JP2006214662A - Heating device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heating device provided with a glass plate exercising effective action in response to each heating function, on a see-through window. <P>SOLUTION: A metallic plate (see-through window) 18 mounted on an opening/closing means 17 of a heating chamber 10 and having a small hole is provided with the glass plate 19 manufactured by stacking an oxide film 20 of indium and tin, and a fluorine-doped tin oxide film 21. Thus the action of a transparent conductive film and heat-resisting property under high temperature can be secured, uniform heating can be promoted by allowing the glass plate 19 to act as a heat radiating body, and a heated object can be heated with high reliability while saving energy. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、被加熱物を高周波、蒸気あるいは輻射熱や対流熱を用いて加熱する加熱装置に関するものである。   The present invention relates to a heating apparatus that heats an object to be heated using high frequency, steam, radiant heat, or convective heat.

従来、この種の加熱装置は、加熱室内における被加熱物の加熱の進捗状況を観察できるように開閉手段に透視窓を設けている。また、この透視窓には清掃しやすさの利便性を提供するガラス板が配設されている。そして、このガラス板には可視光領域の波長を透過させる透明導電膜を形成したものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平6−68975号公報
Conventionally, this type of heating apparatus has a see-through window in the opening / closing means so that the progress of heating of the object to be heated in the heating chamber can be observed. In addition, a glass plate that provides convenience of easy cleaning is disposed on the see-through window. And what has formed the transparent conductive film which permeate | transmits the wavelength of a visible light region to this glass plate is proposed (for example, refer patent document 1).
JP-A-6-68975

しかしながら、前記従来の構成では、透明導電膜であるインジュームとスズとの酸化物膜が高温に曝されると熱劣化を生じ、シート抵抗が低下して導電性能が低下する課題を有していた。このため、例えば、加熱装置の一つであるオーブンレンジの透視窓にこのガラス板を用いた場合、オーブン調理での高温下で生じたシート抵抗の劣化した透明導電膜が電子レンジ調理を行った場合に高温に発熱し、ガラス板が熱破壊してしまう課題を有していた。   However, the conventional configuration has a problem that when the oxide film of indium and tin, which is a transparent conductive film, is exposed to a high temperature, thermal degradation occurs, and the sheet resistance decreases and the conductive performance decreases. It was. For this reason, for example, when this glass plate is used for a see-through window of a microwave oven, which is one of the heating devices, a transparent conductive film with deteriorated sheet resistance generated at a high temperature in oven cooking performed microwave cooking. In some cases, the glass plate generates heat to a high temperature, and the glass plate is thermally destroyed.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、高周波加熱機能、蒸気加熱機能あるいは輻射熱や対流熱などを用いた加熱機能に対応して効果的な作用を発揮するガラス板を透視窓に配設した加熱装置を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and a glass plate that exhibits an effective action corresponding to a high-frequency heating function, a steam heating function, or a heating function using radiant heat or convection heat is arranged in the viewing window. It aims at providing the installed heating device.

前記従来の課題を解決するために、本発明の加熱装置は、加熱室の開閉手段に設けた透視窓にはフッ素ドープ酸化スズ膜を製膜したガラス板を配設したものである。   In order to solve the above-mentioned conventional problems, the heating device of the present invention is such that a glass plate on which a fluorine-doped tin oxide film is formed is disposed in a see-through window provided in a heating chamber opening / closing means.

これによって、加熱室を高温状態として加熱する場合は、加熱室内から可視光より波長の長い熱線を熱反射させ、熱損失を抑制して加熱時の省エネルギ化を促進できる。また、製膜は耐熱特性にすぐれており、高周波エネルギを用いた加熱においては、高周波損失はほとんど変化することなく初期の特性を維持して電磁波反射膜として作用させることができる。このため、透視窓のガラス板はそれぞれの加熱機能に対応して効果的な作用を発揮し、加熱装置は信頼性よく被加熱物を加熱することができる。   Accordingly, when heating the heating chamber in a high temperature state, heat rays having a wavelength longer than that of visible light are reflected from the heating chamber to suppress heat loss and promote energy saving during heating. In addition, the film formation has excellent heat resistance characteristics, and in heating using high frequency energy, the high frequency loss hardly changes, and the initial characteristics can be maintained and the film can act as an electromagnetic wave reflection film. For this reason, the glass plate of a transparent window exhibits an effective effect | action corresponding to each heating function, and a heating apparatus can heat a to-be-heated material reliably.

