JP2006297200A - Degassing apparatus - Google Patents

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肇 大谷
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a degassing apparatus which is capable of more promptly detecting liquid leakage than usual and of controlling the invasion of liquid into the side of a decompression device to be connected. <P>SOLUTION: The degassing apparatus is provided with a vacuum chamber with an inflow port and an outflow port in which the liquid to be degassed is circulated and which has a first connection port to be connected with the decompression device, a gas permeable tube which is connected with one end of the inflow port and stored in the vacuum chamber under connection with the other end of the outflow port, and through which the liquid to be degassed entering the inflow port passes the inside and an exhaust pipe having one end connected with the first connection port and the other end arranged to reach the proximity of the bottom of the vacuum chamber. Further, the degassing apparatus is provided with a porous filter permitting permeation of gas and inhibiting permeation of the liquid and arranged in at least one selected from the exhaust pipe and the first connection port so as to block the exhaust passage of the discharge pipe. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体に含まれる気体を脱気する脱気装置に関する。   The present invention relates to a deaeration device for degassing a gas contained in a liquid.

液体中の溶存ガスは、液体が流通する管体の腐食、気泡の発生による圧力や熱交換率の低下、発生した気泡による液体の塗布ムラなどの原因となる。このため、液体の使用方法や使用目的によっては、脱気が必要である。   The dissolved gas in the liquid causes corrosion of the pipe body through which the liquid flows, a decrease in pressure and heat exchange rate due to the generation of bubbles, and uneven application of the liquid due to the generated bubbles. For this reason, deaeration is required depending on the usage method and purpose of the liquid.

液体(被脱気液体)の脱気には、例えば、特許文献1に開示されている脱気装置(図7参照)を用いることができる。図7に示す脱気装置101は、被脱気液体の流入口111および流出口112を有する減圧チャンバー102内に気体透過性チューブ103が収容され、気体透過性チューブ103の両端が、それぞれ流入口111と流出口112とに連結された構造を有している。また、減圧チャンバー102には、減圧チャンバー102内の底部に達する真空引き用管104が取り付けられており、真空引き用管104は減圧チャンバー102が有する真空引き口113に接続されている。このような脱気装置101では、流入口111から被脱気液体を流入させて気体透過性チューブ103内を通液させるとともに、真空引き口113に接続した減圧装置により減圧チャンバー102内を減圧して、被脱気液体の脱気を行うことができる。
特開平11−333206号公報
For deaeration of the liquid (liquid to be deaerated), for example, a deaeration device (see FIG. 7) disclosed in Patent Document 1 can be used. 7 includes a gas permeable tube 103 accommodated in a vacuum chamber 102 having an inlet 111 and an outlet 112 for a liquid to be degassed, and both ends of the gas permeable tube 103 are respectively connected to the inlet. 111 and the outlet 112. In addition, a vacuum pulling tube 104 reaching the bottom of the decompression chamber 102 is attached to the decompression chamber 102, and the vacuum pulling tube 104 is connected to a vacuum pulling port 113 included in the decompression chamber 102. In such a deaeration device 101, the liquid to be degassed flows from the inlet 111 to pass through the gas permeable tube 103, and the inside of the decompression chamber 102 is decompressed by the decompression device connected to the vacuum suction port 113. Thus, the liquid to be deaerated can be deaerated.
JP-A-11-333206

減圧チャンバー内に液漏れが生じると、その量によっては安定した脱気を行うことが困難となる。このため、被脱気液体を脱気する際には、所定量以上の液漏れをできるだけ速やかに検知し、脱気装置の運転を停止することが重要である。   When liquid leakage occurs in the decompression chamber, it becomes difficult to perform stable deaeration depending on the amount of liquid leakage. For this reason, when deaeration of the liquid to be deaerated, it is important to detect a liquid leak of a predetermined amount or more as quickly as possible and stop the operation of the deaerator.

図7に示す脱気装置101では、漏れ出た液体が真空引き用管104を介して脱気装置101外部に吸引されることにより、液漏れが検知される。真空引き用管104の一方の端部は、減圧チャンバー102の底部近傍に配置されており、液漏れが始まってから、漏れ出た液体が真空引き用管104に吸引されるまでの時間の短縮化が図られている。しかし、吸引した液体を検知する方法では、検知器によって液体が実際に検知されるまでの時間の短縮には限界があり、より速やかに液漏れを検知できる脱気装置が求められている。   In the deaeration device 101 shown in FIG. 7, the leaked liquid is sucked out of the deaeration device 101 through the vacuuming tube 104, thereby detecting a liquid leak. One end of the evacuation tube 104 is disposed in the vicinity of the bottom of the decompression chamber 102, and the time from when the liquid leakage starts until the leaked liquid is sucked into the evacuation tube 104 is shortened. It is planned. However, in the method of detecting the sucked liquid, there is a limit to shortening the time until the liquid is actually detected by the detector, and a deaeration device that can detect liquid leakage more quickly is required.

