JP2006267152A - Photosensitive dry film for protection film of printed wiring board and method for manufacturing the same - Google Patents

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聡 石垣
Kazuhiko Oga
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive dry film for a protection film of a printed wiring board, the dry film having suppressed blocking. <P>SOLUTION: The dry film comprises a photosensitive layer (II) layered on a supporting film (I), wherein the supporting film (I) is a polyester film having ≤1.0 mass% oligomer content and containing an antiblocking agent by 0.01 to 0.50 mass%. The invention also discloses a photosensitive dry film roll for a protection film of a printed wiring board as a roll form of the above dry film, and a method for manufacturing the dry film. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明はプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム及びそれをロール状の形態としたドライフィルムロールに関し、さらに詳しく言えばフィルムのブロッキングが抑制され、性能の良好なプリント配線板保護膜を与えることができるドライフィルム及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a photosensitive dry film for a printed wiring board protective film and a dry film roll in the form of a roll. More specifically, the film blocking is suppressed and a printed wiring board protective film having good performance is provided. It is related with the dry film which can be manufactured, and its manufacturing method.

プリント配線板の製造においては、導電性回路の保護や導体間の絶縁性保持のために、導体回路の表面上に保護膜(以下、「永久保護膜」ということがある。)を形成することが行われている。このような保護膜の形成には、支持フィルム上に感光層と、感光層を保護するために感光層上に設けられた保護フィルムとからなる感光性ドライフィルムが用いられており、その支持フィルムとしてはポリエチレンテレフタレートフィルムが、またその保護フィルムとしてはポリエチレンフィルムやポリエチレンテレフタレートフィルムが多用されている(例えば、特開2002−156754号公報;特許文献1参照)。   In the production of a printed wiring board, a protective film (hereinafter sometimes referred to as a “permanent protective film”) is formed on the surface of the conductor circuit in order to protect the conductive circuit and maintain insulation between conductors. Has been done. For the formation of such a protective film, a photosensitive dry film comprising a photosensitive layer on a support film and a protective film provided on the photosensitive layer to protect the photosensitive layer is used. A polyethylene terephthalate film is used as the protective film, and a polyethylene film or a polyethylene terephthalate film is frequently used as the protective film (for example, see JP-A-2002-156754; Patent Document 1).

このような支持フィルム、感光層及び保護フィルムからなるドライフィルムは、ロール状の形態として使用されることがあり、支持フィルムと保護フィルムとが、それぞれ感光層の接していない面同士で接触することとなる。このような場合、フィルム同士が密着して剥離が困難となるいわゆるブロッキングが起こることがある。これは同種フィルム同士や異種フィルムでも低密度ポリエチレンのような柔軟フィルムを使用した場合に顕著であり、特にドライフィルムをロール状にする場合にはロール製造時の張力が残留しているため、この傾向を助長することとなる。ことに保護フィルムとして、アンチブロッキング剤等の添加を含まない低密度ポリエチレンフィルムを用いた場合は顕著である。   A dry film composed of such a support film, a photosensitive layer and a protective film may be used in a roll form, and the support film and the protective film are in contact with each other on the surfaces where the photosensitive layer is not in contact. It becomes. In such a case, so-called blocking may occur where the films are in close contact with each other and are difficult to peel off. This is remarkable when flexible films such as low-density polyethylene are used even between the same kind of films or different kinds of films, and particularly when the dry film is made into a roll, the tension at the time of roll production remains. It will encourage the trend. In particular, when a low-density polyethylene film that does not contain the addition of an antiblocking agent or the like is used as the protective film, this is remarkable.

ドライフィルムロールにおいてこのようなブロッキングが発生した場合、ロールからドライフィルムを繰り出しにくくなるなど作業性が低下する。さらには支持フィルムと保護フィルムの密着が強いため、繰り出し時に感光層と保護フィルムあるいは感光層と支持フィルムの間で剥離が起こってしまい、その後の工程に使用することが困難となることがある。また繰り出し時に感光層に過大な応力がかかり、特に永久保護膜用の耐熱性が要求される感光層では、感光層が破損することもある。   When such blocking occurs in the dry film roll, workability is lowered, for example, it becomes difficult to feed the dry film from the roll. Furthermore, since the close contact between the support film and the protective film is strong, peeling occurs between the photosensitive layer and the protective film or between the photosensitive layer and the support film at the time of feeding, and it may be difficult to use in subsequent processes. In addition, excessive stress is applied to the photosensitive layer during unwinding, and the photosensitive layer may be damaged particularly in a photosensitive layer that requires heat resistance for a permanent protective film.

フィルムのブロッキング防止方法として、アンチブロッキング剤を添加することが行われているが、アンチブロッキング剤の分散が不良であるとフィルム表面に凸状のゲルを生成しする。ドライフィルムの支持フィルムにおいてこのようなゲルが発生すると、露光時に紫外線が散乱されレジストパターンの形状が不鮮明になったり、透明性の低下によるドライフィルムの光感度が低下するという問題がある。   As a method for preventing blocking of the film, an antiblocking agent is added. If the antiblocking agent is poorly dispersed, a convex gel is formed on the film surface. When such a gel is generated in the support film of the dry film, there are problems that ultraviolet rays are scattered at the time of exposure and the shape of the resist pattern becomes unclear, or the photosensitivity of the dry film is lowered due to a decrease in transparency.

また上記ゲルが存在する部分に接する感光層に応力が集中することで、感光層の膜厚が局部的に減少したり、甚だしい場合にはピンホールを形成し、永久保護膜としての性能が低下するという問題がある。特にドライフィルムをロール状の形態にする場合、ロール製造時の張力が残留し、この傾向を助長する。   In addition, the stress concentrates on the photosensitive layer in contact with the part where the gel is present, so that the film thickness of the photosensitive layer is locally reduced or, in severe cases, pinholes are formed, resulting in a decrease in performance as a permanent protective film. There is a problem of doing. In particular, when the dry film is formed into a roll shape, the tension at the time of roll production remains, and this tendency is promoted.

このような感光層に局部的な膜厚変化があっても、エッチングレジストにおいては露光により硬化した後、すなわちエッチング工程においては、工程に要する時間が短く本来の機能への影響は小さいが、永久保護膜においては局部的な膜厚の変化によりはんだ耐熱性が低下したり、長期の使用において絶縁特性が低下する場合があり、永久保護膜用のドライフィルムにおいては大きな問題となる。   Even if there is a local film thickness change in such a photosensitive layer, the etching resist is hardened by exposure, that is, in the etching process, the time required for the process is short and the influence on the original function is small, but it is permanent. In the protective film, the heat resistance of the solder may decrease due to a local change in film thickness, and the insulation characteristics may deteriorate in the long-term use, which is a big problem in the dry film for the permanent protective film.

なお、ドライフィルムレジスト支持体用のポリエステルフィルムとして、シリカ等の微粒子を含有するポリエチレンテレフタレートフィルムが知られているが(例えば、特開2002−178475号公報;特許文献2)、これら微粒子はフィルムの滑り性を改善するために添加されるものである。これらは、フィルムのブロッキングを目的として添加し、かつ永久保護膜の性能を確保するために特定範囲の添加量とする本発明とは技術思想を異にするものであり、また永久保護膜用ドライフィルムをロール状とした場合に発生する課題を解決する点でも本発明とは技術思想を異にするものである。   As a polyester film for a dry film resist support, a polyethylene terephthalate film containing fine particles such as silica is known (for example, JP-A-2002-178475; Patent Document 2). It is added in order to improve slipperiness. These are added for the purpose of blocking the film and have a technical idea different from the present invention which is added in a specific range in order to ensure the performance of the permanent protective film. The technical idea is also different from the present invention in that the problem that occurs when the film is rolled is solved.

特開2002−156754号公報JP 2002-156754 A 特開2002−178475号公報JP 2002-178475 A

本発明は、ドライフィルムのブロッキングが抑制されたプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム及びその製造方法を提供することにある。   It is an object of the present invention to provide a photosensitive dry film for a printed wiring board protective film in which blocking of the dry film is suppressed and a method for producing the same.

本発明者は、感光性ドライフィルムにおいて、支持フィルムとして特定量のブロッキング防止剤を含有し、かつ特定オリゴマー含有量のポリエステルフィルムを用いることで、耐ブロッキング性に優れ、性能の良好なプリント配線板保護膜を与えることができることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち本発明は、以下の1〜15に示すプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム、そのドライフィルムをロール状の形態としたプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムロール及びその製造方法に関する。
1.(I)支持フィルム上に(II)感光層が積層されてなるドライフィルムであって、前記(I)支持フィルムが、オリゴマー含有量1.0質量%以下のポリエステルフィルムであり、かつアンチブロッキング剤0.01〜0.50質量%を含有することを特徴とするプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
2.ポリエステルフィルムがポリエチレンテレフタレートフィルムである前記1記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
3.(II)感光層の(I)支持フィルムを積層する面とは反対側の面に(III)保護フィルムが積層されてなる前記1または2に記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
4.(III)保護フィルムがポリエステルフィルムである前記3記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
5.ポリエステルフィルムがポリエチレンテレフタレートフィルムである前記4記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
6.(III)保護フィルムが、(II)感光層と対向する面に剥離剤層を有するものである前記5記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
7.剥離剤層がシリコーンを主成分として含むものである前記6記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
8.(III)保護フィルムがポリオレフィンフィルムであることを特徴とする前記3記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
9.ポリオレフィンフィルムが、低密度ポリエチレンフィルムまたはポリプロピレンフィルムであることを特徴とする前記8記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
10.(II)感光層が、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物から形成されるものである前記1〜9のいずれかひとつに記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
11.(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂が、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂である前記10記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
12.カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、下記一般式(1)

Figure 2006267152
(式中、Xは単結合、メチレン基、エチリデン基、イソプロピリデン基、またはスルホニル基を表し、Yは水素原子または2,3−エポキシプロピル基を表し、nは1〜10の整数であり、nが1の場合、Yは2,3−エポキシプロピル基を表し、nが2〜10の場合、n個のX及びYは、各々同一でも異なってもよいが、少なくともひとつのYは2,3−エポキシプロピル基を表す。)
で示されるビスフェノール型エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物に、多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるものである前記11記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
13.(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物が、さらに(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーを含む前記10〜12のいずれかひとつに記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
14.前記1〜13のいずれかひとつに記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムをロール状の形態としたプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムロール。
15.少なくとも下記工程(イ)〜(ホ):
(イ)ロール状に巻き取られた(I)支持フィルムから、(I)支持フィルムを繰り出す工程、
(ロ)繰り出された(I)支持フィルム上に感光性組成物を連続的に塗布する工程、
(ハ)(I)支持フィルム上に塗布された感光性組成物を乾燥し、(II)感光層を形成する工程、
(ニ)ロール状に巻き取られた保護フィルムから(III)保護フィルムを繰り出して前記(II)感光層上に貼合し、ドライフィルムレジストを形成する工程、
(ホ)形成されたドライフィルムレジストをロール状に巻き取る工程、
を含み、前記(I)支持フィルムが、オリゴマー含有量1.0質量%以下のポリエステルフィルムであり、かつアンチブロッキング剤0.01〜0.50質量%を含有することを特徴とするプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムロールの製造方法。 The present inventor uses a polyester film having a specific amount of anti-blocking agent as a support film and a specific oligomer content in a photosensitive dry film, and thus has excellent blocking resistance and good performance. The present inventors have found that a protective film can be provided and have completed the present invention. That is, this invention relates to the photosensitive dry film for printed wiring board protective films shown to the following 1-15, the photosensitive dry film roll for printed wiring board protective films which made the dry film the roll form, and its manufacturing method.
1. (I) A dry film in which (II) a photosensitive layer is laminated on a support film, wherein the (I) support film is a polyester film having an oligomer content of 1.0% by mass or less, and an antiblocking agent 0.01 to A photosensitive dry film for a printed wiring board protective film, comprising 0.50% by mass.
2. 2. The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to 1 above, wherein the polyester film is a polyethylene terephthalate film.
3. (II) The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to 1 or 2 above, wherein (III) a protective film is laminated on the surface opposite to the surface on which the (I) support film is laminated.
4). (III) The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film as described in 3 above, wherein the protective film is a polyester film.
5. 5. The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to 4 above, wherein the polyester film is a polyethylene terephthalate film.
6). (III) The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film as described in 5 above, wherein the protective film has a release agent layer on the surface facing the photosensitive layer (II).
7). 7. The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to 6 above, wherein the release agent layer contains silicone as a main component.
8). (III) The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film as described in 3 above, wherein the protective film is a polyolefin film.
9. 9. The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film as described in 8 above, wherein the polyolefin film is a low density polyethylene film or a polypropylene film.
10. (II) The photosensitive layer is formed of a photosensitive composition containing (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin as essential components. The photosensitive dry film for printed wiring board protective films as described in any one of -9.
11. (A) The photosensitive dry film for printed wiring board protective films according to 10, wherein the photocurable resin having a carboxyl group is an epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group.
12 An epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group is represented by the following general formula (1):
Figure 2006267152
(In the formula, X represents a single bond, a methylene group, an ethylidene group, an isopropylidene group, or a sulfonyl group, Y represents a hydrogen atom or a 2,3-epoxypropyl group, and n is an integer of 1 to 10, When n is 1, Y represents a 2,3-epoxypropyl group. When n is 2 to 10, n X and Y may be the same or different, but at least one Y is 2, Represents a 3-epoxypropyl group.)
12. The print according to 11 above, which is obtained by reacting a polybasic acid anhydride (c) with a reaction product of the bisphenol type epoxy resin (a) and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b) represented by Photosensitive dry film for wiring board protective film.
13. (A) A photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) a photosensitive composition containing epoxy resin as essential components further includes (D) a photocurable monomer or oligomer. The photosensitive dry film for printed wiring board protective films as described in any one of -12.
14 The photosensitive dry film roll for printed wiring board protective films which made the photosensitive dry film for printed wiring board protective films as described in any one of said 1-13 into a roll form.
15. At least the following steps (a) to (e):
(I) a step of (I) feeding out the support film from the (I) support film wound up in a roll;
(B) a step of continuously applying the photosensitive composition onto the drawn out (I) support film;
(C) (I) drying the photosensitive composition coated on the support film, and (II) forming a photosensitive layer;
(D) a step of drawing out a protective film (III) from a protective film wound up in a roll shape and pasting it on the photosensitive layer (II) to form a dry film resist;
(E) a step of winding the formed dry film resist into a roll,
And (I) the support film is a polyester film having an oligomer content of 1.0% by mass or less, and contains 0.01 to 0.50% by mass of an antiblocking agent. Film roll manufacturing method.

