JP2006310592A - Integrated circuit transfer table - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ICチップを搭載して移送するのに好適なIC移送テーブルに関する。 The present invention relates to an IC transfer table suitable for mounting and transferring an IC chip.
従来から、直方体状に形成されたICチップが知られている。このICチップは、ベアチップあるいは単にチップなどとも称されており、液晶表示パネルなどの各種の光学パネルにおけるTCP(Tape Carrier Package)、COG(Chip On Glass)、COF(Chip On Film)などを始め多種多様の製品の電子部品として用いられている。 Conventionally, an IC chip formed in a rectangular parallelepiped shape is known. This IC chip is also referred to as a bare chip or simply a chip, and various types such as TCP (Tape Carrier Package), COG (Chip On Glass), and COF (Chip On Film) in various optical panels such as a liquid crystal display panel. It is used as an electronic component for various products.
ところで、ICチップを実装する実装工程、例えば、光学パネルにICチップを実装するCOG工程においては、チップトレイに収納されているICチップを吸着アームによって初期位置で待機しているIC移送テーブルに搭載し、IC移送テーブルにおいて搭載されたICチップ、詳しくは、ICチップの端子が配列されている接続面を吸着保持した状態で圧着ヘッドの配設位置へ移送した後、ICチップを圧着ヘッドに吸着保持させるとともに、IC移送テーブルによるICチップの吸着状態を解除することでIC移送テーブルから圧着ヘッドにICチップを受け渡し、その後、IC移送テーブルを初期位置に復帰させるとともに、パネル搬送テーブルによって光学パネルを圧着ヘッドの下方に移送し、その後、圧着ヘッドを下降させることで光学パネルの所定の位置にICチップを実装するようになっている。 By the way, in a mounting process for mounting an IC chip, for example, a COG process for mounting an IC chip on an optical panel, the IC chip stored in the chip tray is mounted on an IC transfer table waiting at an initial position by a suction arm. Then, after the IC chip mounted on the IC transfer table is transferred to the position where the crimping head is disposed in a state where the connection surface on which the IC chip terminals are arranged is sucked and held, the IC chip is sucked to the crimping head. In addition, the IC chip is transferred from the IC transfer table to the pressure bonding head by releasing the suction state of the IC chip by the IC transfer table, and then the IC transfer table is returned to the initial position, and the optical panel is moved by the panel transfer table. Transfer to the bottom of the crimping head, and then lower the crimping head It adapted to implement an IC chip in a predetermined position of the optical panel and.
従来のIC移送テーブルは、ICチップを吸着保持するために、剛性および絶縁性を必要としているので、機械構造用炭素鋼(S45C)などの鉄鋼によって形成するとともに、その表面にレイデント処理による絶縁性および耐食性を有する保護被膜を形成したものが使用されている。 Since the conventional IC transfer table requires rigidity and insulation in order to attract and hold the IC chip, it is made of steel such as carbon steel for machine structure (S45C) and the surface is insulated by radiant treatment. And what formed the protective film which has corrosion resistance is used.
しかしながら、従来のIC移送テーブルにおいては、ICチップの接続面に傷や異物の付着が発生した場合、溶剤によってIC搭載面を清掃すると、保護被膜が剥がれてしまい、ICチップの当接面と接触する部位に金属面が露出してICチップの電気的破壊が発生する場合があるという問題点があった。 However, in the conventional IC transfer table, when scratches or foreign matter adhere to the connection surface of the IC chip, if the IC mounting surface is cleaned with a solvent, the protective film is peeled off and contacts the contact surface of the IC chip. There is a problem that the metal surface may be exposed at the part to be damaged, and the IC chip may be electrically destroyed.
なお、従来のIC移送テーブルは、保護被膜を再処理して使用されており、保護被膜の状態の管理などに手間がかかり、使い勝手が悪いという問題点もあった。 The conventional IC transfer table is used by reprocessing the protective film, and it takes time to manage the state of the protective film, which is not easy to use.
また、保護被膜を再処理する場合には、移送装置に取り付けたIC移送テーブルを交換しなければならず、IC移送テーブルの取付位置の調整などの移送装置の再調整が必要になる。 Further, when the protective coating is reprocessed, the IC transfer table attached to the transfer device must be replaced, and readjustment of the transfer device such as adjustment of the mounting position of the IC transfer table is required.
