JP2006315118A - 光学素子の加工方法及びその加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学素子を研磨加工する場合に、加工工具の加工面に付着する付着物等による変質部分を除去し、被加工面に傷や付着等のない光学素子を得る。
【解決手段】光学素子2の被加工面2aに加工工具1を接触させ、該接触面に加工液5を供給しながら相対運動させて研磨加工を行う際、研磨加工に伴い加工工具1の加工面1aに形成された変化部分の凸部15を除去しながら、該凸部15を除去した後の加工面1aにて研磨加工を続行する。
【選択図】図1
【解決手段】光学素子2の被加工面2aに加工工具1を接触させ、該接触面に加工液5を供給しながら相対運動させて研磨加工を行う際、研磨加工に伴い加工工具1の加工面1aに形成された変化部分の凸部15を除去しながら、該凸部15を除去した後の加工面1aにて研磨加工を続行する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ガラスレンズ等の光学素子を研磨加工する光学素子の加工方法及びその加工装置に関する。
この種、光学レンズ等の光学素子の加工方法として、例えば、光学素子の被加工面に、回転する加工工具の加工面を当接させ、その当接面に超音波振動が付与された加工液を供給しながら相対運動させることにより、光学素子を研磨加工する光学素子の研磨方法が公知である(特許文献1参照)。この従来技術によれば、超音波振動が付与された加工液を、光学素子と加工工具との接触界面に向けて供給しながら研磨加工を行うことにより、工具表面に付着した研磨屑や研磨剤を効率的に除去するというものである。
また、他の従来技術として、例えば、研磨加工に伴い研磨屑や研磨剤が付着した加工工具の加工面を、水あるいは洗浄液等を入れた超音波洗浄機に浸漬し、加工工具の加工面から超音波の作用で研磨屑や研磨剤を除去する技術が公知である(以下、第2の従来技術という)。更に、加工工具の加工面に面接触できる鋳物皿を、GC砥粒(炭化珪素(SiC)質の砥粒)等を介在させた状態で押付けて、加工工具の加工面から研磨屑や研磨剤を機械的に除去する技術も提案されている(以下、第3の従来技術という)。
更にまた、加工工具がピッチ皿(光学研磨に使われる磨き皿)である場合には、該ピッチ皿を新しく製作し直してから研磨加工を継続することも行われている(以下、第4の従来技術という)。
特開2001−38594号公報(第4頁、図1)
しかし、特許文献1に記載された技術では、研磨加工中、加工工具の加工面に超音波振動が付与された加工液を供給しているため、加工工具の加工面に付着したスラッジ(sludge)を除去することはできても、光学部品の被加工面が球面形状の場合には問題となる。すなわち、光学部品の被加工面が球面形状の場合は、その被加工面を相対移動させても、加工工具の加工面の回転中心付近では加工液がかからない部分が生じるおそれがある。このため、加工液がかからない部分では、スラッジの除去が困難であり、傷や付着物発生の原因となる。特に、高精度な表面品質が要求される光学部品では、加工工具の加工面に広く超音波が付与された加工液を供給した場合に生じる加工面のわずかな形状変化によっても不良となってしまう。
また、第2の従来技術において、加工工具の加工面を超音波洗浄機に浸漬し超音波の作用でスラッジを除去する方法では、やはり加工工具の加工面全体に超音波が作用するため該加工面にわずかな形状変化が生じる。そして、加工面に変質部分が生じた場合には、超音波の作用による除去は困難である。
更に、第3の従来技術において、加工工具の加工面に面接触できる鋳物皿をGC砥粒等を介在させた状態で押しつけて、加工工具の加工面からスラッジを機械的に除去する方法では、加工面の形状が変化してしまう他、表面粗さ等の状態も変化するため、再度、加工条件を設定しなければならず非効率である。更にまた、第4の従来技術において、加工工具を新しく製作し直して研磨加工を継続する場合は、その都度、加工条件の設定を行う必要があり、著しく非効率である。
