLKL2、BLKR3がアクセスされる。ロウアドレス信号RA7−6が”11”のとき、メモリブロックBLKL3、BLKR2がアクセスされる。このように、本発明では、簡易な論理のデコード回路DECにより、互いに異なるロウメモリブロック群RBLKに属するメモリブロックBLKのワード線WLを活性化できる。   In this embodiment, the decoding circuit DEC corresponding to the memory blocks having the same number at the end (for example, BLKL0 and BLKR0) has the decoding signals A, B, and C (64 types) of all combinations and two different decoding signals. D (for example, D0 and D1). The word lines LWL0 to 63 of the memory block BLKL0 are selected by the decode signal D0. That is, the memory block BLKL0 is accessed when the row address signal RA7-6 is “00”. On the other hand, the word lines RWL0-63 of the memory block BLKR0 are selected when the row address signal RA7-6 is “01”. Thus, the memory blocks BLKL0-3 and BLKR0-3 that are opposed to each other with the word line decoder 18 interposed therebetween are not activated at the same time. More specifically, when the row address signal RA7-6 is “00”, the memory blocks BLKL0 and BLKR1 are accessed. When the row address signal RA7-6 is "01", the memory blocks BLKL1 and BLKR0 are accessed. When the row address signal RA7-6 is “10”, the memory blocks BLKL2 and BLKR3 are accessed. When the row address signal RA7-6 is “11”, the memory blocks BLKL3 and BLKR2 are accessed. As described above, according to the present invention, the word lines WL of the memory blocks BLK belonging to the different row memory block groups RBLK can be activated by the simple logic decode circuit DEC.

図5は、第1の実施形態において、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAに供給されるデコード信号D0−3を示している。センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAは、デコード信号D0−3(第1デコード信号)に応じて活性化される。デコード信号D0−3をセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAに供給するために配線されるデコード信号線D0−3は、各ロウメモリブロック群RBLKを構成する一対のメモリブロックBLKで互いに異なる。このため、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAは、コラムメモリブロック群CBL
K毎にいずれかが活性化され、ロウメモリブロック群RBLK毎にいずれかが活性化される。
FIG. 5 shows the decode signals D0-3 supplied to the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA in the first embodiment. The sense amplifier block SA and the write amplifier block WA are activated according to the decode signal D0-3 (first decode signal). The decode signal lines D0-3 wired to supply the decode signals D0-3 to the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA are different from each other in the pair of memory blocks BLK constituting each row memory block group RBLK. Therefore, the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA are connected to the column memory block group CBL.
One is activated for each K, and one is activated for each row memory block group RBLK.

より詳細には、デコード信号D0に応じてメモリブロックBLKL0、BLKR1に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される(図に網掛けで示す)。デコード信号D1に応じてメモリブロックBLKL1、BLKR0に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される。デコード信号D2に応じてメモリブロックBLKL2、BLKR3に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される。デコード信号D3に応じてメモリブロックBLKL3、BLKR2に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される。   More specifically, the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL0 and BLKR1 are activated according to the decode signal D0 (shown by shading in the figure). The sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL1 and BLKR0 are activated according to the decode signal D1. The sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL2 and BLKR3 are activated according to the decode signal D2. The sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL3 and BLKR2 are activated according to the decode signal D3.

この実施形態では、同時に動作するセンスアンプブロックSAまたはライトアンプブロックWAは、常に上下に隣接するロウメモリブロック群RBLKに属する。このため、センスアンプブロックSAまたはライトアンプブロックWAが動作するときに、電源線PWRに発生する電源ノイズは、動作するブロックSA、WAの位置に依存せずほぼ一定であり、ばらつきは小さい。一般に、センスアンプおよびライトアンプがデータ信号を増幅するために要する時間は、電源ノイズにより長くなる。本発明では、電源ノイズのばらつきが小さいため、センスアンプおよびライトアンプの増幅時間をアクセスアドレスに依存せずほぼ同じにできる。この結果、例えば、SRAMのアクセス時間(読み出し時間および書き込み時間)をアクセスアドレスに依存せず一定にできる。   In this embodiment, the sense amplifier block SA or the write amplifier block WA that operates simultaneously always belongs to the row memory block group RBLK adjacent vertically. For this reason, when the sense amplifier block SA or the write amplifier block WA operates, the power supply noise generated in the power supply line PWR is almost constant regardless of the position of the operating blocks SA and WA, and the variation is small. In general, the time required for the sense amplifier and the write amplifier to amplify the data signal becomes longer due to power supply noise. In the present invention, since variations in power supply noise are small, the amplification time of the sense amplifier and the write amplifier can be made substantially the same regardless of the access address. As a result, for example, the access time (read time and write time) of the SRAM can be made constant without depending on the access address.

