JP2006221680A - Glass substrate for recording medium, manufacturing method of glass substrate for recording medium, information recording medium, and information recorder - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス基板、ガラス基板の製造方法、情報記録媒体及び情報記録装置に関し、より詳細には、垂直磁気記録方式に適した記録媒体用ガラス基板、記録媒体用ガラス基板の製造方法、該記録媒体用ガラス基板を用いた情報記録媒体及び情報記録装置に関する。 The present invention relates to a glass substrate, a method for producing a glass substrate, an information recording medium, and an information recording apparatus, and more specifically, a glass substrate for a recording medium suitable for a perpendicular magnetic recording system, a method for producing a glass substrate for a recording medium, The present invention relates to an information recording medium and an information recording apparatus using a glass substrate for recording medium.
従来、磁気ディスク用基板としては、デスクトップ用コンピュータやサーバなどの据え置き型にはアルミニウム合金基板が、他方ノート型コンピュータやモバイル型コンピュータなどの携帯型にはガラス基板が一般に使用されていたが、アルミニウム合金は変形しやすく、また硬さが不十分であるため研磨後の基板表面の平滑性が十分とは言えなかった。さらに、ヘッドが機械的に磁気ディスクに接触する際、磁性膜が基板から剥離しやすいという問題もあった。そこで、変形が少なく、平滑性が良好で、かつ機械的強度の大きいガラス基板が携帯型のみならず据え置き型の機器やその他の家庭用情報機器にも今後広く使用されていくものと予測されている。 Conventionally, as a substrate for a magnetic disk, an aluminum alloy substrate is generally used for a stationary type such as a desktop computer or a server, while a glass substrate is generally used for a portable type such as a notebook computer or a mobile computer. Since the alloy is easily deformed and the hardness is insufficient, the smoothness of the substrate surface after polishing cannot be said to be sufficient. Further, when the head mechanically contacts the magnetic disk, there is a problem that the magnetic film is easily peeled off from the substrate. Therefore, it is predicted that glass substrates with little deformation, good smoothness and high mechanical strength will be widely used not only for portable devices but also for stationary devices and other household information devices in the future. Yes.
一方、磁気ディスクの記録密度の向上と記録の安定性向上のために、従来の水平磁気記録方式に替わる方式として、垂直磁気記録方式が開発されている(例えば、特許文献1参照)。垂直磁気記録方式が実用化されると、従来よりも小型の磁気ディスクで大容量のディスクが実現できるため、半導体メモリに対抗するものとして、従来の1.8インチ型や1インチ型よりもさらに小型の0.85インチ型の超小型磁気ディスクが計画されており、従来磁気ディスクが使用されていなかった携帯電話等へも磁気ディスクが搭載されていくことが期待されている。この実現のためには、より小型で高性能なガラス基板が不可欠となっている。 On the other hand, in order to improve the recording density and recording stability of a magnetic disk, a perpendicular magnetic recording method has been developed as a method replacing the conventional horizontal magnetic recording method (see, for example, Patent Document 1). When the perpendicular magnetic recording system is put into practical use, a large-capacity disk can be realized with a smaller magnetic disk than before, so that it is more competitive than the conventional 1.8 inch type and 1 inch type as a semiconductor memory. A small 0.85-inch type ultra-small magnetic disk is planned, and it is expected that the magnetic disk will be mounted on a mobile phone or the like that has not been conventionally used. To achieve this, a smaller and higher performance glass substrate is indispensable.