また脱気装置101では、漏れ出た液体が減圧装置側に吸引されることにより、液漏れの検知が行われるため、例えば、漏液センサ、あるいは、減圧装置が有する真空ポンプを保護するための液体トラップなどの機構が減圧装置側に必要である。特に、脱気装置101を、減圧装置に損傷を与えたり、含有する固形分を減圧装置内で析出したりする液体などに対して用いるためには、より複雑な機構が必要である。   Further, in the deaeration device 101, the leaked liquid is sucked to the decompression device side to detect the fluid leakage. For example, the leakage sensor or the vacuum pump included in the decompression device is protected. A mechanism such as a liquid trap is required on the decompression device side. In particular, in order to use the deaeration device 101 for a liquid that damages the decompression device or precipitates the contained solid content in the decompression device, a more complicated mechanism is required.

そこで本発明では、速やかな液漏れの検知が可能であり、かつ、減圧装置側への液体の侵入を抑制できる脱気装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a deaeration device that can detect liquid leakage promptly and can prevent liquid from entering the decompression device.

本発明の脱気装置は、被脱気液体が流通する流入口および流出口、ならびに、減圧装置を接続する第1の接続口が形成された減圧チャンバーと、一方の端部が前記流入口に接続され、かつ、他方の端部が前記流出口に接続された状態で前記減圧チャンバー内に収容され、前記流入口から流入した前記被脱気液体が内部を通過する気体透過性チューブと、一方の端部が前記第1の接続口に接続され、他方の端部が前記減圧チャンバー内の底部近傍に達するように配置された排気管とを備え、気体を透過し、かつ、液体の透過の障害となる多孔質フィルターが、前記排気管の排気路を塞ぐように、前記排気管および前記第1の接続口から選ばれる少なくとも1つに配置されていることを特徴としている。   The deaeration device of the present invention includes an inflow port and an outflow port through which a liquid to be degassed flows, a decompression chamber in which a first connection port for connecting a decompression device is formed, and one end portion at the inflow port. A gas permeable tube that is connected and accommodated in the decompression chamber with the other end connected to the outlet, and through which the liquid to be degassed flowing from the inlet passes. And an exhaust pipe disposed so that the other end reaches the vicinity of the bottom in the decompression chamber, and transmits gas and transmits liquid. The porous filter which becomes an obstacle is arranged in at least one selected from the exhaust pipe and the first connection port so as to block the exhaust passage of the exhaust pipe.

本発明によれば、排気管の端部の一方を減圧チャンバー内の底部近傍に配置し、気体を透過するが液体の透過の障害となる多孔質フィルターを排気管の排気路を塞ぐように配置することにより、速やかな液漏れの検知が可能であり、かつ、減圧装置側への液体の侵入を抑制できる脱気装置を提供できる。   According to the present invention, one end of the exhaust pipe is disposed in the vicinity of the bottom in the decompression chamber, and a porous filter that permeates gas but obstructs liquid permeation is disposed so as to block the exhaust path of the exhaust pipe. By doing so, it is possible to provide a deaeration device capable of detecting liquid leakage promptly and suppressing the intrusion of liquid into the decompression device side.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の説明において、同一の部材に同一の符号を付し、重複する説明を省略する場合がある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the same reference numerals are assigned to the same members, and duplicate descriptions may be omitted.

図1に本発明の脱気装置の一例を示す。図1に示す脱気装置1は、被脱気液体が流通する流入口11および流出口12、ならびに、減圧装置を接続する第1の接続口13が形成された減圧チャンバー2を備えている。減圧チャンバー2内には、一方の端部が流入口11に接続され、他方の端部が流出口12に接続された気体透過性チューブ3が収容されており、流入口11から流入した被脱気液体は、気体透過性チューブ3の内部を通過した後に、流出口12から流出される。また脱気装置1は、一方の端部が第1の接続口13に接続され、他方の端部(図1に示す端部A)が減圧チャンバー2内の底部近傍に達するように配置された排気管4を備えており、排気管4を介して減圧チャンバー2内を減圧できる。排気管4の端部Aには、排気管4の排気路を塞ぐように、気体を透過するが液体の透過の障害となる多孔質フィルター5が配置されている。減圧チャンバー2は、蓋部21およびハウジング22からなり、蓋部21とハウジング22とは、減圧チャンバー2内の気密が保持されるように、互いに固定されている。   FIG. 1 shows an example of the deaeration device of the present invention. The deaeration device 1 shown in FIG. 1 includes an inflow port 11 and an outflow port 12 through which the liquid to be degassed flows, and a decompression chamber 2 in which a first connection port 13 for connecting the decompression device is formed. The decompression chamber 2 accommodates a gas permeable tube 3 having one end connected to the inlet 11 and the other end connected to the outlet 12. The gas liquid passes through the inside of the gas permeable tube 3 and then flows out from the outlet 12. Further, the deaeration device 1 is arranged so that one end is connected to the first connection port 13 and the other end (end A shown in FIG. 1) reaches the vicinity of the bottom in the decompression chamber 2. An exhaust pipe 4 is provided, and the inside of the decompression chamber 2 can be decompressed via the exhaust pipe 4. At the end A of the exhaust pipe 4, a porous filter 5 that allows gas to pass but obstructs liquid permeation is disposed so as to block the exhaust path of the exhaust pipe 4. The decompression chamber 2 includes a lid portion 21 and a housing 22, and the lid portion 21 and the housing 22 are fixed to each other so that airtightness in the decompression chamber 2 is maintained.