図6は、図1に示したSRAMが搭載されるシステムLSIを示している。上述したSRAMは、例えば、システムLSIに搭載される。システムLSIは、2つのSRAM、CPU、2つのインタフェース回路I/Fおよびユーザにより設計されるロジック回路LOGICを有している。これ等回路は、半導体基板に形成されるトランジスタと、半導体基板上に順次積層される5つの配線層W1−5(図示せず)を用いて形成される。   FIG. 6 shows a system LSI on which the SRAM shown in FIG. 1 is mounted. The above-described SRAM is mounted on a system LSI, for example. The system LSI has two SRAMs, a CPU, two interface circuits I / F, and a logic circuit LOGIC designed by the user. These circuits are formed by using transistors formed on a semiconductor substrate and five wiring layers W1-5 (not shown) sequentially stacked on the semiconductor substrate.

システムLSIは、6番目の配線層W6を用いて形成された電源線RNG、PWRを有している。電源線RNGは、システムLSIチップの周囲に形成され、電源パッド(図示せず)に接続される。電源線PWRは、図の横方向に所定の間隔をおいて形成され、その両端は電源線RNGに接続されている。図6では、分かりやすくするために、一部の電源線PWRのみ記載している。実際には、電源線PWRは、SRAM上を含めてシステムLSIチップの全体に形成されている。システムLSIチップの全体に電源を供給する電源線RNG、PWRを、1つの配線層W6のみを用いて配線することで、配線層の総数を削減できる。この結果、システムLSIのコストを削減できる。   The system LSI includes power supply lines RNG and PWR formed using the sixth wiring layer W6. Power supply line RNG is formed around the system LSI chip and connected to a power supply pad (not shown). The power supply line PWR is formed at a predetermined interval in the horizontal direction in the figure, and both ends thereof are connected to the power supply line RNG. In FIG. 6, only a part of the power supply lines PWR is shown for easy understanding. Actually, the power supply line PWR is formed on the entire system LSI chip including on the SRAM. By wiring the power supply lines RNG and PWR for supplying power to the entire system LSI chip using only one wiring layer W6, the total number of wiring layers can be reduced. As a result, the cost of the system LSI can be reduced.

図7は、図6に示したシステムLSIにおいて、SRAM上に配線される電源線PWRの概要を示している。この例では、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAの領域に、3本の電源線PWRが配線されている。電源線PWRは、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAの電源端子(図示せず)に接続されている。センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAの領域には、さらに2本の電源線PWRを配線する余裕がある。このため、例えば、図6に示したロジック回路LOGICに接続される電源線PWRを、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAの領域に配線できる。したがって、電源線をレイアウトする設計ツールの配線の自由度を大きくでき、レイアウトするための計算時間を短縮できる。   FIG. 7 shows an outline of the power supply line PWR wired on the SRAM in the system LSI shown in FIG. In this example, three power supply lines PWR are wired in the areas of the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA. The power supply line PWR is connected to power supply terminals (not shown) of the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA. In the regions of the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA, there is a margin for wiring two more power supply lines PWR. Therefore, for example, the power supply line PWR connected to the logic circuit LOGIC shown in FIG. 6 can be wired in the areas of the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA. Therefore, the degree of freedom of wiring of the design tool for laying out the power supply line can be increased, and the calculation time for layout can be shortened.

電源線PWRに接続される一対のセンスアンプブロックSAは、同時に動作しない。同様に、電源線PWRに接続される一対のライトアンプブロックWAは、同時に動作しない。このため、ブロックSA、WAの動作により発生する電源ノイズは、相対的に小さくな
る。ブロックSA、WAの動作に伴う電源電圧のドロップを小さくできるため、センスアンプおよびライトアンプの誤動作を防止できる。なお、電源線PWRの数を増やすことで、電源ノイズをさらに減らすことができる。
The pair of sense amplifier blocks SA connected to the power supply line PWR do not operate simultaneously. Similarly, the pair of write amplifier blocks WA connected to the power supply line PWR do not operate simultaneously. For this reason, the power supply noise generated by the operations of the blocks SA and WA is relatively small. Since power supply voltage drop caused by the operations of the blocks SA and WA can be reduced, malfunction of the sense amplifier and the write amplifier can be prevented. Note that power supply noise can be further reduced by increasing the number of power supply lines PWR.