本発明は、支持フィルムとして特定のオリゴマー含有量のポリエステル樹脂を用い、特定量のアンチブロッキング剤を使用しているため、ドライフィルムロールのブロッキングが抑制され、耐熱性、光感度、絶縁特性等が良好で、信頼性に優れたプリント配線板保護膜を与える。特に保護フィルムにアンチブロッキング剤を含まない低密度ポリエチレンを用いた場合や、表面に剥離剤層を有するポリエステルフィルムを用いた場合に効果的である。   Since the present invention uses a polyester resin having a specific oligomer content as a support film and uses a specific amount of an anti-blocking agent, blocking of the dry film roll is suppressed, and heat resistance, photosensitivity, insulation characteristics, etc. It provides a good and reliable printed wiring board protective film. This is particularly effective when low-density polyethylene containing no antiblocking agent is used for the protective film, or when a polyester film having a release agent layer on the surface is used.

本発明で使用される(I)支持フィルムは、ポリエステル樹脂を任意の方法によりフィルム状に成形してなるものである。ポリエステル樹脂としては公知のものが使用でき、具体的にはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどが例示される。これらポリエステル樹脂の固有粘度(オルトクロロフェノール、35℃)は通常0.52〜1.50dl/gであることが好ましく、更に好ましくは0.57〜1.00dl/g、特に好ましくは0.60〜0.80dl/gである。この固有粘度が0.52dl/g未満の場合には引裂き強度が不足することがあり好ましくない。他方、固有粘度が1.50dl/gを超える場合には、原料製造工程及びフィルム成形工程における生産性が損なわれることがある。   The (I) support film used in the present invention is formed by molding a polyester resin into a film by an arbitrary method. Known polyester resins can be used, and specific examples include polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate. The intrinsic viscosity (orthochlorophenol, 35 ° C.) of these polyester resins is preferably preferably 0.52 to 1.50 dl / g, more preferably 0.57 to 1.00 dl / g, and particularly preferably 0.60 to 0.80 dl / g. When the intrinsic viscosity is less than 0.52 dl / g, the tear strength may be insufficient, which is not preferable. On the other hand, when the intrinsic viscosity exceeds 1.50 dl / g, productivity in the raw material manufacturing process and the film forming process may be impaired.

(I)支持フィルムに使用されるポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂の製造方法に特に制限はなく、例えばテレフタル酸とエチレングリコールとをエステル化反応させた後、次いで得られた反応生成物を目的とする重合度になるまで溶融状態で重縮合反応させてポリエチレンテレフタレートとすることにより得ることができる。また好ましい例としては、テレフタル酸ジメチルエステルとエチレングリコールとをエステル交換反応させた後、得られた反応生成物を目的とする重合度になるまで溶融状態で重縮合反応させてポリエチレンテレフタレートとする方法が挙げられる。さらに上記の溶融状態での重縮合反応により得られたポリエチレンテレフタレートは、必要に応じて固相状態での重合反応を行うことにより、更に重合度の高いポリマーとすることができる。   (I) There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of polyester resins, such as a polyethylene terephthalate used for a support film, For example, after making an esterification reaction of terephthalic acid and ethylene glycol, it aims at the obtained reaction product. Polyethylene terephthalate can be obtained by polycondensation reaction in a molten state until the degree of polymerization is reached. As a preferred example, a method of transesterifying terephthalic acid dimethyl ester and ethylene glycol and then subjecting the obtained reaction product to a polycondensation reaction in a molten state until a desired degree of polymerization is obtained to form polyethylene terephthalate. Is mentioned. Furthermore, the polyethylene terephthalate obtained by the polycondensation reaction in the molten state can be made into a polymer having a higher degree of polymerization by performing a polymerization reaction in a solid phase state as necessary.

本発明において、(I)支持フィルムとして使用されるポリエステルフィルムは、オリゴマー含有量が1.0質量%以下であり、好ましくは0.8質量%以下、さらに好ましくは0.6質量%以下、特に好ましくは0.5質量%以下、最も好ましくは0.4質量%以下である。オリゴマー含有量が1.0質量%を超えると、本発明の範囲のアンチブロッキング剤を添加しても、ブロッキング防止の効果が見られない。オリゴマー含有量が1.0質量%を超える場合、本発明の範囲を超える量のアンチブロッキング剤を添加するとブロッキング防止の効果が得られるが、この場合は支持フィルムにゲルが発生しやすくなり、感光層形成時のハジキや、保存時における感光層の変形によって感光層の膜厚が局部的に薄くなることで、永久保護膜としての性能が低下する。またフィルムの透明性が低下するため、感光性ドライフィルムの感度が低下する。さらにはオリゴマーが(I)支持フィルムと(II)感光層の界面に移行することで、経時的に(I)支持フィルムと(II)感光層との密着強度が低下したり、(II)感光層を硬化して形成した永久保護膜の表面性状を低下させたりすることがある。   In the present invention, the polyester film used as the support film (I) has an oligomer content of 1.0% by mass or less, preferably 0.8% by mass or less, more preferably 0.6% by mass or less, and particularly preferably 0.5% by mass or less. Most preferably, it is 0.4 mass% or less. When the oligomer content exceeds 1.0% by mass, even if an antiblocking agent within the range of the present invention is added, the antiblocking effect is not observed. When the oligomer content exceeds 1.0% by mass, the addition of an antiblocking agent in an amount exceeding the range of the present invention can provide an antiblocking effect. In this case, however, a gel tends to occur on the support film, and a photosensitive layer is formed. When the film thickness of the photosensitive layer is locally reduced due to repellency at the time or deformation of the photosensitive layer during storage, the performance as a permanent protective film is deteriorated. Moreover, since the transparency of a film falls, the sensitivity of a photosensitive dry film falls. Furthermore, since the oligomer moves to the interface between the (I) support film and the (II) photosensitive layer, the adhesion strength between the (I) support film and the (II) photosensitive layer decreases over time, or (II) The surface properties of the permanent protective film formed by curing the layer may be lowered.

オリゴマー含有量が1.0質量%以下のポリエステルを製造する方法に特に制限はなく、公知の方法で製造することができる。これらの製造方法は、例えばオリゴマー含量が1.0質量%を超えるポリエステルフィルムから、有機溶剤等によりオリゴマー成分を抽出し、オリゴマー含有量を1.0質量%以下とする方法が挙げられる。またポリエステルフィルムの原料であるポリエステル樹脂として、重合条件を調節してオリゴマー含有量を低減したポリエステル樹脂を使用する方法、及び当該樹脂中の金属触媒成分を洗浄等により除去したものを使用する方法が挙げられる。後者の方法では、フィルム成形時のオリゴマー生成が抑制され、オリゴマー含有量の少ないフィルムを容易に得ることができる。   There is no restriction | limiting in particular in the method of manufacturing polyester with an oligomer content of 1.0 mass% or less, It can manufacture by a well-known method. These production methods include, for example, a method in which an oligomer component is extracted from a polyester film having an oligomer content exceeding 1.0% by mass with an organic solvent or the like so that the oligomer content is 1.0% by mass or less. In addition, as a polyester resin that is a raw material of the polyester film, there is a method of using a polyester resin in which the oligomer content is reduced by adjusting polymerization conditions, and a method of using a material in which the metal catalyst component in the resin is removed by washing or the like. Can be mentioned. In the latter method, oligomer formation at the time of film formation is suppressed, and a film having a low oligomer content can be easily obtained.

本発明で用いる(I)支持フィルムの厚さに特に制限はなく、通常1〜200μmであり、好ましくは1〜100μm、より好ましくは5〜80μm、さらに好ましくは8〜50μm、よりさらに好ましくは8〜40μm、特に好ましくは10〜35μm、最も好ましくは10〜30μmである。厚さが1μm未満では強度が不足し、支持フィルム剥離時の作業性が低下することがある。また厚さが200μmを超えると露光後のパターン形状が不鮮明になることがある。   There is no restriction | limiting in particular in the thickness of (I) support film used by this invention, Usually, it is 1-200 micrometers, Preferably it is 1-100 micrometers, More preferably, it is 5-80 micrometers, More preferably, it is 8-50 micrometers, More preferably, it is 8 It is ˜40 μm, particularly preferably 10 to 35 μm, most preferably 10 to 30 μm. If the thickness is less than 1 μm, the strength is insufficient, and workability at the time of peeling the support film may be lowered. On the other hand, if the thickness exceeds 200 μm, the pattern shape after exposure may become unclear.

本発明で用いる(I)支持フィルムは、0.01〜0.5質量%のアンチブロッキング剤を含有することを特徴とする。アンチブロッキング剤は、フィルム同士の粘着あるいは接着を抑制する機能を有する物質であり、無機系のものや有機系のものが特に限定されずに用いられる。   The (I) support film used in the present invention is characterized by containing 0.01 to 0.5% by mass of an antiblocking agent. The anti-blocking agent is a substance having a function of suppressing adhesion or adhesion between films, and an inorganic type or an organic type is used without particular limitation.

無機系アンチブロッキング剤としては、溶融シリカ、合成シリカ、天然シリカ、シリカ、アルミナ、チタニア、これらの複合酸化物等、A型ゼオライト、Pc型ゼオライト、X型ゼオライト等のゼオライト、タルク、カオリン、アルミノシリケート、ケイ藻土、滑石等を挙げることができる。これらは、いずれも、酸変性やイオン交換等の処理が施されていてもよい。   Inorganic antiblocking agents include fused silica, synthetic silica, natural silica, silica, alumina, titania, composite oxides thereof, zeolites such as A-type zeolite, Pc-type zeolite, and X-type zeolite, talc, kaolin, alumino Examples include silicate, diatomaceous earth, and talc. Any of these may be subjected to treatment such as acid modification or ion exchange.

有機系アンチブロッキング剤としては、例えば、架橋アクリレート樹脂、架橋ポリメチルメタクリレート、架橋ポリスチレン、非溶融型のシリコーン樹脂及びシリコーンゴム、シリコーン系共重合体、ポリアミド、トリアジン環を有する縮合型樹脂、メラミン樹脂、グアナミン樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂等の熱硬化性樹脂を挙げることができる。これらは、粉末状、好ましくは球状微粒子の形態で用いられる。これらのアンチブロッキング剤は、単独で用いてもよく、また2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the organic antiblocking agent include cross-linked acrylate resin, cross-linked polymethyl methacrylate, cross-linked polystyrene, non-melt type silicone resin and silicone rubber, silicone-based copolymer, polyamide, condensation resin having triazine ring, and melamine resin. And thermosetting resins such as guanamine resin, phenol resin, and urea resin. These are used in the form of powder, preferably spherical fine particles. These antiblocking agents may be used alone or in combination of two or more.

これらアンチブロッキング剤の平均粒径は任意であるが、通常0.1〜10.0μmであり、好ましくは0.3〜8.0μm、より好ましくは0.5〜6.0μm、さらに好ましくは0.8〜5.0μm、特に好ましくは1.0〜4.0μmである。平均粒径が0.1μm未満では、ブロッキングの抑制効果が見られない場合があり、また10.0μmを超えてもブロッキング抑制の効果が見られなくなる場合がある。   The average particle size of these antiblocking agents is arbitrary, but is usually 0.1 to 10.0 μm, preferably 0.3 to 8.0 μm, more preferably 0.5 to 6.0 μm, still more preferably 0.8 to 5.0 μm, and particularly preferably 1.0 to 4.0 μm. If the average particle size is less than 0.1 μm, the blocking inhibitory effect may not be seen, and if it exceeds 10.0 μm, the blocking inhibitory effect may not be seen.

アンチブロッキング剤の配合量は、前記(I)支持フィルム中0.01〜0.50質量%であり、好ましくは0.01〜0.30質量%、より好ましくは0.01〜0.20質量%、さらに好ましくは0.02〜0.15質量%、よりさらに好ましくは0.02〜0.10質量%、特に好ましくは0.02〜0.09質量%、最も好ましくは0.03〜0.08質量%である。配合量が0.01質量%未満では、ブロッキング防止の効果が見られない場合があり、また0.50質量%を超えて配合すると、透明性の低下によるドライフィルムの光感度の低下が起こることがある。またゲルの発生により露光時に紫外線等の散乱が起こり、レジストパターンの形状が不鮮明となることがある。   The blending amount of the anti-blocking agent is 0.01 to 0.50 mass% in the (I) support film, preferably 0.01 to 0.30 mass%, more preferably 0.01 to 0.20 mass%, still more preferably 0.02 to 0.15 mass%, and more. More preferably, it is 0.02-0.10 mass%, Most preferably, it is 0.02-0.09 mass%, Most preferably, it is 0.03-0.08 mass%. If the blending amount is less than 0.01% by mass, the anti-blocking effect may not be seen. If the blending amount exceeds 0.50% by mass, the photosensitivity of the dry film may decrease due to a decrease in transparency. Further, the generation of gel causes scattering of ultraviolet rays or the like at the time of exposure, and the shape of the resist pattern may become unclear.

さらにゲルの発生により感光層の膜厚が局部的に減少し、回路パターンを有する基板との積層時に気泡が残留したり、回路パターンへの感光層の追随が困難となる。また甚だしい場合にはゲルにより感光層にピンホールが発生することもある。これらはいずれも永久保護膜としての性能を低下させ、はんだ耐熱性や絶縁特性の低下をもたらすこととなる。   Furthermore, the film thickness of the photosensitive layer is locally reduced due to the generation of gel, and bubbles remain when laminated with a substrate having a circuit pattern, and it becomes difficult to follow the photosensitive layer to the circuit pattern. In extreme cases, gel may cause pinholes in the photosensitive layer. All of these deteriorate the performance as a permanent protective film, and bring about a decrease in solder heat resistance and insulation characteristics.

アンチブロッキング剤は、任意の方法により添加することができ、例えばポリエステル樹脂を製造した後に溶融混練することで添加される。この方法においてはアンチブロッキング剤は予め10質量%程度の濃度に希釈されたマスターペレットの状態として添加することが好ましい。またポリエステル樹脂製造の反応時、例えばエステル交換法による場合、エステル交換反応中ないし重縮合反応中の任意の時期、または直接重合法による場合の任意の時期に、反応系中に添加することもできる。特に、重縮合反応の初期、例えば固有粘度が約0.3dl/gに至るまでの間にアンチブロッキング剤粒子を反応系中に添加するのが好ましい。   An antiblocking agent can be added by arbitrary methods, for example, is added by melt-kneading after manufacturing a polyester resin. In this method, the antiblocking agent is preferably added as a master pellet diluted in advance to a concentration of about 10% by mass. Further, it can be added to the reaction system at the time of the reaction for producing the polyester resin, for example, by the transesterification method, at any time during the transesterification or polycondensation reaction, or at any time in the case of the direct polymerization method. . In particular, the antiblocking agent particles are preferably added to the reaction system at the beginning of the polycondensation reaction, for example, until the intrinsic viscosity reaches about 0.3 dl / g.

本発明で用いる(I)支持フィルムは、任意の方法により製造される。例えば、前記支持フィルムを形成するポリエステル樹脂、アンチブロッキング剤さらには必要に応じてその他の添加剤を混合し、単軸押出機、二軸押出機、ニーダー、バンバリーミキサー等の公知の混練装置を用いて100〜300℃程度の温度で混練した後、Tダイ等を取り付けた押出機等により押出成形することでフィルム状に成形される。   The (I) support film used in the present invention is produced by any method. For example, a polyester resin that forms the support film, an antiblocking agent, and other additives as necessary are mixed, and a known kneading apparatus such as a single screw extruder, a twin screw extruder, a kneader, or a Banbury mixer is used. After being kneaded at a temperature of about 100 to 300 ° C., it is formed into a film by extrusion molding with an extruder or the like equipped with a T die or the like.

