JP2006317009A

JP2006317009A - Actuator and lid opening and closing device

Info

Publication number: JP2006317009A
Application number: JP2006237206A
Authority: JP
Inventors: Koji Watanabe; 晃治渡辺; Toshihiro Yumitatsu; 利博弓達
Original assignee: Nabtesco Corp
Current assignee: Nabtesco Corp
Priority date: 2006-09-01
Filing date: 2006-09-01
Publication date: 2006-11-24

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize an actuator of high reduction ratio capable of easily adjusting the reduction ratio, and to provide a lid opening and closing device free from a gas spring or the like for rotating an arm. <P>SOLUTION: In this actuator 60 comprising a motor 61 for outputting rotating power, a first reduction gear 62 inputting the rotating power from the motor and outputting the same after decelerating the same, and a second reduction gear 63 inputting the rotation from the first reduction gear and outputting the same after decelerating the same, the first reduction gear 62 is composed of a spur gear mechanism 62a having a first gear 61a rotated by the rotating power from the motor and a second gear 62c engaged with the first gear, and a differential gear decelerating mechanism 6 for further decelerating the rotating output of the spur gear mechanism, and the second reduction gear 63 is composed of a spur gear mechanism 63a having a first gear 62b rotated by the rotating output of the first reduction gear and a second gear 63c engaged with the first gear, and a differential gear decelerating mechanism 63d for further decelerating the rotating output of the spur gear mechanism. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、アクチュエータ及びこれを備えた蓋開閉装置に関する。 The present invention relates to an actuator and a lid opening / closing device including the actuator.

従来、容器の蓋を開閉する蓋開閉装置として、容器に回転自在に支持されている軸と一体に回転するように連結されたアームを介して容器に開閉可能に蓋が設けられ、アームを回転させることができるガススプリングと、軸を回転させることができるウォームギアとを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００１−２１０３９号公報（第３頁、第３−４図） Conventionally, as a lid opening and closing device for opening and closing a container lid, the container is provided with a lid that can be opened and closed via an arm that is connected to a shaft that is rotatably supported by the container, and the arm is rotated. A gas spring that can be rotated and a worm gear that can rotate a shaft is known (for example, see Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-21039 (page 3, FIG. 3-4)

しかしながら、上述した従来の蓋開閉装置においては、軸を回転させるウォームギアのみならず、アームを回転させるガススプリングを必要としていたので、装置が大型化するという問題があった。 However, the above-described conventional lid opening / closing device requires not only a worm gear for rotating the shaft but also a gas spring for rotating the arm.

本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、従来と比較して小型化することができる蓋開閉装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the conventional problems, and an object of the present invention is to provide a lid opening / closing device that can be reduced in size as compared with the prior art.

本発明は、上記目的達成のため、（１）回転動力を出力するモータと、前記モータからの回転動力を入力し減速して出力する第１減速機と、前記第１減速機からの回転を入力し減速して出力する第２減速機とを備えたアクチュエータであって、前記第１減速機は、前記モータからの回転動力により回転する第１歯車及び該第１歯車に噛み合う第２歯車を有する平歯車機構と、該平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構とで構成され、前記第２減速機は、前記第１減速機の回転出力により回転する第１歯車及び該第１歯車に噛み合う第２歯車を有する平歯車機構と、該平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構とで構成されたことを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, the present invention achieves (1) a motor that outputs rotational power, a first speed reducer that inputs and decelerates rotational power from the motor, and rotates from the first speed reducer. An actuator having a second speed reducer that inputs, decelerates and outputs, wherein the first speed reducer includes a first gear that rotates by rotational power from the motor and a second gear that meshes with the first gear. A spur gear mechanism, and a differential gear speed reduction mechanism that further reduces the rotational output of the spur gear mechanism. The second speed reducer includes a first gear that rotates according to the rotational output of the first speed reducer, and the The spur gear mechanism includes a spur gear mechanism having a second gear that meshes with the first gear, and a differential gear reduction mechanism that further reduces the rotational output of the spur gear mechanism.

この構成により、平歯車機構の減速比の調整だけで第１減速機又は第２減速機の減速比調整が容易に可能な高減速比のアクチュエータとなり、ガススプリングの不要な蓋開閉装置が実現可能となる。 With this configuration, it becomes an actuator with a high reduction ratio that can easily adjust the reduction ratio of the first reduction gear or the second reduction gear only by adjusting the reduction ratio of the spur gear mechanism, and a lid opening / closing device that does not require a gas spring can be realized. It becomes.

本発明のアクチュエータにおいては、（２）前記第１減速機の第１歯車が前記モータの出力部に支持されるとともに、前記第１減速機の平歯車機構と前記モータの間に前記第１減速機の差動歯車減速機構が配置され、かつ、前記第２減速機の第１歯車が前記第１減速機の差動歯車減速機構の出力部に支持されるとともに、前記第２減速機の平歯車機構と前記第１減速機の間に前記第２減速機の差動歯車減速機構が配置されたものであるのがよい。 In the actuator of the present invention, (2) the first gear of the first speed reducer is supported by the output portion of the motor, and the first speed reduction mechanism is provided between the spur gear mechanism of the first speed reducer and the motor. And a first gear of the second reduction gear is supported by an output portion of the differential gear reduction mechanism of the first reduction gear, and a flat gear of the second reduction gear is provided. The differential gear reduction mechanism of the second reduction gear may be disposed between the gear mechanism and the first reduction gear.

さらに、本発明のアクチュエータにおいては、（３）前記第１減速機の平歯車機構が、前記モータの出力を減速する減速機構であり、前記第２減速機の平歯車機構が、前記第１減速機の出力を減速する減速機構であるのが好ましい。 Further, in the actuator of the present invention, (3) the spur gear mechanism of the first speed reducer is a speed reduction mechanism that reduces the output of the motor, and the spur gear mechanism of the second speed reducer is the first speed reduction mechanism. It is preferable that the speed reduction mechanism decelerates the output of the machine.

