JP2006234790A - Gas sensor and method of manufacturing gas sensor - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 73
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 137
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 65
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 45
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 20
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 36
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 105
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 31
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 31
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 2
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 2
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 2
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明は、例えば内燃期間の排気ガスなど、被測定ガス中の酸素等のガスを検出するためのガスセンサ及びガスセンサの製造方法に関する。 The present invention relates to a gas sensor for detecting a gas such as oxygen in a gas to be measured, such as an exhaust gas during an internal combustion period, and a method for manufacturing the gas sensor.
従来から、被測定ガス中の特定のガスを検出するガスセンサ、例えば、内燃機関の排気ガス中の酸素等を検出するためのガスセンサとして、先端部が閉じた有底筒状で内外面に検地電極を有するガス検出素子を備えたものが知られている。このようなガスセンサでは、基準ガスとして例えば大気をガス検出素子の内側に導入し、外側に被測定ガスを接触させ、検出素子内外のガス濃度差に応じて生じる起電力を測定することによって、ガス濃度を検出する。 Conventionally, as a gas sensor for detecting a specific gas in a gas to be measured, for example, a gas sensor for detecting oxygen or the like in an exhaust gas of an internal combustion engine, a bottomed cylindrical shape having a closed end and a ground detecting electrode on the inner and outer surfaces A device having a gas detection element having the following is known. In such a gas sensor, for example, the atmosphere is introduced as the reference gas inside the gas detection element, the gas to be measured is brought into contact with the outside, and the electromotive force generated according to the gas concentration difference between the inside and outside of the detection element is measured. Detect concentration.
また、上記のガスセンサでは、ガス検出素子を所定位置に支持するため、ガス検出素子の周囲を囲むように、金属製ハウジング(主体金具)を設けたものが知られている。そして、ガス検出素子と金属製ハウジングとの間の気密性を保持するため、これらの間に粉末層を配置したものも知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上述した従来のガスセンサでは、次のような課題があることが判明した。すなわち、水分のある(湿度の高い)環境に晒されると粉末層が吸湿し、これによって、金属製ハウジングと、ガスセンサ素子の外側電極との間の電気抵抗が低下してしまう。このため、これらの間で電流が流れ、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたす可能性がある。 However, it has been found that the conventional gas sensor described above has the following problems. That is, when exposed to moisture (high humidity), the powder layer absorbs moisture, thereby reducing the electrical resistance between the metal housing and the outer electrode of the gas sensor element. For this reason, current flows between them, and noise is generated in the output, which may hinder accurate gas concentration detection.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。本発明は、水分のある環境において粉末層が吸湿した場合でも、必要な絶縁性を確保することのできるガスセンサ及びガスセンサの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems. An object of this invention is to provide the gas sensor which can ensure required insulation, and the manufacturing method of a gas sensor, even when a powder layer absorbs moisture in a moisture environment.
(請求項1)
本発明のガスセンサは、軸線方向に延び、先端側外表面に設けられた検知電極と、該検知電極に接続され後端側に向かって延在するリード部とを備えたガスセンサ素子と、前記ガスセンサ素子を取り囲み、該ガスセンサ素子の先端側が先端から突出する筒状の主体金具と、前記ガスセンサ素子と前記主体金具との隙間に充填され、少なくとも前記リード部を覆う粉末層と、を備えるガスセンサにおいて、前記粉末層と前記リード部との間に絶縁層が設けられていることを特徴とする。
(Claim 1)
The gas sensor of the present invention includes a gas sensor element including a detection electrode extending in the axial direction and provided on the outer surface on the front end side, and a lead portion connected to the detection electrode and extending toward the rear end side, and the gas sensor In a gas sensor comprising: a cylindrical metal shell that surrounds the element, and a tip end side of the gas sensor element protrudes from the tip; and a powder layer that fills a gap between the gas sensor element and the metal shell and covers at least the lead part. An insulating layer is provided between the powder layer and the lead portion.
本発明のガスセンサにおいては、粉末層とリード部との問に絶縁層を設けることによって、リード部と粉末層が直接接触しない構造となっている。これによって、水分のある環境において粉末層が吸湿した場合でも、必要な絶縁性を確保することができる。よって、主体金具とリード部との間で電流が流れ、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたすことを防止できる。 The gas sensor of the present invention has a structure in which the lead portion and the powder layer are not in direct contact by providing an insulating layer between the powder layer and the lead portion. Thereby, even when the powder layer absorbs moisture in an environment with moisture, necessary insulation can be ensured. Therefore, it is possible to prevent current from flowing between the metal shell and the lead portion, generating noise in the output, and hindering accurate gas concentration detection.
なお、リード部は、粉末層よりも後端側のガスセンサ素子の外周面まで延びてもよい。また、リード部は、ガス検出素子の全周面にあってもよいし、ガスセンサ素子の周方向の一部で、検出電極から後端側に向かって棒状に延びるように形成されていてもよい。 The lead portion may extend to the outer peripheral surface of the gas sensor element on the rear end side with respect to the powder layer. Further, the lead portion may be on the entire circumferential surface of the gas detection element, or may be formed to extend in a rod shape from the detection electrode toward the rear end side in a part of the circumferential direction of the gas sensor element. .
(請求項2)
また、本発明のガスセンサは、前記絶縁層が、ガラスを主成分とすることが好ましい。ガラスが主成分の絶縁層を設けることで、充分な絶縁性を確保しつつ耐熱性も確保することができる。
(Claim 2)
In the gas sensor of the present invention, the insulating layer preferably contains glass as a main component. By providing the insulating layer mainly composed of glass, heat resistance can be ensured while ensuring sufficient insulation.
(請求項3)
また、本発明のガスセンサは、前記絶縁層が、複数の層からなることが好ましい。これにより、ガラスを主成分とする絶縁層は孔のない絶縁層を形成することができ、孔によって絶縁性が低下することをさらに防止することができる。
(Claim 3)
In the gas sensor of the present invention, it is preferable that the insulating layer is composed of a plurality of layers. Thereby, the insulating layer mainly composed of glass can form an insulating layer without a hole, and can further prevent the insulating property from being lowered by the hole.
