JP2006258214A - Hose joint - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は,ホースジョイントに関し,特に,流体を供給する複層構造のホースと,当該流体の供給対象の装置に設けられた供給口とを連結するホースジョイントに関する。 The present invention relates to a hose joint, and more particularly, to a hose joint that connects a multi-layered hose that supplies a fluid and a supply port provided in a device to which the fluid is supplied.
製造業等においては,外部からホースを介して供給されたエアや液体等の流体を利用して,各種の加工を行う加工装置が多用されている。例えば,半導体ウェハ等の被加工物を切削加工するダイシング装置は,被加工物を吸着保持するチャックテーブルを備えており,このチャックテーブルに対応して配設されたコンバムに高圧エアを供給して,チャックテーブルに接続された吸引管内を負圧にし,チャックテーブルに吸引力を付与する構成である。 In the manufacturing industry and the like, a processing apparatus that performs various types of processing using a fluid such as air or liquid supplied from the outside through a hose is frequently used. For example, a dicing apparatus that cuts a workpiece such as a semiconductor wafer has a chuck table that holds the workpiece by suction, and supplies high-pressure air to a compressor disposed corresponding to the chuck table. The suction pipe connected to the chuck table has a negative pressure to apply a suction force to the chuck table.
従来では,このようなダイシング装置に接続されるホースとしては,例えば図6に示すように,高圧流体の運搬に耐えられるように,シリコーンゴム等からなる外層1aと内層1bとの間に,ワイヤー等の補強材1cが網目状に配設された二層構造のホース1が用いられている。この二層構造のホース1は,ホースジョイントを用いて,ダイシング装置に設けられた供給口(接続口)に連結される。
Conventionally, as a hose connected to such a dicing apparatus, for example, as shown in FIG. 6, a wire is provided between an
従来のホースジョイントは,例えば,図7に示すように,上記ダイシング装置の供給口に取り付けられるジョイントボルト3と,一側でジョイントボルト3の凹部に嵌合されるとともに他側でホース1内に圧入されるコネクタ4と,このコネクタ4のジョイントボルト3側の外周に嵌着されるOリング5と,ホース1の外周に嵌着されるホースリング6と,ジョイントボルト3に螺着されてホースリング6を係止するジョイントナット7と,を備える。かかる従来のホースジョイントは,ホースリング6とコネクタ4との間でホース1を挟み込んでシールする構造である。
For example, as shown in FIG. 7, the conventional hose joint is fitted into the
ところが,かかる従来のホースジョイントは,ホース1内に高圧流体,例えば50〜100Kg/cm2程度の高圧エアが供給される場合には,ホース1の内周面に気泡や傷などの製品不良があると,図8に示すように,ホース1とコネクタ4との接合部に高圧エアが進入して,ホース1の端面1dがある密閉空間Sに高圧エアが漏れ出してしまう,という問題があった。また,ジョイントボルト3とコネクタ4との接合部からのエア漏れは,正常時にはOリング5のシール作用によって防止されているが,このOリング5のシール作用が不十分であったり材料が疲労したりしている場合には,高圧エアがOリング5部分を通過して上記密閉空間Sに漏れ出してしまうこともあった。
However, such a conventional hose joint has a product defect such as bubbles or scratches on the inner peripheral surface of the
このように漏れ出した高圧エアは,図8に示すように,二層構造のホース1の端面1dにおける補強材1c部分の僅かな隙間から侵入して,ホース1の外層1aと内層1bとを離隔させるように膨張させて,破裂させる危険性がある。
As shown in FIG. 8, the leaked high-pressure air enters through a slight gap in the reinforcing
このような問題を解決する手法として,例えば特許文献1には,ジョイントナット7の所定位置に,漏れ出した流体を外部に逃がすための孔7a(図7参照)が設ける手法が開示されている。これにより,上記のようにして漏れ出した流体を,ジョイントナット7の孔7aから外部に排出して上記密閉空間S内の圧力を低下させ,漏れだした流体がホース1端面の隙間に進入しないようにして,ホース1の破裂を防ぐことができる。
As a technique for solving such a problem, for example,
しかしながら,上記特許文献1に記載の従来のホースジョイントでは,漏れ出した流体が孔7aからホースジョイント外部に放出されてしまう。このため,当該流体によって装置周囲が汚染されてしまうという問題や,漏れること自体が危険な流体(有害な液体等)を供給する場合などには適用できないという問題があった。また,上記従来のホースジョイントは,流体の漏れを許容した解決手段であり,接合部における流体の漏れ自体を防ぐ解決手段ではない。そこで,ホース1の端面1dの隙間に流体が進入することを防止するための抜本的な解決方法が希求されていた。
However, in the conventional hose joint described in
そこで,本発明は上記のような問題に鑑みてなされたもので,その目的とするところは,流体を外部に排出することなく,複層構造のホース端面の隙間から流体が進入することを防止して,ホースの破裂を防止することが可能な,新規かつ改良されたホースジョイントを提供することにある。 Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and its object is to prevent the fluid from entering through the gap between the end faces of the multi-layered structure without discharging the fluid to the outside. Thus, it is an object of the present invention to provide a new and improved hose joint capable of preventing hose rupture.