一方、本発明の蓋開閉装置は、（４）ケース及び蓋を有する容器の前記蓋を開閉する装置であって、上記（１）項に記載のアクチュエータと、前記アクチュエータにより駆動される回転軸を有し該回転軸を前記ケース上で回転可能に支持する軸部と、前記蓋及び前記回転軸を連結する連結部とを備え、前記アクチュエータにより前記回転軸が駆動されるとき前記蓋が開閉されるようにしたことを特徴とする。 On the other hand, the lid opening / closing device of the present invention is (4) a device for opening and closing the lid of a container having a case and a lid, wherein the actuator according to the above (1) and a rotating shaft driven by the actuator are provided. A shaft portion that rotatably supports the rotating shaft on the case; and a connecting portion that connects the lid and the rotating shaft, and the lid is opened and closed when the rotating shaft is driven by the actuator. It is characterized by that.

この構成により、蓋が自重によって閉じるのを、ガススプリングでなく軸部側のアクチュエータによって抑制することができ、従来と比較して装置を小型化することができる。
また、蓋が自重によって閉じてしまうのを第１減速機及び第２減速機を有するアクチュエータによって確実に防止することができる。 With this configuration, it is possible to suppress the lid from being closed by its own weight, not by the gas spring, but by the actuator on the shaft portion side, and the apparatus can be downsized as compared with the conventional case.
Moreover, it is possible to reliably prevent the lid from being closed by its own weight by the actuator having the first reduction gear and the second reduction gear.

本発明によれば、減速比調整が容易に可能な高減速比のアクチュエータを実現することができ、その結果、そのアクチュエータによってガススプリングの不要な小型化の蓋開閉装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to realize an actuator with a high reduction ratio that can easily adjust the reduction ratio, and as a result, it is possible to provide a downsized lid opening / closing device that does not require a gas spring.

以下、本発明の一実施の形態について、図面を用いて説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、本実施の形態に係る蓋開閉装置の構成について説明する。 First, the configuration of the lid opening / closing device according to the present embodiment will be described.

図１及び図２に示すように、本実施の形態に係る蓋開閉装置１０は、ケース９１及び蓋９２を有する半導体製造用の真空チャンバ（容器）９０に備えられており、回転軸２１を有しケース９１に支持された軸部２０と、蓋９２及び回転軸２１に連結されたアーム部４０と、回転軸２１を駆動するアクチュエータ６０とを備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the lid opening / closing device 10 according to the present embodiment is provided in a semiconductor manufacturing vacuum chamber (container) 90 having a case 91 and a lid 92, and has a rotating shaft 21. The shaft portion 20 supported by the case 91, the arm portion 40 connected to the lid 92 and the rotation shaft 21, and the actuator 60 that drives the rotation shaft 21 are provided.

ここで、真空チャンバ９０のケース９１は、蓋９２と接触するシール部材としての図示していないＯリングを開口面９１ａ上に有している。なお、ケース９１のＯリングの厚みは、蓋９２と接触していない場合に１ｍｍである。また、蓋９２は、ケース９１とは反対側にプレート９２ａを有している。 Here, the case 91 of the vacuum chamber 90 has an O-ring (not shown) as a seal member that contacts the lid 92 on the opening surface 91a. Note that the thickness of the O-ring of the case 91 is 1 mm when not in contact with the lid 92. The lid 92 has a plate 92 a on the side opposite to the case 91.

また、軸部２０は、ケース９１の４つの側面のうちの１つの側面９１ｂに固定されたベース２２と、回転軸２１を回転可能に支持するベアリングユニット２３と、ベアリングユニット２３をベース２２に固定したベアリングブラケット２４と、アクチュエータ６０をベース２２に固定したアクチュエータブラケット２５とを備えている。すなわち、軸部２０は、アクチュエータ６０により駆動される回転軸２１をケース９１上で回転可能に支持している。 The shaft portion 20 includes a base 22 fixed to one of the four side surfaces 91b of the case 91, a bearing unit 23 that rotatably supports the rotating shaft 21, and a bearing unit 23 fixed to the base 22. The bearing bracket 24 and the actuator bracket 25 that fixes the actuator 60 to the base 22 are provided. That is, the shaft portion 20 supports the rotating shaft 21 driven by the actuator 60 so as to be rotatable on the case 91.

また、アーム部４０は、回転軸２１に固定されたアーム４１、４２と、アーム４１、４２にそれぞれ固定された板バネ４３、４４と、板バネ４３に固定されるとともに蓋９２に固定されたバネ座プレート４５、４６と、板バネ４４に固定されるとともに蓋９２に固定されたバネ座プレート４７、４８と、アーム４１に固定されたブロック４９と、ブロック４９に固定されてブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）を計測するセンサ５０とを備えている。すなわち、アーム部４０は、蓋９２及び回転軸２１を連結する連結部となっている。 The arm unit 40 is fixed to the arm 41, 42 fixed to the rotary shaft 21, the plate springs 43, 44 fixed to the arms 41, 42, the plate spring 43 and the lid 92. Spring seat plates 45 and 46, spring seat plates 47 and 48 fixed to the leaf spring 44 and fixed to the lid 92, a block 49 fixed to the arm 41, a block 49 fixed to the block 49 and the plate And a sensor 50 that measures a distance 50a of 92a (see FIG. 3). That is, the arm portion 40 is a connecting portion that connects the lid 92 and the rotating shaft 21.