(請求項4)
そして、本発明のガスセンサは、前記複数の層のうち、前記リード部に隣接する第1絶縁層が結晶化ガラスで形成されていることが好ましい。リード部に隣接する第1絶縁層が結晶化ガラスで形成されることで、例えば、第1絶縁層に隣接する第2絶縁層を形成する際に、第1絶縁層が軟化されにくく、第1絶縁層の厚みを保ちつつ、第2絶縁層を形成することができる。よって、膜厚が厚い絶縁層を設けることができ、さらに絶縁性の低下を防止することができる。
(Claim 4)
And the gas sensor of this invention WHEREIN: It is preferable that the 1st insulating layer adjacent to the said lead part is formed with crystallized glass among these layers. Since the first insulating layer adjacent to the lead portion is formed of crystallized glass, for example, when forming the second insulating layer adjacent to the first insulating layer, the first insulating layer is not easily softened, and the first The second insulating layer can be formed while maintaining the thickness of the insulating layer. Accordingly, a thick insulating layer can be provided, and further, a decrease in insulation can be prevented.
(請求項5)
通常、ガスセンサ素子には径方向外側に突出する鍔部が形成されており、この鍔部はパッキンを介在させてガスセンサ素子を主体金具やインシュレータに固定する役目を果たしている。このパッキンよりも後端側において、ガスセンサ素子と主体金具やインシュレータとの間の間隙に、粉末層の一部が入り込む可能性がある。すると、上述したように、粉末層が吸湿することで、主体金具とガスセンサ素子の検知電極やリード部との間の電気抵抗が低下してしまう。このため、これらの間で電流が流れ、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたす可能性がある。
(Claim 5)
Usually, the gas sensor element is formed with a flange portion protruding radially outward, and this flange portion serves to fix the gas sensor element to the metal shell or the insulator with a packing interposed therebetween. A part of the powder layer may enter a gap between the gas sensor element and the metal shell or the insulator on the rear end side of the packing. Then, as described above, the powder layer absorbs moisture, so that the electrical resistance between the metal shell and the detection electrode or lead portion of the gas sensor element is lowered. For this reason, current flows between them, and noise is generated in the output, which may hinder accurate gas concentration detection.
そこで、本発明のガスセンサは、絶縁層が少なくともパッキンと鍔部との間まで延在していることが好ましい。絶縁層が少なくともパッキンと鍔部との間まで延在していることで、上記間隙に入り込んだ粉末層が吸湿したとしても、主体金具と検知電極やリード部との間の短絡を防止することができる。 Therefore, in the gas sensor of the present invention, it is preferable that the insulating layer extends at least between the packing and the flange. The insulating layer extends at least between the packing and the flange, so that even if the powder layer that has entered the gap absorbs moisture, a short circuit between the metal shell and the detection electrode or lead is prevented. Can do.
一方、上記パッキンよりも先端側にもガスセンサ素子と主体金具との間に隙間が形成される。ガスセンサが排気管等に取り付けられて使用されたときに、このガスセンサ素子と主体金具との隙間は、被測定ガスに晒されることとなり、被測定ガス中のカーボン等がその隙間に入り込み、ガス検出素子及び主体金具の表面に付着することとなる。すると、ガス検出素子に設けられた検知電極やリード部上にも力一ボンが付着する。すると、主体金具とガスセンサ素子の検地電極やリード部との間の電気抵抗が低下してしまい、これらの間で電流が流れ、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたす可能性がある。 On the other hand, a gap is also formed between the gas sensor element and the metal shell on the tip side of the packing. When the gas sensor is attached to an exhaust pipe or the like, the gap between the gas sensor element and the metal shell is exposed to the gas to be measured, and carbon in the gas to be measured enters the gap to detect the gas. It will adhere to the surface of the element and the metal shell. As a result, a bonbon adheres to the detection electrodes and lead portions provided in the gas detection element. Then, the electrical resistance between the metal shell and the detection electrode and lead part of the gas sensor element decreases, current flows between them, and noise is generated in the output, which may hinder accurate gas concentration detection. There is sex.
(請求項6)
そこで、本発明のガスセンサは、前記ガスセンサ素子が、前記検知電極の少なくとも一部を覆うと共に、前記絶縁層の少なくとも先端部と重なる多孔質の保護層を有することが好ましい。ガスセンサの検知電極の外周面には、被測定ガス中のPb等の被毒物質等によるガスセンサの検出精度の低下を抑制する保護層が設けられている。そこで、この保護層と絶縁層の先端側とを重ねる(つまり、ガスセンサ素子のパッキンよりも先端側を保護層と絶縁層で覆う)ことで、パッキンよりも先端側で、且つ主体金具とガスセンサ素子との隙間にカーボン等が入り込み、主体金具やガスセンサ素子にカーボン等が付着しても、保護層または絶縁層によって主体金具と検知電極やリード部との間で電流が流れ、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたすことを効果的に防止できる。
(Claim 6)
Therefore, in the gas sensor of the present invention, it is preferable that the gas sensor element has a porous protective layer that covers at least a part of the detection electrode and overlaps at least the tip of the insulating layer. A protective layer is provided on the outer peripheral surface of the detection electrode of the gas sensor to suppress a decrease in detection accuracy of the gas sensor due to poisonous substances such as Pb in the measurement gas. Therefore, the protective layer and the tip side of the insulating layer are overlapped (that is, the tip side of the gas sensor element is covered with the protective layer and the insulating layer), so that the metal shell and the gas sensor element are located on the tip side of the packing. Even if carbon enters the gap between the main metal fitting and the gas sensor element, current flows between the main metal fitting and the detection electrode or lead by the protective layer or insulating layer, generating noise in the output. Thus, it is possible to effectively prevent troubles in accurate gas concentration detection.
(請求項7)
さらに、本発明のガスセンサは、保護層が絶縁層の先端部を覆うことが好ましい。絶縁層が保護層を覆うようにすると、多孔質の保護層の気孔に絶縁層がうまく入り込まず、絶縁できない可能性がある。それに対して、本発明のように保護層が絶縁層の先端部を覆うことで、絶縁を保つことができる。
(Claim 7)
Furthermore, in the gas sensor of the present invention, it is preferable that the protective layer covers the tip of the insulating layer. If the insulating layer covers the protective layer, the insulating layer may not enter well into the pores of the porous protective layer, and insulation may not be possible. On the other hand, insulation can be maintained because a protective layer covers the front-end | tip part of an insulating layer like this invention.
(請求項8)
さらに、絶縁層は、前記主体金具の先端よりも先端側まで延在していることが好ましい。これにより、主体金具やガスセンサ素子にカーボン等が付着しても、絶縁層によって主体金具と検知電極やリード部との間で電流が流れ、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたすことを効果的に防止できる。
(Claim 8)
Furthermore, it is preferable that the insulating layer extends to the tip side from the tip of the metal shell. As a result, even if carbon or the like adheres to the metal shell or gas sensor element, current flows between the metal shell and the detection electrode or lead due to the insulating layer, generating noise in the output, which hinders accurate gas concentration detection. Can be effectively prevented.
