JP2006209840A - Optical recording medium - Google Patents

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Hironori Kakiuchi
宏憲 柿内
Hiroshi Shinkai
浩 新開
Kenji Yamaya
研二 山家
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical recording medium provided with a plurality of information layers layered via at least a transparent intermediate layer, wherein data can be recorded and recorded data can be reproduced desirably in any information layer even when the plurality of information layers except the furthest information layer from a light incident surface of a laser beam include recording films formed by using a phase transition material of an Sb eutectic system. <P>SOLUTION: In the optical recording medium provided with the plurality of information layers layered on a supporting substrate via at least the transparent intermediate layer, at least one information layer of the plurality of information layers except the furthest information layer from the light incident surface of the laser beam, includes a recording film 34 formed by using the phase transition material of the Sb eutectic system, a reflection film 32 provided on the supporting substrate 11 side of the recording film 34 and a dielectric film 31 provided on the supporting substrate 11 side of the reflection film 32. The dielectric film 31 is formed by using a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光記録媒体に関するものであり、さらに詳細には、支持基板上に、少なくとも透明中間層を介して、積層された複数の情報層を備え、複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜を含んでいる場合において、いずれの情報層にも、所望のように、データを記録し、記録したデータを再生することができる光記録媒体に関するものである。   The present invention relates to an optical recording medium. More specifically, the present invention includes a plurality of information layers stacked on a support substrate through at least a transparent intermediate layer. When an information layer other than the information layer farthest from the light incident surface includes a recording film formed of an Sb eutectic phase change material, data is recorded in any information layer as desired. In addition, the present invention relates to an optical recording medium capable of reproducing recorded data.

従来より、デジタルデータを記録するための記録媒体として、CDやDVDに代表される光記録媒体が広く利用されており、記録されたデータの書き換えが可能なものとして、CD−RWやDVD−RWなどの書き換え型の光記録媒体が知られている。   Conventionally, optical recording media represented by CD and DVD have been widely used as recording media for recording digital data, and recorded data can be rewritten as CD-RW or DVD-RW. Such rewritable optical recording media are known.

また、これらの光記録媒体の記録容量を高めるために、情報層の数を増やして、記録領域の面積を増大させる技術が開発されており、複数の情報層を備えた書き換え型の光記録媒体が提案されている。   In order to increase the recording capacity of these optical recording media, a technique for increasing the number of information layers and increasing the area of the recording area has been developed. A rewritable optical recording medium having a plurality of information layers Has been proposed.

これらの書き換え型の光記録媒体においては、一般に、相変化材料によって形成された記録膜を含む情報層に照射されるレーザビームのパワーを、記録パワーPw、基底パワーPbおよび消去パワーPeに対応する複数のレベルに変調することによって、情報層にデータを記録し、記録されたデータを再生し、あるいは、消去することができる。   In these rewritable optical recording media, generally, the power of a laser beam applied to an information layer including a recording film formed of a phase change material corresponds to recording power Pw, base power Pb, and erasing power Pe. By modulating to a plurality of levels, data can be recorded on the information layer, and the recorded data can be reproduced or erased.

ところが、複数の情報層を備えた書き換え型の光記録媒体は、いずれかの情報層にレーザビームを照射することによって、その情報層にデータを記録し、記録されたデータを再生し、あるいは、消去するように、構成されているため、光入射面から遠い情報層にデータを記録し、光入射面から遠い情報層に記録されたデータを再生し、あるいは、消去する際には、光入射面に近い情報層を介して、光入射面から遠い情報層にレーザビームが照射される。   However, the rewritable optical recording medium having a plurality of information layers records data on the information layer by irradiating one of the information layers with a laser beam, reproduces the recorded data, or Since it is configured to be erased, data is recorded on the information layer far from the light incident surface, and data recorded on the information layer far from the light incident surface is reproduced or erased. A laser beam is irradiated to the information layer far from the light incident surface through the information layer close to the surface.

したがって、所望のように、光入射面から遠い情報層にデータを記録し、光入射面から遠い情報層に記録されたデータを再生し、あるいは、消去するためには、光入射面に近い情報層が、レーザビームに対して、高い光透過率を有していることが必要である。   Therefore, in order to record data in an information layer far from the light incident surface and reproduce or erase data recorded in the information layer far from the light incident surface, information close to the light incident surface is desired. It is necessary that the layer has a high light transmittance for the laser beam.

ここに、情報層の光透過率を高くするためには、かかる情報層に、反射膜に対して、支持基板側に、誘電体材料によって形成された誘電体膜を、設けることが有効であり、とくに、かかる誘電体膜を、屈折率が大きな誘電体材料によって、形成することが有効であると考えられている。   Here, in order to increase the light transmittance of the information layer, it is effective to provide the information layer with a dielectric film formed of a dielectric material on the support substrate side with respect to the reflective film. In particular, it is considered that it is effective to form such a dielectric film with a dielectric material having a large refractive index.

この考えに基づいて、光入射面に近い情報層に、反射膜に対して、支持基板側に、屈折率が大きな誘電体材料によって形成された誘電体膜を設けた光記録媒体として、たとえば、その一方の表面によって、レーザビームが入射する光入射面を構成する第一の基板と、第一の基板に対向するように配置された第二の基板と、第一の基板と第二の基板との間に配置された第一の情報層と、第一の情報層と第二の基板との間に配置された第二の情報層と、第一の情報層と第二の情報層との間に配置された中間層とを備え、第一の情報層が、第二の基板側から第一の基板側に向かって、390nmないし430nmの波長を有する光に対する屈折率が2.3以上である第三の誘電体層と、第一の反射層と、第二の誘電体層と、GeとSnとSbとTeとを含む第一の記録層と、第一の誘電体層とを含むことを特徴とする光記録媒体が挙げられる(特開2003−16687号公報(特許文献1)参照。)。
特開2003−16687号公報
Based on this idea, an optical recording medium provided with a dielectric film formed of a dielectric material having a large refractive index on the support substrate side with respect to the reflective film on the information layer close to the light incident surface, for example, A first substrate constituting a light incident surface on which a laser beam is incident, a second substrate disposed so as to face the first substrate, a first substrate, and a second substrate. A first information layer disposed between, a second information layer disposed between the first information layer and the second substrate, a first information layer and a second information layer, The first information layer has a refractive index of 2.3 or more with respect to light having a wavelength of 390 nm to 430 nm from the second substrate side toward the first substrate side. A third dielectric layer, a first reflective layer, a second dielectric layer, Ge, Sn, Sb and Te A first recording layer containing, include optical recording medium, characterized in that it comprises a first dielectric layer (JP 2003-16687 (Patent Document 1) reference.).
JP 2003-16687 A

特開2003−16687号公報に記載されているように、従来より、書き換え型光記録媒体の情報層に含まれた記録膜を形成するための相変化材料として、カルコゲナイド化合物などの周期表の第16族元素(O、S、Se、TeおよびPo)を含む化合物組成を有する相変化材料が広く用いられているが、近年、Sb共晶組成を有する相変化材料(Sb共晶系の相変化材料)が提案され、このような相変化材料によって形成された記録膜を含む情報層を備えた光記録媒体が実用化されつつある(たとえば、特開2003−341240号公報)。   As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-16687, as a phase change material for forming a recording film included in an information layer of a rewritable optical recording medium, a periodic table such as a chalcogenide compound has been conventionally used. A phase change material having a compound composition containing a group 16 element (O, S, Se, Te and Po) has been widely used, but in recent years, a phase change material having an Sb eutectic composition (Sb eutectic phase change). And an optical recording medium having an information layer including a recording film formed of such a phase change material is being put into practical use (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-341240).

しかしながら、特開2003−16687号公報に記載された光記録媒体のように、光入射面に近い情報層の光透過率を高めるために、光入射面に近い情報層に、反射膜に対して、支持基板側に、屈折率が大きな誘電体材料によって形成された誘電体膜を設ける必要がある場合には、その情報層に含まれる記録膜を、Sb共晶系の相変化材料によって形成すると、光入射面に近い情報層にデータを記録し、記録したデータを再生したときに、再生信号のジッタが悪化してしまうことがあった。   However, in order to increase the light transmittance of the information layer close to the light incident surface as in the optical recording medium described in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-16687, the information layer close to the light incident surface is When it is necessary to provide a dielectric film formed of a dielectric material having a large refractive index on the support substrate side, the recording film included in the information layer is formed of an Sb eutectic phase change material. When data is recorded on the information layer close to the light incident surface and the recorded data is reproduced, the jitter of the reproduced signal sometimes deteriorates.

そのため、複数の情報層を備えた光記録媒体において、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜を含み、光入射面に近い位置に設けられた情報層の光透過性と記録特性を、ともに向上させることによって、いずれの情報層にも、所望のように、データを記録し、記録したデータを再生することは困難であった。   Therefore, in an optical recording medium provided with a plurality of information layers, the optical transparency and recording characteristics of an information layer provided at a position close to the light incident surface, including a recording film formed of an Sb eutectic phase change material By improving both, it is difficult to record data in any information layer as desired and to reproduce the recorded data.

したがって、本発明の目的は、支持基板上に、少なくとも透明中間層を介して、積層された複数の情報層を備え、複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜を含んでいる場合において、いずれの情報層にも、所望のように、データを記録し、記録したデータを再生することができる光記録媒体を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a plurality of information layers stacked on a support substrate via at least a transparent intermediate layer, and among the plurality of information layers, other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam When the information layer includes a recording film formed of a Sb eutectic phase change material, data is recorded on any information layer as desired, and the recorded data is reproduced. It is an object of the present invention to provide an optical recording medium that can be used.

本発明者は、本発明の前記目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、複数の情報層を備えた光記録媒体において、複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜と、記録膜に対して、支持基板側に設けられた反射膜と、反射膜に対して、支持基板側に設けられた誘電体膜とを含んでいる場合に、かかる誘電体膜を、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成したときには、かかる情報層の光透過率を低下させることなく、その情報層にデータを記録し、記録したデータを再生したときに、再生信号のジッタが悪化することを防止することができ、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層の光透過性と記録特性を高い水準で両立させることが可能になることを見出した。   As a result of intensive studies in order to achieve the above object of the present invention, the present inventor has found that, in an optical recording medium having a plurality of information layers, of the plurality of information layers, the furthest from the laser beam incident surface At least one information layer other than the information layer includes a recording film formed of an Sb eutectic phase change material, a reflective film provided on the support substrate side with respect to the recording film, and a reflective film On the other hand, when a dielectric film provided on the support substrate side is included, when the dielectric film is formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4, the information layer When the data is recorded on the information layer and the recorded data is reproduced, the jitter of the reproduction signal can be prevented from deteriorating from the light incident surface of the laser beam. Of information layers other than the farthest information layer It found that it is possible to achieve both light transmitting and recording characteristics of one information layer at a high level even without.

本発明は、かかる知見に基づくものであり、本発明によれば、本発明の前記目的は、支持基板上に、少なくとも透明中間層を介して、積層された複数の情報層を備え、前記複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜と、前記記録膜に対して、前記支持基板側に設けられた反射膜と、前記反射膜に対して、前記支持基板側に設けられた誘電体膜を含み、前記誘電体膜が、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって形成されたことを特徴とする光記録媒体によって達成される。   The present invention is based on such knowledge. According to the present invention, the object of the present invention includes a plurality of information layers stacked on a support substrate through at least a transparent intermediate layer. And at least one information layer other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam is a recording film formed of an Sb eutectic phase change material, and the recording film A reflective film provided on the support substrate side, and a dielectric film provided on the support substrate side with respect to the reflective film, wherein the dielectric film has a refractive index of 2.0 to 2. This is achieved by an optical recording medium characterized by being formed of four dielectric materials.

本発明者は、さらに、鋭意研究を重ねた結果、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜と、記録膜に対して、支持基板側に設けられた反射膜と、反射膜に対して、支持基板側に設けられ、二以上の膜を備えた誘電体膜を含んでいる場合に、かかる二以上の膜のうち、少なくとも、膜厚が最も厚い膜を、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成したときには、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層の光透過性と記録特性を高い水準で両立させることが可能になることを見出した。   Further, as a result of further earnest research, the present inventor has found that at least one information layer other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam is formed of a Sb eutectic phase change material. A film, a reflective film provided on the support substrate side with respect to the recording film, and a dielectric film provided with two or more films provided on the support substrate side with respect to the reflective film, Of these two or more films, when at least the thickest film is formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4, other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam It has been found that it is possible to achieve a high level of both the light transmission and recording characteristics of at least one information layer.

したがって、本発明の前記目的はまた、支持基板上に、少なくとも透明中間層を介して、積層された複数の情報層を備え、前記複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜と、前記記録膜に対して、前記支持基板側に設けられた反射膜と、前記反射膜に対して、前記支持基板側に設けられ、二以上の膜を備えた誘電体膜とを含み、前記二以上の膜のうち、膜厚が最も厚い膜が、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成されたことを特徴とする光記録媒体よって達成される。   Therefore, the object of the present invention is also provided with a plurality of information layers stacked on a support substrate through at least a transparent intermediate layer, and the farthest from the light incident surface of the laser beam among the plurality of information layers. A recording film in which at least one information layer other than the information layer is formed of an Sb eutectic phase change material; a reflective film provided on the support substrate side with respect to the recording film; And a dielectric film provided on the support substrate side with respect to the reflective film, the film having the largest thickness among the two or more films having a refractive index of 2.0. Or an optical recording medium characterized by being formed by a dielectric material of 2.4.