また、板バネ４３は、例えば金属材料によって形成されており、蓋９２が閉じられているときに屈曲角度４３ａが１０５°であり、矢印１１で示す蓋９２の厚み方向でのバネ定数、矢印１２で示す回転軸２１の延在方向でのバネ定数、矢印１１で示す方向及び矢印１２で示す方向と略直交する矢印１３で示す方向でのバネ定数がそれぞれ７４Ｎ／ｍｍ、３３６Ｎ／ｍｍ、９００Ｎ／ｍｍである。なお、板バネ４４の構成は板バネ４３の構成と同一である。 Further, the leaf spring 43 is made of, for example, a metal material, has a bending angle 43a of 105 ° when the lid 92 is closed, and a spring constant in the thickness direction of the lid 92 indicated by an arrow 11, arrow 12 The spring constant in the extending direction of the rotating shaft 21 shown in FIG. 7, the spring constant in the direction shown by the arrow 11 and the direction shown by the arrow 13 substantially orthogonal to the direction shown by the arrow 12 are 74 N / mm, 336 N / mm, 900 N / mm, respectively. mm. The configuration of the leaf spring 44 is the same as that of the leaf spring 43.

なお、軸部２０は、ケース９１の開口面９１ａと、ケース９１のＯリングに接触する蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）が１０５°より大きくなることをアーム４１に接触することによって防止するストッパ２６を備えている。 In addition, the shaft portion 20 has the arm 41 that an angle 90a (see FIG. 4) formed by the opening surface 91a of the case 91 and the surface 92b of the lid 92 that contacts the O-ring of the case 91 is larger than 105 °. A stopper 26 is provided to prevent contact.

また、アクチュエータ６０は、図５に示すように、動力回転を出力する第１出力部としての出力部６１ａを有したモータ６１と、モータ６１の出力部６１ａから回転を入力する第１入力部としての入力部６２ａ及び回転を出力する第２出力部としての出力部６２ｂを有しモータ６１の出力を減速比１／５７で減速する第１減速機６２と、第１減速機６２の出力部６２ｂから回転を入力する第２入力部としての入力部６３ａ及び回転軸２１（図２参照。）に回転を出力する第３出力部としての出力部６３ｂを有し第１減速機６２の出力を１／１４１の減速比で減速する第２減速機６３とを備えている。即ち、第１減速機６２及び第２減速機６３は、モータ６１の出力を減速比１／８０３７で減速して回転軸２１に伝達するようになっており、第２減速機６３の減速比は第１減速機６２の減速比より大きく（高減速比に）なっている。 As shown in FIG. 5, the actuator 60 includes a motor 61 having an output unit 61 a as a first output unit that outputs power rotation, and a first input unit that inputs rotation from the output unit 61 a of the motor 61. The first reduction device 62 that has an input portion 62a and an output portion 62b as a second output portion that outputs rotation and decelerates the output of the motor 61 at a reduction ratio of 1/57, and the output portion 62b of the first reduction device 62 2 has an input unit 63a as a second input unit for inputting rotation and an output unit 63b as a third output unit for outputting rotation to the rotary shaft 21 (see FIG. 2). And a second reduction gear 63 that decelerates at a reduction ratio of / 141. That is, the first speed reducer 62 and the second speed reducer 63 decelerate the output of the motor 61 at a speed reduction ratio 1/8037 and transmit it to the rotary shaft 21. The speed reduction ratio of the second speed reducer 63 is It is larger than the reduction ratio of the first reduction gear 62 (high reduction ratio).

また、第１減速機６２は、１段目減速機構であり入力部６２ａを構成する平歯車６２ｃと、２段目減速機構である差動歯車減速機構６２ｄ（遊星差動歯車減速機構）とからなる２段減速機である。なお、モータ６１の出力部６１ａに設けた第１歯車は、これに噛み合う第２歯車としての平歯車６２ｃと共に、モータ６１の出力を１／５以上１／１未満の減速比で減速又は１／１の比で伝達する平歯車機構を構成している。 The first reduction gear 62 includes a spur gear 62c that is a first-stage reduction mechanism and that constitutes the input unit 62a, and a differential gear reduction mechanism 62d (a planetary differential gear reduction mechanism) that is a second-stage reduction mechanism. It is a two-stage speed reducer. The first gear provided on the output portion 61a of the motor 61 is reduced with the reduction ratio of 1/5 or more to less than 1/1 together with the spur gear 62c as the second gear meshing with the first gear. A spur gear mechanism that transmits at a ratio of 1 is configured.

同様に、第２減速機６３は、１段目減速機構であり入力部６３ａを構成する平歯車６３ｃと、２段目減速機構である差動歯車減速機構６３ｄ（遊星差動歯車減速機構）とからなる２段減速機である。なお、第１減速機６２の出力部６２ｂに設けた第１歯車は、これと噛み合う第２歯車としての平歯車６３ｃと共に、第１減速機６２の出力を１／５以上１／１未満の減速比で減速又は１／１の比で伝達する平歯車機構を構成している。また、図５に示すように、差動歯車減速機構６２ｄは平歯車６２ｃとモータ６１の間に、差動歯車減速機構６３ｄは平歯車６３ｃと第１減速機６２の間に、それぞれ配置されており、第１減速機６２は第２減速機６３より小径である。 Similarly, the second reduction gear 63 is a first-stage reduction mechanism and a spur gear 63c that constitutes the input unit 63a, and a differential gear reduction mechanism 63d (a planetary differential gear reduction mechanism) that is a second-stage reduction mechanism. Is a two-stage reduction gear. The first gear provided in the output portion 62b of the first speed reducer 62, together with the spur gear 63c as the second gear meshing with the first gear, reduces the output of the first speed reducer 62 to 1/5 or more and less than 1/1. A spur gear mechanism is configured that decelerates at a ratio or transmits at a ratio of 1/1. Further, as shown in FIG. 5, the differential gear reduction mechanism 62d is arranged between the spur gear 62c and the motor 61, and the differential gear reduction mechanism 63d is arranged between the spur gear 63c and the first reduction gear 62, respectively. The first speed reducer 62 is smaller in diameter than the second speed reducer 63.