脱気装置1では、第1の接続口13に減圧装置を接続し、減圧チャンバー2内を所定の圧力に減圧した状態で、気体透過性チューブ3内に被脱気液体を流通させることにより、被脱気液体の脱気を行うことができる。   In the deaeration device 1, a depressurization device is connected to the first connection port 13, and the degassed liquid is circulated in the gas permeable tube 3 in a state where the depressurization chamber 2 is depressurized to a predetermined pressure. The liquid to be deaerated can be deaerated.

脱気処理中に、排気管4の端部Aが、液漏れにより減圧チャンバー2内の底部に滞留した液体の液面の下に入ると、排気管4への気体の透過が行われなくなるだけではなく、排気管4への液体の透過が阻害され、排気管4および減圧装置内の気圧が変動する。本発明の脱気装置1では、このような気圧変動による液漏れの検知が可能である。気圧変動による液漏れの検知は、吸引された液体を検知する場合に比べて、より速やかに行うことができ、特に、液漏れ速度が小さい場合や、検知すべき液漏れ量が小さい場合などに、その効果が大きい。   During the deaeration process, if the end A of the exhaust pipe 4 enters below the liquid level of the liquid staying at the bottom in the decompression chamber 2 due to liquid leakage, gas permeation to the exhaust pipe 4 is not performed. Instead, the permeation of the liquid into the exhaust pipe 4 is hindered, and the air pressure in the exhaust pipe 4 and the decompression device varies. In the deaeration device 1 of the present invention, it is possible to detect liquid leakage due to such a pressure fluctuation. Liquid leak detection due to fluctuations in atmospheric pressure can be performed more quickly than when sucked liquid is detected, especially when the liquid leak rate is low or the amount of liquid leak to be detected is small. The effect is great.

また、液体の検知に比べて、気圧変動の検知はより容易であり、減圧装置が備える検知機構をより簡略化できる。例えば、脱気装置1と接続される減圧装置の減圧ライン上に圧力計を配置し、圧力計の変動を検知することにより、脱気処理を停止すればよい。後述するが、脱気装置1側に、圧力計などの検知機構を配置することもできる。   Further, it is easier to detect atmospheric pressure fluctuations than liquid detection, and the detection mechanism provided in the decompression device can be further simplified. For example, the deaeration process may be stopped by disposing a pressure gauge on the decompression line of the decompression apparatus connected to the deaeration apparatus 1 and detecting the fluctuation of the pressure gauge. As will be described later, a detection mechanism such as a pressure gauge can be disposed on the deaeration device 1 side.

さらに、脱気装置1では、多孔質フィルター5の配置により、減圧装置側への液体の侵入を抑制できるため、減圧装置側の機構をより簡略化できる。特に、被脱気液体が、減圧装置に損傷を与えたり、含有する固形分を減圧装置内で析出したりする液体などである場合に、その効果が大きい。   Furthermore, in the deaeration device 1, the arrangement of the porous filter 5 can suppress the intrusion of liquid into the decompression device side, so that the mechanism on the decompression device side can be further simplified. In particular, the effect is large when the liquid to be deaerated is a liquid that damages the decompression device or precipitates the contained solid content in the decompression device.

多孔質フィルター5は、液体の透過の障害となればよいが、実質的に液体を透過しないことが好ましい。液漏れに伴う気圧変動の発生をより確実にできるとともに、減圧装置側への液体の侵入をより確実に防止できる。   The porous filter 5 may be an obstacle to the permeation of the liquid, but it is preferable that the porous filter 5 does not substantially permeate the liquid. The occurrence of fluctuations in atmospheric pressure due to liquid leakage can be more reliably performed, and liquid can be more reliably prevented from entering the decompression device.

多孔質フィルター5の具体的な構成は特に限定されず、例えば、フッ素樹脂やポリオレフィン樹脂の多孔膜を含む多孔質フィルターであればよい。撥液性に優れることから、フッ素樹脂の多孔膜を含むことが好ましく、特に、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の多孔膜を含むことが好ましい。フッ素樹脂の多孔膜は、化学的な耐性にも優れている。PTFEの多孔膜は、PTFE粒子を含むペーストを成形、圧延した後に、延伸することなどにより形成できる。   The specific structure of the porous filter 5 is not specifically limited, For example, what is necessary is just a porous filter containing the porous film | membrane of a fluororesin or polyolefin resin. Since it is excellent in liquid repellency, it is preferable to include a porous film of fluororesin, and it is particularly preferable to include a porous film of polytetrafluoroethylene (PTFE). The fluororesin porous film is excellent in chemical resistance. The porous film of PTFE can be formed by, for example, stretching after forming and rolling a paste containing PTFE particles.