図8は、本発明を適用する前のSRAMのワード線デコーダの詳細を示している。このワード線デコーダは、一対のコラムメモリブロック群CBLKの一対のワード線WL(例えば、LWL0とRWL0)にそれぞれ対応するデコード回路DEC0を有している。   FIG. 8 shows details of the word line decoder of the SRAM before applying the present invention. This word line decoder has a decode circuit DEC0 corresponding to a pair of word lines WL (for example, LWL0 and RWL0) of a pair of column memory block groups CBLK.

各デコード回路DEC0は、4入力NANDゲートと、NANDゲートの出力を受ける一対の反転回路INVとを有している。NANDゲートは、デコード信号A0−3のいずれかと、デコード信号B0−3のいずれかと、デコード信号C0−3のいずれかと、デコード信号C0−3のいずれかとを受け、これら信号をデコードし、デコード信号/ABCDを出力する。反転回路INVは、共通のデコード信号/ABCDにより動作する。このため、反転回路INVの出力に接続されたワード線LWL、RWLは、同時に活性化される。すなわち、同じロウメモリブロック群RBLKに属する一対のワード線LWL、RWLが同時に活性化される。   Each decode circuit DEC0 has a 4-input NAND gate and a pair of inversion circuits INV that receive the output of the NAND gate. The NAND gate receives one of the decode signals A0-3, one of the decode signals B0-3, one of the decode signals C0-3, and one of the decode signals C0-3, decodes these signals, and outputs the decode signal / ABCD is output. The inverting circuit INV operates by a common decode signal / ABCD. For this reason, the word lines LWL and RWL connected to the output of the inverting circuit INV are activated simultaneously. That is, a pair of word lines LWL and RWL belonging to the same row memory block group RBLK are activated simultaneously.

図9は、図8に示したSRAMにおいて、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAに供給されるデコード信号D0−3を示している。本発明を適用する前のSRAMでは、デコード信号D0−3は、各ロウメモリブロック群RBLKに対応する一対のセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAに共通に供給される。このため、図の横方向に並ぶセンスアンプブロックSAまたはライトアンプブロックWAが同時に活性化される(例えば、メモリブロックBLKL0、BLKR0に対応する図に網掛けで示したSA、WA)。   FIG. 9 shows the decode signals D0-3 supplied to the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA in the SRAM shown in FIG. In the SRAM before applying the present invention, the decode signal D0-3 is supplied in common to a pair of sense amplifier blocks SA and write amplifier blocks WA corresponding to each row memory block group RBLK. For this reason, the sense amplifier block SA or the write amplifier block WA arranged in the horizontal direction in the figure are simultaneously activated (for example, SA and WA shown by hatching in the figure corresponding to the memory blocks BLKL0 and BLKR0).

図10は、図8に示したSRAMが搭載されるシステムLSIにおいて、SRAM上に配線される電源線PWRの概要を示している。図9で説明したように、本発明の適用前には、図の横方向に並ぶセンスアンプブロックSAまたはライトアンプブロックWAが同時に活性化される。そして、センスアンプブロックSAまたはライトアンプブロックWAが、電源電圧のドロップの影響により誤動作することを防止するため、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAの領域に、図7より多い電源線PWR(5つの配線)が配線されている。   FIG. 10 shows an outline of the power supply line PWR wired on the SRAM in the system LSI on which the SRAM shown in FIG. 8 is mounted. As described with reference to FIG. 9, before the application of the present invention, the sense amplifier blocks SA or the write amplifier blocks WA arranged in the horizontal direction in the figure are simultaneously activated. In order to prevent the sense amplifier block SA or the write amplifier block WA from malfunctioning due to the influence of the drop of the power supply voltage, more power supply lines PWR (5 than those in FIG. Are wired).

図10に示した電源線PWRは、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWA用に配線される。このため、これら電源線PWRは、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAの右側に形成されるロジック回路LOGIC(図6)に電源を供給するために使用できない。したがって、電源線PWRをレイアウトする設計ツールの配線の自由度は小さくなる。   The power supply line PWR shown in FIG. 10 is wired for the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA. Therefore, these power supply lines PWR cannot be used to supply power to the logic circuit LOGIC (FIG. 6) formed on the right side of the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA. Therefore, the degree of freedom of wiring of the design tool for laying out the power supply line PWR is reduced.