ここで、第２減速機６３の減速比の逆数（以下「速比値」という。）をＲ２とし、蓋９２が開いているときに第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルクの最大値をＴＬとし、第１減速機６２の入力部６２ａにトルクが加えられないときに第１減速機６２の出力部６２ｂを回転させるために必要なトルクをＴＲ１とし、第２減速機６３の入力部６３ａにトルクが加えられないときに第２減速機６３の出力部６３ｂを回転させるために必要なトルクをＴＲ２とし、第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルクに対する第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルクのうち第２減速機６３による機械的損失を受けて残るトルクの比をη２とすると、速比値Ｒ２は、最大値ＴＬと、トルクＴＲ２との差と、比η２との積と、トルクＴＲ１との商より大きくなるように、即ち、数１を満たすように設定されている。 Here, the reciprocal of the reduction ratio of the second reduction gear 63 (hereinafter referred to as “speed ratio value”) is R2, and the maximum torque applied to the output portion 63b of the second reduction gear 63 when the lid 92 is open. The value is TL, the torque required to rotate the output part 62b of the first reduction gear 62 when no torque is applied to the input part 62a of the first reduction gear 62 is TR1, and the input of the second reduction gear 63 The torque required to rotate the output part 63b of the second reduction gear 63 when no torque is applied to the part 63a is TR2, and the second reduction gear 63 with respect to the torque applied to the output part 63b of the second reduction gear 63 is used. If the ratio of the torque remaining in response to the mechanical loss of the second reduction gear 63 among the torque applied to the output unit 63b is η2, the speed ratio value R2 is the difference between the maximum value TL and the torque TR2, and the ratio product of η2 and torque T It is set so as to be larger than the quotient with R1, that is, to satisfy Equation 1.

具体的に説明すると、図１に示す蓋開閉装置１０においては、図４に示すように蓋９２がケース９１のＯリングから微小距離だけ離れているときに第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルク４６０６Ｎ・ｍが最大値ＴＬであり、トルクＴＲ１が３３Ｎ・ｍであり、トルクＴＲ２が１５４Ｎ・ｍであり、比η２が０．８であり、速比値Ｒ２が１４１であるので、速比値Ｒ２は数２に示すように数１を満たしている。 More specifically, in the lid opening / closing device 10 shown in FIG. 1, when the lid 92 is separated from the O-ring of the case 91 by a minute distance as shown in FIG. The applied torque 4606 N · m is the maximum value TL, the torque TR 1 is 33 N · m, the torque TR 2 is 154 N · m, the ratio η 2 is 0.8, and the speed ratio value R 2 is 141. The speed ratio value R2 satisfies Formula 1 as shown in Formula 2.

また、蓋開閉装置１０は、モータ６１の出力を制御する図示しない制御部を備えている。 The lid opening / closing device 10 includes a control unit (not shown) that controls the output of the motor 61.

また、ブロック４９は、図１に示すように制御部によって蓋９２が閉じられているときにプレート９２ａとの間隔５０ａ（図３参照。）が１ｍｍになり、図４に示すように蓋９２がケース９１のＯリングから微小距離だけ離れているときに間隔５０ａが３ｍｍになるように、アーム４１に対する位置が調整されている。 Further, the block 49 has a space 50a (see FIG. 3) of 1 mm when the lid 92 is closed by the control unit as shown in FIG. 1, and the lid 92 is moved as shown in FIG. The position with respect to the arm 41 is adjusted so that the distance 50a is 3 mm when the case 91 is separated from the O-ring by a minute distance.

次に、蓋開閉装置１０の動作について説明する。 Next, the operation of the lid opening / closing device 10 will be described.

（１）蓋開閉装置１０が蓋９２を開くときの動作
蓋９２が図１に示すように閉じられているとき、アーム４１、４２が板バネ４３、４４及びバネ座プレート４５〜４８を介して蓋９２をケース９１側に押しているので、ケース９１のＯリングは、蓋９２によって圧縮されている。また、ブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）は１ｍｍになっており、板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度は１０５°になっている。 (1) Operation when the lid opening / closing device 10 opens the lid 92 When the lid 92 is closed as shown in FIG. 1, the arms 41 and 42 are moved via the leaf springs 43 and 44 and the spring seat plates 45 to 48. Since the lid 92 is pushed toward the case 91, the O-ring of the case 91 is compressed by the lid 92. The interval 50a (see FIG. 3) between the block 49 and the plate 92a is 1 mm, and the bending angle 43a of the leaf spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 are 105 °.

ここで、蓋開閉装置１０が蓋９２を開くとき、制御部は、回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ａで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃで１２．１８ｓｅｃの間矢印２１ａで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させる。 Here, when the lid opening / closing device 10 opens the lid 92, the control unit drives the motor 61 so that the rotating shaft 21 is rotated in the direction indicated by the arrow 21 a by the actuator 60. Specifically, the control unit causes the actuator 60 to move the rotating shaft 21 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21a so that the rotating speed of the rotating shaft 21 changes from 0 deg / sec to 0.13 deg / sec at 0.13 sec. After rotating, the rotary shaft 21 is rotated by the actuator 60 in the direction indicated by the arrow 21a at 0.13 deg / sec for 12.18 sec. Further, the rotation speed of the rotary shaft 21 is from 0.13 deg / sec at 0.13 sec. The rotary shaft 21 is rotated by the actuator 60 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21a so as to be 0 deg / sec.

したがって、バネ座プレート４５〜４８、板バネ４３、４４及びアーム４１、４２を介して回転軸２１に連結された蓋９２は、ケース９１のＯリングとの粘着状態から開放されてケース９１のＯリングから離れる。 Therefore, the lid 92 connected to the rotary shaft 21 via the spring seat plates 45 to 48, the leaf springs 43 and 44, and the arms 41 and 42 is released from the adhesive state with the O-ring of the case 91, and the O of the case 91 is released. Get away from the ring.

