JP2006255918A - Optical film laminate - Google Patents

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穂高 北島
Hideki Moriyama
英樹 森山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly heat-resistant optical film laminate suppressed in the occurrence of curling and excellent in gas barrier properties using a film low in the coefficient of thermal expansion. <P>SOLUTION: In the optical film laminate constituted by forming an inorganic compound-containing layer at least on one side of a film containing a polymer, at least one in-plane direction of the film, which becomes -15 to 50 ppm/°C in the coefficient of thermal expansion at 30-100°C is present in the film and the light transmittance of light with all of wavelengths of 450-700 nm of the laminate is 80-100%. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は光学用フィルムに関し、特にガスバリア性に優れた表示材料用基材としてガラスの代わりに好適に使用可能な光学用フィルム積層体に関する。   The present invention relates to an optical film, and more particularly to an optical film laminate that can be suitably used in place of glass as a substrate for a display material having excellent gas barrier properties.

従来より有機ELディスプレイや液晶ディスプレイの基材としてはガラスが用いられてきたが、近年、軽量である、薄型化が可能である、大面積化が容易である、割れない、加工性が優れている、という性質を持つフィルムで代用する方法が提案されている。また同様に薄型化や軽量化を狙って、電子ペーパーやフィールドエミッションディスプレイ、太陽電池の基材としてもフィルムの利用が提案されている。   Conventionally, glass has been used as a base material for organic EL displays and liquid crystal displays, but in recent years it is lightweight, can be reduced in thickness, can be easily increased in area, not cracked, and has excellent workability. A method of substituting with a film having the property of being proposed is proposed. Similarly, the use of film as a base material for electronic paper, field emission displays, and solar cells has been proposed with the aim of reducing thickness and weight.

このようにフレキシブルディスプレイや太陽電池などに使用されるガラス部材の代替としてフィルムを使用する場合、高透明性であることはもちろんのこと、高い水蒸気バリア性も必須の特性である。有機高分子化合物は無機化合物よりもガスバリア性が悪く、そのため有機高分子からなるフィルムは無機化合物からなるガラスと比較してガスバリア性が低く、長期間ディスプレイ素子の性能を維持させることは困難である。例えば、有機EL素子の発光層は、水分や酸素によって劣化することが知られており、有機ELディスプレイにフィルムを用いる場合、フィルム上にガスバリア層を設ける必要がある。このガスバリア層は低温で形成することが可能であるが、低温で形成した場合、ディスプレイ用途に十分なガスバリア性は得られない。そのため優れたガスバリア性を有する層を形成するためには高温での加工が必要となる。同様にフレキシブルディスプレイにおいて必要とされる透明導電層についても、低温で形成することが可能なものの、低抵抗性の層とするためには高温の加工が必要となる。これらのことからフィルムは加工時の高温工程に耐えうる耐熱性が必要となる。   Thus, when using a film as a substitute for the glass member used for a flexible display, a solar cell, etc., high water vapor barrier property is an essential characteristic as well as high transparency. Organic polymer compounds have lower gas barrier properties than inorganic compounds, so films made of organic polymers have lower gas barrier properties than glass made of inorganic compounds, and it is difficult to maintain the performance of display elements for a long period of time. . For example, it is known that the light emitting layer of an organic EL element is deteriorated by moisture or oxygen. When a film is used for an organic EL display, it is necessary to provide a gas barrier layer on the film. This gas barrier layer can be formed at a low temperature, but when it is formed at a low temperature, a gas barrier property sufficient for display applications cannot be obtained. Therefore, processing at a high temperature is required to form a layer having excellent gas barrier properties. Similarly, although the transparent conductive layer required in the flexible display can be formed at a low temperature, high-temperature processing is required to obtain a low-resistance layer. For these reasons, the film needs to have heat resistance that can withstand high-temperature processes during processing.

特許文献1には、ポリエステルとエポキシの混合物から成る樹脂に金属酸化物を積層したガスバリア層付きフィルムの記載がある。しかしこのフィルムは食品などの包装用に使用する場合には十分なバリア性を有すものの、ディスプレイ用途として使用するに際しては、十分な品質のものではない。   Patent Document 1 describes a film with a gas barrier layer in which a metal oxide is laminated on a resin made of a mixture of polyester and epoxy. However, although this film has a sufficient barrier property when used for packaging foods and the like, it is not of sufficient quality when used as a display.

特許文献2にはガスバリア層付きフィルム積層体の記載がある。この実施例には、基材にポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用いている。しかしポリエチレンテレフタレート(PET)は、ガラス転移温度が80℃程度であり、耐熱性に劣る問題がある。また、耐熱性に劣るフィルムにガスバリア層を形成する場合、加工温度を低くする必要があるが、バリア性に優れる無機化合物を低温で製膜する場合、緻密な膜の形成が困難で、ガスバリア性を高めることができない。またこの文献にはフィルムとして、ポリエチレンテレフタレート以外のフィルムについての記載もあり、耐熱性の高い樹脂にも適用可能な旨記載がある。しかし高いガラス転移温度を有するこれらの樹脂であっても、30℃〜100℃の熱膨張係数は通常であれば50ppm/℃を超える大きな値となるため、熱膨張係数の小さな無機物を積層した際に、積層体はカールを生じてしまう。   Patent Document 2 describes a film laminate with a gas barrier layer. In this embodiment, a polyethylene terephthalate (PET) film is used as the base material. However, polyethylene terephthalate (PET) has a glass transition temperature of about 80 ° C. and is inferior in heat resistance. Also, when forming a gas barrier layer on a film with poor heat resistance, it is necessary to lower the processing temperature, but when forming an inorganic compound with excellent barrier properties at low temperatures, it is difficult to form a dense film, and gas barrier properties Can not increase. This document also describes a film other than polyethylene terephthalate as a film, and also describes that it can be applied to a resin having high heat resistance. However, even with these resins having a high glass transition temperature, the thermal expansion coefficient of 30 ° C. to 100 ° C. is usually a large value exceeding 50 ppm / ° C. Therefore, when an inorganic material having a small thermal expansion coefficient is laminated, In addition, the laminate is curled.

ガスバリア層を粗面に形成する場合、形成した層に欠陥が生じることがある。特許文献3にはガスバリア層に欠陥が生じることを防ぐ目的で、フィルムの上に平坦化層を設け、その上にガスバリア層を形成した積層体の記載がある。平坦化層を設けることで、表面平滑性に劣るフィルムに対しても、緻密なガスバリア層を形成している。しかし、積層体の実施例にはアクリルとポリカーボネートをフィルムとして用いているのに対して、有機ELディスプレイ用積層体の実施例としては、フィルムではなくガラスを用いている。このため有機ELディスプレイの軽量化やフレキシブル化を達成できない問題がある。有機ELディスプレイ用積層体の基材にガラスを用いている理由は、アクリルやポリカーボネートでは耐熱性、熱膨張性、表面平滑性等の点で十分でないからである。
特開平8−164595号公報 特開2004−114645号公報 特開2004−299230号公報
When the gas barrier layer is formed on a rough surface, defects may occur in the formed layer. Patent Document 3 describes a laminate in which a flattening layer is provided on a film and a gas barrier layer is formed thereon for the purpose of preventing defects in the gas barrier layer. By providing the planarization layer, a dense gas barrier layer is formed even for a film having poor surface smoothness. However, while acrylic and polycarbonate are used as a film in the example of the laminate, glass is used instead of a film as an example of the laminate for an organic EL display. For this reason, there exists a problem which cannot achieve weight reduction and flexibility of an organic EL display. The reason why glass is used for the base material of the laminate for organic EL display is that acrylic and polycarbonate are not sufficient in terms of heat resistance, thermal expansion, surface smoothness and the like.
JP-A-8-164595 JP 2004-114645 A JP 2004-299230 A

本発明は、上述した従来技術における問題点を課題として検討した結果達成されたものである。すなわち本発明の目的は、フィルムと無機化合物を含む層を積層した際の、これらの熱膨張係数の差に起因するカールの発生を抑えた、高ガスバリア性、高耐熱性の光学用フィルム積層体を提供することにある。   The present invention has been achieved as a result of studying the above-described problems in the prior art as problems. That is, an object of the present invention is to provide an optical film laminate having a high gas barrier property and a high heat resistance, which suppresses the occurrence of curling due to the difference in thermal expansion coefficient when a film and a layer containing an inorganic compound are laminated. Is to provide.

上記目的を達成するための本発明は、高分子を含むフィルムの少なくとも一方の側に無機化合物を含む層が形成された積層体であって、前記フィルムについて30〜100℃の熱膨張係数が−15ppm/℃以上50ppm/℃以下となるフィルム面内の方向が少なくとも一つ存在し、かつ積層体の450nmから700nmの全ての波長の光の光線透過率が80%以上100%以下である積層体であることを特徴とする。   The present invention for achieving the above object is a laminate in which a layer containing an inorganic compound is formed on at least one side of a film containing a polymer, and the film has a coefficient of thermal expansion of 30 to 100 ° C. − A laminate having at least one in-plane direction of 15 ppm / ° C. to 50 ppm / ° C. and having a light transmittance of light of all wavelengths from 450 nm to 700 nm of the laminate of 80% to 100%. It is characterized by being.

本発明によれば以下に説明するとおり、熱膨張係数の低いフィルムに無機化合物を含む層を形成しているので、表示材料用基材等のガスバリア性を要求される用途に好適に使用可能であり、かつカールが少なくガスバリア性に優れた高耐熱の光学用フィルム積層体を得ることができる。   According to the present invention, as described below, since the layer containing an inorganic compound is formed on a film having a low thermal expansion coefficient, it can be suitably used for applications requiring a gas barrier property such as a substrate for display materials. There can be obtained a highly heat-resistant optical film laminate that has little curling and excellent gas barrier properties.

以下、本発明の実施形態の例を説明する。   Hereinafter, examples of embodiments of the present invention will be described.

一般的に、ガスバリア層や透明導電層には無機化合物が使用されることが多いが、無機化合物の熱膨張係数は、一般的な高分子フィルムの熱膨張係数よりも小さい。例えば酸化珪素の場合3ppm/℃〜10ppm/℃であり、一般的な高分子フィルムの1/10の値である。よって高分子フィルムに無機化合物の層を形成すると、層形成時の熱によって膨張した状態で膜が形成され、これが室温まで冷却されると無機化合物に比べて高分子フィルムは収縮が大きいため、積層体にカールが発生することがある。カールが激しくなると、層や基材に破れ等を生じることがあるために好ましくない。本発明の積層体に用いる、高分子を含むフィルムは、30〜100℃の熱膨張係数が−15ppm/℃以上50ppm/℃以下となるフィルム面内の方向が少なくとも一つ存在していることが好ましい。熱膨張係数をこの範囲とすることで、ガスバリア層等を形成する際の高温処理時に、フィルムの寸法変化を抑えることができ、積層体にカールが発生することを防ぐことができる。この熱膨張係数の値はより好ましくは、−10ppm/℃以上30ppm/℃以下であり、さらに好ましくは−10ppm/℃以上15ppm/℃以下である。この範囲とすることで、フィルム上に形成するガスバリア層等の無機化合物を含む層とフィルムの熱膨張係数の差を小さくすることができ、カールのない積層体とできるため好ましい。特に好ましくは−10ppm/℃以上15ppm/℃以下でありかつ100〜200℃において−10ppm/℃以上20ppm/℃以下の場合である。100℃〜200℃における熱膨張係数も制御することで、高い温度の加工が可能となり、そのためカールのない緻密なガスバリア膜を得ることができる為に好ましい。上記の好ましい熱膨張係数の範囲は、フィルム面内(面方向)の少なくとも一つの方向に対して適用されるが(範囲内の値であればよいが)、好ましくはフィルムの面方向において直交する二方向のいずれに対しても適用される(直交するいずれの方向についても上記範囲を満足している)。より好ましくは、上記の「少なくとも一つの方向」や「直交する二方向」のうちの一方がフィルムの製膜方向と一致していることである。また、特に好ましくは、フィルム面内における全ての方向について、熱膨張係数の値が上記の好ましい範囲を満足していることである。   In general, an inorganic compound is often used for the gas barrier layer or the transparent conductive layer, but the thermal expansion coefficient of the inorganic compound is smaller than that of a general polymer film. For example, in the case of silicon oxide, it is 3 ppm / ° C. to 10 ppm / ° C., which is 1/10 of a general polymer film. Therefore, when an inorganic compound layer is formed on a polymer film, a film is formed in a state of being expanded by heat at the time of layer formation, and when this is cooled to room temperature, the polymer film contracts more than the inorganic compound. Curling may occur on the body. When the curl becomes intense, the layer or the substrate may be broken, which is not preferable. The film containing a polymer used for the laminate of the present invention has at least one in-plane direction in which the coefficient of thermal expansion at 30 to 100 ° C. is −15 ppm / ° C. or more and 50 ppm / ° C. or less. preferable. By setting the thermal expansion coefficient within this range, the dimensional change of the film can be suppressed during high-temperature processing when forming the gas barrier layer and the like, and curling can be prevented from occurring in the laminate. The value of this thermal expansion coefficient is more preferably −10 ppm / ° C. or more and 30 ppm / ° C. or less, and further preferably −10 ppm / ° C. or more and 15 ppm / ° C. or less. By setting it as this range, the difference in thermal expansion coefficient between the layer containing an inorganic compound such as a gas barrier layer formed on the film and the film can be reduced, and a laminate without curling can be obtained, which is preferable. Particularly preferred is the case of from −10 ppm / ° C. to 15 ppm / ° C. and from −10 ppm / ° C. to 20 ppm / ° C. at 100 to 200 ° C. Controlling the coefficient of thermal expansion at 100 ° C. to 200 ° C. is preferable because high-temperature processing is possible, and a dense gas barrier film without curling can be obtained. The range of the above preferable thermal expansion coefficient is applied to at least one direction in the film plane (plane direction) (it may be a value within the range), but is preferably orthogonal in the plane direction of the film. It applies to both of the two directions (the above range is satisfied in any direction orthogonal). More preferably, one of the “at least one direction” and the “two orthogonal directions” is the same as the film forming direction of the film. Moreover, it is particularly preferable that the value of the thermal expansion coefficient satisfies the above preferable range in all directions in the film plane.

熱膨張係数は、非等方にフィルムを延伸することにより、その方向と他の方向の値を大きく変えることができる。よって特定方向のみ小さな値とすることが可能であるが、この方向と直交する方向の熱膨張係数は大きくなる問題がある。非等方延伸によらず、熱膨張係数を小さくすれば、二方向もしくは全ての方向の熱膨張係数を小さく抑えることができ、高温加工時に生じる寸法変化を抑えることができる。   The coefficient of thermal expansion can greatly change the value in that direction and other directions by stretching the film anisotropically. Therefore, it is possible to set a small value only in a specific direction, but there is a problem that the thermal expansion coefficient in a direction orthogonal to this direction becomes large. Regardless of anisotropic stretching, if the thermal expansion coefficient is made small, the thermal expansion coefficient in two or all directions can be kept small, and the dimensional change that occurs during high-temperature processing can be suppressed.

本発明の積層体は、フィルムの少なくとも一方の側に無機化合物を含む層が形成されている。この無機化合物を含む層は、フィルムのうえに直接形成されていてもよいし、何らかの他の層を介して設けられていても構わない。   In the laminate of the present invention, a layer containing an inorganic compound is formed on at least one side of the film. The layer containing the inorganic compound may be formed directly on the film or may be provided via some other layer.

本発明の積層体は、無機化合物を含む層を形成することで、積層体に防汚性、酸化防止、耐スクラッチ性、ガスバリア性、等の機能を付与することが可能となる。特にガスバリア性を高めた場合、積層体を表示材料用に用いられるガラスの代替として好適に使用可能となる点で好ましい。   By forming a layer containing an inorganic compound, the laminate of the present invention can impart functions such as antifouling property, anti-oxidation, scratch resistance and gas barrier properties to the laminate. In particular, when the gas barrier property is enhanced, the laminate is preferable in that it can be suitably used as an alternative to glass used for display materials.

無機化合物としては特に限定は無く、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化珪素等の珪素の酸化物や窒化物、またはアルミニウムの酸化物や窒化物、マグネシウムの酸化物、亜鉛の酸化物、ジルコニウムの酸化物等、種々の無機化合物が好適に使用される。   There are no particular limitations on the inorganic compound, and silicon oxides and nitrides such as silicon nitride, silicon oxynitride, and silicon oxide, or aluminum oxides and nitrides, magnesium oxides, zinc oxides, and zirconium oxides Various inorganic compounds such as products are preferably used.

