JP2006290400A - Package filled with ion-containing contents, and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plastic container excellent in barrier properties and transparency and hard to degrade in the barrier properties due to a direct contact with contents. <P>SOLUTION: An inorganic oxide film is formed at least on the internal surface of the plastic container by a plasma CVD method. The inorganic oxide film is subjected to hydrogen plasma treatment with an electron density of 1×10<SP>14</SP>m<SP>-3</SP>to 1×10<SP>18</SP>m<SP>-3</SP>, thereby obtaining a package capable of keeping high barrier properties for a long time even if filled with ion-containing contents. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ペットボトルなどのプラスチック製容器に対する酸化珪素膜の被膜処理に関する。 The present invention relates to a coating process of a silicon oxide film on a plastic container such as a PET bottle.

ペットボトルなどのプラスチック製容器は、その成形の容易性や軽量性、さらには低コストである点等の種々の特性から、様々な分野において広く使用されている。 Plastic containers such as PET bottles are widely used in various fields because of their various characteristics such as easy molding, light weight, and low cost.

しかしながら、プラスチック製容器は、酸素や二酸化炭素、水蒸気のような低分子ガスを透過する性質を有しており、それが問題となっていることも多々ある。 However, plastic containers have the property of permeating low-molecular gases such as oxygen, carbon dioxide, and water vapor, which often causes problems.

そうした問題を解決する手段として、プラスチック製容器の内面または外面に、炭素膜や酸化珪素膜などの無機酸化物膜を成膜し、プラスチック製容器のガスバリア性を向上させる技術がある。プラスチック容器の内面に成膜した場合、未処理容器の10〜20倍程度のガスバリア性が得られている。 As means for solving such a problem, there is a technique for improving the gas barrier property of a plastic container by forming an inorganic oxide film such as a carbon film or a silicon oxide film on the inner surface or outer surface of the plastic container. When a film is formed on the inner surface of a plastic container, a gas barrier property of about 10 to 20 times that of an untreated container is obtained.

一方、プラスチック製容器の外面に成膜した場合のガスバリア性は未処理容器の2〜5倍程度しか得られてあらず、ペットボトルなどへの成膜処理としては内面成膜が一般的に用いられている。 On the other hand, the gas barrier property when the film is formed on the outer surface of the plastic container is only about 2 to 5 times that of the untreated container, and the inner surface film formation is generally used as a film forming process for a PET bottle or the like. It has been.

プラスチック製容器への成膜方法としてはプラズマCVD法や真空蒸着法およびスパッタ法が実用化されている。容器内面に成膜する場合、真空蒸着法やスパッタ法では困難でありプラズマCVD法が用いられる。 As a method for forming a film on a plastic container, a plasma CVD method, a vacuum deposition method and a sputtering method have been put into practical use. When forming a film on the inner surface of the container, it is difficult to use a vacuum evaporation method or a sputtering method, and a plasma CVD method is used.

プラズマCVD法を用いた成膜方法としては、例えば特許文献1に示されているように、容器の外形とほぼ相似形の中空状の外部電極と、容器とほぼ相似形の内部電極の間に容器を設置し、外部電極に高周波電力を印加して容量結合型のプラズマを発生させ、容器内面にガスバリア性を有する薄膜を成膜する方法がある。 As a film forming method using the plasma CVD method, for example, as shown in Patent Document 1, a hollow external electrode substantially similar to the outer shape of the container and an internal electrode substantially similar to the container are disposed. There is a method in which a container is installed, high frequency power is applied to an external electrode to generate capacitively coupled plasma, and a thin film having a gas barrier property is formed on the inner surface of the container.

無機酸化物膜は高いバリア性を得ることができ、かつ透明性に優れているという利点がある。 An inorganic oxide film has an advantage that a high barrier property can be obtained and the transparency is excellent.

プラスチック製容器内面への無機酸化物膜の成膜処理としては有機シラン材料を用いて酸化珪素膜をプラズマCVD法で成膜する方法が実用化されている。 As a process for forming an inorganic oxide film on the inner surface of a plastic container, a method of forming a silicon oxide film using an organic silane material by a plasma CVD method has been put into practical use.