本発明の加熱装置は、透視窓のガラス板がそれぞれの加熱機能に対応して効果的な作用を発揮し、加熱装置は信頼性よく被加熱物を加熱することができる。   In the heating device of the present invention, the glass plate of the transparent window exhibits an effective action corresponding to each heating function, and the heating device can heat the object to be heated with high reliability.

第1の発明は、被加熱物を収納する加熱室と、前記加熱室に対して被加熱物を出し入れするための開閉手段と、前記開閉手段に設け加熱室内を透視する透視窓とを備え、前記透視窓にはフッ素ドープ酸化スズ膜を製膜したガラス板を配設した加熱装置とすることにより、加熱室を高温状態として加熱する場合は、加熱室内から可視光より波長の長い熱線を熱反射させ、熱損失を抑制して加熱時の省エネルギ化を促進できる。また、製膜は耐熱特性にすぐれており、高周波エネルギを用いた加熱においては、高周波損失はほとんど変化することなく初期の特性を維持して電磁波反射膜として作用させることができる。このため、透視窓のガラス板はそれぞれの加熱機能に対応して効果的な作用を発揮し、加熱装置は信頼性よく被加熱物を加熱することができる。   1st invention is provided with the heating chamber which accommodates a to-be-heated material, the opening-and-closing means for putting in and out a to-be-heated material with respect to the said heating chamber, and the see-through window which is provided in the above-mentioned opening-and-closing means and sees through a heating chamber, When the heating chamber is heated at a high temperature by using a glass plate having a fluorine-doped tin oxide film formed on the see-through window, heat rays having a longer wavelength than visible light are heated from the heating chamber. It can be reflected to suppress heat loss and promote energy saving during heating. In addition, the film formation has excellent heat resistance characteristics, and in heating using high frequency energy, the high frequency loss hardly changes, and the initial characteristics can be maintained and the film can act as an electromagnetic wave reflection film. For this reason, the glass plate of a transparent window exhibits an effective effect | action corresponding to each heating function, and a heating apparatus can heat a to-be-heated material reliably.

第2の発明は、特に、第1の発明において、ガラス板の製膜は、フッ素ドープ酸化スズ膜と、インジュームとスズとの酸化物膜とを積層して形成したことにより、可視光領域の波長に対する高い透過率を有するインジュームとスズとの酸化物膜の熱劣化をフッ素ドープ酸化スズ膜が抑制できる。したがって、加熱室を高温状態として加熱する場合や高周波エネルギを用いて加熱する場合などのさまざまな加熱機能を複合して有する加熱装置において、高い透視性能を発揮する。   According to a second invention, in particular, in the first invention, the glass plate is formed by laminating a fluorine-doped tin oxide film and an oxide film of indium and tin. The fluorine-doped tin oxide film can suppress the thermal deterioration of the oxide film of indium and tin having a high transmittance with respect to the wavelength. Therefore, a high transparency performance is exhibited in a heating apparatus having a combination of various heating functions such as heating the heating chamber in a high temperature state or heating using high-frequency energy.

第3の発明は、特に、第1または第2の発明において、透視窓は、複数の小孔を有する金属板で構成し、金属板の加熱室内側にガラス板を配設したことにより、高周波エネルギを利用した加熱装置においては金属板が電磁波シールドを確実に確保するとともに、加熱室を高温状態で使用する場合においては、小孔からの熱放散をガラス板に形成した製膜で抑制し被加熱物を効率よく高温加熱できる。   According to a third aspect of the invention, in particular, in the first or second aspect of the invention, the see-through window is formed of a metal plate having a plurality of small holes, and a glass plate is disposed on the heating chamber side of the metal plate, thereby In a heating device that uses energy, the metal plate ensures an electromagnetic wave shield, and when the heating chamber is used at a high temperature, the heat dissipation from the small holes is suppressed by film formation formed on the glass plate. Heated material can be efficiently heated to high temperatures.