上記課題を解決するために,本発明の第1の観点によれば,流体を供給する複層構造のホースと,流体の供給対象の装置に設けられた供給口とを連結するホースジョイントが提供される。このホースジョイントは,供給口に取り付けられるジョイントボルトと;一側でホースに接続され,他側でジョイントボルトの端部に形成された凹部にOリングを介して嵌合するコネクタと;ジョイントボルトに螺着されるジョイントナットと;ジョイントナットとホースとの間に配設されるホースリングと;を備え,ホースリングとコネクタとの間で,ホースを挟み込んでシールするとともに,ジョイントボルトとコネクタとの間で,ホースの先端部を挟み込んでシールすることを特徴とする。 In order to solve the above problems, according to a first aspect of the present invention, there is provided a hose joint for connecting a multi-layered hose for supplying a fluid and a supply port provided in a device to which the fluid is supplied. Is done. This hose joint has a joint bolt attached to the supply port; a connector that is connected to the hose on one side and that fits into a recess formed on the end of the joint bolt on the other side via an O-ring; A joint nut to be screwed; and a hose ring disposed between the joint nut and the hose. The hose is sandwiched and sealed between the hose ring and the connector, and the joint bolt and the connector It is characterized by sandwiching and sealing the tip of the hose.
かかる構成により,ホースジョイントとコネクタとの接合部,或いはホースとコネクタとの接合部から,ホース端面が位置する密閉空間に,高圧の流体が漏れ出したとしても,ホースジョイントおよびコネクタによりホースの先端部をシールしているので,ホース端面の隙間から流体が進入することを防止できる。従って,ホースが膨張して破裂することがない。また,流体をホースジョイントの外部に排出しない構造であるので,装置周辺を汚染することがなく,どのような流体であっても適用可能である。 With this configuration, even if high-pressure fluid leaks from the joint between the hose joint and the connector or the joint between the hose and the connector into the sealed space where the hose end face is located, Since the part is sealed, the fluid can be prevented from entering through the gap at the end face of the hose. Therefore, the hose does not expand and burst. Further, since the structure does not discharge the fluid to the outside of the hose joint, any fluid can be applied without contaminating the periphery of the apparatus.
さらに,2箇所でホースをシールできるので,ホース端面の隙間から流体が進入することをより効果的に防止できとともに,ホースとコネクタとの接合部から上記密閉空間に流体が漏れ出すことを防止できる。 Furthermore, since the hose can be sealed at two locations, it is possible to more effectively prevent the fluid from entering through the gap between the end surfaces of the hose and to prevent the fluid from leaking out from the joint between the hose and the connector into the sealed space. .
また,上記コネクタの外周には突出部が形成されており,ジョイントボルトの凹部を囲む円筒壁と,コネクタの突出部との間で,ホースの先端部を挟み込んでシールするようにしてもよい。これにより,ホース先端部を好適に挟み込んで,確実にシールできる。 Further, a protrusion is formed on the outer periphery of the connector, and the tip of the hose may be sandwiched and sealed between the cylindrical wall surrounding the joint bolt recess and the protrusion of the connector. Thereby, a hose front-end | tip part is inserted | pinched suitably and it can seal reliably.