なお、蓋９２が開くとき、アーム４１、４２が板バネ４３、４４を蓋９２側とは反対側に引っ張るので、板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度は１０５°より大きくなる。また、ブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）も１ｍｍより大きくなる。 When the lid 92 is opened, the arms 41 and 42 pull the leaf springs 43 and 44 to the side opposite to the lid 92 side, so that the bending angle 43a of the leaf spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 are larger than 105 °. . Further, the interval 50a (see FIG. 3) between the block 49 and the plate 92a is also larger than 1 mm.

そして、制御部は、ケース９１のＯリングとの粘着状態から開放された蓋９２の揺れを低減するためにアクチュエータ６０を２ｓｅｃの間停止した後、再び回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ａで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃで８７．７０５ｓｅｃの間矢印２１ａで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させる。 Then, the control unit stops the actuator 60 for 2 seconds in order to reduce the swing of the lid 92 released from the adhesive state with the O-ring of the case 91, and then the rotating shaft 21 is again indicated by the actuator 60 with an arrow 21a. The motor 61 is driven so as to be rotated in the direction. Specifically, the control unit moves the rotary shaft 21 to the actuator 60 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21a so that the rotational speed of the rotary shaft 21 is 0 deg / sec to 1.059 deg / sec at 1.06 sec. After rotating, the rotating shaft 21 is rotated by the actuator 60 at 1.059 deg / sec in the direction indicated by the arrow 21a for 87.705 sec. Further, the rotating speed of the rotating shaft 21 is from 1.059 deg / sec at 1.06 sec. The rotary shaft 21 is rotated by the actuator 60 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21a so as to be 0 deg / sec.

なお、蓋開閉装置１０が蓋９２を開くとき、回転軸２１は上述した一連の動作によって矢印２１ａで示す方向に合計で約９５．６°回転させられるが、板バネ４３、４４が変形するので、ケース９１の開口面９１ａと、蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）は９５．６°にならず９５°になる。 When the lid opening / closing device 10 opens the lid 92, the rotary shaft 21 is rotated by a total of approximately 95.6 ° in the direction indicated by the arrow 21a by the above-described series of operations, but the leaf springs 43 and 44 are deformed. The angle 90a (see FIG. 4) formed by the opening surface 91a of the case 91 and the surface 92b of the lid 92 is not 95.6 ° but 95 °.

（２）蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるときの動作
ケース９１の開口面９１ａと、蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）が９５°である場合に蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるとき、制御部は、回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ｂで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃで８７．７０５ｓｅｃの間矢印２１ｂで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させる。 (2) Operation when the lid opening / closing device 10 closes the lid 92 When the angle 90a (see FIG. 4) formed by the opening surface 91a of the case 91 and the surface 92b of the lid 92 is 95 °, the lid opening / closing device 10 When the lid closes the lid 92, the control unit drives the motor 61 so that the rotating shaft 21 is rotated by the actuator 60 in the direction indicated by the arrow 21b. Specifically, the control unit moves the rotary shaft 21 to the actuator 60 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21b so that the rotational speed of the rotary shaft 21 is 0 deg / sec to 1.059 deg / sec at 1.06 sec. After the rotation, the rotation shaft 21 is rotated by the actuator 60 at 1.059 deg / sec in the direction indicated by the arrow 21b for 87.705 seconds, and the rotation speed of the rotation shaft 21 is further increased from 1.059 deg / sec at 1.06 sec. The rotary shaft 21 is rotated by the actuator 60 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21b so as to be 0 deg / sec.

そして、制御部は、蓋９２の揺れを低減するためにアクチュエータ６０を２ｓｅｃの間停止した後、再び回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ｂで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃで１２．１８ｓｅｃの間矢印２１ｂで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させる。 Then, the controller stops the actuator 60 for 2 seconds in order to reduce the shaking of the lid 92, and then drives the motor 61 so that the rotating shaft 21 is again rotated in the direction indicated by the arrow 21b by the actuator 60. . Specifically, the control unit causes the actuator 60 to move the rotating shaft 21 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21b so that the rotating speed of the rotating shaft 21 changes from 0 deg / sec to 0.13 deg / sec at 0.13 sec. After rotating, the rotating shaft 21 is rotated by the actuator 60 in the direction indicated by the arrow 21b at 0.13 deg / sec for 12.18 sec. Further, the rotating speed of the rotating shaft 21 is 0.13 deg / sec from 0.13 deg / sec. The rotary shaft 21 is rotated by the actuator 60 at a constant acceleration in the direction indicated by the arrow 21b so as to be 0 deg / sec.

したがって、バネ座プレート４５〜４８、板バネ４３、４４及びアーム４１、４２を介して回転軸２１に連結された蓋９２は、ケース９１のＯリングを圧縮する状態でケース９１のＯリングに接触する。 Therefore, the lid 92 connected to the rotating shaft 21 via the spring seat plates 45 to 48, the leaf springs 43 and 44, and the arms 41 and 42 contacts the O ring of the case 91 in a state of compressing the O ring of the case 91. To do.

なお、蓋９２が閉じているとき、アーム４１、４２が板バネ４３、４４を蓋９２側に押しているので、板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度は１０５°になる。また、ブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）も１ｍｍになる。 When the lid 92 is closed, the arms 41 and 42 push the leaf springs 43 and 44 toward the lid 92, so that the bending angle 43a of the leaf spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 are 105 °. Further, the interval 50a (see FIG. 3) between the block 49 and the plate 92a is also 1 mm.

また、蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるとき、回転軸２１は上述した一連の動作によって矢印２１ｂで示す方向に合計で約９５．６°回転させられるが、板バネ４３、４４が変形するので、ケース９１の開口面９１ａと、ケース９１のＯリングに接触する蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）は−０．６°にならず０°になる。 When the lid opening / closing device 10 closes the lid 92, the rotary shaft 21 is rotated by a total of about 95.6 ° in the direction indicated by the arrow 21b by the series of operations described above, but the leaf springs 43 and 44 are deformed. The angle 90a (see FIG. 4) formed by the opening surface 91a of the case 91 and the surface 92b of the lid 92 that contacts the O-ring of the case 91 is not −0.6 ° but 0 °.