そこで、絶縁性を長期間に亘り保持することのできるIC移送テーブルが求められている。 Therefore, there is a need for an IC transfer table that can maintain insulation for a long period of time.
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、絶縁性を長期間に亘り保持することのできるIC移送テーブルを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to provide an IC transfer table capable of maintaining insulation for a long period of time.
前述した目的を達成するため、特許請求の範囲の請求項1に係る本発明のIC移送テーブルの特徴は、直方体状に形成されたICチップを搭載して移送するIC移送テーブルにおいて、前記ICチップが当接する部材がセラミックスで形成されている点にある。 In order to achieve the above-described object, the IC transfer table according to claim 1 of the present invention is characterized in that an IC chip formed in a rectangular parallelepiped shape is mounted to transfer the IC chip. The member that abuts on is formed of ceramics.
本発明に係るIC移送テーブルにおいては、プレート取付面を具備するテーブル本体と、平板状に形成され、一面が前記ICチップの当接面を吸着保持するためのIC搭載面とされ、当該IC搭載面の背面が前記プレート取付面と対向するように前記テーブル本体に取着されている吸着プレートと、平面矩形の平板状に形成され、前記吸着プレートの上に配設されるとともに前記吸着プレートを介して前記テーブル本体に取着されている位置決めプレートとを有しており、前記テーブル本体は、内部に配設された真空形成路と、前記プレート取付面に前記真空形成路と連通するように設けられた連通口とを有しており、前記吸着プレートは、前記IC搭載面に一端が接続され他端が前記連通口に接続する吸着孔を有しており、前記位置決めプレートは、その一方の側面に前記ICチップの一方の側面が当接されるように配設されているとともに、前記位置決めプレートの上面は、前記ICチップが前記IC搭載面に搭載された状態において前記ICチップの上面より低い位置を保持するように形成されていることが好ましい。 In the IC transfer table according to the present invention, a table body having a plate mounting surface, a flat plate shape, one surface being an IC mounting surface for sucking and holding the contact surface of the IC chip, the IC mounting table A suction plate attached to the table main body so that the back surface of the plate faces the plate mounting surface; and a flat rectangular plate that is disposed on the suction plate and has the suction plate A positioning plate attached to the table body, and the table body communicates with the vacuum forming path disposed inside and the vacuum forming path on the plate mounting surface. The suction plate has a suction hole with one end connected to the IC mounting surface and the other end connected to the communication port. The IC chip is arranged so that one side surface of the IC chip is brought into contact with one side surface thereof, and the upper surface of the positioning plate is in a state where the IC chip is mounted on the IC mounting surface. In this case, it is preferable that a lower position than the upper surface of the IC chip is held.
前記位置決めプレートが、前記IC搭載面のうちの移送方向上流側に配設されていることが好ましく、また、前記吸着プレートに、前記位置決めプレートを取り付けるための取付用凹部が形成されていることが好ましい。 The positioning plate is preferably disposed on the upstream side of the IC mounting surface in the transfer direction, and a mounting recess for mounting the positioning plate is formed on the suction plate. preferable.
本発明のIC移送テーブルによれば、セラミックスにより絶縁性を長期間に亘り保持することができる。 According to the IC transfer table of the present invention, the insulating property can be maintained for a long time by ceramics.
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。 The present invention will be described below with reference to embodiments shown in the drawings.
図1から図3は、本発明に係るIC移送テーブルの実施形態の要部を示すものであり、図1は全体構成の要部を示す模式的正面図、図2は図1の平面図、図3は図1の拡大側面図である。 1 to 3 show the main part of an embodiment of an IC transfer table according to the present invention, FIG. 1 is a schematic front view showing the main part of the overall configuration, FIG. 2 is a plan view of FIG. FIG. 3 is an enlarged side view of FIG.
