JP2006250848A - High speed light delay producing method in light coherence tomography and phase modulated light coherence tomography apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光コヒーレンストモグラフィーにおける高速光遅延発生方法及び光コヒーレンストモグラフィーにおける位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置に関するものである。 The present invention relates to a high-speed optical delay generation method in optical coherence tomography and a phase modulation optical coherence tomography apparatus in optical coherence tomography.
広帯域な波長幅を有する光源を用いた光コヒーレンストモグラフィー装置が既に開発され、現在実用化されて医療分野で使用され、広く利用されている(例えば、下記特許文献1および非特許文献1参照)。従来の回転反射体による高速光遅延反射機構における光ヘテロダイン干渉ビート信号の発生方法としては、高速回転する反射体からの反射光がドップラーシフト周波数変調を受けることを利用して、合波干渉光より、そのビート周波数信号を検出する方法が知られている(例えば、下記特許文献2参照)。
An optical coherence tomography apparatus using a light source having a broad wavelength range has been developed, is currently put into practical use, is used in the medical field, and is widely used (for example, see
図4は従来の光コヒーレンストモグラフィー装置の模式図である。 FIG. 4 is a schematic diagram of a conventional optical coherence tomography apparatus.
この図において、101は低コヒーレンス光源〔例えば、SLD(スーパールミネッセントダイオード)光源〕、102はハーフミラー(2分割用ハーフミラー)、103は回転体、104は回転反射体(例えば、コーナーキューブミラー)、105は固定ミラー、105aは固定ミラー105の位置調節器、107はX軸走査ミラー、108はY軸走査ミラー、109は対物レンズ、110は被検査物、111は光検出器、112は信号処理器、113はコンピュータ表示器である。
しかしながら、上記した従来の光コヒーレンストモグラフィーにおけるドップラー周波数変調を用いる方法では、前記回転反射体(コーナーキューブミラー)104の回転角速度は速く、その結果生じるドップラービート信号周波数は数十MHzと高く、また回転に伴って中心周波数が数MHzシフトしてゆき、狭帯域検出が不可能であった。さらに、回転体の回転むらや該反射体の取り付け角度などによって、複数の反射体からのドップラー周波数がずれてゆくなど問題があった。 However, in the method using Doppler frequency modulation in the above-described conventional optical coherence tomography, the rotational angular velocity of the rotating reflector (corner cube mirror) 104 is fast, and the resulting Doppler beat signal frequency is as high as several tens of MHz, and the rotation As a result, the center frequency shifted by several MHz, and narrow band detection was impossible. Furthermore, there is a problem that the Doppler frequency from a plurality of reflectors shifts depending on the rotation unevenness of the rotator and the mounting angle of the reflectors.
よって、光検出におけるビート周波数の狭帯域化や安定化ができず、信号対雑音比(SN比)が悪い断層画像しか得られないという欠点があった。 Therefore, there is a drawback that the beat frequency cannot be narrowed or stabilized in light detection, and only a tomographic image with a poor signal-to-noise ratio (SN ratio) can be obtained.
本発明は、上記状況に鑑みて、不安定なドップラー周波数変調に頼ることなく、また、回転体による高速走査を生かしたまま回転角速度に拘束されることなく独立に安定した、かつ狭帯域なビート周波数で光検出を行い、高いSN比で断層画像を構築できる、光コヒーレンストモグラフィーにおける高速光遅延発生方法及び位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置を提供することを目的とする。 In view of the above situation, the present invention provides an independent stable and narrow-band beat without relying on unstable Doppler frequency modulation, and without being constrained by the rotational angular velocity while utilizing high-speed scanning by a rotating body. It is an object of the present invention to provide a high-speed optical delay generation method and a phase modulation optical coherence tomography apparatus in optical coherence tomography that can detect light at a frequency and construct a tomographic image with a high S / N ratio.