こうした技術によって製造される無機酸化物被膜を形成したプラスチック製容器は、無機酸化物被膜面に内容物が直接触れると膜が劣化してバリア性が低下するという問題を有していた。 The plastic container formed with the inorganic oxide film manufactured by such a technique has a problem that the film deteriorates and the barrier property decreases when the contents directly touch the surface of the inorganic oxide film.

バリア性が低下したサンプルでは次第に膜厚が低下していき最終的には、基材から膜が剥がれてしまっていた。例えば、水道水、ミネラルウォーター、お茶、食塩水などの内容物を充填した場合、数日のうちに未処理ボトル並みまでバリア性が低下することが分かっている。 In the sample in which the barrier property was lowered, the film thickness was gradually lowered, and finally the film was peeled off from the base material. For example, it has been found that when contents such as tap water, mineral water, tea, and saline are filled, the barrier property is reduced to the level of an untreated bottle within a few days.

バリア性が変化しにくい内容物としては無極性の油などが挙げられる。 Nonpolar oil etc. are mentioned as a content in which barrier property does not change easily.

バリア低下が発生する内容物の特徴としては各種イオンを含む水溶液であるという特徴がある。よって、酸化珪素膜に対して内容物中のイオンが何らかの作用をしてバリア性が低下している可能性が高い。 A characteristic of the content in which the barrier lowering occurs is that it is an aqueous solution containing various ions. Therefore, there is a high possibility that the ions in the contents have some effect on the silicon oxide film and the barrier property is lowered.

また、プラズマCVD法で成膜された酸化珪素膜の表面には膜の結合に寄与していない未結合手、いわゆるダングリングボンドが発生する。 In addition, dangling bonds that do not contribute to the bonding of the film, so-called dangling bonds, are generated on the surface of the silicon oxide film formed by the plasma CVD method.

ダングリングボンドは活性が高いため、表面への不純物の吸着や反応が起こりやすい。 Since dangling bonds are highly active, impurities are likely to be adsorbed and reacted on the surface.

内容物中のイオンとダングリングボンドが反応することが膜の劣化の起点となる可能性がある。
特開平8−53117号公報
The reaction between ions in the contents and dangling bonds may be a starting point for deterioration of the film.
JP-A-8-53117

本発明の目的は、バリア性と透明性に優れ、内容物の直接接触によるバリア性の低下が発生しにくいプラスチック製容器を提供することである。 An object of the present invention is to provide a plastic container that is excellent in barrier properties and transparency and is less likely to be deteriorated by direct contact of contents.

請求項1に記載の発明は、少なくとも、プラスチック製容器の内面に無機酸化物膜が形成されており、無機酸化物膜は水素プラズマ処理がなされていることを特徴とするイオンを含む内容物を充填する包装体である。 The invention according to claim 1 is characterized in that an inorganic oxide film is formed at least on the inner surface of a plastic container, and the inorganic oxide film is subjected to hydrogen plasma treatment, and contains an ion-containing content. A package to be filled.

請求項2に記載の発明は、前記プラスチック製容器がプラスチックボトルであることを特徴とする請求項1記載のイオンを含む内容物を充填する包装体である。 The invention according to claim 2 is the package for filling the content containing ions according to claim 1, wherein the plastic container is a plastic bottle.

請求項3に記載の発明は、前記無機酸化物膜が酸化珪素膜であることを特徴とする請求項1乃至請求項2のいずれかに記載のイオンを含む内容物を充填する包装体である。 The invention according to claim 3 is a package body filled with the content containing ions according to claim 1 or 2, wherein the inorganic oxide film is a silicon oxide film. .

請求項4に記載の発明は、前記無機酸化物膜は、プラズマCVD法により形成されたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のイオンを含む内容物を充填する包装体の製造方法である。 The invention according to claim 4 is characterized in that the inorganic oxide film is formed by a plasma CVD method, and the package is filled with the content containing ions according to any one of claims 1 to 3. It is a manufacturing method of a body.

請求項5に記載の発明は、前記水素プラズマ処理における電子密度が1×1014−3から1×1018−3であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のイオンを含む内容物を充填する包装体の製造方法である。 The invention according to claim 5 is characterized in that the electron density in the hydrogen plasma treatment is 1 × 10 14 m −3 to 1 × 10 18 m −3. It is a manufacturing method of the package body filled with the content containing the described ion.

