JP2006317951A - レンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光変調器によって形成された+次数と−次数の回折光を集光する場合にレンズ系の開口数を大幅に低減した光変調器を利用したディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】ディスプレイ装置は、光源から出射した光を照射するための照明レンズと、前記照明レンズから入射した光を変調して、複数の回折次数を持つ回折光を生成する回折型光変調器と、前記回折型光変調器で生成された回折光のうち、+次数の回折光とそれに対応する−次数の回折光を近接させて開口数を低減させる開口数低減器と、前記開口数低減器から開口数が低減した回折光が入射した場合、対象物体に集光して走査を行う投影システムとを含む。
【選択図】図5
【解決手段】ディスプレイ装置は、光源から出射した光を照射するための照明レンズと、前記照明レンズから入射した光を変調して、複数の回折次数を持つ回折光を生成する回折型光変調器と、前記回折型光変調器で生成された回折光のうち、+次数の回折光とそれに対応する−次数の回折光を近接させて開口数を低減させる開口数低減器と、前記開口数低減器から開口数が低減した回折光が入射した場合、対象物体に集光して走査を行う投影システムとを含む。
【選択図】図5
Description
本発明は、光変調器を利用したディスプレイ装置に関し、特に、光変調器によって形成された+次数と−次数の回折光を集光する場合にレンズ系の開口数を大幅に低減した、レンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置に関するものである。
微細技術の進展につれて、いわゆるマイクロマシン(MEMS:Micro Electro Mechanical Systems)素子、およびMEMS素子を組み込んだ小型機器が注目されている。
MEMS素子は、シリコン基板、ガラス基板などの基板上に微細構造体として形成され、機械的駆動力を出力する駆動体と駆動体を制御する半導体集積回路などを電気的かつ機械的に結合させた素子である。MEMS素子の基本的な特徴は、機械的構造に構成されている駆動体が素子の一部に組み込まれていることにあり、駆動体の駆動は電極間のクーロンの力などを応用して電気的に行われる。
図1および図2は、光の反射または回折を用いて、光スイッチ、光変調素子に適用される光学MEMS素子の代表的な構成を示す。
図1に示す光学MEMS素子1は、基板2と、基板2上に形成した基板側電極3と、基板側電極3に対向して平行に配置した駆動側電極4を持つビーム6と、このビーム6の一端を支持する支持部7とを備える。ビーム6と基板側電極3は、その間の空隙8によって電気的に絶縁されている。
基板2としては、例えばシリコン(Si)またはガリウムヒ素(GaAs)などの半導体基板上に絶縁膜を形成した基板、ガラス基板のような絶縁性基板などが利用される。基板側電極3は、不純物をドーピングした多結晶シリコン膜、金属膜(例えば、Cr蒸着膜)などで形成される。ビーム6は、例えばシリコン窒化膜(SiN膜)などの絶縁膜5と、その上面に形成された膜厚100nm程度の例えばAl膜からなる反射膜を兼ねる駆動側電極4とで構成される。このビーム6は、支持部7にその一端を支持した、いわゆる片持ち梁型に形成される。
このような光学MEMS素子1においては、基板側電極3と駆動側電極4に印加される電位によって、ビーム6が、基板側電極3との間の静電引力または静電反発によって変位し、例えば図1の実線と点線で示すように、基板側電極3に対して平行状態および傾斜状態に変位する。
図2に示す光学MEMS素子11は、基板12と、基板12上に形成した基板側電極13と、基板側電極13をブリッジ形状に跨ぐビーム14とを備える。ビーム14と基板側電極13は、その間の空隙10によって電気的に絶縁されている。
ビーム14は、基板側電極13を跨ぐようにブリッジ形状に基板12上に立設された、例えばSiN膜からなるブリッジ部材15と、基板側基板13に対向して相互平行にブリッジ部材15上に設けられた、例えば膜厚100nm程度のAl膜からなる反射膜を兼ねる駆動側電極16とで構成される。基板12、基板側電極13、ビーム14などは、図1で説明したものと同一の構成および材料を採用することができる。ビーム14はその両端が支持された、いわゆるブリッジ型に形成される。
このような光学MEMS素子11においては、基板側電極13と駆動側電極16に印加される電位によって、ビーム14が、基板側電極13との間の静電引力または静電反発によって変位し、例えば図2の実線と点線で示すように、基板側電極3に対して平行状態および凹んだ状態に変位する。
光学MEMS素子1、11は、光反射膜を兼ねる駆動側電極4、16の表面に光が照射され、ビーム4、14の駆動位置によってその光の反射方向が異なることを用いて、一方向の反射光を検出してスイッチ機能を持つようにした光スイッチとして適用することができる。
また、光学MEMS素子1、11は、光強度を変調させる光変調素子として適用することができる。光の反射を用いる時は、ビーム4、14を振動させて、単位時間当りの一方向への反射光量で光強度を変調する。この光変調素子は、いわゆる時間変調素子である。
光の回折を用いる時は、共通の基板側電極3、13に対して複数のビーム6、14を並列に配置して光変調素子を構成し、共通の基板側電極3、13に対して、例えば一つおきにビーム6、14が近接および離反する動作によって、光反射膜を兼ねる駆動側電極の高さを変化させ、光の回折によって駆動側電極で反射する光の強度を変調する。この光変調素子は、いわゆる空間変調素子である。
図3は、シリコンライトマシン社(SLM: Silicon Light Machine)がレーザディスプレイ用光強度変換素子、すなわち光変調器として開発したGLV(Grating Light Valve)デバイスの構成を示す。
