JP2006267603A - Spacer coating device and spacer coating method - Google Patents

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JP2006267603A JP2005086043A JP2005086043A JP2006267603A JP 2006267603 A JP2006267603 A JP 2006267603A JP 2005086043 A JP2005086043 A JP 2005086043A JP 2005086043 A JP2005086043 A JP 2005086043A JP 2006267603 A JP2006267603 A JP 2006267603A
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Hiroto Uchida
寛人 内田
Koji Hane
功二 羽根
Hiroshi Koshina
浩史 越名
Takanori Tsuji
孝憲 辻
Masaaki Murata
真朗 村田
Yasuzo Tanaka
保三 田中
Mitsuru Yahagi
充 矢作
Junpei Yuyama
純平 湯山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spacer coating device capable of arranging more than a reference number of spacers at a discharge position. <P>SOLUTION: A printing head 21 and a detecting device 23 are arranged on a coating base 13 and discharged liquid is discharged onto the discharge position from the printing head 21 to arrange spacers. A detecting device 23 counts the spacers arranged at the discharge position, sets a deficient discharge position A<SB>x,y</SB>to a re-discharge position, and discharges discharged liquid from the same printing head 21 to add spacers. The processing object 11 where more than a reference number of spacers are arranged can be taken out of the spacer coating device 1. The printing head discharging the discharge liquid to the discharge position discharges the discharged liquid to the re-discharge position, so this spacer coating device 1 is small-sized. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は処理対象物にスペーサを配置する装置に関し、特に、スペーサが分散された吐出液を処理対象物上に吐出してスペーサを配置するスペーサ塗布装置に関する。   The present invention relates to an apparatus for disposing a spacer on a processing object, and more particularly to a spacer coating apparatus for disposing a spacer by discharging a discharge liquid in which spacers are dispersed onto the processing object.

従来より、液晶パネルの液晶を保持する基板間には、基板間の間隔を一定にするためにスペーサが挿入されている。   Conventionally, spacers have been inserted between the substrates holding the liquid crystal of the liquid crystal panel in order to keep the distance between the substrates constant.

インクジェットプリンタは、吐出量や吐出位置の精密制御が可能であることから、インクに替え、スペーサが分散された吐出液を吐出させ、カラーフィルタや基板上にスペーサを配置している。   Since the ink jet printer can precisely control the discharge amount and the discharge position, the discharge liquid in which the spacer is dispersed is discharged instead of the ink, and the spacer is arranged on the color filter or the substrate.

しかしながら、処理対象物上に一定量の吐出液を吐出しても、その吐出液中に常に同じ個数のスペーサが含有されているとは限らない。スペーサが必要個数を下回る吐出位置があると、基板間の距離が不均一になり、色むら等の原因となる。   However, even if a certain amount of discharge liquid is discharged onto the object to be processed, the same number of spacers are not always contained in the discharge liquid. If there is a discharge position where the number of spacers is less than the required number, the distance between the substrates becomes non-uniform, causing color irregularities and the like.

スペーサの配置方法については、下記のような先行技術がある。
特開平11−24083号公報 特開2002−372717号公報 特開2002−72218号公報 特開2005−4094号公報
As for the arrangement method of the spacer, there are the following prior arts.
JP-A-11-24083 JP 2002-372717 A JP 2002-72218 A JP 2005-4094 A

本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、スペーサの配置ムラを解消し、吐出位置に基準個数以上のスペーサを配置できるスペーサ塗布装置を提供することにある。   The present invention was created to solve the above-described disadvantages of the prior art, and an object of the present invention is to provide a spacer coating apparatus that can eliminate the uneven arrangement of the spacers and can dispose a reference number or more of spacers at the discharge position. It is in.

上記課題を解決するために本発明は、処理対象物が配置される吐出台と、スペーサが分散された吐出液を前記処理対象物表面の吐出位置に吐出する印刷ヘッドと、前記吐出位置の状態を検出する検出装置と、前記吐出台上に配置された処理対象物と前記印刷ヘッドの相対的な位置関係と、前記処理対象物と前記検出装置の相対的な位置関係を変更する移動装置と、前記検出装置の検出結果に基き、前記吐出位置から再吐出位置を選択する制御装置とを有し、前記印刷ヘッドと前記検出装置は前記吐出台上に配置され、前記吐出位置に吐出液を吐出した印刷ヘッドが、前記再吐出位置に前記吐出液を吐出するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記制御装置は、前記検出装置の検出結果から前記吐出位置上の前記スペーサの個数を計数し、基準個数と比較して前記吐出位置から再吐出位置を選択するスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記検出装置は、前記処理対象物の相対的な移動方向とは交差する移動経路に沿って、前記印刷ヘッドと一緒に往復移動するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記往復移動の往動時に前記印刷ヘッドが吐出液を吐出位置に吐出すると共に前記印刷ヘッドに追随する前記検出装置が前記吐出位置の状態を検出し、前記印刷ヘッドは、復動時に選択された再吐出位置に吐出液を吐出するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、処理対象物が配置される吐出台と、スペーサが分散された吐出液を前記処理対象物表面に吐出する印刷ヘッドと、前記処理対象物の表面の状態を検出する検出装置とを有し、前記吐出台上に配置された処理対象物と前記印刷ヘッドとを相対的に移動させ、前記印刷ヘッドから所定の吐出位置に前記吐出液を吐出させ、前記吐出位置に吐出液が吐出された処理対象物と前記検査装置とを相対的に移動させ、前記検出装置に前記吐出位置上の状態を検出させ、前記検出装置の検出結果に基き、前記吐出位置から再吐出位置を選択し、前記印刷ヘッドから前記再吐出位置に前記吐出液を吐出させるスペーサ塗布方法である。
また、本発明は、前記検出装置の検出結果から前記吐出位置上の前記スペーサの個数を計数し、基準個数と比較して前記吐出位置から再吐出位置を選択するスペーサ塗布方法である。
また、本発明は 前記検出装置を前記印刷ヘッドと一緒に移動させ、前記印刷ヘッドによって前記吐出位置に前記吐出液を吐出しながら、前記検出装置により、既に前記吐出液が吐出された前記吐出位置の状態を検出するスペーサ塗布方法である。
また、本発明は、前記検出装置と前記印刷ヘッドとを一緒に往復移動させるスペーサ塗布方法である。
In order to solve the above problems, the present invention provides a discharge table on which a processing object is arranged, a print head that discharges a discharge liquid in which spacers are dispersed to a discharge position on the surface of the processing object, and a state of the discharge position. A detection device that detects the relative position relationship between the processing object and the print head disposed on the ejection table, and a movement device that changes a relative positional relationship between the processing object and the detection device. And a control device that selects a re-ejection position from the ejection position based on the detection result of the detection device, and the print head and the detection device are disposed on the ejection table, and the ejection liquid is delivered to the ejection position. It is a spacer coating device configured such that the ejected print head ejects the ejection liquid to the re-ejection position.
Further, according to the present invention, the control device counts the number of the spacers on the discharge position from the detection result of the detection device, and selects the re-discharge position from the discharge position in comparison with a reference number. It is.
Further, the present invention is a spacer coating device configured such that the detection device reciprocates together with the print head along a movement path that intersects a relative movement direction of the processing object. .
Further, in the present invention, the detection device that follows the print head detects the state of the discharge position while the print head discharges the discharge liquid to the discharge position during the reciprocating movement, and the print head includes: It is a spacer coating device configured to discharge the discharge liquid to a re-discharge position selected at the time of backward movement.
In addition, the present invention provides a discharge table on which a processing object is disposed, a print head that discharges a discharge liquid in which spacers are dispersed to the surface of the processing object, and a detection device that detects a state of the surface of the processing object. The processing object disposed on the discharge table and the print head are relatively moved, the discharge liquid is discharged from the print head to a predetermined discharge position, and the discharge liquid is discharged to the discharge position. Is moved relative to the inspection apparatus, the detection device detects a state on the discharge position, and the re-discharge position is determined from the discharge position based on the detection result of the detection device. A spacer coating method that selects and discharges the discharge liquid from the print head to the re-discharge position.
Further, the present invention is a spacer coating method in which the number of the spacers on the discharge position is counted from the detection result of the detection device, and the re-discharge position is selected from the discharge position by comparison with a reference number.
Further, the present invention provides the discharge position where the discharge liquid has already been discharged by the detection apparatus while moving the detection apparatus together with the print head and discharging the discharge liquid to the discharge position by the print head. This is a spacer coating method for detecting the state.
The present invention is also a spacer coating method in which the detection device and the print head are reciprocated together.