(請求項9、10)
本発明のガスセンサの製造方法は、ガラスペーストを塗布する塗布工程と、前記ガラスペーストを乾燥する乾燥工程と、前記ガラスペーストを熱処理する熱処理工程とによって、前記絶縁層を形成することを特徴とする。また、本発明のガスセンサの製造方法の一態様は、前記塗布工程と前記乾燥工程と前記熱処理工程とからなる一連の工程を、少なくとも2回繰り返して行い、前記絶縁層を形成することを特徴とする。このような工程で絶縁層を形成することにより、充分な厚みを有し、絶縁性と耐熱性を備える絶縁層を形成することができる。
(Claims 9 and 10)
The method of manufacturing a gas sensor according to the present invention is characterized in that the insulating layer is formed by an application step of applying a glass paste, a drying step of drying the glass paste, and a heat treatment step of heat-treating the glass paste. . Moreover, one aspect of the method for producing a gas sensor of the present invention is characterized in that the insulating layer is formed by repeating a series of steps including the coating step, the drying step, and the heat treatment step at least twice. To do. By forming the insulating layer in such a process, an insulating layer having a sufficient thickness and having insulating properties and heat resistance can be formed.
本発明によれば、水分のある環境において粉末層が吸湿した場合でも、必要な絶縁性を確保することのできるガスセンサ及びガスセンサの製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even when a powder layer absorbs moisture in an environment with moisture, the gas sensor which can ensure required insulation, and the manufacturing method of a gas sensor can be provided.
以下、本発明のガスセンサを酸素センサに適用した実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明のガスセンサの一実施形態に係る酸素センサの概略構成を示すものである。 Hereinafter, an embodiment in which a gas sensor of the present invention is applied to an oxygen sensor will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration of an oxygen sensor according to an embodiment of the gas sensor of the present invention.
同図に示すように、酸素センサ1は、ガス検出素子としての検出素子2と、ヒータ3、主体金具5等とを備えている。このうち、ヒータ3は、棒状のセラミックヒータからなり、検出素子2の内部に挿入されている。 As shown in the figure, the oxygen sensor 1 includes a detection element 2 as a gas detection element, a heater 3, a metal shell 5, and the like. Among these, the heater 3 is a rod-shaped ceramic heater and is inserted into the detection element 2.
主体金具5は、その外周面に酸素センサ1を排気管等の取付部に取付けるためのねじ部51と、排気管の取付部への取付時に取付金具をあてがう突出部53を有している。なお、突出部53の先端面には、ガスケット7が設けられている。 The metal shell 5 has a threaded portion 51 for attaching the oxygen sensor 1 to an attachment portion such as an exhaust pipe on its outer peripheral surface, and a protruding portion 53 to which the attachment fitting is attached when the attachment is made to the attachment portion of the exhaust pipe. A gasket 7 is provided on the tip surface of the protruding portion 53.
他方、主体金具5は、その内周面に、先端側に向かって縮径する金具側段部54を有している。さらに、主体金具5と検出素子2との間には、絶縁性セラミックから形成されたインシュレータ8、9が設けられており、これらのインシュレータ8、9の間に、圧縮された状態で滑石(タルク)等の粉末層10が配置されている。この粉末層10によって、検出素子2と主体金具5との間が封止され、気密性が確保されるようになっている。また、インシュレータ9の先端と金具側段部54との間にはパッキン55が設けられ、インシュレータ8の後端には、環状リング57が設けられている。 On the other hand, the metal shell 5 has a metal-side stepped portion 54 whose diameter decreases toward the tip side on the inner peripheral surface thereof. Furthermore, insulators 8 and 9 made of an insulating ceramic are provided between the metal shell 5 and the detection element 2, and the talc (talc) is compressed between the insulators 8 and 9. ) Etc. are disposed. The powder layer 10 seals between the detection element 2 and the metal shell 5 so as to ensure airtightness. Further, a packing 55 is provided between the front end of the insulator 9 and the metal side step 54, and an annular ring 57 is provided at the rear end of the insulator 8.
また、主体金具5の先端側には、検出素子2の検知部21を覆うプロテクタ11が取り付けられている。このプロテクタ11には、被測定ガスを導入するための複数のガス透過口12が設けられている。 A protector 11 that covers the detection unit 21 of the detection element 2 is attached to the distal end side of the metal shell 5. The protector 11 is provided with a plurality of gas permeation ports 12 for introducing a gas to be measured.
そして、主体金具5の後端側には、SUS304L製の内筒部材23が取付けられている。内筒部材23は基準ガスをガス検出検出素子内部に取り込むガス導入孔25を有している An inner cylinder member 23 made of SUS304L is attached to the rear end side of the metal shell 5. The inner cylinder member 23 has a gas introduction hole 25 for taking the reference gas into the gas detection detection element.
また、内筒部材23の外側には、ガス導入孔25に対応する位置に複数の補助ガス導入孔27が設けられた外筒部材26が設けられている。そしてこのガス導入孔25と補助ガス導入孔27との間には、ガス導入孔25を覆うフィルタ13が形成されている。このフィルタ13は、外筒部材26の補助ガス導入孔27の先端側及び後端側を加締めることで固定されている。他方、内筒部材23の内側には、セラミックセパレータ15が形成されている。このセラミックセパレータ15は、外側電極30と接続する外側電極接続金具19、内側電極60と接続する内側電極接続金具18及びヒータ3と接続するヒータ接続端子28を、それぞれに対応するリード線16、17、29と接続するようにして内装する。また、リード線16、17、29は、外筒部材26の後端側に固定されたゴム製のグロメット14を貫通して外部と接続する。 Further, an outer cylinder member 26 having a plurality of auxiliary gas introduction holes 27 provided at positions corresponding to the gas introduction holes 25 is provided outside the inner cylinder member 23. A filter 13 that covers the gas introduction hole 25 is formed between the gas introduction hole 25 and the auxiliary gas introduction hole 27. The filter 13 is fixed by caulking the front end side and the rear end side of the auxiliary gas introduction hole 27 of the outer cylinder member 26. On the other hand, a ceramic separator 15 is formed inside the inner cylinder member 23. The ceramic separator 15 includes lead wires 16 and 17 corresponding to an outer electrode connecting bracket 19 connected to the outer electrode 30, an inner electrode connecting bracket 18 connected to the inner electrode 60, and a heater connecting terminal 28 connected to the heater 3, respectively. , 29 so as to be connected. The lead wires 16, 17, and 29 penetrate the rubber grommet 14 fixed to the rear end side of the outer cylinder member 26 and are connected to the outside.