以上、第1の実施形態では、同時に動作するセンスアンプブロックSA(またはライトアンプブロックWA)に、異なる電源線PWRを用いて電源が供給されるため、電源電圧のドロップを小さくでき、電源線PWRに発生する電源ノイズを低減できる。この結果、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAの誤動作を防止できる。   As described above, in the first embodiment, power is supplied to the sense amplifier block SA (or write amplifier block WA) that operates simultaneously using different power supply lines PWR, so that power supply voltage drop can be reduced and the power supply line PWR can be reduced. Can reduce power supply noise. As a result, malfunction of the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA can be prevented.

センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWA上に配線される電源線PWRの本数を少なくできる。したがって、SRAMに隣接するロジック回路LOGICに配線される電源線PWRを、センスアンプブロックSA上およびライトアンプブロックWA上に通すことができる。この結果、電源線PWRをレイアウトする設計ツールの配線の自由度(レイアウトの余裕度)を大きくでき、レイアウトするための計算時間を短縮できる。   The number of power supply lines PWR wired on the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA can be reduced. Therefore, the power supply line PWR wired to the logic circuit LOGIC adjacent to the SRAM can be passed over the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA. As a result, it is possible to increase the wiring freedom (layout margin) of the design tool for laying out the power supply line PWR, and to shorten the calculation time for layout.

図11は、本発明の半導体メモリの第2の実施形態おいて、センスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAに供給されるデコード信号D0−3を示している。第1の実施形態で説明した要素と同一の要素については、同一の符号を付し、これ等については、詳細な説明を省略する。この実施形態では、ロウアドレスデコーダ16(図1)からセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックに供給されるデコード信号線D0−3の接続仕様が、第1の実施形態と相違している。その他の構成は、第1の実施形態と同じである。   FIG. 11 shows decode signals D0-3 supplied to the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA in the second embodiment of the semiconductor memory of the present invention. The same elements as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. In this embodiment, the connection specifications of the decode signal lines D0-3 supplied from the row address decoder 16 (FIG. 1) to the sense amplifier block SA and the write amplifier block are different from those in the first embodiment. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

この実施形態では、デコード信号D0に応じてメモリブロックBLKL0、BLKR1に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される。デコード信号D1に応じてメモリブロックBLKL1、BLKR2に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される。デコード信号D2に応じてメモリブロックBLKL2、BLKR3に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される。デコード信号D3に応じてメモリブロックBLKL3、BLKR0に対応するセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAが活性化される(図に網掛けで示す)。すなわち、デコード信号D0−3をセンスアンプブロックSAおよびライトアンプブロックWAに供給するために配線される信号線D0−3は、各ロウメモリブロック群RBLKを構成する一対のメモリブロックBLKで互いに異なる。以上、第2の実施形態においても、上述した第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。   In this embodiment, the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL0 and BLKR1 are activated according to the decode signal D0. The sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL1 and BLKR2 are activated according to the decode signal D1. The sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL2 and BLKR3 are activated according to the decode signal D2. In response to the decode signal D3, the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA corresponding to the memory blocks BLKL3 and BLKR0 are activated (shown by shading in the figure). In other words, the signal lines D0-3 wired to supply the decode signals D0-3 to the sense amplifier block SA and the write amplifier block WA are different from each other in the pair of memory blocks BLK constituting each row memory block group RBLK. As mentioned above, also in 2nd Embodiment, the effect similar to 1st Embodiment mentioned above can be acquired.

なお、上述した実施形態では、本発明をSRAMに適用した例を述べた。しかしながら、本発明は、マトリックス状に配置された複数のメモリブロックを有し、コラムメモリブロック群が、互いに異なる外部データ端子I/Oに割り当てられた他の半導体メモリ、あるいは、これら半導体メモリを内蔵したシステムLSIに適用できる。他の半導体メモリとして、例えば、DRAM、疑似SRAM、SDRAM、FCRAM(Fast Cycle RAM)、FeRAM(Ferroelectric RAM)、フラッシュメモリ等がある。   In the above-described embodiment, the example in which the present invention is applied to the SRAM has been described. However, the present invention includes a plurality of memory blocks arranged in a matrix, and a column memory block group assigned to different external data terminals I / O, or includes these semiconductor memories It can be applied to the system LSI. Examples of other semiconductor memories include DRAM, pseudo SRAM, SDRAM, FCRAM (Fast Cycle RAM), FeRAM (Ferroelectric RAM), and flash memory.