ガラス基板としては、基板表面のアルカリ元素を他のアルカリ元素と置換することにより圧縮歪みを発生させ、機械的強度を向上させた化学強化ガラスが知られている(例えば、特許文献2参照)。しかし化学強化ガラスは煩雑なイオン交換工程が必要であり、またイオン交換後の再加工が不可能であるため製造歩留まりを上げることが難しかった。また、ガラス基板にイオン交換性を持たせるために、アルカリイオンの基板中での移動が容易になるようにしていたので、基板表面のアルカリイオンが、磁性膜を成膜する際の加熱工程時に表面に移動して溶出したり、あるいは磁性膜を侵食したり、磁性膜の付着強度を劣化させるといった化学的信頼性の低下という問題があった。 As a glass substrate, chemically tempered glass is known in which a compressive strain is generated by replacing an alkali element on the substrate surface with another alkali element and mechanical strength is improved (for example, see Patent Document 2). However, chemically tempered glass requires a complicated ion exchange step, and rework after ion exchange is impossible, so it is difficult to increase the production yield. In addition, in order to give the glass substrate ion exchange properties, it was made easy for alkali ions to move in the substrate, so that the alkali ions on the surface of the substrate were heated during the heating process when forming the magnetic film. There has been a problem in that the chemical reliability is lowered such as moving to the surface to elute, eroding the magnetic film, or deteriorating the adhesion strength of the magnetic film.
一方、化学強化処理を行わない一般的なガラス基板としてはソーダライム基板があるが、ソーダライム基板を情報記録用基板として用いるには機械的強度、化学的耐久性が不十分であった。 On the other hand, as a general glass substrate not subjected to chemical strengthening treatment, there is a soda lime substrate, but mechanical strength and chemical durability are insufficient to use the soda lime substrate as an information recording substrate.
さらには、ガラス基板を情報記録用として用いる場合に、情報記録用膜をガラス基板上に成膜する際、表面に加わえられる圧力や加熱、衝撃によりガラス基板にクラックが入り、製品の歩留まりが低下することがあった。また、ガラス基板の磁気ディスク装置への組み込み時の圧力や衝撃による傷やクラックでの歩留まり低下も問題であった。この問題は、磁気ディスクが小型化すればするほど、歩留まり向上ひいてはコストダウン上の大きな課題となってきており、ガラス基板の機械的強度向上が小型磁気ディスクの実現のキーポイントと言っても過言ではない課題である。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、複雑な処理を行うことなく機械的強度の向上と化学的信頼性の向上を両立させることができ、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した情報記録媒体用ガラス基板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can achieve both improvement in mechanical strength and improvement in chemical reliability without performing complicated processing. An object is to provide a suitable glass substrate for an information recording medium.
本発明の目的は、下記構成により達成することができる。 The object of the present invention can be achieved by the following constitution.
(請求項1)
ガラス基板の外表面に、前記ガラス基板に比べて硬度の高い高硬度ガラス層を有することを特徴とする記録媒体用ガラス基板。
(Claim 1)
A glass substrate for a recording medium, comprising a high-hardness glass layer having a hardness higher than that of the glass substrate on an outer surface of the glass substrate.
(請求項2)
前記ガラス基板の外表面に、金属、金属酸化物若しくは金属含有有機化合物の少なくとも1つを含有する金属含有層を有することを特徴とする請求項1に記載の記録媒体用ガラス基板。
(Claim 2)
The glass substrate for a recording medium according to claim 1, further comprising a metal-containing layer containing at least one of a metal, a metal oxide, or a metal-containing organic compound on an outer surface of the glass substrate.
(請求項3)
前記記録媒体用ガラス基板は、強化処理を行っていないものであることを特徴とする請求項1または2に記載の記録媒体用ガラス基板。
(Claim 3)
The glass substrate for a recording medium according to claim 1 or 2, wherein the glass substrate for a recording medium is not subjected to a tempering treatment.
(請求項4)
ガラス基板の外表面に、前記ガラス基板に比べて硬度の高い高硬度ガラス層を形成する高硬度ガラス層形成工程を有することを特徴とする記録媒体用ガラス基板の製造方法。
(Claim 4)
A method for producing a glass substrate for a recording medium, comprising: a high-hardness glass layer forming step of forming a high-hardness glass layer having a hardness higher than that of the glass substrate on an outer surface of the glass substrate.