本発明において、屈折率とは、380nmないし450nmの波長を有するレーザビームに対する屈折率をいう。   In the present invention, the refractive index means a refractive index with respect to a laser beam having a wavelength of 380 nm to 450 nm.

本発明において、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって形成された誘電体膜または誘電体膜を構成する膜とは、誘電体材料によって形成された誘電体膜または誘電体膜を構成する膜が、2.0ないし2.4の屈折率を有していることをも包含する。   In the present invention, a dielectric film formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4 or a film constituting the dielectric film is a dielectric film or a dielectric film formed of a dielectric material. It is also included that the film constituting the film has a refractive index of 2.0 to 2.4.

本発明によれば、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層の光透過性と記録特性を高い水準で両立させることができるため、この情報層に、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することが可能になるとともに、レーザビームがかかる情報層を透過する際に、レーザビームの光量が減少することを最小限に抑制することができるから、かかる情報層を介して、かかる情報層よりも光入射面から遠い位置に設けられた情報層にレーザビームを照射することによって、この情報層にも、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生し、あるいは、消去することが可能になる。   According to the present invention, since the light transmittance and recording characteristics of at least one information layer other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam can be made compatible at a high level, As desired, it is possible to record data and to reproduce the recorded data, and to minimize a decrease in the light amount of the laser beam when the laser beam passes through the information layer. Therefore, by irradiating a laser beam through the information layer to the information layer provided at a position farther from the light incident surface than the information layer, the information layer is also subjected to data as desired. Can be recorded, and the recorded data can be reproduced or erased.

本発明において、反射膜に対して、支持基板側に設けられた誘電体膜が二以上の膜を備えている場合には、かかる二以上の膜のうち、少なくとも、膜厚が最も厚い膜が、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって形成されていれば、かかる膜厚が最も厚い膜以外の膜を形成する誘電体材料の屈折率は、とくに限定されるものではなく、たとえば、かかる二以上の膜のうち、すべての膜を、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって形成することもできる。   In the present invention, when the dielectric film provided on the support substrate side has two or more films with respect to the reflective film, at least the film having the largest film thickness among the two or more films. If the refractive index is formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4, the refractive index of the dielectric material for forming a film other than the thickest film is not particularly limited. For example, all of the two or more films can be formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4.

本発明において、誘電体材料の屈折率は、2.1ないし2.4であることが好ましく、とくに、2.1ないし2.3であることが好ましい。屈折率が2.1ないし2.4の誘電体材料によって誘電体膜を形成した場合には、光透過性と記録特性を、より一層、高い水準で両立させることが可能になる。   In the present invention, the refractive index of the dielectric material is preferably 2.1 to 2.4, and particularly preferably 2.1 to 2.3. In the case where the dielectric film is formed of a dielectric material having a refractive index of 2.1 to 2.4, it is possible to achieve both light transmittance and recording characteristics at a higher level.

本発明において、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料は、とくに限定されるものではないが、たとえば、モル比が約85:15ないし約60:40のZnSとSiOの混合物、モル比が約95:5ないし約70:30のZrOとCrの混合物、モル比が約98:2ないし約90:10のZrOとYの混合物、ZnO、CeO、Ta、Nbなどが好ましく用いられる。 In the present invention, the dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4 is not particularly limited. For example, a mixture of ZnS and SiO 2 having a molar ratio of about 85:15 to about 60:40. A mixture of ZrO 2 and Cr 2 O 3 in a molar ratio of about 95: 5 to about 70:30, a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 in a molar ratio of about 98: 2 to about 90:10, ZnO, CeO 2 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 and the like are preferably used.

本発明において、Sb共晶系の相変化材料は、とくに限定されるものではないが、Sbを主成分として含むSb共晶系の相変化材料が好ましく用いられ、Sbと、Sbと共晶を持つ元素の少なくとも一種とを主成分として含む相変化材料がより好ましく用いられる。   In the present invention, the Sb eutectic phase change material is not particularly limited, but an Sb eutectic phase change material containing Sb as a main component is preferably used, and Sb, Sb and eutectic are used. A phase change material containing at least one of the elements as a main component is more preferably used.

ここに、Sbと共晶を持つ元素は、Sbと共晶を持ち得る元素であれば、とくに限定されるものではないが、たとえば、Ge、Mg、Ga、As、Pb、Bi、Cr、Mn、Ni、Cu、Zn、Pd、Ag、Inなどの元素が好ましく用いられる。   Here, the element having an eutectic with Sb is not particularly limited as long as it can have an eutectic with Sb. For example, Ge, Mg, Ga, As, Pb, Bi, Cr, Mn Ni, Cu, Zn, Pd, Ag, In, and other elements are preferably used.

このようなSb共晶系の相変化材料の中でも、79原子%ないし95原子%のSbと、5原子%ないし21原子%のGeとを含む相変化材料、および、70原子%ないし95原子%のSbと、0原子%を超え、30原子%未満のGeと、0原子%を超え、25原子%以下のMgを含む相変化材料がとくに好ましい。かかる相変化材料によって記録膜を形成した場合には、かかる記録膜を含む情報層に記録したデータを、長期間にわたって、高温下で保存した後に、このデータを、新たなデータによって、所望のように、ダイレクトオーバーライトすることができ、保存特性を向上させることができる。   Among such Sb eutectic phase change materials, a phase change material containing 79 atom% to 95 atom% Sb and 5 atom% to 21 atom% Ge, and 70 atom% to 95 atom% Particularly preferred is a phase change material comprising Sb, a Ge of greater than 0 atomic percent and less than 30 atomic percent, and a Mg content of greater than 0 atomic percent and less than 25 atomic percent. When a recording film is formed of such a phase change material, after the data recorded in the information layer including the recording film is stored at a high temperature for a long period of time, the data is changed to a desired data by new data. In addition, direct overwriting can be performed and storage characteristics can be improved.

本発明においては、Sb共晶系の相変化材料が、さらに、Sb、および、Sbと共晶を持つ元素以外の元素を含んでいてもよい。   In the present invention, the Sb eutectic phase change material may further contain elements other than Sb and elements having eutectic with Sb.

本発明によれば、支持基板上に、少なくとも透明中間層を介して、積層された複数の情報層を備え、複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜を含んでいる場合において、いずれの情報層にも、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができる光記録媒体を提供することが可能になる。   According to the present invention, a support substrate is provided with a plurality of information layers stacked through at least a transparent intermediate layer, and information other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam among the plurality of information layers. In the case where the layer includes a recording film formed of an Sb eutectic phase change material, data can be recorded and reproduced in any information layer as desired. It is possible to provide an optical recording medium that can be used.

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体を示す一部切り欠き略斜視図であり、図2は、図1のAで示された部分の略拡大断面図である。   FIG. 1 is a partially cutaway schematic perspective view showing an optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic enlarged sectional view of a portion indicated by A in FIG.

図1に示されるように、本実施態様にかかる光記録媒体10は、円盤状に形成され、約120mmの外径と、約1.2mmの厚さを有している。   As shown in FIG. 1, the optical recording medium 10 according to this embodiment is formed in a disc shape, and has an outer diameter of about 120 mm and a thickness of about 1.2 mm.

本実施態様にかかる光記録媒体10は、書き換え型の光記録媒体として構成され、図2に示されるように、支持基板11と、透明中間層12と、光透過層13と、支持基板11と透明中間層12との間に設けられたL0情報層20と、透明中間層12と光透過層13との間に設けられたL1情報層30を備え、光透過層13の一方の表面によって、レーザビームLが入射する光入射面13aが構成されている。   The optical recording medium 10 according to the present embodiment is configured as a rewritable optical recording medium, and as shown in FIG. 2, a support substrate 11, a transparent intermediate layer 12, a light transmission layer 13, a support substrate 11, and the like. The L0 information layer 20 provided between the transparent intermediate layer 12 and the L1 information layer 30 provided between the transparent intermediate layer 12 and the light transmission layer 13 are provided. A light incident surface 13a on which the laser beam L is incident is configured.

本実施態様において、L0情報層20は、光入射面13aから遠い情報層を構成し、L1情報層30は、光入射面13aに近い情報層を構成している。   In this embodiment, the L0 information layer 20 constitutes an information layer far from the light incident surface 13a, and the L1 information layer 30 constitutes an information layer close to the light incident surface 13a.

本実施態様にかかる光記録媒体10は、図2において、矢印Lで示される方向から、380nmないし450nmの波長λを有するレーザビームLが、約0.85の開口数NAを有する対物レンズ(図示せず)を介して、光透過層13に照射されるように構成されている。   The optical recording medium 10 according to this embodiment is an objective lens (FIG. 2) in which a laser beam L having a wavelength λ of 380 nm to 450 nm has a numerical aperture NA of about 0.85 from the direction indicated by the arrow L in FIG. The light transmitting layer 13 is configured to be irradiated via a not-shown).

支持基板11は、光記録媒体10に求められる機械的強度を確保するための支持体として、機能する。   The support substrate 11 functions as a support for ensuring the mechanical strength required for the optical recording medium 10.

支持基板11を形成するための材料は、光記録媒体10の支持体として機能することができれば、とくに限定されるものではないが、樹脂が好ましく使用される。このような樹脂としては、加工性、光学特性などの点から、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂がとくに好ましく、本実施態様においては、支持基板11は、ポリカーボネート樹脂によって形成されている。   The material for forming the support substrate 11 is not particularly limited as long as it can function as a support for the optical recording medium 10, but a resin is preferably used. Such a resin is particularly preferably a polycarbonate resin or a polyolefin resin from the viewpoint of processability, optical characteristics, and the like. In this embodiment, the support substrate 11 is formed of a polycarbonate resin.

本実施形態においては、支持基板11は、約1.1mmの厚さを有している。   In the present embodiment, the support substrate 11 has a thickness of about 1.1 mm.

本実施形態においては、レーザビームLは、支持基板11とは反対側に位置する光透過層13を介して、照射されるから、支持基板11が、光透過性を有していることは必ずしも必要ではない。   In the present embodiment, the laser beam L is irradiated through the light transmission layer 13 located on the side opposite to the support substrate 11, so that the support substrate 11 does not necessarily have optical transparency. Not necessary.

支持基板11は、図2に示されるように、その表面には、グルーブ11aが形成されている。グルーブ11aは、L0情報層20にデータを記録し、L0情報層20からデータを再生する場合に、レーザビームLのガイドトラックとしての役割を果たす。   As shown in FIG. 2, the support substrate 11 has a groove 11a formed on the surface thereof. The groove 11a serves as a guide track for the laser beam L when data is recorded on the L0 information layer 20 and data is reproduced from the L0 information layer 20.

表面に、グルーブ11a有する支持基体11は、たとえば、スタンパ(図示せず)を用いた射出成形法などによって作製される。   The support base 11 having the groove 11a on the surface is produced by, for example, an injection molding method using a stamper (not shown).

透明中間層12は、L0情報層20とL1情報層30とを、物理的に、かつ、光学的に十分な距離をもって離間させる機能を有している。   The transparent intermediate layer 12 has a function of separating the L0 information layer 20 and the L1 information layer 30 physically and optically with a sufficient distance.

図2に示されるように、透明中間層12の表面には、グルーブ12aが形成されている。透明中間層12の表面に形成されたグルーブ12aは、L1情報層30にデータを記録し、L1情報層30からデータを再生する場合において、レーザビームLのガイドトラックとして、機能する。   As shown in FIG. 2, a groove 12 a is formed on the surface of the transparent intermediate layer 12. The groove 12a formed on the surface of the transparent intermediate layer 12 functions as a guide track for the laser beam L when data is recorded on the L1 information layer 30 and data is reproduced from the L1 information layer 30.

透明中間層12は、L0情報層20にデータを記録し、L0情報層20からデータを再生する場合に、レーザビームLが通過するため、十分に高い光透過性を有している必要がある。したがって、透明中間層12を形成するための材料は、近赤外から紫外の波長領域での光学吸収や反射が少なく、複屈折率が小さいことが要求される。透明中間層12を形成するための材料は、これらの条件を満足する材料であれば、とくに限定されるものではないが、紫外線硬化型アクリル樹脂などの紫外線硬化型樹脂を含む紫外線硬化型樹脂組成物によって、透明中間層12が形成されることが好ましい。   The transparent intermediate layer 12 needs to have a sufficiently high light transmittance since the laser beam L passes when data is recorded on the L0 information layer 20 and data is reproduced from the L0 information layer 20. . Therefore, the material for forming the transparent intermediate layer 12 is required to have little optical absorption and reflection in the near-infrared to ultraviolet wavelength region and a small birefringence. The material for forming the transparent intermediate layer 12 is not particularly limited as long as it satisfies these conditions, but an ultraviolet curable resin composition containing an ultraviolet curable resin such as an ultraviolet curable acrylic resin. It is preferable that the transparent intermediate layer 12 is formed by an object.