無機化合物を含む層の形成には特に限定は無く、プラズマCVD法、触媒CVD法、熱CVD法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法、反応蒸着法、イオンビームアシスト蒸着法、等を用いることができる。
これら無機化合物を含む層は、多層構造の場合も好ましい。この時の層の厚みは、層が単層の場合は5nm以上500nm以下の厚みを有していることが好ましく、層が多層の場合は、各単層部分が5nm以上であり、かつ各単層部分の合計(多層中の無機化合物を含む層の全厚)が10nm以上500nm以下で形成されることが好ましい。単層部分が5nm未満の場合、無機化合物を含む層がフィルムの全面を覆うことができない場合があり、ガスバリア性に劣ることがある。単層若しくは多層の合計厚みが500nmを超える場合、透明性が低下することがあり、またクラックやカールが発生しやすい傾向がある。
なお、無機化合物を含む層を単層で構成する場合、その厚みは好ましくは20nm以上300nm以下であり、より好ましくは30nm以上100nm以下である。
また、無機化合物を含む層を多層で構成する場合、好ましくは各単層部分が10nm以上であり、かつ各単層部分の合計が20nm以上350nm以下、より好ましくは各単層部分が15nm以上であり、かつ各単層部分の合計が30nm以上200nm以下である。
There is no particular limitation on the formation of the layer containing the inorganic compound, and plasma CVD method, catalytic CVD method, thermal CVD method, sputtering method, ion plating method, vacuum deposition method, reactive deposition method, ion beam assisted deposition method, etc. Can be used.
The layer containing these inorganic compounds is also preferable in the case of a multilayer structure. The thickness of the layer at this time is preferably 5 nm or more and 500 nm or less when the layer is a single layer, and when the layer is a multilayer, each single layer portion is 5 nm or more, and each single layer is a single layer. It is preferable that the total of the layer portions (the total thickness of the layer including the inorganic compound in the multilayer) is 10 nm or more and 500 nm or less. When the monolayer portion is less than 5 nm, the layer containing the inorganic compound may not be able to cover the entire surface of the film, and the gas barrier property may be inferior. When the total thickness of a single layer or multiple layers exceeds 500 nm, the transparency may decrease, and cracks and curls tend to occur.
Note that in the case where the layer containing an inorganic compound is formed as a single layer, the thickness is preferably 20 nm to 300 nm, more preferably 30 nm to 100 nm.
In the case where the layer containing an inorganic compound is composed of multiple layers, preferably each single layer part is 10 nm or more, and the total of each single layer part is 20 nm or more and 350 nm or less, more preferably each single layer part is 15 nm or more. And the total of each single-layer portion is 30 nm or more and 200 nm or less.

上述の無機化合物を含む層の他に高分子化合物を含む層が形成されていてもよい。形成する場所は、フィルム上でも構わないし、後述する平坦化層の上でも構わない。また、無機化合物を含む層と高分子化合物を含む層とを少なくとも1層づつ積層した多層構造としてもよい。この多層構造における高分子化合物を含む層を以下、中間層とする。
無機化合物を含む層と中間層のガスバリア性を比較すると、一般に無機化合物を含む層の方がガスバリア性に優れる。しかし無機化合物を含む層は、ピンホール等の欠陥が生じやすい問題がある。欠陥部位があると、欠陥部位を通じてガスが透過しやすいために、無機化合物の本来有する高いガスバリア性を発揮できない問題がある。無機化合物を含む層に中間層を積層した多層構造とすることで、無機化合物を含む層に生じた欠陥部位を中間層の高分子化合物が埋めて平滑化することによって、欠陥部位からガスが透過するのを抑える効果を生じる。また欠陥部位を有す層上に、さらに無機化合物を含む層を形成する場合、その新たに形成した層にも欠陥が生じやすいが、中間層が欠陥部位を平滑化することによって、中間層の上に形成する無機化合物を含む層に、欠陥を生じにくくする効果を生じる。これらの効果により、中間層を設けることで無機化合物を含む層のバリア性を損なわない利点がある。
In addition to the above-described layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound may be formed. The place to be formed may be on a film or on a flattening layer described later. Alternatively, a multilayer structure in which at least one layer including an inorganic compound and a layer including a polymer compound are stacked may be used. Hereinafter, the layer containing the polymer compound in the multilayer structure is referred to as an intermediate layer.
When the gas barrier properties of the layer containing the inorganic compound and the intermediate layer are compared, the layer containing the inorganic compound is generally superior in gas barrier properties. However, a layer containing an inorganic compound has a problem that defects such as pinholes are likely to occur. If there is a defect site, gas easily permeates through the defect site, and thus there is a problem that the high gas barrier property inherent in the inorganic compound cannot be exhibited. By adopting a multi-layer structure in which an intermediate layer is laminated on a layer containing an inorganic compound, the defective portion generated in the layer containing the inorganic compound is smoothed by filling the polymer layer in the intermediate layer to smooth the gas. The effect which suppresses doing is produced. In addition, when a layer containing an inorganic compound is further formed on a layer having a defect site, the newly formed layer is likely to have a defect. The effect which makes it difficult to produce a defect arises in the layer containing the inorganic compound formed on top. By these effects, there is an advantage that the barrier property of the layer containing the inorganic compound is not impaired by providing the intermediate layer.

中間層を形成する高分子化合物としては、ポリシラザン又はゾル・ゲル法による金属酸化物等の無機高分子化合物、芳香族ポリアミド、ポリアミック酸、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレン樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂ポリ尿素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアクリル酸樹脂、ポリアクリル酸エステル樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、ポリメタクリル酸エステル樹脂、変性アクリル樹脂、マレイミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エポキシ樹脂等の有機高分子化合物を用いることができる。   Examples of the polymer compound forming the intermediate layer include polysilazane or inorganic polymer compounds such as metal oxides by a sol-gel method, aromatic polyamide, polyamic acid, polyimide resin, polyamideimide resin, polyethersulfone resin, polyethylene resin, Melamine resin, polyurethane resin, polyester resin, polyurea resin, polycarbonate resin, polyacrylic acid resin, polyacrylic acid ester resin, polymethacrylic acid resin, polymethacrylic acid ester resin, modified acrylic resin, maleimide resin, polystyrene resin, polyacrylonitrile resin Organic polymer compounds such as epoxy resins can be used.

これら高分子化合物層は、スパッタリング法、真空蒸着、イオンプレーティング法、化学気相蒸着法などのドライ形成法、ロールコート、グラビアコート、グラビアリバースコート、スリットコート、ナイフコート、ディップコート、スプレーコート、ダイコート、スピンコート等の方法によって形成することができる。   These polymer compound layers are formed by dry forming methods such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, chemical vapor deposition, roll coating, gravure coating, gravure reverse coating, slit coating, knife coating, dip coating, and spray coating. It can be formed by a method such as die coating or spin coating.

また本発明の積層体は、フィルムの表面平滑性が劣る場合には、フィルムと無機化合物を含む層との間に平坦化層を設けることも好ましい。ここで平坦化層とは、フィルムそのもののよりも表面平滑性に優れた表面を与える機能を有する層である。高分子を含むフィルムにピンホールや突起がある場合、その上に形成した無機化合物を含む層にも欠陥が生じやすく、ガスバリア性能に劣ることがある。平坦化層を形成することによって、フィルムの表面平滑性を改善すれば、平坦化層上に形成する無機化合物を含む層の欠陥を減らすことが可能となる。
平坦化層としては、ポリシラザン又はゾル・ゲル法による金属酸化物等の無機高分子化合物、芳香族ポリアミド、ポリアミック酸、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレン樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂ポリ尿素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアクリル酸樹脂、ポリアクリル酸エステル樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、ポリメタクリル酸エステル樹脂、変性アクリル樹脂、マレイミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エポキシ樹脂等の有機高分子化合物を使用することが可能である。また、フィルムと同一の高分子や、同一種類で異組成の高分子を用いることも好ましい。フィルムと同一の高分子や、同一種類で異組成の高分子を平坦化層に用いることで、平坦化層とフィルムの間に剥離が生じにくくなりカール等が問題となりにくく、またフィルムと平坦化層の屈折率が等しいまたは近いために、積層界面の光の反射も問題となりにくくなるため好ましい。また平坦化層には、フィルムよりも屈折率の低いものを、薄膜として積層することも好ましい。低屈折率層として積層することで、反射防止層としての効果も生ぜしめることができるからである。
Moreover, when the surface smoothness of a film is inferior in the laminated body of this invention, it is also preferable to provide a planarization layer between a film and the layer containing an inorganic compound. Here, the flattening layer is a layer having a function of giving a surface superior in surface smoothness to that of the film itself. When a film containing a polymer has pinholes or protrusions, a layer containing an inorganic compound formed thereon is likely to be defective, and the gas barrier performance may be inferior. If the surface smoothness of the film is improved by forming the planarization layer, defects in the layer containing an inorganic compound formed on the planarization layer can be reduced.
As a planarizing layer, polysilazane or inorganic polymer compounds such as metal oxides by sol-gel method, aromatic polyamide, polyamic acid, polyimide resin, polyamideimide resin, polyethersulfone resin, polyethylene resin, melamine resin, polyurethane resin Polyester resin, polyurea resin, polycarbonate resin, polyacrylic acid resin, polyacrylic acid ester resin, polymethacrylic acid resin, polymethacrylic acid ester resin, modified acrylic resin, maleimide resin, polystyrene resin, polyacrylonitrile resin, epoxy resin, etc. Organic polymer compounds can be used. It is also preferable to use the same polymer as the film or the same type and different composition. By using the same polymer as the film or a polymer of the same type and different composition for the flattening layer, peeling between the flattening layer and the film is less likely to cause curling, and the film is flattened. Since the refractive indexes of the layers are equal or close to each other, reflection of light at the lamination interface is less likely to be a problem, which is preferable. Moreover, it is also preferable to laminate | stack a flattening layer as a thin film what has a refractive index lower than a film. By laminating as a low refractive index layer, an effect as an antireflection layer can be produced.

本発明の積層体の水蒸気透過率は1.0×10−1g/m/day以下であることが好ましく、より好ましくは5.0×10−2g/m/day以下であり、特に好ましくは1.0×10−2g/m/day以下である。水蒸気透過率を1.0×10−1g/m/day以下とすることで、従来の食品などの包装用途以上に水蒸気バリア性の必要な分野への使用が可能となる。例えば、液晶ディスプレイ用や有機ELディスプレイ用の支持基材等に本発明の積層体を使用することが可能となる。
また本発明の積層体は、450nmから700nmの全ての波長の光の光線透過率が80%以上100%以下であることが好ましい。450nmから700nmの波長域において一部でも光線透過率が80%未満である波長が存在する場合、透過率に劣るため表示材料用等各種光学部材として積層体を利用した際にディスプレイの表示性能に劣ることがある。透明性が向上することから、より好ましくは450から700nmの全波長の光線透過率は85%以上100%以下である。
The water vapor permeability of the laminate of the present invention is preferably 1.0 × 10 −1 g / m 2 / day or less, more preferably 5.0 × 10 −2 g / m 2 / day or less, Particularly preferably, it is 1.0 × 10 −2 g / m 2 / day or less. By setting the water vapor transmission rate to 1.0 × 10 −1 g / m 2 / day or less, it becomes possible to use it in a field requiring a water vapor barrier property more than a conventional packaging application for foods. For example, it becomes possible to use the laminated body of this invention for the support base material for liquid crystal displays or an organic EL display.
Moreover, it is preferable that the laminated body of this invention is 80% or more and 100% or less of the light transmittance of the light of all the wavelengths of 450 nm-700 nm. When there is a wavelength with a light transmittance of less than 80% even in a part of the wavelength range from 450 nm to 700 nm, the transmittance is inferior, so that the display performance of the display is improved when using a laminate as various optical members for display materials and the like. May be inferior. Since transparency improves, the light transmittance of all wavelengths of 450 to 700 nm is more preferably 85% or more and 100% or less.

本発明のフィルムに用いる高分子としては、芳香族ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリノルボルネン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、アクリレート樹脂、メタクリレート樹脂、エポキシ樹脂等を挙げることができるが、これらに限定されるわけではない。   As the polymer used in the film of the present invention, aromatic polyamide resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyether sulfone resin, polyether ether ketone resin, polyphenylene sulfide resin, polynorbornene resin, cyclic polyolefin resin, polyarylate resin, A polycarbonate resin, a methacryl resin, an acrylic resin, an acrylate resin, a methacrylate resin, an epoxy resin, and the like can be given, but the invention is not limited to these.

また本発明の積層体に用いられるフィルムは、ガラス転移温度が120℃以上であるか、またはガラス転移温度を示さないことが好ましい。ガラス転移温度が120℃未満の場合、高温での使用時や加工時に、フィルムが形状を保てず変形することがある。ガラス転移温度が120℃以上またはガラス転移温度を示さない高分子をフィルムとして用いることで、ガスバリア層や透明導電層の形成など高温加工が可能となるため好ましい。ガラス転移温度は、透明導電膜やTFT(薄膜トランジスター)形成の観点から好ましくは150℃以上であり、より好ましくは200℃以上である。TFTとしてはアモルファスシリコンやポリシリコンが用いられる。アモルファスシリコンTFTは低温で形成が可能なものの、電子の移動速度が遅いために、ポリシリコンTFTに比べてトランジスタとしての性能に劣る。しかしトランジスタとして優れたポリシリコンTFTの場合、電子移動速度は早いものの、TFT形成に高温が必要な問題がある。低温でのポリシリコンTFT形成の研究が進められており、ポリシリコンTFTは250℃で形成した報告例がある。このためガラス転移温度としては、更に好ましくは250℃以上であり、また高温で形成した場合ほど電子移動速度に優れるため、最も好ましくは280℃以上である。   Moreover, it is preferable that the film used for the laminated body of this invention has a glass transition temperature of 120 degreeC or more, or does not show a glass transition temperature. When the glass transition temperature is less than 120 ° C., the film may be deformed without maintaining its shape during use at high temperature or during processing. It is preferable to use a polymer having a glass transition temperature of 120 ° C. or higher or a glass transition temperature as a film because high temperature processing such as formation of a gas barrier layer or a transparent conductive layer is possible. The glass transition temperature is preferably 150 ° C. or higher, more preferably 200 ° C. or higher, from the viewpoint of forming a transparent conductive film or TFT (thin film transistor). As the TFT, amorphous silicon or polysilicon is used. Although an amorphous silicon TFT can be formed at a low temperature, the performance as a transistor is inferior to that of a polysilicon TFT due to the slow movement speed of electrons. However, in the case of a polysilicon TFT that is excellent as a transistor, although the electron transfer speed is high, there is a problem that a high temperature is required for TFT formation. Research on the formation of polysilicon TFTs at low temperatures is underway, and there are reports of polysilicon TFTs formed at 250 ° C. For this reason, the glass transition temperature is more preferably 250 ° C. or higher, and the electron transfer rate is more excellent as it is formed at a higher temperature.

本発明の積層体に用いられるフィルムは、厚みが10〜300μmであることが好ましい。厚みが10μm未満の場合、腰の強さがなく、剛性に劣るため、加工時の取扱性が劣る傾向にある。また300μmを超える場合、フィルムの巻き取りが困難になることがあり、また溶液製膜法によってフィルムを製膜する場合には、溶媒除去に長時間が必要となり、生産性が低下しやすい。また、フィルムの透明性が低下することもある。上記のような観点から、フィルムの厚みは、より好ましくは15〜150μm、特に好ましくは30〜70μmである。   The film used for the laminate of the present invention preferably has a thickness of 10 to 300 μm. When the thickness is less than 10 μm, there is no waist strength and the rigidity is inferior, and therefore the handleability during processing tends to be inferior. When the thickness exceeds 300 μm, it may be difficult to wind the film, and when a film is formed by a solution casting method, it takes a long time to remove the solvent, and the productivity tends to decrease. In addition, the transparency of the film may be lowered. From the above viewpoint, the thickness of the film is more preferably 15 to 150 μm, and particularly preferably 30 to 70 μm.

本発明の積層体に使用されるフィルムの一方の面の表面粗さをRa1、他方の面の表面粗さをRa2としたとき、Ra1とRa2とが次式(1)〜(3)を満足しているフィルムを用いることが好ましい。   When the surface roughness of one surface of the film used in the laminate of the present invention is Ra1 and the surface roughness of the other surface is Ra2, Ra1 and Ra2 satisfy the following formulas (1) to (3): It is preferable to use the film which is doing.

Ra1<Ra2 (1)
0nm<Ra1≦2nm (2)
0nm<Ra2≦3nm (3)
フィルムにピンホールや突起がある場合、その上に形成した無機化合物を含む層にも欠陥が生じやすく、無機化合物を含む層の各種物性、特にガスバリア性能に劣ることがある。そこで、フィルムの表面粗さを上記範囲とすることで、フィルムにピンホールや突起等の欠陥が少ないものとできるため、上述した平坦化層を設けなくても、フィルム上に形成した無機化合物を含む層に欠陥が生じにくく、優れたガスバリア性能を有する積層体とすることができる。もちろん上記のRa値を満足している場合でも平坦化層を設けてもよい。
Ra1 <Ra2 (1)
0 nm <Ra1 ≦ 2 nm (2)
0 nm <Ra2 ≦ 3 nm (3)
If the film has pinholes or protrusions, the layer containing the inorganic compound formed thereon is likely to be defective, and various physical properties of the layer containing the inorganic compound, particularly gas barrier performance, may be inferior. Therefore, by setting the surface roughness of the film within the above range, the film can have few defects such as pinholes and protrusions. Therefore, the inorganic compound formed on the film can be formed without providing the above-described planarization layer. Defects are hardly generated in the layer to be included, and a laminate having excellent gas barrier performance can be obtained. Of course, a planarizing layer may be provided even when the above Ra value is satisfied.

また表面粗さが上記範囲の場合、フィルムの外部ヘイズを抑制するため表示材料用積層体として使用した際に、ディスプレイの品位を向上することができるため好ましい。   Moreover, when the surface roughness is in the above range, it is preferable because the display quality can be improved when used as a laminate for a display material in order to suppress external haze of the film.