(請求項5)
前記ガラス基板の外表面に、金属、金属酸化物若しくは金属含有有機化合物の少なくとも1つを含有する金属含有層を形成する工程を有することを特徴とする請求項4に記載の記録媒体用ガラス基板の製造方法。
(Claim 5)
5. The glass substrate for a recording medium according to
(請求項6)
前記金属含有層は、メッキ処理により形成されることを特徴とする請求項5に記載の記録媒体用ガラス基板の製造方法。
(Claim 6)
The method for manufacturing a glass substrate for a recording medium according to
(請求項7)
前記金属含有層は、気相成長法により形成されることを特徴とする請求項5に記載の記録媒体用ガラス基板の製造方法。
(Claim 7)
The method for producing a glass substrate for a recording medium according to
(請求項8)
前記金属含有層は、塗布処理により形成されることを特徴とする請求項5に記載の記録媒体用ガラス基板の製造方法。
(Claim 8)
The method for manufacturing a glass substrate for a recording medium according to
(請求項9)
前記高硬度ガラス層形成工程は、前記ガラス基板の成分と前記金属含有層の成分とを相互に拡散させることにより前記高硬度ガラス層を形成することを特徴とする請求項5に記載の記録媒体用ガラス基板の製造方法。
(Claim 9)
6. The recording medium according to
(請求項10)
請求項1または2に記載の記録媒体用ガラス基板の主表面上に記録層を有することを特徴とする垂直磁気記録方式向け情報記録媒体。
(Claim 10)
An information recording medium for a perpendicular magnetic recording system, comprising a recording layer on a main surface of the glass substrate for a recording medium according to claim 1.
(請求項11)
請求項10に記載の情報記録媒体を有することを特徴とする情報記録装置。
(Claim 11)
An information recording apparatus comprising the information recording medium according to
請求項1及び請求項4に記載の発明によれば、ガラス基板の外表面に高硬度ガラス層を形成することで、機械的強度と化学的信頼性の向上を両立させることが可能になり、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した記録媒体用ガラス基板を提供することができる。
According to the invention of claim 1 and
請求項2に記載の発明によれば、ガラス基板の外表面に金属含有層と高硬度ガラス層を形成することで、機械的強度と化学的信頼性の向上を両立させることが行え、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した記録媒体用ガラス基板を提供することができる。
According to the invention described in
請求項3に記載の発明によれば、ガラス基板に強化処理を行っていないものでも記録媒体用基板として使用可能な強度が得られるので、請求項1や請求項2で得られた効果に加えて、製造時の歩留まりアップを実現するとともに化学的信頼性を向上することを可能にした。その結果、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した記録媒体用ガラス基板をより効率よく提供することができる。
According to the invention described in
請求項5に記載の発明によれば、ガラス基板の外表面に金属含有層を形成した後に高硬度ガラス層を形成する製造方法により、機械的強度と化学的信頼性の向上を両立させた記録媒体用ガラス基板を製造することができ、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した情報記録媒体用ガラス基板を提供することができる。
According to the invention described in
請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の発明によれば、従来から知られた方法により、簡単にガラス基板の外表面に金属含有層を形成することができ、機械的強度と化学的信頼性の向上を両立させた記録媒体用ガラス基板を製造することができ、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した情報記録媒体用ガラス基板を提供することができる。 According to the invention of any one of claims 6 to 8, the metal-containing layer can be easily formed on the outer surface of the glass substrate by a conventionally known method, and mechanical strength and A glass substrate for a recording medium that achieves both improved chemical reliability can be manufactured, and a glass substrate for an information recording medium suitable for a small-sized perpendicular magnetic recording type magnetic disk can be provided.