なお、本発明で用いる(I)支持フィルムは、単層のフィルムでもよく、また多層のフィルムでもよい。さらに(I)支持フィルムは、無延伸フィルム、延伸フィルムのどちらでもよく、延伸フィルムの場合には、一軸または二軸延伸のいずれでもよい。延伸にあたっては公知の方法が採用可能であり、押出機等を用いてフィルム原反を作製した後、このフィルム原反をテンター式、パンタグラフ式などの延伸装置を用い、連続的に逐次にあるいは同時に延伸を行うこともできる。(I)支持重合体フィルムはコロナ処理等の各種処理が行われたものでもよい。   The (I) support film used in the present invention may be a single layer film or a multilayer film. Further, (I) the support film may be either an unstretched film or a stretched film, and in the case of a stretched film, it may be either uniaxial or biaxially stretched. In stretching, a known method can be adopted. After producing a film raw material using an extruder or the like, the film raw material is continuously or simultaneously used by using a tenter type, pantograph type stretching device or the like. Stretching can also be performed. (I) The support polymer film may be subjected to various treatments such as corona treatment.

さらに(I)支持フィルムは、(II)感光層と接触する面とは反対側の面に剥離剤層を形成したものでもよい。剥離剤層は、シリコーン、シリコン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ポリアルキレングリコール系界面活性剤、ポリアルキレンアミン系界面活性剤、アクリル系界面活性剤、炭化水素ワックス等の公知の剥離剤を塗布あるいは積層することにより形成される。特に本発明のドライフィルムを(III)保護フィルムを使用せずに製造し、これをロール状の形態にする場合は、剥離剤層が形成された(I)支持フィルムを用いることが好ましい。   Further, (I) the support film may be formed by forming a release agent layer on the surface opposite to the surface in contact with (II) the photosensitive layer. The release agent layer is a known release agent such as silicone, silicone surfactant, fluorine surfactant, polyalkylene glycol surfactant, polyalkylene amine surfactant, acrylic surfactant, hydrocarbon wax, etc. It is formed by applying or laminating. In particular, when the dry film of the present invention is produced without using the (III) protective film and is made into a roll shape, it is preferable to use the (I) support film on which the release agent layer is formed.

次に本発明で用いる(II)感光層について説明する。(II)感光層は、プリント配線板の保護膜として使用される任意の組成物から形成されるものであり、好ましくは、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物より形成される。   Next, the (II) photosensitive layer used in the present invention will be described. (II) The photosensitive layer is formed from any composition used as a protective film for a printed wiring board, and preferably (A) a photocurable resin having a carboxyl group, and (B) initiation of photopolymerization. And (C) a photosensitive composition containing an epoxy resin as essential components.

前記(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物に使用される、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂は、任意のものが使用できる。その使用量は(II)感光層中10〜90質量%であり、好ましくは20〜80質量%、特に好ましくは25〜70質量%、最も好ましくは30〜60質量%である。(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂の使用量が10質量%未満あるいは90質量%を超える場合には、硬化が不十分となり耐熱性が低下する。   (A) A photocurable resin having a carboxyl group, which is used in a photosensitive composition containing (A) a carboxyl group-containing photocurable resin, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin as essential components. Any resin can be used. The amount used thereof is 10 to 90% by mass in the photosensitive layer (II), preferably 20 to 80% by mass, particularly preferably 25 to 70% by mass, and most preferably 30 to 60% by mass. (A) When the usage-amount of the photocurable resin which has a carboxyl group is less than 10 mass% or exceeds 90 mass%, hardening will become inadequate and heat resistance will fall.

(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂は、好ましくは下記一般式(1)で示されるビスフェノール型エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物に、多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるものである。   (A) The photocurable resin having a carboxyl group is preferably a reaction product of a bisphenol type epoxy resin (a) represented by the following general formula (1) and an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b). It is obtained by reacting basic acid anhydride (c).

Figure 2006267152
前記一般式(1)において、nは1〜10の整数である。
Figure 2006267152
In the said General formula (1), n is an integer of 1-10.

前記一般式(1)において、Xは単結合、メチレン基、エチリデン基、イソプロピリデン基及びスルホニル基の中から選ばれ、好ましくはメチレン基またはイソプロピリデン基であり、最も好ましくはメチレン基である。   In the general formula (1), X is selected from a single bond, a methylene group, an ethylidene group, an isopropylidene group and a sulfonyl group, preferably a methylene group or an isopropylidene group, and most preferably a methylene group.

前記一般式(1)において、Yは水素原子または2,3−エポキシプロピル基の中から選ばれ、n=1の場合にはYは2,3−エポキシプロピル基であり、nが2以上の場合には少なくともひとつのYは2,3−エポキシプロピル基である。   In the general formula (1), Y is selected from a hydrogen atom or a 2,3-epoxypropyl group. When n = 1, Y is a 2,3-epoxypropyl group, and n is 2 or more. In some cases, at least one Y is a 2,3-epoxypropyl group.

本発明で使用される不飽和基含有モノカルボン酸(b)は、1分子中に1個のカルボキシル基と1個以上の不飽和基を有する化合物であり、具体的には、アクリル酸、アクリル酸の二量体、メタクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、β−スチリルアクリル酸、桂皮酸、クロトン酸、α−シアノ桂皮酸等が挙げられる。これら不飽和基含有モノカルボン酸(b)は、単独あるいは複数を併用することができる。これらの中でも好ましいのはアクリル酸またはメタクリル酸であり、最も好ましいのはアクリル酸である。   The unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b) used in the present invention is a compound having one carboxyl group and one or more unsaturated groups in one molecule. Specifically, acrylic acid, acrylic Examples include acid dimers, methacrylic acid, β-furfurylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, α-cyanocinnamic acid, and the like. These unsaturated group-containing monocarboxylic acids (b) can be used alone or in combination. Among these, acrylic acid or methacrylic acid is preferable, and acrylic acid is most preferable.

前記エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応は、エポキシ樹脂(a)のエポキシ基1当量に対して、不飽和基含有モノカルボン酸(b)が0.8〜1.2当量となる比率で反応させることが好ましく、更に0.9〜1.0当量となる比率が好ましい。   In the reaction of the epoxy resin (a) with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b), the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b) is 0.8 to 1.2 with respect to 1 equivalent of the epoxy group of the epoxy resin (a). It is preferable to make it react by the ratio used as an equivalent, and also the ratio used as 0.9-1.0 equivalent is preferable.

エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応は、通常有機溶剤中で行われる。ここで使用される有機溶剤としては、エチルメチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート等のエステル類、オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素類、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等が挙げられる。   The reaction between the epoxy resin (a) and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b) is usually carried out in an organic solvent. Organic solvents used here include ketones such as ethyl methyl ketone and cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol Glycol ethers such as monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, octane, decane, etc. Examples thereof include petroleum hydrocarbons such as aliphatic hydrocarbons, petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha.

また前記反応は触媒の存在下に行うことも可能である。触媒としては、例えば、トリエチルアミン、ベンジルメチルアミン、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルアンモニウムアイオダイド、トリフェニルホスフィン等を使用することができる。   The reaction can also be performed in the presence of a catalyst. As the catalyst, for example, triethylamine, benzylmethylamine, methyltriethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium bromide, benzyltrimethylammonium iodide, triphenylphosphine, and the like can be used.

前記触媒の使用量は、通常エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)の合計100質量部に対して、0.1〜10質量部である。反応中の重合を防止する目的で、重合禁止剤を使用することが好ましい。重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、ピロガロール等が挙げられ、その使用量は、エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)の合計100質量部に対して、好ましくは0.01〜1質量部である。反応温度は、好ましくは60〜150℃、更に好ましくは80〜120℃である。   The usage-amount of the said catalyst is 0.1-10 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of an epoxy resin (a) and an unsaturated group containing monocarboxylic acid (b) normally. A polymerization inhibitor is preferably used for the purpose of preventing polymerization during the reaction. Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, methyl hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, catechol, pyrogallol and the like, and the amount used is a total of 100 masses of the epoxy resin (a) and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b). Preferably it is 0.01-1 mass part with respect to a part. The reaction temperature is preferably 60 to 150 ° C, more preferably 80 to 120 ° C.

本発明で用いる(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂の製造に用いられる多塩基酸無水物(c)としては、1分子中に1以上の酸無水物基を有する化合物であり、具体的には、無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸等が挙げられる。これらは単独でも使用しても良く、また複数を併用して良い。これらの中でも好ましいのは、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸であり、最も好ましいのは、テトラヒドロ無水フタル酸である。   The polybasic acid anhydride (c) used in the production of (A) a photocurable resin having a carboxyl group used in the present invention is a compound having one or more acid anhydride groups in one molecule. Succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ethyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, ethylhexahydrophthalic anhydride And itaconic anhydride. These may be used alone or in combination. Among these, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ethyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, and ethylhexahydrophthalic anhydride are the most preferable. Preference is given to tetrahydrophthalic anhydride.

本発明において、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂の製造における多塩基酸無水物(c)の反応は、前記エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応に用いたものと同様の溶媒中において、通常60〜120℃の温度範囲において行われる。多塩基酸無水物(c)の使用量は、前記エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物中の水酸基1当量に対して、通常0.1〜2.0当量であり、多塩基酸無水物(c)の使用量を変化させることにより、光硬化性樹脂(A)の酸価を調整できる。このようにして得られる本発明の光硬化性樹脂(A)の酸価は20〜200mgKOH/gが好ましく、50〜150mgKOH/gが更に好ましい。酸価が20mgKOH/g未満では光硬化性樹脂組成物の希アルカリ溶液への溶解性が低下し、200mgKOH/gを超えると硬化膜の電気特性が低下する傾向がある。   In the present invention, (A) the reaction of the polybasic acid anhydride (c) in the production of the photocurable resin having a carboxyl group is a reaction between the epoxy resin (a) and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b). In the same solvent as that used in the step, it is usually carried out in a temperature range of 60 to 120 ° C. The amount of the polybasic acid anhydride (c) used is usually 0.1 to 2.0 equivalents relative to 1 equivalent of the hydroxyl group in the reaction product of the epoxy resin (a) and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b). Yes, the acid value of the photocurable resin (A) can be adjusted by changing the amount of the polybasic acid anhydride (c) used. The acid value of the photocurable resin (A) of the present invention thus obtained is preferably 20 to 200 mgKOH / g, more preferably 50 to 150 mgKOH / g. When the acid value is less than 20 mgKOH / g, the solubility of the photocurable resin composition in a dilute alkali solution is lowered, and when it exceeds 200 mgKOH / g, the electric characteristics of the cured film tend to be lowered.

本発明で使用される(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂の他の好ましい例としては、ポリヒドロキシカルボン酸(d)、ポリオール(e)、ポリイソシアネート(f)、及び不飽和ヒドロキシ化合物(g)を反応させて得られるものが挙げられ、好ましくはカルボキシル基を有するウレタン(メタ)アクリレート樹脂である。   Other preferred examples of the photocurable resin (A) having a carboxyl group used in the present invention include polyhydroxycarboxylic acid (d), polyol (e), polyisocyanate (f), and unsaturated hydroxy compound ( Examples thereof include those obtained by reacting g), and urethane (meth) acrylate resins having a carboxyl group are preferred.

ポリヒドロキシカルボン酸(d)、ポリオール(e)、ポリイソシアネート(f)、及び不飽和ヒドロキシ化合物(g)から、カルボキシル基を有するウレタン(メタ)アクリレート樹脂を製造する方法は、特に限定されるものではないが、好ましい製造方法としては、各成分を一括混合して反応させる方法、前記(d)、(e)及び(f)を反応させて1分子あたり1個以上のイソシアネート基を含有するウレタンイソシアネートプレポリマーを形成させた後、該ウレタンイソシアネートプレポリマーと前記(g)を反応させる方法等が挙げられる。   The method for producing a urethane (meth) acrylate resin having a carboxyl group from polyhydroxycarboxylic acid (d), polyol (e), polyisocyanate (f), and unsaturated hydroxy compound (g) is particularly limited. However, as a preferable production method, a method in which each component is mixed and reacted, a urethane containing one or more isocyanate groups per molecule by reacting the above (d), (e) and (f) Examples include a method of reacting the urethane isocyanate prepolymer with the above (g) after forming the isocyanate prepolymer.

ポリヒドロキシカルボン酸(d)は、1分子中に2以上のヒドロキシル基と1以上のカルボキシル基を有する化合物であり、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸、酒石酸などが挙げられる。またポリヒドロキシカルボン酸(d)の他の例としては、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、グリセリンのポリプロポキシトリオール、トリメチロールプロパンのポリエトキシトリオール、ペンタエリスリトールのポリプロポキシテトラオール、トリメチロールプロパンのε−カプロラクトン変性物などの3官能以上のポリオール化合物のヒドロキシル基1当量に対して、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸などの多塩基酸無水物を、酸無水物基で0.25〜0.5当量反応させた化合物等を挙げることができる。これらポリヒドロキシカルボン酸(d)のうち、ジメチロールプロピオン酸及びジメチロールブタン酸が好ましい。   The polyhydroxycarboxylic acid (d) is a compound having two or more hydroxyl groups and one or more carboxyl groups in one molecule, and examples thereof include dimethylolpropionic acid, dimethylolbutanoic acid, and tartaric acid. Other examples of polyhydroxycarboxylic acid (d) include glycerin, trimethylolpropane, trimethylolethane, glycerol polypropoxytriol, trimethylolpropane polyethoxytriol, pentaerythritol polypropoxytetraol, trimethylolpropane. Succinic anhydride, maleic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, etc. with respect to 1 equivalent of the hydroxyl group of a trifunctional or higher functional polyol compound such as ε-caprolactone modified Examples include compounds obtained by reacting polybasic acid anhydrides with an acid anhydride group in an amount of 0.25 to 0.5 equivalents. Of these polyhydroxycarboxylic acids (d), dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid are preferred.

本発明において、(A)として使用可能なカルボキシル基を有するウレタン(メタ)アクリレート樹脂の製造に使用されるポリオール(e)は、1分子中に2以上のヒドロキシル基を有する化合物であり、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ブチレングリコール、ペンタメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコールなどの2価アルコールや、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールなどの多価アルコールなどが挙げられる。これらの中でも好ましいのは、エチレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ペンタメチレングリコール、ヘキサメチレングリコールである。   In the present invention, the polyol (e) used for the production of the urethane (meth) acrylate resin having a carboxyl group that can be used as (A) is a compound having two or more hydroxyl groups in one molecule. , Propylene glycol, trimethylene glycol, tetramethylene glycol, butylene glycol, pentamethylene glycol, hexamethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol and other dihydric alcohols, glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol and other polyhydric alcohols Can be mentioned. Among these, ethylene glycol, trimethylene glycol, tetramethylene glycol, pentamethylene glycol and hexamethylene glycol are preferable.