本発明は上記のように構成されており、一台の吐出台上に印刷ヘッドと検出装置が配置されており、処理対象物と印刷ヘッドと検出装置が吐出台上で相対移動する際に、印刷ヘッドによって吐出位置にスペーサが配置され、スペーサの個数が不足する吐出位置が検出装置によって検出される。   The present invention is configured as described above, the print head and the detection device are arranged on one discharge table, and when the object to be processed, the print head, and the detection device relatively move on the discharge table, Spacers are arranged at the ejection positions by the print head, and ejection positions where the number of spacers is insufficient are detected by the detection device.

そしてスペーサ個数が不足する吐出位置が再吐出位置に設定され、吐出位置にスペーサを配置したのと同一の印刷ヘッドにより、再吐出位置にスペーサが追加される。   Then, the ejection position where the number of spacers is insufficient is set as the re-ejection position, and the spacer is added to the re-ejection position by the same print head in which the spacer is arranged at the ejection position.

検出装置と印刷ヘッドは、互いに固定し、処理対象物に対して一緒に相対移動するように構成することができる。その場合、検出装置は印刷ヘッドの片脇、両脇に配置したり、又は印刷ヘッドに対する処理対象物の移動方向に沿って配置することができる。   The detection device and the print head can be fixed to each other and configured to move relative to the object to be processed together. In this case, the detection device can be arranged on one side or both sides of the print head, or can be arranged along the moving direction of the processing object with respect to the print head.

処理対象物が処理台上を移動する場合、印刷ヘッドと検出装置は処理対象物の移動経路とは交差する方向、特に、処理対象物の移動経路と垂直な方向に移動するように構成することができる。   When the processing object moves on the processing table, the print head and the detection device are configured to move in a direction intersecting the movement path of the processing object, in particular, in a direction perpendicular to the movement path of the processing object. Can do.

他方、処理対象物が処理台上で静止している場合、印刷ヘッドと検出装置は互いに交差する方向、特に、互いに垂直に交差する方向に移動するように構成することができる。   On the other hand, when the object to be processed is stationary on the processing table, the print head and the detection device can be configured to move in a direction crossing each other, particularly in a direction perpendicular to each other.

要するに、印刷ヘッドは処理対象物上の所望の吐出位置に吐出液を吐出できるように相対移動できれば良く、また、検出装置は、処理対象物上の吐出位置の状態を検出できるように相対移動できればよい。   In short, it is sufficient that the print head can be relatively moved so that the discharge liquid can be discharged to a desired discharge position on the processing object, and the detection device can be relatively moved so that the state of the discharge position on the processing object can be detected. Good.

特に、前記吐出台上に配置された処理対象物を所定の移動経路に沿って移動させる移動装置を有する場合、スペーサが分散された吐出液を前記処理対象物表面の吐出位置に吐出する印刷ヘッドと、前記吐出位置の状態を検出する検出装置と、前記検出装置の検出結果に基き、前記吐出位置から再吐出位置を選択する制御装置とを設け、前記印刷ヘッドと前記検出装置を前記吐出台上の前記処理対象物の移動経路上に配置し、前記吐出位置に吐出液を吐出した印刷ヘッドが、前記再吐出位置に前記吐出液を吐出するように構成することができる。   In particular, in the case of having a moving device that moves a processing object arranged on the discharge table along a predetermined movement path, a print head that discharges a discharging liquid in which spacers are dispersed to a discharging position on the surface of the processing object. A detection device that detects the state of the discharge position, and a control device that selects a re-discharge position from the discharge position based on a detection result of the detection device, and the print head and the detection device are connected to the discharge table. A print head that is arranged on the moving path of the processing object and that discharges the discharge liquid to the discharge position can discharge the discharge liquid to the re-discharge position.

その場合、前記検出装置は、前記処理対象物の移動経路とは交差する移動経路に沿って、前記印刷ヘッドと一緒に往復移動するように構成することができる。
また、前記印刷ヘッドと前記検出装置は同一の移動経路上を往復移動するように構成する場合、前記処理対象物の前記往復移動の往動時に前記印刷ヘッドが吐出液を吐出位置に吐出すると共に前記印刷ヘッドに追随する前記検出装置が前記吐出位置の状態を検出し、前記印刷ヘッドは、前記処理対象物の復動時に選択された再吐出位置に吐出液を吐出するように構成することができる。
In this case, the detection device can be configured to reciprocate together with the print head along a movement path that intersects the movement path of the processing object.
When the print head and the detection device are configured to reciprocate on the same movement path, the print head discharges a discharge liquid to a discharge position when the processing object moves forward and backward. The detection device that follows the print head detects the state of the discharge position, and the print head discharges the discharge liquid to a re-discharge position that is selected when the processing object moves backward. it can.