本発明は、斯かる課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、光学素子を研磨加工する場合に、加工工具の加工面に付着する付着物等による変質部分を除去し、被加工面に傷や付着等のない光学素子の加工方法及びその加工装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、光学素子の被加工面に加工工具を接触させ、該接触面に加工液を供給しながら相対運動させて研磨加工を行う光学素子の加工方法において、
研磨加工に伴い前記加工工具の加工面に形成された変化部分を除去しながら、該変化部分を除去した後の加工面にて研磨加工を続行する、ことを特徴とする。
研磨加工に伴い前記加工工具の加工面に形成された変化部分を除去しながら、該変化部分を除去した後の加工面にて研磨加工を続行する、ことを特徴とする。
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の光学素子の加工方法において、
前記変化部分は、前記加工工具の加工面に局部的な高温・高圧状態に起因して形成された変質部分である、ことを特徴とする。
前記変化部分は、前記加工工具の加工面に局部的な高温・高圧状態に起因して形成された変質部分である、ことを特徴とする。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載の光学素子の加工方法において、
前記変化部分は、前記加工工具の加工面に形成された研磨剤又は加工屑等による付着部分である、ことを特徴とする。
前記変化部分は、前記加工工具の加工面に形成された研磨剤又は加工屑等による付着部分である、ことを特徴とする。
請求項4に係る発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の光学素子の加工方法において、
前記加工工具は、ピッチ、ポリウレタンシート、研磨用固定砥粒のいずれかである、ことを特徴とする。
前記加工工具は、ピッチ、ポリウレタンシート、研磨用固定砥粒のいずれかである、ことを特徴とする。
請求項5に係る発明は、請求項1乃至4のいずれかに記載の光学素子の加工方法において、
前記加工工具の加工面に網目状の溝を形成した、ことを特徴とする。
前記加工工具の加工面に網目状の溝を形成した、ことを特徴とする。
請求項6に係る発明は、請求項5に記載の光学素子の加工方法において、
前記変化部分は隣接する前記溝間に形成される、ことを特徴とする。
請求項7に係る発明は、光学素子の被加工面に加工工具を接触させ、該接触面に加工液を供給しながら研磨加工を行う光学素子の加工方法において、
加工開始後に前記加工工具の加工面を検査する工程と、
前記加工工具の加工面に形成された変化部分を検知した場合に、該変化部分を除去する工程と、を備えていることを特徴とする。
前記変化部分は隣接する前記溝間に形成される、ことを特徴とする。
請求項7に係る発明は、光学素子の被加工面に加工工具を接触させ、該接触面に加工液を供給しながら研磨加工を行う光学素子の加工方法において、
加工開始後に前記加工工具の加工面を検査する工程と、
前記加工工具の加工面に形成された変化部分を検知した場合に、該変化部分を除去する工程と、を備えていることを特徴とする。
請求項8に係る発明は、
加工面を光学素子の被加工面に接触させて該加工面と被加工面との間で相対運動させ、研磨加工を行う加工工具と、
該加工工具による研磨加工に伴い加工面に形成された変化部分の発生を検出する検出手段と、
該検出手段により検出された前記変化部分を除去する除去手段と、を備えている、ことを特徴とする。
加工面を光学素子の被加工面に接触させて該加工面と被加工面との間で相対運動させ、研磨加工を行う加工工具と、
該加工工具による研磨加工に伴い加工面に形成された変化部分の発生を検出する検出手段と、
該検出手段により検出された前記変化部分を除去する除去手段と、を備えている、ことを特徴とする。
本発明によれば、加工工具全体の形状を崩すことなく、光学素子の被加工面の傷や付着等の原因となる加工工具の加工面部分のみを除去するため、高い形状精度を維持したまま外観欠陥のない光学素子を得ることができる。
また、本発明によれば、加工工具の加工面に発生したスラッジや研磨剤の付着あるいは変質部分を発生初期の微小な状態のうちに除去することにより、高い形状精度を維持したまま、光学素子の被加工面に傷等を発生させずに研磨することができる。
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