ポリオール(e)の他の例としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール等のポリエーテル系ジオール、多価アルコールと多塩基酸のエステルから得られるポリエステル系ポリオール、ヘキサメチレンカーボネート、ペンタメチレンカーボネート等に由来の単位を構成単位として含むポリカーボネート系ジオール、ポリカプロラクトンジオール、ポリブチロラクトンジオール等のポリラクトン系ジオールが挙げられる。これらの中でも好ましいのは、ポリラクトン系ジオール及びポリカーボネート系ジオールである。   Other examples of the polyol (e) include polyether-based diols such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, and polytetramethylene glycol, polyester-based polyols obtained from esters of polyhydric alcohols and polybasic acids, hexamethylene carbonate, and pentamethylene. And polylactone diols such as polycarbonate diols, polycaprolactone diols, polybutyrolactone diols containing units derived from carbonates as constituent units. Among these, polylactone diols and polycarbonate diols are preferable.

これらのポリマーポリオールは、ポリエーテル系ジオール、ポリエステル系ポリオール、ポリカーボネート系ジオール及びポリラクトン系ジオールの中から一種類または複数種類を組み合わせて使用することができる。また、これらポリマーポリオールは、その分子中にカルボキシル基を持たせたものでもよい。これらのポリマーポリオールの数平均分子量は、可撓性の面から200〜2000が好ましい。   These polymer polyols can be used singly or in combination of a polyether diol, a polyester polyol, a polycarbonate diol, and a polylactone diol. These polymer polyols may have a carboxyl group in the molecule. The number average molecular weight of these polymer polyols is preferably 200 to 2000 from the viewpoint of flexibility.

本発明において、(A)として使用可能なカルボキシル基を有するウレタン(メタ)アクリレート樹脂の製造に使用されるポリイソシアナート(f)の具体的として、具体的に2,4−トルエンジイソシアナート、2,6−トルエンジイソシアナート、イソホロンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアナート、ジフェニルメチレンジイソシアナート、(o,m,またはp)−キシレンジイソシアナート、メチレンビス(シクロヘキシルイソシアナート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアナート、シクロヘキサン−1,3−ジメチレンジイソシアナート、シクロヘキサン−1,4−ジメチレレンジイソシアナート及び1,5−ナフタレンジイソシアナート等のジイソシナートが挙げられる。これらのポリイソシアナートは1種または2種以上用いることができる。これらの中でも好ましいのは、2,4−トルエンジイソシアナート、2,6−トルエンジイソシアナート、イソホロンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアナート、ジフェニルメチレンジイソシアナート、(o,m,またはp)−キシレンジイソシアナート、メチレンビス(シクロヘキシルイソシアナート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアナートであり、最も好ましいのは、イソホロンジイソシアナートである。   In the present invention, as a specific example of the polyisocyanate (f) used for producing a urethane (meth) acrylate resin having a carboxyl group that can be used as (A), specifically, 2,4-toluene diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, (o, m, or p) -xylene diisocyanate, methylene bis (cyclohexyl isocyanate), trimethylhexamethylene Examples thereof include diisocyanates such as diisocyanate, cyclohexane-1,3-dimethylene diisocyanate, cyclohexane-1,4-dimethylene diisocyanate and 1,5-naphthalene diisocyanate. These polyisocyanates can be used alone or in combination of two or more. Among these, 2,4-toluene diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, (o, m, or p) are preferable. -Xylene diisocyanate, methylene bis (cyclohexyl isocyanate), trimethylhexamethylene diisocyanate, most preferred is isophorone diisocyanate.

本発明において、(A)として使用可能なカルボキシル基を有するウレタン(メタ)アクリレート樹脂の製造に使用される不飽和ヒドロキシ化合物(g)は、1分子中に1以上のヒドロキシル基と1以上の不飽和結合を有する化合物であり、公知のものが使用できる。不飽和ヒドロキシ化合物(g)の具体例としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、前記各(メタ)アクリレートのカプロラクトンまたは酸化アルキレン付加物、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、グリシジルメタクリレート−アクリル酸付加物、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリルレート、トリメチロールプロパン−酸化アルキレン付加物−ジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらのヒドロキシル基を有する(メタ)アクリレートは1種または2種以上用いることができる。これらのうち2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートが好ましく、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートがより好ましい。   In the present invention, the unsaturated hydroxy compound (g) used for the production of a urethane (meth) acrylate resin having a carboxyl group that can be used as (A) is one or more hydroxyl groups and one or more unsaturated groups in one molecule. A compound having a saturated bond, and known compounds can be used. Specific examples of the unsaturated hydroxy compound (g) include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, caprolactone or alkylene oxide adduct of each (meth) acrylate, Glycerin mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, glycidyl methacrylate-acrylic acid adduct, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipenta Examples include erythritol penta (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane-alkylene oxide adduct-di (meth) acrylate, and the like. It is. These (meth) acrylates having a hydroxyl group can be used alone or in combination of two or more. Among these, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, and hydroxybutyl (meth) acrylate are preferable, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is more preferable.

本発明に用いられる(B)光重合開始剤は、紫外線等の放射線の照射により不飽和結合を有する化合物の重合を開始する能力を有する化合物であり、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類、4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−ジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−トリクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等のアセトフェノン類、チオキサンテン、2−クロルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2,4−ジメチルチオキサンテン等のチオキサンテン類、エチルアントラキノン、ブチルアントラキノン等のアルキルアントラキノン類、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド類、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オンなどのベンジルジメチルケタール類、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンなどのα−アミノケトン類、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−プロパン−1−オンなどのα−ヒドロキシケトン類、9,10−フェナンスレンキノン等を挙げることができる。これらは単独、あるいは2種以上の混合物として用いることができる。また、必要に応じて光増感剤を併用することができる。   The (B) photopolymerization initiator used in the present invention is a compound having the ability to initiate polymerization of a compound having an unsaturated bond by irradiation with radiation such as ultraviolet rays, and includes benzophenone, benzoylbenzoic acid, 4-phenylbenzophenone, Benzophenones such as hydroxybenzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin butyl ether, benzoin isobutyl ether, 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t -Butyl-dichloroacetophenone, 4-t-butyl-trichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butyl Acetophenones such as N-1-one, thioxanthenes such as thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2,4-dimethylthioxanthene, alkyl anthraquinones such as ethyl anthraquinone, butyl anthraquinone, 2, Acylphosphine oxides such as 4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, benzyldimethylketals such as 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio ) Phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, α-aminoketones such as 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-hydroxy-2 -Methyl-1-phenyl-propan-1-one, Examples include α-hydroxy ketones such as 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-propan-1-one, 9,10-phenanthrenequinone, and the like. These can be used alone or as a mixture of two or more. Moreover, a photosensitizer can be used together as needed.

これらの(B)光重合開始剤の中でも、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類、ベンジルジメチルケタール類、アシルホスフィンオキサイド類、α−アミノケトン類、α−ヒドロキシケトン類が好ましく、特に、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトンが、波長吸収効率が高く、高活性であるため好ましい。   Among these (B) photopolymerization initiators, benzophenones, acetophenones, benzyl dimethyl ketals, acylphosphine oxides, α-amino ketones, α-hydroxy ketones are preferable, and 4,4′-bis ( Diethylamino) benzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 2,4,6- Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)- Butan-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl ketone, wavelength absorption It is preferable because of its high efficiency and high activity.

これらの(B)光重合開始剤の配合量は、本発明のドライフィルムの(II)感光層中0.1〜30質量%であり、好ましくは1.0〜20質量%であり、特に好ましくは2.0〜15質量%である。(B)光重合開始剤の配合量が0.1質量%未満であると、感光層の硬化が不十分となる場合がある。   The blending amount of these (B) photopolymerization initiators is 0.1 to 30% by mass, preferably 1.0 to 20% by mass, particularly preferably 2.0 to 15% in the (II) photosensitive layer of the dry film of the present invention. % By mass. (B) When the compounding quantity of a photoinitiator is less than 0.1 mass%, hardening of a photosensitive layer may become inadequate.

本発明において使用される(C)エポキシ樹脂は1分子中に2以上のエポキシ基を有する化合物であり、任意のエポキシ樹脂を使用することが可能である。これらは単独で使用しても良く、また複数を併用してもよい。より具体的には、フェノール類またはアルコール類とクロロメチルオキシランとの反応によって得られるビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビスフェノールFグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビスフェノールSグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビフェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビキシレノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、サリチルアルデヒド型エポキシ樹脂等のグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、カルボン酸類とクロロメチルオキシランとの反応によって得られるグリシジルエステル型エポキシ樹脂、アミン類とクロロメチルオキシランとの反応によって得られるグリシジルアミン型エポキシ樹脂、二重結合の酸化によって得られる内部エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの詳細については、例えば新保正樹編「エポキシ樹脂ハンドブック」(日刊工業新聞社1987発行)に記載されている。   The (C) epoxy resin used in the present invention is a compound having two or more epoxy groups in one molecule, and any epoxy resin can be used. These may be used alone or in combination. More specifically, bisphenol A glycidyl ether type epoxy resin, bisphenol F glycidyl ether type epoxy resin, bisphenol S glycidyl ether type epoxy resin, biphenol glycidyl ether type epoxy obtained by reaction of phenols or alcohols with chloromethyloxirane. Glycidyl ether type epoxy resins such as resins, bixylenol glycidyl ether type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, salicylaldehyde type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins obtained by reaction of carboxylic acids with chloromethyloxirane, amines Glycidylamine type epoxy resin obtained by reaction with chloromethyloxirane, internal epoxy obtained by oxidation of double bond Resins, heterocyclic epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate. These details are described, for example, in “Epoxy resin handbook” edited by Masaki Shinbo (published by Nikkan Kogyo Shimbun 1987).

これらのうち好ましいのは、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、複素環型エポキシ樹脂であり、さらに好ましいのは、、ビフェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビキシレノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂及びサリチルアルデヒド型エポキシ樹脂である。   Of these, preferred are glycidyl ether type epoxy resins and heterocyclic type epoxy resins, and more preferred are biphenol glycidyl ether type epoxy resins, bixylenol glycidyl ether type epoxy resins, cresol novolac epoxy resins and salicylaldehyde types. It is an epoxy resin.

また、(C)エポキシ樹脂として、臭素化エポキシ樹脂を使用することも可能である。臭素化エポキシ樹脂の使用により難燃性が付与される。臭素化エポキシ樹脂としては、1分子中に1以上の臭素原子を有する公知のものが使用できる。臭素化エポキシ樹脂としては、好ましくは下記一般式(2)、及び下記一般式(3)で表されるものが使用できる。   Moreover, it is also possible to use brominated epoxy resin as (C) epoxy resin. Use of brominated epoxy resin provides flame retardancy. As the brominated epoxy resin, known ones having one or more bromine atoms in one molecule can be used. As the brominated epoxy resin, those represented by the following general formula (2) and the following general formula (3) can be preferably used.

Figure 2006267152
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Figure 2006267152
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前記一般式(2)において、Xは単結合、メチレン基、エチリデン基、イソプロピリデン基及びスルホニル基の中から選ばれ、好ましくはメチレン基またはイソプロピリデン基であり、最も好ましくはイソプロピリデン基である。また前記一般式(2)において、mは0または1〜10の整数である。   In the general formula (2), X is selected from a single bond, a methylene group, an ethylidene group, an isopropylidene group and a sulfonyl group, preferably a methylene group or an isopropylidene group, and most preferably an isopropylidene group. . In the general formula (2), m is 0 or an integer of 1 to 10.

また前記一般式(3)において、Zは水素原子または2,3−エポキシプロピル基の中から選ばれ、少なくともひとつのZは2,3−エポキシプロピル基である。また前記一般式(3)において、qは0または1〜10の整数である。   In the general formula (3), Z is selected from a hydrogen atom or a 2,3-epoxypropyl group, and at least one Z is a 2,3-epoxypropyl group. In the general formula (3), q is 0 or an integer of 1 to 10.

本発明で使用される臭素化エポキシ樹脂の具体例としては、テトラブロモビスフェノールAのジグリシジルエーテル、テトラブロモビスフェノールFのジグリシジルエーテル、テトラブロモビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジグリシジルエーテル、テトラブロモビスフェノールFのエチレンオキサイド付加物のジグリシジルエーテル、臭素化ノボラック型フェノール樹脂のグリシジルエーテルなどが挙げられる。これら臭素化エポキシ樹脂は単独で使用しても良く、複数を併用してもよい。これらのうち好ましくはテトラブロモビスフェノールAのジグリシジルエーテルなどのビスフェノール型の臭素化エポキシ樹脂であり、最も好ましくはテトラブロモビスフェノールAのジグリシジルエーテルである。   Specific examples of the brominated epoxy resin used in the present invention include diglycidyl ether of tetrabromobisphenol A, diglycidyl ether of tetrabromobisphenol F, diglycidyl ether of tetrabromobisphenol A ethylene oxide adduct, tetrabromo Examples thereof include diglycidyl ether of bisphenol F ethylene oxide adduct and glycidyl ether of brominated novolac type phenol resin. These brominated epoxy resins may be used alone or in combination. Of these, bisphenol-type brominated epoxy resins such as tetrabromobisphenol A diglycidyl ether, and most preferably tetrabromobisphenol A diglycidyl ether.

本発明において、(C)エポキシ樹脂の使用量は、本発明の(II)感光層中1〜70質量%であり、好ましくは3〜40質量%、特に好ましくは5〜20質量%である。(C)エポキシ樹脂の使用量が1質量%未満では耐熱性が低下することがあり、70質量%を超えると現像性や保存安定性が低下することがある。   In this invention, the usage-amount of (C) epoxy resin is 1-70 mass% in (II) photosensitive layer of this invention, Preferably it is 3-40 mass%, Most preferably, it is 5-20 mass%. (C) When the amount of the epoxy resin used is less than 1% by mass, the heat resistance may decrease, and when it exceeds 70% by mass, the developability and storage stability may decrease.

また(C)エポキシ樹脂として臭素化エポキシ樹脂を使用する場合、その使用量は(II)感光層中において、通常3.0〜25.0質量%であり、好ましくは5.0〜20.0質量%、さらに好ましくは7.0〜15.0質量%である。臭素化エポキシ樹脂の使用量が3.0質量%未満では、難燃性の向上に対する効果が認められない場合があり、25.0質量%を超えると耐熱性の低下や、アルカリ現像性が低下する場合がある。   Moreover, when using brominated epoxy resin as (C) epoxy resin, the usage-amount is (II) photosensitive layer normally 3.0-25.0 mass%, Preferably it is 5.0-20.0 mass%, More preferably, 7.0- 15.0% by weight. If the amount of brominated epoxy resin used is less than 3.0% by mass, the effect on the flame retardancy may not be recognized, and if it exceeds 25.0% by mass, the heat resistance may deteriorate and the alkali developability may decrease. .