プラスチック製容器内面の無機酸化物膜に水素プラズマ処理を施す事により、水道水、ミネラルウォーター、お茶、食塩水などの各種イオンを含む内容物を充填した場合にも、包装体のバリア性の経時劣化を防止できる。 When the inorganic oxide film on the inner surface of a plastic container is treated with hydrogen plasma, the contents of barriers of the package over time are filled even when the contents containing various ions such as tap water, mineral water, tea, and saline are filled. Deterioration can be prevented.

まず、プラスチック製容器内面に無機酸化物膜を成膜する。 First, an inorganic oxide film is formed on the inner surface of a plastic container.

前記のプラスチック製容器の材料としては、PET(ポリエチレンテレフタレート)、ポリエチレンなどを用いることができる。 As a material of the plastic container, PET (polyethylene terephthalate), polyethylene, or the like can be used.

前記の無機酸化物膜の成膜方法としては、真空蒸着法、プラズマCVD法やスパッタ法を用いることができるが、容器内面に成膜処理を施す場合プラズマCVD法が最も有効である。 As a method for forming the inorganic oxide film, a vacuum vapor deposition method, a plasma CVD method, or a sputtering method can be used, but the plasma CVD method is most effective when a film forming process is performed on the inner surface of the container.

前記の無機酸化物膜として酸化珪素膜を用いる場合,成膜原料としては有機シラン系の、ヘキサメチルジシロキサン、テトラエトキシシラン、テトラメチルシラン、テトラメトキシシランを用いることができる。 When a silicon oxide film is used as the inorganic oxide film, organic silane-based hexamethyldisiloxane, tetraethoxysilane, tetramethylsilane, or tetramethoxysilane can be used as a film forming material.

次に、前記の無機酸化物膜に水素プラズマ処理を施す。 Next, hydrogen plasma treatment is performed on the inorganic oxide film.

前記の無機酸化物膜の水素プラズマ条件としては、電子密度が1×1014−3から1×1018−3の条件を用いることができる。 As the hydrogen plasma condition of the inorganic oxide film, an electron density of 1 × 10 14 m −3 to 1 × 10 18 m −3 can be used.

プラスチック製容器内面に形成された無機酸化物膜面に対し水素プラズマ処理を行うと、膜表面のダングリングボンドに水素が結合することによりダングリングボンド数が減少し、プラスチック製容器のバリア低下を抑えることができると考えられる。 When hydrogen plasma treatment is performed on the surface of an inorganic oxide film formed on the inner surface of a plastic container, the number of dangling bonds decreases due to hydrogen bonding to the dangling bonds on the surface of the film, thereby lowering the barrier of the plastic container. It is thought that it can be suppressed.

水素プラズマ処理を行う時、酸素ガスやアルゴンガスなどでプラズマを発生させるのに比べてプラズマが不安定になりやすい傾向がある。具体的にはプラスチック製容器内の一部にのみプラズマが局在し、プラズマがプラスチック製容器内に均一に発生しないことがある。 When hydrogen plasma treatment is performed, the plasma tends to become unstable as compared with the case where plasma is generated with oxygen gas or argon gas. Specifically, the plasma may be localized only in a part of the plastic container, and the plasma may not be uniformly generated in the plastic container.

こうした場合、水素プラズマ処理が無機酸化物膜に対し均一に成されずに問題となる。 In such a case, the hydrogen plasma treatment is not uniformly performed on the inorganic oxide film, which causes a problem.

それを回避するために印加する高周波電力を調整して電子密度が1×1014−3から1×1018−3のプラズマにする。こうすることにより、プラズマが安定し膜面全体に対し均一な処理を施すことができる. In order to avoid this, the high frequency power applied is adjusted so that the plasma has an electron density of 1 × 10 14 m −3 to 1 × 10 18 m −3 . By doing so, the plasma is stabilized and the entire film surface can be uniformly treated.

プラスチック製容器として、厚さ350μm、容量500mlのPET(ポリエチレンテレフタレート)ボトルを用いた。 As a plastic container, a PET (polyethylene terephthalate) bottle having a thickness of 350 μm and a capacity of 500 ml was used.