第4の発明は、特に、第1〜第3のいずれか1つの発明において、ガラス板への製膜面は加熱室と反対側のガラス板面としたことにより、開閉手段を清掃する際に製膜が傷つくことを解消し製膜の性能を保証するとともに、製膜で反射した熱をガラス板が蓄熱することで加熱室内を高温下で使用する場合に開閉手段からの輻射熱を被加熱物に与えて被加熱物を均一に加熱することができる。   In the fourth invention, in particular, in any one of the first to third inventions, when the film forming surface to the glass plate is a glass plate surface opposite to the heating chamber, the opening / closing means is cleaned. In addition to eliminating film damage and ensuring film forming performance, the glass plate stores the heat reflected by the film formation, so that the radiant heat from the opening / closing means is heated when the heating chamber is used at high temperatures. The object to be heated can be uniformly heated.

第5の発明は、特に、第1〜第4のいずれか1つの発明において、ガラス板への製膜範囲は、開閉手段が閉成状態でのガラス板の上下方向において略上半分としたことにより、高温の熱流が滞留する加熱室上部に対向する透視窓からの熱放散を抑制し、被加熱物を効率よく加熱することができる。また、この種の構成は、加熱室を上下に仕切りその上部を高温化させて被加熱物を加熱する機能を有する加熱装置に適用することで、機能を最大限に発揮できる。   In the fifth invention, in particular, in any one of the first to fourth inventions, the film forming range on the glass plate is substantially upper half in the vertical direction of the glass plate in the closed state of the opening / closing means. Thus, heat dissipation from the see-through window facing the upper part of the heating chamber where a high-temperature heat flow stays can be suppressed, and the object to be heated can be efficiently heated. In addition, this type of configuration can exert its function to the maximum by applying it to a heating device having a function of heating the object to be heated by dividing the heating chamber into upper and lower parts and increasing the temperature of the upper part.

第6の発明は、特に、第1〜第4のいずれか1つの発明において、加熱室に供給する高周波を発生させる高周波発生手段を備え、高周波に共振する形状からなる製膜としたことにより、製膜の高周波による発熱を促進し製膜を配設した領域のガラス板の温度を高温化することができ、蒸気を用いた加熱装置に適用することでガラス板の結露を解消し透視性能を確保させることができる。また、製膜配設の有・無による製膜作用を視覚的に報知することができる。   In a sixth aspect of the present invention, in particular, in any one of the first to fourth aspects of the invention, the high frequency generating means for generating the high frequency to be supplied to the heating chamber is provided, and the film is formed in a shape that resonates with the high frequency. Heat generation due to high frequency of film formation can be promoted, and the temperature of the glass plate in the area where film formation is arranged can be raised, and by applying it to a heating device using steam, the condensation of the glass plate is eliminated and the fluoroscopic performance is improved. Can be secured. In addition, it is possible to visually notify the film forming action due to the presence or absence of the film forming arrangement.

第7の発明は、特に、第6の発明において、高周波をガラス板に向けて放射するように制御したことにより、製膜の発熱をさらに促進してガラス板の所定領域を短時間に高温化することができ、蒸気を利用した加熱期間において適宜に高周波を供給してガラス板の結露を解消し透視性能を確保させることができる。   In the seventh aspect of the invention, in particular, in the sixth aspect of the invention, by controlling to radiate high frequency toward the glass plate, the heat generation of the film formation is further promoted and the predetermined region of the glass plate is heated to a high temperature in a short time. In the heating period using steam, it is possible to appropriately supply a high frequency to eliminate the condensation of the glass plate and to ensure the see-through performance.

第8の発明は、特に、第1〜第6のいずれか1つの発明において、ガラス板は、熱強化処理されたガラスとしたことにより、ガラス板の熱衝撃による破損を解消し使い勝手のよい透視窓を提供できる。   In an eighth aspect of the invention, in particular, in any one of the first to sixth aspects of the invention, the glass plate is made of heat-strengthened glass. Can provide windows.

第9の発明は、特に、第1〜第6のいずれか1つの発明において、製膜のシート抵抗を10Ω以下としたことにより、高い熱反射特性を有する透視窓を提供できる。   In the ninth aspect of the invention, in particular, in any one of the first to sixth aspects of the invention, by setting the sheet resistance of the film formation to 10Ω or less, a see-through window having high heat reflection characteristics can be provided.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

(実施の形態1)
図1、図2は、本発明の実施の形態1における加熱装置を示すものである。
(Embodiment 1)
1 and 2 show a heating device according to Embodiment 1 of the present invention.