透明中間層12は、L0情報層20上に、紫外線硬化型樹脂組成物の溶液をスピンコーティング法によって、塗布して、塗膜を形成し、塗膜の表面に、支持基板11を作製するのに用いたスタンパと同様の凹凸パターンが形成されたスタンパ(図示せず)を被せた状態で、スタンパを介して、紫外線を照射することによって、形成されることが好ましい。   The transparent intermediate layer 12 is formed by applying a solution of an ultraviolet curable resin composition on the L0 information layer 20 by a spin coating method to form a coating film, and preparing the support substrate 11 on the surface of the coating film. It is preferably formed by irradiating with ultraviolet rays through a stamper in a state of covering a stamper (not shown) on which a concave and convex pattern similar to the stamper used in the above is formed.

光透過層13は、レーザビームLが透過する層であり、その一方の表面によって、光入射面13aが構成されている。   The light transmission layer 13 is a layer through which the laser beam L is transmitted, and a light incident surface 13a is constituted by one surface thereof.

光透過層13を形成するための材料は、近赤外から紫外の波長領域で吸収が小さく、かつ、複屈折率が小さいことが要求される。光透過層13を形成するための材料は、これらの条件を満足する材料であれば、とくに限定されるものではないが、紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂などを含有する樹脂組成物が、光透過層13を形成するために、好ましく使用され、紫外線硬化型アクリル樹脂を含有する樹脂組成物が、より好ましく使用される。   The material for forming the light transmission layer 13 is required to have low absorption and a low birefringence in the near-infrared to ultraviolet wavelength region. The material for forming the light transmission layer 13 is not particularly limited as long as the material satisfies these conditions, but a resin composition containing an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like may be used. In order to form the light transmission layer 13, a resin composition containing an ultraviolet curable acrylic resin is more preferably used.

光透過層13は、30μmないし200μmの厚さを有するように形成されることが好ましい。   The light transmission layer 13 is preferably formed to have a thickness of 30 μm to 200 μm.

光透過層13は、樹脂組成物の溶液を、スピンコーティング法によって、L1情報層30の表面上に塗布して、形成されることが好ましいが、光透過性樹脂によって形成されたシートを、接着剤を用いて、L1情報層30の表面に接着して、光透過層13を形成することもできる。   The light transmission layer 13 is preferably formed by applying a solution of the resin composition on the surface of the L1 information layer 30 by spin coating, but the sheet formed of the light transmission resin is bonded. The light transmission layer 13 can also be formed by adhering to the surface of the L1 information layer 30 using an agent.

図3は、L0情報層20の略拡大断面図である。   FIG. 3 is a schematic enlarged cross-sectional view of the L0 information layer 20.

図3に示されるように、本実施態様においては、L0情報層20は、支持基板11側から、反射膜21、第二の誘電体膜22、L0記録膜23、第一の誘電体膜24および放熱膜25が積層されて、構成されている。   As shown in FIG. 3, in this embodiment, the L0 information layer 20 includes the reflective film 21, the second dielectric film 22, the L0 recording film 23, and the first dielectric film 24 from the support substrate 11 side. In addition, the heat dissipation film 25 is laminated.

反射膜21は、光透過層13およびL1情報層30を介して、L0記録膜23に照射されるレーザビームLを反射し、再び、光透過層13から出射させる役割を果たすとともに、レーザビームLが照射されることによって、L0記録膜23に生じた熱を効果的に放熱させる役割を果たす。   The reflective film 21 reflects the laser beam L applied to the L0 recording film 23 via the light transmitting layer 13 and the L1 information layer 30 and emits the light again from the light transmitting layer 13. Is used to effectively dissipate heat generated in the L0 recording film 23.

反射膜21を形成するための材料は、とくに限定されるものではなく、Mg、Al、Ti、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ge、Ag、Pt、Au、Ndなどが用いられるが、これらのうちでも、高い反射率を有しているAl、Au、Ag、Cu、または、AgとCuとの合金など、これらの金属の少なくとも1つを含む合金などの金属材料が、反射膜21を形成するために、好ましく用いられる。とくに、反射膜21が、Agを含んでいる場合には、表面平滑性に優れた反射膜21を形成することができ、再生信号のノイズレベルを低減することが可能になり、好ましい。   The material for forming the reflective film 21 is not particularly limited, and Mg, Al, Ti, Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ge, Ag, Pt, Au, Nd, and the like are used. However, among these, metal materials such as Al, Au, Ag, Cu, or an alloy containing at least one of these metals, such as Al, Au, Ag, Cu, or an alloy of Ag and Cu, which have high reflectivity, are reflective. It is preferably used for forming the film 21. In particular, when the reflective film 21 contains Ag, the reflective film 21 having excellent surface smoothness can be formed, and the noise level of the reproduction signal can be reduced, which is preferable.

反射膜21は、単一の膜によって構成されても、2以上の膜が積層されて構成されてもよいが、本実施態様においては、反射膜21は、Agを含む金属材料によって形成された第一の膜212と第二の膜211とが積層されて、構成されている。   The reflective film 21 may be configured by a single film or may be configured by stacking two or more films. In this embodiment, the reflective film 21 is formed by a metal material containing Ag. The first film 212 and the second film 211 are laminated.

反射膜21の厚さは、とくに限定されるものではないが、10nmないし300nmであることが好ましく、40nmないし200nmであることが、とくに好ましい。   The thickness of the reflective film 21 is not particularly limited, but is preferably 10 nm to 300 nm, and particularly preferably 40 nm to 200 nm.

反射膜21は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The reflective film 21 is formed by, for example, a sputtering method.

第二の誘電体膜22および第一の誘電体膜24は、L0記録膜23を物理的および化学的に保護するとともに、L0記録膜23に生成された熱を放熱させ、さらに、レーザビームLを照射する前後の光学特性の変化を増大する機能を有している。   The second dielectric film 22 and the first dielectric film 24 physically and chemically protect the L0 recording film 23, dissipate the heat generated in the L0 recording film 23, and further, the laser beam L Has a function of increasing the change in optical properties before and after irradiation.

第二の誘電体膜22および第一の誘電体膜24を形成するための材料は、レーザビームLの波長領域である380nmないし450nmの波長において、透明な誘電体材料であれば、とくに限定されるものではないが、第二の誘電体膜22および第一の誘電体膜24は、Si、Zn、Al、Ta、Ti、Co、Zr、Pb、Ag、Sn、Ca、Ce、V、Cu、Fe、Mgよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物、窒化物、硫化物、炭化物、フッ化物、あるいは、これらの複合物から形成されることが好ましい。   The material for forming the second dielectric film 22 and the first dielectric film 24 is not particularly limited as long as it is a transparent dielectric material in the wavelength region of 380 nm to 450 nm that is the wavelength region of the laser beam L. Although not intended, the second dielectric film 22 and the first dielectric film 24 are made of Si, Zn, Al, Ta, Ti, Co, Zr, Pb, Ag, Sn, Ca, Ce, V, Cu. It is preferably formed from an oxide, nitride, sulfide, carbide, fluoride, or composite containing at least one metal selected from the group consisting of Fe, Mg.

第二の誘電体膜22および第一の誘電体膜24は、それぞれ、単一の膜によって構成されても、2以上の膜が積層されて構成されてもよいが、本実施態様においては、第二の誘電体膜22は、ZnSとSiOの混合物によって形成された第一の膜222と、CeとAlの酸化物によって形成された第二の膜221とが積層されて、構成され、第一の誘電体膜24は、単一の膜によって、構成されている。 Each of the second dielectric film 22 and the first dielectric film 24 may be configured by a single film or may be configured by stacking two or more films. In this embodiment, The second dielectric film 22 is configured by laminating a first film 222 formed of a mixture of ZnS and SiO 2 and a second film 221 formed of an oxide of Ce and Al. The first dielectric film 24 is constituted by a single film.

第二の誘電体膜22および第一の誘電体膜24の厚さは、とくに限定されるものではないが、第二の誘電体膜22の厚さは5nmないし35nmであることが好ましく、第一の誘電体膜24の厚さは10nmないし80nmであることが好ましい。   The thickness of the second dielectric film 22 and the first dielectric film 24 is not particularly limited, but the thickness of the second dielectric film 22 is preferably 5 nm to 35 nm. The thickness of one dielectric film 24 is preferably 10 nm to 80 nm.

第二の誘電体膜22および第一の誘電体膜24は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The second dielectric film 22 and the first dielectric film 24 are formed by, for example, a sputtering method.

L0記録膜23は、記録マークを形成して、データを記録するための膜であり、相変化材料によって形成され、単一の膜によって構成されている。相変化材料は、結晶状態である場合の反射率と、アモルファス状態である場合の反射率とが異なるため、これを利用して、データが記録され、記録されたデータが再生される。   The L0 recording film 23 is a film for recording data by forming recording marks, is formed of a phase change material, and is formed of a single film. Since the phase change material has a reflectance different from that in the crystalline state and the reflectance in the amorphous state, data is recorded by using this, and the recorded data is reproduced.

L0記録膜23を形成するための相変化材料は、とくに限定されるものではないが、L0記録膜23は、Sb、Te、Ge、Ag、TbおよびMnからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素を含む相変化材料を含んで形成されるのが好ましい。   The phase change material for forming the L0 recording film 23 is not particularly limited, but the L0 recording film 23 is at least one element selected from the group consisting of Sb, Te, Ge, Ag, Tb and Mn. It is preferably formed including a phase change material containing

L0記録膜23の厚さは、とくに限定されるものではないが、8nmないし25nmであることが好ましい。   The thickness of the L0 recording film 23 is not particularly limited, but is preferably 8 nm to 25 nm.

L0記録膜23は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The L0 recording film 23 is formed by, for example, a sputtering method.

放熱膜25は、第一の誘電体膜24を介して、L0記録膜23から伝達された熱を放熱する役割を果たす。   The heat dissipation film 25 plays a role of radiating heat transferred from the L0 recording film 23 via the first dielectric film 24.

放熱膜25を形成するための材料は、レーザビームLに対して高い光透過性を有し、かつ、記録膜23に生じた熱を放熱することができれば、とくに限定されるものではないが、第一の誘電体膜24の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する材料が好ましく、具体的には、AlN、Al、SiN、ZnS、ZnO、SiOなどが、放熱膜25を形成するために、好ましく使用される。 The material for forming the heat dissipation film 25 is not particularly limited as long as it has high light transmittance with respect to the laser beam L and can radiate the heat generated in the recording film 23. A material having a thermal conductivity higher than the thermal conductivity of the first dielectric film 24 is preferable. Specifically, AlN, Al 2 O 3 , SiN, ZnS, ZnO, SiO 2, etc. are used as the heat dissipation film 25. Preferably used for forming.

放熱膜25は、10nmないし120nmの厚さを有するように形成されることが好ましい。   The heat dissipation film 25 is preferably formed to have a thickness of 10 nm to 120 nm.

放熱膜25は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The heat dissipation film 25 is formed by, for example, a sputtering method.

図4は、L1情報層30の略拡大断面図である。   FIG. 4 is a schematic enlarged cross-sectional view of the L1 information layer 30.

図4に示されるように、本実施態様においては、L1情報層30は、支持基板11側から、第四の誘電体膜31、反射膜32、第三の誘電体膜33、L1記録膜34、第二の誘電体膜35、第一の誘電体膜36および放熱膜37が積層されて、構成されている。   As shown in FIG. 4, in the present embodiment, the L1 information layer 30 includes the fourth dielectric film 31, the reflective film 32, the third dielectric film 33, and the L1 recording film 34 from the support substrate 11 side. The second dielectric film 35, the first dielectric film 36, and the heat dissipation film 37 are laminated.

第四の誘電体膜31は、L1情報層30の光透過性と記録特性を高い水準で両立させる役割を果たし、さらに、後述する反射膜32とともに、レーザビームLの照射によって、L1記録膜34に生じた熱を効果的に放熱させる役割を果たす。   The fourth dielectric film 31 plays a role of achieving both the light transmittance and the recording characteristics of the L1 information layer 30 at a high level. Furthermore, the L1 recording film 34 is irradiated with the laser beam L together with the reflection film 32 described later. It effectively serves to dissipate the heat generated in

第四の誘電体膜31は、単一の膜によって構成されても、二以上の膜が積層されて構成されてもよいが、本実施態様においては、第一の膜312と、第一の膜312の膜厚よりも厚い膜厚に設定された第二の膜311とが積層されて、構成されている。   The fourth dielectric film 31 may be configured by a single film or may be configured by stacking two or more films, but in the present embodiment, the first film 312 and the first film A second film 311 having a thickness larger than that of the film 312 is laminated and configured.