本発明において、感光性組成物は、前記(A)〜(C)に加え、さらに(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーを含有することが好ましい。これらは感光性組成物の粘度を調整したり、感光性組成物を硬化物としたときの耐熱性、可撓性などの物性を調整する目的で添加される。(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーは、前記(B)光重合開始剤により重合を行う化合物であれば特に制限は無く、公知のものを単独で、あるいは複数を組み合わせて使用することができる。   In the present invention, the photosensitive composition preferably further contains (D) a photocurable monomer or oligomer in addition to (A) to (C). These are added for the purpose of adjusting the viscosity of the photosensitive composition or adjusting physical properties such as heat resistance and flexibility when the photosensitive composition is a cured product. The (D) photocurable monomer or oligomer is not particularly limited as long as it is a compound that is polymerized by the photopolymerization initiator (B), and known ones can be used alone or in combination.

(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーの具体例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート;シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ボルニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート等の脂環式(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェニルカルビトール(メタ)アクリレート、ノニルフェニル(メタ)アクリレート、ノニルフェニルカルビトール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシ(メタ)アクリレート等の芳香族(メタ)アクリレート;2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、またはグリセロールジ(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基を有する(メタ)アクリレート;2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−tert−ブチルアミノエチル(メタ)アクリレート等のアミノ基を有する(メタ)アクリレート;メタクリロキシエチルフォスフェート、ビス・メタクリロキシエチルフォスフェート、メタクリロオキシエチルフェニールアシッドホスフェート等のリン原子を有するメタクリレートなどのモノ(メタ)アクリレートが挙げられる。   (D) Specific examples of the photocurable monomer or oligomer include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) ) Acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl Alkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate; cyclohexyl (meth) acrylate, bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, Cycloaliphatic (meth) acrylates such as dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, phenyl carbitol (meth) acrylate, nonylphenyl (meth) acrylate, nonylphenyl carbitol Aromatic (meth) acrylates such as (meth) acrylate and nonylphenoxy (meth) acrylate; 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, butanediol mono (meth) acrylate , Glycerol (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, etc. (Meth) acrylate having a hydroxyl group; (meth) acrylate having an amino group such as 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-diethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-tert-butylaminoethyl (meth) acrylate; Examples thereof include mono (meth) acrylates such as methacrylate having a phosphorus atom such as methacryloxyethyl phosphate, bis-methacryloxyethyl phosphate, methacryloxyethyl phenyl acid phosphate, and the like.

また(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーの具体例としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレンジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ビス・グリシジル(メタ)アクリレート等のジアクリレート;トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等のポリアクリレート;ビスフェノールSのエチレンオキシド4モル変性ジアクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキシド4モル変性ジアクリレート、脂肪酸変性ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパンのプロピレンオキシド3モル変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンのプロピレンオキシド6モル変性トリアクリレート等の変性ポリオールポリ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、前記(A)以外のウレタン(メタ)アクリレート、前記(A)以外のエポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。   Specific examples of the (D) photocurable monomer or oligomer include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene di (meth) acrylate, and polyethylene glycol. Di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol Dimethacrylates such as di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, bis-glycidyl (meth) acrylate; trimethylo Polyacrylates such as lepropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate; bisphenol S ethylene oxide 4 mol modified diacrylate, bisphenol A ethylene oxide 4 mol modified diacrylate, fatty acid modified penta Modified polyol poly (meth) acrylate such as erythritol diacrylate, trimethylolpropane propylene oxide 3 mol modified triacrylate, trimethylolpropane propylene oxide 6 mol modified triacrylate, polyester (meth) acrylate, urethane other than the above (A) (Meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate other than the above (A), and the like.

さらに(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーとしては、ビス(アクリロイルオキシエチル)モノヒドロキシエチルイソシアヌレート、トリス(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ε−カプロラクトン変性トリス(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート等のイソシアヌル酸骨格を有するポリアクリレート;α,ω−ジアクリロイル−(ビスエチレングリコール)−フタレート、α,ω−テトラアクリロイル−(ビストリメチロールプロパン)−テトラヒドロフタレート等のポリエステルアクリレート;グリシジル(メタ)アクリレート;アリル(メタ)アクリレート;ω−ヒドロキシヘキサノイルオキシエチル(メタ)アクリレート;ポリカプロラクトン(メタ)アクリレート;(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート;(メタ)アクリロイルオキシエチルサクシネート;2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート;フェノキシエチルアクリレート等も使用できる。   Further, (D) photocurable monomers or oligomers include isocyanuric acids such as bis (acryloyloxyethyl) monohydroxyethyl isocyanurate, tris (acryloyloxyethyl) isocyanurate, and ε-caprolactone-modified tris (acryloyloxyethyl) isocyanurate. Polyacrylates having a skeleton; polyester acrylates such as α, ω-diacryloyl- (bisethylene glycol) -phthalate and α, ω-tetraacryloyl- (bistrimethylolpropane) -tetrahydrophthalate; glycidyl (meth) acrylate; allyl (meta ) Acrylate; ω-hydroxyhexanoyloxyethyl (meth) acrylate; polycaprolactone (meth) acrylate; (meth) acryloyloxyethylphthale DOO; (meth) acryloyloxyethyl succinate; 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate; phenoxyethyl acrylate and the like can be used.

これらのうち好ましいものは、ヒドロキシル基を有する(メタ)アクリレート及び前記(A)以外のウレタン(メタ)アクリレート、前記(A)以外のエポキシ(メタ)アクリレートである。   Among these, preferred are (meth) acrylate having a hydroxyl group, urethane (meth) acrylate other than (A), and epoxy (meth) acrylate other than (A).

これら(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーの使用量は、前記(II)感光層中において、通常0.1〜30質量%であり、好ましくは1.0〜20質量%であり、特に好ましくは3.0〜15質量%である。   The amount of the (D) photocurable monomer or oligomer used is usually 0.1 to 30% by mass, preferably 1.0 to 20% by mass, and particularly preferably 3.0 to 15% by mass in the photosensitive layer (II). %.

前記の感光性組成物は、さらに(E)硬化反応触媒を含有してもよい。(E)硬化反応触媒は、エポキシ基同士の反応またはエポキシ基とカルボキシル基との反応を促進する化合物であり、公知のものを使用することができる。   The photosensitive composition may further contain (E) a curing reaction catalyst. (E) A curing reaction catalyst is a compound which accelerates | stimulates the reaction of epoxy groups, or the reaction of an epoxy group and a carboxyl group, and can use a well-known thing.

(E)硬化反応触媒の具体例としては、アミン類、窒素含有複素環化合物、アンモニウム塩、及びポリアミド類が挙げられる。アミン類としては、脂肪族及び芳香族の第一、第二、第三級アミンが挙げられる。   Specific examples of the (E) curing reaction catalyst include amines, nitrogen-containing heterocyclic compounds, ammonium salts, and polyamides. Examples of amines include aliphatic and aromatic primary, secondary, and tertiary amines.

脂肪族アミンのうち第一級または第二級アミンの例としては、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレントリアミン、テトラエチレンペンタミン、トリエチレンテトラミン、ジメチルアミノプロピルアミン、メンセンジアミン、N−アミノエチルエタノールアミン、ポリエチレングリコールビス(2−アミノエチル)エーテル、ビス(ヘキサメチレン)トリアミン、1,3,6−トリスアミノメチルヘキサン、m−キシリレンジアミン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)スピロ−2,4,8,10−テトラオキサウンデカンが挙げられる。   Examples of primary or secondary amines among aliphatic amines include ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetriamine, tetraethylenepentamine, triethylenetetramine, dimethylaminopropylamine, mensendiamine, N-aminoethylethanolamine. Polyethylene glycol bis (2-aminoethyl) ether, bis (hexamethylene) triamine, 1,3,6-trisaminomethylhexane, m-xylylenediamine, 3,9-bis (3-aminopropyl) spiro-2 4,8,10-tetraoxaundecane.

脂肪族アミンのうち第三級アミンの例としては、トリエチルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリエタノールアミン、N,N−ジメチルオクチルアミン、N,N−ジメチルベンジルアミン、2,4,6−トリス(ジメチルアミノフェノール)、N,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミン等が挙げられる。   Examples of tertiary amines among aliphatic amines include triethylamine, tri-n-propylamine, tri-n-butylamine, triethanolamine, N, N-dimethyloctylamine, N, N-dimethylbenzylamine, 2 , 4,6-tris (dimethylaminophenol), N, N, N ′, N′-tetramethylethylenediamine and the like.

芳香族アミンの例としてはメタフェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ジアミノジフェニルスルフォン、m−アミノフェノール等が挙げられる。   Examples of aromatic amines include metaphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 2,2-bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] propane, diaminodiphenylsulfone, m-aminophenol and the like.

またアミン類の他の例としては、テトラメチルグアニジン、ジシアンジアミド、尿素、尿素誘導体、多塩基ヒドラジド等のポリアミン類;これらの有機酸塩及び/またはエポキシアダクト;三フッ化ホウ素のアミン錯体等が挙げられる。   Other examples of amines include polyamines such as tetramethylguanidine, dicyandiamide, urea, urea derivatives, and polybasic hydrazides; organic acid salts and / or epoxy adducts thereof; and amine complexes of boron trifluoride. It is done.

窒素含有複素環化合物としては、ピリジン、ピコリン、ルチジン等のピリジン類;イミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、N−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウム・トリメリテート、2−メチルイミダゾリウム・イソシアヌレート等のイミダゾール類;N−メチルモルホリン、N−エチルモルホリン等のモルホリン類;1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデカ−7−エンなどが例示される。   Nitrogen-containing heterocyclic compounds include pyridines such as pyridine, picoline, and lutidine; imidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, N-benzyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate Imidazoles such as 2-methylimidazolium isocyanurate; morpholines such as N-methylmorpholine and N-ethylmorpholine; 1,4-diazabicyclo [2,2,2] octane, 1,8-diazabicyclo [5, 4,0] Undec-7-ene and the like are exemplified.

また、窒素含有複素環化合物の他の例としてトリアジン化合物が挙げられる。具体的にはメラミン、N−エチレンメラミン、N,N’,N’’−トリフェニルメラミン、ヘキサ(N−メチル)メラミン等のメラミン類;、エチルジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−S−トリアジン,2,4−ジアミノ−6−キシリル−S−トリアジン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン類;シアヌル酸、イソシアヌル酸、トリメチルシアヌレート、トリスメチルイソシアヌレート、トリエチルシアヌレート、トリスエチルイソシアヌレート、トリ(n−プロピル)シアヌレート、トリス(n−プロピル)イソシアヌレート、ジエチルシアヌレート、N,N’−ジエチルイソシアヌレート、メチルシアヌレート、メチルイソシアヌレート等のシアヌル酸類が挙げられる。   Another example of the nitrogen-containing heterocyclic compound is a triazine compound. Specifically, melamines such as melamine, N-ethylenemelamine, N, N ′, N ″ -triphenylmelamine, hexa (N-methyl) melamine; ethyldiamino-S-triazine, 2,4-diamino- Guanamines such as S-triazine, 2,4-diamino-6-xylyl-S-triazine, acetoguanamine, benzoguanamine; cyanuric acid, isocyanuric acid, trimethyl cyanurate, trismethyl isocyanurate, triethyl cyanurate, trisethyl isocyanurate And cyanuric acids such as tri (n-propyl) cyanurate, tris (n-propyl) isocyanurate, diethyl cyanurate, N, N′-diethyl isocyanurate, methyl cyanurate, methyl isocyanurate and the like.

アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、オクチルトリメチルアンモニウムクロライド、デシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラデシルトリメチルアンモニウムクロライド、フェニルトリブチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラエチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、オクチルトリメチルアンモニウムブロマイド、デシルトリメチルアンモニウムブロマイド、テトラデシルトリメチルアンモニウムブロマイド、フェニルトリブチルアンモニウムブロマイド等の第4級アンモニウム塩類が例示される。   As ammonium salts, tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium chloride, octyltrimethylammonium chloride, decyltrimethylammonium chloride, tetradecyltrimethylammonium chloride, phenyltributylammonium chloride, tetramethylammonium bromide, tetraethylammonium bromide, benzyl Examples include quaternary ammonium salts such as trimethylammonium bromide, octyltrimethylammonium bromide, decyltrimethylammonium bromide, tetradecyltrimethylammonium bromide, and phenyltributylammonium bromide.

ポリアミド類としては、ダイマー酸にジエチレントリアミンやトリエチレンテトラアミン等のポリアミンを縮合反応させて得られる第一及び第二アミノ基を有するポリアミノアミドが挙げられる。   Examples of the polyamides include polyaminoamides having primary and secondary amino groups obtained by condensation reaction of polyamines such as diethylenetriamine and triethylenetetraamine with dimer acid.

これら(E)硬化反応触媒の使用量は、本発明のドライフィルム用感光性組成物中において、通常1.0質量%未満であり、好ましくは0.9質量%以下、より好ましくは0.8質量%以下、さらに好ましくは0.7質量%以下、よりさらに好ましくは0.6質量%以下、特に好ましくは0.5質量%以下、最も好ましくは0.4質量%以下である。   The amount of the (E) curing reaction catalyst used is usually less than 1.0% by mass in the photosensitive composition for dry film of the present invention, preferably 0.9% by mass or less, more preferably 0.8% by mass or less, and still more preferably. Is 0.7% by mass or less, more preferably 0.6% by mass or less, particularly preferably 0.5% by mass or less, and most preferably 0.4% by mass or less.

本発明において使用する(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物は、上記の各成分を通常の方法で混合することによって製造できる。混合の方法には特に制限はなく、一部の成分を混合してから残りの成分を混合してもよく、または、すべての成分を一括で混合してもよい。また、感光性組成物には、粘度調節などのために有機溶媒を添加して使用してもよい。粘度を調節することによって、ローラーコート、バーコート、ダイコート、カーテンコートなどで対象物上に塗布することが容易となる。有機溶媒としては、エチルメチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒;アセト酢酸エチル、γ−ブチロラクトン、酢酸ブチル等のエステル系溶媒;ブタノール、ベンジルアルコール等のアルコール系溶媒;カルビトールアセテート、メチルセロソルブアセテート等のセロソルブ系、カルビトール系及びそれらのエステル、エーテル誘導体の溶媒;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等のアミド系溶媒;ジメチルスルホキシド;フェノール、クレゾール等のフェノール系溶媒;ニトロ化合物系溶媒;トルエン、キシレン、ヘキサメチルベンゼン、クメン芳香族系溶媒;テトラリン、デカリン、ジペンテン等の炭化水素からなる芳香族系及び脂環族系等の溶媒等が挙げられる。1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これら有機溶剤の使用量は任意であるが、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物中において、通常10〜70質量%であり、好ましくは20〜65質量%、最も好ましくは30〜60質量%である。   The photosensitive composition having (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin as essential components used in the present invention is prepared by using the above-described components in the usual manner. It can be manufactured by mixing. The mixing method is not particularly limited, and a part of the components may be mixed and then the remaining components may be mixed, or all the components may be mixed at once. Further, an organic solvent may be added to the photosensitive composition for viscosity adjustment. By adjusting the viscosity, it becomes easy to apply onto the object by roller coating, bar coating, die coating, curtain coating or the like. Examples of the organic solvent include ketone solvents such as ethyl methyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ester solvents such as ethyl acetoacetate, γ-butyrolactone, and butyl acetate; alcohol solvents such as butanol and benzyl alcohol; carbitol acetate, Solvents of cellosolve such as methyl cellosolve acetate, carbitols and their esters and ether derivatives; Amides of solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone; Dimethyl sulfoxide Phenol compounds such as phenol and cresol; nitro compound solvents; toluene, xylene, hexamethylbenzene, cumene aromatic solvents; aromatics and alicyclics composed of hydrocarbons such as tetralin, decalin, dipentene, etc. And the like solvents. One kind or a combination of two or more kinds can be used. The amount of these organic solvents used is arbitrary, but in (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) a photosensitive composition having an epoxy resin as essential components, usually It is 10-70 mass%, Preferably it is 20-65 mass%, Most preferably, it is 30-60 mass%.