なお、表面粗さについては
Ra1<Ra2
0nm<Ra1≦1.0nm
0nm<Ra2≦2.0nm
を全て満足することがより好ましく、
Ra1<Ra2
0nm<Ra1≦0.8nm
0nm<Ra2≦1.5nm
を全て満足することがさらに好ましい。これらの関係を満たしていることにより、形成した無機化合物を含む層の剥がれやガスバリア性の低下が少なく、さらに両面への無機化合物を含む層の形成が可能となる。
本発明の積層体に使用されるフィルムの黄色度(YI)は、0以上4.5以下であることが好ましい。フィルムの黄色度(YI)が4.5より大きい場合に、該フィルムから構成した積層体を表示材料用積層体としてガラス基材の代わりに使用すると、ディスプレイが黄色く着色して品位が低下することがある。黄色度の値を0以上4.5以下とすることで、表示材料用積層体として使用した際に、ディスプレイの着色を防ぎ、高品位の画像を提供することができる。ここで黄色度は、試験片を透過した三刺激値(X、Y、Z)により求められる値である。フィルムの黄色度を低下させるには、可視光領域の短波長側の光を吸収しない分子構造とすることが重要である。またフィルム製膜時の加熱温度や加熱時間、高分子溶液の溶媒選択、アルゴンや窒素等不活性ガス雰囲気下での製膜、等により黄色度を低下できる。より好ましくは黄色度(YI)は0以上3.0以下であり、さらに好ましくは0以上2.5以下、特に好ましくは0以上2.0以下である。
黄色度を低下させる分子構造としては芳香族部位を有さないことが好ましい。具体的には積層体に用いるフィルムとして、ポリノルボルネン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、アクリレート樹脂、メタクリレート樹脂等を用いることで無色性に優れたフィルムを得ることができ、黄色度を低下することができる。しかしこれらの化合物と比較して、主鎖に芳香族化合物を有する高分子は、一般に熱膨張係数や耐熱性、機械物性等に非常に優れたフィルムとなる。そこで本発明の積層体では、主鎖に芳香族化合物を有すものであり、かつ共役構造が分子全体に広がることを抑えて黄色度を低下した、高分子であることがより好ましい。電子雲の広がりを抑えて共役構造を広げないためには、立体的に電子雲を断ち切ることが可能な構造や、電子吸引性の置換基を有することで電子雲の広がりを抑えた構造とすることが好ましい。また使用する溶媒としては、高分子の種類に合わせて、耐熱性の低い高分子にはそれに合った沸点の溶媒を使用して、溶媒を除去する際に、高分子に大きな負荷をかけないような溶媒を選択することが重要である。例えば、アクリル樹脂に沸点200℃のN−メチル−2−ピロリドンを使用した場合、高分子のガラス転移温度以上の高温で長時間加熱しないと溶媒を除去できないために、その溶媒除去工程において熱により高分子が着色して、黄色度が増加する場合がある。加熱温度は高分子種々の耐熱性によって異なるため、条件を変えて検討を行うことで決定される。また酸素を断った条件で加熱製膜を行った場合、高分子の酸化反応を抑えることができるために、酸化反応を生じうる高分子の場合には不活性ガス雰囲気下での製膜も好ましい。芳香族ポリアミドやポリイミド等の高分子主鎖末端にアミノ基を有する高分子は、アミノ基が酸化により着色して黄色度が増加する場合がある。この場合、上述した不活性ガス雰囲気下で製膜する事が好ましいが、アミノ基を酸クロライドや酸無水物、カルボン酸、クロルギ酸エステル等と反応させることも、高分子主鎖末端のアミノ基を減少若しくは消失させて、酸素雰囲気下でもアミノ基の着色による黄色度の増加を抑えるために好ましい。
For surface roughness, Ra1 <Ra2
0 nm <Ra1 ≦ 1.0 nm
0 nm <Ra2 ≦ 2.0 nm
Is more preferable,
Ra1 <Ra2
0 nm <Ra1 ≦ 0.8 nm
0 nm <Ra2 ≦ 1.5 nm
It is further preferable to satisfy all of the above. By satisfying these relationships, the layer containing the formed inorganic compound is hardly peeled off or the gas barrier property is reduced, and further, the layer containing the inorganic compound on both sides can be formed.
The yellowness (YI) of the film used for the laminate of the present invention is preferably 0 or more and 4.5 or less. When the yellowness (YI) of the film is greater than 4.5, if a laminate composed of the film is used as a laminate for a display material instead of a glass substrate, the display is colored yellow and the quality deteriorates. There is. By setting the yellowness value to 0 or more and 4.5 or less, when used as a laminate for display material, coloring of the display can be prevented and a high-quality image can be provided. Here, the yellowness is a value obtained from tristimulus values (X, Y, Z) transmitted through the test piece. In order to reduce the yellowness of the film, it is important to have a molecular structure that does not absorb light on the short wavelength side in the visible light region. Further, the yellowness can be lowered by heating temperature and heating time during film formation, solvent selection of a polymer solution, film formation under an inert gas atmosphere such as argon and nitrogen, and the like. More preferably, the yellowness (YI) is 0 or more and 3.0 or less, more preferably 0 or more and 2.5 or less, and particularly preferably 0 or more and 2.0 or less.
The molecular structure that lowers the yellowness preferably has no aromatic moiety. Specifically, a film excellent in colorlessness can be obtained by using a polynorbornene resin, a cyclic polyolefin resin, a methacrylic resin, an acrylic resin, an acrylate resin, a methacrylate resin, etc. Can be lowered. However, in comparison with these compounds, polymers having an aromatic compound in the main chain generally become a film having excellent thermal expansion coefficient, heat resistance, mechanical properties and the like. Therefore, the laminate of the present invention is more preferably a polymer having an aromatic compound in the main chain and having a conjugated structure that prevents the conjugated structure from spreading over the entire molecule to reduce the yellowness. In order to suppress the spread of the electron cloud and not to expand the conjugated structure, a structure that can cut the electron cloud in three dimensions or a structure that suppresses the spread of the electron cloud by having an electron-withdrawing substituent. It is preferable. In addition, as the solvent to be used, use a solvent with a boiling point suitable for the polymer with low heat resistance according to the type of polymer so that a large load is not applied to the polymer when removing the solvent. It is important to select a suitable solvent. For example, when N-methyl-2-pyrrolidone having a boiling point of 200 ° C. is used for an acrylic resin, the solvent cannot be removed unless heated for a long time at a temperature higher than the glass transition temperature of the polymer. The polymer may be colored and the yellowness may increase. Since the heating temperature varies depending on the heat resistance of various polymers, the heating temperature is determined by examining the conditions. Also, when film formation is performed under conditions where oxygen is turned off, the oxidation reaction of the polymer can be suppressed. Therefore, in the case of a polymer that can cause an oxidation reaction, film formation under an inert gas atmosphere is also preferable. . A polymer having an amino group at the end of the main chain of the polymer such as aromatic polyamide or polyimide may be colored by oxidation and increase in yellowness. In this case, it is preferable to form a film under the above-mentioned inert gas atmosphere, but it is also possible to react an amino group with an acid chloride, acid anhydride, carboxylic acid, chloroformate, etc. Is preferable in order to suppress or increase the yellowness and suppress an increase in yellowness due to coloring of the amino group even in an oxygen atmosphere.

本発明の積層体は120℃で3時間加熱した際に生じる端部の浮きの高さが0.5cm以下であることが好ましい。フィルムに、ガスバリア膜として無機化合物を積層する場合、有機高分子と無機化合物は熱膨張係数が異なるため、加工時の熱によって、フィルムがカールする場合がある。カールが激しくなると、膜や基材に破れ等も生じることがある。より好ましくは200℃で3時間加熱後もカールが発生しない場合(上記の端部の浮きの高さが認められない場合)が、フィルムを高温で加工できるため好ましい。高温の加工処理によってもカールを生じないようにするためには、フィルムの熱膨張係数が低いことが好ましい。   In the laminate of the present invention, the height of the floating portion at the end when heated at 120 ° C. for 3 hours is preferably 0.5 cm or less. When an inorganic compound is laminated on a film as a gas barrier film, the organic polymer and the inorganic compound have different coefficients of thermal expansion, so the film may curl due to heat during processing. When the curl becomes severe, the film or the substrate may be broken. More preferably, the case where no curling occurs even after heating at 200 ° C. for 3 hours (when the above-described height of lifting at the end portion is not recognized) is preferable because the film can be processed at a high temperature. In order to prevent curling even by high temperature processing, the film preferably has a low coefficient of thermal expansion.

本発明の積層体は温度60℃、湿度90%RHの条件下で7日間(7×24時間)保管した後も、積層体端部の浮きの高さが0.5cm以下であることが好ましい。高分子を含むフィルムは、水を吸うことにより膨張することがある。このため使用中に空気中の水分を吸うことで膨張を生じ、積層体にカールを生じる場合(上記の端部に浮きが認められる場合)がある。カールが激しくなると、膜や基材に破れ等も生じることがある。高湿環境下でカールを生じないようにするためには、フィルムの湿度膨張係数を低く抑えることが好ましい。
また本発明の積層体は、高湿度下においてカールを生じないのと同時に、積層体の各層の間に剥がれが生じないことが好ましい。高分子を含むフィルムは、水を吸うことで積層体各層間の接着力が低下し、剥がれが生じることがある。温度60℃、湿度90%RHの条件下で7日間(7×24時間)保管後にこのような欠陥が生じなければ、積層体を高湿度下で使用することが可能となるため好ましい。
The laminate of the present invention preferably has a floating height of 0.5 cm or less at the end of the laminate even after being stored for 7 days (7 × 24 hours) under conditions of a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH. . A film containing a polymer may swell by sucking water. For this reason, it may expand | swell by sucking the water | moisture content in the air in use, and a curling may be produced in a laminated body (the above-mentioned edge part may be lifted). When the curl becomes severe, the film or the substrate may be broken. In order to prevent curling in a high humidity environment, it is preferable to keep the humidity expansion coefficient of the film low.
Moreover, it is preferable that the laminate of the present invention does not cause curling under high humidity, and at the same time, does not cause peeling between the layers of the laminate. In a film containing a polymer, the adhesive strength between the layers of the laminate may be reduced by sucking water, and peeling may occur. If such defects do not occur after storage for 7 days (7 × 24 hours) under conditions of a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH, the laminate can be used under high humidity, which is preferable.

本発明の積層体に用いられるフィルムは、芳香族ポリアミドを含むことが好ましい。芳香族ポリアミドを含むことで、フィルムのヤング率、透明性、耐熱性を向上でき、熱膨張係数を低下できる。   The film used in the laminate of the present invention preferably contains an aromatic polyamide. By including the aromatic polyamide, the Young's modulus, transparency, and heat resistance of the film can be improved, and the thermal expansion coefficient can be lowered.

また芳香族ポリアミドの構造が、化学式(I)、化学式(II)で示される構造単位を含み、それぞれの構造単位のモル分率をl、mとしたとき、50≦l≦100、0≦m≦50であることが好ましい。   Further, the structure of the aromatic polyamide includes structural units represented by the chemical formulas (I) and (II), and when the molar fraction of each structural unit is 1 and m, 50 ≦ l ≦ 100, 0 ≦ m It is preferable that ≦ 50.

Figure 2006255918
Figure 2006255918

:−CF、−CCl、−CBr、−F、−Cl、−Br、−OH、−OCH(ただし、分子内においてこれらの基を有する構造単位が混在していてもよい。)
:任意の芳香族基
:水素、ハロゲンまたは炭素数1〜3の炭化水素基
R 1 : —CF 3 , —CCl 3 , —CBr 3 , —F, —Cl, —Br, —OH, —OCH 3 (however, structural units having these groups may be mixed in the molecule) .)
R 2: any aromatic radical R 3: hydrogen, halogen or a hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms

Figure 2006255918
Figure 2006255918

:任意の芳香族基
:任意の芳香族基
化学式(I)、(II)で示される構造単位のモル分率をそれぞれl、mとした時、l≧50であることが好ましい様態である。さらに好ましくはl≧80であり、最も好ましくはl=100である。l<50の場合は、芳香族ポリアミドの透過率が劣ることがあり、さらにYI値や熱膨張係数が大きな値となることもある。芳香族ポリアミドは分子内および分子間の電荷移動錯体により着色すると考えられているが、化学式(I)はいずれも芳香族ポリアミド分子内および分子間の電荷移動錯体の形成を阻害し、芳香族ポリアミドフィルムの光線透過率を向上させると考えられる。さらに化学式(I)はパラ結合から成る剛直な分子構造を有しており、この構造に起因して熱膨張係数を低下できる。
R 4 : Arbitrary aromatic group R 5 : Arbitrary aromatic group When the molar fractions of the structural units represented by the chemical formulas (I) and (II) are 1 and m, respectively, it is preferable that l ≧ 50. It is a mode. More preferably, l ≧ 80, and most preferably l = 100. When l <50, the transmittance of the aromatic polyamide may be inferior, and the YI value and thermal expansion coefficient may be large. Aromatic polyamides are believed to be colored by intramolecular and intermolecular charge transfer complexes, but both chemical formulas (I) inhibit the formation of intramolecular and intermolecular charge transfer complexes, resulting in aromatic polyamides. It is thought to improve the light transmittance of the film. Furthermore, chemical formula (I) has a rigid molecular structure composed of para bonds, and the thermal expansion coefficient can be lowered due to this structure.

ここで化学式(I)の、Rは、−CF、−CCl、−CBr、−F、−Cl、−Br、−OH、−OCH(ただし、分子内においてこれらの基を有する構造単位が混在していてもよい。)などが好適に用いられるが、光線透過率の点から、−CF、−CCl、−CBr、−F、−Clが特に好ましく、また最も好ましくは−CFである。
また化学式(I)、化学式(II)で示される構造単位のモル分率をl、mとしたとき、50≦l≦100、0≦m≦50である芳香族ポリアミドとすることで、熱膨張係数を小さくすることができるので好ましい。熱膨張係数を小さくするためには、熱膨張係数を小さくするためには、高分子主鎖が芳香族部位であることが好ましく、さらにその芳香族部位は、オルト結合やメタ結合よりも、パラ結合を含む場合が好ましい。主鎖がパラ結合で連結された芳香族部位を有することで、主鎖を剛直構造とすることができ、高温を与えても膨張を抑えることができるために好ましい。化学式(I)はジアミンが屈曲成分を有さない剛直構造であり、そのため高温下においても膨張を抑えることができるために好ましい。
本発明の積層体は、太陽電池用基板、タッチパネル用基板、医薬品用包装材料、食品用包装材料、飲料用包装材料などとして使用することが可能であるが、特に本発明の積層体は、ガスバリア性が高く、透明性に優れるため、表示材料用積層体とした場合に好適に使用可能である。本発明の積層体を使用可能な表示材料としては、有機ELディスプレイ、無機ELディスプレイ、液晶表示ディスプレイ、電子ペーパー、フィールドエミッションディスプレイ、等が挙げられる。
Wherein the chemical formula (I), R 1 is, -CF 3, -CCl 3, -CBr 3, -F, with -Cl, -Br, -OH, these groups in -OCH 3 (however, in the molecule structural units may be mixed.) While such is preferably used, from the viewpoint of light transmittance, -CF 3, -CCl 3, -CBr 3, -F, -Cl is particularly preferred, and most preferably is -CF 3.
Further, when the molar fractions of the structural units represented by the chemical formula (I) and the chemical formula (II) are l and m, the thermal expansion is achieved by setting the aromatic polyamide to 50 ≦ l ≦ 100 and 0 ≦ m ≦ 50. This is preferable because the coefficient can be reduced. In order to reduce the thermal expansion coefficient, in order to reduce the thermal expansion coefficient, it is preferable that the polymer main chain is an aromatic moiety, and the aromatic moiety is more a para bond than an ortho bond or a meta bond. The case where a bond is included is preferable. It is preferable that the main chain has an aromatic portion connected by a para bond, because the main chain can have a rigid structure, and expansion can be suppressed even when a high temperature is applied. Chemical formula (I) is preferable because diamine has a rigid structure having no bending component, and therefore, expansion can be suppressed even at high temperatures.
The laminate of the present invention can be used as a solar cell substrate, a touch panel substrate, a pharmaceutical packaging material, a food packaging material, a beverage packaging material, and the like. Since it has high properties and is excellent in transparency, it can be suitably used for a laminate for display material. Examples of the display material that can use the laminate of the present invention include an organic EL display, an inorganic EL display, a liquid crystal display, electronic paper, a field emission display, and the like.

これらの用途として使用する場合、本発明の表示材料用積層体には透明導電膜を設けて用いることができる。本発明の積層体に用いるフィルムは、熱膨張係数が−15ppm/℃以上50ppm/℃以下に低減した基材のため、ガスバリア膜や透明導電膜等の無機化合物の膜を形成した場合であっても、カール等が生じ難い。また耐熱性が高いため、透明導電膜を付与する際等に高温での加工が可能となる。   When used for these applications, the laminate for display material of the present invention can be used by providing a transparent conductive film. The film used in the laminate of the present invention is a base material having a coefficient of thermal expansion reduced to −15 ppm / ° C. or more and 50 ppm / ° C. or less, and therefore a film of an inorganic compound such as a gas barrier film or a transparent conductive film is formed. However, curling is unlikely to occur. Moreover, since heat resistance is high, when a transparent conductive film is provided, processing at high temperature becomes possible.