図1(a)は、加工装置の実施の形態を示す図であり、図1(b)(c)は、加工工具の加工面の拡大断面図である。
図1(a)は、加工装置の実施の形態を示す図であり、図1(b)(c)は、加工工具の加工面の拡大断面図である。
光学素子2の加工装置10は、加工品支持部11と工具支持部12と加工液供給部13とを備えている。加工品支持部11は、例えば凹レンズ等の光学素子2の平面側を保持して固定するホルダー3と、このホルダー3を傾動自在かつ回転自在に保持する保持部材4とを備えている。この保持部材4は、下端部に球状部8を備えており、この球状部8がホルダー3に形成された半球状凹部3aに挿入支持されることにより、ホルダー3は傾動自在かつ回転自在に保持されている。
工具支持部12は、不図示のモータにより回転自在な支持部材9と、該支持部材9に固定された加工工具1とを備えている。そして、光学素子2の被加工面2aは、加工工具1の加工面1aに揺動自在に当接、支持されている。光学素子2の研磨加工は、加工液供給部13から研磨剤が含まれた加工液5を供給しながら行われる。
本実施の形態では、加工工具1としては高精度なレンズ研磨において多く使用されるピッチ皿(図2参照)を用いており、該加工工具1の加工面1aには網目模様の溝14が形成されている。これにより、溝14と溝14との間には凸部15が形成されることになる。
図1(b)には、光学素子2の研磨加工を開始してからある時間経過し、加工工具1の加工面1aの凸部15にスラッジ6が付着した場合の拡大図を示している(A部参照)。具体的には、凸部15の大きさは0.5〜2mm程度、溝14の間隔は0.1〜2mm程度である。凸部15に付着したスラッジ6は、研磨加工の進行と共に拡大し、溝14に溜まったスラッジ6と一体化して加工面1aに広がって行く。そこで、このスラッジ6の初期段階でこれを除去しながら、研磨加工を続行するものである。
ところで、研磨加工に使用される加工工具1としては、ピッチ皿、ポリウレタンシート、固定砥粒等があるが、加工面1aの日詰まりや変質はいずれの工具においても発生する。従って、どの加工工具1を使用したとしても、初期段階でスラッジ6を除去することにより、光学素子2の被加工面2aに生じる傷や面荒れ等を防止することができる。
すなわち、研磨加工中に、光学素子2の被加工面2aと加工工具1の加工面1aとの界面で局部的な高温・高圧状態が発生すると、加工工具1の加工面1aが局部的に硬化し、あるいは局部的な表面粗さの変化により光沢面が生じる等の変質部分が発生する。この変質部分を除去することにより、これが原因となって光学素子2の被加工面2aに生じる傷や面荒れ等を防止することができる。特に、スラッジ6や研磨剤が混在して加工工具1の加工面1aに付着する、いわゆる日詰まり現象の初期段階で付着部分を除去することにより、光学素子2の被加工面2aに生じる傷や面荒れ等を効果的に防止することができる。
このため、図1(b)の加工面1aの表面状態の変化部分を、目視により観察又はセンサ等で検知した段階で、図1(c)のB部に示すように、加工面1aにおいてスラッジ6が付着した凸部15のみを発生初期の微小な段階で除去するようにする。この場合の凸部15の除去作業は、例えばナイフ等による削り取りだけでなく、先端を極めて細くした半田ゴテ等の熱による溶融除去、有機溶剤等による溶解除去を行ってもよい。
本実施の形態によれば、加工工具1の加工面1aの凸部15に付着したスラッジ6によって引き起こされる光学素子2の被加工面2aの傷等が早期に防止でき、また、加工面1aにスラッジ6の付着が広がる現象も防止できるため、光学素子2に大きな傷の発生が防止される。さらに、除去した凸部15以外の加工面1aの形状は高精度のまま維持されており、除去した部分も微小である。このため、加工工具1の表面の形状を光学素子2の被加工面2aに転写させる研磨加工において、光学素子2の被加工面2aの形状精度を維持したまま、傷等の不良を出さず研磨ができ、被加工面2aの精度への影響も少ない。
図2は、ピッチ皿20の成形型を示している。同図において、台皿21にポリシャ材料(アスファルト等)20aを載せ、その上方から、ポリシャ材料20aの軟化点以上の温度に加熱した型皿22を押し付け、冷却すると、型皿22の曲面が表面に転写されて、高精度な研磨工具としてのピッチ皿20が得られる。また、網をポリシャ材料20aの表面と型皿22との間に介装して成形し、冷却後に網を取り外せば、ピッチ皿20の表面に網目の溝が転写される。
