JP2006251786A5 - - Google Patents

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顔料を含有する感光性組成物の除去液であって、
(1)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類を95〜70質量%及び
(2)芳香族炭化水素類を5〜30質量%
含有することを特徴とする感光性組成物除去液。
A removal liquid for a photosensitive composition containing a pigment,
(1) 95 to 70% by mass of alkylene glycol monoalkyl ethers and (2) 5 to 30% by mass of aromatic hydrocarbons
A photosensitive composition removing liquid, comprising:
顔料を含有する感光性組成物の除去液であって、
(1)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類を85〜20質量%、
(2)炭素数9以上の芳香族炭化水素類を5〜30質量%及び
(3)アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボン酸エステル類、アルコキシカルボン酸エステル類、脂環式ケトン類及び酢酸エステル類から選ばれる少なくとも1種の溶剤を10〜75質量%
含有することを特徴とする感光性組成物除去液。
A removal liquid for a photosensitive composition containing a pigment,
(1) 85-20% by mass of alkylene glycol monoalkyl ethers,
(2) 5-30% by mass of aromatic hydrocarbons having 9 or more carbon atoms and (3) alkylene glycol monoalkyl ether carboxylic acid esters, alkoxy carboxylic acid esters, alicyclic ketones, and acetic acid esters 10 to 75% by mass of at least one solvent
A photosensitive composition removing liquid, comprising:
顔料を含有する感光性組成物の除去液であって、
(1)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類を85〜20質量%、
(2)炭素数9以上の芳香族炭化水素類を5〜30質量%及び
(3)アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボン酸エステル類、アルコキシカルボン酸エステル類及び脂環式ケトン類から選ばれる少なくとも1種の溶剤を10〜75質量%
含有することを特徴とする感光性組成物除去液。
A removal liquid for a photosensitive composition containing a pigment,
(1) 85-20% by mass of alkylene glycol monoalkyl ethers,
(2) 5 to 30% by mass of aromatic hydrocarbons having 9 or more carbon atoms and (3) at least one selected from alkylene glycol monoalkyl ether carboxylic acid esters, alkoxycarboxylic acid esters and alicyclic ketones 10 to 75% by mass of the solvent
A photosensitive composition removing liquid, comprising:
顔料を含有する感光性組成物の除去液であって、
(1)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類を85〜40質量%、
(2)炭素数9以上の芳香族炭化水素類を5〜30質量%及び
(3)酢酸エステル類から選ばれる少なくとも1種の溶剤を10〜45質量%
含有することを特徴とする感光性組成物除去液。
A removal liquid for a photosensitive composition containing a pigment,
(1) 85-40% by mass of alkylene glycol monoalkyl ethers,
(2) 5 to 30% by mass of aromatic hydrocarbons having 9 or more carbon atoms and (3) 10 to 45% by mass of at least one solvent selected from acetate esters
A photosensitive composition removing liquid, comprising:
芳香族炭化水素類が沸点150〜250℃のアルキルベンゼン類であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   The photosensitive composition removing liquid according to any one of claims 1 to 4, wherein the aromatic hydrocarbon is an alkylbenzene having a boiling point of 150 to 250 ° C. アルキレングリコールモノアルキルエーテル類が、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メトキシブタノール及び3−メチル−3−メトキシブタノールからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   Alkylene glycol monoalkyl ethers include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, 3-methoxybutanol and The photosensitive composition removing liquid according to claim 1, which is at least one selected from the group consisting of 3-methyl-3-methoxybutanol. アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボン酸エステル類が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート及び3−メチル−3−メトキシブチルアセテートからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項2、3、5または6のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   The alkylene glycol monoalkyl ether carboxylic acid ester is at least one selected from the group consisting of propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate and 3-methyl-3-methoxybutyl acetate. The photosensitive composition removing liquid according to any one of claims 2, 3, 5 and 6. アルコキシカルボン酸エステル類が、3−メトキシプロピオン酸メチル及び3−エトキシプロピオン酸エチルからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項2、3、5または6のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   The alkoxycarboxylic acid ester is at least one selected from the group consisting of methyl 3-methoxypropionate and ethyl 3-ethoxypropionate, according to any one of claims 2, 3, 5 and 6. A photosensitive composition remover. 脂環式ケトン類が、シクロヘキサノン、シクロペンタノン及びメチルシクロヘキサノンからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項2、3、5または6のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   7. The photosensitive composition according to claim 2, wherein the alicyclic ketone is at least one selected from the group consisting of cyclohexanone, cyclopentanone and methylcyclohexanone. Remover. 酢酸エステル類が、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸n−アミル、酢酸イソアミル及び酢酸sec−アミルからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項2または4〜6のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   The acetate ester is at least one selected from the group consisting of ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, n-amyl acetate, isoamyl acetate, and sec-amyl acetate. Item 7. The photosensitive composition remover according to any one of Items 2 and 4 to 6. 顔料を含有するアクリル系感光性組成物の除去に用いられる請求項1〜10のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   The photosensitive composition removal liquid in any one of Claims 1-10 used for the removal of the acrylic photosensitive composition containing a pigment. 感光前の顔料を含有する感光性組成物の除去に用いられる請求項1〜11のいずれかに記載の感光性組成物除去液。   The photosensitive composition removing liquid according to claim 1, which is used for removing a photosensitive composition containing a pigment before exposure.
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