なお、蓋開閉装置１０が蓋９２を開くときか、蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるときかに関わらず、蓋９２が開いているときに蓋９２の自重によって第２減速機６３の出力部６３ｂにトルクが加えられると、蓋９２の自重によって第２減速機６３の入力部６３ａを介して第１減速機６２の出力部６２ｂに伝達されるトルクは、数３に示す値以下になる。 Regardless of whether the lid opening / closing device 10 opens the lid 92 or when the lid opening / closing device 10 closes the lid 92, the output portion of the second reduction gear 63 is caused by the weight of the lid 92 when the lid 92 is open. When torque is applied to 63b, the torque transmitted to the output part 62b of the first reduction gear 62 via the input part 63a of the second reduction gear 63 by the dead weight of the lid 92 becomes equal to or less than the value shown in Equation 3.

したがって、トルクＴＲ１が数３に示す値より大きければ、即ち、数４を満たせば、第１減速機６２の出力部６２ｂは蓋９２の自重によって回転させられることはない。 Therefore, if the torque TR1 is larger than the value shown in Equation 3, that is, if Equation 4 is satisfied, the output unit 62b of the first reduction gear 62 is not rotated by the weight of the lid 92.

蓋開閉装置１０は、速比値Ｒ２が数１を満たすように設定されているので、トルクＴＲ１が数４を満たしており、蓋９２が開いているときにアクチュエータ６０によって蓋９２が自重によって閉じることを抑制する。 Since the lid opening / closing device 10 is set so that the speed ratio value R2 satisfies Expression 1, the torque TR1 satisfies Expression 4, and the lid 92 is closed by its own weight by the actuator 60 when the lid 92 is open. To suppress that.

なお、速比値Ｒ２と、ケース９１の開口面９１ａ及び蓋９２の面９２ｂが成す角度９０ａ（図４参照。）と、モータ６１の定格トルクに対する蓋９２を閉じるときに必要なモータ６１のトルクの比率との関係は例えば図６に示すようになる。即ち、速比値Ｒ２が数２に示す１０７．９以下である８１であって角度９０ａが約４５°より大きい場合には、蓋９２を閉じるためにモータ６１のトルクが必要であるので、蓋開閉装置１０は蓋９２が自重によって閉じることを抑制することができるが、速比値Ｒ２が８１であって角度９０ａが約４５°以下の場合には、蓋９２を閉じるためにモータ６１のトルクが不要であるので、蓋開閉装置１０は蓋９２が自重によって閉じることを抑制することができない。一方、速比値Ｒ２が数２に示す１０７．９より大きい１４１であるときは、角度９０ａが０°以上９０°以下の場合に常に蓋９２を閉じるためにモータ６１のトルクが必要であるので、蓋開閉装置１０は蓋９２が自重によって閉じることを抑制することができる。 Note that the speed ratio value R2, the angle 90a (see FIG. 4) formed by the opening surface 91a of the case 91 and the surface 92b of the lid 92, and the torque of the motor 61 required to close the lid 92 with respect to the rated torque of the motor 61. The relationship with the ratio is, for example, as shown in FIG. That is, when the speed ratio value R2 is 81 which is 107.9 or less shown in Equation 2 and the angle 90a is larger than about 45 °, the torque of the motor 61 is required to close the lid 92. Although the opening / closing device 10 can suppress the lid 92 from being closed by its own weight, when the speed ratio value R2 is 81 and the angle 90a is about 45 ° or less, the torque of the motor 61 to close the lid 92 is reduced. Therefore, the lid opening / closing device 10 cannot prevent the lid 92 from being closed by its own weight. On the other hand, when the speed ratio value R2 is 141 that is larger than 107.9 shown in Equation 2, the torque of the motor 61 is necessary to always close the lid 92 when the angle 90a is not less than 0 ° and not more than 90 °. The lid opening / closing device 10 can suppress the lid 92 from being closed by its own weight.

以上に説明したように、蓋開閉装置１０は、蓋９２が自重によって閉じることを、蓋９２を駆動するアクチュエータ６０によって抑制することができるので、従来のガススプリングが不要となり、従来と比較して装置を小型化することができる。 As described above, the lid opening / closing device 10 can suppress the lid 92 from closing due to its own weight by the actuator 60 that drives the lid 92, so that the conventional gas spring is not necessary, and compared with the conventional case. The apparatus can be miniaturized.

また、蓋開閉装置１０は、ウォームギアと比較してモータ６１から蓋９２への動力の伝達効率が高い差動歯車減速機構６２ｄ及び差動歯車減速機構６３ｄによって蓋９２が自重によって閉じることを抑制するので、ウォームギアによって蓋が自重によって閉じることを抑制するものと比較して、モータ６１から蓋９２への動力の伝達効率を向上することができる。すなわち、高減速比のアクチュエータ６０によって蓋９２が自重により閉じてしまうのを確実に防止することができる。 Further, the lid opening / closing device 10 suppresses the lid 92 from being closed by its own weight by the differential gear reduction mechanism 62d and the differential gear reduction mechanism 63d, which have higher power transmission efficiency from the motor 61 to the lid 92 than the worm gear. Therefore, the power transmission efficiency from the motor 61 to the lid 92 can be improved as compared with the worm gear that prevents the lid from being closed by its own weight. That is, it is possible to reliably prevent the lid 92 from being closed by its own weight by the actuator 60 having a high reduction ratio.

また、アクチュエータ６０は、１段目減速機構である平歯車６２ｃ又は平歯車６３ｃの減速比の調整だけで第１減速機６２又は第２減速機６３の減速比を調整可能であるので、第１減速機６２又は第２減速機６３の減速比の調整を容易にすることができる。 Further, the actuator 60 can adjust the reduction ratio of the first reduction gear 62 or the second reduction gear 63 only by adjusting the reduction ratio of the spur gear 62c or the spur gear 63c, which is the first-stage reduction mechanism. Adjustment of the reduction ratio of the reduction gear 62 or the second reduction gear 63 can be facilitated.