多孔質フィルター5は、上記多孔膜以外にも、通気性を有する補強層を含んでいてもよく、補強層の積層によって多孔質フィルター5の強度を向上できる。多孔質フィルター2が含む多孔膜および補強層の積層数は、それぞれ任意に設定すればよい。   The porous filter 5 may include a breathable reinforcing layer in addition to the porous film, and the strength of the porous filter 5 can be improved by stacking the reinforcing layers. What is necessary is just to set arbitrarily the lamination | stacking number of the porous membrane and the reinforcement layer which the porous filter 2 contains, respectively.

補強層の材料や構造などは特に限定されないが、多孔膜よりも通気性に優れることが好ましい。補強層には、例えば、樹脂や金属などからなる、織布、不織布、メッシュ、ネット、スポンジ、フォーム、発泡体、多孔質体などを用いればよい。補強層に用いる具体的な材料は、被脱気液体の種類などに応じて、選択すればよい。   The material and structure of the reinforcing layer are not particularly limited, but it is preferable to have better air permeability than the porous membrane. For the reinforcing layer, for example, a woven fabric, a nonwoven fabric, a mesh, a net, a sponge, a foam, a foam, a porous body, or the like made of resin or metal may be used. The specific material used for the reinforcing layer may be selected according to the type of liquid to be deaerated.

補強層は、多孔膜と接合されていてもよく、接合は、接着剤ラミネート、熱ラミネート、加熱溶着、超音波溶着などの手法により行えばよい。   The reinforcing layer may be bonded to the porous film, and the bonding may be performed by a technique such as adhesive laminating, heat laminating, heat welding, or ultrasonic welding.

多孔質フィルター5が、撥液処理(撥水処理および/または撥油処理)されていてもよく、撥液処理により、減圧装置側への液体の侵入をより抑制できる。撥液処理は、例えば、表面張力の小さい物質を多孔質フィルター5に塗布し、乾燥させた後にキュアすることにより行えばよい。撥液処理に用いる撥液剤には、例えば、パーフルオロアルキル基を有する高分子材料を含む溶液を用いればよい。多孔質フィルター5への撥液剤の塗布は、撥液処理として一般的な手法である含浸法やスプレー法を用いればよい。   The porous filter 5 may be subjected to liquid repellent treatment (water repellent treatment and / or oil repellent treatment), and the liquid repellent treatment can further suppress the intrusion of liquid into the decompression device side. The liquid repellent treatment may be performed by, for example, applying a substance having a small surface tension to the porous filter 5 and curing it after drying. As the liquid repellent used for the liquid repellent treatment, for example, a solution containing a polymer material having a perfluoroalkyl group may be used. Application of the liquid repellent to the porous filter 5 may be performed by an impregnation method or a spray method, which are general techniques for liquid repellent treatment.

多孔質フィルター5の厚さは特に限定されないが、通常、50μm〜10mmの範囲である。   Although the thickness of the porous filter 5 is not specifically limited, Usually, it is the range of 50 micrometers-10 mm.

多孔質フィルター5の空孔率および平均孔径も特に限定されないが、液体が実質的に透過しない多孔質フィルターとするためには、平均孔径にして、例えば、0.01μm〜10μmの範囲であればよく、0.5μm〜5μmの範囲が好ましい。空孔率にして、例えば、10%〜90%の範囲であればよく、30%〜80%の範囲が好ましい。   The porosity and average pore diameter of the porous filter 5 are not particularly limited, but in order to obtain a porous filter through which liquid does not substantially permeate, the average pore diameter is, for example, in the range of 0.01 μm to 10 μm. The range of 0.5 μm to 5 μm is preferable. For example, the porosity may be in the range of 10% to 90%, and preferably in the range of 30% to 80%.

多孔質フィルター5が配置される位置は、排気管4および第1の接続口13から選ばれる少なくとも1つである限り特に限定されないが、液漏れに伴う気圧変動の発生をより確実に行うためには、排気管4の内部に配置されることが好ましく、特に、排気管4における第1の接続口13と接続されている端部とは反対側の端部(減圧チャンバー2内の底部近傍に配置されている端部:図1に示す端部A)に配置されることがより好ましい。   The position where the porous filter 5 is disposed is not particularly limited as long as it is at least one selected from the exhaust pipe 4 and the first connection port 13, but in order to more surely generate the fluctuation of atmospheric pressure due to liquid leakage. Is preferably disposed inside the exhaust pipe 4, and in particular, an end of the exhaust pipe 4 opposite to the end connected to the first connection port 13 (near the bottom in the decompression chamber 2). Arranged end: It is more preferable that the end is disposed at the end A) shown in FIG.