なお前記(II)感光層を形成する(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物には必要に応じて、熱重合禁止剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、無機あるいは有機充填剤等の添加剤を添加することができる。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、tert−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジン等が挙げられる。消泡剤は、塗工時及び硬化時に生じる泡を消すために用いられ、具体的には、アクリル系、シリコン系等の界面活性剤が挙げられる。レベリング剤は、塗工時に生じる皮膜表面の凹凸を失くすために用いられ、具体的には、アクリル系、シリコン系等の界面活性剤が挙げられる。密着性付与剤としては、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等が挙げられる。無機充填剤の具体例としては、タルク、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、シリカ、アルミナ、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、珪酸塩化合物等が挙げられる。有機充填剤の具体例としては、シリコン樹脂、シリコンゴム、弗素樹脂等が挙げられる。   The photosensitive composition containing (II) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin as essential components for forming the photosensitive layer (II) as necessary. Additives such as thermal polymerization inhibitors, antifoaming agents, leveling agents, adhesion promoters, inorganic or organic fillers can be added. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, tert-butylcatechol, pyrogallol, phenothiazine and the like. The antifoaming agent is used to eliminate bubbles generated during coating and curing, and specifically includes an acrylic or silicone surfactant. The leveling agent is used to lose unevenness on the surface of the film that occurs during coating, and specific examples include acrylic and silicon surfactants. Examples of the adhesion imparting agent include imidazole, thiazole, triazole, and silane coupling agents. Specific examples of the inorganic filler include talc, barium sulfate, barium titanate, silica, alumina, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, silicate compound and the like. Specific examples of the organic filler include silicon resin, silicon rubber, and fluorine resin.

本発明においては(II)感光層の支持フィルムが積層された面とは反対側の面にさらに(III)保護フィルムが積層されていてもよい。(III)保護フィルムは、任意の重合体をフィルム状に成形してなるものであり、単層のフィルムでもよくまた、多層のフィルムでもよい。さらには前記(I)支持フィルムと同一のものでもよく、異なるものでもよい。   In the present invention, a protective film (III) may be further laminated on the surface opposite to the surface on which the support film of the photosensitive layer (II) is laminated. (III) The protective film is formed by molding an arbitrary polymer into a film, and may be a single layer film or a multilayer film. Further, it may be the same as or different from the above (I) support film.

(III)保護フィルムの具体例としては、プロピレン単独重合体フィルム、プロピレンランダム共重合体フィルム、プロピレンブロック共重合体フィルム等のポリプロピレンフィルム、低密度ポリエチレンフィルム、線状低密度ポリエチレンフィルム及び高密度ポリエチレンフィルム等のポリエチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリエチレンナフタレートフィルム等のポリエステルフィルムなどが例示される。これらのうち好ましくは、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム及びポリエステルフィルムであり、特に好ましくは、二軸延伸ポリプロピレンフィルム、低密度ポリエチレンフィルム、線状低密度ポリエチレンフィルム及びポリエチレンテレフタレートフィルムである。   (III) Specific examples of the protective film include polypropylene films such as propylene homopolymer film, propylene random copolymer film, propylene block copolymer film, low density polyethylene film, linear low density polyethylene film and high density polyethylene. Examples include polyethylene films such as films, polyester films such as polyamide films, polyethylene terephthalate films, and polyethylene naphthalate films. Among these, a polypropylene film, a polyethylene film and a polyester film are preferable, and a biaxially stretched polypropylene film, a low density polyethylene film, a linear low density polyethylene film and a polyethylene terephthalate film are particularly preferable.

本発明に用いる(III)保護フィルムの厚さに特に制限はなく、通常0.1〜200μmであり、好ましくは1.0〜100μm、より好ましくは5.0〜80μm、さらに好ましくは5.0〜60μm、よりさらに好ましくは8.0〜50μm、特に好ましくは10.0〜45μm、最も好ましくは10.0〜40μmである。   There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the (III) protective film used for this invention, Usually, it is 0.1-200 micrometers, Preferably it is 1.0-100 micrometers, More preferably, it is 5.0-80 micrometers, More preferably, it is 5.0-60 micrometers, More preferably, it is 8.0. -50 μm, particularly preferably 10.0-45 μm, most preferably 10.0-40 μm.

また本発明に用いる(III)保護フィルムは、0.01〜0.70質量%のアンチブロッキング剤を含有していてもよい。アンチブロッキング剤の種類及び添加量は、前記(I)支持フィルムの場合と同様である。また本発明の(III)保護フィルムはコロナ処理等の各種処理が行われたものでもよい。   The (III) protective film used in the present invention may contain 0.01 to 0.70% by mass of an antiblocking agent. The kind and addition amount of an antiblocking agent are the same as that of the said (I) support film. Further, the (III) protective film of the present invention may be subjected to various treatments such as corona treatment.

さらに本発明に用いる(III)保護フィルムは、感光層と対向する面に剥離剤層を形成したものでもよい。剥離剤層は、シリコーン、シリコン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ポリアルキレングリコール系界面活性剤、ポリアルキレンアミン系界面活性剤、アクリル系界面活性剤、炭化水素ワックス等の公知の剥離剤を塗布あるいは積層することにより形成される。これらの剥離剤の中でシリコーンを主成分として含有するものが好ましく、その剥離剤中における含有量は、50質量%以上、好ましくは70質量%以上である。特に(III)保護フィルムとしてポリエステルフィルムを使する場合は、(III)保護フィルムの(II)感光層と対向する面に剥離剤層を形成することが好ましい。   Furthermore, the (III) protective film used in the present invention may have a release agent layer formed on the surface facing the photosensitive layer. The release agent layer is a known release agent such as silicone, silicone surfactant, fluorine surfactant, polyalkylene glycol surfactant, polyalkylene amine surfactant, acrylic surfactant, hydrocarbon wax, etc. It is formed by applying or laminating. Among these release agents, those containing silicone as a main component are preferable, and the content in the release agent is 50% by mass or more, preferably 70% by mass or more. In particular, when a polyester film is used as the (III) protective film, it is preferable to form a release agent layer on the surface of the (III) protective film facing the (II) photosensitive layer.

次に本発明の感光性ドライフィルムロールの製造方法について説明する。本発明のドライフィルムロールは、下記工程(イ)〜(ホ)の工程により製造される。   Next, the manufacturing method of the photosensitive dry film roll of this invention is demonstrated. The dry film roll of the present invention is produced by the following steps (A) to (E).

(イ)ロール状に巻き取られた(I)支持フィルムから、(I)支持フィルムを繰り出す工程、
(ロ)繰り出された(I)支持フィルム上に、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物を連続的に塗布する工程、
(ハ)(I)支持層フィルム上に塗布された(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物を乾燥し、(II)感光層を形成する工程、
(ニ)ロール状に巻き取られた保護フィルムから(III)保護フィルムを繰り出して前記(II)感光層上に貼合し、ドライフィルムレジストを形成する工程、
(ホ)形成されたドライフィルムレジストをロール状に巻き取る工程。
(I) a step of (I) feeding out the support film from the (I) support film wound up in a roll;
(B) A photosensitive composition comprising (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator and (C) an epoxy resin as an essential component is continuously formed on the drawn (I) support film. Step of applying automatically,
(C) (I) A photosensitive composition having (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator and (C) an epoxy resin as essential components applied on the support layer film is dried. (II) forming a photosensitive layer,
(D) a step of drawing out a protective film (III) from a protective film wound up in a roll shape and pasting it on the photosensitive layer (II) to form a dry film resist;
(E) A step of winding the formed dry film resist into a roll.

ここで工程(イ)においては、まずロール状に巻き取られた(I)支持フィルムから、(I)支持フィルムが繰り出される。繰り出された支持フィルムの端部は、感光性組成物の塗布すなわち工程(ロ)が行われる領域、乾燥すなわち工程(ハ)が行われる領域、及び保護フィルムの貼合すなわち工程(ニ)が行われる領域を経由し、工程(ホ)が行われる領域で巻き芯に固定される。ついでこの巻き芯を一定の張力で回転させて(I)支持フィルムを巻き芯に巻き取ることにより支持フィルムが連続的に繰り出される。   Here, in the step (A), first, the (I) support film is unwound from the (I) support film wound up in a roll shape. At the end of the extended support film, the photosensitive composition is applied, that is, the region where the step (b) is performed, the region where the drying, step (c) is performed, and the bonding of the protective film, ie the step (d). It is fixed to the winding core in the area where the step (e) is performed via the area to be cut. Next, the support film is continuously unwound by rotating the winding core with a constant tension and winding the supporting film around the winding core.

工程(ロ)においては、前記のように繰り出された(I)支持フィルム上に、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物が連続的に塗布される。塗布の方法は任意であるが、通常、ドクターブレード、コンマコーターあるいはダイコーターなどを用いて行われる。   In step (b), (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin are essential components on (I) the support film that has been drawn out as described above. The photosensitive composition is applied continuously. The application method is arbitrary, but is usually performed using a doctor blade, a comma coater or a die coater.

工程(ハ)においては、前記(I)支持フィルム上に塗布された(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物が乾燥され、(II)感光層が形成される。乾燥方法は任意であり、熱風や赤外線などにより40〜150℃程度の温度で乾燥が行われる。   In step (c), (I) a photocurable resin having a carboxyl group applied on the support film, (B) a photopolymerization initiator and (C) a photosensitivity comprising epoxy resin as essential components. The composition is dried to form (II) a photosensitive layer. The drying method is arbitrary, and drying is performed at a temperature of about 40 to 150 ° C. with hot air or infrared rays.

工程(ニ)においては、ロール状に巻き取られた保護フィルムロールから(III)保護フィルムが繰り出され、前記(II)感光層上に貼合される。(III)保護フィルムの巻き出しは、保護フィルムロールを一定の回転数あるいは一定の張力を維持するように回転させることで行われる。当該ロールの回転は、ロール自体を直接駆動させてもよく、また繰り出された(III)保護フィルムを引き取ることにより間接的に駆動させてもよい。また貼合は任意の方法で行うことができるが、通常は(I)支持フィルム及び支持フィルム上に形成された感光層からなる積層体と保護フィルム層とをロール、好ましくは熱ロールの間を通すことにより行われる。ロールの圧力は任意であり、またロールの温度も任意であるが、通常は室温〜100℃である。   In the step (d), the (III) protective film is unwound from the protective film roll wound up in a roll shape, and is bonded onto the (II) photosensitive layer. (III) The unwinding of the protective film is performed by rotating the protective film roll so as to maintain a constant rotational speed or a constant tension. The rotation of the roll may be directly driven, or may be indirectly driven by taking out the (III) protective film that has been fed out. Bonding can be carried out by any method, but usually (I) a laminate composed of a support film and a photosensitive layer formed on the support film and a protective film layer are rolled, preferably between hot rolls. This is done by passing it through. The pressure of the roll is arbitrary, and the temperature of the roll is also arbitrary, but is usually room temperature to 100 ° C.

工程(ホ)においては、前記工程(イ)〜(ニ)で形成されたドライフィルムレジストがロール状に巻き取られる。巻き取りは通常、紙、金属あるいはポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリエチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂(ABS樹脂)など任意のプラスチック等からなる巻き芯に巻き取ることで行われる。   In the step (e), the dry film resist formed in the steps (a) to (d) is wound into a roll. The winding is usually performed by winding on a winding core made of paper, metal, or any plastic such as polyvinyl chloride, polystyrene, polyethylene, acrylonitrile-butadiene-styrene resin (ABS resin).

巻き芯の直径に特に制限はないが、ロールの直径を小さくするためには巻き芯の直径は小さいことが好ましく、この場合1〜10cmであり、好ましくは1〜4cmである。   Although there is no restriction | limiting in particular in the diameter of a winding core, In order to make the diameter of a roll small, it is preferable that the diameter of a winding core is small, and is 1-10 cm in this case, Preferably it is 1-4 cm.

一方、ロール状のドライフィルムにかかる応力を低減するためには、巻き芯の直径が大きいことが望ましく、この場合巻き芯の直径は10〜30cmであり、好ましくは11〜20cmである。   On the other hand, in order to reduce the stress applied to the roll-shaped dry film, it is desirable that the diameter of the winding core is large. In this case, the diameter of the winding core is 10 to 30 cm, and preferably 11 to 20 cm.

以下、本発明を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの製造例、光硬化性樹脂の合成例及び実施例を挙げてより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下の例中、部は質量部を表し、%は質量%を表す。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to production examples of polyethylene terephthalate films, synthesis examples of photocurable resins, and examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, in the following examples, a part represents a mass part and% represents mass%.

ポリエチレンテレフタレートフィルムの製造:
高純度テレフタル酸332g、エチレングリコール136g、チタンテトラブトキシド0.086gをオートクレーブに仕込み、圧力0.17MPa、255℃の窒素雰囲気下にて、生成する水を常時系外に留去しながら、撹拌下2時間反応させた後、250℃に降温してさらに6時間反応させた。さらに二酸化ゲルマニウムとエチレングリコールを1:10の重量比で混合した溶液0.62gを添加して20分撹拌、さらにリン酸0.06gを添加して、1時間反応させた。その後、280℃まで1時間かけて昇温させ、系内を1torrにまで減圧し、さらに4時間反応させ、未反応のエチレングリコールを系外に留去した。このように液相重合して得られたポリエチレンテレフタレートを、さらに窒素雰囲気下140℃で15時間乾燥するとともに結晶化を行った後、窒素雰囲気下、205℃で15時間固相重合を行った。ついで得られたポリエチレンテレフタレート100gを90℃の蒸留水130gに4時間浸漬して水処理を行った後、窒素中140℃で14時間乾燥した。得られたポリエチレンテレフタレートのo−クロロフェノール中25℃で測定した固有粘度は0.80dl/gであった。
Production of polyethylene terephthalate film:
A high-purity terephthalic acid (332 g), ethylene glycol (136 g), and titanium tetrabutoxide (0.086 g) were charged into an autoclave, and the generated water was constantly distilled out of the system in a nitrogen atmosphere at a pressure of 0.17 MPa and 255 ° C. for 2 hours with stirring. After the reaction, the temperature was lowered to 250 ° C. and the reaction was further continued for 6 hours. Further, 0.62 g of a solution in which germanium dioxide and ethylene glycol were mixed at a weight ratio of 1:10 was added and stirred for 20 minutes. Further, 0.06 g of phosphoric acid was added and reacted for 1 hour. Thereafter, the temperature was raised to 280 ° C. over 1 hour, the inside of the system was reduced to 1 torr, and further reacted for 4 hours, and unreacted ethylene glycol was distilled out of the system. The polyethylene terephthalate thus obtained by liquid phase polymerization was further dried at 140 ° C. for 15 hours in a nitrogen atmosphere and crystallized, and then subjected to solid state polymerization at 205 ° C. for 15 hours in a nitrogen atmosphere. Next, 100 g of the obtained polyethylene terephthalate was immersed in 130 g of 90 ° C. distilled water for 4 hours for water treatment, and then dried in nitrogen at 140 ° C. for 14 hours. The intrinsic viscosity of the obtained polyethylene terephthalate measured in o-chlorophenol at 25 ° C. was 0.80 dl / g.