他方、前記印刷ヘッドが前記処理台上の互いに交差する二方向をそれぞれ往復移動し、且つ、前記検出装置が前記処理台上の互いに交差する二方向をそれぞれ往復移動するように構成される場合、前記印刷ヘッドを前記二方向に往復移動させ、前記吐出位置に前記吐出液を吐出させ、前記検出装置を前記二方向に往復移動させ、前記吐出位置の状態を検出することができる。   On the other hand, when the print head is configured to reciprocate in two directions intersecting each other on the processing table, and the detection device is configured to reciprocate in two directions intersecting each other on the processing table, The print head can be reciprocated in the two directions, the discharge liquid can be discharged to the discharge position, and the detection device can be reciprocated in the two directions to detect the state of the discharge position.

その場合、前記印刷ヘッドと前記検出装置を相対的に固定し、一緒に往復移動させることができる。
また、前記印刷ヘッドが前記吐出位置に前記吐出液を吐出しながら前記検出装置によって、吐出直後の他の吐出位置の状態を検出し、再吐出位置を設定することができる。
In that case, the print head and the detection device can be relatively fixed and reciprocated together.
In addition, while the print head discharges the discharge liquid to the discharge position, the detection device can detect the state of another discharge position immediately after discharge and set the re-discharge position.

その場合、吐出すべき前記吐出位置の全てに前記印刷ヘッドが前記吐出液を吐出した後、前記再吐出位置に前記吐出液を吐出することができるし、それとは異なり、前記印刷ヘッドの一方向の往復移動の往動時に前記吐出位置に吐出すると共に前記検出装置によって前記吐出位置の状態が検出され、設定された前記再吐出位置に、前記印刷ヘッドの復動時に吐出液を吐出することができる。   In that case, after the print head discharges the discharge liquid to all of the discharge positions to be discharged, the discharge liquid can be discharged to the re-discharge position. When the reciprocating movement of the print head moves, the discharge device discharges the discharge position, and the detection device detects the state of the discharge position, and discharges the discharge liquid to the set re-discharge position when the print head moves backward. it can.

所定の吐出位置に基準個数以上のスペーサが配置された処理対象物をスペーサ塗布装置から取り出すことができる。   A processing object in which a reference number or more of spacers are arranged at a predetermined discharge position can be taken out from the spacer coating apparatus.

図1、図2の符号1は本発明の第一例のスペーサ塗布装置を示している。図1は、該スペーサ塗布装置1を横方向から見た側面図、図2は上方から見た平面図である。   Reference numeral 1 in FIGS. 1 and 2 represents a spacer coating apparatus of a first example of the present invention. FIG. 1 is a side view of the spacer coating apparatus 1 viewed from the lateral direction, and FIG. 2 is a plan view viewed from above.

このスペーサ塗布装置1は、吐出台13を有している。
吐出台13の所定位置の上には、未処理の処理対象物11を配置する第一の場所15と、吐出台13上の、第一の場所15とは離間した位置の第二の場所16とが設定されており、不図示の搬送装置により、処理対象物11は、第一の場所15を起点、第二の場所16を折返し点として、第一、第二の場所15、16の間を往復移動するように構成されている。
The spacer coating apparatus 1 has a discharge table 13.
Above the predetermined position of the discharge table 13, a first place 15 where the unprocessed processing object 11 is arranged and a second place 16 on the discharge table 13 that is separated from the first place 15. And the processing object 11 is set between the first and second locations 15 and 16 with the first location 15 as the starting point and the second location 16 as the turning point. Are configured to reciprocate.

図1の符号30は、往復移動の移動経路を示しており、該移動経路30の上の第一の場所15と第二の場所16の間には、印刷ヘッド21が配置されており、移動経路30上の印刷ヘッド21と第二の場所の間には検出装置23が配置されている。   Reference numeral 30 in FIG. 1 indicates a reciprocating movement path, and a print head 21 is disposed between the first place 15 and the second place 16 on the moving path 30. A detection device 23 is disposed between the print head 21 on the path 30 and the second location.

以下、処理対象物11がカラーフィルタである場合のスペーサ塗布の手順について説明する。但し、本発明の処理対象物11はカラーフィルタに限定されるものではない。   Hereinafter, the procedure of spacer application when the processing object 11 is a color filter will be described. However, the processing object 11 of the present invention is not limited to a color filter.

図9は、未処理の処理対象物11の表面を説明するための平面図である。カラーフィルタの場合、その表面には、R、G、Bの各色に対応した赤、緑、青の窓部55R、55G、55Bが規則正しく配置されており、各色の窓部55R、55G、55Bは、BM(ブラックマトリクス)線56によって区分けされている。   FIG. 9 is a plan view for explaining the surface of the untreated object 11. In the case of a color filter, red, green, and blue window portions 55R, 55G, and 55B corresponding to each color of R, G, and B are regularly arranged on the surface, and the window portions 55R, 55G, and 55B of the respective colors are arranged. , BM (black matrix) lines 56.

BM線56は、ここで縦横に伸び、格子状に形成されており、横方向Xと縦方向Yの交差位置Ax,yが、スペーサを配置するために適した吐出位置Ax,yになっている。 Here, the BM line 56 extends in the vertical and horizontal directions and is formed in a lattice shape, and the intersection position A x, y between the horizontal direction X and the vertical direction Y is set to the discharge position A x, y suitable for arranging the spacer. It has become.

図9及び後述する図10、図11では、添字のx=1〜4、y=1,2であり、A1,1からA4,2の8個の吐出位置が示されている。 In FIG. 9 and FIGS. 10 and 11 to be described later, the subscripts x = 1 to 4, y = 1 and 2, and eight discharge positions A 1,1 to A 4,2 are shown.

印刷ヘッド21と検査装置23には不図示の移動装置が接続されており、印刷ヘッド21と検査装置23は、水平面内であって、処理対象物11の移動経路30とは略垂直な方向に往復移動できるように構成されている。図2の符号31、33は、印刷ヘッド21と検出装置23の往復移動の移動経路をそれぞれ示している。   A moving device (not shown) is connected to the print head 21 and the inspection device 23, and the print head 21 and the inspection device 23 are in a horizontal plane and in a direction substantially perpendicular to the movement path 30 of the processing target 11. It is configured to be able to reciprocate. Reference numerals 31 and 33 in FIG. 2 indicate movement paths of the reciprocating movement of the print head 21 and the detection device 23, respectively.

上記移動装置により、第一の場所15に配置された処理対象物11が第二の場所16に向けて移動が開始されると、先ず、処理対象物11は、最初の吐出位置が印刷ヘッド21の移動経路31の下方に位置したところで一旦静止される。   When the processing object 11 arranged at the first location 15 starts moving toward the second location 16 by the moving device, first, the processing object 11 has the first ejection position at the print head 21. Is temporarily stopped at a position below the movement path 31 of the first position.