以上説明したように本発明によれば,複層構造のホースをホースリングとコネクタとの間で挟み込んでシールするだけでなく,当該ホースの先端部をもジョイントボルトとコネクタとの間に挟み込んでシールする。このため,ホース端面が位置する密閉空間に高圧の流体が漏れ出したとしても,ホース端面の隙間から流体が進入することを防止できるので,ホースが膨張して破裂することがない。また,流体をホースジョイント外部に排出しない構造であるので,装置周辺を汚染することがなく,どのような流体であっても適用可能である。 As described above, according to the present invention, not only is a multi-layered hose sandwiched and sealed between a hose ring and a connector, but the tip of the hose is also sandwiched between a joint bolt and a connector. Seal. For this reason, even if a high-pressure fluid leaks into the sealed space where the hose end surface is located, the fluid can be prevented from entering through the gap between the hose end surfaces, so that the hose does not expand and burst. Further, since the structure does not discharge the fluid to the outside of the hose joint, any fluid can be applied without contaminating the periphery of the apparatus.
以下に添付図面を参照しながら,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification and drawings, components having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる流体供給対象の装置の一例であるダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
First, based on FIG. 1, the whole structure of the
図1に示すように,ダイシング装置10は,例えば,被加工物12を保持するチャックテーブル15と,半導体ウェハなどの被加工物12を切削加工する切削ユニット20と,切削ユニット移動機構(図示せず。)と,チャックテーブル移動機構(図示せず。)とを備える。
As shown in FIG. 1, the
チャックテーブル15は,例えば,上面が略平坦な円盤状のテーブルであり,例えば,被加工物12を吸着保持するための真空チャック機構(図示せず。)等を具備している。この真空チャック機構は,チャックテーブル15に対応して配設された真空発生器(コンバム)に高圧エアを供給して,真空チャックに接続された吸引管内を負圧にすることで,真空チャックに吸引力を発生させる構造である。この高圧エアは,外部のエア供給手段(高圧ポンプ等,図示せず。)から,後述するホース1を介してダイシング装置10に供給される。かかる構成のチャックテーブル15は,例えば,ウェハテープ13を介してフレーム14に支持された状態の被加工物12が載置され,この被加工物12を真空吸着して安定的に保持することができる。
The chuck table 15 is, for example, a disk-shaped table having a substantially flat upper surface, and includes, for example, a vacuum chuck mechanism (not shown) for attracting and holding the
切削ユニット20は,スピンドルに装着された切削ブレード22を備えている。この切削ユニット20は,切削ブレード22を高速回転させながら被加工物12に切り込ませることにより,被加工物12を切削して極薄のカーフ(切溝)を形成する。この切削加工時には,切削ユニット20に設けられた切削液供給ノズルから,切削ブレード22および加工点に対して切削液(例えば切削水)が噴射・供給され,切削ブレード22および加工点が冷却されるとともに,切削屑が除去・洗浄される。この切削液も,上記高圧エアと同様に,外部の切削液供給手段(高圧ポンプ等,図示せず。)から,ホース1を介してダイシング装置10に供給される。
The
切削ユニット移動機構は,切削ユニット20を,Y軸方向に移動させる。このY軸方向は,切削方向(X軸方向)に対して直交する水平方向であり,例えば,切削ユニット20内に配設されたスピンドルの軸方向である。このようなY軸方向の移動により,切削ブレード22の刃先を被加工物12の切削位置(切削ライン)に位置合わせすることができる。また,この切削ユニット移動機構は,切削ユニット20をZ軸方向(垂直方向)にも移動させる。これにより,被加工物12に対する切削ブレード22の切り込み深さを調整することができる。