第二の膜311を形成するための材料は、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料であれば、とくに限定されるものではなく、Ti、Zr、Hf、Ta、Si、Al、Mg、Y、Ce、Zn、CrおよびNbよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物、窒化物、硫化物、炭化物、フッ化物、あるいは、これらの複合物などの誘電体材料が、第二の膜311を形成するために用いられる。これらの中でも、モル比が約85:15ないし約60:40のZnSとSiOの混合物、モル比が約95:5ないし約70:30のZrOとCrの混合物、モル比が約98:2ないし約90:10のZrOとYの混合物、ZnO、CeO、Ta、Nbなどが第二の膜311を形成するために好ましく用いられる。本実施態様においては、第二の膜311は、モル比が80:20のZnSとSiOの混合物によって形成されている。第二の膜311がかかる材料によって形成されている場合には、L1情報層30の光透過性と記録特性を高い水準で両立させることが可能になる。 The material for forming the second film 311 is not particularly limited as long as it is a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4. Ti, Zr, Hf, Ta, Si, Al A dielectric material such as an oxide, nitride, sulfide, carbide, fluoride, or a composite thereof containing at least one metal selected from the group consisting of Mg, Y, Ce, Zn, Cr and Nb , Used to form the second film 311. Among these, a mixture of ZnS and SiO 2 having a molar ratio of about 85:15 to about 60:40, a mixture of ZrO 2 and Cr 2 O 3 having a molar ratio of about 95: 5 to about 70:30, and a molar ratio of A mixture of about 98: 2 to about 90:10 ZrO 2 and Y 2 O 3 , ZnO, CeO 2 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5, etc. is preferably used to form the second film 311. In the present embodiment, the second film 311 is formed of a mixture of ZnS and SiO 2 having a molar ratio of 80:20. When the second film 311 is formed of such a material, it is possible to achieve both the light transmittance and the recording characteristics of the L1 information layer 30 at a high level.

第一の膜312を形成するための材料は、とくに限定されるものではなく、Ti、Zr、Hf、Ta、Si、Al、Mg、Y、Ce、Znよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物、窒化物、炭化物、フッ化物、あるいは、これらの複合物などの誘電体材料が、第一の膜312を形成するために用いられるが、Sを含んでいない誘電体材料が好ましく用いられる。後述する反射膜32に隣接して設けられた第一の膜312が、かかる誘電体材料によって、形成された場合には、Agを含む反射膜32の表面が腐食されることを防止することができ、高い保存信頼性を確保することが可能になる。本実施態様においては、第一の膜312は、モル比が97:3のZrOとYの混合物によって形成されている。第一の膜312がかかる材料によって形成されている場合には、レーザビームLの照射によって、L1記録膜34に生成された熱を速やかに放熱させることが可能になるとともに、高い保存信頼性を確保することが可能になる。 The material for forming the first film 312 is not particularly limited, and at least one metal selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, Ta, Si, Al, Mg, Y, Ce, and Zn. Dielectric materials such as oxides, nitrides, carbides, fluorides, or composites containing these are used to form the first film 312 but dielectric materials that do not contain S are preferred. Used. When the first film 312 provided adjacent to the reflection film 32 described later is formed of such a dielectric material, the surface of the reflection film 32 containing Ag can be prevented from being corroded. And high storage reliability can be ensured. In the present embodiment, the first film 312 is formed of a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 having a molar ratio of 97: 3. When the first film 312 is formed of such a material, the heat generated in the L1 recording film 34 can be quickly dissipated by the irradiation of the laser beam L, and high storage reliability is achieved. It becomes possible to secure.

第四の誘電体膜31は、3nmないし30nmの厚さを有するように形成されることが好ましい。第四の誘電体膜31の厚さが、3nm未満の場合には、放熱効果が低下し、その一方で、30nmを越えている場合には、生産性が低下してしまう。   The fourth dielectric film 31 is preferably formed to have a thickness of 3 nm to 30 nm. When the thickness of the fourth dielectric film 31 is less than 3 nm, the heat dissipation effect is reduced. On the other hand, when it exceeds 30 nm, the productivity is reduced.

本実施態様においては、第一の膜312と第二の膜311の膜厚は、第二の膜311の膜厚が第一の膜312の膜厚よりも厚く設定されていれば、とくに限定されるものではない。   In the present embodiment, the thicknesses of the first film 312 and the second film 311 are particularly limited as long as the second film 311 is set to be thicker than the first film 312. Is not to be done.

第一の膜312および第二の膜311は、たとえば、スパッタリング法などによって、それぞれ、形成される。   The first film 312 and the second film 311 are each formed by, for example, a sputtering method.

反射膜32は、光透過層13を介して、L1記録膜34に照射されるレーザビームLを反射し、再び、光透過層13から出射させる役割を果たすとともに、レーザビームLが照射されることによって、L1記録膜34に生じた熱を効果的に放熱させる役割を果たす。   The reflection film 32 reflects the laser beam L applied to the L1 recording film 34 via the light transmission layer 13 and emits the laser beam L from the light transmission layer 13 again, and is irradiated with the laser beam L. Thus, the heat generated in the L1 recording film 34 is effectively dissipated.

反射膜32を形成するための材料は、とくに限定されるものではないが、図3に示されたL0情報層20の反射膜21を形成するために、好ましく用いられる金属材料と同様の金属材料が、好ましく用いられる。本実施態様においては、反射膜32は、Agを主成分として含む金属材料によって、形成されている。反射膜32が、かかる金属材料によって、形成されている場合には、反射膜32の表面平滑性が優れ、再生信号のノイズレベルを低減することが可能になる。   The material for forming the reflective film 32 is not particularly limited, but the same metal material as the metal material preferably used for forming the reflective film 21 of the L0 information layer 20 shown in FIG. Are preferably used. In the present embodiment, the reflective film 32 is formed of a metal material containing Ag as a main component. When the reflective film 32 is formed of such a metal material, the surface smoothness of the reflective film 32 is excellent, and the noise level of the reproduction signal can be reduced.

反射膜32は、5nmないし25nmの厚さを有するように形成されることが好ましく、10nmないし15nmの厚さを有有するように形成されることが、とくに好ましい。反射膜32が、5nmないし25nmの厚さを有するように形成される場合には、反射膜32からの放熱性を向上させることができるとともに、L1情報層30の光透過性を向上させることもできる。   The reflective film 32 is preferably formed so as to have a thickness of 5 nm to 25 nm, and particularly preferably formed so as to have a thickness of 10 nm to 15 nm. When the reflective film 32 is formed to have a thickness of 5 nm to 25 nm, the heat dissipation from the reflective film 32 can be improved and the light transmittance of the L1 information layer 30 can be improved. it can.

反射膜32は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The reflective film 32 is formed by, for example, a sputtering method.

第三の誘電体膜33は、第二の誘電体膜35とともに、L1記録膜34を物理的および化学的に保護する役割を果たすとともに、レーザビームLの照射によって、L1記録膜34に生じた熱を、反射膜32側に放熱させる機能を有している。   The third dielectric film 33, together with the second dielectric film 35, plays a role of physically and chemically protecting the L1 recording film 34, and is generated in the L1 recording film 34 by the irradiation of the laser beam L. It has a function of radiating heat to the reflective film 32 side.

第三の誘電体膜33を形成するための材料は、とくに限定されるものではなく、第一の膜312を形成するための材料と同様の材料が用いられる。本実施態様において、第三の誘電体膜33は、第一の膜312と同様に、モル比が97:3のZrOとYの混合物によって形成されている。第三の誘電体膜33がかかる材料によって形成されている場合には、レーザビームLの照射によってL1記録膜34に生成された熱を速やかに放熱させることが可能になる。 The material for forming the third dielectric film 33 is not particularly limited, and the same material as that for forming the first film 312 is used. In the present embodiment, the third dielectric film 33 is formed of a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 having a molar ratio of 97: 3, like the first film 312. When the third dielectric film 33 is formed of such a material, it is possible to quickly dissipate the heat generated in the L1 recording film 34 by irradiation with the laser beam L.

第三の誘電体膜33は、3nmないし15nmの厚さを有するように形成されることが好ましい。第三の誘電体膜33の厚さが3nm未満の場合には、第三の誘電体膜33を連続膜として形成することが困難となり、その一方で、15nmを越えている場合には、L1記録膜34の熱を効果的に反射膜に逃がすことが困難になる。   The third dielectric film 33 is preferably formed to have a thickness of 3 nm to 15 nm. When the thickness of the third dielectric film 33 is less than 3 nm, it is difficult to form the third dielectric film 33 as a continuous film. On the other hand, when the thickness exceeds 15 nm, L1 It becomes difficult to effectively release the heat of the recording film 34 to the reflection film.

第三の誘電体膜33は、たとえば、スパッタリング法などによって、形成される。   The third dielectric film 33 is formed by, for example, a sputtering method.

L1記録膜34は、記録マークを形成して、データを記録するための膜であり、Sb共晶系の相変化材料によって形成され、単一の膜によって構成されている。相変化材料は、結晶状態である場合の反射率とアモルファス状態である場合の反射率とが異なるため、これを利用して、データが記録され、記録されたデータが再生される。   The L1 recording film 34 is a film for recording data by forming recording marks, is formed of an Sb eutectic phase change material, and is formed of a single film. Since the phase change material has a different reflectance in a crystalline state and a reflectance in an amorphous state, data is recorded using this, and the recorded data is reproduced.

L1記録膜34を形成するためのSb共晶系の相変化材料は、とくに限定されるものではないが、Sbと、Sbと共晶を持つ元素の少なくとも一種とを主成分として含む相変化材料が好ましく用いられ、とくに、79原子%ないし95原子%のSbと、5原子%ないし21原子%のGeとを含む相変化材料、および、70原子%ないし95原子%のSbと、0原子%を超え、30原子%未満のGeと、0原子%を超え、25原子%以下のMgを含む相変化材料が好ましく用いられる。本実施態様において、L1記録膜34は、79原子%ないし95原子%のSbと、5原子%ないし21原子%のGeとを含む相変化材料によって、形成されている。L1記録膜34がかかる相変化材料によって形成されている場合には、L1記録膜34の膜厚にかかわらず、L1情報層30の保存特性が向上する。   The Sb eutectic phase change material for forming the L1 recording film 34 is not particularly limited, but includes a phase change material containing Sb and at least one element having an eutectic with Sb as main components. In particular, a phase change material comprising 79 atomic% to 95 atomic% Sb and 5 atomic% to 21 atomic% Ge, and 70 atomic% to 95 atomic% Sb and 0 atomic% Preferably, a phase change material containing less than 30 atomic% Ge and more than 0 atomic% and not more than 25 atomic% Mg is preferably used. In this embodiment, the L1 recording film 34 is formed of a phase change material containing 79 atomic% to 95 atomic% of Sb and 5 atomic% to 21 atomic% of Ge. When the L1 recording film 34 is formed of such a phase change material, the storage characteristics of the L1 information layer 30 are improved regardless of the film thickness of the L1 recording film 34.

L1記録膜34は、2nmないし15nmの厚さを有するように形成されることが好ましく、4nmないし9nmの膜厚を有するように形成されていることがより好ましい。L1記録膜34が2nmないし15nmの厚さを有するように形成された場合には、L1情報層30の保存特性が、より一層、向上する。   The L1 recording film 34 is preferably formed to have a thickness of 2 nm to 15 nm, and more preferably 4 nm to 9 nm. When the L1 recording film 34 is formed to have a thickness of 2 nm to 15 nm, the storage characteristics of the L1 information layer 30 are further improved.

L1記録膜34は、たとえば、L1記録膜34の構成元素を含む化学種を用いた気相成長法によって、形成することができる。気相成長法としては、真空蒸着法、スパッタリング法などが挙げられるが、スパッタリング法によって、L1記録膜34を形成することが好ましい。   The L1 recording film 34 can be formed by, for example, a vapor phase growth method using a chemical species containing a constituent element of the L1 recording film 34. Examples of the vapor phase growth method include a vacuum evaporation method and a sputtering method, but it is preferable to form the L1 recording film 34 by a sputtering method.

第二の誘電体膜35は、第三の誘電体膜33とともに、L1記録膜34を物理的および化学的に保護する役割を果たすとともに、レーザビームLの照射によって、L1記録膜34に生じた熱を、後述する放熱膜37側に放熱させる機能を有している。また、第二の誘電体膜35は、第一誘電体膜36を構成する元素がL1記録膜34に拡散することを防ぐバリア膜としての役割をも果たす。   The second dielectric film 35, together with the third dielectric film 33, plays a role of physically and chemically protecting the L1 recording film 34, and is generated in the L1 recording film 34 by the irradiation of the laser beam L. It has a function of radiating heat to the heat radiating film 37 described later. The second dielectric film 35 also serves as a barrier film that prevents the elements constituting the first dielectric film 36 from diffusing into the L1 recording film 34.

第二の誘電体膜35を形成するための材料は、とくに限定されるものではなく、第一の膜312および第三の誘電体膜33を形成するための材料と同様の材料が用いられる。本実施態様において、第二の誘電体膜35は、第一の膜312および第三の誘電体膜33と同様に、モル比が97:3のZrOとYの混合物によって形成されている。第二の誘電体膜35がかかる材料によって形成されている場合には、レーザビームLの照射によってL1記録膜34に生成された熱を速やかに放熱させることが可能になる。 The material for forming the second dielectric film 35 is not particularly limited, and the same material as that for forming the first film 312 and the third dielectric film 33 is used. In this embodiment, the second dielectric film 35 is formed of a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 having a molar ratio of 97: 3, like the first film 312 and the third dielectric film 33. ing. When the second dielectric film 35 is formed of such a material, the heat generated in the L1 recording film 34 by the irradiation of the laser beam L can be quickly dissipated.