上述した実施形態では、本発明を、縦方向に4つ、横方向に2つのメモリブロックBLKが配置されるSRAMに適用した例を述べた。しかしながら、本発明は、上述した以外のマトリックス構成のSRAMにも適用できる。一般的には、縦方向に2のm乗個、横方向に2のn乗個(m、nは1以上の整数)のメモリブロックBLKが配置される半導体メモリに適用可能である。   In the above-described embodiment, the example in which the present invention is applied to an SRAM in which four memory blocks BLK are arranged in the vertical direction and two memory blocks BLK in the horizontal direction is described. However, the present invention can also be applied to SRAMs having matrix configurations other than those described above. In general, the present invention can be applied to a semiconductor memory in which 2 m memory blocks in the vertical direction and 2 n power blocks in the horizontal direction (m and n are integers of 1 or more) are arranged.

本発明は、マトリックス状に配置された複数のメモリセルアレイブロックを有する半導体メモリに適用できる。   The present invention can be applied to a semiconductor memory having a plurality of memory cell array blocks arranged in a matrix.

本発明の半導体メモリの第1の実施形態を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a first embodiment of a semiconductor memory of the present invention. 図1に示したSRAMのレイアウトの概要を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing an outline of the layout of the SRAM shown in FIG. 1. 図1に示したロウアドレスデコーダの詳細を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing details of a row address decoder shown in FIG. 1. 図1に示したワード線デコーダの詳細を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing details of a word line decoder shown in FIG. 1. 第1の実施形態において、センスアンプブロックおよびライトアンプブロックに供給されるデコード信号を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing decode signals supplied to a sense amplifier block and a write amplifier block in the first embodiment. 図1に示したSRAMが搭載されるシステムLSIを示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a system LSI on which the SRAM shown in FIG. 1 is mounted. 図6に示したシステムLSIにおいて、SRAM上に配線される電源線の概要を示すレイアウト図である。FIG. 7 is a layout diagram showing an outline of power supply lines wired on an SRAM in the system LSI shown in FIG. 6. 本発明を適用する前のSRAMのワード線デコーダの詳細を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the detail of the word line decoder of SRAM before applying this invention. 図8に示したSRAMにおいて、センスアンプブロックおよびライトアンプブロックに供給されるデコード信号を示すブロック図である。FIG. 9 is a block diagram showing decode signals supplied to a sense amplifier block and a write amplifier block in the SRAM shown in FIG. 8. 図8に示したSRAMが搭載されるシステムLSIにおいて、SRAM上に配線される電源線の概要を示すレイアウト図である。FIG. 9 is a layout diagram showing an outline of power supply lines wired on the SRAM in the system LSI on which the SRAM shown in FIG. 8 is mounted. 本発明の半導体メモリの第2の実施形態において、センスアンプブロックおよびライトアンプブロックに供給されるデコード信号を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing decode signals supplied to a sense amplifier block and a write amplifier block in a second embodiment of the semiconductor memory of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 動作制御回路
12 アドレス入力回路
14 データ入出力回路
16 ロウアドレスデコーダ
18 ワード線デコーダ
20 コラムアドレスデコーダ
22 コラムスイッチデコーダ
ARY メモリセルアレイ
BL リアルビット線
CSW コラムスイッチ回路
DEC デコード回路
MC リアルメモリセル
PWR 電源線
SA センスアンプブロック
WA ライトアンプブロック
WL ワード線
10 operation control circuit 12 address input circuit 14 data input / output circuit 16 row address decoder 18 word line decoder 20 column address decoder 22 column switch decoder ARY memory cell array BL real bit line CSW column switch circuit DEC decode circuit MC real memory cell PWR power line SA sense amplifier block WA write amplifier block WL word line

Claims (5)