GLVデバイス21は、図3に示すように、ガラス基板等の絶縁基板22上に、タングステン、チタンなどの高融点金属およびその窒化膜、またはポリシリコン薄膜による共通の基板側電極23が形成され、この基板側電極23に交差してブリッジ型に跨る複数のビーム24(ここでは、6つのビーム241、242、243、244、245、246)が並列に配置されている。基板側電極23およびビーム24の構成は、前述した図2で説明したものと同一の構成である。すなわち、ビーム24は、例えばSiN膜によるブリッジ部材の、基板側電極23に平行な面上に、膜厚100nm程度のAl膜からなる反射膜兼駆動側電極26が形成される。
ブリッジ部材とその上に設けられた反射膜兼駆動側電極とからなるビーム24は、一般に「リボン」と称される。
ビーム24の反射膜兼駆動側電極として使用したアルミニウム膜(Al膜)は、(1)比較的容易に構成可能な金属であること、(2)可視光反射率の波長分散が小さいこと、(3)Al膜の表面に生成したアルミニウム自然酸化膜が保護膜として反射面を保護することの理由で、光学部品材料として望ましい金属である。
また、ブリッジ部材を構成するSiN膜(窒化シリコン膜)は減圧CVD法によって成膜されたSiN膜であって、その強度、弾性定数などの物理値がブリッジ部材の機械的駆動に対して適切なものが選定されている。
基板側電極23と反射膜兼駆動側電極との間に微小電圧を印加すると、前述した静電現象によって、ビーム24が基板側電極23に向かって近接し、一方、電圧の印加を停止すると、離反して元の状態に戻る。
GLVデバイス21は、基板側電極23に対する複数のビーム24の近接および離反の動作(すなわち、一つおきのビームの近接および離反の動作によって、光反射膜兼駆動側電極の高さを交互に変化させ、光の回折によって(6つのビーム24全体に対して1つの光スポットが照射される)によって、駆動側電極で反射する光の強度を変調する。
静電引力および静電反発力を利用して駆動するビームの力学的特性は、CVD法などで成膜されるSiN膜の物性によってほとんど決定され、Al膜はミラーとしての役目が主なものである。
図4は、前述したMEMS素子を適用した光変調素子としてのGLVデバイスを用いた光学装置の一例を示す。本例においては、レーザディスプレイに適用される場合を説明する。
本例に係るレーザーディスプレイ51は、例えば大型スクリーン用プロジェクタ、特にデジタル画像のプロジェクタ、あるいはコンピュータの画像投影装置として利用される。
レーザディスプレイ51は、図5に示すように、レーザ光源52と、レーザ光源に対して取り付けられたミラー54と、照明光学系(レンズ群)56と、光変調素子として機能するGLVデバイス58とを備えている。
さらに、レーザディスプレイ51は、GLVデバイス58によって光強度が変調されたレーザ光を反射するミラー60と、投射レンズ62と、フィルタ64と、拡散板66と、ミラー68と、ガルバノスキャナ70と、投映光学系(レンズ群)72と、スクリーン74とを備えている。
従来技術によるレーザディスプレイ51においては、レーザ光源52から出射したレーザ光が、ミラー54を経て照明光学系56を通じてGLVデバイス58に入射する。
また、レーザ光は、GLVデバイス58での回折によって空間変調され、ミラー60によって反射された後、投射レンズ62で回折次数別に分離され、フィルタ64によって信号成分のみが取り出される。
この画像信号は、拡散板66によってレーザスペクトラムが低減され、ミラー68を経て、画像信号と同期するガルバノスキャナ68によって空間に展開され、投映光学系70によってスクリーン72上に投影される。
前記のような従来技術によれば、回折型光変調器の回折格子間隔が狭くなれば回折角が増加することになり、これにより、投射レンズなどの後段に位置するレンズ系のNA(開口数:Numerical Aperture)が増加することになる。
したがって、本発明の目的は、前記のような問題点を解決するためになされたもので、光変調器によって形成された+次数と−次数の回折光を集光する場合にレンズ系の開口数を大幅に低減した光変調器を利用したディスプレイ装置を提供することである。
前記のような問題点を解決するため、本発明は、光源から出射した光を照射するための照明レンズと、前記照明レンズから入射した光を変調して、複数の回折次数を持つ回折光を生成する回折型光変調器と、前記回折型光変調器で生成された回折光のうち、+次数の回折光とそれに対応する−次数の回折光を近接させて開口数を低減させる開口数低減器と、前記開口数低減器から開口数が低減した回折光が入射した場合、対象物体に集光して走査を行う投影システムとを含むことを特徴とする。
前記のような本発明によれば、回折角が増加しても、レンズの開口数を増加させる必要がなく、光学系の設計が容易である。
また、本発明によれば、+次数の回折光と−次数の回折光を集光することができ、近軸光学系の設計が可能になり、レンズの性能が向上する。
また、本発明によれば、+次数の回折光と−次数の回折光を集光することができ、小型のガルバノミラーの使用がになり、ディスプレイ装置の小型化とコスト節減が可能である。
以下、図5以降に基づいて本発明の望ましい一実施形態を詳細に説明する。
図5は、本発明の一実施形態によるレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置の構成図である。
同図を参照して、本発明の一実施形態によるレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置は、光源700、照明レンズ710、回折型光変調器720、反射ミラー730、リレーレンズ740、開口数低減器750、投影システム760、およびスクリーン770を含む。