第二の誘電体膜35は、3nmないし15nmの厚さを有するように形成されることが好ましい。第二の誘電体膜35の厚さが、3nm未満である場合には、バリア膜としての役割を充分に果たすことが困難になるとともに、放熱効果が低下し、その一方で、15nmを越えている場合には、第二の誘電体膜35を成膜するときに生じる内部応力が大きくなり、第二の誘電体膜35にクラックが生じやすくなる。   The second dielectric film 35 is preferably formed to have a thickness of 3 nm to 15 nm. When the thickness of the second dielectric film 35 is less than 3 nm, it becomes difficult to sufficiently fulfill the role as a barrier film, and the heat dissipation effect is reduced, while it exceeds 15 nm. In the case where the second dielectric film 35 is formed, the internal stress generated when the second dielectric film 35 is formed is increased, and the second dielectric film 35 is easily cracked.

第二の誘電体膜35は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The second dielectric film 35 is formed by, for example, a sputtering method.

第一の誘電体膜36は、第二の誘電体膜35と放熱膜37との密着性を高める機能を有している。   The first dielectric film 36 has a function of improving the adhesion between the second dielectric film 35 and the heat dissipation film 37.

第一の誘電体膜36を形成するための材料は、レーザビームLに対して高い光透過性を有し、かつ、第二の誘電体膜35および放熱膜37との密着性が高い材料であれば、とくに限定されるものではないが、ZnSとSiOの混合物によって、第一の誘電体膜36を形成することが好ましい。第一の誘電体膜36を、ZnSとSiOの混合物によって形成する場合には、ZnSとSiOのモル比は、60:40ないし95:5であることが好ましい。ZnSのモル比が、60%未満の場合には、第一の誘電体膜36の屈折率が低下して、記録マークが形成されたL1記録膜34の領域と、記録マークが形成されていないL1記録膜34の領域との反射率の差が低下するおそれがある。その一方で、ZnSのモル比が、95%を越えている場合には、第一の誘電体膜36を完全な透明膜として形成することが困難であり、信号出力が低下するなどの悪影響がでてくる。 The material for forming the first dielectric film 36 is a material having high light transmittance with respect to the laser beam L and having high adhesion to the second dielectric film 35 and the heat dissipation film 37. The first dielectric film 36 is preferably formed from a mixture of ZnS and SiO 2 , although not particularly limited. The first dielectric film 36, in the case of forming a mixture of ZnS and SiO 2, the molar ratio of ZnS and SiO 2 is 60: 40 to 95: is preferably 5. When the ZnS molar ratio is less than 60%, the refractive index of the first dielectric film 36 is lowered, and the region of the L1 recording film 34 where the recording mark is formed and the recording mark is not formed. There is a possibility that the difference in reflectance from the area of the L1 recording film 34 is lowered. On the other hand, when the molar ratio of ZnS exceeds 95%, it is difficult to form the first dielectric film 36 as a complete transparent film, and there are adverse effects such as a decrease in signal output. Come on.

第一の誘電体膜36は、5nmないし50nmの厚さを有するように形成されることが好ましい。第一の誘電体膜36の厚さが、5nm未満の場合には、放熱膜37にクラックが生じやすくなり、50nmを越える場合には、放熱効果が低下するおそれがある。   The first dielectric film 36 is preferably formed to have a thickness of 5 nm to 50 nm. If the thickness of the first dielectric film 36 is less than 5 nm, cracks are likely to occur in the heat dissipation film 37, and if it exceeds 50 nm, the heat dissipation effect may be reduced.

第一の誘電体膜36は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The first dielectric film 36 is formed by, for example, a sputtering method.

放熱膜37は、第二の誘電体膜35および第一の誘電体膜36を介して、L1記録膜34から伝達された熱を放熱する役割を果たす。   The heat dissipation film 37 plays a role of radiating heat transferred from the L1 recording film 34 via the second dielectric film 35 and the first dielectric film 36.

放熱膜37を形成するための材料は、レーザビームLに対して高い光透過性を有し、かつ、L1記録膜34に生じた熱を放熱することができれば、とくに限定されるものではないが、第二の誘電体膜35の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する材料が、具体的には、AlN、Al、SiN、ZnS、ZnO、SiOなどが好ましく用いられる。 The material for forming the heat dissipation film 37 is not particularly limited as long as it has high light transmittance with respect to the laser beam L and can dissipate heat generated in the L1 recording film 34. Specifically, materials having a thermal conductivity higher than that of the second dielectric film 35, specifically, AlN, Al 2 O 3 , SiN, ZnS, ZnO, SiO 2 and the like are preferably used.

放熱膜37は、20nmないし70nmの厚さを有するように形成されることが好ましい。放熱膜37の厚さが、20nm未満の場合には、充分な放熱効果を得られないおそれがあり、その一方で、70nmを越える場合には、放熱膜37の成膜に長い時間を要するため、光記録媒体10の生産性が低下するおそれがある。   The heat dissipation film 37 is preferably formed to have a thickness of 20 nm to 70 nm. If the thickness of the heat dissipation film 37 is less than 20 nm, a sufficient heat dissipation effect may not be obtained. On the other hand, if it exceeds 70 nm, it takes a long time to form the heat dissipation film 37. The productivity of the optical recording medium 10 may be reduced.

放熱膜37は、たとえば、スパッタリング法などによって形成される。   The heat dissipation film 37 is formed by, for example, a sputtering method.

以上のように構成された本実施態様にかかる光記録媒体10のL0情報層20またはL1情報層30にデータを記録する場合には、記録パワーPwおよび基底パワーPbとの間で、そのパワーが変調されたレーザビームLが、また、L0情報層20またはL1情報層30に記録されたデータを再生する場合には、そのパワーが再生パワーPrに設定されたレーザビームLが、光透過層13を介して、L0情報層20に含まれたL0記録膜23またはL1情報層30に含まれたL1記録膜34にフォーカスされる。   When data is recorded on the L0 information layer 20 or the L1 information layer 30 of the optical recording medium 10 according to this embodiment configured as described above, the power is between the recording power Pw and the base power Pb. When the modulated laser beam L reproduces the data recorded in the L0 information layer 20 or the L1 information layer 30, the laser beam L whose power is set to the reproduction power Pr is changed to the light transmission layer 13. Then, the L0 recording film 23 included in the L0 information layer 20 or the L1 recording film 34 included in the L1 information layer 30 is focused.

光記録媒体10のL1情報層30に含まれたL1記録膜34に、記録マークを形成して、L1情報層30にデータを記録するにあたっては、そのパワーが記録パワーPwに設定されたレーザビームLが、L1記録膜34に照射され、レーザビームLが照射されたL1記録膜34の領域が、相変化材料の融点以上の温度に加熱されて、その領域に含まれる相変化材料が溶融される。次いで、そのパワーが基底パワーPbに設定されたレーザビームLが、光透過層13を介して、L1記録膜34に照射され、そのパワーが記録パワーPwに設定されたレーザビームLにより、溶融した相変化材料が急冷されて、相変化材料が、結晶状態からアモルファス状態に変化し、L1記録膜34に記録マークが形成されて、L1情報層30にデータが記録される。   When recording marks are formed on the L1 recording film 34 included in the L1 information layer 30 of the optical recording medium 10 and data is recorded on the L1 information layer 30, a laser beam whose power is set to the recording power Pw. L is irradiated onto the L1 recording film 34, and the region of the L1 recording film 34 irradiated with the laser beam L is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the phase change material, and the phase change material contained in the region is melted. The Next, the laser beam L whose power is set to the base power Pb is irradiated to the L1 recording film 34 through the light transmission layer 13, and the power is melted by the laser beam L whose power is set to the recording power Pw. The phase change material is rapidly cooled, the phase change material changes from a crystalline state to an amorphous state, a recording mark is formed on the L1 recording film 34, and data is recorded on the L1 information layer 30.

本実施態様においては、L1情報層30は、79原子%ないし95原子%のSbと、5原子%ないし21原子%のGeとを含むSb共晶系の相変化材料によって形成されたL1記録膜34と、反射膜32に対して、支持基板11側に設けられ、モル比が97:3のZrOとYの混合物によって形成された第一の膜312および第一の膜312よりも厚い膜厚に設定され、屈折率が2.0ないし2.4のZnSとSiOの混合物によって、形成された第二の膜311が積層されて構成された第四の誘電体膜31とを備え、さらに、第二の誘電体膜35および第三の誘電体膜33が、ともに、モル比が97:3のZrOとYの混合物によって形成されており、かかる場合には、L1情報層30の光透過性と記録特性を高い水準で両立させることができるとともに、放熱性を向上させることができるから、L1情報層30に、所望のように、データを記録することが可能になる。 In this embodiment, the L1 information layer 30 is formed of an Sb eutectic phase change material containing 79 atomic% to 95 atomic% Sb and 5 atomic% to 21 atomic% Ge. 34, and the first film 312 and the first film 312 which are provided on the support substrate 11 side with respect to the reflective film 32 and are formed of a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 having a molar ratio of 97: 3. A fourth dielectric film 31 formed by laminating a second film 311 formed of a mixture of ZnS and SiO 2 having a refractive index of 2.0 to 2.4 and a refractive index of 2.0 to 2.4. And the second dielectric film 35 and the third dielectric film 33 are both formed of a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 with a molar ratio of 97: 3. , L1 information layer 30 has high light transmission and recording characteristics. It is possible to achieve both at a level, because it is possible to improve heat dissipation, the L1 information layer 30, as desired, it is possible to record the data.

一方、光記録媒体10のL1情報層30に記録されたデータを再生する場合には、そのパワーが再生パワーPrに設定されたレーザビームLが、光透過層13を介して、L1情報層30に含まれたL1記録膜34にフォーカスされ、反射膜32などによって反射されたレーザビームLの光量が検出される。   On the other hand, when reproducing data recorded on the L1 information layer 30 of the optical recording medium 10, the laser beam L whose power is set to the reproduction power Pr is transmitted through the light transmission layer 13 to the L1 information layer 30. The amount of the laser beam L focused on the L1 recording film 34 and reflected by the reflective film 32 or the like is detected.

本実施態様においては、上述のように、L1情報層30の光透過性と記録特性を高い水準で両立させることが可能になるとともに、放熱性を向上させることが可能になるから、L1情報層30に記録されたデータを、所望のように、再生することが可能になる。   In the present embodiment, as described above, the L1 information layer 30 can be made to have both the light transmittance and the recording characteristics at a high level, and the heat dissipation can be improved. The data recorded in 30 can be reproduced as desired.

これに対して、光記録媒体10のL0情報層20に含まれたL0記録膜23に、記録マークを形成して、L0情報層20にデータを記録するにあたっては、そのパワーが記録パワーPwに設定されたレーザビームLが、光透過層13およびL1情報層30を介して、L0記録膜23に照射され、レーザビームLが照射されたL0記録膜23の領域が、相変化材料の融点以上の温度に加熱されて、その領域に含まれている相変化材料が溶融される。次いで、そのパワーが基底パワーPbに設定されたレーザビームLが、光透過層13およびL1情報層30を介して、L0記録膜23に照射され、そのパワーが基底パワーPbに設定されたレーザビームLにより、溶融した相変化材料が急冷されて、相変化材料が、結晶状態からアモルファス状態に変化し、L0記録膜23に記録マークが形成されて、L0情報層20にデータが記録される。   On the other hand, when recording marks are formed on the L0 recording film 23 included in the L0 information layer 20 of the optical recording medium 10 and data is recorded on the L0 information layer 20, the power becomes the recording power Pw. The set laser beam L is applied to the L0 recording film 23 via the light transmission layer 13 and the L1 information layer 30, and the region of the L0 recording film 23 irradiated with the laser beam L is equal to or higher than the melting point of the phase change material. And the phase change material contained in the region is melted. Next, the laser beam L whose power is set to the base power Pb is irradiated to the L0 recording film 23 via the light transmission layer 13 and the L1 information layer 30, and the laser beam whose power is set to the base power Pb. By L, the melted phase change material is rapidly cooled, the phase change material changes from a crystalline state to an amorphous state, a recording mark is formed on the L0 recording film 23, and data is recorded on the L0 information layer 20.

本実施態様においては、上述のように、L1情報層30の光透過性を充分に向上させることができるから、レーザビームLがかかるL1情報層30を透過する際に、レーザビームLの光量が減少することを最小限に抑制することができ、したがって、L1情報層30を介して、L0情報層20にレーザビームLを照射することによって、L0情報層20に、所望のように、データを記録することが可能になる。   In the present embodiment, as described above, the light transmittance of the L1 information layer 30 can be sufficiently improved. Therefore, when the laser beam L passes through the L1 information layer 30, the amount of light of the laser beam L is reduced. Therefore, by irradiating the L0 information layer 20 with the laser beam L through the L1 information layer 30, data can be transferred to the L0 information layer 20 as desired. It becomes possible to record.