以下に芳香族ポリアミドを用いた場合についての、本発明の積層体の製造方法を例示するが、これに限定されるものではない。   Although the manufacturing method of the laminated body of this invention about the case where aromatic polyamide is used is illustrated below, it is not limited to this.

芳香族ポリアミド溶液、すなわち製膜原液を得る方法は種々の方法が利用可能であり、例えば、低温溶液重合法、界面重合法、溶融重合法、固相重合法などを用いることができるが、重合時の溶液をそのまま製膜に用いることが可能で生産性に優れる点から、低温溶液重合法が好ましい。   Various methods can be used to obtain an aromatic polyamide solution, that is, a film-forming stock solution. For example, a low-temperature solution polymerization method, an interfacial polymerization method, a melt polymerization method, a solid-phase polymerization method, etc. can be used. The low temperature solution polymerization method is preferable from the viewpoint that the solution at the time can be used for film formation as it is and the productivity is excellent.

また2種類以上のジアミンを用いて重合を行う場合、溶媒中にジアミンは1種類づつ添加し、該ジアミンに対し10〜99モル%の酸ジクロライドを添加して反応させ、この後に他のジアミンを添加して、さらに酸ジクロライドを添加して反応させる段階的な反応方法、および全てのジアミンを混合して添加し、この後に酸ジクロライドを添加して反応させる方法などが利用可能である。   Moreover, when superposing | polymerizing using 2 or more types of diamine, one type of diamine is added to a solvent one by one, 10-99 mol% of acid dichloride is added with respect to this diamine, it is made to react, and another diamine is added after this. A stepwise reaction method in which acid dichloride is further added and reacted, and a method in which all diamines are mixed and added, and then acid dichloride is added and reacted can be used.

さらに2種類以上の酸ジクロライドを利用する場合も同様に、段階的な方法、同時に添加する方法などが利用できる。いずれの場合においても全ジアミンと全酸ジクロライドのモル比は95〜105:105〜95が好ましい。さらに好ましくは97〜103:103〜97、特に好ましくは98.5〜101.5:101.5〜98.5である。この値を外れた場合、得られる高分子の分子量が低くなり、フィルムの伸度及び靭性、耐熱性が低下することがある。またこの値を外れた場合、高分子の分子量分布が広くなりオリゴマーが生成する場合がある。オリゴマー生成量が増えた場合、製膜中にオリゴマーが凝集して内部異物となったり、表面に吹き出すことがある。このような場合、フィルムの表面平滑性が悪化することとなり、無機化合物を含む層の形成時に欠陥が生じやすく、高品位の表示材料用積層体が得られにくい。
またジアミンと酸ジクロライドを反応させる際には、ジアミンを溶解した溶液を10℃以下に冷却しながら酸ジクロライドを添加することが好ましい。ジアミンと酸ジクロライドの反応は発熱反応であり、十分に溶液を冷却しない場合高分子の重合度が上がりにくく、また分子量分布が広がることがある。これによりオリゴマー生成量が増えると、表面欠点の増加となり、無機化合物を含む層に欠陥が生じやすくなる。
Further, when two or more kinds of acid dichlorides are used, a stepwise method, a method of adding them simultaneously, and the like can be used. In any case, the molar ratio of total diamine to total acid dichloride is preferably 95 to 105: 105 to 95. More preferably, it is 97-103: 103-97, Most preferably, it is 98.5-101.5: 101.5-98.5. When this value is deviated, the molecular weight of the obtained polymer is lowered, and the elongation, toughness, and heat resistance of the film may be lowered. On the other hand, if this value is deviated, the molecular weight distribution of the polymer may be widened to generate oligomers. When the amount of oligomer production increases, oligomers may aggregate during film formation to become internal foreign matter or blown out to the surface. In such a case, the surface smoothness of the film deteriorates, and defects are likely to occur during the formation of the layer containing the inorganic compound, making it difficult to obtain a high-quality laminate for display material.
Moreover, when making a diamine and an acid dichloride react, it is preferable to add an acid dichloride, cooling the solution which melt | dissolved diamine to 10 degrees C or less. The reaction between diamine and acid dichloride is an exothermic reaction. If the solution is not cooled sufficiently, the degree of polymerization of the polymer is difficult to increase and the molecular weight distribution may be widened. As a result, when the amount of oligomer generated increases, surface defects increase and defects in the layer containing the inorganic compound tend to occur.

本発明の芳香族ポリアミドの製造において使用する溶媒は、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどの非プロトン性極性溶媒を挙げることができ、これらを単独又は混合物として用いるのが望ましいが、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の使用も可能である。溶解度の点から好ましくはN,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトンを挙げることができる。重合反応における反応の進みやすさの点からはN−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドが好ましく、高温で加熱しても溶媒が着色することが少ないためにフィルムの黄色度を低下できる点から、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドが特に好ましい。   Examples of the solvent used in the production of the aromatic polyamide of the present invention include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, N, N- Acetamide solvents such as dimethylacetamide and N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or p-cresol, xylenol, Phenolic solvents such as halogenated phenols and catechols, and aprotic polar solvents such as hexamethylphosphoramide and γ-butyrolactone, which are preferably used alone or as a mixture, more preferably xylene, Toluene The use of such aromatic hydrocarbons are also possible. From the viewpoint of solubility, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, and γ-butyrolactone can be mentioned. N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, and N, N-diethylacetamide are preferable from the viewpoint of easy progress of the polymerization reaction, and the solvent is less likely to be colored even when heated at a high temperature. In particular, N, N-dimethylacetamide and N, N-diethylacetamide are particularly preferred because the yellowness of the film can be lowered.

原料の酸ジクロライドとしては、テレフタル酸ジクロライド、2クロロ−テレフタル酸ジクロライド、イソフタル酸ジクロライド、ナフタレンジカルボニルクロライド、ビフェニルジカルボニルクロライド、ターフェニルジカルボニルクロライド等が挙げられるが、特に好ましくはテレフタル酸ジクロライド、2クロロ−テレフタル酸ジクロライド、イソフタル酸ジクロライドである。
酸ジクロライドとジアミンから得た芳香族ポリアミド溶液は、副生物として塩化水素が混入しているが、これを中和する場合には水酸化カルシウム、炭酸カルシウム、炭酸リチウム等の無機の中和剤、またはエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、アンモニア、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン等の有機の中和剤が使用される。しかし溶解度の低い高分子の場合、製膜時の加熱乾燥中に高分子が急激に析出して透明性あるフィルムにできない場合がある。そのような高分子の場合、中和によって溶解助剤として機能する無機塩が生成する、無機系中和剤を用いることが好ましい。
Examples of the raw acid dichloride include terephthalic acid dichloride, 2 chloro-terephthalic acid dichloride, isophthalic acid dichloride, naphthalene dicarbonyl chloride, biphenyl dicarbonyl chloride, terphenyl dicarbonyl chloride, and the like, particularly preferably terephthalic acid dichloride, 2-chloro-terephthalic acid dichloride and isophthalic acid dichloride.
The aromatic polyamide solution obtained from acid dichloride and diamine contains hydrogen chloride as a by-product, but when neutralizing this, an inorganic neutralizing agent such as calcium hydroxide, calcium carbonate, lithium carbonate, Alternatively, an organic neutralizing agent such as ethylene oxide, propylene oxide, ammonia, triethylamine, triethanolamine, diethanolamine is used. However, in the case of a polymer having low solubility, the polymer may be rapidly precipitated during heating and drying at the time of film formation to make a transparent film. In the case of such a polymer, it is preferable to use an inorganic neutralizing agent that generates an inorganic salt that functions as a dissolution aid by neutralization.

またフィルムの表面平滑性を高めるためには、高分子溶液にレベリング剤を添加することも好ましい。表面欠点の原因の多くは、溶媒蒸発による対流現象、ゴミなどの付着、泡・異物の表面への移動、などがある。レベリング剤は表面張力を制御することで、フィルムの表面平滑性を高める働きがある。   In order to improve the surface smoothness of the film, it is also preferable to add a leveling agent to the polymer solution. Many of the causes of surface defects include convection phenomenon due to solvent evaporation, adhesion of dust, movement of bubbles and foreign matters to the surface, and the like. The leveling agent functions to increase the surface smoothness of the film by controlling the surface tension.

さらに、表面形成、加工性改善などを目的として高分子100重量部に対して10重量部以下の無機または有機の添加剤を含有させてもよい。表面形成を目的とした添加剤は、例えば、無機粒子ではSiO、TiO、Al、CaSO、BaSO、CaCO、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、ゼオライト、その他の金属微粉末等が挙げられる。また、好ましい有機粒子としては、例えば、架橋ポリビニルベンゼン、架橋アクリル、架橋ポリスチレン、ポリエステル粒子、ポリイミド粒子、ポリアミド粒子、フッ素樹脂粒子等の有機高分子からなる粒子、あるいは、表面に上記有機高分子で被覆等の処理を施した無機粒子が挙げられる。 Furthermore, 10 parts by weight or less of an inorganic or organic additive may be contained with respect to 100 parts by weight of the polymer for the purpose of surface formation, workability improvement, and the like. Additives for the purpose of surface formation, for example, SiO 2, TiO 2, Al 2 O 3 in the inorganic particles, CaSO 4, BaSO 4, CaCO 3, carbon black, carbon nanotube, fullerene, zeolite, other metallic powder Etc. Preferred organic particles include, for example, particles made of an organic polymer such as crosslinked polyvinylbenzene, crosslinked acrylic, crosslinked polystyrene, polyester particles, polyimide particles, polyamide particles, and fluororesin particles, or the above organic polymer on the surface. Inorganic particles that have been subjected to treatment such as coating may be mentioned.

また他の添加剤としては、耐熱性、寸法安定性向上の目的で、ガラス繊維やガラスパウダー等の無機系充填材を添加することも好ましい。ガラス繊維やガラスパウダーの添加により、芳香族ポリアミドフィルムの耐熱性や寸法安定性をさらに高めることができるために好ましい。無機系充填材は芳香族ポリアミド100重量部に対して、1〜90重量部が好ましく、より好ましくは30〜70重量部である。無機充填材の量がこれより少ない場合、芳香族ポリアミドと無機材料との複合化による寸法安定化の効果が生じにくい。一方で、これより多いと、樹脂と無機充填材の熱膨張係数の差により成形体表面に無機充填材由来の凹凸が発生して、その外観が悪化しやすい。1〜90重量部とすることで外観の悪化なく、物性を向上できるために好ましい。
さらに、紫外線に対する劣化を防いで耐光性を向上する目的で、芳香族ポリアミド100重量部に対して10重量部以下の紫外線吸収剤を含有させてもよい。紫外線吸収剤としてはベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ベンゾエート系などの化合物が挙げられる。
As other additives, it is also preferable to add an inorganic filler such as glass fiber or glass powder for the purpose of improving heat resistance and dimensional stability. The addition of glass fiber or glass powder is preferable because the heat resistance and dimensional stability of the aromatic polyamide film can be further enhanced. The inorganic filler is preferably 1 to 90 parts by weight, more preferably 30 to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the aromatic polyamide. When the amount of the inorganic filler is less than this, the effect of dimensional stabilization due to the composite of the aromatic polyamide and the inorganic material is difficult to occur. On the other hand, when the amount is larger than this, irregularities derived from the inorganic filler are generated on the surface of the molded body due to the difference in thermal expansion coefficient between the resin and the inorganic filler, and the appearance is likely to deteriorate. 1 to 90 parts by weight is preferable because the physical properties can be improved without deterioration of the appearance.
Furthermore, for the purpose of preventing deterioration against ultraviolet rays and improving light resistance, 10 parts by weight or less of an ultraviolet absorber may be contained with respect to 100 parts by weight of the aromatic polyamide. Examples of the ultraviolet absorber include benzophenone, benzotriazole, cyanoacrylate, and benzoate compounds.

また高分子の溶解を促進する目的で溶媒には高分子100重量部に対して50重量部以下のアルカリ金属、またはアルカリ土類金属の塩を添加することもできる。   For the purpose of accelerating the dissolution of the polymer, 50 parts by weight or less of an alkali metal or alkaline earth metal salt can be added to the solvent with respect to 100 parts by weight of the polymer.

次にフィルム化について説明する。本発明で用いるフィルムは、溶融製膜法と溶液製膜法のどちらの方法によっても得ることが可能であるが、溶液製膜法によりフィルム化することがより好ましい。一般的に溶融製膜法は、ダイライン(すじ)が発生しやすく、また押出し機中の樹脂の滞留が生じやすいために異物が発生しやすい問題があるのに対し、溶液製膜法ではそのような問題はなく、溶融製膜法に比べて優れた表面性を得ることができる点で好ましい。溶液製膜法では乾湿式法、乾式法、湿式法など、いずれの方法で製膜しても差し支えないが、好ましくは乾湿式法が用いられる。以下に乾湿式法による製膜を例にとって説明する。
乾湿式法で製膜する場合、製膜原液を口金から押し出す前に、製膜原液を精密濾過することが、微細異物を除去して表面平滑化できることから好ましい。使用する濾過フィルターは、保留粒子径45.0μm以下のフィルターを使用することが好ましく、より好ましくは5.0μm以下、特に好ましくは1.0μm以下である。また使用するフィルターの材質としては、無機物からなるフィルターや有機物からなるフィルターが使用される。同等の濾過精度であってもフィルターの材質によって捕捉性能が異なるため、無機物からなるフィルターと有機物からなるフィルターを併用することも好ましい。未濾過の場合、重合中に混入した異物等がフィルムに突起を形成することがあり、無機化合物を含む層を設けた積層体のガスバリア性が低下することがある。
Next, film formation will be described. The film used in the present invention can be obtained by either the melt casting method or the solution casting method, but it is more preferable to form a film by the solution casting method. In general, the melt film forming method is prone to die lines (streaks), and the resin is likely to stay in the extruder. There is no particular problem, which is preferable in that a superior surface property can be obtained as compared with the melt film-forming method. In the solution film forming method, the film may be formed by any method such as a dry and wet method, a dry method, and a wet method, but a dry and wet method is preferably used. In the following, description will be made by taking an example of film formation by a dry and wet method.
In the case of forming a film by a dry and wet method, it is preferable to finely filter the film-forming stock solution before extruding the film-forming stock solution from the die because fine foreign matters can be removed and the surface can be smoothed. The filtration filter to be used is preferably a filter having a retained particle diameter of 45.0 μm or less, more preferably 5.0 μm or less, and particularly preferably 1.0 μm or less. In addition, as a filter material to be used, a filter made of an inorganic material or a filter made of an organic material is used. Even if the filtration accuracy is the same, the capture performance varies depending on the material of the filter. Therefore, it is also preferable to use an inorganic filter and an organic filter in combination. In the case of non-filtration, foreign matters or the like mixed during polymerization may form protrusions on the film, and the gas barrier property of the laminate provided with a layer containing an inorganic compound may be lowered.

また濾過後の製膜環境のクリーン度についてはクラス10,000以下が好ましく、より好ましくはクラス1,000以下のクリーン度に制御した場所である。クリーン度に劣る環境で製膜を行う場合、フィルム中に塵埃が混入しやすくなり、その場合表面平滑性に劣ることがあるため、無機化合物を含む層の形成に不利となることがある。   Further, the degree of cleanness of the film forming environment after filtration is preferably a class of 10,000 or less, more preferably a place where the cleanness is controlled to a class of 1,000 or less. When film formation is performed in an environment where the degree of cleanliness is inferior, dust tends to be mixed into the film, and in that case, surface smoothness may be inferior, which may be disadvantageous for the formation of a layer containing an inorganic compound.

製膜原液を口金からドラム、エンドレスベルト、製膜基材フィルム、ガラス等の支持体上に押し出す場合、該支持体の表面平滑性を制御することが好ましく、傷等が入った支持体を使用すると、傷がフィルムに転写して表面平滑性に劣ることがある。   When extruding a film-forming stock solution from a die onto a support such as a drum, an endless belt, a film-forming substrate film, or glass, it is preferable to control the surface smoothness of the support, and use a support with scratches or the like. Then, a damage | wound may be transcribe | transferred to a film and it may be inferior to surface smoothness.

支持体上に押し出した製膜原液は、加熱により溶媒を飛散させ、膜が自己保持性をもつまで乾燥する。この時に乾燥温度を高く設定すると、溶媒の蒸発が急激に進み表面平滑性が悪くなることがあり、また支持体に貼り付いてしまい剥離する際に欠点となることがある。また高温の場合、フィルム表面のみ乾燥が進みやすく、フィルムとして使用可能な厚膜を製膜する場合、フィルム表面と内部に乾燥状態に差が生じることがある。この場合、内部が不完全な乾燥状態のため、次の湿式工程に導入した際にフィルムが白濁することがある。よって乾燥初期は、溶媒沸点より20℃程度は低い温度で乾燥を行うことが好ましい。製膜時間を短縮する目的で、段階的に乾燥温度を上げていく方法は好ましい。   The film-forming stock solution extruded onto the support is dried until the solvent is scattered by heating and the film is self-holding. If the drying temperature is set to be high at this time, the evaporation of the solvent may rapidly progress and the surface smoothness may be deteriorated, and it may become a defect when it adheres to the support and peels off. In addition, when the temperature is high, drying tends to proceed only on the film surface, and when a thick film that can be used as a film is formed, there may be a difference in the dry state between the film surface and the inside. In this case, since the inside is incompletely dried, the film may become cloudy when introduced into the next wet process. Therefore, in the initial stage of drying, drying is preferably performed at a temperature about 20 ° C. lower than the boiling point of the solvent. In order to shorten the film forming time, a method of gradually increasing the drying temperature is preferable.