このような加工工具(ピッチ皿)1は、図1(a)に示したように、四角形あるいは六角形のいわゆる網目模様の溝14を加工面1aに形成して使用することが一般的に行われている。この場合、加工工具1の加工面1aに発生する初期の付着物や変質部分は、四角形あるいは六角形の溝14で区切られた1個所〜数個所の凸部15に限定される。このため、この1個所〜数個所の凸部15のみを除去すればよい。
なお、ここでは加工面1aの溝14に溜まったスラッジ6の付着による場合を示したが、これは加工面1aが局部的な高温・高圧状態で硬化したり、表面粗さが変化した場合等も同様である。また、加工工具1として、ピッチ皿以外にもポリウレタンシート、研磨用固定砥粒等を用いた場合も同様である。さらに、加工工具1の加工面1aに溝14がない場合であっても、加工面1aの表面状態が変化した場合に、その変化部分のみを除去すればよい。
図3は、加工装置10'の他の実施の形態を示す図である。
この実施の形態では、加工工具1による研磨加工に伴い加工面1aに形成された変化部分の発生を検出する検出手段としての検出センサ17と、この検出センサ17により検出された変化部分を除去する除去手段としての除去装置18を備えている。この除去装置18は、図示しない制御部からの指令に基づき進退自在なナイフ18aが先端に設けられている。その他の構成は、前述した実施の形態と同様である。
この実施の形態では、加工工具1による研磨加工に伴い加工面1aに形成された変化部分の発生を検出する検出手段としての検出センサ17と、この検出センサ17により検出された変化部分を除去する除去手段としての除去装置18を備えている。この除去装置18は、図示しない制御部からの指令に基づき進退自在なナイフ18aが先端に設けられている。その他の構成は、前述した実施の形態と同様である。
この実施の形態によれば、加工面1aの表面状態を目視によらず検出センサ17にて検出するため、客観的な判断が可能であり、また、必要な部分に向けて進出移動するナイフ18aを有しているので、自動的に変化部分を除去することができる。
以上説明した通り、本実施の形態によれば、高精度な光学素子の研磨作業であっても、被加工面2aの形状を維持した状態で該被加工面2aへの傷等の発生を防止することができる。
次に、図4には、本実施の形態による加工フローチャートを示す。
同図において、S10で研磨加工を開始すると、その後、光学素子2毎に設定された加工時間を経過した後、加工工具1の加工面1aの表面状態の検査を行う(S11)。このときの、加工面1aの表面状態の観察および検知は、ルーペや顕微鏡等による拡大観察によって行っても良く、また、加工面1aにレーザービームを照射し、該加工面1aからの反射光や散乱光を検知する光学的手法によってもよい。その結果、S12において、加工面1aの表面状態の変化が検知された場合(変化あり)には、S13において、加工面1aの変化した微小部分(凸部15)の除去を行う。
同図において、S10で研磨加工を開始すると、その後、光学素子2毎に設定された加工時間を経過した後、加工工具1の加工面1aの表面状態の検査を行う(S11)。このときの、加工面1aの表面状態の観察および検知は、ルーペや顕微鏡等による拡大観察によって行っても良く、また、加工面1aにレーザービームを照射し、該加工面1aからの反射光や散乱光を検知する光学的手法によってもよい。その結果、S12において、加工面1aの表面状態の変化が検知された場合(変化あり)には、S13において、加工面1aの変化した微小部分(凸部15)の除去を行う。
この場合の除去は、前述したように、該当する凸部15をナイフ等により削り取ったり、又は半田ゴテ等の熱による溶融除去、或いは有機溶剤等による溶解除去により行われる。更に、S14において、凸部15を除去した後の加工面1aによる加工を継続する。一方、S12において、加工面1aの表面状態の変化が検知されなかった場合(変化なし)には、さらにS14において、加工面1aによる加工を継続する。そして、研磨加工が終了するまでこの加工フローを繰り返す。
なお、加工面1aの表面状態を検査するための時間は、光学素子2の材質、光学素子2の被加工面の形状、加工工具1の材質および形状、加工荷重や回転数等の加工条件によって異なるため、これらの条件は予め経験的に求められた値として、データベース7に保存されている。