上記酸素センサ1は、ねじ部51より先端側(図1において下側)が排気管内等に位置し、それより後端側(図1において上側)が外部の大気中に位置した状態で使用される。検出素子2は、その内側に配置されたヒータ3で加熱され活性化される。そして、基準ガスとしての大気は、補助ガス導入孔27、フィルタ13、ガス導入孔25の順に通過して、検出素子2の内側に導入される。一方、検出素子2の外側にはプロテクタ11のガス透過口12を介して排気ガスが導入される。 The oxygen sensor 1 is used in a state where the front end side (lower side in FIG. 1) of the screw portion 51 is located in the exhaust pipe and the rear end side (upper side in FIG. 1) is located in the outside atmosphere. The The detection element 2 is heated and activated by a heater 3 disposed inside thereof. The atmosphere as the reference gas passes through the auxiliary gas introduction hole 27, the filter 13, and the gas introduction hole 25 in this order, and is introduced into the detection element 2. On the other hand, exhaust gas is introduced to the outside of the detection element 2 through the gas permeation port 12 of the protector 11.
これによって、検出素子2には、その内外面の酸素濃度差に応じて酸素濃淡電池起電力が生じる。そして、この酸素濃淡電池起電力を、排気ガス中の酸素濃度の検出信号として、内側電極60と内側電極接続金具18とリード線17、及び外側電極30と外側電極接続金具19とリード線16を介して取り出すことにより、排気ガス中の酸素濃度を検出する。 As a result, an oxygen concentration cell electromotive force is generated in the detection element 2 in accordance with the difference in oxygen concentration between the inner and outer surfaces. Then, the oxygen concentration cell electromotive force is used as a detection signal of the oxygen concentration in the exhaust gas, and the inner electrode 60, the inner electrode connection fitting 18, the lead wire 17, and the outer electrode 30, the outer electrode connection fitting 19, and the lead wire 16 are sent. The oxygen concentration in the exhaust gas is detected.
次に、検出素子2について、図2〜4を参照しつつ説明する。
検出素子2は、図2に示すように、ジルコニア等を主体とする酸素イオン伝導性固体電解質部材からなる先端が閉じた有底筒状の素子本体(基体)20を具備している。そして、素子本体20の後端側(図中上側)には、径方向外側に突出する鍔部22が形成されている。この鍔部22は、図1に示すように、パッキン58を介してインシュレータ9に固定されている。なお、図2においては、検出素子2の断面の積層構成を説明するため、図1の場合と縦横の比率を変えて模式的にその構成を示してある。
Next, the detection element 2 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 2, the detection element 2 includes a bottomed cylindrical element body (base body) 20 made of an oxygen ion conductive solid electrolyte member mainly composed of zirconia or the like and having a closed tip. A flange 22 that protrudes radially outward is formed on the rear end side (upper side in the drawing) of the element body 20. As shown in FIG. 1, the flange portion 22 is fixed to the insulator 9 via a packing 58. In FIG. 2, in order to explain the laminated structure of the cross section of the detection element 2, the structure is schematically shown by changing the aspect ratio from that in FIG. 1.
また、素子本体20の内側には、例えばPtあるいはPt合金により多孔質に形成された内側電極60が設けられている。他方、素子本体20の外側には、例えばPtあるいはPt合金により多孔質に形成された外側電極30が形成されている。検知電極31の外側には、スピネル等のセラミック溶射層からなる保護層50が形成されている。 Further, inside the element main body 20, for example, an inner electrode 60 formed in a porous shape by Pt or a Pt alloy is provided. On the other hand, on the outside of the element body 20, for example, an outer electrode 30 is formed which is formed porous by Pt or a Pt alloy. A protective layer 50 made of a ceramic sprayed layer such as spinel is formed outside the detection electrode 31.
この外側電極30は、図3に示すように、検知部21の略断面を覆うように形成された検知電極31と、この検知電極31と電気的に接続され、後端側に電極を引き出すためのリード部32と、リング部33とから構成されている。そして、図2及び図4に示すように、検知電極31の後端側部分から、リード部32のリング端子部33手前側までの領域にかけて、その外側を覆うように、全周に渡って絶縁層40が設けられている。 As shown in FIG. 3, the outer electrode 30 is electrically connected to the detection electrode 31 formed so as to cover a substantially cross section of the detection unit 21, and the electrode is drawn out to the rear end side. The lead portion 32 and the ring portion 33 are configured. As shown in FIGS. 2 and 4, insulation is performed over the entire circumference so as to cover the outer side from the rear end side portion of the detection electrode 31 to the front side of the ring terminal portion 33 of the lead portion 32. A layer 40 is provided.
次に、本発明の主要部である絶縁層40について説明する。絶縁層40は、粉末層10とリード部32との間に設けられている。これにより、外側電極30(主にリード部32)と粉末層10とが直接接触することのない構造とされている。これによって、粉末層10が吸湿した場合でも、この粉末層10と接触するリード部32が、絶縁層40で覆われ、リード部32と粉末層10とが直接接触することのない構造とされているので、外側電極30と主体金具5との間の必要な絶縁性を確保することができる。よって、主体金具とリード部との間で短絡が防止され、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたすことを防止できる。 Next, the insulating layer 40 which is a main part of the present invention will be described. The insulating layer 40 is provided between the powder layer 10 and the lead portion 32. Thus, the outer electrode 30 (mainly the lead portion 32) and the powder layer 10 are not in direct contact. As a result, even when the powder layer 10 absorbs moisture, the lead portion 32 in contact with the powder layer 10 is covered with the insulating layer 40, and the lead portion 32 and the powder layer 10 are not in direct contact with each other. Therefore, necessary insulation between the outer electrode 30 and the metal shell 5 can be ensured. Therefore, it is possible to prevent a short circuit between the metal shell and the lead portion, and to prevent noise from being generated in the output and hindering accurate gas concentration detection.
この絶縁層40は、充分な絶縁性と耐熱性を有する必要がある。このため、絶縁層40の材質は、ガラスを主成分とするものが好ましい。このガラスとしては、マイグレーションによる絶縁性低下を引き起こすアルカリ金属元素の含有量がより少ないものが好ましい。 The insulating layer 40 needs to have sufficient insulation and heat resistance. For this reason, the material of the insulating layer 40 is preferably composed mainly of glass. As this glass, a glass having a smaller content of an alkali metal element that causes a decrease in insulation due to migration is preferable.