印刷ヘッド21には吐出液供給装置25と制御装置20が接続されている。吐出液供給装置25には、分散液中にスペーサが分散された吐出液が蓄液されている。   A discharge liquid supply device 25 and a control device 20 are connected to the print head 21. The discharge liquid supply device 25 stores a discharge liquid in which spacers are dispersed in a dispersion liquid.

制御装置20は、処理対象物11の移動と印刷ヘッド21の移動の他、印刷ヘッド21からの吐出液の吐出も制御している。印刷ヘッド21は移動経路31上を移動し、所望位置にて所定量の吐出液を吐出させられるように構成されている。   The control device 20 controls the discharge of the discharge liquid from the print head 21 in addition to the movement of the processing object 11 and the print head 21. The print head 21 is configured to move on the movement path 31 and discharge a predetermined amount of discharge liquid at a desired position.

制御装置20には、吐出位置と吐出量が予め記憶されており、該制御装置20によって、印刷ヘッド21が吐出位置上を通過するときに、印刷ヘッド21から吐出位置に向けて吐出液が吐出されるように構成されている。印刷ヘッド21が移動しながら吐出液を吐出するのではなく、印刷ヘッド21が吐出位置上で一旦静止され、吐出位置に向けて吐出液が吐出されるように構成することもできる。   The control device 20 stores the discharge position and the discharge amount in advance. When the print head 21 passes over the discharge position, the control device 20 discharges the discharge liquid from the print head 21 toward the discharge position. It is configured to be. Instead of discharging the discharge liquid while the print head 21 is moving, the print head 21 may be temporarily stopped on the discharge position and discharged toward the discharge position.

印刷ヘッド21は、往動の際も復動の際も吐出液を吐出位置に吐出することができるように構成されており、処理対象物11が静止した状態で、印刷ヘッド21が移動経路31上を移動することで吐出できる範囲の吐出位置に吐出液が吐出されると、処理対象物11は第二の場所16の方向に移動される。その移動により、次の吐出位置が印刷ヘッド21の移動経路31の真下に位置したところで処理対象物11は再度静止される。   The print head 21 is configured to be able to discharge the discharge liquid to the discharge position during both the forward movement and the backward movement, and the print head 21 moves along the movement path 31 while the processing target 11 is stationary. When the discharge liquid is discharged to a discharge position that can be discharged by moving up, the processing object 11 is moved in the direction of the second location 16. Due to the movement, the processing object 11 is stopped again when the next ejection position is located directly below the movement path 31 of the print head 21.

そして、印刷ヘッド21は移動経路31上を移動し、新しい吐出位置に吐出液が吐出される。
吐出液中には、スペーサが所定の含有率(個数/体積)で含有されており、吐出位置に吐出液が着弾すると、吐出液中に含有されていたスペーサは分散液中に分散された状態で処理対象物11の吐出位置上に配置される。スペーサは、分散液が乾燥すると吐出位置に固定される。
Then, the print head 21 moves on the movement path 31 and the discharge liquid is discharged to a new discharge position.
The discharge liquid contains spacers at a predetermined content (number / volume). When the discharge liquid lands on the discharge position, the spacers contained in the discharge liquid are dispersed in the dispersion liquid. Is disposed on the discharge position of the processing object 11. The spacer is fixed at the discharge position when the dispersion liquid dries.

この第一例のスペーサ塗布装置1では、印刷ヘッド21により、処理対象物11の全ての吐出位置Ax,yに吐出液が着弾され、スペーサが配置された後、検出装置23の真下に送られる。 In the spacer coating apparatus 1 of this first example, the discharge liquid is landed on all the discharge positions A x, y of the processing object 11 by the print head 21, and after the spacers are arranged, the print liquid is sent directly below the detection apparatus 23. It is done.

図10の符号50は、印刷ヘッド21から吐出位置Ax,y(x=1〜4,y=1,2)に吐出液が吐出されることで配置された一乃至複数個のスペーサを示している。分散液は乾燥されている。 Reference numeral 50 in FIG. 10 indicates one or a plurality of spacers arranged by discharging discharge liquid from the print head 21 to discharge positions A x, y (x = 1 to 4, y = 1, 2). ing. The dispersion is dried.

検出装置23は、その移動経路33に沿って移動しながら吐出位置Ax,yの状態を検出する。例えば検出装置23は、処理対象物11の全ての吐出位置Ax,yの状態を撮影し、検出結果として制御装置20に送信する。ここでは、検出装置23の移動経路33は、印刷ヘッド21の移動経路31と平行に離間されている。 The detection device 23 detects the state of the discharge position A x, y while moving along the movement path 33. For example, the detection device 23 captures the state of all the ejection positions A x, y of the processing object 11 and transmits it to the control device 20 as a detection result. Here, the movement path 33 of the detection device 23 is separated in parallel with the movement path 31 of the print head 21.

制御装置20は、検出装置23の検出結果を分析し、スペーサ50を認識して吐出位置Ax,y毎にその個数を計数し、予め記憶された基準個数と計数した個数とを吐出位置Ax,y毎に比較する。 The control device 20 analyzes the detection result of the detection device 23, recognizes the spacer 50, counts the number of each of the discharge positions A x, y , and uses the reference number stored in advance and the counted number as the discharge position A. Compare every x and y .

吐出液の量が一定であっても、その吐出液中に含まれるスペーサ50の個数は一定ではなく、最小ではゼロ個となり得る。   Even if the amount of the discharge liquid is constant, the number of spacers 50 contained in the discharge liquid is not constant, and may be zero at the minimum.

検出装置23は、計数個数と基準個数との比較結果から、基準個数未満の吐出位置を再吐出位置として設定し、記憶する。   The detection device 23 sets and stores discharge positions less than the reference number as re-discharge positions based on the comparison result between the counted number and the reference number.

全ての吐出位置Ax,yの状態が検出された後の処理対象物11が位置する場所を第二の場所16とすると、処理対象物11は、第二の場所16から、吐出液が吐出される前の処理対象物が位置した第一の場所15に向かって移動される。 If the place where the processing object 11 is located after the states of all the discharge positions A x, y are detected is the second place 16, the processing object 11 is discharged from the second place 16. The object to be processed before being moved is moved toward the first place 15 where the object is located.

なお、図2では、第二の場所16は、検出装置23の往復移動する領域から離間しているが、一部が検出装置23の往復移動の真下に位置してもよい。   In FIG. 2, the second location 16 is separated from the reciprocating region of the detection device 23, but a part of the second location 16 may be located directly below the reciprocation of the detection device 23.