支持体からの剥離を容易にして、次の湿式工程で水の急激な浸透による表面平滑性の低下を抑制するためには、支持体から剥離直後で湿式工程に導入される際の高分子濃度が47重量%以上63重量%以下であることが好ましく、特に好ましくは50重量%以上60重量%以下である。支持体から剥離直後で湿式工程に導入される際の高分子濃度とは、湿式工程に導入されるまでに加熱乾燥により溶媒が減少した後のフィルムの高分子濃度であり、(最終フィルム中固形分重量/湿式工程に導入される際のフィルム中全重量)×100%、で決定される。支持体から剥離直後で湿式工程に導入される際の高分子濃度が47重量%未満の場合、乾燥が不十分のためにフィルムの剥離が困難で、また剥離時に伸びる場合がある。さらに湿式工程において、水の急激な浸透により表面平滑性が悪化することがある。厚みが10μm未満の薄膜では、剥離時高分子濃度は40重量%程度が最適だが、それ以上の厚膜の場合、乾燥中のフィルム表面構造と内部構造に差があり、表面のみ乾燥が進み、内部は未乾燥の状態となりやすい。そのような場合、表面は固まっているために剥離性は問題ないが、湿式槽でフィルム内部に水が急激に浸透してフィルムが白濁することもある。また支持体から剥離直後で湿式工程に導入される際の高分子濃度が63重量%より大きい場合、加熱乾燥に長時間を要し生産性に劣る上、フィルム表面のみが固まり過ぎて湿式槽において水が浸透しにくくなり、水による抽出時にフィルム内部の溶媒を除去することが困難となる。また加熱乾燥中に、溶媒の揮発とともに塩が表面に析出して、フィルム表面性が悪化することもある。   In order to facilitate the peeling from the support and suppress the decrease in surface smoothness due to the rapid infiltration of water in the next wet process, the polymer concentration when introduced into the wet process immediately after peeling from the support Is preferably 47% by weight to 63% by weight, particularly preferably 50% by weight to 60% by weight. The polymer concentration when introduced into the wet process immediately after peeling from the support is the polymer concentration of the film after the solvent has been reduced by heat drying before being introduced into the wet process. Minute weight / total weight in the film when introduced into the wet process) × 100%. When the polymer concentration when introduced into the wet process immediately after peeling from the support is less than 47% by weight, it is difficult to peel off the film due to insufficient drying, and the film may be elongated at the time of peeling. Furthermore, in a wet process, surface smoothness may deteriorate due to rapid water penetration. For thin films with a thickness of less than 10 μm, the polymer concentration at the time of peeling is optimally around 40% by weight, but in the case of thicker films than that, there is a difference between the film surface structure during drying and the internal structure, and only the surface proceeds with drying The inside tends to be undried. In such a case, since the surface is hardened, there is no problem in peelability, but water may suddenly penetrate into the film in a wet tank and the film may become cloudy. Also, when the polymer concentration when introduced into the wet process immediately after peeling from the support is greater than 63% by weight, it takes a long time for drying by heating and is inferior in productivity, and only the film surface is hardened too much in the wet tank. It becomes difficult for water to penetrate and it becomes difficult to remove the solvent inside the film during extraction with water. Further, during heat drying, the salt may precipitate on the surface as the solvent volatilizes, and the film surface properties may deteriorate.

支持体から剥離されて湿式工程に導入されたフィルムは、湿式槽中で脱塩、脱溶媒が行なわれる。しかし常温の水でフィルムを洗浄する場合、フィルム膜厚が10μm以上ではフィルム中の残留溶媒の低減が難しく、また塩化リチウム等無機塩の溶解助剤もフィルム内部に残留することがある。フィルム中の残留溶媒量を効率的に低減するには、水温度を35℃以上90℃以下とした水溶液を含んだ湿式槽を用いることが重要である。しかし支持体から剥離直後のフィルムを35℃以上90℃以下の湿式槽に入れると、急激に溶媒の抽出が進むために表面性が悪化することがある。
表面を平滑化しながら、残留溶媒量を低減するためには、支持体から剥離後、最初の湿式槽の温度を0℃以上35℃未満とした第1の湿式槽で脱塩、脱溶媒を進めた後、35℃以上90℃以下の第2の湿式槽に導入する方法、つまり段階的に湿式槽の水温を上げていく方法が好ましい。
ここで、第1の湿式槽とは、温度が0℃以上35℃未満の水溶液を含む槽をいい、単独の槽で構成しても、複数の槽で構成しても構わない。
第1の湿式槽を単独槽で構成する場合、水溶液の循環設備が不充分であれば、湿式槽中にフィルムから抜けた溶媒や塩が蓄積されやすく、経時で脱塩性、脱溶媒性が低下する。そのような場合、単独の湿式槽に長時間通すのは好ましくなく、第1の湿式槽を複数の槽で構成することが好ましい。この場合、最初の湿式槽より後段の槽の温度を、最初の槽と同じかもしくは少し高温度とすることが好ましい。これにより、最初の湿式槽に集中的に塩や溶媒が蓄積されることがなく、水溶液の循環設備が低い場合でも問題が生じにくい。また、第2の湿式槽とは、温度が35℃以上90℃以下の水溶液を含む槽をいい、単独の槽で構成しても、複数の槽で構成しても構わない。このとき、第2の湿式槽に導入する際の高分子濃度は80重量%以上であることが好ましい。第2の湿式槽の水溶液温度が35℃よりも低い場合、最終的に得られるフィルムに塩が残ることがあり、フィルム表面に吹き出た場合には無機化合物を含む膜の形成で不利になる。また残留溶媒となることもあり、この場合使用中や加工中に溶媒が噴出すことがある。第2の湿式槽の水溶液温度が90℃より高い場合、一部発生した水蒸気によりフィルム表面が荒れることがある。35〜90℃の湿式槽を用いることで、効率的に脱塩、脱溶媒を進めることができるため好ましい。
The film peeled from the support and introduced into the wet process is desalted and desolvated in a wet bath. However, when the film is washed with water at room temperature, if the film thickness is 10 μm or more, it is difficult to reduce the residual solvent in the film, and an inorganic salt dissolution aid such as lithium chloride may remain inside the film. In order to efficiently reduce the amount of residual solvent in the film, it is important to use a wet bath containing an aqueous solution having a water temperature of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. However, when the film immediately after peeling from the support is placed in a wet bath at 35 ° C. or more and 90 ° C. or less, the surface property may deteriorate due to the rapid extraction of the solvent.
In order to reduce the amount of residual solvent while smoothing the surface, desalting and desolvation are promoted in the first wet tank in which the temperature of the first wet tank is 0 ° C. or higher and lower than 35 ° C. after peeling from the support. Then, the method of introducing into the second wet bath of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower, that is, the method of gradually increasing the water temperature of the wet bath is preferable.
Here, a 1st wet tank means the tank containing the aqueous solution whose temperature is 0 degreeC or more and less than 35 degreeC, and may be comprised by a single tank or may be comprised by several tanks.
In the case where the first wet tank is constituted by a single tank, if the circulation equipment for the aqueous solution is insufficient, the solvent and the salt that have escaped from the film are likely to accumulate in the wet tank, and the desalting and desolvating properties with time descend. In such a case, it is not preferable to pass through a single wet tank for a long time, and the first wet tank is preferably composed of a plurality of tanks. In this case, it is preferable that the temperature of the tank subsequent to the first wet tank is the same as or slightly higher than that of the first tank. As a result, salt and solvent are not accumulated intensively in the first wet tank, and problems are less likely to occur even when the aqueous solution circulation facility is low. In addition, the second wet tank refers to a tank containing an aqueous solution having a temperature of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower, and may be configured as a single tank or a plurality of tanks. At this time, the polymer concentration when introduced into the second wet tank is preferably 80% by weight or more. When the aqueous solution temperature of the second wet bath is lower than 35 ° C., salt may remain in the finally obtained film, and when blown to the film surface, it is disadvantageous in forming a film containing an inorganic compound. Moreover, it may become a residual solvent. In this case, the solvent may be ejected during use or processing. When the temperature of the aqueous solution in the second wet tank is higher than 90 ° C., the film surface may be roughened due to partially generated water vapor. It is preferable to use a wet bath at 35 to 90 ° C. because desalting and desolvation can be efficiently advanced.

35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ第2の湿式槽に導入する際には、フィルムの高分子濃度を80%重量以上とすることが好ましい。この高分子濃度は、35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ湿式槽に導入する直前までに溶媒が減少した後のフィルムの高分子濃度であり、(最終フィルム中固形分重量/35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ湿式槽に導入される前までのフィルム中全重量)×100%である。高分子濃度が80重量%より低い場合、35℃以上90℃以下の湿式槽中でフィルム表面性が低下することがある。濃度の上限は特になく100重量%であれば問題ないが、高分子濃度が96重量%より高い場合、特に10μm以上のフィルムにおいては、湿式工程のみでこの濃度とすることは、長時間が必要となり生産性に劣ることがある。   When introducing into the second wet bath containing an aqueous solution of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower, the polymer concentration of the film is preferably 80% by weight or higher. This polymer concentration is the polymer concentration of the film after the solvent has been reduced just before being introduced into a wet bath containing an aqueous solution of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower, (solid content weight in final film / 35 ° C. or higher) The total weight in the film before being introduced into a wet bath containing an aqueous solution of 90 ° C. or less) × 100%. When the polymer concentration is lower than 80% by weight, the film surface property may be lowered in a wet bath of 35 ° C. or more and 90 ° C. or less. There is no particular upper limit for the concentration, and there is no problem as long as the concentration is 100% by weight. However, when the polymer concentration is higher than 96% by weight, it is necessary to take a long time to achieve this concentration only by the wet process, particularly for a film of 10 μm or more. And productivity may be inferior.

湿式槽中の水溶液は、水のみのであってもよいが、水にN,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の有機溶媒を入れて混合系にして使用することも可能である。有機溶媒との混合系にすることで、溶媒除去速度は低下するものの、オリゴマーの除去が効果的に進み、内部や表面へのオリゴマー付着を防ぐことができる。   The aqueous solution in the wet bath may be only water, but it is also possible to use it in a mixed system by putting an organic solvent such as N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone in water. . By using a mixed system with an organic solvent, the removal rate of the solvent is reduced, but the removal of the oligomer proceeds effectively, and the adhesion of the oligomer to the inside or the surface can be prevented.

また湿式槽中の水は、金属分を含まない純水を使用することが好ましい。金属分を多量に含んだ水道水等がフィルム表面に付着した状態で加熱処理を行うと、金属分が欠点として表面に残り、積層体とした際にガスバリア性に劣ることがある。   Moreover, it is preferable to use the pure water which does not contain a metal part for the water in a wet tank. When heat treatment is performed in a state where tap water containing a large amount of metal adheres to the film surface, the metal component remains on the surface as a defect, and the gas barrier property may be inferior when a laminate is formed.

なお、上記において、湿式工程には少なくとも第1と第2の湿式槽を設けることを説明したが、第2の湿式槽の次にさらに第3の湿式槽を設けてもよい。この場合、第3の湿式槽とは35℃未満の温度の溶液を含む槽であり、単独の槽であっても複数の槽で構成しても構わない。
上記した湿式工程の後、さらに延伸、熱処理が行なわれてフィルムとするが、この湿式工程の終了時の高分子濃度は96重量%以上100重量%以下であることが好ましい。ここで湿式工程終了時の高分子濃度は、湿式槽で溶媒が減少した後のフィルムの高分子濃度であり、(最終フィルム中固形分重量/湿式工程終了時のフィルム中全重量)×100%である。湿式工程終了時の高分子濃度が96重量%以下の場合、湿式工程後の熱処理でフィルム中に溶媒が残留しやすい。
また上記の芳香族ポリアミドフィルムは未延伸フィルムとしても好適に使用可能である。
熱処理としては、200℃〜500℃で数秒から数分間実施することが好ましい。200℃未満では熱処理が十分でなく、フィルムの表面硬度やヤング率が低下することがあり、またフィルム中に溶媒が残留することがある。また500℃を超えると、フィルムが着色することがある。
上述のように、高分子フィルム、特に芳香族ポリアミドフィルムは乾湿式製膜法で製膜され、かつ以下の工程を含む場合、溶媒が残留し難く、かつフィルム表面が平滑化しやすいために好ましい。
In the above description, it has been described that at least the first and second wet baths are provided in the wet process, but a third wet bath may be further provided after the second wet bath. In this case, the third wet tank is a tank containing a solution having a temperature of less than 35 ° C., and may be a single tank or a plurality of tanks.
After the wet process, the film is further stretched and heat-treated to form a film. The polymer concentration at the end of the wet process is preferably 96% by weight to 100% by weight. Here, the polymer concentration at the end of the wet process is the polymer concentration of the film after the solvent is reduced in the wet tank, (solid content weight in the final film / total weight in the film at the end of the wet process) × 100% It is. When the polymer concentration at the end of the wet process is 96% by weight or less, the solvent tends to remain in the film by the heat treatment after the wet process.
Moreover, said aromatic polyamide film can be used conveniently also as an unstretched film.
The heat treatment is preferably performed at 200 to 500 ° C. for several seconds to several minutes. If it is less than 200 ° C., the heat treatment is not sufficient, the surface hardness and Young's modulus of the film may decrease, and the solvent may remain in the film. Moreover, when it exceeds 500 degreeC, a film may color.
As described above, a polymer film, particularly an aromatic polyamide film, is preferably formed by a dry and wet film forming method and includes the following steps because the solvent hardly remains and the film surface is easily smoothed.

(1)湿式工程に導入される際の高分子濃度が47重量%以上63重量%以下である。   (1) The polymer concentration when introduced into the wet process is 47% by weight or more and 63% by weight or less.

(2)湿式工程に用いる湿式槽が、0℃以上35℃未満の水溶液を含んだ第1の湿式槽と35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ第2の湿式槽とを少なくとも備えている。   (2) A wet bath used in the wet process includes at least a first wet bath containing an aqueous solution of 0 ° C. or higher and lower than 35 ° C. and a second wet bath containing an aqueous solution of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. .

(3)第2の湿式槽に搬送されるときのフィルムの高分子濃度が80重量%以上である。   (3) The polymer concentration of the film when transported to the second wet tank is 80% by weight or more.

(4)最終の湿式槽から加熱工程に搬送されるときのフィルムの高分子濃度が96重量%以上である。   (4) The polymer concentration of the film when transported from the final wet bath to the heating step is 96% by weight or more.

本発明では、平坦化層や無機化合物を含む層との密着性を向上する目的で、フィルムの片面若しくは両面に対して、従来公知の表面処理を施すことができる。表面処理としては、プラズマ処理、コロナ放電処理、紫外線照射処理などを挙げることができるが、これに限定されない。   In the present invention, a conventionally known surface treatment can be applied to one side or both sides of the film for the purpose of improving the adhesion with the flattening layer or the layer containing an inorganic compound. Examples of the surface treatment include, but are not limited to, plasma treatment, corona discharge treatment, and ultraviolet irradiation treatment.

次に平坦化層の形成について述べる。フィルム表面が平滑性に劣る場合、平坦化層を形成することが好ましい。平坦化層としては、ポリシラザン又はゾル・ゲル法による金属酸化物等の無機高分子化合物、芳香族ポリアミド、ポリアミック酸、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレン樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂ポリ尿素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアクリル酸樹脂、ポリアクリル酸エステル樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、ポリメタクリル酸エステル樹脂、変性アクリル樹脂、マレイミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エポキシ樹脂等や、フィルムと同一の高分子や、同一種類で異組成の高分子を用いることが可能である。例えば芳香族ポリアミドフィルムに対しては、平坦化層にも同組成の芳香族ポリアミド溶液や別組成の芳香族ポリアミド溶液を塗布して形成することが好ましい。樹脂溶液を塗布するためには、スピンコーター、ロールコーター、グラビアコーター、メタバーなどの方法を用いることができる。   Next, formation of the planarizing layer will be described. When the film surface is inferior in smoothness, it is preferable to form a planarization layer. As a planarizing layer, polysilazane or inorganic polymer compounds such as metal oxides by sol-gel method, aromatic polyamide, polyamic acid, polyimide resin, polyamideimide resin, polyethersulfone resin, polyethylene resin, melamine resin, polyurethane resin Polyester resin polyurea resin, polycarbonate resin, polyacrylic acid resin, polyacrylic acid ester resin, polymethacrylic acid resin, polymethacrylic acid ester resin, modified acrylic resin, maleimide resin, polystyrene resin, polyacrylonitrile resin, epoxy resin, etc. It is possible to use the same polymer as the film, or the same type and different composition. For example, an aromatic polyamide film is preferably formed by applying an aromatic polyamide solution having the same composition or an aromatic polyamide solution having a different composition to the planarizing layer. In order to apply the resin solution, methods such as a spin coater, a roll coater, a gravure coater, and a metabar can be used.