なお、蓋開閉装置１０は、上述したように、蓋９２が矢印１１で示す蓋９２の厚み方向に移動することを板バネ４３、４４によって許容するので、蓋９２が閉じられるときに蓋９２をケース９１のＯリングに衝撃なく接触させるとともに、蓋９２をケース９１のＯリングに均一な圧力で密着させることができる。したがって、蓋開閉装置１０、ケース９１及び蓋９２が組み立てられるときに蓋開閉装置１０、ケース９１及び蓋９２を現物で位置合わせして調整する工程を省略することができるとともに、ケース９１のＯリングの耐久性を維持することができる。 Since the lid opening / closing device 10 allows the lid 92 to move in the thickness direction of the lid 92 indicated by the arrow 11 as described above, the lid springs 43 and 44 allow the lid 92 to be moved when the lid 92 is closed. While contacting the O-ring of the case 91 without impact, the lid 92 can be brought into close contact with the O-ring of the case 91 with uniform pressure. Therefore, the process of aligning and adjusting the lid opening / closing device 10, case 91 and lid 92 with the actual product when the lid opening / closing device 10, case 91 and lid 92 are assembled can be omitted, and the O-ring of the case 91 can be omitted. The durability of can be maintained.

また、蓋開閉装置１０は、板バネ４３、４４の矢印１１、１２、１３で示す方向でのバネ定数がそれぞれ７４Ｎ／ｍｍ、３３６Ｎ／ｍｍ、９００Ｎ／ｍｍであり、矢印１２、１３で示す方向でのバネ定数が矢印１１で示す方向でのバネ定数と比較して大きいので、矢印１１で示す方向での蓋９２の移動を許容しつつ、矢印１２、１３で示す方向での蓋９２の揺れを抑制することができる。 The lid opening / closing device 10 has spring constants of 74 N / mm, 336 N / mm, and 900 N / mm in the directions indicated by the arrows 11, 12, and 13 of the leaf springs 43 and 44, respectively, and the directions indicated by the arrows 12 and 13. Is larger than the spring constant in the direction indicated by the arrow 11, so that the movement of the lid 92 in the direction indicated by the arrow 11 is allowed while the lid 92 swings in the direction indicated by the arrows 12 and 13. Can be suppressed.

また、蓋開閉装置１０は、蓋９２が閉じられているときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が１０５°であって鋭角ではなく、蓋９２が開閉するときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角になることがないので、蓋９２が開閉するときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角になるものと比較して、蓋９２が開閉することによる板バネ４３、４４の繰り返し疲労を生じ難い。また、蓋開閉装置１０は、蓋９２が閉じられているときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角ではなく、板バネ４３、４４に負荷が加わっていないときの板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度も鋭角ではないので、板バネ４３、４４に負荷が加わっていないときの板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角であるものと比較して、板バネ４３、４４を容易に成型することができる。 Further, the lid opening / closing device 10 is configured such that when the lid 92 is closed, the bending angle 43a of the leaf spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 are 105 °, not an acute angle. 43, and the bending angle of the leaf spring 44 does not become an acute angle, so that the bending angle 43a of the leaf spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 become acute when the lid 92 opens and closes. Thus, repeated fatigue of the leaf springs 43 and 44 due to the opening and closing of the lid 92 is unlikely to occur. Further, the lid opening / closing device 10 is configured such that when the lid 92 is closed, the bending angle 43a of the leaf spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 are not acute angles and the leaf springs 43, 44 are not loaded. Since the bending angle 43a of the spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 are not acute angles, the bending angle 43a of the leaf spring 43 and the bending angle of the leaf spring 44 when no load is applied to the leaf springs 43, 44 are acute angles. The leaf springs 43 and 44 can be easily molded as compared with the conventional one.

また、蓋開閉装置１０は、板バネ４３、４４がバネ座プレート４５〜４８を介して蓋９２に固定されているが、板バネ４３、４４が蓋９２に直接固定されていても良い。 In the lid opening / closing device 10, the plate springs 43 and 44 are fixed to the lid 92 via the spring seat plates 45 to 48, but the plate springs 43 and 44 may be directly fixed to the lid 92.

また、蓋開閉装置１０は、板バネ４３、４４がそれぞれ単一の弾性部材によって構成されているが、板バネ４３、４４がそれぞれ複数の弾性部材によって構成されていても良い。 Further, in the lid opening / closing device 10, the plate springs 43 and 44 are each constituted by a single elastic member, but the plate springs 43 and 44 may each be constituted by a plurality of elastic members.

また、蓋開閉装置１０は、蓋９２に固定されたプレート９２ａとブロック４９との間隔５０ａ（図３参照。）をセンサ５０が計測するようになっているが、蓋９２にプレート９２ａが固定されていない場合、蓋９２とブロック４９との間隔をセンサ５０が計測するようになっていても良い。 In the lid opening / closing device 10, the sensor 50 measures the interval 50 a (see FIG. 3) between the plate 92 a fixed to the lid 92 and the block 49, but the plate 92 a is fixed to the lid 92. If not, the sensor 50 may measure the distance between the lid 92 and the block 49.

また、蓋開閉装置１０は、ケース９１の４つの側面のうちの１つの側面９１ｂに固定されているので、ケース９１の４つの側面のうちの側面９１ｂ以外の側面に液晶体等の製品を出し入れするための出し入れ口を形成させることができる。 Further, since the lid opening / closing device 10 is fixed to one of the four side surfaces 91b of the case 91, a product such as a liquid crystal body is taken in and out of the four side surfaces of the case 91 other than the side surface 91b. It is possible to form an access port for this purpose.