The cutting unit moving mechanism moves the
チャックテーブル移動機構は,通常のダイシング加工時には,被加工物12を保持したチャックテーブル15を切削方向(X軸方向)に往復移動させて切削送りして,被加工物12に対し切削ブレード22の刃先を直線的な軌跡で作用させる。
During normal dicing, the chuck table moving mechanism reciprocates the chuck table 15 holding the
かかる構成のダイシング装置10は,高速回転する切削ブレード22を被加工物12に切り込ませながら,切削ユニット20とチャックテーブル15とを相対移動させることにより,切削ラインに沿って被加工物12を格子状に切削加工(即ち,ダイシング加工)して,複数のチップに分割することができる。
The dicing
次に,図2に基づいて,上記のようなダイシング装置10に対して,高圧エアや切削液等の流体を供給するための構成について説明する。なお,図2は,本実施形態にかかるダイシング装置10の供給口17とホース1との連結部分を示す拡大図である。
Next, a configuration for supplying fluid such as high-pressure air or cutting fluid to the
図2に示すように,ダイシング装置10の例えば背面16側には,上述したダイシング装置10の各部(チャックテーブル15や切削ユニット20等)に高圧エアや切削液等の流体を供給するための供給口17が,例えば複数設けられている。これら各供給口17には,ホースジョイント100によって,複数本(図示の例では3本)のホース1がそれぞれ接続されている。このうちの1本のホース1は,上記チャックテーブル15に吸引力を付与するために高圧エアを供給するホースである。以下の説明では,このような高圧エアを供給するためのホース1を連結するホースジョイント100の例について詳述する。
As shown in FIG. 2, for example, on the back surface 16 side of the
ホース1は,上記図6に示したように,外層1aと内層1bの間に補強材1cが配設された二層構造のホース(ブレードホース)である。外層1aと内層1bは,例えば,シリコーンゴムなどといった,ある程度の弾力性と柔軟性を有する合成樹脂で形成されている。このため,ホース1を湾曲させて比較的自由に配置できる。また,補強材1cは,例えば,合成繊維,金属製のワイヤーなどで形成されており,上記外層1aと内層1bの間に網目状に配設されている。かかる補強材1cによってホース1の強度が向上され,高圧エア等の高圧流体の供給に耐えられるようになっている。
As shown in FIG. 6, the
供給口17は,ダイシング装置10の背面16に形成された例えば断面略円形の開口である。かかる供給口17は,上記チャックテーブル15の真空チャックに接続された吸引管に連通している。
The
ホースジョイント100は,上記ホース1をダイシング装置10の供給口17に連結するための中空の継手である。以下に図3〜図5に基づいて,本実施形態にかかるホースジョイント100について詳細に説明する。なお,図3は,本実施形態にかかるホースジョイント100の構造を示す分解斜視図であり,図4は,本実施形態にかかるホースジョイント100を示す側面図(a)と断面図(b)であり,図5は,本実施形態にかかるホースジョイント100を用いてホース1と供給口17を連結した状態を示す側面図(a)と断面図(b)である。
The hose joint 100 is a hollow joint for connecting the
図3〜図5に示すように,ホースジョイント100は,上記供給口17に取り付けられるジョイントボルト30と,一側にホース1の先端部が接続されるとともに他側でジョイントボルト30の凹部32に嵌合するコネクタ40と,コネクタ40の外周に形成された環状溝42に嵌着されるOリング50と,ジョイントナット70とホース1との間に配置されるホースリング60と,ホース1を内挿した状態でジョイントボルト30に螺着されるジョイントナット70とを備える。
As shown in FIGS. 3 to 5, the hose joint 100 includes a
ジョイントボルト30は,例えばステンレス等で形成された中空部材であり,その一側(ホース1側)の端部にコネクタ40が嵌合され,他側の端部が上記供給口17に対して例えばねネジ作用により取り付けられる。このジョイントボルト30は,ホース1側の端部に設けられた円筒壁33の外周に雄ねじ部31が形成されており,また,この円筒壁33の内側には,上記コネクタ40の端部が嵌合する凹部32が形成されている。
The
