JP2006221774A - 磁性構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1は、ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セル12を有し、前記強磁性体セル12が上面部14および下面部15の径に対して中央部16の径が大きい形状を有する磁気構造体。第2は、ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セルを有し、前記強磁性体セルが上面部あるいは下面部のいずれか一方または両方が、中央部の側面よりも隆起した形状を有する磁気構造体。第3は、ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セルを有し、前記強磁性体セルが上面部、下面部および中央部の側面が隆起した形状を有する磁気構造体。
【選択図】 図1
Description
すなわち、本発明の第1は、ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セルを有し、前記強磁性体セルが上面部および下面部の径に対して中央部の径が大きい形状を有することを特徴とする磁気構造体である。
前記強磁性体セルの磁気異方性方向が磁化方向と平行であることが好ましい。
前記強磁性体セルの軸方向および磁気異方性方向がともに磁化方向と平行であることが好ましい。
前記強磁性体セルの体積が0.001立方μm以下であることが好ましい。
前記強磁性体セルが、アルミナを含む層あるいはこの層を含む複数層に亘って設けられていることが好ましい。
まずSi基板上に下地電極層を配置し、その上にアルミニウムを配置する。その後、モールドでプレスすることによりナノホール(細孔)のパターンの開始点となる窪みを形成し、これをシュウ酸水溶液中で陽極酸化することによりナノホールを形成する。この後、リン酸水溶液中に浸すことでポアワイド処理を行う。このとき、基板上に配置するアルミニウムの代わりにアルミニウムとアルミニウム合金(例えばアルミニウムハフニウム合金や膜アルミニウムタングステン合金膜)を使用して組成、或いは組成比が基板に対して垂直方向に変調した基体を用いることで基板に垂直方向に膨らんだようなホールを形成する。また、下地電極層にTi、WやCuを用いることにより、下地層への貫通性を制御し、ホール下底部の形状をコントロールする。このようにして作製するナノホールに電着法により磁性体を埋め込むことにより磁気構造体が得られる。
実施例1
本発明の第1の実施形態の磁気構造体として、図1に本発明における磁気構造体の概略図を示す。図1(a)は磁気構造体の部分平面図、図1(b)はその部分断面図を示す。同図において、11は基板、12が強磁性体セル、13が非磁性体である。本実施形態の特徴は図2(b)に示すように、セル部分の側面中央部16の径が、端部の上面部14および下面部15の径より大きいような形状を有することである。
基準円柱磁性体に対して、中央部の径を10%増やし、体積と高さが基準円柱と等しくなるように両端部の径を減らしたセルについて計算したところ、残留磁化で0.5%、保持力で4%の増加が認められた(図5(a))。
実施例2
本発明の第2の実施形態の磁気構造体として、図3に本発明における磁気構造体の概略図を示す。図3(a)は磁気構造体の部分平面図、図3(b)はその部分断面図を示す。本実施形態の特徴は図2(c)に示すように、セル部分の上面部14および下面部15の中央が隆起した形状を有することである。第1の実施形態と異なるのは各セル部分の形状であり、その他は同様である。
実施例3
本発明の第3の実施形態の磁気構造体として、図4に本発明における磁気構造体の概略図を示す。図4(a)は磁気構造体の部分平面図、図4(b)はその部分断面図を示す。本実施形態の特徴は図2(d)に示すように、セル部分の上面部14の中央が陥没し、下面部15の中央が隆起した形状を有することである。これも第1の実施形態と異なるのは各セル部分の形状であり、その他は同様である。
12 強磁性体セル
13 非磁性体
14 上面部
15 下面部
16 中央部
Claims (11)
- ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セルを有し、前記強磁性体セルが上面部および下面部の径に対して中央部の径が大きい形状を有することを特徴とする磁気構造体。
- ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セルを有し、前記強磁性体セルが上面部あるいは下面部のいずれか一方または両方が、中央部の側面よりも隆起した形状を有することを特徴とする磁気構造体。
- ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セルを有し、前記強磁性体セルが上面部、下面部および中央部の側面が隆起した形状を有することを特徴とする磁気構造体。
- ナノ構造体の細孔内に強磁性体が充填された強磁性体セルを有し、前記強磁性体セルがアスペクト比1以上の回転楕円体の形状を有することを特徴とする磁気構造体。
- 前記強磁性体セルが分離独立して設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかの項に記載の磁気構造体。
- 前記強磁性体セルの磁気異方性方向が磁化方向と平行であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかの項に記載の磁気構造体。
- 前記強磁性体セルの軸方向および磁気異方性方向がともに磁化方向と平行であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかの項に記載の磁気構造体。
- 前記強磁性体セルに充填されている強磁性体が、Fe、CoあるいはNiの少なくとも一種の元素を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかの項に記載の磁気構造体。
- 前記強磁性体セルの体積が0.001立方μm以下であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかの項に記載の磁気構造体。
- 前記強磁性体セルが非強磁性体層に配列されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかの項に記載の磁気構造体。
- 前記強磁性体セルが、アルミナを含む層あるいはこの層を含む複数層に亘って設けられていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかの項に記載の磁気構造体。
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JP2005036794A JP2006221774A (ja) | 2005-02-14 | 2005-02-14 | 磁性構造体 |
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JP2005036794A JP2006221774A (ja) | 2005-02-14 | 2005-02-14 | 磁性構造体 |
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JP2005036794A Pending JP2006221774A (ja) | 2005-02-14 | 2005-02-14 | 磁性構造体 |
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2005
- 2005-02-14 JP JP2005036794A patent/JP2006221774A/ja active Pending
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