ここで、図10の符号A2,1,A3,2で示した吐出位置は、配置されたスペーサ50の個数が基準個数を下回っており、再吐出位置に設定されている。 Here, in the discharge positions indicated by reference numerals A 2,1 and A 3,2 in FIG. 10, the number of the spacers 50 arranged is less than the reference number, and is set to the re-discharge position.

吐出液が吐出されるときの処理対象物11の移動方向を往動とすると、第二の場所16から第一の場所15へ向かっての移動は復動であり、復動のときには処理対象物11は印刷ヘッド21の往復移動の移動経路31の真下位置を通過する。   Assuming that the movement direction of the processing object 11 when the discharge liquid is discharged is a forward movement, the movement from the second place 16 toward the first place 15 is a backward movement. 11 passes through a position directly below the movement path 31 of the reciprocating movement of the print head 21.

その際、再吐出位置が印刷ヘッド21の移動方向の真下位置に到達したところで処理対象物11は一旦静止され、印刷ヘッド21が移動経路31上を移動する際に、再吐出位置に向けて吐出液が吐出され、スペーサが追加される。   At that time, the processing object 11 is temporarily stopped when the re-ejecting position reaches a position directly below the moving direction of the print head 21, and is ejected toward the re-ejecting position when the print head 21 moves on the movement path 31. Liquid is discharged and spacers are added.

図11は、再吐出位置A2,1,A3,2に吐出液が吐出され、スペーサが追加された結果、基準個数以上のスペーサ50が配置された状態を示している。再吐出位置に設定されなかった他の吐出位置には吐出液は吐出されず、従ってスペーサは追加されない。 FIG. 11 shows a state in which more than the reference number of spacers 50 are arranged as a result of the discharge liquid being discharged to the re-discharge positions A 2,1 and A 3,2 and the addition of the spacers. The discharge liquid is not discharged to other discharge positions that have not been set as the re-discharge position, and therefore no spacer is added.

印刷ヘッド21が移動経路31に沿って移動し、吐出できる範囲の再吐出位置に吐出液を吐出した後、処理対象物11は第一の場所15方向に移動され、未吐出の再吐出位置が印刷ヘッド21の移動経路31の真下位置に到達したところで、処理対象物11は再度静止され、再吐出位置に吐出液が吐出される。   After the print head 21 moves along the movement path 31 and discharges the discharge liquid to a re-discharge position within a dischargeable range, the processing object 11 is moved in the direction of the first place 15 and the non-discharge re-discharge position is When reaching the position directly below the movement path 31 of the print head 21, the processing object 11 is stopped again, and the discharge liquid is discharged to the re-discharge position.

このように、処理対象物11は、第一の場所15に戻るまでに、再吐出位置にスペーサが追加され、吐出位置に基準個数以上のスペーサが配置された処理基板11を得ることができる。   As described above, the processing object 11 can obtain the processing substrate 11 in which the spacer is added to the re-ejection position before returning to the first place 15 and the reference number or more of spacers are arranged at the ejection position.

吐出位置への吐出と再吐出位置への吐出を同じ印刷ヘッド21で行えるので、スペーサ塗布装置を小型化できる。   Since the discharge to the discharge position and the discharge to the re-discharge position can be performed by the same print head 21, the spacer coating apparatus can be downsized.

なお、上記制御装置20は、印刷ヘッド21と検出装置23の動作を制御していたが、印刷ヘッド21の制御と検出装置23の制御を異なる制御装置で行うものも本発明に含まれる。   The control device 20 controls the operations of the print head 21 and the detection device 23. However, the present invention also includes a configuration in which the print head 21 and the detection device 23 are controlled by different control devices.

また、上記検出装置23は移動経路33上を往復移動していたが、必ずしも移動する必要はなく、静止した状態であっても吐出位置Ax,y上のスペーサの個数を計数できればよい。 Further, although the detection device 23 has reciprocated on the movement path 33, it is not always necessary to move, and it is only necessary to be able to count the number of spacers on the ejection position A x, y even in a stationary state.

また、上記スペーサ塗布装置1では、処理対象物11上の全ての吐出位置Ax,yに吐出液が吐出された後、検出装置23によってスペーサ50の個数が計数されていたが、印刷ヘッド21と検出装置23とを近接配置し、吐出液を吐出しながら既に吐出された吐出位置の状態を検出してもよい。 In the spacer coating apparatus 1, the number of the spacers 50 is counted by the detection device 23 after the discharge liquid is discharged to all the discharge positions A x, y on the processing object 11. And the detection device 23 may be arranged close to each other, and the state of the discharge position that has already been discharged may be detected while discharging the discharge liquid.

この場合、吐出液中の分散液が速やかに乾燥するように、吐出台13の内部に加熱装置を設けることができる。   In this case, a heating device can be provided inside the discharge table 13 so that the dispersion in the discharge liquid can be quickly dried.

次に、本発明の他の実施例について説明する。
図3、図4の符号2は、本発明の第二例のスペーサ塗布装置であり、第一例の塗布装置1と同じ構成については同じ符号を付して説明を省略する。
Next, another embodiment of the present invention will be described.
Reference numeral 2 in FIGS. 3 and 4 is a spacer coating apparatus of the second example of the present invention. The same components as those of the coating apparatus 1 of the first example are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

第一例のスペーサ塗布装置1では、印刷ヘッド21と検出装置23とは、互いに平行な異なる移動経路31、33に沿って独立に往復移動するように構成されていたが、第二例のスペーサ塗布装置2では、検出装置23は印刷ヘッド21の片脇に固定されており、印刷ヘッド21と検出装置23は同一の移動経路34に上を一緒に往復移動するように構成されている。印刷ヘッド21及び検出装置23の移動経路34は水平面内にあり、処理対象物11の移動経路31に対して略垂直に交差している。   In the spacer coating apparatus 1 of the first example, the print head 21 and the detection apparatus 23 are configured to reciprocate independently along different movement paths 31 and 33 parallel to each other. In the coating device 2, the detection device 23 is fixed to one side of the print head 21, and the print head 21 and the detection device 23 are configured to reciprocate together on the same movement path 34. The movement path 34 of the print head 21 and the detection device 23 is in a horizontal plane and intersects the movement path 31 of the processing object 11 substantially perpendicularly.

印刷ヘッド21の往復移動のうち、印刷ヘッド21が先頭で検出装置23が後尾である場合を往動とし、その逆に印刷ヘッド21が後尾で検出装置23が先頭のときを復動とすると、印刷ヘッド21は往動時に、吐出液が着弾されていない吐出位置に吐出液を吐出し、着弾させる。   Of the reciprocating movements of the print head 21, if the print head 21 is at the head and the detection device 23 is at the rear, the reverse movement is when the print head 21 is at the rear and the detection device 23 is at the head. When the print head 21 moves forward, the print head 21 discharges the discharge liquid to a discharge position where the discharge liquid has not landed and causes the discharge liquid to land.