排気管4の端部Aへの多孔質フィルター5の配置方法は特に限定されず、例えば、図2に示すように、排気管4の先端に多孔質フィルター5が配置されていてもよいし、図3あるいは図4に示すように、排気管4内に多孔質フィルター5が配置されていてもよい。より速やかに液漏れを検知するためには、排気管4の先端に多孔質フィルター5が配置されていることが好ましい。   The arrangement method of the porous filter 5 at the end A of the exhaust pipe 4 is not particularly limited. For example, as shown in FIG. 2, the porous filter 5 may be arranged at the tip of the exhaust pipe 4, As shown in FIG. 3 or FIG. 4, a porous filter 5 may be disposed in the exhaust pipe 4. In order to detect liquid leakage more quickly, a porous filter 5 is preferably disposed at the tip of the exhaust pipe 4.

多孔質フィルター5は、加熱溶着、超音波溶着、接着剤による接着などの手法により、排気管4に固定されていればよい。   The porous filter 5 only needs to be fixed to the exhaust pipe 4 by a technique such as heat welding, ultrasonic welding, or adhesion using an adhesive.

排気管4の構造および構成は特に限定されず、その形状を含めて任意に設定すればよい。   The structure and configuration of the exhaust pipe 4 are not particularly limited, and may be set arbitrarily including its shape.

排気管4には、被脱気液体に対して化学的な耐性を有する材料を用いればよく、例えば、PTFE、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレンなどのフッ素樹脂類、あるいは、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン類を用いればよい。   The exhaust pipe 4 may be made of a material having chemical resistance to the liquid to be degassed, such as PTFE, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, A fluororesin such as polychlorotrifluoroethylene or a polyolefin such as polyethylene or polypropylene may be used.

排気管4の第1の接続口13への接続方法には、一般的な方法を用いればよい。   A general method may be used as a method of connecting the exhaust pipe 4 to the first connection port 13.

排気管4の端部Aと、減圧チャンバー2内の底部との距離は、検知すべき液漏れ量などに応じて任意に設定すればよい。液漏れ時にも、脱気装置1が停止するまでの脱気能力を確保する観点からは、排気管4の先端が、気体透過性チューブ3の下端よりも減圧チャンバー2内の底部に位置することが好ましい。この場合、気体透過性チューブ3が漏れ出た液体中に浸漬する前に、液漏れを検知することができる。   What is necessary is just to set arbitrarily the distance of the edge part A of the exhaust pipe 4 and the bottom part in the decompression chamber 2 according to the amount of liquid leaks etc. which should be detected. From the viewpoint of ensuring the deaeration capability until the deaeration device 1 stops even when the liquid leaks, the tip of the exhaust pipe 4 should be positioned at the bottom of the decompression chamber 2 rather than the lower end of the gas permeable tube 3. Is preferred. In this case, the liquid leakage can be detected before the gas permeable tube 3 is immersed in the leaked liquid.

気体透過性チューブ3には、脱気装置に一般的に用いられるチューブを用いればよい。具体的には、例えば、PTFE、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレンなどのフッ素樹脂類からなるチューブ、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン類からなるチューブを用いればよい。単位容積あたりの膜面積を広くするためには、多数本の中空糸体を集束したチューブであることが好ましく、この場合、1つの中空糸体の径は、通常、内径にして数十μm〜数mm程度の範囲であり、その集束本数は、通常、数本〜数百本程度の範囲である。   The gas permeable tube 3 may be a tube generally used for a deaeration device. Specifically, for example, PTFE, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, tubes made of fluororesins such as polychlorotrifluoroethylene, polyolefins such as polyethylene and polypropylene What is necessary is just to use the tube which consists of a kind. In order to increase the membrane area per unit volume, a tube in which a large number of hollow fiber bodies are converged is preferable. In this case, the diameter of one hollow fiber body is usually several tens of μm to the inner diameter. It is in the range of several millimeters, and the number of focusing is usually in the range of several to several hundreds.

減圧チャンバー2内において気体透過性チューブ3が収容される形状は特に限定されないが、脱気装置1の脱気能力を向上させる観点からは、図1に示すように、多重コイル状に収容されていることが好ましい。   Although the shape in which the gas permeable tube 3 is accommodated in the decompression chamber 2 is not particularly limited, from the viewpoint of improving the deaeration capability of the deaeration device 1, as shown in FIG. Preferably it is.

気体透過性チューブ3の流出口11および流入口12への接続には、一般的な方法を用いればよい。例えば、図5に示すように、気体透過性チューブ3の端部に、楔52と袋ナット51とを用いて口金具55を固定した後に、気体透過性チューブ3を固定した口金具55を、Oリング53とナット54とを用いて減圧チャンバー2の開口部に固定すればよい。   A general method may be used to connect the gas permeable tube 3 to the outlet 11 and the inlet 12. For example, as shown in FIG. 5, after fixing the metal fitting 55 to the end of the gas permeable tube 3 using a wedge 52 and a cap nut 51, the metal fitting 55 to which the gas permeable tube 3 is fixed, What is necessary is just to fix to the opening part of the decompression chamber 2 using the O-ring 53 and the nut 54. FIG.