一方、光記録媒体10のL0情報層20に記録されたデータを再生する場合には、そのパワーが再生パワーPrに設定されたレーザビームLが、光透過層13およびL1情報層30を介して、L0情報層20に含まれたL0記録膜23にフォーカスされ、反射膜21などによって反射されたレーザビームLの光量が検出される。   On the other hand, when data recorded on the L0 information layer 20 of the optical recording medium 10 is reproduced, the laser beam L whose power is set to the reproduction power Pr is transmitted through the light transmission layer 13 and the L1 information layer 30. The light quantity of the laser beam L focused on the L0 recording film 23 included in the L0 information layer 20 and reflected by the reflecting film 21 or the like is detected.

本実施態様においては、上述のように、レーザビームLがL1情報層30を透過する際に、レーザビームLの光量が減少することを最小限に抑制することができるから、L1情報層30を介して、L0情報層20にレーザビームLを照射することによって、L0情報層20に記録されたデータを、所望のように、再生することが可能になる。   In the present embodiment, as described above, when the laser beam L passes through the L1 information layer 30, it is possible to minimize a decrease in the light amount of the laser beam L. Then, by irradiating the L0 information layer 20 with the laser beam L, the data recorded in the L0 information layer 20 can be reproduced as desired.

以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例を掲げる。   Examples are given below to clarify the effects of the present invention.

実施例1
以下のようにして、光記録媒体サンプル#1を作製した。
Example 1
Optical recording medium sample # 1 was produced as follows.

まず、射出成型法により、厚さが1.1mm、直径が120mmで、表面に、グルーブが、0.32μmのグルーブピッチで形成されたポリカーボネート基板を作製した。   First, a polycarbonate substrate having a thickness of 1.1 mm, a diameter of 120 mm, and grooves formed on the surface with a groove pitch of 0.32 μm was manufactured by an injection molding method.

次いで、ポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、ポリカーボネート基板のグルーブが形成された表面上に、98.4原子%のAg、0.7原子%のNd、0.9原子%のCuおよびNからなる40nmの厚さを有する第二の膜と、98.4原子%のAg、0.7原子%のNdおよび0.9原子%のCuからなる60nmの厚さを有する第一の膜とから構成された反射膜、モル比が80:20のCeOとAlの混合物からなる10nmの厚さを有する第二の膜と、モル比が50:50のZnSとSiOの混合物を主成分として含み、10nmの厚さを有する第一の膜とから構成された第二の誘電体膜、77.1原子%のSbと18.7原子%のTeと4.2原子%のGeを含む相変化材料を主成分として含み、10nmの厚さを有するL0記録膜、モル比が80:20のZnSとSiOの混合物を主成分として含み、40nmの厚さを有する第一の誘電体膜、ならびに、AlNを主成分として含み、30nmの厚さを有する放熱膜を、順次、スパッタリング法により形成し、L0情報層を形成した。 Next, the polycarbonate substrate is set in a sputtering apparatus, and is composed of 98.4 atomic% Ag, 0.7 atomic% Nd, 0.9 atomic% Cu and N on the surface of the polycarbonate substrate where the groove is formed. Consists of a second film having a thickness of 40 nm and a first film having a thickness of 60 nm made of 98.4 atomic% Ag, 0.7 atomic% Nd and 0.9 atomic% Cu. A second reflecting film having a thickness of 10 nm made of a mixture of CeO 2 and Al 2 O 3 with a molar ratio of 80:20 and a mixture of ZnS and SiO 2 with a molar ratio of 50:50. A second dielectric film composed of a first film having a thickness of 10 nm, comprising 77.1 atomic% Sb, 18.7 atomic% Te and 4.2 atomic% Ge. A phase change material containing as a main component, Wherein L0 recording film having a thickness of 0 nm, the molar ratio of the mixture of ZnS and SiO 2 of 80:20 as the main component, wherein the first dielectric film having a thickness of 40 nm, and the AlN as a main component A heat dissipation film having a thickness of 30 nm was sequentially formed by sputtering to form an L0 information layer.

ここに、反射膜を構成する第一の膜、第二の誘電体膜を構成する第一の膜および第二の膜、L0記録膜ならびに第一の誘電体膜は、アルゴンガス雰囲気中で、それぞれの膜に対応する組成を有するターゲットを用いたスパッタリング法によって形成した。   Here, the first film constituting the reflective film, the first film and the second film constituting the second dielectric film, the L0 recording film and the first dielectric film are in an argon gas atmosphere. It formed by the sputtering method using the target which has a composition corresponding to each film | membrane.

一方、反射膜を構成する第二の膜および放熱膜は、それぞれ、AgNdCuまたはAlターゲットを用いて、アルゴンおよび窒素ガス雰囲気中で、反応性スパッタリング法によって形成した。   On the other hand, the second film and the heat dissipating film constituting the reflective film were formed by reactive sputtering in an argon and nitrogen gas atmosphere using an AgNdCu or Al target, respectively.

次いで、L0情報層が形成されたポリカーボネート基板をスピンコート装置にセットし、L0情報層上に、紫外線硬化型アクリル樹脂組成物の溶液を、塗布して、その上に、グルーブが形成された透明のスタンパを重ね、ポリカーボネート基板を回転させながら、紫外線硬化型アクリル樹脂組成物の溶液を展開させつつ、紫外線を照射して、紫外線硬化型アクリル樹脂組成物を硬化させ、25μmの厚さを有する透明中間層を形成した。透明中間層に形成されたグルーブは、0.32μmのグルーブピッチを有していた。   Next, the polycarbonate substrate on which the L0 information layer is formed is set in a spin coater, a solution of an ultraviolet curable acrylic resin composition is applied on the L0 information layer, and a groove is formed on the transparent substrate. The UV curable acrylic resin composition is cured by irradiating ultraviolet rays while developing the UV curable acrylic resin composition solution while rotating the polycarbonate substrate and rotating the polycarbonate substrate, and has a thickness of 25 μm. An intermediate layer was formed. The groove formed in the transparent intermediate layer had a groove pitch of 0.32 μm.

さらに、810nmの波長を有する半導体レーザを用いて、出力500mWで、L0記録膜に初期化処理を施し、L0記録膜を結晶化させた。   Further, using a semiconductor laser having a wavelength of 810 nm, the L0 recording film was initialized at an output of 500 mW to crystallize the L0 recording film.

次いで、L0情報層および透明中間層が形成されたポリカーボネート基板を、スパッタリング装置にセットし、透明中間層の表面上に、モル比が80:20のZnSとSiOの混合物(屈折率=2.26)を主成分として含み、15nmの厚さを有する第二の膜と、モル比が97:3のZrOとYの混合物を主成分として含み、4nmの厚さを有する第一の膜とから構成された第四の誘電体膜、98原子%のAg、1原子%のPdおよび1原子%のCuからなる合金を含み、15nmの厚さを有する反射膜、モル比が97:3のZrOとYの混合物を主成分として含み、6nmの厚さを有する第三の誘電体膜、87.0原子%のSbと、13.0原子%のGeとを含む相変化材料を主成分として含み、6nmの厚さを有するL1記録膜、モル比が97:3のZrOとYの混合物を主成分として含み、6nmの厚さを有する第二の誘電体膜、モル比が80:20のZnSとSiOの混合物を主成分として含み、12.5nmの厚さを有する第一の誘電体膜、ならびに、AlNを主成分として含み、35nmの厚さを有する放熱膜を、順次、スパッタリング法により形成し、L1情報層を形成した。 Next, the polycarbonate substrate on which the L0 information layer and the transparent intermediate layer were formed was set in a sputtering apparatus, and a mixture of ZnS and SiO 2 having a molar ratio of 80:20 (refractive index = 2.20) on the surface of the transparent intermediate layer. 26) as a main component, a first film having a thickness of 15 nm, and a first film having a thickness of 4 nm including a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 having a molar ratio of 97: 3 as a main component. A fourth dielectric film composed of the following film: an alloy composed of 98 atomic% Ag, 1 atomic% Pd and 1 atomic% Cu, and having a thickness of 15 nm, a molar ratio of 97 A third dielectric film containing a mixture of 3 ZrO 2 and Y 2 O 3 as a main component and having a thickness of 6 nm, containing 87.0 atomic% Sb and 13.0 atomic% Ge 6nm thickness with phase change material as main component L1 recording film having a molar ratio of 97: comprises 3 a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 as a main component, a second dielectric layer, ZnS and SiO molar ratio 80:20, having a thickness of 6nm A first dielectric film having a mixture of 2 as a main component and having a thickness of 12.5 nm, and a heat dissipation film having AlN as a main component and having a thickness of 35 nm are sequentially formed by a sputtering method. The L1 information layer was formed.

ここに、放熱膜は、アルゴンガスおよび窒素ガス雰囲気中で、Alターゲットを用いた反応性スパッタリング法によって形成した。   Here, the heat dissipation film was formed by reactive sputtering using an Al target in an atmosphere of argon gas and nitrogen gas.

さらに、第四の誘電体膜を構成する第一の膜および第二の膜、反射膜、第三の誘電体膜、L1記録膜、第二の誘電体膜、ならびに、第一の誘電体膜は、アルゴンガス雰囲気中で、それぞれの膜に対応する組成を有するターゲットを用いたスパッタリング法によって形成した。   Furthermore, a first film and a second film, a reflective film, a third dielectric film, an L1 recording film, a second dielectric film, and a first dielectric film constituting the fourth dielectric film Was formed by a sputtering method using a target having a composition corresponding to each film in an argon gas atmosphere.

次いで、L1情報層の放熱膜の表面上に、紫外線硬化型アクリル樹脂組成物の溶液を、スピンコーティング法によって、塗布して、塗膜を形成し、塗膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化型アクリル樹脂組成物を硬化させ、75μmの厚さを有する光透過層を形成した。   Next, on the surface of the heat dissipation film of the L1 information layer, a solution of an ultraviolet curable acrylic resin composition is applied by a spin coating method to form a coating film, and the coating film is irradiated with ultraviolet rays. The curable acrylic resin composition was cured to form a light transmission layer having a thickness of 75 μm.

さらに、810nmの波長を有する半導体レーザを用いて、出力500mWで、L1記録膜に初期化処理を施し、L1記録膜を結晶化させた。   Further, using a semiconductor laser having a wavelength of 810 nm, the L1 recording film was initialized at an output of 500 mW to crystallize the L1 recording film.

こうして、光記録媒体サンプル#1を作製した。   Thus, an optical recording medium sample # 1 was produced.

次いで、モル比が85:15のZrOとSiOの混合物(屈折率=2.14)を主成分として含み、16nmの厚さを有する第四の誘電体膜を構成する第二の膜を形成した点を除いて、光記録媒体サンプル#1と同様にして、光記録媒体サンプル#2を作製した。 Next, a second film constituting a fourth dielectric film containing a mixture of ZrO 2 and SiO 2 having a molar ratio of 85:15 (refractive index = 2.14) as a main component and having a thickness of 16 nm is formed. An optical recording medium sample # 2 was produced in the same manner as the optical recording medium sample # 1 except for the points formed.

さらに、モル比が70:30のZrOとSiOの混合物(屈折率=2.03)を主成分として含み、16nmの厚さを有する第四の誘電体膜を構成する第二の膜を形成した点を除いて、光記録媒体サンプル#1と同様にして、光記録媒体サンプル#3を作製した。 Furthermore, a second film constituting a fourth dielectric film containing a mixture of ZrO 2 and SiO 2 having a molar ratio of 70:30 (refractive index = 2.03) as a main component and having a thickness of 16 nm is provided. An optical recording medium sample # 3 was produced in the same manner as the optical recording medium sample # 1 except for the points formed.

次いで、モル比が97:3のZrOとYの混合物を主成分として含み、4nmの厚さを有する第一の膜を形成せずに、モル比が90:10のZrOとCrの混合物(屈折率=2.28)を主成分として含み、20nmの厚さを有する第四の誘電体膜を構成する単一の膜を形成した点を除いて光記録媒体サンプル#1と同様にして、光記録媒体サンプル#4を作製した。 Then, the molar ratio of 97: comprises 3 a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 as a main component without forming a first film having a thickness of 4 nm, the molar ratio of the ZrO 2 90:10 An optical recording medium sample except that a single film constituting a fourth dielectric film containing a mixture of Cr 2 O 3 (refractive index = 2.28) as a main component and having a thickness of 20 nm is formed. Optical recording medium sample # 4 was produced in the same manner as # 1.

次いで、TiOおよびNからなる材料(屈折率=2.7)を主成分として含み、12.5nmの厚さを有する第四の誘電体膜を構成する第二の膜を形成した点を除いて、光記録媒体サンプル#1と同様にして、光記録媒体比較サンプル#1を作製した。ここに、第二の膜はアルゴンガスおよび窒素ガス雰囲気中でTiOターゲットを用いた反応性スパッタリング法によって作製した。 Next, except that a second film constituting a fourth dielectric film having a thickness of 12.5 nm containing a material composed of TiO 2 and N (refractive index = 2.7) as a main component is formed. Thus, an optical recording medium comparison sample # 1 was produced in the same manner as the optical recording medium sample # 1. Here, the second film was produced by a reactive sputtering method using a TiO 2 target in an atmosphere of argon gas and nitrogen gas.