複数のメモリセルをそれぞれ有し、マトリックス状に配置された複数のメモリブロックと、
縦方向に配列された所定数のメモリブロックにより構成され、横方向に並ぶ複数のコラムメモリブロック群と、
横方向に配列された所定数のメモリブロックにより構成され、縦方向に並ぶ複数のロウメモリブロック群と、
メモリセルブロックの一端にそれぞれ配置され、前記メモリセルに入出力されるデータを増幅するための複数の増幅回路ブロックと、
前記コラムメモリブロック群毎に前記増幅回路ブロックのいずれかを活性化するために、第1ロウアドレスに応じて複数の第1デコード信号のいずれかを活性化する第1ロウアドレスデコーダと、
前記第1デコード信号を前記第1ロウアドレスデコーダから前記増幅回路ブロックまで伝達するためにそれぞれ配線され、前記各ロウメモリブロック群に対応する増幅回路ブロックに、それぞれ異なる前記第1デコード信号を供給する複数のデコード信号線と、
前記各ロウメモリブロック群に対応する増幅回路ブロックに共通に接続された電源線とを備えていることを特徴とする半導体メモリ。
A plurality of memory blocks each having a plurality of memory cells and arranged in a matrix;
A plurality of column memory block groups configured by a predetermined number of memory blocks arranged in the vertical direction and arranged in the horizontal direction;
A plurality of row memory block groups configured by a predetermined number of memory blocks arranged in the horizontal direction and arranged in the vertical direction;
A plurality of amplifier circuit blocks, each disposed at one end of the memory cell block, for amplifying data input to and output from the memory cell;
A first row address decoder that activates one of a plurality of first decode signals in response to a first row address in order to activate one of the amplifier circuit blocks for each column memory block group;
The first decode signal is wired to transmit the first decode signal from the first row address decoder to the amplifier circuit block, and the different first decode signals are supplied to the amplifier circuit blocks corresponding to the row memory block groups. A plurality of decode signal lines;
A semiconductor memory comprising: a power supply line commonly connected to an amplifier circuit block corresponding to each row memory block group.
請求項1記載の半導体メモリにおいて、
前記各メモリブロック内に形成され、前記メモリセルに接続された複数のワード線と、
前記コラムメモリブロック群毎に前記ワード線のいずれかを活性化するために、第2ロウアドレス信号に応じて複数の第2デコード信号のいずれかを活性化する第2ロウアドレスデコーダと、
一対の前記コラムメモリブロック群の一対の前記ワード線に対応する複数のデコード回路を有するワード線デコーダとを備え、
前記各デコード回路は、
前記第2デコード信号に応じて、前記一対のワード線に共通な第3デコード信号を生成する第1論理回路と、
前記一対のワード線のそれぞれに対応して形成され、前記第3デコード信号と前記第1デコード信号とに応じて対応するワード線を活性化する一対の第2論理回路とを備え、
前記各デコード回路において、前記一対の第2論理回路が受ける前記第1デコード信号は、互いに異なることを特徴とする半導体メモリ。
The semiconductor memory according to claim 1.
A plurality of word lines formed in each of the memory blocks and connected to the memory cells;
A second row address decoder that activates one of a plurality of second decode signals in response to a second row address signal in order to activate one of the word lines for each column memory block group;
A word line decoder having a plurality of decoding circuits corresponding to the pair of word lines of the pair of column memory block groups;
Each of the decoding circuits
A first logic circuit for generating a third decode signal common to the pair of word lines in response to the second decode signal;
A pair of second logic circuits formed corresponding to each of the pair of word lines and activating corresponding word lines in response to the third decode signal and the first decode signal;
In each of the decode circuits, the first decode signal received by the pair of second logic circuits is different from each other.
請求項1記載の半導体メモリにおいて、
前記増幅回路ブロックは、前記メモリセルから読み出されるデータの信号量を増幅する複数のセンスアンプを備えていること特徴とする半導体メモリ。
The semiconductor memory according to claim 1.
The semiconductor memory, wherein the amplifier circuit block includes a plurality of sense amplifiers that amplify a signal amount of data read from the memory cell.
請求項1記載の半導体メモリにおいて、
前記増幅回路ブロックは、前記メモリセルに書き込むデータの信号量を増幅する複数のライトアンプを備えていることを特徴とする半導体メモリ。
The semiconductor memory according to claim 1.
The semiconductor memory according to claim 1, wherein the amplifier circuit block includes a plurality of write amplifiers that amplify a signal amount of data to be written to the memory cell.
半導体メモリとロジック回路とが搭載され、半導体基板上の所定の配線層を用いて一方向に向く複数の電源線が形成されたシステムLSIであって、
前記半導体メモリは、
複数のメモリセルをそれぞれ有し、マトリックス状に配置された複数のメモリブロックと、
縦方向に配列された所定数のメモリブロックにより構成され、横方向に並ぶ複数のコラムメモリブロック群と、
横方向に配列された所定数のメモリブロックにより構成され、縦方向に並ぶ複数のロウ
メモリブロック群と、
メモリセルブロックの一端にそれぞれ配置され、前記メモリセルに入出力されるデータを増幅するための複数の増幅回路ブロックと、
前記コラムメモリブロック群毎に前記増幅回路ブロックのいずれかを活性化するために、第1ロウアドレスに応じて複数の第1デコード信号のいずれかを活性化する第1ロウアドレスデコーダと、
前記第1デコード信号を前記第1ロウアドレスデコーダから前記増幅回路ブロックまで伝達するためにそれぞれ配線され、前記各ロウメモリブロック群に対応する増幅回路ブロックに、それぞれ異なる前記第1デコード信号を供給する複数のデコード信号線と、
前記各ロウメモリブロック群に対応する増幅回路ブロックに共通に接続された電源線とを備え、
前記一方向は、前記横方向であることを特徴とするシステムLSI。
A system LSI in which a semiconductor memory and a logic circuit are mounted, and a plurality of power supply lines facing in one direction are formed using a predetermined wiring layer on a semiconductor substrate,
The semiconductor memory is
A plurality of memory blocks each having a plurality of memory cells and arranged in a matrix;
A plurality of column memory block groups configured by a predetermined number of memory blocks arranged in the vertical direction and arranged in the horizontal direction;
A plurality of row memory block groups configured by a predetermined number of memory blocks arranged in the horizontal direction and arranged in the vertical direction;
A plurality of amplifier circuit blocks, each disposed at one end of the memory cell block, for amplifying data input to and output from the memory cell;
A first row address decoder that activates one of a plurality of first decode signals in response to a first row address in order to activate any one of the amplifier circuit blocks for each column memory block group;
The first decode signal is wired to transmit the first decode signal from the first row address decoder to the amplifier circuit block, and the different first decode signals are supplied to the amplifier circuit blocks corresponding to the row memory block groups. A plurality of decode signal lines;
A power line commonly connected to the amplifier circuit block corresponding to each row memory block group,
The system LSI, wherein the one direction is the horizontal direction.
JP2005146354A 2005-05-19 2005-05-19 Semiconductor memory Withdrawn JP2006323934A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005146354A JP2006323934A (en) 2005-05-19 2005-05-19 Semiconductor memory