光源700は、外部空洞表面放出レーザ(VECSEL: Vertical External Cavity Surface Emitting Laser)、垂直空洞表面発光レーザ(VCSEL: Vertical Cavity Surface Emitting Laser)、発光ダイオード(LED: Light Emitting Diode)、レーザダイオード(LD: Laser Diode)、スーパールミネッセントダイオード(SLED: Super Luminescent Diode)などのような半導体で製作した光源が使用可能である。
このような光源700と照明レンズ710の例が、図6A〜図6Cに示されている。
図6Aにおいて、光源700として外部空洞表面放出レーザ、垂直空洞表面発光レーザまたはこれと類似した光源を示すが、光源から平行光が出射してシリンダ形ビーム拡大器712に入射する。シリンダ形ビーム拡大器712は、シリンダー表面に対して平行な軸を持っている二つのシリンダレンズ712a、712bを含み、シリンダレンズ712aの後方焦点面はシリンダレンズ712bの前方焦点面と一致し、シリンダレンズ712a、712bの中央点は光軸の交差点に置かれている。シリンダ形ビーム拡大器712の出力は平行光であって、垂直方向に拡大されている。シリンダ形ビーム拡大器712を通過した光は、シリンダ形ビーム拡大器712のいずれか一つに直交するシリンダー表面および光軸を持っているシリンダレンズ711を通過する。シリンダレンズ711の焦点面で、光は線状光に集光される。シリンダレンズ711の焦点面に回折型光変調器720が置かれ、線状光は回折型光変調器720に入射する。
次に、図6Bにおいて、図6Aと同様に、光源700として外部空洞表面放出レーザ、垂直空洞表面発光レーザまたはこれと類似した光源を示すが、光源から平行光が出射してシリンダレンズ711を通過し球面ビーム拡大器713を通過する。球面ビーム拡大器713は、凹レンズ713aと凸レンズ713bからなり、凹レンズ713aの前方焦点面と凸レンズ713bの前方焦点面は一致する。また、凹レンズ713aの後方焦点面と凸レンズ713bの後方焦点面は一致する。凹レンズ713aと凸レンズ713bの対は、垂直面で見る時、望遠鏡型の平行光拡大器と見なされ、シリンダレンズ711と凹レンズ713aの対は、水平面で見る時、望遠鏡型の平行光縮小器と見なされる。
したがって、シリンダレンズ711を通過した光は、垂直面で見る時、平行であり、水平面で見る時、収斂する。収斂点は凹レンズ713aの後方焦点面に置かれている。凹レンズ713aを通過した光は、水平面で平行光になり、垂直面で発散光になる。凸レンズ713bを通過した光は、垂直面で平行光になり、水平面で収斂光になる。凸レンズ713bの後方焦点面で光は線状光になる。凸レンズ713bの後方焦点面に回折型光変調器720が置かれ、線状光は回折型光変調器720に入射する。
一方、光源700としてLD、SLEDが使用される場合には、図6Cに示すように、発散光を平行光にするために、コリメートレンズ714をさらに使用しなければならない。図6Cにおいて、光源700はレーザダイオードLD、スーパールミネッセントダイオードSLEDであり、これと類似した光源が使用されることができる。
コリメートレンズ714を通過した光は平行光になり、発散光の中心はコリメートレンズ714の前方焦点面に置かれることになる。残りの構成は図6Aおよび図6Bと同一であるので、その説明を省略する。
次に、回折型光変調器720は、入射光を回折させて多次数の回折係数を持つ回折光を出射し、リレーレンズ740は、多次数の回折係数を持つ回折光のうち、所望次数の回折光を投影システム760に通過させる。
これに使用される回折型光変調器720としては、一例として開孔式(open hole)回折型光変調器が使用できるが、その一例が図7に示されている。
同図を参照して、一実施形態による開孔式回折光変調器は、シリコン基板901と、絶縁層902、下部マイクロミラー903と、複数のエレメント910a〜910nとで構成されている。ここで、絶縁層と下部マイクロミラーを別個の層で構成したが、絶縁層に光を反射する性質があれば、絶縁層自体が下部マイクロミラーとして機能することができる。
シリコン基板901は、エレメント910a〜910nに空隙を確保するために、陥没部を備えており、その基板上には絶縁層902が積層され、その上部に下部マイクロミラー903が形成され、陷沒部を外れた両側にエレメント910a〜910nの下面が取り付けられる。シリコン基板901の代替材料としては、Si、Al2O3、ZrO2、Quartz、SiO2などの単一材料が使用でき、あるいは底面と上層(図で点線で表示)を異種の材料で形成してもよい。
下部マイクロミラー903は、シリコン基板901の上部に形成されて、入射光を反射して回折させる。下部マイクロミラー903に使用される材料としては、金属(例えば、Al、Pt、Cr、Agなど)が使用できる。
エレメント(代表として図面符号910aについてのみ説明するが、残りも同様である)はリボン形状を有し、中央部がシリコン基板901の陷没部から離隔して位置するように、両端の下面がそれぞれシリコン基板901の陷沒部を外れた両側に取り付けられている下部支持部911aを備えている。
下部支持部911aの両側には、圧電層920a、920a’が設けられ、この圧電層920a、920a’の収縮および膨脹によって、エレメント910aの駆動力が供給される。
下部支持部911aを構成する材料としては、Si酸化物(一例として、SiO2など)、Si窒化物系列(一例として、Si3N4など)、セラミック基板(Si、ZrO2、Al2O3など)、Siカーバイドなどがある。このような下部支持部911aは必要に応じて省略することができる。