さらに、図2に示すように、絶縁層40は複数の層から形成されている。具体的には、第1ガラス層411と第2ガラス層412から形成されており、第1ガラス層411と第2ガラス層は同成分である。このように、絶縁層40を第1ガラス層411、第2ガラス層412の複数の層で形成することで、ガラスを主成分とする絶縁層40は孔のない絶縁層40とすることができ、孔によって絶縁性が低下することを防止することができる。また、形成後に結晶化され軟化温度が上昇しているため、第2ガラス層412を形成する際には、軟化しにくくなっている。このため、第1ガラス層411と同材料で第2ガラス層412を形成することができ、膜厚が厚い絶縁層40を設けることができ、さらに絶縁性の低下を防止することができる。 Furthermore, as shown in FIG. 2, the insulating layer 40 is formed of a plurality of layers. Specifically, the first glass layer 411 and the second glass layer 412 are formed, and the first glass layer 411 and the second glass layer are the same component. In this way, by forming the insulating layer 40 with a plurality of layers of the first glass layer 411 and the second glass layer 412, the insulating layer 40 mainly composed of glass can be the insulating layer 40 without holes. It is possible to prevent the insulating properties from being lowered due to the holes. Moreover, since it crystallizes after formation and the softening temperature rises, when forming the 2nd glass layer 412, it becomes difficult to soften. For this reason, the 2nd glass layer 412 can be formed with the same material as the 1st glass layer 411, the insulating layer 40 with a thick film thickness can be provided, and also the fall of insulation can be prevented.
さらに、この絶縁層40は、パッキン58と鍔部22との間まで延在している。これにより、パッキン58よりも後端側に形成される間隙まで粉末層10の一部が入り込んでいても、吸湿による主体金具5と検地電極31やリード部32との間の短絡を防止できる。 Further, the insulating layer 40 extends between the packing 58 and the flange portion 22. Thereby, even if a part of the powder layer 10 enters the gap formed on the rear end side from the packing 58, it is possible to prevent a short circuit between the metal shell 5 and the ground detection electrode 31 or the lead portion 32 due to moisture absorption.
そして、この絶縁層40は、主体金具の5の先端よりも先端側まで延在している。ガスセンサ1が排気管等に取り付けられて使用されたときに、パッキン58よりも先端側に形成される検出素子2と主体金具5との隙間に、被測定ガス中のカーボン等がその隙間に入り込み、ガス検出素子及び主体金具の表面に付着しても、絶縁層40が、付着したカーボンに起因する主体金具5と検知電極31やリード部32との間での短絡を効果的に防止する。
さらに、この絶縁層40は、図4に示すように、検知電極31の後端まで被覆されている。この結果、リード部間の短絡が確実に防止できる。
The insulating layer 40 extends to the tip side from the tip of the metal shell 5. When the gas sensor 1 is used by being attached to an exhaust pipe or the like, carbon or the like in the gas to be measured enters the gap between the detection element 2 and the metal shell 5 formed on the tip side of the packing 58. Even if it adheres to the surfaces of the gas detection element and the metal shell, the insulating layer 40 effectively prevents a short circuit between the metal shell 5 and the detection electrode 31 or the lead 32 due to the attached carbon.
Further, the insulating layer 40 is covered to the rear end of the detection electrode 31 as shown in FIG. As a result, a short circuit between the lead portions can be reliably prevented.
さらに、図2に示すように、絶縁層40の先端側が保護層50に覆われている。これにより、ガスセンサ素子2のパッキン58よりも先端側は、保護層50及び絶縁層40のいずれか一方で被覆されている。よって、パッキン58よりも先端側で、且つ主体金具5とガスセンサ素子2との隙間にカーボン等が入り込み、主体金具5やガスセンサ素子2にカーボン等が付着しても、保護層50または絶縁層40によって主体金具2と検知電極31やリード部32との間で電流が流れ、出力にノイズが発生し、正確なガス濃度検知に支障をきたすことを効果的に防止できる。
特に、保護層50が絶縁層40の先端部を覆うので、多孔質の保護層50と絶縁層40とで絶縁性を確保することができる。
Furthermore, as shown in FIG. 2, the tip side of the insulating layer 40 is covered with a protective layer 50. As a result, the tip side of the gas sensor element 2 from the packing 58 is covered with either the protective layer 50 or the insulating layer 40. Therefore, even if carbon or the like enters the gap between the metal shell 5 and the gas sensor element 2 on the tip side of the packing 58 and the carbon or the like adheres to the metal shell 5 or the gas sensor element 2, the protective layer 50 or the insulating layer 40. As a result, it is possible to effectively prevent current from flowing between the metal shell 2 and the detection electrode 31 or the lead portion 32, generating noise in the output, and hindering accurate gas concentration detection.
In particular, since the protective layer 50 covers the tip of the insulating layer 40, the insulating properties can be ensured by the porous protective layer 50 and the insulating layer 40.
次に、検出素子2の製造方法について、図5を参照して説明する。同図に示すように、まずジルコニア等を主体とする酸素イオン伝導性固体電解質部材等からなる基体(素子本体20)を焼成する(101)。 Next, a method for manufacturing the detection element 2 will be described with reference to FIG. As shown in the figure, first, a substrate (element body 20) made of an oxygen ion conductive solid electrolyte member mainly composed of zirconia or the like is fired (101).
次に、基体の外側部分に、無電解メッキにより白金電極(外側電極30)を形成し(102)、加熱して白金電極を緻密化処理する(103)。加熱は、例えば大気雰囲気で温度1230℃で行う。 Next, a platinum electrode (outer electrode 30) is formed on the outer portion of the substrate by electroless plating (102), and the platinum electrode is densified by heating (103). The heating is performed at a temperature of 1230 ° C. in an air atmosphere, for example.
次に、基体外側の絶縁層40を形成する部分に、1度目のガラスペースト塗布を行う(104)。ガラスペースト塗布には、例えば、素子本体のガラスペースト塗布部以外をテフロン(登録商標)テープ等でマスキングし、ガラスペースト中に浸漬するディップ法を使用することができる。この場合、ガラスペーストは、例えば、粉末ガラスが10〜15g、純水が10ml、バインダが0.1〜1.0gの割合とする。また、ガラスペーストを回転するローラー上に流し込みながら、素子本体をローラーと反対方向に回転させながらローラーに当接させてガラスペーストを塗布するローラー法や、素子本体をマスク治具に装着し、素子本体を回転させながらガラスペーストをスプレー塗布するスプレー法等も使用することができる。 Next, the first glass paste is applied to the portion where the insulating layer 40 outside the substrate is to be formed (104). For the glass paste application, for example, a dipping method in which the part other than the glass paste application part of the element body is masked with a Teflon (registered trademark) tape and immersed in the glass paste can be used. In this case, for example, the glass paste has a ratio of 10 to 15 g of powdered glass, 10 ml of pure water, and 0.1 to 1.0 g of binder. Also, while pouring the glass paste onto the rotating roller, rotate the element body in the opposite direction to the roller while abutting the roller to apply the glass paste, or attach the element body to the mask jig, A spraying method in which a glass paste is sprayed while rotating the main body can also be used.