まず、PETボトルを真空チャンバ内に設置し、真空チャンバ内が0.1Paに到達するまで真空排気を行った。 First, the PET bottle was placed in a vacuum chamber, and evacuation was performed until the inside of the vacuum chamber reached 0.1 Pa.

次に、PETボトル内部に酸化珪素膜の原料ガスであるヘキサメチルジシロキサン2sccmおよび酸素ガス50sccmを供給した。このとき、真空チャンバ内の圧力は5.5Paであった。 Next, 2 sccm of hexamethyldisiloxane and 50 sccm of oxygen gas, which are raw material gases for the silicon oxide film, were supplied into the PET bottle. At this time, the pressure in the vacuum chamber was 5.5 Pa.

次に、13.56MHz、200Wの高周波電力を印加し、ボトル内部にプラズマを発生させ、10秒間、PETボトル内面に酸化珪素成膜処理を行った. Next, high frequency power of 13.56 MHz and 200 W was applied to generate plasma inside the bottle, and a silicon oxide film was formed on the inner surface of the PET bottle for 10 seconds.

次に、ボトル内部に水素ガスを50sccm供給した。このとき真空チャンバ内の圧力は3.0Paであった。 Next, 50 sccm of hydrogen gas was supplied into the bottle. At this time, the pressure in the vacuum chamber was 3.0 Pa.

最後に、13.56MHz,200Wの高周波電力を印加することによりボトル内部にプラズマを発生させ、酸化珪素膜表面に2秒間水素プラズマ処理を行って、イオンを含む内容物を充填する包装体を得た。このとき、プローブ法によりプラズマの電子密度を測定したところ2×1016−3であった。 Finally, plasma is generated inside the bottle by applying high-frequency power of 13.56 MHz and 200 W, and a hydrogen plasma treatment is performed on the surface of the silicon oxide film for 2 seconds to obtain a package filled with contents containing ions. It was. At this time, when the electron density of the plasma was measured by the probe method, it was 2 × 10 16 m −3 .

このようにして作製したペットボトルのガスバリア性を調べるために、ペットボトルの酸素透過量を調べた。 In order to examine the gas barrier properties of the PET bottles thus produced, the oxygen permeation amount of the PET bottles was examined.

酸化珪素成膜処理を行っていないペットボトルの酸素透過量は0.250fmol/(pkg・s・Pa)であったのに対し、酸化珪素成膜処理を行った後、酸化珪素膜に水素プラズマ処理を施したペットボトルの酸素透過量は0.020fmol/(pkg・s・Pa)であった。 The oxygen permeation amount of the PET bottle not subjected to the silicon oxide film formation process was 0.250 fmol / (pg · s · Pa), whereas after the silicon oxide film formation process was performed, hydrogen plasma was applied to the silicon oxide film. The oxygen permeation amount of the treated PET bottle was 0.020 fmol / (pg · s · Pa).

すなわち、処理したペットボトルは、未処理ペットボトルの約10倍の酸素バリア性が得られた。 That is, the treated PET bottle had an oxygen barrier property about 10 times that of the untreated PET bottle.

酸化珪素成膜処理を行った後に水素プラズマ処理をしたペットボトルに、1%NaCl水溶液500mlを充填し、40℃環境で30日間保存したPETボトルの酸素透過量は0.020fmol/(pkg・s・Pa)であった.
<比較例1>
PET bottles that have been subjected to hydrogen plasma treatment after silicon oxide film formation treatment are filled with 500 ml of 1% NaCl aqueous solution and stored in a 40 ° C. environment for 30 days. The oxygen transmission rate of PET bottles is 0.020 fmol / (pg · s -Pa).
<Comparative Example 1>

プラスチック製容器として、厚さ350μm、容量500mlのPET(ポリエチレンテレフタレート)ボトルを用いた。 As a plastic container, a PET (polyethylene terephthalate) bottle having a thickness of 350 μm and a capacity of 500 ml was used.

まず、PETボトルを真空チャンバ内に設置し、真空チャンバ内が0.1Paに到達するまで真空排気を行った。 First, the PET bottle was placed in a vacuum chamber, and evacuation was performed until the inside of the vacuum chamber reached 0.1 Pa.