コネクタ40は,例えばステンレス等で形成された略円筒状の中空部材(インサートスリップ)である。このコネクタ40の一側(ホース1側)の外周面は,ホース1内に圧入しやすいようにテーパ面41となっている。また,コネクタ40の他側(供給口17側)の外周面は,ジョイントボルト30の凹部32と密接に嵌合するロール面となっており,Oリング50を配設するための断面略コ字形の環状溝42が形成されている。
The
また,コネクタ40の略中央部の外周面には,本実施形態にかかる特徴である突出部43が周方向に沿って設けられている。この突出部43は,図4に示すように,コネクタ40の外周面において,ジョイントボルト30の円筒壁33の先端部分と対向する位置に形成されており,コネクタ40の外周面が段差状に盛り上がるような形状を有する。
Further, on the outer peripheral surface of the substantially central portion of the
従来のコネクタ4では,図7に示したように,その外周面の中央部は滑らかに傾斜した形状であり,ジョイントボルト3とコネクタ4との隙間は比較的広かった。これに対し,本実施形態にかかるコネクタ40では,上記突出部43が突設されているため,ジョイントボルト30の円筒壁33の先端部とコネクタ40の突出部43との隙間が,ホース1の厚みよりも狭くなっている。
In the
Oリング50は,例えばゴム等の弾性材料で形成されており,その径方向の厚みは上記コネクタ40の環状溝42の深さよりも大きい。このため,Oリング50が嵌着された状態のコネクタ40を,ジョイントボルト30の凹部32に嵌合すると,Oリング50は,ジョイントボルト30の凹部32の内周面と密着する。従って,かかるOリング50により,ジョイントボルト30とコネクタ40との接合部分をシールできる。
The O-
ホースリング60は,例えばプラスチック等の合成樹脂で形成された環状部材(パックリング)である。このホースリング60の内径は,通常時のホース1の外径より大きいため,ホースリング60の内部にホース1を挿通することができる。また,かかるホースリング60の外周面の一側には,被係止部61が突出形成されており,外径が拡径されている。
The
ジョイントナット70は,例えばステンレス等で形成されたナット部材であり,その内径は,通常時のホース1の外径よりも大きい。このジョイントナット70の内周面の一側(供給口17側)には,上記ジョイントボルト30の雄ねじ部31と螺合する雌ねじ部71が形成されている。また,ジョイントナット70の内周面の他側(ホース1側)には,開口部を縮径するように係止部72が形成されており,この係止部72は,上記ホースリング60の被係止部61を係止する。かかる構成のジョイントナット70を上記ジョイントボルト30に螺着することによって,ホースリング70を係止部72によって係止してコネクタ40側に押圧し,このホースリング70とコネクタ40との間にホース1を挟み込んで固定することができる。
The
以上のような構成のホースジョイント100を用いて,ホース1をダイシング装置10の供給口17に連結する手順について説明する。まず,ジョイントナット70およびホースリング60内にホース1を挿入しておく。次いで,テーパ面41が形成されたコネクタ40の端部をホース1の先端部内に圧入して,コネクタ40とホース1を接続する。さらに,コネクタ40の他側の端部の環状溝42にOリング50を嵌着した上で,当該コネクタ40の他側の端部をジョイントボルト30の凹部32に嵌合させる。その後,上記のように予めホース1が内挿された状態のホースリング60を,ジョイントボルト30側に移動させ,コネクタ40に接続されて拡径したホース1に対して強く押し付ける。さらに,ジョイントナット70もジョイントボルト30側に移動させて,ジョイントナット70の内周の雌ねじ部71をジョイントボルト30の外周の雄ねじ部31に螺着する。
A procedure for connecting the
このようにして組み立てられたホースジョイント100は,図5に示すように,コネクタ40の突出部43とジョイントボルト30の円筒壁33との間(図5の第1シール部)で,ホース1の先端部を挟み込んでシールする点が大きな特徴である。なお,ホース1の先端部とは,ホース1に対してホースリング60が接触する箇所よりもホース先端側(端面1d側)の部分である。
As shown in FIG. 5, the hose joint 100 assembled in this way is between the
上述したように,ホースジョイント100組み立て時においては,コネクタ40の突出部43とジョイントボルト30の円筒壁33との隙間がホース1の肉厚より狭い。このため,コネクタ40に接続されたホース1の先端部は,コネクタ40の突出部43とジョイントボルト30の円筒壁33とによって両側から挟み込まれて押しつぶされ,両者の間で強固に密着固定されてシールされる。
As described above, when the hose joint 100 is assembled, the gap between the
このようにコネクタ40とジョイントボルト30とによってホース1の先端部をシールすることにより,Oリング50から高圧エアが漏れたとしても,二層構造のホース1の端面1dにおける補強材1c部分の僅かな隙間から,高圧エアが進入することを好適に防止できる。
By sealing the tip of the