次に、ヒートガン等を用いてガラスペーストを乾燥した後(105)、マッフル炉等を用いて熱処理を行って結晶化させ、第1ガラス層411を形成する(106)。熱処理の条件は、例えば、大気雰囲気で温度1170℃、時間20分である。 Next, after drying the glass paste using a heat gun or the like (105), the glass paste is crystallized by heat treatment using a muffle furnace or the like to form the first glass layer 411 (106). The heat treatment conditions are, for example, an air atmosphere at a temperature of 1170 ° C. and a time of 20 minutes.
次に、上記したガラス層の上に、1度目と同様にして、2度目のガラスペースト塗布を行い(107)、ガラスペーストを乾燥した後(108)、熱処理(例えば、大気雰囲気下で、温度1170℃)を行い、第2ガラス層412を形成する(109)。第1ガラス層411は結晶化されているので、1170℃で熱処理を行っても軟化しにくい。このように、ガラスペーストを2度塗りして絶縁層40を形成することにより、孔のない絶縁層40を形成することができ、孔によって絶縁耐性が低下することを防止することができる。このような工程によって形成されるガラス層の厚さは、40〜300μm程度である。厚さが40μm未満になると、センサ使用時に充分な絶縁性を得られなくなる可能性が高まる。 Next, a second glass paste application is performed on the glass layer as described above (107), and the glass paste is dried (108), followed by heat treatment (for example, in an air atmosphere at a temperature 1170 ° C.) to form the second glass layer 412 (109). Since the first glass layer 411 is crystallized, it is difficult to soften even if heat treatment is performed at 1170 ° C. Thus, by applying the glass paste twice to form the insulating layer 40, the insulating layer 40 without holes can be formed, and the insulation resistance can be prevented from being lowered by the holes. The glass layer formed by such a process has a thickness of about 40 to 300 μm. When the thickness is less than 40 μm, there is a high possibility that sufficient insulation cannot be obtained when the sensor is used.
次に、検知電極31の外側に、プラズマ溶射等により保護層50を形成する(110)。この保護層50は、スピネル等のセラミックス多孔質層からなり、厚さは100〜180μm程度である。 Next, the protective layer 50 is formed on the outside of the detection electrode 31 by plasma spraying or the like (110). This protective layer 50 consists of ceramic porous layers, such as a spinel, and thickness is about 100-180 micrometers.
次に、無電解メッキにより白金電極(内側電極60)を形成し(111)、加熱して白金電極を緻密化処理する(103)。緻密化処理の条件は、例えば、水素等の還元雰囲気で温度700℃である。 Next, a platinum electrode (inner electrode 60) is formed by electroless plating (111), and the platinum electrode is densified by heating (103). The conditions for the densification treatment are, for example, a temperature of 700 ° C. in a reducing atmosphere such as hydrogen.
そして、内部電極60を形成した検出素子2は公知の方法で主体金具5にパッキン58及びインシュレータ9を介して保持され、粉末層10、インシュレータ8、環状リング57の順で内装し、内筒部材23の先端部を主体金具5の後端部で加締めるその後、外筒部材26、フィルタ13、グロメット14等を装着し、酸素センサ1が完成する。 The detection element 2 on which the internal electrode 60 is formed is held by the metal shell 5 via the packing 58 and the insulator 9 by a known method, and is internally provided in the order of the powder layer 10, the insulator 8, and the annular ring 57. After that, the outer cylinder member 26, the filter 13, the grommet 14 and the like are mounted, and the oxygen sensor 1 is completed.
次に、上記の製造工程によって形成した絶縁層40について水中絶縁試験を行った。すなわち、素子本体20に、外側電極30と絶縁層40とを形成した状態の素子本体20を、図6に示すように、市水70中に浸漬し、絶縁抵抗計71で絶縁抵抗を測定して水中絶縁試験を行った。なお、素子本体20の後端側(図中下側)の絶縁層40のない部分については、シリコン製絶縁テープ72を巻いて絶縁した。水中絶縁試験は、直流500Vを印加し、10秒間充電後の絶縁抵抗を測定することによって行った。この結果、上記の製造工程によって形成した絶縁層40については、絶縁抵抗が5000MΩ程度であった。 Next, the underwater insulation test was done about the insulating layer 40 formed by said manufacturing process. That is, the element body 20 in a state where the outer electrode 30 and the insulating layer 40 are formed on the element body 20 is immersed in city water 70 as shown in FIG. Underwater insulation test was conducted. Note that a portion without the insulating layer 40 on the rear end side (lower side in the figure) of the element body 20 was insulated by winding a silicon insulating tape 72. The underwater insulation test was performed by applying DC 500V and measuring the insulation resistance after charging for 10 seconds. As a result, the insulation resistance of the insulating layer 40 formed by the above manufacturing process was about 5000 MΩ.
実際の使用に際しては、絶縁層40の絶縁抵抗は、15MΩ程度あれば充分であり、最低5MΩ程度あれば、流れる電流を1μA以下に抑制できるので、ノイズの発生を抑制することができる。したがって、上記の測定方法で形成された絶縁層40の絶縁抵抗は、5MΩ以上とすることが好ましく、15MΩ以上とすることが更に好ましい。 In actual use, the insulation resistance of the insulating layer 40 is sufficient if it is about 15 MΩ, and if it is about 5 MΩ at least, the flowing current can be suppressed to 1 μA or less, so that the generation of noise can be suppressed. Therefore, the insulation resistance of the insulating layer 40 formed by the above measuring method is preferably 5 MΩ or more, and more preferably 15 MΩ or more.