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕光コヒーレンストモグラフィーにおける高速光遅延発生方法において、低コヒーレンス光源からの光を2分割用ハーフミラーで被検査物への物体光と参照光とに2分割し、この光路中に位相変調素子を具備して、前記参照光は回転反射体による光遅延反射機構より反射回帰して、前記被検査物から回帰する物体光とともに前記2分割用ハーフミラーで合波し、前記位相変調素子に基づくヘテロダイン干渉ビート信号を検出することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides
[1] In a method for generating a high-speed optical delay in optical coherence tomography, light from a low-coherence light source is divided into an object beam and a reference beam to be inspected by a half mirror for splitting into two , and a phase modulation element in this optical path And the reference light is reflected and returned from the optical delayed reflection mechanism by the rotating reflector, and is combined with the object light returning from the inspection object by the half mirror for division into two, and based on the phase modulation element. A heterodyne interference beat signal is detected.
〔2〕位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置において、低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、この光路途中に設けた所定の周波数で動作する位相変調素子と、前記参照光を回転反射体により遅延反射させる光遅延反射機構と、前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延反射機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、前記位相変調素子に基づくヘテロダイン干渉ビート信号を検出する光検出器とを具備することを特徴とする。 [2] In a phase-modulated light coherence tomography apparatus, a low-coherence light source, a half-mirror for splitting the light from the low-coherence light source into object light and reference light to be inspected into two parts, A provided phase modulation element that operates at a predetermined frequency, a light delay reflection mechanism that delays and reflects the reference light by a rotating reflector, an object light that returns from the inspection object, and a reference light that returns from the light delay reflection mechanism And a photodetector for detecting a heterodyne interference beat signal based on the phase modulation element.
〔3〕位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置において、低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、この光路途中に設けた所定の周波数で動作する位相変調素子と、前記参照光を回転反射体により遅延反射させる光遅延反射機構と、前記物体光で、X軸走査ミラー及びY軸走査ミラーを用い面内を走査する面走査機構と、対物レンズと、前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延反射機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、前記位相変調素子に基づくヘテロダイン干渉ビート信号を検出する光検出器とを具備することを特徴とする。 [3] In a phase-modulated optical coherence tomography apparatus, a low-coherence light source, a half-mirror for splitting the light from the low-coherence light source into object light and reference light to be inspected into two parts, and in the middle of the optical path In-plane scanning using the X-axis scanning mirror and the Y-axis scanning mirror with the provided phase modulation element that operates at a predetermined frequency, the optical delay reflection mechanism that delays and reflects the reference light by a rotating reflector, and the object light A surface scanning mechanism, an objective lens, the half-dividing half mirror that combines the object light returning from the inspection object and the reference light returning from the optical delay reflection mechanism, and a heterodyne based on the phase modulation element And a photodetector for detecting an interference beat signal.
〔4〕上記〔2〕又は〔3]記載の位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記位相変調素子は電歪素子を密着した固定ミラーであり、この固定ミラーを参照光路あるいは物体光路中に具備したことを特徴とする。 [4] In the phase modulation optical coherence tomography device according to [2] or [3], the phase modulation element is a fixed mirror having an electrostrictive element in close contact, and the fixed mirror is provided in a reference optical path or an object optical path. It is characterized by that.
〔5〕上記〔2〕又は〔3〕記載の位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記位相変調素子は光を透過する部材よりなる電歪素子であり、この電歪素子を参照光路あるいは物体光路中に具備したことを特徴とする。 [5] In the phase modulation optical coherence tomography device according to [2] or [3], the phase modulation element is an electrostrictive element made of a light transmitting member, and the electrostrictive element is placed in a reference optical path or an object optical path. It is characterized by comprising.
〔6]上記〔2〕又は〔3〕記載の位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置において、前記光検出器よりの出力から、前記位相変調素子に基づく一定の周波数成分のみを取り出す電気フィルターを具備したことを特徴とする。 [6] The phase modulation optical coherence tomography device according to [2] or [3], further including an electrical filter that extracts only a constant frequency component based on the phase modulation element from the output from the photodetector. Features.
以上、詳細に述べたように、本発明によれば、従来の回転反射体による不安定なドップラー周波数変調に頼ることなく、また、回転体による高速走査を生かしたまま回転角速度に拘束されることなく独立に安定したかつ狭帯域なビート周波数で光検出を行うことができ、高いSN比で断層画像を得ることができる。 As described above in detail, according to the present invention, the rotational angular velocity is constrained without relying on the unstable Doppler frequency modulation by the conventional rotating reflector and taking advantage of the high-speed scanning by the rotating member. In addition, light detection can be performed independently and with a stable and narrow-band beat frequency, and a tomographic image can be obtained with a high S / N ratio.