そして印刷ヘッド21と一緒に移動し、吐出位置上に印刷ヘッドよりも遅れて到着する検出装置23が、着弾直後の吐出位置の状態を検出し、検出結果を制御装置20の送信する。
制御装置20はスペーサの個数を計数し、基準個数と比較してスペーサ個数が不足する吐出位置を再吐出位置に設定する。
Then, the detection device 23 that moves together with the print head 21 and arrives at the discharge position later than the print head detects the state of the discharge position immediately after landing and transmits the detection result of the control device 20.
The control device 20 counts the number of spacers, and sets a discharge position where the number of spacers is insufficient compared to the reference number as a re-discharge position.

そして印刷ヘッド21を制御し、印刷ヘッド21及び検出装置23が復動し、往動時と同じ吐出位置上を通過する際に、再吐出位置に吐出液を吐出させ、再吐出位置にスペーサを追加する。   Then, the print head 21 is controlled, and when the print head 21 and the detection device 23 move backward and pass over the same discharge position as in the forward movement, the discharge liquid is discharged to the re-discharge position, and the spacer is set to the re-discharge position. to add.

従って、このスペーサ塗布装置2では、処理対象物11が静止した状態で、その上を印刷ヘッド21と検出装置23が往復移動する間に、その移動経路34に沿った範囲の吐出位置に、基準個数以上のスペーサを配置することができる。   Therefore, in this spacer coating device 2, while the processing object 11 is stationary, the print head 21 and the detection device 23 reciprocate on the reference position at the discharge position in the range along the movement path 34. More than the number of spacers can be arranged.

印刷ヘッド21と検出装置23が往復移動を一回行い、吐出及び再吐出が行われた後、処理対象物11は、その移動経路30に沿って移動し、未着弾の吐出位置が印刷ヘッド21及び検出装置23の移動経路34の真下位置に到着したところで処理対象物11が再度静止され、そして、印刷ヘッド21及び検出装置23を往復移動させ、吐出及び再吐出を行う。
吐出位置に基準個数以上のスペーサが配置された処理対象物11は、スペーサ塗布装置2から取り出され、後工程に送られる。
After the print head 21 and the detection device 23 perform a reciprocating movement once, and the ejection and re-ejection are performed, the processing object 11 moves along the movement path 30, and the ejection position of the unlanded landing is the print head 21. When the object 11 arrives at a position directly below the movement path 34 of the detection device 23, the processing object 11 is stopped again, and the print head 21 and the detection device 23 are reciprocated to perform discharge and re-discharge.
The processing object 11 in which a reference number or more of spacers are arranged at the discharge position is taken out from the spacer coating apparatus 2 and sent to a subsequent process.

図5、図6の第三例のスペーサ塗布装置3では、印刷ヘッド21の両脇に検出装置23a、23bが配置されている。印刷台13には不図示の移動機構が配置されており、処理対象物11は、第一の場所15と第二の場所16の間を結ぶ移動経路30上を往復移動するように構成されている。印刷ヘッド21及び検出装置23a、23bは、第一の場所15と第二の場所16の間に位置している。   In the third example of the spacer coating apparatus 3 shown in FIGS. 5 and 6, detection devices 23 a and 23 b are arranged on both sides of the print head 21. A movement mechanism (not shown) is arranged on the printing stand 13, and the processing object 11 is configured to reciprocate on a movement path 30 connecting the first place 15 and the second place 16. Yes. The print head 21 and the detection devices 23 a and 23 b are located between the first location 15 and the second location 16.

印刷ヘッド21は処理対象物11の移動経路30とは略垂直に交差する移動経路34上を移動しながら吐出位置に吐出液を吐出する。印刷ヘッド21が往動して吐出位置に吐出液を吐出すると、処理対象物11は移動され、未吐出の吐出位置が印刷ヘッド21の移動経路31の真下位置に到着したところで静止され、印刷ヘッド21が復動しながら吐出液を吐出することができる。   The print head 21 discharges the discharge liquid to the discharge position while moving on a movement path 34 that intersects the movement path 30 of the processing target 11 substantially perpendicularly. When the print head 21 moves forward and discharges the discharge liquid to the discharge position, the processing object 11 is moved and stopped when the undischarged discharge position arrives at a position directly below the movement path 31 of the print head 21. The discharge liquid can be discharged while 21 moves backward.

二個の検出装置23a、23bは印刷ヘッド21と同じ移動経路34上を移動する。即ち、二個の検出装置23a、23bと印刷ヘッド21は、印刷ヘッド21を中央にして移動経路34上を一列に並べられており、移動の際、二個の検出装置23a、23bのうちの一方が先頭、他方が後尾となる。   The two detection devices 23 a and 23 b move on the same movement path 34 as the print head 21. That is, the two detection devices 23a and 23b and the print head 21 are arranged in a line on the movement path 34 with the print head 21 at the center, and during the movement, of the two detection devices 23a and 23b, One is the head and the other is the tail.

印刷ヘッド21の後尾に位置する検出装置23a、23bが、印刷ヘッド21と一緒に移動しながら吐出液が着弾された吐出位置の状態を検出できるのであるから、このスペーサ塗布装置3では、第二例のスペーサ塗布装置2とは異なり、往動と復動の両方で吐出液を吐出しながら吐出位置の状態を検出することができる。   Since the detection devices 23a and 23b located at the tail of the print head 21 can detect the state of the discharge position where the discharge liquid has landed while moving together with the print head 21, the spacer coating device 3 can detect the second discharge position. Unlike the spacer coating apparatus 2 of the example, the state of the discharge position can be detected while discharging the discharge liquid both in the forward movement and in the backward movement.

即ち、印刷ヘッド21が往復移動しながら吐出液を吐出するのに伴い、後尾となった方の検出装置23a、23bが着弾直後の吐出位置の状態を検出し、制御装置20に送信する。
制御装置20が検出状態からスペーサ個数を計数し、不足位置を再吐出位置に設定して記憶する。
That is, as the print head 21 reciprocates and discharges the discharge liquid, the detection devices 23a and 23b, which are the tail, detect the state of the discharge position immediately after landing and transmit it to the control device 20.
The control device 20 counts the number of spacers from the detection state, sets the shortage position as the re-discharge position, and stores it.

処理対象物11上の全ての吐出位置に吐出液が吐出され、その状態が検出されて再吐出位置が設定された後、処理対象物11は、第二の場所16から第一の場所15に向かって移動される。即ち、処理対象物11は第一の場所15に戻るように移動され、印刷ヘッド21の移動経路34の真下位置に再吐出位置が到達すると、処理対象物11は一旦静止され、印刷ヘッド21から再吐出位置に吐出液が吐出される。   After the discharge liquid is discharged to all discharge positions on the processing object 11 and the state is detected and the re-discharge position is set, the processing object 11 is moved from the second place 16 to the first place 15. Moved towards. That is, the processing object 11 is moved back to the first location 15, and when the re-ejection position reaches a position directly below the movement path 34 of the print head 21, the processing object 11 is temporarily stopped and is moved from the print head 21. Discharge liquid is discharged to the re-discharge position.