そして、左右側の圧電層920a、920a’は、圧電電圧を提供するための下部電極層921a、921a’と、下部電極層921a、921a’に積層され、両面に電圧が印加されると、収縮および膨脹して上下駆動力を発生させる圧電材料層922a、922a’と、圧電材料層922a、922a’に積層され、圧電材料層922a、922a’に圧電電圧を供給する上部電極層923a、923a’とを備えている。上部電極層923a、923a’と下部電極層921a、921a’に電圧が印加されると、圧電材料層922a、922a’は、収縮および膨脹を行って下部支持部911aの上下運動を引き起こす。
電極921a、921a’、923a、923a’の電極材料としては、Pt、Ta/Pt、Ni、Au、Al、RuO2などが使用でき、0.01〜3μmの範囲でスパッタリングまたは蒸着などの方法によって成膜する。
一方、下部支持部911aの中央部には、上部マイクロミラー930aが形成され、複数の開孔931a1〜931a3を備えている。ここで、開孔931a1〜931a3の形状は長方形が望ましいが、円形、楕円形などいずれの閉曲線形状も可能である。そして、ここで、下部支持部を光反射性物質で形成すれば、別に上部マイクロミラーを蒸着する必要がなく、下部支持部が上部マイクロミラーとして機能するようにすることができる。
このような開孔931a1〜931a3は、エレメント910aに入射する入射光が通過して、開孔931a1〜931a3が形成された部分に対応する下部マイクロミラー903に入射光が入射するようにし、これにより、下部マイクロミラー903と上部マイクロミラー930aが画素を形成する。
すなわち、一例として、開孔931a1〜931a3が形成された上部マイクロミラー930aのA部分と下部マイクロミラー903のB部分が一つの画素を形成することができる。
この際、上部マイクロミラー930aの開孔931a1〜931a3が形成された部分を通過して入射する入射光は、下部マイクロミラー903の対応部分に入射することができ、上部マイクロミラー930aと下部マイクロミラー903間の間隔がλ/4の奇数倍になる時、最大の回折光を発生させる。
一方、回折型光変調器720は、照明レンズ710から入射した線状光を回折して回折光を形成した後、回折光を反射ミラー730に入射させる。
この際、照明レンズ710から入射した線状光が回折型光変調器720に垂直入射する時に形成される+1次回折光と−1次回折光が図8Aおよび図8Bに示されている。
図8Aを参照して、入射光が垂直に入射すると、両方向に+1次回折光および−1次回折光が形成される。入射光から広がった角度θは波長に比例し、次の(式1)で表現される。すなわち、波長が長いほどθが大きくなる。
[数1]
θ=Arcsin(λ/d) (1)
θ=Arcsin(λ/d) (1)
ここで、λは波長、dは上部マイクロミラー930aの隣接した開孔931a〜931c間の距離または周期を示す。
図8Bは、線状の平行光が回折型光変調器に入射する時に形成される+1次の線形回折光と−1次の線形回折光を立体的に示す。
一方、反射ミラー730は、中央に、入射する光を通過させる孔を有し、+次数の回折光をリレーレンズ740に反射させる上部ミラー730aと、−次数の回折光をリレーレンズ740に反射させる下部ミラー730bとを備えている。
そして、リレーレンズ740は、入射した回折光の次数間の近接距離を増加させた後、所望次数の回折光を通過させる。
リレーレンズ740は、図5に示すように、フーリエレンズ741とフーリエフィルタ742とを備えている。フーリエレンズ741は、入射した回折光の次数間の近接距離を増加させ、フーリエフィルタ742は多くの次数を持つ入射回折光のうち所望次数の回折光を通過させる。
また、リレーレンズ740は対物レンズ743を含み、最も簡単な場合、対物レンズ743を通過した1Dピクセルアレイ映像の焦点がスクリーン770に来るようにする。
開口数低減器750は、反射ミラー730から入射する回折光の開口数を減少させ、開口数が低減した回折光を出射する。
投影システム760は、入射した回折光をスクリーン770に投射する。すなわち、投影システム760は、リレーレンズ740を通じて入射する所定次数の回折光をスクリーン770に投射して1Dピクセルアレイ映像を形成し、1Dピクセルアレイ映像を走査して2D映像を形成する。投影システム760は、焦点レンズ761、ガルバノミラー762および投影レンズ763を含み、必要に応じて、他の用途のレンズを含むことができる。
焦点レンズ761は+1次回折光と−1次回折光を集光する役目をし、ガルバノミラー762はスクリーン770上で走査を行う。
図9Aは、図5の開口数低減器の一実施形態を示す図であって、この低減器は、一対の第1反射ミラー810a、810bと、一対の第2反射ミラー811a、811bとを含んでいる。そして、図9Aの開口数低減器は、図5のディスプレイ光学構造を持っている。図9Aは、このような開口数低減器の外に、理解を助けるために、照明レンズ710、回折型光変調器720および反射ミラー730を示している。
ここで、上側の第1反射ミラー810aは、入射する+次数回折光の方向を上側の第2反射ミラー811aに変更する役目をし、下側の第1反射ミラー810bは、入射する−次数回折光の方向を下側の第2反射ミラー811bに変更する役目をする。
そして、上側の第2反射ミラー811aは、上側の第1反射ミラー810aから入射する回折光をリレーレンズ740に向けるように変更する役目をし、下側の第2反射ミラー811bは、下側の第1反射ミラー810bから入射する回折光をリレーレンズ740に向けるように変更する役目をする。
第2反射ミラー811a,811bは、傾くように配置され、回折型光変調器の虚像V.I.aおよびV.I.bが重なって一致するようにする。
したがって、結果として、開口数低減器750を通過した回折光の開口数が低減されることが分かる。