本発明の光コヒーレンストモグラフィーにおける高速光遅延発生方法は、低コヒーレンス光源からの光を2分割用ハーフミラーで被検査物への物体光と参照光とに2分割し、この光路中に位相変調素子を具備して、前記参照光は回転反射体による光遅延反射機構より反射回帰して、前記被検査物から回帰する物体光とともに前記2分割用ハーフミラーで合波し、前記位相変調素子に基づくヘテロダイン干渉ビート信号を検出する。よって、回転反射体とは独立の位相変調素子を設けて、帯域幅を狭めて高SN比での検出可能な低周波数で位相変調を施し、光源のコヒーレンス長で決まる分解能を最小限で維持できるサンプリング定理に従った数KHzで、ビート信号を検出することができる。 The method for generating a high-speed optical delay in optical coherence tomography according to the present invention splits light from a low-coherence light source into object light and reference light to be inspected by a half mirror for splitting into two , and a phase modulation element in this optical path And the reference light is reflected and returned from the optical delayed reflection mechanism by the rotating reflector, and is combined with the object light returning from the inspection object by the half mirror for division into two, and based on the phase modulation element. Heterodyne interference beat signal is detected. Therefore, by providing a phase modulation element independent from the rotating reflector, the bandwidth is narrowed, phase modulation is performed at a low frequency that can be detected with a high S / N ratio, and the resolution determined by the coherence length of the light source can be kept to a minimum. A beat signal can be detected at several KHz according to the sampling theorem.
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〔実施例1〕
図1は本発明の第1実施例を示す光コヒーレンストモグラフィー装置の模式図である。この図において、1は広帯域波長光源〔例えば、SLD(スーパールミネッセントダイオード)光源]、2はハーフミラー(2分割用ハーフミラー)、3は回転体、4は回転反射体(例えば、コーナーキューブミラー)、5は固定ミラー、5aは固定ミラー5の位置調節器、6は電歪素子(トランスデューサー)(位相変調素子)、6aはその電歪素子の変調周波数電源であり、この電歪素子の変調周波数電源6aは電歪素子(例えば、ピエゾ圧電素子)6で固定ミラー5を振動させて反射光に位相変調を与える位相変調素子を構成している。7はX軸走査ミラー、8はY軸走査ミラー、9は対物レンズ、10は被検査物、11は光検出器、12は電気フィルターおよび信号処理器、13はコンピュータ表示器である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
[Example 1]
FIG. 1 is a schematic diagram of an optical coherence tomography apparatus showing a first embodiment of the present invention. In this figure, 1 is a broadband wavelength light source [for example, SLD (super luminescent diode) light source], 2 is a half mirror (half mirror for splitting), 3 is a rotating body, 4 is a rotating reflector (for example, a corner cube) Mirror), 5 is a fixed mirror, 5a is a position adjuster of the
低コヒーレンス光源である広帯域波長幅を有するSLD光源1からの光波をハーフミラー2にて、一方は被検査物10への物体光、他方は参照光とに分割し、2分割された参照光は回転反射体4を経て固定ミラー5で位相変調を受けて反射され、同一光路を反射回帰し、ハーフミラー2に戻る。このとき、この反射回帰する参照光は、回転反射体4によるドップラー周波数変調も同時に受けている。本実施例では、位相変調素子を反射型とし、参照光路中の固定ミラー5に電歪素子6を密着して構成するようにしている。
A light wave from an
一方、2分割された物体光は面走査機構(X軸走査ミラー7、Y軸走査ミラー8)、対物レンズ9を経て被検査物10に入射し、その物体反射光は同一光路を反射回帰してハーフミラー2に戻る。
On the other hand, the object light divided into two is incident on the