請求項9に記載の発明によれば、ガラス基板の成分と金属含有層の成分とを相互に拡散させることにより、簡単に高硬度ガラス層を形成することができ、機械的強度と化学的信頼性の向上を両立させた記録媒体用ガラス基板を製造することができ、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した情報記録媒体用ガラス基板を提供することができる。 According to the invention described in claim 9, a high-hardness glass layer can be easily formed by mutually diffusing the components of the glass substrate and the metal-containing layer, and the mechanical strength and the chemical reliability can be formed. In addition, a glass substrate for a recording medium that achieves both improved performance can be manufactured, and a glass substrate for an information recording medium suitable for a small-sized perpendicular magnetic recording type magnetic disk can be provided.
請求項10または11に記載の発明によれば、請求項1または2に記載の記録媒体用ガラス基板を情報記録媒体または情報記録装置に用いることで、機械的強度と化学的信頼性の向上した小型の垂直磁気記録方式の情報記録媒体または情報記録装置を提供することができる。
According to the invention described in
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明に係る記録媒体用ガラス基板10の構成を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a
図1(a)に示すように、記録媒体用ガラス基板10は、中央に穴部4を持つ、外径φ1、内径φ2の円盤形状をしている。記録媒体用ガラス基板10の断面は、図1(b)に示すように、ガラス基板1を取り囲むように高硬度ガラス層3が形成され、高硬度ガラス層3を取り囲むように金属含有層2が形成されている。
As shown in FIG. 1A, the
ガラス基板1は、材質に特に制限なく、従来公知の各種ガラス若しくはガラスセラミックスを用いることができる。表1に、各種のガラスをグループ分けして示した。例えば、1)ケイ酸塩ガラスとしてアルミノケイ酸塩ガラス、ソーダライムガラス、ソーダシリケートガラス、硼硅酸ガラス、石英ガラス、バイコールガラス等があり、2)非ケイ酸塩ガラスとして硼酸ガラス、鉛ガラス、燐酸塩ガラス、テルライトガラス、フッ化物ガラス、フツ燐酸ガラス、3)ガラスセラミックスとして結晶化ガラス、複合ガラス等が挙げられる。これらは、強化処理を行っていないガラスでよい。また、ガラス基板表面がイオン交換、風冷強化、脱アルカリ処理等の強化処理をなされたガラス基板であってもよい。 The glass substrate 1 is not particularly limited in material, and various conventionally known glasses or glass ceramics can be used. Table 1 shows various glasses grouped. For example, 1) there are aluminosilicate glass, soda lime glass, soda silicate glass, borosilicate glass, quartz glass, Vycor glass, etc. as silicate glass, and 2) borate glass, lead glass as non-silicate glass, Examples thereof include phosphate glass, tellurite glass, fluoride glass, fluorophosphate glass, and 3) glass ceramics such as crystallized glass and composite glass. These may be glass that has not been tempered. Further, the glass substrate surface may be a glass substrate subjected to tempering treatment such as ion exchange, air cooling tempering, dealkalizing treatment or the like.