しかして、光学素子2の研磨加工を開始してから、溝14等へのスラッジ6による付着物や変質部分が生じるまでの時間は、光学素子2の材質、光学素子2の被加工面の形状、加工工具1の材質および形状、加工荷重や回転数等の加工条件によっても異なる。しかし、これらの条件毎に、経験則から設定された間隔に従って加工工具1の加工面1aの検査を行うことにより、該加工面1aの表面状態の変化を微小な段階で検知することができる。
本実施の形態によれば、従来、作業者の経験と勘にのみ頼っていた検査のタイミングをデータベース7に基づいて設定することができるため、加工を実施する作業者による品質のバラツキや、再研磨等のロスの発生を最小に抑えることができる。
また、本実施の形態によれば、加工面1aの表面状態の検査のタイミングをデータベース7に基づいて設定することができるため、加工工具1の加工面1aの表面状態に起因する光学素子2の不良の発生を防止することができる。
1 加工工具
1a 加工面
2 光学素子
2a 被加工面
6 スラッジ
10 加工装置
14 溝
15 凸部
17 検出センサ
18 除去装置
1a 加工面
2 光学素子
2a 被加工面
6 スラッジ
10 加工装置
14 溝
15 凸部
17 検出センサ
18 除去装置
Claims (8)
- 光学素子の被加工面に加工工具を接触させ、該接触面に加工液を供給しながら相対運動させて研磨加工を行う光学素子の加工方法において、
研磨加工に伴い前記加工工具の加工面に形成された変化部分を除去しながら、該変化部分を除去した後の加工面にて研磨加工を続行する、
ことを特徴とする光学素子の加工方法。 - 前記変化部分は、前記加工工具の加工面に局部的な高温・高圧状態に起因して形成された変質部分である、ことを特徴とする請求項1に記載の光学素子の加工方法。
- 前記変化部分は、前記加工工具の加工面に形成された研磨剤又は加工屑等による付着部分である、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学素子の加工方法。
- 前記加工工具は、ピッチ、ポリウレタンシート、研磨用固定砥粒のいずれかである、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光学素子の加工方法。
- 前記加工工具の加工面に網目状の溝を形成した、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の光学素子の加工方法。
- 前記変化部分は隣接する前記溝間に形成される、ことを特徴とする請求項5に記載の光学素子の加工方法。
- 光学素子の被加工面に加工工具を接触させ、該接触面に加工液を供給しながら研磨加工を行う光学素子の加工方法において、
加工開始後に前記加工工具の加工面を検査する工程と、
前記加工工具の加工面に形成された変化部分を検知した場合に、該変化部分を除去する工程と、
を備えていることを特徴とする光学素子の加工方法。 - 加工面を光学素子の被加工面に接触させて該加工面と被加工面との間で相対運動させ、研磨加工を行う加工工具と、
該加工工具による研磨加工に伴い加工面に形成された変化部分の発生を検出する検出手段と、
該検出手段により検出された前記変化部分を除去する除去手段と、を備えている、
ことを特徴とする光学素子の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005139146A JP2006315118A (ja) | 2005-05-11 | 2005-05-11 | 光学素子の加工方法及びその加工装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009279710A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Olympus Corp | 芯取加工方法および芯取加工装置 |
-
2005
- 2005-05-11 JP JP2005139146A patent/JP2006315118A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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