次に、PETボトル内部に酸化珪素膜の原料ガスであるヘキサメチルジシロキサン2sccmおよび酸素ガス50sccmを供給した。このとき、真空チャンバ内の圧力は5.5Paであった。 Next, 2 sccm of hexamethyldisiloxane and 50 sccm of oxygen gas, which are raw material gases for the silicon oxide film, were supplied into the PET bottle. At this time, the pressure in the vacuum chamber was 5.5 Pa.

次に、13.56MHz、200Wの高周波電力を印加し、ボトル内部にプラズマを発生させ、10秒間、PETボトル内面に酸化珪素成膜処理を行った. Next, high frequency power of 13.56 MHz and 200 W was applied to generate plasma inside the bottle, and a silicon oxide film was formed on the inner surface of the PET bottle for 10 seconds.

このようにして作製したペットボトルのガスバリア性を調べるために、ペットボトルの酸素透過量を調べた。 In order to examine the gas barrier properties of the PET bottles thus produced, the oxygen permeation amount of the PET bottles was examined.

酸化珪素成膜処理を行っていないペットボトルの酸素透過量は0.250fmol/(pkg・s・Pa)であったのに対し、酸化珪素成膜処理を行ったペットボトルの酸素透過量は0.020fmol/(pkg・s・Pa)であった。 The oxygen permeation amount of the PET bottle not subjected to the silicon oxide film forming treatment was 0.250 fmol / (pg · s · Pa), whereas the oxygen permeation amount of the PET bottle subjected to the silicon oxide film forming treatment was 0. It was 0.020 fmol / (pg · s · Pa).

すなわち、処理したペットボトルは、未処理ペットボトルの約10倍の酸素バリア性が得られた。 That is, the treated PET bottle had an oxygen barrier property about 10 times that of the untreated PET bottle.

酸化珪素成膜処理を行ったペットボトルに、1%NaCl水溶液500mlを充填し、40℃環境で30日間保存したPETボトルの酸素透過量は0.250fmol/(pkg・s・Pa)であった。
<比較例2>
A PET bottle subjected to silicon oxide film formation treatment was filled with 500 ml of a 1% NaCl aqueous solution and stored in a 40 ° C. environment for 30 days. The oxygen permeation amount of the PET bottle was 0.250 fmol / (pg · s · Pa). .
<Comparative example 2>

プラスチック製容器として、厚さ350μm、容量500mlのPET(ポリエチレンテレフタレート)ボトルを用いた。 As a plastic container, a PET (polyethylene terephthalate) bottle having a thickness of 350 μm and a capacity of 500 ml was used.

まず、PETボトルを真空チャンバ内に設置し、真空チャンバ内が0.1Paに到達するまで真空排気を行った。 First, the PET bottle was placed in a vacuum chamber, and evacuation was performed until the inside of the vacuum chamber reached 0.1 Pa.

次に、PETボトル内部に酸化珪素膜の原料ガスであるヘキサメチルジシロキサン2sccmおよび酸素ガス50sccmを供給した。このとき、真空チャンバ内の圧力は5.5Paであった。 Next, 2 sccm of hexamethyldisiloxane and 50 sccm of oxygen gas, which are raw material gases for the silicon oxide film, were supplied into the PET bottle. At this time, the pressure in the vacuum chamber was 5.5 Pa.

次に、13.56MHz、200Wの高周波電力を印加し、ボトル内部にプラズマを発生させ、10秒間、PETボトル内面に酸化珪素成膜処理を行った. Next, high frequency power of 13.56 MHz and 200 W was applied to generate plasma inside the bottle, and a silicon oxide film was formed on the inner surface of the PET bottle for 10 seconds.

次に、ボトル内部に水素ガスを50sccm供給した。このとき真空チャンバ内の圧力は3.0Paであった。 Next, 50 sccm of hydrogen gas was supplied into the bottle. At this time, the pressure in the vacuum chamber was 3.0 Pa.

最後に、13.56MHz、10Wの高周波電力を印加することによりボトル内部にプラズマを発生させ、酸化珪素膜表面に2秒間水素プラズマ処理を行って、イオンを含む内容物を充填する包装体を得た。 Finally, plasma is generated inside the bottle by applying high frequency power of 13.56 MHz and 10 W, and a hydrogen plasma treatment is performed on the surface of the silicon oxide film for 2 seconds to obtain a package filled with contents containing ions. It was.