より詳細に説明すると,Oリング50の疲労等が原因でOリング50のシール作用が低下したときには,高圧エアがジョイントボルト30とコネクタ40との接合部を通り抜けて,密閉空間S(ジョイントボルト30とコネクタ40とホース1先端部とで形成され,ホース端面1dが位置する空間)に漏れ出す場合がある。しかし,このような場合であっても,ジョイントボルト30の円筒壁33とコネクタ40の突出部43とが,ホース1の端面1dに極力近い箇所でホース1先端部を挟み込むことによって,ホース1先端部における外層1aと内層1bとを強固に密着させることができる。このため,上記密閉空間Sに漏れ出した高圧エアは,ホース端面1dにおける外層1aと内層1bの間の僅かな隙間から進入することができない。従って,上記図6で示したように高圧エアの圧力でホース1が膨張して破裂することを確実に防止できる。
More specifically, when the sealing action of the O-
さらに,本実施形態にかかるホースジョイント100では,ジョイントナット70をジョイントボルト30に螺締することによって,ホースリング60をジョイントボルト30側に押圧して,ホースリング60の端部をホース1に食い込ませることができる。これによって,ホースリング60とコネクタ40との間(図5の第2シール部)でも,ホース1を挟み込んでシールすることができる。従って,このようなホースリング60とコネクタ40との間,および上述したようなジョイントボルト30とコネクタ40との間という2箇所で,ホース1を挟み込んでシールできる。よって,ホース1内への高圧エアの進入を防止する効果をより一層高めることができる。
Furthermore, in the hose joint 100 according to the present embodiment, the
また,このように2箇所(第1及び第2シール部)でシールすることにより,コネクタ40とホース1との接合部分から高圧エアが進入することをより確実に防止して,上記密閉空間Sに至らないようにする効果があることは勿論である。
In addition, by sealing at two places (first and second seal portions) in this manner, high-pressure air can be prevented from entering from the joint portion between the
また,本実施形態にかかるホースジョイント100は,高圧エア等の流体をホースジョイント100の外部に排出することなく,ホース1の破裂を防止できる。従って,装置周辺を流体で汚染することがないだけでなく,漏れること自体が危険な流体(有害な液体やガス等)を供給する際にも適用可能である。
In addition, the hose joint 100 according to the present embodiment can prevent the
また,本実施形態にかかるホースジョイント100は,ジョイントボルト30がホース1の回転を防止する機能を発揮するため,ホース1の連結時に生じるホース1の捻れを防止できるという効果もある。
Further, the hose joint 100 according to the present embodiment also has an effect that the
より詳細に説明すると,図7に示したような従来のホースジョイントでは,ホース1を供給口17に連結する際に,ジョイントナット7を回転させてジョイントボルト3に締結すると,ジョイントナット7と共にホースリング7及びコネクタ4も回転するため,ホース1に捻れが生じてしまうという問題があった。
More specifically, in the conventional hose joint as shown in FIG. 7, when the
これに対し,本実施形態にかかるホースジョイント100は,ホース1が接続されたコネクタ30をジョイントボルト30の凹部33に嵌合させたときには,ジョイントボルト30の円筒壁33がホース1外周に接触する構造である。このため,ホース1を連結する際に,ジョイントナット70を回転させたとしても,ジョイントボルト30がホース1に接触しているため,ホース1およびコネクタ30が回転しない。従って,ホース1の捻れを防止して,ホース1を供給口17に好適に連結することができる。
On the other hand, in the hose joint 100 according to the present embodiment, when the
以上,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された範疇内において,各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this example. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are of course within the technical scope of the present invention. Understood.