実際に、第1の実施例として、SiO2を45質量%、Al2O3を16質量%、BaOを15質量%、ZnOを10質量%、CaOを9質量%、Na2Oを0.5質量%含む結晶化ガラスによって、厚さ70μmの絶縁層40を形成した酸素センサ1を作成した。そして、この酸素センサ1を温度60℃、湿度95%の環境下で60時間加湿し、この後、絶縁抵抗を測定したところ、加湿直後においても、約100MΩ以上の絶縁抵抗を得ることができた。一方、比較例として、絶縁層40を具備しない酸素センサ1によって同様な測定を行ったところ、絶縁抵抗は約0.01MΩ以下であった。 Actually, as a first example, SiO 2 is 45 mass%, Al 2 O 3 is 16 mass%, BaO is 15 mass%, ZnO is 10 mass%, CaO is 9 mass%, and Na 2 O is 0.1 mass%. The oxygen sensor 1 in which the insulating layer 40 having a thickness of 70 μm was formed using crystallized glass containing 5% by mass was prepared. The oxygen sensor 1 was humidified for 60 hours in an environment of a temperature of 60 ° C. and a humidity of 95%, and then the insulation resistance was measured. As a result, an insulation resistance of about 100 MΩ or more could be obtained immediately after humidification. . On the other hand, as a comparative example, when the same measurement was performed with the oxygen sensor 1 not including the insulating layer 40, the insulation resistance was about 0.01 MΩ or less.
また、同様に、第2の実施例として、SiO2を29質量%、BaOを54質量%、CaOを4質量%、B2O3を3質量%、Na2Oを0.5質量%含む非晶ガラスによって、厚さ70μmの絶縁層40を形成した酸素センサ1を作成した。そして、この酸素センサ1を温度60℃、湿度95%の環境下で60時間加湿し、この後、絶縁抵抗を測定したところ、加湿直後においても、約200MΩ以上の絶縁抵抗を得ることができた。一方、比較例として、絶縁層40を具備しない酸素センサ1によって同様な測定を行ったところ、絶縁抵抗は約0.01MΩ以下であった。 Similarly, as a second embodiment, 29 mass% of SiO 2 , 54 mass% of BaO, 4 mass% of CaO, 3 mass% of B 2 O 3 and 0.5 mass% of Na 2 O are included. The oxygen sensor 1 in which the insulating layer 40 having a thickness of 70 μm was formed using amorphous glass was produced. The oxygen sensor 1 was humidified for 60 hours in an environment of a temperature of 60 ° C. and a humidity of 95%, and then the insulation resistance was measured. As a result, an insulation resistance of about 200 MΩ or more could be obtained immediately after humidification. . On the other hand, as a comparative example, when the same measurement was performed with the oxygen sensor 1 not including the insulating layer 40, the insulation resistance was about 0.01 MΩ or less.
また、同様に、第3の実施例として、SiO2を32質量%、Al2O3を16質量%、CaOを19質量%、ZnOを25質量%、TiO2を10質量%、Na2Oを0.1質量%、K2Oを0.04質量%含む結晶化ガラスによって、厚さ70μmの絶縁層40を形成した酸素センサ1を作成した。そして、この酸素センサ1を温度60℃、湿度95%の環境下で60時間加湿し、この後、絶縁抵抗を測定したところ、加湿直後においても、約100MΩ以上の絶縁抵抗を得ることができた。一方、比較例として、絶縁層40を具備しない酸素センサ1によって同様な測定を行ったところ、絶縁抵抗は約0.01MΩ以下であった。 Similarly, as a third embodiment, SiO 2 is 32 mass%, Al 2 O 3 is 16 mass%, CaO is 19 mass%, ZnO is 25 mass%, TiO 2 is 10 mass%, Na 2 O. The oxygen sensor 1 in which the insulating layer 40 having a thickness of 70 μm was formed from crystallized glass containing 0.1% by mass and 0.04% by mass of K 2 O was prepared. The oxygen sensor 1 was humidified for 60 hours in an environment of a temperature of 60 ° C. and a humidity of 95%, and then the insulation resistance was measured. As a result, an insulation resistance of about 100 MΩ or more could be obtained even immediately after humidification. . On the other hand, as a comparative example, when the same measurement was performed with the oxygen sensor 1 that does not include the insulating layer 40, the insulation resistance was about 0.01 MΩ or less.
以上のとおり、上記の各実施例では、粉末層10が吸湿した場合でも、従来の酸素センサ1に比べて1000倍以上の絶縁抵抗を確保することができ、ノイズの発生を抑制するのに充分な絶縁性を確保することができた。 As described above, in each of the above embodiments, even when the powder layer 10 absorbs moisture, it is possible to ensure an insulation resistance of 1000 times or more compared to the conventional oxygen sensor 1 and to suppress the generation of noise. It was possible to secure a good insulation.
なお、絶縁層40は、上述した材質のものに限らず、絶縁抵抗が好ましくは5MΩ以上、更に好ましくは15MΩ以上とすることができるものであれば、どのような材質のものから形成しても良い。また、上記した酸素センサ1に限らず、他の種類のガスを検知するガスセンサにも同様にして適用することができる。 The insulating layer 40 is not limited to the above-described material, and may be formed of any material as long as the insulation resistance is preferably 5 MΩ or more, more preferably 15 MΩ or more. good. Further, the present invention is not limited to the oxygen sensor 1 described above, and can be similarly applied to gas sensors that detect other types of gases.
また、上記第1ガラス層411及び第2ガラス層412の形成方法としては、本実施例の方法を用い、1度目のガラスペースト塗布と2度目のガラスペースト塗布のガラス成分を変更することで可能である。第1ガラス層が結晶化されていない場合には、第1ガラス層用のガラスペーストよりも軟化点の低いガラスペーストを用いて、第2ガラス層を形成するのが好ましい。さらに、第1ガラス層用のガラスペーストよりも軟化点の高いガラスペーストを用いて、2度目の熱処理温度を、第1ガラス層の膜厚を維持できる範囲で、1度目の熱処理温度よりも高くすして第2ガラス層を形成することもできる。この場合、上記第1ガラス層第2ガラス層との密着性を向上させることができる。 Moreover, as a formation method of the said 1st glass layer 411 and the 2nd glass layer 412, it is possible by changing the glass component of glass paste application | coating of the 1st time and glass paste application | coating of the 2nd time using the method of a present Example. It is. When the 1st glass layer is not crystallized, it is preferable to form a 2nd glass layer using the glass paste whose softening point is lower than the glass paste for 1st glass layers. Further, using a glass paste having a softening point higher than that of the glass paste for the first glass layer, the second heat treatment temperature is higher than the first heat treatment temperature within a range in which the film thickness of the first glass layer can be maintained. Thus, the second glass layer can be formed. In this case, the adhesion with the first glass layer and the second glass layer can be improved.