平坦化層を形成する際に用いる樹脂溶液の溶媒としては、フィルムに対する溶解度が比較的低いものが好ましい。フィルムに対して溶解度が高い溶媒の場合、平坦化層を形成する際にフィルムの表面も溶かしてしまい、フィルムの表面性が悪化して、フィルムと平坦化層の界面に凹凸が生じ、平坦化できないことがある。芳香族ポリアミドフィルムに対して、芳香族ポリアミドによる平坦化層を設ける場合、平坦化層形成用溶液には、塩化リチウム等の塩は添加しないことが好ましい。塩を含有する場合、芳香族ポリアミドフィルムの溶解度も上がり、そのためフィルム表面も溶解することがあるからである。また塩を除去するために、水洗工程が必要となる点からも、塩を含まない方が好ましい。塩を含有しないことで、水洗工程を設けずに平坦化層を形成できるため好ましい。   As the solvent of the resin solution used when forming the planarizing layer, a solvent having a relatively low solubility in the film is preferable. In the case of a solvent having a high solubility in the film, the surface of the film is dissolved when forming the flattening layer, the surface property of the film deteriorates, and unevenness occurs at the interface between the film and the flattening layer. There are things that cannot be done. When a flattening layer made of aromatic polyamide is provided on the aromatic polyamide film, it is preferable not to add a salt such as lithium chloride to the flattening layer forming solution. This is because when the salt is contained, the solubility of the aromatic polyamide film is increased, and therefore the film surface may be dissolved. Moreover, in order to remove the salt, it is preferable that no salt is contained from the point that a water washing step is required. By not containing a salt, a planarization layer can be formed without providing a water washing step, which is preferable.

次にガスバリア層の形成について述べる。
ガスバリア層として無機化合物を含む層を形成する場合、プラズマCVD法、触媒CVD法、熱CVD法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法、反応蒸着法、イオンビームアシスト蒸着法、などを用いることができる。無機化合物としては、珪素、アルミニウム、インジウム、錫、亜鉛、チタン、タンタル、等の金属の酸化物、窒化物、酸窒化物、これらの混合物を用いることが好ましい。
Next, formation of the gas barrier layer will be described.
When a layer containing an inorganic compound is formed as the gas barrier layer, a plasma CVD method, a catalytic CVD method, a thermal CVD method, a sputtering method, an ion plating method, a vacuum deposition method, a reactive deposition method, an ion beam assisted deposition method, or the like is used. be able to. As the inorganic compound, it is preferable to use metal oxides such as silicon, aluminum, indium, tin, zinc, titanium, and tantalum, nitrides, oxynitrides, and mixtures thereof.

高分子化合物を含む層を設けて多層構造を有するガスバリア層とする場合、高分子化合物を含む層は、スパッタリング法、真空蒸着、イオンプレーティング法、化学気相蒸着法などのドライ形成法、ロールコート、グラビアコート、グラビアリバースコート、スリットコート、ナイフコート、ディップコート、スプレーコート、ダイコート等の方法によって形成することができる。好ましくは、無機化合物から成る層のピンホール等の欠陥部位を、容易に高分子化合物が埋めることができる点で、コーティングとその後の溶媒乾燥によって高分子化合物層を形成することが好ましい。高分子化合物を含む層としては、ポリシラザン又はゾル・ゲル法による金属酸化物等の無機高分子化合物、芳香族ポリアミド、ポリアミック酸、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレン樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂ポリ尿素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアクリル酸樹脂、ポリアクリル酸エステル樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、ポリメタクリル酸エステル樹脂、変性アクリル樹脂、マレイミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エポキシ樹脂、等を用いることができるが、耐熱性の高い化合物を用いることで成形・加工時に高温熱処理が可能となるため、ポリシラザン、芳香族ポリアミド、ポリアミック酸、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂等が好ましく用いられる。ポリシラザンを用いる場合は、例えば、ジブチルエーテル等に溶解して塗布し、所定温度で乾燥して塗膜を形成する。   When a gas barrier layer having a multilayer structure is provided by providing a layer containing a polymer compound, the layer containing the polymer compound can be formed by a dry forming method such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, chemical vapor deposition, or roll. It can be formed by a method such as coating, gravure coating, gravure reverse coating, slit coating, knife coating, dip coating, spray coating, or die coating. Preferably, the polymer compound layer is preferably formed by coating and subsequent solvent drying from the viewpoint that the polymer compound can easily fill in the defect sites such as pinholes in the layer made of the inorganic compound. As a layer containing a polymer compound, an inorganic polymer compound such as polysilazane or metal oxide by sol-gel method, aromatic polyamide, polyamic acid, polyimide resin, polyamideimide resin, polyethersulfone resin, polyethylene resin, melamine resin , Polyurethane resin, polyester resin polyurea resin, polycarbonate resin, polyacrylic acid resin, polyacrylic acid ester resin, polymethacrylic acid resin, polymethacrylic acid ester resin, modified acrylic resin, maleimide resin, polystyrene resin, polyacrylonitrile resin, epoxy Resin, etc. can be used, but high temperature heat treatment is possible at the time of molding and processing by using a compound having high heat resistance. Therefore, polysilazane, aromatic polyamide, polyamic acid, polyimide resin, polyamide imi Resins, polyether sulfone resins and the like are preferably used. When polysilazane is used, for example, it is dissolved in dibutyl ether and applied and dried at a predetermined temperature to form a coating film.

以下、実施例によって本発明を説明する。なお、特性は以下の方法により測定評価した。   Hereinafter, the present invention will be described by way of examples. The characteristics were measured and evaluated by the following methods.

(1)光線透過率
UV測定器、U−3410(日立計測社製)を用いて、積層体の波長450〜700nmの光に対応する透過率を測定し、以下の方法で評価した。
(1) Light transmittance The transmittance | permeability corresponding to the wavelength 450-700 nm light of a laminated body was measured using the UV measuring device and U-3410 (made by Hitachi Measurement Co., Ltd.), and the following methods evaluated.

透過率(%)=(T3/T2)×100
ただしT3は試料を通過した光の強度、T2は試料を通過しない以外は同一の距離の空気中を通過した光の強度である。また装置起動後30分置いて、光源を安定化した後に測定を行った。
Transmittance (%) = (T3 / T2) × 100
However, T3 is the intensity | strength of the light which passed the sample, and T2 is the intensity | strength of the light which passed the air of the same distance except not passing a sample. In addition, the measurement was performed after the apparatus was started for 30 minutes and the light source was stabilized.

測定波長:450〜700nm
測定モード:透過
○:450nm〜700nmの全波長域において透過率が80%以上100%以下
×:450nm〜700nmの一部の波長において透過率が0%以上80%未満の波長が有る
(2)熱膨張係数
TMA、SS6000(セイコーインスツルメンツ(株)製)を用いて、下記条件でフィルムの測定を行い、2度目の昇温工程における30℃〜100℃の範囲から熱膨張係数を求めた。なお、下記降温工程(120℃〜25℃)では液体窒素を使用して温度を下げた。
Measurement wavelength: 450-700 nm
Measurement mode: Transmission ○: The transmittance is 80% or more and 100% or less in the entire wavelength region of 450 nm to 700 nm. X: There is a wavelength of the transmittance of 0% or more and less than 80% at some wavelengths of 450 nm to 700 nm (2) Thermal expansion coefficient Using TMA, SS6000 (manufactured by Seiko Instruments Inc.), the film was measured under the following conditions, and the thermal expansion coefficient was determined from the range of 30 ° C to 100 ° C in the second temperature raising step. In the following temperature lowering step (120 ° C. to 25 ° C.), liquid nitrogen was used to lower the temperature.

1.範囲:25℃〜120℃、速度:5℃/min、保持時間:5分
2.範囲:120℃〜25℃、速度:5℃/min、保持時間:5分
3.範囲:25℃〜120℃、速度:5℃/min、保持時間:5分
4.範囲:120℃〜25℃、速度:10℃/min、保持時間:5分
また高温におけるフィルムの使用可能性を評価するために、100℃〜200℃の範囲についても熱膨張係数を求めた。
1. Range: 25 ° C. to 120 ° C., speed: 5 ° C./min, holding time: 5 minutes Range: 120 ° C. to 25 ° C., speed: 5 ° C./min, holding time: 5 minutes Range: 25 ° C. to 120 ° C., speed: 5 ° C./min, holding time: 5 minutes Range: 120 ° C. to 25 ° C., speed: 10 ° C./min, holding time: 5 minutes Moreover, in order to evaluate the usability of the film at a high temperature, the coefficient of thermal expansion was also determined for the range of 100 ° C. to 200 ° C.

1.範囲:25℃〜250℃、速度:5℃/min、保持時間:5分
2.範囲:250℃〜25℃、速度:5℃/min、保持時間:5分
3.範囲:25℃〜250℃、速度:5℃/min、保持時間:5分
4.範囲:250℃〜25℃、速度:10℃/min、保持時間:5分
(3)ガラス転移温度
DMA、DMS6100(セイコーインスツルメンツ(株)製)を用いて、下記条件でフィルムの測定を行い、tanδの極大値をガラス転移温度とした。
1. Range: 25 ° C. to 250 ° C., speed: 5 ° C./min, holding time: 5 minutes Range: 250 ° C to 25 ° C, speed: 5 ° C / min, holding time: 5 minutes Range: 25 ° C. to 250 ° C., speed: 5 ° C./min, holding time: 5 minutes Range: 250 ° C. to 25 ° C., speed: 10 ° C./min, holding time: 5 minutes (3) Glass transition temperature Using DMA, DMS6100 (manufactured by Seiko Instruments Inc.), the film is measured under the following conditions, The maximum value of tan δ was taken as the glass transition temperature.

周波数1Hz、測定温度25℃〜360℃、昇温速度2℃/分
(4)表面粗さ
AFM、MM−SPM(デジタルインスツルメンツ社製)を用いて、下記条件でフィルムのRaを測定した。測定は23℃、65%RHの環境で行った。なお、カットオフは設定しなかった。
Frequency 1 Hz, measuring temperature 25 ° C. to 360 ° C., heating rate 2 ° C./min (4) Surface roughness Using AFM and MM-SPM (manufactured by Digital Instruments), Ra of the film was measured under the following conditions. The measurement was performed in an environment of 23 ° C. and 65% RH. The cut-off was not set.

測定面積:30μm×30μm
測定速度:0.5Hz
(5)黄色度(YI値)
SPECTRO COLOR METER SE 2000(日本電色工業(株))を用いて、下式に従いフィルムの黄色度を測定した(X、Y、Zは試験片を透過した三刺激値)。なお装置起動後30分置いて、光源を安定化した後に測定を行った。測定は23℃、65%RHの環境で行った。
YI値 :YI=〔100(1.28X−1.06Z)/Y〕
測定モード:透過
(6)水蒸気透過率
透湿度測定装置PERMATRAN−W3/30(モコン社製)を用いて、積層体の水蒸気透過率を測定した。ここで装置の測定下限は0.01g/m/dayである。
Measurement area: 30 μm × 30 μm
Measurement speed: 0.5Hz
(5) Yellowness (YI value)
Using SPECTRO COLOR METER SE 2000 (Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.), the yellowness of the film was measured according to the following formula (X, Y, and Z are tristimulus values transmitted through the test piece). The measurement was performed after the apparatus was started for 30 minutes and the light source was stabilized. The measurement was performed in an environment of 23 ° C. and 65% RH.
YI value: YI = [100 (1.28X−1.06Z) / Y]
Measurement mode: Permeation (6) Water vapor transmission rate The water vapor transmission rate of the laminate was measured using a moisture permeability measuring device PERMATRAN-W3 / 30 (manufactured by Mocon). Here, the measurement lower limit of the apparatus is 0.01 g / m 2 / day.

測定温度:40℃
測定湿度:90%RH
測定面積:5cm(アルミマスクホイル(MC025−493(日立計測器サービス(株))使用)
(7)高分子濃度
高分子濃度は、(固形分重量/全重量)×100%、で定義される。支持体から剥離直後で湿式工程に導入される際の高分子濃度(PC1とする)は、湿式工程に導入されるまでに加熱乾燥により溶媒が減少した後の高分子濃度であり、(最終フィルム中固形分重量/湿式工程に導入される際のフィルム中全重量)×100%、で決定される。PC1の測定法を記す。基材から剥離直後のフィルム重量(W1)を測定する。続いて80℃の水を含んだ湿式槽で60分洗浄後、340℃で1分の加熱処理を行い、再び重量(W2)を測定する。下記式に従い支持体から剥離直後で湿式工程に導入される際の高分子濃度PC1とした。
Measurement temperature: 40 ° C
Measurement humidity: 90% RH
Measurement area: 5 cm 2 (using aluminum mask foil (MC025-493 (Hitachi Instrument Service Co., Ltd.))
(7) Polymer concentration The polymer concentration is defined by (solid weight / total weight) × 100%. The polymer concentration (referred to as PC1) when introduced into the wet process immediately after peeling from the support is the polymer concentration after the solvent is reduced by heat drying before being introduced into the wet process (final film Medium solids weight / total weight in film when introduced into wet process) × 100%. The measurement method of PC1 is described. The film weight (W1) immediately after peeling from the substrate is measured. Subsequently, after washing in a wet bath containing water at 80 ° C. for 60 minutes, heat treatment is performed at 340 ° C. for 1 minute, and the weight (W2) is measured again. According to the following formula, the polymer concentration was set to PC1 when introduced into the wet process immediately after peeling from the support.

PC1=(W2/W1)×100(%)
35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ第2の湿式槽に導入する際の高分子濃度(PC2とする)は、35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ湿式槽に導入する直前までに溶媒が減少した後のフィルムの高分子濃度であり、(最終フィルム中固形分重量/35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ湿式槽に導入される前までのフィルム中全重量)×100%で決定される。湿式工程終了時の高分子濃度(PC3とする)は、湿式槽で溶媒が減少した後のフィルムの高分子濃度であり、(最終フィルム中固形分重量/湿式工程終了時のフィルム中全重量)×100%で決定される。PC2とPC3の測定法を記す。熱重量測定装置TGA−50(島津製作所製)、熱分析システムTA−50(島津製作所製)を用いて、50ml/分の窒素気流下、室温(22℃〜24℃)から10℃/分の昇温速度によって測定を開始し、室温〜110℃までの重量減少(W3)を湿式槽で付着した水分、110℃〜340℃までの重量減少(W4)を溶媒量として下記式に従いPC2、PC3とした。
PC1 = (W2 / W1) × 100 (%)
The polymer concentration (referred to as PC2) when introduced into the second wet bath containing an aqueous solution of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower is immediately before being introduced into the wet bath containing an aqueous solution of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. It is the polymer concentration of the film after the reduction of the solvent, (solid content weight in the final film / total weight in the film before being introduced into the wet bath containing an aqueous solution of 35 ° C. or more and 90 ° C. or less) × 100% Determined by The polymer concentration at the end of the wet process (referred to as PC3) is the polymer concentration of the film after the solvent is reduced in the wet bath, (solid content weight in the final film / total weight in the film at the end of the wet process) X Determined at 100%. The measuring method of PC2 and PC3 is described. Using a thermogravimetric measuring device TGA-50 (manufactured by Shimadzu Corporation) and thermal analysis system TA-50 (manufactured by Shimadzu Corporation) under a nitrogen stream of 50 ml / min, from room temperature (22 ° C to 24 ° C) to 10 ° C / min. PC2 and PC3 according to the following formulas, starting from the measurement with the rate of temperature rise, with the weight loss from room temperature to 110 ° C. (W3) adhering to the moisture in the wet bath and the weight reduction from 110 ° C. to 340 ° C. (W4) as the solvent amount It was.

PC2、PC3=((100−W3−W4)/(100−W3))×100(%)
(8)積層体の着色評価
上記(1)と同様の方法により、積層体の透過率YI値を測定して、以下の方法により評価した。
PC2, PC3 = ((100−W3−W4) / (100−W3)) × 100 (%)
(8) Coloring evaluation of laminate The transmittance YI value of the laminate was measured by the same method as in (1) above, and evaluated by the following method.

○:YI値≦3.5
△:3.5<YI値≦5.0
×:5.0<YI値
(9)積層体の耐熱評価
10cm×10cmサイズの積層体を、120℃に設定したオーブン中で3時間加熱した。続いて室温で15分間静置した後、上が凹、下が凸となるように、水平な平面上に置いて広げる。これらの場合に、水平面から積層体端部(4角)の浮き上がった最も高い位置の距離を測定して、4点の平均距離を求めた。この平均距離を以下の基準で判定した。ここで、積層体の対面する2辺が重なるまでカールした場合、以下の基準において×とした。
○: YI value ≦ 3.5
Δ: 3.5 <YI value ≦ 5.0
X: 5.0 <YI value (9) Heat-resistant evaluation of laminated body The laminated body of a 10 cm x 10 cm size was heated in oven set to 120 degreeC for 3 hours. Subsequently, after standing at room temperature for 15 minutes, it is spread on a horizontal plane so that the top is concave and the bottom is convex. In these cases, the distance of the highest position where the end of the laminate (four corners) was lifted from the horizontal plane was measured, and the average distance of the four points was obtained. This average distance was determined according to the following criteria. Here, when curling until the two opposite sides of the laminated body overlap, it was set as x in the following criteria.