上記で得られたポリエチレンテレフタレートに表1記載のアンチブロッキング剤を添加して、シリンダー温度270℃の同方向回転二軸押出機により溶融混練した後、Tダイを取り付けた押し出し機により285℃でフィルムに成形し、ポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。   After adding the anti-blocking agent shown in Table 1 to the polyethylene terephthalate obtained above and melt-kneading it with a co-rotating twin-screw extruder with a cylinder temperature of 270 ° C., the film was formed at 285 ° C. with an extruder equipped with a T-die. To obtain a polyethylene terephthalate film.

オリゴマー含有量の測定:
支持フィルムから50mm×50mmの試験片を切り出して、その質量を正確に秤量した(W1)。ついでこの試験片を還流冷却器のついた300mlのフラスコに入れ、さらにこのフラスコにモレキュラーシーブで乾燥したキシレン150mlを投入した。このフラスコを窒素置換した後、加熱して10時間還流した。フラスコを冷却後、試験片を取り出して乾燥し、その質量を正確に秤量し(W2)、以下の式によりオリゴマー含有量を算出した。
オリゴマー含有量(質量%)={(W1−W2)/W1}×100
Measurement of oligomer content:
A test piece of 50 mm × 50 mm was cut out from the support film, and its mass was accurately weighed (W1). Subsequently, this test piece was put into a 300 ml flask equipped with a reflux condenser, and 150 ml of xylene dried with molecular sieves was put into the flask. The flask was purged with nitrogen and then heated to reflux for 10 hours. After cooling the flask, the test piece was taken out and dried, its mass was accurately weighed (W2), and the oligomer content was calculated by the following formula.
Oligomer content (% by mass) = {(W1-W2) / W1} × 100

合成例1:光硬化性樹脂(A)の合成
ビスフェノールF型固型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、エポキシ当量800)400部をエピクロルヒドリン 925部とジメチルスルホキシド462.5部を溶解させた後、撹拌下70℃で98.5%NaOH 81.2部を100分かけて添加した。添加後さらに70℃で3時間反応を行った。次いで過剰の未反応エピクロルヒドリン及びジメチルスルホキシドの大半を減圧下に留去し、副生塩とジメチルスルホキシドを含む反応生成物をメチルイソブチルケトン750部に溶解させ、さらに30%NaOH 10部を加え70℃で1時間反応させた。反応終了後、水 200部で2回水洗を行った。油水分離後、油層よりメチルイソブチルケトンを蒸留回収して、エポキシ当量290のエポキシ樹脂(a−1)370部を得た。
Synthesis Example 1: Synthesis of photocurable resin (A) After 400 parts of bisphenol F type solid epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 800) was dissolved in 925 parts of epichlorohydrin and 462.5 parts of dimethyl sulfoxide, Under stirring at 70 ° C., 81.2 parts of 98.5% NaOH was added over 100 minutes. After the addition, the reaction was further carried out at 70 ° C. for 3 hours. Next, most of the excess unreacted epichlorohydrin and dimethyl sulfoxide were distilled off under reduced pressure, and the reaction product containing the by-product salt and dimethyl sulfoxide was dissolved in 750 parts of methyl isobutyl ketone, and further 10 parts of 30% NaOH was added to 70 ° C. For 1 hour. After completion of the reaction, washing with 200 parts of water was performed twice. After oil-water separation, methyl isobutyl ketone was recovered from the oil layer by distillation to obtain 370 parts of an epoxy resin (a-1) having an epoxy equivalent of 290.

上記で得たエポキシ樹脂(a−1)2900部(10当量)、アクリル酸720部(10当量)、メチルハイドロキノン 2.8部、カルビトールアセテート 1950部を仕込み、90℃に加熱、撹拌し、反応混合物を溶解した。次いで、反応液を60℃に冷却し、トリフェニルフォスフィン 16.7部を仕込み、100℃に加熱し、約32時間反応し、酸価が1.0mgKOH/gの反応物を得た。次に、これにテトラヒドロ無水フタル酸1480部(9当量)、カルビトールアセテート423部を仕込み、95℃に加熱し、約6時間反応し、冷却後、固形分の酸価が100mgKOH/gの固形分の濃度65%のカルボキシル基含有光硬化性樹脂(A−1)を得た。得られた(A−1)の粘度(25℃)は320ポイズであった。   2900 parts (10 equivalents) of the epoxy resin (a-1) obtained above, 720 parts (10 equivalents) of acrylic acid, 2.8 parts of methylhydroquinone, and 1950 parts of carbitol acetate were added, heated to 90 ° C., stirred, and the reaction mixture Was dissolved. Next, the reaction solution was cooled to 60 ° C., charged with 16.7 parts of triphenylphosphine, heated to 100 ° C., and reacted for about 32 hours to obtain a reaction product having an acid value of 1.0 mgKOH / g. Next, 1480 parts (9 equivalents) of tetrahydrophthalic anhydride and 423 parts of carbitol acetate were added to this, heated to 95 ° C., reacted for about 6 hours, and after cooling, solids with a solid acid value of 100 mgKOH / g Thus, a carboxyl group-containing photocurable resin (A-1) having a concentration of 65% was obtained. The viscosity (25 ° C.) of the obtained (A-1) was 320 poise.

合成例2:光硬化性樹脂(A−2)の合成
撹拌装置、温度計、コンデンサーを備えた反応容器に、ポリマーポリオールとしてポリカプロラクトンジオール(ダイセル化学工業(株)製、PLACCEL212、分子量1250)を3750g、カルボキシル基を有するジヒドロキシル化合物としてジメチロールプロピオン酸を402g、ポリイソシアナートしてイソホロンジイソシアナートを1554g及びヒドロキシル基を有する(メタ)アクリレートとして2−ヒドロキシエチルアクリレートを238g、さらにp−メトキシフェノール及びジ−t−ブチル−ヒドロキシトルエンを各々1.0gずつ投入した。撹拌しながら60℃まで加熱して停止し、ジブチル錫ジラウレート1.6gを添加した。反応容器内の温度が低下し始めたら再度加熱して80℃で撹拌を続け、赤外線吸収スペクトルでイソシアナート基の吸収スペクトル(2280cm-1)が消失したことを確認して反応を終了し、カルボキシル基含有光硬化性樹脂(A−2)を得た。得られた光硬化性樹脂(A−2)の数平均分子量は25,000、酸価は40mgKOH/gであった。
Synthesis example 2: Synthesis of photocurable resin (A-2) Polycaprolactone diol (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., PLACEL 212, molecular weight 1250) is used as a polymer polyol in a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, and a condenser. 3750 g, 402 g of dimethylolpropionic acid as a dihydroxyl compound having a carboxyl group, 1554 g of polyisocyanate and isophorone diisocyanate, 238 g of 2-hydroxyethyl acrylate as a (meth) acrylate having a hydroxyl group, and p-methoxy 1.0 g each of phenol and di-t-butyl-hydroxytoluene was added. The mixture was heated to 60 ° C. with stirring and stopped, and 1.6 g of dibutyltin dilaurate was added. When the temperature in the reaction vessel starts to decrease, the mixture is heated again and stirred at 80 ° C. to confirm that the isocyanate group absorption spectrum (2280 cm −1 ) has disappeared in the infrared absorption spectrum. A group-containing photocurable resin (A-2) was obtained. The number average molecular weight of the obtained photocurable resin (A-2) was 25,000, and the acid value was 40 mgKOH / g.

実施例1:
(1)感光性組成物の製造
表1に記載の割合で主剤組成物及び硬化剤組成物を構成する各成分を配合したのち、3本ロールミルにより2度混合し、主剤組成物及び硬化剤組成物を調製した。次にこの主剤組成物、硬化剤組成物及び有機溶剤を混合し、撹拌機により毎分2000回転で5分撹拌することにより(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物を得た(配合1)。
Example 1:
(1) Production of photosensitive composition After blending each component constituting the main agent composition and the curing agent composition in the proportions shown in Table 1, the mixture is mixed twice by a three-roll mill, and the main agent composition and the curing agent composition are mixed. A product was prepared. Next, the main component composition, the curing agent composition, and the organic solvent are mixed and stirred with a stirrer at 2000 rpm for 5 minutes to (A) a photocurable resin having a carboxyl group, and (B) initiation of photopolymerization. A photosensitive composition containing an agent and (C) an epoxy resin as essential components was obtained (Formulation 1).

(2)プリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムロールの製造
工程(イ)
ポリエチレンテレフタレートフィルムのロールからポリエチレンテレフタレートフィルム(支持フィルムであり、本発明の(I)重合体フィルムである。)を0.5m/分の速度で繰り出した。なお繰り出しは、ロールから巻きほぐした支持フィルム端部を巻き芯に固定し、この巻き芯を回転させることにより行った。
(2) Manufacturing process of photosensitive dry film roll for printed wiring board protective film (I)
A polyethylene terephthalate film (which is a support film and is the (I) polymer film of the present invention) was fed out from a roll of polyethylene terephthalate film at a speed of 0.5 m / min. The feeding was performed by fixing the end of the support film unwound from the roll to the core and rotating the core.

工程(ロ)
上記工程(イ)で連続的に繰り出された支持フィルム上に、上記製造例1に従って製造した感光性組成物(IV)を、コンマコーターを用いて塗工した。
工程(ハ)
次いで(I)支持フィルム上に塗布された感光性組成物を、85℃に設定された熱風乾燥炉(フィルム移動方向の炉長、2m)を通過させることにより(II)感光層を形成した。乾燥後の感光層(II)の膜厚は36μmであった。
Process (b)
The photosensitive composition (IV) produced according to Production Example 1 was applied on the support film continuously drawn out in the step (ii) using a comma coater.
Process (C)
Next, (I) a photosensitive layer was formed by passing the photosensitive composition coated on (I) the support film through a hot-air drying oven (furnace length in the film moving direction, 2 m) set at 85 ° C. The film thickness of the photosensitive layer (II) after drying was 36 μm.

工程(ニ)
さらに上記で形成された(II)感光層の上に、ポリエチレンテレフタレートフィルム(保護フィルムであり、本発明の(III)第2の重合体フィルムである。)を55℃に設定された熱ロールにより貼合した。
工程(ホ)
保護フィルムを貼合されて形成されたドライフィルムは、支持フィルムを固定した前記巻き芯に巻き取ることにより感光性ドライフィルムロールを製造した。
Process (d)
Furthermore, on the (II) photosensitive layer formed above, a polyethylene terephthalate film (which is a protective film and (III) the second polymer film of the present invention) is heated by a hot roll set at 55 ° C. Pasted.
Process (e)
The dry film formed by laminating the protective film produced a photosensitive dry film roll by winding it around the core to which the support film was fixed.

その後、このドライフィルムロールを繰り出しながら、巻き出されたドライフィルムの両側端をトリミングして除去し、トリミング後のドライフィルムを他の巻き芯に巻き取って再度ドライフィルムロールとした。このドライフィルムロールを室温で3日間保存した後、以下に従い評価を行った。結果を表2に示した。   Thereafter, while feeding out the dry film roll, both side ends of the unwound dry film were trimmed and removed, and the trimmed dry film was wound around another winding core to obtain a dry film roll again. The dry film roll was stored at room temperature for 3 days and then evaluated according to the following. The results are shown in Table 2.

(3)ブロッキング性の評価
上記感光性ドライフィルムロールからドライフィルムを繰り出した時に、保護フィルムと支持フィルムの間における接着の有無を観察した。接着が見られないものを○、接着が見られたものを×とした。
(3) Evaluation of blocking property When the dry film was drawn out from the photosensitive dry film roll, the presence or absence of adhesion between the protective film and the support film was observed. The case where no adhesion was observed was marked with ◯, and the case where adhesion was observed was marked with ×.

(4)密着性の評価
上記感光性ドライフィルムロールからドライフィルムを繰り出した時に、感光層と保護フィルムあるいは感光層と支持フィルムの間の剥離の有無を観察した。剥離が見られないものを○、剥離が見られたものを×とした。
(4) Evaluation of adhesion When the dry film was drawn out from the photosensitive dry film roll, the presence or absence of peeling between the photosensitive layer and the protective film or between the photosensitive layer and the support film was observed. The case where peeling was not observed was marked with ◯, and the case where peeling was seen was marked with x.

(5)気泡残留の評価
上記感光性ドライフィルムレジストの保護フィルムを剥がし、60℃の真空ラミネーター(ニチゴー・モートン(株)製V−130)により、片面にラインアンドスペース100μm/100μmの銅回路パターンを有する基板(縦10cm×横5cm、銅箔:厚さ17μm、基材:厚さ50μmのポリイミドフィルム)上に回路パターンを被覆するようにラミネートし、プリント配線板を製造した。得られたプリント配線板について目視で気泡の有無を観察した。
(5) Evaluation of bubbles remaining The protective film of the photosensitive dry film resist was peeled off, and a copper circuit pattern with a line and space of 100 μm / 100 μm was formed on one side with a vacuum laminator (V-130 manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) at 60 ° C. A printed wiring board was manufactured by laminating a circuit pattern on a substrate (10 cm in length × 5 cm in width, copper foil: 17 μm thick, base material: 50 μm thick polyimide film). The obtained printed wiring board was visually observed for the presence of bubbles.