表2に、金属含有層2を構成する成分をグループ分けして示した。金属含有層2を構成する金属元素は、1)アルカリ土類金属、2)第1遷移金属元素群、3)第2遷移金属元素群、4)第3遷移金属元素群、5)ランタノイド金属、6)アルミニウム族、7)炭素族に分類され、表2中の1つ若しくは2つ以上の金属元素を含む金属層、金属酸化物層及び金属含有有機物層であればよい。
Table 2 shows the components constituting the metal-containing
高硬度ガラス層3には、ガラス層1と金属含有層2の両方の成分が含まれており、ガラス層1よりも高い硬度を持ち、その厚みtは、数十nm程度と非常に薄い層である。高硬度ガラス層3の硬度は、X線や短波長の電磁波等を用いた密度測定法により算出可能である。また、断面を極微小硬度計(ナノインデンテーション)を用いて直接測定できる。
The high-
次に、図1に示した記録媒体用ガラス基板10の製造方法について、図2を用いて説明する。図2は、本発明に係る記録媒体用ガラス基板10の製造工程を示す模式図である。図中、図1と同じ部分には同じ番号を付与した。
Next, the manufacturing method of the
図2(a)は記録媒体用ガラス基板10の基になる、中央に穴部4を持つガラス基板1の断面図である。ガラス基板1の上面、下面、外周端面、内周端面を総称して外表面5という。
FIG. 2A is a cross-sectional view of the glass substrate 1 having a
金属含有層形成工程6で、ガラス基板1の外表面5上に、金属層あるいは金属酸化物層の場合は、メッキ処理、気相成長法(スパッタリング、CVD等)、あるいは塗布処理(スピンコート、ディッピング、スプレーコート、印刷等)等の方法により、金属含有有機物層の場合は塗布処理等の方法により、金属含有層2を積層形成する(図2(b))。
In the case of a metal layer or metal oxide layer on the
次に、高硬度ガラス層形成工程7で、図2(b)の金属含有層2を積層したガラス基板1を、大気雰囲気の加熱炉にて所定の温度および所定の時間で加熱する。これによって、ガラス基板1と金属含有層2の双方の成分が相互に拡散し、その中間領域に高硬度ガラス層3が形成される(図2(c))。但し、ガラス基板1と金属含有層2の双方の成分の濃度と拡散速度の違いにより、高硬度ガラス層3は、図2(c)に矢印で示したように、主にガラス基板1側に形成される。
Next, in the high-hardness glass layer forming step 7, the glass substrate 1 on which the metal-containing
高硬度ガラス層は、大気雰囲気の加熱炉での加熱の他、窒素雰囲気あるいは高真空中の加熱炉での加熱、紫外線照射、赤外線照射等の方法でも形成可能である。 The high-hardness glass layer can be formed by a method such as heating in a heating furnace in an air atmosphere, heating in a heating atmosphere in a nitrogen atmosphere or high vacuum, ultraviolet irradiation, infrared irradiation, or the like.
次に、図2に示した製造方法によって製造された記録媒体用ガラス基板10の特性評価について、図3を用いて説明する。図3は、本発明に係る記録媒体用ガラス基板10の評価方法を示す模式図である。図中、図1、2と同じ部分には同じ番号を付与した。
Next, the characteristic evaluation of the
図3(a)は、記録媒体用ガラス基板10の評価用サンプルの形状を示す模式図である。サンプルは、外径φ1=65mm、内径φ2=20mm、板厚d=0.635mmのディスク状ガラス基板で、通常の2.5インチ型ハードディスクに用いられるガラス基板と同等のサイズである。
FIG. 3A is a schematic diagram showing the shape of a sample for evaluation of the
図3(b)は、図3(a)に示した記録媒体用ガラス基板10の破壊強度を測定するための円環曲げ強度試験と呼ばれる試験に用いられる円環曲げ試験機20の模式図である。
FIG. 3B is a schematic diagram of an annular
円環曲げ試験機20は、支持台23上に記録媒体用ガラス基板10の評価用サンプルを乗せて外周8を円環状に支持し、鉄球22を記録媒体用ガラス基板10の穴部4の内周9に乗せ、鉄球22を介してロード21で記録媒体用ガラス基板10の内周9に力を加えることによって加圧−破壊試験を行う。表1で後述する本実施例においては、記録媒体用ガラス基板10の破壊時の破壊加重を破壊強度として定義している。この方法は、ハードディスク用記録媒体の強度試験として業界で一般的に用いられている方法と同じである。
The annular
支持台23は、外径φ5=70mm、内径φ6=63mm、高さh=50mmの円筒形で、円筒の上部に記録媒体用ガラス基板10の評価用サンプルを乗せ、外周8を円環状に支持する。
The
鉄球22は、直径φ4=28.57mmの鉄製の球で、質量は100グラム程度で、ロード21によって印加される圧力に比べて無視できる程度の質量である。鉄球22は、記録媒体用ガラス基板10の評価用サンプルの内周9に当接して圧力を加えることで、支持台23に外周8を支持された記録媒体用ガラス基板10の評価用サンプルに曲げ応力を加える。
The
ロード21は、外径φ3=30mmの円筒形で、鉄球22を介して記録媒体用ガラス基板10の評価用サンプルの内周9に曲げ応力を加えることで、破壊強度を測定することができる。ロード21の押し下げ速度は、0.5mm/分程度である。
The
次に、図3に示した試験方法を用いた実施例について説明する。本実施例においては、高硬度ガラス層3を形成したサンプル6種類と、比較のために高硬度ガラス層3を形成しないサンプル3種類についての評価を行った。その結果を、表3にまとめた。
Next, an example using the test method shown in FIG. 3 will be described. In this example, six types of samples in which the high-