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005146354A JP2006323934A (en) 2005-05-19 2005-05-19 Semiconductor memory

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006323934A true JP2006323934A (en) 2006-11-30

Family

ID=37543494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005146354A Withdrawn JP2006323934A (en) 2005-05-19 2005-05-19 Semiconductor memory

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006323934A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7373564B2 (en) Semiconductor memory
US20070153617A1 (en) Semiconductor memory
JP2006202457A (en) Semiconductor memory
US7643325B2 (en) Ferroelectric memory and operating method of same
US7864621B2 (en) Compiled memory, ASIC chip, and layout method for compiled memory
JP3944380B2 (en) Semiconductor memory device having error correction circuit
JP2008198242A (en) Semiconductor memory device
US6967882B1 (en) Semiconductor memory including static memory
US6151265A (en) Memory device having direct sense circuit
JP4364052B2 (en) Manufacturing method of semiconductor device
JP2010010369A5 (en)
JP2009116994A (en) Semiconductor storage device
US11545211B2 (en) Semiconductor memory device and a method of operating the semiconductor memory device
JPWO2008032549A1 (en) Semiconductor memory device
JP4757607B2 (en) Semiconductor memory
US6987698B2 (en) Semiconductor memory having dummy regions in memory cell array
JP2000030487A (en) Semiconductor storage device
WO2011161798A1 (en) Semiconductor storage device and method for controlling semiconductor storage device
JP2006323934A (en) Semiconductor memory
JP4293380B2 (en) Semiconductor device
JP2005190585A (en) Semiconductor storage device
JP5998814B2 (en) Semiconductor memory device
JP2005149575A (en) Semiconductor storage device
US7554876B2 (en) Semiconductor memory device
JP4143515B2 (en) Semiconductor memory device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080514

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20080729

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20101126