光遅延反射機構は、回転体3と回転反射体4および固定ミラー5より構成され、回転反射体4は回転体3上に放射状に、かつ回転体3の接線方向に光を反射するように配置し、複数個配置しておく(図では1個のみを示している)。回転反射体4は光軸に対し前進または後退方向に高速回転しているので、紫方または赤方へのドップラー周波数シフトを反射参照光に与える。
The optical delay reflection mechanism is composed of a rotating
本実施例では、広帯域波長光源1にSLDを用いる例を示したが、波長幅の広いコヒーレンス長の短いレーザーを光源として用いても良いことは明らかである。
In this embodiment, an example in which an SLD is used for the broadband
以上の構成により、参照光はその位相変調と同時にドップラー周波数シフトを受けたものとなる。その位相変調は光波の位相に対する時間的変移であるために、良く知られたその変調周波数でのベッセル関数展開で基本周波数とその倍波の周波数成分をふくむ周波数シフトを生じる。その結果、ハーフミラー2で合波された参照光と物体光との干渉から、光検出器11ではこれらの周波数を含む複数のビート信号周波数が出力される。
With the above configuration, the reference light is subjected to Doppler frequency shift simultaneously with the phase modulation. Since the phase modulation is a temporal shift with respect to the phase of the light wave, a well-known Bessel function expansion at the modulation frequency causes a frequency shift including the fundamental frequency and the frequency components of the harmonics. As a result, a plurality of beat signal frequencies including these frequencies are output from the
従来の回転反射体によるドップラービート信号周波数は数十MHzと高く、また、回転による帯域幅を有し、さらに回転むらや、反射体の取り付け角度の差異などにより数MHzの広帯域特性を有している。そのため、検出信号周波数の帯域幅に反比例するSN比は小さく、後段の構成画像の質を悪くしていた。 The Doppler beat signal frequency by the conventional rotating reflector is as high as several tens of MHz, has a bandwidth due to rotation, and has a wide band characteristic of several MHz due to uneven rotation and differences in the mounting angle of the reflector. Yes. For this reason, the S / N ratio inversely proportional to the bandwidth of the detection signal frequency is small, and the quality of the constituent image in the subsequent stage is degraded.
本発明では、この実施例に示すように、回転反射体4とは独立の位相変調素子(固定ミラー5、電歪素子6で構成)を具備してこれらの問題を解決するものである。すなわち、帯域幅を狭め高SN比での検出可能な低周波数で位相変調を施し、光源のコヒーレンス長で決まる分解能を最小限で維持できるサンプリング定理に従った数KHzで、ビート信号を検出できるようにしたものである。複数のビート信号周波数の出力から、位相変調の基本波周波数成分のみを電気フィルターと信号処理器12で抽出し増幅する。その結果、数十MHzのドップラービート信号検出に対し、100乃至1000倍のSN比の増大を図ることが可能となる。
In the present invention, as shown in this embodiment, a phase modulation element (consisting of a
この位相変調素子に所定の固定した周波数でピエゾ振動子等を駆動して固定のビート信号のみを検出すればよいので、SN比の低減を招く広帯域増幅器を必要とせず、音声周波数に近い電気信号の狭帯域な増幅処理であるため、電子回路や伝送媒体での熱雑音の低減も図られる特徴がある。また、装置も高周波でないので安価に製造できる利点がある。 Since it is only necessary to detect a fixed beat signal by driving a piezo vibrator or the like at a predetermined fixed frequency in this phase modulation element, an electric signal close to the audio frequency is not required, which does not require a wideband amplifier that reduces the S / N ratio. for narrow band amplification process, is characterized to be achieved also reduces the thermal noise in an electronic circuit or a transmission medium. Also, since the device is not high frequency, there is an advantage that it can be manufactured at low cost.