ガラス基板1の種類としては、1)ケイ酸塩ガラスの代表としてアルミノボロシリケートガラスとアルミノシリケートガラスを、2)非ケイ酸塩ガラスの代表として硼酸ガラスを、3)ガラスセラミックスの代表として結晶化ガラスを選定した。 The types of glass substrate 1 are: 1) aluminoborosilicate glass and aluminosilicate glass as representative of silicate glass, 2) borate glass as representative of non-silicate glass, and 3) crystallization as representative of glass ceramics. Glass was selected.
金属含有層2の種類としては、1)アルカリ土類金属の代表としてMgを、2)第1遷移金属元素群の代表としてCr、Co、Niを、3)第2遷移金属元素群の代表としてAgを、4)第3遷移金属元素群の代表としてAuを、5)アルミニウム族の代表としてAlを、6)炭素族の代表としてSnを選んだ。
The types of the metal-containing
このようにして、ガラス種類、金属元素共に、各グループの代表例を用いて実験を行うことで、全てのガラス種類と金属元素を網羅的に実験しなくても、各グループ内のガラス種類乃至は金属元素を用いた場合の性能の類推が可能である。 In this way, by conducting experiments using representative examples of each group for both glass types and metal elements, it is possible to determine the types of glass in each group without having to exhaustively experiment with all glass types and metal elements. It is possible to analogize the performance when metal elements are used.
尚、表中、製法の「スパッタ」とあるのは、「RFマグネトロンスパッタ法」のことである。また、金属含有層の厚みは、サンプルの断面形状を光学的あるいは電子的に観察することで測定可能である。 In the table, “sputtering” in the manufacturing method means “RF magnetron sputtering”. The thickness of the metal-containing layer can be measured by observing the cross-sectional shape of the sample optically or electronically.
表3の結果からわかるように、アルミノボロシリケートガラス基板に高硬度ガラス層3を形成した場合には、形成しない場合に比べて1.32倍から1.59倍の強度向上が達成され、同様に、結晶化ガラス基板の場合は1.23倍、アルミノシリケートガラス基板の場合は1.55倍から1.68倍の強度向上が達成され、硼酸ガラスを含む何れの場合にも100N(ニュートン)を超える破壊強度が達成されている。従来の経験によれば、破壊強度が100Nを境に記録媒体用ガラス基板10の歩留まりが大きく変わり、生産性向上に大きな影響を持つことが分かっている。したがって、本発明により、記録媒体用ガラス基板10の生産性向上に大きく寄与できる。
また、表3に示したように、高硬度ガラス層3を形成したガラス基板は全て、化学強化等の強化処理を行っていないにも関わらず、100Nを超える破壊強度を持つ。これから、強化処理を行っていないガラス基板でも高硬度ガラス層3を形成すれば記録媒体用基板として使用可能な強度が得られることがわかる。したがって、煩雑な強化処理が不要になるため、製造時の歩留まりアップを実現することができ、小型の垂直磁気記録方式の磁気ディスクに適した記録媒体用ガラス基板をより効率よく安価に提供することができる。
As can be seen from the results in Table 3, when the high-
In addition, as shown in Table 3, all the glass substrates on which the high-
さらに、表3には前述した化学的安定性の尺度として、アルカリ溶出量の測定結果も並記した。アルカリ溶出量については、80℃の純水50ml中に24時間試料ガラスを浸漬した後、ICP発光分光分析装置で溶出量を分析した。試料ガラスは、2.5インチ型ディスク基板とし、試料表面を酸化セリウムで研磨してRa値2nm以下の平滑面に整えた後、表面を清浄になるよう洗浄し、試験用試料とした。アルカリ溶出量は、Li、Na、K溶出量の合計とした。 Further, Table 3 also shows the measurement results of the alkali elution amount as a measure of the chemical stability described above. Regarding the alkali elution amount, the sample glass was immersed in 50 ml of pure water at 80 ° C. for 24 hours, and then the elution amount was analyzed with an ICP emission spectroscopic analyzer. The sample glass was a 2.5-inch disk substrate, the sample surface was polished with cerium oxide to prepare a smooth surface with an Ra value of 2 nm or less, and then the surface was washed to be a clean sample. The alkali elution amount was the total of Li, Na, and K elution amounts.