図9Bは、図5の開口数低減器の他の実施形態を示す図であって、この低減器は、半波長板820a、ダミー板820b、一対の第1反射ミラー821a、821b、およびX−キューブ822を含んでいる。
図9Bは、このような開口数低減器の外に、理解を助けるために、照明レンズ710と回折型光変調器720と反射ミラー730とを示している。
光源700(図9Bに示されていない)はP波偏光を供給し、このタイプの偏光は、回折型光変調器720で反射した後も、回折光に残留している。
ここで、半波長板820aは、入射する回折光がP波回折光であればS波回折光に変化させ、S波回折光であればP波回折光に変化させて出射し、ダミー板820bは入射光を変化させないで透過させる。
そして、上側の第1反射ミラー821aは、入射する+次数回折光の方向をX−キューブ822の第1反射面822aに経路を変更する役目をし、下側の第1反射ミラー821bは、入射する−次数回折光の方向を下側のX−キューブ822の第2反射面822bに変更する役目をする。
X−キューブ822の第1反射面822aは、第1反射ミラー821aから入射するS波回折光をリレーレンズ740に全て反射させ、第2反射ミラー821bから入射するP波回折光を透過させる。
そして、X−キューブ822の第2反射面822bは、第1反射ミラー821aから入射するS波回折光を全て透過させ、第2反射ミラー821bから入射するP波回折光をリレーレンズ740に全て反射させる。
したがって、S波回折光とP波回折光は直交するので、互いに干渉しない。
X−キューブ822から出射した回折光は、リレーレンズ740に入射し、スクリーン770に2次元イメージ走査される。X−キューブ832の位置は、虚像V.I.aおよびV.I.bが重なるように選択される。
図9Cは、図5の開口数低減器のさらに他の実施形態を示す図であって、半波長板830a、ダミー板830b、一対の第1反射ミラー831a、831b、およびX−キューブ832を含んでいる。
そして、図9Cの開口数低減器は、図5においてリレーレンズ740のフーリエレンズ741が含まれたディスプレイ光学構造であって、第1反射ミラー831a、831bに入射する回折光は平行光である。図9Cは、このような開口数低減器の外に、理解を助けるために、照明レンズ710と回折型光変調器720と反射ミラー730の代わりに、遮断膜730Sを示している。
ここで、半波長板830aは、入射する回折光がP波回折光であれば、S波回折光に変化させ、S波回折光であれば、P波回折光に変化させて出射し、ダミー板830bは、入射光を変化させないで透過させる。
そして、上側の第1反射ミラー831aは、入射する+次数回折光の経路をX−キューブ832の第1反射面832aに変更する役目をし、下側の第1反射ミラー831bは、入射する−次数回折光の経路を下側のX−キューブ832の第2反射面832bに変更する役目をする。
X−キューブ832から出射した回折光は、後段に位置する第1ダイクロイックミラー837aに入射して反射された後、第2ダイクロイックミラー837bに入射する。
ここで、第1ダイクロイックミラー837aは、緑色チャンネル834から出射する緑色回折光は透過させ、赤色チャンネル835から出射する赤色回折光は反射させることで、緑色回折光と赤色回折光を合成する。
そして、第2ダイクロイックミラー837bは、第1ダイクロイックミラー837aから出射した緑色回折光および赤色回折光の合成光を透過させ、青色チャンネル836から出射する青色回折光を反射させることで、第1ダイクロイックミラー837aで合成された緑色回折光および赤色回折光に青色回折光を合成して、対物レンズ743に出射して、スクリーン770に2次元イメージを走査する。
図9Dは、図5の開口数低減器のさらに他の実施形態を示す図であって、この低減器は、一対のプリズム840a、840bを含んでいる。
ここで、上側のプリズム840aは、反射ミラー730から回折光が入射する入射面840aaが入射回折光に対して斜めに傾いているので、回折光が入射すると、経路が内側に変更されて開口数を低減させる。
そして、上側のプリズム840aは、反射ミラー730から回折光が入射する入射面840aaと回折光が出射する出射面840abが平行でないため、回折光が出射する時、回折光が拡散する。
次に、下側のプリズム840bは、反射ミラー730から回折光が入射する入射面840baが入射回折光に対して斜めに傾いているため、回折光が入射すると経路が内側に変更されて開口数を低減させる。
そして、下側のプリズム840bは、反射ミラー730から回折光が入射する入射面840baと回折光が出射する出射面840bbが平行でないため、回折光が出射する時、回折光が拡散する。
出射面840abおよび840bbは、虚像V.I.aおよびV.I.bが重なるかまたは一致するように傾いている。
図9Eは、図5の開口数低減器のさらに他の実施形態を示す図であって、この低減器は、一対のプリズム850a、850bを含んでいる。そして、図9Eの開口数低減器は、図5のリレーレンズ系740のフーリエレンズ741が含まれたディスプレイ光学構造であり、プリズム850a、850bに入射する回折光は平行光である。図9Eは、このような開口数低減器の外に、理解を助けるために、照明レンズ710、回折型光変調器720、反射ミラー730、およびフーリエレンズ741を示している。
ここで、上側のプリズム850aは、反射ミラー730から+次数回折光が入射する入射面850aaが入射回折光に対して斜めに傾いているため、回折光が入射すると、経路が内側に変更されて開口数を低減させる。
そして、上側のプリズム850aは、反射ミラー730から回折光が入射する入射面850aaと回折光が出射する出射面850abが平行であるので、回折光が出射する時、回折光が平行光になる。
次に、下側のプリズム850bは、反射ミラー730から回折光が入射する入射面850baが入射回折光に対して斜めに傾いているため、回折光が入射すると、経路が内側に変更されて開口数を低減させる。