図1から図3に示すように、本実施形態のIC移送テーブル1は、テーブル本体2と、吸着プレート3と、位置決めプレート4とを有している。
As shown in FIGS. 1 to 3, the IC transfer table 1 of this embodiment includes a table body 2, a
前記テーブル本体2は、図2の太矢印にて示す移送方向に対して直交する図1および図2の左右方向が長い平面ほぼL字形の平板状に形成されており、図1および図2の左側は、図示しない移送装置への取付部5とされている。この取付部5には、図2に示すように、移送装置への位置決めに用いるための1対の位置決め孔6が、図1の上下方向に示す厚さ方向に貫通するように形成されている。また、各位置決め孔6の図2の左右方向の両側には、移送装置への取り付けに用いる取付ボルト、詳しくは六角穴付きボルト(図示せず)が挿入される厚さ方向に貫通する貫通孔7がそれぞれ形成されている。また、各貫通孔7の図1の下面側には、取付ボルトのボルト頭部を埋め込むためのざぐり穴8がそれぞれ形成されている。したがって、図示しない移送装置に対し、IC移送テーブル1のテーブル本体2は図1の上面側に取り付けられる。
The table body 2 is formed in a substantially L-shaped flat plate having a long left and right direction in FIGS. 1 and 2 orthogonal to the transfer direction indicated by the thick arrow in FIG. The left side is a mounting portion 5 to a transfer device (not shown). As shown in FIG. 2, the mounting portion 5 is formed with a pair of
前記テーブル本体2の図1および図2の右側は、ICチップ9の搭載部10とされており、この搭載部10の上面は、取付部5の上面より高さ位置が低くなるように厚さが薄く形成されている。そして、搭載部10の上面は、平坦なプレート取付面11とされている。
The right side of the table body 2 in FIGS. 1 and 2 is a
前記テーブル本体2の内部には、図1および図2に示すように、真空形成路12を形成するための抜き孔13が図1および図2の左側面から右側面に連通するように形成されており、この抜き孔13の右端部は、プラグ14によって閉塞されている。また、抜き孔13の左端部には、図示しない真空ホースの一端が接続されており、この真空ホースの他端はバルブを介して真空ポンプに接続されており、バルブを開閉することで、真空形成路12の状態を負圧状態と大気圧状態とのいずれかの状態に切り換えることができるようになっている。さらに、プレート取付面11には、真空形成路12と連通する連通口15が形成されている。なお、連通口15の形状および大きさは、設計コンセプトなどの必要に応じて設定することができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, a
前記テーブル本体2は、鉄鋼、詳しくは、機械構造用炭素鋼(S45C)によって形成されている。なお、テーブル本体2の素材としては、剛性を有する各種の金属から設計コンセプトなどの必要に応じて選択使用することができる。また、テーブル本体2には、耐食性の向上や美観のためのメッキ処理が施されている。 The table body 2 is made of steel, more specifically, carbon steel for machine structure (S45C). In addition, as a raw material of the table main body 2, it can select and use as needed from the various metals which have rigidity, such as a design concept. The table body 2 is subjected to a plating process for improving corrosion resistance and aesthetics.
前記テーブル本体2のプレート取付面11には、吸着プレート3が取り付けられている。この吸着プレート3は、2本の六角穴付きボルトからなる吸着プレート取付ボルト16によって取り付けられており、六角穴付きボルトを用いることで、ボルト頭部が吸着プレート3に埋め込まれるようになっている。
A
なお、吸着プレート取付ボルト16としては、各種のボルトから選択使用することができるが、吸着プレート3の上面からボルト頭部を突出させない構成とすることがICチップ9への干渉を確実かつ容易に防止することができるという意味で好ましい。
The suction
したがって、吸着プレート3には、2本の吸着プレート取付ボルト16のボルト頭部を埋設するざぐり穴を有する2つのボルト装着孔(図示せず)が形成されており、テーブル本体2のプレート取付面11には、2本の吸着プレート取付ボルト16を螺着するための雌ねじ(図示せず)が形成されている。
Accordingly, the
前記吸着プレート3は、全体として平面矩形の平板状の単純な形状に形成されている。この吸着プレート3は、その上面がICチップ9を搭載するIC搭載面17とされており、このIC搭載面17の背面がテーブル本体2のプレート取付面11と対向するように当接されている。