減圧チャンバー2の構造および構成は、チャンバー内部と外部環境との間の気圧差に耐えられる限り特に限定されない。例えば、金属(特に、化学的な耐性に優れることからステンレスが好ましい)、ガラス、プラスチックなどを用いて減圧チャンバー2を形成すればよく、プラスチックには、通常、フッ素樹脂やポリオレフィンが用いられる。   The structure and configuration of the decompression chamber 2 are not particularly limited as long as it can withstand the pressure difference between the inside of the chamber and the external environment. For example, the vacuum chamber 2 may be formed using metal (especially stainless steel is preferable because of its excellent chemical resistance), glass, plastic, etc., and fluororesin or polyolefin is usually used as the plastic.

図1に示す減圧チャンバー2は、蓋部21およびハウジング23によって構成されるが、蓋部21とハウジング23とを互いに固定する方法は特に限定されない。   Although the decompression chamber 2 shown in FIG. 1 is comprised by the cover part 21 and the housing 23, the method of fixing the cover part 21 and the housing 23 mutually is not specifically limited.

本発明の脱気装置1の別の一例を図6に示す。図6に示す脱気装置1は、図1に示す脱気装置1と同様の構成であるが、減圧チャンバー2の蓋部21に、第2の接続口14が形成されている。   Another example of the deaeration device 1 of the present invention is shown in FIG. The deaeration device 1 shown in FIG. 6 has the same configuration as the deaeration device 1 shown in FIG. 1, but the second connection port 14 is formed in the lid portion 21 of the decompression chamber 2.

本発明の脱気装置1では、脱気処理中において、液漏れにより減圧チャンバー2内の底部に滞留した液体の液面の下に排気管4の端部Aが入ると、排気管4および減圧装置内の気圧が変動するだけではなく、減圧チャンバー2内の気圧も変動する(排気管4による排気が行われなくなるため、減圧チャンバー2内の気圧は増大する)。図6に示すような脱気装置1では、第2の接続口14に、減圧チャンバー2内の圧力を測定する装置、例えば、圧力計を接続することにより、液漏れの検知が可能であるため、減圧装置側に配置する検知機構を簡略化することができる。第2の接続口14に接続する圧力測定装置を最適化することによって、減圧装置側に配置する検知機構を省略することも可能である。   In the deaeration device 1 of the present invention, when the end A of the exhaust pipe 4 enters below the liquid level of the liquid staying at the bottom in the decompression chamber 2 due to liquid leakage during the deaeration process, Not only does the pressure inside the apparatus fluctuate, but the pressure inside the decompression chamber 2 also fluctuates (since exhaust through the exhaust pipe 4 is not performed, the pressure inside the decompression chamber 2 increases). In the deaeration device 1 as shown in FIG. 6, it is possible to detect liquid leakage by connecting a device for measuring the pressure in the decompression chamber 2, for example, a pressure gauge, to the second connection port 14. The detection mechanism disposed on the decompression device side can be simplified. By optimizing the pressure measuring device connected to the second connection port 14, it is possible to omit the detection mechanism arranged on the pressure reducing device side.

本発明の脱気装置1では、このような第2の接続口14が複数形成されていてもよく、各々の接続口に、任意の装置および/または部材を接続することができる。   In the deaeration device 1 of the present invention, a plurality of such second connection ports 14 may be formed, and any device and / or member can be connected to each connection port.

以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。本発明は、以下に示す実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. The present invention is not limited to the examples shown below.

本実施例では、排気管の一方の先端に、PTFE多孔膜からなる多孔質フィルターを配置した場合(実施例サンプル)と、配置しなかった場合(比較例サンプル)との間で、液漏れ検知までの時間、および、漏れ出た液体の減圧装置側への侵入の有無について評価を行った。   In this example, leakage detection between the case where a porous filter made of a PTFE porous membrane is arranged at one end of the exhaust pipe (Example sample) and the case where it is not arranged (Comparative example sample). And the presence or absence of intrusion of leaked liquid into the decompression device side was evaluated.

各サンプルの作製方法を示す。   A method for manufacturing each sample will be described.

(実施例サンプル)
最初に、ステンレスからなる減圧チャンバー(内容積2400cm3、蓋部に流入口、流出口、第1の接続口および第2の接続口が形成されている)を準備し、準備した減圧チャンバー内に、PTFEからなる中空糸体(内径1.0mm、厚さ0.13mm、長さ5m)130本を集束した気体透過性チューブを多重コイル状に収容した。気体透過性チューブを収容する際には、図5に示す機構により、その一方の端部を流出口に、他方の端部を流入口に接続した。
(Example sample)
First, a vacuum chamber made of stainless steel (with an internal volume of 2400 cm 3 and an inflow port, an outflow port, a first connection port and a second connection port formed in the lid) was prepared, and the prepared decompression chamber was A gas permeable tube in which 130 hollow fiber bodies (inner diameter: 1.0 mm, thickness: 0.13 mm, length: 5 m) made of PTFE were converged was accommodated in a multi-coil shape. When accommodating the gas permeable tube, one end thereof was connected to the outflow port and the other end was connected to the inflow port by the mechanism shown in FIG.