○:0cm(浮き上がりなし)
△:0cmより大きく0.5cm以下の範囲で浮き上がる
×:0.5cmより高く浮き上がる
(10)積層体の耐湿評価
10cm×10cmサイズの積層体を、温度60℃、湿度90%RHに設定した恒温恒湿槽LH31−14P((株)ナガノ科学機械製作所)中に7日間保管した。続いて室温で15分間静置した後、上が凹、下が凸となるように、水平な平面上に置いて広げる。これらの場合に、水平面から積層体端部(4角)の浮き上がった最も高い位置の距離を測定して、4点の平均距離を求めた。この平均距離を以下の基準で判定した。ここで、積層体の対面する2辺が重なるまでカールした場合、以下の基準において×とした。
○: 0 cm (no lifting)
Δ: Floats in the range of greater than 0 cm to 0.5 cm or less. X: Floats higher than 0.5 cm. (10) Moisture resistance evaluation of the laminated body A 10 cm × 10 cm size laminated body is set to a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH. It was stored in a humidity chamber LH31-14P (Nagano Scientific Machinery Co., Ltd.) for 7 days. Subsequently, after standing at room temperature for 15 minutes, it is spread on a horizontal plane so that the top is concave and the bottom is convex. In these cases, the distance of the highest position where the end of the laminate (four corners) was lifted from the horizontal plane was measured, and the average distance of the four points was obtained. This average distance was determined according to the following criteria. Here, when curling until the two opposite sides of the laminated body overlap, it was set as x in the following criteria.

○:0cm(浮き上がりなし)
△:0cmより大きく0.5cm以下の範囲で浮き上がる
×:0.5cmより高く浮き上がる
(11)ガスバリア性評価
上記(7)に示す方法によって測定した水蒸気透過率を、下記に従い判定した。水蒸気透過率を1.0×10−1g/m/day以下とすることで、従来の食品などの包装用途以上に水蒸気バリア性の必要な分野への使用が可能となる点、1.0×10−2g/m/day未満とすることで表示材料用途に使用できる点から、下記判定基準を設けた。
○: 0 cm (no lifting)
Δ: Floats in the range of greater than 0 cm and 0.5 cm or less ×: Floats higher than 0.5 cm (11) Gas barrier property evaluation The water vapor permeability measured by the method shown in (7) above was determined according to the following. By making the water vapor transmission rate 1.0 * 10 < -1 > g / m < 2 > / day or less, it becomes possible to use it in fields requiring water vapor barrier properties more than conventional food packaging applications. The following criteria were provided from the point that it can be used for display material applications by setting it to less than 0 × 10 −2 g / m 2 / day.

○:1.0×10−2g/m/day未満
△:1.0×10−2g/m/day以上、1.0×10−1g/m/day以下
×:1.0×10−1g/m/dayより大きい
(実施例1)
[フィルム用の高分子の重合]
脱水したN,N−ジメチルアセトアミドに、酸ジクロライドに対して100モル%に相当する2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニルを溶解させ十分に氷冷した後、ジアミンと同量である100モル%に相当する2−クロルテレフタル酸クロライドを添加し、2時間撹拌により重合した。そして発生塩化水素に対して100モル%の炭酸リチウムを用いて中和を行った。得られた溶液は、高分子濃度が10重量%の芳香族ポリアミド溶液であった。
○: Less than 1.0 × 10 −2 g / m 2 / day Δ: 1.0 × 10 −2 g / m 2 / day or more, 1.0 × 10 −1 g / m 2 / day or less ×: 1 Greater than 0.0 × 10 −1 g / m 2 / day (Example 1)
[Polymer polymerization for film]
In dehydrated N, N-dimethylacetamide, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl corresponding to 100 mol% with respect to acid dichloride was dissolved and sufficiently cooled with ice, 2-chloroterephthalic acid chloride corresponding to 100 mol%, which is the same amount as the diamine, was added and polymerized by stirring for 2 hours. And it neutralized using 100 mol% lithium carbonate with respect to generated hydrogen chloride. The resulting solution was an aromatic polyamide solution having a polymer concentration of 10% by weight.

得られた高分子溶液を保留粒子径45μmのフィルターで濾過した後、保留粒子径1μmのフィルターにより濾過して製膜原液を得た。   The obtained polymer solution was filtered through a filter having a reserved particle diameter of 45 μm, and then filtered through a filter having a reserved particle diameter of 1 μm to obtain a film forming stock solution.

[フィルムの製膜]
得られた高分子濃度10重量%の芳香族ポリアミド溶液を、クリーン度をクラス1,000に保った環境で、バーコーターでガラス板上に流延し、120℃のオーブンで15分間乾燥して溶媒を蒸発させ、自己支持性を発現した重合体シートを支持体から剥離した。続いて剥離したシートを、15℃の純水を含んだ湿式槽に5分間通し、さらに70℃に加温した純水を含む湿式槽へ15分間通し、残存溶媒と中和で生じた無機塩の水による抽出を行った。この後、温度280℃のオーブン中でフィルムの両幅を一定に保ったまま1分間の熱処理を行い、実施例1のフィルムである厚み51μmの芳香族ポリアミドフィルムを得た。
[Film formation]
The obtained aromatic polyamide solution having a polymer concentration of 10% by weight is cast on a glass plate with a bar coater in an environment where the cleanness is maintained at class 1,000, and dried in an oven at 120 ° C. for 15 minutes. The solvent was evaporated, and the polymer sheet exhibiting self-supporting property was peeled from the support. Subsequently, the peeled sheet is passed through a wet bath containing pure water at 15 ° C. for 5 minutes, and further passed through a wet bath containing pure water heated to 70 ° C. for 15 minutes. The water was extracted. Thereafter, heat treatment was performed for 1 minute in an oven at a temperature of 280 ° C. while keeping both widths of the film constant, and an aromatic polyamide film having a thickness of 51 μm, which was the film of Example 1, was obtained.

この時のPC1=56重量%、PC2=89重量%、PC3=99重量%であった。また表面平滑性、ガラス転移温度、熱膨張係数に優れた透明なフィルムとなった。   At this time, PC1 = 56 wt%, PC2 = 89 wt%, and PC3 = 99 wt%. Moreover, it became a transparent film excellent in surface smoothness, glass transition temperature, and thermal expansion coefficient.

[無機化合物を含む層の形成]
フィルムに対して、スパッタリング装置を用いて一層目の無機化合物を含む層を付与した。無機化合物を含む層はフィルムの表面平滑性に優れる側に形成した。ターゲットとなる無機化合物としては酸化珪素を用い、導入ガスにアルゴン、スパッタ真空度は2.0×10−3Torr、投入電力2.5kW、基板温度200℃として30nmの無機化合物を含む層を形成した。
[Formation of a layer containing an inorganic compound]
A first layer containing an inorganic compound was applied to the film using a sputtering apparatus. The layer containing an inorganic compound was formed on the side excellent in surface smoothness of the film. As a target inorganic compound, silicon oxide is used. Argon is used as an introduced gas, a sputtering vacuum degree is 2.0 × 10 −3 Torr, an input power is 2.5 kW, and a layer containing an inorganic compound of 30 nm is formed at a substrate temperature of 200 ° C. did.

続いて無機化合物を含む層上に高分子膜を形成した。ペルヒドロポリシラザンのジブチルエーテル溶液をメタバーを用いて塗布し、50℃で5分加熱後、150℃で1時間の加熱により高分子化合物を含む層を形成した。   Subsequently, a polymer film was formed on the layer containing the inorganic compound. A dibutyl ether solution of perhydropolysilazane was applied using a metabar, heated at 50 ° C. for 5 minutes, and then heated at 150 ° C. for 1 hour to form a layer containing a polymer compound.

続いて、一層目の無機化合物を含む層の形成と同条件で、スパッタリングにより30nmの酸化珪素膜を形成して、実施例1の積層体を得た。   Subsequently, a silicon oxide film having a thickness of 30 nm was formed by sputtering under the same conditions as the formation of the first layer containing the inorganic compound, whereby the laminate of Example 1 was obtained.

得られた積層体は、透明性、水蒸気バリア性に優れ、カールの発生もない高品位の積層体となった。   The obtained laminate was a high-quality laminate that was excellent in transparency and water vapor barrier properties and did not cause curling.

(実施例2)
実施例1によるフィルムの両面に、実施例1と同様の方法により無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、実施例2の積層体を得た。
(Example 2)
A layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were sequentially formed on both surfaces of the film of Example 1 in the same manner as in Example 1 to obtain a laminate of Example 2. .

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もなく、水蒸気バリア性に優れる積層体となった。   The obtained laminate was a laminate having excellent transparency, no curling, and excellent water vapor barrier properties.

(実施例3)
実施例1において、酸ジクロライドとして25モル%のイソフタル酸ジクロライド、75モル%の2−クロルテレフタル酸クロライド、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドンを用いる以外は、実施例1と同様にして芳香族ポリアミド溶液を得た。
(Example 3)
In Example 1, aromatics were used in the same manner as in Example 1 except that 25 mol% of isophthalic acid dichloride, 75 mol% of 2-chloroterephthalic acid chloride were used as the acid dichloride, and N-methyl-2-pyrrolidone was used as the solvent. A polyamide solution was obtained.

さらに実施例1の製膜法において、120℃の乾燥を45分、70℃の湿式槽を40分とする点を除いては実施例1と同様にして、実施例3の50μmのフィルムを得た。   Further, in the film forming method of Example 1, a 50 μm film of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that drying at 120 ° C. was performed for 45 minutes and a wet bath at 70 ° C. was set for 40 minutes. It was.

この時のPC1=55重量%、PC2=90重量%、PC3=99重量%であった。また熱膨張係数は実施例1に多少劣るものの、ガラス転移温度に優れ、表面粗さの低い、透明性に優れたフィルムとなった。   At this time, PC1 = 55 wt%, PC2 = 90 wt%, and PC3 = 99 wt%. Moreover, although the thermal expansion coefficient was somewhat inferior to Example 1, it became a film excellent in glass transition temperature, low surface roughness, and excellent in transparency.

この芳香族ポリアミドフィルムを用いて、実施例1と同様にして、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、実施例3の積層体を得た。   Using this aromatic polyamide film, in the same manner as in Example 1, a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were formed in this order to obtain a laminate of Example 3. .

得られた積層体は、透明性、カールの発生もなく、また水蒸気バリア性は実施例1に比べて少し劣るものの、十分な値を有す積層体となった。   The obtained laminate was a laminate having sufficient values, although transparency and curling were not generated, and the water vapor barrier property was slightly inferior to that of Example 1.

(実施例4)
実施例1において、高分子溶液の濾過を45μmのフィルターのみで行ったことを除いては、同様の方法により高分子溶液を得た。さらに実施例1の製膜法において、クラス10,000の環境で製膜する以外は同様にして、実施例4の50μmのフィルムを得た。
Example 4
A polymer solution was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polymer solution was filtered only with a 45 μm filter. Further, in the film forming method of Example 1, a 50 μm film of Example 4 was obtained in the same manner except that the film was formed in a class 10,000 environment.

この時のPC1=54重量%、PC2=88重量%、PC3=99重量%であった。また表面平滑性は実施例1に多少劣るものの、ガラス転移温度、熱膨張係数の高い、透明性に優れたフィルムとなった。   At this time, PC1 = 54 wt%, PC2 = 88 wt%, and PC3 = 99 wt%. Further, although the surface smoothness was somewhat inferior to that of Example 1, the film had a high glass transition temperature, a high thermal expansion coefficient, and excellent transparency.

続いて実施例1と同様にして、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、実施例4の積層体を得た。   Then, it carried out similarly to Example 1, the layer containing an inorganic compound, the layer containing a high molecular compound, and the layer containing an inorganic compound were formed in order, and the laminated body of Example 4 was obtained.

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もなく、また水蒸気バリア性は実施例1に比べて少し劣るものの、十分な値を有す積層体となった。   The obtained laminate was excellent in transparency, no curling, and had a sufficient value although the water vapor barrier property was slightly inferior to that of Example 1.

(実施例5)
高分子溶液を保留粒子径45μmのフィルターのみで濾過した点を除いては実施例1と同様に重合を行い、実施例5の製膜原液を得た。
(Example 5)
Polymerization was carried out in the same manner as in Example 1 except that the polymer solution was filtered only with a filter having a retained particle diameter of 45 μm to obtain a film-forming stock solution of Example 5.

続いてクリーン度を特に制御していない場所で製膜する点を除いては、実施例1と同様に製膜を行い、実施例5のフィルムを得た。   Subsequently, the film was formed in the same manner as in Example 1 except that the film was formed at a place where the cleanness was not particularly controlled, and the film of Example 5 was obtained.

この時のPC1=55重量%、PC2=88重量%、PC3=99重量%であった。熱膨張係数、光線透過率、ガラス転移温度に優れるものの、表面粗さの大きなフィルムとなった。   At this time, PC1 = 55 wt%, PC2 = 88 wt%, and PC3 = 99 wt%. Although it was excellent in thermal expansion coefficient, light transmittance, and glass transition temperature, it became a film having a large surface roughness.

次に平坦化層用の樹脂溶液の調整を行った。ポリメチルメタクリレートに塩化メチレンを加え溶解させ、高分子濃度が2.3重量%の平坦化層形成用溶液を得た。   Next, the resin solution for the planarization layer was adjusted. Methylene chloride was added to polymethyl methacrylate and dissolved to obtain a planarization layer forming solution having a polymer concentration of 2.3% by weight.

続いて平坦化層を形成した。フィルムの表面粗さの低い側に、メタバーを用いて平坦化層形成用溶液を塗布し、50℃で1分の加熱により平坦化層を形成した。この際、高屈折率の芳香族ポリアミドに対して低屈折率のポリメチルメタクリレート薄膜を形成したことにより、平坦化層が反射防止層としての効果も発揮し、目視による透明性が向上した。   Subsequently, a planarization layer was formed. A flattening layer forming solution was applied to the low surface roughness side of the film using a metabar, and the flattening layer was formed by heating at 50 ° C. for 1 minute. At this time, by forming a polymethylmethacrylate thin film having a low refractive index on an aromatic polyamide having a high refractive index, the planarization layer also exhibited an effect as an antireflection layer, and transparency by visual observation was improved.

このフィルムに、基板温度を100℃とする点を除いては実施例1と同様にして、無機化合物を含む層を形成し、続いて50℃で5分加熱後、100℃で3時間加熱する点を除いては実施例1と同様にして高分子化合物を含む層を形成した。さらに基板温度を100℃として無機化合物を含む層を形成して、実施例5の積層体を得た。   A layer containing an inorganic compound is formed on this film in the same manner as in Example 1 except that the substrate temperature is 100 ° C., followed by heating at 50 ° C. for 5 minutes and then heating at 100 ° C. for 3 hours. Except for this point, a layer containing a polymer compound was formed in the same manner as in Example 1. Further, a layer containing an inorganic compound was formed at a substrate temperature of 100 ° C. to obtain a laminate of Example 5.

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もないものの、水蒸気バリア性に劣る積層体となった。   The obtained laminate was a laminate having excellent transparency and no curl, but poor water vapor barrier properties.

(実施例6)
脱水したN,N−ジメチルアセトアミドに、100モル%に相当する9,9ビス(3−フルオロ−4−アミノフェニル)フルオレンを溶解させ十分に氷冷後、これに100モル%に相当する2−クロロテレフタル酸ジクロライドを添加し、2時間撹拌により重合した。再び氷冷した後、0.2モル%に相当する塩化ベンゾイルを添加し、さらに1時間攪拌した。攪拌後、発生塩化水素に対して100モル%の炭酸リチウムを用いて中和を行った。得られた溶液は、高分子濃度が20重量%の芳香族ポリアミド溶液であった。
(Example 6)
9,9 bis (3-fluoro-4-aminophenyl) fluorene corresponding to 100 mol% was dissolved in dehydrated N, N-dimethylacetamide, sufficiently cooled with ice, and then corresponding to 100 mol% 2- Chloroterephthalic acid dichloride was added and polymerized by stirring for 2 hours. After ice cooling again, benzoyl chloride corresponding to 0.2 mol% was added, and the mixture was further stirred for 1 hour. After stirring, neutralization was performed using 100 mol% lithium carbonate with respect to the generated hydrogen chloride. The resulting solution was an aromatic polyamide solution having a polymer concentration of 20% by weight.

得られた溶液を実施例1と同様に濾過を行い、実施例6の製膜原液を得た。   The obtained solution was filtered in the same manner as in Example 1 to obtain a film-forming stock solution of Example 6.

続いて得られた製膜原液を用いて実施例1と同様に製膜を行い、実施例6のフィルムを得た。   Subsequently, film formation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained film-forming stock solution, and a film of Example 6 was obtained.

この時のPC1=53重量%、PC2=86重量%、PC3=99重量%であり、表面粗さ、ガラス転移温度に優れるものとなった。また熱膨張係数、光線透過率に劣るものの、実用に問題とならない程度であった。   At this time, PC1 = 53 wt%, PC2 = 86 wt%, PC3 = 99 wt%, and the surface roughness and glass transition temperature were excellent. Moreover, although it was inferior to a thermal expansion coefficient and light transmittance, it was a grade which does not become a problem in practical use.

このフィルムに対して、実施例1と同様に、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、実施例6の積層体を得た。   In the same manner as in Example 1, a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were formed in this order on this film to obtain a laminate of Example 6.