このとき、プローブ法によりプラズマの電子密度を測定したところ5×1013−3であった。プラズマを観察したところボトルの底部付近にはプラズマが発光していたが、その他の部分にはプラズマの発光が確認できなかった。 At this time, when the electron density of the plasma was measured by the probe method, it was 5 × 10 13 m −3 . When plasma was observed, plasma was emitted near the bottom of the bottle, but no plasma emission could be confirmed in other parts.

このようにして作製したペットボトルのガスバリア性を調べるために、ペットボトルの酸素透過量を調べた。 In order to examine the gas barrier properties of the PET bottles thus produced, the oxygen permeation amount of the PET bottles was examined.

酸化珪素成膜処理を行っていないペットボトルの酸素透過量は0.250fmol/(pkg・s・Pa)であったのに対し、酸化珪素成膜処理を行った後、酸化珪素膜に水素プラズマ処理を施したペットボトルの酸素透過量は0.020fmol/(pkg・s・Pa)であった。 The oxygen permeation amount of the PET bottle not subjected to the silicon oxide film formation process was 0.250 fmol / (pg · s · Pa), whereas after the silicon oxide film formation process was performed, hydrogen plasma was applied to the silicon oxide film. The oxygen permeation amount of the treated PET bottle was 0.020 fmol / (pg · s · Pa).

すなわち、処理したペットボトルは、未処理ペットボトルの約10倍の酸素バリア性が得られた。 That is, the treated PET bottle had an oxygen barrier property about 10 times that of the untreated PET bottle.

酸化珪素成膜処理を行った後に水素プラズマ処理をしたペットボトルに、1%NaCl水溶液500mlを充填し、40℃環境で30日間保存したPETボトルの酸素透過量は0.240fmol/(pkg・s・Pa)であった。 PET bottles that have been subjected to hydrogen plasma treatment after silicon oxide film formation treatment are filled with 500 ml of 1% NaCl aqueous solution and stored in a 40 ° C. environment for 30 days, the oxygen permeation rate of the PET bottle is 0.240 fmol / (pk · s -Pa).

本発明により作製される容器は高い酸素バリア性をもつため、通常のプラスチック容器に比べて保存期間を長くしても内容物の酸化などが起こらない。 Since the container produced according to the present invention has a high oxygen barrier property, the contents are not oxidized even if the storage period is longer than that of a normal plastic container.

また、水道水、ミネラルウォーター、お茶、食塩水などの各種イオンを含む水溶液など酸化珪素膜の劣化により適用が困難だった内容物に対しても利用することができる。 It can also be used for contents that are difficult to apply due to deterioration of the silicon oxide film, such as aqueous solutions containing various ions such as tap water, mineral water, tea, and saline.

Claims (5)

少なくとも、プラスチック製容器の内面に無機酸化物膜が形成されており、該無機酸化物膜は水素プラズマ処理がなされていることを特徴とするイオンを含む内容物を充填する包装体。 At least an inorganic oxide film is formed on the inner surface of a plastic container, and the inorganic oxide film is subjected to a hydrogen plasma treatment. 前記プラスチック製容器がプラスチックボトルであることを特徴とする請求項1記載のイオンを含む内容物を充填する包装体。 The package for filling contents containing ions according to claim 1, wherein the plastic container is a plastic bottle. 前記無機酸化物膜が酸化珪素膜であることを特徴とする請求項1乃至請求項2のいずれかに記載のイオンを含む内容物を充填する包装体。 The package body filled with contents containing ions according to claim 1, wherein the inorganic oxide film is a silicon oxide film. 前記無機酸化物膜は、プラズマCVD法により形成されたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のイオンを含む内容物を充填する包装体の製造方法。 The said inorganic oxide film was formed by plasma CVD method, The manufacturing method of the package body with which the content containing the ion in any one of Claim 1 thru | or 3 is filled. 前記水素プラズマ処理における電子密度が1×1014−3から1×1018−3であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のイオンを含む内容物を充填する包装体の製造方法。 5. The content containing ions according to claim 1, wherein an electron density in the hydrogen plasma treatment is 1 × 10 14 m −3 to 1 × 10 18 m −3. A manufacturing method for a package.
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