さらに、TiO(屈折率=2.5)を主成分として含み、13.5nmの厚さを有する第四の誘電体膜を構成する第二の膜を形成した点を除いて、光記録媒体サンプル#1と同様にして、光記録媒体比較サンプル#2を作製した。 Further, an optical recording medium except that a second film constituting a fourth dielectric film containing TiO 2 (refractive index = 2.5) as a main component and having a thickness of 13.5 nm is formed. An optical recording medium comparison sample # 2 was produced in the same manner as sample # 1.

次いで、モル比が50:50のZrOとSiOの混合物(屈折率=1.92)を主成分として含み、17nmの厚さを有する第四の誘電体膜を構成する第二の膜を形成した点を除いて、光記録媒体サンプル#1と同様にして、光記録媒体比較サンプル#3を作製した。 Next, a second film constituting a fourth dielectric film containing a mixture of ZrO 2 and SiO 2 having a molar ratio of 50:50 (refractive index = 1.92) as a main component and having a thickness of 17 nm is formed. An optical recording medium comparative sample # 3 was produced in the same manner as the optical recording medium sample # 1 except for the points formed.

このようにして作製した光記録媒体サンプル#1ないし#4および光記録媒体比較サンプル#1ないし#3を、それぞれ、STEAG ETA−Optik社製の光学式膜厚測定装置「ETA−RT」(商品名)に、順次、セットし、波長が405nmのレーザビームを照射して、第四の誘電体膜を構成する第二の膜の屈折率を、それぞれ、測定したところ、第二の膜に主成分として含まれている誘電体材料の屈折率と同じであった。   The optical recording medium samples # 1 to # 4 and the optical recording medium comparison samples # 1 to # 3 thus produced were each made into an optical film thickness measuring apparatus “ETA-RT” (product of STEAG ETA-Optik) In this case, the refractive index of the second film constituting the fourth dielectric film was measured by irradiating a laser beam having a wavelength of 405 nm in order, and the second film was measured. It was the same as the refractive index of the dielectric material contained as a component.

次いで、光記録媒体サンプル#1ないし#4および光記録媒体比較サンプル#1ないし#3を、それぞれ、パルステック工業株式会社製の光記録媒体評価装置「DDU1000」(商品名)にセットし、10.5m/secの線速度で回転させながら、チャンネルクロック周波数132MHz、チャンネルビット長0.12μm/bitで、405nmの波長を有し、そのパワーが、記録パワーPwと基底パワーPbとの間で、所定のパターンにしたがって、変調されたレーザビームを、開口数NAが0.85の対物レンズを用いて、光透過層を介して、各サンプルのL1記録膜に照射し、1,7RLL変調方式における2T信号ないし8T信号に対応する長さを有する記録マークを形成して、L1情報層に、ランダム信号を記録した。   Next, the optical recording medium samples # 1 to # 4 and the optical recording medium comparison samples # 1 to # 3 are set in an optical recording medium evaluation apparatus “DDU1000” (trade name) manufactured by Pulstec Industrial Co., Ltd. While rotating at a linear velocity of .5 m / sec, the channel clock frequency is 132 MHz, the channel bit length is 0.12 μm / bit, the wavelength is 405 nm, and the power is between the recording power Pw and the base power Pb. In accordance with a predetermined pattern, an L1 recording film of each sample is irradiated with a laser beam modulated according to a predetermined pattern through a light transmission layer using an objective lens having a numerical aperture NA of 0.85. A recording mark having a length corresponding to 2T signal to 8T signal was formed, and a random signal was recorded on the L1 information layer.

ここに、各サンプルのL1情報層にランダム信号を記録する場合には、いずれも、レーザビームの記録パワーPw、再生パワーPr、および、基底パワーPbを、それぞれ、10.6mW、0.7mW、および、0.1mWに設定した。   Here, when a random signal is recorded on the L1 information layer of each sample, the recording power Pw, the reproduction power Pr, and the base power Pb of the laser beam are respectively 10.6 mW, 0.7 mW, And 0.1 mW.

次いで、このようにして記録したランダム信号を、レーザビームの再生パワーPrを0.7mWに設定して、上述したのと同様にして、それぞれ、再生し、再生信号のクロックジッタ(%)を測定した。   Next, the random signal recorded in this way is reproduced in the same manner as described above with the laser beam reproduction power Pr set to 0.7 mW, and the clock jitter (%) of the reproduction signal is measured. did.

ここに、クロックジッタは、タイムインターバルアナライザによって、再生信号のゆらぎσを求め、σ/Tw(Tw:クロックの1周期)によって、算出した。   Here, the clock jitter was calculated from σ / Tw (Tw: one cycle of the clock) by obtaining the fluctuation σ of the reproduction signal with a time interval analyzer.

ジッタの算出結果は、表1に示されている。   The jitter calculation results are shown in Table 1.

次いで、光記録媒体サンプル#1ないし#4および光記録媒体比較サンプル#1ないし#3の各サンプルから、それぞれ、支持基板およびL0情報層を剥離して、透明中間層、L1情報層および光透過層からなる積層体を切り出し、各積層体に、光透過層側から、405nmの波長を有するレーザビームを照射し、積層体を透過した透過光の光量を測定して、光透過率(%)を算出した。   Next, the support substrate and the L0 information layer are peeled from the optical recording medium samples # 1 to # 4 and the optical recording medium comparison samples # 1 to # 3, respectively, and the transparent intermediate layer, the L1 information layer, and the light transmission layer are peeled off. A laminate composed of layers is cut out, and each laminate is irradiated with a laser beam having a wavelength of 405 nm from the light transmission layer side, and the amount of transmitted light that has passed through the laminate is measured to obtain a light transmittance (%). Was calculated.

光透過率(%)の算出結果は、第1表に示されている。   The calculation results of the light transmittance (%) are shown in Table 1.

Figure 2006209840
Figure 2006209840

第1表から明らかなように、Sb共晶系の相変化材料によって形成されたL1記録膜を含むL1情報層の光透過率を高めるためには、反射膜に対して、支持基板側に設けられた第四の誘電体膜を構成し、最も厚い膜厚に設定された第二の膜を、屈折率が2.0以上の誘電体材料によって、形成することが有効であり、その一方で、L1情報層の記録特性を改善するためには、かかる第二の膜を、屈折率が2.4以下の誘電体材料によって、形成することが有効であることが分かった。   As is clear from Table 1, in order to increase the light transmittance of the L1 information layer including the L1 recording film formed of the Sb eutectic phase change material, the reflection film is provided on the support substrate side. It is effective to form the fourth dielectric film formed and to form the second film set to the thickest film with a dielectric material having a refractive index of 2.0 or more, In order to improve the recording characteristics of the L1 information layer, it has been found that it is effective to form the second film with a dielectric material having a refractive index of 2.4 or less.

したがって、L1情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成されたL1記録膜と、L1記録膜に対して、支持基板側に設けられた反射膜と、反射膜に対して、支持基板側に設けられ、二以上の膜を備えた第四の誘電体膜を含んでいる場合に、第四の誘電体膜の二以上の膜のうち、最も厚い膜厚に設定された第二の膜を、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成したときには、L1情報層の光透過性を維持しつつ、記録特性を大幅に改善することが可能になり、L1情報層の光透過性と記録特性を高い水準で両立させることが可能になることが判明した。   Therefore, the L1 information layer is formed of an Sb eutectic phase change material, the reflection film provided on the support substrate side with respect to the L1 recording film, and the support substrate with respect to the reflection film. The second dielectric film is set to the thickest of the two or more films of the fourth dielectric film when the fourth dielectric film is provided on the side and includes the fourth dielectric film having two or more films. When the film is formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4, it is possible to greatly improve the recording characteristics while maintaining the light transmittance of the L1 information layer. It has been found that the light transmittance and recording characteristics of the layer can be compatible at a high level.

さらに、上述のようにして、光記録媒体サンプル#1ないし#4および光記録媒体比較サンプル#1ないし#3を、それぞれ、作製し、L1情報層にランダム信号を記録したのと同様にして、レーザビームを、光透過層およびL1情報層を介して、各サンプルの各L0記録膜に照射し、各L0記録膜に、記録マークを形成して、各L0情報層にランダム信号を記録し、L1情報層に記録されたランダム信号を再生したのと同様にして、各L0情報層に記録されたランダム信号を再生したところ、光記録媒体比較サンプル#3にあっては、所望のように、各L0情報層に、ランダム信号を記録し、各L0情報層に記録されたランダム信号を再生することができなかったのに対して、光記録媒体サンプル#1ないし#4ならびに光記録媒体比較サンプル#1ないし#2にあっては、所望のように、各L0情報層に、ランダム信号を記録し、各L0情報層に記録されたランダム信号を再生することができた。   Further, as described above, the optical recording medium samples # 1 to # 4 and the optical recording medium comparison samples # 1 to # 3 are respectively produced, and the random signal is recorded on the L1 information layer. A laser beam is irradiated to each L0 recording film of each sample through the light transmission layer and the L1 information layer, a recording mark is formed on each L0 recording film, and a random signal is recorded on each L0 information layer, When the random signal recorded in each L0 information layer was reproduced in the same manner as the random signal recorded in the L1 information layer was reproduced, in the optical recording medium comparison sample # 3, as desired, A random signal was recorded on each L0 information layer, and the random signal recorded on each L0 information layer could not be reproduced, whereas the optical recording medium samples # 1 to # 4 and the optical recording medium comparison In the pull # 1 to # 2, as desired, to each L0 information layer, recording a random signal, it was possible to reproduce a random signal recorded on the L0 information layer.

したがって、これらの結果から明らかなように、Sb共晶系の相変化材料によって形成されたL1記録膜と、記録膜に対して、支持基板側に設けられた反射膜と、反射膜に対して、支持基板側に設けられ、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成された第二の膜とを含むL1情報層を備えた光記録媒体においては、L0情報層およびL1情報層のいずれの情報層にも、所望のように、データを記録し、記録したデータを再生することが可能になることが判明した。
実施例2
実施例1と同様にして、光記録媒体サンプル#1ならびに光記録媒体比較サンプル#1および#2を、それぞれ、作製し、各サンプルを、それぞれ、上述の光記録媒体評価装置にセットし、レーザビームのパワーを、記録パワーPwと基底パワーPbとの間で、所定のパターンにしたがって、変調して、実施例1と同様にして、各サンプルのL1情報層に、ランダム信号を記録し、記録されたランダム信号を再生して、再生信号のクロックジッタ(%)を測定した。
Therefore, as is clear from these results, the L1 recording film formed of the Sb eutectic phase change material, the reflective film provided on the support substrate side with respect to the recording film, and the reflective film In an optical recording medium provided with an L1 information layer provided on the support substrate side and including a second film formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4, the L0 information layer and It has been found that it is possible to record data in any information layer of the L1 information layer and reproduce the recorded data as desired.
Example 2
In the same manner as in Example 1, optical recording medium sample # 1 and optical recording medium comparison samples # 1 and # 2 were respectively produced, and each sample was set in the above-described optical recording medium evaluation apparatus, and laser The beam power is modulated between the recording power Pw and the base power Pb according to a predetermined pattern, and a random signal is recorded in the L1 information layer of each sample and recorded in the same manner as in the first embodiment. The random signal thus reproduced was reproduced, and the clock jitter (%) of the reproduced signal was measured.

ここに、各サンプルのL1情報層にランダム信号を記録する場合には、いずれも、レーザビームの記録パワーPw、再生パワーPr、および、基底パワーPbを、それぞれ、8.8mW、0.7mW、および、0.1mWに設定し、各サンプルのL1情報層に記録されたランダム信号を再生する場合には、いずれも、レーザビームの再生パワーPrを0.7mWに設定した。   Here, when a random signal is recorded on the L1 information layer of each sample, the recording power Pw, the reproduction power Pr, and the base power Pb of the laser beam are respectively set to 8.8 mW, 0.7 mW, When reproducing the random signal recorded in the L1 information layer of each sample, the reproduction power Pr of the laser beam was set to 0.7 mW.

次いで、記録パワーPwを、0.2mWずつ、12.6mWまで、順次、変化させた点を除き、同様にして、光記録媒体サンプル#1ならびに光記録媒体比較サンプル#1および#2の各L1記録膜に、1,7RLL変調方式における2T信号ないし8T信号に対応する長さを有する記録マークを形成して、各L1情報層に、ランダム信号を記録し、記録されたランダム信号を再生して、再生信号のクロックジッタ(%)を測定した。   Next, each of L1 of the optical recording medium sample # 1 and the optical recording medium comparison samples # 1 and # 2 is similarly obtained except that the recording power Pw is sequentially changed from 0.2 mW to 12.6 mW. A recording mark having a length corresponding to 2T signal to 8T signal in the 1,7RLL modulation system is formed on the recording film, a random signal is recorded on each L1 information layer, and the recorded random signal is reproduced. The clock jitter (%) of the reproduced signal was measured.