図に示すように、加熱装置は、被加熱物を収納する被加熱物収納空間11を形成している加熱室10と、被加熱物収納空間11内に高周波を放射する放射手段14と、被加熱物収納空間11に対して被加熱物を出し入れするための開閉手段17と、被加熱物収納空間11に供給する蒸気を発生する蒸気発生部22と、被加熱物収納空間11に高温熱風を循環供給させる熱風発生手段23とを備えている。   As shown in the figure, the heating device includes a heating chamber 10 forming a heated object storage space 11 for storing an object to be heated, a radiating means 14 for radiating a high frequency in the heated object storage space 11, Opening / closing means 17 for taking in and out the object to be heated from / to the heated object storage space 11, a steam generator 22 for generating steam to be supplied to the object to be heated storage space 11, and hot hot air to the object to be heated storage space 11 And hot air generating means 23 for circulating supply.

前記加熱室10は、供給される高周波を金属材料で形成された各壁面によって電気的に閉じ込めるよう被加熱物収納空間11を形成している。被加熱物収納空間11の底面は、被加熱物を載置する非導電性の材料からなる載置手段12を配している。載置手段12の下方にあって、加熱室10を形成する底壁面13の略中央部に指向性を有する放射手段14を配している。この放射手段14は、高周波を伝送する導波管15の終端側に配置しており、導波管15の他端側には高周波を発生する高周波発生手段であるマグネトロン(図示していない)を設けている。また、放射手段14にはこれを回転駆動するモータ16を配している。   The heating chamber 10 forms a heated object storage space 11 so that the supplied high frequency is electrically confined by each wall surface formed of a metal material. On the bottom surface of the object-to-be-heated storage space 11, a placing means 12 made of a non-conductive material for placing the object to be heated is disposed. A radiating means 14 having directivity is disposed below the mounting means 12 at a substantially central portion of the bottom wall surface 13 forming the heating chamber 10. The radiating means 14 is disposed on the terminal end side of the waveguide 15 that transmits a high frequency, and a magnetron (not shown) that is a high frequency generating means for generating a high frequency is provided on the other end side of the waveguide 15. Provided. Further, the radiating means 14 is provided with a motor 16 for rotationally driving it.

また、開閉手段17は、その中央部に透視窓である複数の小孔を有する金属板18を配し、金属板18の加熱室10内側にガラス板19を配している。このガラス板19は、熱強化処理されたガラスを用いている。このガラス板19の加熱室10と反対側のガラス板面には、インジュームとスズとの酸化物膜20とフッ素ドープ酸化スズ膜21とを積層して製膜している。この製膜のシート抵抗は10Ω/□以下としている。そして、ガラス板19はその周囲をシリコンパテによって金属板18に固着封止している。なお、開閉手段17には、透明のガラスあるいは樹脂材料で構成した化粧板30を設けている。   In addition, the opening / closing means 17 has a metal plate 18 having a plurality of small holes, which is a see-through window, disposed at the center thereof, and a glass plate 19 disposed inside the heating chamber 10 of the metal plate 18. This glass plate 19 uses glass that has been heat strengthened. On the surface of the glass plate 19 opposite to the heating chamber 10, an oxide film 20 of indium and tin and a fluorine-doped tin oxide film 21 are laminated to form a film. The sheet resistance of this film formation is 10Ω / □ or less. The periphery of the glass plate 19 is fixedly sealed to the metal plate 18 with a silicon putty. The opening / closing means 17 is provided with a decorative board 30 made of transparent glass or resin material.

また、被加熱物収納空間11に供給する蒸気を発生する蒸気発生部22は、給水された水を溜める水溜部24、水溜部24を下方から加熱する加熱手段25、水溜部24の上方に配し水溜部24を覆う複数の蒸気孔を有する蒸気カバー26などから構成している。また、熱風発生手段23は、発熱手段27、送風手段28、送風手段28を駆動するモータ29などから構成し、高温空気を循環通流させることで被加熱物収納空間11を300℃程度の高温状態にするものである。   The steam generating unit 22 that generates steam to be supplied to the heated object storage space 11 is disposed above the water reservoir 24, a water reservoir 24 that stores the supplied water, a heating unit 25 that heats the water reservoir 24 from below, and the water reservoir 24. A steam cover 26 having a plurality of steam holes covering the water reservoir 24 is formed. The hot air generating means 23 includes a heat generating means 27, an air blowing means 28, a motor 29 for driving the air blowing means 28, and the like, and the heated object storage space 11 is heated to a high temperature of about 300 ° C. by circulating high-temperature air. It is a state.