さらに、光軸(Z軸)方向の走査速度を回転体3の回転速度で可変にしても、検出すべきビート信号周波数は一定で不変であり、ドップラー周波数の場合と異なり信号処理回路等の切り替えを必要としない特徴がある。
Furthermore, even if the scanning speed in the optical axis (Z-axis) direction is variable depending on the rotational speed of the
以上の特徴により、画像信号としてのその出力から容易に高いSN比の、すなわち背景雑音の少ない鮮明な画像を得て、コンピュータ表示器13などで被検査物10の断層画像を映像化することができる。
With the above features, it is possible to easily obtain a clear image with a high S / N ratio, that is, with little background noise from the output as an image signal, and to visualize a tomographic image of the
2次元あるいは3次元の断層画像信号は、一般にガルバノメータといわれる高速且つ高精度で動揺運動を行う装置の動揺部にミラーを取り付けたものを、X軸用、Y軸用にそれぞれ配置し面走査機構(X軸走査ミラー7、Y軸走査ミラー8)として用い、物体光をX−Y面上で走査してその都度そのビート信号のZ軸方向の包絡線分布を検出して取得する。
〔実施例2〕
図2は本発明の第2実施例を示す光コヒーレンストモグラフィー装置の模式図である。この実施例では物体光路に透明ピエゾ振動子を配置したものである。
A two-dimensional or three-dimensional tomographic image signal is a surface scanning mechanism in which a mirror is attached to a rocking part of a device that performs rocking motion at high speed and high accuracy, generally called a galvanometer, for X-axis and Y-axis, respectively. Used as (X-axis scanning mirror 7 and Y-axis scanning mirror 8), the object light is scanned on the XY plane, and the envelope distribution in the Z-axis direction of the beat signal is detected and acquired each time.
[Example 2]
FIG. 2 is a schematic diagram of an optical coherence tomography apparatus showing a second embodiment of the present invention. In this embodiment, a transparent piezo vibrator is disposed in the object optical path.
この図において、14は透明結晶体よりなるピエゾ振動子(ピエゾ圧電素子)、6bが駆動電極であり、これらによって位相変調器を構成する。他の構成要素は図1と同じであるので説明は省略する。 In this figure, reference numeral 14 denotes a piezo vibrator (piezo piezoelectric element) made of a transparent crystal, and 6b denotes a drive electrode, which constitutes a phase modulator. The other components are the same as in FIG.
透明結晶体のピエゾ振動子14は電界の印加によって厚みを微少に変化するものであるので、透過光は交流駆動電界の周波数の位相変調を受ける。 Since the transparent piezoelectric piezo vibrator 14 is slightly changed in thickness by the application of an electric field, the transmitted light is subjected to phase modulation of the frequency of the AC driving electric field.
この実施例では物体光がこのピエゾ振動子(透明結晶体)14を透過することにより位相変調を受け、参照光と合波して、図1の実施例と同様に、ヘテロダイン干渉により光検出器11から位相変調周波数のビート信号が得られる。 In this embodiment, the object light is phase-modulated by passing through the piezo vibrator (transparent crystal body) 14 and is combined with the reference light. As in the embodiment of FIG. 11, a beat signal having a phase modulation frequency is obtained.
本実施例では、透明ピエゾ振動子14を物体光路に具備する例を示したが、透明ピエゾ振動子を参照光路に具備しても、同様の効果を奏することができるものである。また、変調周波数を異ならせた複数の透明ピエゾ振動子をそれぞれ参照光路と物体光路に具備して、変調周波数の差の周波数のビート信号を検出してもよい。一般に、透明ピエゾ振動子の駆動周波数は高周波になる場合があり、低周波数のビート信号を検出して高いSN比を得て信号処理をしたい場合には、このような複数の透明ピエゾ振動子を用いるのも一方法である。
〔実施例3〕
図3は、本発明の第3実施例を示す光コヒーレンストモグラフィー装置の模式図である。この実施例は物体光路に反射型位相変調素子を配置したものである。
In the present embodiment, an example in which the transparent piezo vibrator 14 is provided in the object optical path is shown, but the same effect can be obtained even if the transparent piezo vibrator is provided in the reference optical path. Alternatively, a plurality of transparent piezo vibrators with different modulation frequencies may be provided in the reference optical path and the object optical path, respectively, and a beat signal having a frequency difference between the modulation frequencies may be detected. In general, the drive frequency of a transparent piezo vibrator may be a high frequency. When a low-frequency beat signal is detected to obtain a high S / N ratio and to perform signal processing, a plurality of such transparent piezo vibrators are used. One method is also used.
Example 3
FIG. 3 is a schematic diagram of an optical coherence tomography apparatus showing a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a reflection type phase modulation element is arranged in the object optical path.