そして、下側のプリズム850bは、反射ミラー730から回折光が入射する入射面850baと回折光が出射する出射面850bbが平行であるので、回折光が出射する時、回折光が平行光になる。
本発明は、光変調器によって形成された+次数と−次数の回折光を集光する場合に、レンズ系の開口数を大幅に低減した光変調器を利用したディスプレイ装置に適用可能である。
700 光源
710 照明レンズ
720 回折型光変調器
730 反射ミラー
740 リレーレンズ
750 開口数低減器
760 投影システム
770 スクリーン
810a,b、811a,b、821a,b、831a,b 反射ミラー
820a、830a 半波長板
820b、830b ダミー板
822、832 X−キューブ
840a、840b、850a、850b プリズム
710 照明レンズ
720 回折型光変調器
730 反射ミラー
740 リレーレンズ
750 開口数低減器
760 投影システム
770 スクリーン
810a,b、811a,b、821a,b、831a,b 反射ミラー
820a、830a 半波長板
820b、830b ダミー板
822、832 X−キューブ
840a、840b、850a、850b プリズム
Claims (16)
- 光源から出射した光を照射するための照明レンズと、
前記照明レンズから入射した光を変調して、複数の回折次数を持つ回折光を生成する回折型光変調器と、
前記回折型光変調器で生成された回折光のうち、+次数の回折光とそれに対応する−次数の回折光を近接させて開口数を低減させる開口数低減器と、
前記開口数低減器から開口数が低減した回折光がした場合、対象物体に集光して走査を行う投影システムと、を含むことを特徴とするレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。 - 前記回折型光変調器で形成された複数の回折次数を持つ回折光のうち、所望次数の回折光を選択して通過させるリレーレンズをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記リレーレンズは、前記回折型光変調器から入射する複数次数の回折光の次数間の角度を増加させるフーリエレンズと、
前記フーリエレンズを通過した複数次数の回折光のうち、所望次数の回折光を通過させるフィルタと、を含むことを特徴とする請求項2に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。 - 前記リレーレンズは、前記フィルタを通過した回折光を平行光に変化させる対物レンズをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記開口数低減器は、前記回折型光変調器から入射した+次数の回折光と−次数の回折光のそれぞれの光経路を光経路の中心軸に向かうように変化させる一対の第1反射ミラーと、
前記一対の第1反射ミラーから反射して入射した+次数の回折光と−次数の回折光のそれぞれを同一方向の光経路に変化させて前記投影システムに入射させる一対の第2反射ミラーと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。 - 前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光のうち、+次数の回折光と−次数の回折光を前記一対の第1反射ミラーのそれぞれに入射させる一対の第3反射ミラーをさらに含むことを特徴とする請求項5に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記一対の第3反射ミラーは、中央に孔が形成され、この孔を通じて所定次数の回折光を通過させ、両側の反射面が、それぞれ残りの+次数の回折光と残りの−次数の回折光を前記一対の第1反射ミラーに反射させる一つの反射ミラーであることを特徴とする請求項6に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光のうち、所定次数の回折光を遮断する遮断膜と、
前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光の次数間の角度を増加させて、+次数の回折光と−次数の回折光をそれぞれ前記一対の第1反射ミラーに入射させるフーリエレンズと、をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。 - 前記照明レンズから入射する入射光は、偏光光であり、
前記開口数低減器は、前記回折型光変調器から入射した+次数の回折光と−次数の回折光のそれぞれの光経路を光経路の中心軸に向かうように変化させる一対の反射ミラーと、
前記回折型光変調器から出射した+次数の回折光または−次数の回折光のいずれか次数の回折光の偏光を変化させる偏光板と、
前記一対の反射ミラーから反射して入射する、偏光した回折光と偏光していない回折光のそれぞれを同一方向の光経路に変化させて前記投影システムに入射させるX−キューブと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。 - 前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光のうち、+次数の回折光と−次数の回折光を前記一対の反射ミラーのそれぞれに入射させる一対の第2反射ミラーをさらに含むことを特徴とする請求項9に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記一対の第2反射ミラーは、中央に孔が形成され、この孔を通じて所定次数の回折光を通過させ、両側の反射面がそれぞれ+次数の回折光と−次数の回折光を前記一対の反射ミラーに反射させる一つの反射ミラーであることを特徴とする請求項10に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光のうち、所定次数の回折光を遮断する遮断膜と、