このような構成からなる加熱装置において、開閉手段17の透視窓の作用について説明する。   In the heating device having such a configuration, the operation of the see-through window of the opening / closing means 17 will be described.

インジュームとスズとの酸化物膜20は可視光領域の透過率が極めて高い透明導電膜として知られているが、高温下ではシート抵抗が熱劣化する。そのため、高温での熱劣化がほとんどないフッ素ドープ酸化スズ膜21をインジュームとスズとの酸化物膜20の上に積層させたことで透明導電膜の作用と高温下での耐熱性を確保し、高周波加熱機能、蒸気加熱機能あるいは輻射熱や対流熱などを用いたオーブン加熱機能などを備えた複合機能の加熱装置の透視窓として適用することができる。   The oxide film 20 of indium and tin is known as a transparent conductive film having a very high transmittance in the visible light region, but the sheet resistance is thermally deteriorated at a high temperature. Therefore, by laminating the fluorine-doped tin oxide film 21 with little thermal deterioration at high temperature on the oxide film 20 of indium and tin, the action of the transparent conductive film and the heat resistance at high temperature are ensured. It can be applied as a see-through window of a multi-function heating device having a high-frequency heating function, a steam heating function, or an oven heating function using radiant heat or convection heat.

そして、加熱室10を300℃程度の高温状態として被加熱物を加熱する場合において、インジュームとスズとの酸化物膜20とフッ素ドープ酸化スズ膜21を積層した製膜を有するガラス板19は、可視光領域の波長に対する高い透過率を有しつつ可視光より長い波長に対して熱反射膜として作用し、加熱室10外への熱損失を抑制して加熱時の省エネルギ化を促進できる。   When heating the object to be heated with the heating chamber 10 at a high temperature of about 300 ° C., the glass plate 19 having a film formed by laminating the oxide film 20 of indium and tin and the fluorine-doped tin oxide film 21 is It can act as a heat reflecting film for wavelengths longer than visible light while having a high transmittance for wavelengths in the visible light region, and can suppress heat loss to the outside of the heating chamber 10 and promote energy saving during heating. .

また、高周波エネルギを用いて加熱する場合においては、製膜の熱劣化がほとんどないので、製膜が高周波に曝されたときの高周波損失は初期特性に対してほとんど変化することがなく、電磁波反射膜として作用させることができる。このため、高周波エネルギを用いた加熱制御を初期と同様に安定に実行させることができる。   In addition, when heating using high-frequency energy, there is almost no thermal deterioration of the film formation, so that the high-frequency loss when the film formation is exposed to high frequency hardly changes with respect to the initial characteristics, and electromagnetic wave reflection Can act as a membrane. For this reason, the heating control using the high frequency energy can be stably executed as in the initial stage.

また、複数の小孔を有する金属板18とガラス板19とで透視窓を構成しているので、高周波エネルギを利用した加熱装置においては、金属板18が電磁波シールドを確実に確保するとともに、加熱室10を高温状態で使用する場合においては、金属板18で熱反射させるとともに小孔からの熱放散をガラス板19に形成した製膜で抑制し被加熱物をさらに効率よく高温加熱できる。   In addition, since the metal plate 18 having a plurality of small holes and the glass plate 19 constitute a see-through window, in the heating device using high-frequency energy, the metal plate 18 reliably secures an electromagnetic wave shield and is heated. When the chamber 10 is used in a high temperature state, the object to be heated can be heated more efficiently by reflecting the heat with the metal plate 18 and suppressing the heat dissipation from the small holes with the film formed on the glass plate 19.

また、ガラス板19への製膜面は加熱室10と反対側のガラス板19面としたので、開閉手段17を清掃する際に製膜が傷つくことを解消し製膜の性能を保証するとともに、製膜で反射した熱をガラス板19が蓄熱することで被加熱物収納空間11内を高温下で使用する場合に加熱室10の他の壁面と同様に開閉手段17からも輻射熱を被加熱物に与えて被加熱物を均一に加熱促進し、省エネルギで信頼性よく被加熱物を加熱することができる。   Moreover, since the film forming surface on the glass plate 19 is the glass plate 19 surface opposite to the heating chamber 10, the film forming surface is prevented from being damaged when the opening / closing means 17 is cleaned, and the film forming performance is guaranteed. When the inside of the heated object storage space 11 is used at a high temperature by the glass plate 19 storing the heat reflected by the film formation, the radiant heat is also heated from the opening / closing means 17 like the other wall surfaces of the heating chamber 10. The object to be heated is uniformly heated and applied to the object, and the object to be heated can be heated with energy saving and reliability.