移動経路34の真下位置にある再吐出位置に吐出液が吐出され、スペーサが追加された後、処理対象物11は第一の場所15方向に移動され、未処理の再吐出位置が移動軽度34の真下位置に到達したところで、静止され、印刷ヘッド21によってスペーサが追加される。   After the discharge liquid is discharged to the re-discharge position that is directly below the movement path 34 and the spacer is added, the processing object 11 is moved in the direction of the first location 15, and the unprocessed re-discharge position is lightly moved 34. When the position reaches just below the position, it is stopped and a spacer is added by the print head 21.

次に、図7、図8の第四例のスペーサ塗布装置4を説明する。
上記第二、第三例のスペーサ塗布装置2、3が印刷ヘッド21の片脇又は両脇に検出装置23、23a、23bが配置されており、印刷ヘッド21と検出装置23、23a、23bが同一の移動経路34上を一緒に往復移動したのに対し、第四例のスペーサ塗布装置4では、検出装置23は印刷ヘッド21の下流側、即ち、検出装置23は印刷ヘッド21よりも第二の場所15側に位置している。
Next, the spacer coating apparatus 4 of the fourth example of FIGS. 7 and 8 will be described.
In the second and third spacer applicators 2 and 3, detection devices 23, 23 a and 23 b are arranged on one side or both sides of the print head 21, and the print head 21 and the detection devices 23, 23 a and 23 b In the fourth example of the spacer coating device 4, the detection device 23 is downstream of the print head 21, that is, the detection device 23 is second than the print head 21. It is located on the 15th side.

従って、検出装置23と印刷ヘッド21とは互いに固定され、一緒に往復移動するものの、印刷ヘッド21の移動経路31と検出装置23の移動経路33は別であり、互いに平行に離間されている。   Therefore, although the detection device 23 and the print head 21 are fixed to each other and reciprocate together, the movement path 31 of the print head 21 and the movement path 33 of the detection device 23 are different and are separated from each other in parallel.

印刷ヘッド21によて吐出液が着弾された吐出位置は、処理対象物11が第二の場所16に向けて移動され、検出装置23の移動経路33の真下に位置したときに、印刷ヘッド21と一緒に移動する検出装置23によって表面の状態が検出され、制御装置20に送信される。従って、吐出と検出が同時に行われる。   The discharge position where the discharge liquid has landed by the print head 21 is moved to the second place 16 when the processing target 11 is moved and positioned directly below the movement path 33 of the detection device 23. The state of the surface is detected by the detection device 23 that moves together with the control device 20 and transmitted to the control device 20. Accordingly, ejection and detection are performed simultaneously.

印刷ヘッド21は、その移動経路31上の往動及び復動の両方の移動中に吐出液を吐出しても良いし、往動又は復動のいずれか一方の移動中にだけ吐出液を吐出するようにしてもよい。   The print head 21 may discharge the discharge liquid during both the forward movement and the backward movement on the movement path 31, or discharge the discharge liquid only during either the forward movement or the backward movement. You may make it do.

検出装置23によって全ての吐出位置の状態が検出され、再吐出位置が設定されると、一旦印刷ヘッド21の真下位置を通過した処理対象物11は、第一の場所15方向に移動され、印刷ヘッド21の移動経路31の真下位置を再度通過する。   When the state of all the ejection positions is detected by the detection device 23 and the re-ejection position is set, the processing object 11 that has once passed the position immediately below the print head 21 is moved in the direction of the first place 15 and printed. It passes through the position just below the movement path 31 of the head 21 again.

なお、上記処理対象物11はカラーフィルタであったが、本発明はそれに限定されるものではなく、アレイ側の基板でも良く、吐出位置が決まっているものを広く含む。   The processing object 11 is a color filter. However, the present invention is not limited to this, and may be a substrate on the array side, and widely includes ones whose ejection positions are determined.

更に、吐出位置が予め決まっていない場合であっても、印刷ヘッド21から吐出した位置のスペーサを検出装置23で計数でき、同じ印刷ヘッド21によってその位置にスペーサを補充できるスペーサ塗布装置であれば本発明に含まれる。   Furthermore, even if the ejection position is not determined in advance, any spacer coating apparatus that can count the spacers at the positions ejected from the print head 21 with the detection device 23 and can replenish the positions with the same print head 21 can be used. It is included in the present invention.

上記実施例では処理対象物11を移動させたが、処理対象物11を静止させていても、印刷ヘッド21を処理対象物11に対して互いに交差する二方向、特に垂直に交差する二方向に移動させると共に、検出装置23、23a、23bを処理対象物11に対して互いに交差する二方向、特に垂直に交差する二方向に移動させてもよい。   In the above embodiment, the processing object 11 is moved. However, even if the processing object 11 is stationary, the print head 21 is moved in two directions intersecting the processing object 11, particularly in two directions intersecting vertically. In addition to the movement, the detection devices 23, 23 a, and 23 b may be moved in two directions that intersect with each other with respect to the processing object 11, particularly in two directions that intersect perpendicularly.

そして、その場合でも、上記各実施例における、処理対象物11と、印刷ヘッド21及び検出装置23、23a、23bとの相対的な移動と同じ相対移動を実現することができる。   Even in this case, the same relative movement as the relative movement between the processing object 11 and the print head 21 and the detection devices 23, 23a, and 23b in each of the above embodiments can be realized.

要するに、本発明は、処理対象物11が静止しているか移動するかにかかわらず、処理対象物11に対して印刷ヘッド21と検出装置23、23a、23bとが相対的に移動し、印刷ヘッド21から吐出位置に吐出液を吐出し、それを検出装置で検出し、設定された再吐出位置に、同じ印刷ヘッドから吐出液を吐出するスペーサ塗布装置、及びスペーサ塗布方法を広く含む。   In short, according to the present invention, the print head 21 and the detection devices 23, 23a, and 23b move relative to the processing object 11, regardless of whether the processing object 11 is stationary or moved, and the print head A wide variety of spacer coating apparatuses and spacer coating methods are disclosed that discharge the discharge liquid from the discharge position 21 to the discharge position, detect it with a detection device, and discharge the discharge liquid from the same print head to the set re-discharge position.

なお、処理対象物11を静止させる場合にも、印刷ヘッド21と検出装置23、23a、23bとを相対的に固定させ、一緒に移動させることができる。   Even when the processing object 11 is stationary, the print head 21 and the detection devices 23, 23a, and 23b can be relatively fixed and moved together.