表3の結果からわかるように、アルカリ溶出量については、高硬度ガラス層3を形成したサンプルは全て、形成しないサンプルに比べて桁違いの溶出量の少なさを示しており、高硬度ガラス層3を形成することで、化学的安定性が格段に向上したことを示している。尚、アルカリ溶出量抑制には、金属含有層2の存在も効果を発揮していると考えられる。
As can be seen from the results in Table 3, with respect to the alkali elution amount, all the samples with the high
以上に述べたように、通常のガラス基板1の外表面上に高硬度ガラス層3及び金属含有層2を形成することで、機械的強度と化学的安定性の向上を達成することができた。
As described above, by forming the high-
次に、図1に示した記録媒体用ガラス基板10を用いた情報記録媒体11の構成について、図4を用いて説明する。図4は、本発明に係る記録媒体用ガラス基板10を用いた情報記録媒体11の構成を示す模式図である。図中、図1、2、3と同じ部分には同じ番号を付与した。
Next, the structure of the
図4(a)で、記録媒体用ガラス基板10は、ガラス基板1の外表面5上に、高硬度ガラス層3が形成され、さらにその上部に金属含有層2が形成されてなる。情報記録媒体11は、記録媒体用ガラス基板10の金属含有層2の上面である主表面12上に、磁性体等からなる記録層13を積層することで構成される。本例では、記録媒体用ガラス基板10の両面に記録層13が形成されている。本構成の情報記録媒体11は、機械的強度と化学的安定性に優れているため、記録用磁気ヘッドをより情報記録媒体に近づける必要のある垂直磁気記録方式等の大容量あるいは超小型磁気記録媒体として最適である。
In FIG. 4A, a
図4(b)には、垂直磁気記録方式に用いられる記録層13の構成を模式的に示した。記録層13は、実際の記録を担う磁気記録層13a、図示しない記録再生用ヘッドの磁気回路の一部をなす裏打ち軟磁性層13c、磁気記録層13aの結晶性と磁気特性の改善および磁気記録層13aと裏打ち軟磁性層13cの時期的相互作用の制御を担う中間層13bの3層からなる。
FIG. 4B schematically shows the configuration of the
本発明の記録媒体用ガラス基板10は、その主表面12の直下に金属含有層2を有することで、裏打ち軟磁性層13cの形成が行いやすいという特徴がある。また、金属含有層として裏打ち軟磁性層に用いられる材料(例えば、Ni、Fe等)を用いれば、金属含有層を裏打ち軟磁性層として用いることも可能である。もちろん、記録層13の構成によっては、金属含有層2を研磨、エッチング等で除去して、高硬度層3の上に記録層13を形成してもよい。
The
次に、本発明に係る情報記録媒体11を搭載した情報記録装置について、図5を用いて説明する。図5は、本発明に係る情報記録媒体11を搭載した情報記録装置であるロード・アンロード方式のハードディスク装置50を示す斜視模式図である。図中、図1から4と同じ部分には同じ番号を付与した。
Next, an information recording apparatus equipped with the
ハードディスク装置50は、情報記録媒体11、記録再生ヘッド52、記録再生ヘッド52を支持するサスペンション54、サスペンション54を固定するアーム56を含むヘッドアクチュエータ59を備えている。
The
ヘッドアクチュエータ59は、アーム56がピボット57を軸に筐体51に対して回転可能に取り付けられる。また、ヘッドアクチュエータ59は、ピボット57を挟んでサスペンション54と反対側に設けられるボイスコイルモータ58によって回転駆動される。さらにヘッドアクチュエータ59への電力の供給と記録再生ヘッド52との信号のやり取りは、アーム56に固定されたフレキシブルプリント基板55を介して行われる。
The