なお、製膜のシート抵抗は、透視性に対して可視光領域の透過率として70%以上を確保するとともに、熱反射特性を最大化させることが望ましく、10Ω/□以下としている。   In addition, it is desirable that the sheet resistance of the film formation is 70Ω or more as the transmittance in the visible light region with respect to the transparency, and it is desirable to maximize the heat reflection characteristics, and is 10Ω / □ or less.

また、本実施の形態では、フッ素ドープ酸化スズ膜21とインジュームとスズとの酸化物膜20とを積層して製膜したが、使用条件によっては、透視性が実用上問題ない層厚さを有するフッ素ドープ酸化スズ膜21の単層で製膜するようにしてもよい。   Further, in the present embodiment, the fluorine-doped tin oxide film 21 and the oxide film 20 of indium and tin are laminated to form a film thickness. Alternatively, a single layer of the fluorine-doped tin oxide film 21 may be formed.

(実施の形態2)
図3、図4は、本発明の実施の形態2における加熱装置を示すものである。実施の形態1と同一要素については同一符号を付してその説明を省略する。
(Embodiment 2)
3 and 4 show a heating apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. The same elements as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

本実施の形態における加熱装置が実施の形態1と相違する点は、ガラス板19への製膜の配置構成にある。   The heating apparatus in the present embodiment is different from the first embodiment in the arrangement of the film formation on the glass plate 19.

図に示すように、開閉手段17のガラス板19への製膜31の範囲は、開閉手段17が閉成状態でのガラス板19の上下方向において略上半分としている。また加熱室10は、その上壁面32を加熱する加熱手段33を配し、加熱室10内にはオーブン皿34を装着してオーブン皿34に載置した被加熱物を加熱するようにしている。この被加熱物を加熱する場合、高温の熱流が加熱室10の上部に滞留する。ガラス板19に配した製膜31はこの加熱室10の上部に対向する透視窓からの熱放散を抑制し、被加熱物を効率よく加熱することができる。   As shown in the figure, the range of the film forming 31 on the glass plate 19 of the opening / closing means 17 is substantially the upper half in the vertical direction of the glass plate 19 when the opening / closing means 17 is closed. The heating chamber 10 is provided with a heating means 33 for heating the upper wall surface 32, and an oven dish 34 is mounted in the heating chamber 10 so as to heat an object to be heated placed on the oven dish 34. . When this object to be heated is heated, a high-temperature heat flow stays in the upper part of the heating chamber 10. The film formation 31 provided on the glass plate 19 suppresses heat dissipation from the see-through window facing the upper portion of the heating chamber 10 and can efficiently heat the object to be heated.

また、この場合、ガラス板19の下半分から加熱室10内を透視することができるので、ガラス板19の上半分に設ける製膜31の特性は熱反射特性を優先させた特性として選択することができる。   In this case, since the inside of the heating chamber 10 can be seen through from the lower half of the glass plate 19, the characteristics of the film forming 31 provided on the upper half of the glass plate 19 should be selected as characteristics giving priority to the heat reflection characteristics. Can do.

本実施の形態における製膜31は、実施の形態1におけるインジュームとスズとの酸化物膜20と、フッ素ドープ酸化スズ膜21の積層、あるいはフッ素ドープ酸化スズ膜21の単層によるものであることは言うまでもない。   The film formation 31 in the present embodiment is a laminate of the oxide film 20 of indium and tin and the fluorine-doped tin oxide film 21 in the first embodiment, or a single layer of the fluorine-doped tin oxide film 21. Needless to say.

(実施の形態3)
図5〜図7は、本発明の実施の形態3における加熱装置を示すものである。実施の形態1と同一要素については同一符号を付してその説明を省略する。
(Embodiment 3)
5 to 7 show a heating apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. The same elements as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

本実施の形態における加熱装置が実施の形態1と相違する点は、ガラス板19に配設した製膜を高周波により発熱させる点にある。   The heating device in the present embodiment is different from that in the first embodiment in that a film formed on the glass plate 19 generates heat by high frequency.