The
前記IC搭載面17のほぼ中央部には、複数、本実施形態においては3つの吸着孔18が左右方向に沿って配列されている。これらの吸着孔18は、吸着プレート3を図1の上下方向に示す厚さ方向に貫通するように形成されているとともに、上端がIC搭載面17に接続され他端がテーブル本体2のプレート取付面11に形成された連通口15に接続されている。また、各吸着孔18は、すべての吸着孔18の上部側の開口が移送に供するICチップ9の接続面と対向し得るように、ICチップ9の長辺の長さである長手方向の長さより短く形成されている。さらに、各吸着孔18は、すべての吸着孔18の下部側の開口が連通口15の内側に配設されていることがより好ましい。なお、吸着孔18を明瞭に示すために、各吸着孔18を図2中に実線にて示してある。また、吸着孔18の平面形状および数としては、設計コンセプトなどの必要に応じて変更することができる。
A plurality of, in the present embodiment, three
前記IC搭載面17のうちの吸着孔18の形成位置より図2の上辺側には、図3に示すように、位置決めプレート4を取り付けるための取付用凹部19が形成されている。この取付用凹部19は、吸着プレート3の左辺から右辺に亘って形成されている。なお、取付用凹部19としては、溝であってもよい。また、取付用凹部19は、設計コンセプトなどの必要に応じて設ければよい。但し、取付用凹部19を設けることによって、取付用凹部19とIC搭載面17とを接続する段部20が、位置決めプレート4を吸着プレート3に取り付ける際の移送方向、詳しくは移送方向上流側に対する位置決めとすることができるので、取付用凹部19を設けるほうがIC移送テーブル1の組立作業を容易に行うことができるという意味で好ましい。
A mounting
前記吸着プレート3は、剛性、絶縁性、耐食性、耐摩耗性および耐熱性に優れるとともに、酸性および塩基性物質の化学作用に対して強いアルミナを材料とするセラミックスにより形成されている。また、取付用凹部19を除くIC搭載面17は、ICチップ9の接続面(吸着部位)が接触するので、ラップ仕上げなどによる精密な平滑面とされている。
The
なお、セラミックスの材料としては、剛性、絶縁性、耐食性、耐摩耗性、耐熱性および耐薬品性に優れたものであればよく、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素などの各種の材料から選択することができる。 The ceramic material may be any material that has excellent rigidity, insulation, corrosion resistance, wear resistance, heat resistance and chemical resistance, and can be selected from various materials such as alumina, zirconia, silicon nitride and silicon carbide. can do.
また、テーブル本体2のプレート取付面11と吸着プレート3の背面との間に、IC搭載面17にICチップ9を吸着保持した際に外気が連通口15から真空形成路12に侵入するといういわゆる真空漏れを防止するためのガスケットを配設してもよい。
Further, when the
前記吸着プレート3の取付用凹部19には、位置決めプレート4が取り付けられている。この位置決めプレート4は、平面横長矩形の平板状の単純な形状に形成されている。また、位置決めプレート4は、2本の皿小ねじからなる位置決めプレート取付ボルト21によって吸着プレート3を間に挟んでテーブル本体2に取り付けられており、皿小ねじを用いることで、ボルト頭部が位置決めプレート4に埋め込まれるようになっている。
The
したがって、位置決めプレート4には、2本の位置決めプレート取付ボルト21のボルト頭部を埋設するざぐり穴を有する2つのボルト装着孔が形成されている。
Therefore, the
なお、位置決めプレート取付ボルト21としては、各種のボルトから選択使用することができるが、位置決めプレート4の上面からボルト頭部を突出させない構成とすることが圧着ヘッドへの干渉を確実かつ容易に防止することができるという意味で好ましい。
The positioning
また、位置決めプレート取付ボルト21の先端をテーブル本体2に螺着することで、吸着プレート3を共締めしており、吸着プレート3は実質的に、吸着プレート取付ボルト16および位置決めプレート取付ボルト21の総計4本のボルトによってテーブル本体2に取り付けられている。
Further, the
すなわち、吸着プレート3には、2本の位置決めプレート取付ボルト21を挿通する2つの挿通孔が形成されており、テーブル本体2のプレート取付面11には、2本の位置決めプレート取付ボルト21を螺着するためのボルト孔(図示せず)が形成されている。
That is, the
なお、2本の位置決めプレート取付ボルト21を着脱することで、位置決めプレート4を吸着プレート3の取付用凹部19に対して着脱することができるとともに、さらに2本の吸着プレート取付ボルト16を着脱することで、吸着プレート3をテーブル本体2のプレート取付面11に対して着脱することができるようになっている。
The