この図において、物体光路中の遅延用固定プリズム15の反射面にピエゾ振動子(ピエゾ圧電素子)6を設け、電歪素子の変調周波数電源(駆動電源)6aにより所定の周波数で、位相変調するものである。
In this figure, a piezo vibrator (piezo piezoelectric element) 6 is provided on the reflection surface of the delay fixed
位相変調を受けた物体光は参照光と合波して光検出器11において、上記第1,第2実施例と同様に、位相変調周波数のヘテロダイン干渉ビート信号を検出することができる。図3において、16,17は物体光の反射ミラーである。他の構成要素は、図2と同じであるので説明は省略する。
The object light subjected to the phase modulation is combined with the reference light, and the
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形、組み合わせが可能であり、これらを発明の範囲から排除するものではない。 In addition, this invention is not limited to the said Example, A various deformation | transformation and combination are possible based on the meaning of this invention, These are not excluded from the scope of the invention.
本発明の光コヒーレンストモグラフィーにおける高速光遅延発生方法及び位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置は、医療分野において、広く利用可能である。 The high-speed optical delay generation method and the phase modulation optical coherence tomography apparatus in optical coherence tomography according to the present invention can be widely used in the medical field.
1 広帯域波長光源(SLD光源)
2 ハーフミラー
3 回転体
4 回転反射体
5 固定ミラー
5a 固定ミラーの位置調節器
6 電歪素子(トランスデューサー)(位相変調素子)
6a 電歪素子の変調周波数電源
6b 駆動電極
7 X軸走査ミラー
8 Y軸走査ミラー
9 対物レンズ
10 被検査物
11 光検出器
12 電気フィルターおよび信号処理器
13 コンピュータ表示器
14 透明結晶体よりなるピエゾ振動子
15 物体光路中の遅延用固定プリズム
16,17 物体光の反射ミラー
1 Broadband wavelength light source (SLD light source)
2
6a Modulation frequency power source of
Claims (6)
(b)該低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、
(c)該光路途中に設けた所定の周波数で動作する位相変調素子と、
(d)前記参照光を回転反射体により遅延反射させる光遅延反射機構と、
(e)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延反射機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、
(f)前記位相変調素子に基づくヘテロダイン干渉ビート信号を検出する光検出器とを具備することを特徴とする位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置。 (A) a low coherence light source;
(B) a half mirror for splitting that splits light from the low-coherence light source into object light and reference light for the object to be inspected;
(C) a phase modulation element operating at a predetermined frequency provided in the middle of the optical path;
(D) an optical delay reflection mechanism for delay-reflecting the reference light by a rotating reflector;
(E) the half mirror for two divisions that combines the object light returning from the inspection object and the reference light returning from the optical delayed reflection mechanism;
(F) A phase modulation optical coherence tomography apparatus comprising: a photodetector that detects a heterodyne interference beat signal based on the phase modulation element.
(b)該低コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照光とに2分割する2分割用ハーフミラーと、
(c)該光路途中に設けた所定の周波数で動作する位相変調素子と、
(d)前記参照光を回転反射体により遅延反射させる光遅延反射機構と、
(e)前記物体光で、X軸走査ミラー及びY軸走査ミラーを用い面内を走査する面走査機構と、
(f)対物レンズと、
(g)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延反射機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフミラーと、
(h)前記位相変調素子に基づくヘテロダイン干渉ビート信号を検出する光検出器とを具備することを特徴とする位相変調光コヒーレンストモグラフィー装置。 (A) a low coherence light source;
(B) a half mirror for splitting that splits light from the low-coherence light source into object light and reference light for the object to be inspected;
(C) a phase modulation element operating at a predetermined frequency provided in the middle of the optical path;
(D) an optical delay reflection mechanism for delay-reflecting the reference light by a rotating reflector;
(E) a surface scanning mechanism that scans an in-plane with the object light using an X-axis scanning mirror and a Y-axis scanning mirror;
(F) an objective lens;
(G) the half mirror for bisection for combining the object light returning from the inspection object and the reference light returning from the delayed optical reflection mechanism;
(H) A phase-modulated optical coherence tomography apparatus comprising: a photodetector that detects a heterodyne interference beat signal based on the phase modulation element.
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