図に示すように、開閉手段17のガラス板19への製膜50は、加熱室10内に供給される高周波に共振する形状とし、ガラス板19の略中央に複数個配設している。この製膜50の形状は、略長方形状としその長手寸法を、使用する高周波の波長の略1/2としている。また各製膜50間の寸法は、5mm以上とし、高周波電界によるスパーク発生を解消した配置としている。   As shown in the figure, the film forming 50 on the glass plate 19 of the opening / closing means 17 has a shape that resonates with the high frequency supplied into the heating chamber 10, and a plurality of films 50 are arranged at the approximate center of the glass plate 19. The shape of the film formation 50 is approximately rectangular, and the longitudinal dimension is approximately ½ of the wavelength of the high frequency used. Moreover, the dimension between each film forming 50 shall be 5 mm or more, and it is set as the arrangement | positioning which eliminated the spark generation by a high frequency electric field.

このような製膜50に対して、加熱室10に高周波を供給すると個々の製膜50が共振状態となり、高周波エネルギをより多く蓄積するため高周波による発熱量が増して製膜領域が高温になる。   If a high frequency is supplied to the heating chamber 10 for such a film formation 50, the individual film formation 50 is in a resonance state, and a higher amount of high-frequency energy is accumulated to increase the amount of heat generated by the high frequency, resulting in a high temperature in the film formation region. .

また、高周波発生手段51が発生する高周波は、指向性を有する放射手段14を回転動作させて加熱室10内に均一に分散させるものであるが、放射手段14の回転位置を制御し、開閉手段17側のガラス板19に指向性をもって(向けて)高周波を放射させるように制御することができる。   Further, the high frequency generated by the high frequency generation means 51 causes the radiation means 14 having directivity to rotate and disperse it uniformly in the heating chamber 10, but controls the rotational position of the radiation means 14 to open and close the opening means. It is possible to control the glass plate 19 on the 17th side to emit a high frequency with a directivity.

このような動作をする装置は、蒸気を用いた加熱装置に適用することでガラス板19の結露を解消し透視性能を確保させることができる。また、製膜配設の有・無による製膜作用を視覚的に報知することができる。   A device that operates in this manner can be applied to a heating device that uses steam to eliminate condensation on the glass plate 19 and ensure the see-through performance. In addition, it is possible to visually notify the film forming action due to the presence or absence of the film forming arrangement.

さらには、図7に示すように、開閉手段17側のガラス板19に向けて高周波を放射させることで、製膜50の発熱をさらに促進してガラス板19の所定領域を短時間に高温化することができる。そして蒸気を利用して被加熱物を加熱する装置にあっては、その加熱動作中に適宜、高周波を供給して製膜50を発熱させてガラス板19の結露を解消することにより、蒸し加熱における被加熱物の加熱進行状況を透視することができる。   Further, as shown in FIG. 7, by radiating a high frequency toward the glass plate 19 on the opening / closing means 17 side, the heat generation of the film forming 50 is further promoted and the predetermined region of the glass plate 19 is heated to a high temperature in a short time. can do. And in the apparatus which heats a to-be-heated object using a vapor | steam, steam heating is performed by supplying the high frequency suitably during the heating operation, and making the film-forming 50 generate heat | fever, and the condensation of the glass plate 19 is eliminated. The heating progress of the object to be heated can be seen through.

本実施の形態における製膜50は、実施の形態2と同様、インジュームとスズとの酸化物膜20と、フッ素ドープ酸化スズ膜21の積層、あるいはフッ素ドープ酸化スズ膜21の単層によるものであることは言うまでもない。   As in the second embodiment, the film formation 50 in the present embodiment is a laminate of an oxide film 20 of indium and tin and a fluorine-doped tin oxide film 21 or a single layer of the fluorine-doped tin oxide film 21. Needless to say.

以上のように、本発明にかかる加熱装置は、透視窓のガラス板がそれぞれの加熱機能に対応して効果的な作用を発揮し、加熱装置は信頼性よく被加熱物を加熱することができるので、食品加熱はもとより、半導体装置、洗浄装置などの工業分野での加熱装置にも展開することができる。   As described above, in the heating device according to the present invention, the glass plate of the transparent window exhibits an effective action corresponding to each heating function, and the heating device can heat the object to be heated with reliability. Therefore, it can be applied not only to food heating but also to heating devices in industrial fields such as semiconductor devices and cleaning devices.