得られた積層体は水蒸気バリア性に優れるものの、実施例1に比べ透明性、平坦性に少し劣るが、十分な値を有す積層体となった。   Although the obtained laminate was excellent in water vapor barrier properties, it was slightly inferior in transparency and flatness as compared with Example 1, but became a laminate having a sufficient value.

(比較例1)
平坦化層やガスバリア層を有さない、実施例1のフィルムを比較例1のフィルムとした。
(Comparative Example 1)
The film of Example 1 having no planarization layer or gas barrier layer was used as the film of Comparative Example 1.

得られたフィルムは、透明性に優れ、カールの発生もなかったものの、水蒸気バリア性は悪いものとなった。   Although the obtained film was excellent in transparency and no curling occurred, the water vapor barrier property was poor.

(比較例2)
実施例1の高分子溶液を、15℃の純水を含んだ湿式槽に15分通す工程を省略した点を除いては、実施例1と同様に製膜を行い、比較例2である51μmのフィルムを得た。
(Comparative Example 2)
A film was formed in the same manner as in Example 1 except that the step of passing the polymer solution of Example 1 through a wet bath containing pure water at 15 ° C. for 15 minutes was omitted, and 51 μm as Comparative Example 2 was formed. Film was obtained.

この時のPC1=56重量%、PC3=99重量%であった。熱膨張係数、光線透過率、ガラス転移温度に優れるものの、表面粗さの高いフィルムとなった。これは、120℃で乾燥直後に、70℃の湿式槽に導入したため、溶媒抽出が急激に進んだためにフィルムの表面粗さが悪いフィルムとなったと考えられる。   At this time, PC1 = 56 wt% and PC3 = 99 wt%. Although it was excellent in thermal expansion coefficient, light transmittance, and glass transition temperature, it became a film with high surface roughness. This is considered to be that the film was poor in surface roughness because it was introduced into a wet bath at 70 ° C. immediately after drying at 120 ° C., and the solvent extraction progressed rapidly.

このフィルムに、実施例1と同様にして、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、比較例2の積層体を得た。   In the same manner as in Example 1, a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were formed in this film in this order to obtain a laminate of Comparative Example 2.

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もないものの、水蒸気バリア性に劣る積層体となった。   The obtained laminate was a laminate having excellent transparency and no curl, but poor water vapor barrier properties.

(比較例3)
実施例1の高分子溶液を、未濾過のまま実施例1の製膜法に従って製膜して、比較例3のフィルムを得た。
(Comparative Example 3)
The polymer solution of Example 1 was formed according to the film forming method of Example 1 with no filtration, and the film of Comparative Example 3 was obtained.

この時のPC1=56重量%、PC2=86重量%、PC3=99重量%であった。熱膨張係数、光線透過率、ガラス転移温度に優れるものの、表面粗さの高いフィルムとなった。これは、未濾過のためと考えられる。   At this time, PC1 = 56 wt%, PC2 = 86 wt%, and PC3 = 99 wt%. Although it was excellent in thermal expansion coefficient, light transmittance, and glass transition temperature, it became a film with high surface roughness. This is thought to be due to unfiltered.

このフィルムに、実施例1と同様にして、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、比較例3の積層体を得た。   In the same manner as in Example 1, a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were formed in this film in order to obtain a laminate of Comparative Example 3.

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もないものの、水蒸気バリア性に劣る積層体となった。   The obtained laminate was a laminate having excellent transparency and no curl, but poor water vapor barrier properties.

(比較例4)
実施例1において、120℃の乾燥時間を9分にして行う点を除いては実施例1の製膜法に従って、比較例4のフィルムを得た。
(Comparative Example 4)
A film of Comparative Example 4 was obtained according to the film forming method of Example 1, except that the drying time at 120 ° C. was 9 minutes in Example 1.

この時のPC1=44重量%、PC2=86重量%、PC3=99重量%であった。熱膨張係数、光線透過率、ガラス転移温度に優れるものの、表面粗さの高いフィルムとなった。これは、120℃の乾燥後不完全な状態で湿式槽に導入したためと考えられる。   At this time, PC1 = 44% by weight, PC2 = 86% by weight, and PC3 = 99% by weight. Although it was excellent in thermal expansion coefficient, light transmittance, and glass transition temperature, it became a film with high surface roughness. This is presumably because the product was introduced into the wet bath in an incomplete state after drying at 120 ° C.

このフィルムに、実施例1と同様にして、平坦化層、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、比較例4の積層体を得た。   A planarized layer, a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were formed in this film in the same manner as in Example 1 to obtain a laminate of Comparative Example 4.

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もないものの、水蒸気バリア性に劣る積層体となった。   The obtained laminate was a laminate having excellent transparency and no curl, but poor water vapor barrier properties.

(比較例5)
実施例3において、芳香族ポリアミド溶液を未濾過で用い、またクリーン度を特に制御していない場所で製膜をした点を除いては、実施例3と同様に行うことで、比較例5のフィルムを得た。
(Comparative Example 5)
In Example 3, the aromatic polyamide solution was used unfiltered, and the film was formed in a place where the cleanness was not particularly controlled. A film was obtained.

この時のPC1=53重量%、PC2=88重量%、PC3=99重量%であった。熱膨張係数、光線透過率、ガラス転移温度に優れるものの、少し表面粗さの大きいフィルムとなった。   At this time, PC1 = 53 wt%, PC2 = 88 wt%, and PC3 = 99 wt%. Although it was excellent in thermal expansion coefficient, light transmittance, and glass transition temperature, it became a film with a little large surface roughness.

このフィルムに、実施例1と同様にして、平坦化層、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、比較例5の積層体を得た。   A planarized layer, a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were formed in this film in the same manner as in Example 1 to obtain a laminate of Comparative Example 5.

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もないものの、水蒸気バリア性に劣る積層体となった。   The obtained laminate was a laminate having excellent transparency and no curl, but poor water vapor barrier properties.

(比較例6)
ジアミンとして35モル%に相当する2−クロロパラフェニレンジアミン、65モル%に相当する4、4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸ジクロライドとして100モル%に相当する2−クロルテレフタル酸クロライドを用いる以外は実施例3と同様にして、厚み53μmの比較例6のフィルムを得た。
(Comparative Example 6)
Example, except that 2-chloroparaphenylenediamine corresponding to 35 mol% as diamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether corresponding to 65 mol%, and 2-chloroterephthalic acid chloride corresponding to 100 mol% as acid dichloride are used. 3 and a film of Comparative Example 6 having a thickness of 53 μm was obtained.

この時のPC1=53重量%、PC2=88重量%、PC3=99重量%であった。熱膨張係数、光線透過率、ガラス転移温度、表面粗さに優れるものの、透明性に劣るフィルムとなった。   At this time, PC1 = 53 wt%, PC2 = 88 wt%, and PC3 = 99 wt%. Although it was excellent in thermal expansion coefficient, light transmittance, glass transition temperature, and surface roughness, it became a film inferior in transparency.

このフィルムに、実施例1と同様にして、平坦化層、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を順に形成して、比較例6の積層体を得た。   A planarized layer, a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were sequentially formed on this film in the same manner as in Example 1 to obtain a laminate of Comparative Example 6.

得られた積層体は、カールの発生もなく、水蒸気バリア性に優れるものの、透明性に劣る積層体となった。   The obtained laminate was free from curling and excellent in water vapor barrier properties, but was inferior in transparency.

(比較例7)
実施例5のフィルムに平坦化層を設けずに、無機化合物を含む層、高分子化合物を含む層、無機化合物を含む層を形成した点を除いては実施例5と同様にして、比較例7の積層体を得た。
(Comparative Example 7)
Comparative Example as in Example 5 except that a layer containing an inorganic compound, a layer containing a polymer compound, and a layer containing an inorganic compound were formed on the film of Example 5 without providing a planarizing layer. A laminate of 7 was obtained.

得られた積層体は、透明性に優れ、カールの発生もないものの、平坦化層を設けなかったためにガスバリア膜の物性に劣り、水蒸気バリア性に劣る積層体となった。   The obtained laminate was excellent in transparency and no curling, but was not provided with a planarizing layer, so that the physical properties of the gas barrier film were inferior and the water vapor barrier property was inferior.

(比較例8)
ポリプラスチックス(株)製のTOPASをメチルエチルケトンに溶解して、高分子濃度20重量%の高分子溶液を得た。
(Comparative Example 8)
TOPAS manufactured by Polyplastics Co., Ltd. was dissolved in methyl ethyl ketone to obtain a polymer solution having a polymer concentration of 20% by weight.

続いて、フィルムの製膜を行った。得られた高分子濃度20重量%の高分子溶液を、クリーン度をクラス1,000に保った環境で、バーコーターでガラス板上に流延し、50℃のオーブンで15分間乾燥して溶媒を蒸発させ、自己支持性を発現した重合体シートを支持体から剥離した。続いて剥離したシートを、80℃のオーブンで15分、100℃のオーブンで20分、120℃のオーブンで20分、170℃のオーブンで30分加熱して、比較例8の厚み49μmのフィルムを得た。   Subsequently, a film was formed. The obtained polymer solution having a polymer concentration of 20% by weight is cast on a glass plate with a bar coater in an environment where the cleanness is maintained at class 1,000, and dried in an oven at 50 ° C. for 15 minutes. The polymer sheet exhibiting self-supporting property was peeled off from the support. Subsequently, the peeled sheet was heated in an oven at 80 ° C. for 15 minutes, in an oven at 100 ° C. for 20 minutes, in an oven at 120 ° C. for 20 minutes, and in an oven at 170 ° C. for 30 minutes. Got.

表面平滑性に優れた透明フィルムとなったが、熱膨張係数の高いフィルムとなった。   Although it became the transparent film excellent in surface smoothness, it became a film with a high thermal expansion coefficient.

このフィルムに、基板温度を100℃とする点を除いては実施例1と同様にして、無機化合物を含む層を形成し、続いて50℃で5分加熱後、100℃で3時間加熱する点を除いては実施例1と同様にして高分子化合物を含む層を形成した。さらに基板温度を100℃として無機化合物を含む層を形成して、比較例8の積層体を得た。   A layer containing an inorganic compound is formed on this film in the same manner as in Example 1 except that the substrate temperature is 100 ° C., followed by heating at 50 ° C. for 5 minutes and then heating at 100 ° C. for 3 hours. Except for this point, a layer containing a polymer compound was formed in the same manner as in Example 1. Further, a layer containing an inorganic compound was formed at a substrate temperature of 100 ° C. to obtain a laminate of Comparative Example 8.

得られた積層体は透明性に優れるものの、カールしたものとなった。   Although the obtained laminate was excellent in transparency, it was curled.

Figure 2006255918
Figure 2006255918

Claims (16)

高分子を含むフィルムの少なくとも一方の側に無機化合物を含む層が形成された積層体であって、前記フィルムについて30〜100℃の熱膨張係数が−15ppm/℃以上50ppm/℃以下となるフィルム面内の方向が少なくとも一つ存在し、かつ積層体の450nmから700nmの全ての波長の光の光線透過率が80%以上100%以下である積層体。 A laminate in which a layer containing an inorganic compound is formed on at least one side of a film containing a polymer, wherein the film has a thermal expansion coefficient of 30 to 100 ° C. of −15 ppm / ° C. to 50 ppm / ° C. A laminate in which at least one in-plane direction exists and the laminate has a light transmittance of 80% to 100% for light of all wavelengths from 450 nm to 700 nm. フィルムのガラス転移温度が120℃以上である、請求項1に記載の積層体。 The laminated body of Claim 1 whose glass transition temperature of a film is 120 degreeC or more. フィルムがガラス転移温度を示さない、請求項1に記載の積層体。 The laminate according to claim 1, wherein the film does not exhibit a glass transition temperature. フィルムについて、フィルム面内の直交する二方向のいずれの方向についても、30〜100℃の熱膨張係数が−15ppm/℃以上50ppm/℃以下となる当該二方向が少なくとも一つ存在する、請求項1〜3のいずれかに記載の積層体。 The film has at least one of the two directions in which the coefficient of thermal expansion of 30 to 100 ° C is -15 ppm / ° C or more and 50 ppm / ° C or less in any of the two orthogonal directions in the film plane. The laminated body in any one of 1-3. フィルムの厚みが10〜300μmである、請求項1〜4のいずれかに記載の積層体。 The laminated body in any one of Claims 1-4 whose thickness of a film is 10-300 micrometers. フィルムと無機化合物を含む層との間に平坦化層が設けられている、請求項1〜5のいずれかに記載の積層体。 The laminated body in any one of Claims 1-5 in which the planarization layer is provided between the film and the layer containing an inorganic compound. 高分子化合物を含む層が設けられている、請求項1〜6のいずれかに記載の積層体。 The laminated body in any one of Claims 1-6 in which the layer containing a high molecular compound is provided. フィルムの一方の面の表面粗さをRa1とし、他方の面の表面粗さをRa2としたとき、Ra1とRa2とが次式(1)〜(3)を満足している、請求項1〜7のいずれかに記載の積層体。
Ra1<Ra2 (1)
0nm<Ra1≦2nm (2)
0nm<Ra2≦3nm (3)
Ra1 and Ra2 satisfy | fill following Formula (1)-(3), when the surface roughness of one surface of a film is set to Ra1, and the surface roughness of the other surface is set to Ra2, Claim 1 The laminated body in any one of 7.
Ra1 <Ra2 (1)
0 nm <Ra1 ≦ 2 nm (2)
0 nm <Ra2 ≦ 3 nm (3)
フィルムの黄色度(YI)が0以上4.5以下である、請求項1〜8のいずれかに記載の積層体。 The laminated body in any one of Claims 1-8 whose yellowness (YI) of a film is 0 or more and 4.5 or less. 積層体を120℃で3時間加熱した際に生じる端部の浮きの高さが0.5cm以下である、請求項1〜9のいずれかに記載の積層体。 The laminated body according to any one of claims 1 to 9, wherein a height of floating at an end portion when the laminated body is heated at 120 ° C for 3 hours is 0.5 cm or less. 積層体を60℃、90%RH下で7日間保管後に生じる端部の浮きの高さが0.5cm以下である、請求項1〜10のいずれかに記載の積層体。 The layered product according to any one of claims 1 to 10, wherein the height of the floating of the end portion generated after storage of the layered product at 60 ° C and 90% RH for 7 days is 0.5 cm or less. フィルムが芳香族ポリアミドを含んでいる、請求項1〜11のいずれかに記載の積層体。 The laminated body in any one of Claims 1-11 in which the film contains aromatic polyamide. 芳香族ポリアミドが、化学式(I)および化学式(II)で示される構造単位を含み、それぞれの構造単位のモル分率をl、mとしたとき、50≦l≦100、0≦m≦50である、請求項12に記載の積層体。
Figure 2006255918
:−CF、−CCl、−CBr、−F、−Cl、−Br、−OH、−OCH(ただし、分子内においてこれらの基を有する構造単位が混在していてもよい。)
:任意の芳香族基
:水素、ハロゲンまたは炭素数1〜3の炭化水素基
Figure 2006255918
:任意の芳香族基
:任意の芳香族基
When the aromatic polyamide includes structural units represented by the chemical formula (I) and the chemical formula (II), and the molar fraction of each structural unit is 1 and m, 50 ≦ l ≦ 100 and 0 ≦ m ≦ 50 The layered product according to claim 12 which is.
Figure 2006255918
R 1 : —CF 3 , —CCl 3 , —CBr 3 , —F, —Cl, —Br, —OH, —OCH 3 (however, structural units having these groups may be mixed in the molecule) .)
R 2: any aromatic radical R 3: hydrogen, halogen or a hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms
Figure 2006255918
R 4 : Arbitrary aromatic group R 5 : Arbitrary aromatic group
水蒸気透過率が1.0×10−1g/m/day以下である、請求項1〜13のいずれかに記載の積層体。 The laminated body in any one of Claims 1-13 whose water vapor permeability is 1.0 * 10 < -1 > g / m < 2 > / day or less. 請求項1〜14のいずれかに記載の積層体を用いた表示材料。 The display material using the laminated body in any one of Claims 1-14. フィルムが乾湿式溶液製膜法で製膜され、かつ以下の工程を含んでいる、請求項1〜14のいずれかに記載の積層体の製造方法。
(1)湿式工程に導入される際の高分子濃度が47重量%以上63重量%以下である。
(2)湿式工程に用いる湿式槽が、0℃以上35℃未満の水溶液を含んだ第1の湿式槽と35℃以上90℃以下の水溶液を含んだ第2の湿式槽とを少なくとも備えている。
(3)第2の湿式槽に搬送されるときのフィルムの高分子濃度が80重量%以上である。
(4)最終の湿式槽から加熱工程に搬送されるときのフィルムの高分子濃度が96重量%以上である。
The manufacturing method of the laminated body in any one of Claims 1-14 by which the film is formed into a film by the dry-wet solution film forming method, and includes the following processes.
(1) The polymer concentration when introduced into the wet process is 47% by weight or more and 63% by weight or less.
(2) A wet bath used in the wet process includes at least a first wet bath containing an aqueous solution of 0 ° C. or higher and lower than 35 ° C. and a second wet bath containing an aqueous solution of 35 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. .
(3) The polymer concentration of the film when transported to the second wet tank is 80% by weight or more.
(4) The polymer concentration of the film when transported from the final wet bath to the heating step is 96% by weight or more.
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