前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光の次数間の角度を増加させて、+次数の回折光と−次数の回折光をそれぞれ前記一対の反射ミラーに入射させるフーリエレンズと、をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。 - 前記開口数低減器は、前記回折型光変調器から入射した+次数の回折光と−次数の回折光のそれぞれの光経路を光経路の中心軸に向かうように変化させる一対のプリズムを含むことを特徴とする請求項1に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光のうち、+次数の回折光と−次数の回折光を前記一対のプリズムのそれぞれに入射させる一対の反射ミラーをさらに含むことを特徴とする請求項13に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記一対の反射ミラーは、中央に孔が形成され、この孔を通じて所定次数の回折光を通過させ、両側の反射面がそれぞれ+次数の回折光と−次数の回折光を前記一対のプリズムに反射させる一つの反射ミラーであることを特徴とする請求項14に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
- 前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光のうち、所定次数の回折光を遮断する遮断膜と、
前記回折型光変調器から出射する複数の回折次数を持つ回折光の次数間の角度を増加させて、+次数の回折光と−次数の回折光をそれぞれ前記一対のプリズムに入射させるフーリエレンズと、をさらに含むことを特徴とする請求項15に記載のレンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050039808A KR100815352B1 (ko) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | 후단 렌즈계의 개구수가 개선된 광변조기를 이용한디스플레이 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006317951A true JP2006317951A (ja) | 2006-11-24 |
Family
ID=37448055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006134174A Pending JP2006317951A (ja) | 2005-05-12 | 2006-05-12 | レンズ系の開口数が改善された光変調器を利用したディスプレイ装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7227594B2 (ja) |
JP (1) | JP2006317951A (ja) |
KR (1) | KR100815352B1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241896A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 位相分布制御装置 |
JP2010527027A (ja) * | 2007-05-01 | 2010-08-05 | エグザロス・アクチェンゲゼルシャフト | 表示装置、方法および光源 |
JP2017219533A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 株式会社リコー | スペクトル測定器及び分析装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006154765A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ミラー素子及びミラーアレイ |
CA2507177C (en) * | 2005-05-13 | 2012-04-24 | Institut National D'optique | Image projector with flexible reflective analog modulator |
CA2632346A1 (en) * | 2006-10-06 | 2008-04-10 | Lalley Brothers Scientific Llc | Three-dimensional internal back-projection system and method for using the same |
KR100892339B1 (ko) * | 2007-05-08 | 2009-04-08 | 삼성전기주식회사 | 요철형 투명기판을 포함한 영상 왜곡 보정 디스플레이 장치 |
US8172404B2 (en) * | 2009-05-21 | 2012-05-08 | Eastman Kodak Company | Projection with lenslet arrangement on speckle reduction element |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE9800665D0 (sv) * | 1998-03-02 | 1998-03-02 | Micronic Laser Systems Ab | Improved method for projection printing using a micromirror SLM |