前記位置決めプレート4は、図2の上辺側および下辺側に示す対向する2つの長辺のうちの図2の下辺側に位置する一方の長辺側の側面の下部が、IC搭載面17と取付用凹部19とを接続する段部20に当接されて移送方向への位置決めが行われている。そして、図2の下辺側に位置する一方の長辺側の側面の上部が、ICチップ9の一方の長辺側の側面を当接させることで、IC搭載面17に搭載するICチップ9の移送方向上流側の位置決めが行われるようになっている。
The
すなわち、図3に示すように、位置決めプレート4の長辺側の側面は、ICチップ9の側面を受ける受面22とされている。
That is, as shown in FIG. 3, the side surface on the long side of the
なお、位置決めプレート4は、図2の上辺および下辺に位置する対向する2つの長辺側の側面を180度反転して吸着プレート3に取り付けられるように吸着プレート取付ボルト16の装着孔が配設されている。その結果、位置決めプレート4の2つの側面をそれぞれ受面22として使用することができるので、位置決めプレート4の寿命を長くすることができる。
The
したがって、本実施形態のIC移送テーブル1においては、ICチップ9が当接する部材である吸着プレート3および位置決めプレート4の両者がセラミックスによって形成されている。
Therefore, in the IC transfer table 1 of this embodiment, both the
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。 Next, the operation of the present embodiment having the above-described configuration will be described.
本実施形態のIC移送テーブル1によれば、ICチップ9が当接する部材としての吸着プレート3および位置決めプレート4がセラミックスにより形成されているので、IC搭載面17および受面22を溶剤によって何ら問題なく清掃することができる。その結果、ICチップ9の接続面に傷や異物の付着が発生するのを確実に防止することができる。
According to the IC transfer table 1 of the present embodiment, since the
また、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、ICチップ9が当接する部材としての吸着プレート3および位置決めプレート4がセラミックスにより形成されているので、IC搭載面17および受面22を溶剤によって清掃しても従来のIC移送テーブルにおける保護被膜の剥離などの異常が発生しないとともに、剛性、絶縁性、耐食性、耐摩耗性、耐熱性および耐薬品性を長期間に亘り確保することができる。
Further, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, since the
したがって、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、絶縁性を長期間に亘り保持することができる。 Therefore, according to the IC transfer table 1 of this embodiment, insulation can be maintained for a long time.
さらに、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、従来のIC移送テーブルにおける保護被膜の再処理というメンテナンスが不要になるので、使い勝手が向上するとともに、ランニングコストを低減することができる。 Furthermore, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, maintenance such as reprocessing of the protective film in the conventional IC transfer table is not required, so that the usability is improved and the running cost can be reduced.
また、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、従来のIC移送テーブルにおける保護被膜の再処理にともなうIC移送テーブルの交換が不要となるので、従来の交換時における移送装置の精度の再調整が不要になり、移送装置の維持管理を容易に行うことができる。 Further, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, it is not necessary to replace the IC transfer table accompanying the reprocessing of the protective film in the conventional IC transfer table, so the readjustment of the accuracy of the transfer device at the time of conventional replacement Is no longer required, and maintenance and management of the transfer device can be easily performed.