また、蓋開閉装置１０は、半導体製造用の真空チャンバ９０の蓋９２を開閉するようになっているが、真空チャンバ９０以外の容器の蓋を開閉するようになっていても良い。 The lid opening / closing device 10 opens and closes the lid 92 of the vacuum chamber 90 for manufacturing semiconductors, but may open and close the lid of containers other than the vacuum chamber 90.

以上のように、本発明は、従来と比較して小型の回動アクチュエータを実現し、小型の蓋開閉装置を提供することができるという効果を奏し、例えば半導体製造用の真空チャンバの蓋のような容器の蓋を開閉する蓋開閉装置に有用である。 As described above, the present invention achieves an effect of realizing a small rotation actuator and providing a small lid opening / closing device as compared with the conventional one, such as a vacuum chamber lid for semiconductor manufacturing. It is useful for a lid opening / closing device for opening and closing a lid of a simple container.

本発明に係る蓋開閉装置の一実施形態の側面図で、その真空チャンバの蓋を閉じた状態を示している1 is a side view of an embodiment of a lid opening / closing device according to the present invention, showing a state in which the lid of the vacuum chamber is closed. 図１に示す一実施形態の蓋開閉装置の上面図1 is a top view of the lid opening / closing device according to the embodiment shown in FIG. 図１に示す一実施形態の蓋開閉装置の一部側面断面図1 is a partial side cross-sectional view of the lid opening / closing device according to the embodiment shown in FIG. 図１に示す一実施形態の真空チャンバの蓋を微小角度だけ開いた状態での側面図The side view in the state where the lid of the vacuum chamber of one embodiment shown in FIG. 図１に示す一実施形態の蓋開閉装置のアクチュエータの断面図Sectional drawing of the actuator of the lid | cover opening / closing apparatus of one Embodiment shown in FIG. 図５に示すアクチュエータの第２減速機の速比値と、図１に示す真空チャンバのケース及び蓋が成す角度と、図５に示すアクチュエータのモータの定格トルクに対する蓋を閉じるときに必要なモータのトルクの比率との関係を示す図The motor required to close the lid with respect to the speed ratio value of the second speed reducer of the actuator shown in FIG. 5, the angle formed by the case and lid of the vacuum chamber shown in FIG. 1, and the rated torque of the motor of the actuator shown in FIG. Of relationship with torque ratio

Explanation of symbols

１０蓋開閉装置
２０軸部
２１回転軸
４０アーム部（連結部）
６０アクチュエータ
６１モータ（動力出力手段）
６１ａ出力部（第１出力部、第１歯車）
６２第１減速機
６２ａ入力部（第１入力部、１段目減速機構、平歯車機構）
６２ｂ出力部（第２出力部、第１歯車）
６２ｃ平歯車（第２歯車）
６２ｄ差動歯車減速機構（２段目減速機構）
６３第２減速機
６３ａ入力部（第２入力部、１段目減速機構、平歯車機構）
６３ｂ出力部（第３出力部）
６３ｃ平歯車（第２歯車）
６３ｄ差動歯車減速機構（２段目減速機構）
９０真空チャンバ（容器）
９１ケース
９２蓋 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Lid opening / closing apparatus 20 Shaft part 21 Rotating shaft 40 Arm part (connection part)
60 Actuator 61 Motor (Power output means)
61a Output unit (first output unit, first gear)
62 1st reduction gear 62a Input part (1st input part, 1st stage reduction mechanism, spur gear mechanism)
62b Output unit (second output unit, first gear)
62c Spur gear (second gear)
62d Differential gear reduction mechanism (second stage reduction mechanism)
63 2nd reduction gear 63a Input part (2nd input part, 1st stage reduction mechanism, spur gear mechanism)
63b Output unit (third output unit)
63c Spur gear (second gear)
63d Differential gear reduction mechanism (second stage reduction mechanism)
90 Vacuum chamber (container)
91 Case 92 Lid

Claims

A motor (61) for outputting rotational power;
A first speed reducer (62) for inputting rotational power from the motor, decelerating and outputting the rotational power;
An actuator comprising a second reduction gear (63) that inputs rotation from the first reduction gear, decelerates and outputs the rotation;
The first speed reducer includes a spur gear mechanism (62a) having a first gear (61a) rotated by rotational power from the motor and a second gear (62c) meshing with the first gear, and the spur gear mechanism. A differential gear reduction mechanism (62d) for further reducing the rotational output,
The second speed reducer includes a spur gear mechanism (63a) having a first gear (62b) that is rotated by the rotation output of the first speed reducer and a second gear (63c) that meshes with the first gear, and the spur gear An actuator comprising a differential gear reduction mechanism (63d) for further reducing the rotational output of the mechanism.

The first gear (61a) of the first speed reducer is supported by the output portion of the motor, and the differential of the first speed reducer is provided between the spur gear mechanism (62a) of the first speed reducer and the motor. A gear reduction mechanism (62d) is disposed; and
The first gear (62b) of the second reduction gear is supported by the output portion of the differential gear reduction mechanism (62d) of the first reduction gear, and the spur gear mechanism (63a) of the second reduction gear and the The actuator according to claim 1, wherein a differential gear reduction mechanism (63d) of the second reduction gear is disposed between the first reduction gears.

The spur gear mechanism of the first reduction device is a reduction mechanism that reduces the output of the motor, and the spur gear mechanism of the second reduction device is a reduction mechanism that reduces the output of the first reduction device. The actuator according to claim 1 or 2, characterized in that:

A device for opening and closing the lid of a container (90) having a case (91) and a lid (92),
An actuator (60) according to claim 1;
A shaft portion (20) having a rotating shaft (21) driven by the actuator and rotatably supporting the rotating shaft on the case;
A connecting portion (40) for connecting the lid and the rotating shaft;
The lid opening / closing apparatus, wherein the lid is opened and closed when the rotating shaft is driven by the actuator.