次に、多孔質PTFE膜(平均孔径0.5μm、空孔率80%、厚さ150μm)からなる多孔質フィルターを一方の先端に固定した排気管(PTFE製:内径4mm)を準備し、準備した排気管を減圧チャンバー内に収容した。排気管を収容する際には、多孔質フィルターを固定した端部(端部A)とは反対側の端部を第1の接続口に接続し、端部Aと減圧チャンバー内の底部との距離を3mmとした。   Next, an exhaust pipe (made of PTFE: inside diameter 4 mm) in which a porous filter composed of a porous PTFE membrane (average pore diameter 0.5 μm, porosity 80%, thickness 150 μm) is fixed to one end is prepared and prepared. The exhaust pipe was accommodated in a vacuum chamber. When accommodating the exhaust pipe, the end opposite to the end (end A) to which the porous filter is fixed is connected to the first connection port, and the end A and the bottom in the vacuum chamber are connected. The distance was 3 mm.

次に、第2の接続口に圧力計を接続して、図6に示すような脱気装置1を作製し、実施例サンプルとした。   Next, a pressure gauge was connected to the second connection port to produce a deaeration device 1 as shown in FIG.

(比較例サンプル)
最初に、ステンレスからなる減圧チャンバー(内容積2400cm3、蓋部に流入口、流出口および第1の接続口が形成されている)を準備し、準備した減圧チャンバー内に、実施例サンプルと同様の気体透過性チューブを多重コイル状に収容した。気体透過性チューブを収容する際には、図5に示す機構により、その一方の端部を流出口に、他方の端部を流入口に接続した。
(Comparative example sample)
First, a vacuum chamber made of stainless steel (with an internal volume of 2400 cm 3 , an inflow port, an outflow port, and a first connection port formed in the lid) was prepared, and in the prepared decompression chamber, the same as the example sample The gas permeable tube was accommodated in a multiple coil shape. When accommodating the gas permeable tube, one end thereof was connected to the outflow port and the other end was connected to the inflow port by the mechanism shown in FIG.

次に、実施例サンプルと同様の排気管(ただし、多孔質フィルターは配置されていない)を準備し、準備した排気管を減圧チャンバー内に収容して、脱気装置を作製し、比較例サンプルとした。排気管を収容する際には、その一方の端部を第1の接続口に接続し、他方の端部と減圧チャンバー内の底部との距離を3mmとした。   Next, an exhaust pipe similar to the example sample (however, a porous filter is not arranged) is prepared, and the prepared exhaust pipe is accommodated in a decompression chamber to produce a deaeration device. It was. When accommodating the exhaust pipe, one end of the exhaust pipe was connected to the first connection port, and the distance between the other end and the bottom of the decompression chamber was 3 mm.

このように作製した各脱気装置サンプルにおける第1の接続口を真空ポンプに接続した後に、流入口から純水を通液し、減圧チャンバー内を減圧したところ、実施例サンプルおよび比較例サンプルともに、減圧チャンバー内において約−720mmHg(ゲージ圧)の真空圧を保持できた。なお、比較例サンプルと真空ポンプとの間に、内部を目視可能な液体トラップを配置した。   After connecting the 1st connection port in each deaerator sample produced in this way to a vacuum pump, when pure water was poured from an inflow port and the inside of a decompression chamber was decompressed, both an example sample and a comparative example sample The vacuum pressure of about −720 mmHg (gauge pressure) could be maintained in the vacuum chamber. In addition, the liquid trap which can visually observe the inside was arrange | positioned between the comparative example sample and the vacuum pump.

次に、通液および減圧を一時的に停止し、130本の中空糸体のうち1本の中空糸体に孔を開けた後に、再び通液および減圧を行ったところ、実施例サンプルでは、第2の接続口に接続した圧力計の変動により、比較例サンプルでは、サンプルと真空ポンプとの間に配置された液体トラップの内部に吸引された純水を確認することにより、液漏れを検知することができた。このとき、実施例サンプルでは、排気管の端部Aが、減圧チャンバー内に滞留した純水の水面以下になるのとほぼ同時に圧力計の変動を確認できたのに対して、比較例サンプルでは、排気管の端部Aが、減圧チャンバー内に滞留した純水の水面以下になってから約30秒ほど経過した後でないと、排気管に吸引された純水が液体トラップ中に収容されなかった。   Next, the liquid flow and pressure reduction were temporarily stopped, and after opening a hole in one of the 130 hollow fiber bodies, the liquid flow and pressure reduction were performed again. Due to fluctuations in the pressure gauge connected to the second connection port, in the comparative sample, liquid leakage is detected by confirming the pure water sucked into the liquid trap placed between the sample and the vacuum pump. We were able to. At this time, in the example sample, it was possible to confirm the fluctuation of the pressure gauge almost simultaneously with the end A of the exhaust pipe being below the surface of the pure water staying in the decompression chamber, whereas in the comparative example sample, The pure water sucked into the exhaust pipe is not accommodated in the liquid trap until about 30 seconds have elapsed after the end A of the exhaust pipe becomes below the surface of the pure water staying in the decompression chamber. It was.