ハードディスク装置50では、サスペンション54の先端にリフトタブ53が設けられ、情報記録媒体11の端部と重なるように筐体51に取り付けられた位置規制ランプ60にリフトタブ53が誘導されることで、記録再生ヘッド52を情報記録媒体11の面上から外側へと退避させるアンロード、ヘッド52を情報記録媒体11の外側から面上へランディングさせるロードが行われる。
In the
リフトタブ53は、サスペンション54の先端に設けられる突起で、ヘッド52より先端側に位置する。位置規制ランプ60は、リフトタブ53が接触する斜面を有し、リフトタブ53がランプ60の斜面に接触している間は、2枚のサスペンション54の間隔が規制され、ヘッド52同士の接触およびヘッド52と情報記録媒体11の接触が防止される。
The
ヘッド52は、回転スピンドルに装着された情報記録媒体11の回転によって発生する空気流で情報記録媒体11の面上より浮上する。このため、ヘッド52を情報記録媒体11の面上へロードさせるときは、ヘッド52が情報記録媒体11の面上に到達するまで、位置規制ランプ60でリフトタブ53を支持する。また、ヘッド52を情報記録媒体11の外側へアンロードさせるときは、ヘッド52が情報記録媒体11の外側に出る前に、位置規制ランプ60でリフトタブ53を支持する。
The
本ハードディスク装置50の記録媒体として、本発明の情報記録媒体11を用いることで、高性能で高密度な記録を行うことが可能となり、将来的には、超小型高密度記録装置の市場化が可能となる。
By using the
その他、本発明に係る記録媒体用ガラス基板、記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体及び情報記録装置を構成する各構成の細部構成及び細部動作に関しても、本発明の趣旨を逸脱することのない範囲で適宜変更可能である。 In addition, the detailed configuration and detailed operation of each component constituting the recording medium glass substrate, the recording medium glass substrate manufacturing method, the information recording medium, and the information recording apparatus according to the present invention also depart from the spirit of the present invention. It can be changed as appropriate within the range where there is no.
1 ガラス基板
2 金属含有層
3 高硬度ガラス層
4 穴部
5 外表面
6 金属含有層形成工程
7 高硬度ガラス層形成工程
8 外周
9 内周
10 記録媒体用ガラス基板
11 情報記録媒体
12 主表面
13 記録層
13a 磁気記録層
13b 中間層
13c 裏打ち軟磁性層
20 円環曲げ試験機
21 ロード
22 鉄球
23 支持台
50 ハードディスク装置
51 筐体
52 記録再生ヘッド
53 リフトタブ
54 サスペンション
55 フレキシブルプリント基板
56 アーム
57 ピボット
58 ボイスコイルモータ
59 ヘッドアクチュエータ
60 位置規制ランプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
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JP2000344544A (en) * | 1999-06-02 | 2000-12-12 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Crystallized glass article |
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- 2005-02-08 JP JP2005031459A patent/JP2006221680A/en active Pending
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