本発明の実施の形態1における加熱装置の断面図Sectional drawing of the heating apparatus in Embodiment 1 of this invention 同加熱装置のガラス板の断面図Sectional view of the glass plate of the heating device 本発明の実施の形態2における加熱装置の断面図Sectional drawing of the heating apparatus in Embodiment 2 of this invention 同加熱装置のガラス板の正面図Front view of the glass plate of the heating device 本発明の実施の形態3における加熱装置の断面図Sectional drawing of the heating apparatus in Embodiment 3 of this invention 同加熱装置のガラス板の正面図Front view of the glass plate of the heating device 同加熱装置の一部を切り欠いて示す平断面図A cross-sectional plan view of the heating device with a part cut away

符号の説明Explanation of symbols

10 加熱室
11 被加熱物収納空間
14 放射手段
17 開閉手段
18 小孔を有する金属板(透視窓)
19 ガラス板
20 インジュームとスズとの酸化物膜
21 フッ素ドープ酸化スズ膜
31、50 製膜
51 高周波発生手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Heating chamber 11 Heated object accommodation space 14 Radiation means 17 Opening / closing means 18 Metal plate having a small hole (transparent window)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 19 Glass plate 20 Oxide film of indium and tin 21 Fluorine dope tin oxide film 31, 50 Film formation 51 High frequency generation means

Claims (9)

被加熱物を収納する加熱室と、前記加熱室に対して被加熱物を出し入れするための開閉手段と、前記開閉手段に設け加熱室内を透視する透視窓とを備え、前記透視窓にはフッ素ドープ酸化スズ膜を製膜したガラス板を配設した加熱装置。 A heating chamber for storing an object to be heated, an opening / closing means for putting the object to be heated in and out of the heating chamber, and a see-through window provided in the opening / closing means for seeing through the heating chamber are provided. A heating device provided with a glass plate formed with a doped tin oxide film. ガラス板の製膜は、フッ素ドープ酸化スズ膜と、インジュームとスズとの酸化物膜とを積層して形成した請求項1に記載の加熱装置。 The heating apparatus according to claim 1, wherein the glass plate is formed by laminating a fluorine-doped tin oxide film and an oxide film of indium and tin. 透視窓は、複数の小孔を有する金属板で構成し、金属板の加熱室内側にガラス板を配設した請求項1または2に記載の加熱装置。 The heating device according to claim 1 or 2, wherein the see-through window is formed of a metal plate having a plurality of small holes, and a glass plate is disposed on the heating chamber side of the metal plate. ガラス板への製膜面は加熱室と反対側のガラス板面とした請求項1〜3のいずれか1項に記載の加熱装置。 The heating apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein a film forming surface on the glass plate is a glass plate surface opposite to the heating chamber. ガラス板への製膜範囲は、開閉手段が閉成状態でのガラス板の上下方向において略上半分とした請求項1〜4のいずれか1項に記載の加熱装置。 The heating apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein a film forming range on the glass plate is substantially upper half in a vertical direction of the glass plate in a closed state of the opening / closing means. 加熱室に供給する高周波を発生させる高周波発生手段を備え、高周波に共振する形状からなる製膜とした請求項1〜4のいずれか1項に記載の加熱装置。 The heating apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the heating apparatus includes a high-frequency generating unit that generates a high frequency to be supplied to the heating chamber, and is formed into a film having a shape that resonates with the high frequency. 高周波をガラス板に向けて放射するように制御した請求項6に記載の加熱装置。 The heating apparatus according to claim 6, wherein the heating apparatus is controlled to radiate a high frequency toward the glass plate. ガラス板は、熱強化処理されたガラスとした請求項1〜6のいずれか1項に記載の加熱装置。 The heating apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the glass plate is made of heat-strengthened glass. 製膜のシート抵抗を10Ω以下とした請求項1〜6のいずれか1項に記載の加熱装置。 The heating apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the sheet resistance of the film formation is 10Ω or less.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013543476A (en) * 2010-09-30 2013-12-05 ショット アクチエンゲゼルシャフト Thermal protection glazing and method for producing the same
CN106322460A (en) * 2016-08-25 2017-01-11 郑州峰泰纳米材料有限公司 Observation window of microwave oven

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