光記録媒体サンプル#1についてのジッタの測定結果は、図5の曲線Aによって、光記録媒体比較サンプル#1についてのジッタの測定結果は、図5の曲線Bによって、光記録媒体比較サンプル#2についてのジッタの測定結果は、図5の曲線Cによって、それぞれ、示されている。   The jitter measurement result for optical recording medium sample # 1 is shown by curve A in FIG. 5, and the jitter measurement result for optical recording medium comparison sample # 1 is shown by curve B in FIG. The jitter measurement results for are shown by curve C in FIG.

図5から明らかなように、Sb共晶系の相変化材料によって形成されたL1記録膜と、L1記録膜に対して、支持基板側に設けられた反射膜と、反射膜に対して、支持基板側に設けられ、屈折率が2.4を超える誘電体材料によって形成された第二の膜とを含むL1情報層を備えた光記録媒体比較サンプル#1および#2にあっては、いずれの記録パワーPwにおいても、再生信号のジッタが大きかったのに対して、Sb共晶系の相変化材料によって形成されたL1記録膜と、記録膜に対して、支持基板側に設けられた反射膜と、反射膜に対して、支持基板側に設けられ、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって形成された第二の膜とを含むL1情報層を備えた光記録媒体サンプル#1にあっては、光記録媒体比較サンプル#1および#2に比して、いずれの記録パワーPwにおいても、再生信号のジッタが小さく、記録特性を大幅に改善することが可能になることが判明した。   As is apparent from FIG. 5, the L1 recording film formed of the Sb eutectic phase change material, the reflection film provided on the support substrate side with respect to the L1 recording film, and the support for the reflection film In the optical recording medium comparison samples # 1 and # 2 provided with the L1 information layer including the second film formed on the substrate side and formed of a dielectric material having a refractive index exceeding 2.4, Even at the recording power Pw, the jitter of the reproduced signal was large, whereas the L1 recording film formed of the Sb eutectic phase change material and the reflection film provided on the support substrate side with respect to the recording film Optical recording medium comprising an L1 information layer including a film and a second film provided on the support substrate side with respect to the reflective film and formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4 For sample # 1, optical recording medium comparison sample # 1 Than the fine # 2, in any of the recording power Pw, the jitter of the reproduced signal is small, it is possible to significantly improve the recording characteristics was found.

本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims, and these are also included in the scope of the present invention. Needless to say.

たとえば、前記実施態様にかかる光記録媒体10においては、第四の誘電体膜31が、第一の膜312と、第一の膜312の膜厚よりも厚い膜厚に設定された第二の膜311とが積層されて、構成されているが、第四の誘電体膜が、第一の膜と第二の膜とが積層されて、構成されていることは必ずしも必要でなく、第四の誘電体膜が三以上の膜が積層されて、構成されていてもよい。   For example, in the optical recording medium 10 according to the embodiment, the fourth dielectric film 31 is set to a thickness that is greater than the thickness of the first film 312 and the first film 312. Although the film 311 is stacked and configured, the fourth dielectric film is not necessarily configured by stacking the first film and the second film. The dielectric film may be formed by laminating three or more films.

また、前記実施態様にかかる光記録媒体10においては、第四の誘電体膜31が、ともに、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって形成された第一の膜312および第二の膜311とが積層されて、構成されているが、第四の誘電体膜を構成する膜がすべて、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成されていることは必ずしも必要でなく、第四の誘電体膜を構成する膜のうち、膜厚が最も厚い膜が、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成されていればよい。   In the optical recording medium 10 according to the embodiment, the fourth dielectric film 31 includes the first film 312 and the first film 312 formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4. The second film 311 is laminated and configured, but all the films constituting the fourth dielectric film are made of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4. Is not necessarily required. Of the films constituting the fourth dielectric film, the thickest film may be formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4.

さらに、前記実施態様にかかる光記録媒体10においては、L1情報層30は、第四の誘電体膜31、反射膜32、第三の誘電体膜33、L1記録膜34、第二の誘電体膜35、第一の誘電体膜36および放熱膜37が積層されて、構成されているが、L1情報層は、L1記録膜と、L1記録膜に対して、支持基板側に設けられた反射膜と、反射膜に対して、支持基板側に設けられた誘電体膜とを含んでいればよく、他の構成はとくに限定されるものではなく、たとえば、第二の誘電体膜、第一の誘電体膜および放熱膜のいずれかの膜を省略することもできる。   Further, in the optical recording medium 10 according to the embodiment, the L1 information layer 30 includes the fourth dielectric film 31, the reflective film 32, the third dielectric film 33, the L1 recording film 34, and the second dielectric material. The film 35, the first dielectric film 36, and the heat dissipation film 37 are laminated, and the L1 information layer includes the L1 recording film and the reflection provided on the support substrate side with respect to the L1 recording film. It is only necessary to include a film and a dielectric film provided on the support substrate side with respect to the reflective film, and other configurations are not particularly limited. For example, the second dielectric film, the first dielectric film, Any one of the dielectric film and the heat dissipation film can be omitted.

また、前記実施態様にかかる光記録媒体10においては、第二の誘電体膜35、第三の誘電体膜33および第四の誘電体膜31の第一の膜312が、いずれも、モル比が97:3のZrOとYの混合物によって形成されているが、第二の誘電体膜、第三の誘電体膜および第四の誘電体膜の第一の膜が、いずれも、モル比が97:3のZrOとYの混合物によって形成されていることは必ずしも必要でない。 In the optical recording medium 10 according to the above embodiment, the second dielectric film 35, the third dielectric film 33, and the first film 312 of the fourth dielectric film 31 are all in molar ratio. Is formed of a 97: 3 mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 , and the first dielectric film, the third dielectric film, and the first dielectric film are all the first dielectric film. It is not always necessary to be formed by a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 having a molar ratio of 97: 3.

さらに、前記実施態様にかかる光記録媒体10は、支持基板11と、L0情報層20と、透明中間層12と、L1情報層30と、光透過層13を備え、二層の情報層が設けられているが、光記録媒体が、二層の情報層を備えていることは必ずしも必要でなく、光記録媒体が、透明中間層を介して、積層された三層以上の情報層を備えていてもよい。光記録媒体が、三層以上の情報層を備えている場合には、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層がすべて、支持基板側から、第四の誘電体膜と、反射膜と、記録膜とを含んでいる必要はなく、少なくとも一つの情報層が、支持基板側から、第四の誘電体膜と、反射膜と、記録膜とを含んでいればよい。   Furthermore, the optical recording medium 10 according to the embodiment includes the support substrate 11, the L0 information layer 20, the transparent intermediate layer 12, the L1 information layer 30, and the light transmission layer 13, and two information layers are provided. However, it is not always necessary for the optical recording medium to include two information layers, and the optical recording medium includes three or more information layers stacked via a transparent intermediate layer. May be. When the optical recording medium includes three or more information layers, all the information layers other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam are all from the support substrate side, the fourth dielectric film, The reflective film and the recording film do not need to be included, and at least one information layer may include the fourth dielectric film, the reflective film, and the recording film from the support substrate side.

また、前記実施態様にかかる光記録媒体10において、レーザビームの光入射面から最も遠いL0情報層は、相変化材料によって形成されたL0記録膜23を含み、書き換え型の情報層として構成されているが、レーザビームの光入射面から最も遠いL0情報層が、書き換え型の情報層として構成されていることは必ずしも必要でなく、L0情報層が、再生専用の情報層や追記型の情報層として、構成されてもよい。たとえば、L0情報層が、再生専用の情報層として構成される場合には、L0情報層としての情報層はとくに設けられず、支持基板が、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層として機能し、支持基板の表面上に、プリピットが形成され、かかるプリピットによってデータが記録される。   In the optical recording medium 10 according to the embodiment, the L0 information layer farthest from the light incident surface of the laser beam includes the L0 recording film 23 formed of a phase change material, and is configured as a rewritable information layer. However, it is not always necessary that the L0 information layer farthest from the light incident surface of the laser beam is configured as a rewritable information layer. The L0 information layer may be a read-only information layer or a write-once information layer. May be configured. For example, when the L0 information layer is configured as a read-only information layer, the information layer as the L0 information layer is not particularly provided, and the support substrate functions as the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam. A prepit is formed on the surface of the support substrate, and data is recorded by the prepit.

さらに、前記実施態様にかかる光記録媒体10は、光透過層13を備え、レーザビームLが、光透過層13から、L0記録膜23およびL1記録膜34に照射されるように構成されているが、光記録媒体が、光透過層を備え、光透過層から、L0記録膜およびL1記録膜に、レーザビームが照射されるように構成されていることは必ずしも必要でなく、光記録媒体が、光透過性材料によって形成された支持基板を備え、レーザビームが、支持基板から、L0記録膜およびL1記録膜に照射されるように構成されていてもよい。   Further, the optical recording medium 10 according to the embodiment includes the light transmission layer 13 and is configured so that the laser beam L is irradiated from the light transmission layer 13 to the L0 recording film 23 and the L1 recording film 34. However, it is not always necessary that the optical recording medium includes a light transmission layer, and the L0 recording film and the L1 recording film are irradiated with the laser beam from the light transmission layer. The support substrate made of a light transmissive material may be provided, and the laser beam may be irradiated from the support substrate to the L0 recording film and the L1 recording film.

図1は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体を示す一部切り欠き略斜視図である。FIG. 1 is a partially cut away schematic perspective view showing an optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention. 図2は、図1のAで示された部分の略拡大断面図である。FIG. 2 is a schematic enlarged cross-sectional view of a portion indicated by A in FIG. 図3は、L0情報層20の略拡大断面図である。FIG. 3 is a schematic enlarged cross-sectional view of the L0 information layer 20. 図4は、L1情報層30の略拡大断面図である。FIG. 4 is a schematic enlarged cross-sectional view of the L1 information layer 30. 図5は、光記録媒体サンプル#1ならびに光記録媒体比較サンプル#1および#2のジッタを示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the jitter of the optical recording medium sample # 1 and the optical recording medium comparison samples # 1 and # 2.

符号の説明Explanation of symbols

10:光記録媒体
11:支持基板
12:透明中間層
13:光透過層
20:L0情報層
21、32:反射膜
22:第二の誘電体膜
23:L0記録膜
24:第一の誘電体膜
25:放熱膜
30:L1情報層
31:第四の誘電体膜
33:第三の誘電体膜
34:L1記録膜
35:第二の誘電体膜
36:第一の誘電体膜
37:放熱膜
311:第二の膜
312:第一の膜
10: Optical recording medium 11: Support substrate 12: Transparent intermediate layer 13: Light transmission layer 20: L0 information layer 21, 32: Reflective film 22: Second dielectric film 23: L0 recording film 24: First dielectric Film 25: Heat dissipation film 30: L1 information layer 31: Fourth dielectric film 33: Third dielectric film 34: L1 recording film 35: Second dielectric film 36: First dielectric film 37: Heat dissipation Membrane 311: Second membrane 312: First membrane

Claims (4)

支持基板上に、少なくとも透明中間層を介して、積層された複数の情報層を備え、前記複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜と、前記記録膜に対して、前記支持基板側に設けられた反射膜と、前記反射膜に対して、前記支持基板側に設けられた誘電体膜を含み、前記誘電体膜が、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって形成されたことを特徴とする光記録媒体。 A plurality of information layers laminated on at least a transparent intermediate layer on a support substrate, and at least one of information layers other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam among the plurality of information layers. An information layer is formed of a Sb eutectic phase change material, a reflective film provided on the support substrate side with respect to the recording film, and the support substrate side with respect to the reflective film An optical recording medium comprising: a dielectric film provided on a substrate, wherein the dielectric film is formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4. 支持基板上に、少なくとも透明中間層を介して、積層された複数の情報層を備え、前記複数の情報層のうち、レーザビームの光入射面から最も遠い情報層以外の情報層の少なくとも一つの情報層が、Sb共晶系の相変化材料によって形成された記録膜と、前記記録膜に対して、前記支持基板側に設けられた反射膜と、前記反射膜に対して、前記支持基板側に設けられ、二以上の膜を備えた誘電体膜とを含み、前記二以上の膜のうち、膜厚が最も厚い膜が、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成されたことを特徴とする光記録媒体。 A plurality of information layers laminated on at least a transparent intermediate layer on a support substrate, and at least one of information layers other than the information layer farthest from the light incident surface of the laser beam among the plurality of information layers. An information layer is formed of a Sb eutectic phase change material, a reflective film provided on the support substrate side with respect to the recording film, and the support substrate side with respect to the reflective film A dielectric film having two or more films, and of the two or more films, the thickest film is made of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4. An optical recording medium formed. 前記二以上の膜のすべてが、屈折率が2.0ないし2.4の誘電体材料によって、形成されたことを特徴とする請求項2に記載の光記録媒体。 The optical recording medium according to claim 2, wherein all of the two or more films are formed of a dielectric material having a refractive index of 2.0 to 2.4. 前記誘電体材料の屈折率が、2.1ないし2.4であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光記録媒体。 The optical recording medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the dielectric material has a refractive index of 2.1 to 2.4.
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