1…酸素センサ、2…検出素子、3…ヒータ、5…主体金具、7…ガスケット、8、9…インシュレータ、10…粉末層、11…プロテクタ、12…ガス透過口、13…フィルタ、14…グロメット、15…セラミックセパレータ、16、17、29…リード線、18…内側電極接続金具、19…外側電極接続金具、20…素子本体、21…検知部、22…鍔部、23…内筒部材、24…段部、25…ガス導入孔、26…外筒部材、27…補助ガス導入孔、28…ヒータ接統端子、30…外側電極、31…検知電極、32…リード部、33…リング部、40…絶縁層、50…保護層、51…ねじ部、52…六角部、53…突出部、54…金具側段部、55、58…パッキン、56…加締め部、57…環状リング、60…内側電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Oxygen sensor, 2 ... Detection element, 3 ... Heater, 5 ... Metal fitting, 7 ... Gasket, 8, 9 ... Insulator, 10 ... Powder layer, 11 ... Protector, 12 ... Gas permeation port, 13 ... Filter, 14 ... Grommet, 15 ... Ceramic separator, 16, 17, 29 ... Lead wire, 18 ... Inner electrode connection fitting, 19 ... Outer electrode connection fitting, 20 ... Element body, 21 ... Detection part, 22 ... Gutter part, 23 ... Inner cylinder member , 24 ... Step part, 25 ... Gas introduction hole, 26 ... Outer cylinder member, 27 ... Auxiliary gas introduction hole, 28 ... Heater connection terminal, 30 ... Outer electrode, 31 ... Detection electrode, 32 ... Lead part, 33 ... Ring , 40 ... Insulating layer, 50 ... Protective layer, 51 ... Threaded part, 52 ... Hex part, 53 ... Projection part, 54 ... Metal side step part, 55, 58 ... Packing, 56 ... Clamping part, 57 ... Ring , 60 ... inner electrode
Claims (10)
前記ガスセンサ素子を取り囲み、該ガス検出素子の先端側が先端から突出する筒状の主体金具と、
前記ガス検出素子と前記主体金具との隙間に充填され、少なくとも前記リード部を覆う粉末層と、を備えるガスセンサにおいて、
前記粉末層と前記リード部との間に絶縁層が設けられていることを特徴とするガスセンサ。 A gas sensor element that includes a detection electrode that extends in the axial direction and is provided on the outer surface on the front end side, and a lead portion that is connected to the detection electrode and extends toward the rear end side;
A cylindrical metal shell that surrounds the gas sensor element, and the tip side of the gas detection element protrudes from the tip,
In a gas sensor comprising a powder layer filled in a gap between the gas detection element and the metal shell and covering at least the lead portion,
A gas sensor, wherein an insulating layer is provided between the powder layer and the lead portion.
前記絶縁層が、ガラスを主成分とすることを特徴とするガスセンサ。 The gas sensor according to claim 1, wherein
The gas sensor, wherein the insulating layer contains glass as a main component.
前記絶縁層が、複数の層からなることを特徴とするガスセンサ。 The gas sensor according to claim 2, wherein
The gas sensor, wherein the insulating layer is composed of a plurality of layers.
前記複数の層のうち、前記リード部に隣接する第1絶縁層は、結晶化ガラスで形成されていることを特徴とするガスセンサ。 The gas sensor according to claim 3, wherein
Of the plurality of layers, the first insulating layer adjacent to the lead portion is formed of crystallized glass.
前記ガスセンサ素子は、径方向外側に突出し、前記粉末層よりも先端側に設けられたパッキンに当接する鍔部を有し、
前記絶縁層は、少なくとも前記パッキンと前記鍔部との間まで延在していることを特徴とするガスセンサ。 The gas sensor according to any one of claims 1 to 4,
The gas sensor element protrudes radially outward, and has a flange portion that comes into contact with a packing provided on the tip side of the powder layer,
The gas sensor according to claim 1, wherein the insulating layer extends at least between the packing and the flange.
前記ガスセンサ素子は、前記検出電極の少なくとも一部を覆うと共に、前記絶縁層の少なくとも先端部と重なる多孔質の保護層を有する、
ことを特徴とするガスセンサ。 The gas sensor according to any one of claims 1 to 5,
The gas sensor element has a porous protective layer that covers at least a part of the detection electrode and overlaps at least the tip of the insulating layer.
A gas sensor characterized by that.
前記保護層は、前記絶縁層の後端部を覆うことを特徴とするガスセンサ。 The gas sensor according to claim 6, wherein
The gas sensor according to claim 1, wherein the protective layer covers a rear end portion of the insulating layer.
前記絶縁層は、前記主体金具の先端よりも先端側まで延在していることを特徴とするガスセンサ。 The gas sensor according to any one of claims 1 to 7,
The gas sensor according to claim 1, wherein the insulating layer extends to a tip side from a tip of the metal shell.
ガラスペーストを塗布する塗布工程と、
前記ガラスペーストを乾燥する乾燥工程と、
前記ガラスペーストを熱処理する熱処理工程と、
によって、前記絶縁層を形成することを特徴とするガスセンサの製造方法。 A gas sensor manufacturing method for manufacturing the gas sensor according to claim 1,
An application process of applying a glass paste;
A drying step of drying the glass paste;
A heat treatment step of heat treating the glass paste;
The insulating layer is formed by the method of manufacturing a gas sensor.
前記塗布工程と前記乾燥工程と前記熱処理工程とからなる一連の工程を、少なくとも2回繰り返して行い、前記絶縁層を形成することを特徴とするガスセンサの製造方法。
In the manufacturing method of the gas sensor according to claim 9,
A method of manufacturing a gas sensor, wherein the insulating layer is formed by repeating a series of steps including the coating step, the drying step, and the heat treatment step at least twice.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005302311A JP4605783B2 (en) | 2004-11-30 | 2005-10-17 | Gas sensor and gas sensor manufacturing method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004346331 | 2004-11-30 | ||
JP2005019610 | 2005-01-27 | ||
JP2005302311A JP4605783B2 (en) | 2004-11-30 | 2005-10-17 | Gas sensor and gas sensor manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006234790A true JP2006234790A (en) | 2006-09-07 |
JP4605783B2 JP4605783B2 (en) | 2011-01-05 |
Family
ID=37042582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005302311A Expired - Fee Related JP4605783B2 (en) | 2004-11-30 | 2005-10-17 | Gas sensor and gas sensor manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4605783B2 (en) |
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JP4605783B2 (en) | 2011-01-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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