また、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、テーブル本体2、吸着プレート3および位置決めプレート4を組み立てることにより形成されているので、ICチップ9が当接する部位である吸着プレート3および位置決めプレート4を平面矩形の平板状の単純な形状とすることができる。そして、吸着プレート3および位置決めプレート4の形状を単純にすることで、吸着プレート3および位置決めプレート4のセラッミックスによる形成を容易に行うことができる。さらに、テーブル本体2を鉄鋼により形成することで、セラミックスでは加工が困難な真空形成路12を容易に形成することができる。
Further, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, since it is formed by assembling the table main body 2, the
また、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、吸着プレート3および位置決めプレート4が平面矩形の平板状の単純な形状とされているので、セラミックスに吸着孔18などの加工を容易に行うことができる。
In addition, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, the
また、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、位置決めプレート4が吸着プレート3のIC搭載面17に取り付けられているので、連通口15の周囲にテーブル本体2のプレート取付面11と吸着プレート3の背面との接触面積を大きくすることができる。その結果、IC搭載面17にICチップ9を吸着保持した際に、外気がテーブル本体2のプレート取付面11と吸着プレート3の背面との当接部から連通口15を介して真空形成路12に侵入するといういわゆる真空漏れを確実に防止することができる。これに対して、吸着プレート3をテーブル本体2に直接取り付ける構成とした場合には、吸着孔18と位置決めプレート4の図2の下辺側の側面とが近接し、連通口15の開口が吸着プレート3と位置決めプレート4との境界を跨ぐため、真空漏れを発生しやすくなる。
Further, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, since the
また、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、位置決めプレート4が、IC搭載面17のうちの移送方向上流側に配設されているので、ICチップ9を吸着保持した状態で移送方向へ移動させた際に、瞬間的に加わる加速度などの何らかの原因によって、ICチップ9が移送方向上流側に移動しようとしたとしても、ICチップ9を位置決めプレート4の受面22で確実に受け止めることができる。すなわち、IC移送テーブル1を動作させた際に、IC搭載面17に搭載したICチップ9が移送テーブルから脱落するのを防止することができる。
Further, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, since the
また、本実施形態のIC移送テーブル1によれば、吸着プレート3に、位置決めプレート4を取り付けるための取付用凹部19が形成されているので、吸着プレート3のIC搭載面17に対する位置決めプレート4の取付位置の位置決めを容易に行うことができる。
Further, according to the IC transfer table 1 of the present embodiment, the mounting
すなわち、吸着プレート3に対する位置決めプレート4の取付作業を容易に行うことができる。
That is, the
本発明は、絶縁性および耐摩耗性を必要とするテーブルとして用いることができる。 The present invention can be used as a table that requires insulation and wear resistance.
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。例えば、IC移送テーブルに除電ブロワを併用することで、ICチップの電気的破壊に対する防止効果をより得ることができる。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various change is possible as needed. For example, by using a static eliminating blower in combination with the IC transfer table, it is possible to further obtain an effect of preventing electrical damage to the IC chip.
1 IC移送テーブル
2 テーブル本体
3 吸着プレート
4 位置決めプレート
9 ICチップ
11 プレート取付面
12 真空形成路
15 連通口
17 IC搭載面
18 吸着孔
19 取付用凹部
20 段部
22 受面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 IC transfer table 2 Table
Claims (4)
前記ICチップが当接する部材がセラミックスで形成されていることを特徴とするIC移送テーブル。 In an IC transfer table for mounting and transferring an IC chip formed in a rectangular parallelepiped shape,
An IC transfer table, wherein a member with which the IC chip abuts is formed of ceramics.
平板状に形成され、一面が前記ICチップの当接面を吸着保持するためのIC搭載面とされ、当該IC搭載面の背面が前記プレート取付面と対向するように前記テーブル本体に取着されている吸着プレートと、
平面矩形の平板状に形成され、前記吸着プレートの上に配設されるとともに前記吸着プレートを介して前記テーブル本体に取着されている位置決めプレートとを有しており、
前記テーブル本体は、内部に配設された真空形成路と、前記プレート取付面に前記真空形成路と連通するように設けられた連通口とを有しており、
前記吸着プレートは、前記IC搭載面に一端が接続され他端が前記連通口に接続する吸着孔を有しており、
前記位置決めプレートは、その一方の側面に前記ICチップの一方の側面が当接されるように配設されているとともに、前記位置決めプレートの上面は、前記ICチップが前記IC搭載面に搭載された状態において前記ICチップの上面より低い位置を保持するように形成されている請求項1に記載のIC移送テーブル。 A table body having a plate mounting surface;
Formed in a flat plate shape, one surface is an IC mounting surface for attracting and holding the contact surface of the IC chip, and the IC mounting surface is attached to the table main body so as to face the plate mounting surface. A suction plate,
A flat rectangular plate, and a positioning plate disposed on the suction plate and attached to the table body via the suction plate;
The table body has a vacuum forming path disposed therein, and a communication port provided on the plate mounting surface so as to communicate with the vacuum forming path,
The suction plate has a suction hole with one end connected to the IC mounting surface and the other end connected to the communication port;
The positioning plate is disposed so that one side surface of the IC chip is in contact with one side surface thereof, and the IC chip is mounted on the IC mounting surface on the upper surface of the positioning plate. 2. The IC transfer table according to claim 1, wherein the IC transfer table is formed so as to hold a position lower than an upper surface of the IC chip in a state.
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