また、実施例サンプルでは、排気管の内部への純水の侵入は確認されなかったが、比較例サンプルでは、液体トラップ内に多量の純水が吸引された。   In the example sample, no entry of pure water into the exhaust pipe was confirmed, but in the comparative sample, a large amount of pure water was sucked into the liquid trap.

本発明によれば、速やかな液漏れの検知が可能であり、かつ、減圧装置側への液体の侵入を抑制できる脱気装置を提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the deaeration apparatus which can detect a liquid leak quickly and can suppress the penetration | invasion of the liquid to the decompression device side can be provided.

本発明の脱気装置の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the deaeration apparatus of this invention. 本発明の脱気装置における多孔質フィルターの配置方法の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the arrangement | positioning method of the porous filter in the deaeration apparatus of this invention. 本発明の脱気装置における多孔質フィルターの配置方法の別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the arrangement | positioning method of the porous filter in the deaeration apparatus of this invention. 本発明の脱気装置における多孔質フィルターの配置方法のまた別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the arrangement | positioning method of the porous filter in the deaeration apparatus of this invention. 本発明の脱気装置における気体透過性チューブの接続方法の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the connection method of the gas permeable tube in the deaeration apparatus of this invention. 本発明の脱気装置の別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the deaeration apparatus of this invention. 従来の脱気装置の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the conventional deaeration apparatus typically.

符号の説明Explanation of symbols

1 脱気装置
2 減圧チャンバー
3 気体透過性チューブ
4 排気管
5 多孔質フィルター
11 流入口
12 流出口
13 第1の接続口
14 第2の接続口
21 蓋部
22 ハウジング
51 袋ナット
52 楔
53 Oリング
54 ナット
55 口金具
101 脱気装置
102 減圧チャンバー
103 気体透過性チューブ
104 真空引き用管
111 流入口
112 流出口
113 真空引き口
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Deaeration device 2 Depressurization chamber 3 Gas permeable tube 4 Exhaust pipe 5 Porous filter 11 Inlet 12 Outlet 13 1st connection port 14 2nd connection port 21 Lid part 22 Housing 51 Cap nut 52 Wedge 53 O-ring 54 Nut 55 Metal fitting 101 Deaeration device 102 Decompression chamber 103 Gas permeable tube 104 Vacuum evacuation tube 111 Inlet 112 Outlet 113 Vacuum evacuation port

Claims (6)

被脱気液体が流通する流入口および流出口、ならびに、減圧装置を接続する第1の接続口が形成された減圧チャンバーと、
一方の端部が前記流入口に接続され、かつ、他方の端部が前記流出口に接続された状態で前記減圧チャンバー内に収容され、前記流入口から流入した前記被脱気液体が内部を通過する気体透過性チューブと、
一方の端部が前記第1の接続口に接続され、他方の端部が前記減圧チャンバー内の底部近傍に達するように配置された排気管とを備え、
気体を透過し、かつ、液体の透過の障害となる多孔質フィルターが、前記排気管の排気路を塞ぐように、前記排気管および前記第1の接続口から選ばれる少なくとも1つに配置されていることを特徴とする脱気装置。
An inflow port and an outflow port through which the liquid to be degassed flows, and a decompression chamber in which a first connection port for connecting a decompression device is formed;
One end is connected to the inflow port, and the other end is connected to the outflow port, and is accommodated in the decompression chamber. A gas permeable tube passing through;
An exhaust pipe disposed so that one end is connected to the first connection port and the other end reaches near the bottom in the decompression chamber;
A porous filter that transmits gas and obstructs the permeation of liquid is disposed in at least one selected from the exhaust pipe and the first connection port so as to block the exhaust passage of the exhaust pipe. A deaeration device characterized by comprising:
前記多孔質フィルターが、液体を実質的に透過しない請求項1に記載の脱気装置。   The deaeration apparatus according to claim 1, wherein the porous filter does not substantially transmit liquid. 前記多孔質フィルターが、前記排気管における前記他方の端部に配置されている請求項1に記載の脱気装置。   The deaeration apparatus according to claim 1, wherein the porous filter is disposed at the other end of the exhaust pipe. 前記多孔質フィルターが、フッ素樹脂の多孔膜を含む請求項1に記載の脱気装置。   The deaeration apparatus according to claim 1, wherein the porous filter includes a porous film of a fluororesin. 前記フッ素樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンである請求項4に記載の脱気装置。   The deaerator according to claim 4, wherein the fluororesin is polytetrafluoroethylene. 前記減圧チャンバーに、前記減圧チャンバー内の圧力を測定する装置を接続する第2の接続口がさらに形成されている請求項1に記載の脱気装置。   The deaeration device according to claim 1, wherein a second connection port for connecting a device for measuring the pressure in the decompression chamber is further formed in the decompression chamber.
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