US6288829B1 (en) * | 1998-10-05 | 2001-09-11 | Fuji Photo Film, Co., Ltd. | Light modulation element, array-type light modulation element, and flat-panel display unit |
US7167297B2 (en) * | 2000-08-30 | 2007-01-23 | Reflectivity, Inc | Micromirror array |
JP2003015217A (ja) | 2001-07-02 | 2003-01-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 投射型画像表示装置 |
WO2003017653A2 (en) * | 2001-08-17 | 2003-02-27 | Cae Inc. | Video projector and optical light valve therefor |
US6594090B2 (en) * | 2001-08-27 | 2003-07-15 | Eastman Kodak Company | Laser projection display system |
US6692129B2 (en) * | 2001-11-30 | 2004-02-17 | Silicon Light Machines | Display apparatus including RGB color combiner and 1D light valve relay including schlieren filter |
US6801354B1 (en) * | 2002-08-20 | 2004-10-05 | Silicon Light Machines, Inc. | 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses |
EP1573366B1 (en) * | 2002-08-24 | 2016-11-09 | Chime Ball Technology Co., Ltd. | Continuous direct-write optical lithography |
US6802613B2 (en) | 2002-10-16 | 2004-10-12 | Eastman Kodak Company | Broad gamut color display apparatus using an electromechanical grating device |
US6947199B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-09-20 | Silicon Light Machines Corporation | Loosely-packed two-dimensional modulator arrangement |
US7196789B2 (en) | 2003-10-15 | 2007-03-27 | Polychromix Corporation | Light processor providing wavelength control and method for same |
KR100640871B1 (ko) * | 2004-10-04 | 2006-11-02 | 엘지전자 주식회사 | 투사표시장치 |
KR100815342B1 (ko) * | 2004-10-15 | 2008-03-19 | 삼성전기주식회사 | 후단 렌즈계의 개구수가 개선된 광변조기를 이용한디스플레이 장치 |
-
2005
- 2005-05-12 KR KR1020050039808A patent/KR100815352B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-05-12 US US11/433,637 patent/US7227594B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-12 JP JP2006134174A patent/JP2006317951A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241896A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 位相分布制御装置 |
JP2010527027A (ja) * | 2007-05-01 | 2010-08-05 | エグザロス・アクチェンゲゼルシャフト | 表示装置、方法および光源 |
JP2017219533A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 株式会社リコー | スペクトル測定器及び分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100815352B1 (ko) | 2008-03-19 |
US20060262404A1 (en) | 2006-11-23 |
KR20060117071A (ko) | 2006-11-16 |
US7227594B2 (en) | 2007-06-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070717 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090623 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100126 |