本発明の第一例のスペーサ塗布装置の模式的な側面図Schematic side view of the spacer coating apparatus of the first example of the present invention その模式的な平面図Schematic plan view 本発明の第二例のスペーサ塗布装置の模式的な側面図Schematic side view of the spacer coating apparatus of the second example of the present invention その模式的な平面図Schematic plan view 本発明の第三例のスペーサ塗布装置の模式的な側面図Schematic side view of the spacer coating apparatus of the third example of the present invention その模式的な平面図Schematic plan view 本発明の第四例のスペーサ塗布装置の模式的な側面図Schematic side view of the spacer coating apparatus of the fourth example of the present invention その模式的な平面図Schematic plan view 処理対象物の塗布位置を説明するための模式的な平面図Schematic plan view for explaining the application position of the processing object 印刷ヘッドによって配置されたスペーサの状態を説明するための模式的な平面図Schematic plan view for explaining the state of the spacers arranged by the print head スペーサが追加された状態を説明するための模式的な平面図Schematic plan view for explaining a state in which a spacer is added

符号の説明Explanation of symbols

1〜4……スペーサ塗布装置
13……吐出台
11……処理対象物(基板)
21……印刷ヘッド
23,23a,23b……検出装置
50……スペーサ
1 to 4 ... spacer coating device 13 ... discharge table 11 ... processing object (substrate)
21 …… Print head 23, 23a, 23b …… Detecting device 50 …… Spacer

Claims (8)

処理対象物が配置される吐出台と、
スペーサが分散された吐出液を前記処理対象物表面の吐出位置に吐出する印刷ヘッドと、
前記吐出位置の状態を検出する検出装置と、
前記吐出台上に配置された処理対象物と前記印刷ヘッドの相対的な位置関係と、前記処理対象物と前記検出装置の相対的な位置関係を変更する移動装置と、
前記検出装置の検出結果に基き、前記吐出位置から再吐出位置を選択する制御装置とを有し、
前記印刷ヘッドと前記検出装置は前記吐出台上に配置され、
前記吐出位置に吐出液を吐出した印刷ヘッドが、前記再吐出位置に前記吐出液を吐出するように構成されたスペーサ塗布装置。
A discharge table on which a processing object is placed;
A print head for discharging a discharge liquid in which spacers are dispersed to a discharge position on the surface of the object to be processed;
A detection device for detecting the state of the discharge position;
A moving device that changes a relative positional relationship between the processing object and the print head disposed on the ejection table, and a relative positional relationship between the processing object and the detection device;
A control device that selects a re-discharge position from the discharge position based on the detection result of the detection device;
The print head and the detection device are disposed on the discharge table,
A spacer coating apparatus configured such that a print head that discharges discharge liquid to the discharge position discharges the discharge liquid to the re-discharge position.
前記制御装置は、前記検出装置の検出結果から前記吐出位置上の前記スペーサの個数を計数し、基準個数と比較して前記吐出位置から再吐出位置を選択する請求項1記載のスペーサ塗布装置。   2. The spacer coating apparatus according to claim 1, wherein the control device counts the number of the spacers on the discharge position from the detection result of the detection device, and selects the re-discharge position from the discharge position in comparison with a reference number. 前記検出装置は、前記処理対象物の相対的な移動方向とは交差する移動経路に沿って、前記印刷ヘッドと一緒に往復移動するように構成された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のスペーサ塗布装置。   The detection device is configured to reciprocate together with the print head along a movement path that intersects a relative movement direction of the processing object. The spacer coating apparatus according to item. 前記往復移動の往動時に前記印刷ヘッドが吐出液を吐出位置に吐出すると共に前記印刷ヘッドに追随する前記検出装置が前記吐出位置の状態を検出し、
前記印刷ヘッドは、復動時に選択された再吐出位置に吐出液を吐出するように構成された請求項3記載のスペーサ塗布装置。
When the reciprocating movement moves, the detection device that discharges the discharge liquid to the discharge position and follows the print head detects the state of the discharge position;
The spacer coating apparatus according to claim 3, wherein the print head is configured to discharge the discharge liquid to a re-discharge position selected at the time of backward movement.
処理対象物が配置される吐出台と、
スペーサが分散された吐出液を前記処理対象物表面に吐出する印刷ヘッドと、
前記処理対象物の表面の状態を検出する検出装置とを有し、
前記吐出台上に配置された処理対象物と前記印刷ヘッドとを相対的に移動させ、前記印刷ヘッドから所定の吐出位置に前記吐出液を吐出させ、
前記吐出位置に吐出液が吐出された処理対象物と前記検査装置とを相対的に移動させ、前記検出装置に前記吐出位置上の状態を検出させ、
前記検出装置の検出結果に基き、前記吐出位置から再吐出位置を選択し、前記印刷ヘッドから前記再吐出位置に前記吐出液を吐出させるスペーサ塗布方法。
A discharge table on which a processing object is placed;
A print head for discharging a discharge liquid in which spacers are dispersed to the surface of the object to be processed;
A detection device that detects a state of the surface of the processing object;
Relatively moving the processing object disposed on the discharge table and the print head, and discharging the discharge liquid from the print head to a predetermined discharge position;
Relatively moving the processing object to which the discharge liquid is discharged to the discharge position and the inspection apparatus, and causing the detection apparatus to detect a state on the discharge position;
A spacer coating method that selects a re-ejection position from the ejection position based on a detection result of the detection device, and ejects the ejection liquid from the print head to the re-ejection position.
前記検出装置の検出結果から前記吐出位置上の前記スペーサの個数を計数し、基準個数と比較して前記吐出位置から再吐出位置を選択する請求項5記載のスペーサ塗布方法。   The spacer coating method according to claim 5, wherein the number of the spacers on the ejection position is counted from the detection result of the detection device, and the re-ejection position is selected from the ejection positions by comparison with a reference number. 前記検出装置を前記印刷ヘッドと一緒に移動させ、前記印刷ヘッドによって前記吐出位置に前記吐出液を吐出しながら、前記検出装置により、既に前記吐出液が吐出された前記吐出位置の状態を検出する請求項5又は請求項6のいずれか1項記載のスペーサ塗布方法。   The detection device is moved together with the print head, and the state of the discharge position where the discharge liquid has already been discharged is detected by the detection device while discharging the discharge liquid to the discharge position by the print head. The spacer application | coating method of any one of Claim 5 or Claim 6. 前記検出装置と前記印刷ヘッドとを一緒に往復移動させる請求項7記載のスペーサ塗布方法。   The spacer coating method according to claim 7, wherein the detection device and the print head are reciprocated together.
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