(6)光感度の測定
上記感光性ドライフィルムレジストの保護フィルムを剥がし、60℃の真空ラミネーター(ニチゴー・モートン(株)製V−130)により銅箔(厚さ35μm)を片面に積層したポリイミドフィルム(厚さ50μm)からなるプリント基板(宇部興産(株)製ユピセル(登録商標)N)の銅箔上にラミネートし、積層体を調製した。この積層体を、フォトマスク(21ステップ(段)デンシティータブレット、日立化成(株)製)を通して紫外線で露光(超高圧水銀ランプ、主波長365nm、700mJ/cm2)したのち、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像し、ついで30℃の水で洗浄した。この操作の後、正常に硬化していたステップの段数を光感度の値とした。
(6) Measurement of photosensitivity Polyimide in which the protective film of the photosensitive dry film resist is peeled off and copper foil (thickness 35 μm) is laminated on one side by a vacuum laminator (V-130 manufactured by Nichigo-Morton Co., Ltd.) at 60 ° C. The laminate was prepared by laminating on a copper foil of a printed circuit board (Ube Kosan Co., Ltd., Upicel (registered trademark) N) made of a film (thickness: 50 μm). This laminate was exposed to ultraviolet rays through a photomask (21-step density tablet, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) (ultra-high pressure mercury lamp, main wavelength 365 nm, 700 mJ / cm 2 ), and then 1 ° C. at 30 ° C. Development was performed with a mass% sodium carbonate aqueous solution, followed by washing with 30 ° C. water. After this operation, the number of steps that were normally cured was taken as the value of photosensitivity.

(7)はんだ耐熱性の評価
上記感光性ドライフィルムのカバーフィルムを剥がし、60℃の真空ラミネーター(ニチゴー・モートン(株)製)により銅張積層板の銅上にラミネートした。次にこの積層体の感光層を、5mm×5mmの市松模様を有するフォトマスクを通じて超高圧水銀ランプにより露光し、露光後の感光層を1%炭酸ナトリウム水溶液により現像した。その後、150℃のオーブンで表1記載の時間熱硬化することで、市松模様のレジストパターンを有する積層体を得た。
(7) Evaluation of solder heat resistance The cover film of the said photosensitive dry film was peeled off, and it laminated on the copper of the copper clad laminated board with the 60 degreeC vacuum laminator (made by Nichigo Morton Co., Ltd.). Next, the photosensitive layer of this laminate was exposed with an ultrahigh pressure mercury lamp through a photomask having a checkered pattern of 5 mm × 5 mm, and the exposed photosensitive layer was developed with a 1% aqueous sodium carbonate solution. Then, the laminated body which has a checkered resist pattern was obtained by heat-curing for a time of Table 1 time in 150 degreeC oven.

上記に従って調製した試験片をレジスト面がはんだに接触するように260℃のはんだ浴に10秒間フロートさせた後、レジスト膜の膨れ及び剥離の有無を判定評価した。これらの操作を1サイクルとして繰り返し、レジスト膜の膨れ及び剥離が認められなかったサイクル数をはんだ耐熱性の指標とした。   After the test piece prepared according to the above was floated in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds so that the resist surface was in contact with the solder, the presence or absence of swelling and peeling of the resist film was evaluated. These operations were repeated as one cycle, and the number of cycles in which no swelling or peeling of the resist film was observed was used as an index of solder heat resistance.

(8)プレッシャークッカー耐性
以下に従って製造したプリント配線板を121℃、2気圧、相対湿度100%に保たれた容器(タバイ(株)製、HAST TPC−412−MD)内に100時間放置し、以下に従って外観の変化、絶縁抵抗試験を評価した。
(8) Pressure cooker resistance The printed wiring board manufactured according to the following is left in a container (HAST TPC-412-MD, manufactured by Tabai Co., Ltd.) maintained at 121 ° C., 2 atm and relative humidity 100% for 100 hours, The appearance change and the insulation resistance test were evaluated according to the following.

(9)プリント配線板の製造
上記感光性ドライフィルムのカバーフィルムを剥がし、60℃の真空ラミネーター(ニチゴー・モートン(株)製)により市販の基板(IPC規格、IPC−C(櫛型パターン))上にラミネートした。次にこの積層体を超高圧水銀ランプにより露光し、支持フィルムを剥離後150℃のオーブンで60分間熱硬化することにより、プリント配線板を得た。
(9) Manufacture of printed wiring board The cover film of the above-mentioned photosensitive dry film is peeled off, and a commercially available substrate (IPC standard, IPC-C (comb pattern)) using a vacuum laminator (manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) at 60 ° C. Laminated on top. Next, this laminate was exposed with an ultrahigh pressure mercury lamp, and the support film was peeled off, followed by thermosetting in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a printed wiring board.

(10)外観の変化
下記の基準に従って判定した。
○:感光層からなる硬化膜に浮き、剥がれ、表面白化が見られない。
△:感光層からなる硬化膜の一部に浮き、剥がれ、表面白化が見られる。
×:感光層からなる硬化膜の全面に浮き、剥がれ、表面白化が見られる。
(10) Change in appearance Judgment was made according to the following criteria.
◯: Floating on the cured film made of the photosensitive layer, peeling off, and no surface whitening.
(Triangle | delta): It floats in a part of cured film which consists of photosensitive layers, peels, and surface whitening is seen.
X: It floats on the whole surface of the cured film which consists of a photosensitive layer, peels, and surface whitening is seen.

(11)電気絶縁性
上記で得たプリント配線板の回路に、JIS C5012に準じて100V直流電圧を加え1分間保った後、その電圧印加状態で電気絶縁計にて絶縁抵抗値の測定を行った。測定はPCT(Pressure Cooker Test)試験の前後で行い、以下の基準に従って判定した。
(11) Electrical insulation After 100V DC voltage is applied to the circuit of the printed wiring board obtained above according to JIS C5012 and kept for 1 minute, the insulation resistance value is measured with an electrical insulation meter with the voltage applied. It was. The measurement was performed before and after the PCT (Pressure Cooker Test) test, and the determination was made according to the following criteria.

◎:PCT試験後の絶縁抵抗値が、PCT試験前の絶縁抵抗値の1/100以上のもの。
○:PCT試験後の絶縁抵抗値が、PCT試験前の絶縁抵抗値の1/100未満〜1/1000以上のもの。
△:PCT試験後の絶縁抵抗値が、PCT試験前の絶縁抵抗値の1/1000未満〜1/10000以上のもの、
×:PCT試験後の絶縁抵抗値が、PCT試験前の絶縁抵抗値の1/10000未満のもの。
A: The insulation resistance value after the PCT test is 1/100 or more of the insulation resistance value before the PCT test.
A: The insulation resistance value after the PCT test is less than 1/100 to 1/1000 or more of the insulation resistance value before the PCT test.
Δ: The insulation resistance value after the PCT test is less than 1/1000 to 1/10000 or more of the insulation resistance value before the PCT test,
X: The insulation resistance value after the PCT test is less than 1/10000 of the insulation resistance value before the PCT test.

実施例2〜8:
支持フィルム、保護フィルム、及びアンチブロッキング剤を表2記載のとおりとした他は、実施例1と同様に行い感光性ドライフィルムを得た。結果を表2に示した。
Examples 2-8:
A photosensitive dry film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the support film, protective film, and antiblocking agent were as shown in Table 2. The results are shown in Table 2.

比較例1〜4:
アンチブロッキング剤の添加量を表2に記載の値とした他は、実施例1と同様に行い感光性ドライフィルムを得た。その評価結果を表2に示した。
Comparative Examples 1-4:
A photosensitive dry film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the addition amount of the antiblocking agent was changed to the value shown in Table 2. The evaluation results are shown in Table 2.

参考例1:
比較例1において、ドライフィルムをロール状に巻き取らずに枚葉に切断し、これを100枚重ねて保管した以外は実施例1と同様に行った。結果を表2に示した。
Reference example 1:
In Comparative Example 1, the same procedure as in Example 1 was performed, except that the dry film was cut into single sheets without being wound into a roll, and 100 sheets were stacked and stored. The results are shown in Table 2.

実施例9〜16:
ポリエチレンテレフタレートの製造において、水処理を2時間行った以外は実施例1と同様に行い、支持フィルムを得た。この支持フィルムを用いて、保護フィルム、及びアンチブロッキング剤を表2記載のとおりとした他は、実施例1と同様に行い感光性ドライフィルムを得た。結果を表2に示した。
Examples 9-16:
In the production of polyethylene terephthalate, a support film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the water treatment was performed for 2 hours. Using this support film, a photosensitive dry film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the protective film and the antiblocking agent were as shown in Table 2. The results are shown in Table 2.

比較例5〜9:
ポリエチレンテレフタレートの製造において、水処理を行わなかった以外は実施例1と同様に行い、支持フィルムを得た。この支持フィルムを用いて、保護フィルム、及びアンチブロッキング剤を表2記載のとおりとした他は、実施例1と同様に行い感光性ドライフィルムを得た。結果を表2に示した。
Comparative Examples 5-9:
In production of polyethylene terephthalate, a support film was obtained in the same manner as in Example 1 except that water treatment was not performed. Using this support film, a photosensitive dry film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the protective film and the antiblocking agent were as shown in Table 2. The results are shown in Table 2.

実施例17〜26:
支持フィルム、保護フィルム、アンチブロッキング剤、及び(IV)(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物として、表2記載の配合を用いた以外は実施例1と同様に行った。結果を表2に示した。
Examples 17-26:
As a photosensitive composition comprising as essential components a support film, a protective film, an antiblocking agent, and (IV) (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin, The same procedure as in Example 1 was performed except that the formulation shown in Table 2 was used. The results are shown in Table 2.

Figure 2006267152
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Claims (15)

(I)支持フィルム上に(II)感光層が積層されてなるドライフィルムであって、前記(I)支持フィルムが、オリゴマー含有量1.0質量%以下のポリエステルフィルムであり、かつアンチブロッキング剤0.01〜0.50質量%を含有することを特徴とするプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   (I) A dry film in which (II) a photosensitive layer is laminated on a support film, wherein the (I) support film is a polyester film having an oligomer content of 1.0% by mass or less, and an antiblocking agent 0.01 to A photosensitive dry film for a printed wiring board protective film, comprising 0.50% by mass. ポリエステルフィルムがポリエチレンテレフタレートフィルムである請求項1記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 1, wherein the polyester film is a polyethylene terephthalate film. (II)感光層の(I)支持フィルムを積層する面とは反対側の面に(III)保護フィルムが積層されてなる請求項1または2に記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   3. The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 1 or 2, wherein (II) a protective film is laminated on the surface of the photosensitive layer opposite to the surface on which (I) the support film is laminated. . (III)保護フィルムがポリエステルフィルムである請求項3記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   (III) The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 3, wherein the protective film is a polyester film. ポリエステルフィルムがポリエチレンテレフタレートフィルムである請求項4記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 4, wherein the polyester film is a polyethylene terephthalate film. (III)保護フィルムが、(II)感光層と対向する面に剥離剤層を有するものである請求項5記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 5, wherein (III) the protective film has a release agent layer on the surface facing the photosensitive layer (II). 剥離剤層がシリコーンを主成分として含むものである請求項6記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 6, wherein the release agent layer contains silicone as a main component. (III)保護フィルムがポリオレフィンフィルムであることを特徴とする請求項3記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   (III) The protective dry film for a printed wiring board protective film according to claim 3, wherein the protective film is a polyolefin film. ポリオレフィンフィルムが、低密度ポリエチレンフィルムまたはポリプロピレンフィルムであることを特徴とする請求項8記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 8, wherein the polyolefin film is a low-density polyethylene film or a polypropylene film. (II)感光層が、(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物から形成されるものである請求項1〜9のいずれかひとつに記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   (II) The photosensitive layer is formed from a photosensitive composition containing (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator and (C) an epoxy resin as essential components. The photosensitive dry film for printed wiring board protective films as described in any one of 1-9. (A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂が、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂である請求項10記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   The photosensitive dry film for a printed wiring board protective film according to claim 10, wherein (A) the photocurable resin having a carboxyl group is an epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group. カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、下記一般式(1)
Figure 2006267152
(式中、Xは単結合、メチレン基、エチリデン基、イソプロピリデン基、またはスルホニル基を表し、Yは水素原子または2,3−エポキシプロピル基を表し、nは1〜10の整数であり、nが1の場合、Yは2,3−エポキシプロピル基を表し、nが2〜10の場合、n個のX及びYは、各々同一でも異なってもよいが、少なくともひとつのYは2,3−エポキシプロピル基を表す。)
で示されるビスフェノール型エポキシ樹脂(a)と不飽和基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物に、多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるものである請求項11記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。
An epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group is represented by the following general formula (1):
Figure 2006267152
(In the formula, X represents a single bond, a methylene group, an ethylidene group, an isopropylidene group, or a sulfonyl group, Y represents a hydrogen atom or a 2,3-epoxypropyl group, n is an integer of 1 to 10, When n is 1, Y represents a 2,3-epoxypropyl group. When n is 2 to 10, n X and Y may be the same or different, but at least one Y is 2, Represents a 3-epoxypropyl group.)
The product obtained by reacting the polybasic acid anhydride (c) with the reaction product of the bisphenol type epoxy resin (a) and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (b) represented by formula (11). Photosensitive dry film for printed wiring board protective film.
(A)カルボキシル基を有する光硬化性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)エポキシ樹脂を必須成分とする感光性組成物が、さらに(D)光硬化性モノマーまたはオリゴマーを含む請求項10〜12のいずれかひとつに記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルム。   The photosensitive composition containing (A) a photocurable resin having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin as an essential component, further comprising (D) a photocurable monomer or oligomer. The photosensitive dry film for printed wiring board protective films as described in any one of 10-12. 請求項1〜13のいずれかひとつに記載のプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムをロール状の形態としたプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムロール。   The photosensitive dry film roll for printed wiring board protective films which made the photosensitive dry film for printed wiring board protective films as described in any one of Claims 1-13 a roll form. 少なくとも下記工程(イ)〜(ホ):
(イ)ロール状に巻き取られた(I)支持フィルムから、(I)支持フィルムを繰り出す工程、
(ロ)繰り出された(I)支持フィルム上に感光性組成物を連続的に塗布する工程、
(ハ)(I)支持フィルム上に塗布された感光性組成物を乾燥し、(II)感光層を形成する工程、
(ニ)ロール状に巻き取られた保護フィルムから(III)保護フィルムを繰り出して前記(II)感光層上に貼合し、ドライフィルムレジストを形成する工程、
(ホ)形成されたドライフィルムレジストをロール状に巻き取る工程、
を含み、前記(I)支持フィルムが、オリゴマー含有量1.0質量%以下のポリエステルフィルムであり、かつアンチブロッキング剤0.01〜0.50質量%を含有することを特徴とするプリント配線板保護膜用感光性ドライフィルムロールの製造方法。
At least the following steps (a) to (e):
(I) a step of (I) feeding out the support film from the (I) support film wound up in a roll;
(B) a step of continuously applying the photosensitive composition onto the drawn out (I) support film;
(C) (I) drying the photosensitive composition coated on the support film, and (II) forming a photosensitive layer;
(D) a step of drawing out a protective film (III) from a protective film wound up in a roll shape and pasting it on the photosensitive layer (II) to form a dry film resist;
(E) a step of winding the formed dry film resist into a roll,
And (I) the support film is a polyester film having an oligomer content of 1.0% by mass or less, and contains 0.01 to 0.50% by mass of an antiblocking agent. Film roll manufacturing method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019124958A (en) * 2019-04-03 2019-07-25 三菱ケミカル株式会社 Photoresist protection film
CN115135496A (en) * 2020-03-31 2022-09-30 太阳油墨制造株式会社 Structural body

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