例えば,上記実施形態では,ホース1を介して供給される流体として,主に高圧エアの例を挙げて説明したが,本発明はかかる例に限定されない。当該流体は,空気以外の各種の気体であってもよいし,或いは,切削液,洗浄液,エッチング液,研磨液,切断加工用高圧液などの各種の液体(水等)や,スラリー等の粘性体などであってもよい。
For example, in the above-described embodiment, the example of high-pressure air has been mainly described as the fluid supplied through the
また,上記実施形態では,流体の供給対象となる装置として,ダイシング装置10の例を挙げたが,本発明はかかる例に限定されない。流体供給対象の装置は,例えば,切削装置,研削装置,研磨装置,エッチング装置,ウォータージェット切断装置,レーザ加工装置など,流体を利用して加工を行うあらゆる装置,工場設備などであってよい。
In the above embodiment, an example of the
また,上記実施形態では,補強材1cを含む二層構造のホース1の例について説明したが,かかる例に限定されない。複層構造のホースであれば,三層構造,四層構造など,その層数は任意の複数であってもよい。また,補強材1cは,上記実施形態のように網目状以外にも格子状,ストライプ状など,任意の形態でホース1内に配設されてよい。また,補強材1cの素材は,合成繊維,金属製ワイヤー以外のあらゆる素材であってもよい。また,複層構造のホースには,必ずしも補強材1cが含まれなくてもよい。
Moreover, although the said embodiment demonstrated the example of the
また,上記実施形態では,図4に例示したようなジョイントボルト30の円筒壁33とコネクタ40の突起部43との間で,ホース1の先端部を挟み込んでシールした。しかし,本発明はかかる例に限定されず,ジョイントボルト30とコネクタ40とによってホース1を挟み込む構成であれば,多様に設計変更可能である。例えば,突出部43の形状及び配置は,図示の例に限定されるものではなく,多様に設計変更可能である。また,コネクタ40に突出部43を設けずに,ジョイントボルト30の内周に突出部を設けて,ホース1を挟み込むようにしてもよい。
Moreover, in the said embodiment, the front-end | tip part of the
また,上記実施形態にかかるホースジョイント100は,2箇所でホース1をシールしたが,かかる例に限定されず,3箇所以上でホース1をシールできるように構成してもよい。
Moreover, although the hose joint 100 concerning the said embodiment sealed the
本発明は,流体を供給する複層構造のホースを,当該流体の供給対象の装置に設けられた供給口に連結するホースジョイントに適用可能である。 The present invention can be applied to a hose joint that connects a multi-layered hose for supplying a fluid to a supply port provided in a device to which the fluid is to be supplied.
1 : ホース
1a : 外層
1b : 内層
1c : 補強材
1b : ホースの端面
10 : ダイシング装置
12 : 被加工物
15 : チャックテーブル
16 : ダイシング装置の背面
17 : 供給口
20 : 切削ユニット
22 : 切削ブレード
30 : ジョイントボルト
31 : 雄ねじ部
32 : 凹部
33 : 円筒壁
40 : コネクタ
41 : テーパ面
42 : 環状溝
43 : 突出部
50 : Oリング
60 : ホースリング
61 : 被係止部
70 : ジョイントナット
71 : 雌ねじ部
72 : 係止部
100 : ホースジョイント
S : 密閉空間
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1:
Claims (2)
前記供給口に取り付けられるジョイントボルトと;
一側で前記ホースに接続され,他側で前記ジョイントボルトの端部に形成された凹部にOリングを介して嵌合するコネクタと;
前記ジョイントボルトに螺着されるジョイントナットと;
前記ジョイントナットと前記ホースとの間に配設されるホースリングと;
を備え,
前記ホースリングと前記コネクタとの間で,前記ホースを挟み込んでシールするとともに,
前記ジョイントボルトと前記コネクタとの間で,前記ホースの先端部を挟み込んでシールすることを特徴とする,ホースジョイント。 In a hose joint that connects a multi-layered hose that supplies fluid and a supply port provided in the fluid supply target device:
A joint bolt attached to the supply port;
A connector connected to the hose on one side and fitted into a recess formed on the end of the joint bolt on the other side via an O-ring;
A joint nut screwed onto the joint bolt;
A hose ring disposed between the joint nut and the hose;
With
The hose is sandwiched and sealed between the hose ring and the connector,
A hose joint characterized in that a tip of the hose is sandwiched and sealed between the joint bolt and the connector.
前記ジョイントボルトの前記凹部を囲む円筒壁と,前記コネクタの前記突出部との間で,前記ホースの先端部を挟み込んでシールすることを特徴とする,請求項1に記載のホースジョイント。
A protrusion is formed on the outer periphery of the connector,
2. The hose joint according to claim 1, wherein a tip of the hose is sandwiched and sealed between a cylindrical wall surrounding the concave portion of the joint bolt and the protruding portion of the connector.
Priority Applications (1)
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- 2005-03-17 JP JP2005077852A patent/JP2006258214A/en active Pending
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